KR20210106616A - 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20210106616A
KR20210106616A KR1020200021143A KR20200021143A KR20210106616A KR 20210106616 A KR20210106616 A KR 20210106616A KR 1020200021143 A KR1020200021143 A KR 1020200021143A KR 20200021143 A KR20200021143 A KR 20200021143A KR 20210106616 A KR20210106616 A KR 20210106616A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
body part
mask
mask sheet
opening
disposed
Prior art date
Application number
KR1020200021143A
Other languages
English (en)
Inventor
김상훈
이승진
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020200021143A priority Critical patent/KR20210106616A/ko
Priority to US17/106,145 priority patent/US20210265396A1/en
Priority to JP2021024945A priority patent/JP2021130873A/ja
Priority to CN202110193592.3A priority patent/CN113284928A/zh
Publication of KR20210106616A publication Critical patent/KR20210106616A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H10K59/352—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels the areas of the RGB subpixels being different
    • H01L51/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
    • H01L27/1288—Multistep manufacturing methods employing particular masking sequences or specially adapted masks, e.g. half-tone mask
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
    • H01L21/32—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers using masks
    • H01L51/0011—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H10K59/353—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels characterised by the geometrical arrangement of the RGB subpixels
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 마스크 시트의 변형을 방지함으로써 정밀한 패턴을 갖는 표시 장치를 제조할 수 있다.

Description

마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Mask assembly, apparatus and method for manufacturing a display device}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
일반적으로 표시 장치의 제조 시 정밀한 패턴의 증착을 위하여 마스크 시트를 인장시켜 고정시킨 후 사용한다. 이때, 마스크 시트의 인장 시 마스크 시트의 일부가 변형되는 문제가 발생할 수 있다. 이러한 변형으로 인하여 정밀하지 않은 패턴을 갖는 표시 장치가 제조될 수 있으므로 본 발명의 실시예들은 정밀한 패턴을 갖는 표시 장치를 제조 가능한 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 챔버와, 상기 챔버 내부에 디스플레이 기판과 대향하도록 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 디스플레이 기판으로 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 개구부를 포함한 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임을 가로지르도록 배치된 마스크 시트를 포함하며, 상기 마스크 시트는, 제1개구부가 구비된 제1바디부와, 상기 제1바디부와 연결되며, 상기 제1개구부와 상이한 제2개구부가 배치된 제2바디부와, 상기 제1바디부와 연결되며, 제3개구부가 배치된 제3바디부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2개구부의 형상과 상기 제3개구부의 형상은 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임을 더 포함하고, 상기 제3바디부는 평면으로 볼 때 상기 지지프레임과 중첩되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 서로 반대 방향에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부의 최외곽에 배치된 상기 제2개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 제3바디부의 최외곽에 배치된 상기 제3개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 각각 복수개 포함하며, 상기 복수개의 제2바디부는 서로 일직선 상에 배열되며, 상기 복수개의 제3바디부는 서로 일적선 상에 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 제2바디부와 상기 각 제3바디부는 서펜타인 형태로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제2바디부의 제2개구부의 면적의 합과 상기 복수개의 제3바디부의 제3개구부의 면적의 합은 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제3바디부의 일부와 상기 복수개의 제3바디부의 다른 일부는 상기 마스크 시트의 중심을 통과하면서 상기 마스크 시트의 길이 방향에 수직한 임의의 직선을 기준으로 서로 대칭되도록 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임을 더 포함하고, 상기 지지프레임 및 상기 제2바디부는 복수개 구비되며, 상기 복수개의 지지프레임 중 서로 인접하는 상기 지지프레임과 상기 제1바디부의 테두리 또는 상기 복수개의 지지프레임 중 하나와 상기 마스크 프레임 및 상기 제1바디부의 테두리는 상기 증착물질이 통과하는 통과영역을 정의하고, 상기 각 제2바디부는 상기 통과영역의 모서리 부분에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계와, 상기 마스크 조립체를 통과하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 개구부를 포함한 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임을 가로지르도록 배치된 마스크 시트를 포함하며, 상기 마스크 시트는, 제1개구부가 구비된 제1바디부와, 상기 제1바디부와 연결되며, 상기 제1개구부와 상이한 제2개구부가 배치된 제2바디부와, 상기 제1바디부와 연결되며, 제3개구부가 배치된 제3바디부를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2개구부의 형상과 상기 제3개구부의 형상은 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임을 더 포함하고, 상기 제3바디부는 평면으로 볼 때 상기 지지프레임과 중첩되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 서로 반대 방향에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부의 최외곽에 배치된 상기 제2개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 제3바디부의 최외곽에 배치된 상기 제3개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 각각 복수개 포함하며, 상기 복수개의 제2바디부는 서로 일직선 상에 배열되며, 상기 복수개의 제3바디부는 서로 일적선 상에 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 제2바디부와 상기 각 제3바디부는 서펜타인 형태로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제2바디부의 제2개구부의 면적의 합과 상기 복수개의 제3바디부의 제3개구부의 면적의 합은 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제3바디부의 일부와 상기 복수개의 제3바디부의 다른 일부는 상기 마스크 시트의 중심을 통과하면서 상기 마스크 시트의 길이 방향에 수직한 임의의 직선을 기준으로 서로 대칭되도록 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임을 더 포함하고, 상기 지지프레임 및 상기 제2바디부는 복수개 구비되며, 상기 복수개의 지지프레임 중 서로 인접하는 상기 지지프레임과 상기 제1바디부의 테두리 또는 상기 복수개의 지지프레임 중 하나와 상기 마스크 프레임 및 상기 제1바디부의 테두리는 상기 증착물질이 통과하는 통과영역을 정의하고, 상기 각 제2바디부는 상기 통과영역의 모서리 부분에 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 개구부를 포함한 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임을 가로지르도록 배치된 마스크 시트를 포함하며, 상기 마스크 시트는, 제1개구부가 구비된 제1바디부와, 상기 제1바디부와 연결되며, 상기 제1개구부와 상이한 제2개구부가 배치된 제2바디부와, 상기 제1바디부와 연결되며, 제3개구부가 배치된 제3바디부를 포함하는 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2개구부의 형상과 상기 제3개구부의 형상은 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임을 더 포함하고, 상기 제3바디부는 평면으로 볼 때 상기 지지프레임과 중첩되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 서로 반대 방향에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부의 최외곽에 배치된 상기 제2개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 제3바디부의 최외곽에 배치된 상기 제3개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 각각 복수개 포함하며, 상기 복수개의 제2바디부는 서로 일직선 상에 배열되며, 상기 복수개의 제3바디부는 서로 일적선 상에 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 각 제2바디부와 상기 각 제3바디부는 서펜타인 형태로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제2바디부의 제2개구부의 면적의 합과 상기 복수개의 제3바디부의 제3개구부의 면적의 합은 서로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제3바디부의 일부와 상기 복수개의 제3바디부의 다른 일부는 상기 마스크 시트의 중심을 통과하면서 상기 마스크 시트의 길이 방향에 수직한 임의의 직선을 기준으로 서로 대칭되도록 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임을 더 포함하고, 상기 지지프레임 및 상기 제2바디부는 복수개 구비되며, 상기 복수개의 지지프레임 중 서로 인접하는 상기 지지프레임과 상기 제1바디부의 테두리 또는 상기 복수개의 지지프레임 중 하나와 상기 마스크 프레임 및 상기 제1바디부의 테두리는 상기 증착물질이 통과하는 통과영역을 정의하고, 상기 각 제2바디부는 상기 통과영역의 모서리 부분에 배치될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 패턴을 갖는 표시 장치를 제졸하는 것이 가능하다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 마스크 시트의 변형을 최소화하는 것이 가능하다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 투과율이 서로 상이한 표시 영역을 갖는 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A′선을 따라 취한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 표시 영역 및/또는 센서 영역에 배치될 수 있는 화소의 등가 회로도이다.
도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 표시 영역 및/또는 센서 영역에 배치될 수 있는 화소의 등가 회로도이다.
도 5는 제1표시영역 및 제2표시영역에 배치되는 부화소들 및 투과부의 배열을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 6은 도 5의 I-I'선 및 II-II'선에 따르는 개략적인 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 마스크 어셈블리를 보여주는 사시도이다.
도 11은 도 10에 도시된 마스크 시트를 보여주는 평면도이다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 일 실시예에 표시 장치의 제조장치의 제2마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 일 실시에에 따른 표시 장치의 제조장치의 제3마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트를 보여주는 평면도이다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 18은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제2표시영역에 배치되는 부화소들 및 투과부의 배열을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 20은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 21은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제2표시영역에 배치되는 부화소들 및 투과부의 배열을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 22는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 23은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제2표시영역에 배치되는 부화소들 및 투과부의 배열을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 24는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 사시도이다.
도 1을 참고하면, 표시 장치(1)는 이미지를 구현하는 제1표시영역(DA1)과 이미지를 구현하지 않는 비표시영역(NDA)을 포함한다. 표시 장치(1)는 제1표시영역(DA1)에 배치된 복수의 메인 부화소(Pm, main sub-pixel)들에서 방출되는 빛을 이용하여 메인 이미지를 제공할 수 있다.
표시 장치(1)는 제2표시영역(DA2)을 포함한다. 제2표시영역(DA2)은 도 2를 참조하여 후술할 바와 같이 그 하부에 적외선, 가시광선이나 음향 등을 이용하는 센서와 같은 컴포넌트가 배치되는 영역일 수 있다. 제2표시영역(DA2)은 컴포넌트로부터 외부로 출력되거나 외부로부터 컴포넌트를 향해 진행하는 빛 또는/및 음향이 투과할 수 있는 투과부(TA)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예로, 제2표시영역(DA2)을 통해 광이 투과하는 경우, 광 투과율은 약 30% 이상, 보다 바람직하게 50% 이상이거나, 75% 이상이거나 80% 이상이거나, 85% 이상이거나, 90% 이상일 수 있다.
본 실시예에서, 제2표시영역(DA2)은 복수의 보조 부화소(Pa)들이 배치된 보조 발광영역(Pg)을 포함할 수 있으며, 복수의 보조 부화소(Pa)들에서 방출되는 빛을 이용하여 소정의 이미지를 제공할 수 있다. 제2표시영역(DA2)에서 제공되는 이미지는 보조 이미지로 제1표시영역(DA1)에서 제공하는 이미지에 비해서 해상도가 낮을 수 있다. 즉, 제2표시영역(DA2)은 빛 또는/및 음향이 투과할 수 있는 투과부(TA)를 구비하는 바, 단위 면적 당 배치될 수 있는 보조 부화소(Pa)들의 수가 제1표시영역(DA1)에 단위 면적 당 배치되는 메인 부화소(Pm)들의 수에 비해 적을 수 있다.
제2표시영역(DA2)은 제1표시영역(DA1)의 일측에 배치될 수 있으며, 일 실시예로서 도 1은 제2표시영역(DA2)은 제1표시영역(DA1)의 좌측에 배치되어, 제2표시영역(DA2)이 비표시영역(NDA)과 제1표시영역(DA1) 사이에 배치되는 것을 도시한다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 제2표시영역(DA2)는 제1표시영역(DA1)에 의해서 둘러싸이도록 배치될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 도 1에서는 제2표시영역(DA2)이 사각형인 제1표시영역(DA1)의 좌측에 배치된 것을 도시하고 있으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 제1표시영역(DA1)의 형상은 원형, 타원, 또는 삼각형이나 오각형 등과 같은 다각형일 수 있다. 제2표시영역(DA2)은 제1표시영역(DA1)의 내부 우측에 배치될 수 있다. 즉, 제2표시영역(DA2)는 제1표시영역(DA1)의 중심으로부터 일정 거리 이격된 위치에 배치될 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(1)로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 표시 장치는 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 무기 EL 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display Apparutus), 퀀텀닷 발광 표시 장치 (Quantum dot Light Emitting Display Apparatus) 등과 같이 다양한 방식의 표시 장치가 사용될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치를 간략하게 나타낸 단면도로서, 도 1의 A-A'선에 따른 단면에 대응할 수 있다.
도 2를 참조하면, 표시 장치(1)는 표시요소를 포함하는 표시 패널(10), 및 제2표시영역(DA2)에 대응하는 컴포넌트(20)를 포함할 수 있다.
표시 패널(10)은 기판(100), 기판(100) 상에 배치된 표시요소층(200), 상기 표시요소층(200)을 밀봉하는 밀봉부재로써 박막봉지층(300)을 포함할 수 있다. 또한, 표시 패널(10)은 기판(100)에 하부에 배치된 하부보호필름(175)을 더 포함할 수 있다.
기판(100)은 글래스 또는 고분자 수지를 포함할 수 있다. 고분자 수지는 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelene naphthalate, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyelene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등을 포함할 수 있다. 고분자 수지를 포함하는 기판(100)은 플렉서블, 롤러블 또는 벤더블 특성을 가질 수 있다. 기판(100)은 전술한 고분자 수지를 포함하는 층 및 무기층(미도시)을 포함하는 다층 구조일 수 있다.
표시요소층(200)은 박막트랜지스터(TFT, TFT')를 포함하는 회로층, 표시요소로서 유기발광다이오드(OLED), 및 이들 사이의 절연층(IL, IL')을 포함할 수 있다.
제1표시영역(DA1)에는 제1박막트랜지스터(TFT) 및 이와 연결된 유기발광다이오드(organic light-emitting diode, OLED)를 포함하는 메인 부화소(Pm)가 배치되며, 제2표시영역(DA2)에는 제2박막트랜지스터(TFT') 및 이와 연결된 유기발광다이오드(organic light-emitting diode, OLED)를 포함하는 보조 부화소(Pa)가 배치될 수 있다.
또한, 제2표시영역(DA2)에는 표시요소가 배치되지 않는 투과부(TA)가 배치될 수 있다. 투과부(TA)는 컴포넌트(20)로부터 방출되는 빛/신호 나 컴포넌트(20)로 입사되는 빛/신호가 투과(tansmission)되는 영역으로 이해할 수 있다. 이때, 투과부(TA)는 보조 발광 영역(Pg)과 서로 교번하도록 배치될 수 있다. 즉, 서로 인접하는 보조 발광 영역(Pg) 사이에는 투과부(TA)가 배치되며, 서로 인접하는 투과부(TA) 사이에는 보조 발광 영역(Pg)이 배치될 수 있다.
컴포넌트(20)는 제2표시영역(DA2)에 위치할 수 있다. 컴포넌트(20)는 빛이나 음향을 이용하는 전자요소일 수 있다. 예컨대, 컴포넌트(20)는 적외선 센서와 같이 광을 수광하여 이용하는 센서, 빛이나 음향을 출력하고 감지하여 거리를 측정하거나 지문 등을 인식하는 센서, 빛을 출력하는 소형 램프이거나, 소리를 출력하는 스피커, 카메라 등일 수 있다. 빛을 이용하는 전자요소의 경우, 가시광, 적외선광, 자외선광 등 다양한 파장 대역의 빛을 이용할 수 있음은 물론이다. 제2표시영역(DA2)에 배치된 컴포넌트(20)의 수는 복수로 구비될 수 있다. 예컨대, 컴포넌트(20)로써 발광소자 및 수광소자가 하나의 제2표시영역(DA2)에 함께 구비될 수 있다. 또는, 하나의 컴포넌트(20)에 발광부 및 수광부가 동시에 구비될 수 있다.
