KR20220126503A - 잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법 - Google Patents
잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20220126503A KR20220126503A KR1020210030854A KR20210030854A KR20220126503A KR 20220126503 A KR20220126503 A KR 20220126503A KR 1020210030854 A KR1020210030854 A KR 1020210030854A KR 20210030854 A KR20210030854 A KR 20210030854A KR 20220126503 A KR20220126503 A KR 20220126503A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- electrode
- substrate
- light emitting
- piezoelectric element
- jetting
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 67
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 11
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 21
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 4
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 4
- -1 InGaN Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003542 behavioural effect Effects 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000002073 nanorod Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/02—Ink jet characterised by the jet generation process generating a continuous ink jet
- B41J2/035—Ink jet characterised by the jet generation process generating a continuous ink jet by electric or magnetic field
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/04581—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads based on piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
- B41M5/00—Duplicating or marking methods; Sheet materials for use therein
- B41M5/0041—Digital printing on surfaces other than ordinary paper
- B41M5/0047—Digital printing on surfaces other than ordinary paper by ink-jet printing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D11/00—Inks
- C09D11/50—Sympathetic, colour changing or similar inks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/09—Ink jet technology used for manufacturing optical filters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Ink Jet Recording Methods And Recording Media Thereof (AREA)
Abstract
잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법이 개시된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드는, 발광 소자를 포함한 용액을 토출 가능한 토출구를 구비한 노즐; 및 상기 토출구 상에 상호 대향하도록 마련되어, 상기 발광 소자에 전극 전압을 인가 가능한 한 쌍의 전극을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 토출 방법은, 발광 소자를 포함한 용액을 공급하는 노즐의 토출구에 전극 전압을 인가해 상기 발광 소자의 일단부와 타단부가 임의 방향을 향하도록 정렬하는 제1 정렬 단계; 기판 제1 전극과 기판 제2 전극이 상호 이격 배치된 기판 상에 상기 용액을 제팅하는 제팅 단계; 및 상기 기판에 전원을 인가해, 상기 발광 소자의 일단부가 상기 기판 제1 전극 상에 배치되고, 상기 타단부가 상기 기판 제2 전극 상에 배치되도록 정렬하는 제2 정렬 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드는, 발광 소자를 포함한 용액을 토출 가능한 토출구를 구비한 노즐; 및 상기 토출구 상에 상호 대향하도록 마련되어, 상기 발광 소자에 전극 전압을 인가 가능한 한 쌍의 전극을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 토출 방법은, 발광 소자를 포함한 용액을 공급하는 노즐의 토출구에 전극 전압을 인가해 상기 발광 소자의 일단부와 타단부가 임의 방향을 향하도록 정렬하는 제1 정렬 단계; 기판 제1 전극과 기판 제2 전극이 상호 이격 배치된 기판 상에 상기 용액을 제팅하는 제팅 단계; 및 상기 기판에 전원을 인가해, 상기 발광 소자의 일단부가 상기 기판 제1 전극 상에 배치되고, 상기 타단부가 상기 기판 제2 전극 상에 배치되도록 정렬하는 제2 정렬 단계를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표시 장치의 제조 공정에 사용되는 잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 발광 방식에 따라, 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와 유기 발광 표시 장치(OLED, organic light emitting display), 플라즈마 표시 장치(PDP, plasma display panel), 마이크로 발광 표시 장치(Micro-LED), 퀀텀닷 나노 발광 표시 장치(QNED, quantumdot nano light emitting diode display) 등이 있다.
이 중 퀀텀닷 나노 발광 표시 장치(QNED)는, 나노미터 크기의 초소형 반도체 입자인 퀀텀닷과 갈륨질소(GaN) 기반의 발광 소자를 활용한 표시 장치이다.
발광 소자는 길다란 막대기 모양을 갖는 초미세 나노 크기의 나노로드(nanorods) 형태이다. 퀀텀닷 나노 발광 표시 장치는, 발광 소자를 잉크젯 프린팅 공정에 의해 각 화소에 제팅, 배열시켜 표시 장치를 구성한다.
