KR20220041388A - 광학계 교정 방법 - Google Patents

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KR20220041388A
KR20220041388A KR1020200124517A KR20200124517A KR20220041388A KR 20220041388 A KR20220041388 A KR 20220041388A KR 1020200124517 A KR1020200124517 A KR 1020200124517A KR 20200124517 A KR20200124517 A KR 20200124517A KR 20220041388 A KR20220041388 A KR 20220041388A
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lens unit
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coaxial
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KR1020200124517A
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임종구
김형준
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세메스 주식회사
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Abstract

검사 장치의 광학계 교정 방법이 개시된다. 상기 검사 장치는, 대상물의 검사를 위해 상기 대상물의 상부에 수직 방향으로 배치되는 카메라 유닛과, 상기 카메라 유닛의 광축과 동축 방향으로 상기 대상물을 조명하기 위한 동축 조명 유닛과, 상기 대상물의 일측에 배치되며 상기 대상물에 소정의 경사각을 갖는 경사 조명을 제공하기 위한 경사 조명 유닛과, 상기 경사 조명에 의해 상기 대상물로부터 반사된 광을 검출하기 위한 광 검출 유닛과, 상기 경사 조명 유닛과 반대 방향으로 소정의 경사각을 갖도록 상기 대상물의 타측에 배치되며 상기 반사된 광을 상기 광 검출 유닛으로 제공하기 위한 경사 렌즈 유닛을 포함하며, 상기 방법은, 상기 카메라 유닛의 하부에 상기 경사 조명 유닛에 의해 제공되는 경사 조명광을 상기 카메라 유닛으로 반사시키기 위한 광 반사 유닛을 배치하는 단계와, 상기 경사 조명광을 이용하여 상기 카메라 유닛에 의해 획득되는 제1 조명광 이미지에 기초하여 상기 경사 조명 유닛의 경사각을 교정하는 단계를 포함한다.

Description

광학계 교정 방법{OPTICAL SYSTEM CALIBRATION METHOD}
본 발명의 실시예들은 광학계 교정 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 기판 상에 형성된 박막 또는 패턴에 대한 검사 장치에서 사용되는 조명 유닛과 렌즈 유닛의 각도 교정을 위한 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 상에 박막을 형성하기 위한 증착 공정과, 상기 박막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정과, 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 박막을 패터닝함으로써 상기 기판 상에 전기적인 회로 패턴을 형성하기 위한 식각 공정 등이 수행될 수 있다.
또한, 상기 기판 상에 상기 박막 또는 패턴을 형성한 후 상기 박막 또는 패턴에 대한 검사 공정이 수행될 수 있다. 일 예로서, 상기 검사 공정을 수행하기 위한 검사 장치는 상기 기판 상에 형성된 박막의 결함 또는 이물질 등을 검출하기 위한 카메라 유닛과, 상기 기판 상으로 경사 조명을 제공하고 상기 기판으로부터 반사된 광을 검출하여 스펙트럼 데이터를 획득하기 위한 광 검출 유닛 등을 포함할 수 있다. 특히, 상기 검사 장치는 상기 기판 상에 수직 방향으로 조명광을 제공하기 위한 수직 조명 유닛과 상기 반도체 기판 상에 소정의 경사각을 갖도록 경사 조명을 제공하는 경사 조명 유닛을 포함할 수 있다.
