KR20220135082A

KR20220135082A - 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20220135082A
Application number: KR1020210040651A
Authority: KR
Inventors: 구황섭; 박종군; 윤기상; 김경호
Original assignee: (주)위드멤스
Priority date: 2021-03-29
Filing date: 2021-03-29
Publication date: 2022-10-06
Also published as: KR102525844B1

Abstract

피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어셈블리에 있어서, 복수의 필름 홀을 구비하는 절연성의 필름; 전도성 입자를 함유하고 탄성 변형 가능하도록 형성되고, 상기 관통홀 각각에 삽입되어 상기 필름의 두께 방향으로 돌출되도록 배치되는 컨택터; 및 상기 필름 상에 배치되고, 상기 컨택터를 수용 및 지지하도록 형성되는 블록 홀을 구비하는 가이드 블록을 포함한다.

Description

컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법{CONTACTOR ASSEMBLY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

반도체 소자에 대한 성능 검사 시에는 다수의 프로브 핀이 장착된 프로브 조립체가 사용된다. 프로브 조립체에 장착되어 있는 다수의 프로브 핀은 피검사체의 패드에 접촉하면서 전기를 보내고, 돌아오는 신호에 따라 피검사체의 불량 패드를 선별한다.

다수의 프로브 핀으로 포고 핀(Pogo pin) 등을 사용하고 있으며, 탄성력에 의해 피검사체 패드의 단자와의 접촉을 보장하면서 전기적으로 검사 신호를 전달할 수 있다. 그러나, 종래에는, 개별적으로 포고 핀 등의 프로브 핀을 제작하고, 제작된 프로브 핀을 베이스 부재 등에 조립하여 하나의 조립체를 제조하는 복잡한 과정을 필요로 한다.

이러한 조립체 구성과 다르게, 선행기술인 한국등록특허공보 제756120호는 하나의 탄성체로 이루어진 프로브 부재를 개시하였고, 전술한 조립 과정이 생략될 수 있다. 선행기술에 개시된 프로브 부재는 도전성 입자가 함유된 복수의 접속용 도전부가 일 방향으로 정렬된 하나의 탄성체로 구성된다.

그러나, 이러한 탄성체 구조의 경우, 이웃하는 프로브 핀 간에 힘과 변위가 전달될 수 있고, 전기 신호의 간섭이 일어날 가능성도 있다. 예를 들어, 피검사체와 접촉하여 검사를 진행하는 과정에서 이웃하는 프로브 핀 간에 전기 또는 열이 통하는 등 서로 간의 간섭으로 검사의 정확성이 저하될 수 있다.

따라서, 종래 기술에 따른 프로브 부재는 정확한 접촉을 보장하는데 문제점, 핀마다 개별적인 오버 드라이브를 정확하게 구현하기 어려운 문제점 등이 존재한다. 예를 들어, 플렉서블한 컨택터는 피검사체 패드와의 접촉 시, 압착에 의해 각각의 컨택터가 휘어질 우려가 있다. 나아가, 하나의 탄성체 구조로는 핀에 해당하는 부위만을 길게, 핀과 핀 사이의 간격(피치)을 좁게 형성하기 어려운 문제점 등이 있다.

한국등록특허공보 제756120호 (2007. 8. 30. 등록)

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 컨택터 간의 피치를 미세화하면서도 컨택터 상호간 절연 및 개별적인 동작이 보장될 수 있는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.

또한, 컨택터 간의 피치를 미세화하면서도 컨택터 상호간 열 팽창이나 위치 변화에 의한 간섭이 억제될 수 있는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.

또한, 컨택터의 탄성 변형을 가이드 및 지지하고, 피검사체의 패드나 단자 등이 정확하고 안정적으로 접속될 수 있는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.

또한, 컨택터의 지지 및 조립을 위한 구성요소를 최소화하여, 경제성 및 경량화를 달성할 수 있는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.

또한, 컨택터의 길이를 길게 형성하면서 컨택터 간의 피치를 미세화할 수 있도록 구성되는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.