한국특허공보(공개특허번호: 10-2019-0137742, "LED 전극 어셈블리 및 이의 제조 방법")는 LED 소자 정렬시 발생 가능한 전극의 손상 및 단락을 방지할 수 있는 LED 전극 어셈블리의 제조 방법이 개시되어 있으나, LED 소자의 제팅 후, 배열 단계에서 일정 길이를 가지는 발광 소자의 형태적 특이성상 제팅, 정렬 단계에서 제대로 배열되지 않는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 표시 장치의 제조 공정상 발광 소자의 배열 정확도를 높일 수 있는 잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 잉크젯 헤드를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드는, 발광 소자를 포함한 용액을 토출 가능한 토출구를 구비한 노즐; 및 상기 토출구 상에 상호 대향하도록 마련되어, 상기 발광 소자에 전극 전압을 인가 가능한 한 쌍의 전극을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 노즐 단부와 상기 전극 사이에 개재된 절연층을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 노즐은 하나 이상의 열을 이루며 배치되고, 상기 전극은, 서로 인접한 복수개의 상기 노즐의 일 단부를 따라 일렬로 마련된 제1 전극; 및 상기 제1 전극에 상호 대향하여 상기 노즐의 타단부에 일렬로 마련된 제2 전극을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 전극은 일 방향을 따라 상기 제2 전극과 소정 간격으로 이격 배치될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 용액이 충진되는 리저버의 내부 압력을 변화시키는 제1 압전 소자; 상기 제1 압전 소자에 인가되는 압전소자 전압을 변화시켜 상기 용액을 상기 토출구로 토출시키는 액츄에이터; 및 상기 전극에 인가되는 전극 전압의 세기를 조절 가능한 컨트롤러를 더 포함하고, 상기 컨트롤러는, 상기 압전소자 전압을 기초하되 상기 전극 전압의 크기를 상기 압전소자 전압과 독립적으로 조절할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 노즐 단부와 상기 전극 사이에 개재된 제2 압전 소자를 더 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 잉크 토출 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 토출 방법은, 발광 소자를 포함한 용액을 공급하는 노즐의 토출구에 전극 전압을 인가해 상기 발광 소자의 일단부와 타단부가 임의 방향을 향하도록 정렬하는 제1 정렬 단계; 기판 제1 전극과 기판 제2 전극이 상호 이격 배치된 기판 상에 상기 용액을 제팅하는 제팅 단계; 및 상기 기판에 전원을 인가해, 상기 발광 소자의 일단부가 상기 기판 제1 전극 상에 배치되고, 상기 타단부가 상기 기판 제2 전극 상에 배치되도록 정렬하는 제2 정렬 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 정렬 단계는 상기 제팅 단계의 제팅 공정 전, 상기 제팅 공정과 동시에 수행할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 정렬 단계에서는, 상기 토출구로 상기 용액을 토출시키기 위한 압전소자 전압과 서로 다른 크기를 가지는 전극 전압을 인가할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제팅 공전 전극에서 전극 전압을 인가해 발광 소자를 회전 운동시킴으로써, 기판에서의 정렬 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 토출구에 전극이 구비됨으로써, 토출 전, 토출시 전극 전압을 인가해 발광 소자를 1차 정렬시킴으로써, 발광 소자의 정렬 특성을 향상시키고, 정교한 배열로 표시 장치의 제품 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 컨트롤러가 압전소자 전압과 독립적으로 전극 전압의 크기를 제어 가능하고 전극 전압을 압전소자 전압과 동위성을 형성해 동일한 크기로 제어함으로써, 토출 시 발광 소자의 수직 낙하성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드와 기판을 보여주는 정면도이다.
도 2는 도 1에서 A의 확대도이다.
도 3(a)는 종래의 잉크젯 헤드에서 토출된 용액의 거동 상태를 모식적으로 보여주는 도면이고, 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드에서 토출된 용액의 거동 상태를 모식적으로 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 저면도이다.
도 5(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 전극과 제2 전극이 실장된 기판을 모식적으로 보여주는 사시도이고, 도 5(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬된 상태로 발광 소자가 마련된 기판을 보여주는 평면도이다.