특히, 상기 검사 공정에서는 검사 신뢰도를 향상시키기 위하여 상기 기판 상에 경사 조명을 제공하기 위한 경사 조명 유닛의 각도와 상기 기판으로부터 반사된 광을 상기 광 검출 유닛으로 제공하기 위한 경사 렌즈 유닛의 각도를 정밀하게 조절하는 것이 매우 중요하다. 그러나, 상기와 같은 각도 조절을 위한 측정 및 교정을 위하여 상기 카메라 유닛을 제거하고 오토콜리메이터와 같은 각도 측정을 위한 장치를 장착해야 하는 문제점이 있다. 특히, 상기 오토콜리메이터를 정확한 각도로 장착하기가 매우 어렵고 상기 각도 조절 및 교정이 완료된 후 다시 카메라 유닛을 정확한 각도로 장착해야 하는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2019-0052721호 (공개일자 2019년 05월 16일) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0104628호 (공개일자 2019년 09월 10일)
본 발명의 실시예들은 기판에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 광학계의 각도 교정을 보다 용이하게 할 수 있는 광학계 교정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 대상물의 검사를 위해 상기 대상물의 상부에 수직 방향으로 배치되는 카메라 유닛과, 상기 카메라 유닛의 광축과 동축 방향으로 상기 대상물을 조명하기 위한 동축 조명 유닛과, 상기 대상물의 일측에 배치되며 상기 대상물에 소정의 경사각을 갖는 경사 조명을 제공하기 위한 경사 조명 유닛과, 상기 경사 조명에 의해 상기 대상물로부터 반사된 광을 검출하기 위한 광 검출 유닛과, 상기 경사 조명 유닛과 반대 방향으로 소정의 경사각을 갖도록 상기 대상물의 타측에 배치되며 상기 반사된 광을 상기 광 검출 유닛으로 제공하기 위한 경사 렌즈 유닛을 포함하는 검사 장치의 광학계 교정 방법에 있어서, 상기 광학계 교정 방법 방법은, 상기 카메라 유닛의 하부에 상기 경사 조명 유닛에 의해 제공되는 경사 조명광을 상기 카메라 유닛으로 반사시키기 위한 광 반사 유닛을 배치하는 단계와, 상기 경사 조명광을 이용하여 상기 카메라 유닛에 의해 획득되는 제1 조명광 이미지에 기초하여 상기 경사 조명 유닛의 경사각을 교정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 경사 렌즈 유닛은 상기 경사 렌즈 유닛의 광축을 따라 상기 경사 렌즈 유닛에 입사된 광이 상기 경사 렌즈 유닛의 광축을 따라 상기 입사된 광과 반대 방향으로 상기 경사 렌즈 유닛으로부터 출사되도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 광학계 교정 방법은, 상기 동축 조명 유닛에 의해 제공되는 동축 조명광이 상기 경사 렌즈 유닛으로 반사되도록 상기 광 반사 유닛을 회전시키는 단계와, 상기 동축 조명광을 이용하여 상기 카메라 유닛에 의해 획득되는 제2 조명광 이미지에 기초하여 상기 경사 렌즈 유닛의 경사각을 교정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 광 반사 유닛은, 상기 경사 조명광 및 동축 조명광을 반사시키기 위한 광 반사 부재와, 상기 광 반사 부재를 회전시키기 위한 회전 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 광 반사 유닛은 상기 광 반사 부재를 수용하는 하우징을 더 포함할 수 있으며, 상기 하우징의 일측에는 상기 경사 조명광을 상기 광 반사 부재로 제공하고 상기 동축 조명광이 상기 경사 렌즈 유닛으로 반사되도록 하기 위한 개구가 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 검사 장치는 상기 경사 렌즈 유닛으로부터 출사된 광을 상기 광 검출 유닛을 향하여 반사시키는 반사 미러를 더 포함할 수 있으며, 상기 경사 렌즈 유닛의 경사각을 교정하는 단계에서 상기 경사 렌즈 유닛으로부터 출사된 광이 상기 광 반사 부재로 다시 입사되도록 상기 반사 미러를 제거할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 검사 장치는, 상기 카메라 유닛의 하부에 장착되는 수직 렌즈 유닛과, 상기 수직 렌즈 유닛의 하부에 장착되는 대물 렌즈 유닛을 더 포함할 수 있으며, 상기 광 반사 유닛은 상기 대물 렌즈 유닛을 분리한 후 상기 수직 렌즈 유닛의 하부에 장착될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 광 반사 유닛을 이용하여 상기 경사 조명광을 상기 카메라 유닛으로 유도하여 제1 조명광 이미지를 획득하고, 상기 제1 조명광 이미지를 이용하여 상기 경사 조명 유닛의 경사각을 교정할 수 있다. 아울러, 상기 광 반사 유닛을 이용하여 상기 동축 조명광을 상기 경사 렌즈 유닛을 경유하여 상기 카메라 유닛으로 유도할 수 있으며, 이에 의해 획득되는 제2 조명광 이미지를 이용하여 상기 경사 렌즈 유닛의 경사각을 교정할 수 있다. 따라서, 종래 기술과 다르게 오토콜리메이터와 같은 각도 측정 장치를 이용할 필요가 없으며, 아울러 상기 카메라 유닛의 분리와 장착 그리고 상기 오토콜리메이터의 장착과 분리에 소요되는 시간을 제거할 수 있다. 결과적으로, 작업자의 숙련도와 상관없이 상기 경사 조명 유닛과 상기 경사 렌즈 유닛의 경사각을 보다 빠르고 용이하게 측정 및 교정할 수 있다.
