KR20220129467A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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KR20220129467A
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마사타카 고쇼
레이지로 야마나카
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도를 나타내는 지표를 얻는 기술을 제공한다. 기판 처리 장치는, 처리 용기와, 배출 라인과, 밀도 검출부를 갖는다. 상기 처리 용기는, 초임계 유체가 공급되어, 기판 상에 도포된 건조액을 상기 초임계 유체로 치환함으로써, 상기 기판을 건조시킨다. 상기 배출 라인은, 상기 처리 용기의 내부로부터, 상기 초임계 유체와 상기 건조액을 포함하는 혼합 유체를 배출한다. 상기 밀도 검출부는, 상기 배출 라인을 흐르는 상기 혼합 유체의 밀도를 검출한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}
본 개시는, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
특허문헌 1에 기재된 기판 처리 장치는, 건조 처리부와, 배출 라인과, 취득부와, 검출부를 구비한다. 건조 처리부는, 액체에 표면이 젖은 상태의 기판을 초임계 유체와 접촉시켜서, 액체를 초임계 유체로 치환함으로써 기판의 건조 처리를 행한다. 배출 라인은, 건조 처리부에 마련되어, 건조 처리부로부터 유체를 배출한다. 취득부는, 배출 라인에 마련되어 건조 처리부로부터 배출되는 유체에 대한 광학 정보를 취득한다. 검출부는, 취득부에 의해 취득된 광학 정보에 기초하여 건조 처리부 내의 액체 유무를 검출한다.
국제 공개 제2018/173861호
본 개시의 일 양태는, 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도를 나타내는 지표를 얻는 기술을 제공한다.
본 개시의 일 양태에 관한 기판 처리 장치는, 처리 용기와, 배출 라인과, 밀도 검출부를 갖는다. 상기 처리 용기는, 초임계 유체가 공급되어, 기판 상에 도포된 건조액을 상기 초임계 유체로 치환함으로써, 상기 기판을 건조시킨다. 상기 배출 라인은, 상기 처리 용기의 내부로부터, 상기 초임계 유체와 상기 건조액을 포함하는 혼합 유체를 배출한다. 상기 밀도 검출부는, 상기 배출 라인을 흐르는 상기 혼합 유체의 밀도를 검출한다.
본 개시의 일 양태에 의하면, 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도를 나타내는 지표를 얻을 수 있다.
도 1은 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 처리 용기를 도시하는 사시도이다.
도 3은 일 실시 형태에 따른 기판 처리 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 4는 일 실시 형태에 따른 배출 라인을 도시하는 도면이다.
도 5는 제1 변형예에 관한 배출 라인을 도시하는 도면이다.
도 6은 제2 변형예에 관한 배출 라인을 도시하는 도면이다.
도 7은 제어 장치의 구성 요소의 일례를 기능 블록으로 나타내는 도면이다.
도 8의 (A)는 혼합 유체의 밀도와 기준 밀도의 변화의 일례를 도시하는 도면이며, 도 8의 (B)는 혼합 유체의 밀도와 기준 밀도의 밀도차의 변화의 일례를 도시하는 도면이다.
도 9는 순수한 초임계 유체의 밀도와 압력과 온도의 관계의 일례를 도시하는 도면이다.
도 10은 건조 종료 검출부에 의한 처리의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 11은 건조 이상 검출부에 의한 처리의 일례를 나타내는 흐름도이다.
이하, 본 개시의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일하거나 또는 대응하는 구성에는 동일한 부호를 부여하고, 설명을 생략하는 경우가 있다. 본 명세서에 있어서, 상류란 초임계 유체의 흐름 방향 상류를 의미하고, 하류란 초임계 유체의 흐름 방향 하류를 의미한다.
우선, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 실시 형태의 기판 처리 장치(1)에 대해서 설명한다. 기판 처리 장치(1)는, 기판(W) 상에 도포된 건조액을 초임계 유체로 치환함으로써, 기판(W)을 건조시킨다. 초임계 유체는, 임계 온도 이상의 온도와, 임계 압력 이상의 압력 하에 놓여진 유체이며, 액체와 기체의 구별이 되지 않는 상태의 유체이다. 건조액을 초임계 유체로 치환하면, 기판(W)의 요철 패턴에 액체와 기체의 계면이 나타나는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 표면 장력의 발생을 억제할 수 있어, 요철 패턴의 도괴를 억제할 수 있다. 건조액은 예를 들어 IPA(이소프로필알코올) 등의 유기 용제이며, 초임계 유체는 예를 들어 CO2이다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 처리 용기(21)와, 보유 지지부(22)와, 덮개(23)를 갖는다. 처리 용기(21)는, 건조액이 도포된 기판(W)을 내부에 수용한다. 처리 용기(21)에는, 기판(W)을 반입출하기 위한 개구부(24)가 형성된다. 보유 지지부(22)는, 처리 용기(21)의 내부에서, 건조액의 액막을 위를 향하게 해서 기판(W)을 수평하게 보유 지지한다. 덮개(23)는, 처리 용기(21)의 개구부(24)를 막는다. 덮개(23)와 보유 지지부(22)는 연결되어 있어, 덮개(23)와 함께 보유 지지부(22)가 이동한다.
처리 용기(21)는, 내부에 공간을 형성한다. 처리 용기(21)의 벽부에는, 공급 포트(26A, 26B)와, 배출 포트(28)가 마련된다. 공급 포트(26A, 26B)는, 도 1에 도시하는 공급 라인(L1)에 접속되어 있다. 공급 라인(L1)은, 처리 용기(21)에 대하여 초임계 유체를 공급한다. 배출 포트(28)는, 도 1에 도시하는 배출 라인(L2)에 접속되어 있다.
