KR20220096077A - Ecc 데이터를 이용하여 신뢰성 검사를 수행하는 스토리지 장치 - Google Patents

Ecc 데이터를 이용하여 신뢰성 검사를 수행하는 스토리지 장치 Download PDF

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KR20220096077A
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윤재은
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Abstract

ECC 데이터를 이용하여 신뢰성 검사를 수행하는 스토리지 장치가 제공된다. 스토리지 장치는 메모리 장치의 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터의 ECC 데이터에 근거하여 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출하는 메모리 콘트롤러를 포함한다. 메모리 콘트롤러는 메모리 셀들의 상태들을 카운트하는 카운터, 각 상태의 카운트 수를 비교하는 비교기, 및 비교 결과에 기초하여 에러들의 수를 저장하는 레지스터로 구현되는 메모리 검사 회로를 포함한다.

Description

ECC 데이터를 이용하여 신뢰성 검사를 수행하는 스토리지 장치{Storage device for reliability check using ECC(Error Correction Code) data}
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 ECC 데이터를 이용하여 신뢰성 검사를 수행하는 스토리지 장치 및 스토리지 장치의 동작 방법에 관한 것이다.
반도체 칩들을 사용하는 시스템은, 시스템 내 호스트에 의해 사용되는 데이터나 인스트럭션들을 저장하기 위하여 및/또는 컴퓨터 동작(computational operation)을 수행하기 위하여, 시스템의 동작 메모리 또는 메인 메모리로서 DRAM(Dynamic Random Access Memory)을 널리 사용하고, 저장 매체로서 스토리지 장치를 사용한다. 스토리지 장치는 불휘발성 메모리를 포함한다. 스토리지 장치의 용량이 증가함에 따라, 불휘발성 메모리의 기판에 적층되는 메모리 셀들 및 워드라인들의 개수들이 증가하고 있고 메모리 셀에 저장되는 데이터의 비트들의 개수도 증가하고 있다. 메모리의 저장 용량 및 집적도를 향상시키기 위하여, 메모리 셀들을 3차원 구조로 적층하는 불휘발성 메모리 장치, 예컨대 3D 낸드 플래시 메모리가 연구되고 있다.
3D 낸드 플래시 메모리의 스케일이 감소하고 구조가 변화하면서, 기존에 발견되지 않은 다양한 문제들이 발견되고 있다. 새롭게 발견되는 다양한 문제들은 스토리지 장치에 저장된 데이터를 손상시킬 수 있으며, 나아가, 스토리지 장치의 신뢰성이 저해될 수 있다.
본 발명의 목적은 ECC 데이터를 이용하여 짧은 시간 동안에 신뢰성 검사를 수행하는 스토리지 장치 및 스토리지 장치의 동작 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 스토리지 장치는, 복수의 메모리 블록들을 포함하는 불휘발성 메모리 장치, 상기 복수의 메모리 블록들 각각은 복수의 워드라인들에 연결되는 메모리 셀들을 포함하고, 상기 메모리 셀들은 기입 데이터에 따라 다수의 상태들로 프로그램되고; 및 상기 복수의 워드라인들 중 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들의 신뢰성을 검사하도록 구성되는 메모리 콘트롤러를 포함하고, 상기 메모리 콘트롤러는 상기 선택 워드라인에 연결된 상기 메모리 셀들에 대해 제1 읽기 동작을 수행하고, 상기 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 에러 정정 디코딩을 수행하여 에러 정정된 데이터를 획득하고, 상기 선택 워드라인에 연결된 상기 메모리 셀들에 대해 제2 읽기 동작을 수행하고, 상기 에러 정정된 데이터에 근거하여 상기 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하도록 더 구성된다.
본 발명의 실시예들에 따른 메모리 장치의 신뢰성을 검사하는 메모리 콘트롤러는, 상기 메모리 장치의 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대한 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 에러 정정 디코딩을 수행하여 에러 정정된 데이터를 획득하는 ECC(Error Correction Code) 회로; 및 상기 에러 정정된 데이터에 근거하여 상기 선택 워드라인에 연결된 상기 메모리 셀들에 대한 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출하는 메모리 검사 회로를 포함한다.
본 발명의 실시예들에 따른 적어도 하나의 불휘발성 메모리 장치 및 상기 적어도 하나의 불휘발성 메모리 장치를 제어하는 메모리 콘트롤러를 포함하는 스토리지 장치의 동작 방법은, 상기 메모리 콘트롤러가 상기 적어도 하나의 불휘발성 메모리 장치의 메모리 블록들 중 선택 메모리 블록의 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대해 제1 읽기 동작을 수행하는 단계; 상기 메모리 콘트롤러가 상기 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 에러 정정 디코딩을 수행하여 에러 정정된 데이터를 획득하는 단계; 상기 메모리 콘트롤러가 상기 에러 정정된 데이터의 상태들을 카운트하여 각 상태의 제1 카운트 수를 계산하는 단계; 상기 메모리 콘트롤러가 상기 선택 워드라인에 연결된 상기 메모리 셀들에 대해 제2 읽기 동작을 수행하는 단계; 상기 메모리 콘트롤러가 상기 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 상태들을 카운트하여 각 상태의 제2 카운트 수를 계산하는 단계; 상기 메모리 콘트롤러가 상기 각 상태의 상기 제1 카운트 수 및 상기 제2 카운트 수를 비교하여 상기 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하는 단계; 및 상기 메모리 콘트롤러가 상기 제2 읽기 데이터의 상기 에러들의 수에 근거하여 상기 메모리 장치의 리클레임 동작을 수행하는 단계를 포함한다.
본 발명의 스토리지 장치에 따르면, 선행 독출 데이터의 ECC 데이터에 근거하여 후행 독출 데이터의 에러들의 수를 카운트하기 때문에 상대적으로 짧은 시간 동안 신뢰성 검사를 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 스토리지 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2는 도 1의 메모리 장치를 나타내는 예시적인 블록도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2의 메모리 장치에 적용될 수 있는 3D V-NAND 구조에 대해 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 도 3에 도시된 메모리 셀들에 기입 데이터가 기입된 때의 문턱 전압 산포를 예시적으로 도시한다.
도 7 내지 도 9b는 본 발명의 실시예에 따른 검사 읽기 동작의 예를 설명하는 도면들이다.
도 10 내지 도 11b는 본 발명의 실시예에 따른 검사 읽기 동작의 예를 설명하는 도면들이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 검사 읽기 동작의 예를 설명하는 순서도이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 검사 읽기 동작의 예를 설명하는 순서도이다.
도 14는 본 발명의 실시예들에 따른 메모리 검사 동작을 수행하는 SSD(Solid State Drive or Solid State Disk)를 나타내는 블록도이다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 스토리지 장치를 나타내는 블록도이다.
도 1을 참조하면, 스토리지 장치(100)은 메모리 장치(110) 및 메모리 콘트롤러(120)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 스토리지 장치(100)에 포함되는 개념적인 다수의 하드웨어 구성이 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 다른 구성들도 가능하다. 메모리 콘트롤러(120)는 호스트로부터의 기입 요청에 응답하여 메모리 장치(110)에 데이터를 기입하도록 메모리 장치(110)를 제어하거나, 또는 호스트로부터의 읽기 요청에 응답하여 메모리 장치(110)에 저장된 데이터를 독출하도록 메모리 장치(110)를 제어할 수 있다.
일부 실시예들에서, 스토리지 장치(100)는 전자 장치에 내장되는(embedded) 내장(internal) 메모리일 수 있다. 예를 들어, 스토리지 장치(100)는 임베디드 UFS(Universal Flash Storage) 메모리 장치, eMMC(embedded Multi-Media Card), 또는 SSD(Solid State Drive)일 수 있다. 일부 실시예들에서, 스토리지 장치(100)는 전자 장치에 착탈 가능한 외장(external) 메모리일 수 있다. 예를 들어, 스토리지 장치(100)는 UFS 메모리 카드, CF(Compact Flash), SD(Secure Digital), Micro-SD(Micro Secure Digital), Mini-SD(Mini Secure Digital), xD(extreme Digital) 및 Memory Stick 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
메모리 장치(110)는 메모리 콘트롤러(120)의 제어에 따라 기입 동작 또는 읽기 동작 등을 수행할 수 있다. 메모리 장치(110)는 입출력 라인들을 통해 메모리 콘트롤러(120)로부터 커맨드와 어드레스를 수신하고. 메모리 콘트롤러(120)와 기입 동작 또는 읽기 동작을 위한 데이터를 송수신한다. 또한, 메모리 장치(110)는 제어 라인들을 통해 제어 신호들을 수신할 수 있다. 메모리 장치(110)는 제어 로직 회로(114)와 메모리 셀 어레이(116)를 포함할 수 있다.
제어 로직 회로(114)는 메모리 장치(110)의 각종 동작을 전반적으로 제어할 수 있다. 제어 로직 회로(114)는 메모리 콘트롤러(120)로부터 커맨드/어드레스를 수신할 수 있다. 제어 로직 회로(114)는 수신된 커맨드/어드레스에 따라 메모리 장치(110)의 다른 구성 요소들을 제어하기 위한 제어 신호들을 생성할 수 있다. 예를 들어, 제어 로직 회로(114)는 메모리 셀 어레이(116)에 데이터를 기입하거나, 또는 메모리 셀 어레이(116)로부터 데이터를 읽기 위한 각종 제어 신호들을 생성할 수 있다.
