KR20220053025A - 에어 실린더, 헤드 커버 및 로드 커버 - Google Patents

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KR20220053025A
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cylinder
air
valve
pilot air
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유지 다카쿠와
아키히로 가자마
히로유키 아사하라
겐고 몬덴
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에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

유량 컨트롤러(26, 26A)를 내장한 에어 실린더(10), 헤드 커버(14) 및 로드 커버(16)에 있어서, 배기 에어를 파일럿 에어로서 유량 컨트롤러(26, 26A)의 전환 밸브(28, 28A)에 안내하는 파일럿 에어 조정부(40, 40A)를 설치하고, 전환 밸브(28, 28A)가 파일럿 에어의 압력의 상승에 의해 전환되도록 하였다.

Description

에어 실린더, 헤드 커버 및 로드 커버
본 발명은 에어 실린더, 헤드 커버 및 로드 커버에 관한 것이다.
종래부터, 에어 실린더의 단부에 고무나 우레탄 등의 연질 수지에 의한 쿠션재나, 오일 댐퍼 등을 부착시켜 스트로크 엔드에서의 충격을 완화하는 쇽업소버가 이용되고 있다. 그렇지만, 기계적으로 실린더의 충격을 완화하는 쇽업소버는 동작 회수에 제약이 있어, 정기적으로 유지보수할 필요가 있다.
이와 같은 부적합을 해소하기 위해, 일본 특허 제5578502호 공보에는, 스트로크 엔드 부근에서 에어 실린더로부터의 배기를 교축함으로써, 에어 실린더의 동작 속도를 저하시키는 스피드 컨트롤러(유량 컨트롤러)가 개시되어 있다.
종래의 유량 컨트롤러는, 파일럿 에어를 스로틀 밸브를 통해서 서서히 방출시켜, 파일럿압이 소정값을 하회하는 타이밍에, 전환 밸브가 배기를 교축하는 전환 동작을 행하는 것이었다. 그렇지만, 스로틀 밸브에 작용하는 압력이, 소정의 압력을 하회하면, 스로틀 밸브를 통과하는 파일럿 에어의 흐름이 급감하는 경우가 있어, 전환 동작의 타이밍이 불안정하게 되는 것이 판명되었다.
또, 종래의 유량 컨트롤러는, 에어 실린더의 포트에 접속하는 외부 부착식 부품으로 되어 있어, 에어 실린더의 구동장치의 부품 점수가 증가하고, 구동장치의 장치 구성이 번잡하게 된다. 또, 에어 실린더의 외부에 유량 컨트롤러를 설치하기 위한 스페이스가 필요하게 된다.
본 발명은, 전환 동작의 타이밍을 안정화시킬 수 있는 동시에, 구동장치의 장치 구성을 간소화할 수 있는 에어 실린더, 헤드 커버 및 로드 커버를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 관점은, 내부에 실린더실이 형성된 실린더 튜브와, 상기 실린더 튜브의 일단을 폐쇄하는 헤드 커버와, 상기 실린더 튜브의 타단을 폐쇄하는 로드 커버와, 상기 실린더실에서 슬라이딩하는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 연결된 피스톤 로드와, 상기 헤드 커버 및 상기 로드 커버에 각각 설치된 포트와, 상기 헤드 커버 및 상기 로드 커버의 적어도 한쪽에 내장된 유량 컨트롤러를 구비하고, 상기 유량 컨트롤러는, 상기 포트에 연통한 주 유로와, 상기 주 유로에 병설되고, 상기 주 유로보다 적은 유량으로 에어의 유량을 교축시키는 제1 스로틀 밸브를 가지는 부 유로와, 상기 실린더실에 연통하는 실린더 유로와, 상기 주 유로, 상기 부 유로 및 상기 실린더 유로에 접속되고, 상기 실린더 유로를 상기 주 유로에 연통시키는 제1 위치와 상기 실린더 유로를 상기 부 유로에 연통시키는 제2 위치로 전환되는 전환 밸브와, 상기 실린더 유로의 배기 에어의 일부를 파일럿 에어로서 상기 전환 밸브에 안내하는 파일럿 에어 조정부를 구비하고, 상기 파일럿 에어 조정부는 상기 전환 밸브로의 상기 파일럿 에어의 유입 속도를 규제하는 제2 스로틀 밸브를 가지며, 상기 전환 밸브는 상기 파일럿 에어의 압력의 상승에 의해 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 전환되는, 에어 실린더에 있다.
본 발명의 다른 일 관점은, 상기 관점의 에어 실린더의 헤드 커버로서, 상기의 유량 컨트롤러를 내장한 헤드 커버에 있다.
본 발명의 다른 일 관점은, 상기 관점의 에어 실린더의 로드 커버로서, 상기의 유량 컨트롤러를 내장한 로드 커버에 있다.
상기 관점의 에어 실린더, 헤드 커버 및 로드 커버에 의하면, 전환 동작의 타이밍을 안정화시킬 수 있는 동시에, 구동장치의 장치 구성을 간소화할 수 있다.
도 1a는 실시형태에 따른 에어 실린더의 로드 커버 측의 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 에어 실린더의 헤드 커버 측의 사시도이다.
도 2는 도 1a의 에어 실린더 및 그 구동장치의 유체 회로도이다.
도 3a는 도 1a의 헤드 커버의 제1 스로틀 밸브, 제2 스로틀 밸브 및 제3 스로틀 밸브 그리고 포트의 배치를 나타내는 평면도이고, 도 3b는 도 3a의 IIIB-IIIB선을 따른 단면도이다.
도 4a는 도 3a의 IVA-IVA선을 따른 단면도이고, 도 4b는 도 3a의 IVB-IVB선을 따른 단면도이다.
도 5a는 도 4a의 단면에 있어서의 배기 에어의 흐름을 나타내는 설명도이고, 도 5b는 도 4b의 단면에 있어서의 배기 에어의 흐름을 나타내는 단면도이다.
도 6a는 도 4a의 단면에 있어서의 배기 에어의 흐름을 나타내는 설명도이고, 도 6b는 도 4b의 단면에 있어서의 부 유로의 제1 스로틀 밸브를 통한 배기 에어의 흐름을 나타내는 설명도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태를 들어, 첨부의 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
(제1 실시형태)
도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 에어 실린더(10)는 자동 설비 라인 등에 사용되는 복동형의 실린더이다. 에어 실린더(10)는, 원통측의 실린더 튜브(12)와, 실린더 튜브(12)의 헤드측 단부를 밀봉하는 헤드 커버(14)와, 실린더 튜브(12)의 로드측 단부를 밀봉하는 로드 커버(16)를 구비하고 있다. 실린더 튜브(12), 헤드 커버(14) 및 로드 커버(16)는, 복수의 연결 로드(22) 및 연결 볼트(24)에 의해 축방향으로 연결되어 있다. 헤드 커버(14)에는, 헤드측 포트(14a)가 형성되어 있고, 로드 커버(16)에는 로드측 포트(16a)가 형성되어 있다. 로드 커버(16)로부터는, 피스톤 로드(20)가 돌출되어 연장되어 있다.
실린더 튜브(12)의 내부에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 실린더실(12c)에서 슬라이딩하는 피스톤(18)과, 피스톤(18)에 연결된 피스톤 로드(20)가 설치되어 있다. 피스톤(18)의 헤드측의 헤드측 압력실(12a)에는 헤드측의 유량 컨트롤러(26)가 접속되고, 로드측의 로드측 압력실(12b)에는 로드측의 유량 컨트롤러(26A)가 접속되어 있다. 헤드측의 유량 컨트롤러(26)는 헤드 커버(14)에 내장되어 있고, 헤드측 포트(14a)는 유량 컨트롤러(26)를 통하여 헤드측 압력실(12a)에 접속되어 있다. 또, 로드측의 유량 컨트롤러(26A)는 로드 커버(16)에 내장되어 있고, 로드측 포트(16a)는 유량 컨트롤러(26A)를 통하여 로드측 압력실(12b)에 접속되어 있다.
헤드측의 유량 컨트롤러(26)는, 헤드측 포트(14a)에 연통하는 주 유로(30)와, 주 유로(30)에 병렬로 설치된 부 유로(32)와, 헤드측 압력실(12a)에 연통하는 실린더 유로(33)와, 주 유로(30)와 실린더 유로(33)를 연결하는 우회 유로(34)를 포함한다. 부 유로(32)에는, 배기 에어의 유량을 가변적으로 규제하는 제1 스로틀 밸브(38)와, 제1 스로틀 밸브(38)를 통과한 배기 에어를 배출하는 배기구(39)가 설치되어 있다. 주 유로(30)에는, 배기 에어의 유량을 가변적으로 규제하는 제3 스로틀 밸브(44)가 설치되어 있다. 제1 스로틀 밸브(38) 및 제3 스로틀 밸브(44)는, 배기 에어의 유량을 규제함으로써, 피스톤(18)의 동작 속도를 제한한다. 제1 스로틀 밸브(38)는 제3 스로틀 밸브(44)보다 배기 에어의 유량을 강하게 교축하도록 구성되어 있다.
주 유로(30) 및 부 유로(32)와 실린더 유로(33)와의 사이에는 전환 밸브(28)가 설치되어 있다. 전환 밸브(28)는 파일럿 에어에 의해 동작하는 3방 밸브이며, 주 유로(30)와, 부 유로(32)와, 실린더 유로(33)에 접속되어 있다. 전환 밸브(28)는, 도시된 제1 위치에 있어서, 실린더 유로(33)에 주 유로(30)를 접속하고, 제2 위치로 전환됨으로써, 실린더 유로(33)를 부 유로(32)에 접속한다. 전환 밸브(28)는 복귀 스프링(28a)의 탄성력에 의해 제1 위치에 가압됨과 함께, 파일럿 에어의 압력이 증가하면 제2 위치로 전환된다.
우회 유로(34)는, 일단이 헤드측 포트(14a) 부근의 주 유로(30)에 접속되고, 타단이 실린더 유로(33)에 접속되어 있고, 제3 스로틀 밸브(44) 및 전환 밸브(28)를 우회하여 주 유로(30)와 실린더 유로(33)를 접속하고 있다. 우회 유로(34)에는, 제1 입구(42a), 제2 입구(42b) 및 출구(42c)를 가지는 셔틀 밸브(42)가 설치되어 있다. 셔틀 밸브(42)의 제1 입구(42a)에는 우회 유로(34)의 제1 부분(34a)이 접속되고, 제2 입구(42b)에는 파일럿 에어 유로(36)가 접속되고, 출구(42c)에는 우회 유로(34)의 제2 부분(34b)이 접속되어 있다. 또한, 우회 유로(34)의 제1 부분(34a)은 주 유로(30)에 연통한 부분이며, 제2 부분(34b)은 실린더 유로(33)에 연통한 부분이다. 파일럿 에어 유로(36)는 파일럿 에어 조정부(40)를 통하여 전환 밸브(28)에 접속되어 있다.
셔틀 밸브(42)는, 주 유로(30)의 압력이 실린더 유로(33)의 압력보다 높아지면, 제2 입구(42b)를 막는 동시에, 제1 입구(42a)와 출구(42c)를 연통시켜고, 우회 유로(34)를 개통시켜, 주 유로(30)의 고압 에어를 실린더 유로(33)로 안내한다. 또, 셔틀 밸브(42)는, 실린더 유로(33)의 압력이 주 유로(30)의 압력보다 높아지면, 제1 입구(42a)를 막는 동시에, 제2 입구(42b)와 출구(42c)를 연통시키고, 실린더 유로(33)의 배기 에어를 파일럿 에어로서 전환 밸브(28)에 안내한다.
파일럿 에어 조정부(40)는 파일럿 에어 유로(36)에 설치되어 있고, 제2 스로틀 밸브(40a)와, 그 제2 스로틀 밸브(40a)에 병렬로 접속된 체크 밸브(40b)를 구비하고 있다. 제2 스로틀 밸브(40a) 및 체크 밸브(40b)의 하류측은 전환 밸브(28)의 후술하는 피스톤부(54) 측에 접속되어 있다. 제2 스로틀 밸브(40a)는 파일럿 에어를 소정 유량으로 전환 밸브(28)에 공급하고, 소정의 타이밍에 전환 밸브(28)를 제2 위치로 변위시킨다. 체크 밸브(40b)는 전환 밸브(28)로부터 셔틀 밸브(42)로 향하는 방향으로 파일럿 에어를 유동시키는 방향으로 접속되어 있고, 전환 밸브(28)를 제1 위치로 복귀시킬 때에, 전환 밸브(28)의 파일럿 에어를 재빠르게 배출시킨다.
헤드 커버(14)에 내장되는 헤드측의 유량 컨트롤러(26)는 이상과 같은 회로 구성으로 되어 있다. 또, 로드 커버(16)에 내장되는 로드측의 유량 컨트롤러(26A)는, 헤드측의 유량 컨트롤러(26)와 실질적으로 동일한 회로 구성으로 되어 있기 때문에, 헤드측의 유량 컨트롤러(26)와 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다. 단, 로드측의 유량 컨트롤러(26A)의 전환 밸브(28), 주 유로(30), 부 유로(32), 실린더 유로(33), 우회 유로(34), 파일럿 에어 조정부(40), 및 셔틀 밸브(42)에 대해서는, 각각 참조 번호에 A를 부여하여 구별해서 나타낸다.
다음에, 에어 실린더(10)를 구동하는 구동장치(76)에 대해 설명한다. 에어 실린더(10)는 헤드측 포트(14a)와 로드측 포트(16a)에 접속되는 구동장치(76)에 의해 구동된다. 구동장치(76)는, 동작 전환 밸브(80)와, 고압 에어를 공급하는 고압 에어 공급원(86)과, 에어 실린더(10)로부터 배출되는 배기 에어의 배출을 행하는 배기구(88)를 구비하고 있다. 동작 전환 밸브(80)는 전기적으로 고압 에어의 접속처를 전환하는 5 포트 밸브이며, 제1 포트(81) ~ 제5 포트(85)를 구비한다. 제1 포트(81)는 배관(78)을 통하여 헤드측 포트(14a)에 접속하고, 제2 포트(82)는 배관(78A)을 통하여 로드측 포트(16a)에 접속한다. 제3 포트(83) 및 제5 포트(85)는 배기구(88)에 접속하고, 제4 포트(84)는 고압 에어 공급원(86)에 접속하고 있다.
동작 전환 밸브(80)는, 도 2에 나타내는 제1 위치에 있어서는, 제1 포트(81)와 제4 포트(84)를 연통시킴과 함께, 제2 포트(82)와 제5 포트(85)를 연통시킨다. 이와 같이 하여, 동작 전환 밸브(80)는 고압 에어 공급원(86)을 헤드측 포트(14a)에 연통시키고, 로드측 포트(16a)를 배기구(88)에 연통시켜, 작동 스트로크를 행한다.
또, 동작 전환 밸브(80)는, 제2 위치에 있어서는, 제1 포트(81)와 제3 포트(83)를 연통시킴과 함께, 제2 포트(82)와 제4 포트(84)를 연통시킨다. 이와 같이 하여, 동작 전환 밸브(80)는 로드측 포트(16a)에 고압 에어 공급원(86)을 접속시키고, 헤드측 포트(14a)에 배기구(88)를 접속시켜, 복귀 스트로크를 행한다.
에어 실린더(10) 및 그 구동장치(76)의 회로 구성은 이상과 같이 구성되고, 이하, 유량 컨트롤러(26)를 내장한 헤드 커버(14) 및 로드 커버(16)의 구체적인 구조에 대해 설명한다.
도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 헤드 커버(14)는 축방향으로 수직인 끝면(45a)이 직사각형 모양으로 형성된 박스형의 본체부(45)를 갖는다. 본체부(45)의 상면(45b)에는, 헤드측 포트(14a)와 함께, 복수의 밸브 구멍(45g)이 설치되어 있다. 이러한 밸브 구멍(45g)에, 제1 스로틀 밸브(38)(배기구(39)), 파일럿 에어 조정부(40), 셔틀 밸브(42), 및 제3 스로틀 밸브(44)가 설치되어 있다. 본체부(45)의 끝면(45a)의 네 귀퉁이에는 연결 로드(22) 및 연결 볼트(24)를 장착하기 위한 연결구멍(22a)이 형성되어 있다.
도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 본체부(45)의 제1 측면(45c) 및 제2 측면(45d)에는, 전환 밸브(28)를 형성하기 위한 전환밸브 설치구멍(46)이 개구되어 있다. 전환밸브 설치구멍(46)은 본체부(45)의 중심보다 상면(45b) 부근의 부분에 설치되어 있고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 전환밸브 설치구멍(46)은 제1 측면(45c) 측으로부터 제2 측면(45d) 측으로 관통하여 형성되어 있다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 주 유로(30)는 헤드측 포트(14a)로부터 전환밸브 설치구멍(46)을 향해 연장되어 형성되어 있고, 그 주 유로(30)의 도중에 제3 스로틀 밸브(44)가 설치되어 있다. 제1 스로틀 밸브(38) 및 배기구(39)는 이것들이 일체화된 배기 스로틀 밸브로서 구성되고, 전환밸브 설치구멍(46)의 위쪽에 설치되어 있다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 부 유로(32)는 전환밸브 설치구멍(46)의 상부로부터 제1 스로틀 밸브(38) 및 배기구(39)를 향해 위쪽으로 연장되어 형성되어 있다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 우회 유로(34)의 제1 부분(34a)은, 일단이 헤드측 포트(14a)에서 개구되고, 타단이 제1 측면(45c) 측을 향하여 연장되어 셔틀 밸브(42)에 연통한다. 또, 우회 유로(34)의 제2 부분(34b)은 셔틀 밸브(42)로부터 실린더 튜브(12)를 향해 연장되어 헤드측 압력실(12a)에 연통한다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 셔틀 밸브(42)가 설치되는 밸브 구멍(45g)은, 일정한 내경으로 아래쪽을 향해 연장되는 유로부재 수용부(70)와, 유로부재 수용부(70)의 하단에 형성된 경사부(72)를 구비한다. 경사부(72)는 아래쪽을 향해 직경이 축소되도록 경사져 있고, 경사부(72)의 하단에는 우회 유로(34)의 제1 부분(34a)이 개구된 제1 입구(42a)가 형성되어 있다. 유로부재 수용부(70)의 측부에는, 출구(42c)로서 우회 유로(34)의 제2 부분(34b)이 개구됨과 함께, 제2 입구(42b)로서 파일럿 에어 유로(36)가 개구되어 있다. 제2 입구(42b)는 출구(42c)보다 위쪽에 설치되어 있다.
셔틀 밸브(42)는 유로부재 수용부(70)에 삽입된 유로부재(43) 및 밸브체(74)를 구비한다. 유로부재(43)는 유로부재 수용부(70)보다 소직경으로 형성된 원통형의 부재이며, 내부에 분기유로(43a)를 구비한다. 분기유로(43a)의 상단은 강철구(43d)에 의해 밀봉되고, 분기유로(43a)의 하단은 출구(42c) 부근에서 유로부재 수용부(70) 내에 개구되어 있다. 분기유로(43a)의 제2 입구(42b)의 근방에는, 직경방향으로 관통하는 통기구멍(43e)이 형성되어 있고, 이 통기구멍(43e)을 통하여 분기유로(43a)와 제2 입구(42b)가 연통한다. 유로부재(43)의 상단은 유로부재 수용부(70)의 내경과 대략 동일한 외경으로 형성되어 있고, 유로부재 수용부(70)와 밀착하여 유로부재(43)가 유로부재 수용부(70)에 고정되어 있다. 또, 유로부재(43)의 외측부로서, 제2 입구(42b)와 출구(42c)와의 사이의 부분에는, 직경방향 바깥쪽으로 돌출하여 유로부재 수용부(70)에 밀착하는 칸막이부(43b)가 설치되어 있다. 칸막이부(43b)에는, O링 등으로 이루어지는 밀봉부재가 설치되어 있고, 유로부재(43)의 외측에 있어서, 제2 입구(42b)와 출구(42c)를 기밀로 나눈다.
밸브체(74)는 탄성 부재로 이루어지고, 아래쪽을 향해 볼록한 대략 원뿔의 판 모양의 부재이며, 단면이 대략 V자형으로 되어 있다. 밸브체(74)의 외경은 유로부재 수용부(70)의 내경보다 작게 형성되어 있고, 유로부재 수용부(70)의 내부에서 상하 방향으로 변위 가능하게 배치되어 있다. 밸브체(74)의 아래쪽은, 경사부(72)에 면접촉하여 밀착 가능한 경사면으로 구성되어 있다. 또, 밸브체(74)의 상단 중앙부에는, 원추형의 돌기부(75)가 형성되어 있다. 돌기부(75)는 밸브체(74)가 위쪽으로 변위했을 때에 분기유로(43a)에 삽입되어 분기유로(43a)를 기밀로 밀봉한다.
밸브체(74)는, 도 4a의 위치에 있어서는, 아래쪽이 경사부(72)에 밀착하고, 제1 입구(42a)와 출구(42c)를 기밀로 밀봉함과 함께, 제2 입구(42b)와 출구(42c)를 연통시킨다. 밸브체(74)는, 제1 입구(42a) 측의 압력이 출구(42c) 측의 압력보다 높아지면, 도 5a와 같이 위쪽으로 변위한다. 이 상태에서는, 밸브체(74)가 분기유로(43a)를 폐쇄하여 제2 입구(42b)와 출구(42c)와의 연통을 저지함과 함께, 제1 입구(42a)와 출구(42c)를 연통시킨다. 즉, 밸브체(74)는 우회 유로(34)의 제1 부분(34a)과 제2 부분(34b)을 연통시킨다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 파일럿 에어 조정부(40)는 셔틀 밸브(42)의 제1 측면(45c) 측에 인접하여 배치되어 있다. 파일럿 에어 조정부(40)는 제2 스로틀 밸브(40a)와 체크 밸브(40b)가 일체화된 체크 밸브 장착식 스로틀 밸브로서 구성되어 있다. 파일럿 에어 유로(36)는 셔틀 밸브(42)와 파일럿 에어 조정부(40)와의 사이 및 파일럿 에어 조정부(40)와 전환밸브 설치구멍(46)과의 사이에 형성되어 있다.
파일럿 에어 유로(36)의 단부는, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1 캡(48a)의 근방에서 전환밸브 설치구멍(46)에 개구되어 있다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 실린더 유로(33)의 한쪽 단부는 주 유로(30)와 부 유로(32)(도 4b 참조)와의 사이의 부위에서 전환밸브 설치구멍(46)에 개구되어 있다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 실린더 유로(33)는 전환밸브 설치구멍(46)으로부터 실린더 튜브(12)를 향해 연장되고, 실린더 유로(33)의 다른쪽 단부는 헤드측 압력실(12a)에서 개구된다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 전환 밸브(28)는, 전환밸브 설치구멍(46)에 설치된 원통형의 스풀 가이드 부재(52)와, 스풀 가이드 부재(52)의 내부에서 슬라이딩하는 스풀(50)을 구비한 스풀 밸브로서 구성되어 있다. 전환밸브 설치구멍(46)은 대략 일정한 직경으로 형성된 관통구멍으로서 형성되고, 제1 측면(45c) 측의 단부는 제1 캡(48a)으로 밀봉되고, 제2 측면(45d) 측의 단부는 제2 캡(48b)으로 밀봉되어 있다. 캡(48a, 48b)은 빠짐방지 클립(49)에 의해 전환밸브 설치구멍(46)에 고정되어 있다. 캡(48a, 48b) 사이의 전환밸브 설치구멍(46)에 스풀 가이드 부재(52)가 설치되어 있다.
스풀 가이드 부재(52)는, 전환밸브 설치구멍(46)에 밀착하는 외주부(52a)와, 스풀(50)이 삽입되는 내주부(52b)를 가지고 있다. 스풀 가이드 부재(52)에는, 외주부(52a) 및 내주부(52b)를 원주방향으로 홈 형상으로 절결시켜 이루어지는 제1 연통홈(53a) ~ 제3 연통홈(53c)이 형성되어 있다. 제1 연통홈(53a)은 제2 측면(45d) 측에 형성되어 주 유로(30)와 연통한다. 제2 연통홈(53b)은 제1 측면(45c) 측에 형성되어 부 유로(32)와 연통하고, 제3 연통홈(53c)은 제1 연통홈(53a)과 제2 연통홈(53b)과의 사이에 형성되어 실린더 유로(33)와 연통한다. 제1 연통홈(53a) ~ 제3 연통홈(53c) 각각에는, 원주방향의 복수개소에 환기구(53a1, 53b1, 53c1)가 설치되어 있고, 외주부(52a) 측과 내주부(52b) 측이 연통하고 있다.
스풀(50)은, 스풀 가이드 부재(52)와 제1 캡(48a)과의 사이에 수용되는 피스톤부(54)와, 스풀 가이드 부재(52)의 내주부(52b)에 삽입되는 스풀부(56)를 구비한다. 피스톤부(54)는 스풀부(56)보다 큰 직경을 가지고 있고, 그 외주에 패킹(66)이 장착되어 있다. 피스톤부(54)는, 스풀 가이드 부재(52)와 제1 캡(48a)과의 사이의 공간을, 제1 캡(48a) 측의 공실(46a)과 스풀 가이드 부재(52) 측의 공실(46b)로 나눈다. 공실(46a)은 파일럿 에어 유로(36)에 연통하고 있다. 또, 공실(46b)은 에어 벤트 구멍(69)에 연통하고 있다. 또, 공실(46b)에는, 피스톤부(54)를 제1 캡(48a) 측에 가압하는 복귀 스프링(28a)이 배치되어 있다.