공급 포트(26A)는, 처리 용기(21)에 있어서, 개구부(24)와는 반대측의 측면에 접속되어 있다. 또한, 공급 포트(26B)는, 처리 용기(21)의 저면에 접속되어 있다. 또한, 배출 포트(28)는, 개구부(24)의 하방측에 접속되어 있다. 또한, 도 1 및 도 2에는, 2개의 공급 포트(26A, 26B)와 1개의 배출 포트(28)가 도시되어 있지만, 공급 포트(26A, 26B)나 배출 포트(28)의 수 및 위치는 특별히 한정되지 않는다.
또한, 처리 용기(21)의 내부에는, 공급 헤더(31A, 31B)와, 배출 헤더(33)가 마련된다. 공급 헤더(31A, 31B)와 배출 헤더(33)는, 모두 다수의 개공이 형성되어 있다.
공급 헤더(31A)는, 공급 포트(26A)에 접속되고, 처리 용기(21)의 내부에서, 개구부(24)와는 반대측의 측면에 인접해서 마련된다. 또한, 공급 헤더(31A)에 형성되는 다수의 개공은, 개구부(24)측을 향하고 있다.
공급 헤더(31B)는, 공급 포트(26B)에 접속되고, 처리 용기(21)의 내부의 저면 중앙부에 마련된다. 또한, 공급 헤더(31B)에 형성되는 다수의 개공은, 상방을 향하고 있다.
배출 헤더(33)는, 배출 포트(28)에 접속되고, 처리 용기(21)의 내부에서, 개구부(24)측의 측면에 인접함과 함께, 개구부(24)보다도 하방에 마련된다. 또한, 배출 헤더(33)에 형성되는 다수의 개공은, 공급 헤더(31A)측을 향하고 있다.
공급 헤더(31A, 31B)는, 초임계 유체를 처리 용기(21)의 내부에 공급한다. 또한, 배출 헤더(33)는, 처리 용기(21)의 내부의 유체를 외부로 배출한다. 배출 헤더(33)에 의해 외부로 배출하는 유체는, 초임계 유체를 포함하고, 초임계 유체에 용해하는 건조액의 증기를 또한 포함한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는 공급 라인(L1)을 갖는다. 공급 라인(L1)은, 유체 공급원과 처리 용기(21)를 접속한다. 공급 라인(L1)에는, 유체 공급원으로부터 초임계 유체가 공급된다. 공급 라인(L1)에는 히터(H1)가 마련된다. 히터(H1)는, 처리 용기(21)에 공급되는 초임계 유체를, 임계 온도 이상으로 유지한다. 히터(H1)는, 예를 들어 공급 라인(L1)의 전체에 걸쳐서 마련된다.
공급 라인(L1)은, 공통 라인(L1a)과, 유통 라인(L1b)과, 승압 라인(L1c)을 갖는다. 공통 라인(L1a)의 상류단은 유체 공급원에 접속되고, 공통 라인(L1a)의 하류단은 유통 라인(L1b)과 승압 라인(L1c)에 접속된다. 유통 라인(L1b)은 공급 포트(26A)에 접속되고, 승압 라인(L1c)은 공급 포트(26B)에 접속된다.
유통 라인(L1b)에는, 개폐 밸브(52a)와, 온도 센서(TS)가 마련된다. 개폐 밸브(52a)는 유체의 유로를 개폐한다. 개폐 밸브(52a)가 유로를 개방하면, 초임계 유체가 공급 포트(26A)와 공급 헤더(31A)(도 2 참조)를 통해서 처리 용기(21)의 내부에 공급된다. 한편, 개폐 밸브(52a)가 유로를 폐색하면, 처리 용기(21)에의 초임계 유체의 공급이 정지된다.
마찬가지로, 승압 라인(L1c)에는, 개폐 밸브(52b)와, 온도 센서(TS)가 마련된다. 개폐 밸브(52b)는 유체의 유로를 개폐한다. 개폐 밸브(52b)가 유로를 개방하면, 초임계 유체가 공급 포트(26B)와 공급 헤더(31B)(도 2 참조)를 통해서 처리 용기(21)의 내부에 공급된다. 한편, 개폐 밸브(52b)가 유로를 폐색하면, 처리 용기(21)에의 초임계 유체의 공급이 정지된다.
또한, 유통 라인(L1b)과, 승압 라인(L1c)은, 본 실시 형태에서는 따로따로 마련되지만, 일체화되어도 된다.
기판 처리 장치(1)는 배출 라인(L2)을 갖는다. 배출 라인(L2)은, 처리 용기(21)의 내부의 유체를 배출한다. 배출 라인(L2)에는 히터(H2)가 마련된다. 히터(H2)는, 배출 라인(L2)을 흐르는 유체의 온도 변화를 억제하여, 유체의 액화를 억제한다. 히터(H2)는, 예를 들어 배출 라인(L2)의 전체에 걸쳐서 마련된다.
배출 라인(L2)은, 예를 들어 개폐 라인(L2a)과, 제1 공통 라인(L2c)과, 제1 중간 라인(L2d)과, 제2 중간 라인(L2e)과, 제3 중간 라인(L2f)과, 제2 공통 라인(L2g)을 포함한다.
개폐 라인(L2a)은, 처리 용기(21)의 배출 포트(28)로부터 제1 공통 라인(L2c)의 상류단까지 연장되어 있다. 개폐 라인(L2a)에는, 개폐 밸브(52c)와, 온도 센서(TS)와, 압력 센서(PS)가 마련된다. 개폐 밸브(52c)는, 유체의 유로를 개폐한다. 개폐 밸브(52c)가 유로를 개방하면, 처리 용기(21)의 내부의 유체가 배출 헤더(33)(도 2 참조)와 배출 포트(28)를 통해서 기판 처리 장치(1)의 외부로 배출된다. 한편, 개폐 밸브(52c)가 유로를 폐색하면, 처리 용기(21)로부터의 유체의 배출이 정지된다.
제1 공통 라인(L2c)에는, 감압 밸브(53)와, 유량계(54)와, 온도 센서(TS)와, 압력 센서(PS)가 마련된다. 감압 밸브(53)는, 감압 밸브(53)보다도 하류측의 유체의 압력을, 감압 밸브(53)보다도 상류측의 유체의 압력보다도 감압한다. 감압 밸브(53)의 상류측의 압력은 예를 들어 14MPa 내지 18MPa이며, 감압 밸브(53)의 하류측의 압력은 예를 들어 0.1MPa 내지 0.5MPa이다. 유량계(54)는, 감압되기 전의 유체의 유량을 측정하는데, 감압된 후의 유체의 유량을 측정해도 된다.
제1 중간 라인(L2d)과, 제2 중간 라인(L2e)과, 제3 중간 라인(L2f)은, 각각 제1 공통 라인(L2c)의 하류단으로부터 제2 공통 라인(L2g)의 상류단까지 연장되어 있다.
제1 중간 라인(L2d)에는, 개폐 밸브(52e)와, 체크 밸브(55a)와, 오리피스(56)가 마련된다. 개폐 밸브(52e)는 유체의 유로를 개폐한다. 개폐 밸브(52e)가 유로를 개방하면, 처리 용기(21)의 내부의 유체가 개폐 밸브(52e)를 통해서 기판 처리 장치(1)의 외부로 배출된다. 한편, 개폐 밸브(52e)가 유로를 폐색하면, 제1 중간 라인(L2d)을 통한 유체의 배출이 정지된다. 체크 밸브(55a)는 유체의 역류를 방지한다.
마찬가지로, 제2 중간 라인(L2e)에는, 개폐 밸브(52f)와, 체크 밸브(55b)가 마련된다. 개폐 밸브(52f)는 유체의 유로를 개폐한다. 개폐 밸브(52f)가 유로를 개방하면, 처리 용기(21)의 내부의 유체가 개폐 밸브(52f)를 통해서 기판 처리 장치(1)의 외부로 배출된다. 한편, 개폐 밸브(52f)가 유로를 폐색하면, 제2 중간 라인(L2e)을 통한 유체의 배출이 정지된다. 체크 밸브(55b)는 유체의 역류를 방지한다.
제3 중간 라인(L2f)에는 개폐 밸브(52g)가 마련된다. 개폐 밸브(52g)는 유체의 유로를 개폐한다. 개폐 밸브(52g)가 유로를 개방하면, 처리 용기(21)의 내부의 유체가 개폐 밸브(52g)를 통해서 기판 처리 장치(1)의 외부로 배출된다. 한편, 개폐 밸브(52g)가 유로를 폐색하면, 제3 중간 라인(L2f)을 통한 유체의 배출이 정지된다.
또한, 제1 중간 라인(L2d)과, 제2 중간 라인(L2e)과, 제3 중간 라인(L2f)은, 본 실시 형태에서는 따로따로 마련되지만, 일체화되어도 된다. 단, 전자의 경우, 유체의 배출을 복수의 개폐 밸브(52e, 52f, 52g)를 통해서 행함으로써, 유체의 배출 유량을 미세하게 제어할 수 있다.
기판 처리 장치(1)는 제어 장치(90)를 구비한다. 제어 장치(90)는 예를 들어 컴퓨터이며, CPU(Central Processing Unit)(91)와, 메모리 등의 기억 매체(92)를 구비한다. 기억 매체(92)에는, 기판 처리 장치(1)에서 실행되는 각종 처리를 제어하는 프로그램이 저장된다. 제어 장치(90)는, 기억 매체(92)에 기억된 프로그램을 CPU(91)에 실행시킴으로써, 기판 처리 장치(1)의 동작을 제어한다. 기억 매체(92)는, 컴퓨터 판독가능한 기억 매체이어도 된다.
이어서, 도 3을 참조하여, 본 실시 형태의 기판 처리 방법에 대해서 설명한다. 도 3에 도시하는 스텝 S1 내지 S5는, 제어 장치(90)에 의한 제어 하에서 실시된다.
우선, 스텝 S1에서는, 도시하지 않은 반송 장치가, 건조액이 도포된 기판(W)을, 기판 처리 장치(1)의 내부에 반입한다. 보유 지지부(22)는, 반송 장치로부터 기판(W)을 수취하여, 건조액의 액막을 위를 향하게 해서 기판(W)을 수평하게 보유 지지한다. 기판(W)이 처리 용기(21)의 내부에 수용되고, 덮개(23)가 처리 용기(21)의 개구부(24)를 막는다.
이어서, 스텝 S2에서는, 공급 라인(L1)이, 공급 포트(26B) 및 공급 헤더(31B)를 통해서 처리 용기(21)의 내부에 초임계 유체를 공급하여, 처리 용기(21)의 내부 압력을 승압시킨다. 그때, 초임계 유체는, 기판(W) 상에 도포된 건조액을 흐트러뜨리지 않도록, 기판(W)의 하방으로부터 공급된다. 처리 용기(21)의 내부 압력은, 임계 압력 이상의 설정 압력까지 상승시킬 수 있다. 그 동안에, 배출 라인(L2)은, 처리 용기(21)의 내부의 유체를 배출하지 않는다.
이어서, 스텝 S3에서는, 공급 라인(L1)이 공급 포트(26A) 및 공급 헤더(31A)를 통해서 처리 용기(21)의 내부에 초임계 유체를 공급함과 함께, 배출 라인(L2)이 처리 용기(21)의 내부의 유체를 배출하여, 기판(W)의 상방에서 초임계 유체를 유통시킨다. 초임계 유체에 용해한 건조액이 처리 용기(21)의 외부로 배출되고, 기판(W) 상에 도포된 건조액이 초임계 유체로 치환되어, 기판(W)이 건조된다. 그때, 공급 유량과 배출 유량은 동등하여, 처리 용기(21)의 내부 압력은 설정 압력으로 유지된다.
이어서, 스텝 S4에서는, 공급 라인(L1)이 초임계 유체를 처리 용기(21)의 내부에 공급하는 것을 정지하고, 배출 라인(L2)이 처리 용기(21)의 내부의 유체를 배출하여, 처리 용기(21)의 내부를 탈압시킨다. 처리 용기(21)의 내부 압력은, 대기압(0.1MPa) 정도까지 감소된다. 그 후, 덮개(23)가 처리 용기(21)의 개구부(24)를 개방하고, 기판(W)이 처리 용기(21)의 외부로 취출된다.
마지막으로, 스텝 S5에서는, 도시하지 않은 반송 장치가, 보유 지지부(22)로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을 기판 처리 장치(1)의 외부로 반출한다.
이어서, 도 4를 참조하여, 본 실시 형태에 따른 배출 라인(L2)에 대해서 설명한다. 배출 라인(L2)은, 상기 스텝 S3에서, 처리 용기(21)의 내부로부터, 초임계 유체와 그 초임계 유체에 용해한 건조액을 포함하는 혼합 유체를 배출한다.
배출 라인(L2)은, 상기한 바와 같이, 개폐 라인(L2a)과, 제1 공통 라인(L2c)을 포함한다. 개폐 라인(L2a)에는, 상류측으로부터 하류측을 향해서, 압력 센서(PS1)와, 온도 센서(TS1)와, 개폐 밸브(52c)가 이 순번으로 마련된다. 또한, 제1 공통 라인(L2c)에는, 상류측으로부터 하류측을 향해서, 밀도 검출부(54a)와, 감압 밸브(53)가 이 순번으로 마련된다.
밀도 검출부(54a)는, 배출 라인(L2)을 흐르는 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도를 나타내는 지표로서, 배출 라인(L2)을 흐르는 혼합 유체의 밀도를 검출한다. 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도가 높을수록, 혼합 유체의 밀도가 크다. 따라서, 혼합 유체의 밀도를 검출하면, 건조액의 농도를 알 수 있다. 즉, 건조액의 농도를 나타내는 지표가 얻어진다.
밀도 검출부(54a)는, 예를 들어 감압 밸브(53)보다도 상류측에 마련된다. 감압 밸브(53)보다도 상류측에서는, 거의 압력 손실이 생기지 않는다. 또한, 압력 손실에 기인하는 온도 변화도 거의 생기지 않는다. 그 때문에, 처리 용기(21)의 내부와 동일 정도의 온도 및 압력에서 혼합 유체의 밀도를 검출할 수 있어, 처리 용기(21)의 내부에서 차지하는 건조액의 농도를 보다 정확하게 조사할 수 있다.
밀도 검출부(54a)는, 혼합 유체의 밀도를 검출할 수 있는 것이면 된다. 밀도 검출부(54a)로서, 고온 고압용 밀도계가 사용되면 된다. 예를 들어 감마선으로 밀도를 계측하는 감마선 밀도계 등이 사용된다.
밀도 검출부(54a)는, 배출 라인(L2)을 흐르는 혼합 유체의 밀도(D1)를 단위 시간마다 검출한다. 그 결과, 도 8의 (A)에 실선으로 나타내는 바와 같은 경시 변화 데이터가 얻어진다. 도 8의 (A)에서, 횡축은 스텝 S3의 개시로부터의 경과 시간이며, 종축은 밀도(kg/m3)이다.
이어서, 도 8의 (A)에 실선으로 나타내는 혼합 유체의 밀도(D1)의 경시 변화 데이터에 대해서 설명한다. 스텝 S3의 개시 후, 초임계 유체와 그 초임계 유체에 용해한 건조액의 혼합 유체가, 처리 용기(21)로부터 배출 라인(L2)에 배출된다. 밀도(D1)가 시간의 경과와 함께 커져서, 피크값에 도달한다.
밀도(D1)의 피크값과, 그 도달 시간은, 기판(W) 상에 미리 도포된 건조액의 도포량에 의존한다. 건조액의 도포량이 많을수록, 건조액의 초임계 유체에의 용해량이 많아, 밀도(D1)의 피크값이 크다. 또한, 건조액의 도포량이 많을수록, 건조액의 초임계 유체에의 용해에 시간이 걸려서, 밀도(D1)가 피크값에 도달할 때까지의 도달 시간이 길어진다.
밀도(D1)가 피크값에 도달한 후, 기판(W)의 상면에서 건조액으로부터 초임계 유체로의 치환이 진행됨에 따라, 처리 용기(21)로부터 배출 라인(L2)에 배출되는 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도가 저하된다. 그 결과, 밀도(D1)가 저하된다. 밀도(D1)의 저하는, 건조액으로부터 초임계 유체로의 치환의 진행도를 나타내고 있으며, 기판(W)의 건조의 진행도를 나타내고 있다. 기판(W)의 건조가 진행될수록, 남아있는 건조액의 양이 적어, 밀도(D1)의 저하 속도가 완만해진다.
이어서, 도 7을 참조하여, 제어 장치(90)의 기능에 대해서 설명한다. 도 7에 도시되는 각 기능 블록은 개념적인 것이며, 반드시 물리적으로 도시된 바와 같이 구성되어 있을 것을 요하지는 않는다. 각 기능 블록의 전부 또는 일부를, 임의의 단위로 기능적 또는 물리적으로 분산·통합해서 구성하는 것이 가능하다. 각 기능 블록에서 행하여지는 각 처리 기능은, 그 전부 또는 임의의 일부가, CPU에서 실행되는 프로그램에서 실현되거나, 혹은, 와이어드 로직에 의한 하드웨어로서 실현될 수 있다. 제어 장치(90)는, 예를 들어 기억부(95)와, 기준 밀도 산출부(96)와, 밀도차 산출부(97)와, 건조 종료 검출부(98)와, 건조 이상 검출부(99)를 포함한다.