제2표시영역(DA2)에는 하부전극층(BSM)이 배치될 수 있다. 하부전극층(BSM)은 제2박막트랜지스터(TFT')의 하부에 대응하도록 배치될 수 있다. 이러한 하부전극층(BSM)은 외부 광이 제2박막트랜지스터(TFT') 등이 포함된 보조 부화소(Pa)에 도달하는 것을 차단할 수 있다. 예컨대, 하부전극층(BSM)은 컴포넌트(20)로부터 출사되는 광이 보조 부화소(Pa)에 도달하는 것을 차단할 수 있다.
일부 실시예에서, 하부전극층(BSM)에는 정전압 또는 신호가 일가되어, 정전기 방전에 의한 화소회로의 손상을 방지할 수 있다.
박막봉지층(300)은 적어도 하나의 무기봉지층과 적어도 하나의 유기봉지층을 포함할 수 있다. 이와 관련하여, 도 2는 제1 및 제2무기봉지층(310, 330)과 이들 사이의 유기봉지층(320)을 나타낸다.
제1 및 제2무기봉지층(310, 330)은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 타탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드, 아연옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드 하나 이상의 무기 절연물을 포함할 수 있다. 유기봉지층(320)은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다.
하부보호필름(175)은 기판(100)의 하부에 부착되어, 기판(100)을 지지하고 보호하는 역할을 할 수 있다. 하부보호필름(175)는 제2표시영역(DA2)에 대응하는 개구(175OP)를 구비할 수 있다. 하부보호필름(175)에 개구(175OP)를 구비함으로써, 제2표시영역(DA2)의 광 투과율을 향상시킬 수 있다. 하부보호필름(175)는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyelene terephthalate, PET) 또는 폴리이미드(polyimide, PI)를 포함하여 구비될 수 있다.
제2표시영역(DA2)의 면적은 컴포넌트(20)가 배치되는 면적에 비해서 크게 구비될 수 있다. 이에 따라, 하부보호필름(175)에 구비된 개구(175OP)의 면적은 상기 제2표시영역(DA2)의 면적과 일치하지 않을 수 있다. 예컨대, 개구(175OP)의 면적은 제2표시영역(DA2)의 면적에 비해 작게 구비될 수 있다.
또한, 제2표시영역(DA2)에는 복수의 컴포넌트(20)가 배치될 수 있다. 상기 복수의 컴포넌트(20)는 서로 기능을 달리할 수 있다. 예컨대, 복수의 컴포넌트(20) 중 하나는 카메라 일 수 있고, 다른 하나는 적외선 센서일 수 있다.
도시되지는 않았으나, 표시 패널(10) 상에는 터치입력을 감지하는 입력감지부재, 편광자(polarizer)와 지연자(retarder) 또는 컬러필터와 블랙매트릭스를 포함하는 반사 방지부재, 및 투명한 윈도우와 같은 구성요소가 더 배치될 수 있다.
한편, 본 실시예에서 표시요소층(200)을 밀봉하는 봉지부재로 박막봉지층(300)을 이용한 것을 도시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 표시요소층(200)을 밀봉하는 부재로써, 실런트 또는 프릿에 의해서 기판(100)과 합착되는 밀봉기판을 이용할 수도 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3을 참조하면, 표시 패널(10)은 제1표시영역(DA1)에 배치되며, 복수의 메인 부화소(Pm)들을 포함한다. 메인 부화소(Pm)들은 각각 유기발광다이오드와 같은 표시요소를 포함할 수 있다. 각 메인 부화소(Pm)는 유기발광다이오드를 통해 예컨대, 적색, 녹색, 청색 또는 백색 중 어느 하나의 색상의 빛을 방출할 수 있다. 제1표시영역(DA1)은 앞서 도 2를 참조하여 설명한 봉지부재로 커버되어 외기 또는 수분 등으로부터 보호될 수 있다.
제2표시영역(DA2)은 제1표시영역(DA1)의 일측에 배치될 수 있으며, 제2표시영역(DA2)에는 복수의 보조 부화소(Pa)들이 배치된 보조 발광 영역(Pg)이 배치된다. 보조 부화소(Pa)들은 각각 유기발광다이오드와 같은 표시요소를 포함할 수 있다. 각 보조 부화소(Pa)는 유기발광다이오드를 통해 예컨대, 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 빛 중 어느 하나의 색상의 빛을 방출할 수 있다. 이러한 경우 보조 발광 영역(Pg)에는 서로 동일한 색을 발광하는 보조 부화소(Pa)가 적어도 2개 이상 배치될 수 있다. 한편, 제2표시영역(DA2)에는 보조 발광 영역(Pg)들 사이에 배치되는 투과부(TA)가 배치될 수 있다. 표시 패널(10)의 제2표시영역(DA2)의 하부 대응하여 적어도 하나의 컴포넌트(20)가 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 하나의 메인 부화소(Pm)와 하나의 보조 부화소(Pa)는 동일한 화소 회로를 포함할 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 메인 부화소(Pm)에 포함되는 화소 회로와 보조 부화소(Pa)에 포함되는 화소 회로는 서로 다를 수 있음은 물론이다. 한편, 제2표시영역(DA2)은 투과부(TA)를 구비하고 있는 바, 제2표시영역(DA2)의 해상도는 제1표시영역(DA1) 보다 작을 수 있다.
각 부화소(Pm, Pa)는 비표시영역(NDA)에 배치된 외곽회로들과 전기적으로 연결될 수 있다. 비표시영역(NDA)에는 제1스캔 구동회로(110), 제2스캔 구동회로(120), 단자(140), 데이터 구동회로(150), 제1전원공급배선(160), 및 제2전원공급배선(170)이 배치될 수 있다.
제1스캔 구동회로(110)는 스캔라인(SL)을 통해 각 부화소(Pm, Pa)에 스캔 신호를 제공할 수 있다. 제1스캔 구동회로(110)는 발광 제어선(EL)을 통해 각 부화소에 발광 제어 신호를 제공할 수 있다. 제2스캔 구동회로(120)는 제1표시영역(DA1)을 사이에 두고 제1스캔 구동회로(110)와 나란하게 배치될 수 있다. 제1표시영역(DA1)에 배치된 부화소(Pm, Pa)들 중 일부는 제1스캔 구동회로(110)와 전기적으로 연결될 수 있고, 나머지는 제2스캔 구동회로(120)에 연결될 수 있다. 다른 실시예로, 제2스캔 구동회로(120)는 생략될 수 있다.
단자(140)는 기판(100)의 일 측에 배치될 수 있다. 단자(140)는 절연층에 의해 덮이지 않고 노출되어 인쇄회로기판(PCB)과 전기적으로 연결될 수 있다. 인쇄회로기판(PCB)의 단자(PCB-P)는 표시 패널(10)의 단자(140)와 전기적으로 연결될 수 있다. 인쇄회로기판(PCB)은 제어부(미도시)의 신호 또는 전원을 표시 패널(10)로 전달한다. 제어부에서 생성된 제어 신호는 인쇄회로기판(PCB)을 통해 제1 및 제2 스캔 구동회로(110, 120)에 각각 전달될 수 있다. 제어부는 제1 및 제2연결배선(161, 171)을 통해 제1 및 제2전원공급배선(160, 170)에 각각 제1 및 제2 전원(ELVDD, ELVSS, 후술할 도 4a, 4b 참조)을 제공할 수 있다. 제1전원전압(ELVDD)은 제1전원공급배선(160)과 연결된 구동전압선(PL)을 통해 각 부화소(Pm, Pa)에 제공되고, 제2전원전압(ELVSS)은 제2전원공급배선(170)과 연결된 각 부화소(Pm, Pa)의 대향전극에 제공될 수 있다.
데이터 구동회로(150)는 데이터선(DL)에 전기적으로 연결된다. 데이터 구동회로(150)의 데이터 신호는 단자(140)에 연결된 연결배선(151) 및 연결배선(151)과 연결된 데이터선(DL)을 통해 각 부화소(Pm, Pa)에 제공될 수 있다. 도 3a는 데이터 구동회로(150)가 인쇄회로기판(PCB)에 배치된 것을 도시하지만, 다른 실시예로, 데이터 구동회로(150)는 기판(100) 상에 배치될 수 있다. 예컨대, 데이터 구동회로(150)는 단자(140)와 제1전원공급배선(160) 사이에 배치될 수 있다.
제1전원공급배선(160, first power supply line)은 제1표시영역(DA1)을 사이에 두고 X방향을 따라 나란하게 연장된 제1서브배선(162) 및 제2서브배선(163)을 포함할 수 있다. 제2전원공급배선(170, second power supply line)은 일측이 개방된 루프 형상으로 제1표시영역(DA1)을 부분적으로 둘러쌀 수 있다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 표시 영역 및/또는 센서 영역에 배치될 수 있는 화소의 등가 회로도이다.
도 4a를 참고하면, 각 부화소(Pm, Pa)는 스캔라인(SL) 및 데이터선(DL)에 연결된 화소회로(PC) 및 화소회로(PC)에 연결된 유기발광다이오드(OLED)를 포함한다.
화소회로(PC)는 구동 박막트랜지스터(T1), 스위칭 박막트랜지스터(T2), 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함한다. 스위칭 박막트랜지스터(T2)는 스캔라인(SL) 및 데이터선(DL)에 연결되며, 스캔라인(SL)을 통해 입력되는 스캔 신호(Sn)에 따라 데이터선(DL)을 통해 입력된 데이터 신호(Dm)를 구동 박막트랜지스터(T1)로 전달한다.
스토리지 커패시터(Cst)는 스위칭 박막트랜지스터(T2) 및 구동전압선(PL)에 연결되며, 스위칭 박막트랜지스터(T2)로부터 전달받은 전압과 구동전압선(PL)에 공급되는 제1전원전압(ELVDD, 또는 구동전압)의 차이에 해당하는 전압을 저장한다.
구동 박막트랜지스터(T1)는 구동전압선(PL)과 스토리지 커패시터(Cst)에 연결되며, 스토리지 커패시터(Cst)에 저장된 전압 값에 대응하여 구동전압선(PL)으로부터 유기발광다이오드(OLED)를 흐르는 구동 전류를 제어할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 구동 전류에 의해 소정의 휘도를 갖는 빛을 방출할 수 있다.
도 4b를 참고하면, 화소회로(PC)는 구동 박막트랜지스터(T1), 스위칭 박막트랜지스터(T2), 보상 박막트랜지스터(T3), 제1초기화 박막트랜지스터(T4), 동작제어 박막트랜지스터(T5), 발광제어 박막트랜지스터(T6) 및 제2초기화 박막트랜지스터(T7)를 포함할 수 있다.
도 4b에서는, 각 화소회로(PC) 마다 신호선들(SL, SL-1, SL+1, EL, DL), 초기화전압선(VL), 및 구동전압선(PL)이 구비된 경우를 도시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 또 다른 실시예로서, 신호선들(SL, SL-1, SL+1, EL, DL) 중 적어도 어느 하나, 또는/및 초기화전압선(VL)은 이웃하는 화소회로들에서 공유될 수 있다.
구동 박막트랜지스터(T1)의 드레인전극은 발광제어 박막트랜지스터(T6)를 경유하여 발광 소자(ED)와 전기적으로 연결될 수 있다. 구동 박막트랜지스터(T1)는 스위칭 박막트랜지스터(T2)의 스위칭 동작에 따라 데이터 신호(Dm)를 전달받아 발광 소자(ED)에 구동 전류를 공급한다.
스위칭 박막트랜지스터(T2)의 게이트전극은 스캔선(SL)과 연결되고, 소스전극은 데이터선(DL)과 연결된다. 스위칭 박막트랜지스터(T2)의 드레인전극은 구동 박막트랜지스터(T1)의 소스전극과 연결되어 있으면서 동작제어 박막트랜지스터(T5)를 경유하여 구동전압선(PL)과 연결될 수 있다.
스위칭 박막트랜지스터(T2)는 스캔선(SL)을 통해 전달받은 스캔 신호(Sn)에 따라 턴 온 되어 데이터선(DL)으로 전달된 데이터 신호(Dm)를 구동 박막트랜지스터(T1)의 소스전극으로 전달하는 스위칭 동작을 수행한다.
보상 박막트랜지스터(T3)의 게이트전극은 스캔선(SL)에 연결될 수 있다. 보상 박막트랜지스터(T3)의 소스전극은 구동 박막트랜지스터(T1)의 드레인전극과 연결되어 있으면서 발광제어 박막트랜지스터(T6)를 경유하여 발광 소자(ED)의 화소전극과 연결될 수 있다. 보상 박막트랜지스터(T3)의 드레인전극은 스토리지 커패시터(Cst)의 어느 하나의 전극, 제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 소스전극 및 구동 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극과 함께 연결될 수 있다. 보상 박막트랜지스터(T3)는 스캔선(SL)을 통해 전달받은 스캔 신호(Sn)에 따라 턴 온(turn on)되어 구동 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극과 드레인전극을 서로 연결하여 구동 박막트랜지스터(T1)를 다이오드 연결(diode-connection)시킨다.
제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 게이트전극은 이전 스캔선(SL-1)과 연결될 수 있다. 제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 드레인전극은 초기화전압선(VL)과 연결될 수 있다. 제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 소스전극은 스토리지 커패시터(Cst)의 어느 하나의 전극, 보상 박막트랜지스터(T3)의 드레인전극 및 구동 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극과 함께 연결될 수 있다. 제1초기화 박막트랜지스터(T4)는 이전 스캔선(SL-1)을 통해 전달받은 이전 스캔신호(Sn-1)에 따라 턴 온 되어 초기화 전압(Vint)을 구동 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극에 전달하여 구동 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극의 전압을 초기화시키는 초기화 동작을 수행할 수 있다.
동작제어 박막트랜지스터(T5)의 게이트전극은 발광 제어선(EL)과 연결될 수 있다. 동작제어 박막트랜지스터(T5)의 소스전극은 구동전압선(PL)과 연결될 수 있다. 동작제어 박막트랜지스터(T5)의 드레인전극은 구동 박막트랜지스터(T1)의 소스전극 및 스위칭 박막트랜지스터(T2)의 드레인전극과 연결되어 있다.
발광제어 박막트랜지스터(T6)의 게이트전극은 발광 제어선(EL)과 연결될 수 있다. 발광제어 박막트랜지스터(T6)의 소스전극은 구동 박막트랜지스터(T1)의 드레인전극 및 보상 박막트랜지스터(T3)의 소스전극과 연결될 수 있다. 발광제어 박막트랜지스터(T6)의 드레인전극은 발광 소자(ED)의 화소전극과 전기적으로 연결될 수 있다. 동작제어 박막트랜지스터(T5) 및 발광제어 박막트랜지스터(T6)는 발광 제어선(EL)을 통해 전달받은 발광 제어 신호(En)에 따라 동시에 턴 온 되어 구동전압(ELVDD)이 발광 소자(ED)에 전달되며, 발광 소자(ED)에 구동 전류가 흐르게 된다.
제2초기화 박막트랜지스터(T7)의 게이트전극은 이후 스캔선(SL+1)에 연결될 수 있다. 제2초기화 박막트랜지스터(T7)의 소스전극은 발광 소자(ED)의 화소전극과 연결될 수 있다. 제2초기화 박막트랜지스터(T7)의 드레인전극은 초기화전압선(VL)과 연결될 수 있다. 제2초기화 박막트랜지스터(T7)는 이후 스캔선(SL+1)을 통해 전달받은 이후 스캔신호(Sn+1)에 따라 턴 온 되어 발광 소자(ED)의 화소전극을 초기화시킬 수 있다.
