KR20220069948A - 충전탑 - Google Patents

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Abstract

충전탑이 개시된다. 저감 장치로부터의 유체 및 입자를 포함하는 배출 스트림을 처리하기 위한 충전탑은 충전탑 하우징을 포함하고, 상기 충전탑 하우징은, 배출 스트림을 수용하기 위한 유입구와, 배출 스트림을 통기하기 위한 유출구와, 유입구와 유출구 사이의 충전탑 하우징 내에 수용된 충전 기재으로서, 상기 충전 기재는 배출 스트림이 충전 기재를 통해 유동할 때, 유체로부터 입자의 적어도 일부를 혼입하도록 구성되는, 상기 충전 기재와, 충전탑 하우징 내에 수용된 팬으로서, 유입구로부터 유출구를 향해 배출 스트림을 추진하고, 유체로부터 입자의 적어도 일부를 제거하도록 구성되는, 상기 팬을 포함한다. 이러한 방식으로, 팬은 배출 스트림을 충전 기재를 통해 충전탑 내로 끌어들이고 음압을 생성하는데 도움이 되며, 이는 예를 들면, 배출 스트림을 제공하는 반도체 처리 도구가 경험하는 배압을 감소시키고, 충전탑 및 상류측 저감 장치를 통한 배출 스트림의 유동을 개선하며, 배출 스트림 내로부터의 입자의 제거를 개선하는데 도움이 된다.

Description

충전탑
본 발명의 분야는 충전탑에 관련된다.
저감 처리 장치가 알려져 있다. 이러한 장치는 예를 들면, 반도체 또는 평판 디스플레이 제조 산업에서 사용되는 제조 공정 도구로부터의 배출 가스 스트림의 처리에 사용된다. 이러한 제조 동안에, 열 저감 챔버는 챔버 내에서 발생하는 프로세스로 인한 고체 입자 및 기체상 부산물을 종종 생성한다. 예를 들어, 실란이 연소되면, 다량의 실리카(SiO2) 입자가 생성된다. 또한, 육플루오르화텅스텐(WF6)이 저감되면, 가스상 불화수소(HF) 외에 다량의 고체 산화텅스텐 입자가 생성된다.
배출 가스 스트림이 대기로 배출되기 전에, 선택된 가스 및 고체 입자를 제거하기 위해 처리된다. HF 및 HCl과 같은 산성 가스는 일반적으로 충전탑 스크러버를 사용하여 배출 가스 스트림에서 제거되며, 여기서 산성 가스는 스크러버(scrubber)를 통해 유동하는 스크러빙 액체에 의해 용액이 된다. 게다가, 입자는 충전탑 스크러버 내의 스크러빙 액체에 의해 현탁하게 될 수도 있다.
이러한 충전탑은 배출 가스 스트림의 처리를 제공하지만, 많은 결점이 있다. 따라서, 개선된 충전탑를 제공하는 것이 요망된다.
또한, GB 2528444 B2에는 배출 가스 스트림이 충전탑에 들어가기 전에 배출 가스 스트림에서 입자를 제거하기 위해 충전탑 아래에 상승적으로 반경방향 팬을 제공하는 것으로 알려져 있다.
제 1 측면에 따르면, 저감 장치로부터의 입자 및 유체를 포함하는 배출 스트림을 처리하기 위한 충전탑가 제공되며, 충전탑은 충전탑 하우징을 포함하고, 충전탑 하우징은, 배출 스트림을 수용하기 위한 유입구와, 배출 스트림을 배출하기 위한 유출구와, 유입구와 유출구 사이의 충전탑 하우징 내에 수용된 충전 기재로서, 충전 기재는 배출 스트림이 충전 기재를 통해 유동할 때, 유체로부터 입자의 적어도 일부를 혼입하도록 구성되는, 상기 충전 기재와, 충전탑 하우징 내에 수용된 팬으로서, 유입구로부터 유출구를 향해 배출 스트림을 추진하고, 유체로부터 입자의 적어도 일부를 제거하도록 구성되는, 상기 팬을 포함한다.
