KR20220040789A - 비전 측정장치 및 구동방법 - Google Patents

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KR20220040789A
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Abstract

비전 측정장치 및 구동방법을 제공한다. 상기 비전 측정장치는 대상물을 촬영하여 이미지를 생성하는 카메라, 카메라와 연결되도록 설치되어, 상기 카메라의 진동크기를 감지하는 진동센서, 진동크기에 대응되어, 대상물의 최적 이미지를 획득하기 위한 촬영 파라미터 값을 저장하는 데이터베이스 및 데이터베이스로부터 진동크기에 대응되는 촬영 파라미터 값을 획득하여, 카메라의 촬영 파라미터 값을 수정하는 프로세서를 포함한다.

Description

비전 측정장치 및 구동방법{Vision measuring device and operating method thereof}
본 발명은 비전 측정장치 및 구동방법에 관한 것이다.
반도체 비전 측정장치의 설비의 일부분에 카메라가 장착되어 설비의 진동에 따라서 촬영된 이미지가 블러(blur)하게 나타나는 경우가 많이 있다. 블러 발생 이미지의 경우 정확한 검사(edge, pattern) 등을 못하게 만드는 원인이 된다.
한국등록특허 제10-1711807호 (공고일: 2017.03.03.)
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 블러 없는 정상 이미지를 획득할 수 있는 비전 측정장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 블러 없는 정상 이미지를 획득할 수 있는 비전 측정장치의 구동방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 비전 측정장치의 일 면(aspect)은
대상물을 촬영하여 이미지를 생성하는 카메라, 상기 카메라와 연결되도록 설치되어, 상기 카메라의 진동크기를 감지하는 진동센서, 상기 진동크기에 대응되어, 상기 대상물의 최적 이미지를 획득하기 위한 촬영 파라미터 값을 저장하는 데이터베이스 및 상기 데이터베이스로부터 상기 진동크기에 대응되는 촬영 파라미터 값을 획득하여, 상기 카메라의 촬영 파라미터 값을 수정하는 프로세서를 포함한다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 비전 측정장치의 구동방법 일 면은 카메라가 촬영한 대상물의 제1 이미지로부터 제1 블러값을 측정하고, 상기 제1 블러값이 기설정된 기준범위 내에 해당하지 않으면, 데이터베이스로부터 진동크기에 대응되는 촬영 파라미터 값을 획득하여, 상기 카메라의 촬영 파라미터 값을 수정하고, 상기 카메라가 촬영한 상기 대상물의 제2 이미지로부터 제2 블러값을 측정하되, 상기 제2 이미지는 상기 카메라가 수정된 촬영 파라미터 값을 기초로, 상기 대상물을 촬영한 이미지를 포함한다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 비전 측정장치의 구동방법 다른 면은 제1 진동크기와 제1 촬영 파라미터 값을 기초로, 대상물의 제1 이미지를 획득하고, 상기 제1 이미지의 제1 블러값을 측정하고, 상기 제1 진동크기와, 상기 제1 촬영 파라미터 값과 다른 제2 촬영 파라미터 값을 기초로, 상기 대상물의 제2 이미지를 획득하고, 상기 제2 이미지의 제2 블러값을 측정하고, 상기 제1 블러값과 상기 제2 블러값을 비교하여, 비교 결과에 따라 상기 제1 진동크기에 대응되는 최적의 촬영 파라미터 값을 결정하고, 상기 제1 진동크기 및 상기 결정된 촬영 파라미터 값을 데이터베이스화하는 것을 포함한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 비전 측정장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 촬영 파라미터를 보정하기 전의 이미지의 예이고, 촬영 파라미터를 보정한 후의 이미지의 예이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 측정장치의 동작 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 비전 측정장치의 동작 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 비전 측정장치를 설명하기 위한 블록도이다. 도 2a는 촬영 파라미터를 보정하기 전의 이미지의 예이고, 도 2b는 촬영 파라미터를 보정한 후의 이미지의 예이다.
우선, 도 1을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 비전 측정장치(1)는 진동센서(10), 카메라(20), 데이터베이스(30) 및 프로세서40)를 포함한다.