도 6(a)와 도 6(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 토출 방법의 동작 순서도이다.
도 2는 도 1에서 A의 확대도이다.
도 3(a)는 종래의 잉크젯 헤드에서 토출된 용액의 거동 상태를 모식적으로 보여주는 도면이고, 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드에서 토출된 용액의 거동 상태를 모식적으로 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 저면도이다.
도 5(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 전극과 제2 전극이 실장된 기판을 모식적으로 보여주는 사시도이고, 도 5(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬된 상태로 발광 소자가 마련된 기판을 보여주는 평면도이다.
도 6(a)와 도 6(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 토출 방법의 동작 순서도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(10)와 기판(30)을 보여주는 정면도이고, 도 2는 도 1에서 A의 확대도이고, 도 3(a)는 종래의 잉크젯 헤드(10')에서 토출된 용액(21, 22)의 거동 상태를 모식적으로 보여주는 도면이고, 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(10)에서 토출된 용액(21, 22)의 거동 상태를 모식적으로 보여주는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(10)의 저면도이고, 도 5(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 전극(210)과 제2 전극(220)이 실장된 기판(30)을 모식적으로 보여주는 사시도이고, 도 5(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬된 상태로 발광 소자(22)가 마련된 기판(30)을 보여주는 평면도이며, 도 6(a)와 도 6(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자(22)를 보여주는 도면이다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(10)의 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1 내지 도 6(b)를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(10)는, 발광 소자(22)를 포함한 용액(21, 22)을 제팅 방식에 의해 기판(30) 상에 제공하는 장치일 수 있다. 잉크젯 헤드(10)는, 노즐(100)과 전극(200)을 포함하고, 나아가 절연층(300)과 제1 압전 소자(400), 액츄에이터(500), 컨트롤러(600), 제2 압전 소자(700)를 더 포함할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 4를 참조하면 노즐(100)은, 토출구(110)를 구비할 수 있다. 토출구(110)는 발광 소자(22)를 포함한 용액(21, 22)을 토출할 수 있다.
노즐(100)은, 하나 이상의 열을 이루며 배치될 수 있다.
리저버(120)는, 용액(21, 22)을 수용할 수 있다. 리저버(120)의 일단부는, 토출구(110)와 연통될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3(b)를 참조하면 용액(21, 22)은, 발광 소자를 제외한 분산 용매(22)를 포함할 수 있다. 바람직하게 분산 용매(22)는, 아세톤, 물, 알코올 또는 톨루엔으로 이루어진 군 중 적어도 어느 하나 이상일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 발광 소자에 물리적, 화학적 영향을 미치지 아니하고 휘발 성능이 우수한 경우 제한 없이 사용될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 6(b)를 참조하면 발광 소자(22)는, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)의 정전기적 인력에 의해, 분산 용매(21) 내부에서 임의 방향으로 회전 운동이 가능할 수 있다. 발광 소자(22)는, 제팅 전 기판 제1 전극(210)과 기판 제2 전극(220)에 상호 대향하도록 제1 정렬이 이뤄진 뒤 제팅될 수 있다.
발광 소자(22)는, 길이 방향을 따라 활성층(22b)의 양단부에 각각 제1 도전성 반도체층(22a)과 제2 도전성 반도체층(22c)이 위치하도록 구성될 수 있다. 도 6(a)를 참조하면 발광 소자(22)는, 제1 도전성 반도체층(22a)과 제1 도전성 반도체층(22c) 상에 형성된 활성층(22b), 활성층(22b) 상에 형성된 제2 도전성 반도체층(22c)을 포함할 수 있다. 도 6(b)를 참조하면 발광 소자(22)는, 제1 도전성 반도체층(22a)과 활성층(22b), 제2 도전성 반도체층(22c)을 감싸도록 외주연에 절연막(22d)이 형성될 수 있다.
제1 도전성 반도체층(22a) 및 제2 도전성 반도체층(22c) 중 어느 하나는 n형 반도체층일 수 있고, 다른 하나는 p형 반도체층일 수 있다.