도 1은 기판에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 검사 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학계 교정 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2에 도시된 광학계 교정 방법을 설명하기 위한 개략도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 기판에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 검사 장치를 설명하기 위한 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학계 교정 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학계 교정 방법은 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 기판(10) 상에 형성된 박막 또는 패턴에 대한 검사를 수행하기 위한 검사 장치(100)에서 광학계의 교정을 위해 사용될 수 있다. 상기 검사 장치(100)는 상기 기판(10)에 대한 이미지를 획득하기 위한 수직 광학계와 상기 박막 또는 패턴에 대한 검사를 위한 경사 광학계를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 수직 광학계는 상기 이미지를 획득하기 위한 카메라 유닛(110)을 포함할 수 있으며, 상기 경사 광학계는 상기 박막 또는 패턴에 대한 스펙트럼 데이터를 획득하기 위한 광 검출 유닛(120)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 광 검출 유닛(120)은 상기 스펙트럼 데이터를 획득하기 위한 분광기를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 검사 장치(100)는 검사 대상물 즉 상기 기판을 지지하기 위한 스테이지(102)와, 상기 기판(10)의 상부에 수직 방향으로 배치되는 카메라 유닛(110)과, 상기 카메라 유닛(110)의 광축과 동축 방향 즉 수직 방향으로 상기 대상물을 조명하기 위한 동축 조명 유닛(130)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 검사 장치(100)는 상기 스테이지(102) 상에 놓여진 상기 기판(10)의 일측에 배치되며 상기 기판(10) 상에 소정의 경사각을 갖는 경사 조명을 제공하기 위한 경사 조명 유닛(140)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 경사 조명 유닛(140)은 상기 기판(10) 상에 경사 조명광이 65°의 입사각으로 조사되도록 배치될 수 있다. 즉, 상기 경사 조명 유닛(140)은 상기 경사 조명 유닛(140)의 광축이 25°의 경사각을 갖도록 상기 기판(10)의 일측에 배치될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 경사 조명 유닛(140)은 상기 경사 조명광을 제공하기 위한 광원과 상기 경사 조명광에 직진성을 부여하여 평행광으로 형성하기 위한 콜리메이터 렌즈를 포함할 수 있다.
상기 카메라 유닛(110)은 상기 동축 조명 유닛(130)으로부터 제공되는 동축 조명과 상기 경사 조명 유닛(140)으로부터 제공되는 경사 조명을 이용하여 상기 기판(10) 상의 검사 영역에 대한 이미지를 획득할 수 있으며, 상기 획득된 이미지를 이용하여 상기 기판(10) 상의 결함 및 이물질을 검출할 수 있다.
상기 카메라 유닛(110)의 하부에는 수직 렌즈 유닛(112)이 장착될 수 있으며, 상기 수직 렌즈 유닛(112)의 하부에는 대물 렌즈 유닛(114)이 장착될 수 있다. 일 예로서, 상기 수직 렌즈 유닛(112)은 텔레센트릭 렌즈를 포함할 수 있으며, 상기 대물 렌즈 유닛(114)은 상기 검사 영역을 고배율로 확대하기 위한 고배율 렌즈를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 수직 렌즈 유닛(112)은 박스 형태의 케이스(116)에 내장될 수 있으며, 상기 대물 렌즈 유닛(114)은 상기 케이스(116)의 하부에 장착될 수 있다.
상기 케이스(116) 내에는 상기 동축 조명 유닛(130)이 배치될 수 있으며, 상기 동축 조명 유닛(130)은 상기 동축 조명광을 제공하기 위한 광원(132)과 상기 동축 조명광에 직진성을 부여하여 평행광으로 변환하기 위한 콜리메이터 렌즈(134)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 광원(132)은 수평 방향으로 배치될 수 있으며 상기 콜리메이터 렌즈(134)는 수직 방향으로 배치될 수 있다. 아울러, 상기 광원(132)과 상기 콜리메이터 렌즈(134) 사이에는 상기 동축 조명광의 방향을 수직 하방으로 전환하기 위한 제1 반사 미러(136)가 배치되고, 상기 콜리메이터 렌즈(134) 하부에는 상기 동축 조명광의 방향을 다시 수평 방향으로 전환하기 위한 제2 반사 미러(138)가 배치될 수 있다. 한편, 상기 수직 렌즈 유닛(112)과 상기 대물 렌즈 유닛(114) 사이에는 하프 미러(118)가 배치될 수 있으며, 상기 동축 조명광의 일부가 상기 하프 미러(118)에 의해 반사되어 상기 대물 렌즈 유닛(114)을 통해 상기 기판(10) 상에 수직 방향으로 조사될 수 있다.
상기 검사 장치(100)는, 상기 경사 조명에 의해 상기 기판(10)으로부터 반사된 광을 검출하기 위한 광 검출 유닛(120)과, 상기 경사 조명 유닛(140)과 반대 방향으로 소정의 경사각을 갖도록 상기 기판(10)의 타측에 배치되며 상기 경사 조명에 의해 상기 기판(10)으로부터 반사된 광을 상기 광 검출 유닛(120)으로 제공하기 위한 경사 렌즈 유닛(150)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 경사 렌즈 유닛(150)은 상기 경사 조명 유닛(140)과 방향만 다르고 동일한 경사각으로 배치될 수 있다. 즉, 상기 경사 조명에 의해 상기 기판(10)으로부터 반사된 광은 65°의 반사각을 가질 수 있으며, 상기 경사 렌즈 유닛(150)은 25°의 경사각을 갖도록 상기 기판(10)의 타측에 배치될 수 있다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 경사 렌즈 유닛(150)은 상기 경사 렌즈 유닛(150)의 광축을 따라 상기 경사 렌즈 유닛(150)에 입사된 광이 상기 경사 렌즈 유닛(150)의 광축을 따라 상기 입사된 광과 반대 방향으로 상기 경사 렌즈 유닛(150)으로부터 출사되도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 경사 렌즈 유닛(150)은 텔레센트릭 렌즈를 포함할 수 있으며, 또한 상기 입사된 광을 도시된 바와 같이 반전시켜 다시 출사하기 위한 제3 반사 미러들(152)을 구비할 수 있다. 아울러, 상기 경사 렌즈 유닛(150)의 전방 부위 일측에는 상기 출사된 광을 상기 광 검출 유닛(120)으로 반사시키기 위한 제4 반사 미러(154)가 배치될 수 있다.
도 3 내지 도 5는 도 2에 도시된 광학계 교정 방법을 설명하기 위한 개략도들이며, 이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 광학계 교정 방법을 설명한다.
도 2를 참조하면, S102 단계에서, 상기 카메라 유닛(110)의 하부에 상기 경사 조명 유닛(140)에 의해 제공되는 경사 조명광을 상기 카메라 유닛(110)으로 반사시키기 위한 광 반사 유닛(160)을 배치할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 광 반사 유닛(160)은, 상기 대물 렌즈 유닛(114)을 상기 케이스(116)로부터 분리한 후 상기 대물 렌즈 유닛(114)을 대신하여 상기 수직 렌즈 유닛(112)의 하부에 장착될 수 있다. 또한, 상기 광 반사 유닛(160)은, 상기 경사 조명광을 반사시키기 위한 광 반사 부재(162)와, 상기 광 반사 부재(162)를 회전시키기 위한 회전 구동부(164)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 광 반사 부재(162)는 상기 경사 조명광을 반사시킬 수 있는 반사 미러 또는 프리즘을 포함할 수 있으며, 상기 경사 조명광을 수직 방향으로 반사시키기 위하여, 일 예로서, 32.5°의 경사각을 가질 수 있다. 아울러, 상기 광 반사 유닛(160)은 상기 광 반사 부재(162)를 수용하는 하우징(166)을 포함할 수 있으며, 상기 하우징(166)에는 상기 경사 조명광의 통로로서 기능하는 즉 상기 경사 조명광을 상기 광 반사 부재(162)로 제공하기 위한 개구(168)가 구비될 수 있다.