스풀부(56)는 피스톤부(54)와 일체로 형성됨과 함께, 스풀 가이드 부재(52) 측을 향하여 연장되어 있다. 스풀부(56)는 축방향의 양단부에 형성된 가이드 단부(56a, 56b)를 구비한다. 가이드 단부(56a, 56b)는 스풀 가이드 부재(52)의 내주부(52b)의 내경보다 약간 작은 외경으로 형성되고, 스풀(50)의 축방향의 이동을 안내한다. 또, 가이드 단부(56a, 56b)에는, 축방향을 따른 에어의 누설을 방지할 수 있도록, 각각 패킹(68)이 설치되어 있다. 가이드 단부(56a, 56b)의 사이에는, 제1 밀봉벽(62) 및 제2 밀봉벽(64)이 설치되어 있다.
제1 밀봉벽(62)은 스풀 가이드 부재(52)의 내주부(52b)보다 약간 작은 외경으로 형성되고, 그 외주부분에 패킹(68)을 구비한다. 제1 밀봉벽(62)은, 도 4b에 나타내는 제1 위치에 있어서, 제2 연통홈(53b)과 제3 연통홈(53c)과의 사이에 위치되어 이것들의 연통을 저지하는 위치에 형성되어 있다.
제2 밀봉벽(64)은 제1 밀봉벽(62)과 동등한 외경으로 형성되고, 그 외주부분에 패킹(68)을 구비한다. 제2 밀봉벽(64)은, 도 6b에 나타내는 제2 위치에 있어서, 제1 연통홈(53a)과 제3 연통홈(53c)과의 사이에 위치되어 이것들의 연통을 저지하는 위치에 형성되어 있다.
또, 스풀부(56)에는, 원주방향 전체에 걸쳐 홈 모양으로 절결된 오목부(58a, 58b, 58c)가 형성되어 있다. 오목부(58a)는 가이드 단부(56a)와 제2 밀봉벽(64)과의 사이에 형성되고, 오목부(58b)는 제1 밀봉벽(62)과 제2 밀봉벽(64)과의 사이에 형성되고, 오목부(58c)는 제1 밀봉벽(62)과 가이드 단부(56b)와의 사이에 형성되어 있다. 오목부(58a, 58b, 58c)는 스풀부(56)와 스풀 가이드 부재(52)와의 사이에 큰 단면적의 에어 유로를 형성함으로써, 고압 에어 또는 배기 에어의 통과를 용이하게 한다.
헤드 커버(14)는 이상과 같이 구성된다. 또, 로드 커버(16)는, 도 1a에 도시된 바와 같이, 피스톤 로드(20)가 삽입되는 삽입구멍(47)을 가지고 있는 것 외에는, 헤드 커버(14)와 실질적으로 동일한 구조로 되어 있기 때문에, 로드 커버(16)와 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다. 단, 헤드측의 유량 컨트롤러(26)의 주 유로(30), 부 유로(32), 실린더 유로(33), 우회 유로(34), 전환 밸브(28), 파일럿 에어 조정부(40), 및 셔틀 밸브(42)에 대해서는, 각각 참조 번호에 A를 부여하여 구별해서 나타낸다.
본 실시형태의 에어 실린더(10)는 이상과 같이 구성되고, 이하 에어 실린더(10)의 작용에 대해 그 동작과 함께 설명한다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 작동 스트로크에서는, 헤드측 포트(14a)로부터 고압 에어가 도입된다. 고압 에어는 주 유로(30) 및 우회 유로(34)에 도입된다. 셔틀 밸브(42)는, 고압 에어에 의해 밸브체(74)가 위쪽으로 변위하여 제1 입구(42a)와 출구(42c)가 연통하고, 우회 유로(34)의 제1 부분(34a)과 제2 부분(34b)이 연통한다. 이것에 의해, 고압 에어는 우회 유로(34)를 통해서 헤드측 압력실(12a)(도 3b참조)에 유입된다.
또, 주 유로(30)에 도입된 고압 에어는, 제3 스로틀 밸브(44)(도 3b참조)를 거쳐, 스풀 가이드 부재(52)의 제1 연통홈(53a)에 유입된다. 전환 밸브(28)의 스풀(50)은 도 5b에 나타내는 제1 위치에 있고, 주 유로(30)로부터 전환 밸브(28)에 유입된 고압 에어는 오목부(58a)를 통해서 제3 연통홈(53c)에 유입되고, 실린더 유로(33)를 통해서 헤드측 압력실(12a)(도 3b참조)에 유입된다. 이와 같이 하여 작동 스트로크에서는, 헤드 커버(14)에서는, 주 유로(30) 및 우회 유로(34)를 통하여 고압 에어가 도입된다. 우회 유로(34)는 제3 스로틀 밸브(44)를 우회하고 있기 때문에, 고압 에어는 자유 흐름으로 헤드측 압력실(12a)(도 3b참조)에 도입된다.
한편, 로드 커버(16)에서는, 작동 스트로크에 있어서, 도 2에 도시된 바와 같이, 로드측 압력실(12b)로부터 배출된 배기 에어가 실린더 유로(33A) 및 우회 유로(34A)의 제2 부분(34b)에 유입된다. 제2 부분(34b)로부터 셔틀 밸브(42A)에 유입된 배기 에어는, 도 4a에 도시된 바와 같이, 밸브체(74)를 아래쪽으로 변위시킨다. 이것에 의해, 우회 유로(34A)의 제1 부분(34a)과 제2 부분(34b)이 차단된다. 또, 배기 에어의 일부는 셔틀 밸브(42A)의 제2 입구(42b) 및 파일럿 에어 유로(36)를 통해서 파일럿 에어 조정부(40A)에 유입된다. 그리고, 파일럿 에어 조정부(40A)에서 소정 유량으로 교축된 배기 에어가 파일럿 에어로서 피스톤부(54)에 인접하는 공실(46a)에 유입된다.