도 4b에서는, 제1초기화 박막트랜지스터(T4)와 제2초기화 박막트랜지스터(T7)가 각각 이전 스캔선(SL-1) 및 이후 스캔선(SL+1)에 연결된 경우를 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 또 다른 실시예로서, 제1초기화 박막트랜지스터(T4) 및 제2초기화 박막트랜지스터(T7)는 모두 이전 스캔선(SLn-1)에 연결되어 이전 스캔신호(Sn-1)에 따라 구동할 수 있다.
스토리지 커패시터(Cst)의 다른 하나의 전극은 구동전압선(PL)과 연결될 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)의 어느 하나의 전극은 구동 박막트랜지스터(T1)의 게이트전극, 보상 박막트랜지스터(T3)의 드레인전극 및, 제1초기화 박막트랜지스터(T4)의 소스전극에 함께 연결될 수 있다.
발광 소자(ED)의 대향전극(예컨대, 캐소드)은 공통전압(ELVSS)을 제공받는다. 발광 소자(ED)는 구동 박막트랜지스터(T1)로부터 구동 전류를 전달받아 발광한다.
화소회로(PC)는 도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명한 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터의 개수 및 회로 디자인에 한정되지 않으며, 그 개수 및 회로 디자인은 다양하게 변경 가능하다.
메인 부화소(Pm) 및 보조 부화소(Pa)를 구동하는 화소회로(PC)는 동일하게 구비될 수도 있고, 서로 다르게 구비될 수도 있다. 예컨대, 메인 부화소(Pm)과 보조 부화소(Pa)를 구동하는 화소회로(PC)는 도 4b에 도시된 화소회로(PC)로 구비될 수 있다. 다른 실시예로, 메인 부화소(Pm)를 구동하는 화소회로(PC)는 도 4b에 도시된 화소회로(PC)를 채용하고, 보조 부화소(Pa)를 구동하는 화소회로(PC)는 도 4a에 도시된 화소회로(PC)를 채용할 수 있다.
도 5는 제1표시영역 및 제2표시영역에 배치되는 부화소들 및 투과부의 배열을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따르는 표시장치의 제1표시영역(DA1)에는 메인 부화소(Pm1, Pm2, Pm3)들이 배치되고, 제2표시영역(DA2)에는 보조 부화소(Pa1, Pa2, Pa3)들을 포함한 보조 발광 영역(Pg) 및 투과부(TA)가 배치된다.
본 실시예에서, 제1표시영역(DA1)에 배치된 메인 부화소(Pm1, Pm2, Pm3)들과 제2표시영역(DA2)에 배치된 보조 부화소(Pa1, Pa2, Pa3)들은 서로 다른 화소 배열 구조를 가질 수 있다. 본 명세서에서, 화소의 배열 구조는 각 부화소의 발광영역을 기준으로 설명하는 것이다. 이 때, 부화소의 발광영역은 화소정의막의 개구에 의해서 정의될 수 있으며, 이에 대해서는 후술한다.
도 5와 같이, 제1표시영역(DA1)에 배치된 메인 부화소(Pm1, Pm2, Pm3)들은 펜타일 구조로 배치될 수 있다. 제1메인 부화소(Pm1), 제2메인 부화소(Pm2), 및 제3메인 부화소(Pm3)는 각각 서로 다른 색을 구현할 수 있다. 예컨대, 제1메인 부화소(Pm1), 제2메인 부화소(Pm2), 및 제3메인 부화소(Pm3)는 각각 적색, 녹색, 청색을 구현할 수 있다.
제1 행(1N)에는 복수의 제1메인 부화소(Pm1)와 복수의 제3메인 부화소(Pm3)가 교대로 배치되어 있으며, 인접한 제2 행(2N)에는 복수의 제2메인 부화소(Pm2)가 소정 간격 이격되어 배치되어 있고, 인접한 제3 행(3N)에는 제3메인 부화소(Pm3)와 제1메인 부화소(Pm1)가 교대로 배치되어 있으며, 인접한 제4 행(4N)에는 복수의 제2메인 부화소(Pm2)가 소정 간격 이격되어 배치되어 있고, 이러한 화소의 배치가 제N 행까지 반복되어 있다. 이 때, 제3메인 부화소(Pm3) 및 제1메인 부화소(Pm1)는 제2메인 부화소(Pm2)보다 크게 구비될 수 있다.
제1 행(1N)에 배치된 복수의 제1메인 부화소(Pm1) 및 제3메인 부화소(Pm3)와 제2 행(2N)에 배치된 복수의 제2메인 부화소(Pm2)는 서로 엇갈려서 배치되어 있다. 따라서, 제1 열(1M)에는 제1메인 부화소(Pm1) 및 제3메인 부화소(Pm3)가 교대로 배치되어 있으며, 인접한 제2 열(2M)에는 복수의 제2메인 부화소(Pm2)가 소정 간격 이격되어 배치되어 있고, 인접한 제3 열(3M)에는 제3메인 부화소(Pm3) 및 제1메인 부화소(Pm1)가 교대로 배치되어 있으며, 인접한 제4 열(4M)에는 복수의 제2메인 부화소(Pm2)가 소정 간격 이격되어 배치되어 있으며, 이러한 화소의 배치가 제M 열까지 반복되어 있다.
이와 같은 화소 배치 구조를 다르게 표현하면, 제2메인 부화소(Pm2)의 중심점을 사각형의 중심점으로 하는 가상의 사각형(VS)의 꼭지점 중에 서로 마주보는 제1, 제3 꼭지점에는 제1메인 부화소(Pm1)이 배치되며, 나머지 꼭지점인 제2, 제4 꼭지점에 제3메인 부화소(Pm3)가 배치되어 있다고 표현할 수 있다. 이 때, 가상의 사각형(VS)는 직사각형, 마름모, 정사각형 등 다양하게 변형될 수 있다.
이러한 화소 배치 구조를 펜타일 매트릭스(Pentile Matrix) 구조라고 하며, 인접한 화소를 공유하여 색상을 표현하는 렌더링(Rendering) 구동을 적용함으로써, 작은 수의 화소로 고해상도를 구현할 수 있다.
한편, 제2표시영역(DA2)에 배치된 보조 부화소(Pa1, Pa2, Pa3)들은 메인 부화소(Pm1, Pm2, Pm3)들과 상이한 형상을 가지면서 상이한 구조로 배치될 수 있다. 제1보조 부화소(Pa1), 제2보조 부화소(Pa2), 및 제3보조 부화소(Pa3)는 각각 서로 다른 색을 구현할 수 있다. 예컨대, 제1보조 부화소(Pa1), 제2보조 부화소(Pa2), 및 제3보조 부화소(Pa3)는 각각 적색, 녹색, 및 청색을 구현할 수 있다.
제1 열(1I)에는 제1보조 부화소(Pa1)와 제3보조 부화소(Pa3)가 일렬로 순차적으로 배치되고, 인접한 제2 열(2I)에는 제3보조 부화소(Pa3)와 제1보조 부화소(Pa1)가 일렬로 순차적으로 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1 열(1I)과 제2 열(2I)에서 제1보조 부화소(Pa1)와 제3보조 부화소(Pa3)는 서로 상반되도록 배치될 수 있다.
한편, 복수개의 제2보조 부화소(Pa2)는 서로 인접하는 제1보조 부화소(Pa1)와 제3보조 부화소(Pa3) 사이에 배치될 수 있다. 복수개의 제2보조 부화소(Pa2)는 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 특히 복수개의 제2보조 부화소(Pa2)는 Y 방향으로 일렬로 배열되며, 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
제1보조 부화소(Pa1), 제2보조 부화소(Pa2), 및 제3보조 부화소(Pa3)는 하나의 보조 발광영역(Pg)을 형성할 수 있다. 도 5에 있어서, 하나의 보조 발광영역(Pg)에 8개의 보조 부화소(Pa1, Pa2, Pa3)가 포함된 것으로 도시하고 있으나, 본 발명의 실시예는 이에 한정되는 것은 아니며 하나의 보조 발광영역(Pg)에 포함된 보조 부화소(Pa1, Pa2, Pa3)의 개수 및 배치는 다양하게 변형될 수 있다.
투과부(TA)는 표시요소가 배치되지 않아 광 투과율이 높은 영역으로, 제2표시영역(DA2)에 복수로 구비될 수 있다. 투과부(TA)는 제1방향(X) 및/또는 제2방향(Y)을 따라 보조 발광영역(Pg)과 교번적으로 배치될 수 있다. 또는, 투과부(TA)들은 보조 발광영역(Pg)을 둘러싸도록 배치될 수 있다.
제2표시영역(DA2)에서는 보조 발광영역(Pg)과 투과부(TA)가 묶여진 기본 유닛(U)의 배치가 X방향 및 Y방향으로 반복적으로 배치될 수 있다.
도 5에 있어서, 기본 유닛(U)은 하나의 보조 발광영역(Pg)과 그 주변의 배치된 투과부(TA)를 사각형 형상으로 묶은 형상일 수 있다. 기본 유닛(U)은 반복적인 형상을 구획한 것으로, 구성의 단절을 의미하지 않는다. 예컨대, 하나의 기본 유닛(U)에 포함된 투과부(TA)는 인접한 기본 유닛(U)의 포함된 투과부(TA)와 일체로 형성될 수 있다.
일부 실시예에서, 기본 유닛(U)에 있어서, 보조 발광영역(Pg)이 차지하는 면적은 투과부(TA)가 차지하는 면적보다 작게 구비될 수 있다. 예컨대, 보조 발광영역(Pg)이 차지하는 면적은 투과부(TA)의 1/3 정도일 수 있다. 달리 표현하면, 보조 발광영역(Pg)이 차지하는 면적은 기본 유닛(U)의 약 1/4 정도일 수 있으며, 투과부(TA)가 차지하는 면적은 기본 유닛(U)의 약 3/4일 수 있다.
제1표시영역(DA1)에 상기 기본 유닛(U)의 면적과 동일한 면적으로 구비된 대응 유닛(U')을 설정할 수 있다. 이 경우, 대응 유닛(U')에 포함된 메인 부화소(Pm1, Pm2, Pm3)들의 개수는 기본 유닛(U)에 포함된 보조 부화소(Pa1, Pa2, Pa3)들의 개수보다 클 수 있다.
도 6은 도 5의 I-I'선 및 II-II'선에 따르는 개략적인 단면도이다.
도 6을 참조하면, 제1표시영역(DA1)에는 제3메인 부화소(Pm3)가 배치되고, 제2표시영역(DA2)에는 제3보조 부화소(Pa3) 및 투과부(TA)가 배치된다. 이 때, 제3메인 부화소(Pm3) 및 제3보조 부화소(Pa3)는 동일한 색을 내는 부화소 일 수 있다. 일부 실시예에서, 제3메인 부화소(Pm3) 및 제3보조 부화소(Pa3)는 청색을 구현할 수 있다.
메인 부화소(Pm)는 제1박막트랜지스터(TFT), 메인 스토리지 커패시터(Cst), 및 메인 유기발광다이오드(OLED)를 포함할 수 있다. 보조 부화소(Pa)는 제2박막트랜지스터(TFT'), 보조 스토리지 커패시터(Cst') 및 보조 유기발광다이오드(OLED')를 포함할 수 있다. 투과부(TA)는 상기 투과부(TA)에 대응되도록 개구영역(TAH)을 구비할 수 있다.
제2표시영역(DA2)의 하부에는 컴포넌트(20)가 배치될 수 있다. 컴포넌트(20)는 이미지를 촬상하는 카메라 또는 적외선을 송/수신하는 IR(Infra Red) 센서일 수 있다.
제2표시영역(DA2)에는 투과부(TA)가 배치되고 있는 바, 컴포넌트(20)로부터 송/수신되는 광이 투과될 수 있다. 예컨대, 컴포넌트(20)에서 방출되는 빛은 투과부(TA)를 통해 Z방향을 따라 진행할 수 있고, 표시 장치 외부에서 발생하여 컴포넌트(20) 입사되는 빛은 투과부(TA)를 통해 -Z방향을 따라 진행할 수 있다. 일부 실시예에서, 컴포넌트(20)는 복수의 이미지 센서를 구비하여, 하나의 이미지 센서가 하나의 투과부(TA)에 대응하여 배치될 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따르는 표시 장치에 포함된 구성들이 적층된 구조에 대해서 설명하도록 한다.
기판(100)은 글래스 또는 고분자 수지를 포함할 수 있다. 고분자 수지는 폴리에테르술폰(polyethersulfone, PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide, PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelene naphthalate, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyelene terephthalate, PET), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide, PPS), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate, CAP) 등을 포함할 수 있다. 고분자 수지를 포함하는 기판(100)은 플렉서블, 롤러블 또는 벤더블 특성을 가질 수 있다. 기판(100)은 전술한 고분자 수지를 포함하는 층 및 무기층(미도시)을 포함하는 다층 구조일 수 있다.
버퍼층(111)은 기판(100) 상에 위치하여, 기판(100)의 하부로부터 이물, 습기 또는 외기의 침투를 감소 또는 차단할 수 있고, 기판(100) 상에 평탄면을 제공할 수 있다. 버퍼층(111)은 산화물 또는 질화물과 같은 무기물, 또는 유기물, 또는 유무기 복합물을 포함할 수 있으며, 무기물과 유기물의 단층 또는 다층 구조로 이루어질 수 있다. 기판(100)과 버퍼층(111) 사이에는 외기의 침투를 차단하는 배리어층(미도시)이 더 포함될 수 있다. 일부 실시예에서, 버퍼층(111)은 실리콘산화물(SiO2) 또는 실리콘질화물(SiNX)으로 구비될 수 있다. 버퍼층(111)은 제1버퍼층(111a) 및 제2버퍼층(111b)이 적층되도록 구비될 수 있다.
제2표시영역(DA2)에서, 제1버퍼층(111a)과 제2버퍼층(111b) 사이에는 하부전극층(BSM)이 배치될 수 있다. 다른 실시예로, 하부전극층(BSM)은 기판(100)과 제1버퍼층(111a) 사이에 배치될 수도 있다. 하부전극층(BSM)은 제2박막트랜지스터(TFT')의 하부에 배치되어, 컴포넌트(20)등 으로부터 방출되는 빛에 의해서 제2박막트랜지스터(TFT')의 특성이 열화되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 하부전극층(BSM)은 다른 층에 배치된 배선(GCL)과 컨택홀을 통해 연결될 수 있다. 하부전극층(BSM)은 상기 배선(GCL)으로부터 정전압 또는 신호를 제공받을 수 있다. 예컨대, 하부전극층(BSM)은 구동전압(ELVDD) 또는 스캔 신호를 제공받을 수 있다. 하부전극층(BSM)은 정전압 또는 신호를 제공받음에 따라 정전기 방전이 발생될 확률을 현저히 줄일 수 있다. 하부전극층(BSM)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 몰리브데늄(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)를 포함할 수 있다. 하부전극층(BSM)은 전술한 물질의 단일층 또는 다층일 수 있다.