상기와 같이 광 반사 유닛(160)을 상기 카메라 유닛(110)의 하부에 배치한 후, S104 단계에서, 상기 경사 조명광을 이용하여 상기 카메라 유닛(110)에 의해 획득되는 제1 조명광 이미지에 기초하여 상기 경사 조명 유닛(140)의 경사각을 교정할 수 있다. 구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 경사 조명광은 상기 하우징(166)의 개구(168)를 통해 상기 광 반사 부재(162)로 조사될 수 있으며, 상기 광 반사 부재(162)에 의해 반사된 후 상기 수직 렌즈 유닛(112)을 통해 상기 카메라 유닛(110)으로 제공될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 경사 조명 유닛(140)의 경사각은 상기 제1 조명광 이미지에서 상기 경사 조명광에 의해 밝게 표시되는 영역의 중심 위치 좌표에 기초하여 교정될 수 있다.
상기와 같이 경사 조명 유닛(140)의 경사각 교정을 완료한 후, S106 단계에서, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 동축 조명 유닛(130)에 의해 제공되는 동축 조명광이 상기 경사 렌즈 유닛(150)으로 반사되도록 상기 광 반사 유닛(160)을 회전시킬 수 있으며, S108 단계에서, 상기 동축 조명광을 이용하여 상기 카메라 유닛(110)에 의해 획득되는 제2 조명광 이미지에 기초하여 상기 경사 렌즈 유닛(150)의 경사각을 교정할 수 있다. 구체적으로, 상기 동축 조명광은 도 5에 도시된 바와 같이 상기 광 반사 부재(162)에 의해 반사된 후 상기 하우징(166)의 개구(168)를 통해 상기 경사 렌즈 유닛(150)으로 입사될 수 있으며, 상기 경사 렌즈 유닛(150)으로 입사된 광은 상기 제3 반사 미러들(152)에 의해 입사 방향과 반대 방향으로 상기 경사 렌즈 유닛(150)으로부터 출사될 수 있다. 이때, 상기 제4 반사 미러(154)는 상기 경사 렌즈 유닛(150)으로부터 출사된 광이 상기 광 반사 부재(162)로 다시 입사되도록 미리 제거될 수 있다. 결과적으로, 상기 경사 렌즈 유닛(150)으로부터 출사된 광은 상기 광 반사 부재(162)로부터 반사된 후 상기 카메라 유닛(110)으로 유도될 수 있으며, 도시되지는 않았으나, 상기 경사 렌즈 유닛(150)의 경사각은 상기 제2 조명광 이미지에서 상기 동축 조명광에 의해 밝게 표시되는 영역의 중심 위치 좌표에 기초하여 교정될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 광 반사 유닛(160)을 이용하여 상기 경사 조명광을 상기 카메라 유닛(110)으로 유도하여 제1 조명광 이미지를 획득하고, 상기 제1 조명광 이미지를 이용하여 상기 경사 조명 유닛(140)의 경사각을 교정할 수 있다. 아울러, 상기 광 반사 유닛(162)을 이용하여 상기 동축 조명광을 상기 경사 렌즈 유닛(150)을 경유하여 상기 카메라 유닛(110)으로 유도할 수 있으며, 이에 의해 획득되는 제2 조명광 이미지를 이용하여 상기 경사 렌즈 유닛(150)의 경사각을 교정할 수 있다. 따라서, 종래 기술과 다르게 오토콜리메이터와 같은 각도 측정 장치를 이용할 필요가 없으며, 아울러 상기 카메라 유닛(110)의 분리와 장착 그리고 상기 오토콜리메이터의 장착과 분리에 소요되는 시간을 제거할 수 있다. 결과적으로, 작업자의 숙련도와 상관없이 상기 경사 조명 유닛(140)과 상기 경사 렌즈 유닛(150)의 경사각을 보다 빠르고 용이하게 측정 및 교정할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 100 : 검사 장치
102 : 스테이지 110 : 카메라 유닛
112 : 수직 렌즈 유닛 114 : 대물 렌즈 유닛
116 : 케이스 118 : 하프 미러
120 : 광 검출 유닛 130 : 동축 조명 유닛
132 : 광원 134 : 콜리메이터 렌즈
136 : 제1 반사 미러 138 : 제2 반사 미러
140 : 경사 조명 유닛 150 : 경사 렌즈 유닛