메모리 셀 어레이(116)는 제어 로직 회로(114)의 제어에 따라 메모리 콘트롤러(120)로부터 수신된 데이터를 저장할 수 있다. 메모리 셀 어레이(116)는 제어 로직 회로(114)의 제어에 따라 저장된 데이터를 메모리 콘트롤러(120)로 출력할 수 있다.
메모리 셀 어레이(116)는 복수의 메모리 셀들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 복수의 메모리 셀들은 플래시 메모리 셀들일 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 메모리 셀들은 RRAM(Resistive Random Access Memory) 셀, FRAM(Ferroelectric RAM) 셀, PRAM(Phase change RAM) 셀, TRAM(Thyristor RAM) 셀, MRAM(Magnetic RAM) 셀들일 수 있다. 이하에서는, 메모리 셀들이 낸드(NAND) 플래시 메모리 셀들인 실시 예를 중심으로 본 발명의 실시 예들이 설명될 것이다.
메모리 셀 어레이(116)는 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz, z는 2 이상의 정수)을 포함하고, 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz) 각각은 복수의 페이지들(Page1~Pagem, m은 2 이상의 정수)을 포함할 수 있다. 메모리 셀 어레이(116)는 복수의 셀 스트링들을 포함하는 3차원 메모리 셀 어레이를 포함할 수 있으며, 이에 대해 도 3 및 도 4를 참조하여 상술하기로 한다.
메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)의 신뢰성 검사를 위해 메모리 장치(110)에 대해 제1 읽기 동작과 제2 읽기 동작을 수행할 수 있다. 메모리 콘트롤러(120)는 ECC 회로(122) 및 메모리 검사 회로(124)를 포함할 수 있다. ECC 회로(122)는 메모리 장치(110)로/로부터 송수신되는 데이터의 페일 비트(fail bit) 또는 에러 비트(error bit)를 정정하기 위한 에러 정정 코드를 생성할 수 있다. ECC 회로(122)는 메모리 장치(110)로 제공되는 기입 데이터의 에러 정정 인코딩을 수행하여, 패리티 비트가 부가된 기입 데이터를 구성할 수 있다. 패리티 비트는 메모리 장치(110)에 저장될 수 있다. 또한, ECC 회로(122)는 메모리 장치(110)로부터 출력된 독출 데이터에 대하여 에러 정정 디코딩을 수행할 수 있다. ECC 회로(122)는 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 패리티 비트를 사용하여 에러 정정된 ECC 데이터(ECC_DEC)를 획득할 수 있다. ECC 회로(122)는 LDPC(low density parity check) code, BCH code, turbo code, 리드-솔로몬 코드(Reed-Solomon code), convolution code, RSC(recursive systematic code), TCM(trellis-coded modulation), BCM(Block coded modulation) 등의 코디드 모듈레이션(coded modulation)을 사용하여 에러를 정정할 수 있다.
메모리 검사 회로(124)는 에러 정정된 ECC 데이터(ECC_DEC)를 근거로 하여, 메모리 장치(110)의 신뢰성 검사 동작을 수행할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 카운터(125), 비교기(127) 및 레지스터(129)를 포함할 수 있다. 카운터(125)는 에러 정정된 데이터(ECC_DEC)의 상태들을 카운트하여 각 상태의 제1 카운트 수를 계산하고, 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 상태들을 카운트하여 각 상태의 제2 카운트 수를 계산할 수 있다. 비교기(127)는 각 상태에 대한 제1 카운트 수와 제2 카운트 수를 비교하고, 레지스터(129)는 비교기의 비교 결과에 기초하여 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 저장할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 제1 읽기 데이터의 ECC 데이터(ECC_DEC)에 근거하여 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하기 때문에 상대적으로 짧은 시간 동안 신뢰성 검사를 수행할 수 있다.
도 2는 도 1의 메모리 장치를 나타내는 예시적인 블록도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 메모리 장치(110)는 제어 로직 회로(114), 메모리 셀 어레이(116), 페이지 버퍼부(118), 전압 생성기(119) 및 로우 디코더(394)를 포함할 수 있다. 도 2에는 도시되지 않았으나, 메모리 장치(110)는 커맨드 디코더, 어드레스 디코더, 입출력 회로 등을 더 포함할 수 있다.
제어 로직 회로(114)는 메모리 장치(110) 내의 각종 동작을 전반적으로 제어할 수 있다. 제어 로직 회로(114)는 메모리 콘트롤러(120)로부터의 커맨드(CMD) 및/또는 어드레스(ADDR)에 응답하여 각종 제어 신호들을 출력할 수 있다. 예를 들어, 제어 로직 회로(114)는 전압 제어 신호(CTRL_vol), 로우 어드레스(X-ADDR), 및 컬럼 어드레스(Y-ADDR)를 출력할 수 있다.
메모리 셀 어레이(116)는 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz)을 포함할 수 있고, 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz) 각각은 복수의 메모리 셀들을 포함할 수 있다. 메모리 셀 어레이(116)는 비트 라인들(BL)을 통해 페이지 버퍼부(118)에 연결될 수 있고, 워드 라인들(WL), 스트링 선택 라인들(SSL), 및 그라운드 선택 라인들(GSL)을 통해 로우 디코더(394)에 연결될 수 있다.
예시적인 실시 예에서, 메모리 셀 어레이(116)는 3차원 메모리 셀 어레이를 포함할 수 있고, 3차원 메모리 셀 어레이는 복수의 메모리 낸드 스트링들을 포함할 수 있다. 각 메모리 낸드 스트링은 기판 위에 수직으로 적층된 워드 라인들에 각각 연결된 메모리 셀들을 포함할 수 있다. 미국 특허공개공보 제7,679,133호, 미국 특허공개공보 제8,553,466호, 미국 특허공개공보 제8,654,587호, 미국 특허공개공보 제8,559,235호, 및 미국 특허출원공개공보 제2011/0233648호는 본 명세서에 인용 형식으로 결합된다. 예시적인 실시 예에서, 메모리 셀 어레이(116)는 2차원 메모리 셀 어레이를 포함할 수 있고, 2차원 메모리 셀 어레이는 행 및 열 방향을 따라 배치된 복수의 메모리 낸드 스트링들을 포함할 수 있다.
페이지 버퍼부(118)는 복수의 페이지 버퍼들(PB1~PBn, n은 2 이상의 정수)을 포함할 수 있고, 복수의 페이지 버퍼들(PB1~PBn)은 복수의 비트 라인들(BL)을 통해 메모리 셀들과 각각 연결될 수 있다. 페이지 버퍼부(118)는 컬럼 어드레스(Y-ADDR)에 응답하여 비트 라인들(BL) 중 적어도 하나의 비트 라인을 선택할 수 있다. 페이지 버퍼부(118)는 동작 모드에 따라 기입 드라이버 또는 감지 증폭기로서 동작할 수 있다. 예를 들어, 프로그램 동작 시, 페이지 버퍼부(118)는 선택된 비트 라인으로 프로그램될 데이터에 대응하는 비트 라인 전압을 인가할 수 있다. 독출 동작 시, 페이지 버퍼부(118)는 선택된 비트 라인의 전류 또는 전압을 감지하여 메모리 셀에 저장된 데이터를 감지할 수 있다.
전압 생성기(119)는 전압 제어 신호(CTRL_vol)를 기반으로 프로그램, 독출, 및 소거 동작들을 수행하기 위한 다양한 종류의 전압들을 생성할 수 있다. 예를 들어, 전압 생성기(119)는 워드 라인 전압(VWL)으로서 프로그램 전압, 독출 전압, 프로그램 검증 전압, 소거 전압 등을 생성할 수 있다.
로우 디코더(394)는 로우 어드레스(X-ADDR)에 응답하여 복수의 워드 라인들(WL) 중 하나를 선택할 수 있고, 복수의 스트링 선택 라인들(SSL) 중 하나를 선택할 수 있다. 예를 들어, 프로그램 동작 시, 로우 디코더(394)는 선택된 워드 라인으로 프로그램 전압 및 프로그램 검증 전압을 인가하고, 독출 동작 시, 선택된 워드 라인으로 독출 전압을 인가할 수 있다.
도 3 내지 도 5는 도 2의 메모리 장치(110)에 적용될 수 있는 3D V-NAND 구조에 대해 설명하기 위한 도면들(diagrams)이다. 도 3은 메모리 블록(BLKi)의 등가 회로를 표현하고, 도 4는 메모리 블록(BLKi)의 사시도를 보여준다. 도 5는 C2C(chip to chip) 구조의 메모리 장치(110)를 설명한다.