버퍼층(111) 상부에는 제1박막트랜지스터(TFT) 및 제2박막트랜지스터(TFT')가 배치될 수 있다. 제1박막트랜지스터(TFT)는 제1반도체층(A1), 제1게이트전극(G1), 제1소스전극(S1), 제1드레인전극(D1)을 포함하고, 제2박막트랜지스터(TFT) 제2반도체층(A2), 제2게이트전극(G2), 제2소스전극(S2), 제2드레인전극(D2)을 포함한다. 제1박막트랜지스터(TFT)는 제1표시영역(DA1)의 메인 유기발광다이오드(OLED)와 연결되어 메인 유기발광다이오드(OLED)를 구동할 수 있다. 제2박막트랜지스터(TFT')는 제2표시영역(DA2)의 보조 유기발광다이오드(OLED')와 연결되어 보조 유기발광다이오드(OLED')를 구동할 수 있다.
제1반도체층(A1) 및 제2반도체층(A2)은 상기 버퍼층(111) 상에 배치되며, 폴리 실리콘을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 제1반도체층(A1) 및 제2반도체층(A2)은 비정질 실리콘(amorphous silicon)을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 제1반도체층(A1) 및 제2반도체층(A2)은 인듐(In), 갈륨(Ga), 스태늄(Sn), 지르코늄(Zr), 바나듐(V), 하프늄(Hf), 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 및 아연(Zn)을 포함하는 군에서 선택된 적어도 하나 이상의 물질의 산화물을 포함할 수 있다. 제1반도체층(A1) 및 제2반도체층(A2)은 채널영역과 불순물이 도핑된 소스 영역 및 드레인 영역을 포함할 수 있다.
제1반도체층(A1)은 상기 제2버퍼층(111b)을 사이에 두고 하부전극층(BSM)과 중첩할 수 있다. 일 실시예로서, 제1반도체층(A1)의 폭은 하부전극층(BSM)의 폭 보다 작게 형성될 수 있으며, 따라서 기판(100)에 수직한 방향에서 사영하였을 때 제1반도체층(A1)은 전체적으로 하부전극층(BSM)과 중첩할 수 있다.
제1반도체층(A1) 및 제2반도체층(A2)을 덮도록 제1게이트절연층(112)이 구비될 수 있다. 제1게이트절연층(112)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnO2) 등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 제1게이트절연층(112)은 전술한 무기 절연물을 포함하는 단일층 또는 다층일 수 있다.
제1게이트절연층(112) 상부에는 상기 제1반도체층(A1) 및 제2반도체층(A2)과 각각 중첩되도록 제1게이트전극(G1) 및 제2게이트전극(G2)이 배치된다. 제1게이트전극(G1) 및 제2게이트전극(G2)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하며 단층 또는 다층으로 이루어질 수 있다. 일 예로, 제1게이트전극(G1) 및 제2게이트전극(G2)은 Mo의 단층일 수 있다.
제2게이트절연층(113)은 상기 제1게이트전극(G1) 및 제2게이트전극(G2)을 덮도록 구비될 수 있다. 제2게이트절연층(113)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnO2)등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 제2게이트절연층(113)은 전술한 무기 절연물을 포함하는 단일층 또는 다층일 수 있다.
제2게이트절연층(113) 상부에는 메인 스토리지 커패시터(Cst)의 제1상부 전극(CE2) 및 보조 스토리지 커패시터(Cst')의 제2상부 전극(CE2')이 배치될 수 있다.
제1표시영역(DA1)에서 제1상부 전극(CE2)은 그 아래의 제1게이트전극(G1)과 중첩할 수 있다. 제2게이트절연층(113)을 사이에 두고 중첩하는 제1게이트전극(G1) 및 제1상부 전극(CE2)은 메인 스토리지 커패시터(Cst)를 이룰 수 있다. 제1게이트전극(G1)은 메인 스토리지 커패시터(Cst)의 제1하부 전극(CE1)일 수 있다.
제2표시영역(DA2)에서 제2상부 전극(CE2')은 그 아래의 제2게이트전극(G2)과 중첩할 수 있다. 제2게이트절연층(113)을 사이에 두고 중첩하는 제2게이트전극(G2) 및 제2상부 전극(CE2')은 보조 스토리지 커패시터(Cst')를 이룰 수 있다. 제1게이트전극(G1)은 보조 스토리지 커패시터(Cst')의 제2하부 전극(CE1')일 수 있다.
제1상부 전극(CE2) 및 제2상부 전극(CE2')은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 몰리브데늄(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)를 포함할 수 있으며, 전술한 물질의 단일층 또는 다층일 수 있다.
층간절연층(115)은 상기 제1상부 전극(CE2) 및 제2상부 전극(CE2')을 덮도록 형성될 수 있다. 층간절연층(115)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnO2)등을 포함할 수 있다.
제1게이트절연층(112), 제2게이트절연층(113), 및 층간절연층(115)을 통칭하여 무기절연층(IL)이라 하면, 기판(100) 상에 무기절연층(IL)이 적층된 구조는 적외선 파장에 대해서 약 90% 이상의 투과율을 가질 수 있다. 예컨대, 기판(100) 및 무기절연층(IL)을 통과하는 900 nm 내지 1100 nm 의 파장의 광은 약 90% 투과율을 가질 수 있다.
소스전극(S1, S2) 및 드레인전극(D1, D2)은 층간절연층(115) 상에 배치된다. 소스전극(S1, S2) 및 드레인전극(D1, D2)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 일 예로, 소스전극(S1, S2)과 드레인전극(D1, D2)은 Ti/Al/Ti의 다층 구조로 이루어질 수 있다.
소스전극(S1, S2)과 드레인전극(D1, D2)를 덮도록 평탄화층(117)이 배치될 수 있다. 평탄화층(117)은 그 상부에 배치되는 메인 화소전극(221) 및 보조 화소전극(221')이 평탄하게 형성될 수 있도록 평탄한 상면을 가질 수 있다.
평탄화층(117)은 유기 물질로 이루어진 막이 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 이러한, 평탄화층(117)은 BCB(Benzocyclobutene), 폴리이미드(polyimide), HMDSO(Hexamethyldisiloxane), Polymethylmethacrylate(PMMA)나, Polystylene(PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등을 포함할 수 있다.
평탄화층(117)에는 제1박막트랜지스터(TFT)의 제1소스전극(S1) 및 제1드레인전극(D1) 중 어느 하나를 노출시키는 개구부가 존재하며, 메인 화소전극(221)은 상기 개구부를 통해 제1소스전극(S1) 또는 제1드레인전극(D1)과 컨택하여 제1박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결될 수 있다.
또한, 평탄화층(117)에는 제2박막트랜지스터(TFT')의 제2소스전극(S2) 및 제2드레인전극(D2) 중 어느 하나를 노출시키는 개구부를 포함하여, 보조 화소전극(221')은 상기 개구부를 통해 제2소스전극(S2) 또는 제2드레인전극(D2)과 컨택하여 제2박막트랜지스터(TFT')와 전기적으로 연결될 수 있다.
메인 화소전극(221) 및 보조 화소전극(221')은 인듐틴옥사이드(ITO; indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO; indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO; zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3: indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO; indium gallium oxide) 또는 알루미늄징크옥사이드(AZO; aluminum zinc oxide)와 같은 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 메인 화소전극(221) 및 보조 화소전극(221')은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크로뮴(Cr) 또는 이들의 화합물을 포함하는 반사막을 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로, 메인 화소전극(221) 및 보조 화소전극(221')은 전술한 반사막의 위/아래에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성된 막을 더 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 메인 화소전극(221) 및 보조 화소전극(221')은 ITO/Ag/ITO로 적층된 구조로 구비될 수 있다.
화소정의막(119)은 메인 화소전극(221) 및 보조 화소전극(221') 각각의 가장자리를 커버할 수 있다. 화소정의막(119)은 메인 화소전극(221) 및 보조 화소전극(221') 각각에 중첩하며, 부화소의 발광영역을 정의하는 제1개구(OP1) 및 제2개구(OP2)를 포함한다. 화소정의막(119)은 화소전극(221, 221')의 가장자리와 화소전극(221, 221') 상부의 대향전극(223)의 사이의 거리를 증가시킴으로써 화소전극(221, 221')의 가장자리에서 아크 등이 발생하는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 화소정의막(119)은 폴리이미드, 폴리아마이드(Polyamide), 아크릴 수지, 벤조사이클로부텐, HMDSO(hexamethyldisiloxane) 및 페놀 수지 등과 같은 유기 절연 물질로, 스핀 코팅 등의 방법으로 형성될 수 있다.
평탄화층(117) 및 화소정의막(119)를 유기절연층(OL)이라 하면, 유기절연층(OL)은 적외선 파장에 대해서 약 90% 이상의 투과율을 가질 수 있다. 예컨대, 유기절연층(OL)을 통과하는 900 nm 내지 1100 nm 의 파장의 광은 약 90% 투과율을 가질 수 있다.
화소정의막(119)의 제1개구(OP1) 및 제2개구(OP2)의 내부에는 메인 화소전극(221) 및 보조 화소전극(221')에 각각 대응되도록 배치된 메인 중간층(미표기) 및 보조 중간층(미표기)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 메인 중간층은 메인 발광층(222b)을 포함하고, 보조 중간층은 보조 발광층(222b')이 배치된다. 메인 발광층(222b)과 보조 발광층(222b')은 고분자 물질 또는 저분자 물질을 포함할 수 있으며, 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다.
상기와 같은 메인 중간층 및/또는 보조 중간층은 메인 발광층(222b)과 보조 발광층(222b')의 상부 및/또는 하부에 배치되는 유기 기능층(222e)을 포함할 수 있다. 유기 기능층(222e)은 제1기능층(222a) 및/또는 제2기능층(222c)를 포함할 수 있다. 제1기능층(222a) 또는 제2기능층(222c)은 생략될 수 있다.
제1기능층(222a)은 메인 발광층(222b)과 보조 발광층(222b')의 하부에 배치될 수 있다. 이때, 일 실시예로써 제1기능층(222a)은 메인 발광층(222b) 및 보조 발광층(222b')과 같이 제1개구(OP1), 및 제2개구(OP2)에 대응되도록 패터닝되어 제1개구(OP1) 및 제2개구(OP2) 내부에 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 제1기능층(222a)은 제1표시영역(DA1) 및 제2표시영역(DA2) 전면을 덮도록 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1기능층(222a)은 제1개구(OP1) 및 제2개구(OP2)에 대응되도록 패터닝되어 제1개구(OP1) 및 제2개구(OP2) 내부에 배치되며, 투과부(TA)에는 배치되지 않는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1기능층(222a)은 제1표시영역(DA1)의 전면 및 투과부(TA)를 제외한 제2표시영역(DA2)을 차폐하도록 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1기능층(222a)이 제1표시영역(DA1) 및 제2표시영역(DA2) 전면을 덮도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1기능층(222a)은 유기물로 구비된 단층 또는 다층일 수 있다. 제1기능층(222a)은 단층구조인 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer)일 수 있다. 또는, 제1기능층(222a)은 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer)과 홀 수송층(HTL)을 포함할 수 있다. 제1기능층(222a)은 제1표시영역(DA1)와 제2표시영역(DA2)에 포함된 메인 부화소(Pm)들과 보조 부화소(Pa)들에 대응되도록 일체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1기능층(222a)은 투과부(TA)에 대응하여 배치될 수 있다.
제2기능층(222c)은 상기 메인 발광층(222b) 및 보조 발광층(222b') 상부에 배치될 수 있다. 이때, 일 실시예로써 제2기능층(222c)은 메인 발광층(222b) 및 보조 발광층(222b')과 같이 제1개구(OP1), 및 제2개구(OP2)에 대응되도록 패터닝되어 제1개구(OP1) 및 제2개구(OP2) 내부에 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 제2기능층(222c)은 제1표시영역(DA1) 및 제2표시영역(DA2) 전면을 덮도록 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제2기능층(222c)은 제1개구(OP1) 및 제2개구(OP2)에 대응되도록 패터닝되어 제1개구(OP1) 및 제2개구(OP2) 내부에 배치되며, 투과부(TA)에는 배치되지 않는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제2기능층(222c)은 제1표시영역(DA1)의 전면 및 투과부(TA)를 제외한 제2표시영역(DA2)을 차폐하도록 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2기능층(222c)이 제1표시영역(DA1) 및 제2표시영역(DA2) 전면을 덮도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2기능층(222c)은 유기물로 구비된 단층 또는 다층일 수 있다. 제2기능층(222c)은 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer) 및/또는 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제2기능층(222c)은 제1표시영역(DA1)와 제2표시영역(DA2)에 포함된 메인 부화소(Pm)들과 보조 부화소(Pa)들에 대응되도록 일체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 제2기능층(222c)은 투과부(TA)에 대응하여 배치될 수 있다.
제2기능층(222c) 상부에는 대향전극(223)이 배치된다. 대향전극(223)은 일함수가 낮은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예컨대, 대향전극(223)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크로뮴(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금 등을 포함하는 (반)투명층을 포함할 수 있다. 또는, 대향전극(223)은 전술한 물질을 포함하는 (반)투명층 상에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3과 같은 층을 더 포함할 수 있다. 대향전극(223)은 제1표시영역(DA1)와 제2표시영역(DA2)에 포함된 메인 부화소(Pm)들과 보조 부화소(Pa)들에 대응되도록 일체로 형성될 수 있다.
제1표시영역(DA1)에 형성된 메인 화소전극(221)으로부터 대향전극(223)까지의 층들은 메인 유기발광다이오드(OLED)를 이룰 수 있다. 제2표시영역(DA2)에 형성된 보조 화소전극(221')으로부터 대향전극(223)까지의 층들은 보조 유기발광다이오드(OLED')를 이룰 수 있다.
대향전극(223) 상에는 유기물질을 포함하는 상부층(250)이 형성될 수 있다. 상부층(250)은 대향전극(223)을 보호하는 동시에 광추출 효율을 높이기 위해서 마련된 층일 수 있다. 상부층(250)은 대향전극(223) 보다 굴절률이 높은 유기물질을 포함할 수 있다. 또는, 상부층(250)은 굴절율이 서로 다른층들이 적층되어 구비될 수 있다. 예컨대, 상부층(250)은 고굴절률층/저굴절률층/고굴절률층이 적층되어 구비될 수 있다. 이 때, 고굴절률층의 굴절률은 1.7이상 일 수 있으며, 저굴절률층의 굴절률은 1.3이하 일 수 있다.
상부층(250)은 추가적으로 LiF를 포함할 수 있다. 또는, 상부층(250)은 추가적으로 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1기능층(222a), 제2기능층(222c), 대향전극(223), 및 상부층(250)은 투과부(TA)에 대응하는 개구영역(TAH)을 구비할 수 있다. 즉, 제1기능층(222a), 제2기능층(222c), 대향전극(223), 및 상부층(250) 각각이 투과부(TA)에 대응하는 개구들을 가질 수 있다. 이러한 제1기능층(222a), 제2기능층(222c), 대향전극(223), 및 상부층(250)의 개구들은 레이저(laser)에 의해서 형성될 수 있다. 일부 실시에에서, 개구영역(TAH)을 형성하는 개구들의 폭은 실질적으로 동일할 수 있다. 예컨대, 대향전극(223)의 개구의 폭은 개구영역(TAH)의 폭과 실질적으로 동일할 수 있다.
또한, 본 실시예에 있어서, 제1기능층(222a), 제2기능층(222c), 및 상부층(250)은 생략될 수 있다. 이 경우, 대향전극(223)의 개구가 개구영역(TAH)이 될 수 있다.
이러한 개구영역(TAH)이 투과부(TA)에 대응한다는 것은, 개구영역(TAH)이 투과부(TA)와 중첩함을 의미할 수 있다. 이 때, 개구영역(TAH)의 면적은 무기절연층(IL)에 형성된 제1홀(H1)의 면적보다 작게 구비될 수 있다. 이를 위해, 도 6에서는 개구영역(TAH)의 폭(Wt)이 제1홀(H1)의 폭(W1)보다 작은 것으로 도시하고 있다. 여기서, 개구영역(TAH)의 면적 및 제1홀(H1)의 면적은 가장 좁은 면적의 개구의 면적으로 정의될 수 있다.
일부 실시예에서, 제1홀(H1), 제2홀(H2), 및 제3홀(H3)의 측면에는 제1기능층(222a), 제2기능층(222c), 대향전극(223), 및 상부층(250)이 배치될 수 있다. 일부 실시예에서, 제1홀(H1), 제2홀(H2), 및 제3홀(H3) 측면의 기판(100)의 상면에 대한 기울기는 개구영역(TAH) 측면의 기판(100)의 상면에 대한 기울기보다 완만할 수 있다.
개구영역(TAH)이 형성된다는 것은, 투과부(TA)에서 대향전극(223) 등의 부재가 제거되는 것을 의미하는 바, 투과부(TA)에서의 광 투과율은 현저히 증가될 수 있다.
메인 유기발광다이오드(OLED)와 보조 유기발광다이오드(OLED')는 박막봉지층(300)에 의해서 밀봉될 수 있다. 박막봉지층(300)은 상부층(250) 상에 배치될 수 있다. 박막봉지층(300)은 외부의 수분이나 이물질이 메인 유기발광다이오드(OLED)와 보조 유기발광다이오드(OLED')로 침투하는 것을 방지할 수 있다.
박막봉지층(300)은 적어도 하나의 무기봉지층과 적어도 하나의 유기봉지층을 포함할 수 있으며, 이와 관련하여 도 6에서는 박막봉지층(300)이 제1무기봉지층(310), 유기봉지층(320) 및 제2무기봉지층(330)이 적층된 구조를 도시한다. 다른 실시예에서 유기봉지층의 개수와 무기봉지층의 개수 및 적층 순서는 변경될 수 있다.
제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 탄탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드, 징크옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 또는 실리콘옥시나이트라이드와 같은 하나 이상의 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 화학기상증착법(CVD) 등에 의해 형성될 수 있다. 유기봉지층(320)은 폴리머(polymer)계열의 소재를 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 실리콘계 수지, 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다.
제1무기봉지층(310), 유기봉지층(320) 및 제2무기봉지층(330)은 표시영역(DA) 및 센서영역(SA)을 커버하도록 일체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1무기봉지층(310), 유기봉지층(320) 및 제2무기봉지층(330)은 개구영역(TAH) 내부에 배치될 수 있다.
다른 실시예에서, 유기봉지층(320)은 제2표시영역(DA2)을 커버하도록 일체로 형성되되, 투과부(TA)에는 존재하지 않을 수 있다. 바꾸어 말하면, 유기봉지층(320)은 투과부(TA)에 대응하는 개구를 포함할 수 있다. 이 경우, 제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)은 개구영역(TAH) 내부에서 서로 접촉할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 개략적인 단면도이다. 도 7에 있어서, 도 6과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는 바, 이들의 중복 설명은 생략한다.
도 7을 참조하면, 표시 장치는 메인 부화소(Pm)가 배치된 제1표시영역(DA1), 및 보조 부화소(Pa)를 포함한 보조 발광영역(미표기) 및 투과부(TA)가 배치된 제2표시영역(DA2)을 포함할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 표시 장치는 메인 부화소(Pm)들의 화소 배열 구조는 보조 부화소(Pa)들과 다른 화소 배열 구조를 가진다.
본 실시예에 있어서, 제1기능층(222a), 제2기능층(222c), 및 상부층(250) 중 적어도 하나는 투과부(TA)에 대응되도록 배치될 수 있다. 즉, 제1기능층(222a), 제2기능층(222c), 및 상부층(250) 중 적어도 하나는 개구영역(TAH) 내부에 배치될 수 있다.
한편, 대향전극(223)은 투과부(TA)에 대응하는 개구를 구비하며, 상기 개구는 개구영역(TAH)의 폭과 실질적으로 동일할 수 있다. 이 경우, 대향전극(223)은 투과부(TA)를 가리는 가림막이 구비된 마스크를 이용하여 형성된 것일 수 있다.
다른 실시예로써 대향전극(223)을 전면에 형성한 후 투과부(TA)에 대응되는 대향전극(223) 부분을 레이저로 제거하여 대향전극(223)에 개구를 형성하는 것도 가능하다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타낸 개략적인 단면도이다. 도 8에 있어서, 도 6과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는 바, 이들의 중복 설명은 생략한다.
도 8을 참조하면, 표시 장치는 메인 부화소(Pm)가 배치된 제1표시영역(DA1), 및 보조 부화소(Pa) 및 투과부(TA)가 배치된 제2표시영역(DA2)을 포함할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 표시 장치는 메인 부화소(Pm)들의 화소 배열 구조는 보조 부화소(Pa)들과 다른 화소 배열 구조를 가진다.
본 실시예에 있어서, 메인 유기발광다이오드(OLED)와 보조 유기발광다이오드(OLED')는 봉지 기판(300')으로 커버될 수 있다. 봉지 기판(300')은 투명한 소재를 포함한다. 예컨대, 봉지 기판(300')은 글래스재를 포함할 수 있다. 또는, 봉지 기판(300')은 고분자 수지 등을 포함할 수 있다. 봉지 기판(300')은 외부의 수분이나 이물질이 메인 유기발광다이오드(OLED)와 보조 유기발광다이오드(OLED')로 침투하는 것을 방지할 수 있다.
메인 유기발광다이오드(OLED)와 보조 유기발광다이오드(OLED')가 형성된 기판(100)과 봉지 기판(300') 사이에는 실런트와 같은 실링재가 배치될 수 있다. 실링재는 기판(100)과 봉지 기판(300') 사이를 통해 침투할 수 있는 외부의 수분이나 이물질을 차단할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다. 도 10은 도 9에 도시된 마스크 어셈블리를 보여주는 사시도이다. 도 11은 도 10에 도시된 마스크 시트를 보여주는 평면도이다.
도 9 내지 도 11을 참고하면, 표시 장치(미도시)는 표시 장치의 제조장치(400)를 통하여 제조될 수 있다.
표시 장치의 제조장치(400)는 챔버(410), 마스크 조립체(420), 제1지지부(430), 제2지지부(440), 증착소스(450), 자기력생성부(460), 비젼부(470) 및 압력조절부(480)를 포함할 수 있다.
챔버(410)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 챔버(410)의 일부는 개구되도록 형성될 수 있다. 이때, 챔버(410)의 개구된 부분에는 개폐 가능하도록 게이트밸브(411)가 배치될 수 있다.
마스크 조립체(420)는 챔버(410) 내부에 선택적으로 배치될 수 있다. 이때, 마스크 조립체(420)는 마스크 프레임(421), 마스크 시트(422) 및 지지프레임(423)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(421)은 복수개의 프레임이 서로 연결되어 형성되며, 내부에 개구부를 포함할 수 있다. 이때, 마스크 프레임(421)은 하나의 개구부를 포함하거나 서로 구분되는 복수개의 개구부를 포함할 수 있다. 이러한 경우 마스크 프레임(421)은 창틀 등과 같이 격자 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 프레임(421)은 중앙에 하나의 개구부를 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(422)는 마스크 프레임(421)에 인장된 상태로 고정될 수 있다. 이때, 마스크 시트(422)는 증착물질이 통과하도록 개구부가 배치될 수 있다. 마스크 시트(422)는 하나 구비되거나 복수개 구비될 수 있다. 마스크 시트(422)가 하나 구비되는 경우 마스크 시트(422)는 마스크 프레임(421) 상에 배치되어 마스크 프레임(421)의 개구부를 차폐할 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 시트(422)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 마스크 시트(422)는 마스크 프레임(421)의 일변을 따라 서로 인접하도록 배치되어 마스크 프레임(421)의 개구부를 차폐하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 시트(422)가 복수개 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 마스크 시트(422)는 메인부화소개구부(424a)를 포함한 제1바디부(422-1), 보조부화소개구부(424b)를 포함한 제2바디부(422-2) 및 보정개구부(424c)를 포함하는 제3바디부(422c)를 포함할 수 있다.
제2바디부(422b)의 형상은 다양할 수 있다. 제2바디부(422b)의 형상은 제2표시영역(미도시)에 대응될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2표시영역의 형상이 원형인 경우 제2바디부(422b)의 형상은 원형일 수 있다. 다른 실시예로써 상기 제2표시영역의 형상이 다각형인 경우 제2바디부(422b)의 형상은 다각형일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 제2표시영역과 제2바디부(422b)의 형상이 원형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2바디부(422b)는 평면 상으로 볼 때 마스크 시트(422)의 측면에 가깝도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 제2바디부(422b)는 서로 인접하는 지지프레임(423)과 마스크 시트(422)의 테두리가 구획하여 증착물질이 통과하는 영역으로 정의되는 통과 영역의 모서리 부분에 배치될 수 있다. 이러한 경우 상기 통과 영역은 마스크 시트(422)의 끝단 측에서는 마스크 프레임(422), 마스크 시트(421)의 테두리 및 지지프레임(423)으로 정의될 수 있다.
상기와 같은 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)는 메인부화소개구부(424a)에 의하여 정의될 수 있다. 예를 들면, 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)의 형상은 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c) 각각의 테두리를 감싸도록 배치된 메인부화소개구부(424a)의 꼭지점을 연결한 영역으로 정의될 수 있다. 다른 실시예로서 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)는 컴포넌트의 테두리를 마스크 시트(422)에 겹친다고 가정하였을 때 컴포넌트의 테두리와 중첩되는 부분으로 정의될 수 있다. 이러한 경우 제2바디부(422b)는 서로 인접하는 메인부화소개구부(424a)와 보조부화소개구부(424b) 사이의 공간을 지나는 임의의 선이 연결되어 정의될 수 있다. 또한, 제3바디부(422c)는 서로 인접하는 메인부화소개구부(424a)와 보정개구부(424c) 사이의 공간을 지나는 임의의 선을 연결하여 정의될 수 있다. 이때, 임의 선은 컴포넌트의 테두리와 같은 형상을 가질 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)를 컴포넌트를 가지고 정의하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
메인부화소개구부(424a)와 보조부화소개구부(424b)는 서로 형상이 상이할 수 있다. 또한, 메인부화소개구부(424a)와 보정개구부(424c)는 서로 형상이 상이할 수 있다. 이러한 경우 보조부화소개구부(424b)와 보정개구부(424c)는 서로 형상 및 크기가 동일할 수 있다. 예를 들면, 메인부화소개구부(424a)의 평면 상 형상은 마름모 형태이며, 보조부화소개구부(424b) 및 보정개구부(424c)의 형상은 직사각형이나 정사각형일 수 있다.
상기와 같은 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)는 제1바디부(422a)의 길이 방향(예를 들면, 도 11의 Y방향)를 통과하는 제1중심선(CL1)을 기준으로 서로 반대편에 배치될 수 있다. 또한, 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)는 제1바디부(422a)의 길이 방향과 수직한 방향(예를 들면, 도 11의 X방향)과 평행한 임의의 직선 상에 배치되지 않을 수 있다. 이러한 경우 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)는 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. 특히 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c) 각각이 복수개 배치되는 경우 각 제2바디부(422b)와 각 제3바디부(422c)는 서로 지그재그 형태 또는 서펜타인(Surpentine) 형태로 배열될 수 있다.
제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)는 마스크 시트(422)의 길이 방향을 따라 마스크 시트(422)의 일단으로부터 서로 상이한 거리에 배치될 수 있다. 예를 들면, 도 11을 기준으로 마스크 시트(422)의 일단이 도 11의 위쪽이라고 가정하면, 제2바디부(422b)로부터 마스크 시트(422)의 일단까지의 거리는 제3바디부(422c)로부터 마스크 시트(422)의 일단까지의 거리보다 작을 수 있다. 다른 실시예로써 도 11에 도시되어 있지는 않지만 제2바디부(422b)로부터 마스크 시트(422)의 일단까지의 거리는 제3바디부(422c)로부터 마스크 시트(422)의 일딴까지의 거리보다 클 수 있다.
상기와 같은 제2바디부(422b)는 복수개 구비되며, 복수개의 제2바디부(422b)는 일렬로 배열되어 마스크 시트(422)의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 제3바디부(422c)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 제3바디부(422c)는 일렬로 배열되어 마스크 시트(422)의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)는 마스크 시트(422)의 테두리(또는 측면 끝단)으로부터 동일한 거리 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들면, 제2바디부(422b)의 최외곽에 배치된 보조부화소개구부(424b)의 테두리로부터 마스크 시트(422)의 테두리까지의 제1거리(d1)는 제3바디부(422c)의 최외곽에 배치되는 보정개구부(424c)의 테두리로부터 마스크 시트(422)의 테두리까지의 제2거리(d2)는 서로 동일할 수 있다. 이때, 각 바디부의 최외곽은 마스크 시트(422)의 테두리까지의 직선 거리가 가장 짧은 바디부 부분일 수 있다.
상기와 같은 보조부화소개구부(424b)와 보정개구부(424c)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 보조부화소개구부(424b)는 하나의 색을 나타내는 보조화소들의 배열과 대응되도록 배치될 수 있다. 상기와 같은 경우 하나의 제2바디부(422b)에 배치된 복수개의 보조부화소개구부(424b)의 면적의 전체 총합은 하나의 제3바디부(422c)에 배치된 복수개의 보정개구부(424c)의 면적의 전체 총합과 동일할 수 있다. 다른 실시예로써 복수개의 제2바디부(422b)에 배치된 복수개의 보조부화소개구부(424b)의 면적의 총합은 복수개의 제3바디부(422c)에 배치된 복수개의 보정개구부(424c)의 면적의 전체 총합과 동일할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 제2바디부(422b)에 배치된 복수개의 보조부화소개구부(424b)의 면적의 전체 총합은 하나의 제3바디부(422c)에 배치된 복수개의 보정개구부(424c)의 면적의 전체 총합과 동일한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
지지프레임(423)은 마스크 프레임(421)의 개구부에 배치될 수 있으며, 인접하는 마스크 시트(422)의 사이를 차폐하거나 마스크 시트(422)의 길이 방향과 수직한 방향으로 배열되는 것도 가능하다.
상기와 같은 경우 마스크 시트(422)의 길이 방향과 수직한 방향으로 배열되는 지지프레임(423)은 제3바디부(422c)를 완전히 차폐하도록 배열될 수 있다. 즉, 지지프레임(423)이 배치되는 경우 제3바디부(422c)의 보정개구부(424c)를 완전히 차폐함으로써 보정개구부(424c)로 증착물질이 통과하지 못하도록 할 수 있다.
상기와 같은 마스크 조립체(420)는 마스크 프레임(421) 상에 마스크 시트(422) 및 지지프레임(423)을 결합하여 제조할 수 있다. 이때, 마스크 시트(422)는 마스크 프레임(421)에 인장된 상태에서 용접으로 고정될 수 있다.
이러한 경우 제2바디부(422b)만 마스크 시트(422)에 배치되는 경우 마스크 시트(422)는 제2바디부(422b)로 인하여 뒤틀릴 수 있다. 예를 들면, 메인부화소개구부(424a)의 형상과 보조부화소개구부(424b)의 형상이 서로 상이함으로써 마스크 시트(422)의 인장 시 마스크 시트(422) 전면(全面)에서 균일하게 변형되지 않고 응력이 집중되는 부분이 발생할 수 있다. 또한, 제2바디부(422b)가 마스크 시트(422)의 외곽에 근접하게 배치됨으로써 제2바디부(422b)로 인하여 마스크 시트(422)가 예측 불가능하게 변형될 수 있다. 이러한 경우 마스크 조립체(420)를 완전히 제조한 후 마스크 조립체(420)를 통하여 디스플레이 기판(D)에 증착 공정을 수행한다고 하더라도 균일한 패턴으로 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 증착시키는 것이 어려워질 수 있다.
그러나 상기와 같이 제3바디부(422c)를 구비하여 제2바디부(422b)가 배치된 부분의 반대편에 제3바디부(422c)를 배치함으로써 제2바디부(422b)로 인한 마스크 시트(422)의 변형을 제3바디부(422c)가 배치된 부분에서 동일하거나 거의 유사하게 발생시킬 수 있다.
따라서 상기와 같은 마스크 조립체(420)는 마스크 시트(422)를 마스크 프레임(421)에 고정 시 마스크 시트(422)의 이상 변형을 방지할 수 있다.
제1지지부(430)는 기판(100)이 안착할 수 있다. 이때, 제1지지부(430)는 기판(100)의 위치를 조절할 수 있다. 예를 들면, 제1지지부(430)는 UVW 스테이지를 포함할 수 있다.
제2지지부(440)는 마스크 조립체(420)가 안착될 수 있다. 이때, 제2지지부(440)는 제1지지부(430)와 유사하게 마스크 조립체(420)의 위치를 조절하는 것이 가능하다.
상기와 같은 제1지지부(430) 및 제2지지부(440) 중 적어도 하나는 챔버(410) 내부에 승하강되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1지지부(430) 및 제2지지부(440) 중 적어도 하나는 디스플레이 기판(D)과 마스크 프레임(421) 사이의 간격을 조절하는 것이 가능하다.
증착소스(450)는 증착물질이 수납된 후 증착물질을 기화시키거나 승화시켜 챔버(410)로 공급할 수 있다. 이때, 증착소스(450)는 내부에 히터를 포함할 수 있으며, 히터의 작동에 의해 증착소스(450) 내부의 증착물질을 가열함으로써 증착물질을 용융시키기거나 승화시킬 수 있다. 상기와 같은 경우 증착소스(450)는 챔버(410)의 중앙 또는 모서리에 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착소스(450)가 챔버(410)의 모서리에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
자기력생성부(460)는 챔버(410)에 배치되어 기판(100)과 마스크 조립체(420)를 밀착시킬 수 있다. 이때, 자기력생성부(460)는 자기력을 생성하는 전자석 또는 영구자석 등을 포함할 수 있다.
비젼부(470)는 챔버(410)에 배치되어 마스크 조립체(420) 및 기판(100)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(470)는 마스크 조립체(420) 및 기판(100) 중 적어도 하나의 얼라인마크 등을 촬영할 수 있다.
압력조절부(480)는 챔버(410)와 연결되어 챔버(410) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 이때, 압력조절부(480)는 챔버(410)와 연결되는 연결배관(481) 및 연결배관(481)에 배치되는 펌프(482)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(400)의 작동을 살펴보면, 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(420)를 챔버(410) 내부로 장입할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 도 6 내지 도 8에서 기판(100) 상에 버퍼층(111)에서 제1기능층(222a)까지 적층된 구조물일 수 있다.
비젼부(470)로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(420)의 위치를 촬영하여 이를 근거로 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(420) 중 적어도 하나의 위치를 조절하여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(420)의 위치를 정렬시킬 수 있다. 이후 자기력생성부(460)로 마스크 조립체(420)와 디스플레이 기판(D)을 밀착시킬 수 있다.
증착소스(450)가 증착물질을 공급하는 경우 증착물질은 마스크 조립체(420)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 증착물질은 디스플레이 기판(D)에 증착되어 메인 발광층(미도시) 및 보조 발광층(미도시)를 형성할 수 있다. 상기와 같은 경우 압력조절부(480)는 챔버(410) 내부의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다.
상기와 같은 과정은 청색, 적색 및 녹색의 발광층을 형성하기 위하여 서로 다른 표시 장치의 제조장치(미도시)에서 순차적으로 형성될 수 있다. 이러한 경우 구조는 각 발광층에 따라 서로 상이한 마스크 조립체(420)를 사용할 수 있다. 예를 들면, 청색의 발광층을 디스플레이 기판(D)에 배치하기 위해서는 제1마스크 시트(미도시)를 포함하는 마스크 조립체를 사용하고, 적색의 발광층을 디스플레이 기판(D)에 배치하기 위해서는 제2마스크 시트(미도시)를 포함하는 마스크 조립체를 사용할 수 있다. 또한, 녹색의 발광층을 디스플레이 기판(D)에 배치하기 위해서는 제3마스크 시트(미도시)를 포함하는 마스크 조립체를 사용할 수 있다.
상기와 같이 각 발광층을 형성한 후 제2기능층(미도시), 대향전극(미도시), 봉지부재를 순차적으로 형성하여 표시 장치를 제조할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(400)는 변형을 최소화한 마스크 조립체(420)를 사용함으로써 디스플레이 기판(D)에 정밀한 패턴으로 발광층을 형성하는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(400)는 표시 장치의 제조 시 불량을 최소화할 수 있다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 12a 및 도 12b를 참고하면, 제1마스크 시트(미도시)는 도 10에 도시된 마스크 시트(422)와 유사할 수 있다. 이때, 상기 제1마스크 시트의 제1바디부(422a)에는 제1메인부화소개구부(424a-1)가 배치되며, 상기 제1마스크 시트의 제2바디부(422b)에는 제1보조부화소개구부(424b-1)가 배치될 수 있다. 또한, 상기 제1마스크 시트의 제3바디부(422c)에는 제1보정개구부(424c-1)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1메인부화소개구부(424a-1)는 상기에서 설명한 제1메인부화소(미도시)에 대응되도록 형성될 수 있다. 또한, 제1보조부화소개구부(424b-1)는 제1보조부화소(미도시)에 대응되도록 형성될 수 있다. 이러한 제1메인부화소개구부(424a-1)와 제1보조부화소개구부(424b-1)를 통과한 증착물질은 상기 제1메인부화소와 상기 제 1보조부화소에 배치된 발광층을 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 상기 제1마스크 시트의 제3바디부(422c)의 제1보정개구부(424c-1)는 제1보조부화소개구부(424b-1)와 동일한 크기 및 동일한 형상을 가지면서 동일한 패턴으로 배열될 수 있다.
상기와 같은 경우 제2바디부(422b)의 데두리로부터 상기 제1마스크 시트의 테두리까지의 거리와 제3바디부(422c)의 테두리로부터 상기 제1마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 도 11에 도시된 바와 같이 서로 동일할 수 있다.
또한, 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)가 각각 복수개 구비되는 경우 상기 도 11에 도시된 바와 같이 지그 재그 형태로 배열될 수 있다. 특히 복수개의 제2바디부(422b)는 서로 일렬로 배열되며, 복수개의 제3바디부(422c)도 서로 일렬로 배열될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제2바디부(422b)와 복수개의 제3바디부(422c)는 상기 제1마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 제1마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 구분되는 상기 제1마스크 시트의 각 부분에 배열될 수 있다.
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제2마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 13a 및 도 13b를 참고하면, 제2마스크 시트(미도시)의 제1바디부(422a)에는 제2메인부화소개구부(424a-2)가 배치될 수 있다. 이때, 제2메인부화소개구부(424a-2)는 제1메인부화소개구부(424a-1)와 상이한 위치에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제2메인부화소개구부(424a-2)를 통과한 증착물질은 제2메인부화소(미도시)에 배치된 발광층을 형성할 수 있다. 이때, 제1메인부화소개구부(424a-1)와 제2메인부화소개구부(424a-2)를 통과하는 증착물질은 재질이 서로 상이할 수 있다.
상기 제2마스크 시트의 제2바디부(422b)에 배치되는 제2보조부화소개구부(424b-2)는 제2보조부화소(미도시)와 대응되도록 배치될 수 있다. 제1마스크 시트(미도시)와 상기 제2마스크 시트를 서로 적층하였을 때 제2보조부화소개구부(424b-2)와 제1보조부화소개구부(424b-1)는 서로 중첩되지 않도록 제2보조부화소개구부(424b-2)가 형성될 수 있다. 또한, 제1보조부화소개구부(424b-1)의 형상 및 크기는 제2보조부화소개구부(424b-2)의 형상 및 크기와 상이할 수 있다.
상기와 같은 경우 제2바디부(422b)의 데두리로부터 상기 제2마스크 시트의 테두리까지의 거리와 제3바디부(422c)의 테두리로부터 상기 제2마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 도 11에 도시된 바와 같이 서로 동일할 수 있다.
또한, 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)가 각각 복수개 구비되는 경우 상기 도 11에 도시된 바와 같이 지그 재그 형태로 배열될 수 있다. 특히 복수개의 제2바디부(422b)는 서로 일렬로 배열되며, 복수개의 제3바디부(422c)도 서로 일렬로 배열될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제2바디부(422b)와 복수개의 제3바디부(422c)는 상기 제2마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 제2마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 구분되는 상기 제2마스크 시트의 각 부분에 배열될 수 있다.
이러한 제3바디부(422c)에는 제2보정개구부(424c-2)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 제2보정개구부(424c-2)는 상기에서 설명한 제2보조부화소개구부(424b-2)와 동일하거나 유사하게 형성될 수 있다. 또한, 제2보정개구부(424c-2)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 제2보조부화소개구부(424b-2)의 배치와 동일하게 제3바디부(422c) 상에 배치될 수 있다.
도 14a 및 도 14b는 본 발명의 일 실시에에 따른 표시 장치의 제조장치의 제3마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 14a 및 도 14를 참고하면, 제3마스크 시트(미도시)는 제3메인부화소개구부(424a-3)를 포함하는 제1바디부(422a), 제3보조부화소개구부(424b-3)를 포함하는 제2바디부(422b) 및 제3보정개구부(424c-3)를 포함하는 제3바디부(423c)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1바디부(422a) 내지 제3바디부(422c)는 도 11에 도시된 바와 유사할 수 있다.
상기와 같은 경우 제3메인부화소개구부(424a-3)와 제3보조부화소개구부(424b-3)는 각각 제3메인화소(미도시) 및 제3보조화소(미도시)에 대응되도록 형성될 수 있다. 이러한 경우 증착물질은 제3메인부화소개구부(424a-3)와 제3보조부화소개구부(424b-3)를 통과하여 상기 제3메인화소 및 상기 제3보조화소 각각의 발광층을 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 제2바디부(422b)의 데두리로부터 상기 제3마스크 시트의 테두리까지의 거리와 제3바디부(422c)의 테두리로부터 상기 제3마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 도 11에 도시된 바와 같이 서로 동일할 수 있다.
또한, 제2바디부(422b)와 제3바디부(422c)가 각각 복수개 구비되는 경우 상기 도 11에 도시된 바와 같이 지그 재그 형태로 배열될 수 있다. 특히 복수개의 제2바디부(422b)는 서로 일렬로 배열되며, 복수개의 제3바디부(422c)도 서로 일렬로 배열될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제2바디부(422b)와 복수개의 제3바디부(422c)는 상기 제3마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 제3마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 구분되는 상기 제3마스크 시트의 각 부분에 배열될 수 있다.
한편, 상기와 같은 제1마스크 시트 내지 상기 제3마스크 시트의 제3바디부는 상기의 경우 이외에도 다양하게 변형하는 것이 가능하다. 이때, 상기 제1마스크 시트 내지 상기 제3마스크 시트의 변형은 서로 유사하므로 이하에서는 상기 제1마스크 시트 중 제3바디부의 변형에 대한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 15를 참고하면, 제1마스크 시트(미도시)는 제1메인부화소개구부(424a-1)를 포함하는 제1바디부(422a-1), 제1보조부화소개구부(미도시)를 포함하는 제2바디부(미도시) 및 제1보정개구부(424c-1)를 포함하는 제3바디부(422c-1)를 포함할 수 있다. 이때, 제1바디부(422a-1)와 제2바디부(422b-1)는 상기 도 11 내지 도 12b에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제3바디부(422c-1)는 복수개의 제1보정개구부(424c-1)를 포함할 수 있다. 이때, 제1보정개구부(424c-1)는 상기 제1보조부화소개구부와 크기 및 형상 중 적어도 하나가 상이할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1보정개구부(424c-1)는 상기 제1보조부화소개구부와 크기가 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 제1보정개구부(424c-1)의 크기가 상기 제1보조부화소개구부의 크기보다 작은 경우 제1보정개구부(424c-1)의 개수는 상기 제1보조부화소개구부보다 클 수 있다. 반면, 제1보정개구부(424c-1)의 크기가 상기 제1보조부화소개구부의 크기보다 큰 경우 제1보정개구부(424c-1)의 개수는 상기 제1보조부화소개구부보다 작을 수 있다.
상기와 같은 경우 복수개의 제1보정개구부(424c-1)의 면적의 총합은 복수개의 상기 제1보조부화소개구부의 면적의 총합과 동일할 수 있다.
상기와 같은 경우 복수개의 제1보정개구부(424c-1)의 면적의 총합이 복수개의 상기 제1보조부화소개구부의 면적의 총합과 동일함으로써 상기 제1마스크 시트를 인장시키는 경우 상기 제1마스크 시트의 양 측면에서 발생하는 변형량을 거의 유사하게 유지하는 것이 가능하다.
상기와 같은 내용은 도면에 도시되어 있지 않지만 제2마스크 시트(미도시) 및 제3마스크 시트(미도시)에 유사하게 적용하는 것이 가능하다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트를 보여주는 평면도이다.
도 16을 참고하면, 제1마스크 시트(미도시)는 하나의 제1보정개구부(424c-1)를 포함하는 제3바디부(422c-1)를 포함할 수 있다. 이때, 제1보정개구부(424c-1)의 형상 및 크기는 제1보조부화소개구부(미도시)의 형상 및 크기와 상이할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1보조부화소개구부는 상기 도 12a에 도시된 바와 같이 직사각형 형태일 수 있다. 이때, 제1보정개구부(424c-1)는 도 16에 도시된 바와 같이 정사각형 형태일 수 있다.
상기와 같은 경우 제1보정개구부(424c-1)의 크기는 상기 제1보조부화소개구부의 크기보다 클 수 있다. 이때, 평면 상에서 볼 때 제1보정개구부(424c-1)의 면적은 제2바디부(미도시) 내부에 배치된 복수개의 상기 제1보조부화소개구부의 면적의 총합과 동일할 수 있다.