일 실시예에 따라 제1 도전성 반도체층(22a)이 n형 반도체층인 경우, InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료 예컨대, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN 또는 InN 중 적어도 어느 하나 이상이 선택될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제1 도전형 도펀트는 Si, Ge 또는 Sn일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 제2 도전성 반도체층이 p형 반도체층인 경우, InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료 예컨대, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN 또는 InN 중 적어도 어느 하나 이상이 선택될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 도펀트는 Mg일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
활성층(22b)은 제1 도전성 반도체층(22a)과 제2 도전성 반도체층(22c) 사이에 개재되며, 단일 또는 다중 양자 우물 구조로 이루어질 수 있다, 활성층(22b)은, 조명, 디스플레이 등에 사용되는 통상의 발광 소자에 포함되는 활성층(22b)이 사용될 수 있다. 발광 소자(22) 양단에 소정 전압 이상의 전계가 인가되었을 때, 활성층(22b)에서 전자-정공 쌍이 결합함으로써 발광 소자(22)가 발광할 수 있다.
절연막(22d)은, 제1 도전성 반도체층(22a)과 활성층(22b), 제2 도전성 반도체층(22c)의 전부 또는 일부를 감싸도록 제공될 수 있다. 절연막(22d)은, 투명한 재질일 수 있다. 절연막(22d)은, SiO2, Si3N4, Al2O3 및 TiO2 중 적어도 하나 이상일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
절연막(22d)은, 분산 용매(21) 내 무작위적으로 위치한 발광 소자(22)들 간의 단락을 방지할 수 있다.
발광 소자(22)는, 로드(rod) 형상을 가질 수 있다. 발광 소자(22)의 종횡비는 1.2 내지 100, 바람직하게는 1.2 내지 50, 보다 바람직하게는 1.5 내지 20, 보다 더 바람직하게는 1.5 내지 10일 수 있다.
발광 소자(22)는, 나노 스케일의 직경 및/또는 길이를 가질 수 있다.
다시 도 1 내지 도 4를 참조하면 전극(200)은, 토출구(110) 상에 상호 대향하도록 한 쌍이 마련될 수 있다. 일 실시예에 따른 전극(200)은, 토출구(110)의 선단에 마련될 수 있다. 전극(200)은, 발광 소자(22)에 전극 전압을 인가할 수 있다. 전극(200)은, 제1 전극(210)과 제2 전극(220)을 포함할 수 있다. 전극(200)은, 교류 전압의 형태로 인가될 수 있다.
제1 전극(210)은, 제2 전극(220)과 임의 전위차를 형성할 수 있다. 일 실시예에 따른 제1 전극은, 서로 인접한 복수개의 노즐 일 단부를 따라 일렬로 마련될 수 있다.
제1 전극(210)은, 일 방향을 따라 제2 전극(220)과 소정 간격으로 이격 배치될 수 있다. 제1 전극(210)은, 기판 제1 전극(31)과 기판 제2 전극(32), 제2 전극(220)과 나란하게 배향되도록 배치 마련될 수 있다. 제1 전극(210)과 제2 전극(220)은, 기판 제1 전극(31)과 기판 제2 전극(32)에 상호 대향하도록 배치될 수 있다.
제1 전극(210)은, 제2 전극(220)과 함께 토출구(110)의 선단을 에워싸는 형상으로 배치 마련될 수 있다.
제1 전극(210)은, 알루미늄, 타이타늄, 인듐, 골드 및 실버 중 적어도 어느 하나 이상의 금속 또는 ITO(indium tin oxide), ZnO:Al 및 CNT-전도성 고분자 복합체 중 적어도 어느 하나 이상의 투명 물질일 수 있다. 제1 전극(210)은, 2종 이상의 물질로 이루어질 경우, 각각 적층 형성될 수 있다.
제2 전극(220)은, 제1 전극(210)에 상호 대향하도록 일정 거리 이격되어 마련될 수 있다. 일 실시예에 따른 제2 전극(220)은, 노즐(100)의 타단부에 일렬로 마련될 수 있다.