도 3을 참조하면, 메모리 블록(BLKi)은 비트 라인들(BL1, BL2, BL3)과 공통 소스 라인(CSL) 사이에 연결되는 복수의 메모리 낸드 스트링들(NS11~NS33)을 포함할 수 있다. 복수의 메모리 낸드 스트링들(NS11~NS33) 각각은 스트링 선택 트랜지스터(SST), 복수의 메모리 셀들(MC1, MC2, ..., MC8) 및 접지 선택 트랜지스터(GST)를 포함할 수 있다. 도면의 간결성을 위하여, 도 3에는 복수의 메모리 낸드 스트링들(NS11~NS33) 각각이 8개의 메모리 셀들(MC1, MC2, ..., MC8)을 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
스트링 선택 트랜지스터(SST)는 대응하는 스트링 선택 라인(SSL1, SSL2, SSL3)에 연결될 수 있다. 복수의 메모리 셀들(MC1, MC2, ..., MC8)은 각각 대응하는 게이트 라인(GTL1, GTL2, ..., GTL8)에 연결될 수 있다. 게이트 라인(GTL1, GTL2, ..., GTL8)은 워드 라인들에 해당할 수 있으며, 게이트 라인(GTL1, GTL2, ..., GTL8)의 일부는 더미 워드 라인에 해당할 수 있다. 접지 선택 트랜지스터(GST)는 대응하는 접지 선택 라인(GSL1, GSL2, GSL3)에 연결될 수 있다. 스트링 선택 트랜지스터(SST)는 대응하는 비트 라인(BL1, BL2, BL3)에 연결되고, 접지 선택 트랜지스터(GST)는 공통 소스 라인(CSL)에 연결될 수 있다.
동일 높이의 게이트 라인(예를 들면, GTL1)은 공통으로 연결되고, 접지 선택 라인(GSL1, GSL2, GSL3) 및 스트링 선택 라인(SSL1, SSL2, SSL3)은 각각 분리될 수 있다. 도 3에는 메모리 블록(BLK)이 여덟 개의 게이트 라인(GTL1, GTL2, ..., GTL8) 및 세 개의 비트 라인들(BL1, BL2, BL3)에 연결되는 것으로 도시되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 메모리 블록(BLKi)은 기판(SUB)에 대해 수직 방향으로 형성되어 있다. 메모리 낸드 스트링들(NS11~NS33)을 구성하는 메모리 셀들은 복수의 반도체 층에 적층됨으로써 형성된다.
기판(SUB) 상에, 제1 방향(Y 방향)을 따라 신장되는 공통 소스 라인(CSL)이 제공된다. 인접한 두 공통 소스 라인(CSL) 사이의 기판(SUB)의 영역 상에, 제1 방향(Y 방향)을 따라 신장되는 복수의 절연막들(IL)이 제3 방향(Z 방향)을 따라 순차적으로 제공되며, 복수의 절연막들(IL)은 제3 방향(Z 방향)을 따라 특정 거리만큼 이격될 수 있다. 인접한 두 공통 소스 라인들(CSL) 사이의 기판(SUB)의 영역 상에, 제1 방향(Y 방향)을 따라 순차적으로 배치되며, 제3 방향(Z 방향)을 따라 복수의 절연막들(IL)을 관통함으로써 복수의 필라들(pillars)(P)이 제공된다. 복수의 필라들(P)은 복수의 절연막들(IL)을 관통하여 기판(SUB)과 컨택할 수 있다. 각 필라(P)의 표면층(surface layer)(S)은 제1 도전형으로 도핑된 실리콘 물질을 포함할 수 있고, 채널 영역으로 기능할 수 있다. 각 필라(P)의 내부층(I)은 실리콘 산화물과 같은 절연 물질 또는 에어 갭(air gap)을 포함할 수 있다. 인접한 두 공통 소스 라인들(CSL) 사이의 영역에서, 절연막들(IL), 필라들(P) 및 기판(SUB)의 노출된 표면을 따라 전하 저장층(charge storage layer, CS)이 제공된다. 전하 저장층(CS)은 게이트 절연층(또는 '터널링 절연층'이라고 지칭함), 전하 트랩층 및 블로킹 절연층을 포함할 수 있다. 또한, 인접한 두 공통 소스 라인들(CSL) 사이의 영역에서, 전하 저장층(CS)의 노출된 표면 상에, 선택 라인들(GSL, SSL) 및 워드 라인들(WL1 ~ WL8)과 같은 게이트 전극(GE)이 제공된다. 복수의 필라들(P) 상에는 드레인들 또는 드레인 컨택들(DR)이 각각 제공될 수 있다. 드레인 컨택들(DR) 상에, 제2 방향(X 방향)으로 신장되고 제1 방향(Y 방향)을 따라 특정 거리만큼 이격되어 배치된 비트라인들(BL1~BL3)이 제공될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 각 메모리 낸드 스트링(NS11~NS33)은 제1 메모리 스택(ST1)과 제2 메모리 스택(ST2)이 스택된 구조로로 구현될 수 있다. 제1 메모리 스택(ST1)은 공통 소스 라인(CSL)에 연결되고, 제2 메모리 스택(ST2)은 비트라인(BL1~BL3)에 연결되고, 제1 메모리 스택(ST1) 및 제2 메모리 스택(ST2)이 서로 채널홀을 공유하도록 스택된다.
도 5를 참조하면, 메모리 장치(110)는 C2C(chip to chip) 구조일 수 있다. C2C 구조는 제1 웨이퍼 상에 셀 영역(CELL)을 포함하는 상부 칩을 제작하고, 제1 웨이퍼와 다른 제2 웨이퍼 상에 주변 회로 영역(PERI)을 포함하는 하부 칩을 제작한 후, 상부 칩과 하부 칩을 본딩(bonding) 방식에 의해 서로 연결하는 것을 의미할 수 있다. 일례로, 본딩 방식은 상부 칩의 최상부 메탈층에 형성된 본딩 메탈과 하부 칩의 최상부 메탈층에 형성된 본딩 메탈을 서로 전기적으로 연결하는 방식을 의미할 수 있다. 예컨대, 본딩 메탈이 구리(Cu)로 형성된 경우, 본딩 방식은 Cu-Cu 본딩 방식일 수 있으며, 본딩 메탈은 알루미늄(Al) 혹은 텅스텐(W)으로도 형성될 수 있다.
메모리 장치(110)의 주변 회로 영역(PERI)과 셀 영역(CELL) 각각은 외부 패드 본딩 영역(PA), 워드라인 본딩 영역(WLBA), 및 비트라인 본딩 영역(BLBA)을 포함할 수 있다.
주변 회로 영역(PERI)은 제1 기판(210), 층간 절연층(215), 제1 기판(210)에 형성되는 복수의 회로 소자들(220a, 220b, 220c), 복수의 회로 소자들(220a, 220b, 220c) 각각과 연결되는 제1 메탈층(230a, 230b, 230c), 제1 메탈층(230a, 230b, 230c) 상에 형성되는 제2 메탈층(240a, 240b, 240c)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 메탈층(230a, 230b, 230c)은 상대적으로 전기적 비저항이 높은 텅스텐으로 형성될 수 있고, 제2 메탈층(240a, 240b, 240c)은 상대적으로 전기적 비저항이 낮은 구리로 형성될 수 있다.
본 명세서에서는 제1 메탈층(230a, 230b, 230c)과 제2 메탈층(240a, 240b, 240c)만 도시되어 설명되나, 이에 한정되는 것은 아니고, 제2 메탈층(240a, 240b, 240c) 상에 적어도 하나 이상의 메탈층이 더 형성될 수도 있다. 제2 메탈층(240a, 240b, 240c)의 상부에 형성되는 하나 이상의 메탈층 중 적어도 일부는, 제2 메탈층(240a, 240b, 240c)을 형성하는 구리보다 더 낮은 전기적 비저항을 갖는 알루미늄 등으로 형성될 수 있다.
층간 절연층(215)은 복수의 회로 소자들(220a, 220b, 220c), 제1 메탈층(230a, 230b, 230c), 및 제2 메탈층(240a, 240b, 240c)을 커버하도록 제1 기판(210) 상에 배치되며, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등과 같은 절연 물질을 포함할 수 있다.
워드라인 본딩 영역(WLBA)의 제2 메탈층(240b) 상에 하부 본딩 메탈(271b, 272b)이 형성될 수 있다. 워드라인 본딩 영역(WLBA)에서, 주변 회로 영역(PERI)의 하부 본딩 메탈(271b, 272b)은 셀 영역(CELL)의 상부 본딩 메탈(371b, 372b)과 본딩 방식에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있으며, 하부 본딩 메탈(271b, 272b)과 상부 본딩 메탈(371b, 372b)은 알루미늄, 구리, 혹은 텅스텐 등으로 형성될 수 있다.
셀 영역(CELL)은 적어도 하나의 메모리 블록을 제공할 수 있다. 셀 영역(CELL)은 제2 기판(310)과 공통 소스 라인(320)을 포함할 수 있다. 제2 기판(310) 상에는, 제2 기판(310)의 상면에 수직하는 방향(Z축 방향)을 따라 복수의 워드라인들(331-338; 330)이 적층될 수 있다. 워드라인들(330)의 상부 및 하부 각각에는 스트링 선택 라인들과 접지 선택 라인이 배치될 수 있으며, 스트링 선택 라인들과 접지 선택 라인 사이에 복수의 워드라인들(330)이 배치될 수 있다.
비트라인 본딩 영역(BLBA)에서, 채널 구조체(CH)는 제2 기판(310)의 상면에 수직하는 방향(Z축 방향)으로 연장되어 워드라인들(330), 스트링 선택 라인들, 및 접지 선택 라인을 관통할 수 있다. 채널 구조체(CH)는 데이터 저장층, 채널층, 및 매립 절연층 등을 포함할 수 있으며, 채널층은 제1 메탈층(350c) 및 제2 메탈층(360c)과 전기적으로 연결될 수 있다. 예컨대, 제1 메탈층(350c)은 비트라인 컨택일 수 있고, 제2 메탈층(360c)은 비트라인일 수 있다. 일 실시예에서, 비트라인(360c)은 제2 기판(310)의 상면에 평행한 제1 방향(Y축 방향)을 따라 연장될 수 있다.
도 5에 도시한 일 실시예에서, 채널 구조체(CH)와 비트라인(360c) 등이 배치되는 영역이 비트라인 본딩 영역(BLBA)으로 정의될 수 있다. 비트라인(360c)은 비트라인 본딩 영역(BLBA)에서 주변 회로 영역(PERI)에서 페이지 버퍼(393)를 제공하는 회로 소자들(220c)과 전기적으로 연결될 수 있다. 일례로, 비트라인(360c)은 주변 회로 영역(PERI)에서 상부 본딩 메탈(371c, 372c)과 연결되며, 상부 본딩 메탈(371c, 372c)은 페이지 버퍼(393)의 회로 소자들(220c)에 연결되는 하부 본딩 메탈(271c, 272c)과 연결될 수 있다.
워드라인 본딩 영역(WLBA)에서, 워드라인들(330)은 제 1 방향에 수직하면서 제2 기판(310)의 상면에 평행한 제2 방향(X축 방향)을 따라 연장될 수 있으며, 복수의 셀 컨택 플러그들(341-347; 340)와 연결될 수 있다. 워드라인들(330)과 셀 컨택 플러그들(340)은, 제2 방향을 따라 워드라인들(330) 중 적어도 일부가 서로 다른 길이로 연장되어 제공하는 패드들에서 서로 연결될 수 있다. 워드라인들(330)에 연결되는 셀 컨택 플러그들(340)의 상부에는 제1 메탈층(350b)과 제2 메탈층(360b)이 차례로 연결될 수 있다. 셀 컨택 플러그들(340)은 워드라인 본딩 영역(WLBA)에서 셀 영역(CELL)의 상부 본딩 메탈(371b, 372b)과 주변 회로 영역(PERI)의 하부 본딩 메탈(271b, 272b)을 통해 주변 회로 영역(PERI)과 연결될 수 있다.
셀 컨택 플러그들(340)은 주변 회로 영역(PERI)에서 로우 디코더(394)를 제공하는 회로 소자들(220b)과 전기적으로 연결될 수 있다. 일 실시예에서, 로우 디코더(394)를 형성하는 회로 소자들(220b)의 동작 전압은, 페이지 버퍼(393)를 형성하는 회로 소자들(220c)의 동작 전압과 다를 수 있다. 일례로, 페이지 버퍼(393)를 형성하는 회로 소자들(220c)의 동작 전압이 로우 디코더(394)를 형성하는 회로 소자들(220b)의 동작 전압보다 클 수 있다.
외부 패드 본딩 영역(PA)에는 공통 소스 라인 컨택 플러그(380)가 배치될 수 있다. 공통 소스 라인 컨택 플러그(380)는 금속, 금속 화합물, 또는 폴리실리콘 등의 도전성 물질로 형성되며, 공통 소스 라인(320)과 전기적으로 연결될 수 있다. 공통 소스 라인 컨택 플러그(380) 상부에는 제1 메탈층(350a)과 제2 메탈층(360a)이 차례로 적층될 수 있다. 일례로, 공통 소스 라인 컨택 플러그(380), 제1 메탈층(350a), 및 제2 메탈층(360a)이 배치되는 영역은 외부 패드 본딩 영역(PA)으로 정의될 수 있다.
한편 외부 패드 본딩 영역(PA)에는 입출력 패드들(205, 305)이 배치될 수 있다. 도 5를 참조하면, 제1 기판(210)의 하부에는 제1 기판(210)의 하면을 덮는 하부 절연막(201) 이 형성될 수 있으며, 하부 절연막(201) 상에 제1 입출력 패드(205)가 형성될 수 있다. 제1 입출력 패드(205)는 제1 입출력 컨택 플러그(203)를 통해 주변 회로 영역(PERI)에 배치되는 복수의 회로 소자들(220a, 220b, 220c) 중 적어도 하나와 연결되며, 하부 절연막(201)에 의해 제1 기판(210)과 분리될 수 있다. 또한, 제1 입출력 컨택 플러그(203)와 제1 기판(210) 사이에는 측면 절연막이 배치되어 제1 입출력 컨택 플러그(203)와 제1 기판(210)을 전기적으로 분리할 수 있다.
도 5에서, 제2 기판(310)의 상부에는 제2 기판(310)의 상면을 덮는 상부 절연막(301)이 형성될 수 있으며, 상부 절연막(301) 상에 제2 입출력 패드(305)가 배치될 수 있다. 제2 입출력 패드(305)는 제2 입출력 컨택 플러그(303)를 통해 주변 회로 영역(PERI)에 배치되는 복수의 회로 소자들(220a, 220b, 220c) 중 적어도 하나와 연결될 수 있다. 일 실시예에서, 제2 입출력 패드(305)는 회로 소자(220a)와 전기적으로 연결될 수 있다.
실시예들에 따라, 제2 입출력 컨택 플러그(303)가 배치되는 영역에는 제2 기판(310) 및 공통 소스 라인(320) 등이 배치되지 않을 수 있다. 또한, 제2 입출력 패드(305)는 제3 방향(Z축 방향)에서 워드라인들(330)과 오버랩되지 않을 수 있다. 도 5를 참조하면, 제2 입출력 컨택 플러그(303)는 제2 기판(310)의 상면에 평행한 방향에서 제2 기판(310)과 분리되며, 셀 영역(CELL)의 층간 절연층(315)을 관통하여 제2 입출력 패드(305)에 연결될 수 있다.
실시예들에 따라, 제1 입출력 패드(205)와 제2 입출력 패드(305)는 선택적으로 형성될 수 있다. 일례로, 메모리 장치(110)는 제1 기판(210)의 상부에 배치되는 제1 입출력 패드(205)만을 포함하거나, 또는 제2 기판(310)의 상부에 배치되는 제2 입출력 패드(305)만을 포함할 수 있다. 또는, 메모리 장치(110)가 제1 입출력 패드(205)와 제2 입출력 패드(305)를 모두 포함할 수도 있다.
셀 영역(CELL)과 주변 회로 영역(PERI) 각각에 포함되는 외부 패드 본딩 영역(PA)과 비트라인 본딩 영역(BLBA) 각각에는 최상부 메탈층의 메탈 패턴이 더미 패턴(dummy pattern)으로 존재하거나, 최상부 메탈층이 비어있을 수 있다.
메모리 장치(110)는 외부 패드 본딩 영역(PA)에서, 셀 영역(CELL)의 최상부 메탈층에 형성된 상부 메탈 패턴(372a)에 대응하여 주변 회로 영역(PERI)의 최상부 메탈층에 셀 영역(CELL)의 상부 메탈 패턴(372a)과 동일한 형태의 하부 메탈 패턴(273a)을 형성할 수 있다. 주변 회로 영역(PERI)의 최상부 메탈층에 형성된 하부 메탈 패턴(273a)은 주변 회로 영역(PERI)에서 별도의 콘택과 연결되지 않을 수 있다. 이와 유사하게, 외부 패드 본딩 영역(PA)에서 주변 회로 영역(PERI)의 최상부 메탈층에 형성된 하부 메탈 패턴(273a)에 대응하여 셀 영역(CELL)의 상부 메탈층에 주변 회로 영역(PERI)의 하부 메탈 패턴(273a)과 동일한 형태의 상부 메탈 패턴(373a)을 형성할 수도 있다.
워드라인 본딩 영역(WLBA)의 제2 메탈층(240b) 상에는 하부 본딩 메탈(271b, 272b)이 형성될 수 있다. 워드라인 본딩 영역(WLBA)에서, 주변 회로 영역(PERI)의 하부 본딩 메탈(271b, 272b)은 셀 영역(CELL)의 상부 본딩 메탈(371b, 372b)과 본딩 방식에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있다.
또한, 비트라인 본딩 영역(BLBA)에서, 주변 회로 영역(PERI)의 최상부 메탈층에 형성된 하부 메탈 패턴(252)에 대응하여 셀 영역(CELL)의 최상부 메탈층에 주변 회로 영역(PERI)의 하부 메탈 패턴(252)과 동일한 형태의 상부 메탈 패턴(392)을 형성할 수 있다. 셀 영역(CELL)의 최상부 메탈층에 형성된 상부 메탈 패턴(392) 상에는 콘택을 형성하지 않을 수 있다.
도 6은 도 3에 도시된 메모리 셀들에 기입 데이터가 기입된 때의 문턱 전압 산포를 예시적으로 도시한다. 도 6에서, 가로 축은 메모리 셀들의 문턱 전압들을 나타내고, 세로 축은 셀 카운트들, 즉 메모리 셀들의 개수를 나타낸다.
도 3 및 도 6을 참조하면, 메모리 셀에 하나 이상의 비트들이 프로그램될 수 있다. 메모리 셀에 저장되는 비트들의 개수에 따라 메모리 셀은 SLC, MLC, TLC 또는 QLC로 분류될 수 있다. 메모리 셀에 저장되는 비트들의 개수에 따라 메모리 셀은 복수의 상태들을 가질 수 있다. 복수의 상태들은 문턱 전압의 범위로 정의될 수 있다. 도 6에서, 메모리 셀은 QLC이고, 메모리 셀의 문턱 전압은 16개의 상태들(S1-S16) 중 하나로 프로그램될 수 있다. 각 상태(S1-S16)는 메모리 셀들의 문턱 전압(Vth) 산포 범위에 대응할 수 있다.
메모리 셀들에 데이터가 프로그램된 후에, 메모리 셀들의 상태들(S1-S16)은, 도 6에서 실선으로 도시된 바와 같이, 서로 구별될 수 있다. 메모리 셀들에 데이터가 프로그램된 후 다양한 요인들로 인하여, 도 6에서 점선으로 도시된 바와 같이, 메모리 셀들의 상태들이 다른 상태들의 범위를 침범할 수 있다.
예시적으로, 제1 점선(601) 처럼, S1 상태의 메모리 셀들의 문턱 전압(Vth)이 S2 상태의 범위를 침범할 수 있다. 이와 같은 침범은 디스터브 열화라 불릴 수 있다. 디스터브 열화는 메모리 셀들의 주변에서 발생하는 프로그램, 읽기, 소거, 커플링 등에 의해 메모리 셀들의 문턱 전압들이 변화하는 현상을 의미한다.
또는, 제2 점선(616) 처럼, S16 상태의 메모리 셀들의 문턱 전압(Vth)이 S15 상태의 범위를 침범할 수 있다. 이와 같은 침범은 리텐션 열화라 불릴 수 있다. 리텐션 열화는 메모리 셀의 전하 포획층에 전하들이 포획되어 메모리 셀이 프로그램된 후에, 시간이 지남에 따라 포획된 전하들이 유출되어 메모리 셀들의 문턱 전압들이 변화하는 현상을 의미한다.
S1 상태를 참조하여 설명된 디스터브 열화 및 S16 상태를 참조하여 설명된 리텐션 열화는, S2 내지 S15 상태들의 메모리 셀들에서도 발생할 수 있다. 이러한 디스터브 열화 및/또는 리텐션 열화가 메모리 셀에 발생되면 메모리 셀의 데이터가 손상될 수 있다. 데이터 손상은 스토리지 장치(100, 도 1) 및 메모리 장치(110)의 신뢰성의 저하를 유발한다.
이와 같은 문제를 방지하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 스토리지 장치(100)는 읽기 전압들을 이용한 제1 읽기 동작과 제1 읽기 동작에 후속하여 낮은 읽기 전압들 및/또는 높은 읽기 전압을 이용한 제2 읽기 동작을 포함하는 검사 읽기 동작을 수행할 수 있다. 검사 읽기 동작은 제1 읽기 동작에서 독출된 데이터에 대해 ECC 회로(122)에서 에러 정정된 독출 데이터(또는 ECC 데이터)를 출력하고, ECC 데이터와 제2 읽기 동작에서 독출된 데이터를 비교하여, 메모리 셀들에 기입된 데이터의 신뢰성이 감소하는지를 검사할 수 있다.
도 7 내지 도 9b는 본 발명의 실시예에 따른 검사 읽기 동작의 예를 설명하는 도면들이다. 도 7은 검사 읽기 동작의 순서도를 나타내고, 도 8은 제1 읽기 동작을 설명하는 차트이고, 도 9a 및 도 9b는 제2 읽기 동작을 설명하는 차트들이다.
도 1, 도 6 및 도 7을 참조하면, S710 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)에 제1 읽기 동작을 지시할 수 있다. 메모리 장치(110)의 메모리 셀들 각각이 QLC인 경우, 메모리 셀들 각각의 상태는 16개의 상태들(S1~S16) 중 하나의 상태에 해당할 수 있다. 하나의 워드라인(WL)에 연결된 메모리 셀들은 최하위 비트(LSB) 페이지, 제1 중간 비트(CSB1) 페이지, 제2 중간 비트(CSB2) 페이지 및 최상위 비트(MSB) 페이지를 포함할 수 있다.
메모리 장치(110)의 제1 읽기 동작은, 도 8에 도시된 바와 같이, 메모리 셀의 문턱 전압의 밸리 위치(VR1~VR15)를 찾는 동작, 밸리의 위치(VR1~VR15)에 기초하여 최적의 읽기 전압(RD1~RD15)을 추론하는(infer) 동작, 읽기 전압(RD1~RD15)을 이용하여 최하위 비트(LSB) 페이지, 제1 중간 비트(CSB1) 페이지, 제2 중간 비트(CSB2) 페이지 및 최상위 비트(MSB) 페이지 각각에 대한 페이지 독출 동작 등을 포함할 수 있다.
도 8을 참조하면, 검사 대상인 메모리 셀들이 연결된 선택 워드라인(WL)에 대한 제1 읽기 동작이 수행된다. 최하위 비트(LSB) 페이지에 대한 읽기 동작에서, 메모리 장치(110)는 제11 읽기 전압(RD11)을 선택 워드라인(WL)에 인가함으로써 제11 및 제12 상태들(S11, S12)을 판별할 수 있고, 이어서 제6 읽기 전압(RD6), 제4 읽기 전압(RD4) 및 제1 읽기 전압(RD1) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가함으로써 제6 및 제7 상태(S6, S7), 제4 및 제5 상태들(S4, S5) 및 제1 및 제2 상태들(S1, S2)을 판별할 수 있다. 제1 중간 비트(CSB1) 페이지에 대한 읽기 동작에서, 메모리 장치(110)는 제13 읽기 전압(RD13), 제9 읽기 전압(RD9), 제7 읽기 전압(RD7) 및 제3 읽기 전압(RD3) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가함으로써 제13 및 제14 상태들(S13, S14), 제9 및 제10 상태들(S9, S10), 제7 및 제8 상태들(S7, S8) 및 제3 및 제4 상태들(S3, S4)를 판별할 수 있다. 제2 중간 비트(CSB2) 페이지에 대한 독출 동작에서, 메모리 장치(110)는 제14 읽기 전압(RD14), 제8 읽기 전압(RD8) 및 제2 읽기 전압(RD2) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가함으로써 제14 및 제15 상태들(S14, S15), 제8 및 제9 상태들(S8, S9) 및 제2 및 제3 상태들(S2, S3)을 판별할 수 있다. 최상위 비트(MSB) 페이지에 대한 독출 동작에서, 메모리 장치(110)는 제15 읽기 전압(RD15), 제12 읽기 전압(RD12), 제10 읽기 전압(RD10) 및 제5 읽기 전압(RD5) 각각을 선택 워드라인(WL)에 인가함으로써 제15 및 제16 상태들(S15, S16), 제12 및 제13 상태들(S12, S13), 제10 및 제11 상태(S10, S11) 및 제5 및 제6 상태들(S5, S6)을 판별할 수 있다.
도 7의 S720 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)로부터 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 ECC 회로(122)를 이용하여 에러 정정 디코딩을 수행하여 ECC 데이터(ECC_DEC)를 획득할 수 있다. ECC 회로(122)는 제1 읽기 데이터의 ECC 데이터(ECC_DEC)를 메모리 검사 회로(124)에 제공할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 ECC 데이터(ECC_DEC)의 상태(S1~S16)를 카운트하여 각 상태(S1-S16)의 제1 카운트 수를 저장할 수 있다.
한편, 제1 읽기 데이터는 기입 데이터에 따라 프로그램되어 읽혀진 데이터 비트들과 기입 데이터의 패리티 비트들을 포함할 수 있다. 제1 읽기 데이터의 ECC 데이터(ECC_DEC)는 데이터 비트들을 의미할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 데이터 비트들의 값으로 나타낸 상태(S1~S16)를 카운트하여 각 상태(S1-S16)의 제1 카운트 수를 저장할 수 있다. 실시예에 따라, 메모리 검사 회로(124)는 데이터 비트들 및 패리티 비트들의 값으로 나타낸 상태(S1~S16)를 카운트하여 각 상태(S1-S16)의 제1 카운트 수를 저장할 수 있다.
S730 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)에 제2 읽기 동작을 지시할 수 있다. 제2 읽기 동작은 메모리 셀들의 문턱 전압들이 변화되는 리텐션 열화를 예측하기 위하여, 낮은 읽기 전압(LRD1~LRD16)을 이용하여 수행될 수 있다. 낮은 읽기 전압(LRD1~LRD16)은 상태들(S1~S16) 각각에 발생되는 테일 비트를 검출하기 위하여, 상태들(S1~S16)을 판별하기 위한 읽기 전압(RD1~RD15) 보다 낮은 전압 레벨로 설정될 수 있다. 실시예에 따라, 제2 읽기 동작은 낮은 읽기 전압(LRD1~LRD16) 대신에 읽기 전압(RD1~RD15)을 이용할 수 있다.
메모리 장치(110)의 제2 읽기 동작은, 낮은 읽기 전압(LRD1~LRD15)을 이용하여 최하위 비트(LSB) 페이지, 제1 중간 비트(CSB1) 페이지, 제2 중간 비트(CSB2) 페이지 및 최상위 비트(MSB) 페이지 각각에 대한 페이지 독출 동작을 수행할 수 있다. 도면의 간결성을 위하여, 도 9a에는 최상위 비트(MSB) 페이지에 대한 제2 읽기 동작을 도시한다.
