KR20220113265A - 블레이드 고정구 및 블레이드 마운터 - Google Patents

블레이드 고정구 및 블레이드 마운터 Download PDF

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KR20220113265A
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마사노리 미사이즈
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명의 과제는 소모품인 절삭 블레이드의 제조에 드는 비용을 낮게 억제하면서, 피가공물에 공급되는 절삭액의 양을 늘릴 수 있는 블레이드 고정구 및 블레이드 마운터를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 블레이드 고정구는, 외주면에 나사산이 마련된 원기둥형의 보스부를 갖는 마운트 플랜지에 대하여, 개구부를 가지며 절삭액이 공급되는 상태에서 사용되는 환형의 절삭 블레이드를 고정하기 위한 블레이드 고정구로서, 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 개구부의 내주면에 보스부의 나사산에 대응하는 나사산이 마련된 환형의 너트와, 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 외경이 너트보다 큰 원반형의 절삭액 반환 플레이트를 포함한다.

Description

블레이드 고정구 및 블레이드 마운터{BLADE FIXTURE AND BLADE MOUNTER}
본 발명은 마운트 플랜지에 대하여 환형의 절삭 블레이드를 고정하기 위한 블레이드 고정구 및 이 블레이드 고정구를 포함하는 블레이드 마운터에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 대표되는 판형의 피가공물을 가공할 때에는, 예컨대 환형의 절삭 블레이드를 스핀들에 장착한 절삭 장치가 사용된다. 고속으로 회전시킨 절삭 블레이드를 피가공물에 절입시키면서, 절삭 블레이드와 피가공물을 상대적으로 이동시킴으로써, 이 이동의 경로를 따라 피가공물을 절삭 가공(절삭)할 수 있다.
그런데, 회전시킨 절삭 블레이드를 피가공물에 절입시키면, 피가공물이 깎여, 다량의 부스러기(절삭 부스러기)가 발생한다. 절삭 부스러기가 피가공물에 부착되면, 피가공물에 마련되어 있는 디바이스 등에 불량이 발생하기 쉬워진다. 또한, 피가공물에 절삭 부스러기가 고착되면, 후에 피가공물을 세정하였다고 해도, 피가공물로부터 절삭 부스러기를 용이하게는 제거할 수 없다.
그래서, 피가공물을 절삭할 때에는, 절삭 블레이드나 피가공물에 순수 등의 액(절삭액)을 공급함으로써, 발생하는 절삭 부스러기가 즉시 씻겨지도록 하고 있다. 최근에는, 이 절삭액에 의한 세정의 효과를 높이기 위해, 절삭 블레이드에 공급되는 절삭액을 효율적으로 낙하시켜 피가공물에 공급되는 절삭액의 양을 늘릴 수 있는 판형의 구조를 일체로 구비한 절삭 블레이드가 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2018-148177호 공보
그러나, 절삭 블레이드에 대하여 전술한 바와 같이 판형의 구조를 일체로 마련하면, 절삭 블레이드의 제조에 드는 비용이 비싸져, 절삭 블레이드의 가격이 상승한다. 절삭 블레이드는, 소위 소모품이며 높은 빈도로 교환되기 때문에, 절삭 블레이드의 가격의 상승은, 피가공물의 가공의 비용을 크게 상승시켜 버린다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 소모품인 절삭 블레이드의 제조에 드는 비용을 낮게 억제하면서, 피가공물에 공급되는 절삭액의 양을 늘릴 수 있는 블레이드 고정구 및 블레이드 마운터를 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 외주면에 나사산이 마련된 원기둥형의 보스부를 갖는 마운트 플랜지에 대하여, 개구부를 가지며 절삭액이 공급되는 상태에서 사용되는 환형의 절삭 블레이드를 고정하기 위한 블레이드 고정구로서, 상기 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 상기 개구부의 내주면에 상기 보스부의 나사산에 대응하는 나사산이 마련된 환형의 너트와, 상기 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 외경이 상기 너트보다 큰 원반형의 절삭액 반환 플레이트를 포함하고, 상기 절삭 블레이드의 상기 개구부에 상기 보스부가 삽입된 상태에서 상기 절삭액 반환 플레이트가 상기 절삭 블레이드측에 배치되도록, 상기 절삭액 반환 플레이트의 상기 개구부와 상기 너트의 상기 개구부에 상기 보스부가 삽입됨으로써, 상기 마운트 플랜지에 상기 절삭 블레이드를 고정하는 블레이드 고정구가 제공된다. 바람직하게는, 상기 너트와, 상기 절삭액 반환 플레이트가 일체로 형성되어 있다.