제2 전극(220)은, 알루미늄, 타이타늄, 인듐, 골드 및 실버 중 적어도 어느 하나 이상의 금속 또는 ITO(indium tin oxide), ZnO:Al 및 CNT-전도성 고분자 복합체 중 적어도 어느 하나 이상의 투명 물질일 수 있다. 제2 전극(220)은, 제1 전극(210)과 동일 또는 상이한 물질로 이뤄질 수 있다.
일 실시예에 따른 제1 전극(210)과 제2 전극(220)은, 기판(30) 상 기판 제1 전극(31)과 기판 제2 전극(32)의 배열 위치에 따라 어느 일 방향에서 서로 교차 정렬될 수 있다. 일 실시예에 따르면 제1 전극(210)은, 제2 전극(220)과 Y축 방향으로 서로 마주보도록 마련될 수 있다. 제1 전극(210)은, 전압원, 저항 및 제2 전극(220)과 직렬로 연결될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면 첫 번째 노즐(100)에서, 제1 전극(210)은 기판 제1 전극(310)과, 제2 전극(220)은 각각X축을 따라 나란히 배열되도록 전극 전압이 제공되고, 두 번째 노즐(100)에서, 제1 전극(210)은 기판 제2 전극(320)과, 제2 전극(220)은 기판 제1 전극(310)에 나란히 배열되도록 전극 전압이 제공될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 4를 참조하면 절연층(300)은, 노즐(100)과 전극(200)이 단락되는 것을 막을 수 있다. 절연층(300)은, 노즐(100) 단부와 전극(200) 사이에 개재될 수 있다. 절연층(300)은, 전극(200)을 노즐(100) 단부와 절연시킬 수 있다. 절연층(300)은, 발광 소자(22)를 포함한 용액(21, 22)의 제팅 공정 상 제공되는 용매 또는 도전성 불순물에 의한 노즐 단부와 제1 전극 또는 제2 전극의 전기적 단락 및 손상을 미연에 방지할 수 있다. 절연층(300)은, SiO2, Si3N4, SiNx, Al2O3, HFO2, Y2O3 및 TiO2 중 적어도 어느 하나로 이뤄질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 일 실시예에 따르면 절연층(300)은, 질화규소(SiNx)일 수 있다.
다시 도 1 내지 도 2를 참조하면 제1 압전 소자(400)는, 후술할 액츄에이터(500)의 구동으로 용액(21, 22)에 압력을 발생시키 수 있다. 제1 압전 소자(400)는, 리저버(120)의 내부 압력을 변화시킬 수 있다. 리저버(120)에는, 용액(21, 22)이 충진될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면 액츄에이터(500)는, 제1 압전 소자(400)에 임의값의 압전소자 전압을 인가시킬 수 있다. 액추에이터(500)는, 임의 압전소자 전압을 변화시켜 용액(21, 22)이 토출구(110)로 토출되도록 구동 제어할 수 있다.
액츄에이터(500)가 제1 압전 소자(400)를 구동시키면, 리저버(120)의 내부 부피가 감소하게 되고, 이에 따라 리저버(120)의 압력 변화로 용액(21, 22)은 토출구(110)를 통해 토출될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면 컨트롤러(600)는, 전극에 인가되는 전극 전압의 세기를 조절할 수 있다. 컨트롤러(600)는, 액츄에이터(500)의 정보를 호출할 수 있다. 컨트롤러(600)는, 액츄에이터(500)로부터 압전소자 전압 값을 수신할 수 있다. 컨트롤러(600)는, 압전소자 전압 값과 독립적으로 전극(200)에 인가되는 전극 전압의 크기를 임의로 조절할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3(b)를 참조하면 제2 압전 소자(700)는, 노즐(100) 단부와 전극(200) 사이에 개재될 수 있다. 제2 압전 소자(700)는, 제1 압전 소자(400)와 동위상으로 토출 압력을 제공할 수 있다.
제2 압전 소자(700)는, 제1 압전 소자(400)와 일정한 음향진동이 형성되도록 동기화될 수 있다. 제2 압전 소자(700)는, 제1 압전 소자(400)가 토출구(110) 상에 가하는 파동에너지에 대해 파동에너지를 추가로 가해 토출구(110)에서의 용액(21, 22)의 토출력을 향상시킬 수 있다.