메모리 장치(110)는, 도 9a에 도시된 바와 같이, 최상위 비트(MSB) 페이지에 대한 독출 동작에서 제15 낮은 읽기 전압(LRD15)을 선택 워드라인(WL)에 인가함으로써 제15 낮은 읽기 전압(LRD15)에 의해 턴-온 또는 턴-오프되는 메모리 셀들을 감지할 수 있다. 제15 낮은 읽기 전압(LRD15)에 의해 턴-오프되는 메모리 셀들의 수는 제16 상태(S16)의 리텐션 열화를 측정하는 데 이용될 수 있다. 이어서 제12 낮은 읽기 전압(LRD12), 제10 낮은 읽기 전압(LRD10) 및 제5 낮은 읽기 전압(LRD5) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가하여 턴-오프되는 메모리 셀들의 수를 측정하고, 제13 상태(S13), 제11 상태(S11) 및 제6 상태(S6)의 리텐션 열화를 예측할 수 있다.
이와 같은 맥락으로, 제2 중간 비트(CSB2) 페이지에 대한 독출 동작에서, 메모리 장치(110)는 제14 낮은 읽기 전압(LRD14), 제8 낮은 읽기 전압(LRD8) 및 제2 낮은 읽기 전압(LRD2) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가하여 턴-오프되는 메모리 셀들의 수를 측정하고, 제15 상태(S15), 제9 상태(S9) 및 제3 상태(S3)의 리텐션 열화를 예측할 수 있다. 제1 중간 비트(CSB1) 페이지에 대한 독출 동작에서, 메모리 장치(110)는 제13 낮은 읽기 전압(LRD13), 제9 낮은 읽기 전압(LRD9), 제7 낮은 읽기 전압(LRD7) 및 제3 낮은 읽기 전압(LRD3) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가하여 턴-오프되는 메모리 셀들의 수를 측정하고, 제14 상태(S14), 제10 상태(S10), 제8 상태(S8) 및 제4 상태(S4)의 리텐션 열화를 예측할 수 있다. 최하위 비트(LSB) 페이지에 대한 독출 동작에서, 메모리 장치(110)는 제11 낮은 읽기 전압(LRD11), 제6 낮은 읽기 전압(LRD6), 제4 낮은 읽기 전압(LRD4) 및 제1 낮은 읽기 전압(LRD1) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가하여 턴-오프되는 메모리 셀들의 수를 측정하고, 제12 상태(S12), 제7 상태(S7), 제5 상태(S5) 및 제2 상태(S2)의 리텐션 열화를 예측할 수 있다.
도 7의 S740 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)로부터 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터와 ECC 데이터(ECC_DEC)를 비교하여, 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 제2 읽기 데이터의 각 상태(S1~S16)에서 턴-오프되는 메모리 셀들의 수를 카운트하여 각 상태(S1~S16)의 제2 카운트 수를 저장할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 ECC 데이터(ECC_DEC)의 각 상태(S1~S16)의 제1 카운트 수와 제2 읽기 데이터의 각 상태(S1~S16)의 제2 카운트 수 사이의 차이 값을 계산하여 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출할 수 있다.
예시적으로, 제16 상태(S16)에서는 도 9b에 도시된 바와 같이, ECC 데이터(ECC_DEC)의 제1 카운트 수(901)와 제2 읽기 데이터의 제2 카운트 수(902) 사이의 차이 값(912, 빗금친 부분)을 보여준다. 제16 상태(S16)의 차이 값(912)는 리텐션 열화에 따라 테일 비트들의 존재로 인하여 제16 상태(S16)의 데이터가 손상되었음을 의미하고, 제16 상태(S16)의 에러들의 수를 나타낸다.
한편, S740 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 ECC 데이터(ECC_DEC) 대신에 선택 워드라인(WL)의 메모리 셀들에 프로그램되도록 제공된 기입 데이터를 이용하여 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출할 수 있다. 메모리 콘트롤러(120)는 기입 데이터를 구성하는 상태(S1~S16) 정보를 카운트하여 각 상태(S1-S16)의 제1 카운트 수를 저장할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 기입 데이터의 각 상태(S1~S16)의 제1 카운트 수와 제2 읽기 데이터의 각 상태(S1~S16)의 제2 카운트 수 사이의 차이 값을 계산하여 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출할 수 있다.
S750 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 각 상태(S1~S16)에서 검출된 에러들의 수가 제1 임계치(TH1) 이상인지 판단할 수 있다. 제1 임계치(TH1)는 메모리 셀이 리텐션 열화로 인한 테일 비트들 때문에 하드웨어 페일로 판단되는 수로 설정될 수 있다.
검출된 에러들의 수가 제1 임계치(TH1)보다 작으면, 메모리 검사 회로(124)는 메모리 셀들에 저장된 데이터의 신뢰도가 높음을 판단하고, 검사 읽기 동작을 종료할 수 있다. 검출된 에러들의 수가 제1 임계치(TH1) 이상이면, 메모리 검사 회로(124)는 메모리 셀들에 저장된 데이터의 신뢰도가 낮음을 판단하고, S760 단계가 수행된다. S760 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)에 리클레임 동작을 수행할 수 있다. 리클레임 동작은 선택 워드라인(WL)에 연결된 메모리 셀들에 저장된 데이터를 다른 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 프로그램하거나, 재프로그램 방식을 이용하여 선택 워드라인(WL)에 연결된 메모리 셀들에 대한 문턱 전압 산포들을 조절하거나, 선택 워드라인(WL)이 포함된 메모리 블록의 유효 데이터를 다른 메모리 블록에 새로 기입할 수 있다. 리클레임 동작은 리프레쉬 동작으로 지칭될 수 있다. 리클레임 또는 리프레쉬 동작을 통하여 데이터 신뢰도가 회복될 수 있다.
따라서, 스토리지 장치(100)는 선행된 제1 읽기 동작에서 독출된 제1 읽기 데이터의 ECC 데이터(ECC_DEC)에 근거하여 후행되는 제2 읽기 동작에서 독출된 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하기 때문에, 상대적으로 짧은 시간 동안 신뢰성 검사를 수행할 수 있다.
도 10 내지 도 11b는 본 발명의 실시예에 따른 검사 읽기 동작의 예를 설명하는 도면들이다. 도 10은 검사 읽기 동작의 순서도를 나타내고, 도 11a 및 도 11b는 제2 읽기 동작을 설명하는 차트들이다.
도 1, 도 8 및 도 10을 참조하면, S1010 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)에 제1 읽기 동작을 지시할 수 있다. 메모리 장치(110)의 제1 읽기 동작은, 도 8에 도시된 바와 같이, 읽기 전압(RD1~RD15)을 이용하여 최하위 비트(LSB) 페이지, 제1 중간 비트(CSB1) 페이지, 제2 중간 비트(CSB2) 페이지 및 최상위 비트(MSB) 페이지 각각에 대한 페이지 독출 동작을 수행할 수 있다.
S1020 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)로부터 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 ECC 회로(122)를 이용하여 에러 정정 디코딩을 수행하여 ECC 데이터(ECC_DEC)를 획득할 수 있다. ECC 회로(122)는 제1 읽기 데이터의 ECC 데이터(ECC_DEC)를 메모리 검사 회로(124)에 제공할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 ECC 데이터(ECC_DEC)의 상태(S1~S16)를 카운트하여 각 상태(S1-S16)의 제1 카운트 수를 저장할 수 있다.
S1030 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)에 제2 읽기 동작을 지시할 수 있다. 제2 읽기 동작은 메모리 셀들의 문턱 전압들이 변화되는 디스터브 열화를 예측하기 위하여, 높은 읽기 전압(HRD1~HRD15)을 이용하여 수행될 수 있다. 높은 읽기 전압(HRD1~HRD15) 각각은 상태들(S1~S16) 각각에 발생되는 테일 비트를 검출하기 위하여, 상태들(S1~S16)을 판별하기 위한 읽기 전압(RD1~RD15) 보다 높은 전압 레벨로 설정될 수 있다. 실시예에 따라, 제2 읽기 동작은 높은 읽기 전압(HRD1~HRD15) 대신에 읽기 전압(RD1~RD15)을 이용할 수 있다.
메모리 장치(110)의 제2 읽기 동작은, 높은 읽기 전압(HRD1~HRD15)을 이용하여 최하위 비트(LSB) 페이지, 제1 중간 비트(CSB1) 페이지, 제2 중간 비트(CSB2) 페이지 및 최상위 비트(MSB) 페이지 각각에 대한 페이지 독출 동작을 수행할 수 있다. 도면의 간결성을 위하여, 도 11a에는 최하위 비트(LSB) 페이지에 대한 제2 읽기 동작을 도시한다.
메모리 장치(110)는, 도 11a에 도시된 바와 같이, 최하위 비트(LSB) 페이지에 대한 독출 동작에서 제11 높은 읽기 전압(HRD11)을 선택 워드라인(WL)에 인가함으로써 제11 높은 읽기 전압(HRD11)에 의해 턴-온 또는 턴-오프되는 메모리 셀들을 감지할 수 있다. 제11 높은 읽기 전압(HRD11)에 의해 턴-온되는 메모리 셀들의 수는 제11 상태(S11)의 디스터브 열화를 측정하는 데 이용될 수 있다. 이어서 제6 높은 읽기 전압(HRD6), 제4 높은 읽기 전압(HRD4) 및 제1 높은 읽기 전압(HRD1) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가하여 턴-온되는 메모리 셀들의 수를 측정하고, 제6 상태(S6), 제4 상태(S4) 및 제1 상태(S1)의 리스터브 열화를 예측할 수 있다.
이와 같은 맥락으로, 제1 중간 비트(CSB1) 페이지에 대한 독출 동작에서, 메모리 장치(110)는 제13 높은 읽기 전압(HRD13), 제9 높은 읽기 전압(HRD9), 제7 높은 읽기 전압(HRD7) 및 제3 높은 읽기 전압(HRD3) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가하여 턴-온되는 메모리 셀들의 수를 측정하고, 제13 상태(S13), 제9 상태(S9), 제7 상태(S7) 및 제3 상태(S3)의 디스터브 열화를 예측할 수 있다. 제2 중간 비트(CSB2) 페이지에 대한 독출 동작에서, 메모리 장치(110)는 제14 높은 읽기 전압(HRD14), 제8 높은 읽기 전압(HRD8) 및 제2 높은 읽기 전압(HRD2) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가하여 턴-온되는 메모리 셀들의 수를 측정하고, 제14 상태(S14), 제8 상태(S8) 및 제2 상태(S2)의 디스터브 열화를 예측할 수 있다. 최상위 비트(MSB) 페이지에 대한 독출 동작에서, 메모리 장치(110)는 제15 높은 읽기 전압(HRD15), 제12 높은 읽기 전압(HRD12), 제10 높은 읽기 전압(HRD10) 및 제5 높은 읽기 전압(HRD5) 각각을 선택 워드라인(WL)에 순차적으로 인가하여 턴-온되는 메모리 셀들의 수를 측정하고, 제15 상태(S11), 제6 상태(S6), 제4 상태(S4) 및 제1 상태(S1)의 리텐션 열화를 예측할 수 있다.
도 10의 S1040 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)로부터 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터와 ECC 데이터(ECC_DEC)를 비교하여, 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 제2 읽기 데이터의 각 상태(S1~S16)에서 턴-온되는 메모리 셀들의 수를 카운트하여 각 상태(S1~S16)의 제2 카운트 수를 저장할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 ECC 데이터(ECC_DEC)의 각 상태(S1~S16)의 제1 카운트 수와 제2 읽기 데이터의 각 상태(S1~S16)의 제2 카운트 수 사이의 차이 값을 계산하여 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출할 수 있다.
예시적으로, 제1 상태(S1)에서는 도 11b에 도시된 바와 같이, ECC 데이터(ECC_DEC)의 제1 카운트 수(1101)와 제2 읽기 데이터의 제2 카운트 수(902) 사이의 차이 값(1102)을 보여준다. 제1 상태(S1)의 차이 값(1112)는 리스터브 열화에 따라 테일 비트들의 존재로 인하여 제1 상태(S1)의 데이터가 손상되었음을 의미하고, 제1 상태(S1)의 에러들의 수를 나타낸다.
S1050 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 각 상태(S1~S16)에서 검출된 에러들의 수가 제2 임계치(TH2) 이상인지 판단할 수 있다. 제2 임계치(TH2)는 메모리 셀이 디스터브 열화로 인해 테일 비트들 때문에 하드웨어 페일로 판단되는 수로 설정될 수 있다.
검출된 에러들의 수가 제2 임계치(TH2)보다 작으면, 메모리 검사 회로(124)는 메모리 셀들에 저장된 데이터의 신뢰도가 높음을 판단하고, 검사 읽기 동작을 종료할 수 있다. 검출된 에러들의 수가 제2 임계치(TH2) 이상이면, 메모리 검사 회로(124)는 메모리 셀들에 저장된 데이터의 신뢰도가 낮음을 판단하고, S1060 단계가 수행된다. S1060 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)에 리클레임(또는 리프레쉬) 동작을 수행할 수 있다. 리클레임 또는 리프레쉬 동작을 통하여 데이터 신뢰도가 회복될 수 있다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 검사 읽기 동작의 예를 설명하는 순서도이다. 도 12의 검사 읽기 동작은 리텐션 열화에 따른 메모리 셀들의 데이터 신뢰성 검사 및 디스터브 열화에 따른 메모리 셀들의 데이터 신뢰성 검사를 병행할 수 있다.
도 1, 도 8 및 도 12를 참조하면, S1210 단계 및 S1220 단계는 도 7의 S710 단계 및 S720 단계, 도 10의 S1010 단계 및 S1020 단계와 동일하게 수행될 수 있다.
S1210 단계에서 메모리 콘트롤러(120)가 메모리 장치(110)에 제1 읽기 동작를 지시하고, S1220 단계에서 메모리 콘트롤러(120)가 메모리 장치(110)로부터 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 에러 정정 디코딩을 수행하여 ECC 데이터(ECC_DEC)를 획득하고, ECC 데이터(ECC_DEC)의 상태(S1~S16)를 카운트하여 각 상태(S1-S16)의 제1 카운트 수를 저장할 수 있다.
S1230 단계, S122 단계 및 S1234 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 낮은 읽기 전압(LRD1~LRD15)을 이용하여 메모리 셀들의 리텐션 열화를 예측하는 제2 읽기 동작을 수행할 수 있다. S1230 단계, S1232 단계 및 S1234 단계는 7의 S730 단계, S740 단계 및 S750 단계와 동일하게 수행될 수 있다. S1234 단계에서 메모리 셀들의 각 상태(S1~S16)의 하드웨어 페일로 판된되는 에러들의 수가 예측될 수 있다.
S1240 단계, S1242 단계 및 S1244 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 높은 읽기 전압(HRD1~HRD15)을 이용하여 메모리 셀들의 디스터브 열화를 예측하는 제3 읽기 동작을 수행할 수 있다. S1240 단계, S1242 단계 및 S1244 단계는 10의 S1030 단계, S1040 단계 및 S1050 단계와 동일하게 수행될 수 있다. S1244 단계에서 메모리 셀들의 각 상태(S1~S16)의 하드웨어 페일로 판된되는 에러들의 수가 예측될 수 있다.
S1234 단계 및 S1244 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 셀들의 각 상태(S1~S16)의 에러들의 수가 임계치(TH1, TH2) 보다 작으면, 메모리 셀들에 저장된 데이터의 신뢰도가 높음을 판단하고, 검사 읽기 동작을 종료할 수 있다. 검출된 에러들의 수가 임계치(TH1, TH2) 이상이면, 메모리 셀들에 저장된 데이터의 신뢰도가 낮음을 판단하고, S1250 단계가 수행된다. S1250 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 리클레임 또는 리프레쉬 동작을 수행할 수 있다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 검사 읽기 동작의 예를 설명하는 순서도이다.
도 7 내지 도 13을 참조하면, S1310 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 선택 워드라인(WL)의 상태에 따라 랜덤 인터벌 네이버 체크(Random Interval Neighbor Check: RINC) 동작이 수행할지를 결정할 수 있다. RINC 동작은 선택 워드라인(WL)에 인접한 적어도 하나의 인접 워드라인(WL)의 더미 읽기 동작 또는 적어도 하나의 오픈 워드라인의 더미 읽기 동작일 수 있다. 오픈 워드라인은 선택 워드라인(WL) 상부에 프로그램이 수행되지 않은 비선택 워드라인을 의미한다. 메모리 콘트롤러(120)는 선택 워드라인(WL)의 상태가 리텐션 열화에 따른 메모리 셀들의 열화에 따른 에러 비트들의 수에 근거하여 RINC 동작을 수행할 지 여부를 결정할 수 있다.
S1320 단계에서, 메모리 검사 회로(124)는 메모리 셀들의 열화에 따른 에러 비트들의 수가 신뢰성 검사를 위해 사전에 결정된 값을 초과하는 경우, RINC 동작을 수행할 수 있다. 실시예에 따라, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)의 P/E(program/erase) 싸이클, 프로그램 카운트, 리드 카운트, 소거 카운트, 에러율, 문턱 전압 변경 정보, 웨어 레벨 정보, 열화 정보, 데이터 입출력 시간 정보, 온도 정보, 위치 정보, 구조 정보, 인접 셀의 상태 정보 등 어느 하나에 근거하여 RINC 동작을 수행할 수 있다.
S1330 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 RINC 동작 결과에 따라 리클레임 동작을 수행할지를 결정할 수 있다. RINC 동작 결과로써, 에러 개수가 소정의 값을 초과할 때 리클레임 동작의 수행이 결정될 수 있다. S1340 단계에서, 메모리 콘트롤러(120)는 메모리 장치(110)에 리클레임(또는 리프레쉬) 동작을 수행할 수 있다. 리클레임 또는 리프레쉬 동작을 통하여 데이터 신뢰도가 회복될 수 있다.
도 14는 본 발명의 실시예들에 따른 메모리 검사 동작을 수행하는 SSD(Solid State Drive or Solid State Disk)를 나타내는 블록도이다.
도 14를 참조하면, SSD(1000)는 복수의 불휘발성 메모리 장치들(1100)과 SSD 콘트롤러(1200)를 포함한다. 불휘발성 메모리 장치들(1100)은 전술한 메모리 장치(110)로 구현될 수 있다. 불휘발성 메모리 장치들(1100)은 복수의 메모리 블록들을 포함하고, 복수의 메모리 블록들 각각은 복수의 워드라인들에 연결되는 메모리 셀들을 포함하고, 메모리 셀들은 기입 데이터에 따라 다수의 상태들로 프로그램될 수 있다.
SSD 콘트롤러(1200)는 복수의 채널들(CH1~CH4)을 통하여 불휘발성 메모리 장치들(1100)과 연결된다. SSD 콘트롤러(1200)는 적어도 하나의 프로세서(1210), ECC 회로(122), 메모리 검사 회로(124), 버퍼 메모리(1220), 호스트 인터페이스(1250) 및 불휘발성 메모리 인터페이스(1260)를 포함한다. 버퍼 메모리(1220)는 SSD 콘트롤러(1200)의 구동에 필요한 데이터를 임시적으로 저장할 수 있다. ECC 회로(1230)는 불휘발성 메모리 장치들(1100) 중 선택된 불휘발성 메모리 장치의 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대한 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 에러 정정 디코딩을 수행하여 에러 정정된 데이터를 획득할 수 있다. 메모리 검사 회로(124)는 에러 정정된 데이터에 근거하여 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대한 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출할 수 있다.
본 발명의 스토리지 장치에 따르면, 선행 독출 데이터의 ECC 데이터에 근거하여 후행 독출 데이터의 에러들의 수를 카운트하기 때문에 상대적으로 짧은 시간 동안 신뢰성 검사를 수행할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 제한된 수의 실시예들과 관련하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변경들 및 변형들, 그리고 균등한 다른 실시예들이 가능하다는 점을 인식할 것이다. 따라서, 첨부된 청구항들은 본 발명의 진정한 사상 및 범위 내에 속하는 바와 같은 모든 그러한 변경들 및 변형들을 커버하는 것을 의도한다.

Claims (20)

  1. 복수의 메모리 블록들을 포함하는 불휘발성 메모리 장치, 상기 복수의 메모리 블록들 각각은 복수의 워드라인들에 연결되는 메모리 셀들을 포함하고, 상기 메모리 셀들은 기입 데이터에 따라 다수의 상태들로 프로그램되고; 및
    상기 복수의 워드라인들 중 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들의 신뢰성을 검사하도록 구성되는 메모리 콘트롤러를 포함하고,
    상기 메모리 콘트롤러는 상기 선택 워드라인에 연결된 상기 메모리 셀들에 대해 제1 읽기 동작을 수행하고, 상기 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 에러 정정 디코딩을 수행하여 에러 정정된 데이터를 획득하고, 상기 선택 워드라인에 연결된 상기 메모리 셀들에 대해 제2 읽기 동작을 수행하고, 상기 에러 정정된 데이터에 근거하여 상기 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하도록 더 구성되는 스토리지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메모리 콘트롤러는 상기 에러 정정된 데이터에 대해 상기 다수의 상태들 각각을 카운트하여 각 상태의 제1 카운트 수를 계산하는 스토리지 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 메모리 콘트롤러는 낮은 읽기 전압들을 이용하여 상기 제2 읽기 동작을 수행하고, 상기 낮은 읽기 전압들 각각에 의해 턴-오프되는 메모리 셀들의 수를 카운트하여 각 상태의 제2 카운트 수를 계산하고, 상기 각 상태에 대한 상기 제1 카운트 수와 상기 제2 카운트 수를 비교하여 상기 제2 읽기 데이터의 상기 에러들의 수를 카운트하는 스토리지 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 낮은 읽기 전압은 상기 제1 읽기 동작에 이용되는 읽기 전압보다 낮은 전압 레벨을 갖도록 설정되는 스토리지 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 낮은 읽기 전압은 상기 제1 읽기 동작에 이용되는 읽기 전압과 동일한 전압 레벨을 갖도록 설정되는 스토리지 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 메모리 콘트롤러는 높은 읽기 전압들을 이용하여 상기 제2 읽기 동작을 수행하고, 상기 높은 읽기 전압들 각각에 의해 턴-온되는 메모리 셀들의 수를 카운트하여 각 상태의 제2 카운트 수를 계산하고, 상기 각 상태에 대한 상기 제1 카운트 수와 상기 제2 카운트 수를 비교하여 상기 제2 읽기 데이터의 상기 에러들의 수를 카운트하는 스토리지 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 높은 읽기 전압은 상기 제1 읽기 동작에 이용되는 읽기 전압보다 높은 전압 레벨을 갖도록 설정되는 스토리지 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 높은 읽기 전압은 상기 제1 읽기 동작에 이용되는 읽기 전압과 동일한 전압 레벨을 갖도록 설정되는 스토리지 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 메모리 콘트롤러는 상기 제2 읽기 데이터의 상기 에러들의 수에 근거하여 리클레임 동작을 수행하도록 더 구성되는 스토리지 장치.
  10. 제9항에 있어서
    상기 리클레임 동작은 상기 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 저장된 데이터를 다른 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 프로그램하는 스토리지 장치.
  11. 제9항에 있어서
    상기 리클레임 동작은 재프로그램 방식을 이용하여 상기 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대한 문턱 전압 산포들을 조절하는 스토리지 장치.
  12. 제9항에 있어서
    상기 리클레임 동작은 상기 복수의 메모리 블록들 중 상기 선택 워드라인이 포함된 메모리 블록의 유효 데이터를 다른 메모리 블록에 새로 기입하는 스토리지 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 메모리 콘트롤러는 상기 제2 읽기 데이터의 상기 에러들의 수에 근거하여 더미 읽기 동작을 수행하도록 더 구성되는 스토리지 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 더미 읽기 동작은 상기 선택 워드라인에 인접한 적어도 하나의 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대하여 수행되는 스토리지 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 더미 읽기 동작은 상기 선택 워드라인 상부에 위치한 적어도 하나의 오픈 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대하여 수행되는 스토리지 장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 메모리 콘트롤러는 상기 에러 정정된 데이터 대신에 상기 기입 데이터에 근거하여 상기 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하도록 더 구성되는 스토리지 장치.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 제1 읽기 데이터 및 상기 제2 읽기 데이터 각각은 상기 기입 데이터의 데이터 비트들과 상기 기입 데이터에 대한 패리티 비트들을 포함하고,
    상기 메모리 콘트롤러는 상기 데이터 비트들과 관련하여 상기 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하거나 상기 데이터 비트들 및 상기 패리티 비트들과 관련하여 상기 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하도록 더 구성되는 스토리지 장치.
  18. 메모리 장치의 신뢰성을 검사하는 메모리 콘트롤러에 있어서,
    상기 메모리 장치의 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대한 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 에러 정정 디코딩을 수행하여 에러 정정된 데이터를 획득하는 ECC(Error Correction Code) 회로; 및
    상기 에러 정정된 데이터에 근거하여 상기 선택 워드라인에 연결된 상기 메모리 셀들에 대한 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 검출하는 메모리 검사 회로를 포함하는 메모리 콘트롤러.
  19. 제18항에 있어서, 상기 메모리 검사 회로는
    상기 에러 정정된 데이터의 상태들을 카운트하여 각 상태의 제1 카운트 수를 계산하고, 상기 제2 읽기 데이터의 상태들을 카운트하여 각 상태의 제2 카운트 수를 계산하는 카운터;
    상기 각 상태에 대한 상기 제1 카운트 수와 상기 제2 카운트 수를 비교하는 비교기; 및
    상기 비교기의 비교 결과에 기초하여, 상기 제2 읽기 데이터의 상기 에러들의 수를 저장하는 레지스터를 포함하는 메모리 콘트롤러.
  20. 적어도 하나의 불휘발성 메모리 장치 및 상기 적어도 하나의 불휘발성 메모리 장치의 검사 읽기 동작을 수행하는 메모리 콘트롤러를 포함하는 스토리지 장치의 동작 방법에 있어서,
    상기 메모리 콘트롤러가 상기 적어도 하나의 불휘발성 메모리 장치의 메모리 블록들 중 선택 메모리 블록의 선택 워드라인에 연결된 메모리 셀들에 대해 제1 읽기 동작을 수행하는 단계, 상기 메모리 셀들은 기입 데이터에 따라 다수의 상태들로 프로그램되어 있고;
    상기 메모리 콘트롤러가 상기 제1 읽기 동작에 의해 독출된 제1 읽기 데이터에 대해 에러 정정 디코딩을 수행하여 에러 정정된 데이터를 획득하는 단계;
    상기 메모리 콘트롤러가 상기 에러 정정된 데이터의 상태들을 카운트하여 각 상태의 제1 카운트 수를 계산하는 단계;
    상기 메모리 콘트롤러가 상기 선택 워드라인에 연결된 상기 메모리 셀들에 대해 제2 읽기 동작을 수행하는 단계;
    상기 메모리 콘트롤러가 상기 제2 읽기 동작에 의해 독출된 제2 읽기 데이터의 상태들을 카운트하여 각 상태의 제2 카운트 수를 계산하는 단계;
    상기 메모리 콘트롤러가 상기 각 상태의 상기 제1 카운트 수 및 상기 제2 카운트 수를 비교하여 상기 제2 읽기 데이터의 에러들의 수를 카운트하는 단계; 및
    상기 메모리 콘트롤러가 상기 제2 읽기 데이터의 상기 에러들의 수에 근거하여 상기 메모리 장치의 리클레임 동작을 수행하는 단계를 포함하는 동작 방법.
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