또한, 본 발명의 별도의 일측면에 따르면, 개구부를 가지며 절삭액이 공급되는 상태에서 사용되는 환형의 절삭 블레이드를 스핀들에 장착하기 위한 블레이드 마운터로서, 원반형의 플랜지부와, 상기 플랜지부의 한쪽의 면으로부터 돌출하여 외주면에 나사산이 마련된 원기둥형의 보스부를 가지며, 상기 플랜지부의 다른쪽의 면측으로부터 상기 스핀들에 장착되는 마운트 플랜지와, 상기 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 상기 개구부의 내주면에 상기 보스부의 나사산에 대응하는 나사산이 마련된 환형의 너트와, 상기 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 외경이 상기 너트보다 큰 원반형의 절삭액 반환 플레이트를 포함하고, 상기 절삭 블레이드의 상기 개구부에 상기 보스부가 삽입된 상태에서 상기 절삭액 반환 플레이트가 상기 절삭 블레이드측에 배치되도록, 상기 절삭액 반환 플레이트의 상기 개구부와 상기 너트의 상기 개구부에 상기 보스부가 삽입됨으로써, 상기 너트와 상기 플랜지부 사이에 상기 절삭 블레이드를 끼워 고정하는 블레이드 마운터가 제공된다. 바람직하게는, 상기 너트와, 상기 절삭액 반환 플레이트가 일체로 형성되어 있다.
본 발명의 일측면에 따른 블레이드 고정구 및 다른 일측면에 따른 블레이드 마운터는 모두, 환형의 너트와, 외경이 너트보다 큰 원반형의 절삭액 반환 플레이트를 포함하고 있기 때문에, 소모품인 절삭 블레이드에 대하여 판형의 구조를 마련할 필요가 없다. 따라서, 본 발명에 따르면, 소모품인 절삭 블레이드의 제조에 드는 비용을 낮게 억제하면서, 피가공물에 공급되는 절삭액의 양을 늘릴 수 있다.
도 1은 절삭 장치의 구조를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 절삭 유닛의 구조를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 절삭액 반환 플레이트의 기능을 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 4는 절삭액 반환 플레이트의 기능을 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 5는 변형예에 따른 절삭 유닛의 구조를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 블레이드 고정구가 사용되는 절삭 장치(2)를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 도 1에서는, 절삭 장치(2)를 구성하는 일부의 요소가 기능 블록으로 표현되어 있다. 또한, 이하의 설명에서 이용되는 X축 방향(가공 이송 방향), Y축 방향(인덱싱 이송 방향) 및 Z축 방향(절입 이송 방향)은, 서로 수직이다.
절삭 장치(2)는, 각 요소를 지지하는 프레임(도시 생략)을 구비하고 있다. 이 프레임은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 커버(4)에 의해 덮여 있다. 프레임 및 커버(4)의 내측에는, 판형의 피가공물(11)을 절삭하기 위한 공간이 형성되어 있고, 이 공간 내에는, 절삭 유닛(6)이 수용되어 있다. 절삭 유닛(6)은, 절삭 유닛 이동 기구(도시 생략)에 지지되어 있고, 이 절삭 유닛 이동 기구에 의해, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동한다.
피가공물(11)은, 대표적으로는, 실리콘 등의 반도체를 이용하여 형성되는 원반형의 웨이퍼이다. 예컨대, 피가공물(11)의 표면은, 격자형으로 설정된 분할 예정 라인(스트리트)으로 복수의 영역으로 구획되어 있고, 각 영역에는, IC(Integrated Circuit) 등의 디바이스가 형성되어 있다.
단, 피가공물(11)의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예컨대, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등을 이용하여 형성되는 기판을 피가공물(11)로서 이용할 수도 있다. 마찬가지로, 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 피가공물(11)에는, 디바이스가 형성되지 않은 것도 있다.