일 실시예에 따른 제2 압전 소자(700)는, 절연층(300)과 선택적으로 설치될 수 있다. 다른 실시예에 따른 제2 압전 소자(700)는, 절연층(300)과 전극(200) 사이에 개재되도록 마련될 수 있다.
다시 도 1과 도 2, 도 5를 참조하면 기판(30)은, 기판 제1 전극(31)과 기판 제2 전극(32)을 포함할 수 있다. 기판 제1 전극(31)은, 일 방향을 따라 기판 제2 전극(32)과 소정 간격으로 이격되어 기판 상에 배치될 수 있다. 일 실시예에 따른 기판 제1 전극(31)은, 기판 제2 전극(32)과 Y축 방향으로 서로 마주보도록 배치 마련될 수 있다.
기판(30)은, 경성 또는 연성 재질로 이루어질 수 있다. 기판(30)은, 유리기판, 수정기판, 사파이어 기판, 플라스틱 기판 또는 폴리머 필름과 같은 플렉서블 기판 중 적어도 어느 하나로, 전극이 형성될 수 있는 기판일 수 있다. 일 실시예에 따르면 기판(30)은, 투명 재질로 이뤄질 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 또한 기판(30)은, 반투명, 불투명 또는 반사성 재질로 이뤄질 수도 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 잉크젯 헤드(10)를 이용한 잉크 토출 방법의 각 단계를 시계열에 따라 설명하기로 한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 토출 방법의 동작 순서도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 토출 방법은, 발광 소자를 포함한 용액의 제팅 전 제1 정렬과 발광 소자를 포함한 용액의 도포, 발광 소자의 제2 정렬, 용매 제거 순으로 기판 상에 발광 소자를 실장 마련할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 토출 방법은, 1 정렬 단계(S10)와 제팅 단계(S20), 제2 정렬 단계(S30)를 포함할 수 있다.
제1 정렬 단계(S10)에서는, 발광 소자를 포함한 용액을 공급하는 노즐의 토출구에 전극 전압을 인가해 상기 발광 소자의 일단부와 타단부가 임의 방향을 향하도록 정렬할 수 있다.
제1 정렬 단계(S10)는, 제팅 단계의 제팅 공정 전, 제팅 공정과 동시에 수행될 수 있다.
제1 정렬 단계(S10)에서는, 토출구로 용액을 토출시키기 위한 압전소자 전압과 서로 다른 크기를 가지는 전극 전압을 인가할 수 있다.
제1 정렬 단계(S10)에서는, 제팅 단계에 의한 발광 소자를 포함한 용익이 잉크젯 헤드에서 토출되지 전, 발광 소자의 쌍극자 특성을 이용, 정전기적 인력을 가해 발광 소자를 임의 방향으로 향하도록 회전 이동시킬 수 있다.
제팅 단계(S20)에서는, 잉크젯 헤드로 발광 소자를 포함한 용액을 토출해, 기판 상부에 발광 소자를 제팅, 도포할 수 있다. 이때 기판은, 기판 제1 전극과 기판 제2 전극이 상호 이격 배치될 수 있다.
제2 정렬 단계(S30)에서는, 기판에 전원을 인가해, 발광 소자의 일단부가 기판 제1 전극 상에 배치되고, 발광 소자의 타단부가 기판 제2 전극 상에 배치되도록 정렬할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 잉크젯 헤드
100 : 노즐 110 : 토출구
120 : 리저버
200 : 전극 210 : 제1 전극
220 : 제2 전극
300 : 절연층
400 : 제1 압전 소자
500 : 액츄에이터
600 : 컨트롤러
700 : 제2 압전 소자
21 : 분산 용매 22 : 발광 소자
30 : 기판 31 : 기판 제1 전극
32 : 기판 제2 전극
100 : 노즐 110 : 토출구
120 : 리저버
200 : 전극 210 : 제1 전극
220 : 제2 전극
300 : 절연층
400 : 제1 압전 소자
500 : 액츄에이터
600 : 컨트롤러
700 : 제2 압전 소자
21 : 분산 용매 22 : 발광 소자
30 : 기판 31 : 기판 제1 전극
32 : 기판 제2 전극
Claims (9)
- 발광 소자를 포함한 용액을 토출 가능한 토출구를 구비한 노즐; 및
상기 토출구 상에 상호 대향하도록 마련되어, 상기 발광 소자에 전극 전압을 인가 가능한 한 쌍의 전극을 포함하는, 잉크젯 헤드.