제 1 측면은 기존 충전탑의 문제가 성능이 차선이라는 점을 인식한다. 따라서, 충전탑가 제공된다. 충전탑은 배출 스트림을 처리 또는 프로세싱할 수도 있다. 배출 스트림은 입자 또는 고체 입자상 물질과 함께 유체, 예를 들면, 가스를 포함할 수도 있다. 배출 스트림은 저감 장치에 의해 제공될 수도 있다. 충전탑은 충전탑 하우징 또는 챔버를 포함할 수도 있다. 하우징은 배출 스트림을 수용하는 유입구를 구비할 수도 있다. 하우징은 배출 스트림을 배출, 제공 또는 출력하는 유출구를 구비할 수도 있다. 하우징은 충전 기재를 포함할 수도 있다. 충전 기재는 유입구와 유출구 사이에 위치될 수도 있다. 충전 기재는 배출 스트림이 충전 기재를 통해 유동할 때 배출 스트림 내의 입자를 혼입하거나 포획할 수도 있다. 하우징은 하우징 내에 위치된 팬을 포함할 수도 있다. 팬은 충전 기재를 통해 유입구와 유출구 사이의 배출 스트림을 추진, 이송 또는 강제하고, 배출 스트림의 유체로부터 입자의 적어도 일부를 제거하거나 분리할 수도 있다. 이렇게 하여, 팬은 배출 스트림을 충전탑 내로 그리고 충전 기재를 통해 끌어들이도록 음압을 생성하는데 도움이 되며, 이는 예를 들면, 배출 스트림을 제공하는 반도체 처리 도구가 경험하는 배압을 감소시키고, 충전탑 및 상류측 저감 장치를 통한 배출 스트림의 유동을 개선하며, 배출 스트림 내로부터의 입자의 제거를 개선하는데 도움이 된다.
일 실시예에서, 팬은 결합된 매스플로우 및 원심 분리기 팬을 포함한다.
일 실시예에서, 팬은 유입구로부터 유출구로의 배출 스트림의 유동을 유도하는 원동력을 생성하도록 구성된다.
일 실시예에서, 팬은 유입구와 유출구 사이의 압력 차이를 생성하여 유입구로부터 유출구로의 배출 스트림의 유동을 유도하도록 구성된다.
일 실시예에서, 팬은 원심 임펠러를 구비하는 축방향 원심 팬을 포함한다.
일 실시예에서, 원심 임펠러는 유체로부터 입자의 적어도 일부를 제거하도록 구성된다. 따라서 원심 임펠러는 배출 스트림의 유체로부터 입자의 일부를 제거하거나 분리하는데 도움이 될 수도 있다.
일 실시예에서, 원심 임펠러는 유입구로부터 유출구로의 배출 스트림의 유동의 주요 방향과 축방향으로 정렬된다. 따라서, 일반적으로 원통형인 충전탑에서, 임펠러는 충전탑 내에서 원주 방향으로 회전할 수도 있다.
일 실시예에서, 원심 임펠러는 유입구로부터 유출구로의 배출 스트림의 유동의 주요 방향을 따라 배출 스트림을 추진하고, 유동의 주요 방향에 대해 횡방향으로 입자를 추진하도록 구성된다. 따라서, 일반적으로 원통형인 충전탑의 경우, 임펠러는 충전탑의 주요 원통형 축을 따라 배출 스트림을 이송하고, 원통형 벽을 향해 일반적으로 반경 방향으로 입자를 이송할 수도 있다.
일 실시예에서, 팬은 배출 스트림을 유출구를 향해 이송하도록 구성된 적어도 하나의 축방향 개구부를 형성한다. 따라서, 팬에는 유입구로부터 유출구로의 유체 경로를 제공하기 위해 하나 이상의 개구부가 제공될 수도 있다.
일 실시예에서, 팬은 적어도 하나의 축방향 개구부를 형성하는 환형 링을 포함한다.
일 실시예에서, 팬은 기계 구동식 및/또는 전자기 구동식 및/또는 유체 구동식이다.
일 실시예에서, 팬은 팬 상에 배치되는 원주 방향으로 위치된 자석을 포함하고, 충전탑은 충전탑 하우징 상에 위치된 대응하는 원주 방향으로 위치된 드라이버 코일을 포함한다. 따라서, 팬은 스테이터 구성요소가 충전탑 상의 코일에 의해 제공되고 로터 구성요소가 팬 상의 자석에 의해 제공되는 모터로서 구동될 수도 있다.
일 실시예에서, 원주 방향으로 위치된 드라이버 코일은 충전탑 하우징의 외부면에 위치된다.