152 : 제3 반사 미러 154 : 제4 반사 미러
160 : 광 반사 유닛 162 : 광 반사 부재
164 : 회전 구동부 166 : 하우징
168 : 개구

Claims (7)

  1. 대상물의 검사를 위해 상기 대상물의 상부에 수직 방향으로 배치되는 카메라 유닛과, 상기 카메라 유닛의 광축과 동축 방향으로 상기 대상물을 조명하기 위한 동축 조명 유닛과, 상기 대상물의 일측에 배치되며 상기 대상물에 소정의 경사각을 갖는 경사 조명을 제공하기 위한 경사 조명 유닛과, 상기 경사 조명에 의해 상기 대상물로부터 반사된 광을 검출하기 위한 광 검출 유닛과, 상기 경사 조명 유닛과 반대 방향으로 소정의 경사각을 갖도록 상기 대상물의 타측에 배치되며 상기 반사된 광을 상기 광 검출 유닛으로 제공하기 위한 경사 렌즈 유닛을 포함하는 검사 장치의 광학계 교정 방법에 있어서,
    상기 카메라 유닛의 하부에 상기 경사 조명 유닛에 의해 제공되는 경사 조명광을 상기 카메라 유닛으로 반사시키기 위한 광 반사 유닛을 배치하는 단계와,
    상기 경사 조명광을 이용하여 상기 카메라 유닛에 의해 획득되는 제1 조명광 이미지에 기초하여 상기 경사 조명 유닛의 경사각을 교정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 교정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 경사 렌즈 유닛은 상기 경사 렌즈 유닛의 광축을 따라 상기 경사 렌즈 유닛에 입사된 광이 상기 경사 렌즈 유닛의 광축을 따라 상기 입사된 광과 반대 방향으로 상기 경사 렌즈 유닛으로부터 출사되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 광학계 교정 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 동축 조명 유닛에 의해 제공되는 동축 조명광이 상기 경사 렌즈 유닛으로 반사되도록 상기 광 반사 유닛을 회전시키는 단계와,
    상기 동축 조명광을 이용하여 상기 카메라 유닛에 의해 획득되는 제2 조명광 이미지에 기초하여 상기 경사 렌즈 유닛의 경사각을 교정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 교정 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 광 반사 유닛은, 상기 경사 조명광 및 동축 조명광을 반사시키기 위한 광 반사 부재와, 상기 광 반사 부재를 회전시키기 위한 회전 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 교정 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 광 반사 유닛은 상기 광 반사 부재를 수용하는 하우징을 더 포함하며,
    상기 하우징의 일측에는 상기 경사 조명광을 상기 광 반사 부재로 제공하고 상기 동축 조명광이 상기 경사 렌즈 유닛으로 반사되도록 하기 위한 개구가 구비되는 것을 특징으로 하는 광학계 교정 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 검사 장치는 상기 경사 렌즈 유닛으로부터 출사된 광을 상기 광 검출 유닛을 향하여 반사시키는 반사 미러를 더 포함하며,
    상기 경사 렌즈 유닛의 경사각을 교정하는 단계에서 상기 경사 렌즈 유닛으로부터 출사된 광이 상기 광 반사 부재로 다시 입사되도록 상기 반사 미러를 제거하는 것을 특징으로 하는 광학계 교정 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 검사 장치는, 상기 카메라 유닛의 하부에 장착되는 수직 렌즈 유닛과, 상기 수직 렌즈 유닛의 하부에 장착되는 대물 렌즈 유닛을 더 포함하며,
    상기 광 반사 유닛은 상기 대물 렌즈 유닛을 분리한 후 상기 수직 렌즈 유닛의 하부에 장착되는 것을 특징으로 하는 광학계 교정 방법.
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