절삭 유닛(6)의 하방에는 피가공물(11)을 유지할 수 있는 척 테이블(8)이 배치되어 있다. 척 테이블(8)은, 모터를 포함하는 척 테이블 회전 기구(도시 생략)에 연결되어 있고, 이 척 테이블 회전 기구에 의해, Z축 방향에 대하여 대략 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또한, 척 테이블(8)은, 척 테이블 이동 기구(도시 생략)에 지지되어 있고, 이 척 테이블 이동 기구에 의해, X축 방향으로 이동한다.
척 테이블(8)의 상면의 일부는, 예컨대 다공질재로 구성되며, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(8a)으로서 기능한다. 유지면(8a)은, X축 방향 및 Y축 방향에 대하여 대략 평행이며, 척 테이블(8)의 내부에 형성된 흡인로(도시 생략) 등을 통해 흡인원(도시 생략)에 접속되어 있다. 유지면(8a)에 피가공물(11)을 실은 상태에서 흡인원의 부압을 작용시키면, 피가공물(11)은 이 유지면(8a)에 의해 흡인된다.
프레임 및 커버(4)의 외부에는, 카세트 지지대(10)가 마련되어 있다. 카세트 지지대(10)의 상면에는, 복수의 다른 높이의 위치(Z축 방향의 위치)에 각각 피가공물(11)을 수용할 수 있는 카세트(12)가 실린다. 카세트 지지대(10)의 높이는, 예컨대, 카세트(12)로부터 커버(4)의 내측의 공간으로 피가공물(11)을 반송하거나, 또는, 커버(4)의 내측의 공간으로부터 카세트(12)에 피가공물(11)을 반송할 때에, 카세트 승강 기구(도시 생략)에 의해 제어된다.
커버(4)의 정면(4a)에는, 사용자 인터페이스가 되는 터치 스크린(표시 장치, 입력 장치)(14)이 배치되어 있다. 또한, 커버(4)의 상면(4b)에는, 표시등(16)이 배치되어 있다. 터치 스크린(14)이나 표시등(16)은, 전술한 절삭 유닛(6), 절삭 유닛 이동 기구, 척 테이블 회전 기구, 척 테이블 이동 기구, 카세트 승강 기구 등과 함께, 제어 유닛(18)에 접속된다.
제어 유닛(18)은, 예컨대 처리 장치와, 기억 장치를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되며, 피가공물(11)의 절삭에 필요한 일련의 공정에 맞추어, 전술한 복수의 요소를 제어한다. 처리 장치는, 대표적으로는 CPU(Central Processing Unit)이며, 각 요소를 제어하기 위해 필요한 여러 가지 처리를 행한다.
기억 장치는, 예컨대 DRAM(Dynamic Random Access Memory) 등의 주기억 장치와, 하드 디스크 드라이브나 플래시 메모리 등의 보조 기억 장치를 포함한다. 이 제어 유닛(18)의 기능은, 예컨대 기억 장치에 기억되는 소프트웨어에 따라 처리 장치가 동작함으로써 실현된다. 단, 제어 유닛(18)의 기능은, 하드웨어에 의해서만 실현되어도 좋다.
도 2는 절삭 유닛(6)의 구조를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다. 절삭 유닛(6)은, 통형의 하우징(20)을 구비하고 있다. 하우징(20)에는, Y축 방향에 대하여 대략 평행한 회전축이 되는 원기둥형의 스핀들(22)이 수용되어 있다. 스핀들(22)의 선단부(일단측)는, 하우징(20)의 외부에 노출되어 있다. 스핀들(22)의 선단부의 선단면에는, 나사 구멍(22a)이 마련되어 있다. 또한, 스핀들(22)의 기단부(타단측)에는, 모터를 포함하는 회전 기구(도시 생략)가 연결되어 있다.
스핀들(22)의 선단부에는, 블레이드 마운터(24)를 통해 환형의 절삭 블레이드(26)가 장착된다. 블레이드 마운터(24)는, 스핀들(22)의 선단부에 부착되는 마운트 플랜지(28)를 포함한다. 마운트 플랜지(28)는, 절삭 블레이드(26)를 지지하는 원반형의 플랜지부(30)와, 플랜지부(30)의 원형의 표면(한쪽의 면)(30a)의 중앙부로부터 돌출하는 원기둥형의 보스부(32)를 구비한다.