다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명의 일 실시예는, 피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어셈블리에 있어서, 복수의 필름 홀을 구비하는 절연성의 필름; 전도성 입자를 함유하고 탄성 변형 가능하도록 형성되고, 상기 관통홀 각각에 삽입되어 상기 필름의 두께 방향으로 돌출되도록 배치되는 컨택터; 및 상기 필름 상에 배치되고, 상기 컨택터를 수용 및 지지하도록 형성되는 블록 홀을 구비하는 가이드 블록을 포함하는, 컨택터 어셈블리를 제공 할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예는, 피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어셈블리를 제조하는 방법에 있어서, 필름 홀이 형성되어 있는 필름과 상기 필름 홀에 대응하는 수용부를 구비하는 몰드를 서로 정렬시키는 단계; 상기 수용부에 전도성 입자가 함유된 액상의 컨택터를 채우는 단계; 상기 수용부에 대응하는 위치에 자성체 패드가 형성된 자력 집중 부재를 상기 몰드에 정렬시키고 상기 컨택터를 경화시키는 단계; 상기 몰드로부터 일체로 형성된 상기 필름 및 상기 컨택터를 분리하는 단계; 및 상기 컨택터를 수용하는 블록 홀을 구비하는 가이드 블록을 상기 일체로 형성된 상기 필름 및 상기 컨택터에 조립하는 단계를 포함하는, 컨택터 어레이를 제조하는 방법을 제공할 수 있다.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본 발명을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 컨택터 간의 피치를 미세화하면서도 컨택터 상호간 절연 및 개별적인 동작이 보장될 수 있는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 컨택터 간의 피치를 미세화하면서도 컨택터 상호간 열 팽창이나 위치 변화에 의한 간섭이 억제될 수 있는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 컨택터의 탄성 변형을 가이드 및 지지하고, 피검사체의 패드나 단자 등이 정확하고 안정적으로 접속될 수 있는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 컨택터의 지지 및 조립을 위한 구성요소를 최소화하여, 경제성 및 경량화를 달성할 수 있는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 컨택터의 길이를 길게 형성하면서 컨택터 간의 피치를 미세화할 수 있도록 구성되는 컨택터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 컨택터 어셈블리를 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시한 가이드 블록의 블록 홀을 자세히 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 컨택터 어셈블리의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 9는 도 3에 도시한 컨택터 제조 방법의 각 단계를 도시한 도면이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 컨택터 어셈블리를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시한 가이드 블록의 블록 홀을 자세히 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 컨택터 어셈블리(100)는 절연성의 필름(110), 컨택터(120) 및 가이드 블록(130)을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 필름(110) 및 컨택터(120)는 상 변화에 의하여 경화되어 서로 일체로 형성될 수 있고, 일체화된 구조체에 가이드 블록(130)을 조립하여 필름(110), 컨택터(120) 및 가이드 블록(130)을 일체화시킨 컨택터 어셈블리(100)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 액상의 컨택터(120)는 절연성의 필름(110)을 개재한 채 고체 상으로 상 변화가 일어날 수 있고, 점성(viscosity)이 증가되면서 경화될 수 있다. 상 변화에 의하여 필름(110)과 접합된 컨택터(120)는 가이드 블록(130)과 조립되어 일체화된 구조체, 즉, 컨택터 어셈블리(100)를 형성할 수 있다. 이하, 각 구성에 대해 살펴보도록 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 필름(110)은 복수의 필름 홀(111)을 구비하는 절연성의 필름(110)이다. 예를 들어, 필름(110)은 복수의 필름 홀(111)에 복수의 컨택터(120)를 각각 수용하여 컨택터(120)와 일체화된 구조체를 형성할 수 있다.

필름(110)은 컨택터(120)에 비하여 열팽창 계수가 작은 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 필름(110)은 폴리이미드(polyimide) 재질로 이루어질 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터 어셈블리(100)는 열팽창 계수가 작은 폴리이미드 재질의 필름(110)에 복수의 컨택터(120)가 나열될 수 있다. 폴리이미드 재질의 필름(110)은 열에 대한 수축 또는 팽창에 따른 위치 변형이 적어 정렬이 틀어지는 것(Mis-Align)을 방지할 수 있다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터(120)는 전도성 입자(121)를 함유하고, 탄성 변형 가능하도록 형성되고, 필름 홀(111) 각각에 삽입되어 필름(110)의 두께 방향으로 돌출되도록 배치될 수 있다.