카메라(20)는 피촬영 대상물의 이미지(IM1 또는 IM2)를 획득하는 장치이다. 피촬영 대상물은 예를 들어, 실리콘 웨이퍼(W) 일 수 있으며, 인쇄회로기판(PCB: printed circuit board) 혹은 기판 상의 반도체 칩본딩 등이 수행된 반도체 패키지를 의미할 수도 있으나, 이에 한정되지 않는다. 제1 이미지(IM1)는 카메라(20)의 촬영 파라미터를 보정하기 전의 이미지(도 2a 참조)이고, 제2 이미지(IM2)는 카메라의 촬영 파라미터를 보정한 후의 이미지(도 2b 참조)를 의미한다.
진동센서(10)는 예를 들어, 자이로 센서, 가속도 센서일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
또한, 진동센서(10)는 실시간으로 진동크기(VS)를 센싱하여, 무선 또는 유선 통신을 통해서 프로세서(40)에 제공할 수 있다.
데이터베이스(30)는 카메라(20)의 진동크기(VS)에 대응되어, 피촬영 대상물의 최적 이미지를 획득하기 위한 적어도 하나의 촬영 파라미터 값을 저장할 수 있다. 예를 들어, 촬영 파라미터는 카메라 노출값(EV) 또는 조명 밝기값(LV)일 수 있다. 진동크기(VS), 촬영 파라미터 값의 관계는 테이블 형태일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이러한 진동크기(VS)와 촬영 파라미터 값 사이의 관계를 만드는 과정(즉, 데이터베이스 구축 방법)은 도 3을 이용하여 후술하도록 한다.
프로세서(40)는 카메라(20), 진동센서(10) 및 데이터베이스(30)에 연결되고, 카메라(20), 진동센서(10) 및 데이터베이스(30) 등을 제어하는 역할을 한다.
프로세서(40)는 카메라(20)가 측정한 제1 이미지(IM1)로부터 블러값을 측정한다. 여기서, 블러값의 측정은 다양한 블러 검출 알고리즘(blur detection algorithm)이 적용될 수 있다. 예를 들어, 이미지 내에 선명한 영역의 정도를 의미하는 값(예: blur-per 값)과 블러 영역의 정도를 의미하는 값(예: blur-extent 값)이 사용될 수 있다. 또는, 모션 블러(motion blur) 방식이 사용될 수도 있다. 또는, 백그라운드 이미지(background image)와 피촬영 대상물 이미지 사이의 경계에 해당하는 픽셀들을 정의하고, 각 픽셀에서 흔들림이 발생했는지 판단하고, 흔들림이 발생된 픽셀개수를 블러값으로 정의할 수 있다.
또한, 프로세서(40)는 측정된 블러값과 기설정된 기준범위를 비교하여, 블러값이 기 설정된 기준범위 내에 해당하는지를 확인할 수 있다.
블러값이 기설정된 기준범위 내에 해당하면, 프로세서(40)는 블러가 발생하지 않았다고 판단할 수 있다.
블러값이 기설정된 기준범위 내에 해당하지 않으면, 프로세서(40)는 블러가 발생했다고 판단한다.
프로세서(40)는 데이터베이스(30)로부터, 진동크기(VS)에 대응되는 촬영 파라미터 값을 가져와서 카메라(20)에 전달한다. 즉, 카메라(20)의 기존 촬영 파라미터 값은, 데이터베이스(30)로부터 가져온 촬영 파라미터 값으로 변경될 수 있다. 예를 들어, 카메라 노출값(EV)이 변경되거나, 조명 밝기값(LV)이 변경될 수도 있다. 더 구체적으로 카메라 노출값(EV)이 작아지면 빠른 촬상이 이루어지고, 블러값이 줄어들게 된다. 또는, 조명 밝기값(LV)이 높아지면 더 환한 분위기에서 촬상이 이루어지고 블러값이 줄어들 수 있다. 조명 밝기값(LV)이 너무 높아지면 백그라운드 이미지와 피촬영 대상물 사이의 경계가 불명확해지기 때문에, 조명 밝기값(LV)을 너무 높이지 않는다.
카메라(20)는 변경된 촬영 파라미터 값을 기초로 재촬영하여, 피촬영 대상물의 제2 이미지(IM2)를 생성한다. 프로세서(40)는 전술한 방식으로, 제2 이미지의 블러값을 재측정한다. 블러값이 발생되지 않았다고 판단되면, 이미지 촬영 프로세스를 종료한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 비전 측정장치의 동작 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 3에서는 진동크기와 촬영 파라미터 값 사이의 관계를 만드는 과정(즉, 데이터베이스 구축 방법)을 설명한다. 설명의 편의상, 도 1을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 3을 참조하면, 진동크기를 세팅한다(S110).
이어서, 촬영 파라미터 값을 세팅한다(S120). 전술한 것과 같이, 촬영 파라미터 값은 카메라 노출값(EV) 또는 조명 밝기값(LV)일 수 있다.
이어서, 피촬영 대상물을 촬영하여 이미지를 획득한다(S130).
이어서, 모델링된 모든 촬영 파라미터 값에 대해 촬영하였는지 여부를 판단한다(S140). 현실적으로 모든 촬영 파라미터 값에 대해서 촬영할 수 없기 때문에, 적절한 개수의 촬영 파라미터 값에 대해서 촬영할 수 있도록 모델링이 진행된다. 예를 들어, 모델링한 촬영 파라미터 값의 개수가 10개라면, 10개의 촬영 파라미터 값에 대해서 촬영이 완료되었는지 여부를 판단한다.
만약 촬영이 완료되지 않았다면(N), 사용되지 않은 다른 촬영 파라미터 값을 선택한다(S142). S120 단계에서는 선택된 촬영 파라미터 값에 따라 세팅이 이루어진다.
만약 촬영이 완료되면(Y), 모델링된 모든 진동크기에 대해 촬영하였는지 여부를 판단한다(S150). 현실적으로 모든 진동크기에 대해서 촬영할 수 없기 때문에, 적절한 개수의 진동크기에 대해서 촬영할 수 있도록 모델링이 진행된다. 예를 들어, 모델링한 진동크기의 개수가 5개라면, 5개의 진동크기에 대해서 촬영이 완료되었는지 여부를 판단한다. 모델링한 진동크기의 종류가 4개(즉, 10, 30, 50, 100)이라면, 4개에 대해서만 촬영을 한다.
만약 촬영이 완료되지 않았다면(N), 사용되지 않은 다른 촬영 파라미터 값을 선택한다(S152). S110 단계에서는 선택된 촬영 파라미터 값에 따라 세팅이 이루어진다.
만약 촬영이 완료되면(Y), 촬영된 모든 이미지 각각에 대해서 블러값을 측정한다(S160).
이어서, 획득된 진동크기, 촬영 파라미터 값, 블러값 등을 이용하여 데이터베이스를 구축한다(S170).
구체적으로, 모델링 되지 않은 진동크기에 대해서는(예를 들어, 80), AI(Artificial Intelligence) 등을 이용하여 결과(또는 블러값)를 예측할 수 있다. 마찬가지로 모델링되지 않은 촬영 파라미터 값에 대해서는, AI 등을 이용하여 결과(또는 블러값)를 예측할 수 있다.
데이터베이스를 구축할 때에는, 모델링된 진동크기 및 AI 등에 의해 예측된 진동크기에서, 블러값이 가장 좋은 이미지가 결정될 수 있다. 따라서, 블러값이 가장 좋은 이미지에 대응되는 촬영 파라미터 값도 결정될 수 있다.
결과적으로, 데이터베이스에는, 다수의 진동크기와, 그 진동크기에 대응되는 촬영 파라미터 값이 저장되게 된다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 비전 측정장치의 동작 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 설명의 편의상, 도 1을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 4를 참조하면, 카메라(20)가 측정한 제1 이미지(IM1)로부터 블러값을 측정한다(S210). 여기서, 블러값의 측정은 다양한 블러 검출 알고리즘(blur detection algorithm)이 적용될 수 있다. 예를 들어, 이미지 내에 선명한 영역의 정도를 의미하는 값(예: blur-per 값)과 블러 영역의 정도를 의미하는 값(예: blur-extent 값)이 사용될 수 있다. 또는, 모션 블러(motion blur) 방식이 사용될 수도 있다. 또는, 백그라운드 이미지(background image)와 피촬영 대상물 이미지 사이의 경계에 해당하는 픽셀들을 정의하고, 각 픽셀에서 흔들림이 발생했는지 판단하고, 흔들림이 발생된 픽셀개수를 블러값으로 정의할 수 있다.
이어서, 측정된 블러값이 기설정된 기준범위 내에 해당하는지 판단한다(S220).
만약 측정된 블러값이 기설정된 기준범위 내에 해당하지 않는다면(N), 데이터베이스(30)로부터, 진동크기(VS)에 대응하는 촬영 파라미터 값을 가져온다(S221). 전술한 것과 같이, 촬영 파라미터 값은 카메라 노출값(EV) 또는 조명 밝기값(LV)일 수 있다.
이어서, 데이터베이스(30)로부터 가져온 촬영 파라미터 값을 변경한다(S222). 예를 들어, 카메라 노출값(EV)이 변경되거나, 조명 밝기값(LV)이 변경될 수도 있다. 더 구체적으로 카메라 노출값(EV)이 작아지면 빠른 촬상이 이루어지고, 블러값이 줄어들게 된다. 또는, 조명 밝기값(LV)이 높아지면 더 환한 분위기에서 촬상이 이루어지고 블러값이 줄어들 수 있다. 조명 밝기값(LV)이 너무 높아지면 백그라운드 이미지와 피촬영 대상물 사이의 경계가 불명확해지기 때문에, 조명 밝기값(LV)을 너무 높이지 않는다.
이어서, 피촬영 대상물을 재촬영하여 제2 이미지(IM2)를 획득한다(S223).
만약 측정된 블러값이 기설정된 기준범위 내에 해당한다면(Y), 블러값 측정 프로세스를 종료한다.
이상 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 진동센서 20: 카메라
30: 데이터베이스 40: 프로세서
EV: 카메라 노출값 LV: 조명 밝기값

Claims (6)

  1. 대상물을 촬영하여 이미지를 생성하는 카메라;
    상기 카메라와 연결되도록 설치되어, 상기 카메라의 진동크기를 감지하는 진동센서;
    상기 진동크기에 대응되어, 상기 대상물의 최적 이미지를 획득하기 위한 촬영 파라미터 값을 저장하는 데이터베이스; 및
    상기 데이터베이스로부터 상기 진동크기에 대응되는 촬영 파라미터 값을 획득하여, 상기 카메라의 촬영 파라미터 값을 수정하는 프로세서를 포함하는 비전 측정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 촬영 파라미터 값은 카메라 노출값 또는 조명 밝기값 중 적어도 하나를 포함하는, 비전 측정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 프로세서는,
    상기 카메라가 촬영한 상기 대상물의 제1 이미지로부터 제1 블러값을 측정하고,
    상기 제1 블러값이 기설정된 기준범위 내에 해당하지 않으면, 상기 데이터베이스로부터 상기 진동크기에 대응되는 촬영 파라미터 값을 획득하여, 상기 카메라의 촬영 파라미터 값을 수정하고,
    상기 카메라가 촬영한 상기 대상물의 제2 이미지로부터 제2 블러값을 측정하되, 상기 제2 이미지는 상기 카메라가 수정된 촬영 파라미터 값을 기초로, 상기 대상물을 촬영한 이미지인, 비전 측정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 카메라의 촬영 파라미터 값을 수정하는 것은 실시간으로 진행되는, 비전 측정장치.
  5. 카메라와, 상기 카메라와 연결되도록 설치되어 상기 카메라의 진동크기를 감지하는 진동센서와, 상기 진동크기에 대응되어 대상물의 최적 이미지를 획득하기 위한 촬영 파라미터 값을 저장하는 데이터베이스와, 상기 카메라, 상기 진동센서 및 상기 데이터베이스와 연결된 프로세서를 포함하는 비전 측정장치를 제공하고,
    상기 카메라가 촬영한 상기 대상물의 제1 이미지로부터 제1 블러값을 측정하고,
    상기 제1 블러값이 기설정된 기준범위 내에 해당하지 않으면, 상기 데이터베이스로부터 상기 진동크기에 대응되는 촬영 파라미터 값을 획득하여, 상기 카메라의 촬영 파라미터 값을 수정하고,
    상기 카메라가 촬영한 상기 대상물의 제2 이미지로부터 제2 블러값을 측정하되, 상기 제2 이미지는 상기 카메라가 수정된 촬영 파라미터 값을 기초로, 상기 대상물을 촬영한 이미지인, 비전 측정장치의 구동방법.
  6. 제5항에 있어서,
    제1 진동크기와 제1 촬영 파라미터 값을 기초로, 대상물의 제1 이미지를 획득하고,
    상기 제1 이미지의 제1 블러값을 측정하고,
    상기 제1 진동크기와, 상기 제1 촬영 파라미터 값과 다른 제2 촬영 파라미터 값을 기초로, 상기 대상물의 제2 이미지를 획득하고,
    상기 제2 이미지의 제2 블러값을 측정하고,
    상기 제1 블러값과 상기 제2 블러값을 비교하여, 비교 결과에 따라 상기 제1 진동크기에 대응되는 최적의 촬영 파라미터 값을 결정하고,
    상기 제1 진동크기 및 상기 결정된 촬영 파라미터 값을 데이터베이스화하는 것을 포함하는, 비전 측정장치의 구동방법.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101711807B1 (ko) 2011-12-21 2017-03-03 캐논 가부시끼가이샤 이미지 안정화장치, 그 제어 방법, 광학기기 및 촬상장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101711807B1 (ko) 2011-12-21 2017-03-03 캐논 가부시끼가이샤 이미지 안정화장치, 그 제어 방법, 광학기기 및 촬상장치

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