마운트 플랜지(28)에는, 플랜지부(30)의 중앙부를 표면(30a)측으로부터 이면(다른쪽의 면)(30b)측으로 관통하며, 보스부(32)의 중앙부를 선단(32a)측으로부터 기단측[플랜지부(30)측]으로 관통하는 관통 구멍(28a)이 형성되어 있다. 플랜지부(30)의 이면(30b)측으로부터 스핀들(22)의 선단부가 관통 구멍(28a)에 삽입됨으로써, 마운트 플랜지(28)는, 플랜지부(30)의 이면(30b)측으로부터 스핀들(22)에 장착된다.
관통 구멍(28a)에는, 나사(34)의 머리를 받는 환형의 수용부가 마련되어 있다. 따라서, 보스부(32)의 선단(32a)측으로부터 관통 구멍(28a)에 나사(34)를 삽입하고, 이 관통 구멍(28a)을 통해 스핀들(22)의 나사 구멍(22a)에 나사(34)를 단단히 조이면, 마운트 플랜지(28)는, 스핀들(22)의 선단부에 고정된다.
플랜지부(30)의 표면(30a)측의 외주부에는, 표면(30a)에 대하여 교차하는 방향[대표적으로는, 표면(30a)에 대하여 수직인 방향]으로 약간 돌출하는 환형의 볼록부(30c)가 마련되어 있다. 볼록부(30c)의 선단면(30d)은, 대략 평탄하게 형성되어 있다. 보스부(32)의 외주면(32b)의 선단(32a)측의 영역에는, 나사산이 마련되어 있다.
절삭 블레이드(26)는, 예컨대 금속 등을 포함하는 원뿔대형의 베이스(36)와, 베이스(36)의 외주 가장자리를 따라 마련된 환형의 절삭날(38)을 일체로 구비한, 소위 허브 타입의 절삭 블레이드이다. 절삭 블레이드(26)의 중앙부[베이스(36)의 중앙부]에는, 절삭 블레이드(26)[베이스(36)]를 두께의 방향으로 관통하는 개구부(26a)가 마련되어 있다. 마운트 플랜지(28)에 대하여 절삭 블레이드(26)를 부착할 때에는, 이 개구부(26a)에 보스부(32)가 삽입된다.
베이스(36)는, 원뿔대의 측면에 상당하는 만곡면(제1 면)(36a)과, 원뿔대의 저면에 상당하며, 만곡면(36a)의 대략 반대측에 위치하는 평탄면(제2 면)(도시 생략)을 갖는다. 마운트 플랜지(28)에 대하여 절삭 블레이드(26)를 부착할 때에는, 베이스(36)의 평탄면이 플랜지부(30)의 선단면(30d)에 접촉하도록, 개구부(26a)에 보스부(32)를 삽입시킨다. 절삭날(38)은, 예컨대 다이아몬드 등을 포함하는 지립이 니켈 등의 금속을 포함하는 결합제에 의해 고정된 구조를 갖고 있다.
블레이드 마운터(24)는, 마운트 플랜지(28)에 대하여 환형의 절삭 블레이드(26)를 고정할 때에 이용되는 블레이드 고정구(40)를 더 포함하고 있다. 블레이드 고정구(40)는, 예컨대 환형의 너트(너트부)(42)와, 너트(42)의 외경(직경)보다 크고, 절삭 블레이드(26)의 외경(직경)보다 작은 외경(직경)의 원반형의 절삭액 반환 플레이트(절삭액 반환부)(44)를 포함한다. 너트(42)와, 절삭액 반환 플레이트(44)는 일체로 형성되어 있다.
너트(42)의 중앙부에는, 마운트 플랜지(28)의 보스부(32)가 삽입되는 개구부(42a)가 마련되어 있다. 개구부(42a)의 내주면에는, 보스부(32)의 나사산에 대응하는 나사산이 형성되어 있다. 마찬가지로, 절삭액 반환 플레이트(44)의 중앙부에도, 보스부(32)가 삽입되는 개구부(44a)가 마련되어 있다. 너트(42)의 개구부(42a)와, 절삭액 반환 플레이트(44)의 개구부(44a)는 서로 접속되어 있다. 또한, 개구부(44a)의 내주면에는, 나사산이 마련되어 있어도 좋고, 나사산이 마련되지 않아도 좋다.
마운트 플랜지(28)에 대하여 절삭 블레이드(26)를 고정할 때에는, 절삭 블레이드(26)의 개구부(26a)에 보스부(32)가 삽입된 상태에서, 블레이드 고정구(40)의 너트(42)의 개구부(42a)와 절삭액 반환 플레이트(44)의 개구부(44a)에 보스부(32)를 삽입시킨다. 블레이드 고정구(40)의 방향은, 절삭액 반환 플레이트(44)가 절삭 블레이드(26)측에 배치되도록 조정된다.
그리고, 보스부(32)와 블레이드 고정구(40)를 상대적으로 회전시켜, 블레이드 고정구(40)에 보스부(32)를 단단히 조인다. 이에 의해, 블레이드 고정구(40)의 절삭액 반환 플레이트(44)측이 절삭 블레이드(26)의 베이스(36)의 만곡면(36a)측에 접촉하여, 절삭 블레이드(26)는 마운트 플랜지(28)와 블레이드 고정구(40) 사이에 유지된다. 즉, 절삭 블레이드(26)는, 너트(42)와 플랜지부(30) 사이에 끼워지도록 하여 고정된다.
도 3은 절삭액 반환 플레이트(44)의 기능을 모식적으로 나타내는 정면도이고, 도 4는 절삭액 반환 플레이트(44)의 기능을 모식적으로 나타내는 측면도이다. 절삭 유닛(6)에는, 절삭 블레이드(26)의 외주부를 부분적으로 덮는 블레이드 커버가 마련되어 있고, 이 블레이드 커버에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드(26)의 외주부에 절삭액(21)을 공급할 수 있는 노즐(46)이 배치되어 있다.
도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 예컨대 절삭 블레이드(26)의 측방에 배치된 노즐(46)로부터 절삭 블레이드(26)의 외주부에 위치하는 목표 영역(21a)을 향하여 절삭액(21)을 분사하면, 절삭액(21)의 일부는, 만곡면(36a)을 흘러 절삭 블레이드(26)의 중앙부를 향한다. 절삭액 반환 플레이트(44)가 존재하지 않는 경우에는, 절삭 블레이드(26)의 중앙부에 도달한 절삭액(21)의 대부분이 절삭 블레이드(26)의 정면측에 비산하기 때문에, 절삭 블레이드(26)의 절삭날(38)과 피가공물(11)이 접촉하는 가공점의 곁에, 충분한 양의 절삭액(21)이 공급되지 않는다.
이에 비하여, 본 실시형태의 블레이드 고정구(40)는, 너트(42)와 함께, 너트(42)보다 큰 외경의 원반형의 절삭액 반환 플레이트(44)를 포함하고 있다. 따라서, 절삭 블레이드(26)의 중앙부에 도달한 절삭액(21)은, 절삭액 반환 플레이트(44)에 의해 되튀겨져, 가공점의 곁에 낙하한다. 이에 의해, 피가공물(11)의 가공점의 곁에 공급되는 절삭액(21)의 양을 늘려, 피가공물(11)에의 절삭 부스러기의 부착 및 고착을 방지할 수 있다.
이상과 같이, 본 실시형태의 블레이드 고정구(40)[및 블레이드 마운터(24)]는, 환형의 너트(42)와, 외경이 너트(42)보다 큰 원반형의 절삭액 반환 플레이트(44)를 포함하고 있기 때문에, 소모품인 절삭 블레이드(26)에 대하여, 절삭액 반환 플레이트(44)에 상당하는 판형의 구조를 마련할 필요가 없다. 따라서, 소모품인 절삭 블레이드(26)의 제조에 드는 비용을 낮게 억제하면서, 피가공물(11)에 공급되는 절삭액(21)의 양을 늘릴 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 소모품인 절삭 블레이드(26)로부터 절삭액 반환 플레이트(44)가 분리되어 있기 때문에, 절삭 블레이드(26)와 절삭액 반환 플레이트(44)가 일체로 형성되어 있는 경우와 같이, 절삭 블레이드(26)와 함께 절삭액 반환 플레이트(44)를 폐기할 필요가 없다. 즉, 절삭액 반환 플레이트(44)를 반복하여 이용할 수 있다.
또한, 본 발명은 전술한 실시형태의 기재에 제한되지 않고 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 전술한 실시형태에서는, 너트(42)와, 절삭액 반환 플레이트(44)를 일체로 구비하는 블레이드 고정구(40)를 예시하였지만, 너트(42)와, 절삭액 반환 플레이트(44)는 분리되어 있어도 좋다. 또한, 마운트 플랜지(28)의 이면(30b)측에, 추가의 절삭액 반환 플레이트가 마련되어도 좋다.
또한, 본 발명의 블레이드 고정구는, 소위 와셔 타입의 절삭 블레이드를 마운트 플랜지에 고정할 때에도 이용될 수 있다. 도 5는 변형예에 따른 절삭 유닛(106)의 구조를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다. 또한, 이하에서는, 전술한 실시형태의 절삭 유닛(6)과 공통의 요소에 동일한 부호를 붙이고, 그 상세한 설명을 생략한다.
스핀들(22)의 선단부에는, 블레이드 마운터(124)를 통해 환형의 절삭 블레이드(126)가 장착된다. 블레이드 마운터(124)는, 스핀들(22)의 선단부에 부착되는 마운트 플랜지(128)를 포함한다. 마운트 플랜지(128)는, 스핀들(22)의 선단부에 고정되는 고정 마운트(130)와, 고정 마운트(130)에 부착된 절삭 블레이드(126)를 누르는 누름 플랜지(132)로 구성되어 있다.
고정 마운트(130)는, 절삭 블레이드(126)를 지지하는 원반형의 플랜지부(134)와, 플랜지부(134)의 원형의 표면(한편의 면)(134a)의 중앙부로부터 돌출하는 원기둥형의 보스부(136)를 구비한다. 고정 마운트(130)에는, 플랜지부(134)의 중앙부를 표면(134a)측으로부터 이면(다른쪽의 면)(134b)측으로 관통하며, 보스부(136)의 중앙부를 선단(136a)측으로부터 기단측[플랜지부(134)측]으로 관통하는 관통 구멍(130a)이 형성되어 있다.
플랜지부(134)의 이면(134b)측으로부터 스핀들(22)의 선단부가 관통 구멍(130a)에 삽입됨으로써, 마운트 플랜지(128)의 고정 마운트(130)는, 플랜지부(134)의 이면(134b)측으로부터 스핀들(22)에 장착된다. 관통 구멍(130a)에는, 와셔(138)를 받는 환형의 수용부가 마련되어 있다. 따라서, 관통 구멍(130a)에 와셔(138)를 배치하고, 이 와셔(138)를 통해 스핀들(22)의 나사 구멍(22a)에 나사(140)를 단단히 조이면, 고정 마운트(130)는, 스핀들(22)의 선단부에 고정된다.
플랜지부(134)의 표면(134a)측의 외주부에는, 표면(134a)에 대하여 교차하는 방향[대표적으로는, 표면(134a)에 대하여 수직인 방향]으로 약간 돌출하는 환형의 볼록부(134c)가 마련되어 있다. 볼록부(134c)의 선단면(134d)는, 대략 평탄하게 형성되어 있다. 보스부(136)의 외주면(136b)의 선단(136a)측의 영역에는, 나사산이 마련되어 있다.
절삭 블레이드(126)는, 다이아몬드 등을 포함하는 지립이, 금속, 수지, 세라믹스 등의 결합제에 의해 고정된 구조를 갖는 환형의 절삭날에 의해 구성되는, 와셔 타입의 절삭 블레이드이다. 즉, 절삭 블레이드(126)의 중앙부에는, 절삭 블레이드(126)를 두께의 방향으로 관통하는 원형의 개구부(126a)가 마련되어 있다. 고정 마운트(130)에 대하여 절삭 블레이드(126)를 부착할 때에는, 절삭 블레이드(126)의 한쪽의 면을 플랜지부(134)의 선단면(134d)에 접촉시키도록, 이 개구부(126a)에 보스부(136)가 삽입된다.
고정 마운트(130)에 절삭 블레이드(126)가 부착된 상태에서, 고정 마운트(130)에는 누름 플랜지(132)가 부착된다. 누름 플랜지(132)는, 예컨대 금속 등을 이용하여 원뿔대형으로 형성되어 있고, 원뿔대의 측면에 상당하는 만곡면(제1 면)(132a)과, 원뿔대의 저면에 상당하며, 만곡면(132a)의 대략 반대측에 위치하는 평탄면(제2 면)(132b)을 갖고 있다.
누름 플랜지(132)의 중앙부에는, 누름 플랜지(132)를 두께의 방향으로 관통하는 개구부(132c)가 마련되어 있다. 고정 마운트(130)에 대하여 누름 플랜지(132)를 부착할 때에는, 이 개구부(132c)에 보스부(136)가 삽입된다. 고정 마운트(130)에 절삭 블레이드(126)가 부착된 상태에서, 누름 플랜지(132)를 고정 마운트(130)에 더 부착하면, 누름 플랜지(132)의 평탄면(132b)이 절삭 블레이드(126)의 다른쪽의 면에 접촉한다.
블레이드 마운터(124)는, 마운트 플랜지(128)에 대하여 환형의 절삭 블레이드(126)를 고정할 때에 이용되는 블레이드 고정구(142)를 더 포함하고 있다. 블레이드 고정구(142)는, 예컨대 환형의 너트(너트부)(144)와, 너트(144)의 외경(직경)보다 크고, 절삭 블레이드(126)의 외경(직경)보다 작은 외경(직경)의 원반형의 절삭액 반환 플레이트(절삭액 반환부)(146)를 포함한다. 너트(144)와, 절삭액 반환 플레이트(146)는 일체로 형성되어 있다.
너트(144)의 중앙부에는, 고정 마운트(130)의 보스부(136)가 삽입되는 개구부(144a)가 마련되어 있다. 개구부(144a)의 내주면에는, 보스부(136)의 나사산에 대응하는 나사산이 형성되어 있다. 마찬가지로, 절삭액 반환 플레이트(146)의 중앙부에도, 보스부(136)가 삽입되는 개구부(146a)가 마련되어 있다. 너트(144)의 개구부(144a)와, 절삭액 반환 플레이트(146)의 개구부(146a)는 서로 접속되어 있다. 또한, 개구부(146a)의 내주면에는, 나사산이 마련되어 있어도 좋고, 나사산이 마련되지 않아도 좋다.
마운트 플랜지(128)에 대하여 절삭 블레이드(126)를 고정할 때에는, 절삭 블레이드(126)의 개구부(126a)와 누름 플랜지(132)의 개구부(132c)에 보스부(136)가 삽입된 상태에서, 블레이드 고정구(142)의 너트(144)의 개구부(144a)와 절삭액 반환 플레이트(146)의 개구부(146a)에 보스부(136)를 삽입시킨다. 블레이드 고정구(142)의 방향은, 절삭액 반환 플레이트(146)가 절삭 블레이드(126)측[누름 플랜지(132)측]에 배치되도록 조정된다.
그리고, 보스부(136)와 블레이드 고정구(142)를 상대적으로 회전시켜, 블레이드 고정구(142)에 보스부(136)를 단단히 조인다. 이에 의해, 블레이드 고정구(142)의 절삭액 반환 플레이트(146)측이 누름 플랜지(132)의 만곡면(132a)측에 접촉하여, 절삭 블레이드(126)는, 고정 마운트(130)와 누름 플랜지(132) 사이에 유지된다. 즉, 절삭 블레이드(126)는, 너트(144)와 플랜지부(134) 사이에 끼워지도록 하여 고정된다.
또한, 이 블레이드 고정구(142)에 있어서, 너트(144)와, 절삭액 반환 플레이트(146)는 분리되어 있어도 좋다. 또한, 고정 마운트(130)의 이면(134b)측에, 추가의 절삭액 반환 플레이트가 마련되어도 좋다.
그 외에, 전술한 실시형태 및 변형예에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.
2: 절삭 장치 4: 커버
4a: 정면 4b: 상면
6: 절삭 유닛 8: 척 테이블
8a: 유지면 10: 카세트 지지대
12: 카세트 14: 터치 스크린(표시 장치, 입력 장치)
16: 표시등 18: 제어 유닛
20: 하우징 22: 스핀들
22a: 나사 구멍 24: 블레이드 마운터
26: 절삭 블레이드 26a: 개구부
28: 마운트 플랜지 28a: 관통 구멍
30: 플랜지부 30a: 표면(한쪽의 면)
30b: 이면(다른쪽의 면) 30c: 볼록부
30d: 선단면 32: 보스부
32a: 선단 32b: 외주면
34: 나사 36: 베이스
36a: 만곡면(제1 면) 38: 절삭날
40: 블레이드 고정구 42: 너트(너트부)
42a: 개구부 44: 절삭액 반환 플레이트(절삭액 반환부)
44a: 개구부 46: 노즐
106: 절삭 유닛 124: 블레이드 마운터
126: 절삭 블레이드 126a: 개구부
128: 마운트 플랜지 130: 고정 마운트
130a: 관통 구멍 132: 누름 플랜지
132a: 만곡면(제1 면) 132b: 평탄면(제2 면)
132c: 개구부 134: 플랜지부
134a: 표면(한쪽의 면) 134b: 이면(다른쪽의 면)
134c: 볼록부 134d: 선단면
136: 보스부 136a: 선단
136b: 외주면 138: 와셔
140: 나사 142: 블레이드 고정구
144: 너트(너트부) 144a: 개구부
146: 절삭액 반환 플레이트(절삭액 반환부)
146a: 개구부 11: 피가공물
21: 절삭액 21a: 목표 영역

Claims (4)

  1. 외주면에 나사산이 마련된 원기둥형의 보스부를 갖는 마운트 플랜지에 대하여, 개구부를 가지며 절삭액이 공급되는 상태에서 사용되는 환형의 절삭 블레이드를 고정하기 위한 블레이드 고정구로서,
    상기 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 상기 개구부의 내주면에 상기 보스부의 나사산에 대응하는 나사산이 마련된 환형의 너트와,
    상기 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 외경이 상기 너트보다 큰 원반형의 절삭액 반환 플레이트
    를 포함하고,
    상기 절삭 블레이드의 상기 개구부에 상기 보스부가 삽입된 상태에서 상기 절삭액 반환 플레이트가 상기 절삭 블레이드측에 배치되도록, 상기 절삭액 반환 플레이트의 상기 개구부와 상기 너트의 상기 개구부에 상기 보스부가 삽입됨으로써, 상기 마운트 플랜지에 상기 절삭 블레이드를 고정하는 것인 블레이드 고정구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 너트와, 상기 절삭액 반환 플레이트가 일체로 형성되어 있는 것인 블레이드 고정구.
  3. 개구부를 가지며 절삭액이 공급되는 상태에서 사용되는 환형의 절삭 블레이드를 스핀들에 장착하기 위한 블레이드 마운터로서,
    원반형의 플랜지부와, 상기 플랜지부의 한쪽의 면으로부터 돌출하여 외주면에 나사산이 마련된 원기둥형의 보스부를 가지며, 상기 플랜지부의 다른쪽의 면측으로부터 상기 스핀들에 장착되는 마운트 플랜지와,
    상기 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 상기 개구부의 내주면에 상기 보스부의 나사산에 대응하는 나사산이 마련된 환형의 너트와,
    상기 보스부가 삽입되는 개구부를 가지며, 외경이 상기 너트보다 큰 원반형의 절삭액 반환 플레이트
    를 포함하고,
    상기 절삭 블레이드의 상기 개구부에 상기 보스부가 삽입된 상태에서 상기 절삭액 반환 플레이트가 상기 절삭 블레이드측에 배치되도록, 상기 절삭액 반환 플레이트의 상기 개구부와 상기 너트의 상기 개구부에 상기 보스부가 삽입됨으로써, 상기 너트와 상기 플랜지부 사이에 상기 절삭 블레이드를 끼워 고정하는 것인 블레이드 마운터.
  4. 제3항에 있어서, 상기 너트와, 상기 절삭액 반환 플레이트가 일체로 형성되어 있는 것인 블레이드 마운터.
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