컨택터(120)는 전도성 입자를 함유하는 실리콘(silicone)을 포함하는 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 컨택터(120)는 다양한 종류의 고분자 물질을 포함할 수 있다. 컨택터(120)는 실리콘, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, SBR, NBR 등 및 그들의 수소화합물과 같은 디엔형 고무로 형성될 수 있고, 또한, 스티렌부타디엔 블럭코폴리머, 스티렌이소프렌 블럭코폴리머 등 및 그들의 수소 화합물과 같은 블럭코폴리머로 이루어질 수도 있다. 또한, 컨택터(120)는 클로로프렌, 우레탄 고무, 폴리에틸렌형 고무, 에피클로로히드린 고무, 에틸렌-프로필렌 코폴리머, 에틸렌프로필렌디엔 코폴리머 등의 재질로 이루어질 수 있다.

컨택터(120)는 제1 탄성부(122) 및 제2 탄성부(123)를 포함할 수 있다. 제1 탄성부(122)는 필름 홀(111)을 관통하도록 배치될 수 있고, 제2 탄성부(123)는 제1 탄성부(122)에 두께 방향으로 연결될 수 있다.

컨택터(120)는 제1 탄성부(122)와 제2 탄성부(123)의 두께 방향에서 바라본 단면 형상이 상이한 것을 특징으로 할 수 있다. 예를 들어, 제2 탄성부(123)의 두께 방향에서 바라본 단면 형상은 제1 탄성부(122)의 두께 방향에서 바라본 단면 형상보다 작게 설계할 수 있다. 양 단부에 배치된 제2 탄성부(123)는 피검사체(10, 또는 검사 장치의 패드)에 접촉되므로, 상대적으로 직경을 작게, 즉, 단면 형상을 작게 형성하여 미세 피치의 패드(11) 또는 단자 등에 대응시킬 수 있고, 상대물과의 조립 시 접촉 면적을 넓히고 형상을 다양하게 할 수 있다. 또한, 양 단부에 배치된 제2 탄성부(123)는 중심부에 배치된 제1 탄성부(122)에 비해 직경을 작게 설계함으로써, 주변 부품과의 간섭을 피할 수 있고, 인접한 핀 간의 누설 전류를 최소화할 수 있다.

반면, 필름 홀(111)을 관통하도록 중심부에 배치된 제1 탄성부(122)는 상대적으로 직경을 크게, 즉 넓은 단면적을 가지도록 형성하여 테스트 시 요구되는 전기 전도도를 확보할 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터(120)는 필름 홀(111)을 관통한 상태로 고정되어, 컨택터(120)와 필름(110)이 서로 일체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 컨택터(120)는 별도의 접착 물질 또는 체결 부품 등을 포함하는 결합을 위한 매개물 없이 필름 홀(111)을 관통한 상태로 고정되어 필름(110)과 결합될 수 있다. 컨택터(120)는 필름 홀(111)에 삽입된 상태에서 상 변화에 의하여 경화되어 필름(110)과 일체로 직접 접합된 구조체를 형성할 수 있다. 구체적으로, 필름 홀(111)에 삽입된 액상의 컨택터(120)는 고체 상으로 상 변화가 일어날 수 있고, 점성(viscosity)이 증가되고 경화될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 가이드 블록(130)은 필름(110) 상에 배치되고, 컨택터(120)를 수용 및 지지하도록 형성될 수 있다. 가이드 블록(130)은 컨택터(120)에 비하여 열팽창 계수가 작은 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 가이드 블록(130)은 FR4, 울템(Ultem), 피크(Peek) 및 톨론(Torlon) 등과 같은 기타 엔지니어링 플라스틱(Engineering Plastic) 재질로 이루어질 수 있다. 가이드 블록(130)은 컨택터(120)를 측면에서 지지할 수 있어, 연질의 실리콘 등으로 플렉서블한 컨택터(120)의 내구성을 향상시킬 수 있다.

도 2를 참조하면, 가이드 블록(130)은 블록 홀(131)을 구비할 수 있고, 블록 홀(131)을 통해 컨택터(120)를 수용할 수 있다. 블록 홀(131)은 제1 홀 부분(131a) 및 제2 홀 부분(131b)을 포함할 수 있다. 제1 홀 부분(131a)은 컨택터(120)의 제1 탄성부(122)를 수용하도록 형성될 수 있고, 제2 홀 부분(131b)은 컨택터(120)의 제2 탄성부(123)를 수용하도록 형성될 수 있다. 즉, 컨택터(120)의 제1 탄성부(122)는 제1 홀 부분(131a)에 삽입되고, 제2 탄성부(123)는 제2 홀 부분(131b)에 삽입되어 가이드 블록(130)에 컨택터(120)가 수용될 수 있다.