- 제 1 항에 있어서,
상기 노즐 단부와 상기 전극 사이에 개재된 절연층을 더 포함하는, 잉크젯 헤드.
- 제 1 항에 있어서,
상기 노즐은 하나 이상의 열을 이루며 배치되고,
상기 전극은,
서로 인접한 복수개의 상기 노즐의 일 단부를 따라 일렬로 마련된 제1 전극; 및
상기 제1 전극에 상호 대향하여 상기 노즐의 타단부에 일렬로 마련된 제2 전극을 포함하는, 잉크젯 헤드.
- 제 3 항에 있어서,
상기 제1 전극은 일 방향을 따라 상기 제2 전극과 소정 간격으로 이격 배치된, 잉크젯 헤드.
- 제 1 항에 있어서,
상기 용액이 충진되는 리저버의 내부 압력을 변화시키는 제1 압전 소자;
상기 제1 압전 소자에 인가되는 압전소자 전압을 변화시켜 상기 용액을 상기 토출구로 토출시키는 액츄에이터; 및
상기 전극에 인가되는 전극 전압의 세기를 조절 가능한 컨트롤러를 더 포함하고,
상기 컨트롤러는, 상기 압전소자 전압을 기초하되 상기 전극 전압의 크기를 상기 압전소자 전압과 독립적으로 조절 가능한, 잉크젯 헤드.
- 제 5 항에 있어서,
상기 노즐 단부와 상기 전극 사이에 개재된 제2 압전 소자를 더 포함하는, 잉크젯 헤드.
- 발광 소자를 포함한 용액을 공급하는 노즐의 토출구에 전극 전압을 인가해 상기 발광 소자의 일단부와 타단부가 임의 방향을 향하도록 정렬하는 제1 정렬 단계;
기판 제1 전극과 기판 제2 전극이 상호 이격 배치된 기판 상에 상기 용액을 제팅하는 제팅 단계; 및
상기 기판에 전원을 인가해, 상기 발광 소자의 일단부가 상기 기판 제1 전극 상에 배치되고, 상기 타단부가 상기 기판 제2 전극 상에 배치되도록 정렬하는 제2 정렬 단계를 포함하는, 잉크 토출 방법.
- 제 7 항에 있어서,
상기 제1 정렬 단계는 상기 제팅 단계의 제팅 공정 전, 상기 제팅 공정과 동시에 수행 가능한, 잉크 토출 방법.
- 제 7 항에 있어서,
상기 제1 정렬 단계에서는, 상기 토출구로 상기 용액을 토출시키기 위한 압전소자 전압과 서로 다른 크기를 가지는 전극 전압을 인가 가능한, 잉크 토출 방법.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210030854A KR102514777B1 (ko) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법 |
| US17/675,484 US11845276B2 (en) | 2021-03-09 | 2022-02-18 | Inkjet head and method of ejecting ink using the same |
| CN202210207231.4A CN115042522A (zh) | 2021-03-09 | 2022-03-03 | 喷墨头与利用此的喷墨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210030854A KR102514777B1 (ko) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20220126503A true KR20220126503A (ko) | 2022-09-16 |
| KR102514777B1 KR102514777B1 (ko) | 2023-03-29 |
Family
ID=83158461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210030854A KR102514777B1 (ko) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11845276B2 (ko) |
| KR (1) | KR102514777B1 (ko) |
| CN (1) | CN115042522A (ko) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1044398A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-17 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| JP2006315232A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Konica Minolta Holdings Inc | 液体吐出装置 |
| KR20120015798A (ko) * | 2010-08-13 | 2012-02-22 | 전자부품연구원 | 삼중 전극을 이용한 정전방식 다중 노즐 액적 토출 장치 및 그의 구동방법 |
| KR20190137742A (ko) | 2019-12-02 | 2019-12-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | Led 전극 어셈블리 및 이의 제조 방법 |
| KR20210013416A (ko) * | 2019-07-24 | 2021-02-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 잉크젯 프린팅 장치, 쌍극성 소자 정렬 방법 및 표시 장치의 제조 방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1169697A (zh) * | 1994-12-15 | 1998-01-07 | 东洋油墨制造株式会社 | 稳定化的电凝印刷油墨 |
| JP2002307820A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録材料の製造方法 |
| JP2004245890A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-09-02 | Denso Corp | 光走査装置 |
| CN107310271B (zh) * | 2016-04-27 | 2019-04-26 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头及喷墨记录装置 |