일 실시예에서, 팬은 탑 유체를 이송하도록 구성된 하나 이상의 개구를 포함하고, 적어도 하나의 개구로부터 탑 유체를 이송함으로써 생성된 힘은 팬을 회전시킨다. 따라서, 팬 자체에서 분사되는 유체는 팬을 회전시키는데 사용될 수도 있다.
일 실시예에서, 충전탑은 팬을 향해 탑 유체를 이송하도록 구성된 적어도 하나의 개구를 포함하고, 팬에 의해 탑 유체를 수용하는 것으로부터 생성된 힘은 팬을 회전시킨다. 따라서, 팬으로 지향되는 유체는 팬을 회전시키는데 사용될 수도 있다.
일 실시예에서, 충전탑 하우징은 팬과 결합되고 팬을 회전시키도록 구성된 샤프트를 포함한다. 따라서, 팬을 회전시키기 위해 모터로부터 기계적 커플링이 이루어질 수도 있다.
일 실시예에서, 충전탑 하우징은 배출 스트림의 유동을 팬의 중심을 향해 집중시키도록 구성된 수렴형 구조체를 포함한다. 따라서, 수렴형 또는 원추형 구조체는 팬을 향한 배출 스트림의 유량을 유도하고 증가시킬 수도 있다.
일 실시예에서, 충전탑 하우징은 유입구를 향하는 배출 스트림의 유동에 저항하도록 구성된 유체 트랩 구조체를 포함한다. 유체 트랩 구조체는 배출 스트림의 유동에 저항하고 대신에 유출구를 향한 유동을 촉진하는 배압을 제공한다. 유체 트랩 구조체는 원추형 구조체의 외부면에 형성될 수도 있다.
일 실시예에서, 수렴형 구조체는 배출 스트림의 유동을 팬을 향해 집중시키도록 구성된 원추형 구조체를 포함한다.
일 실시예에서, 수렴형 구조체는 팬의 상류측 및 유입구의 하류측에 위치된다.
일 실시예에서, 충전탑 하우징은 팬으로부터 배출 스트림을 수용하도록 구성된 적어도 하나의 사이클론 분리기를 포함한다.
일 실시예에서, 적어도 하나의 사이클론 분리기는 팬의 하류측 및 유출구의 상류측에 위치된다.
일 실시예에서, 충전탑 하우징은 팬에 탑 유체를 분무하도록 구성된 적어도 하나의 스프레이 노즐을 포함한다.
추가의 특정한 그리고 바람직한 관점은 첨부된 독립 및 종속 청구항에 설명된다. 종속항의 특징은 적절하게, 그리고 청구항에 명시적으로 설명된 것과 다른 조합으로 독립항의 특징과 결합될 수도 있다.
장치 특징이 기능을 제공하기 위해 작동 가능한 것으로 설명되는 경우, 이는 그 기능을 제공하거나, 그 기능을 제공하도록 적응되거나 구성된 장치 특징을 포함한다는 것이 인식된다.
이제 본 발명의 실시예가 첨부 도면을 참조하여 추가로 설명된다.
도 1은 일 실시예에 따른 팬을 포함하는 충전탑의 일부의 개략도이다.
도 2는 팬의 밑면의 개략도이다.
도 3은 팬의 개략적인 사시도이다.
실시예를 논의하기 전에, 먼저 개요가 제공된다. 실시예는 들어오는 배출 스트림의 유동을 촉진하고 배출 스트림으로부터 입자를 제거하는 것을 돕는 팬을 구비하는 충전탑 장치를 제공한다. 이는 충전탑의 입자 제거 성능을 개선할 뿐만 아니라, 배출 스트림의 유동을 제한하는 배압을 완화하는데 도움이 된다. 일반적으로, 팬은 예를 들면, 축방향 원심 팬과 같은 결합된 매스플로우 및 원심 분리기 팬이다. 팬은 충전탑 내의 다양하고 상이한 위치에 위치될 수도 있으며, 필요에 따라 2개 이상의 팬이 제공될 수도 있다. 팬의 작동은 전기 드라이브, 기계적 드라이브를 사용하거나, 및/또는 충전탑 내에서 유체에 의해 구동되는 것과 같은 다양하고 상이한 방식으로 수행될 수도 있다.