블록 홀(131)의 일 단부에는 챔퍼부(132)가 형성될 수 있다. 챔퍼부(132)는 가이드 블록(130)의 표면과 블록 홀(131)의 일 단부를 연결하는 오목한 면을 갖도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 챔퍼부(132)는 피검사체(10)의 패드(11)와 직접적으로 접촉하는 컨택터(120)의 제2 탄성부(123)를 수용하는 제2 홀 부분(131b)의 단부에 오목한 면으로 형성될 수 있다.

블록 홀(131)의 일 단부에 형성된 챔퍼부(132)는 피검사체(10) 또는 피검사체(10)의 패드(11)의 적어도 일부분을 수용 및 지지할 수 있다. 예를 들어, 피검사체(10)의 패드(11)와 접촉시, 압축에 의해 탄성 변형되는 복수의 컨택터(120)는 각각 챔퍼부(132)에 의해 지지될 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 컨택터 어셈블리(100)는 챔퍼부(132)에 의해 피검사체(10)의 볼 형상의 패드(11) 등을 수용 및 지지함으로써, 챔퍼부(132)에서 돌출되어 있는 컨택터(120)와의 안정적인 접속을 구현할 수 있다. 특히, 패키징이 완료된 피검사체(10)의 볼 형상 등의 패드(11)를 수용하여 지지할 수 있어, 칩 레벨의 반도체 검사 장치에도 효과적으로 응용될 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 컨택터 어셈블리의 제조 방법을 도시한 도면이다. 도 3에 도시된 컨택터 어셈블리의 제조 방법(S100)은 도 1 및 도 2에 도시된 실시예에 따라 시계열적으로 처리되는 단계들을 포함한다. 따라서, 이하 생략된 내용이라고 하더라도 도 1 및 도 2에 도시된 실시예에 따른 컨택터 어셈블리의 제조 방법(S100)에도 적용된다.

단계 S110에서 컨택터 어셈블리 제조 방법은 필름 홀이 형성되어 있는 필름과 필름 홀에 대응하는 수용부를 구비하는 몰드를 서로 정렬시킬 수 있다.

단계 S120에서 컨택터 어셈블리 제조 방법은 수용부에 전도성 입자가 함유된 액상의 컨택터를 채울 수 있다.

단계 S130에서 컨택터 어셈블리 제조 방법은 수용부에 대응하는 위치에 자성체 패드가 형성된 자력 집중 부재를 몰드에 정렬시키고 컨택터를 경화시킬 수 있다.

단계 S140에서 컨택터 어셈블리 제조 방법은 몰드로부터 일체로 형성된 필름 및 컨택터를 분리할 수 있다.

단계 S150에서 컨택터 어셈블리 제조 방법은 컨택터를 수용하는 블록 홀을 구비하는 가이드 블록을 일체로 형성된 필름 및 컨택터에 조립할 수 있다.

상술한 설명에서, 단계 S110 내지 S150은 본 발명의 구현 예에 따라서, 추가적인 단계들로 더 분할되거나, 더 적은 단계들로 조합될 수 있다. 또한, 일부 단계는 필요에 따라 생략될 수도 있고, 단계 간의 순서가 전환될 수도 있다.

이하, 각 단계를 구체적으로 살펴보도록 한다. 도 4 내지 도 9는 도 3에 도시한 컨택터 제조 방법의 각 단계를 도시한 도면이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 컨택터 어셈블리 제조 방법(S100)은 단계 S110에서 필름 홀(111)이 형성되어 있는 필름(110)과 필름 홀(111)에 대응하는 수용부(211)를 구비하는 몰드(210)를 서로 정렬시킬 수 있다. 예를 들어, 필름(110)의 필름 홀(111)과 몰드(210)의 수용부(211)를 서로 대응시켜 필름(110)과 몰드(210)를 정렬시킬 수 있다. 여기서, 몰드(210)는 자성이 없는 금속이나 수지로 이루어질 수 있다. 일 예로, 알루미늄(Al) 및 토론(Torlon) 등을 포함할 수 있다.

단계 S110에서 복수의 플레이트(212)를 적층하여 수용부(211)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 수용부(211)를 구비한 각 플레이트(212)를 여러 층으로 적층하여 컨택터(120)의 길이가 긴 형상을 용이하게 제조할 수 있다. 다층의 플레이트(212)를 적층하여 컨택터(120)의 길이를 늘려나감으로써, 단면적은 미세하게 유지하면서 길이가 긴 형상의 컨택터(120)를 효과적으로 제조할 수 있다.

단계 S120에서 수용부(211)에 전도성 입자(121)가 함유된 액상의 컨택터(120)를 채울 수 있다. 예를 들어, 필름(110)을 개재한 채 복수의 플레이트(212)를 순차적으로 적층한 후 형성된 수용부(211)에 전도성 입자(121)가 함유된 액상의 컨택터(120)를 채울 수 있다. 다른 예를 들어, 필름(110)을 개재한 채 플레이트(212)를 한 층씩 적층할 때마다 수용부(211)에 전도성 입자(121)가 함유된 액상의 컨택터(120)를 채운 후 다음 층의 플레이트(212)를 적층해 나갈 수 있다.

도 6을 참조하면, 컨택터 어셈블리 제조 방법(S100)은, 단계 S130에서 수용부(211)에 대응하는 위치에 자성체 패드(221)가 형성된 자력 집중 부재(220)를 몰드(210)에 정렬시킬 수 있다. 자력 집중 부재(220)는 일정 간격을 두고 복수의 자성체 패드(221)를 포함할 수 있다. 여기서, 자성체 패드(221)는, 일 예로, 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금(NiCo) 및 철(Fe) 등과 같은 자성체 금속으로 이루어질 수 있다. 자력 집중 부재(220)는 약자성체 재질로 형성함으로써, 자성체 패드(221)에 자력이 집중되도록 유도할 수 있다.

도 7을 참조하면, 컨택터 어셈블리 제조 방법(S100)은, 단계 S130에서 기설정된 압력 및 온도 조건에서 컨택터(120)를 경화시킬 수 있다. 컨택터(120)는 필름 홀(111)에 삽입된 상태로 상 변화에 의하여 경화되어 필름(110)과 일체로 직접 접합된 구조체를 형성할 수 있다. 예를 들어, 컨택터(120)는 수용부(211)에 채워질 때 적어도 일부분이 액체상일 수 있고, 수용부(211) 내에서 수용부(211) 및 필름(110)과 접촉되면서 그 형태가 고정될 수 있다. 이후, 컨택터(120)는 고체 상으로 상 변화가 일어날 수 있고, 점성이 증가되고 경화될 수 있다.

실시예에 따라, 컨택터(120)는 외부의 압력에 의해 필름(110)과 일체로 결합되는 형상으로 경화될 수 있고, 컨택터(120)는 외부에서 가해지는 열에 의해 필름(110)과 일체로 결합될 수 있다. 다만, 추가로 열이나 압력을 가하지 않더라도, 기설정된 온도 및 압력 범위에서 필름(110)과 접촉 상태를 유지하면서 경화되도록 할 수 있다.

단계 S130에서, 자력 집중 부재(220)에 의하여 열 및 압력 중 적어도 하나가 컨택터(120)에 가해질 수 있다. 예를 들어, 자성체 패드(221)에 의하여 수용부(211)가 폐쇄되도록 자력 집중 부재(220)가 몰드(210)에 밀착될 수 있다. 수용부(211)에 액상의 컨택터(120)가 채워진 몰드(210)의 상단과 하단에 자력 집중 부재(220)를 밀착시킬 수 있다. 이때, 도 7에 예시한 것처럼, 자력에 의하여 길이 방향을 따라 전도성 입자가 재배치 및 정렬될 수 있다. 자성체 패드(221)는 컨택터(120)의 자력을 집중시키기 위함이다.

도 8을 참조하면, 컨택터 어셈블리 제조 방법(S100)은, 단계 S140에서 몰드(210)로부터 일체로 형성된 필름(110) 및 컨택터(120)를 분리할 수 있다. 예를 들어, 몰드(210)에 밀착된 자력 집중 부재(220)를 몰드(210)로부터 먼저 분리한 후, 필름(110)과 일체로 형성된 복수의 컨택터(120)를 몰드(210)로부터 분리할 수 있다.

단계 S140에서, 적층된 복수의 플레이트(212)를 한 층씩 제거할 수 있어, 필름(110)과 일체로 제조가 완료된 컨택터(120)를 몰드(210)로부터 쉽게 분리시킬 수 있을 뿐만 아니라, 손상이 가지 않게 분리시킬 수 있다.

도 9를 참조하면, 컨택터 어셈블리 제조 방법(S100)은, 단계 S150에서 컨택터(120)를 수용하는 블록 홀(131)을 구비하는 가이드 블록(130)을 일체로 형성된 필름(110) 및 컨택터(120)에 조립할 수 있다. 예를 들어, 단계 S150에서 필름(110)과 직접 접합되어 하나의 구조체로 일체화된 복수의 컨택터(120)를 가이드 블록(130)의 블록 홀(131)에 삽입하여 조립할 수 있다. 이 때, 가이드 블록(130)은 표면과 이어지는 블록 홀(131)의 일 단부에 오목한 면을 갖는 챔퍼부(132)를 포함할 수 있다.

따라서, 가이드 블록(130)을 포함하는 본 발명에 따른 컨택터 어셈블리(100)는 플렉서블한 컨택터(120)의 탄성 변형을 가이드 및 지지하며 피검사체의 패드나 단자 등에 정확하게 안정적으로 접속될 수 있다.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

100: 컨택터 어셈블리
110: 필름
120: 컨택터
130: 가이드 블록

Claims

피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어셈블리에 있어서,
복수의 필름 홀을 구비하는 절연성의 필름;
전도성 입자를 함유하고 탄성 변형 가능하도록 형성되고, 상기 필름 홀 각각에 삽입되어 상기 필름의 두께 방향으로 돌출되도록 배치되는 컨택터; 및
상기 필름 상에 배치되고, 상기 컨택터를 수용 및 지지하도록 형성되는 블록 홀을 구비하는 가이드 블록을 포함하는, 컨택터 어셈블리.
제 1 항에 있어서,
상기 블록 홀의 일 단부에는 챔퍼부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어셈블리.
제 2 항에 있어서,
상기 챔퍼부는 상기 가이드 블록의 표면과 상기 블록 홀의 일 단부를 연결하는 오목한 면을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어셈블리.
제 1 항에 있어서,
상기 블록 홀의 일 단부에는 상기 피검사체 또는 상기 피검사체의 패드의 적어도 일부분을 수용 및 지지하는 챔퍼부가 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어셈블리.
제 1 항에 있어서,
상기 컨택터는,
상기 필름 홀을 관통하도록 배치되는 제1 탄성부; 및
상기 제1 탄성부에 상기 두께 방향으로 연결되고, 상기 두께 방향에서 바라본 단면 형상이 상기 제1 탄성부와 상이한 제2 탄성부를 구비하는, 컨택터 어셈블리.
제 5 항에 있어서,
상기 블록 홀은,
상기 제1 탄성부를 수용하도록 형성되는 제1 홀 부분; 및
상기 제2 탄성부를 수용하도록 형성되는 제2 홀 부분을 구비하는, 컨택터 어셈블리.
제 1 항에 있어서,
상기 컨택터는 상기 필름 홀을 관통한 상태로 고정되어, 상기 컨택터와 상기 필름이 서로 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어셈블리.
제 1 항에 있어서,
상기 컨택터는 상기 필름 홀에 삽입된 상태에서 상 변화에 의하여 경화되어 상기 필름과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어셈블리.
제 1 항에 있어서,
상기 필름 및 상기 가이드 블록은 상기 컨택터에 비하여 열팽창 계수가 작은 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이.
피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어셈블리를 제조하는 방법에 있어서,
필름 홀이 형성되어 있는 필름과 상기 필름 홀에 대응하는 수용부를 구비하는 몰드를 서로 정렬시키는 단계;
상기 수용부에 전도성 입자가 함유된 액상의 컨택터를 채우는 단계;
상기 수용부에 대응하는 위치에 자성체 패드가 형성된 자력 집중 부재를 상기 몰드에 정렬시키고 상기 컨택터를 경화시키는 단계;
상기 몰드로부터 일체로 형성된 상기 필름 및 상기 컨택터를 분리하는 단계; 및
상기 컨택터를 수용하는 블록 홀을 구비하는 가이드 블록을 상기 일체로 형성된 상기 필름 및 상기 컨택터에 조립하는 단계를 포함하는, 컨택터 어레이를 제조하는 방법.
제 10 항에 있어서,
상기 블록 홀의 일 단부에는 챔퍼부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어셈블리를 제조하는 방법.
제 10 항에 있어서,
상기 몰드를 정렬시키는 단계에서는, 복수의 플레이트를 적층하여 상기 수용부를 형성하는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어셈블리를 제조하는 방법.