| KR102668889B1 (ko) * | 2018-12-24 | 2024-05-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 잉크젯 프린팅 장치, 잉크 분사 방법 및 표시 장치의 제조 방법 |
-
2021
- 2021-03-09 KR KR1020210030854A patent/KR102514777B1/ko active IP Right Grant
-
2022
- 2022-02-18 US US17/675,484 patent/US11845276B2/en active Active
- 2022-03-03 CN CN202210207231.4A patent/CN115042522A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1044398A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-17 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| JP2006315232A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Konica Minolta Holdings Inc | 液体吐出装置 |
| KR20120015798A (ko) * | 2010-08-13 | 2012-02-22 | 전자부품연구원 | 삼중 전극을 이용한 정전방식 다중 노즐 액적 토출 장치 및 그의 구동방법 |
| KR20210013416A (ko) * | 2019-07-24 | 2021-02-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 잉크젯 프린팅 장치, 쌍극성 소자 정렬 방법 및 표시 장치의 제조 방법 |
| KR20190137742A (ko) | 2019-12-02 | 2019-12-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | Led 전극 어셈블리 및 이의 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20220288932A1 (en) | 2022-09-15 |
| US11845276B2 (en) | 2023-12-19 |
| CN115042522A (zh) | 2022-09-13 |
| KR102514777B1 (ko) | 2023-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11817046B2 (en) | Display device and method of fabricating the same | |
| KR102707509B1 (ko) | 발광장치 및 그의 제조방법 | |
| KR102608419B1 (ko) | 표시장치 및 표시장치의 제조방법 | |
| US9406656B2 (en) | Display device using semiconductor light emitting device and method of fabricating the same | |
| KR102651889B1 (ko) | 잉크젯 프린트 장치, 쌍극자 정렬 방법 및 표시 장치의 제조 방법 | |
| TWI235865B (en) | Wiring structure, display apparatus, and active device substrate | |
| KR20200088946A (ko) | 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 | |
| US11337347B2 (en) | System for transferring micro LED | |
| CN114144309B (zh) | 喷墨印刷装置、用于使双极元件对准的方法和制造显示装置的方法 | |
| CN112997325A (zh) | 发光元件分散剂、包括其的发光元件墨以及用于制造显示装置的方法 | |
| US20190305178A1 (en) | System having transfer head for transferring micro led | |
| KR20200088961A (ko) | 발광 장치, 이를 포함하는 표시 장치 | |
| KR20200074591A (ko) | 고 해상도 마이크로 led 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
| KR102514777B1 (ko) | 잉크젯 헤드와 이를 이용한 잉크 토출 방법 | |
| KR20200005693A (ko) | 발광장치 및 그의 제조방법 | |
| KR20220087668A (ko) | 표시 장치 및 그의 제조 방법 | |
| US20220246801A1 (en) | Light-emitting device and display apparatus including the same | |
| KR20220167809A (ko) | 잉크젯 프린팅 장치 | |
| CN114829149A (zh) | 喷墨印刷设备和用于对准偶极子的方法 | |
| KR20230039112A (ko) | 발광소자 및 전극기판 | |
| KR20230039109A (ko) | 전극기판 | |
| KR102416253B1 (ko) | 발광 소자를 구비한 표시 장치의 개보수 장치 | |
| WO2023070434A1 (zh) | 电极组件及其制备方法和显示装置 | |
| KR20170074577A (ko) | 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법 | |
| JP2010173080A (ja) | 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |