KR20220042579A - Replaceable single type probe pin - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 프로브 핀에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플런저를 착탈 방식으로 교체할 수 있는 교체 가능한 프로브 핀에 관한 것이다.The present invention relates to a probe pin, and more particularly, to a replaceable probe pin capable of replacing a plunger in a detachable manner.
일반적으로 반도체 소자의 전기적 특성 검사를 위해서는 반도체 소자와 테스터(tester) 간에 전기적 연결이 원활하게 이루어져야 한다. In general, in order to test the electrical characteristics of a semiconductor device, an electrical connection between the semiconductor device and a tester should be made smoothly.
이렇게 반도체 소자와 테스터의 연결을 위한 검사장치는 소켓보드, 프로브카드 및 커넥터 등으로 구분된다. 이때, 소켓보드는 반도체 소자가 반도체 패키지 형태인 경우에 사용되고, 프로브카드는 반도체 소자가 반도체 칩 상태인 경우에 사용되며, 커넥터는 일부 개별소자(discrete device)에서 반도체 소자와 테스터를 연결하는 검사장치로 이용된다.In this way, the inspection device for connecting the semiconductor element and the tester is divided into a socket board, a probe card, and a connector. At this time, the socket board is used when the semiconductor element is in the form of a semiconductor package, the probe card is used when the semiconductor element is in the form of a semiconductor chip, and the connector is an inspection device that connects the semiconductor element and the tester in some discrete devices. is used as
상기 소켓보드, 프로브카드 및 커넥터와 같은 검사장치의 역할은 반도체 소자의 단자와 테스터를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하도록 하는 것이다.The role of the inspection device such as the socket board, the probe card and the connector is to connect the terminals of the semiconductor device and the tester to each other so that electrical signals can be exchanged in both directions.
이러한 검사장치의 핵심 구성요소로서 검사장치 내부에 사용되는 접촉수단이 프로브 핀이다.As a core component of such an inspection device, a contact means used inside the inspection device is a probe pin.
일반적으로 프로브 핀은 양측 플런저가 슬라이딩 이동하는 더블핀 타입과, 어느 하나의 플런저만이 슬라이딩 이동하는 싱글핀 타입으로 구분된다.In general, the probe pin is divided into a double pin type in which both plungers slide and a single pin type in which only one plunger slides.
이 중에서 더블핀 타입의 경우에는 파이프 형상의 하우징과, 하우징의 상부 및 하부 각각에 설치되는 상부 플런저와 하부 플런저 및 양측 플런저 사이에 탄성력을 제공하도록 상기 하우징 내에 설치되는 스프링을 구비한다. 상기 구성에서, 상부 및 하부 플런저가 상대적으로 슬라이딩 이동하여 접근 및 이격되고, 접근시 접촉에 의해 전기적 신호를 주고받음으로써 검사 동작이 이루어진다. Among them, the double pin type includes a housing having a pipe shape, and a spring installed in the housing to provide an elastic force between the upper and lower plungers and the plungers on both sides of the housing. In the above configuration, the upper and lower plungers are relatively slid to approach and spaced apart, and the inspection operation is performed by exchanging electrical signals by contact when approaching.
그런데 종래의 프로브 핀의 경우에는 오랜 시간 사용시 플런저의 단부가 마모되어 전기적인 접촉 불량이 발생되어 교체를 해주어야 하는데, 플런저를 별도로 분리하여 교환 조립할 수 있는 구성이 아니므로, 프로브 핀 전체를 교체해야만 하였다.However, in the case of a conventional probe pin, the end of the plunger wears out when used for a long time, causing electrical contact failure, and thus needs to be replaced. .
따라서 교체에 따른 비용이 증가하고 유지관리 비용이 증가하는 문제점이 있었다.Therefore, there was a problem in that the replacement cost increases and the maintenance cost increases.
또한, 종래의 프로브 핀의 경우에는 상부 플런저 및 하부 플런저 각각이 단수로 구비된 구성으로서, 검사 대상물의 솔더볼의 위치와 프로브핀의 중심이 일치하지 않고 편중된 상태에서 검사공정이 이루어질 때, 전기적인 접촉상태가 불안정하여 검사의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있다.In addition, in the case of the conventional probe pin, each of the upper plunger and the lower plunger is provided in a single number, and when the inspection process is performed in a biased state, the position of the solder ball of the object to be inspected and the center of the probe pin do not coincide with each other. There is a problem that the reliability of the test is lowered because the state is unstable.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 창안된 것으로서, 부품을 부분적으로 교환 장착하여 사용할 수 있으며, 편중되어 배치되는 솔더볼에 안정적으로 접촉되어 검사할 수 있도록 구조가 개선된 교체 가능한 프로브 핀을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised in view of the above, and it is possible to partially exchange and use parts, and to provide a replaceable probe pin with an improved structure so that it can be inspected by stably contacting a solder ball that is biased. There is a purpose.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 교체 가능한 프로브 핀은, 지지부; 상기 지지부의 상부에 승강 이동 가능하게 설치되며, 독립적으로 승강 동작하는 복수의 상부 플런저를 가지는 상부플런저 유닛; 상기 지지부의 하부에 승강 이동 가능하게 설치되며, 독립적으로 승강 동작하는 복수의 하부 플런저를 가지는 하부 플런저 유닛; 및 상기 지지부에 설치되어, 상기 상부 및 하부플런지 유닛 각각을 서로 멀어지는 방향으로 탄성 가압하는 메인 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.Replaceable probe pin of the present invention for achieving the above object, the support; an upper plunger unit movably installed on the upper portion of the support portion and having a plurality of upper plungers independently lifting and lowering; a lower plunger unit movably installed at a lower portion of the support and having a plurality of lower plungers independently elevating; and a main elastic member that is installed on the support and elastically presses each of the upper and lower plunge units in a direction away from each other.
이로써, 부품들을 부분적으로 교체 가능하다.Thereby, it is possible to partially replace the parts.
또한, 상기 상부플런저 유닛은, 상기 지지부에 이동 가능하게 결합되는 상부 가동부재; 상기 상부 가동부재에 왕복 이동 가능하게 결합되며, 상기 지지부를 중심으로 대칭되게 배치되는 복수의 상부 플런저; 및 상기 상부 플런저를 상기 상부 가동부재에 대해 탄성 지지하는 제1탄성부재;를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the upper plunger unit may include an upper movable member movably coupled to the support portion; a plurality of upper plungers coupled to the upper movable member to be reciprocally movable and symmetrically disposed about the support portion; and a first elastic member elastically supporting the upper plunger with respect to the upper movable member.
이로써, 편중된 위치의 피 검사물(솔더볼)에 대해서도 안정적으로 접촉하여 검사를 진행할 수 있다. Accordingly, it is possible to perform the inspection by stably contacting the inspection object (solder ball) in the biased position.
또한, 상기 상부 플런저는, 플런저 몸체; 상기 플런저 몸체보다 작은 외경을 가지도록 연장되며, 상기 상부 가동부재에 왕복 이동 가능하게 결합되는 가이드 결합부; 및 상기 가이드 결합부의 단부에서 확장 형성되는 걸림턱;을 포함하는 것이 좋다.In addition, the upper plunger, the plunger body; a guide coupling portion extending to have an outer diameter smaller than that of the plunger body and movably coupled to the upper movable member; And it is preferable to include a; and a locking protrusion that is extended and formed at the end of the guide coupling part.
또한, 상기 상부 가동부재의 중앙에는 상기 지지부에 대해 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩홀이 형성되고,In addition, a sliding hole that is slidably coupled to the support portion is formed in the center of the upper movable member,
상기 상부 가동부재는 상기 슬라이딩홀을 중심으로 방사상으로 대칭되게 형성되어 상기 상부 플런저가 상하 왕복 이동 가능하게 결합되는 복수의 플런저 결합부를 가지는 것이 좋다.It is preferable that the upper movable member has a plurality of plunger coupling portions formed to be radially symmetrical with respect to the sliding hole so that the upper plunger is coupled to be vertically and reciprocally movable.
이로써, 상부 플런저를 상하로 안정적으로 왕복이동되게 설치할 수 있다.Accordingly, the upper plunger can be installed to reciprocate stably up and down.
또한, 상기 플런저 결합부에는 외측 테두리로부터 상기 플런저 결합홀과 연통되도록 조립용 슬릿이 형성되는 것이 좋다.In addition, it is preferable that a slit for assembling is formed in the plunger coupling part so as to communicate with the plunger coupling hole from the outer edge.
이로써, 상부 플런저를 독립적으로 용이하게 교환장착할 수 있다.Thereby, the upper plunger can be easily replaced and mounted independently.
또한, 상기 제1탄성부재는 상기 상부 가동부재와 상기 상부 플런저의 플런저 몸체 사이에 위치하도록 상기 가이드 결합부에 결합되는 것이 좋다.In addition, the first elastic member may be coupled to the guide coupling portion so as to be positioned between the upper movable member and the plunger body of the upper plunger.
또한, 상기 제1탄성부재는 나선형 판스프링을 포함하는 것이 좋다.In addition, the first elastic member may include a spiral leaf spring.
이로써, 제1탄성부재를 상부 플런저에서 용이하게 조립 및 분리 장착할 수 있다.Accordingly, the first elastic member can be easily assembled and separated from the upper plunger.
또한, 상기 플런저 몸체는, 상기 가이드 결합부모다 큰 외경으로 확장되어 원통형으로 형성되는 몸체부; 및 상기 몸체부의 단부에서 중심을 기준으로 방사상으로 대칭되게 돌출되어 형성되는 복수의 접촉팁;을 포함하는 것이 좋다.In addition, the plunger body, the body portion extending to a larger outer diameter than the guide coupling parent is formed in a cylindrical shape; and a plurality of contact tips formed to protrude symmetrically from the end of the body part radially with respect to the center.
이로써, 하나의 플런저에 복수의 접촉팁을 형성하여 솔더볼과의 접촉점을 복수로 확보할 수 있어 접점 신뢰성을 높일 수 있다.Accordingly, by forming a plurality of contact tips on one plunger, it is possible to secure a plurality of contact points with the solder ball, thereby improving contact reliability.
또한, 상기 하부플런저 유닛은, 상기 지지부에 이동 가능하게 결합되는 하부 가동부재; 상기 하부 가동부재에 왕복 이동 가능하게 결합되며, 상기 지지부를 중심으로 대칭되게 배치되는 복수의 상부 플런저; 및 상기 하부 플런저를 상기 하부 가동부재에 대해 탄성 지지하는 제2탄성부재;를 포함하는 것이 좋다.In addition, the lower plunger unit may include a lower movable member movably coupled to the support portion; a plurality of upper plungers coupled to the lower movable member to be reciprocally movable and symmetrically disposed about the support portion; and a second elastic member elastically supporting the lower plunger with respect to the lower movable member.
이로써, 테스터 쪽에 전기적으로 접속되는 하부 플런저도 복수 마련하여 편중된 위치에 상관없이 전기적 접촉 신뢰성을 높일 수 있다.Accordingly, by providing a plurality of lower plungers electrically connected to the tester side, it is possible to increase the electrical contact reliability regardless of a biased position.
또한, 상기 하부 플런저는, 플런저 몸체; 상기 플런저 몸체보다 작은 외경을 가지도록 연장되며, 상기 하부 가동부재에 왕복 이동 가능하게 결합되는 가이드 결합부; 및 상기 가이드 결합부의 단부에서 확장 형성되는 걸림턱;을 포함하는 것이 좋다.In addition, the lower plunger, the plunger body; a guide coupling portion extending to have an outer diameter smaller than that of the plunger body and movably coupled to the lower movable member; And it is preferable to include a; and a locking protrusion that is extended and formed at the end of the guide coupling part.
또한, 상기 하부 가동부재의 중앙에는 상기 지지부에 대해 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩홀이 형성되고, 상기 하부 가동부재는 상기 슬라이딩홀을 중심으로 방사상으로 대칭되게 형성되어 상기 하부 플런저가 상하 왕복 이동 가능하게 결합되는 복수의 플런저 결합부를 가지는 것이 좋다.In addition, a sliding hole slidably coupled to the support part is formed in the center of the lower movable member, and the lower movable member is formed radially symmetrically with respect to the sliding hole so that the lower plunger can move up and down reciprocally It is desirable to have a plurality of plunger engagement portions that engage.
이로써, 하부 플런저를 소정 거리 상하로 왕복 이동 가능하게 설치할 수 있다.Thereby, the lower plunger can be installed so as to reciprocate up and down a predetermined distance.
또한, 상기 플런저 결합부에는 외측 테두리로부터 상기 플런저 결합홀과 연통되도록 조립용 슬릿이 형성되는 것이 좋다.In addition, it is preferable that a slit for assembling is formed in the plunger coupling part so as to communicate with the plunger coupling hole from the outer edge.
또한, 상기 제2탄성부재는 나선형 판스프링을 포함하는 것이 좋다.In addition, the second elastic member may include a spiral leaf spring.
이로써, 제2탄성부재를 용이하게 교환 장착할 수 있다.Thereby, the second elastic member can be easily replaced and mounted.
또한, 상기 지지부는, 봉 형상을 가지며, 일단에 확장 형성되는 확장리브를 가지는 지지바; 및 상기 지지바의 타단부에 결합되는 지지링;을 포함하고 상기 메인 탄성부재는 상기 지지바에 끼워져 설치되는 것이 좋다.In addition, the support portion has a rod shape, the support bar having an extension rib formed to extend at one end; and a support ring coupled to the other end of the support bar, and the main elastic member is preferably installed by being inserted into the support bar.
이로써, 상부 및 하부플런저 유닛을 지지부에 대해 용이하게 조립 및 분리장착할 수 있다.As a result, the upper and lower plunger units can be easily assembled and detached from the support.
본 발명의 교체 가능한 프로브 핀은 각 부품들을 조립하여 결합한 상태에서, 필요시 분해하여 부품별로 교환 장착이 가능하다.The replaceable probe pin of the present invention can be disassembled and installed for each part in a state in which each part is assembled and combined, if necessary.
따라서 종래에 전체 제품을 교환하여 사용할 때보다 유지 관리 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.Therefore, there is an advantage in that the maintenance cost can be reduced compared to the case where the entire product is exchanged and used in the prior art.
또한, 상부 및 하부 플런저 각각이 독립적으로 동작 가능하도록 복수가 설치되어, 편중된 위치의 솔더볼에 대해서는 안정적인 접촉이 가능하게 된다. 따라서, 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, a plurality of the upper and lower plungers are installed so that each of the plungers can be operated independently, so that stable contact is possible with respect to the solder ball in a biased position. Therefore, the reliability of the inspection can be improved.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 교체 가능한 프로브 핀을 나타내 보인 결합 사시도이다.