충전탑
도 1은 일 실시예에 따른 팬(20)을 포함하는 충전탑(일반적으로, 10)의 일부의 개략도이다. 도 2는 팬(20)의 밑면의 개략도이다. 도 3은 팬(20)의 개략도이다.
충전탑(10)은 일반적으로, 저감 장치의 나중 단을 형성한다. 충전탑(10)은 예를 들면, 저감 챔버 위어(weir)와 같은 저감 장치의 상류단으로부터 배출 스트림(5)을 수용하는 입구(30)를 구비한다. 배출 스트림(5)은 충전 매체(40)를 통해 중력에 대항하여 상측으로 흐른다. 물과 같은 충전탑 유체(50)는 배출 스트림 유동과 대조적으로, 충전 매체(40)를 통해 중력에 의해 하측으로 흐른다. 이는 배출 스트림(5) 내에서 입자를 혼입하고 임의의 수용성 가스를 용해하는데 도움이 된다. 충전탑 유체 유출구(35)는 충전탑 유체(50)가 충전탑(10)으로부터 제거되게 하도록 제공된다. 충전 매체(40)의 하류측에 위치되고 일반적으로 충전 매체(40) 위에 상승적으로 위치되는 것은 충전탑 유체(50)를 전달하는 노즐(60)이다. 필요한 경우, 팬(20)의 하류측과 같은 곳에 추가 노즐이 제공될 수도 있다. 충전탑 유체(50)는 드레인(원스-스루(once-through) 디자인)으로 보내지거나 (부분적으로) 재순환되고, 둘 다 장점이 있는데, 원스-스루 접근법은 더 많은 양의 수용성 가스를 용해할 수 있는 담수를 사용하는 반면, 재순환 시스템은 물 사용 측면에서 더 경제적이지만, 물에 이미 용해된 가스가 포함되어 있기 때문에, 스크러빙 능력(재순환 정도에 따라 다름)이 더 낮다.
또한 충전 매체(40)의 하류측에 위치되며 일반적으로 노즐(60) 위에 상승적으로 위치되는 것은 원추형 구조체(70)이다. 원추형 구조체(70)는 유입구(30)에 근접하게 위치된 보다 큰 단면적 개구부(80)를 구비하고, 개구부(80)의 하류측에서 그리고 유입구(30)로부터 멀리 보다 작은 단면적 개구부(90)로 좁아진다. 개구부(80)는 외측으로 만곡되고, 더 좁은 개구부(90)를 향하는 방향으로 다시 연장되어서 트로프(100)를 형성하는 반경 방향으로 연장되는 립 부분을 구비한다. 협력 림 구조체(110)는 원추형 구조체(70)의 트로프(100)와 평면(120) 사이에 형성된 공극으로 연장되도록 위치된다. 트로프(100)는 림 구조체(110)와 함께, 이하에 더 자세히 설명되는 바와 같이, 워터 트랩을 형성한다. 개구부(90)는 충전탑 하우징(200)의 벽을 향해 반경 방향 외측으로 연장되는 아크(arc)를 따르는 만곡 부분(130)을 구비한다.
팬(20)은 개구부(90)에 근접하여 원추형 구조체(70)의 하류측에 위치된다. 팬(20)은 원형 단부 플레이트(150) 및 원통형 벽(160)을 구비하는 하우징(140)을 구비한다. 단부 플레이트(150)는 팬 베인(170) 및 원통형 벽(160)을 지지한다. 도 2 및 도 3에서 가장 잘 알 수 있는 바와 같이, 배출구(240)는 단부 플레이트(150)에 형성된다. 본 예에서, 배출구(240)는 원형이고 단부 플레이트 주위에 원주 방향으로 위치된다. 그러나, 배출구(240)는 팬(20)을 통한 유체 연통을 허용하기 위해 임의의 적합한 형상 및 위치를 가질 수도 있음을 인식된다. 알 수 있는 바와 같이, 팬 베인(170)과 만곡 부분(130)의 형상이 일치된다. 팬 베인(170)과 만곡 부분(130)은 팬 베인(170)과 만곡 부분(130) 사이에 주행 간극을 제공하도록 위치된다. 팬 베인(170)은 축방향 원심 팬의 형태로 형상설정된다. 원통형 벽(160)은 자석(180)을 지지한다. 대응하는 코일(190)은 충전탑 하우징(200)의 원주 주위에 위치된다. 원통형 벽(160)의 개방 단부의 원주 방향 에지를 따라 위치되는 것은 부양 링(210)이다. 환형 트로프(220)는 부양 링(210)이 수용되는 충전탑 하우징(200)의 내부면으로부터 반경 방향 내측으로 연장된다. 팬(20)의 하류측에 위치되는 것은 유출구(230)이다.
작동 시에, 노즐(60)은 원추형 구조체(70) 부근에 충전탑 유체(50)를 분무한다. 코일(190)에 전력이 공급되어서, 팬(20)이 회전되게 한다. 트로프(220)에 충전탑 유체(50)의 존재는 부양 링(210)이 부양할 때 유체 베어링을 제공한다. 팬(20)의 회전은 충전탑 하우징(200) 내에서 유체의 매스플로우를 발생시킨다. 원추형 구조체(70)의 기하학적 구조, 만곡 부분(130)의 존재, 배출구(240)의 존재는 (유체 트랩 역할을 하는) 트로프(100)에 충전탑 유체(50)의 존재로 인한 배압과 함께, 충전탑 하우징(200) 내의 배출 스트림(5)이 일반적으로 유입구(30)로부터 배출구(240)를 통해 유출구(230)로 이송되게 한다. 이 매스플로우는 저감 장치의 초기 단을 통해, 그리고 충전 매체(40)를 통해 배출 스트림(5)을 끌어들이는 것을 돕는 감소된 압력을 생성하는데 도움이 되어서, 상류측 반도체 처리 도구에 의해 경험되는 배압을 감소시킨다.
충전탑 유체(50)의 존재는 배출 스트림(5) 내에 입자를 혼입하고 용해성 화합물을 용해시키는 것을 돕는다. 충전탑 유체(50)는 또한 충전탑 하우징(200) 내의 구조체를 깨끗하게 유지하는데 도움이 될 뿐만 아니라, 팬(20)을 위한 유체 베어링 및 트로프(100)에 유체 트랩을 제공하여 배출구(240)를 통해 배출 스트림을 강제하도록 배압을 제공한다. 팬 베인(170)의 작동은 충전탑 유체(50) 및 임의의 입자상 물질을 배출 스트림(5)으로부터 분리하는데 도움이 된다. 분리된 재료는 일반적으로 충전탑 하우징(200)을 향해 추진되고, 일반적으로 원통형 벽(160)과 단부 플레이트(150)에 의해 수용되며, 여기서 분리된 재료는 원추형 구조체(70)와 충전탑 하우징(200) 사이의 공극에서 중력 하에서 트로프(100)로 떨어지고, 이는 충전 매체(40)로 다시 흘러넘친다.
일 실시예는 원심 임펠러가 충전탑의 벽을 통해 작용하는 자기 커플링에 의해 주변부에서 구동되는 수세식 충전탑의 상단 부분에 수직으로 장착되는 배치를 제공한다. 임펠러는 프로세스 유동을 임펠러의 중심으로 지향시키는 원추형 유입구에 대한 출구에서 유체역학적 베어링 상에 위치되고, 충전탑의 벽에 충돌하도록 반경 방향으로 가속된다. 분무 스프레이는 분말 입자를 혼입하고 또한 임펠러/유입구 조립체를 세척하기 위해 들어오는 프로세스 유동에 물방울을 추가한다. 그 다음에, 물과 프로세스 유동은 사이클론 작용에 의해 분리되고, 그에 따라 물(및 혼입된 입자상 물질)이 충전탑으로 씻겨 내려가고, 가스가 충전탑의 상부에서 빠져나가서, 시스템을 통한 증가된 인출과 물 및 미립자 제거의 이점을 제공한다. 본 배열은 공기 증폭기를 사용하는 대신에, 기계적 수단에 의해 저감 시스템을 통해 인출되는 추가 가스를 제공한다. 대신에, 회전 팬이 파이프 내부에 수직으로 장착된 충전탑의 배기구에 끼워맞춤된다. 충전탑 내부에 팬을 위치하면, 분무 스프레이가 팬을 헹구는데 사용되게 할 수 있다. 원심 임펠러를 사용하면, 물/미립자가 충전탑의 벽을 향해 배출되게 한다.