상기와 같은 경우 복수개의 제1보정개구부(424c-1)의 면적의 총합이 복수개의 상기 제1보조부화소개구부의 면적의 총합과 동일함으로써 상기 제1마스크 시트를 인장시키는 경우 상기 제1마스크 시트의 양 측면에서 발생하는 변형량을 거의 유사하게 유지하는 것이 가능하다.
상기와 같은 내용은 도면에 도시되어 있지 않지만 제2마스크 시트(미도시) 및 제3마스크 시트(미도시)에 유사하게 적용하는 것이 가능하다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 17을 참고하면, 마스크 시트(422)는 각 발광층의 배치 위치에 대응되도록 개구부가 형성된 제1마스크 시트(미도시), 제2마스크 시트(미도시) 및 제3마스크 시트(미도시)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 마스크 시트(422)는 메인부화소개구부(424a)를 포함하는 제1바디부(422a), 보조부화소개구부(424b)를 포함하는 제2바디부(422b) 및 보정개구부(424c)를 포함하는 제3바디부(422c)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1바디부(422a)와 제2바디부(422b)는 상기 도 11에 도시된 바와 같이 형성될 수 있다. 제3바디부(422c)는 제1중심선(CL1)과 수직이면서 마스크 시트(422)의 중심을 통과하는 제2중심선(CL2)을 기준으로 서로 대칭이되도록 형성될 수 있다. 이때, 제3바디부(422c)가 복수개 구비되는 경우 각 제3바디부(422c)의 평면 상의 면적은 제2중심선(CL2)으로부터 멀어질수록 작아지거나 커질 수 있다. 이러한 경우 제3바디부(422c) 내부에 배치되는 보정개구부(424c)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 보정개구부(424c)는 상기 도 12b, 도 15 또는 도 16에 도시된 것과 같은 형태일 수 있다.
상기와 같은 경우 복수개의 제2바디부(422b) 내부에 배치된 각 보조부화소개구부(424b)의 면적의 총합은 각 보정개구부(424c)의 면적의 총합과 동일할 수 있다. 즉, 마스크 시트(422) 전체에 배치된 보조부화소개구부(424b)의 면적의 총합과 마스크 시트(422)의 전체에 배치된 보정개구부(424c)의 면적의 총합은 서로 동일할 수 있다.
상기와 같은 경우 마스크 시트(422)의 양 측면에 배치되는 보조부화소개구부(424b)의 면적의 총합과 보정개구부(424c)의 면적의 총합이 서로 동일해짐으로써 마스크 시트(422)의 인장 시 마스크 시트(422)가 뒤틀리거나 마스크 시트(422)의 일 영역에 응력 등이 집중되는 것을 방지할 수 있다.
상기와 같은 내용은 도면에 도시되어 있지 않지만 제1마스크 시트(미도시), 제2마스크 시트(미도시) 및 제3마스크 시트(미도시)에 유사하게 적용하는 것이 가능하다.
도 18은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 18을 참고하면, 마스크 시트(422)는 한쌍의 제2바디부(422b)가 서로 인접하는 지지프레임(423) 사이에 배치되도록 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 마스크 시트(422)는 각 제2바디부(422b)와 동일한 형태를 갖는 한쌍의 제3바디부(422c)를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 한쌍의 제2바디부(422b)는 서로 상이한 형상을 갖는 경우 한쌍의 제3바디부(422c)도 한쌍의 제2바디부(422b)와 대응되도록 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 이러한 경우 보조부화소개구부(424b)와 보정개구부(424c)의 형상도 상기에서 설명한 것과 다양하게 형성될 수 있다. 또 다른 실시예로써 한상의 제2바디부(422b)가 서로 동일한 형상을 갖는 경우에도 한쌍의 제3바디부(422c)는 서로 상이하게 형성되는 것도 가능하다. 예를 들면, 각 제3바디부(422c)는 상기에서 설명한 다양한 제3바디부의 형상을 가질 수 있다. 이때, 보조부화소개구부(424b)와 보정개구부(424c)의 형상도 상기에서 설명한 것과 다양하게 형성될 수 있다.
상기의 경우 이외에도 제3바디부(422c) 및 보정개구부(424c)의 형상은 상기에서 설명한 것과 같이 다양한 조합이 가능할 수 있다. 이러한 경우 상기에서 설명한 것과 같이 하나의 마스크 시트(422)에 배치된 보조부화소개구부(424b)의 면적의 총합과 보정개구부(424c)의 면적의 총합이 서로 동일해지도록 제2바디부(422b), 보조부화소개구부(424b), 제3바디부(422c) 및 보정개구부(424c)의 형상 및 크기를 결정할 수 있다.
따라서 마스크 시트(422)를 마스크 프레임(미도시)에 배치 시 마스크 시트(422)의 변형을 균일하게 함으로써 정밀한 증착 패턴을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 마스크 시트(422)의 뒤틀림을 최소화하는 것이 가능하다.
상기와 같은 내용은 도면에 도시되어 있지 않지만 제1마스크 시트(미도시), 제2마스크 시트(미도시) 및 제3마스크 시트(미도시)에 유사하게 적용하는 것이 가능하다.
상기와 같은 상기 제1마스크 시트 내지 상기 제3마스크 시트를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 경우 도면에 도시되어 있지는 않지만 도 1에 도시된 제2표시영역(DA2)은 제1표시영역(DA1) 상에 두개가 서로 인접하도록 배치될 수 있다.
도 19는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제2표시영역에 배치되는 부화소들 및 투과부의 배열을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 19를 참고하면, 제2표시영역(DA2)의 화소 배치 구조는 S-스트라이프(stripe) 구조로 구비될 수 있다. 본 실시예에서, 하나의 보조 발광영역(Pg)에 포함된 보조 부화소(Pa)들은 각각 하나의 제2보조 부화소(Pa2), 제3보조 부화소(Pa3), 제1보조 부화소(Pa1)의 총 3개의 보조 부화소(Pa)가 포함될 수 있다.
본 실시예에서, 제1 열(1I)에는 제2보조 부화소(Pa2)과 제3보조 부화소(Pa3)가 교번적으로 배치되고, 인접한 제2 열(2I)에는 제1보조 부화소(Pa1)가 배치될 수 있다. 이 때, 제2보조 부화소(Pa2) 및 제3보조 부화소(Pa3)는 X 방향으로 장변을 갖는 사각형 형상으로 구비되며, 제1보조 부화소(Pa1)는 Y 방향으로 장변을 갖는 사각형 형상으로 배치될 수 있다. 제1보조 부화소(Pa1)의 Y 방향의 길이는 제2보조 부화소(Pa2)의 Y 방향의 길이와 제3보조 부화소(Pa3)의 Y 방향의 길이를 합한 것과 같거나 크게 구비될 수 있다. 이에 따라, 제1보조 부화소(Pa1)의 크기가 제2보조 부화소(Pa2) 및 제3보조 부화소(Pa3)의 크기보다 크게 구비될 수 있다.
본 실시예에서, 기본 유닛(U)에서 하나의 보조 발광영역(Pg)이 차지하는 면적은 기본 유닛(U)의 약 1/4 정도일 수 있다. 도 19에서는 기본 유닛(U)에 하나의 보조 발광영역(Pg)만 포함된 것으로 도시하고 있으나, 다른 실시예로, 기본 유닛(U)에는 2개 이상의 보조 발광영역(Pg)이 포함될 수 있다. 또한, 보조 발광영역(Pg)에 포함된 보조 부화소(Pa)들의 면적도 다양하게 변형될 수 있다.
상기와 같은 경우 제1표시영역(미도시)에 배치되는 부화소는 상기 도 5에 설명한 것과 동일할 수 있다.
도 20은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 20을 참고하면, 제1마스크 시트(미도시)는 제1보정개구부(424c-1)가 배치된 제3바디부(422c-1)를 포함할 수 있다. 이때, 제1보정개구부(424c-1)는 도 19에 도시된 제1보조 부화소의 형태와 실질적으로 동일하거나 유사할 수 있다. 이러한 경우 제3바디부(422c-1) 및 제1보정개구부(424c-1)는 이에 한정되는 것은 아니며, 상기에서 설명한 것과 다양한 형태일 수 있다.
상기와 같이 제1보조 부화소의 형태가 제1메인 부화소의 형태와 상이한 경우 제1메인 부화소의 패턴을 형성하는 제1메인부화소개구부(424a-1)와 제1보조 부화소의 패턴을 형성하는 제1보조부화소개구부(424b-1)가 서로 상이해짐으로써 상기 제1마스크 시트의 인장 시 상기 제1마스크 시트가 뒤틀리거나 상기 제1마스크 시트가 균일하게 변형되지 않는 문제가 발생할 수 있다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위하여서 제2바디부(미도시)와 동일한 형태의 제3바디부(422c-1)를 상기에서 설명한 것과 같이 상기 마스크 시트의 길이 방향에 대해서 상기 제2바디부와 사선 방향으로 배열함으로써 상기 마스크 시트의 변형을 최소화할 뿐만 아니라 상기 마스크 시트의 변형을 상기 마스크 시트의 전면에서 어느 정도 균일하게 할 수 있다. 특히 상기 제2바디부로 인하여 상기 마스크 시트의 측면의 변형과 상기 마스크 시트의 다른 부분이 서로 상이하게 변경되는 것을 제3바디부(422c-1)를 통하여 제3바디부(422c-1)가 배치된 상기 마스크 시트 부분과 상기 제2바디부가 배치된 상기 마스크 시트 부분이 서로 유사하게 변형되도록 할 수 있다.
따라서 제1표시영역과 다른 형상의 부화소를 제2표시영역에 형성할 때 사용하는 상기 마스크 시트의 변형을 예측 가능하거나 균일하게 함으로써 정밀한 패턴을 갖는 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
한편, 상기와 같은 제3바디부(422c-1)의 제1보정개구부(424c-1)의 형상 및 개수는 상기에 한정되는 것은 아니며, 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 변형 가능하다.
상기와 같은 내용은 도면에 도시되어 있지 않지만 제2마스크 시트(미도시) 및 제3마스크 시트(미도시)에 유사하게 적용하는 것이 가능하다.
도 21은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제2표시영역에 배치되는 부화소들 및 투과부의 배열을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 21을 참고하면, 제2표시영역(DA2)의 화소 배치 구조는 스트라이프(stripe) 구조로 구비될 수 있다. 즉, 제2보조 부화소(Pa2), 제3보조 부화소(Pa3) 및 제1보조 부화소(Pa1)는 X 방향을 따라 나란하게 배열될 수 있다. 이 때, 제2보조 부화소(Pa2), 제3보조 부화소(Pa3) 및 제1보조 부화소(Pa1)는 Y 방향의 장변을 가질 수 있다.
또는, 도시된 바와 달리, 제2보조 부화소(Pa2), 제3보조 부화소(Pa3) 및 제1보조 부화소(Pa1)는 Y 방향을 따라 나란하게 배열될 수 있다. 이 때, 제2보조 부화소(Pa2), 제3보조 부화소(Pa3) 및 제1보조 부화소(Pa1)는 X 방향의 장변을 가질 수 있다.
상기와 같은 경우 제1표시영역(미도시)에 배치되는 부화소는 상기 도 5에 설명한 것과 동일할 수 있다.
도 22는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 22를 참고하면, 제1마스크 시트(미도시)는 제1보정개구부(424c-1)가 배치된 제3바디부(422c-1)를 포함할 수 있다. 이때, 제1보정개구부(424c-1)는 도 21에 도시된 제1보조 부화소의 형태와 실질적으로 동일하거나 유사할 수 있다. 이러한 경우 제3바디부(422c-1) 및 제1보정개구부(424c-1)는 이에 한정되는 것은 아니며, 상기에서 설명한 것과 다양한 형태일 수 있다.
제1보정개구부(424c-1)는 도 22에 도시된 바와 같이 제3바디부(422c-1)의 내부에 복수개 구비될 수 있다. 복수개의 제1보정개구부(424c-1)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이러한 각 제1보정개구부(424c-1)는 상기에서 설명한 것과 같이 다양한 형태 및 다양한 개수를 가질 수 있다. 이러한 경우 제1보정개구부(424c-1)의 면적의 총합은 제1보조부화소개구부(424b-1)의 면적의 총합과 같아지도록 제1보정개구부(424c-1)의 형상 및 개수가 조절될 수 있다.
따라서 제1표시영역과 다른 형상의 부화소를 제2표시영역에 형성할 때 사용하는 상기 마스크 시트의 변형을 예측 가능하거나 균일하게 함으로써 정밀한 패턴을 갖는 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
상기와 같은 내용은 도면에 도시되어 있지 않지만 제2마스크 시트(미도시) 및 제3마스크 시트(미도시)에 유사하게 적용하는 것이 가능하다.
도 23은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제2표시영역에 배치되는 부화소들 및 투과부의 배열을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 23을 참고하면, 제2표시영역(DA2)에는 복수개의 보조 부화소(Pa)들이 배치될 수 있다. 보조 부화소(Pa)들 각각은 적색, 녹색, 청색 및 백색 중 어느 하나의 광을 방출할 수 있다.
컴포넌트영역(CA)은 적어도 하나 이상의 보조 부화소(Pa)를 포함하는 보조 발광영역(Pg)과 투과영역(TA)을 가질 수 있다. 보조 발광영역(Pg)과 투과영역(TA)은 X 방향과 Y 방향을 따라 교번하여 배치되며, 예컨대 격자형상으로 배치될 수 있다. 이 경우 컴포넌트영역(CA)은 복수 개의 보조 발광영역(Pg)들과 복수 개의 투과영역(TA)들을 가질 수 있다.
보조 발광영역(Pg)은 복수 개의 보조 부화소(Pa)들을 사전 설정된 단위로 묶은 부화소 집합체로 정의할 수 있다. 예컨대, 도 23에서와 같이, 하나의 보조 발광영역(Pg)에는 펜타일 구조로 배열된 8개의 보조 부화소(Pa)들이 포함될 수 있다. 즉, 하나의 보조 발광영역(Pg)에는 2개의 제2보조부화소(Pa2), 4개의 제3보조부화소(Pa3), 2개의 제1보조부화소(Pa1)가 포함될 수 있다. 이때, 제1보조부화소(Pa1)은 청색을 발광하며, 제2보조부화소(Pa2)는 적색 및 제3보조부화소(Pa3)는 녹색을 발광할 수 있다.
컴포넌트영역(CA)에서는 소정의 개수의 보조 발광영역(Pg)과 소정의 개수의 투과영역(TA)이 묶여진 기본 유닛(U)이 X 방향 및 Y 방향으로 반복적으로 배치될 수 있다. 도 23에 있어서, 기본 유닛(U)은 2개의 보조 발광영역(Pg)과 그 주변의 배치된 2개의 투과영역(TA)을 사각형으로 묶은 형상일 수 있다. 기본 유닛(U)은 반복적인 형상을 구획한 것으로, 구성의 단절을 의미하지 않는다.
메인표시영역(MDA)에 상기 기본 유닛(U)의 면적과 동일한 면적으로 구비된 대응 유닛(U')을 설정할 수 있다. 이 경우, 대응 유닛(U')에 포함된 메인 부화소(Pm)들의 개수는 기본 유닛(U)에 포함된 보조 부화소(Pa)들의 개수보다 크게 구비될 수 있다. 즉, 기본 유닛(U)에 포함된 보조 부화소(Pa)들은 16개이고, 대응 유닛(U')에 포함된 메인 부화소(Pm)들은 32개로, 동일 면적당 배치된 보조 부화소(Pa)들의 개수와 메인 부화소(Pm)들의 개수는 1:2의 비율로 구비될 수 있다.
