KR20220046738A - 표시 장치 및 이의 제조방법 - Google Patents

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KR20220046738A
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김상훈
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이상신
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Abstract

본 발명의 실시예들은 표시 장치 및 이의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 기판과, 상기 기판 상에 배치되며, 적어도 하나 이상의 개구영역을 포함한 화소정의막과, 상기 화소정의막 상에 배치되며, 상기 개구영역을 차폐하는 유기 발광층을 포함하고, 평면 상의 상기 개구영역의 중심과 상기 유기 발광층의 중심은 서로 상이한 위치에 배치된다.

Description

표시 장치 및 이의 제조방법{Display device and method for manufacturing the same}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시장치를 포함한다. 최근, 표시장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
이러한 표시 장치는 빛을 발광하는 부화소를 포함하고, 부화소는 다양한 층을 적층하여 형성할 수 있다. 이때, 부화소를 형성하는 다양한 층의 위치를 정밀하게 조절하는 것이 표시 장치의 성능에 상당히 중요한 문제이다.
일반적으로 유기 발광층의 형성 시 사용하는 마스크 시트는 인장하여 사용함으로써 마스크 시트의 개구부의 위치가 설계된 위치와 상이해질 수 있다. 이러한 경우 표시 장치의 작동 시 선명한 이미지를 구현하는 것이 어려울 수 있다. 본 발명의 실시예들은 선명한 이미지를 제공하는 표시 장치 및 선명한 이미지를 제공하는 표시 장치를 제조하는 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 기판과, 상기 기판 상에 배치되며, 적어도 하나 이상의 개구영역을 포함한 화소정의막과, 상기 화소정의막 상에 배치되며, 상기 개구영역을 차폐하는 유기 발광층을 포함하고, 평면 상의 상기 개구영역의 중심과 상기 유기 발광층의 중심은 서로 상이한 위치에 배치된 표시 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 평면 상에서 상기 개구영역은 상기 유기 발광층의 내부에 삽입되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 기판과 화소정의막 상에 배치되며, 상기 개구영역을 통하여 외부로 노출되는 화소전극을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 평면 상에서 상기 화소전극의 중심은 상기 유기 발광층의 중심 및 상기 개구영역의 중심 중 적어도 하나와 상이한 위치에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 일 방향으로 상기 개구영역의 양단 중 하나에 배치되며, 상기 화소정의막 내부에 배치된 상기 화소전극의 제1길이는 상기 개구영역의 양단 중 다른 하나에 배치되며, 상기 화소정의막 내부에 배치된 상기 화소전극의 제2길이는 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 일 방향으로 측정된 상기 개구부영역의 중심에서 상기 유기 발광층의 끝단 중 하나까지의 거리는 상기 개구영역의 중심에서 상기 유기 발광층의 끝단 중 다른 하나까지의 거리는 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 개구영역의 테두리로부터 상기 유기 발광층의 테두리까지의 직선거리는 상기 개구영역의 테두리 중 임의의 2군데에서 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 유기 발광층은 적색, 녹색 또는 청색 중 하나의 발광하는 유기 발광층을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 기판과, 상기 기판 상에 배치되며, 복수개의 개구영역을 포함한 화소정의막과, 상기 화소정의막 상에 배치되며, 상기 각 개구영역을 차폐하는 복수개의 유기 발광층을 포함하고, 평면 상으로 볼 때 서로 대응되도록 배치되는 상기 복수개의 유기 발광층 중 제1유기 발광층의 중심과 상기 제1유기 발광층과 대응되도록 배치된 상기 제1개구영역의 중심 사이의 제1거리는 상기 복수개의 유기 발광층 중 제2유기 발광층의 중심과 상기 제2유기 발광층과 대응되도록 배치된 상기 제2개구영역의 중심 사이의 제2거리는 서로 상이한 표시 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1유기 발광층과 상기 제2유기 발광층은 서로 동일한 색을 발광할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1유기 발광층의 중심과 상기 제1개구영역의 중심은 일치할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1유기 발광층의 테두리로부터 상기 제1개구영역의 테두리까지의 거리는 상기 제1개구영역의 테두리를 따라 일정할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2유기 발광층의 테두리로부터 상기 제2개구영역의 테두리까지의 거리는 상기 제2개구영역의 테두리의 적어도 2군데에서 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1유기 발광층과 상기 제2유기 발광층 중 적어도 하나는 상기 제1유기 발광층과 상기 제2유기 발광층이 발광하는 색과 다른 색을 발광하는 유기 발광층과 평면 상에서 서로 중첩될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 시트와 디스플레이 기판을 얼라인하는 단계와, 상기 마스크 시트의 위치와 상기 디스플레이 기판의 위치가 서로 어긋나면, 화소정의막의 복수개의 개구영역 중 적어도 하나의 위치를 기존 위치와 상이한 위치로 시프트시키는 단계와, 상기 마스크 시트의 개구부를 통과한 증착물질을 상기 화소정의막의 개구영역에 증착시키는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 화소정의막 하부에 배치된 화소전극의 중심과 상기 개구영역의 중심이 서로 어긋나도록 상기 화소정의막의 개구영역을 시프트시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착물질은 상기 개구영역을 완전히 차폐할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트의 개구부의 중심은 상기 개구영역의 중심과 서로 어긋날 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 개구영역은 복수개 구비되며, 평면 상에서 볼 때 상기 개구부는 상기 복수개의 개구영역 중 하나의 개구영역과 중첩될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치는 선명한 이미지를 구현할 수 있다. 본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조방법은 외부로 노출된 화소전극 상에 유기 발광층을 정확하게 증착하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도2에 도시된 마스크 시트의 인장 전과 인장 후의 모습을 보여주는 평면도이다.
도 4a는 제1마스크 시트의 A부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 4b는 제1마스크 시트의 B부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 5a는 제2마스크 시트의 A부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 5b는 제2마스크 시트의 B부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 6a는 제3마스크 시트의 A부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 6b는 제3마스크 시트의 B부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 8a 및 도 8b는 도 7의 제1영역 및 제2영역에 배치된 화소를 보여주는 단면도이다.
도 9 및 도 10은 도 7에 도시된 화소의 회로를 보여주는 회로도이다.
도 11은 도 7에 도시된 표시 장치의 화소의 배열을 보여주는 평면도이다.
도 12a는 도 7에 도시된 제1영역의 제1-1부화소의 제1-1화소전극, 제1-1개구영역 및 제1-1유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 12b는 도 7에 도시된 제2영역의 제1-2부화소의 제1-2화소전극, 제1-2개구영역 및 제1-2유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 13a는 도 7에 도시된 제1영역의 제2-1부화소의 제2-1화소전극, 제2-1개구영역 및 제2-1유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 13b는 도 7에 도시된 제2영역의 제2-2부화소의 제2-2화소전극, 제2-2개구영역 및 제2-2유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 14a는 도 7에 도시된 제1영역의 제3-1부화소의 제3-1화소전극, 제3-1개구영역 및 제3-1유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 14b는 도 7에 도시된 제2영역의 제3-2부화소의 제3-2화소전극, 제3-2개구영역 및 제3-2유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 15a 내지 도 15m는 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 보여주는 단면도 또는 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치를 보여주는 단면도이다.
도 1을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 증착원(120), 마스크 조립체(130), 제1지지부(140), 제2지지부(150), 자기력생성부(160), 압력조절부(170) 및 비젼부(180)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일측이 개구되도록 형성되어 디스플레이 기판(D)이 인출되거나 수납될 수 있다. 이때, 개구된 챔버(110) 부분에는 게이트 밸브 등을 포함하는 차폐부(111)가 배치되어 선택적으로 개폐할 수 있다.
증착원(120)은 상기 중간층 중 적어도 하나의 층을 형성하는 증착물질이 수납될 수 있다. 이때, 증착원(120)은 에너지(예를 들면, 열에너지, 빛에니저, 진동에너지 등)를 가하여 증착물질을 기화시키거나 승화시킬 수 있다.
상기와 같은 증착원(120)은 교체 가능할 수 있다. 이때, 증착원(120)은 수납된 증착물질이 소진되는 경우 새로운 증착원(120)로 교체될 수 있다.
마스크 조립체(130)는 마스크 프레임(131), 마스크 시트(132) 및 지지프레임(133)을 포함할 수 있다.
제1지지부(140)는 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있다. 이때, 제1지지부(140)는 디스플레이 기판(D)이 안착하여 디스플레이 기판(D)을 지지하거나 디스플레이 기판(D)의 일면을 흡착하거나 부착하여 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있다. 예를 들면, 제1지지부(140)는 챔버(110) 내부에 고정되는 프레임, 바 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(140)는 디스플레이 기판(D)을 파지하는 클램프를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1지지부(140)는 점착척이나 정전척을 포함하는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1지지부(140)는 자기력생성부(160)과 일체로 형성될 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1지지부(140)는 로딩부에서 디스플레이 기판(D)을 이송시키는 셔틀을 포함하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(140)는 셔틀을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2지지부(150)는 마스크 조립체(130)를 지지할 수 있다. 이때, 제2지지부(150)는 상기에서 설명한 제1지지부(140)와 동일 또는 유사할 수 있으므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상세한 설명을 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 제2지지부(150)가 챔버(110) 내부에 고정되는 프레임을 포함하고, 마스크 조립체(130)는 상기 프레임에 안착하여 지지되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
자기력생성부(160)는 챔버(110)에 배치되어 마스크 프레임(131)을 디스플레이 기판(D)에 밀착시킬 수 있다. 이때, 자기력생성부(160)는 전자석을 포함할 수 있다.
압력조절부(170)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 이때, 압력조절부(170)는 챔버(110)와 연결되는 배관과 배관에 배치되는 펌프를 포함할 수 있다.
비젼부(180)는 챔버(110)의 외부에 배치되거나 챔버(110)에 일부가 삽입되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 비젼부(180)는 마스크 조립체(130)의 얼라인마크와 기판의 얼라인마크를 촬영할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)의 작동을 살펴보면, 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판(D)이 별도로 구비된 로딩부로 이송된 후 상기 로딩부는 디스플레이 기판(D)을 표시 장치의 제조장치(100)로 이송시킬 수 있다.
표시 장치의 제조장치(100)는 증착원(120)으로 증착물질을 공급하여 디스플레이 기판(D) 상에 중간층 중 유기 발광을 형성할 수 있다. 이때, 증착물질은 마스크 시트(132)의 개구부(132a)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다.
하나의 표시 장치의 제조장치(100)에서 디스플레이 기판(D) 상에 배치된 유기 발광층은 서로 동일한 색을 발광할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D) 상에 다른 색을 발광하는 유기 발광층을 형성하는 경우 다른 표시 장치의 제조장치(100)에서 디스플레이 기판(D) 상에 유기 발광층을 형성할 수 있다. 이러한 경우 서로 다른 표시 장치의 제조장치(100)는 서로 연결되며 디스플레이 기판(D)은 서로 연결된 표시 장치의 제조장치(100)를 통과하면서 각 유기 발광층을 디스플레이 기판(D) 상에 배치할 수 있다.
상기와 같은 과정이 완료되면, 디스플레이 기판(D)은 별도로 구비된 언로딩부(미도시)를 통하여 외부로 반출되거나 다음 단계를 위한 장치(또는 장비)로 공급될 수 있다. 이후 디스플레이 기판(D) 상에 상기 대향 전극 및 상기 박막 봉지층 등을 형성하여 상기 표시 장치의 제조를 완료할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 증착 패턴을 갖는 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 3은 도2에 도시된 마스크 시트의 인장 전과 인장 후의 모습을 보여주는 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 마스크 조립체(130)는 마스크 프레임(131), 마스크 시트(132) 및 지지프레임(133)을 포함할 수 있다.
마스크 프레임(131)은 중앙에 개구부가 형성될 수 있다. 이러한 경우 마스크 프레임(131)은 창틀과 같은 형태로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 프레임(131)은 중앙에 개구부가 형성되고, 이러한 개구부를 격자 형태로 나누는 별도의 프레임이 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 프레임(131)은 중앙에 하나의 개구부가 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(132)는 제1 방향 및 제2 방향 중 적어도 하나의 방향으로 인장된 상태로 마스크 프레임(131)의 일면에 배치되어 용접 등을 통하여 마스크 프레임(131)에 고정될 수 있다. 이때, 마스크 프레임(131)에는 마스크 시트(132)가 수납되도록 홈이 형성되는 것도 가능하다. 마스크 시트(132)는 사각형 형태로 형성될 수 있으며, 마스크 프레임(131)의 일변으로 배치될 수 있다. 또한, 마스크 시트(132)는 슬릿 형태로 형성될 수 있다.
상기와 같은 마스크 시트(132)는 단수개 구비되거나 복수개 구비될 수 있다. 마스크 시트(132)가 단수개 구비되는 경우 하나의 마스크 시트(132)가 마스크 프레임(131) 상에 배치될 수 있다. 마스크 시트(132)가 복수개 구비되는 경우, 복수개의 마스크 시트(132)는 제1 방향 또는 제2 방향으로 서로 인접하도록 일렬로 배열될 수 있다. 특히 이러한 경우 마스크 시트(132)의 장변은 마스크 프레임(131)의 장변 또는 단변과 평행하도록 배치될 수 있다.
마스크 시트(132)에는 복수개의 개구부(132a)를 구비할 수 있다. 이때, 복수개의 개구부(132a)는 제1 방향 및 제2 방향으로 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 이러한 복수개의 개구부(132a)는 마스크 시트(132)의 길이 방향을 따라 하나의 그룹을 형성할 수 있다. 이때, 하나의 그룹을 형성하는 복수개의 개구부(132a)는 증착영역(DPA) 상에 배치됨으로써 후술할 표시 영역(미표기) 상에 배치된 개구영역에 대응되도록 배치될 수 있다. 상기와 같은 증착영역(DPA)은 하나의 마스크 시트(132)에 하나만 구비되는 것도 가능하고, 복수개 구비되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착영역(DPA)이 복수개 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 증착영역(DPA) 상에는 복수개의 개구부(132a)가 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 증착영역(DPA)은 후술할 표시 영역(DA)의 형태에 대응될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착영역(DPA)은 직사각형 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
지지프레임(133)은 마스크 프레임(131)에 배치되어 마스크 프레임(131)을 지지할 뿐만 아니라 마스크 시트(132)를 지지하는 것도 가능하다. 이때, 지지프레임(133)은 격자 형태로 마스크 프레임(131)에 배치됨으로써 하나의 표시 장치(미도시)의 표시 영역(미도시)를 정의할 수 있다. 즉, 지지프레임(133)은 마스크 프레임(131)의 중앙 개구부를 복수개 영역으로 구분함으로써 복수개의 표시 영역을 정의할 수 있다.
한편, 상기와 같은 마스크 시트(132)는 상기에서 설명한 바와 같이 마스크 프레임(131)에 인장된 상태에서 고정될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 증착영역(DPA) 중 적어도 하나에서 증착영역(DPA)의 테두리 부분이 변형될 수 있다.
예를 들면, 마스크 시트(132)의 중앙에 배치된 증착영역(DPA)의 측면 테두리는 마스크 시트(132)의 내부로 인입되어 곡선을 형성할 수 있다. 반면, 마스크 시트(132)의 끝단 부분에 배치된 증착영역(DPA)의 테두리 중 일부는 볼록한 형태가 될 수 있다. 상기와 같이 마스크 시트(132)를 인장하는 경우 증착영역(DPA)의 형태가 최초 형태인 직사각형과 상이해질 수 있다. 이러한 경우 증착영역(DPA) 내부에 배치된 복수개의 개구부(132a) 중 적어도 하나의 위치가 최초의 위치와 상이해짐으로써 개구부(132a)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착되는 증착물질의 경로가 설계된 값과 상이해질 수 있다. 이러한 경우 화소정의막(29)의 개구영역(OP) 전체를 덮도록 증착물질이 도포되지 않음으로써 불량 부화소가 발생하거나 해당 부화소에서 선명한 빛을 발광하지 못할 수 있다.
상기와 같은 마스크 조립체(130)는 각 부화소에 배치된 유기 발광층에 따라 서로 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 복수개의 부화소 중 제1색(예를 들면, 적색, 녹색, 파란색 중 하나 또는 적색, 노란색, 파란색 중 하나 등)을 발광하는 유기 발광층을 형성하는 경우 하기에서 설명할 제1마스크 시트(132-1)를 사용할 수 있으며, 복수개의 부화소 중 제2색(예를 들면, 적색, 녹색, 파란색 중 다른 하나 또는 적색, 노란색, 파란색 중 다른 하나 등)을 발광하는 유기 발광층을 형성하는 경우 하기에서 설명할 제2마스크 시트(132-2)를 사용할 수 있다. 또한, 복수개의 부화소 중 제3색(예를 들면, 적색, 녹색, 파란색 중 또 다른 하나 또는 적색, 노란색, 파란색 중 또 다른 하나 등)을 발광하는 유기 발광층을 형성하는 경우 하기에서 설명할 제3마스크 시트(132-3)를 사용할 수 있다.
도 4a는 제1마스크 시트의 A부분을 확대하여 보여주는 평면도이다. 도 4b는 제1마스크 시트의 B부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참고하면, 복수개의 부화소 중 하나의 부화소에 배치되는 유기 발광층을 형성하는 제1마스크 시트(132-1)의 제1개구부(미표기) 중 도 3에 도시된 A영역과 B영역에 배치되는 상기 제1개구부의 위치는 기존에 배치된 상기 제1개구부의 위치와 상이해질 수 있다. 즉, 제1마스크 시트(132-1)를 인장시키지 않는 경우 상기 제1개구부는 대략 일직선 상에 배열될 수 있으며, 서로 인접하는 상기 제1개구부 사이의 거리가 일정하게 유지될 수 있다.
그러나 제1마스크 시트(132-1)를 인장시키는 경우 도 4a 및 도 4b에 도시된 것과 같이 제1방향으로 인접하는 상기 제1개구부 사이의 거리는 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 제1마스크 시트(132-1)의 A부분에 배치된 상기 제1개구부 중 제1-1개구부(132a-1a)와 제1-2개구부(132a-1b) 사이의 거리인 제1-1거리(L1-1)와 제1-2개구부(132a-1b)와 제1-3개구부(132a-1c) 사이의 제1-2거리(L1-2)는 서로 상이할 수 있다. 이러한 경우 제1-1거리(L1-1)는 제1-2거리(L1-2)보다 클 수 있다. 즉, 제1마스크 시트(132-1)의 A부분에서는 제1-3개구부(132a-1c)이 최초 위치에서 제1마스크 시트(132-1)의 내측으로 이동하여 제1-2개구부(132a-1b)와 최초보다 가까워질 수 있다. 이러한 경우 제1-2거리(L1-2)는 최초보다 작아질 수 있다. 또한, 제1-4개구부(132a-1d)는 제1마스크 시트(132-1)의 인장에 따라 제1-3개구부(132a-1c)로부터 멀어질 수 있다. 이러한 경우 제1-4거리(L1-4)는 최초 보다 길어질 수 있다.
한편, 제1마스크 시트(132-1)의 B영역에 배치된 제1-5개구부(132a-1e), 제1-6개구부(132a-1f), 제1-7개구부(132a-1g) 및 제1-8개구부(132a-1h) 사이의 거리도 가변할 수 있다. 즉, 제1마스크 시트(132-1)의 B영역은 제1마스크 시트(132-1)의 끝단 부분에 배치됨으로써 제1마스크 시트(132-1)의 끝단 부분측으로 증착영역(DPA)의 테두리 일부가 돌출될 수 있다. 이러한 경우 제1-5개구부(132a-1e), 제1-6개구부(132a-1f), 제1-7개구부(132a-1g) 및 제1-8개구부(132a-1h)의 중 적어도 하나의 위치가 가변함으로써 제1-4거리(L1-4), 제1-5거리(L1-5), 제1-6거리(L1-6) 중 적어도 하나가 최초와 상이해질 수 있다.
상기와 같이 제1마스크 시트(132-1)가 인장됨으로써 복수개의 제1개구부 중 적어도 하나의 위치가 최초와 상이해지는 경우 이러한 제1개구부를 통과한 증착물질은 미리 설정된 디스플레이 기판(D)의 위치에 정확하게 증착되지 못할 수 있다. 특히 이러한 경우 화소정의막(29)의 개구영역을 완전히 차폐하도록 증착물질이 증착되지 않음으로써 개구영역으로 노출된 화소전극의 일부에만 유기 발광층이 배치될 수 있다.
도 5a는 제2마스크 시트의 A부분을 확대하여 보여주는 평면도이다. 도 5b는 제2마스크 시트의 B부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 5a 내지 도 5b를 참고하면, 제2마스크 시트(132-2)도 도 4a 및 도 4b에 도시된 제1마스크 시트(132-1)와 유사한 형태로 가변할 수 있다.
상기와 같은 복수개의 제2개구부 중 적어도 하나의 위치가 최초 위치와 상이해질 수 있다. 예를 들면, 제2-1개구부(132a-2a), 제2-2개구부(132a-2b), 제2-3개구부(132a-2c), 제2-4개구부(132a-2d), 제2-5개구부(132a-2e), 제2-6개구부(132a-2f), 제2-7개구부(132a-2g) 및 제2-8개구부(132a-2h) 중 적어도 하나의 위치가 최초의 위치와 상이해질 수 있다.
이러한 경우 제2-1거리(L2-1), 제2-2거리(L2-2), 제2-3거리(L2-3), 제2-4거리(L2-4), 제2-5거리(L2-5) 중 제2-6거리(L2-6) 중 적어도 하나가 최초보다 작거나 커질 수 있다. 또한, 제2-1거리(L2-1), 제2-2거리(L2-2), 제2-3거리(L2-3), 제2-4거리(L2-4), 제2-5거리(L2-5) 중 제2-6거리(L2-6) 중 하나는 제2-1거리(L2-1), 제2-2거리(L2-2), 제2-3거리(L2-3), 제2-4거리(L2-4), 제2-5거리(L2-5) 중 제2-6거리(L2-6) 중 다른 하나와 상이해질 수 있다.
도 6a는 제3마스크 시트의 A부분을 확대하여 보여주는 평면도이다. 도 6b는 제3마스크 시트의 B부분을 확대하여 보여주는 평면도이다.
도 6a 및 도 6b를 참고하면, 제3마스크 시트(132-3)도 도 4a 및 도 4b에 도시된 제1마스크 시트(132-1)와 유사한 형태로 가변할 수 있다.
상기와 같은 복수개의 제3개구부 중 적어도 하나의 위치가 최초 위치와 상이해질 수 있다. 예를 들면, 제3-1개구부(132a-3a), 제3-2개구부(132a-3b), 제3-3개구부(132a-3c), 제3-4개구부(132a-3d), 제3-5개구부(132a-3e), 제3-6개구부(132a-3f), 제3-7개구부(132a-3g) 및 제3-8개구부(132a-3h) 중 적어도 하나의 위치가 최초의 위치와 상이해질 수 있다.
이러한 경우 제3-1거리(L3-1), 제3-2거리(L3-2), 제3-3거리(L3-3), 제3-4거리(L3-4), 제3-5거리(L3-5) 중 제3-6거리(L3-6) 중 적어도 하나가 최초보다 작거나 커질 수 있다. 또한, 제3-1거리(L3-1), 제3-2거리(L3-2), 제3-3거리(L3-3), 제3-4거리(L3-4), 제3-5거리(L3-5) 중 제3-6거리(L3-6) 중 하나는 제3-1거리(L3-1), 제3-2거리(L3-2), 제3-3거리(L3-3), 제3-4거리(L3-4), 제3-5거리(L3-5) 중 제3-6거리(L3-6) 중 다른 하나와 상이해질 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 8a 및 도 8b는 도 7의 제1영역 및 제2영역에 배치된 화소를 보여주는 단면도이다.
도 7 내지 도 8b를 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 주변 영역(PA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부가 배치되고, 주변 영역(PA)은 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있으며, 발광하지 않는 영역일 수 있다. 또한, 주변 영역(PA)에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 표시 영역(DA)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 표시 영역(DA)은 실질적으로 직사각형, 정사각형 또는 원형 등의 형상을 가질 수 있다. 이외에도 표시 영역(DA)은 실질적으로 직사각형, 정사각형, 다각형 또는 원형 등을 제외한 비정형의 형상을 갖는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 영역(DA)이 직사각형의 형상을 갖는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 표시 영역(DA)은 적어도 2개 이상의 영역으로 구분될 수 있다. 이때, 적어도 2개의 이상의 영역 각각은 적어도 하나 이상의 부화소를 포함할 수 있다. 즉, 적어도 2개 이상의 영역 중 하나는 하나의 부화소를 포함할 수 있으며, 적어도 2개 이상의 영역 중 나머지는 복수개의 부화소를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 적어도 2개 이상의 영역 중 하나는 복수개의 부화소 중 일부를 포함하고, 적어도 2개 이상의 영역 중 다른 하나는 복수개의 부화소 중 나머지를 포함할 수 있다. 상기와 같이 각 영역에 배치되며 동일한 색을 발광하는 부화소는 배치되는 영역에 따라 부화소에 배치된 후술할 화소전극(28-1)의 중심, 개구영역(OP)의 중심 및 유기 발광층(28-2)의 중심이 서로 일치하도록 배치되거나 서로 일치하지 않도록 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 영역(DA)은 제1영역(1A)과 제2영역(2A)을 포함하고, 제1영역(1A)에 배치된 부화소는 화소전극(28-1)의 중심, 개구영역(OP)의 중심 및 유기 발광층(28-2)의 중심이 서로 일치하도록 배치되고, 제2영역(2A)에 배치된 부화소는 화소전극(28-1)의 중심, 개구영역(OP)의 중심 및 유기 발광층(28-2)의 중심이 서로 일치하지 않도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 또한, 본 발명에서는 도 7에 도시된 바와 같이 제1영역(1A)이 표시 영역(DA)의 중앙에 위치하고, 제2영역(2A)은 제1영역(1A)의 외곽에 배치되는 것으로 표시되어 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 제1영역(1A)과 제2영역(2A)은 마스크 시트(132)의 변형에 따라 정의될 수 있으므로 표시 영역(DA)의 다양한 위치에 배열될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1영역(1A)은 표시 영역(DA)의 중앙에 위치하고, 제2영역(2A)은 제1영역(1A)의 외곽에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D) 및 봉지부재(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소전극(28-1)을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소전극(28-1) 및 중간층(28-2) 중 일부를 포함하는 것도 가능하다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate)와 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 기판(21)은 상기 물질의 단층 또는 다층구조를 가질 수 있으며, 다층구조의 경우 무기층을 더 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소전극(28-1)이 형성된다. 이 화소전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로서 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
상기와 같은 중간층(28-2)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(D)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(28-2)은 표시 영역(D) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이러한 중간층(28-2)은 포함되는 유기 발광층에 따라 다양한 색을 발광할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 중간층(28-2)는 유기 발광층을 의미하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소를 포함할 수 있다. 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 일 실시예로써 하나의 부화소는 하나의 색을 갖는 빛이 발광하는 영역으로 정의될 수 있다. 다른 실시예로써 하나의 부화소는 화소정의막(29)의 개구된 개구영역(OP)을 통하여 외부로 노출되는 화소전극(28-1) 부분으로 정의될 수 있다. 이러한 경우 하나의 부화소의 크기를 조절하는 것은 화소정의막(29)의 개구영역(OP)의 평면 상 크기를 조절하여 외부로 노출되는 화소전극(28-1) 부분의 면적을 조절함으로써 달성할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 부화소는 하나의 색을 갖는 빛이 발광하는 영역인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다. 다른 실시예로써 복수의 부화소는 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다. 또 다른 실시에로써 복수의 부화소는 적색, 노란색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다. 이러한 경우 복수의 부화소는 상기에 한정되는 것은 아니며, 서로 상이한 색을 방출하는 부화소를 구비하는 모든 경우를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수의 부화소가 청색, 적색 및 녹색을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 부화소는 부화소에 배치된 중간층(28-2)의 유기 발광층에 따라 다양한 색을 발광할 수 있다.
한편, 봉지부재는 대향전극(28-3) 상에 배치되어 유기 발광 소자(28)를 밀폐시킬 수 있다. 이때, 상기 봉지부재는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 봉지부재는 기판과 대향하는 봉지기판 및 봉지기판과 기판 사이에 배치되는 실링부재를 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 상기 봉지부재는 대향전극(28-3) 상에 배치되는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 봉지부재가 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산, 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
상기와 같이 무기층이 복수개 구비되는 경우 무기층은 표시 장치(20)의 가장자리 영역에서 서로 직접 접촉하도록 증착될 수 있으며, 유기층이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.
또한, 표시 장치(20)는 각 부화소를 통하여 정밀한 이미지를 구현하는 것이 가능하다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(20)로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 표시 장치는 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 무기 EL 디스플레이(Inorganic Light Emitting Display), 퀀텀닷 발광 디스플레이(Quantum dot Light Emitting Display) 등과 같이 다양한 방식의 표시 장치가 사용될 수 있다.
상기와 같은 부화소는 배치되는 영역에 따라서 서로 상이한 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 도 8a에 도시된 것과 같이 제1영역(1A)에 배치되는 부화소의 경우 개구영역(OP)의 중심과 유기 발광층(28-2)의 중심이 서로 일치할 수 있다. 이러한 경우 제1영역(1A)에서는 일 방향으로 화소정의막(29) 내부에 삽입된 화소전극(28-1)의 끝단의 길이가 화소전극(28-1)의 끝단의 양쪽에서 서로 동일할 수 있다.
반면, 도 8b에 도시된 것과 같이 제2영역(2A)에 배치되는 부화소의 경우 개구영역(OP)의 중심(OP-C)과 유기 발광층(28-2)의 중심(28-2C)이 서로 일치하지 않을 수 있다. 이러한 경우 제2영역(2A)에서는 일 방향으로 화소정의막(29) 내부에 삽입된 화소전극(28-1)의 끝단의 길이가 화소전극(28-1)의 끝단의 양쪽에서 서로 상이할 수 있다. 이에 대해서는 하기에서 상세히 설명하기로 한다.
도 9 및 도 10은 도 7에 도시된 화소의 회로를 보여주는 회로도이다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 각 부화소(Px)는 스캔라인(SL) 및 데이터선(DL)에 연결된 화소회로(PC) 및 화소회로(PC)에 연결된 유기발광소자(OLED)를 포함한다.
화소회로(PC)는 구동 박막트랜지스터(T1), 스위칭 박막트랜지스터(T2), 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함한다. 스위칭 박막트랜지스터(T2)는 스캔라인(SL) 및 데이터선(DL)에 연결되며, 스캔라인(SL)을 통해 입력되는 스캔 신호(Sn)에 따라 데이터선(DL)을 통해 입력된 데이터 신호(Dm)를 구동 박막트랜지스터(T1)로 전달한다.
스토리지 커패시터(Cst)는 스위칭 박막트랜지스터(T2) 및 구동전압선(PL)에 연결되며, 스위칭 박막트랜지스터(T2)로부터 전달받은 전압과 구동전압선(PL)에 공급되는 제1전원전압(ELVDD, 또는 구동전압)의 차이에 해당하는 전압을 저장한다.
구동 박막트랜지스터(T1)는 구동전압선(PL)과 스토리지 커패시터(Cst)에 연결되며, 스토리지 커패시터(Cst)에 저장된 전압 값에 대응하여 구동전압선(PL)으로부터 유기발광소자(OLED)를 흐르는 구동 전류를 제어할 수 있다. 유기발광소자(OLED)는 구동 전류에 의해 소정의 휘도를 갖는 빛을 방출할 수 있다.
도 9에서는 화소회로(PC)가 2개의 박막트랜지스터 및 1개의 스토리지 커패시터를 포함하는 경우를 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 도 10에 도신된 바와 같이, 화소회로(PC)는 7개의 박막트랜지스터 및 1개의 스토리지 커패시터를 포함할 수 있다. 도 10에서는 1개의 스토리지 커패시터를 포함한 것으로 도시하였으나, 화소회로(PC)는 2개 이상의 스토리지 커패시터를 포함할 수도 있다.
도 10을 참조하면, 각 부화소(Px)는 화소회로(PC) 및 화소회로(PC)에 연결된 유기발광다이오드(OLED)를 포함한다. 화소회로(PC)는 복수의 박막트랜지스터들 및 스토리지 커패시터(storage capacitor)를 포함할 수 있다. 박막트랜지스터들 및 스토리지 커패시터는 신호선(SL, SL-1, EL, DL), 초기화전압선(VL) 및 구동전압선(PL)에 연결될 수 있다.
도 10에서는 부화소(Px)가 신호선(SL, SL-1, EL, DL), 초기화전압선(VL), 및 구동전압선(PL)에 연결된 것을 도시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 다른 실시예로서, 신호선(SL, SL-1, EL, DL) 중 적어도 어느 하나, 초기화전압선(VL)과 구동전압선(PL) 등은 이웃하는 화소들에서 공유될 수 있다.
신호선은 스캔신호(Sn)를 전달하는 스캔선(SL), 제1초기화 박막트랜지스터(T4)와 제2초기화 박막트랜지스터(T7)에 이전 스캔신호(Sn-1)를 전달하는 이전 스캔선(SL-1), 동작제어 박막트랜지스터(T5) 및 발광제어 박막트랜지스터(T6)에 발광제어신호(En)를 전달하는 발광 제어선(EL), 스캔선(SL)과 교차하며 데이터신호(Dm)를 전달하는 데이터선(DL)을 포함한다. 구동전압선(PL)은 구동 박막트랜지스터(T1)에 구동전압(ELVDD)을 전달하며, 초기화전압선(VL)은 구동 박막트랜지스터(T1) 및 화소전극을 초기화하는 초기화전압(Vint)을 전달한다.
구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 게이트전극(G1)은 스토리지 커패시터(Cst)의 하부전극(CE1)에 연결되어 있고, 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 소스전극(S1)은 동작제어 박막트랜지스터(T5)를 경유하여 하부 구동전압선(PL)에 연결되어 있으며, 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 드레인전극(D1)은 발광제어 박막트랜지스터(T6)를 경유하여 메인 유기발광소자(OLED)의 화소전극과 전기적으로 연결되어 있다. 구동 박막트랜지스터(T1)는 스위칭 박막트랜지스터(T2)의 스위칭 동작에 따라 데이터신호(Dm)를 전달받아 메인 유기발광소자(OLED)에 구동전류(IOLED)를 공급한다.
스위칭 박막트랜지스터(T2)의 스위칭 게이트전극(G2)은 스캔선(SL)에 연결되어 있고, 스위칭 박막트랜지스터(T2)의 스위칭 소스전극(S2)은 데이터선(DL)에 연결되어 있으며, 스위칭 박막트랜지스터(T2)의 스위칭 드레인전극(D2)은 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 소스전극(S1)에 연결되어 있으면서 동작제어 박막트랜지스터(T5)를 경유하여 하부 구동전압선(PL)에 연결되어 있다. 스위칭 박막트랜지스터(T2)는 스캔선(SL)을 통해 전달받은 스캔신호(Sn)에 따라 턴-온되어 데이터선(DL)으로 전달된 데이터신호(Dm)를 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 소스전극(S1)으로 전달하는 스위칭 동작을 수행한다.
보상 박막트랜지스터(T3)의 보상 게이트전극(G3)은 스캔선(SL)에 연결되어 있고, 보상 박막트랜지스터(T3)의 보상 소스전극(S3)은 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 드레인전극(D1)에 연결되어 있으면서 발광제어 박막트랜지스터(T6)를 경유하여 유기발광소자(OLED)의 화소전극과 연결되어 있고, 보상 박막트랜지스터(T3)의 보상 드레인전극(D3)은 스토리지 커패시터(Cst)의 하부전극(CE1), 제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 제1초기화 드레인전극(D4) 및 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 게이트전극(G1)에 연결되어 있다. 보상 박막트랜지스터(T3)는 스캔선(SL)을 통해 전달받은 스캔신호(Sn)에 따라 턴-온되어 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 게이트전극(G1)과 구동 드레인전극(D1)을 전기적으로 연결하여 구동 박막트랜지스터(T1)를 다이오드 연결시킨다.
제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 제1초기화 게이트전극(G4)은 이전 스캔선(SL-1)에 연결되어 있고, 제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 제1초기화 소스전극(S4)은 제2초기화 박막트랜지스터(T7)의 제2초기화 드레인전극(D7)과 초기화전압선(VL)에 연결되어 있으며, 제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 제1초기화 드레인전극(D4)은 스토리지 커패시터(Cst)의 하부전극(CE1), 보상 박막트랜지스터(T3)의 보상 드레인전극(D3) 및 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 게이트전극(G1)에 연결되어 있다. 제1초기화 박막트랜지스터(T4)는 이전 스캔선(SL-1)을 통해 전달받은 이전 스캔신호(Sn-1)에 따라 턴-온되어 초기화전압(Vint)을 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 게이트전극(G1)에 전달하여 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 게이트전극(G1)의 전압을 초기화시키는 초기화동작을 수행한다.
동작제어 박막트랜지스터(T5)의 동작제어 게이트전극(G5)은 발광 제어선(EL)에 연결되어 있으며, 동작제어 박막트랜지스터(T5)의 동작제어 소스전극(S5)은 하부 구동전압선(PL)과 연결되어 있고, 동작제어 박막트랜지스터(T5)의 동작제어 드레인전극(D5)은 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 소스전극(S1) 및 스위칭 박막트랜지스터(T2)의 스위칭 드레인전극(D2)과 연결되어 있다.
발광제어 박막트랜지스터(T6)의 발광제어 게이트전극(G6)은 발광 제어선(EL)에 연결되어 있고, 발광제어 박막트랜지스터(T6)의 발광제어 소스전극(S6)은 구동 박막트랜지스터(T1)의 구동 드레인전극(D1) 및 보상 박막트랜지스터(T3)의 보상 소스전극(S3)에 연결되어 있으며, 발광제어 박막트랜지스터(T6)의 발광제어 드레인전극(D6)은 제2초기화 박막트랜지스터(T7)의 제2초기화 소스전극(S7) 및 유기발광소자(OLED)의 화소전극에 전기적으로 연결되어 있다.
동작제어 박막트랜지스터(T5) 및 발광제어 박막트랜지스터(T6)는 발광 제어선(EL)을 통해 전달받은 발광제어신호(En)에 따라 동시에 턴-온되어, 구동전압(ELVDD)이 메인 유기발광소자(OLED)에 전달되어 유기발광소자(OLED)에 구동전류(IOLED)가 흐르도록 한다.
제2초기화 박막트랜지스터(T7)의 제2초기화 게이트전극(G7)은 이전 스캔선(SL-1)에 연결되어 있고, 제2초기화 박막트랜지스터(T7)의 제2초기화 소스전극(S7)은 발광제어 박막트랜지스터(T6)의 발광제어 드레인전극(D6) 및 메인 유기발광소자(OLED)의 화소전극에 연결되어 있으며, 제2초기화 박막트랜지스터(T7)의 제2초기화 드레인전극(D7)은 제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 제1초기화 소스전극(S4) 및 초기화전압선(VL)에 연결되어 있다. 제2초기화 박막트랜지스터(T7)는 이전 스캔선(SL-1)을 통해 전달받은 이전 스캔신호(Sn-1)에 따라 턴-온되어 메인 유기발광소자(OLED)의 화소전극을 초기화시킨다.
도 10에서는 제1초기화 박막트랜지스터(T4)와 제2초기화 박막트랜지스터(T7)가 이전 스캔선(SL-1)에 연결된 경우를 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 다른 실시예로서, 제1초기화 박막트랜지스터(T4)는 이전 스캔선(SL-1)에 연결되어 이전 스캔신호(Sn-1)에 따라 구동하고, 제2초기화 박막트랜지스터(T7)는 별도의 신호선(예컨대, 이후 스캔선)에 연결되어 상기 신호선에 전달되는 신호에 따라 구동될 수 있다.
스토리지 커패시터(Cst)의 상부전극(CE2)은 구동전압선(PL)에 연결되어 있으며, 유기발광소자(OLED)의 대향전극은 공통전압(ELVSS)에 연결되어 있다. 이에 따라, 유기발광소자(OLED)는 구동 박막트랜지스터(T1)로부터 구동전류(IOLED)를 전달받아 발광함으로써 화상을 표시할 수 있다.
도 11은 도 7에 도시된 표시 장치의 화소의 배열을 보여주는 평면도이다.
도 11을 참고하면, 표시 영역(DA)에는 화소가 배열될 수 있다. 이때, 상기 화소는 복수개의 부화소(Px)를 포함할 수 있다. 이러한 복수개의 부화소(Px)는 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3)는 서로 상이한 색을 발광할 수 있다. 또한, 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3)는 다양한 방식으로 배열될 수 있다. 예를 들면, 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3)는 도면에 도시되어 있지는 않지만 모두 직사각형으로 형성되어 S-스트라이프(S-stripe) 타입으로 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3)는 도면에 도시된 바와 같이 다이아몬드(diamond) 구조의 펜타일(pentile) 형태로 배치되는 것도 가능하다. 이때, 상기와 같은 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3)의 배치 구조는 상기에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태를 가질 수 있다. 다만 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3)는 펜타일 형태로 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3) 중 하나는 적색, 녹색 및 청색 중 하나의 색을 발광할 수 있으며, 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3) 중 다른 하나는 적색, 녹색 및 청색 중 다른 하나의 색을 발광할 수 있다. 또한, 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3) 중 또 다른 하나는 적색, 녹색 및 청색 중 또 다른 하나의 색을 발광할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1부화소(Px1)는 적색, 제2부화소(Px2)는 녹색 및 제3부화소(Px3)는 청색을 발광하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 제1부화소(Px1)는 복수개 구비될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제1부화소(Px1) 중 서로 인접하는 제1부화소(Px1) 중심 사이의 거리는 일정하지 않을 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제1부화소(Px1) 중 제1영역(1A)에 배열되며, 서로 인접하는 제1-1부화소(Px1-1A) 사이의 제1-1부화소거리(L1-1A)는 복수개의 제1-1부화소(Px1-1A)가 모두 동일할 수 있다. 반면, 복수개의 제1부화소(Px1) 중 제2영역(2A)에 배열되며, 서로 인접하는 제1-2부화소(Px1-2A) 사이의 제1-2부화소거리(L1-2A)는 제1-1부화소거리(L1-1A)와 상이할 수 있다. 예를 들면, 제1-1부화소거리(L1-1A)는 제1-2부화소거리(L1-2A)보다 크거나 작을 수 있다.
특히 상기와 같은 경우 도 3에 도시된 바와 같이 마스크 시트의 측면에 배치된 개구부를 통하여 증착된 제1-2부화소(Px1-2A) 사이의 제1-1부화소거리(L1-1A)는 마스크 시트의 중앙에 배치된 개구부를 통하여 증착된 제1-2부화소(Px1-2A) 사이의 제1-1부화소거리(L1-1A)보다 작을 수 있다. 반면, 도 3에 도시된 바와 같이 마스크 시트의 상부 또는 하부에 배치된 개구부를 통하여 증착된 제1-2부화소(Px1-2A) 사이의 제1-1부화소거리(L1-1A)는 마스크 시트의 중앙에 배치된 개구부를 통하여 증착된 제1-2부화소(Px1-2A) 사이의 제1-1부화소거리(L1-1A)보다 클 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1-1부화소거리(L1-1A)가 제1-2부화소거리(L1-2A)보다 큰 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 도면에 도시되어 있지는 않지만 복수개의 제1-2부화소(Px1-2A) 사이의 제1-2부화소거리(L1-2A)는 복수개의 제1-2부화소(Px1-2A) 사이에서 서로 상이한 것도 가능하다. 예를 들면, 주변 영역(PA)과 가깝게 배치되며 서로 인접한 제1-2부화소(Px1-2A)사이의 제1-2부화소거리(L1-2A)는 제1영역(1A)과 가깝게 배치되며 서로 인접한 제1-2부화소(Px1-2A)사이의 제1-2부화소거리(L1-2A)와 상이할 수 있다. 상기와 같은 제1부화소(Px1)의 사이의 거리는 제1마스크 시트(132-1)를 인장시킨 후 제1개구부의 위치에 따라 상이해질 수 있다. 즉, 도 4a 및 도 4b에 도시된 것과 같이 제1개구부의 위치 및 제1개구부 사이의 거리와 유사하게 제1-2부화소(Px1-2A)의 위치 및 제1-2부화소(Px1-2A) 사이의 제1-2부화소거리(L1-2A)가 형성될 수 있다. 이러한 경우 상기와 같은 각 부화소거리는 일 방향으로 배열되며 서로 인접하는 부화소의 중심과 중심 사이의 거리를 의미할 수 있다.
한편, 표시 영역(DA)에 배치되는 제2부화소(Px2)와 제3부화소(Px3)는 각각 제1부화소(Px1)와 유사하게 배열될 수 있다. 즉, 제1영역(1A)에 배치되며, 서로 인접하는 제2-1부화소(Px2-1A) 중심 사이의 제2-1부화소거리(L2-1A)는 제2영역(2A)에 배치되며, 서로 인접하는 제2-2부화소(Px2-2A) 중심 사이의 제2-2부화소거리(L2-2A)와 상이할 수 있다. 또한, 제2영역(2A)에 배치되며, 서로 인접하는 제3-1부화소(Px3-1A) 중심 사이의 제3-1부화소거리(L3-1A)는 제2영역(2A)에 배치되며, 서로 인접하는 제3-2부화소(Px3-2A) 중심 사이의 제3-2부화소거리(L3-2A)와 상이할 수 있다. 또한, 도면에 도시되어 있지는 않지만 제2영역(2A)에 배치되는 제2-2부화소(Px2-2A) 사이의 제2-2부화소거리(L2-2A)는 서로 상이할 수 있다. 이러한 경우 제2-2부화소(Px2-2A)의 위치 및 제2-2부화소거리(L2-2A)는 도 5a 및 도 5b에 도시된 제2개구부의 위치 및 제2개구부 사이의 거리와 유사할 수 있다. 도면에 도시되어 있지는 않지만 제2영역(2A)에 배치되는 제3-2부화소(Px3-2A) 사이의 제3-2부화소거리(L3-2A)는 서로 상이할 수 있다. 이러한 경우 제3-2부화소(Px3-2A)의 위치 및 제3-2부화소거리(L3-2A)는 도 6a 및 도 6b에 도시된 제3개구부의 위치 및 제2개구부 사이의 거리와 유사할 수 있다.
한편, 상기와 같은 제1부화소(Px1), 제2부화소(Px2) 및 제3부화소(Px3)는 제1영역(1A) 또는 제2영역(2A) 중 어느 영역에 배치되느냐에 따라 각 부화소의 화소전극, 개구영역 및 유기 발광층의 위치가 서로 상이해질 수 있다. 이하에서는 이러한 내용에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 12a는 도 7에 도시된 제1영역의 제1-1부화소의 제1-1화소전극, 제1-1개구영역 및 제1-1유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 12a를 참고하면, 제1부화소는 제1영역(1A)에 배치되는 제1-1부화소(Px1-1A)와 제1-2부화소(Px1-2A)를 포함할 수 있다.
이때, 제1영역(1A)에 배열되는 제1-1부화소(Px1-1A)의 제1-1화소전극(28-1a1A), 제1-1개구영역(OP1-1A) 및 제1-1유기 발광층(28-2a1A)은 모두 하나의 중심(CE1A)을 가질 수 있다.
구체적으로 제1-1화소전극(28-1a1A)은 제1-1화소전극바디(28-1a1A-1) 및 제1-1화소전극바디(28-1a1A-1)와 연결된 제1-1화소전극연결부(28-1a1A-2)를 포함할 수 있다. 이때, 제1-1화소전극연결부(28-1a1A-2)는 컨택홀을 통하여 드레인 전극과 연결될 수 있다. 이러한 제1-1화소전극연결부(28-1a1A-2)는 도 12a에 도시된 것과 같이 제1-1화소전극바디(28-1a1A-1)과 동일한 평면 상에서 제1-1화소전극바디(28-1a1A-1)로부터 연장되는 형태로 형성될 수 있다. 다른 실시예로서 제1-1화소전극연결부(28-1a1A-2)는 제1-1화소전극바디(28-1a1A-1)의 하부로 돌출되도록 형성되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1-1화소전극연결부(28-1a1A-2)는 도 12a에 도시된 바와 같이 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 제1-1화소전극바디(28-1a1A-1), 제1-1개구영역(OP1-1A) 및 제1-1유기 발광층(28-2a1A)은 평면에서 바라볼 때 형상이 서로 동일하거나 유사할 수 있다. 이때, 제1-1화소전극바디(28-1a1A-1)의 평면 상 형상의 크기 및 제1-1유기 발광층(28-2a1A)의 평면 상 형상의 크기는 제1-1개구영역(OP1-1A)의 평면 상 형상의 크기보다 클 수 있다.
상기와 같은 경우 제1-1화소전극바디(28-1a1A-1)의 평면 상 형상의 중심(CE1A), 제1-1개구영역(OP1-1A)의 평면 상 형상의 중심(CE1A) 및 제1-1유기 발광층(28-2a1A)의 평면 상 형상의 중심(CE1A)은 동일하거나 실질적으로 동일한 위치에 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1-1개구영역(OP1-1A)의 평면 상 형상의 테두리에서 제1-1유기 발광층(28-2a1A)의 평면 상 형상의 테두리 사이의 간격은 모두 동일 할 수 있다. 예를 들면, 도 12a에 도시된 제1-1간격(W1-1A), 제2-1간격(W2-1A), 제3-1간격(W3-1A) 및 제4-1간격(W4-1A)은 서로 동일할 수 있다.
한편, 도면에 도시되어 있지는 않지만 다른 실시예로써 제1영역(1A)에 배치되는 제1-1부화소(Px1-1A) 중 하나의 제1-1개구영역중심(CE1A)과 제1-1유기 발광층중심(CE1A) 사이의 거리는 제1영역(1A)에 배치되는 제1-1부화소(Px1-1A) 중 다른 하나의 제1-1개구영역중심(CE1A)과 제1-1유기 발광층중심(CE1A) 사이의 거리와 상이한 것도 가능하다. 예를 들면, 제1영역(1A)에 배치되는 제1-1부화소(Px1-1A) 중 하나는 도 12a에 도시된 것과 같이 형성되며, 제1-1부화소(Px1-1A) 중 다른 하나는 후술할 도 12b에 도시된 것과 같이 형성되는 것도 가능하다.
도 12b는 도 7에 도시된 제2영역의 제1-2부화소의 제1-2화소전극, 제1-2개구영역 및 제1-2유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 12b를 참고하면, 제2영역(2A)에 배치되는 제1-2부화소(Px1-2A)의 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 평면 상 제1-2화소전극바디중심(CE2A-1a), 제1-2개구영역(OP1-2A)의 평면 상 제1-2개구영역중심(CE2A-2a) 및 제1-2유기 발광층(28-2a2A)의 평면 상 제1-2유기 발광층중심(CE2A-3a) 중 하나는 제1-2부화소(Px1-2A)의 제1-2화소전극(28-1a2A)의 평면 상 제1-2화소전극바디중심(CE2A-1a), 제1-2개구영역(OP1-2A)의 평면 상 제1-2개구영역중심(CE2A-2a) 및 제1-2유기 발광층(28-2a2A)의 평면 상 제1-2유기 발광층중심(CE2A-3a) 중 다른 하나와 서로 일치하지 않을 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1-2부화소(Px1-2A)의 제1-2화소전극(28-1a2A)의 평면 상 제1-2화소전극바디중심(CE2A-1a), 제1-2개구영역(OP1-2A)의 평면 상 제1-2개구영역중심(CE2A-2a) 및 제1-2유기 발광층(28-2a2A)의 평면 상 제1-2유기 발광층중심(CE2A-3a)이 모두 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 평면 상에서 볼 때 제1-2개구영역(OP1-2A)은 제1-2유기 발광층(28-2a2A)의 내부에 존재할 수 있다. 즉, 제1-2유기 발광층(28-2a2A)의 테두리가 제1-2개구영역(OP1-2A)의 테두리를 완전히 감싸도록 제1-2개구영역(OP1-2A)과 제1-2유기 발광층(28-2a2A)이 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1-2개구영역(OP1-2A)의 평면 상 형상의 테두리에서 제1-2유기 발광층(28-2a2A)의 평면 상 형상의 테두리 사이의 간격은 적어도 2군데에서 상이 할 수 있다. 예를 들면, 도 12b에 도시된 제1-2간격(W1-2A), 제2-2간격(W2-2A), 제3-2간격(W3-2A) 및 제4-2간격(W4-2A) 중 하나는 제1-2간격(W1-2A), 제2-2간격(W2-2A), 제3-2간격(W3-2A) 및 제4-2간격(W4-2A) 중 다른 하나와 상이할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1-2간격(W1-2A), 제2-2간격(W2-2A), 제3-2간격(W3-2A) 및 제4-2간격(W4-2A)은 모두 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 상기의 경우 이외에도 제2영역(2A)에 배치되는 제1-2부화소(Px1-2A) 중 하나의 제1-2개구영역중심(CE2A-2a)과 제1-2유기 발광층중심(CE2A-3a) 사이의 거리는 제2영역(2A)에 배치되는 제1-2부화소(Px1-2A) 중 다른 하나의 제1-2개구영역중심(CE2A-2a)과 제1-2유기 발광층중심(CE2A-3a) 사이의 거리와 상이한 것도 가능하다.
예를 들면, 제2영역(2A)에 배치되는 제1-2부화소(Px1-2A) 중 하나는 상술한 도 12a에 도시된 바와 같이 형성되며, 제1-2부화소(Px1-2A) 중 다른 하나는 도 12b에 도시된 바와 같이 형성되는 것도 가능하다. 다른 실시예로써 제2영역(2A)에 배치되는 제1-2부화소(Px1-2A) 모두 도 12b에 도시된 바와 같이 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 각 중심의 위치는 모든 제1-2부화소(Px1-2A)에서 도 12b에 도시된 각 중심의 위치와 상이한 위치에 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제2영역(2A)에 배치되는 제1-2부화소(Px1-2A) 모두 도 12b에 도시된 바와 같이 형성되며, 각 중심의 위치는 복수개의 제1-2부화소(Px1-2A) 중 일부에서 동일하고, 복수개의 제1-2부화소(Px1-2A) 중 다른 일부에서는 도 12b에 도시된 각 중심의 위치와 상이한 위치에 배치되는 것도 가능하다.
즉, 복수개의 제1부화소 중 하나의 제1개구영역중심과 제1유기 발광층중심 사이의 거리는 복수개의 제1부화소(Px1) 중 다른 하나의 제1개구영역중심과 제1유기 발광층중심 사이의 거리와 상이할 수 있다.
도 13a는 도 7에 도시된 제1영역의 제2-1부화소의 제2-1화소전극, 제2-1개구영역 및 제2-1유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 13a를 참고하면, 제2부화소(미표기)는 제1영역(1A)에 배치되는 제2-1부화소(Px2-1A)와 제2-2부화소(Px2-2A)를 포함할 수 있다.
이때, 제2-1부화소(Px2-1A)의 제2-1화소전극(28-1b1A), 제2-1개구영역(OP2-1A) 및 제2-1유기 발광층(28-2b1A)은 평면 형상의 중심(CE1A)이 서로 일치하거나 실질적으로 동일할 수 있다. 이러한 경우 평면 상에서 볼 때 제2-1개구영역(OP2-1A)은 제2-1유기 발광층(28-2b1A) 내부에 배치될 수 있다. 이러한 경우 평면 상에서 볼 때 제2-1개구영역(OP2-1A)의 테두리로부터 제2-1유기 발광층(28-2b1A)의 테두리까지의 간격은 제2-1개구영역(OP2-1A)의 테두리를 따라 일정할 수 있다.
한편, 도면에 도시되어 있지는 않지만 다른 실시예로써 제1영역(1A)에 배치되는 제2-1부화소(Px2-1A) 중 하나의 제2-1개구영역(OP2-1A)의 중심(CE1A)과 제2-1유기 발광층(28-2b1A)의 중심(CE1A) 사이의 거리는 제1영역(1A)에 배치되는 제2-1부화소(Px2-1A) 중 다른 하나의 제2-1개구영역(OP2-1A)의 중심(CE1A)과 제2-1유기 발광층(28-2b1A)의 중심(CE1A) 사이의 거리와 상이한 것도 가능하다. 예를 들면, 제1영역(1A)에 배치되는 제2-1부화소(Px2-1A) 중 하나는 도 13a에 도시된 것과 같이 형성되며, 제2-1부화소(Px2-1A) 중 다른 하나는 후술할 도 13b에 도시된 것과 같이 형성되는 것도 가능하다.
도 13b는 도 7에 도시된 제2영역의 제2-2부화소의 제2-2화소전극, 제2-2개구영역 및 제2-2유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 13b를 참고하면, 제2-2부화소(Px2-2A)의 제2-2화소전극(28-1b2A)의 제2-2화소전극바디중심(CE2A-1b), 제2-2개구영역(OP2-2A)의 제2-2개구영역중심(CE2A-2b) 및 제2-2유기 발광층(28-2b2A)의 제2-2유기 발광층중심(CE2A-3b) 중 하나는 제2-2화소전극바디중심(CE2A-1b), 제2-2개구영역중심(CE2A-2b) 및 제2-2유기 발광층중심(CE2A-3b) 중 다른 하나와 상이한 위치에 배치될 수 있다. 이때, 제2-2개구영역(OP2-2A)은 제2-2유기 발광층(28-2b2A) 내부에 완전히 포함되도록 배치될 수 있다.
예를 들면, 제2영역(2A)에 배치되는 제2-2부화소(Px2-2A) 중 하나는 상술한 도 13a에 도시된 바와 같이 형성되며, 제2-2부화소(Px2-2A) 중 다른 하나는 도 13b에 도시된 바와 같이 형성되는 것도 가능하다. 다른 실시예로써 제2영역(2A)에 배치되는 제2-2부화소(Px2-2A) 모두 도 13b에 도시된 바와 같이 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 각 중심의 위치는 모든 제2-2부화소(Px2-2A)에서 도 13b에 도시된 각 중심의 위치와 상이한 위치에 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제2영역(2A)에 배치되는 제2-2부화소(Px2-2A) 모두 도 13b에 도시된 바와 같이 형성되며, 각 중심의 위치는 복수개의 제2-2부화소(Px2-2A) 중 일부에서 동일하고, 복수개의 제2-2부화소(Px2-2A) 중 다른 일부에서는 도 13b에 도시된 각 중심의 위치와 상이한 위치에 배치되는 것도 가능하다.
상기와 같은 경우 평면 상으로 볼 때 제2-2유기 발광층(28-2b2A) 내부에 제2-2개구영역(OP2-2A)이 배치될 수 있다.
즉, 복수개의 제2부화소(Px2) 중 하나의 제2개구영역중심과 제2유기 발광층중심 사이의 거리는 복수개의 제2부화소(Px2) 중 다른 하나의 제2개구영역중심과 제2유기 발광층중심 사이의 거리와 상이할 수 있다.
도 14a는 도 7에 도시된 제1영역의 제3-1부화소의 제3-1화소전극, 제3-1개구영역 및 제3-1유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 14a를 참고하면, 제3부화소(Px3)는 제1영역(1A)에 배치되는 제3-1부화소(Px3-1A)와 제3-2부화소(Px3-2A)를 포함할 수 있다.
이때, 제3-1부화소(Px3-1A)의 제3-1화소전극(28-1c1A), 제3-1개구영역(OP3-1A) 및 제3-1유기 발광층(28-2c1A)은 평면 형상의 중심이 서로 일치하거나 실질적으로 동일할 수 있다. 이러한 경우 평면 상에서 볼 때 제3-1개구영역(OP3-1A)은 제3-1유기 발광층(28-2c1A) 내부에 배치될 수 있다. 이러한 경우 평면 상에서 볼 때 제3-1개구영역(OP3-1A)의 테두리로부터 제3-1유기 발광층(28-2c1A)의 테두리까지의 간격은 제3-1개구영역(OP3-1A)의 테두리를 따라 일정할 수 있다.
한편, 도면에 도시되어 있지는 않지만 다른 실시예로써 제1영역(1A)에 배치되는 제3-1부화소(Px3-1A) 중 하나의 제3-1개구영역(OP3-1A)의 중심과 제3-1유기 발광층(28-2c1A)의 중심 사이의 거리는 제1영역(1A)에 배치되는 제3-1부화소(Px3-1A) 중 다른 하나의 제3-1개구영역(OP3-1A)의 중심과 제3-1유기 발광층(28-2c1A)의 중심 사이의 거리와 상이한 것도 가능하다. 예를 들면, 제1영역(1A)에 배치되는 제3-1부화소(Px3-1A) 중 하나는 도 14a에 도시된 것과 같이 형성되며, 제3-1부화소(Px3-1A) 중 다른 하나는 후술할 도 14b에 도시된 것과 같이 형성되는 것도 가능하다.
도 14b는 도 7에 도시된 제2영역의 제3-2부화소의 제3-2화소전극, 제3-2개구영역 및 제3-2유기 발광층의 위치를 보여주는 평면도이다.
도 14b를 참고하면, 제3-2부화소(Px3-2A)의 제3-2화소전극(28-1c2A)의 제3-2화소전극바디중심(CE2A-1c), 제3-2개구영역(OP3-2A)의 제3-2개구영역중심(CE2A-2c) 및 제3-2유기 발광층(28-2c2A)의 제3-2유기 발광층중심(CE2A-3c) 중 하나는 제3-2화소전극바디중심(CE2A-1c), 제3-2개구영역중심(CE2A-2c) 및 제3-2유기 발광층중심(CE2A-3c) 중 다른 하나와 상이한 위치에 배치될 수 있다. 이때, 제3-2개구영역(OP3-2A)은 제3-2유기 발광층(28-2c2A) 내부에 완전히 포함되도록 배치될 수 있다.
예를 들면, 제2영역(2A)에 배치되는 제3-2부화소(Px3-2A) 중 하나는 상술한 도 14a에 도시된 바와 같이 형성되며, 제3-2부화소(Px3-2A) 중 다른 하나는 도 14b에 도시된 바와 같이 형성되는 것도 가능하다. 다른 실시예로써 제2영역(2A)에 배치되는 제3-2부화소(Px3-2A) 모두 도 14b에 도시된 바와 같이 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 각 중심의 위치는 모든 제3-2부화소(Px3-2A)에서 도 14b에 도시된 각 중심의 위치와 상이한 위치에 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제2영역(2A)에 배치되는 제3-2부화소(Px3-2A) 모두 도 14b에 도시된 바와 같이 형성되며, 각 중심의 위치는 복수개의 제3-2부화소(Px3-2A) 중 일부에서 동일하고, 복수개의 제3-2부화소(Px3-2A) 중 다른 일부에서는 도 14b에 도시된 각 중심의 위치와 상이한 위치에 배치되는 것도 가능하다.
상기와 같은 경우 평면 상으로 볼 때 제3-2유기 발광층(28-2c2A) 내부에 제3-2개구영역(OP3-2A)이 배치될 수 있다.
즉, 복수개의 제3부화소(Px3) 중 하나의 제3개구영역중심과 제3유기 발광층중심 사이의 거리는 복수개의 제3부화소(Px3) 중 다른 하나의 제3개구영역중심과 제3유기 발광층중심 사이의 거리와 상이할 수 있다.
도 15a 내지 도 15m는 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 보여주는 단면도 또는 평면도이다.
도 15a 내지 도 15m을 참고하면, 디스플레이 기판(D) 상에 유기 발광층을 형성할 수 있다. 이때, 유기 발광층을 형성하는 경우 도 2에 도시된 마스크 조립체(130)를 사용할 수 있다. 이러한 경우 각 부화소에서 발광하는 빛에 따라 서로 상이한 마스크 조립체를 사용할 수 있다. 이때, 각 부화소 부분에 형성하는 유기 발광층은 유사한 방법으로 형성하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1-2유기 발광층(28-2a2A)을 디스플레이 기판(미표기) 상에 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
도 15a를 참고하면, 우선 패시베이션막(27) 상에 화소전극을 형성할 수 있다.
도 15b를 참고하면, 화소전극 상에 화소정의막(29)을 형성한 후 화소정의막(29) 상에 포토레지스트(PR)를 배치하여 화소정의막(29)에 개구영역(OP)을 형성함으로써 제1-1화소전극의 적어도 일부분, 제1-2화소전극(28-1a2A)의 적어도 일부분, 제2-1화소전극의 적어도 일부분, 제2-2화소전극의 적어도 일부분, 제3-1화소전극의 적어도 일부분 및 제3-2화소전극(28-1c2A)의 적어도 일부분을 외부로 노출시킬 수 있다. 이러한 경우 최초로 화소정의막(29)에 각 개구영역(OP)을 형성하는 경우 화소정의막(29)의 각 개구영역(OP)은 모두 동일한 간격으로 형성되도록 설정된 상태일 수 있다. 상기와 같이 화소정의막(29)의 각 개구영역(OP)을 형성하면 각 화소전극의 적어도 일부분이 노출될 수 있다. 이때, 화소정의막(29)의 각 개구영역(OP)의 평면 상 중심과 각 화소전극의 평면 상 중심은 디스플레이 기판(D)의 전 영역에서 일치할 수 있다.
이후 제1마스크 시트(132-1)를 디스플레이 기판(D)과 대향하도록 배치하고 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 제1유기 발광층을 디스플레이 기판(D) 상에 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 복수개의 제1유기 발광층 중 일부는 제1개구영역을 내부에 포함하도록 형성될 수 있으나 복수개의 제1유기 발광층 중 다른 일부는 제1개구영역을 완전히 내부에 포함하도록 형성되지 않을 수 있다.
즉, 제1마스크 시트(132-1)를 인장시키는 경우 제1개구부 사이의 간격이 제1영역(1A)에 대응되도록 배치되는 제1마스크 시트(132-1) 부분에서는 일정하게 유지되고, 제2영역(2A)에 대응되도록 배치되는 제1마스크 시트(132-1) 부분에서는 최초 위치 또는 기 설정된 위치와 상이해짐으로써 제2영역(2A)에 형성되는 제1-2유기 발광층(28-2a2A)의 위치가 기 설정된 위치와 상이해질 수 있다. 이러한 경우 제1-2유기 발광층(28-2a2A)은 제1-2개구영역(OP1-2A)을 통하여 노출된 제1-2화소전극(28-1a2A)을 완전히 차폐하지 못할 수 있다.
구체적으로 도 15d 내지 도 15f를 참고하면, 제1마스크 시트(132-1)가 배열되는 경우 평면 상으로 볼 때 제1-5개구부(132a-1e)를 예를 들면, 제1마스크 시트(132-1)의 제1-5개구부(132a-1e)는 제1-2개구영역(OP1-2A)의 전체를 포함하지 않는 형태로 배치될 수 있다. 또한, 제1-5개구부(132a-1e)의 내부에는 제2-2개구영역(OP2-2A)의 적어도 일부 및 제3-2개구영역(OP3-2A)의 적어도 일부 중 적어도 하나가 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1-5개구부(132a-1e)를 통과한 증착물질은 제1-2개구영역(OP1-2A)으로 이동하여 증착될 수 있다. 이때, 도 15d의 J부분과 같이 제1-2개구영역(OP1-2A)을 통하여 외부로 노출된 제1-2화소전극(28-1a2A)의 일부분 상에는 증착되지 않을 수 있다. 뿐만 아니라 도 15d의 H부분과 같이 인접한 제3-2개구영역(OP3-2A)으로 노출된 제3-2화소전극(28-1c2A) 상에 증착물질이 증착되어 제1-2유기 발광층(28-2a2A)이 제1-2화소전극(28-1a2A) 뿐만 아니라 제3-2화소전극(28-1c2A)의 일부 상에서 배치될 수 있다. 뿐만 아니라 제2-2개구영역(OP2-2A)으로 노출된 제2-2대향전극(28-1b2A)의 적어도 일부에도 제1-2유기 발광층(28-2a2A)이 배치될 수 있다.
상기와 같이 제1-2유기 발광층(28-2a2A)이 제1-2화소전극(28-1a2A) 뿐만 아니라 제2-2대향전극(28-1b2A) 및 제3-2화소전극(28-1c2A) 중 적어도 하나에도 배치되는 경우 제2-2부화소(Px2-2A) 및 제3-2부화소(Px3-2A) 중 적어도 하나에서는 빛이 혼합되어 발광함으로써 표시 장치(20) 자체가 선명한 이미지를 구현하는데 한계가 있을 수 있다. 뿐만 아니라 제1-2화소전극(28-1a2A)의 일부에는 제1-2유기 발광층(28-2a2A)이 존재하지 않는 영역이 발생함으로써 제1-2부화소(Px1-2A)에서 발광하는 빛의 면적이 작거나 흐려지는 문제가 발생할 수 있다.
상기와 같은 경우가 발생하는 경우 제조된 표시 장치(20)는 선명한 이미지를 구현할 수 없을 뿐만 아니라 불량으로 판별되므로 제조시간과 비용이 많이 발생할 수 있다.
도 15g를 참고하면, 상기와 같이 유기 발광층이 대응되는 개구영역을 완전히 덮지 못하는 경우 제1마스크 시트(132-1)와 기판(21) 사이의 틀어짐 정도를 산출할 수 있다. 즉, 기판(21)에 배치된 제1얼라인마크(AR1)와 제1마스크 시트(132-1)에 형성된 제2얼라인마크(AR2)를 도 1에 도시된 비젼부(180)에서 촬영할 수 있다. 비젼부(180)는 촬영된 이미지를 제어부(미도시)에 전송하고 상기 제어부는 제1얼라인마크(AR1)와 제2얼라인마크(AR2)의 위치를 비교하여 제1마스크 시트(132-1)의 변형 정도를 산출할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부는 제1얼라인마크(AR1)의 중심과 제2얼라인마크(AR2)의 중심 사이의 간격, 방향 등을 근거로 제1마스크 시트(132-1)의 변형 정도를 산출할 수 있다. 다른 실시예로써 실제 유기 발광층이 형성된 기판을 전자현미경 등으로 관찰하여 제1마스크 시트(132-1)의 변형 정도를 산출하는 것도 가능하다. 이러한 경우 유기 발광층의 평면 상 중심과 개구영역의 평면 상 중심의 위치를 통하여 제1마스크 시트(132-1)의 변형 정도를 산출할 수 있다. 이때, 상기 제어부는 상기 경우에 따라 제1마스크 시트(132-1)의 변형 정도를 산출하는 수식이 저장되어 있거나 상기의 경우에 따라 제1마스크 시트(132-1)의 변형 정도를 테이블 형태로 정리되어 저장된 상태일 수 있다.
도 15h 및 도 15i를 참고하면, 상기와 같이 산출된 제1마스크 시트(132-1)의 변형 정도에 따라 상기 제어부는 제1개구부의 위치를 산출할 수 있다. 상기 제어부는 이러한 정보를 화소정의막(29)의 개구영역을 형성할 때 포토레지스트(PR)를 도포하고 현상할 때 정보로 활용할 수 있다.
구체적으로 상기 제어부는 포토레지스트(PR)를 화소정의막(29) 상에 형성하고, 제1-2개구영역(OP1-2A)을 형성하기 위하여 포토레지스트(PR)에 형성하는 개구부를 기존의 위치에서 시프트시킬 수 있다. 즉, 상기 제어부는 포토레지스트(PR)의 개구부의 중심을 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 중심과 상이한 위치에 배치되도록 할 수 있다.
상기와 같이 포토레지스트(PR)의 개구부의 중심을 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 중심과 일치하는 위치에서 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 중심과 일치하지 않는 위치로 변경한 후 화소정의막(29)에 제1-2개구영역(OP1-2A)을 형성하면 제1-2개구영역(OP1-2A)의 중심은 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 중심과 일치하지 않을 수 있다. 특히 이러한 경우 일 방향으로 화소정의막(29) 내부에 삽입되는 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 끝단 중 하나의 길이는 화소정의막(29) 내부에 삽입되는 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 끝단 중 다른 하나의 길이와 상이해질 수 있다. 즉, 일 방향으로 화소정의막(29) 내부에 삽입되는 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 끝단 중 하나의 길이는 화소정의막(29) 내부에 삽입되는 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1)의 끝단 중 다른 하나의 길이보다 크거나 작을 수 있다.
상기와 같은 과정은 제1-2개구영역(OP1-2A) 이외에 제2-2개구영역(OP2-2A) 및 제3-2개구영역(OP3-2A) 모두 수행될 수 있다. 이때, 상기와 같은 과정은 제1-2개구영역(OP1-2A) 이외에 제2-2개구영역(OP2-2A) 및 제3-2개구영역(OP3-2A)을 형성하는 과정에서 모두 적용되는 것을 설명하였으나 본 발명의 실시예들은 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제1영역(1A)에 배치된 개구영역에 대응되는 마스크 시트의 개구부의 위치가 기 설정된 위치와 상이한 것으로 판단되면, 제1영역(1A)의 개구영역에서도 이러한 작업이 수행될 수 있다. 또한, 제2영역(2A)의 개구영역에 대응되는 마스크 시트의 개구부의 위치가 기 설정된 위치와 상하지 않은 것으로 판단되면, 제2영역(2A)의 개구영역에서 상기와 같은 작업이 진행되지 않고 기존의 작업과 같이 개구영역의 중심과 화소전극바디의 중심이 일치하도록 화소정의막에 개구영역을 형성할 수 있다.
도 15j 및 도 15k를 참고하면, 상기와 같이 화소정의막(29) 상의 제1-2개구영역(OP1-2A)의 위치를 최초 설정된 위치를 기준으로 적어도 하나의 방향으로 시프트시킨 후 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제1-1유기 발광층(28-2a1A)을 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1마스크 시트(132-1)를 배치하면, 평면 상으로 볼 때 제1개구부를 통하여 제1-2화소전극(28-1a2A) 전체가 외부로 노출될 수 있다. 이때, 제1개구부를 통과하여 증착되는 증착물질은 제1-2개구영역(OP1-2A)을 완전히 덮도록 배치된 제1-2유기 발광층(28-2a2A)을 형성할 수 있다.
상기와 같이 제1-2유기 발광층(28-2a2A)을 형성하는 경우 제1-2유기 발광층(28-2a2A)은 제1-2개구영역(OP1-2A)을 통하여 외부로 노출된 제1-2화소전극바디(28-1a2A-1) 전체를 덮을 수 있다.(도 15j의 H′영역) 또한, 제1-2유기 발광층(28-2a2A)은 인접하는 제3-2부화소(Px3-2A)의 제3-2화소전극(28-1c2A) 상에 배치되지 않을 수 있다.(도 15j의 I′영역)
한편, 상기와 같은 작업은 제1마스크 시트(132-1)에만 적용되는 것이 아닌 제2마스크 시트(132-2) 및 제3마스크 시트(132-3) 모두 적용될 수 있다. 이러한 경우 제2마스크 시트(132-2) 및 제3마스크 시트(132-3)의 변형으로 인하여 위치가 최초 위치 또는 기 설정된 위치와 상이진 것으로 산출된 제2개구부 및 제3개구부의 위치에 대응되는 각 부화소의 개구영역은 최초 설정된 위치에 대하여 시프트될 수 있다.
상기와 같이 화소정의막(29)의 개구영역은 각 마스크 시트의 변형에 대응되도록 개별적으로 위치가 조절될 수 있다.
도 15l 및 도 15m을 참고하면, 상기와 같이 개구영역의 위치가 개별적으로 조절되는 경우 서로 인접하면서 서로 다른 색을 발광하는 유기 발광층은 적어도 일부분이 서로 중첩되는 부화소들이 존재할 수 있다. 예를 들면, 도 15m에 도시된 J영역과 같이 제1-2개구영역(OP1-2A), 제2-2개구영역(OP2-2A) 및 제3-2개구영역(OP3-2A) 중 적어도 하나가 시프트되어 형성된 경우 제1-2유기 발광층(28-2a2A), 제2-2유기 발광층(28-2b2A) 및 제3-2유기 발광층(28-2c2A) 중 하나는 제1-2유기 발광층(28-2a2A), 제2-2유기 발광층(28-2b2A) 및 제3-2유기 발광층(28-2c2A) 중 다른 하나와 평면 상에서 중첩될 수 있다. 이러한 경우 제1-2유기 발광층(28-2a2A), 제2-2유기 발광층(28-2b2A) 및 제3-2유기 발광층(28-2c2A) 중 하나는 제1-2유기 발광층(28-2a2A), 제2-2유기 발광층(28-2b2A) 및 제3-2유기 발광층(28-2c2A) 중 다른 하나와 평면 상에서 중첩되는 부분은 화소정의막(29) 상에 존재할 수 있다. 따라서 상기와 같이 유기 발광층이 중첩되는 부분에는 전원이 인가되지 않으므로 발광하지 않을 수 있다.
따라서 상기와 같은 표시 장치의 제조방법은 마스크 시트의 변형에 따라서 유기 발광층이 개구영역을 완전히 덮지 못하는 문제를 해결할 수 있다. 또한, 표시 장치의 제조방법은 유기 발광층을 개구영역으로 노출된 화소전극 전체를 덮도록 배치함으로써 각 부화소에서 선명한 빛을 발광하도록 할 수 있다.
표시 장치의 제조방법은 마스크 시트의 변형을 반영한 개구영역의 위치를 조절함으로써 증착물질을 정확한 위치에 증착하는 것이 가능하다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
Px1: 제1부화소 100: 표시 장치의 제조장치
Px2: 제2부화소 110: 챔버
Px3: 제3부화소 120: 증착원
AR1: 제1얼라인마크 130: 마스크 조립체
AR2: 제2얼라인마크 131: 마스크 프레임
1A: 제1영역 132: 마스크 시트
2A: 제2영역 132-1: 제1마스크 시트
20: 표시 장치 132-2: 제2마스크 시트
21: 기판 132-3: 제3마스크 시트
28: 유기 발광 소자 140: 제1지지부
29: 화소정의막 150: 제2지지부
160: 자기력생성부 180: 비젼부

Claims (19)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 배치되며, 적어도 하나 이상의 개구영역을 포함한 화소정의막; 및
    상기 화소정의막 상에 배치되며, 상기 개구영역을 차폐하는 유기 발광층;을 포함하고,
    평면 상의 상기 개구영역의 중심과 상기 유기 발광층의 중심은 서로 상이한 위치에 배치된 표시 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    평면 상에서 상기 개구영역은 상기 유기 발광층의 내부에 삽입되도록 배치된 표시 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판과 화소정의막 상에 배치되며, 상기 개구영역을 통하여 외부로 노출되는 화소전극;을 더 포함하는 표시 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    평면 상에서 상기 화소전극의 중심은 상기 유기 발광층의 중심 및 상기 개구영역의 중심 중 적어도 하나와 상이한 위치에 배치된 표시 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    일 방향으로 상기 개구영역의 양단 중 하나에 배치되며, 상기 화소정의막 내부에 배치된 상기 화소전극의 제1길이는 상기 개구영역의 양단 중 다른 하나에 배치되며, 상기 화소정의막 내부에 배치된 상기 화소전극의 제2길이는 서로 상이한 표시 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    일 방향으로 측정된 상기 개구영역의 중심에서 상기 유기 발광층의 끝단 중 하나까지의 거리는 상기 개구영역의 중심에서 상기 유기 발광층의 끝단 중 다른 하나까지의 거리는 서로 상이한 표시 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구영역의 테두리로부터 상기 유기 발광층의 테두리까지의 직선거리는 상기 개구영역의 테두리 중 임의의 2군데에서 서로 상이한 표시 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기 발광층은 적색, 녹색 또는 청색 중 하나의 발광하는 유기 발광층을 포함하는 표시 장치.
  9. 기판;
    상기 기판 상에 배치되며, 복수개의 개구영역을 포함한 화소정의막; 및
    상기 화소정의막 상에 배치되며, 상기 각 개구영역을 차폐하는 복수개의 유기 발광층;을 포함하고,
    평면 상으로 볼 때 서로 대응되도록 배치되는 상기 복수개의 유기 발광층 중 제1유기 발광층의 중심과 상기 제1유기 발광층과 대응되도록 배치된 상기 복수개의 개구영역 중 제1개구영역의 중심 사이의 제1거리는 상기 복수개의 유기 발광층 중 제2유기 발광층의 중심과 상기 제2유기 발광층과 대응되도록 배치된 제2개구영역의 중심 사이의 제2거리는 서로 상이한 표시 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1유기 발광층과 상기 제2유기 발광층은 서로 동일한 색을 발광하는 표시 장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1유기 발광층의 중심과 상기 제1개구영역의 중심은 일치하는 표시 장치.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1유기 발광층의 테두리로부터 상기 제1개구영역의 테두리까지의 거리는 상기 제1개구영역의 테두리를 따라 일정한 표시 장치.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 제2유기 발광층의 테두리로부터 상기 제2개구영역의 테두리까지의 거리는 상기 제2개구영역의 테두리의 적어도 2군데에서 서로 상이한 표시 장치.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1유기 발광층과 상기 제2유기 발광층 중 적어도 하나는 상기 제1유기 발광층과 상기 제2유기 발광층이 발광하는 색과 다른 색을 발광하는 유기 발광층과 평면 상에서 서로 중첩되는 표시 장치.
  15. 마스크 시트와 디스플레이 기판을 얼라인하는 단계;
    상기 마스크 시트의 위치와 상기 디스플레이 기판의 위치가 서로 어긋나면, 화소정의막의 복수개의 개구영역 중 적어도 하나의 위치를 기존 위치와 상이한 위치로 시프트시키는 단계;
    상기 마스크 시트의 개구부를 통과한 증착물질을 상기 화소정의막의 개구영역에 증착시키는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 화소정의막 하부에 배치된 화소전극의 중심과 상기 개구영역의 중심이 서로 어긋나도록 상기 화소정의막의 개구영역을 시프트시키는 표시 장치의 제조방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 증착물질은 상기 개구영역을 완전히 차폐하는 표시 장치의 제조방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 마스크 시트의 개구부의 중심은 상기 개구영역의 중심과 서로 어긋나는 표시 장치의 제조방법.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 개구영역은 복수개 구비되며,
    평면 상에서 볼 때 상기 개구부는 상기 복수개의 개구영역 중 하나의 개구영역과 중첩되는 표시 장치의 제조방법.
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