기억부(95)는, 밀도 검출부(54a)가 검출한 밀도(D1)의 경시 변화 데이터를 기억한다. 또한, 기억부(95)는, 압력 검출부(101)가 검출한 압력과, 온도 검출부(102)가 검출한 온도 각각의 경시 변화 데이터를 기억한다. 압력 검출부(101)는, 배출 라인(L2)을 흐르는 혼합 유체의 압력을 검출한다. 압력 검출부(101)는, 예를 들어 도 4에 도시하는 압력 센서(PS1)를 포함한다. 한편, 온도 검출부(102)는, 배출 라인(L2)을 흐르는 혼합 유체의 온도를 검출한다. 온도 검출부(102)는, 예를 들어 도 4에 도시하는 온도 센서(TS1)를 포함한다. 압력 센서(PS1)와 온도 센서(TS1)는, 예를 들어 처리 용기(21)보다도 하류측이며, 개폐 밸브(52c)보다도 상류측에 마련된다.
기준 밀도 산출부(96)는, 배출 라인(L2)을 흐르는 혼합 유체와 동일한 온도 및 동일한 압력을 갖는 초임계 유체의 밀도인 기준 밀도(D2)를 산출한다. 기준 밀도(D2)는, 순수한 초임계 유체의 밀도이다. 동일한 온도 및 동일한 압력에서, 혼합 유체의 밀도(D1)와 기준 밀도(D2)를 비교하면, 기준 밀도(D2)쪽이 작다. 혼합 유체의 밀도(D1)와 기준 밀도(D2)의 밀도차(ΔD)는, 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도를 나타낸다. 건조액의 농도가 높을수록 밀도차(ΔD)가 크다. 또한, 기준 밀도(D2)의 산출은 단위 시간마다 행하여지며, 도 8의 (A)에 파선으로 나타내는 바와 같은 기준 밀도(D2)의 경시 변화 데이터가 얻어진다.
도 9에, 순수한 초임계 유체의 밀도와 압력과 온도의 관계의 일례를 나타낸다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 압력이 일정하면, 온도가 높을수록 밀도가 낮다. 또한, 온도가 일정하면, 압력이 높을수록 밀도가 높다. 초임계 유체의 밀도와 압력과 온도의 관계는, 미리 실험 등에 의해 구해져서, 기억 매체(92)에 기억된다. 이 관계는, 식의 형태로 기억되어도 된다. 식은, 일반적으로 상태 방정식이라고 불린다. 기준 밀도 산출부(96)는, 기억 매체(92)에 기억된 식 등을 참조하여, 기준 밀도(D2)를 산출한다.
그런데, 밀도 검출부(54a)는, 혼합 유체의 밀도(D1)를, 혼합 유체가 밀도 검출부(54a)를 통과할 때 검출한다. 그 때문에, 기준 밀도 산출부(96)는, 밀도(D1)와 비교하는 기준 밀도(D2)를, 혼합 유체가 밀도 검출부(54a)를 통과할 때의 압력과 온도로 산출한다. 예를 들어, 기준 밀도 산출부(96)는, 압력 검출부(101)가 검출한 압력과, 온도 검출부(102)가 검출한 온도에 기초하여, 기준 밀도(D2)를 산출한다.
기준 밀도 산출부(96)는, 압력 센서(PS1)가 검출한 압력 그 자체를, 혼합 유체가 밀도 검출부(54a)를 통과할 때의 압력으로서 사용해도 된다. 혹은, 기준 밀도 산출부(96)는, 압력 센서(PS1)와 밀도 검출부(54a) 사이에서 발생하는 압력 손실을 고려하여, 혼합 유체가 밀도 검출부(54a)를 통과할 때의 압력을 구해도 된다.
마찬가지로, 기준 밀도 산출부(96)는, 온도 센서(TS1)가 검출한 온도 그 자체를, 혼합 유체가 밀도 검출부(54a)를 통과할 때의 온도로서 사용해도 된다. 혹은, 기준 밀도 산출부(96)는, 온도 센서(TS1)와 밀도 검출부(54a) 사이에서 발생하는 온도 변화를 고려하여, 혼합 유체가 밀도 검출부(54a)를 통과할 때의 온도를 구해도 된다.
감압 밸브(53)보다도 상류측에서는, 압력 손실은 거의 생기지 않는다. 한편, 감압 밸브(53)보다도 상류측에서도 하류측에서도, 열의 유출은 생긴다. 감압 밸브(53)보다도 상류측에서는, 기준 밀도(D2)의 오차는, 주로 이동 거리에 따른 온도 변화에 의해 생긴다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 처리 용기(21)보다도 하류측이며, 개폐 밸브(52c)보다도 상류측에, 압력 센서(PS1)와, 온도 센서(TS1)가 마련된다. 한편, 도 5에 도시한 바와 같이, 개폐 밸브(52c)보다도 하류측이며, 밀도 검출부(54a)보다도 상류측에, 압력 센서(PS2)와, 온도 센서(TS2)가 마련되어도 된다.
압력 검출부(101)가, 압력 센서(PS2)를 포함하면, 압력 센서(PS1)를 포함하는 경우에 비하여, 보다 밀도 검출부(54a)의 가까운데서 혼합 유체의 압력을 검출할 수 있다. 마찬가지로, 온도 검출부(102)가 온도 센서(TS2)를 포함하면, 온도 센서(TS1)를 포함하는 경우에 비하여, 보다 밀도 검출부(54a)의 가까운데서 혼합 유체의 온도를 검출할 수 있다. 그 결과, 기준 밀도(D2)를 고정밀도로 구할 수 있다.
도 6에 도시하는 바와 같이, 밀도 검출부(54a)보다도 하류측이며, 감압 밸브(53)보다도 상류측에, 온도 센서(TS3)가 마련되어도 된다. 온도 센서(TS3)는, 밀도 검출부(54a)의 옆에 마련된다. 또한, 밀도 검출부(54a)의 내부에, 압력 센서(PS3) 및 온도 센서(TS4)가 마련되어도 된다. 온도 센서(TS4)는, 혼합 유체의 온도를 검출하면 되며, 혼합 유체가 흐르는 튜브의 온도를 검출함으로써 혼합 유체의 온도를 검출해도 된다.
온도 검출부(102)는, 3개의 온도 센서(TS2, TS3, TS4) 중 적어도 하나를 포함하면 되며, 모두를 포함해도 된다. 3개의 온도 센서(TS2, TS3, TS4) 모두를 사용하면, 혼합 유체가 밀도 검출부(54a)를 통과할 때의 온도를 보다 정확하게 산출할 수 있다.
밀도차 산출부(97)는, 밀도 검출부(54a)가 검출한 혼합 유체의 밀도(D1)와, 기준 밀도 산출부(96)가 산출한 기준 밀도(D2)의 밀도차(ΔD)를 산출한다. 밀도차(ΔD)의 산출은 단위 시간마다 행하여지며, 도 8의 (B)에 실선으로 나타내는 바와 같은 밀도차(ΔD)의 경시 변화 데이터가 얻어진다.
이어서, 도 8의 (B)에 실선으로 나타내는 밀도차(ΔD)의 경시 변화 데이터에 대해서 설명한다. 스텝 S3의 개시 후, 초임계 유체와 그 초임계 유체에 용해한 건조액의 혼합 유체가, 처리 용기(21)로부터 배출 라인(L2)에 배출된다. 밀도차(ΔD)가 시간의 경과와 함께 커져서, 피크값에 도달한다.
밀도차(ΔD)의 피크값과, 그 도달 시간은, 기판(W) 상에 미리 도포된 건조액의 도포량에 의존한다. 건조액의 도포량이 많을수록, 건조액의 초임계 유체에의 용해량이 많아, 밀도차(ΔD)의 피크값이 크다. 또한, 건조액의 도포량이 많을수록, 건조액의 초임계 유체에의 용해에 시간이 걸려서, 밀도차(ΔD)가 피크값에 도달할 때까지의 도달 시간이 길어진다.
밀도차(ΔD)가 피크값에 도달한 후, 기판(W)의 상면에서 건조액으로부터 초임계 유체로의 치환이 진행됨에 따라, 처리 용기(21)로부터 배출 라인(L2)에 배출되는 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도가 저하된다. 그 결과, 밀도차(ΔD)가 저하된다. 밀도차(ΔD)의 저하는, 건조액으로부터 초임계 유체로의 치환의 진행도를 나타내고 있으며, 기판(W)의 건조의 진행도를 나타내고 있다. 기판(W)의 건조가 진행될수록, 남아있는 건조액의 양이 적어, 밀도차(ΔD)의 저하 속도가 완만해진다.
건조 종료 검출부(98)는, 기억부(95)에 기억되는 밀도(D1) 또는 밀도차(ΔD)를 감시하여, 그 경시 변화 데이터에 기초해서 기판(W)의 건조 종료를 검출한다. 기판(W)의 건조 종료란, 기판(W)의 상면에서의 건조액으로부터 초임계 유체로의 치환 종료를 말한다. 기판(W)의 건조 종료가 검출되면, 스텝 S4가 실시된다.
예를 들어, 건조 종료 검출부(98)는, 밀도(D1)가 역치 이하로 되는 것을 검출함으로써, 기판(W)의 건조 종료를 검출한다. 혹은, 건조 종료 검출부(98)는, 밀도차(ΔD)가 역치 이하로 되는 것을 검출함으로써, 기판(W)의 건조 종료를 검출한다. 기판(W)의 건조 종료의 검출은, 스텝 S3의 개시로부터의 경과 시간(t)이 설정 시간(t0)에 도달한 후에 행하여져도 된다. 설정 시간(t0)은, 기판(W) 상에 미리 도포된 건조액의 도포량 등에 따라 미리 설정된다.
이어서, 도 10을 참조하여, 건조 종료 검출부(98)에 의한 처리의 일례에 대해서 설명한다. 또한, 도 10에서는, 건조 종료 검출부(98)는, 밀도차(ΔD)에 기초하여 건조가 종료되었는지 여부를 판정하는데, 밀도(D1)에 기초하여 건조가 종료되었는지 여부를 판정해도 된다. 후자의 경우, 도 10에서, 밀도차(ΔD)를 밀도(D1)로 바꾸면 된다.
우선, 스텝 S101에서는, 건조 종료 검출부(98)는, 경과 시간(t)이 설정 시간(t0)에 도달했는지 여부를 체크한다. 경과 시간(t)이 설정 시간(t0)에 도달하지 않은 경우(스텝 S101, "아니오"), 건조 종료 검출부(98)는, 단위 시간 경과 후에 상기 스텝 S101을 다시 실시한다.
한편, 경과 시간(t)이 설정 시간(t0)에 도달한 경우(스텝 S101, "예"), 건조 종료 검출부(98)는, 밀도차 산출부(97)에 의해 밀도차(ΔD)를 산출한다(스텝 S102). 계속해서, 건조 종료 검출부(98)는, 스텝 S102에서 측정한 밀도차(ΔD)가 역치(ΔD0) 이하인지 여부를 판정한다(스텝 S103).
밀도차(ΔD)가 역치(ΔD0)를 초과하는 경우(스텝 S103, "아니오"), 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도가 높으므로, 건조 종료 검출부(98)는, 기판(W)의 건조가 미완료라고 판정한다(스텝 S105). 그 후, 스텝 S3의 유통이 연장되고, 건조 종료 검출부(98)는 상기 스텝 S102를 다시 실시한다.
한편, 밀도차(ΔD)가 역치(ΔD0) 이하인 경우(스텝 S103, "예"), 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도가 낮으므로, 건조 종료 검출부(98)는, 기판(W)의 건조가 종료되었다고 판정한다(스텝 S104). 그 후, 건조 종료 검출부(98)는 금회의 처리를 종료한다. 그 후, 스텝 S4의 탈압이 개시된다.
기판(W)의 건조는 처리 용기(21)의 내부에서 행하여지므로, 기판(W)의 건조 모습을 직접 관찰할 수는 없다. 그 때문에, 종래는, 기판(W)의 건조가 스텝 S4의 탈압의 개시 전에 확실하게 끝나도록, 스텝 S3의 유통 시간이 좀 길게 설정되어 있어, 시간의 낭비가 있었다.
본 실시 형태에 따르면, 건조 종료 검출부(98)에 의해 기판(W)의 건조 종료를 검출함으로써, 스텝 S4의 탈압의 개시 타이밍을 종래보다도 빠르게 할 수 있어, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또한, 건조 종료 검출부(98)에 의해 기판(W)의 건조 종료를 검출할 때까지, 스텝 S4의 탈압의 개시를 금지해도 된다. 스텝 S4의 탈압의 개시 타이밍이 잘못해서 빨리 설정되어버렸을 경우에, 그 개시 타이밍을 적정화할 수 있다.
건조 이상 검출부(99)는, 기억부(95)에 기억되는 밀도(D1) 또는 밀도차(ΔD)를 감시하여, 그 경시 변화 데이터에 기초해서 기판(W)의 건조 이상을 검출한다. 기판(W)의 건조 이상은, 예를 들어 기판(W) 상에 미리 도포된 건조액의 도포량의 이상을 포함한다. 건조액의 도포량이 너무 많을 경우, 파티클이 발생해버린다. 또한, 건조액의 도포량이 너무 적을 경우, 요철 패턴의 도괴가 발생해버린다.
또한, 건조 이상 검출부(99)는, 기판(W)의 건조 이상으로서, 기판(W)의 건조 시간의 길이의 이상을 검출해도 된다. 건조 시간이란, 밀도(D1) 또는 밀도차(ΔD)가 역치에 도달할 때까지의 경과 시간(t)이다. 건조 시간의 길이가 너무 길 경우, 기판(W) 상에 미리 도포된 건조액의 도포량이 너무 많거나, 기판 처리 장치(1)에 문제가 발생하였다고 생각할 수 있다.
이어서, 도 11을 참조하여, 건조 이상 검출부(99)에 의한 처리의 일례에 대해서 설명한다. 또한, 도 11에서는, 건조 이상 검출부(99)는, 밀도차(ΔD)에 기초하여 정상인지 이상인지의 판정을 행하는데, 밀도(D1)에 기초하여 정상인지 이상인지의 판정을 행해도 된다. 후자의 경우, 도 11에서, 밀도차(ΔD)를 밀도(D1)로 바꾸면 된다.
우선, 스텝 S201에서는, 건조 이상 검출부(99)는, 경과 시간(t)이 설정 시간(t1)에 도달했는지 여부를 체크한다. 설정 시간(t1)은, 건조 이상이 없으면, 밀도차(ΔD)가 피크값에 도달하도록 설정된다. 경과 시간(t)이 설정 시간(t1)에 도달하지 않은 경우(스텝 S201, "아니오"), 건조 이상 검출부(99)는, 단위 시간 경과 후에 상기 스텝 S201을 다시 실시한다.
한편, 경과 시간(t)이 설정 시간(t1)에 도달한 경우(스텝 S201, "예"), 건조 이상 검출부(99)는, 밀도차 산출부(97)에 의해 밀도차(ΔD)를 산출한다(스텝 S202). 계속해서, 건조 이상 검출부(99)는, t=t1의 시점에서 측정한 밀도차(ΔD)가 하한값(ΔD1min) 이상, 상한값(ΔD1max) 이하인지 여부를 판정한다(스텝 S203).
t=t1의 시점에서의 밀도차(ΔD)가 하한값(ΔD1min) 이상, 상한값(ΔD1max) 이하인 경우(스텝 S203, "예"), 밀도차(ΔD)가 허용 범위 내이므로, 건조 이상 검출부(99)는, 기판(W) 상에 미리 도포된 건조액의 도포량이 정상이라고 판정한다(스텝 S204). 그 후, 건조 이상 검출부(99)는 스텝 S206을 실시한다.
한편, t=t1의 시점에서의 밀도차(ΔD)가 하한값(ΔD1min)을 하회하거나, 상한값(ΔD1max)을 상회하는 경우(스텝 S203, "아니오"), 밀도차(ΔD)가 허용 범위 밖이므로, 건조 이상 검출부(99)는, 기판(W) 상에 미리 도포된 건조액의 도포량이 이상이라고 판정한다(스텝 S205). 그 후, 건조 이상 검출부(99)는 스텝 S206을 실시한다.
스텝 S206에서는, 건조 이상 검출부(99)는, 경과 시간(t)이 설정 시간(t2)에 도달했는지 여부를 체크한다. 설정 시간(t2)은, 건조 이상이 없으면, 혼합 유체에서 차지하는 건조액의 농도가 역치 이하로 되도록 설정된다. 설정 시간(t2)은, 도 10에 도시하는 설정 시간(t0)과 동일해도 된다. 경과 시간(t)이 설정 시간(t2)에 도달하지 않은 경우(스텝 S206, "아니오"), 건조 이상 검출부(99)는, 단위 시간 경과 후에 상기 스텝 S206을 다시 실시한다.
한편, 경과 시간(t)이 설정 시간(t2)에 도달한 경우(스텝 S206, "예"), 건조 이상 검출부(99)는, 밀도차 산출부(97)에 의해 밀도차(ΔD)를 산출한다(스텝 S207). 계속해서, 건조 이상 검출부(99)는, t=t2의 시점에서 측정한 밀도차(ΔD)가 역치(ΔD2)인지 여부를 판정한다(스텝 S208). 역치(ΔD2)는, 도 10에 도시하는 역치(ΔD0)와 동일해도 된다.
t=t2의 시점에서의 밀도차(ΔD)가 역치(ΔD2) 이하인 경우(스텝 S208, "예"), 건조 이상 검출부(99)는, 건조 시간의 길이가 정상이라고 판정한다(스텝 S209). 그 후, 건조 이상 검출부(99)는 금회의 처리를 종료한다.
한편, t=t2의 시점에서의 밀도차(ΔD)가 역치(ΔD2)를 상회하는 경우(스텝 S208, "아니오"), 건조 이상 검출부(99)는, 건조 시간의 길이가 이상이라고 판정한다(스텝 S210). 그 후, 건조 이상 검출부(99)는 금회의 처리를 종료한다.
또한, t=t2의 시점에서의 밀도차(ΔD)가 역치(ΔD2)를 상회하는 경우(스텝 S208, "아니오"), 도 10과 마찬가지로, 스텝 S3의 유통이 연장되어도 된다.
건조 시간의 길이가 너무 길 경우, 건조액의 도포량이 너무 많거나, 기판 처리 장치(1)에 문제가 발생하였다고 생각할 수 있다. 어느 쪽의 문제가 발생하였는지는, 스텝 S203의 체크 결과를 이용하면 판별할 수 있다.
즉, 스텝 S203의 체크 결과, 건조액의 도포량이 정상이라는 판정이 이루어지고 또한 스텝 S208의 체크 결과, 건조 시간의 길이가 이상이라는 판정이 이루어진 경우에는, 기판 처리 장치(1)에 문제가 발생하였다고 생각할 수 있다.
건조 이상 검출부(99)에 의해 건조 이상을 검출한 기판(W)은, 불량품으로서 취급되어, 그 후의 처리를 중지한다. 불량품에 대한 불필요한 처리를 방지할 수 있다.
이상, 본 개시에 관한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법의 실시 형태 등에 대해서 설명했지만, 본 개시는 상기 실시 형태 등에 한정되지 않는다. 특허 청구 범위에 기재된 범주 내에서, 각종 변경, 수정, 치환, 부가, 삭제 및 조합이 가능하다. 그것들에 대해서도 당연히 본 개시의 기술적 범위에 속한다.

Claims (19)

  1. 초임계 유체가 공급되어, 기판 상에 도포된 건조액을 상기 초임계 유체로 치환함으로써, 상기 기판을 건조시키는 처리 용기와,
    상기 처리 용기의 내부로부터, 상기 초임계 유체와 상기 건조액을 포함하는 혼합 유체를 배출하는 배출 라인과,
    상기 배출 라인을 흐르는 상기 혼합 유체의 밀도를 검출하는 밀도 검출부
    를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 배출 라인을 흐르는 상기 혼합 유체와 동일한 온도 및 동일한 압력을 갖는 상기 초임계 유체의 밀도인 기준 밀도를 산출하는 기준 밀도 산출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 배출 라인을 흐르는 상기 혼합 유체의 압력을 검출하는 하나 이상의 압력 검출부와, 상기 배출 라인을 흐르는 상기 혼합 유체의 온도를 검출하는 하나 이상의 온도 검출부를 포함하고,
    상기 기준 밀도 산출부는, 상기 하나 이상의 압력 검출부가 검출한 압력과, 상기 하나 이상의 온도 검출부가 검출한 온도에 기초하여, 상기 기준 밀도를 산출하는, 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 하나 이상의 온도 검출부는, 상기 밀도 검출부의 내부에서, 상기 혼합 유체의 온도를 검출하는, 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도와, 상기 기준 밀도 산출부가 산출한 상기 기준 밀도의 밀도차를 산출하는 밀도차 산출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 밀도차 산출부가 산출한 상기 밀도차를 감시하여, 상기 밀도차가 역치 이하로 되는 것을 검출함으로써, 상기 기판의 건조 종료를 검출하는 건조 종료 검출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 배출 라인에 의한 상기 혼합 유체의 배출 개시로부터의 경과 시간이 설정 시간에 도달한 시점에서의 상기 밀도차가 허용 범위 내인지 여부로, 상기 기판 상에 미리 도포된 상기 건조액의 도포량의 이상을 검출하는 건조 이상 검출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도와, 상기 기준 밀도 산출부가 산출한 상기 기준 밀도의 밀도차를 산출하는 밀도차 산출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  9. 제5항에 있어서, 상기 배출 라인에 의한 상기 혼합 유체의 배출 개시로부터의 경과 시간이 설정 시간에 도달한 시점에서의 상기 밀도차가 허용 범위 내인지 여부로, 상기 기판 상에 미리 도포된 상기 건조액의 도포량의 이상을 검출하는 건조 이상 검출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도의 경시 변화 데이터에 기초하여, 상기 기판의 건조 종료를 검출하는 건조 종료 검출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도의 경시 변화 데이터에 기초하여, 상기 기판의 건조 이상을 검출하는 건조 이상 검출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도의 경시 변화 데이터에 기초하여, 상기 기판의 건조 이상을 검출하는 건조 이상 검출부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  13. 초임계 유체를 처리 용기의 내부에 공급하여, 기판 상에 도포된 건조액을 상기 초임계 유체로 치환함으로써, 상기 기판을 건조시키는 것과,
    상기 처리 용기의 내부로부터 배출 라인에, 상기 초임계 유체와 상기 건조액을 포함하는 혼합 유체를 배출하는 것과,
    상기 배출 라인을 흐르는 상기 혼합 유체의 밀도를 밀도 검출부에서 검출하는 것
    을 포함하는 기판 처리 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 배출 라인을 흐르는 상기 혼합 유체와 동일한 온도 및 동일한 압력을 갖는 상기 초임계 유체의 밀도인 기준 밀도를 기준 밀도 산출부에서 산출하는 것을 포함하는, 기판 처리 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도와, 상기 기준 밀도 산출부가 산출한 상기 기준 밀도의 밀도차를 밀도차 산출부에서 산출하는 것을 포함하는, 기판 처리 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도의 경시 변화 데이터에 기초하여, 상기 기판의 건조 종료를 검출하는 것을 포함하는, 기판 처리 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도의 경시 변화 데이터에 기초하여, 상기 기판의 건조 이상을 검출하는 것을 포함하는, 기판 처리 방법.
  18. 제13항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도의 경시 변화 데이터에 기초하여, 상기 기판의 건조 종료를 검출하는 것을 포함하는, 기판 처리 방법.
  19. 제13항에 있어서, 상기 밀도 검출부가 검출한 상기 혼합 유체의 밀도의 경시 변화 데이터에 기초하여, 상기 기판의 건조 이상을 검출하는 것을 포함하는, 기판 처리 방법.
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