로드측의 전환 밸브(28A)는, 스풀(50)이 복귀 스프링(28a)에 의해 가압되어 제1 위치에 있기 때문에, 실린더 유로(33)로부터 전환 밸브(28A)에 유입된 배기 에어는 제3 연통홈(53c), 오목부(58a) 및 제1 연통홈(53a)을 통하여 주 유로(30A)에 유입된다. 주 유로(30A)의 제3 스로틀 밸브(44)에 의해 유량이 규제되면서, 로드측 포트(16a)로부터 배출된다. 이와 같이, 유량 컨트롤러(26A)는 에어 실린더(10)로부터의 배기 에어로 피스톤(18)의 동작 속도를 규제하는 미터 아웃의 스피드 컨트롤러를 구성한다.
로드 커버(16)는, 도 6a에 도시된 바와 같이 파일럿 에어가 흐르고, 피스톤(18)의 이동에 수반하여 서서히 공실(46a)의 파일럿 에어의 압력이 증가한다. 그리고, 파일럿 에어의 압력이 소정값을 넘으면, 도 6b에 도시된 바와 같이, 피스톤부(54)가 복귀 스프링(28a)의 탄성력에 대항하여 제2 위치로 변위한다. 스풀(50)이 제2 위치로 변위하면, 제1 연통홈(53a)과 제3 연통홈(53c)과의 연통이 저지되고, 제3 연통홈(53c)과 제2 연통홈(53b)이 연통한다. 즉, 실린더 유로(33A)와 부 유로(32A)가 연통한다. 배기 에어는 오목부(58c)를 통과해 부 유로(32A)에 유입되고, 제1 스로틀 밸브(38)로 유량이 규제되면서, 배기구(39)로부터 방출된다. 배기 에어는 제1 스로틀 밸브(38)에 의해 보다 강하게 교축되기 때문에, 피스톤(18)의 동작 속도를 감속시킨다. 파일럿 에어 조정부(40)의 조임량을 적절히 조정해 둠으로써, 피스톤(18)의 스트로크 엔드 부근에서 스풀(50)이 제1 위치로부터 제2 위치로 전환되고, 스트로크 엔드에서의 피스톤(18)의 충격이 완화된다.
그 후, 피스톤(18)이 정지하면, 배기 에어의 유입이 정지하고, 전환 밸브(28A)의 파일럿 에어가 파일럿 에어 조정부(40A)의 체크 밸브(40b)를 통해서 배출된다. 그리고, 전환 밸브(28A)의 스풀(50)이 복귀 스프링(28a)의 탄성력에 의해 제1 위치로 복귀한다.
이상에 의해, 에어 실린더(10)의 작동 스트로크의 동작이 완료된다. 동작 전환 밸브(80)가 제1 위치로부터 제2 위치로 전환됨으로써, 복귀 스트로크가 개시된다. 복귀 스트로크에서는, 헤드측의 유량 컨트롤러(26)에 배기 에어가 유입되고, 로드측의 유량 컨트롤러(26A)를 통해서 고압 에어가 도입된다. 복귀 스트로크에서의 에어 실린더(10)의 동작은, 상기의 작동 스트로크의 동작이 헤드측의 유량 컨트롤러(26)와 로드측의 유량 컨트롤러(26A)로 바뀌는 것뿐이고, 실질적으로 동일하기 때문에, 그 설명은 생략한다.
본 실시형태의 에어 실린더(10) 그리고 헤드 커버(14) 및 로드 커버(16)는 이하의 효과를 거둔다.
본 실시형태의 에어 실린더(10)는, 내부에 실린더실(12c)이 형성된 실린더 튜브(12)와, 실린더 튜브(12)의 일단을 폐쇄하는 헤드 커버(14)와, 실린더 튜브(12)의 타단을 폐쇄하는 로드 커버(16)와, 실린더 튜브(12) 내를 슬라이딩하는 피스톤(18)과, 일단이 피스톤(18)에 연결된 피스톤 로드(20)와, 헤드 커버(14) 및 로드 커버(16)에 각각 설치된 포트(14a, 16a)와, 헤드 커버(14) 및 로드 커버(16)의 적어도 한쪽에 내장된 유량 컨트롤러(26)를 구비하고, 유량 컨트롤러(26)는, 포트(14a, 16a)에 연통한 주 유로(30)와, 주 유로(30)에 병설되고, 주 유로(30)보다 적은 유량으로 에어의 유량을 교축시키는 제1 스로틀 밸브(38)를 가지는 부 유로(32)와, 실린더실(12c)에 연통하는 실린더 유로(33)와, 주 유로(30), 부 유로(32) 및 실린더 유로(33)에 접속되고, 실린더 유로(33)를 주 유로(30)에 연통시키는 제1 위치와 실린더 유로(33)를 부 유로(32)에 연통시키는 제2 위치로 전환되는 전환 밸브(28)와, 실린더 유로(33)의 배기 에어의 일부를 파일럿 에어로서 전환 밸브(28)에 안내하는 파일럿 에어 조정부(40)를 구비하고, 파일럿 에어 조정부(40)는 전환 밸브(28)로의 파일럿 에어의 유입 속도를 규제하는 제2 스로틀 밸브(40a)를 가지며, 전환 밸브(28)는 파일럿 에어의 압력의 상승에 의해 제1 위치로부터 제2 위치로 전환된다.
본 실시형태의 유량 컨트롤러(26)에서는, 배기 에어의 일부를 파일럿 에어로서 이용한다. 파일럿 에어 조정부(40)는 전환 밸브(28)에 유입되는 파일럿 에어의 유량을 규제하는 미터 인의 스피드 컨트롤러로서 기능한다. 파일럿 에어 조정부(40)의 제2 스로틀 밸브(40a)에는, 피스톤(18)의 이동에 수반하여 항상 충분한 압력이 계속 작용하기 때문에, 제2 스로틀 밸브(40a)를 통과하는 파일럿 에어의 감소를 막을 수 있고, 전환 밸브(28)의 동작 타이밍을 안정화시킬 수 있다.
상기의 에어 실린더(10)에 있어서, 유량 컨트롤러(26)는, 전환 밸브(28)를 우회하여 포트(14a, 16a)와 실린더실(12c)을 연통시키는 우회 유로(34)와, 제1 입구(42a), 제2 입구(42b), 및 출구(42c)를 갖고, 제1 입구(42a)에 우회 유로(34)의 포트(14a, 16a)에 연통하는 제1 부분(34a)이 접속되고, 출구(42c)에 우회 유로(34)의 실린더실(12c)에 연통하는 제2 부분(34b)이 접속되고, 제2 입구(42b)에 파일럿 에어 조정부(40)가 접속된 셔틀 밸브(42)를 더 구비하고, 셔틀 밸브(42)는, 포트(14a, 16a)의 압력이 실린더실(12c)의 압력보다 높아지면 제2 입구(42b)를 폐쇄하고 제1 입구(42a)와 출구(42c)를 연통시키고, 실린더실(12c)의 압력이 포트(14a, 16a)의 압력보다 높아지면 제1 입구(42a)를 폐쇄하고 제2 입구(42b)와 출구(42c)를 연통시키도록 구성할 수도 있다. 이와 같이 구성함으로써, 우회 유로(34)는 배기 에어를 파일럿 에어 조정부(40)에 안내하는 배기 유로로서 기능함과 함께, 고압 에어의 도입 유로가 된다. 이것에 의해, 유량 컨트롤러(26)의 전환 동작의 안정화와 에어 실린더(10)의 동작 속도의 향상을 양립시킬 수 있다.
상기의 에어 실린더(10)에 있어서, 전환 밸브(28)는, 헤드 커버(14) 또는 로드 커버(16)의 본체부(45)에 형성된 전환밸브 설치구멍(46)과, 전환밸브 설치구멍(46)의 내주면을 따라 배치된 스풀 가이드 부재(52)와, 스풀 가이드 부재(52)의 내주부(52b)를 삽입하는 스풀(50)과, 전환밸브 설치구멍(46)의 내부에 설치되고 스풀(50)을 제1 위치로 가압하는 복귀 스프링(28a)을 가지며, 스풀(50)은, 스풀 가이드 부재(52)의 내주부(52b)에서 슬라이딩하여 유로의 접속처를 전환하는 스풀부(56)와, 파일럿 에어의 압력을 받아 제2 위치를 향해 가압되는 피스톤부(54)를 가질 수도 있다. 이와 같이 구성함으로써, 헤드 커버(14) 또는 로드 커버(16)의 본체부(45)의 내부에, 전환 밸브(28)를 포함한 유량 컨트롤러(26)를 컴팩트하게 내장시킬 수 있다.
상기의 에어 실린더(10)에 있어서, 주 유로(30)는 제3 스로틀 밸브(44)를 갖고, 우회 유로(34)는 전환 밸브(28) 및 제3 스로틀 밸브(44)를 우회하여 포트(14a, 16a)와 실린더실(12c)을 연결할 수도 있다. 이와 같이 구성하면, 고압 에어는 제3 스로틀 밸브(44)를 우회하는 우회 유로(34)를 통해서 실린더실(12c)에 유입되기 때문에, 에어 실린더(10)의 동작 속도를 향상시킬 수 있다.
상기의 에어 실린더(10)에 있어서, 전환밸브 설치구멍(46)은 실린더 튜브(12)의 축방향과 직교하는 방향으로 연장되어 형성되어 있을 수도 있다. 이것에 의해, 에어 실린더(10)의 실린더 튜브(12)의 축방향의 치수를 소형화할 수 있다.
본 실시형태의 헤드 커버(14)는 실린더 튜브(12)의 헤드측의 단부를 덮는 에어 실린더(10)의 헤드 커버(14)로서, 포트(14a)와, 포트(14a)에 연통한 주 유로(30)와, 주 유로(30)에 병설되고, 주 유로(30)보다 적은 유량으로 에어의 유량을 교축시키는 제1 스로틀 밸브(38)를 가지는 부 유로(32)와, 실린더실(12c)에 연통하는 실린더 유로(33)와, 주 유로(30), 부 유로(32) 및 실린더 유로(33)에 접속되고, 실린더 유로(33)와 주 유로(30)를 연통시키는 제1 위치와 실린더 유로(33)와 부 유로(32)를 연통시키는 제2 위치로 전환되는 전환 밸브(28)와, 실린더실(12c)의 배기 에어를 파일럿 에어로서 전환 밸브(28)에 안내하는 파일럿 에어 조정부(40)를 구비하고, 파일럿 에어 조정부(40)는 전환 밸브(28)로의 파일럿 에어의 유입 속도를 규제하는 제2 스로틀 밸브(40a)를 가지며, 전환 밸브(28)는 파일럿 에어의 압력의 증가에 의해 제1 위치로부터 제2 위치로 전환된다.
상기의 헤드 커버(14)에 의하면, 전환 밸브(28)의 전환 동작의 타이밍을 안정화시킬 수 있는 동시에, 에어 실린더(10)의 구동장치(76)의 장치 구성을 간소화할 수 있다.
본 실시형태의 로드 커버(16)는, 실린더 튜브(12)의 로드측의 단부를 덮는 에어 실린더(10)의 로드 커버(16)로서, 피스톤 로드(20)가 삽입되는 삽입구멍(47)과, 포트(16a)와, 포트(16a)에 연통한 주 유로(30A)와, 주 유로(30A)에 병설되고, 주 유로(30A)보다 적은 유량으로 에어의 유량을 교축시키는 제1 스로틀 밸브(38)를 가지는 부 유로(32A)와, 실린더실(12c)에 연통하는 실린더 유로(33A)와, 주 유로(30A), 부 유로(32A) 및 실린더 유로(33A)에 접속되고, 실린더 유로(33A)와 주 유로(30A)를 연통시키는 제1 위치와 실린더 유로(33A)와 부 유로(32A)를 연통시키는 제2 위치로 전환되는 전환 밸브(28A)와, 실린더실(12c)의 배기 에어를 파일럿 에어로서 전환 밸브(28A)에 안내하는 파일럿 에어 조정부(40A)를 구비하고, 파일럿 에어 조정부(40A)는 전환 밸브(28A)로의 파일럿 에어의 유입 속도를 규제하는 제2 스로틀 밸브(40a)를 가지며, 전환 밸브(28A)는 파일럿 에어의 압력의 증가에 의해 제1 위치로부터 제2 위치로 전환된다.
상기의 로드 커버(16)에 의하면, 전환 밸브(28A)의 전환 동작의 타이밍을 안정화시킬 수 있는 동시에, 에어 실린더(10)의 구동장치(76)의 장치 구성을 간소화할 수 있다.
상기에 있어서, 본 발명에 대해 바람직한 실시형태를 들어 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 다양한 변경이 가능하다는 것은 말할 필요도 없다.

Claims (7)

  1. 내부에 실린더실(12c)이 형성된 실린더 튜브(12)와,
    상기 실린더 튜브의 일단을 폐쇄하는 헤드 커버(14)와,
    상기 실린더 튜브의 타단을 폐쇄하는 로드 커버(16)와,
    상기 실린더실에서 슬라이딩하는 피스톤(18)과,
    일단이 상기 피스톤에 연결된 피스톤 로드(20)와,
    상기 헤드 커버 및 상기 로드 커버에 각각 설치된 포트(14a, 16a)와,
    상기 헤드 커버 및 상기 로드 커버의 적어도 한쪽에 내장된 유량 컨트롤러(26)를 포함하며,
    상기 유량 컨트롤러는,
    상기 포트에 연통한 주 유로(30)와,
    상기 주 유로에 병설되고, 상기 주 유로보다 적은 유량으로 에어의 유량을 교축시키는 제1 스로틀 밸브(38)를 가지는 부 유로(32)와,
    상기 실린더실에 연통하는 실린더 유로(33)와,
    상기 주 유로, 상기 부 유로 및 상기 실린더 유로에 접속되고, 상기 실린더 유로를 상기 주 유로에 연통시키는 제1 위치와 상기 실린더 유로를 상기 부 유로에 연통시키는 제2 위치로 전환되는 전환 밸브(28)와,
    상기 실린더 유로의 배기 에어의 일부를 파일럿 에어로서 상기 전환 밸브에 안내하는 파일럿 에어 조정부(40)를 포함하며,
    상기 파일럿 에어 조정부는 상기 전환 밸브로의 상기 파일럿 에어의 유입 속도를 규제하는 제2 스로틀 밸브(40a)를 가지며, 상기 전환 밸브는 상기 파일럿 에어의 압력의 상승에 의해 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 전환되는, 에어 실린더.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 유량 컨트롤러는,
    상기 전환 밸브를 우회하여 상기 포트와 상기 실린더실을 연통시키는 우회 유로(34)와,
    제1 입구(42a), 제2 입구(42b), 및 출구(42c)를 갖고, 상기 제1 입구에 상기 우회 유로의 상기 포트에 연통하는 제1 부분(34a)이 접속되고, 상기 출구에 상기 우회 유로의 상기 실린더실에 연통하는 제2 부분(34b)이 접속되고, 상기 제2 입구에 상기 파일럿 에어 조정부가 접속된 셔틀 밸브(42)
    를 포함하며,
    상기 셔틀 밸브는, 상기 포트의 압력이 상기 실린더실의 압력보다 높아지면 상기 제2 입구를 폐쇄하고 상기 제1 입구와 상기 출구를 연통시키고, 상기 실린더실의 압력이 상기 포트의 압력보다 높아지면 상기 제1 입구를 폐쇄하고 상기 제2 입구와 상기 출구를 연통시키는, 에어 실린더.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 주 유로는 제3 스로틀 밸브(44)를 갖고, 상기 우회 유로는 상기 전환 밸브 및 상기 제3 스로틀 밸브를 우회하여 상기 포트와 상기 실린더실을 연결하는, 에어 실린더.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 전환 밸브는, 상기 헤드 커버 또는 상기 로드 커버의 본체부(45)에 형성된 전환밸브 설치구멍(46)과, 상기 전환밸브 설치구멍의 내주면을 따라 배치된 스풀 가이드 부재(52)와, 상기 스풀 가이드 부재의 내주부(52b)에 삽입되는 스풀(50)과, 상기 전환밸브 설치구멍의 내부에 설치되고 상기 스풀을 상기 제1 위치로 가압하는 복귀 스프링(28a)을 가지며,
    상기 스풀은, 상기 스풀 가이드 부재의 상기 내주부를 슬라이딩하여 유로의 접속처를 전환하는 스풀부(56)와, 상기 파일럿 에어의 압력을 받아 상기 제2 위치를 향해 가압되는 피스톤부(54)를 가지는, 에어 실린더.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 전환밸브 설치구멍은 상기 실린더 튜브의 축방향과 직교하는 방향으로 연장되어 형성되어 있는, 에어 실린더.
  6. 실린더 튜브의 헤드측의 단부를 덮는 에어 실린더의 헤드 커버로서,
    포트와,
    상기 포트에 연통한 주 유로와,
    상기 주 유로에 병설되고, 상기 주 유로보다 적은 유량으로 에어의 유량을 교축시키는 제1 스로틀 밸브를 가지는 부 유로와,
    상기 실린더 튜브의 실린더실에 연통하는 실린더 유로와,
    상기 주 유로, 상기 부 유로 및 상기 실린더 유로에 접속되고, 상기 실린더 유로와 상기 주 유로를 연통시키는 제1 위치와 상기 실린더 유로와 상기 부 유로를 연통시키는 제2 위치로 전환되는 전환 밸브와,
    상기 실린더실의 배기 에어를 파일럿 에어로서 상기 전환 밸브에 안내하는 파일럿 에어 조정부
    를 포함하며,
    상기 파일럿 에어 조정부는 상기 전환 밸브로의 상기 파일럿 에어의 유입 속도를 규제하는 제2 스로틀 밸브를 가지며, 상기 전환 밸브는 상기 파일럿 에어의 압력의 증가에 의해 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 전환되는, 헤드 커버.
  7. 실린더 튜브의 로드측의 단부를 덮는 에어 실린더의 로드 커버로서,
    피스톤 로드가 삽입되는 삽입구멍과,
    포트와,
    상기 포트에 연통한 주 유로와,
    상기 주 유로에 병설되고, 상기 주 유로보다 적은 유량으로 에어의 유량을 교축시키는 제1 스로틀 밸브를 가지는 부 유로와,
    상기 실린더 튜브의 실린더실에 연통하는 실린더 유로와,
    상기 주 유로, 상기 부 유로 및 상기 실린더 유로에 접속되고, 상기 실린더 유로와 상기 주 유로를 연통시키는 제1 위치와 상기 실린더 유로와 상기 부 유로를 연통시키는 제2 위치로 전환되는 전환 밸브와,
    상기 실린더실의 배기 에어를 파일럿 에어로서 상기 전환 밸브에 안내하는 파일럿 에어 조정부
    를 포함하며,
    상기 파일럿 에어 조정부는 상기 전환 밸브로의 상기 파일럿 에어의 유입 속도를 규제하는 제2 스로틀 밸브를 가지며, 상기 전환 밸브는 상기 파일럿 에어의 압력의 증가에 의해 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 전환되는, 로드 커버.
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