도 2는 도 1의 교체 가능한 프로브 핀의 분리 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 교체 가능한 프로브 핀의 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 교체 가능한 프로브 핀의 정면도이다.
도 5 내지 도 7 각각은 본 발명의 실시예에 따른 교체 가능한 프로브 핀의 동작 상태를 설명하기 위한 개략적인 단면 구성도이다.
도 8은 편중된 피 검사물을 검사하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.1 is a combined perspective view showing a replaceable probe pin according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the replaceable probe pin of FIG. 1 ;
3 is a plan view of the replaceable probe pin shown in FIG. 1 ;
Fig. 4 is a front view of the replaceable probe pin shown in Fig. 1;
5 to 7 each is a schematic cross-sectional configuration view for explaining the operating state of the replaceable probe pin according to an embodiment of the present invention.
8 is a view for explaining an operation of inspecting a biased object to be inspected.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 교체 가능한 프로브 핀을 자세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a replaceable probe pin of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 교체 가능한 프로브 핀은, 지지부(100)와, 상부 플런저유닛(200), 하부 플런저유닛(300), 메인 탄성부재(400)를 구비한다.1 to 8 , the replaceable probe pin according to an embodiment of the present invention includes a
상기 지지부(100)는 소정 길이를 가지는 지지바(110)와, 지지바(110)의 단부에 결합되는 지지링(120)을 구비한다. 지지바(110)는 소정길이의 봉 형상을 가지는 지지바 몸체(111)와, 지지바 몸체(111)의 일단에 확장 형성되는 확장리브(113)를 가진다. 또한, 지지바(110)의 일단에는 상기 지지링(120)이 압입결합되는 링 결합홈(115)이 환형으로 인입 형성된다. 상기 지지링(120)은 링 결합홈(115)에 소위 원터치 식으로 압입 결합되어 고정된다.The
상기 상부 플런저유닛(200)은 지지바(110)에 이동 가능하게 결합되는 상부 가동부재(210)와, 상부 가동부재(210)에 결합되는 복수의 상부 플런저(220)와, 상기 복수의 상부 플런저(220)를 상부 가동부재(210)에 대해 탄성 지지하는 복수의 제1탄성부재(230)를 구비한다.The
상기 상부 가동부재(210)는 판 구조를 가지며, 중앙에 지지바(110)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩홀(211)과, 슬라이딩홀(211)을 중심으로 방사상으로 대칭되게 형성되는 복수의 플런저 결합부(213)을 가진다. 슬라이딩홀(211)은 상부 가동부재(210)의 중앙에 관통 형성된다. 플런저 결합부(213)는 복수가 슬라이딩홀(211)을 중심으로 대칭되게 위치하도록 외측으로 확장되어 형성된다. 플런저 결합부(213)에는 상부 플런저(220)가 결합되는 플런저 결합홀(213a)이 형성된다. 또한, 플런저 결합부(213)에는 외측 테두리로부터 플런저 결합홀(213a)과 연통되도록 조립용 슬릿(213b)이 형성된다. 그리고 조립용 슬릿(213b)은 플런저 결합홀(213a)의 외측에서 내주면까지 점진적으로 좁아지도록 형성되며, 또한, 바람직하게는 조립용 슬릿(213b)의 슬릿면(S1)은 경사면인 것이 좋다. 이로써, 플런저 결합홀(213a)에 상부 플런저(220)를 용이하게 결합할 수 있고, 결합된 상태에서 쉽게 빠지지 않도록 지지할 수 있다.The upper
상기 상부 플런저(220)는 상하 소정 길이의 봉 형상을 가지며, 상부로부터 플런저 몸체(221), 가이드결합부(223) 및 걸림턱(225)을 가진다.The
상기 플런저 몸체(221)는 반도체의 검사할 부분이 전기적으로 접촉되는 부분으로서, 상하 소정 길이로 원통형으로 형성되는 몸체부(221a)와, 상기 몸체부(221a)의 상단부에서 돌출되어 형성되는 복수의 접촉팁(221b)을 가진다. 몸체부(221a)는 원통형상을 가지며, 하부에는 상기 가이드 결합부(223)가 연결된다. 상기 접촉팁(221b)은 몸체부(221a)의 중심(C1)을 기준으로 방사상으로 대칭되게 형성되며, 바람직하게는 4개가 대칭되게 형성된다. 접촉팁(221b)은 대략 삼각뿔 형상을 가지는 것이 바람직하며, 몸체부(221a)의 외측면에서 연장되는 외측면(s3)은 라운드지게 형성되고, 중심(C1)에서 연결되는 내측면(s4)은 경사진 평면인 것이 좋다. 이와 같이, 접촉팁(221b)을 중심(C1)을 기준으로 대칭되게 복수 형성함으로써, 검사 대상물(10)의 솔더볼(20)에 대해서 복수의 지점에서 안정적인 접촉이 가능하게 되어, 전기적이 접점의 신뢰성을 높일 수 있다.The
상기 가이드 결합부(223)는 플런저 몸체(221)의 하부로 소정 길이로 연장되며, 원기둥 형상을 가진다. 가이드 결합부(223)는 플런저 몸체(221)와 걸림턱(225)보다 작은 외경을 가진다. 이러한 가이드 결합부(223)는 플런저 결합부(213)의 결합홀(213a)에 결합되어, 상하로 왕복 이동 가능하게 된다. 이러한 가이드 결합부(223)는 조립용 슬릿(213b)을 통과하여 결합할 때, 소위 원터치 식으로 결합홀(213a)에 끼워져 조립할 수 있다. 즉, 가이드 결합부(223)가 조립용 슬릿(213b)을 통과할 때, 상부 결합부(213)는 순간적으로 탄성 변형되어 가이드 결합부(223)가 원터치 결합방식으로 결합될 수 있으며, 결합된 상태에서 외력에 의해서 상하로 슬라이딩 이동 가능하게 된다.The guide coupling part 223 extends to a predetermined length below the
상기 걸림턱(225)은 가이드 결합부(223)의 하단에서 가이드 결합부(223)보다 큰 외경을 갖도록 확장 형성된다. 이러한 걸림턱(225)에 의해서 가이드 결합부(223)의 상부방향으로의 이동거리가 제한되고, 결합홀(213a)에서 빠지지 않게 된다.The locking
또한, 상기 가이드 결합부(223)에는 제1탄성부재(230)가 결합된다. 구체적으로, 제1탄성부재(230)는 플런저 결합부(213)와 상부 플런저(220)의 플런저 몸체(221) 사이에 위치하도록 가이드 결합부(223)에 끼워져 설치된다. 이러한 제1탄성부재(230)는 나선형 판스프링 또는 코일스프링을 포함할 수 있다. 제1탄성부재(230)는 상부 플런저(220)가 플런저 결합부(213)의 상부로 최대한 상승한 상태를 유지하도록 탄성 가압한다.In addition, the first
상기 구성을 가지는 상부 플런저유닛(200)은 4개의 상부 플런저(220)가 지지바(110)를 중심으로 대칭되게 배치되며, 각각이 독립적으로 승강 이동 동작이 가능하게 된다.In the
상기 하부 플런저유닛(300)은 지지부(100)를 사이에 두고 상부 플런저유닛(200)과 대칭되게 배치되며, 상부 플런저유닛(200)에 대응되는 구성을 가진다. 즉, 하부 플런저유닛(300)은 지지바(110)에 이동 가능하게 결합되는 하부 가동부재(310)와, 상부 가동부재(310)에 결합되는 복수의 하부 플런저(320)와, 상기 복수의 하부 플런저(220)를 하부 가동부재(310)에 대해 탄성 지지하는 복수의 제2탄성부재(330)를 구비한다.The
여기서, 상기 하부 가동부재(310)는 상부 가동부재(210)와 대칭되도록 지지바(111)에 결합되며, 상기 가동부재(210)와 동일한 형상을 가진다. 즉, 하부 가동부재(310)도 중심에 슬라이딩홀(311)이 형성되고, 슬라이딩홀(311)을 중심으로 방사상으로 대칭되게 플런저 결합부(313)가 형성된다. 플런저 결합부(313)에는 플런저 결합홀(313a)이 형성된다. 플런저 결합홀(313a)은 조립용 슬릿(313b)에 의해 일부분이 외부로 노출됨으로써, 하부 플런저(320)를 소위 원터치 식으로 용이하게 조립하고, 분리할 수 있다.Here, the lower
상기 하부 플런저(320)도 상기 상부 플런저(220)에 대응되는 수로 마련되어, 상기 플런저 결합부(313)에 상하 이동 가능하게 결합된다. 이러한 하부 플런저(320)도 상부 플런저(220)와 동일한 구성을 가진다. 즉, 하부 플런저(320)는 상하 소정 길이의 봉 형상을 가지며, 하부로부터 플런저 몸체(321), 가이드결합부(323) 및 걸림턱(325)을 가진다.The
상기 플런저 몸체(321)는 테스터기의 전기적 접촉부분에 접촉되는 부분으로서, 상하 소정 길이로 원통형으로 형성되는 몸체부(321a)와, 상기 몸체부(321a)의 상단부에서 돌출되어 형성되는 복수의 접촉팁(321b)을 가진다. 이러한 플런저 몸체(321)는 앞서 설명한 상부 플런저(220)의 플런저 몸체(221)와 동일한 구성을 가지므로, 자세한 설명은 생략한다.The
또한, 상기 가이드 결합부(323)와 걸림턱(325)의 구성도 상부 플런저(220)의 구성에 대응되므로, 더 이상의 자세한 설명은 생략한다.In addition, since the configuration of the
이러한 하부 플런저(320)는 4개의 지지부(100)의 중심을 기준으로 하여 대칭되게 배치되고, 각각이 상기 제3탄성부재(330)에 의해서 상하 왕복 이동 가능하게 탄성 지지된다. 이러한 하부 플런저(320)는 각각 독립적으로 승강 이동될 수 있다.These
여기서, 상기 하부 플런저(320)의 가이드 결합부(323)에는 제2탄성부재(230)가 결합된다. 구체적으로, 제2탄성부재(230)는 플런저 결합부(313)와 하부 플런저(320)의 플런저 몸체(321) 사이에 위치하도록 가이드 결합부(323)에 끼워져 설치된다. 이러한 제3탄성부재(330)는 나선형 판스프링 또는 코일스프링을 포함할 수 있다. 제2탄성부재(330)는 하부 플런저(320)가 플런저 결합부(313)의 하부로 최대한 상승한 상태를 유지하도록 탄성 가압한다.Here, the second
상기 메인 탄성부재(400)는 지지바(110)에 끼워져 결합되는 코일스프링을 구비한다. 이러한 메인 탄성부재(400)는 지지바(110)에 끼워진 상태에서, 상부 가동부재(210)와 하부 가동부재(310) 각각을 서로 멀어지는 방향으로 탄력적으로 지지한다. 따라서, 상부 및 하부 플런저유닛(200)(300) 각각이 테스트 동작시 상부 및 하부 각각에서 접촉시의 압력이 가해지면, 메인 탄성부재(400)에 의해서 상부 및 하부 플런저유닛(200,300) 각각이 1차적으로 상하로 이동이 가능하며, 2차적으로는 상기 제1 및 제2탄성부재(230,330) 각각의 탄성력에 의해서 상부 및 하부 프런저들(220,330)이 독립적으로 상하로 위치 이동 가능하게 된다.The main
상기 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 프로브 핀은, 상부 가동부재(210)와 하부 가동부재(310) 사이에 메인 탄성부재(400)를 위치하도록 한 상태에서, 지지바(110)가 하부 가동부재(310)와 상부 가동부재(210)를 통과하도록 결합한 후, 지지링(120)을 상부 가동부재(210)의 상부로 돌출된 지지바(110)에 결합하여 고정한다. 이 상태에서 복수의 상부 플런저(220) 각각에 제1탄성부재(230)를 먼저 조립한 후, 상부 가동부재(210)에 상부 플런저(220)를 소위 원터치 식으로 조립한다. In the probe pin according to an embodiment of the present invention having the above configuration, in a state where the main
또한, 하부 가동부재(310)에도 동일한 방법으로 제2탄성부재(330)가 먼저 도립된 하부 플런저(320)를 원터치식으로 조립한다.In addition, the
이때, 앞서 설명한 바와 같이, 상부 결합부(213)의 조립용슬릿(213b)을 통해서 상부 플런저(220)의 가이드결합부(223)를 소위 원터치 식으로 결합홀(213a)에 결합된다.At this time, as described above, the guide coupling part 223 of the
조립된 프로브 핀은 도 5에 도시된 바와 같이, 상부 플런저(220)는 제1탄성부재(230)에 의해 상부로 최대한 상승한 상태로 유지되고, 하부 플런저(320)는 제2탄성부재(330)에 의해 최대한 하강한 상태로 유지된다. 또한, 제1 및 제2플런저유닛(200,300) 각각은 메인 탄성부재(400)에 의해서 상하로 최대한 이격된 상태를 유지한다.As shown in FIG. 5 , the assembled probe pin is maintained in a state in which the
이 상태에서 검사대상물(10)을 테스트할 경우, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상부 플런저(220)는 하강하는 검사대상물(10)의 솔더볼(20)에 접촉되어 하강하면서 안정적으로 접촉하고, 하부 플런저(330)는 테스트부의 접속부(30)에 접촉되어 상승하면서, 탄성력에 의해 안정적으로 접촉된 상태를 유지할 수 있다.When the
이때, 상부 플런저(220)는 복수가 배치되고, 각각의 상부 플런저(220)가 복수의 접촉점 즉, 복수의 접촉팁(221b)을 구비함으로써, 솔더볼(20)과의 다중 접점이 가능하게 된다. 이처럼 다중접점이 가능하게 되어, 양호한 통전성을 확보할 수 있고, 마모 및 오염이 발생하더라도 복수의 상부 플런저(220)와 복수의 접촉팁(221 b)이 구비됨으로써, 상부 플런저(220)의 수명을 연장하고 접촉안정성을 안정적으로 확보할 수 있다.At this time, a plurality of
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 검사대상물인 솔더볼(20)의 위치가 불규칙하게 배치된 경우 즉, 솔더볼(20)이 지지바(110)의 중심에서 편중되어 배치된 경우에도, 상부 플런저(220)가 구비되어 있고, 각각의 상부 플런저(220)는 서로 이격된 복수의 접촉팁(221b)을 구비하고 있기 때문에, 피 측정물에 대한 접촉이 정상적으로 이루어질 수 있다. 따라서, 불규칙한 피측정물에 대한 검사가 가능한 이점이 있다. 특히, 복수의 상부 플런저들(220)이 독립적으로 승강 이동 가능한 구성을 가짐으로써, 이러한 불규칙한 피 측정물에 대한 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, as shown in Fig. 8, when the position of the
한편, 상기 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 프로브 핀은 상부 플런저(220)는 상부 가동부재(210)에 움직임 가능하게 조립되고, 하부 플런저(320)는 하부 가동부재(310)에 움직임 가능하게 조립된다.Meanwhile, in the probe pin according to the embodiment of the present invention having the above configuration, the
이러한 구성의 프로브핀(100)은 외력에 의해서 상부 및 하부 플런저(220,320)가 독립적으로 상하 왕복 이동 가능한 구성으로서, 오랜 시간 사용시 마모 등에 의해 교환이 요구될 때, 상부 또는 하부 플런저(220,320)를 상부 및 하부 가동부재(210,310)로부터 분리한 후, 새로운 부품으로 조립하여 사용하는 것이 가능하다.The
예를 들어, 상부 플런저(220)를 교환하고자 할 경우, 상부 플런저(220)를 플런저 결합부(213)의 조립용슬릿(213b)을 통해서 강제로 빼내어 분리한다. 그런 다음에, 새로운 상부 플런저(220)에 제1탄성부재(230)를 먼저 조립한 상태에서, 조립용슬릿(213b)을 통해 소위 원터치 식으로 플런저 결합홀(213a)에 상부 플런저(220)를 용이하게 결합하여 조립할 수 있다. 이러한 방법과 동일하게 하부 플런저(320)도 용이하게 교환장착할 수 있다. 물론, 제1 및 제2탄성부재(230,330)는 나선형 판스프링이므로 용이하게 조립 및 분리하여 교환할 수 있다.For example, when the
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.In the foregoing, specific embodiments of the present invention have been described and illustrated, but it is common knowledge in the art that the present invention is not limited to the described embodiments, and that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. It is self-evident to those who have Therefore, such modifications or variations should not be individually understood from the technical spirit or point of view of the present invention, and modified embodiments should be said to belong to the claims of the present invention.
100..지지부 110..지지바
120..지지링 200..상부플런저 유닛
210..상부 가동부재 220..상부 플런저
230..제1탄성부재 300..하부플런저 유닛
310..하부 가동부재 320..하부 플런저
330.제2탄성부재 400..메인 탄성부재100..
120..
210..Upper
230.. First
310..Lower
330. Second
Claims (15)
상기 지지부의 상부에 승강 이동 가능하게 설치되며, 독립적으로 승강 동작하는 복수의 상부 플런저를 가지는 상부플런저 유닛;
상기 지지부의 하부에 승강 이동 가능하게 설치되며, 독립적으로 승강 동작하는 복수의 하부 플런저를 가지는 하부 플런저 유닛; 및
상기 지지부에 설치되어, 상기 상부 및 하부플런지 유닛 각각을 서로 멀어지는 방향으로 탄성 가압하는 메인 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.support;
an upper plunger unit movably installed on the upper portion of the support portion and having a plurality of upper plungers independently lifting and lowering;
a lower plunger unit movably installed in a lower portion of the support and having a plurality of lower plungers independently elevating; and
and a main elastic member that is installed on the support and elastically presses each of the upper and lower plunge units in a direction away from each other.
상기 지지부에 이동 가능하게 결합되는 상부 가동부재;
상기 상부 가동부재에 왕복 이동 가능하게 결합되며, 상기 지지부를 중심으로 대칭되게 배치되는 복수의 상부 플런저; 및
상기 상부 플런저를 상기 상부 가동부재에 대해 탄성 지지하는 제1탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.According to claim 1, wherein the upper plunger unit,
an upper movable member movably coupled to the support part;
a plurality of upper plungers coupled to the upper movable member to be reciprocally movable and symmetrically disposed about the support portion; and
and a first elastic member elastically supporting the upper plunger with respect to the upper movable member.
플런저 몸체;
상기 플런저 몸체보다 작은 외경을 가지도록 연장되며, 상기 상부 가동부재에 왕복 이동 가능하게 결합되는 가이드 결합부; 및
상기 가이드 결합부의 단부에서 확장 형성되는 걸림턱;을 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.According to claim 2, wherein the upper plunger,
plunger body;
a guide coupling portion extending to have an outer diameter smaller than that of the plunger body and movably coupled to the upper movable member; and
A replaceable probe pin comprising a; a locking protrusion that is extended and formed at an end of the guide coupling part.
상기 상부 가동부재의 중앙에는 상기 지지부에 대해 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩홀이 형성되고,
상기 상부 가동부재는 상기 슬라이딩홀을 중심으로 방사상으로 대칭되게 형성되어 상기 상부 플런저가 상하 왕복 이동 가능하게 결합되는 복수의 플런저 결합부를 가지는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.4. The method of claim 3,
A sliding hole that is slidably coupled with respect to the support is formed in the center of the upper movable member,
The upper movable member is formed radially symmetrically with respect to the sliding hole, and the upper plunger is a replaceable probe pin, characterized in that it has a plurality of plunger coupling portions to be coupled up and down reciprocally.
상기 플런저 결합부에는 외측 테두리로부터 상기 플런저 결합홀과 연통되도록 조립용 슬릿이 형성되는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.5. The method of claim 4,
A replaceable probe pin, characterized in that the plunger coupling portion is formed with a slit for assembling so as to communicate with the plunger coupling hole from the outer edge.
상기 제1탄성부재는 상기 상부 가동부재와 상기 상부 플런저의 플런저 몸체 사이에 위치하도록 상기 가이드 결합부에 결합되는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.4. The method of claim 3,
The first elastic member is a replaceable probe pin, characterized in that coupled to the guide coupling portion so as to be positioned between the upper movable member and the plunger body of the upper plunger.
상기 제1탄성부재는 나선형 판스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.7. The method of claim 6,
The replaceable probe pin, characterized in that the first elastic member comprises a helical leaf spring.
상기 가이드 결합부모다 큰 외경으로 확장되어 원통형으로 형성되는 몸체부; 및
상기 몸체부의 단부에서 중심을 기준으로 방사상으로 대칭되게 돌출되어 형성되는 복수의 접촉팁;을 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.According to claim 3, wherein the plunger body,
a body portion extending to a larger outer diameter than the guide coupling parent and formed in a cylindrical shape; and
A replaceable probe pin comprising a; a plurality of contact tips formed to protrude radially symmetrically from the end of the body portion with respect to the center.
상기 지지부에 이동 가능하게 결합되는 하부 가동부재;
상기 하부 가동부재에 왕복 이동 가능하게 결합되며, 상기 지지부를 중심으로 대칭되게 배치되는 복수의 상부 플런저; 및
상기 하부 플런저를 상기 하부 가동부재에 대해 탄성 지지하는 제2탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.According to claim 1, wherein the lower plunger unit,
a lower movable member movably coupled to the support part;
a plurality of upper plungers coupled to the lower movable member so as to be reciprocally moved and disposed symmetrically with respect to the support portion; and
and a second elastic member elastically supporting the lower plunger with respect to the lower movable member.
플런저 몸체;
상기 플런저 몸체보다 작은 외경을 가지도록 연장되며, 상기 하부 가동부재에 왕복 이동 가능하게 결합되는 가이드 결합부; 및
상기 가이드 결합부의 단부에서 확장 형성되는 걸림턱;을 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.10. The method of claim 9, wherein the lower plunger,
plunger body;
a guide coupling portion extending to have an outer diameter smaller than that of the plunger body and movably coupled to the lower movable member; and
A replaceable probe pin comprising a; a locking protrusion that is extended and formed at an end of the guide coupling part.
상기 하부 가동부재의 중앙에는 상기 지지부에 대해 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩홀이 형성되고,
상기 하부 가동부재는 상기 슬라이딩홀을 중심으로 방사상으로 대칭되게 형성되어 상기 하부 플런저가 상하 왕복 이동 가능하게 결합되는 복수의 플런저 결합부를 가지는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.11. The method of claim 10,
A sliding hole is formed in the center of the lower movable member to be slidably coupled with respect to the support portion,
The lower movable member is a replaceable probe pin, characterized in that it has a plurality of plunger coupling portion formed symmetrically radially with respect to the sliding hole to be coupled to the lower plunger up and down reciprocating movement.
상기 플런저 결합부에는 외측 테두리로부터 상기 플런저 결합홀과 연통되도록 조립용 슬릿이 형성되는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.12. The method of claim 11,
A replaceable probe pin, characterized in that the plunger coupling portion is formed with a slit for assembling so as to communicate with the plunger coupling hole from the outer edge.
상기 제2탄성부재는 나선형 판스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.10. The method of claim 9,
and the second elastic member includes a helical leaf spring.
상기 가이드 결합부모다 큰 외경으로 확장되어 원통형으로 형성되는 몸체부; 및
상기 몸체부의 단부에서 중심을 기준으로 방사상으로 대칭되게 돌출되어 형성되는 복수의 접촉팁;을 포함하는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.11. The method of claim 10, wherein the plunger body,
a body portion extending to a larger outer diameter than the guide coupling parent and formed in a cylindrical shape; and
A replaceable probe pin comprising a; a plurality of contact tips formed to protrude radially symmetrically from the end of the body portion with respect to the center.
봉 형상을 가지며, 일단에 확장 형성되는 확장리브를 가지는 지지바; 및
상기 지지바의 타단부에 결합되는 지지링;을 포함하고
상기 메인 탄성부재는 상기 지지바에 끼워져 설치되는 것을 특징으로 하는 교체 가능한 프로브 핀.
According to any one of claims 1 to 1, wherein the support portion,
a support bar having a rod shape and having an extended rib that is extended and formed at one end; and
and a support ring coupled to the other end of the support bar.
The main elastic member is a replaceable probe pin, characterized in that installed by being fitted to the support bar.
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