일 실시예는 원통형 튜브의 벽 내에 포함되고 유체역학적 베어링 표면에 장착된 원심 압축기 로터를 제공한다. 자기 커플링은 구동 샤프트 또는 구동 벨트의 벽에 가스 기밀 시일을 제공할 필요 없이, 압축기를 회전시키는 수단을 제공한다. 원추형 유입구 구조체는 들어오는 가스 스트림을 원심 압축기 로터의 중심으로 지향하여, 들어오는 가스 스트림은 외측을 향해 가속되고, 가스가 로터 지지부의 개구부를 통해 빠져나가므로 혼입된 액체가 분리되어 유입구 구조체와 튜브의 벽 사이의 간격 아래로 떨어진다. 로터의 세척을 돕고 가스 스트림에 현탁 입자를 혼입하기 위해 추가의 물 분무 스프레이가 제공된다. 블레이드는 하부면에 제공되고, 개구부는 가스가 주변부 근처에서 로터를 통해 유동하게 한다. 이는 재생 및 재순환될 물을 제공하는 수직으로 장착된 원심 임펠러를 갖는 배치를 제공한다(다른 실시예는 원스 스루 작동 및 수평 임펠러를 구비함). 림 드라이브 및 베어링 메커니즘은 로터가 충전탑 내에서 밀봉될 수 있음을 의미한다.
에어 사이클론 또는 다중 에어 사이클론은 원심 로터 위에 끼워맞춤되어서 배기가스로부터 물방울을 제거하고 배기가스로의 과도한 물의 캐리오버(carryover)를 방지할 수도 있다.
다른 변형예에서, 원심 압축기 로터는 림 드라이브에 의해 구동되는 대신에, 구동식 회전 중심 샤프트에 장착된다. 샤프트는 충전탑 리드(lid)의 회전 시일을 통과, 또는 스크러빙 튜브 리드의 자기 샤프트 커플링을 통과하는 다이렉트 샤프트를 사용하여, 스크러빙 튜브의 상부에 장착된 모터에 의해 구동된다. 자기 커플링은 로터가 충전탑 내에서 밀봉될 수 있다는 점에서 유리한다. 샤프트는 또한 샤프트에 대한 지지를 제공하기 위해 에어 사이클론 조립체의 중심에 장착된 자기 또는 기계적 베어링을 구비할 수도 있다. 본 구성은 튜브 주위에 림 드라이브가 필요하지 않기 때문에 시스템의 직경을 감소시키지만, 모터의 높이만큼 조립체의 높이를 증가시킨다. 그 다음에, 구동 모터가 중심에 있을 때 배기 포트가 튜브 중심으로부터 오프셋된다.
다른 변형예에서, 탑 유체는 팬을 구동하는데 사용된다. 이는 팬을 회전시키도록 유체를 팬으로 지향시킴으로써, 그리고/또는 유체가 분사되는 팬에 개구를 구비함으로써 달성된다.
추가의 변형예는 구동 모터를 스크러빙 튜브 아래에 배치하는 것이다. 그러나, 구동 샤프트, 피드스루(feedthrough) 및 베어링이 스크러빙되지 않은 배출 스트림을 통과하여 더 많은 분말과 산에 노출되어 부품의 수명이 단축될 수도 있으므로 이는 바람직하지 않다.
본 발명의 예시적인 실시예가 본 명세서에 상세하게 개시되어 있지만, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명이 정확한 실시예에 제한되지 않고, 다양한 변화 및 변경이 첨부된 청구범위 및 그 동등물에 의해 규정된 본 발명의 범위를 일탈하는 일없이 본 명세서에 당업자에 의해 달성될 수 있음이 이해된다.
5 : 배출 스트림
10 : 충전탑
20 : 팬
30 : 유입구
35 : 유출구
40 : 충전 매체
50 : 충전탑 유체
60 : 노즐
70 : 원추형 구조체
80, 90 : 개구부
100, 220 : 트로프
110 : 림 구조체
120 : 편평면
130 : 곡선 부분
150 : 단부 플레이트
160 : 원통형 벽
170 : 팬 베인
180 : 자석
190 : 코일
200 : 충전탑 하우징
210 : 부양 링
230 : 유출구
240 : 배출구

Claims (15)

  1. 저감 장치로부터의 유체 및 입자를 포함하는 배출 스트림을 처리하기 위한 충전탑에 있어서,
    충전탑 하우징을 포함하고,
    상기 충전탑 하우징은,
    상기 배출 스트림을 수용하기 위한 유입구와,
    상기 배출 스트림을 배출하기 위한 유출구와,
    상기 유입구와 상기 유출구 사이의 상기 충전탑 하우징 내에 수용된 충전 기재로서, 상기 충전 기재는 상기 배출 스트림이 상기 충전 기재를 통해 유동할 때, 상기 유체로부터 상기 입자의 적어도 일부를 혼입하도록 구성되는, 상기 충전 기재와,
    상기 충전탑 하우징 내에 수용된 팬으로서, 상기 유입구로부터 상기 유출구를 향해 상기 배출 스트림을 추진하고, 상기 유체로부터 상기 입자의 적어도 일부를 제거하도록 구성되는, 상기 팬을 포함하는
    충전탑.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 팬은 상기 유입구로부터 상기 유출구로의 상기 배출 스트림의 유동을 유도하는 원동력을 생성하도록 구성되는
    충전탑.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 팬은 원심 임펠러를 구비하는 축방향 원심 팬을 포함하고, 바람직하게는 상기 원심 임펠러는 상기 유체로부터 상기 입자의 적어도 일부를 제거하도록 구성되는
    충전탑.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 원심 임펠러는 상기 유입구로부터 상기 유출구로의 상기 배출 스트림의 유동의 주요 방향과 축방향으로 정렬되는
    충전탑.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 원심 임펠러는 상기 유입구로부터 상기 유출구로의 상기 배출 스트림의 유동의 상기 주요 방향을 따라 상기 배출 스트림을 추진하고, 상기 유동의 주요 방향에 대해 횡방향으로 상기 입자를 추진하도록 구성되는
    충전탑.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 팬은 상기 배출 스트림을 상기 유출구를 향해 이송하도록 구성된 적어도 하나의 축방향 개구부를 형성하고, 바람직하게는 상기 팬은 상기 적어도 하나의 축방향 개구부를 형성하는 환형 링을 포함하는
    충전탑.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 팬은 기계 구동식, 전자기 구동식 및 유체 구동식 중 적어도 하나이며, 그리고/또는 상기 팬은 상기 팬 상에 배치되는 원주 방향으로 위치된 자석을 포함하고, 상기 충전탑은 상기 충전탑 하우징 상에 위치된 대응하는 원주 방향으로 위치된 드라이버 코일을 포함하는
    충전탑.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 팬은 탑 유체를 이송하도록 구성된 적어도 하나의 개구를 포함하고, 상기 적어도 하나의 개구로부터 상기 탑 유체를 이송함으로써 생성된 힘이 상기 팬을 회전시키는
    충전탑.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 팬을 향해 탑 유체를 이송하도록 구성된 적어도 하나의 개구를 포함하고, 상기 팬에 의해 상기 탑 유체로부터 생성된 힘이 상기 팬을 회전시키는
    충전탑.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 충전탑 하우징은 상기 팬과 결합되고 상기 팬을 회전시키도록 구성된 샤프트를 포함하는
    충전탑.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 충전탑 하우징은 상기 배출 스트림의 유동을 상기 팬을 향해 집중시키도록 구성된 수렴형 구조체를 포함하고, 바람직하게는 상기 수렴형 구조체는 상기 배출 스트림의 유동을 상기 팬의 중심을 향해 집중시키도록 구성된 원추형 구조체를 포함하는
    충전탑.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 수렴형 구조체는 상기 팬의 상류측 및 상기 유입구의 하류측에 위치되는
    충전탑.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 충전탑 하우징은 상기 유입구를 향하는 상기 배출 스트림의 유동에 저항하도록 구성된 유체 트랩 구조체를 포함하는
    충전탑.
  14. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 충전탑 하우징은 상기 팬으로부터 상기 배출 스트림을 수용하도록 구성된 적어도 하나의 사이클론 분리기를 포함하고, 바람직하게는 상기 적어도 하나의 사이클론 분리기는 상기 팬의 하류측 및 상기 유출구의 상류측에 위치되는
    충전탑.
  15. 제 8 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 충전탑 하우징은 상기 팬에 상기 탑 유체를 분무하도록 구성된 적어도 하나의 스프레이 노즐을 포함하는
    충전탑.
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