도 23과 같이 보조 부화소(Pa)들의 배치구조가 펜타일 구조이며, 해상도는 메인표시영역(MDA)에 비해 1/2으로 구비되는 컴포넌트영역(CA)의 화소 배치 구조를 1/2 펜타일 구조라고 한다. 보조 발광영역(Pg)에 포함된 보조 부화소(Pa)의 개수나 배열 방식은 컴포넌트영역(CA)의 해상도에 따라 변형 설계될 수 있다.
도 24는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제1마스크 시트의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 24를 참고하면, 제1마스크 시트(미도시)는 제1메인부화소개구부(424a-1)가 배치된 제1바디부(422a-1), 제1보조부화소개구부(미도시)가 배치된 제2바디부(미도시) 및 제1보정개구부(424c-1)가 배치된 제3바디부(422a-3)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1메인부화소개구부(424a-1)와 상기 제1보조부화소개구부는 서로 형상이 동일할 수 있다. 이때, 제1메인부화소개구부(424a-1)와 상기 제1보조부화소개구부는 서로 크기가 동일하거나 상이할 수 있다.
우선 제1메인부화소개구부(424a-1)와 상기 제1보조부화소개구부가 서로 동일한 형상을 가지면서 동일한 크기를 갖는 경우 제1바디부(422a-1)의 단위면적당 제1메인부화소개구부(424a-1)의 개수 또는 제1메인부화소개구부(424a-1)의 면적의 총합은 상기 제2바디부의 단위면적당 상기 제1보조부화소개구부의 개수 또는 상기 제1보조부화소개구부의 면적의 총합과 상이할 수 있다. 구체적으로 제1바디부(422a-1)의 단위면적당 제1메인부화소개구부(424a-1)의 개수는 상기 제2바디부의 단위면적당 상기 제1보조부화소개구부의 개수보다 클 수 있다. 또는 제1바디부(422a-1)의 단위면적당 제1메인부화소개구부(424a-1)의 면적의 총합은 상기 제2바디부의 단위면적당 상기 제1보조부화소개구부의 면적의 총합보다 클 수 있다.
상기와 같이 단위면적 당 제1메인부화소개구부(424a-1)의 개수 또는 면적의 총합이 상기 제1보조부화소개구부의 개수 또는 면적보다 큰 경우 상기 제1마스크 시트를 인장시킬 때 상기 제1마스트 시트 전체에서 상기 제2바디부로 인하여 변형이 균일하지 못하거나 상기 제1마스크 시트가 뒤틀릴 수 있다.
상기와 같은 것을 방지하도록 상기 제2바디부와 동일하거나 상기 제1보조부화소개구부의 면적의 총합과 동일하도록 제3바디부(422a-3)에 제1보정개구부(424c-1)를 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1보정개구부(424c-1)의 형상 및 크기는 제1메인부화소개구부(424a-1)와 동일할 수 있다. 다만, 상기에서 설명한 것과 같이 단위면적 당 제1보정개구부(424c-1)의 개수 또는 면적의 총합은 제1메인부화소개구부(424a-1)의 개수 또는 면적의 총합보다 작을 수 있다.
한편, 제1메인부화소개구부(424a-1)와 상기 제1보조부화소개구부가 서로 동일한 형상을 가지면서 서로 상이한 크기를 갖는 경우 제3바디부(422a-3)는 상기 제2바디부와 동일한 형태로 형성되거나 상이한 형태로 형성될 수 있다.
예를 들면, 제3바디부(422a-3)가 상기 제2바디부와 동일한 경우 제3바디부(422a-3)는 상기 제1보조부화소개구부와 동일한 형상이면서 동일한 크기, 동일한 개수를 갖는 제1보정개구부(424c-1)를 포함할 수 있다. 이때, 각 상기 제1보조부화소개구부와 제1보정개구부(424c-1)는 위치가 서로 대응되도록 배치될 수 있다. 반면, 제3바디부(422a-3)가 상기 제2바디부와 상이한 경우 제3바디부(422a-3)는 상기 도 12a, 도 15 내지 도 17에 설명한 것과 같이 다양한 형태로 형성될 수 있다.
상기와 같은 경우 상기 제2바디부가 제1바디부(422a-1)와 상이한 형태로 형성되는 경우라고 하더라도 제3바디부(422a-3)가 배치됨으로써 상기 제1마스크 시트의 변형을 균일하게 할 수 있다.
따라서 제1표시영역과 다른 형상의 부화소를 제2표시영역에 형성할 때 사용하는 상기 마스크 시트의 변형을 예측 가능하거나 균일하게 함으로써 정밀한 패턴을 갖는 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
상기와 같은 내용은 도면에 도시되어 있지 않지만 제2마스크 시트(미도시) 및 제3마스크 시트(미도시)에 유사하게 적용하는 것이 가능하다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 표시 장치
10: 표시 패널
20: 컴포넌트
400: 표시 장치의 제조장치
410: 챔버
420: 마스크 조립체
421: 마스크 프레임
422: 마스크 시트
423: 지지프레임
430: 제1지지부
440: 제2지지부
450: 증착소스
460: 자기력생성부
470: 비젼부
480: 압력조절부

Claims (30)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내부에 디스플레이 기판과 대향하도록 배치되는 마스크 조립체; 및
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 디스플레이 기판으로 증착물질을 공급하는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    개구부를 포함한 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임을 가로지르도록 배치된 마스크 시트;를 포함하며,
    상기 마스크 시트는,
    제1개구부가 구비된 제1바디부;
    상기 제1바디부와 연결되며, 상기 제1개구부와 상이한 제2개구부가 배치된 제2바디부; 및
    상기 제1바디부와 연결되며, 제3개구부가 배치된 제3바디부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2개구부의 형상과 상기 제3개구부의 형상은 동일한 표시 장치의 제조장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임;을 더 포함하고,
    상기 제3바디부는 평면으로 볼 때 상기 지지프레임과 중첩되도록 배치된 표시 장치의 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 서로 반대 방향에 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2바디부의 최외곽에 배치된 상기 제2개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 제3바디부의 최외곽에 배치된 상기 제3개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 서로 동일한 표시 장치의 제조장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 각각 복수개 포함하며,
    상기 복수개의 제2바디부는 서로 일직선 상에 배열되며, 상기 복수개의 제3바디부는 서로 일적선 상에 배열되는 표시 장치의 제조장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 각 제2바디부와 상기 각 제3바디부는 서펜타인 형태로 배열되는 표시 장치의 제조장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수개의 제2바디부의 제2개구부의 면적의 합과 상기 복수개의 제3바디부의 제3개구부의 면적의 합은 서로 동일한 표시 장치의 제조장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수개의 제3바디부의 일부와 상기 복수개의 제3바디부의 다른 일부는 상기 마스크 시트의 중심을 통과하면서 상기 마스크 시트의 길이 방향에 수직한 임의의 직선을 기준으로 서로 대칭되도록 배열되는 표시 장치의 제조장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임;을 더 포함하고,
    상기 지지프레임 및 상기 제2바디부는 복수개 구비되며,
    상기 복수개의 지지프레임 중 서로 인접하는 상기 지지프레임과 상기 제1바디부의 테두리 또는 상기 복수개의 지지프레임 중 하나와 상기 마스크 프레임 및 상기 제1바디부의 테두리는 상기 증착물질이 통과하는 통과영역을 정의하고,
    상기 각 제2바디부는 상기 통과영역의 모서리 부분에 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  11. 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체를 통과하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    개구부를 포함한 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임을 가로지르도록 배치된 마스크 시트;를 포함하며,
    상기 마스크 시트는,
    제1개구부가 구비된 제1바디부;
    상기 제1바디부와 연결되며, 상기 제1개구부와 상이한 제2개구부가 배치된 제2바디부; 및
    상기 제1바디부와 연결되며, 제3개구부가 배치된 제3바디부;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2개구부의 형상과 상기 제3개구부의 형상은 동일한 표시 장치의 제조방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임;을 더 포함하고,
    상기 제3바디부는 평면으로 볼 때 상기 지지프레임과 중첩되도록 배치된 표시 장치의 제조방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 서로 반대 방향에 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2바디부의 최외곽에 배치된 상기 제2개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 제3바디부의 최외곽에 배치된 상기 제3개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 서로 동일한 표시 장치의 제조방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 각각 복수개 포함하며,
    상기 복수개의 제2바디부는 서로 일직선 상에 배열되며, 상기 복수개의 제3바디부는 서로 일적선 상에 배열되는 표시 장치의 제조방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 각 제2바디부와 상기 각 제3바디부는 서펜타인 형태로 배열되는 표시 장치의 제조방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 복수개의 제2바디부의 제2개구부의 면적의 합과 상기 복수개의 제3바디부의 제3개구부의 면적의 합은 서로 동일한 표시 장치의 제조방법.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 복수개의 제3바디부의 일부와 상기 복수개의 제3바디부의 다른 일부는 상기 마스크 시트의 중심을 통과하면서 상기 마스크 시트의 길이 방향에 수직한 임의의 직선을 기준으로 서로 대칭되도록 배열되는 표시 장치의 제조방법.
  20. 제 11 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임;을 더 포함하고,
    상기 지지프레임 및 상기 제2바디부는 복수개 구비되며,
    상기 복수개의 지지프레임 중 서로 인접하는 상기 지지프레임과 상기 제1바디부의 테두리 또는 상기 복수개의 지지프레임 중 하나와 상기 마스크 프레임 및 상기 제1바디부의 테두리는 상기 증착물질이 통과하는 통과영역을 정의하고,
    상기 각 제2바디부는 상기 통과영역의 모서리 부분에 배치되는 표시 장치의 제조방법.
  21. 개구부를 포함한 마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임을 가로지르도록 배치된 마스크 시트;를 포함하며,
    상기 마스크 시트는,
    제1개구부가 구비된 제1바디부;
    상기 제1바디부와 연결되며, 상기 제1개구부와 상이한 제2개구부가 배치된 제2바디부; 및
    상기 제1바디부와 연결되며, 제3개구부가 배치된 제3바디부;를 포함하는 마스크 조립체.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 제2개구부의 형상과 상기 제3개구부의 형상은 동일한 마스크 조립체.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임;을 더 포함하고,
    상기 제3바디부는 평면으로 볼 때 상기 지지프레임과 중첩되도록 배치된 마스크 조립체.
  24. 제 21 항에 있어서,
    상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 상기 마스크 시트의 길이 방향과 평행하면서 상기 마스크 시트의 중심을 통과하는 임의의 직선을 기준으로 서로 반대 방향에 배치되는 마스크 조립체.
  25. 제 21 항에 있어서,
    상기 제2바디부의 최외곽에 배치된 상기 제2개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 상기 제3바디부의 최외곽에 배치된 상기 제3개구부의 테두리로부터 상기 마스크 시트의 테두리까지의 거리는 서로 동일한 마스크 조립체.
  26. 제 21 항에 있어서,
    상기 제2바디부와 상기 제3바디부는 각각 복수개 포함하며,
    상기 복수개의 제2바디부는 서로 일직선 상에 배열되며, 상기 복수개의 제3바디부는 서로 일적선 상에 배열되는 마스크 조립체.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 각 제2바디부와 상기 각 제3바디부는 서펜타인 형태로 배열되는 마스크 조립체.
  28. 제 26 항에 있어서,
    상기 복수개의 제2바디부의 제2개구부의 면적의 합과 상기 복수개의 제3바디부의 제3개구부의 면적의 합은 서로 동일한 마스크 조립체.
  29. 제 26 항에 있어서,
    상기 복수개의 제3바디부의 일부와 상기 복수개의 제3바디부의 다른 일부는 상기 마스크 시트의 중심을 통과하면서 상기 마스크 시트의 길이 방향에 수직한 임의의 직선을 기준으로 서로 대칭되도록 배열되는 마스크 조립체.
  30. 제 21 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 마스크 시트의 길이 방향과 상이한 방향으로 배열되며, 상기 마스크 시트를 지지하는 지지프레임;을 더 포함하고,
    상기 지지프레임 및 상기 제2바디부는 복수개 구비되며,
    상기 복수개의 지지프레임 중 서로 인접하는 상기 지지프레임과 상기 제1바디부의 테두리 또는 상기 복수개의 지지프레임 중 하나와 상기 마스크 프레임 및 상기 제1바디부의 테두리는 증착물질이 통과하는 통과영역을 정의하고,
    상기 각 제2바디부는 상기 통과영역의 모서리 부분에 배치되는 마스크 조립체.
KR1020200021143A 2020-02-20 2020-02-20 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 KR20210106616A (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200021143A KR20210106616A (ko) 2020-02-20 2020-02-20 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
US17/106,145 US20210265396A1 (en) 2020-02-20 2020-11-29 Mask assembly, and apparatus and method of manufacturing display apparatus
JP2021024945A JP2021130873A (ja) 2020-02-20 2021-02-19 マスクアセンブリ、表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法
CN202110193592.3A CN113284928A (zh) 2020-02-20 2021-02-20 掩模组件和制造显示设备的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200021143A KR20210106616A (ko) 2020-02-20 2020-02-20 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210106616A true KR20210106616A (ko) 2021-08-31

Family

ID=77275968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200021143A KR20210106616A (ko) 2020-02-20 2020-02-20 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20210265396A1 (ko)
JP (1) JP2021130873A (ko)
KR (1) KR20210106616A (ko)
CN (1) CN113284928A (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210149282A (ko) * 2020-06-01 2021-12-09 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 및 전자 기기
KR20210155428A (ko) * 2020-06-15 2021-12-23 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체
WO2022087906A1 (zh) * 2020-10-28 2022-05-05 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及其制备方法、显示面板及其制备方法、显示装置
WO2023024901A1 (zh) * 2021-08-23 2023-03-02 京东方科技集团股份有限公司 显示基板和显示装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102608420B1 (ko) * 2016-03-09 2023-12-01 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR102544244B1 (ko) * 2016-07-19 2023-06-19 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체

Also Published As

Publication number Publication date
US20210265396A1 (en) 2021-08-26
JP2021130873A (ja) 2021-09-09
CN113284928A (zh) 2021-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11288998B2 (en) Display device having a first display area and a second display area having a transmission area
US12016230B2 (en) Display apparatus
US12089455B2 (en) Display device
US11469284B2 (en) Display apparatus, and apparatus for and method of manufacturing the same
KR20200136549A (ko) 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
US11871601B2 (en) Display apparatus
US12002429B2 (en) Display panel and display apparatus including the same
US11678535B2 (en) Display panel having a plurality of connection lines in third area being electrically connected to plurality of pixels of first area
US11980078B2 (en) Display device
KR20210106616A (ko) 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20210002283A (ko) 표시 장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20210095771A (ko) 표시 장치
US20230337461A1 (en) Display panel and display apparatus including the same
CN111834405A (zh) 制造显示装置的方法
US12069892B2 (en) Display apparatus with bridge electrode that varies in thickness
US20220344624A1 (en) Mask assembly and, apparatus and method of manufacturing display apparatus
KR102724701B1 (ko) 표시 장치의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal