KR20220135944A - Circuit board and package substrate including the same - Google Patents

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권명재
남상혁
여기수
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a circuit board comprises: an insulating layer; a first circuit pattern disposed on an upper surface of the insulating layer; a second circuit pattern disposed on a lower surface opposite to the upper surface of the insulating layer; and a via penetrating the insulating layer, and electrically connected to the first and second circuit patterns. The first circuit pattern is buried in the upper surface of the insulating layer, and an upper surface of the via is located higher than a lower surface of the first circuit pattern. The via includes a first via and a second via spaced apart from the first via in a width direction, and a pitch corresponding to a distance from the center of the first via to the center of the second via is 100 μm or less. Therefore, the volume of a package substrate can be reduced.

Description

회로기판 및 이를 포함하는 패키지 기판 {CIRCUIT BOARD AND PACKAGE SUBSTRATE INCLUDING THE SAME}Circuit board and package board including same {CIRCUIT BOARD AND PACKAGE SUBSTRATE INCLUDING THE SAME}

실시 예는 회로 기판에 관한 것으로, 특히 이웃하는 복수의 패드 사이의 피치를 최소화할 수 있는 회로 기판 및 이를 포함하는 패키지 기판에 관한 것이다.The embodiment relates to a circuit board, and more particularly, to a circuit board capable of minimizing a pitch between a plurality of adjacent pads, and a package board including the same.

전기/전자 제품의 고성능화가 진행됨에 따라, 한정된 크기의 기판에 더 많은 수의 패키지를 부착하기 위한 기술들이 제안 및 연구되고 있다. 다만, 일반적인 패키지는 하나의 반도체 칩이 탑재되는 것을 기본으로 하기 때문에, 원하는 성능을 얻는데 한계가 있다.As the performance of electric/electronic products progresses, techniques for attaching a larger number of packages to a substrate having a limited size are being proposed and studied. However, since a general package is based on mounting one semiconductor chip, there is a limit in obtaining desired performance.

일반적인 패키지 기판은 프로세서 칩이 배치된 프로세서 패키지와, 메모리 칩이 부착된 메모리 패키지가 하나로 연결된 형태를 가진다. 이러한 패키지 기판은 프로세서 칩과 메모리 칩을 하나의 통합 패키지로 제조함으로써, 칩의 실장 면적을 줄이고, 짧은 패스를 통해 고속 신호이 가능한 장점이 있다.A typical package substrate has a form in which a processor package in which a processor chip is disposed and a memory package to which a memory chip is attached are connected as one. Such a package substrate has the advantage of reducing a chip mounting area and enabling high-speed signals through a short pass by manufacturing the processor chip and the memory chip as one integrated package.

이러한 장점으로 인해, 상기와 같은 패키지 기판은 모바일 기기 등에 많이 적용되고 있다. Due to these advantages, the package substrate as described above is widely applied to mobile devices and the like.

한편, 최근 들어 모바일 기기와 같은 전자기기의 고사양화, HBM(High Bandwidth Memory) 채용 등으로, 하나의 패키지 기판에 복수의 칩을 실장할 수 있는 회로 기판이 요구되고 있다.On the other hand, in recent years, due to the high specification of electronic devices such as mobile devices and the adoption of high bandwidth memory (HBM), a circuit board capable of mounting a plurality of chips on one package board is required.

그러나, 종래의 패키지용 회로 기판은, 칩이 실장되는 패드의 디자인 한계로 인해 사이즈에 제약이 있다. 예를 들어, 종래의 패키지용 회로 기판은 최소 비아의 사이즈, 상기 비아의 사이즈에 의한 패드의 사이즈, 그리고 복수의 패드 사이에 배치되는 트레이스의 사이즈, 나아가 상기 패드의 표면을 오픈하는 솔더 레지스트의 오픈 영역(SOR: Solder resist open region) 사이즈에 제약이 있다. 예를 들어, 종래의 패키지용 회로 기판에서, 칩 실장용 패드의 피치(pitch)는 100㎛를 초과하고 있다. 이에 따라, 종래의 패키지용 회로기판을 이용하면, 제한된 공간 내에 실장될 수 있는 칩의 수가 감소할 수 있다. 예를 들어, 종래에서는 상기와 같은 패드의 피치 한계로 인해 다수의 칩을 모두 실장하기 위해 회로 기판의 부피가 커지는 문제가 있다.However, the conventional circuit board for a package has a size limitation due to a design limitation of a pad on which a chip is mounted. For example, in a conventional circuit board for a package, the size of a minimum via, a size of a pad according to the size of the via, a size of a trace disposed between a plurality of pads, and an opening of a solder resist for opening the surface of the pad The size of the Solder resist open region (SOR) is limited. For example, in the conventional circuit board for package, the pitch of the pad for chip mounting exceeds 100 micrometers. Accordingly, when the conventional circuit board for a package is used, the number of chips that can be mounted in a limited space can be reduced. For example, in the related art, there is a problem in that the volume of the circuit board increases in order to mount all of the plurality of chips due to the limitation of the pitch of the pads.

또한, 최근에는 감광성 물질(예를 들어, PID)을 사용하여 미세 피치를 구현한 회로 기판이 개발되고 있다. 그러나, 상기 감광성 물질로 제조된 회로 기판은 휨(warpage)에 취약하고, 프리프레그를 사용하여 제조된 회로 기판 대비 제조 단가가 높은 문제가 있다.In addition, recently, a circuit board having a fine pitch using a photosensitive material (eg, PID) has been developed. However, the circuit board made of the photosensitive material is vulnerable to warpage, and there is a problem in that the manufacturing cost is high compared to the circuit board manufactured using the prepreg.

실시 예에서는 실장 패드의 피치를 최소화할 수 있는 새로운 구조의 회로 기판 및 이를 포함하는 패키지 기판을 제공하고자 한다.In the embodiment, an object of the present invention is to provide a circuit board having a novel structure capable of minimizing the pitch of mounting pads and a package board including the same.

또한, 실시 예에서는 패드가 아닌 절연층을 관통하는 비아를 칩의 실장 패드로 사용할 수 있도록 한 회로 기판 및 이를 포함하는 패키지 기판을 제공하고자 한다.In addition, the embodiment intends to provide a circuit board in which a via passing through an insulating layer, not a pad, can be used as a mounting pad of a chip, and a package board including the same.

또한, 실시 예에서는 프리프레그로 구성된 회로 기판에서, 최외측의 칩 실장 패드가 100㎛ 이하의 미세 피치를 가질 수 있도록 한 새로운 구조의 회로 기판 및 이를 포함하는 패키지 기판을 제공하고자 한다.In addition, an embodiment is to provide a circuit board having a new structure such that the outermost chip mounting pad has a fine pitch of 100 μm or less in a circuit board made of a prepreg, and a package board including the same.

제안되는 실시 예에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 제안되는 실시 예가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical tasks to be achieved in the proposed embodiment are not limited to the technical tasks mentioned above, and other technical tasks not mentioned are clear to those of ordinary skill in the art to which the proposed embodiment belongs from the description below. will be able to be understood

실시 예에 따른 회로 기판은 절연층; 상기 절연층의 상면에 배치된 제1 회로 패턴; 상기 절연층의 상기 상면과 반대되는 하면에 배치된 제2 회로 패턴; 및 상기 절연층을 관통하며, 상기 제1 회로 패턴 및 상기 제2 회로 패턴과 전기적으로 연결되는 비아를 포함하고, 상기 제1 회로 패턴은, 상기 절연층의 상기 상면 내에 매립되고, 상기 비아의 상면은 상기 제1 회로 패턴의 하면보다 높게 위치하고, 상기 비아는, 제1 비아 및 상기 제1 비아와 폭 방향으로 이격된 제2 비아를 포함하고, 상기 제1 비아의 중심에서 상기 제2 비아의 중심까지의 거리에 대응하는 피치는, 100㎛ 이하이다.A circuit board according to an embodiment includes an insulating layer; a first circuit pattern disposed on an upper surface of the insulating layer; a second circuit pattern disposed on a lower surface of the insulating layer opposite to the upper surface; and a via passing through the insulating layer and electrically connected to the first circuit pattern and the second circuit pattern, wherein the first circuit pattern is buried in the upper surface of the insulating layer, and a top surface of the via is positioned higher than a lower surface of the first circuit pattern, the via includes a first via and a second via spaced apart from the first via in a width direction, from a center of the first via to a center of the second via The pitch corresponding to the distance to is 100 µm or less.

또한, 상기 제1 비아의 상면 및 상기 제2 비아의 상면은, 상기 제1 회로 패턴의 상면과 동일 평면 상에 위치한다.In addition, an upper surface of the first via and an upper surface of the second via are positioned on the same plane as an upper surface of the first circuit pattern.

또한, 상기 제1 비아 및 상기 제2 비아의 각각의 두께는, 상기 제1 회로 패턴의 하면에서 상기 제2 회로 패턴의 상면까지의 거리에 대응하는 상기 절연층의 두께보다 크다.In addition, each of the first via and the second via has a thickness greater than a thickness of the insulating layer corresponding to a distance from a lower surface of the first circuit pattern to an upper surface of the second circuit pattern.

또한, 상기 제1 회로 패턴은 트레이스를 포함하고, 상기 제1 회로 패턴의 트레이스는, 상기 제1 비아의 측면과 상기 제2 비아의 측면 사이에 적어도 1개 이상 배치된다.In addition, the first circuit pattern includes a trace, and at least one trace of the first circuit pattern is disposed between a side surface of the first via and a side surface of the second via.

또한, 상기 제2 회로 패턴은, 상기 제1 비아와 연결되는 제1 패드; 및 상기 제2 비아와 연결되는 제2 패드를 포함하고, 상기 제1 회로 패턴의 트레이스는, 상기 제1 패드 및 상기 제2 패드 중 적어도 하나와 두께 방향으로 오버랩된다.The second circuit pattern may include: a first pad connected to the first via; and a second pad connected to the second via, wherein a trace of the first circuit pattern overlaps at least one of the first pad and the second pad in a thickness direction.

또한, 상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이의 간격은, 2㎛ 내지 30㎛의 범위를 가진다.In addition, an interval between the first pad and the second pad is in a range of 2 μm to 30 μm.

또한, 상기 제2 회로 패턴은 트레이스를 포함하고, 상기 제2 회로 패턴의 트레이스는, 상기 절연층의 하면에서, 상기 제2 회로 패턴의 상기 제1 패드 및 상기 제2 패드 사이의 영역을 제외한 영역에 배치된다.In addition, the second circuit pattern includes a trace, and the trace of the second circuit pattern is an area on a lower surface of the insulating layer except for an area between the first pad and the second pad of the second circuit pattern. is placed on

또한, 상기 제1 비아 및 상기 제2 비아 각각은, 상면의 폭이 하면의 폭보다 작다.In addition, the width of the upper surface of each of the first via and the second via is smaller than the width of the lower surface.

또한, 상기 제1 비아, 상기 제2 비아 및 상기 제1 회로 패턴의 각각의 상면은 곡면을 포함한다.In addition, upper surfaces of the first via, the second via, and the first circuit pattern each include a curved surface.

또한, 상기 제1 비아, 상기 제2 비아 및 상기 제1 회로 패턴의 각각의 상면은 상기 절연층의 상면보다 낮게 위치한다.In addition, an upper surface of each of the first via, the second via, and the first circuit pattern is lower than an upper surface of the insulating layer.

또한, 상기 제1 비아 및 상기 제2 비아의 상면에 배치되는 제1 표면 처리층을 포함한다.It also includes a first surface treatment layer disposed on upper surfaces of the first via and the second via.

또한, 상기 제1 비아의 중심에서 상기 제2 비아의 중심까지의 거리에 대응하는 피치는, 90㎛ 이하이다.In addition, a pitch corresponding to the distance from the center of the first via to the center of the second via is 90 µm or less.

또한, 상기 절연층은 복수 개의 층으로 구성되고, 상기 제1 비아 및 상기 제2 비아는, 상기 복수 개의 절연층 중 최외측에 배치된 제1 최외측 절연층 내에 배치되고, 상기 제1 회로 패턴은 상기 제1 최외측 절연층의 상면에 매립되고, 상기 제2 회로 패턴은 상기 제1 최외측 절연층의 하면에 배치된다.In addition, the insulating layer is composed of a plurality of layers, and the first via and the second via are disposed in a first outermost insulating layer disposed on an outermost side of the plurality of insulating layers, and the first circuit pattern is buried in an upper surface of the first outermost insulating layer, and the second circuit pattern is disposed in a lower surface of the first outermost insulating layer.

또한, 상기 제1 회로 패턴은, 상기 제1 비아와 두께 방향으로 오버랩되는 제1 패드 및 상기 제2 비아와 두께 방향으로 오버랩되는 제2 패드를 포함하고, 상기 제1 패드의 폭은, 상기 제1 비아의 상면의 폭보다 작고, 상기 제2 패드의 폭은 상기 제2 비아의 상면의 폭보다 작다.The first circuit pattern may include a first pad overlapping the first via in a thickness direction and a second pad overlapping the second via in a thickness direction, and a width of the first pad may include: The width of the upper surface of the first via is smaller than the width of the upper surface of the second via, and the width of the second pad is smaller than the width of the upper surface of the second via.

또한, 상기 제1 비아는, 상기 제1 회로 패턴의 상기 제1 패드의 측면을 둘러싸며 배치되고, 상기 제2 비아는, 상기 제1 회로 패턴의 상기 제1 패드의 측면을 둘러싸며 배치된다.In addition, the first via is disposed to surround a side surface of the first pad of the first circuit pattern, and the second via is disposed to surround a side surface of the first pad of the first circuit pattern.

한편, 실시 예에 따른 패키지 기판은 절연층; 상기 절연층의 상면에 매립되어 배치된 제1 회로 패턴; 상기 절연층의 상기 상면과 반대되는 하면에 배치된 제2 회로 패턴; 상기 절연층을 관통하며 배치되고, 상기 제1 회로 패턴 및 상기 제2 회로 패턴과 전기적으로 연결되는 비아; 상기 비아의 상면에 배치되는 제1 표면 처리층; 상기 제1 표면 처리층의 상면에 배치되는 제1 접착부; 상기 제1 접착부 상에 배치되는 칩; 상기 절연층의 상면에 배치되고, 상기 칩을 몰딩하는 몰딩층을 포함하고, 상기 비아의 상면은 상기 제1 회로 패턴의 하면보다 높게 위치하고, 상기 비아는, 제1 비아 및 상기 제1 비아와 폭 방향으로 이격된 제2 비아를 포함하고, 상기 제1 비아의 중심에서 상기 제2 비아의 중심까지의 거리에 대응하는 피치는, 100㎛ 이하이다.On the other hand, the package substrate according to the embodiment includes an insulating layer; a first circuit pattern buried in an upper surface of the insulating layer; a second circuit pattern disposed on a lower surface of the insulating layer opposite to the upper surface; a via passing through the insulating layer and electrically connected to the first circuit pattern and the second circuit pattern; a first surface treatment layer disposed on an upper surface of the via; a first adhesive part disposed on an upper surface of the first surface treatment layer; a chip disposed on the first adhesive part; a molding layer disposed on an upper surface of the insulating layer and molding the chip, an upper surface of the via is positioned higher than a lower surface of the first circuit pattern, and the via has a first via and a width with the first via A pitch corresponding to a distance from a center of the first via to a center of the second via including second vias spaced apart in the direction is 100 μm or less.

또한, 상기 절연층은 복수 개의 층으로 구성되고, 상기 제1 비아 및 상기 제2 비아는, 상기 복수 개의 절연층 중 최외측에 배치된 제1 최외측 절연층 내에 배치된다.In addition, the insulating layer is composed of a plurality of layers, and the first via and the second via are disposed in a first outermost insulating layer disposed at an outermost side among the plurality of insulating layers.

또한, 상기 칩은 폭 방향으로 상호 이격되어 배치되는 제1 칩 및 제2 칩을 포함하고, 상기 제1 칩은 센트랄 프로세서(CPU)에 대응하고, 상기 제2 칩은 그래픽 프로세서(GPU)에 대응한다.In addition, the chip includes a first chip and a second chip disposed to be spaced apart from each other in a width direction, the first chip corresponding to a central processor (CPU), the second chip to the graphic processor (GPU) respond

실시 예에 따른 회로 기판은 칩이 실장되는 영역에 배치된 비아를 포함한다. 상기 비아는 제1 폭을 가지는 제1면과, 상기 제1폭보다 큰 제2 폭을 가지는 제2면을 포함한다. 그리고, 실시 예에서는 상기 비아의 제1면에 추가적인 패드를 형성하지 않고, 상기 비아의 제1면을 실장 패드로 이용하도록 한다. 이에 따라, 실시 예에서는 피치에 영향을 주는 실장 패드를 별도로 형성하지 않고, 상기 비아를 이용하기 때문에, 비교 예 대비 이웃하는 비아들의 중심 사이의 간격인 피치를 획기적으로 줄일 수 있다. 또한, 실시 예에서는 비교 예 대비 피치를 줄일 수 있음에 따라, 제한된 공간 내에 더 많은 칩을 실장시킬 수 있으며, 이에 따른 회로 기판의 부피, 나아가 패키지 기판의 부피를 감소시킬 수 있다. A circuit board according to an embodiment includes a via disposed in a region on which a chip is mounted. The via includes a first surface having a first width and a second surface having a second width greater than the first width. Further, in the embodiment, the first surface of the via is used as a mounting pad without forming an additional pad on the first surface of the via. Accordingly, in the embodiment, since the via is used without separately forming a mounting pad that affects the pitch, the pitch, which is the distance between the centers of neighboring vias, can be significantly reduced compared to the comparative example. In addition, in the embodiment, since the pitch can be reduced compared to the comparative example, more chips can be mounted in a limited space, thereby reducing the volume of the circuit board and furthermore the volume of the package board.

또한, 실시 예에서는 상기와 같이 피치가 감소함에 따라, 상기 회로 기판에 실장되는 칩의 단자 사이를 연결하는 전송 라인의 길이를 줄일 수 있으며, 이에 따른 신호 전송 손실을 최소화하여 통신 성능을 향상시킬 수 있다.In addition, in the embodiment, as the pitch decreases as described above, the length of the transmission line connecting between the terminals of the chip mounted on the circuit board can be reduced, and thus the communication performance can be improved by minimizing the signal transmission loss. have.

또한, 실시 예에서는 비아의 제1면을 칩 실장을 위한 칩 실장 패드로 이용하면서, 상기 비아의 제1면 내에 제1 회로 패턴의 패드가 매립되도록 한다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 비아를 형성하는 제조 공정의 용이성 및 신뢰성이 향상될 수 있다. 예를 들어, 제2 실시 예에 따르면, 상기 제1 회로 패턴의 패드를 이용하여 상기 비아가 배치될 위치를 정확히 확인할 수 있으며, 이에 따른 비아의 형성 위치에 대한 정확도를 향상시킬 수 있다. 나아가, 실시 예에서는 상기 제1 회로 패턴의 패드가 상기 비아의 일부를 구성함에 따라, 상기 비아의 형성 시에 발생할 수 있는 딤플 문제를 해결할 수 있으며, 이에 따른 상기 비아의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. In addition, in the embodiment, the pad of the first circuit pattern is embedded in the first surface of the via while using the first surface of the via as a chip mounting pad for chip mounting. Accordingly, in the embodiment, the easiness and reliability of the manufacturing process for forming the via may be improved. For example, according to the second exemplary embodiment, the position where the via is to be arranged can be accurately identified using the pad of the first circuit pattern, and thus the accuracy of the formation position of the via can be improved. Furthermore, in an embodiment, as the pad of the first circuit pattern forms a part of the via, a dimple problem that may occur when the via is formed can be solved, and thus the reliability of the via can be improved.

도 1a는 제1 비교 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.
도 1b는 제2 비교 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.
도 1c는 제1 비교 예 및 제2 비교 예에서 실장 패드의 평면도이다.
도 1d는 제1 및 제2 비교 예의 패드의 피치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2a는 제1 실시 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.
도 2b는 도 2a에서 실장 패드로 이용되는 비아의 피치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 제1 변형 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.
도 4a는 제2 변형 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.
도 4b는 도 4a에서, 실장 패드로 이용되는 비아의 피치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 제3 변형 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.
도 6a는 실시 예에 따른 회로 기판의 변형 예를 나타낸 도면이다.
도 6b는 도 6a에 대응하는 실제 제품에서의 트레이스를 나타내는 SAM 도면이다.
도 7a 내지 도 7i는 도 2a에 도시된 회로 기판의 제조 방법을 공정 순으로 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 제2 실시 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.
도 9a 내지 도 9e는 도 8에 도시된 회로 기판의 제조 방법을 공정 순으로 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 제2 실시 예의 변형 예의 회로 기판을 나타낸 도면이다.
도 11은 실시 예에 따른 패키지 기판을 나타낸 도면이다.
1A is a diagram illustrating a circuit board according to a first comparative example.
1B is a diagram illustrating a circuit board according to a second comparative example.
1C is a plan view of a mounting pad in Comparative Example 1 and Comparative Example 2;
1D is a diagram for explaining the pitch of pads in Comparative Examples 1 and 2;
2A is a diagram illustrating a circuit board according to a first embodiment.
FIG. 2B is a diagram for explaining a pitch of a via used as a mounting pad in FIG. 2A .
3 is a diagram illustrating a circuit board according to a first modified example.
4A is a diagram illustrating a circuit board according to a second modified example.
FIG. 4B is a diagram for explaining a pitch of vias used as mounting pads in FIG. 4A .
5 is a diagram illustrating a circuit board according to a third modified example.
6A is a diagram illustrating a modified example of a circuit board according to an embodiment.
6B is a SAM diagram showing a trace in an actual product corresponding to FIG. 6A.
7A to 7I are diagrams for explaining the manufacturing method of the circuit board shown in FIG. 2A in order of process.
8 is a diagram illustrating a circuit board according to a second embodiment.
9A to 9E are diagrams for explaining the manufacturing method of the circuit board shown in FIG. 8 in order of process.
10 is a view showing a circuit board of a modified example of the second embodiment.
11 is a view showing a package substrate according to an embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, the embodiments disclosed in the present specification will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the same or similar components are assigned the same reference numerals regardless of reference numerals, and redundant description thereof will be omitted. The suffixes "module" and "part" for components used in the following description are given or mixed in consideration of only the ease of writing the specification, and do not have distinct meanings or roles by themselves. In addition, in describing the embodiments disclosed in the present specification, if it is determined that detailed descriptions of related known technologies may obscure the gist of the embodiments disclosed in the present specification, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the accompanying drawings are only for easy understanding of the embodiments disclosed in this specification, and the technical idea disclosed herein is not limited by the accompanying drawings, and all changes included in the spirit and scope of the present invention , should be understood to include equivalents or substitutes.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinal numbers such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements are not limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it may be directly connected or connected to the other component, but it is understood that other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that the other element does not exist in the middle.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, terms such as “comprises” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

- 비교 예 -- Comparative Example -

실시 예의 설명에 앞서, 본원의 실시 예의 회로 기판과 비교되는 비교 예에 대해 설명하기로 한다.Prior to the description of the embodiment, a comparative example compared with the circuit board of the embodiment of the present application will be described.

도 1a는 제1 비교 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이고, 도1b는 제2 비교 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이고, 도 1c는 제1 비교 예 및 제2 비교 예에서 실장 패드의 평면도이고, 도 1d는 제1 및 제2 비교 예의 패드의 피치를 설명하기 위한 도면이다.1A is a view showing a circuit board according to a first comparative example, FIG. 1B is a view showing a circuit board according to a second comparative example, and FIG. 1C is a plan view of a mounting pad in the first comparative example and the second comparative example, , FIG. 1D is a diagram for explaining the pitch of pads of Comparative Examples 1 and 2;

도 1a 내지 도 1d를 참조하여 비교 예에 따른 회로 기판의 패드의 피치 한계에 대해 설명하기로 한다.A pitch limit of a pad of a circuit board according to a comparative example will be described with reference to FIGS. 1A to 1D .

도 1a 및 도 1d를 참조하면, 제1 비교 예 및 제2 비교 예에서는 비아 및 패드의 디자인 한계로 인해, 이웃하는 패드 사이의 피치가 100㎛를 초과한다. 제1 및 제2 비교 예에서의 회로 기판은 ETS(Embedded Trace Substrate) 구조를 가진다.1A and 1D , in Comparative Examples 1 and 2, the pitch between adjacent pads exceeds 100 μm due to design limitations of vias and pads. The circuit boards in Comparative Examples 1 and 2 have an ETS (Embedded Trace Substrate) structure.

제1 및 제2 비교 예에 따른 회로 기판은, 절연층(10), 제1 회로 패턴(20), 제2 회로 패턴(30), 비아(40), 제1 보호층(50), 제2 보호층(60)을 포함한다.Circuit boards according to the first and second comparative examples include an insulating layer 10 , a first circuit pattern 20 , a second circuit pattern 30 , a via 40 , a first protective layer 50 , and a second A protective layer 60 is included.

절연층(10)은 프리프레그를 포함한다. 예를 들어, 절연층(10)은 수지 및 상기 수지 내에 강화 섬유를 포함한다.The insulating layer 10 includes a prepreg. For example, the insulating layer 10 includes a resin and reinforcing fibers in the resin.

제1 회로 패턴(20)은 절연층(10)의 제1면에 배치된다.The first circuit pattern 20 is disposed on the first surface of the insulating layer 10 .

또한, 제2 회로 패턴(30)은 절연층(10)의 제2면에 배치된다. 이때, 상기 제1 회로 패턴(20) 및 제2 회로 패턴(30) 중 어느 하나는 절연층(10)의 표면 내에 매립된 ETS 구조를 가진다.In addition, the second circuit pattern 30 is disposed on the second surface of the insulating layer 10 . At this time, one of the first circuit pattern 20 and the second circuit pattern 30 has an ETS structure buried in the surface of the insulating layer 10 .

즉, 제1 회로 패턴(20)은 절연층(10)의 제1면에 매립된 ETS 패턴이다. That is, the first circuit pattern 20 is an ETS pattern buried in the first surface of the insulating layer 10 .

또한, 제2 회로 패턴(30)은 절연층(10)의 제2면으로부터 돌출된 구조를 가진다.In addition, the second circuit pattern 30 has a structure protruding from the second surface of the insulating layer 10 .

제1 회로 패턴(20) 및 제2 회로 패턴(30)은 각각 패드 및 트레이스를 포함한다. 상기 패드는 비아와 연결되면서, 칩이 실장되거나, 외부기판의 메인보드와 연결되는 접착부(미도시)가 배치되는 부분이다. 상기 트레이스는 상기 패드로부터 길게 연장되는 신호 라인이다. The first circuit pattern 20 and the second circuit pattern 30 include pads and traces, respectively. The pad is a part on which a chip is mounted while being connected to a via, or an adhesive part (not shown) connected to the main board of an external substrate is disposed. The trace is a signal line extending long from the pad.

비아(40)는 절연층(10)을 관통하며 배치된다. 비아(40)는 일단이 상기 제1 회로 패턴(20)과 연결되고, 상기 일단과 반대되는 타단이 상기 제2 회로 패턴(30)과 연결된다.The via 40 is disposed through the insulating layer 10 . One end of the via 40 is connected to the first circuit pattern 20 , and the other end opposite to the one end is connected to the second circuit pattern 30 .

제1 보호층(50) 및 제2 보호층(60)은 상기 절연층(10)의 제1면 및 제2면에 각각 배치된다. 제1 보호층(50)은 절연층(10)의 제1면에 배치되고, 제1 회로 패턴(20)의 표면의 적어도 일부를 노출하는 개구부를 가진다. 또한, 제2 보호층(60)은 절연층(10)의 제2면에 배치되고, 상기 제2 회로 패턴(30)의 표면의 적어도 일부를 노출하는 개구부를 가진다.The first protective layer 50 and the second protective layer 60 are respectively disposed on the first and second surfaces of the insulating layer 10 . The first protective layer 50 is disposed on the first surface of the insulating layer 10 and has an opening exposing at least a portion of the surface of the first circuit pattern 20 . In addition, the second protective layer 60 is disposed on the second surface of the insulating layer 10 and has an opening exposing at least a portion of the surface of the second circuit pattern 30 .

이때, 상기 제1 회로 패턴(20) 및 제2 회로 패턴(30) 중 하나는 칩이 실장되는 실장부를 포함하고, 다른 하나는 외부 기판의 메인 보드와 연결되는 단자부를 포함한다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(20) 및 제2 회로 패턴(30) 중 하나는 칩이 실장되는 실장 패드로 이용되고, 다른 하나는 메인 보드와 연결되는 단자 패드로 이용된다.In this case, one of the first circuit pattern 20 and the second circuit pattern 30 includes a mounting part on which a chip is mounted, and the other includes a terminal part connected to the main board of an external board. For example, one of the first circuit pattern 20 and the second circuit pattern 30 is used as a mounting pad on which a chip is mounted, and the other is used as a terminal pad connected to the main board.

구체적으로, 도 1a의 제1 비교 예의 회로 기판은, 상기 제3 회로 패턴(30)을 상기 실장 패드로 이용한 것이고, 도 1b의 제2 비교 예의 회로 기판은 상기 제2 회로 패턴(20)을 상기 실장 패드로 이용한 것이다.Specifically, the circuit board of the first comparative example of FIG. 1A uses the third circuit pattern 30 as the mounting pad, and the circuit board of the second comparative example of FIG. 1B uses the second circuit pattern 20 as described above. It is used as a mounting pad.

이때, 제1 및 제2 비교 예에서는 비아의 사이즈에 따른 실장 패드의 사이즈에 한계가 있으며, 이로 인해 이웃하는 실장 패드의 중심 사이의 거리인 피치가 100㎛를 초과하고 있다. In this case, in Comparative Examples 1 and 2, there is a limit to the size of the mounting pad according to the size of the via, so that the pitch, which is the distance between the centers of the neighboring mounting pads, exceeds 100 μm.

즉, 절연층(10)은 프리프레그로 형성된다. 이에 따라, 상기 절연층(10)에 비아 홀을 형성하기 위해서는 레이저 가공을 진행해야 한다. 이때, 일반적인 레이저 가공의 특성 상, 상기 비아(40)는 일정 수준 이상의 사이즈를 가지게 된다.That is, the insulating layer 10 is formed of a prepreg. Accordingly, in order to form a via hole in the insulating layer 10, laser processing should be performed. At this time, due to the characteristics of general laser processing, the via 40 has a size greater than a certain level.

예를 들어, 상기 비아(40)는 레이저 가공에 의해 형성된 비아 홀 내부를 채우는 것에 의해, 제1면의 폭과 제2면의 폭이 다르다. 예를 들어, 상기 비아(40)의 제1면의 폭(w2)은 제2면의 폭(w1)보다 작다. 그리고, 제1 비교 예는 상대적으로 폭이 넓은, 비아(40)의 제2면과 연결된 제2 회로 패턴(30)을 실장 패드로 이용한다. 그리고, 제2 비교 예는 상대적으로 폭이 좁은, 비아(40)의 제1면과 연결된 제1 회로 패턴(20)을 실장 패드로 이용한다.For example, the width of the first surface and the width of the second surface of the via 40 are different by filling the inside of the via hole formed by laser processing. For example, the width w2 of the first surface of the via 40 is smaller than the width w1 of the second surface. In addition, the first comparative example uses a relatively wide second circuit pattern 30 connected to the second surface of the via 40 as a mounting pad. In addition, the second comparative example uses a relatively narrow first circuit pattern 20 connected to the first surface of the via 40 as a mounting pad.

상기 비아(40)의 제2면의 폭(w1)은 레이저 공정의 한계로 인해, 최소 45㎛ 이상을 가진다. 또한, 상기 비아(40)의 제1면의 폭(w2)은 상기 제2면의 폭(w1)의 80% 수준인 40㎛ 이상을 가진다. The width w1 of the second surface of the via 40 has a minimum of 45 μm or more due to the limitation of the laser process. In addition, the width w2 of the first surface of the via 40 has a width of 40 μm or more, which is 80% of the width w1 of the second surface.

또한, 상기 비아(40)의 제2면과 직접 접촉하는 제2 회로 패턴(30)의 패드의 폭(w3)은 최소 70㎛ 이상을 가진다. 즉, 상기 제2 회로 패턴(30)의 패드는 상기 비아(40)의 제2면의 폭(w1)보다 일정 수준 이상의 폭을 가진다. 또한, 상기 비아(40)의 제1면과 직접 접촉하는 제1 회로 패턴(20)의 패드의 폭(w4)은 최소 67㎛ 이상을 가진다. 즉, 상기 제1 회로 패턴(20)의 패드는 상기 비아(40)의 제1면의 폭(w2)보다 일정 수준 이상의 폭을 가진다.In addition, the width w3 of the pad of the second circuit pattern 30 in direct contact with the second surface of the via 40 is at least 70 μm. That is, the pad of the second circuit pattern 30 has a width greater than or equal to the width w1 of the second surface of the via 40 . In addition, the width w4 of the pad of the first circuit pattern 20 in direct contact with the first surface of the via 40 is at least 67 μm. That is, the pad of the first circuit pattern 20 has a width greater than or equal to the width w2 of the first surface of the via 40 .

이에 따라, 상기 제2 회로 패턴(30)의 패드에서, 이웃하는 패드와의 피치에 영향을 주는 부분의 폭(w5=(w3-w1)/2)은 최소 12.5㎛ 수준이다. 즉, 상기 비아(40)의 제2면의 일단에서, 상기 제2 회로 패턴(30)의 패드의 일단까지의 폭 방향으로의 수평 직선 거리(w5)는 최소 12.5㎛ 수준이다. 이에 따라, 상기 제1 회로 패턴(20)의 패드에서, 이웃하는 패드와의 피치에 영향을 주는 부분의 폭(w6=(w4-w2)/2)은 최소 13.5㎛ 수준이다. 즉, 상기 비아(40)의 제1면의 일단에서, 상기 제1 회로 패턴(20)의 패드의 일단까지의 폭 방향으로의 수평 직선 거리(w5)는 최소 12.5㎛ 수준이다. 또한, 상기 비아(40)의 제2면의 일단에서, 상기 제1 회로 패턴(20)의 패드의 일단까지의 폭 방향으로의 수평 직선 거리(w7=(w4-w1)/2)는 최소 11㎛ 수준이다. Accordingly, in the pad of the second circuit pattern 30 , the width (w5=(w3-w1)/2) of the portion affecting the pitch with respect to the neighboring pad is at least 12.5 μm. That is, the horizontal straight line distance w5 in the width direction from one end of the second surface of the via 40 to one end of the pad of the second circuit pattern 30 is at least 12.5 μm. Accordingly, in the pad of the first circuit pattern 20 , the width (w6=(w4-w2)/2) of the portion affecting the pitch with respect to the neighboring pad is at least 13.5 μm. That is, the horizontal straight line distance w5 in the width direction from one end of the first surface of the via 40 to the one end of the pad of the first circuit pattern 20 is at least 12.5 μm. In addition, a horizontal straight line distance (w7=(w4-w1)/2) in the width direction from one end of the second surface of the via 40 to one end of the pad of the first circuit pattern 20 is at least 11 μm level.

이에 따라, 상기 제2 회로 패턴(30)을 실장 패드로 이용하는 경우, 이웃하는 실장 패드 사이의 간격이 최소 8㎛를 가짐에 따라, 78㎛ 정도의 피치를 가진다.Accordingly, when the second circuit pattern 30 is used as a mounting pad, the spacing between adjacent mounting pads is at least 8 μm, and thus has a pitch of about 78 μm.

또한, 제1 회로 패턴(20)을 실장 패드로 이용하는 경우, 상기 이웃하는 실장 패드 사이의 간격을 고려함에 따라, 75㎛ 정도의 피치를 가질 수 있다. Also, when the first circuit pattern 20 is used as a mounting pad, a pitch of about 75 μm may be taken in consideration of the spacing between the neighboring mounting pads.

그러나, 최근 고사양화에 따라, 상기 이웃하는 실장 패드 사이에는 적어도 1개의 트레이스가 존재하며, 상기 패치는 상기 트레이스에 의해 증가하게 된다. However, according to the recent high specification, at least one trace exists between the adjacent mounting pads, and the number of the patches is increased by the traces.

즉, 제1 회로 패턴(20) 및 제2 회로 패턴(30) 중 어느 하나를 패드로 이용하는 경우, 도 1c에서와 같이 제1 패드(PAD1)와 제2 패드(PAD2) 사이에는 적어도 하나의 트레이스(TRACE)가 위치해야 한다. That is, when any one of the first circuit pattern 20 and the second circuit pattern 30 is used as a pad, at least one trace is formed between the first pad PAD1 and the second pad PAD2 as shown in FIG. 1C . (TRACE) must be located.

예를 들어, 상기 제2 회로 패턴(30)을 실장 패드로 이용하는 경우, 이웃하는 패드 사이에는 적어도 하나의 트레이스(31)가 존재한다. 상기 트레이스(31)는 상기 제2 회로 패턴(30)의 패드와 패드 사이를 연결하는 신호 라인이다. 이때, 상기 트레이스(31)는 최소 7㎛ 이상의 선폭(w8)을 가지고, 최소 8㎛의 이격 간격(w9)을 가진다. For example, when the second circuit pattern 30 is used as a mounting pad, at least one trace 31 exists between adjacent pads. The trace 31 is a signal line connecting the pad and the pad of the second circuit pattern 30 . In this case, the trace 31 has a line width w8 of at least 7 μm and a spacing w9 of at least 8 μm.

또한, 상기 제1 회로 패턴(20)을 패드로 이용하는 경우, 이웃하는 패드 사이에는 적어도 하나의 트레이스(21)가 존재한다. 상기 트레이스(21)는 상기 제1 회로 패턴(20)의 패드와 패드 사이를 연결하는 신호 라인이다. 이때, 상기 트레이스(21)는 최소 7㎛ 이상의 선폭(w8')을 가지고, 최소 8㎛의 이격 간격(w9')을 가진다. In addition, when the first circuit pattern 20 is used as a pad, at least one trace 21 exists between adjacent pads. The trace 21 is a signal line connecting the pad and the pad of the first circuit pattern 20 . In this case, the trace 21 has a line width w8' of at least 7 µm and a spacing w9' of at least 8 µm.

이에 따라, 도 1d의 (a)에서와 같이, 제2 회로 패턴(30)을 실장 패드로 이용하는 경우, 제1 패드(PAD1)와 제2 패드(PAD2)의 폭, 상기 트레이스(31)의 선폭 및 이들 사이의 간격을 고려해야 함에 따라, 제1 패드(PAD1)와 제2 패드(PAD2) 사이의 피치(p1)는 110㎛를 초과하게 된다.Accordingly, as in (a) of FIG. 1D , when the second circuit pattern 30 is used as a mounting pad, the width of the first pad PAD1 and the second pad PAD2 and the line width of the trace 31 . and a gap between them, the pitch p1 between the first pad PAD1 and the second pad PAD2 exceeds 110 μm.

또한, 도 1d의 (b)에서와 같이, 상기 제1 회로 패턴(20)을 실장 패드로 이용하는 경우, 제1 패드(PAD1)와 제2 패드(PAD2)의 폭, 상기 트레이스(31)의 선폭 및 이들 사이의 간격을 고려해야 함에 따라, 제1 패드(PAD1)와 제2 패드(PAD2) 사이의 피치(p2)는 100㎛를 초과하게 된다.Also, as shown in (b) of FIG. 1D , when the first circuit pattern 20 is used as a mounting pad, the width of the first pad PAD1 and the second pad PAD2 and the line width of the trace 31 . and a gap between them, the pitch p2 between the first pad PAD1 and the second pad PAD2 exceeds 100 μm.

상기와 같이, 비교 예에서는 제1 패드(PAD1)의 중심과 제2 패드(PAD2)의 중심 사이의 피치가 최소 100㎛를 초과하게 되며, 이에 따른 제한된 공간 내에서 다수의 칩을 실장하기가 어려울 수 있다. 예를 들어, 상기 피치가 증가함에 따라 상기 칩을 실장하는데 필요한 회로 기판의 폭 방향으로의 폭이 증가하는 문제가 있다. 또한, 상기 피치가 증가한다는 것은 이웃하는 패드 사이의 신호 전송 라인이 증가한다는 것을 의미하며, 상기 신호 전송 라인이 증가함에 따른 신호 전송 손실이 증가하는 문제가 있다. As described above, in the comparative example, the pitch between the center of the first pad PAD1 and the center of the second pad PAD2 exceeds at least 100 μm, and thus it is difficult to mount a plurality of chips within a limited space. can For example, as the pitch increases, there is a problem in that the width in the width direction of the circuit board required to mount the chip increases. In addition, an increase in the pitch means an increase in signal transmission lines between adjacent pads, and there is a problem in that a signal transmission loss increases as the signal transmission lines increase.

또한, 최근 전기/전자 제품의 고성능화가 진행됨에 따라, 한정된 크기의 기판에 더 많은 수의 패키지를 부착하기 위한 기술들이 연구되고 있으며, 이에 따라 회로 패턴의 미세화가 요구되고 있다. 그러나, 비교 예의 회로 기판을 이용한 패키지 기판의 경우, 패드의 피치의 미세화에 한계가 있다. 또한, 최근 들어 애플리케이션 프로세서(AP: Application Processor)에서 처리되는 기능들의 증가에 따라, 이를 하나의 칩으로 구현하기 어려워지고 있다. 그러나, 비교 예에서 제공되는 회로 기판을 이용해서는 제한된 공간 내에, 서로 다른 기능을 하는 2개의 애플리케이션 프로세서(AP)를 실장하는데 어려움이 있다.In addition, as the performance of electric/electronic products is progressing recently, techniques for attaching a larger number of packages to a substrate having a limited size are being studied, and accordingly, miniaturization of circuit patterns is required. However, in the case of the package substrate using the circuit board of the comparative example, there is a limit to the miniaturization of the pad pitch. In addition, as functions processed by an application processor (AP) increase in recent years, it is becoming difficult to implement them in a single chip. However, it is difficult to mount two application processors (APs) having different functions in a limited space using the circuit board provided in the comparative example.

실시 예는 이러한 비교 예의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 실장 패드의 피치를 100㎛이하, 바람직하게 90㎛ 이하, 더욱 바람직하게 80㎛ 이하로 축소할 수 있도록 한다. 나아가, 실시 예에서는 상기 피치의 축소에 따라 하나의 회로 기판에 복수의 칩의 실장이 가능하도록 한다. 예를 들어, 실시 예에서는 하나의 회로 기판에 서로 다른 기능을 하는 복수의 프로세서 칩이나, 메모리 칩을 모두 실장할 수 있는 새로운 구조의 회로 기판 및 이를 포함하는 패키지 기판을 제공할 수 있도록 한다.The embodiment is intended to solve the problems of the comparative example, and the pitch of the mounting pad can be reduced to 100 μm or less, preferably 90 μm or less, and more preferably 80 μm or less. Furthermore, in the embodiment, it is possible to mount a plurality of chips on one circuit board according to the reduction of the pitch. For example, in the embodiment, it is possible to provide a circuit board having a new structure on which a plurality of processor chips or memory chips having different functions can be mounted on a single circuit board, and a package board including the same.

-전자 디바이스--Electronic device-

실시 예의 설명에 앞서, 실시 예의 패키지 기판을 포함하는 전자 디바이스에 대해 간략하게 설명하기로 한다. 전자 디바이스는 메인 보드(미도시)를 포함한다. 상기 메인 보드는 다양한 부품들과 물리적 및/또는 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 메인 보드는 실시 예의 패키지 기판과 연결될 수 있다. 상기 패키지 기판에는 다양한 칩이 실장될 수 있다. 크게, 상기 패키지 기판에는, 휘발성 메모리(예컨대, DRAM), 비-휘발성 메모리(예컨대, ROM), 플래시 메모리 등의 메모리 칩과, 센트랄 프로세서(예컨대, CPU), 그래픽 프로세서(예컨대, GPU), 디지털 신호 프로세서, 암호화 프로세서, 마이크로 프로세서, 마이크로 컨트롤러 등의 어플리케이션 프로세서 칩과, 아날로그-디지털 컨버터, ASIC(application-specific IC) 등의 로직 칩 등이 실장될 수 있다. Prior to the description of the embodiment, an electronic device including the package substrate of the embodiment will be briefly described. The electronic device includes a main board (not shown). The main board may be physically and/or electrically connected to various components. For example, the main board may be connected to the package substrate of the embodiment. Various chips may be mounted on the package substrate. Broadly, the package substrate includes a volatile memory (eg, DRAM), a non-volatile memory (eg, ROM), a memory chip such as a flash memory, a central processor (eg, CPU), a graphics processor (eg, GPU), An application processor chip such as a digital signal processor, an encryption processor, a microprocessor, and a microcontroller, and a logic chip such as an analog-to-digital converter and an ASIC (application-specific IC) may be mounted.

그리고, 실시 예에서는 패드의 피치를 미세화할 수 있도록 하고, 상기 피치의 미세화에 따라 하나의 기판에 서로 다른 종류의 적어도 2개의 칩을 실장할 수 있는 회로 기판 및 패키지 기판을 제공한다. 나아가, 실시 예에서는 비교 예보다 작은 피치를 가지는 실장 패드 사이에 비교 예보다 더 많은 트레이스를 배치할 수 있도록 한 회로 기판 및 패키지 기판을 제공한다.In addition, the embodiment provides a circuit board and a package board capable of refining the pitch of the pads and capable of mounting at least two different types of chips on a single board according to the miniaturization of the pitch. Furthermore, the embodiment provides a circuit board and a package substrate in which more traces than in the comparative example can be disposed between mounting pads having a smaller pitch than in the comparative example.

이때, 상기 전자 디바이스는 스마트 폰(smart phone), 개인용 정보 단말기(personal digital assistant), 디지털 비디오 카메라(digital video camera), 디지털 스틸 카메라(digital still camera), 네트워크 시스템(network system), 컴퓨터(computer), 모니터(monitor), 태블릿(tablet), 랩탑(laptop), 넷북(netbook), 텔레비전(television), 비디오 게임(video game), 스마트 워치(smart watch), 오토모티브(Automotive) 등일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 이들 외에도 데이터를 처리하는 임의의 다른 전자기기일 수 있음은 물론이다.In this case, the electronic device includes a smart phone, a personal digital assistant, a digital video camera, a digital still camera, a network system, and a computer. ), a monitor, a tablet, a laptop, a netbook, a television, a video game, a smart watch, an automotive, and the like. However, the present invention is not limited thereto, and may be any other electronic device that processes data in addition to these.

-제1 실시 예--First embodiment-

이하에서는 실시 예에 따른 회로 기판 및 이를 포함하는 패키지 기판에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a circuit board according to an embodiment and a package board including the same will be described.

도 2a는 제1 실시 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이고, 도 2b는 도 2a에서 실장 패드로 이용되는 비아의 피치를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 2A is a diagram illustrating a circuit board according to the first embodiment, and FIG. 2B is a diagram for explaining a pitch of vias used as mounting pads in FIG. 2A .

도 2a를 참조하면, 회로 기판(100)은 적어도 1개의 칩이 실장될 수 있도록 하는 실장 공간을 제공한다. 상기 회로 기판(100)에 실장되는 칩은, 1개일 수 있으며, 이와 다르게 2개일 수 있으며, 이와 다르게 3개 이상일 수 있다. 예를 들어, 회로 기판(100)에는 1개의 프로세서 칩이 실장될 수 있고, 이와 다르게 서로 다른 기능을 하는 적어도 2개의 프로세서 칩이 실장될 수 있으며, 이와 다르게 1개의 프로세서 칩과 함께 1개의 메모리 칩이 실장될 수 있고, 이와 다르게 서로 다른 기능을 하는 적어도 2개의 프로세서 칩과 적어도 1개의 메모리 칩이 실장될 수 있다.Referring to FIG. 2A , the circuit board 100 provides a mounting space in which at least one chip can be mounted. The number of chips mounted on the circuit board 100 may be one, alternatively, two, or alternatively, three or more. For example, one processor chip may be mounted on the circuit board 100 , and at least two processor chips having different functions may be mounted differently. Alternatively, one processor chip and one memory chip may be mounted on the circuit board 100 . This may be mounted, otherwise, at least two processor chips and at least one memory chip having different functions may be mounted.

회로 기판(100)은 절연층(110)을 포함한다. 상기 절연층(110)은 적어도 1층 이상의 구조를 가진다. 이때, 도 2a에서는 상기 회로 기판(100)이 절연층(110)의 층수를 기준으로 1층 구조를 가지는 것으로 도시하였으나 이에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 상기 회로 기판(100)은 절연층(110)의 층수를 기준으로 2층 이상의 적층 구조를 가질 수 있다. 다만, 이하에서는 상기 회로 기판(100)이 절연층(110)의 층수를 기준으로 1층 구조를 가지는 것으로 하여 설명하기로 한다.The circuit board 100 includes an insulating layer 110 . The insulating layer 110 has a structure of at least one layer. At this time, although FIG. 2A shows that the circuit board 100 has a one-layer structure based on the number of layers of the insulating layer 110 , the present invention is not limited thereto. For example, the circuit board 100 may have a stacked structure of two or more layers based on the number of layers of the insulating layer 110 . However, hereinafter, the circuit board 100 will be described as having a one-layer structure based on the number of layers of the insulating layer 110 .

상기 절연층(110)은 프리프레그(PPG, prepreg)를 포함할 수 있다. 상기 프리프레그는 유리 섬유 실(glass yarn)으로 직조된 글라스 패브릭(glass fabric)과 같은 직물 시트(fabric sheet) 형태의 섬유층에 에폭시 수지 등을 함침한 후 열 압착을 진행함으로써 형성될 수 있다. 다만, 실시 예는 이에 한정되지 않으며, 상기 절연층(110)을 구성하는 프리프레그는 탄소 섬유 실로 직조된 직물 시트 형태의 섬유층을 포함할 수 있을 것이다.The insulating layer 110 may include a prepreg (PPG, prepreg). The prepreg may be formed by impregnating a fiber layer in the form of a fabric sheet, such as a glass fabric woven with glass yarn, with an epoxy resin, and then performing thermocompression. However, the embodiment is not limited thereto, and the prepreg constituting the insulating layer 110 may include a fiber layer in the form of a fabric sheet woven with carbon fiber yarn.

상기 절연층(110)은 수지 및 상기 수지 내에 배치되는 강화 섬유를 포함할 수 있다. 상기 수지는 에폭시 수지일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 수지는 에폭시 수지에 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 분자 내에 에폭시기가 1개 이상 포함될 수 있고, 이와 다르게 에폭시계가 2개 이상 포함될 수 있으며, 이와 다르게 에폭시계가 4개 이상 포함될 수 있을 것이다. 또한, 상기 절연층(110)의 수지는 나프탈렌(naphthalene)기를 포함될 수 있으며, 예를 들어, 방향족 아민형일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 수지는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 페놀 노볼락형 에폭시 수지, 알킬페놀 노볼락형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 아르알킬형 에폭시 수지, 디사이클로펜타디엔형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 나프톨형 에폭시 수지, 페놀류와 페놀성 히드록실기를 갖는 방향족 알데히드와의 축합물의 에폭시 수지, 비페닐아르알킬형 에폭시 수지, 플루오렌형 에폭시 수지, 크산텐형 에폭시 수지, 트리글리시딜이소시아누레이트, 고무 변성형 에폭시 수지 및 인(phosphorous)계 에폭시 수지 등을 들 수 있으며, 나프탈렌계 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 페놀 노볼락 에폭시 수지, 크레졸 노볼락 에폭시 수지, 고무 변성형 에폭시 수지, 및 인(phosphorous)계 에폭시 수지를 포함할 수 있다. 또한, 상기 강화 섬유는 유리 섬유, 탄소 섬유, 아라미드 섬유(예를 들어, 아라미드 계열의 유기 재료), 나일론(nylon), 실리카(silica) 계열의 무기 재료 또는 티타니아(titania) 계열의 무기 재료가 사용될 수 있다. 상기 강화 섬유는 상기 수지 내에서, 평면 방향으로 서로 교차하는 형태로 배열될 수 있다.The insulating layer 110 may include a resin and a reinforcing fiber disposed in the resin. The resin may be an epoxy resin, but is not limited thereto. The resin is not particularly limited to the epoxy resin, for example, one or more epoxy groups may be included in the molecule, and alternatively, two or more epoxy groups may be included. Alternatively, four or more epoxy groups may be included. In addition, the resin of the insulating layer 110 may include a naphthalene group, for example, may be an aromatic amine type, but is not limited thereto. For example, the resin is a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a bisphenol S type epoxy resin, a phenol novolak type epoxy resin, an alkylphenol novolak type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, an aralkyl type epoxy resin Resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, epoxy resin of condensate of phenol and aromatic aldehyde having phenolic hydroxyl group, biphenyl aralkyl type epoxy resin, fluorene type epoxy resin resins, xanthene-type epoxy resins, triglycidyl isocyanurate, rubber-modified epoxy resins, phosphorous-based epoxy resins, and the like, and naphthalene-based epoxy resins, bisphenol A-type epoxy resins, and phenol novolac epoxy resins , cresol novolac epoxy resins, rubber-modified epoxy resins, and phosphorous-based epoxy resins. In addition, the reinforcing fiber is glass fiber, carbon fiber, aramid fiber (eg, aramid-based organic material), nylon (nylon), silica (silica)-based inorganic material or titania-based inorganic material is used. can The reinforcing fibers may be arranged in the resin to cross each other in a planar direction.

한편, 상기 유리 섬유, 탄소 섬유, 아라미드 섬유(예를 들어, 아라미드 계열의 유기 재료), 나일론(nylon), 실리카(silica) 계열의 무기 재료 또는 티타니아(titania) 계열의 무기 재료가 사용될 수 있다.Meanwhile, the glass fiber, carbon fiber, aramid fiber (eg, aramid-based organic material), nylon, silica-based inorganic material or titania-based inorganic material may be used.

상기 절연층(110)은 10㎛ 내지 60㎛의 범위의 두께(T1)를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 절연층(110)은 15㎛ 내지 55㎛의 범위의 두께(T1)를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 절연층(110)은 20㎛ 내지 50㎛의 범위의 두께(T1)를 가질 수 있다. 상기 절연층(110)의 두께(T1)는 이의 표면에 각각 배치되는 회로 패턴들 사이의 거리를 의미할 수 있다. 예를 들어, 절연층(110)의 두께(T1)는 이하에서 설명되는 제1 회로 패턴(120)의 제2면 또는 하면과, 제2 회로 패턴(130)의 제1면 또는 상면 사이의 직선 거리를 의미할 수 있다. The insulating layer 110 may have a thickness T1 in the range of 10 μm to 60 μm. For example, the insulating layer 110 may have a thickness T1 in the range of 15 μm to 55 μm. For example, the insulating layer 110 may have a thickness T1 in the range of 20 μm to 50 μm. The thickness T1 of the insulating layer 110 may mean a distance between circuit patterns respectively disposed on the surface thereof. For example, the thickness T1 of the insulating layer 110 is a straight line between the second surface or lower surface of the first circuit pattern 120 and the first surface or upper surface of the second circuit pattern 130 , which will be described below. It can mean distance.

상기 절연층(110)의 제1면에는 제1 회로 패턴(120)이 배치된다. 또한, 상기 절연층(110)의 제2면에는 제2 회로 패턴(130)이 배치된다. 이때, 상기 회로 기판(100)은 ETS(Embedded Trace Substrate) 공법을 이용하여 제조될 수 있다. 이에 따라, 상기 회로 기판(100)에 포함된 제1 회로 패턴(120) 및 제2 회로 패턴(130) 중 어느 하나는 ETS 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서 상기 제1 회로 패턴(120) 및 제2 회로 패턴(130) 중 어느 하나는 절연층(110)의 표면 내에 매립된 구조를 가질 수 있고, 다른 하나는 상기 절연층(110)의 표면으로부터 돌출된 구조를 가질 수 있다.A first circuit pattern 120 is disposed on the first surface of the insulating layer 110 . In addition, a second circuit pattern 130 is disposed on the second surface of the insulating layer 110 . In this case, the circuit board 100 may be manufactured using an Embedded Trace Substrate (ETS) method. Accordingly, any one of the first circuit pattern 120 and the second circuit pattern 130 included in the circuit board 100 may have an ETS structure. For example, in an embodiment, any one of the first circuit pattern 120 and the second circuit pattern 130 may have a structure buried in the surface of the insulating layer 110 , and the other of the first circuit pattern 120 and the second circuit pattern 130 may have a structure buried in the surface of the insulating layer 110 . 110) may have a structure protruding from the surface.

실시 예에서는 상기 제1 회로 패턴(120)이 ETS 구조에 대응하는 매립 구조를 가지고, 상기 제2 회로 패턴(130)이 돌출 구조를 가지는 것으로 하여 설명하기로 한다. In the embodiment, it is assumed that the first circuit pattern 120 has a buried structure corresponding to the ETS structure and the second circuit pattern 130 has a protruding structure.

상기 제1 회로 패턴(120)은 상기 절연층(110)의 제1면에 배치된다. 상기 제1면은 상기 절연층(110)의 상면일 수 있다. 상기 제1 회로 패턴(120)은 상기 절연층(110)의 제1면에 매립된 구조를 가질 수 있다. The first circuit pattern 120 is disposed on the first surface of the insulating layer 110 . The first surface may be a top surface of the insulating layer 110 . The first circuit pattern 120 may have a structure buried in the first surface of the insulating layer 110 .

상기 제1 회로 패턴(120)은 트레이스(121)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)는 이후에 설명될 비아(140)와 실질적으로 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)는 비아(140)의 상면에 배치되는 것이 아니라, 상기 비아(140)의 측부에 배치될 수 있다. 즉, 일반적인 회로 패턴은 패드 및 트레이스를 포함한다. 그리고, 패드는 비아의 상면에 배치되고, 트레이스는 상기 패드의 측부에 배치된다. 이에 따라, 일반적인 트레이스는 비아보다 높게 위치하게 된다. The first circuit pattern 120 may include a trace 121 . In this case, the traces 121 of the first circuit pattern 120 may be positioned substantially on the same plane as the vias 140 to be described later. For example, the first circuit pattern 120 may not be disposed on the top surface of the via 140 , but may be disposed on the side of the via 140 . That is, a typical circuit pattern includes pads and traces. Then, the pad is disposed on the top surface of the via, and the trace is disposed on the side of the pad. Accordingly, the general trace is positioned higher than the via.

이에 반하여, 실시 예에서는 비아(140)를 칩 실장을 위한 실장 패드로 이용한다. 이에 따라, 실시 예에서의 상기 제1 회로 패턴(120)은 칩 실장을 위한 실장 패드를 포함하지 않을 수 있다. On the other hand, in the embodiment, the via 140 is used as a mounting pad for chip mounting. Accordingly, the first circuit pattern 120 in the embodiment may not include a mounting pad for mounting a chip.

이에 따라, 제1 회로 패턴(120)의 제1면 또는 상면은 비아(140)의 제1면 또는 상면과 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 즉, 일반적인 제1 회로 패턴의 하면은 비아의 상면과 동일 평면 상에 위치하게 된다. 이에 반하여, 실시 예에서는 비아(140)를 실장 패드로 이용하도록 하고, 이에 따라, 상기 제1 회로 패턴(120)의 상면과 상기 비아(140)의 상면이 동일 평면 상에 위치할 수 있다.Accordingly, the first surface or top surface of the first circuit pattern 120 may be positioned on the same plane as the first surface or top surface of the via 140 . That is, the lower surface of the general first circuit pattern is positioned on the same plane as the upper surface of the via. On the other hand, in the embodiment, the via 140 is used as a mounting pad, and accordingly, the top surface of the first circuit pattern 120 and the top surface of the via 140 may be located on the same plane.

상기 제1 회로 패턴(120)은 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 구리(Cu) 및 아연(Zn) 중에서 선택되는 적어도 하나의 금속 물질로 형성될 수 있다. 또한 상기 제1 회로 패턴(120)은 본딩력이 우수한 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 구리(Cu), 아연(Zn) 중에서 선택되는 적어도 하나의 금속 물질을 포함하는 페이스트 또는 솔더 페이스트로 형성될 수 있다. 바람직하게, 상기 제1 회로 패턴(120)은 전기전도성이 높으면서 가격이 비교적 저렴한 구리(Cu)로 형성될 수 있다. The first circuit pattern 120 may include at least one metal selected from gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), titanium (Ti), tin (Sn), copper (Cu), and zinc (Zn). It may be formed of a material. In addition, the first circuit pattern 120 is selected from among gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), titanium (Ti), tin (Sn), copper (Cu), and zinc (Zn) having excellent bonding strength. It may be formed of a paste or solder paste including at least one metal material. Preferably, the first circuit pattern 120 may be formed of copper (Cu), which has high electrical conductivity and is relatively inexpensive.

상기 제1 회로 패턴(120)은 5㎛ 내지 20㎛의 범위의 두께를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)은 6㎛ 내지 17㎛의 범위의 두께를 가질 수 있다. 상기 제1 회로 패턴(120)은 7㎛ 내지 13㎛의 범위의 두께를 가질 수 있다. 상기 제1 회로 패턴(120)의 두께가 5㎛ 미만인 경우에는 상기 제1 회로 패턴(120)의 저항이 증가할 수 있다. 상기 제1 회로 패턴(120)의 두께가 20㎛를 초과하는 경우에는 상기 제1 회로 패턴(120)을 구성하는 트레이스(121)의 선폭이 증가하고, 이에 따른 회로 기판(100)의 전체적인 부피가 증가할 수 있다. The first circuit pattern 120 may have a thickness in a range of 5 μm to 20 μm. For example, the first circuit pattern 120 may have a thickness in a range of 6 μm to 17 μm. The first circuit pattern 120 may have a thickness in a range of 7 μm to 13 μm. When the thickness of the first circuit pattern 120 is less than 5 μm, the resistance of the first circuit pattern 120 may increase. When the thickness of the first circuit pattern 120 exceeds 20 μm, the line width of the trace 121 constituting the first circuit pattern 120 increases, and thus the overall volume of the circuit board 100 decreases. can increase

상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)는 특정 선폭(W6)과 특정 간격(W7)을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 선폭(W6)은 6㎛ 내지 20㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 선폭(W6)은 7㎛ 내지 15㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 선폭(W6)은 8㎛ 내지 12㎛의 범위를 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스들의 간격(W7)은 6㎛ 내지 20㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스들의 간격(W7)은 7㎛ 내지 15㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스들의 간격(W7)은 8㎛ 내지 12㎛의 범위를 가질 수 있다. 여기에서, 상기 간격(W7)은 제1 회로 패턴(120)을 구성하는 복수의 트레이스들 사이의 이격 간격을 의미할 수 있다. 또한, 상기 간격(W7)은 상기 제1 회로 패턴(120)을 구성하는 트레이스(121)와, 실시 예에서 실장 패드로 이용되는 비아(140) 사이의 간격을 의미할 수 있다.The trace 121 of the first circuit pattern 120 may have a specific line width W6 and a specific interval W7. For example, the line width W6 of the trace 121 of the first circuit pattern 120 may range from 6 μm to 20 μm. For example, the line width W6 of the trace 121 of the first circuit pattern 120 may be in a range of 7 μm to 15 μm. For example, the line width W6 of the trace 121 of the first circuit pattern 120 may be in a range of 8 μm to 12 μm. Also, the interval W7 between the traces of the first circuit pattern 120 may be in a range of 6 μm to 20 μm. For example, the interval W7 between the traces of the first circuit pattern 120 may be in a range of 7 μm to 15 μm. For example, the interval W7 between the traces of the first circuit pattern 120 may be in a range of 8 μm to 12 μm. Here, the spacing W7 may mean a spacing between a plurality of traces constituting the first circuit pattern 120 . Also, the gap W7 may mean a gap between the trace 121 constituting the first circuit pattern 120 and the via 140 used as a mounting pad in the embodiment.

상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)는 실장 패드로 이용되는 복수의 비아(140) 사이에 적어도 1개가 위치할 수 있다. 즉, 실시 예에서, 복수의 비아(140)는 실장 패드로 된다. 이때, 상기 실장 패드들 사이는 상호 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 실장 패드들 사이에는 적어도 1개의 트레이스가 위치할 수 있다. 즉, 도 1c에서와 같이 트레이스는 이웃하는 패드들 사이 또는 상기 이웃하는 패드들 사이에 배치되어 이와는 다른 패드 사이를 연결할 수 있다. 다만, 도 1c에서의 트레이스는 제1 회로 패턴(20) 또는 제2 회로 패턴(30)의 패드와 연결되는 반면에, 실시 예에서의 트레이스(121)는 비아(140)가 패드로 이용되기 때문에, 비아(140)의 측면과 연결될 수 있다. At least one trace 121 of the first circuit pattern 120 may be positioned between a plurality of vias 140 used as mounting pads. That is, in the embodiment, the plurality of vias 140 serve as mounting pads. In this case, the mounting pads may be electrically connected to each other. For example, at least one trace may be positioned between the mounting pads. That is, as shown in FIG. 1C , a trace may be disposed between neighboring pads or between the neighboring pads to connect different pads. However, since the trace in FIG. 1C is connected to the pad of the first circuit pattern 20 or the second circuit pattern 30 , the trace 121 in the embodiment uses the via 140 as a pad. , may be connected to a side surface of the via 140 .

제2 회로 패턴(130)은 절연층(110)의 제2면 또는 하면에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 회로 패턴(130)은 상기 절연층(110)의 표면에서, 상기 제1 회로 패턴(120)이 배치되는 면의 반대면에 배치될 수 있다. 다만, 상기 제1 회로 패턴(120)은 상기 절연층(110)의 제1면 또는 상면 내에 매립되는 ETS 구조를 가지는 반면에, 상기 제2 회로 패턴(130)은 상기 절연층(110)의 제2면 또는 하면 아래로 돌출되는 구조를 가진다.The second circuit pattern 130 may be disposed on the second surface or the lower surface of the insulating layer 110 . For example, the second circuit pattern 130 may be disposed on the surface of the insulating layer 110 , opposite to the surface on which the first circuit pattern 120 is disposed. However, the first circuit pattern 120 has an ETS structure buried in the first surface or the top surface of the insulating layer 110 , whereas the second circuit pattern 130 is the second circuit pattern of the insulating layer 110 . It has a structure that protrudes downward from two sides or the lower surface.

상기 제2 회로 패턴(130)은 비아(140)와 연결될 수 있다. The second circuit pattern 130 may be connected to the via 140 .

상기 제2 회로 패턴(130)은 패드 및 트레이스를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 회로 패턴(130)은 비아(140)와 연결되는 패드(131, 132)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 회로 패턴(130)은 상기 패드(131, 132)와 연결되는 트레이스(미도시)를 포함할 수 있다. The second circuit pattern 130 may include a pad and a trace. For example, the second circuit pattern 130 may include pads 131 and 132 connected to the via 140 . In addition, the second circuit pattern 130 may include traces (not shown) connected to the pads 131 and 132 .

상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)는 전자 디바이스의 메인 보드와 연결되는 단자부로 기능할 수 있다. 예를 들어, 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)는 전자 디바이스의 메인보드와 연결되기 위해, 솔더 볼이 배치되는 단자 패드일 수 있다. The pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may function as terminals connected to the main board of the electronic device. For example, the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be terminal pads on which solder balls are disposed to be connected to the main board of the electronic device.

상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)는 비아(140)의 제2면 또는 하면과 연결될 수 있다. 구체적으로, 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)의 제1면 또는 상면은 비아(140)의 제2면 또는 하면과 직접 접촉할 수 있다. 상기 제2 회로 패턴(130)의 트레이스는 상기 패드(131, 132)의 사이에 배치되지 않을 수 있다. 즉, 실시 예에서, 상기 제2 회로 패턴(130)은 패드(131, 132) 및 트레이스를 포함하기는 하나, 상기 제2 회로 패턴(130)의 트레이스는 상기 절연층(110)의 제2면 또는 하면에서, 상기 패드(131, 132)의 사이 영역을 회피하여 배치될 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격을 최소화할 수 있고, 이에 따른 회로 기판의 실장 패드의 피치(명확하게는, 비아의 피치)를 최소화할 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서는 상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이에 트레이스를 배치하지 않음에 따라, 실장 패드로 기능하는 비아(140) 사이의 피치를 100㎛ 이하, 나아가 90㎛ 이하, 더 나아가 80㎛ 이하로 할 수 있다. The pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be connected to the second surface or the lower surface of the via 140 . Specifically, the first surface or upper surface of the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may directly contact the second surface or lower surface of the via 140 . Traces of the second circuit pattern 130 may not be disposed between the pads 131 and 132 . That is, in the embodiment, although the second circuit pattern 130 includes pads 131 and 132 and traces, the traces of the second circuit pattern 130 are the second surface of the insulating layer 110 . Alternatively, on the lower surface, it may be disposed avoiding the area between the pads 131 and 132 . Accordingly, in the embodiment, the gap between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be minimized, and accordingly, the pitch of the mounting pads of the circuit board (specifically, the pitch of the via) may be minimized. can do. For example, in the embodiment, since traces are not disposed between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130, the pitch between the vias 140 functioning as mounting pads is set to 100 μm or less, and further It is 90 micrometers or less, Furthermore, it can be set as 80 micrometers or less.

상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격(W4)은 30㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격(W4)은 20㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격(W4)은 10㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격(W4)은 7㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격은 5㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격은 2㎛ 이상일 수 있다.The gap W4 between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be 30 μm or less. For example, the gap W4 between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be 20 μm or less. For example, the gap W4 between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be 10 μm or less. For example, the gap W4 between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be 7 μm or less. For example, an interval between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be 5 μm or less. For example, an interval between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be 2 μm or more.

구체적으로, 상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격(W4)은 2㎛ 내지 30㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격(W4)은 2.5㎛ 내지 20㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132) 사이의 간격은 2.5㎛ 내지 7㎛의 범위를 가질 수 있다. 바람직하게, 상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)의 간격은 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121) 또는 제2 회로 패턴(130)의 트레이스의 선폭 또는 간격보다 작을 수 있다. Specifically, the gap W4 between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be in a range of 2 μm to 30 μm. For example, the gap W4 between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be in a range of 2.5 μm to 20 μm. For example, an interval between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may be in a range of 2.5 μm to 7 μm. Preferably, the spacing between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 is smaller than the line width or spacing of the traces 121 of the first circuit pattern 120 or the traces of the second circuit pattern 130 . can

상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)의 간격(W4)이 2㎛ 미만이면, 상기 패드(131, 132) 사이가 서로 연결되는 신뢰성 문제가 발생할 수 있다. 상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)의 간격(W4)이 2㎛ 미만이면, 상기 패드(131, 132) 사이의 신호 간섭에 따른 통신 성능에 문제가 발생할 수 있다. 상기 제2 회로 패턴(130)의 간격(W4)이 30㎛보다 크면, 상기 패드(131, 132)에 의한 비아(140)의 피치를 100㎛ 이하로 맞추기 어려울 수 있다. 즉, 상기 제2 회로 패턴(130)의 간격(W4)이 30㎛보다 크면, 상기 비아(140)의 피치 증가에 따른 전체적인 회로 기판(100)의 부피가 증가할 수 있다.If the interval W4 between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 is less than 2 μm, a reliability problem in which the pads 131 and 132 are connected to each other may occur. If the interval W4 between the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 is less than 2 μm, a problem may occur in communication performance due to signal interference between the pads 131 and 132 . When the interval W4 of the second circuit pattern 130 is greater than 30 μm, it may be difficult to adjust the pitch of the vias 140 by the pads 131 and 132 to 100 μm or less. That is, when the interval W4 between the second circuit patterns 130 is greater than 30 μm, the overall volume of the circuit board 100 may increase according to an increase in the pitch of the vias 140 .

상기 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)는 두께 방향(또는 수직 방향 또는 3차원 좌표계에서 z축 방향)으로 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)와 오버랩될 수 있다. The pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 may overlap the traces 121 of the first circuit pattern 120 in a thickness direction (or a vertical direction or a z-axis direction in a three-dimensional coordinate system). .

즉, 상기 제2 회로 패턴(130)은 폭 방향(또는 수평 방향 또는 3차원 좌표계에서 x축, y축 및 이들 사이의 대각축 방향)으로 이격되는 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)를 포함한다. That is, the second circuit pattern 130 has a first pad 131 and a second pad 132 spaced apart in the width direction (or the x-axis, y-axis, and a diagonal direction therebetween in a horizontal direction or a three-dimensional coordinate system). ) is included.

그리고, 실시 예에서, 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131)와 제2 패드(132) 사이에는 제2 회로 패턴(130)의 트레이스가 배치되지 않는다. 그리고, 실시 예에서, 상기 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131)와 제2 패드(132) 사이의 간격을 최소화하여, 이에 따른 비아(140)의 피치가 100㎛ 이하가 되도록 한다. 이때, 상기와 같이 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131)와 제2 패드(132) 사이의 간격이 상기 트레이스(121)의 선폭 또는 간격보다 작도록 하며, 이에 따라 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 적어도 일부는 상기 제1 패드(131) 또는 제2 패드(132)와 두께 방향으로 오버랩될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 적어도 일부는 상기 제1 패드(131)와 두께 방향으로 오버랩될 수 있다. 또한, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 적어도 일부는 상기 제2 패드(132)와 두께 방향으로 오버랩될 수 있다. 또한, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 적어도 일부는 상기 제1 패드(131)와 두께 방향으로 오버랩되고, 다른 일부는 상기 제2 패드(132)와 두께 방향으로 오버랩될 수 있다.And, in an embodiment, the trace of the second circuit pattern 130 is not disposed between the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 . And, in an embodiment, the distance between the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 is minimized so that the pitch of the via 140 is 100 μm or less. . At this time, as described above, the interval between the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 is set to be smaller than the line width or interval of the trace 121 , and accordingly, the first circuit At least a portion of the trace 121 of the pattern 120 may overlap the first pad 131 or the second pad 132 in a thickness direction. For example, at least a portion of the trace 121 of the first circuit pattern 120 may overlap the first pad 131 in the thickness direction. Also, at least a portion of the trace 121 of the first circuit pattern 120 may overlap the second pad 132 in a thickness direction. In addition, at least a portion of the trace 121 of the first circuit pattern 120 may overlap the first pad 131 in the thickness direction, and another portion may overlap the second pad 132 in the thickness direction. have.

상기 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 폭은 서로 대응될 수 있다. 예를 들어, 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 폭(W3)은 60㎛ 내지 80㎛일 수 있다. 예를 들어, 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 폭(W3)은 65㎛ 내지 75㎛일 수 있다. 예를 들어, 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 폭(W3)은 67㎛ 내지 73㎛일 수 있다. Widths of the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 may correspond to each other. For example, the width W3 of the first pad 131 and the second pad 132 may be 60 μm to 80 μm. For example, the width W3 of the first pad 131 and the second pad 132 may be 65 μm to 75 μm. For example, the width W3 of the first pad 131 and the second pad 132 may be 67 μm to 73 μm.

실시 예에서 회로 기판(100)은 절연층(110)을 관통하는 비아(140)를 포함한다. 상기 비아(140)는 제1면이 절연층(110)의 제1면으로 노출될 수 있다. 이는, 상기 비아(140)의 제1면에 제1 회로 패턴(120)이 배치되지 않음을 의미할 수 있다. 상기 비아(140)는 측면을 통해 제1 회로 패턴(120)과 연결될 수 있다. 예를 들어, 비아(140)의 측면은 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 측면과 직접 연결될 수 있다. In an embodiment, the circuit board 100 includes a via 140 passing through the insulating layer 110 . A first surface of the via 140 may be exposed as the first surface of the insulating layer 110 . This may mean that the first circuit pattern 120 is not disposed on the first surface of the via 140 . The via 140 may be connected to the first circuit pattern 120 through a side surface. For example, a side surface of the via 140 may be directly connected to a side surface of the trace 121 of the first circuit pattern 120 .

상기 비아(140)는 절연층(110)을 관통하는 비아 홀(미도시)을 형성하고, 상기 형성된 비아 홀 내부를 전도성 물질로 충진하여 형성할 수 있다.The via 140 may be formed by forming a via hole (not shown) penetrating the insulating layer 110 and filling the formed via hole with a conductive material.

상기 비아 홀은 기계, 레이저 및 화학 가공 중 어느 하나의 가공 방식에 의해 형성될 수 있다. 상기 비아 홀이 기계 가공에 의해 형성되는 경우에는 밀링(Milling), 드릴(Drill) 및 라우팅(Routing) 등의 방식을 사용할 수 있고, 레이저 가공에 의해 형성되는 경우에는 UV나 CO2 레이저 방식을 사용할 수 있으며, 화학 가공에 의해 형성되는 경우에는 아미노실란, 케톤류 등을 포함하는 약품을 이용하여 상기 복수의 절연층 중 적어도 하나의 절연층을 개방할 수 있다.The via hole may be formed by any one of mechanical, laser, and chemical processing. When the via hole is formed by machining, methods such as milling, drilling, and routing can be used, and when formed by laser processing, UV or CO 2 laser method is used. In the case of being formed by chemical processing, at least one insulating layer among the plurality of insulating layers may be opened by using a chemical containing aminosilane, ketones, or the like.

한편, 상기 레이저에 의한 가공은 광학 에너지를 표면에 집중시켜 재료의 일부를 녹이고 증발시켜, 원하는 형태를 취하는 절단 방법으로, 컴퓨터 프로그램에 의한 복잡한 형성도 쉽게 가공할 수 있고, 다른 방법으로는 절단하기 어려운 복합 재료도 가공할 수 있다. On the other hand, the processing by the laser is a cutting method that melts and evaporates a part of the material by concentrating optical energy on the surface to take a desired shape, and complex formation by a computer program can be easily processed. Even difficult composite materials can be machined.

또한, 상기 레이저에 의한 가공은 절단 직경이 최소 0.005mm까지 가능하며, 가공 가능한 두께 범위로 넓은 장점이 있다.In addition, the processing by the laser can have a cutting diameter of at least 0.005 mm, and has a wide advantage in a range of possible thicknesses.

상기 레이저 가공 드릴로, YAG(Yttrium Aluminum Garnet)레이저나 CO2 레이저나 자외선(UV) 레이저를 이용하는 것이 바람직하다. YAG 레이저는 동박층 및 절연층 모두를 가공할 수 있는 레이저이고, CO2 레이저는 절연층만 가공할 수 있는 레이저이다.As the laser processing drill, it is preferable to use a YAG (Yttrium Aluminum Garnet) laser, a CO 2 laser, or an ultraviolet (UV) laser. The YAG laser is a laser that can process both the copper foil layer and the insulating layer, and the CO 2 laser is a laser that can process only the insulating layer.

상기 비아 홀이 형성되면, 상기 비아 홀 내부를 전도성 물질로 충진하여 상기 비아(140)를 형성할 수 있다. 상기 비아(140)를 형성하는 금속 물질은 구리(Cu), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni) 및 팔라듐(Pd) 중에서 선택되는 어느 하나의 물질일 수 있으며, 상기 전도성 물질 충진은 무전해 도금, 전해 도금, 스크린 인쇄(Screen Printing), 스퍼터링(Sputtering), 증발법(Evaporation), 잉크젯팅 및 디스펜싱 중 어느 하나 또는 이들의 조합된 방식을 이용할 수 있다. When the via hole is formed, the via 140 may be formed by filling the interior of the via hole with a conductive material. The metal material forming the via 140 may be any one material selected from copper (Cu), silver (Ag), tin (Sn), gold (Au), nickel (Ni), and palladium (Pd). , The conductive material may be filled using any one or a combination of electroless plating, electrolytic plating, screen printing, sputtering, evaporation, inkjetting and dispensing.

상기 비아(140)의 두께(T2)는 절연층(110)의 두께(T1)보다 클 수 있다. 바람직하게, 상기 비아(140)의 두께(T2)는 상기 절연층(110)의 두께(T1)와 상기 제1 회로 패턴(120)의 두께를 합한 것에 대응할 수 있다. 예를 들어, 비교 예에서의 비아의 두께는 회로 패턴의 두께에 대응되었다. 이에 반하여, 실시 예에서의 비아(140)의 두께(T2)는 절연층(110)의 두께(T1)보다 클 수 있다.A thickness T2 of the via 140 may be greater than a thickness T1 of the insulating layer 110 . Preferably, the thickness T2 of the via 140 may correspond to the sum of the thickness T1 of the insulating layer 110 and the thickness of the first circuit pattern 120 . For example, the thickness of the via in the comparative example corresponds to the thickness of the circuit pattern. On the other hand, in the embodiment, the thickness T2 of the via 140 may be greater than the thickness T1 of the insulating layer 110 .

상기 비아(140)는 제1면 및 제2면을 포함한다. 예를 들어, 상기 비아(140)의 제1면은 상면일 수 있고, 비아(140)의 제2면은 하면일 수 있다.The via 140 includes a first surface and a second surface. For example, a first surface of the via 140 may be an upper surface, and a second surface of the via 140 may be a lower surface.

상기 비아(140)의 제1면은 상기 제1 회로 패턴(120)의 제1면과 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 상기 비아(140)의 제2면은 제2 회로 패턴(130)의 패드(131, 132)의 상면과 직접 접촉할 수 있다. The first surface of the via 140 may be positioned on the same plane as the first surface of the first circuit pattern 120 . The second surface of the via 140 may directly contact upper surfaces of the pads 131 and 132 of the second circuit pattern 130 .

상기 비아(140)의 측면의 적어도 일부는 상기 제1 회로 패턴(120)과 직접 접촉할 수 있다. 예를 들어, 상기 비아(140)의 측면의 적어도 일부는 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)의 측면과 직접 접촉할 수 있다. At least a portion of a side surface of the via 140 may directly contact the first circuit pattern 120 . For example, at least a portion of a side surface of the via 140 may directly contact a side surface of the trace 121 of the first circuit pattern 120 .

상기 비아(140)는 제1면의 폭(W1)이 제2면의 폭(W2)보다 작을 수 있다. 예를 들어, 상기 비아(140)는 제1면 및 제2면의 폭이 서로 다른 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 그리고, 실시 예에서는 상기 비아(140)의 제1면 및 제2면에서 상대적으로 폭이 작은 부분을 칩 실장을 위한 실장 패드로 이용한다. 예를 들어, 비아(140)는 상기와 같이 사다리꼴 형상을 가짐에 따라, 이웃하는 비아들 사이의 간격은 제1면측(또는 상측) 및 제2면측(또는 하측)에서 서로 다를 수 있다. The width W1 of the first surface of the via 140 may be smaller than the width W2 of the second surface. For example, the via 140 may have a trapezoidal shape in which the width of the first surface and the second surface are different from each other. And, in the embodiment, a portion having a relatively small width on the first surface and the second surface of the via 140 is used as a mounting pad for chip mounting. For example, as the via 140 has a trapezoidal shape as described above, the spacing between adjacent vias may be different from each other on the first surface side (or upper side) and the second surface side (or lower side).

예를 들어, 비아(140)는 서로 이웃하는 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)를 포함한다. 이때, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 이격 간격은 상측 및 하측에서 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142) 각각은 제1면의 폭이 제2 면의 폭보다 작다. 이에 따라, 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제1면측에서의 이격 간격은 제2면측에서의 이격 간격보다 크다. 즉, 상기 제1 비아(141)와 제2 비아(142) 사이의 이격 간격은 상기 제1면측에서 가장 크고, 상기 제2면측으로 갈수록 점차 작아질 수 있다.For example, the via 140 includes a first via 141 and a second via 142 that are adjacent to each other. In this case, the spacing between the first via 141 and the second via 142 may be different from each other on the upper side and the lower side. For example, the width of the first surface of each of the first via 141 and the second via 142 is smaller than the width of the second surface. Accordingly, the separation distance between the first via 141 and the second via 142 on the first surface side is greater than the separation distance on the second surface side. That is, the spacing between the first via 141 and the second via 142 may be greatest on the first surface side and gradually decrease toward the second surface side.

이에 따라, 실시 예에서는 상대적으로 폭이 작은 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제1면을 실장 패드로 활용하도록 한다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 제1 비아(141)와 제2 비아(142)의 제2면을 실장 패드로 이용하는 것과 비교하여, 상기 제1 비아(141)와 제2 비아(142) 사이의 공간을 증가시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 비아(141)와 제2 비아(142) 사이에 배치될 수 있는 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)들 사이의 간격을 증가시킬 수 있거나, 트레이스(121)의 수를 증가시킬 수 있다. Accordingly, in the embodiment, the first surfaces of the first via 141 and the second via 142 having relatively small widths are used as mounting pads. Accordingly, in the embodiment, compared to using the second surface of the first via 141 and the second via 142 as a mounting pad, the space between the first via 141 and the second via 142 is may increase, and thus the distance between the traces 121 of the first circuit pattern 120 that may be disposed between the first via 141 and the second via 142 may be increased, The number of traces 121 may be increased.

상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 사이즈는 상호 대응될 수 있다. 예를 들어, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제1면의 폭(W1)은 20㎛ 내지 40㎛ 일 수 있다. 예를 들어, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제1면의 폭(W1)은 22㎛ 내지 37㎛일 수 있다. 예를 들어, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제1면의 폭(W1)은 25㎛ 내지 35㎛일 수 있다.The sizes of the first via 141 and the second via 142 may correspond to each other. For example, the width W1 of the first surface of the first via 141 and the second via 142 may be 20 μm to 40 μm. For example, the width W1 of the first surface of the first via 141 and the second via 142 may be 22 μm to 37 μm. For example, the width W1 of the first surface of the first via 141 and the second via 142 may be 25 μm to 35 μm.

상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제1면의 폭(W1)은 20㎛ 이하로 구현하기 어려울 수 있다. 즉, 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)는 프리프레그로 형성된 절연층(110) 내에 레이저를 이용하여 비아 홀을 형성하고, 상기 형성된 비아 홀 내부를 금속 물질로 충진하는 것에 의해 형성된다. 이때, 상기 레이저를 이용하여 비아 홀의 제1 면의 폭을 20㎛ 이하로 형성하기 어려울 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제1면의 폭(W1)이 40㎛를 초과하면, 비아들 사이의 피치가 증가할 수 있다. The width W1 of the first surface of the first via 141 and the second via 142 may be less than 20 μm. That is, the first via 141 and the second via 142 are formed by forming a via hole in the insulating layer 110 formed of prepreg using a laser, and filling the formed via hole with a metal material. is formed In this case, it may be difficult to form the width of the first surface of the via hole to be 20 μm or less using the laser. For example, when the width W1 of the first surface of the first via 141 and the second via 142 exceeds 40 μm, a pitch between the vias may increase.

이와 다르게, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제2면의 폭(W2)은 25㎛ 내지 55㎛ 일 수 있다. 예를 들어, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제2면의 폭(W2)은 27㎛ 내지 50㎛일 수 있다. 예를 들어, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제2면의 폭(W2)은 30㎛ 내지 47㎛일 수 있다.Alternatively, the width W2 of the second surface of the first via 141 and the second via 142 may be 25 μm to 55 μm. For example, the width W2 of the second surface of the first via 141 and the second via 142 may be 27 μm to 50 μm. For example, the width W2 of the second surface of the first via 141 and the second via 142 may be 30 μm to 47 μm.

즉, 일반적인 실장 패드의 피치는 비아의 폭 및 상기 비아의 폭보다 큰 폭을 가지는 실장 패드의 폭이 의해 결정된다. 또한, 상기 실장 패드들 사이에는 적어도 1개의 트레이스가 배치되어야 하며, 이에 따라 상기 실장 패드의 폭 및 상기 트레이스의 폭에 의해 비교 예에서는 상기 실장 패드의 피치가 100㎛를 초과하였다. 이와 다르게, 실시 예에서는 칩의 실장을 위한 실장 패드를 별도로 형성하지 않고, 비아의 일부를 실장 패드로 이용한다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 비아 자체가 실장 패드로 활용되기 때문에, 상기 실장 패드의 피치는 상기 비아의 폭만을 고려하면 되며, 이에 따라 비교 예 대비 실장 패드의 피치를 줄일 수 있다. That is, the pitch of the general mounting pad is determined by the width of the via and the width of the mounting pad having a width greater than the width of the via. In addition, at least one trace should be disposed between the mounting pads. Accordingly, in the comparative example, the pitch of the mounting pads exceeds 100 μm due to the width of the mounting pad and the width of the trace. Unlike this, in the embodiment, the mounting pad for mounting the chip is not separately formed, and a portion of the via is used as the mounting pad. Accordingly, in the embodiment, since the via itself is used as a mounting pad, the pitch of the mounting pad only needs to consider the width of the via, and thus the pitch of the mounting pad can be reduced compared to the comparative example.

다시 말해서, 도 2a에 도시된 제1 회로 패턴(120), 제2 회로 패턴(130) 및 비아(140)의 구조를 정리하면 다음과 같다.In other words, the structures of the first circuit pattern 120 , the second circuit pattern 130 , and the via 140 illustrated in FIG. 2A are summarized as follows.

실시 예에서, 비아(140)는 폭 방향으로 이격되는 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)를 포함한다. 이때, 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142) 각각은 절연층(110)의 두께보다 큰 두께를 가진다. 예를 들어, 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142) 각각은 절연층(110)의 두께에 제1 회로 패턴(120)의 두께를 합한 두께를 가질 수 있다. 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 제1면 또는 상면은 제1 회로 기판(100)의 제1면 또는 상면과 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)는 측면을 통해 제1 회로 패턴(120)과 연결될 수 있다. 즉, 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 측면은 제1 회로 패턴(120)의 측면과 연결될 수 있다. In an embodiment, the via 140 includes a first via 141 and a second via 142 that are spaced apart from each other in the width direction. In this case, each of the first via 141 and the second via 142 has a thickness greater than that of the insulating layer 110 . For example, each of the first via 141 and the second via 142 may have a thickness obtained by adding the thickness of the insulating layer 110 to the thickness of the first circuit pattern 120 . The first surface or top surface of the first via 141 and the second via 142 may be located on the same plane as the first surface or top surface of the first circuit board 100 . The first via 141 and the second via 142 may be connected to the first circuit pattern 120 through side surfaces. That is, side surfaces of the first via 141 and the second via 142 may be connected to the side surface of the first circuit pattern 120 .

즉, 상기 제1 회로 패턴(120)는 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142) 사이에 배치되는 적어도 1개의 트레이스(121)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 트레이스(121)의 일측면은 상기 제1 비아(141)의 측면과 직접 마주보며 배치될 수 있다. 또한, 트레이스(121)의 다른 일측면은 상기 제2 비아(142)의 측면과 직접 마주보며 배치될 수 있다. That is, the first circuit pattern 120 may include at least one trace 121 disposed between the first via 141 and the second via 142 . Accordingly, one side of the trace 121 may be disposed to directly face the side of the first via 141 . In addition, the other side of the trace 121 may be disposed to directly face the side of the second via 142 .

그리고, 제2 회로 패턴(130)은 상기 제1 비아(141)와 연결되는 제1 패드(131) 및 상기 제2 비아(142)와 연결되는 제2 패드(132)를 포함한다. 이때, 상기 제2 회로 패턴(130)은 트레이스를 포함하기는 하나, 상기 제1 패드(131)와 제2 패드(132)의 사이의 영역을 회피하며 배치될 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 제1 패드(131)와 제2 패드(132) 사이의 간격을 최소화할 수 있다. 일반적인 비교 예의 회로 기판의 구조에서, 상기 제1 패드 및 제2 패드는 두께 방향으로, 상기 제1 회로 패턴의 트레이스와 오버랩되지 않는다. 예를 들어, 비교 예에서, 상기 제1 패드 및 제2 패드는 두께 방향으로, 상기 제1 회로 패턴의 패드들과 연결된다. 이에 반하여, 실시 예에서는 상기 제1 회로 패턴(120)의 실장 패드를 제거하고, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)를 실장 패드로 이용하기 때문에, 비교 예에서, 실장 패드가 배치되었던 영역에 더 많은 트레이스를 배치할 수 있다. 따라서, 실시 예에서, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)는 두께 방향으로 상기 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131) 및 제2 패드(132) 중 적어도 하나와 오버랩될 수 있다.In addition, the second circuit pattern 130 includes a first pad 131 connected to the first via 141 and a second pad 132 connected to the second via 142 . In this case, although the second circuit pattern 130 includes traces, it may be disposed while avoiding a region between the first pad 131 and the second pad 132 . Accordingly, in the embodiment, the gap between the first pad 131 and the second pad 132 may be minimized. In the structure of the circuit board of the general comparative example, the first pad and the second pad do not overlap the traces of the first circuit pattern in the thickness direction. For example, in the comparative example, the first pad and the second pad are connected to the pads of the first circuit pattern in the thickness direction. In contrast, in the embodiment, since the mounting pad of the first circuit pattern 120 is removed and the first via 141 and the second via 142 are used as the mounting pads, in the comparative example, the mounting pads are disposed More traces can be placed in the area where they were. Accordingly, in an embodiment, the trace 121 of the first circuit pattern 120 overlaps with at least one of the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 in the thickness direction. can be

상기와 같은 구조에 의해, 실시 예에서는 제1 비아(141) 및 제2 비아(142) 자체를 실장 패드로 이용함에 따라, 실장 패드의 피치를 감소시킬 수 있다.With the above structure, in the embodiment, the first via 141 and the second via 142 themselves are used as the mounting pad, so that the pitch of the mounting pad can be reduced.

절연층(110)의 제1면에는 제1 보호층(150)이 배치되고, 절연층(110)의 제2면에는 제2 보호층(155)이 배치된다.A first passivation layer 150 is disposed on a first surface of the insulating layer 110 , and a second passivation layer 155 is disposed on a second surface of the insulating layer 110 .

상기 제1 보호층(150) 및 상기 제2 보호층(155)은 솔더 레지스트일 수 있다. 상기 제1 보호층(150) 및 상기 제2 보호층(155)은 적어도 1개의 개구부를 포함할 수 있다. The first passivation layer 150 and the second passivation layer 155 may be solder resist. The first passivation layer 150 and the second passivation layer 155 may include at least one opening.

상기 제1 보호층(150)의 개구부의 폭(W8)은 상기 비아(140)의 제1면의 폭(W1)보다 클 수 있다. 즉, 상기 제1 회로 패턴(120)의 개구부는 상기 비아(140)의 제1면보다 큰 폭을 가지며, 이에 따라 상기 비아(140)의 제1면의 전체를 노출할 수 있다. 다만, 이는 일 실시 예에 불과할 뿐, 상기 제1 보호층(150)의 개구부의 폭(W8)은 상기 비아(141)의 제1면의 폭보다 작을 수 있으며, 이에 따라 상기 비아(141)의 제1면의 적어도 일부는 상기 제1 보호층(150)에 의해 덮일 수 있다.A width W8 of the opening of the first passivation layer 150 may be greater than a width W1 of the first surface of the via 140 . That is, the opening of the first circuit pattern 120 has a greater width than the first surface of the via 140 , and thus the entire first surface of the via 140 may be exposed. However, this is only an example, and the width W8 of the opening of the first passivation layer 150 may be smaller than the width of the first surface of the via 141 . At least a portion of the first surface may be covered by the first passivation layer 150 .

제2 보호층(155)의 개구부의 폭은 상기 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 폭(W3)보다 작을 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 제2면 또는 하면 중 적어도 일부는 상기 제2 보호층(155)에 의해 덮일 수 있다. 다만, 이는 일 실시 예에 불과할 뿐, 상기 제2 보호층(155)의 개구부의 폭은 상기 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 폭보다 클 수 있고, 이에 따라 상기 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 제2면 또는 하면의 전체 영역은 상기 제2 보호층(155)의 개구부를 통해 노출될 수 있다.The width of the opening of the second passivation layer 155 may be smaller than the width W3 of the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 . Accordingly, at least a portion of the second surface or lower surface of the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 may be covered by the second passivation layer 155 . However, this is only an example, and the width of the opening of the second protective layer 155 may be greater than the width of the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 . Accordingly, the entire area of the second surface or lower surface of the first pad 131 and the second pad 132 may be exposed through the opening of the second passivation layer 155 .

실시 예에서, 회로 기판(100)은 표면 처리층을 포함한다. 상기 표면 처리층은 패드의 부식 및 산화를 방지하면서, 솔더성을 높이기 위해 형성될 수 있다. 이때, 상기 표면 처리층은 일반적으로, 제1 회로 패턴 및 제2 회로 패턴 상에 배치된다. 반면, 실시 예에서, 제1 회로 패턴은 실장 패드를 포함하지 않고, 비아가 실장 패드로 기능한다. 이에 따라, 실시 예에서는 비아 상에 표면 처리층이 배치될 수 있다.In an embodiment, the circuit board 100 includes a surface treatment layer. The surface treatment layer may be formed to increase solderability while preventing corrosion and oxidation of the pad. In this case, the surface treatment layer is generally disposed on the first circuit pattern and the second circuit pattern. On the other hand, in an embodiment, the first circuit pattern does not include a mounting pad, and the via functions as a mounting pad. Accordingly, in the embodiment, a surface treatment layer may be disposed on the via.

예를 들어, 제1 보호층(150)의 개구부를 통해 노출된 비아(140)의 제1 면 상에는 제1 표면 처리층(160)이 배치될 수 있다. For example, the first surface treatment layer 160 may be disposed on the first surface of the via 140 exposed through the opening of the first passivation layer 150 .

상기 제1 표면 처리층(160)은 OSP(Organic Solderability Preservative) 층일 수 있다. 바람직하게, 상기 제1 표면 처리층(160)은 상기 비아(140)의 제1면 상에 코팅된 벤지미다졸(Benzimidazole)과 같은 유기물로 형성된 유기층일 수 있다.The first surface treatment layer 160 may be an Organic Solderability Preservative (OSP) layer. Preferably, the first surface treatment layer 160 may be an organic layer formed of an organic material such as benzimidazole coated on the first surface of the via 140 .

이와 다르게, 상기 제1 표면 처리층(160)은 도금층일 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 표면 처리층(160)은 상기 비아(140)의 제1면에 무전해 도금된 금(Au) 도금층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 표면 처리층(160)은 상기 비아(140)의 제1면에 무전해 도금된 니켈(Ni) 도금층과, 상기 니켈 도금층에 무전해 도금된 금(Au) 도금층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 표면 처리층(160)은 상기 비아(140)의 제1면에 무전해 도금된 니켈(Ni) 도금층과, 상기 니켈 도금층에 무전해 도금된 팔라듐(Pd) 도금층과, 상기 팔라듐 도금층에 무전해 도금된 금(Au) 도금층을 포함할 수 있다.Alternatively, the first surface treatment layer 160 may be a plating layer. For example, the first surface treatment layer 160 may include a gold (Au) plating layer electrolessly plated on the first surface of the via 140 . For example, the first surface treatment layer 160 includes a nickel (Ni) plating layer electrolessly plated on the first surface of the via 140 and a gold (Au) plating layer electrolessly plated on the nickel plating layer. can do. For example, the first surface treatment layer 160 may include a nickel (Ni) plating layer electrolessly plated on the first surface of the via 140, a palladium (Pd) plating layer electrolessly plated on the nickel plating layer, and; It may include a gold (Au) plating layer electroless-plated on the palladium plating layer.

일 실시 예에서, 상기 제1 표면 처리층(160)은 상기 비아(140)의 제1면의 폭에 대응하는 폭을 가질 수 있다. 즉, 상기와 같이 제1 표면 처리층(160)은 무전해 도금에 의해, 상기 비아(140)의 제1면에만 선택적으로 형성될 수 있다. 따라서, 일 실시 예에서, 상기 제1 표면 처리층(160)의 폭은 상기 비아(140)의 제1면의 폭(W1)에 대응할 수 있다.In an embodiment, the first surface treatment layer 160 may have a width corresponding to the width of the first surface of the via 140 . That is, as described above, the first surface treatment layer 160 may be selectively formed only on the first surface of the via 140 by electroless plating. Accordingly, in an embodiment, the width of the first surface treatment layer 160 may correspond to the width W1 of the first surface of the via 140 .

이에 대응하게, 제2 표면 처리층(170)은 상기 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 제2면 또는 하면에 배치된다. 상기 제2 표면 처리층(170)은 OSP(Organic Solderability Preservative) 층일 수 있다. 바람직하게, 상기 제2 표면 처리층(170)은 상기 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 제2면 또는 하면 상에 코팅된 벤지미다졸(Benzimidazole)과 같은 유기물로 형성된 유기층일 수 있다.Correspondingly, the second surface treatment layer 170 is disposed on the second surface or lower surface of the first pad 131 and the second pad 132 . The second surface treatment layer 170 may be an Organic Solderability Preservative (OSP) layer. Preferably, the second surface treatment layer 170 is an organic layer formed of an organic material such as benzimidazole coated on the second surface or lower surface of the first pad 131 and the second pad 132 . can

이와 다르게, 상기 제2 표면 처리층(170)은 도금층일 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 표면 처리층(170)은 무전해 도금된 금(Au) 도금층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 표면 처리층(170)은 무전해 도금된 니켈(Ni) 도금층과, 상기 니켈 도금층에 무전해 도금된 금(Au) 도금층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 표면 처리층(170)은 무전해 도금된 니켈(Ni) 도금층과, 상기 니켈 도금층에 무전해 도금된 팔라듐(Pd) 도금층과, 상기 팔라듐 도금층에 무전해 도금된 금(Au) 도금층을 포함할 수 있다.Alternatively, the second surface treatment layer 170 may be a plating layer. For example, the second surface treatment layer 170 may include an electroless-plated gold (Au) plating layer. For example, the second surface treatment layer 170 may include an electroless plating nickel (Ni) plating layer and a gold (Au) plating layer electroless plating on the nickel plating layer. For example, the second surface treatment layer 170 may include an electroless plated nickel (Ni) plated layer, a palladium (Pd) plated layer electrolessly plated on the nickel plated layer, and an electroless plated gold (Pd) plated layer on the palladium plated layer. Au) may include a plating layer.

도 2b를 참조하면, 실시 예에서의 비아(140)들 사이의 피치(P1)는 100㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서의 비아(140)들 사이의 피치(P1)는 90㎛ 이하일 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서의 비아(140)들 사이의 피치(P1)는 80㎛이하일 수 있다. Referring to FIG. 2B , in the embodiment, the pitch P1 between the vias 140 may be 100 μm or less. For example, in the embodiment, the pitch P1 between the vias 140 may be 90 μm or less. For example, in the embodiment, the pitch P1 between the vias 140 may be 80 μm or less.

즉, 실시 예에서는 비아(140)의 표면 중 상대적으로 작은 폭을 가지는 제1면을 실장 패드로 이용한다. 이에 따라, 상호 이웃하는 복수의 비아들의 중심 사이의 간격인 피치(P1)를 비교 예 대비 줄일 수 있다.That is, in the embodiment, the first surface having a relatively small width among the surfaces of the via 140 is used as the mounting pad. Accordingly, the pitch P1, which is a distance between centers of a plurality of adjacent vias, may be reduced compared to the comparative example.

즉, 실시 예에서는 비아(140)의 상부에 배치되는 추가적인 실장 패드를 제거한다. 그리고 실시 예에서는 비아(140)의 제2면과 접촉하는 제1 패드(131) 및 제2 패드(132) 사이의 간격을 최소화한다. 이때, 도 1b에서와 같은 비교 예에서도, 제2 회로 패턴(30)의 복수의 패드 사이의 간격을 최소화함에 따라 제1 회로 패턴(20)으로 구성되는 실장 패드의 피치를 줄일 수 있는 것처럼 보이나, 실질적으로 도 1b에서는 상기 제1 회로 패턴으로 구성되는 실장 패드의 피치를 100㎛ 이하로 줄이기 어렵다. 이는, 상기 제1 회로 패턴(20)으로 구성되는 실장 패드들 사이에 적어도 1개의 트레이스(21)가 배치되어야 한다. 이에 따라, 비교 예에서는 상기 제1 회로 패턴(20)으로 구성되는 실장 패드들의 폭, 그리고 이들 사이에 배치되는 트레이스(21)의 선폭 및 간격에 의해 상기, 상기 제2 회로 패턴(30)의 패드 사이의 간격을 30㎛ 이하로 줄이지 못하기 때문이다. 즉, 비교 예에서는 제2 회로 패턴의 제1 패드와 제2 패드의 사이의 간격을 30㎛ 이하로 줄이지 못하였으며, 이에 따라 제1 회로 패턴으로 구성되는 실장 패드들 사이의 피치는 100㎛를 초과하였다.That is, in the embodiment, an additional mounting pad disposed on the via 140 is removed. In addition, in the embodiment, the gap between the first pad 131 and the second pad 132 in contact with the second surface of the via 140 is minimized. At this time, even in the comparative example as in Fig. 1b, it seems that the pitch of the mounting pads composed of the first circuit pattern 20 can be reduced by minimizing the spacing between the plurality of pads of the second circuit pattern 30, In fact, in FIG. 1B , it is difficult to reduce the pitch of the mounting pads formed of the first circuit pattern to 100 μm or less. In this case, at least one trace 21 should be disposed between the mounting pads formed of the first circuit pattern 20 . Accordingly, in the comparative example, the pad of the second circuit pattern 30 is determined by the width of the mounting pads formed of the first circuit pattern 20 and the line width and spacing of the traces 21 disposed therebetween. This is because the gap between them cannot be reduced to less than 30 μm. That is, in the comparative example, the interval between the first pad and the second pad of the second circuit pattern could not be reduced to 30 μm or less, and accordingly, the pitch between the mounting pads formed of the first circuit pattern exceeded 100 μm. did.

이에 반하여, 실시 예에서는, 비아(140)의 제1면을 실장패드로 활용한다. 이에 의해, 실시 예에서는 상기 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131) 및 제2 패드(132) 사이의 간격을 30㎛ 이하로 줄이더라도(나아가, 2㎛까지 줄이더라도), 상기 복수의 비아들 사이의 공간에 적어도 1개의 트레이스(121)를 배치할 공간이 충분히 나오게 된다. 이에 따라, 실시 예에서는 비아(140)를 실장 패드로 활용하면서, 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131) 및 제2 패드(132) 사이의 간격을 30㎛ 이하로 줄임에 따라, 비아(140)들의 중심 사이의 간격인 피치(P1)를 100㎛ 이하, 나아가 90㎛ 이하, 더 나아가, 80㎛이하까지 낮출 수 있다.In contrast, in the embodiment, the first surface of the via 140 is used as a mounting pad. Accordingly, in the embodiment, even if the distance between the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 is reduced to 30 μm or less (and further reduced to 2 μm), the plurality of A space for arranging at least one trace 121 is sufficiently provided in the space between the vias. Accordingly, in the embodiment, as the distance between the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 is reduced to 30 μm or less while using the via 140 as a mounting pad, The pitch P1 , which is a distance between the centers of the vias 140 , may be lowered to 100 μm or less, further to 90 μm or less, and further to 80 μm or less.

이하에서는, 도 2a에 도시된 제1 실시 예에 따른 회로 기판의 변형 예에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a modified example of the circuit board according to the first embodiment shown in FIG. 2A will be described.

-변형 예--Variation example-

도 3은 제1 변형 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.3 is a diagram illustrating a circuit board according to a first modified example.

도 3은 도 2a 대비, 제1 보호층(150)의 개구부의 폭 및 이에 따른 제1 표면 처리층(160)의 폭에 차이가 있다.In FIG. 3 , there is a difference in the width of the opening of the first passivation layer 150 and the width of the first surface treatment layer 160 according to FIG. 2A .

제1 변형 예에 따른 회로 기판(100a)은 도 2a의 회로 기판에 대응하게, 절연층(110), 제1 회로 패턴(120), 제2 회로 패턴(130), 비아(140), 제2 보호층(155) 및 제2 표면 처리층(170)을 포함한다.The circuit board 100a according to the first modified example corresponds to the circuit board of FIG. 2A , the insulating layer 110 , the first circuit pattern 120 , the second circuit pattern 130 , the via 140 , and the second It includes a protective layer 155 and a second surface treatment layer 170 .

상기 회로 기판(100a)은 제1 보호층(150a)을 포함한다. 상기 제1 보호층(150a)은 절연층(110)의 제1면 또는 상면에 배치된다.The circuit board 100a includes a first passivation layer 150a. The first protective layer 150a is disposed on the first surface or the upper surface of the insulating layer 110 .

상기 제1 보호층(150a)은 상기 비아(140)의 제1면의 적어도 일부를 노출하는 개구부를 포함한다. 또한, 상기 제1 보호층(150a)은 상기 절연층(110)의 제1면에 매립된 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)를 덮으며 배치될 수 있다.The first passivation layer 150a includes an opening exposing at least a portion of the first surface of the via 140 . In addition, the first passivation layer 150a may be disposed to cover the traces 121 of the first circuit pattern 120 buried in the first surface of the insulating layer 110 .

이때, 상기 제1 보호층(150a)의 폭(W8')은 상기 비아(140)의 제1면의 폭(W1)보다 작을 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 보호층(150a)은 상기 비아(140)의 제1면의 적어도 일부를 덮으며 배치될 수 있다.In this case, the width W8 ′ of the first passivation layer 150a may be smaller than the width W1 of the first surface of the via 140 . For example, the first passivation layer 150a may be disposed to cover at least a portion of the first surface of the via 140 .

그리고, 상기 제1 표면 처리층(160a)은 상기 제1 보호층(150a)의 개구부를 통해 노출된 상기 비아(140)의 제1면에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 표면 처리층(160a)은 상기 제1 보호층(150a)의 폭(W8')과 동일한 폭을 가질 수 있다. 예를 등러, 상기 제1 표면 처리층(160a)은 상기 제1 보호층(150a)의 개구부를 마스크로 하여 형성될 수 있으며, 이에 따라, 상기 제1 보호층(150a)의 개구부의 폭(W8')과 동일한 폭을 가지며 형성될 수 있다.In addition, the first surface treatment layer 160a may be disposed on the first surface of the via 140 exposed through the opening of the first passivation layer 150a. Accordingly, the first surface treatment layer 160a may have the same width as the width W8' of the first passivation layer 150a. For example, the first surface treatment layer 160a may be formed using the opening of the first passivation layer 150a as a mask, and thus the width W8 of the opening of the first passivation layer 150a. ') and may be formed with the same width.

도 4a는 제2 변형 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이고, 도 4b는 도 4a에서, 실장 패드로 이용되는 비아의 피치를 설명하기 위한 도면이다.4A is a diagram illustrating a circuit board according to a second modified example, and FIG. 4B is a diagram illustrating a pitch of vias used as mounting pads in FIG. 4A .

도 4a를 참조하면, 제2 변형 예에 따른 회로 기판(100b)은 도 2a 대비, 제1 회로 패턴(120)에 있어 차이가 있다.Referring to FIG. 4A , the circuit board 100b according to the second modified example is different from FIG. 2A in the first circuit pattern 120 .

예를 들어, 도 2a에서는 제1 비아(141) 및 제2 비아(142) 사이의 공간에, 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121)가 1개만 배치되었다. 이에 따라, 도 2a에서는 비교 예 대비, 실장 패드의 피치를 감소시킬 수 있음과 동시에, 동일 공간 내에서 트레이스와 실장 패드 사이의 간격을 증가시킬 수 있었다.For example, in FIG. 2A , only one trace 121 of the first circuit pattern 120 is disposed in a space between the first via 141 and the second via 142 . Accordingly, in FIG. 2A , compared to the comparative example, it is possible to reduce the pitch of the mounting pads and increase the spacing between the traces and the mounting pads in the same space.

이와 다르게, 제2 변형 예에 따른 회로 기판(100b)은 제1 회로 패턴(120)을 포함한다. 이때, 상기 제1 회로 패턴(120)은 상기 제1 비아(141)의 측면 및 제2 비아(142)의 측면 사이에 배치되는 트레이스를 포함한다. Alternatively, the circuit board 100b according to the second modification includes the first circuit pattern 120 . In this case, the first circuit pattern 120 includes a trace disposed between the side surface of the first via 141 and the side surface of the second via 142 .

이때, 실시 예에서, 상기 제1 회로 패턴(120)은 상기 제1 비아(141) 및 상기 제2 비아(142) 사이에 적어도 2개의 트레이스가 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)은 상기 제1 비아(141)의 측면으로부터 일정 간격(W7') 이격된 제1 트레이스(121a)와, 상기 제2 트레이스(121a)와 제2 비아(142)의 측면 사이 상호 일정 간격(W7') 이격된 제2 트레이스(121b)를 포함할 수 있다.In this case, in an embodiment, in the first circuit pattern 120 , at least two traces may be disposed between the first via 141 and the second via 142 . For example, the first circuit pattern 120 may include a first trace 121a spaced apart from a side surface of the first via 141 by a predetermined distance W7 ′, the second trace 121a and the second via. A second trace 121b spaced apart from each other by a predetermined distance W7' between the sides of the 142 may be included.

상기 제1 회로 패턴(120)의 복수의 트레이스(121a, 121b)는 특정 선폭(W6)과 특정 간격(W7')을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121a, 121b)의 선폭(W6)은 6㎛ 내지 20㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121a, 121b)의 선폭(W6)은 7㎛ 내지 15㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121a, 121b)의 선폭(W6)은 8㎛ 내지 12㎛의 범위를 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121a, 121b)의 간격(W7')은 6㎛ 내지 20㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121a, 121b)의 간격(W7')은 7㎛ 내지 15㎛의 범위를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스(121a, 121b)의 간격(W7')은 8㎛ 내지 12㎛의 범위를 가질 수 있다. 여기에서, 상기 간격(W7')은 제1 회로 패턴(120)을 구성하는 복수의 트레이스들 사이의 이격 간격을 의미할 수 있다. 또한, 상기 간격(W7')은 상기 제1 회로 패턴(120)을 구성하는 트레이스(121a, 121b)와, 실시 예에서 실장 패드로 이용되는 비아(140) 사이의 간격을 의미할 수 있다.The plurality of traces 121a and 121b of the first circuit pattern 120 may have a specific line width W6 and a specific interval W7'. For example, the line width W6 of the traces 121a and 121b of the first circuit pattern 120 may be in a range of 6 μm to 20 μm. For example, the line width W6 of the traces 121a and 121b of the first circuit pattern 120 may be in a range of 7 μm to 15 μm. For example, the line width W6 of the traces 121a and 121b of the first circuit pattern 120 may be in a range of 8 μm to 12 μm. Also, the interval W7 ′ between the traces 121a and 121b of the first circuit pattern 120 may be in a range of 6 μm to 20 μm. For example, the interval W7 ′ between the traces 121a and 121b of the first circuit pattern 120 may be in a range of 7 μm to 15 μm. For example, the interval W7 ′ between the traces 121a and 121b of the first circuit pattern 120 may be in a range of 8 μm to 12 μm. Here, the spacing W7 ′ may mean a spacing between a plurality of traces constituting the first circuit pattern 120 . Also, the gap W7 ′ may mean a gap between the traces 121a and 121b constituting the first circuit pattern 120 and the via 140 used as a mounting pad in the embodiment.

도 4b를 참조하면, 실시 예에서는 상기와 같이 실장 패드를 별도로 형성하지 않고, 제1 비아(141) 및 제2 비아(142)의 각각의 제1면을 이용하기 때문에, 비교 예와 같이 별도의 실장 패드가 형성되는 것 대비, 실장 패드의 피치를 줄일 수 있다. 나아가, 실시 예에서는 상기 실장 패드의 피치가 줄어드는 것과 동시에, 상기 실장 패드로 이용되는 제1 비아(141)와 제2 비아(142) 사이의 공간을 충분히 확보할 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 제1 비아(141)와 제2 비아(142) 사이의 공간에 1개의 트레이스가 아닌 적어도 2개의 트레이스가 배치될 수 있도록 할 수 있다. 이때, 실시 예에서는 상기 제1 비아(141) 및 제2 비아(142) 사이의 공간에 제1 트레이스(121a) 및 제2 트레이스(121b)가 배치되어도, 상기 복수의 비아들 사이의 피치(P1)가 100㎛ 이하, 나아가 90㎛ 이하, 더 나아가 80㎛ 이하가 되도록 할 수 있다.Referring to FIG. 4B , in the embodiment, since the first surface of each of the first via 141 and the second via 142 is used instead of separately forming the mounting pad as described above, a separate method as in the comparative example is used. It is possible to reduce the pitch of the mounting pad compared to that in which the mounting pad is formed. Furthermore, in the embodiment, while the pitch of the mounting pad is reduced, a space between the first via 141 and the second via 142 used as the mounting pad may be sufficiently secured. Accordingly, in the embodiment, not one trace, but at least two traces may be disposed in the space between the first via 141 and the second via 142 . In this case, in the embodiment, even if the first trace 121a and the second trace 121b are disposed in the space between the first via 141 and the second via 142 , the pitch P1 between the plurality of vias ) may be 100 µm or less, further 90 µm or less, and further 80 µm or less.

도 5는 제3 변형 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.5 is a diagram illustrating a circuit board according to a third modified example.

도 5를 참조하면, 회로 기판(100c)은 절연층의 층수를 기준으로 다층 구조를 가질 수 있다.Referring to FIG. 5 , the circuit board 100c may have a multi-layered structure based on the number of insulating layers.

예를 들어, 도 2a에서의 회로 기판(100)은 절연층의 층수를 기준으로 1층 구조를 가졌다. For example, the circuit board 100 in FIG. 2A has a one-layer structure based on the number of insulating layers.

이에 반하여, 도 5에서와 같이 제3 변형 예에 따른 회로 기판(100c)은 다층구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 회로 기판(100c)은 절연층의 층수를 기준으로 5층 구조를 가질 수 있다. 다만, 이는 일 실시 예에 불과할 뿐, 상기 회로 기판(100c)은 절연층의 층수를 기준으로 2층 내지 4층의 층수를 가질 수 있으며, 이와 다르게 6층 이상의 층수를 가질 수도 있을 것이다.On the other hand, as shown in FIG. 5 , the circuit board 100c according to the third modification may have a multi-layered structure. For example, the circuit board 100c may have a five-layer structure based on the number of insulating layers. However, this is only an example, and the circuit board 100c may have 2 to 4 layers based on the number of insulating layers, or may have 6 or more layers differently.

회로 기판(100c)은 절연층(110c)을 포함한다.The circuit board 100c includes an insulating layer 110c.

상기 절연층(110c)은 위에서부터 차례로 제1 절연층(111c), 제2 절연층(112c), 제3 절연층(113c), 제4 절연층(114c) 및 제5 절연층(115c)을 포함할 수 있다. The insulating layer 110c is formed by sequentially forming a first insulating layer 111c, a second insulating layer 112c, a third insulating layer 113c, a fourth insulating layer 114c, and a fifth insulating layer 115c from above. may include

상기 제1 절연층(111c)은 상기 회로 기판(100c)에서 제1 최외측에 배치된 제1 최외측 절연층일 수 있다. 또한, 상기 제5 절연층(115c)은 회로 기판(100c)에서 상기 제1 최외측과 반대되는 제2 최외측에 배치된 제2 최외측 절연층일 수 있다.The first insulating layer 111c may be a first outermost insulating layer disposed on the first outermost side of the circuit board 100c. Also, the fifth insulating layer 115c may be a second outermost insulating layer disposed on the second outermost side opposite to the first outermost side of the circuit board 100c.

또한, 제2 절연층(112c), 제3 절연층(113c) 및 제4 절연층(114c)은 회로 기판(100c)의 내측에 배치된 내측 절연층일 수 있다. Also, the second insulating layer 112c , the third insulating layer 113c , and the fourth insulating layer 114c may be inner insulating layers disposed inside the circuit board 100c .

회로 기판(100c)은 절연층(110c)의 표면에 각각 배치된 회로 패턴을 포함한다.The circuit board 100c includes circuit patterns respectively disposed on the surface of the insulating layer 110c.

예를 들어, 회로 기판(100c)은 제1 절연층(111c)의 제1면에 배치된 제1 회로 패턴(120), 제1 절연층(111c)의 제1면과 제2 절연층(112c)의 제2면 사이에 배치된 제2 회로 패턴(130)을 포함한다.For example, the circuit board 100c includes a first circuit pattern 120 disposed on a first surface of the first insulating layer 111c, a first surface of the first insulating layer 111c, and a second insulating layer 112c. ) and a second circuit pattern 130 disposed between the second surfaces.

이때, 도 2a에 도시된 회로 기판(100)에서의 절연층(110)은 칩이 실장되는 칩 실장 영역과 가장 인접하게 배치된 절연층이다. 예를 들어, 회로 기판의 다층 구조를 가지는 경우, 도 2a에서의 절연층(110)은 제1 최외측 절연층이다. 따라서, 도 2a, 도 3 및 도 4a에 도시된 절연층, 제1 회로 패턴, 제2 회로 패턴 및 비아는, 도 5에서의 제1 최외측 절연층에 대응하는, 제1 절연층(111c), 상기 제1 절연층(111c)의 제1면에 배치된 제1 회로 패턴(120), 상기 제1 절연층(111c)의 제2면에 배치되는 제2 회로 패턴(130) 및 상기 제1 절연층(111c)을 관통하는 비아(140)에 대응할 수 있다.In this case, the insulating layer 110 in the circuit board 100 shown in FIG. 2A is an insulating layer disposed closest to the chip mounting region in which the chip is mounted. For example, when the circuit board has a multilayer structure, the insulating layer 110 in FIG. 2A is the first outermost insulating layer. Accordingly, the insulating layer, the first circuit pattern, the second circuit pattern and the via shown in FIGS. 2A, 3 and 4A are the first insulating layer 111c corresponding to the first outermost insulating layer in FIG. 5 . , a first circuit pattern 120 disposed on a first surface of the first insulating layer 111c, a second circuit pattern 130 disposed on a second surface of the first insulating layer 111c, and the first It may correspond to the via 140 penetrating the insulating layer 111c.

다만, 도 2a에서의 제2 회로 패턴(130)의 제1 패드(131) 및 제2 패드(132)의 제2면에는 제2 표면 처리층(170)이 배치되었으나, 도 5와 같은 다층 구조에서, 상기 제2 표면 처리층(170)은 제2 최하측 절연층인 제5 절연층(115c)의 하면에 배치된 회로 패턴(182)의 하면에 배치될 수 있을 것이다. 또한, 도 2a에서 제2 보호층(155)은 절연층(110)의 하면에 배치되었으나, 도 5와 같은 다층 구조에서, 상기 제2 보호층(155)은 제2 최하측 절연층인 제5 절연층(115c)의 하면에 배치될 수 있을 것이다.However, although the second surface treatment layer 170 is disposed on the second surfaces of the first pad 131 and the second pad 132 of the second circuit pattern 130 in FIG. 2A , the multilayer structure shown in FIG. 5 . , the second surface treatment layer 170 may be disposed on the lower surface of the circuit pattern 182 disposed on the lower surface of the fifth insulating layer 115c, which is the second lowermost insulating layer. In addition, although the second protective layer 155 is disposed on the lower surface of the insulating layer 110 in FIG. 2A , in the multilayer structure as shown in FIG. 5 , the second protective layer 155 is a fifth lowermost insulating layer. It may be disposed on the lower surface of the insulating layer 115c.

한편, 다층 구조에서의 회로 기판(100c)은, 절연층(110c)의 내측에 배치되는 회로 패턴(181, 182, 183)과, 각각의 절연층(110c)을 관통하는 비아(191, 192, 193, 194)를 더 포함할 수 있다. On the other hand, the circuit board 100c in the multilayer structure includes circuit patterns 181 , 182 , 183 disposed inside the insulating layer 110c , and vias 191 , 192 passing through each insulating layer 110c , 193, 194) may be further included.

여기에서, 다층 구조에서, 각각의 절연층(110c) 내에 배치된 비아들의 두께는 다를 수 있다. Here, in the multilayer structure, thicknesses of vias disposed in each insulating layer 110c may be different.

즉, 제1 절연층(111c)에 배치된 비아(140)는 상기 설명한 바와 같이, 실장 패드의 기능까지 수행하며, 이에 따라 상기 제1 절연층(111c)이 가지는 두께보다 큰 두께를 가질 수 있다.That is, the via 140 disposed on the first insulating layer 111c may function as a mounting pad as described above, and thus may have a thickness greater than the thickness of the first insulating layer 111c. .

이에 반하여, 제2 절연층(112c), 제3 절연층(113c), 제4 절연층(114c) 및 제5 절연층(115c) 내에 각각 배치된 비아(191, 192, 193, 194)는 제2 절연층(112c), 제3 절연층(113c), 제4 절연층(114c) 및 제5 절연층(115c)의 각각의 두께와 동일할 수 있다.In contrast, vias 191 , 192 , 193 , and 194 respectively disposed in the second insulating layer 112c , the third insulating layer 113c , the fourth insulating layer 114c , and the fifth insulating layer 115c are Each of the second insulating layer 112c, the third insulating layer 113c, the fourth insulating layer 114c, and the fifth insulating layer 115c may have the same thickness.

도 6a는 실시 예에 따른 회로 기판의 변형 예를 나타낸 도면이고, 도 6b는 도 6a에 대응하는 실제 제품에서의 트레이스를 나타내는 SAM 도면이다.6A is a diagram illustrating a modified example of a circuit board according to an embodiment, and FIG. 6B is a SAM diagram showing traces in an actual product corresponding to FIG. 6A.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 실시 예에의 제1 회로 패턴(120) 및 비아(140)는 ETS 공법으로 제조된다. 6A and 6B , the first circuit pattern 120 and the via 140 according to the embodiment are manufactured by the ETS method.

이에 따라, 회로 기판의 제조는, 상기 제1 회로 패턴(120)의 제1면과 상기 비아(140)의 제1면에 배치된 금속 시드층(미도시)에 의해 진행되며, 최종 제조 단계에서 상기 금속 시드층은 에칭에 의해 제거된다.Accordingly, the circuit board is manufactured by a metal seed layer (not shown) disposed on the first surface of the first circuit pattern 120 and the first surface of the via 140 , and in the final manufacturing step The metal seed layer is removed by etching.

이때, 실시 예에서는 상기 금속 시드층의 에칭 시에, 상기 제1 회로 패턴(120) 및 상기 비아(140)의 적어도 일부도 함께 제거하도록 한다.In this case, in the embodiment, when the metal seed layer is etched, at least a portion of the first circuit pattern 120 and the via 140 are also removed.

이에 따른 회로 기판(100d)은 절연층(110d), 제1 회로 패턴(120d), 제2 회로 패턴(130d), 비아(140d), 제1 보호층(150d), 제2 보호층(155d), 제1 표면 처리층(160d) 및 제2 표면 처리층(170d)을 포함한다. Accordingly, the circuit board 100d has an insulating layer 110d, a first circuit pattern 120d, a second circuit pattern 130d, a via 140d, a first passivation layer 150d, and a second passivation layer 155d. , a first surface treatment layer 160d and a second surface treatment layer 170d.

이때, 절연층(110d), 제2 회로 패턴(130d), 제1 보호층(150d), 제2 보호층(155d) 및 제2 표면 처리층(170d)은 도 2a에서 설명된 회로 기판(100)과 실질적으로 동일하며, 이에 따라 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.At this time, the insulating layer 110d, the second circuit pattern 130d, the first passivation layer 150d, the second passivation layer 155d, and the second surface treatment layer 170d are the circuit board 100 described with reference to FIG. 2A . ) and the detailed description thereof will be omitted accordingly.

제1 회로 패턴(120d)은 절연층(110d)의 제1면 또는 상면에 매립되어 배치된다. 이때, 상기 제1 회로 패턴(120d)은 상기 설명한 바와 같이 복수의 비아(140d)들 사이에 배치된 트레이스를 포함한다.The first circuit pattern 120d is disposed to be buried in the first surface or the upper surface of the insulating layer 110d. In this case, the first circuit pattern 120d includes traces disposed between the plurality of vias 140d as described above.

이때, 상기 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스의 제1면 또는 상면은 상기 절연층(110d)의 제1면 또는 상면보다 낮게 위치할 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서는 상기 금속 시드층의 제거 시에, 상기 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스의 제1면 또는 상면의 적어도 일부도 함께 제거하여, 상기 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스의 제1면 또는 상면이 상기 절연층(110d)의 제1면 또는 상면보다 낮게 위치하도록 한다. In this case, the first surface or upper surface of the trace of the first circuit pattern 120d may be positioned lower than the first surface or upper surface of the insulating layer 110d. For example, in the embodiment, when the metal seed layer is removed, at least a part of the first surface or the upper surface of the trace of the first circuit pattern 120d is also removed, so that the trace of the first circuit pattern 120d is removed. The first surface or upper surface of the insulating layer 110d is positioned lower than the first surface or upper surface of the insulating layer 110d.

상기 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스의 제1면 또는 상면은 곡면을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스의 제1면 또는 상면은, 상기 금속 시드층의 애칭 시에, 에지 영역과 에지 이외의 영역에서의 애칭 차이에 의해, 곡면을 가질 수 있다. 이때, 상기 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스의 제1면 또는 상면은 상측 방향으로 볼록한 곡면일 수 있다. 다만, 실시 예는 이에 한정되지 않으며, 상기 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스의 제1면 또는 상면은 하측 방향으로 오목한 곡면일 수 있다.A first surface or an upper surface of the trace of the first circuit pattern 120d may include a curved surface. For example, the first surface or the upper surface of the trace of the first circuit pattern 120d may have a curved surface due to a difference in the nickname between the edge region and the region other than the edge when the metal seed layer is nicknamed. . In this case, the first surface or the upper surface of the trace of the first circuit pattern 120d may be a curved surface convex in an upward direction. However, the embodiment is not limited thereto, and the first surface or the upper surface of the trace of the first circuit pattern 120d may be a curved surface concave in the downward direction.

상기 비아(140d)의 제1면은 상기 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스와 마찬가지로, 상기 금속 시드층의 제거 시에 함께 제거될 수 있다.The first surface of the via 140d may be removed together when the metal seed layer is removed, similarly to the trace of the first circuit pattern 120d.

이에 따라, 상기 비아(140d)의 제1면 또는 상면은 상기 절연층(110d)의 제1면 또는 상면보다 낮게 위치할 수 있다. Accordingly, the first surface or upper surface of the via 140d may be positioned lower than the first surface or upper surface of the insulating layer 110d.

상기 비아(140d)의 제1면 또는 상면은 곡면을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 비아(140d)의 제1면 또는 상면은 상측 방향으로 볼록한 곡면을 포함할 수 있다. 다만, 실시 예는 이에 한정되지 않으며, 상기 비아(140d)의 제1면 또는 상면은 하측 방향으로 오목한 곡면을 포함할 수도 있을 것이다.The first surface or upper surface of the via 140d may include a curved surface. For example, the first surface or the top surface of the via 140d may include a curved surface convex in an upward direction. However, the embodiment is not limited thereto, and the first surface or the upper surface of the via 140d may include a curved surface concave in the downward direction.

제1 표면 처리층(160a)은 상기 비아(140d)의 제1면 또는 상면에 배치된다. 이에 따라, 상기 제1 표면 처리층(160a)은 상기 비아(140d)의 제1면 또는 상면의 곡면에 대응하게, 곡면을 포함할 수 있다.The first surface treatment layer 160a is disposed on the first surface or the upper surface of the via 140d. Accordingly, the first surface treatment layer 160a may include a curved surface to correspond to the curved surface of the first surface or the upper surface of the via 140d.

이때, 상기 제1 표면 처리층(160a)은 상기 비아(140d)의 제1면 또는 상면에 배치되며, 이에 따라 제1 표면 처리층(160a)의 제2면 또는 하면은 절연층(110d)의 제1면 또는 상면보다 낮게 위치할 수 있다. In this case, the first surface treatment layer 160a is disposed on the first surface or the upper surface of the via 140d, and accordingly, the second surface or the lower surface of the first surface treatment layer 160a is the insulating layer 110d. It may be located lower than the first surface or the upper surface.

또한, 제1 보호층(150a)은 상기 절연층(110d)의 제1 면 또는 상면에 배치된다. 이때, 상기 제1 보호층(150a)은 상기 절연층(110d)의 제1면 또는 상면에 매립된 제1 회로 패턴(120d)을 덮으며 배치된다. 이때, 상기 제1 회로 패턴(120d)의 제1면 또는 상면은, 상기 절연층(110d)의 제1면 또는 상면보다 낮게 배치된다. 이에 따라, 상기 제1 보호층(150a)은 상기 제1 회로 패턴(120d)의 상기 제1면 또는 상면을 덮으며 배치되고, 이에 따라 상기 제1 보호층(150a)의 하면의 적어도 일부는 상기 절연층(110d)의 상면보다 낮게 위치할 수 있다.In addition, the first protective layer 150a is disposed on the first surface or the upper surface of the insulating layer 110d. In this case, the first protective layer 150a is disposed to cover the first circuit pattern 120d buried in the first surface or the upper surface of the insulating layer 110d. In this case, the first surface or upper surface of the first circuit pattern 120d is disposed lower than the first surface or upper surface of the insulating layer 110d. Accordingly, the first protective layer 150a is disposed to cover the first surface or the upper surface of the first circuit pattern 120d, and accordingly, at least a portion of the lower surface of the first protective layer 150a is It may be positioned lower than the upper surface of the insulating layer 110d.

즉, 도 6b에서와 같이, 절연층(A) 내에 배치된 금속층(B)을 포함하고, 상기 금속층(B)의 상부에 배치된 시드층의 에칭이 진행되는 경우, 실시 예에서는 상기 금속층(B)의 상면의 적어도 일부도 함께 에칭을 진행하도록 한다. 그리고, 상기 금속층(B)은 실시 예에서의 비아(140d)일 수 있고, 제1 회로 패턴(120d)의 트레이스일 수 있다.That is, as shown in FIG. 6B , when the metal layer B disposed in the insulating layer A is etched and the seed layer disposed on the metal layer B is etched, in the embodiment, the metal layer B ) to proceed with etching at least a part of the upper surface. In addition, the metal layer B may be a via 140d in the embodiment, or a trace of the first circuit pattern 120d.

이하에서는 실시 예에 따른 회로 기판의 제조 방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a circuit board according to an embodiment will be described.

이하의 설명은, 도 2a에 도시된 회로 기판에 대한 제조 방법이며, 이를 토대로 도 3, 도 4a, 도 5 및 도 6a에서와 같은 회로 기판을 제조할 수 있을 것이다.The following description is a manufacturing method for the circuit board shown in FIG. 2A, and based on this, the circuit board as shown in FIGS. 3, 4A, 5 and 6A may be manufactured.

도 7a 내지 도 7i는 도 2a에 도시된 회로 기판의 제조 방법을 공정 순으로 설명하기 위한 도면이다.7A to 7I are diagrams for explaining the manufacturing method of the circuit board shown in FIG. 2A in order of process.

도 7a를 참조하면, 실시 예에서는 ETS 공법으로 회로 기판을 제조하기 위한 기초 자재를 준비할 수 있다.Referring to FIG. 7A , in the embodiment, a basic material for manufacturing a circuit board may be prepared by the ETS method.

예를 들어, 실시 예에서는 캐리어 절연층(CB1) 및 상기 캐리어 절연층(CB1)의 적어도 일면에 금속층(CB2)이 배치된 캐리어 보드(CB)를 준비할 수 있다. 이때, 상기 금속층(CB2)은 상기 캐리어 절연층(CB1)의 제1면 및 제2면 중 어느 하나의 면에만 배치될 수 있고, 이와 다르게 양면에 모두 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 금속층(CB2)은 캐리어 절연층(CB1)의 일면에만 배치되고, 그에 따라 상기 일면에서만 회로 기판의 제조를 위한 ETS 공정을 진행할 수 있다. 이와 다르게, 상기 금속층(CB2)은 상기 캐리어 절연층(CB1)의 양면에 모두 배치될 수 있고, 그에 따라 상기 캐리어 보드(CB)의 양면에서 회로 기판의 제조를 위한 ETS 공정을 동시에 진행할 수 있다. 이와 같은 경우, 한번에 2개의 회로 기판을 제조할 수 있다. For example, in the embodiment, the carrier board CB in which the carrier insulating layer CB1 and the metal layer CB2 are disposed on at least one surface of the carrier insulating layer CB1 may be prepared. In this case, the metal layer CB2 may be disposed on only one of the first and second surfaces of the carrier insulating layer CB1 , or alternatively, it may be disposed on both surfaces of the carrier insulating layer CB1 . For example, the metal layer CB2 is disposed on only one surface of the carrier insulating layer CB1 , and accordingly, the ETS process for manufacturing the circuit board may be performed only on the one surface. Alternatively, the metal layer CB2 may be disposed on both surfaces of the carrier insulating layer CB1, and accordingly, the ETS process for manufacturing the circuit board may be simultaneously performed on both surfaces of the carrier board CB. In this case, two circuit boards can be manufactured at once.

상기 금속층(CB2)은 상기 캐리어 절연층(CB1)에 무전해 도금을 하여 형성될 수 있다. 이와 다르게, 상기 캐리어 절연층(CB1) 및 금속층(CB2)은 CCL(Copper Clad Laminate)일 수 있다.The metal layer CB2 may be formed by electroless plating on the carrier insulating layer CB1 . Alternatively, the carrier insulating layer CB1 and the metal layer CB2 may be copper clad laminate (CCL).

다음으로, 도 7b를 참조하면, 실시 예에서는 상기 금속층(CB2) 상에 제1 드라이 필름(DF1)을 형성한다. 이때, 상기 제1 드라이 필름(DF1)은 상기 금속층(CB2)의 전체를 덮으며 배치될 수 있다. 이후, 실시 예에서는 상기 제1 드라이 필름(DF1)을 노광 및 현상하여 개구부(미도시)를 형성할 수 있다. 이때, 상기 제1 드라이 필름(DF1)의 개구부는 제1 회로 패턴(120)이 형성될 영역을 노출할 수 있다. 이때, 일반적인 제1 드라이 필름(DF1)의 개구부는 실장 패드와 연결되는 비아와 두께 방향으로 오버랩되는 영역에도 형성된다. 이와 다르게, 실시 예에서는 상기 제1 회로 패턴(120)에 실장 패드가 포함되지 않고, 비아(140)를 실장 패드로 이용하기 때문에, 상기 제1 드라이 필름(DF1)의 개구부는 칩의 실장 패드로 이용되는 비아(140)의 두께 방향으로 오버랩되지 않을 수 있다.Next, referring to FIG. 7B , in the embodiment, a first dry film DF1 is formed on the metal layer CB2 . In this case, the first dry film DF1 may be disposed to cover the entirety of the metal layer CB2 . Thereafter, in an embodiment, the first dry film DF1 may be exposed and developed to form an opening (not shown). In this case, the opening of the first dry film DF1 may expose an area in which the first circuit pattern 120 is to be formed. In this case, the opening of the general first dry film DF1 is also formed in a region overlapping the via connected to the mounting pad in the thickness direction. Unlike this, in the embodiment, since the mounting pad is not included in the first circuit pattern 120 and the via 140 is used as the mounting pad, the opening of the first dry film DF1 serves as the mounting pad of the chip. It may not overlap in the thickness direction of the used via 140 .

이후, 실시 예에서는 상기 금속층(CB2)을 시드층으로 전해 도금을 진행하여, 상기 제1 드라이 필름(DF1)의 개구부를 채우는 제1 회로 패턴(120)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다.Thereafter, in an embodiment, the process of forming the first circuit pattern 120 filling the opening of the first dry film DF1 may be performed by electroplating the metal layer CB2 as a seed layer.

다음으로, 도 7c를 참조하면, 실시 예에서는 상기 금속층(CB2) 상에 절연층(110)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다. 상기 절연층(110)은 상기 설명한 바와 같이 프리프레그를 포함할 수 있다.Next, referring to FIG. 7C , in the embodiment, a process of forming the insulating layer 110 on the metal layer CB2 may be performed. The insulating layer 110 may include a prepreg as described above.

다음으로, 도 7d를 참조하면, 실시 예에서는 상기 절연층(110) 상에 레이저 마스크(RM)를 형성할 수 있다. 이때, 상기 레이저 마스크(RM)는 개구부를 포함한다. 예를 들어, 상기 레이저 마스크(RM)는 비아 홀(VH)이 형성될 영역을 노출하는 개구부를 포함할 수 있다. 이후, 실시 예에서는 상기 레이저 마스크(RM)의 개구부 내에 레이저 빔을 조사하여, 상기 절연층(110)을 관통하는 비아 홀(VH)을 형성할 수 있다.Next, referring to FIG. 7D , in the embodiment, a laser mask RM may be formed on the insulating layer 110 . In this case, the laser mask RM includes an opening. For example, the laser mask RM may include an opening exposing a region where the via hole VH is to be formed. Thereafter, in an embodiment, a via hole VH passing through the insulating layer 110 may be formed by irradiating a laser beam into the opening of the laser mask RM.

이때, 일반적인 회로기판의 제조 공정에서, 레이저 스토퍼(stopper)로 회로 패턴(시드층을 이용하여 전해 도금된 전해 도금층)이 이용된다. 예를 들어, 비교 예에 따른 ETS 공정에서, 상기 비아 홀(VH)이 형성될 금속층(CB2) 상에는, 제1 회로 패턴의 패드가 위치한다. 그리고, 상기 제1 회로 패턴의 패드는 상기 레이저 공정에서 스토퍼로 이용될 수 있다.In this case, in a general circuit board manufacturing process, a circuit pattern (electrolytic plating layer electrolytically plated using a seed layer) is used as a laser stopper. For example, in the ETS process according to the comparative example, the pad of the first circuit pattern is positioned on the metal layer CB2 in which the via hole VH is to be formed. In addition, the pad of the first circuit pattern may be used as a stopper in the laser process.

이와 다르게, 실시 예에서는 상기 제1 회로 패턴(120)의 형성 시에, 비아(140)와 연결되는 패드를 형성하지 않는다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 비아 홀(VH)을 형성하는 공정에서, 상기 레이저 스토퍼로 상기 제1 회로 패턴(120)의 시드층인 금속층(CB2)이 이용될 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서는 비교 예와는 다르게, 상기 비아 홀(VH)이 형성되는 과정에서, 상기 금속층(CB2)의 표면이 노출된다.Alternatively, in the embodiment, when the first circuit pattern 120 is formed, a pad connected to the via 140 is not formed. Accordingly, in the embodiment, in the process of forming the via hole VH, the metal layer CB2 serving as the seed layer of the first circuit pattern 120 may be used as the laser stopper. Accordingly, in the embodiment, unlike the comparative example, the surface of the metal layer CB2 is exposed while the via hole VH is formed.

다음으로, 도 7e에 도시된 바와 같이, 실시 예에서는 상기 절연층(110) 상에 제2 드라이 필름(DF2)을 형성한다. 이때, 상기 제2 드라이 필름(DF2)은 상기 절연층(110) 상에 전체적으로 형성될 수 있다. 이후, 실시 예에서는 상기 제2 드라이 필름(DF2)을 노광 및 현상하여 개구부를 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 드라이 필름(DF2)은 상기 형성된 비아 홀을 노출하는 개구부와, 제2 회로 패턴(130)이 형성될 영역을 노출하는 개구부를 포함할 수 있다. 이때, 실시 예에서는 도면 상에는 도시하지 않았지만, 상기 제2 드라이 필름(DF2)의 형성 전에, 상기 절연층(110)의 표면 및 상기 비아 홀(VH)의 내벽에 화학동도금층을 형성할 수 있다. 상기 화학동도금층은 제2 회로 패턴(130)을 전해 도금하여 형성하기 위한 시드층일 수 있다.Next, as shown in FIG. 7E , in the embodiment, a second dry film DF2 is formed on the insulating layer 110 . In this case, the second dry film DF2 may be entirely formed on the insulating layer 110 . Thereafter, in an embodiment, the second dry film DF2 may be exposed and developed to form an opening. For example, the second dry film DF2 may include an opening exposing the formed via hole and an opening exposing a region in which the second circuit pattern 130 is to be formed. At this time, although not shown in the drawings in the embodiment, a chemical copper plating layer may be formed on the surface of the insulating layer 110 and the inner wall of the via hole VH before the formation of the second dry film DF2 . The chemical copper plating layer may be a seed layer for forming the second circuit pattern 130 by electrolytic plating.

다음으로, 도 7f에 도시된 바와 같이, 실시 예에서는 상기 비아 홀(VH)의 내부 및 상기 제2 드라이 필름(DF2)의 개구부를 채우는 제2 회로 패턴(130)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서는 상기 화학동도금층을 시드층으로 전해 도금을 진행하여, 상기 비아 홀(VH)의 내부 및 상기 제2 드라이 필름(DF2)의 개구부를 채우는 제2 회로 패턴(130)을 형성할 수 있다. Next, as shown in FIG. 7F , in the embodiment, a process of forming the second circuit pattern 130 filling the inside of the via hole VH and the opening of the second dry film DF2 may be performed. . For example, in the embodiment, the second circuit pattern 130 filling the inside of the via hole VH and the opening of the second dry film DF2 is formed by electroplating the chemical copper plating layer as a seed layer. can be formed

다음으로, 도 7g에 도시된 바와 같이, 실시 예에서는 상기 제2 드라이 필름(DF2)을 제거하는 공정을 진행할 수 있다. 이때, 실시 예에서는 도면 상에는 도시되지 않았지만, 상기 제2 회로 패턴(130)의 시드층으로 사용된 화학동도금층을 에칭하여 제거하는 공정을 추가로 진행할 수 있다.Next, as shown in FIG. 7G , in the embodiment, a process of removing the second dry film DF2 may be performed. At this time, although not shown in the drawings in the embodiment, a process of etching and removing the chemical copper plating layer used as the seed layer of the second circuit pattern 130 may be additionally performed.

이후, 실시 예에서는 상기 캐리어 보드(CB)를 중심으로, 이의 양측에서 진행된 회로 기판을 분리시킬 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서는 상기 제2 회로 패턴(130)의 제조 공정이 완료되면, 상기 캐리어 절연층(CB1)을 분리하여 제거하는 공정을 진행할 수 있다. Thereafter, in the embodiment, the circuit board progressed from both sides of the carrier board CB may be separated from each other. For example, in the embodiment, when the manufacturing process of the second circuit pattern 130 is completed, a process of separating and removing the carrier insulating layer CB1 may be performed.

이에 따라, 실시 예에서는 캐리어 보드(CB)를 중심으로 이의 양측에서 2개의 회로 기판이 동시에 제조될 수 있다. 한편, 상기와 같은 제조 공정은 회로기판이 절연층의 층수를 중심으로 1층 구조를 가지는 경우에 대한 설명이다. 다만, 상기 회로 기판이 절연층의 층수를 기준으로 2층 이상의 다층 구조를 가지는 경우, 도 7c 내지 도 7f의 공정을 추가로 진행하여 다층 기판을 제조할 수 있다.Accordingly, in the embodiment, two circuit boards may be simultaneously manufactured on both sides of the carrier board CB as a center. On the other hand, the manufacturing process as described above is a description of a case in which the circuit board has a one-layer structure centered on the number of insulating layers. However, when the circuit board has a multilayer structure of two or more layers based on the number of insulating layers, the multilayer board may be manufactured by further performing the processes of FIGS. 7C to 7F .

다음으로, 도 7h에 도시된 바와 같이, 상기 제1 회로 패턴(120)을 제조하는데 사용한 시드층을 제거하는 공정을 진행할 수 있다. 예를 들어, 도 7f에 도시된 바와 같이, 캐리어 절연층(CB1)을 제거하여, 금속층(CB2)이 포함된 회로 기판을 분리하고, 상기 분리된 회로 기판에서 에칭 공정을 진행하여 상기 금속층(CB2)을 제거할 수 있다. 이때, 상기 금속층(CB2)의 에칭 공정 시에, 상기 금속층(CB2)만이 선택적으로 제거될 수 있다. 이와 같은 경우, 상기 비아(140)의 제1면, 제1 회로 패턴(120)의 트레이스의 제1면 및 절연층(110)의 제1면은 모두 동일 평면 상에 위치할 수 있다. Next, as shown in FIG. 7H , a process of removing the seed layer used to manufacture the first circuit pattern 120 may be performed. For example, as shown in FIG. 7F , the carrier insulating layer CB1 is removed to separate the circuit board including the metal layer CB2 , and an etching process is performed on the separated circuit board to perform an etching process on the metal layer CB2 . ) can be removed. In this case, only the metal layer CB2 may be selectively removed during the etching process of the metal layer CB2 . In this case, the first surface of the via 140 , the first surface of the trace of the first circuit pattern 120 , and the first surface of the insulating layer 110 may all be positioned on the same plane.

다만, 실질적으로 상기 금속층(CB2)의 에칭 시에, 상기 금속층(CB2)만을 선택적으로 제거하기가 어려우며, 나아가 상기 금속층(CB2)의 일부가 제거되지 않는 경우, 이웃하는 제1 회로 패턴(120)의 트레이스들 사이가 서로 연결되어 쇼트가 발생하는 문제가 있다. 따라서, 실시 예에서는 상기 금속층(CB2)의 에칭 시에 과에칭을 진행하여, 상기 금속층(CB2)과 함께 상기 비아(140)의 제1면의 적어도 일부 및 상기 제1 회로 패턴(120)의 트레이스의 제1면의 적어도 일부도 함께 제거되도록 할 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서의 제1 회로 패턴(120)의 트레이스의 제1면 및 상기 비아(140)의 제1면은 상기 절연층(110)의 제1면보다 낮게 위치할 수 있다.However, when the metal layer CB2 is substantially etched, it is difficult to selectively remove only the metal layer CB2 , and furthermore, when a part of the metal layer CB2 is not removed, the adjacent first circuit pattern 120 . There is a problem that a short occurs due to the interconnection between the traces. Accordingly, in the embodiment, over-etching is performed when the metal layer CB2 is etched, so that at least a portion of the first surface of the via 140 and the trace of the first circuit pattern 120 together with the metal layer CB2 . At least a portion of the first surface of the may be removed together. Accordingly, in the embodiment, the first surface of the trace of the first circuit pattern 120 and the first surface of the via 140 may be positioned lower than the first surface of the insulating layer 110 .

이후, 실시 예에서는 상기 절연층(110)의 제1면에 제1 보호층(150)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다. 상기 제1 보호층(150)은 상기 절연층(110)의 제1면을 보호하면서, 상기 절연층(110)의 제1면에 매립된 제1 회로 패턴(120)의 트레이스의 제1면을 보호할 수 있다.Thereafter, in an embodiment, a process of forming the first protective layer 150 on the first surface of the insulating layer 110 may be performed. The first protective layer 150 protects the first surface of the insulating layer 110 and protects the first surface of the trace of the first circuit pattern 120 buried in the first surface of the insulating layer 110 . can protect

또한, 실시 예에서는 상기 절연층(110)의 제2면에 제2 보호층(155)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다. 상기 제2 보호층(155)은 상기 절연층(110)의 제2면을 보호하면서, 상기 제2 회로 패턴(130)의 제2면의 적어도 일부를 노출하는 개구부를 포함할 수 있다.In addition, in an embodiment, a process of forming the second protective layer 155 on the second surface of the insulating layer 110 may be performed. The second protective layer 155 may include an opening exposing at least a portion of the second surface of the second circuit pattern 130 while protecting the second surface of the insulating layer 110 .

다음으로, 도 7i에 도시된 바와 같이, 실시 예에서는 상기 비아(140)의 제1면에 제1 표면 처리층(160)을 형성하고, 상기 제2 보호층(155)의 개구부를 통해 노출된 제2 회로 패턴(130)의 제2면에 제2 표면 처리층(170)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다. 상기 설명한 바와 같이, 상기 제1 표면 처리층(160a) 및 제2 표면 처리층(170)은 OSP 공정에 의해 진행될 수 있고, 이와 다르게 ENEPIG 공정에 의해 진행될 수도 있을 것이다.Next, as shown in FIG. 7I , in the embodiment, a first surface treatment layer 160 is formed on the first surface of the via 140 and exposed through the opening of the second protective layer 155 . A process of forming the second surface treatment layer 170 on the second surface of the second circuit pattern 130 may be performed. As described above, the first surface treatment layer 160a and the second surface treatment layer 170 may be processed by the OSP process, or alternatively, by the ENEPIG process.

-제2 실시 예--Second embodiment-

도 8은 제2 실시 예에 따른 회로 기판을 나타낸 도면이다.8 is a diagram illustrating a circuit board according to a second embodiment.

도 8을 참조하면, 회로 기판(200)은 도 2a의 회로 기판(100)과 유사하며, 제1 회로 패턴 및 비아의 구성에 있어 상이하다.Referring to FIG. 8 , the circuit board 200 is similar to the circuit board 100 of FIG. 2A , and is different in the configuration of the first circuit pattern and vias.

도 2a를 참조하면, 회로 기판(100)에서의 실장 패드로 이용하는 부분의 전체는 비아(140)의 제1면으로 이루어졌다. 이와 다르게, 도 8에서와 같이, 회로 기판(200)에서 실장 패드로 이용되는 부분의 제1 부분은 제1 회로 패턴(220)의 패드(222)로 구성되고, 나머지 제2 부분은 비아(240)의 제1면으로 구성될 수 있다. 다만, 상기 비아(240)의 제1면의 폭(W2)은 실질적으로 도 2a에서의 비아(140)의 제1면의 폭과 동일하다. Referring to FIG. 2A , the entire portion of the circuit board 100 used as a mounting pad is formed of the first surface of the via 140 . Alternatively, as shown in FIG. 8 , a first portion of a portion used as a mounting pad in the circuit board 200 is configured as a pad 222 of the first circuit pattern 220 , and the remaining second portion is a via 240 . ) may be configured as the first surface of However, the width W2 of the first surface of the via 240 is substantially the same as the width of the first surface of the via 140 in FIG. 2A .

즉, 회로 기판(200)은 절연층(210), 제1 회로 패턴(220), 제2 회로 패턴(230), 비아(240), 제1 보호층(250), 제2 보호층(260)을 포함할 수 있다. That is, the circuit board 200 includes an insulating layer 210 , a first circuit pattern 220 , a second circuit pattern 230 , a via 240 , a first passivation layer 250 , and a second passivation layer 260 . may include

여기에서, 절연층(210), 제2 회로 패턴(230), 제1 보호층(250) 및 제2 보호층(260)은 제1 실시 예의 회로 기판(100)에서, 절연층(110), 제2 회로 패턴(130), 제1 보호층(150) 및 제2 보호층(155)과 실질적으로 동일하며, 이에 따라 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.Here, the insulating layer 210, the second circuit pattern 230, the first passivation layer 250, and the second passivation layer 260 in the circuit board 100 of the first embodiment, the insulating layer 110, The second circuit pattern 130 , the first passivation layer 150 , and the second passivation layer 155 are substantially the same, and thus a detailed description thereof will be omitted.

실시 예에서, 회로 기판(200)은 절연층(210)의 제1면 또는 상면에 매립된 ETS 구조를 가지는 제1 회로 패턴(220)을 포함한다. 이때, 제1 실시 예에서의 제1 회로 패턴(220)은 칩 실장을 위한 패드를 포함하지 않았으나, 제2 실시 예에서, 상기 제1 회로 패턴(220)은 칩 실장을 위한 패드를 포함할 수 있다.In an embodiment, the circuit board 200 includes a first circuit pattern 220 having an ETS structure buried in a first surface or an upper surface of the insulating layer 210 . In this case, the first circuit pattern 220 in the first embodiment does not include a pad for mounting a chip, but in the second embodiment, the first circuit pattern 220 may include a pad for mounting a chip. have.

예를 들어, 제1 회로 패턴(220)은 트레이스(221) 및 패드(222)를 포함한다.For example, the first circuit pattern 220 includes a trace 221 and a pad 222 .

상기 제1 회로 패턴(220)의 패드(222)는 제1 비아(241)와 연결되는 제1 패드(222-1)와, 제2 비아(242)와 연결되는 제2 패드(222-2)를 포함한다. The pad 222 of the first circuit pattern 220 includes a first pad 222-1 connected to the first via 241 and a second pad 222-2 connected to the second via 242. includes

상기 제1 회로 패턴(220)의 제1 패드(222-1)는 두께 방향으로 제1 비아(241)와 오버랩되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 회로 패턴(220)의 제1 패드(222-1)는 상기 제1 비아(241)와 직접 접촉하며 배치될 수 있다.The first pad 222-1 of the first circuit pattern 220 may be disposed to overlap the first via 241 in the thickness direction. Accordingly, the first pad 222-1 of the first circuit pattern 220 may be disposed in direct contact with the first via 241 .

다만, 상기 제1 회로 패턴(220)의 제1 패드(222-1)는 상기 제1 비아(241)의 제1면의 폭(W1)보다 작은 폭을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 회로 패턴(220)의 제1 패드(222-1)는 상기 제1 비아(241)의 제1면 내에 매립된 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(220)의 제1 패드(222-1)는 상기 제1 비아(241)로 둘러싸일 수 있다. However, the first pad 222-1 of the first circuit pattern 220 may have a width smaller than the width W1 of the first surface of the first via 241 . Accordingly, the first pad 222-1 of the first circuit pattern 220 may have a structure buried in the first surface of the first via 241 . For example, the first pad 222-1 of the first circuit pattern 220 may be surrounded by the first via 241 .

이에 따라, 상기 제1 패드(222-1)의 제1면 또는 상면은 상기 제1 비아(241)의 제1면 또는 상면과 동일 평면 상에 위치할 수 있다. Accordingly, the first surface or top surface of the first pad 222-1 may be positioned on the same plane as the first surface or top surface of the first via 241 .

즉, 제1 실시 예와 같이 상기 제1 패드(222-1)를 형성하지 않은 상태에서, 비아(140)를 바로 형성하는 것도 가능하지만, 제2 실시 예에서와 같이 상기 제1 패드(222-1)를 형성한 상태에서, 상기 제1 실시 예의 비아(140)와 동일한 사이즈의 비아(240)를 형성하는 것도 가능하다. 상기 제1 패드(222-1)는 실시 예에 따른, 제1 비아(241)에 의한 실장 패드의 피치에 전혀 영향을 주지 않으면서, 제품 신뢰성을 높이기 위해 형성될 수 있다.That is, it is possible to directly form the via 140 without forming the first pad 222-1 as in the first embodiment, but as in the second embodiment, the first pad 222- In the state in which 1) is formed, it is also possible to form the via 240 having the same size as the via 140 of the first embodiment. The first pad 222-1 may be formed to increase product reliability without affecting the pitch of the mounting pad by the first via 241 according to an embodiment.

예를 들어, 제1 실시 예에서와 같이, 상기 제1 패드(222-1)가 형성되지 않은 상태에서 상기 비아 홀을 형성하는 경우, 상기 비아 홀이 형성될 위치를 정확히 선정하기 어려울 수 있고, 이에 따른 상기 비아 홀의 위치 틀어짐, 나아가 상기 비아의 위치 틀어짐이 발생할 수 있다. 이와 다르게, 제2 실시 예에서는 상기와 같이 제1 패드(222-1)를 형성한 상태에서, 비아 홀 및 제1 비아(241)를 형성하도록 하여, 상기 제1 패드(222-1)를 토대로 상기 제1 비아(241)의 위치를 정확히 정할 수 있고, 이에 따른 상기 제1 비아(241)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. For example, as in the first embodiment, when the via hole is formed in a state in which the first pad 222-1 is not formed, it may be difficult to accurately select a position where the via hole is to be formed. Accordingly, the position of the via hole may be shifted, and further, the position of the via may be shifted. On the other hand, in the second embodiment, in a state in which the first pad 222-1 is formed as described above, the via hole and the first via 241 are formed based on the first pad 222-1. The position of the first via 241 may be accurately determined, and thus reliability of the first via 241 may be improved.

나아가, 상기 제1 패드(222-1)가 없는 상태에서, 비아 홀 내부를 도금으로 채우는 경우, 비아 홀의 사이즈에 따라 표면이 오목하게 들어가는 딤플(dimple) 현상이 발생할 수 있다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 비아 홀 내부에 상기 제1 패드(222-1)를 배치한 상태에서, 제1 비아(241)의 도금 공정을 진행함으로써, 상기 제1 패드(222-1)가 가지는 면적에 대응하게 상기 딤플 현상의 정도를 감소시킬 수 있으며, 이에 따른 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Furthermore, when the inside of the via hole is filled with plating in the absence of the first pad 222-1, a dimple phenomenon in which the surface is concave may occur depending on the size of the via hole. Accordingly, in the embodiment, in a state in which the first pad 222-1 is disposed inside the via hole, the plating process of the first via 241 is performed, so that the first pad 222-1 has The degree of the dimple phenomenon may be reduced corresponding to the area, and thus product reliability may be improved.

한편, 상기 제1 회로 패턴(220)의 제2 패드(222-2)는 상기 제1 패드(222-1)에 대응하는 구조를 가질 수 있다. 또한, 제2 비아(242)는 상기 제1 비아(241)에 대응하게, 상기 제2 패드(222-2)의 주위를 둘러싸며 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 회로 패턴(220)의 제2 패드(222-2)는 상기 제2 비아(242)의 제1면 또는 상면 내에 매립된 구조를 가질 수 있다.Meanwhile, the second pad 222 - 2 of the first circuit pattern 220 may have a structure corresponding to the first pad 222 - 1 . In addition, the second via 242 may be disposed to correspond to the first via 241 and surround the periphery of the second pad 222 - 2 . For example, the second pad 222 - 2 of the first circuit pattern 220 may have a structure buried in the first surface or the top surface of the second via 242 .

또한, 제2 회로 패턴(230)은 제1 실시 예에서 설명한 바와 같이, 제1 비아(241)와 연결되는 제1 패드(231) 및 제2 비아(242)와 연결되는 제2 패드(232)를 포함한다.Also, as described in the first embodiment, the second circuit pattern 230 includes a first pad 231 connected to the first via 241 and a second pad 232 connected to the second via 242 . includes

한편, 실시 예에서, 상기 제1 표면 처리층(260)은 상기 제1 비아(241) 및 제2 비아(242)의 각각의 제1면 또는 상면뿐 아니라, 상기 제1 회로 패턴(220)의 제1 패드(222-1) 및 제2 패드(222-2)의 제1면 또는 상면에도 배치될 수 있다. Meanwhile, in an embodiment, the first surface treatment layer 260 may be formed on the first surface or upper surface of each of the first via 241 and the second via 242 as well as of the first circuit pattern 220 . It may also be disposed on the first surface or upper surface of the first pad 222-1 and the second pad 222-2.

상기와 같이, 제2 실시 예에 따른 회로 기판은 비아의 제1면을 칩 실장을 위한 칩 실장 패드로 이용하면서, 상기 비아의 제1면 내에 제1 회로 패턴의 패드가 매립되도록 한다. 이에 따라, 실시 예에서는 상기 비아를 형성하는 제조 공정의 용이성 및 신뢰성이 향상될 수 있다. 예를 들어, 제2 실시 예에 따르면, 상기 제1 회로 패턴의 패드를 이용하여 상기 비아가 배치될 위치를 정확히 확인할 수 있으며, 이에 따른 비아의 형성 위치에 대한 정확도를 향상시킬 수 있다. 나아가, 실시 예에서는 상기 제1 회로 패턴의 패드가 상기 비아의 일부를 구성함에 따라, 상기 비아의 형성 시에 발생할 수 있는 딤플 문제를 해결할 수 있으며, 이에 따른 상기 비아의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. As described above, in the circuit board according to the second embodiment, the pad of the first circuit pattern is embedded in the first surface of the via while using the first surface of the via as a chip mounting pad for chip mounting. Accordingly, in the embodiment, the easiness and reliability of the manufacturing process for forming the via may be improved. For example, according to the second exemplary embodiment, the position where the via is to be arranged can be accurately identified using the pad of the first circuit pattern, and thus the accuracy of the formation position of the via can be improved. Furthermore, in an embodiment, as the pad of the first circuit pattern forms a part of the via, a dimple problem that may occur when the via is formed can be solved, and thus the reliability of the via can be improved.

도 9a 내지 도 9e는 도 8에 도시된 회로 기판의 제조 방법을 공정 순으로 설명하기 위한 도면이다.9A to 9E are diagrams for explaining the manufacturing method of the circuit board shown in FIG. 8 in order of process.

도 9a를 참조하면, 실시 예에서는 ETS 공법으로 회로 기판을 제조하기 위한 기초 자재를 준비할 수 있다.Referring to FIG. 9A , in the embodiment, a basic material for manufacturing a circuit board may be prepared by the ETS method.

예를 들어, 실시 예에서는 캐리어 절연층(CB1) 및 상기 캐리어 절연층(CB1)의 적어도 일면에 금속층(CB2)이 배치된 캐리어 보드(CB)를 준비할 수 있다. 이때, 상기 금속층(CB2)은 상기 캐리어 절연층(CB1)의 제1면 및 제2면 중 어느 하나의 면에만 배치될 수 있고, 이와 다르게 양면에 모두 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 금속층(CB2)은 캐리어 절연층(CB1)의 일면에만 배치되고, 그에 따라 상기 일면에서만 회로 기판의 제조를 위한 ETS 공정을 진행할 수 있다. 이와 다르게, 상기 금속층(CB2)은 상기 캐리어 절연층(CB1)의 양면에 모두 배치될 수 있고, 그에 따라 상기 캐리어 보드(CB)의 양면에서 회로 기판의 제조를 위한 ETS 공정을 동시에 진행할 수 있다. 이와 같은 경우, 한번에 2개의 회로 기판을 제조할 수 있다. For example, in the embodiment, the carrier board CB in which the carrier insulating layer CB1 and the metal layer CB2 are disposed on at least one surface of the carrier insulating layer CB1 may be prepared. In this case, the metal layer CB2 may be disposed on only one of the first and second surfaces of the carrier insulating layer CB1 , or alternatively, it may be disposed on both surfaces of the carrier insulating layer CB1 . For example, the metal layer CB2 is disposed on only one surface of the carrier insulating layer CB1 , and accordingly, the ETS process for manufacturing the circuit board may be performed only on the one surface. Alternatively, the metal layer CB2 may be disposed on both surfaces of the carrier insulating layer CB1, and accordingly, the ETS process for manufacturing the circuit board may be simultaneously performed on both surfaces of the carrier board CB. In this case, two circuit boards can be manufactured at once.

그리고, 상기 금속층(CB2) 상에 제1 드라이 필름(DF1)을 형성한다. 이때, 상기 제1 드라이 필름(DF1)은 상기 금속층(CB2)의 전체를 덮으며 배치될 수 있다. 이후, 실시 예에서는 상기 제1 드라이 필름(DF1)을 노광 및 현상하여 개구부(미도시)를 형성할 수 있다. 이때, 상기 제1 드라이 필름(DF1)의 개구부는 제1 회로 패턴(220)이 형성될 영역을 노출할 수 있다. 이때, 제2 실시 예에서의 제1 드라이 필름(DF1)의 개구부는 비아와 두께 방향으로 오버랩되는 영역에도 형성된다. 다만, 일반적으로, 비아와 두께 방향으로 오버랩되는 영역에 형성된 제1 드라이 필름의 개구부는, 상기 비아의 사이즈보다 큰 폭을 가지게 된다. 이와 다르게, 제2 실시 예에서, 상기 비아와 두께 방향으로 오버랩되는 영역에 형성된 제1 드라이 필름의 개구부는 상기 비아의 사이즈보다 작은 폭을 가질 수 있다. Then, a first dry film DF1 is formed on the metal layer CB2 . In this case, the first dry film DF1 may be disposed to cover the entirety of the metal layer CB2 . Thereafter, in an embodiment, the first dry film DF1 may be exposed and developed to form an opening (not shown). In this case, the opening of the first dry film DF1 may expose a region where the first circuit pattern 220 is to be formed. In this case, the opening of the first dry film DF1 according to the second embodiment is also formed in a region overlapping the via in the thickness direction. However, in general, the opening of the first dry film formed in the region overlapping the via in the thickness direction has a width greater than the size of the via. Alternatively, in the second embodiment, the opening of the first dry film formed in the region overlapping the via in the thickness direction may have a width smaller than the size of the via.

이후, 실시 예에서는 상기 금속층(CB2)을 시드층으로 전해 도금을 진행하여, 상기 제1 드라이 필름(DF1)의 개구부를 채우는 제1 회로 패턴(220)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다. 이때, 상기 제1 회로 패턴(220)은 트레이스(221) 및 패드(222)를 포함할 수 있다. Thereafter, in an embodiment, a process of forming the first circuit pattern 220 filling the opening of the first dry film DF1 may be performed by electroplating the metal layer CB2 as a seed layer. In this case, the first circuit pattern 220 may include a trace 221 and a pad 222 .

다음으로, 도 9b를 참조하면, 실시 예에서는 상기 금속층(CB2) 상에 절연층(210)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다. 상기 절연층(210)은 상기 설명한 바와 같이 프리프레그를 포함할 수 있다.Next, referring to FIG. 9B , in the embodiment, a process of forming the insulating layer 210 on the metal layer CB2 may be performed. The insulating layer 210 may include a prepreg as described above.

다음으로, 도 9c를 참조하면, 실시 예에서는 상기 절연층(210) 상에 레이저 마스크(RM)를 형성할 수 있다. 이때, 상기 레이저 마스크(RM)는 개구부를 포함한다. 예를 들어, 상기 레이저 마스크(RM)는 비아 홀(VH)이 형성될 영역을 노출하는 개구부를 포함할 수 있다. 이후, 실시 예에서는 상기 레이저 마스크(RM)의 개구부 내에 레이저 빔을 조사하여, 상기 절연층(210)을 관통하는 비아 홀(VH)을 형성할 수 있다.Next, referring to FIG. 9C , in the embodiment, a laser mask RM may be formed on the insulating layer 210 . In this case, the laser mask RM includes an opening. For example, the laser mask RM may include an opening exposing a region where the via hole VH is to be formed. Thereafter, in an embodiment, a via hole VH passing through the insulating layer 210 may be formed by irradiating a laser beam into the opening of the laser mask RM.

이때, 일반적인 회로기판의 제조 공정에서, 레이저 스토퍼(stopper)로 회로 패턴(시드층을 이용하여 전해 도금된 전해 도금층)이 이용된다. 예를 들어, 비교 예에 따른 ETS 공정에서, 상기 비아 홀(VH)이 형성될 금속층(CB2) 상에는, 제1 회로 패턴의 패드가 위치한다. 그리고, 상기 제1 회로 패턴의 패드는 상기 레이저 공정에서 스토퍼로 이용될 수 있다.In this case, in a general circuit board manufacturing process, a circuit pattern (electrolytic plating layer electrolytically plated using a seed layer) is used as a laser stopper. For example, in the ETS process according to the comparative example, the pad of the first circuit pattern is positioned on the metal layer CB2 in which the via hole VH is to be formed. In addition, the pad of the first circuit pattern may be used as a stopper in the laser process.

이와 다르게, 실시 예에서는 상기 제1 회로 패턴(220)의 형성 시에, 비아(240)와 연결되는 패드(222)를 형성하기는 하나, 상기 패드(222)의 폭은 상기 비아(240)의 폭보다 작게 형성된다. 이에 따라, 실시 예에서는 레이저 스토퍼로, 일부에서는 상기 제1 회로 패턴(120)의 시드층인 금속층(CB2)을 이용하고, 나머지 일부 영역에서는 상기 제1 회로 패턴(220)의 패드(222)를 이용한다. 이에 따라, 실시 예에서, 상기 비아 홀(VH)이 형성됨에 따라, 상기 제1 회로 패턴(220)의 패드(222)뿐 아니라, 상기 금속층(CB2)의 일부도 노출될 수 있다. Alternatively, in the embodiment, when the first circuit pattern 220 is formed, the pad 222 connected to the via 240 is formed, but the width of the pad 222 is that of the via 240 . formed smaller than the width. Accordingly, in the embodiment, the metal layer CB2 serving as the seed layer of the first circuit pattern 120 is used as a laser stopper in some areas, and the pads 222 of the first circuit pattern 220 are used in the remaining partial areas. use it Accordingly, in an embodiment, as the via hole VH is formed, not only the pad 222 of the first circuit pattern 220 but also a portion of the metal layer CB2 may be exposed.

다음으로, 도 9d에 도시된 바와 같이, 실시 예에서는 상기 절연층(210) 상에 제2 드라이 필름(DF2)을 형성한다. 이때, 상기 제2 드라이 필름(DF2)은 상기 절연층(210) 상에 전체적으로 형성될 수 있다. 이후, 실시 예에서는 상기 제2 드라이 필름(DF2)을 노광 및 현상하여 개구부를 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 드라이 필름(DF2)은 상기 형성된 비아 홀을 노출하는 개구부와, 제2 회로 패턴(230)이 형성될 영역을 노출하는 개구부를 포함할 수 있다. 이때, 실시 예에서는 도면 상에는 도시하지 않았지만, 상기 제2 드라이 필름(DF2)의 형성 전에, 상기 절연층(210)의 표면 및 상기 비아 홀(VH)의 내벽에 화학동도금층을 형성할 수 있다. 상기 화학동도금층은 제2 회로 패턴(230)을 전해 도금하여 형성하기 위한 시드층일 수 있다. Next, as shown in FIG. 9D , in the embodiment, a second dry film DF2 is formed on the insulating layer 210 . In this case, the second dry film DF2 may be entirely formed on the insulating layer 210 . Thereafter, in an embodiment, the second dry film DF2 may be exposed and developed to form an opening. For example, the second dry film DF2 may include an opening exposing the formed via hole and an opening exposing an area in which the second circuit pattern 230 is to be formed. At this time, although not shown in the drawings in the embodiment, a chemical copper plating layer may be formed on the surface of the insulating layer 210 and the inner wall of the via hole VH before the formation of the second dry film DF2 . The chemical copper plating layer may be a seed layer for forming the second circuit pattern 230 by electrolytic plating.

이후, 실시 예에서는 상기 비아 홀(VH)의 내부 및 상기 제2 드라이 필름(DF2)의 개구부를 채우는 비아(240) 및 제2 회로 패턴(230)을 형성하는 공정을 진행할 수 있다. 예를 들어, 실시 예에서는 상기 화학동도금층을 시드층으로 전해 도금을 진행하여, 상기 비아 홀(VH)의 내부 및 상기 제2 드라이 필름(DF2)의 개구부를 채우는 비아(240) 및 제2 회로 패턴(230)을 형성할 수 있다. 이때, 실시 예에서의 비아 홀(VH)은 상기 제1 회로 패턴(220)의 패드(222)보다 큰 폭을 가지며, 이에 따라 상기 비아(242)는 상기 패드(222)의 주위를 감싸며 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 비아(240)는 상기 패드(222)의 적어도 3개의 면을 감싸며 형성되고, 적어도 일부가 상기 금속층(CB2)과 접촉할 수 있다. Thereafter, in the embodiment, a process of forming the via 240 and the second circuit pattern 230 filling the inside of the via hole VH and the opening of the second dry film DF2 may be performed. For example, in the embodiment, the via 240 and the second circuit filling the inside of the via hole VH and the opening of the second dry film DF2 by electroplating the chemical copper plating layer as a seed layer. A pattern 230 may be formed. In this case, the via hole VH in the embodiment has a greater width than the pad 222 of the first circuit pattern 220 , and thus the via 242 may be formed around the pad 222 . can For example, the via 240 may be formed to surround at least three surfaces of the pad 222 , and at least a portion of the via 240 may contact the metal layer CB2 .

다음으로, 도 7g 내지 도 7i와 대응하는 공정을 진행함에 따라, 도 9e에 도시된 바와 같이 회로 기판을 제조할 수 있다.Next, as shown in FIG. 9E , a circuit board may be manufactured by performing processes corresponding to FIGS. 7G to 7I .

상기와 같이 실시 예에서는 비아의 사이즈를 유지하면서, 상기 비아의 제1면의 내부에 제1 회로 패턴의 패드가 매립되도록 하여, 상기 비아의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한다.As described above, in the embodiment, the pad of the first circuit pattern is buried in the first surface of the via while maintaining the size of the via, so that the reliability of the via can be improved.

도 10은 제2 실시 예의 변형 예의 회로 기판을 나타낸 도면이다.10 is a view showing a circuit board of a modified example of the second embodiment.

도 10을 참조하면, 회로 기판은 절연층(310), 제1 회로 패턴(320), 제2 회로 패턴(330), 비아(340), 제1 보호층(350), 제2 보호층(355), 제1 표면 처리층(360) 및 제2 표면 처리층(370)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10 , the circuit board includes an insulating layer 310 , a first circuit pattern 320 , a second circuit pattern 330 , a via 340 , a first passivation layer 350 , and a second passivation layer 355 . ), a first surface treatment layer 360 , and a second surface treatment layer 370 .

이때, 제2 실시 예에서, 제1 회로 패턴(220)의 패드(222)는 비아(240)의 제1면의 폭보다 작은 폭을 가졌으며, 이에 따라, 비아(240)가 상기 패드(222)를 둘러싸며 배치되었다.In this case, in the second embodiment, the pad 222 of the first circuit pattern 220 has a width smaller than the width of the first surface of the via 240 , and accordingly, the via 240 is the pad 222 . ) was placed around the

이와 다르게, 이의 변형 예에서, 상기 제1 회로 패턴(320)의 패드(322)는 상기 비아(340)의 제1면의 폭과 동일한 폭을 가질 수 있다. 이에 따라, 변형 예에서는, 상기 제1 회로 패턴(320)의 패드(322)가 실장 패드로 기능하지만, 상기 패드(322)는 실질적으로 비아(340)의 제1면의 폭과 동일한 폭을 가짐에 따라, 이상에서 설명한 패드의 피치(P1)에는 영향을 주지 않는다. Alternatively, in a modified example thereof, the pad 322 of the first circuit pattern 320 may have the same width as the width of the first surface of the via 340 . Accordingly, in the modified example, the pad 322 of the first circuit pattern 320 functions as a mounting pad, but the pad 322 has substantially the same width as the width of the first surface of the via 340 . Accordingly, the pitch P1 of the pad described above is not affected.

즉, 제2 실시 예의 변형 예로, 비교 예와 동일하게 비아(340)가 절연층(310)의 두께와 동일한 두께를 가지도록 형성하고, 이의 제1면에 제1 회로 패턴(320)의 패드(322)를 형성한다. 이때, 상기 패드(322)는 비교 예에서와 같이 비아(340)의 제1면의 폭보다 크지 않은, 실질적으로 동일한 폭을 가진다. 이에 따라 실시 예에서는 실장 패드의 피치를 100㎛ 이하, 나아가 90㎛ 이하, 더 나아가 80㎛ 이하로 할 수 있다.That is, as a modified example of the second embodiment, the via 340 is formed to have the same thickness as the thickness of the insulating layer 310 as in the comparative example, and the pad ( 322) is formed. In this case, the pad 322 has substantially the same width, which is not greater than the width of the first surface of the via 340 as in the comparative example. Accordingly, in the embodiment, the pitch of the mounting pad may be 100 µm or less, further 90 µm or less, and further 80 µm or less.

- 패키지 기판 -- Package board -

도 11은 실시 예에 따른 패키지 기판을 나타낸 도면이다.11 is a view showing a package substrate according to an embodiment.

도 11을 참조하면, 패키지 기판은 도 2a, 도 3, 도 4a, 도 5, 도 6a, 도 8, 및 도 9 중 어느 하나에 도시된 회로 기판을 포함할 수 있다. 다만, 패키지 기판은 다층 기판을 이용하여 칩을 실장하도록 하며, 이에 따라 도 5에 도시된 회로 기판을 포함하는 패키지 기판에 대해 설명하기로 한다. 다만, 실시 예는 이에 한정되지 않으며, 상기 회로 기판은 다른 도면에 포함된 회로 기판을 포함할 수 있을 것이다.Referring to FIG. 11 , the package substrate may include the circuit board shown in any one of FIGS. 2A, 3, 4A, 5, 6A, 8, and 9 . However, as the package substrate, a chip is mounted using a multilayer substrate, and accordingly, the package substrate including the circuit substrate shown in FIG. 5 will be described. However, the embodiment is not limited thereto, and the circuit board may include a circuit board included in other drawings.

패키지 기판은 회로 기판을 포함한다.The package substrate includes a circuit board.

또한, 패키지 기판은 회로 기판(100c)의 실장 패드 상에 배치된 제1 접착부(410)를 포함한다. 바람직하게, 실시 예에서, 회로 기판(100c)은 제1 회로 패턴(120)에서, 패드를 포함하지 않으며, 이에 따라 상기 제1 접착부(410)는 비아(140)의 제1면 또는 상면에 배치될 수 있다. 바람직하게, 상기 제1 접착부(410)는 상기 비아(140)의 제1면 또는 상면에 배치된 제1 표면 처리층(160)에 배치될 수 있다.In addition, the package substrate includes the first adhesive portion 410 disposed on the mounting pad of the circuit board 100c. Preferably, in the embodiment, the circuit board 100c does not include a pad in the first circuit pattern 120 , and thus the first adhesive part 410 is disposed on the first surface or the upper surface of the via 140 . can be Preferably, the first adhesive part 410 may be disposed on the first surface treatment layer 160 disposed on the first surface or upper surface of the via 140 .

상기 제1 접착부(410)는 일 예로 육면체 형상일 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 접착부(410)의 단면은 사각형 형상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 접착부(410)의 단면은 직사각형 또는 정사각형 형상을 포함할 수 있다. 다른 일 예로, 상기 제1 접착부(410)는 구형 형상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 접착부(410)의 단면은 원형 형상 또는 반원 형상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 접착부(410)의 단면은 부분적으로 또는 전체적으로 라운드진 형상을 포함할 수 있다. 일 예로, 상기 제1 접착부(410)의 단면 형상은 일 측면에서 평면이고, 상기 일 측면과 반대되는 타 측면에서 곡면일 것을 포함할 수 있다. 한편, 상기 제1 접착부(410)는 마이크로 볼일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The first adhesive part 410 may have a hexahedral shape, for example. For example, a cross-section of the first adhesive part 410 may have a rectangular shape. For example, a cross-section of the first adhesive part 410 may have a rectangular or square shape. As another example, the first adhesive part 410 may have a spherical shape. For example, a cross-section of the first adhesive part 410 may have a circular shape or a semicircular shape. For example, the cross-section of the first adhesive part 410 may include a partially or entirely rounded shape. For example, the cross-sectional shape of the first adhesive part 410 may include a flat surface on one side and a curved surface on the other side opposite to the one side. Meanwhile, the first adhesive part 410 may be a micro ball, but is not limited thereto.

상기 제1 접착부(410) 상에는 칩(420)이 실장될 수 있다. 상기 제1 접착부(410) 상에는 단자(430)가 연결되는 칩(420)이 실장될 수 있다.A chip 420 may be mounted on the first adhesive part 410 . A chip 420 to which the terminal 430 is connected may be mounted on the first adhesive part 410 .

예를 들어, 상기 칩(420)은 구동 IC 칩(Drive IC chip)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 칩(420)은 구동 IC 칩(Drive IC chip) 이외의 소켓 또는 소자를 포함하는 다양한 칩을 의미할 수 있다. 예를 들어, 상기 칩(420)은 다이오드 칩, 전원 IC 칩, 터치센서 IC 칩, MLCC 칩, BGA 칩, 칩 콘덴서 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 칩(420)은 전력관리 집적회로(PMIC: Power Management IC)일 수 있다. 예를 들어, 상기 칩(420)은 휘발성 메모리(예컨대, DRAM), 비-휘발성 메모리(예컨대, ROM), 플래시 메모리 등의 메모리 칩일 수 있다. 예를 들어, 상기 칩(420)은 센트랄 프로세서(예컨대, CPU), 그래픽 프로세서(예컨대, GPU), 디지털 신호 프로세서, 암호화 프로세서, 마이크로 프로세서, 마이크로 컨트롤러 등의 어플리케이션 프로세서(AP) 칩이나, 아날로그-디지털 컨버터, ASIC(application-specific IC) 등의 로직 칩일 수 있다. 여기에서, 도면 상에는 패키지 기판에 1개의 칩만이 실장되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 상기 회로 기판에는 상호 이격되며 복수의 칩이 실장될 수 있다. 상기 복수의 칩은 센트랄 프로세서(CPU)에 대응하는 제1 AP 칩과, 그래픽 프로세서(GPU)에 대응하는 제2 AP 칩을 포함할 수 있다. For example, the chip 420 may include a drive IC chip. For example, the chip 420 may refer to various chips including sockets or devices other than a drive IC chip. For example, the chip 420 may include at least one of a diode chip, a power supply IC chip, a touch sensor IC chip, an MLCC chip, a BGA chip, and a chip capacitor. For example, the chip 420 may be a power management integrated circuit (PMIC). For example, the chip 420 may be a memory chip such as a volatile memory (eg, DRAM), a non-volatile memory (eg, ROM), a flash memory, or the like. For example, the chip 420 is an application processor (AP) chip such as a central processor (eg, CPU), a graphic processor (eg, GPU), a digital signal processor, an encryption processor, a microprocessor, a microcontroller, or an analog It may be a logic chip such as a digital converter or an application-specific IC (ASIC). Here, although it is illustrated that only one chip is mounted on the package substrate in the drawings, the present invention is not limited thereto. For example, a plurality of chips may be mounted on the circuit board spaced apart from each other. The plurality of chips may include a first AP chip corresponding to a central processor (CPU) and a second AP chip corresponding to a graphics processor (GPU).

상기 회로 기판 상에는 몰딩층(430)이 형성될 수 있다. 상기 몰딩층(430)은 상기 실장된 칩(420)을 덮으며 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 몰딩층(230)은 상기 실장된 칩(420)을 보호하기 위해 형성되는 EMC(Epoxy Mold Compound)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.A molding layer 430 may be formed on the circuit board. The molding layer 430 may be disposed to cover the mounted chip 420 . For example, the molding layer 230 may be an epoxy mold compound (EMC) formed to protect the mounted chip 420 , but is not limited thereto.

한편, 회로 기판이 다층 구조를 가지는 경우, 각각의 절연층에 배치된 회로 패턴의 선폭이나 간격은 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 칩과 가장 인접하게 배치된 회로 패턴이 가장 작은 선폭 및 간격을 가질 수 있고, 칩과 가장 멀리 배치된 회로 패턴이 가장 큰 선폭 및 간격을 가질 수 있다.Meanwhile, when the circuit board has a multilayer structure, the line widths or intervals of circuit patterns disposed on each insulating layer may be different from each other. For example, a circuit pattern disposed closest to the chip may have the smallest line width and spacing, and a circuit pattern disposed furthest from the chip may have the largest line width and spacing.

이에 따라, 실시 예에서의 상기 회로 기판(100c)에 포함된 비아들은 서로 다른 폭을 가질 수 있다. Accordingly, the vias included in the circuit board 100c in the embodiment may have different widths.

예를 들어, 칩과 인접하게 배치된 절연층에 배치된 비아는 이상에서 설명한 비아(140)에 대응하는 폭을 가질 수 있다. 그리고, 다른 절연층에 배치된 비아는 상기 비아(140)와 멀어질수록 폭이 점차 증가할 수 있다. 예를 들어, 회로 기판에서 최하측에 배치된 비아가 가장 큰 폭을 가질 수 있다. For example, the via disposed in the insulating layer disposed adjacent to the chip may have a width corresponding to the via 140 described above. In addition, the width of a via disposed in another insulating layer may gradually increase as it moves away from the via 140 . For example, a via disposed on the lowermost side of the circuit board may have the largest width.

한편, 실시 예에서, 회로 기판의 최하측에 배치되고, 보호층의 개부를 통해 노출된 회로 패턴 상에는 제2 접착부(450)가 배치될 수 있다. 상기 제2 접착부(450)는 솔더 볼일 수 있다. 상기 제2 접착부(450)는 외부기판의 메인 보드와 연결될 수 있다. Meanwhile, in an embodiment, the second adhesive part 450 may be disposed on the lowermost side of the circuit board and on the circuit pattern exposed through the opening of the protective layer. The second adhesive part 450 may be a solder ball. The second adhesive part 450 may be connected to the main board of the external substrate.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, etc. described in the above embodiments are included in at least one embodiment, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, features, structures, effects, etc. illustrated in each embodiment can be combined or modified for other embodiments by those of ordinary skill in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the embodiments.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In the above, the embodiment has been mainly described, but this is only an example and does not limit the embodiment, and those of ordinary skill in the art to which the embodiment pertains are provided with several examples not illustrated above within a range that does not depart from the essential characteristics of the embodiment. It can be seen that variations and applications of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be implemented by modification. And differences related to such modifications and applications should be interpreted as being included in the scope of the embodiments set forth in the appended claims.

Claims (18)

절연층;
상기 절연층의 상면에 배치된 제1 회로 패턴;
상기 절연층의 상기 상면과 반대되는 하면에 배치된 제2 회로 패턴; 및
상기 절연층을 관통하며, 상기 제1 회로 패턴 및 상기 제2 회로 패턴과 전기적으로 연결되는 비아를 포함하고,
상기 제1 회로 패턴은, 상기 절연층의 상기 상면 내에 매립되고,
상기 비아의 상면은 상기 제1 회로 패턴의 하면보다 높게 위치하고,
상기 비아는, 제1 비아 및 상기 제1 비아와 폭 방향으로 이격된 제2 비아를 포함하고,
상기 제1 비아의 중심에서 상기 제2 비아의 중심까지의 거리에 대응하는 피치는, 100㎛ 이하인,
회로 기판.
insulating layer;
a first circuit pattern disposed on an upper surface of the insulating layer;
a second circuit pattern disposed on a lower surface of the insulating layer opposite to the upper surface; and
a via passing through the insulating layer and electrically connected to the first circuit pattern and the second circuit pattern;
The first circuit pattern is embedded in the upper surface of the insulating layer,
The upper surface of the via is located higher than the lower surface of the first circuit pattern,
The via includes a first via and a second via spaced apart from the first via in a width direction;
A pitch corresponding to a distance from the center of the first via to the center of the second via is 100 μm or less,
circuit board.
제1항에 있어서,
상기 제1 비아의 상면 및 상기 제2 비아의 상면은,
상기 제1 회로 패턴의 상면과 동일 평면 상에 위치하는,
회로 기판.
According to claim 1,
a top surface of the first via and a top surface of the second via,
located on the same plane as the upper surface of the first circuit pattern,
circuit board.
제1항에 있어서,
상기 제1 비아 및 상기 제2 비아의 각각의 두께는,
상기 제1 회로 패턴의 하면에서 상기 제2 회로 패턴의 상면까지의 거리에 대응하는 상기 절연층의 두께보다 큰,
회로 기판.
According to claim 1,
Each thickness of the first via and the second via is,
greater than the thickness of the insulating layer corresponding to the distance from the lower surface of the first circuit pattern to the upper surface of the second circuit pattern;
circuit board.
제1항에 있어서,
상기 제1 회로 패턴은 트레이스를 포함하고,
상기 제1 회로 패턴의 트레이스는, 상기 제1 비아의 측면과 상기 제2 비아의 측면 사이에 적어도 1개 이상 배치되는,
회로 기판.
According to claim 1,
the first circuit pattern includes a trace,
At least one trace of the first circuit pattern is disposed between a side surface of the first via and a side surface of the second via;
circuit board.
제4항에 있어서,
상기 제2 회로 패턴은,
상기 제1 비아와 연결되는 제1 패드; 및
상기 제2 비아와 연결되는 제2 패드를 포함하고,
상기 제1 회로 패턴의 트레이스는,
상기 제1 패드 및 상기 제2 패드 중 적어도 하나와 두께 방향으로 오버랩되는,
회로 기판.
5. The method of claim 4,
The second circuit pattern is
a first pad connected to the first via; and
a second pad connected to the second via;
The trace of the first circuit pattern,
overlapping with at least one of the first pad and the second pad in the thickness direction,
circuit board.
제5항에 있어서,
상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이의 간격은, 2㎛ 내지 30㎛의 범위를 가지는,
회로 기판.
6. The method of claim 5,
A distance between the first pad and the second pad is in the range of 2 μm to 30 μm,
circuit board.
제5항에 있어서,
상기 제2 회로 패턴은 트레이스를 포함하고,
상기 제2 회로 패턴의 트레이스는, 상기 절연층의 하면에서, 상기 제2 회로 패턴의 상기 제1 패드 및 상기 제2 패드 사이의 영역을 제외한 영역에 배치되는,
회로 기판.
6. The method of claim 5,
the second circuit pattern includes a trace,
the traces of the second circuit pattern are disposed on a lower surface of the insulating layer except for a region between the first pad and the second pad of the second circuit pattern;
circuit board.
제1항에 있어서,
상기 제1 비아 및 상기 제2 비아 각각은,
상면의 폭이 하면의 폭보다 작은,
회로 기판.
According to claim 1,
each of the first via and the second via,
The width of the upper surface is smaller than the width of the lower surface,
circuit board.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 비아, 상기 제2 비아 및 상기 제1 회로 패턴의 각각의 상면은 곡면을 포함하는,
회로 기판.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Each of the first via, the second via, and the upper surface of the first circuit pattern includes a curved surface,
circuit board.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 비아, 상기 제2 비아 및 상기 제1 회로 패턴의 각각의 상면은 상기 절연층의 상면보다 낮게 위치하는,
회로 기판.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
an upper surface of each of the first via, the second via, and the first circuit pattern is positioned lower than an upper surface of the insulating layer;
circuit board.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 비아 및 상기 제2 비아의 상면에 배치되는 제1 표면 처리층을 포함하는,
회로 기판.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
a first surface treatment layer disposed on upper surfaces of the first via and the second via;
circuit board.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 비아의 중심에서 상기 제2 비아의 중심까지의 거리에 대응하는 피치는, 90㎛ 이하인,
회로 기판.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
A pitch corresponding to a distance from the center of the first via to the center of the second via is 90 μm or less,
circuit board.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연층은 복수 개의 층으로 구성되고,
상기 제1 비아 및 상기 제2 비아는, 상기 복수 개의 절연층 중 최외측에 배치된 제1 최외측 절연층 내에 배치되고,
상기 제1 회로 패턴은 상기 제1 최외측 절연층의 상면에 매립되고,
상기 제2 회로 패턴은 상기 제1 최외측 절연층의 하면에 배치되는,
회로 기판.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
The insulating layer is composed of a plurality of layers,
The first via and the second via are disposed in a first outermost insulating layer disposed on an outermost side of the plurality of insulating layers,
The first circuit pattern is buried in the upper surface of the first outermost insulating layer,
The second circuit pattern is disposed on a lower surface of the first outermost insulating layer,
circuit board.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 회로 패턴은,
상기 제1 비아와 두께 방향으로 오버랩되는 제1 패드 및 상기 제2 비아와 두께 방향으로 오버랩되는 제2 패드를 포함하고,
상기 제1 패드의 폭은, 상기 제1 비아의 상면의 폭보다 작고,
상기 제2 패드의 폭은 상기 제2 비아의 상면의 폭보다 작은,
회로 기판.
9. The method according to any one of claims 1 to 8,
The first circuit pattern is
a first pad overlapping the first via in a thickness direction and a second pad overlapping the second via in a thickness direction;
a width of the first pad is smaller than a width of an upper surface of the first via;
a width of the second pad is smaller than a width of a top surface of the second via;
circuit board.
제14항에 있어서,
상기 제1 비아는,
상기 제1 회로 패턴의 상기 제1 패드의 측면을 둘러싸며 배치되고,
상기 제2 비아는,
상기 제1 회로 패턴의 상기 제1 패드의 측면을 둘러싸며 배치되는,
회로 기판.
15. The method of claim 14,
The first via is
disposed to surround a side surface of the first pad of the first circuit pattern;
The second via is
disposed to surround a side surface of the first pad of the first circuit pattern,
circuit board.
절연층;
상기 절연층의 상면에 매립되어 배치된 제1 회로 패턴;
상기 절연층의 상기 상면과 반대되는 하면에 배치된 제2 회로 패턴;
상기 절연층을 관통하며 배치되고, 상기 제1 회로 패턴 및 상기 제2 회로 패턴과 전기적으로 연결되는 비아;
상기 비아의 상면에 배치되는 제1 표면 처리층;
상기 제1 표면 처리층의 상면에 배치되는 제1 접착부;
상기 제1 접착부 상에 배치되는 칩;
상기 절연층의 상면에 배치되고, 상기 칩을 몰딩하는 몰딩층을 포함하고,
상기 비아의 상면은 상기 제1 회로 패턴의 하면보다 높게 위치하고,
상기 비아는, 제1 비아 및 상기 제1 비아와 폭 방향으로 이격된 제2 비아를 포함하고,
상기 제1 비아의 중심에서 상기 제2 비아의 중심까지의 거리에 대응하는 피치는, 100㎛ 이하인,
패키지 기판.
insulating layer;
a first circuit pattern buried in an upper surface of the insulating layer;
a second circuit pattern disposed on a lower surface of the insulating layer opposite to the upper surface;
a via passing through the insulating layer and electrically connected to the first circuit pattern and the second circuit pattern;
a first surface treatment layer disposed on an upper surface of the via;
a first adhesive part disposed on an upper surface of the first surface treatment layer;
a chip disposed on the first adhesive part;
It is disposed on the upper surface of the insulating layer, comprising a molding layer for molding the chip,
The upper surface of the via is located higher than the lower surface of the first circuit pattern,
The via includes a first via and a second via spaced apart from the first via in a width direction;
A pitch corresponding to a distance from the center of the first via to the center of the second via is 100 μm or less,
package board.
제16항에 있어서,
상기 절연층은 복수 개의 층으로 구성되고,
상기 제1 비아 및 상기 제2 비아는, 상기 복수 개의 절연층 중 최외측에 배치된 제1 최외측 절연층 내에 배치되는,
패키지 기판.
17. The method of claim 16,
The insulating layer is composed of a plurality of layers,
The first via and the second via are disposed in a first outermost insulating layer disposed on an outermost side of the plurality of insulating layers,
package board.
제16항에 있어서,
상기 칩은 폭 방향으로 상호 이격되어 배치되는 제1 칩 및 제2 칩을 포함하고,
상기 제1 칩은 센트랄 프로세서(CPU)에 대응하고,
상기 제2 칩은 그래픽 프로세서(GPU)에 대응하는,
패키지 기판.
17. The method of claim 16,
The chip includes a first chip and a second chip disposed to be spaced apart from each other in the width direction,
The first chip corresponds to a central processor (CPU),
The second chip corresponds to a graphics processor (GPU),
package board.
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