KR20220038208A - 캐리어 운송 장치의 제어 방법 - Google Patents

캐리어 운송 장치의 제어 방법 Download PDF

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류건진
신두현
유병국
이바다
장민구
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Abstract

본 발명은 캐리어 운송 장치의 제어 방법을 개시한다. 그의 제어 방법은, 캐리어 운송 장치의 이동을 계획하는 단계와, 상기 캐리어 운송 장치가 이동되는 레일의 노드들을 획득하는 단계와, 상기 노드들 사이에 곡선 구간이 있는지를 판별하는 단계와, 상기 곡선 구간이 있을 경우, 상기 곡선 구간 내에 가상 노드를 추가적으로 지정하는 단계와, 상기 노드들과 상기 가상 노드를 이용하여 상기 캐리어 운송 장치를 주행시키는 단계를 포함한다.

Description

캐리어 운송 장치의 제어 방법{method for controlling carrier transportation apparatus}
본 발명은 제조 장치의 제어 방법에 관한 것으로, 상세하게는 캐리어 운송 장치의 제어 방법에 관한 것이다.
반도체 소자는 복수의 단위 공정들에 의해 제조될 수 있다. 단위 공정들은 박막 증착 공정, 확산 공정, 열처리 공정, 포토리소그래피 공정, 연마 공정, 식각 공정, 이온주입 공정, 및 세정 공정을 포함할 수 있다. 기판 제조 장치들은 단위 공정들을 개별적으로 수행할 수 있다. 기판 제조 장치들은 클린 룸 내에 설치될 수 있다. 기판 제조 장치들 및 캐리어 저장 장치의 크기는 대면적의 기판에 대응하여 증가하는 추세에 있다. 그럼에도 불구하고, 클린 룸의 면적 증가는 생산성을 떨어뜨리는 요인으로 작용할 수 있다. 따라서, 높은 공간 효율성의 패브리케이션 라인에 대한 연구개발이 이루어지고 있다.
본 발명의 과제는 패브리케이션 라인의 공간 효율성을 증진할 수 있는 캐리어 운송 장치의 제어 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명은 캐리어 운송 장치의 제어 방법을 개시한다. 그의 제어 방법은, 캐리어 운송 장치의 이동 경로를 계획하는 단계; 상기 이동 경로에 대응되는 레일의 노드들을 획득하는 단계; 상기 노드들 사이에 곡선 구간이 있는지를 판별하는 단계; 상기 곡선 구간이 있을 경우, 상기 곡선 구간 내에 가상 노드를 추가적으로 지정하는 단계; 및 상기 노드들과 상기 가상 노드를 이용하여 상기 캐리어 운송 장치를 이동시키는 단계를 포함한다. 여기서, 상기 캐리어 운송 장치를 주행시키는 단계는: 상기 캐리어 운송 장치가 상기 곡선 구간에 도달했는지를 판별하는 단계; 상기 캐리어 운송 장치가 상기 곡선 구간에 도달했을 경우, 장애물 감지 센서의 제 1 감시 패턴에 근거하여 장애물을 감시하여 상기 캐리어 운송 장치를 상기 가상 노드까지 주행시키는 단계; 및 상기 제 1 감시 패턴의 면적보다 작은 면적을 갖는 제 2 감시 패턴에 근거하여 상기 장애물을 감시하여 상기 캐리어 운송 장치를 상기 가상 노드에서부터 상기 가상 노드에 인접한 상기 노드들 중의 하나에까지 주행시키는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 캐리어 운송 장치의 제어 방법은 레일의 곡선 구간 내의 가상 노드를 이용하여 장애물의 감시 면적을 감소시켜 패브리케이션 라인의 공간 효율성을 증진시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 개념에 따른 패브리케이션 라인의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1의 캐리어 운송 장치의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 캐리어 운송 장치의 제어 방법을 보여주는 플로우 [챠]차트이다.
도 4는 도 1의 레일의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 5는 도 1의 캐리어 운송 장치를 이동시키는 단계의 일 예를 보여주는 플로우 [챠]차트이다.
도 6은 도 4의 곡선 구간 내의 캐리어 운송 장치의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6의 제 1 감시 패턴의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 8은 도 6의 제 1 감시 패턴의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 6의 제 2 감시 패턴의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 10은 도 6의 제 2 감시 패턴의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 11은 도 1의 레일의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 12는 도 1의 레일의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 13은 도 1의 캐리어 운송 장치 주행시키는 단계의 일 예를 보여주는 플로우 챠트이다.
도 14는 도 11의 제 1 곡선 구간 및 제 2 곡선 구간 내의 캐리어 운송 장치의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 1은 본 발명의 개념에 따른 패브리케이션 라인(100)의 일 예를 보여준다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 패브리케이션 라인(100)은 반도체 소자 패브리케이션 라인일 수 있다. 이와 달리, 본 발명의 패브리케이션 라인(100)은 표시 장치 패브리케이션 라인일 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 일 예로, 본 발명의 패브리케이션 라인(100)은 클린 룸(110), 기판 제조 장치(120), 설비 제어 시스템(130), 캐리어 저장 장치(140), 캐리어 운송 장치(150), 운송 제어 시스템(160), 및 호스트 시스템(170)을 포함할 수 있다.
클린 룸(110)은 공기(미도시) 중에 파티클(미도시)이 제거된 공간으로 정의될 수 있다. 클린 룸(110)은 메인 통로(112), 서비스 영역(114) 및 오퍼레이팅 영역(116)을 가질 수 있다. 메인 통로(112)는 평면적 관점에서 일방향으로 연장할 수 있다. 메인 통로(112)는 작업자 및 물류의 주요한 이동 경로일 수 있다. 서비스 영역(114)은 메인 통로(112)의 양측들에 제공될 수 있다. 서비스 영역(114)는 기판 제조 장치(120)가 설치(set)되는 영역일 수 있다. 오퍼레이팅 영역(116)은 서비스 영역들(114) 사이에 제공될 수 있다. 오퍼레이팅 영역(116)은 기판 제조 장치(120) 내에 캐리어(도 2의 180)가 제공되는 영역일 수 있다. 캐리어(180)는 기판(도 2의 W)을 탑재할 수 있다. 메인 통로(112) 및 오퍼레이팅 영역(116) 내에 레일(118)이 제공될 수 있다. 캐리어 운송 장치130)는 캐리어(180)를 레일(118)을 따라 운송할 수 있다.
기판 제조 장치(120)는 클린 룸(110) 내에 배치될 수 있다. 한 쌍의 기판 제조 장치들(120)은 서로 마주보며 배치될 수 있다. 이와 달리, 기판 제조 장치들(120)은 클린 룸(110) 내에서 랜덤하게 배치될 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 기판 제조 장치(120)는 기판(W)의 단위 공정을 수행할 수 있다. 예를 들어, 단위 공정은 박막 증착 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 세정 공정, 연마 공정, 및 에싱 공정을 포함할 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
설비 제어 시스템(130)은 클린 룸(110)의 외부에 배치될 수 있다. 이와 달리, 설비 제어 시스템(130)은 클린 룸(110) 내에 배치될 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 설비 제어 시스템(130)은 제 1 서브 시스템으로서 MCS(Manufacturing Control System)일 수 있다. 설비 제어 시스템(130)은 기판 제조 장치(120)에 연결될 수 있다. 설비 제어 시스템(130)은 TCP/IP 프로토콜 기반[에]등 다양한 통신방식에 근거하여 기판 제조 장치(120)과 유/무선으로 통신할 수 있다. 설비 제어 시스템(130)은 기판 제조 장치(120)를 제어하여 단위 공정을 수행시킬 수 있다.
캐리어 저장 장치(140)는 레일(118)에 인접하여 배치될 수 있다. 캐리어 저장 장치(140)는 레일(118)의 양측에 한쌍으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 캐리어 저장 장치(140)는 사이드 트랙 버퍼(side track buffer)를 포함할 수 있다. 이와 달리, 캐리어 저장 장치(140)는 스텍커(stacker)를 포함할 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 도시되지는 않았지만, 캐리어 저장 장치(140)는 저장 제어 시스템(미도시)에 의해 제어될 수 있다. 저장 제어 시스템은 SCS(STB Control System and/or Stacker Control System일 수 있다.
캐리어 운송 장치(150)는 캐리어(180)를 기판 제조 장치들(120) 사이에 전달할 수 있다. 캐리어 운송 장치(150)는 캐리어(180)를 기판 제조 장치들(120) 사이에 전달할 수 있다. 레일(118)은 메인 통로(112) 및 오퍼레이팅 영역(116)의 클린 룸(110)의 전장에 제공될 수 있다. 이와 달리, 레일(118)은 클린 룸(110)의 바닥에 제공될 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
도 2는 도 1의 캐리어 운송 장치(150)의 일 예를 보여준다.
도 2를 참조하면, 캐리어 운송 장치(150)는 오버헤드 호이스트 트런스퍼(Overhead Hoist Transfer)일 수 있다. 이와 달리, 캐리어 운송 장치(150)는 자동 반송 대차(Auto Guide Vehicle)를 포함할 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 일 예로, 캐리어 운송 장치(150)는 주행 부(152), 호이스트 부(154), 핸드 부(156), 장애물 감지 센서(158) 및 제어 부(159)를 포함할 수 있다.
주행 부(152)는 호이스트 부(154) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 주행 부(152)는 바퀴 및 상기 바퀴를 구동하는 모터를 포함할 수 있다. 주행 부(152)는 레일(118) 상에 제공되어 호이스트 부(154), 핸드 부(156), 장애물 감지 센서(158) 및 제어 부(159)를 상기 레일(118)에 따라 이동시킬 수 있다.
호이스트 부(154)는 핸드 부(156)를 주행 부(152)에 연결시킬 수 있다. 예를 들어, 호이스트 부(154)는 와이어(155)를 구비할 수 있다. 호이스트 부(154)는 상기 와이어(155)를 감거나 풀어주어, 주행 부(152) 및 핸드 부(156) 사이의 거리를 조절할 수 있다.
핸드 부(156)는 호이스트 부(154)의 아래에 배치될 수 있다. 핸드 부(156)는 와이어(155)에 연결될 수 있다. 핸드 부(156)는 캐리어(180)를 붙잡(hold)거나 풀어(release) 줄 수 있다.
장애물 감지 센서(158)는 호이스트 부(154)의 일측에 배치될 수 있다. 예를 들어, 장애물 감지 센서(158)는 캐리어 운송 장치(150)의 주행 전방 및/또는 후방에 배치될 수 있다. 이와 달리, 장애물 감지 센서(158)는 캐리어 운송 장치(1500)의 측방향에 배치될 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 장애물 감지 센서(158)는 캐리어 운송 장치(150)의 주행 시에 장애물을 감지할 수 있다. 장애물 감지 센서(158)는 레이더를 포함할 수 있다. 이와 달리, 장애물 감지 센서(158)는 이미지 센서를 포함할 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
제어 부(159)는 장애물 감지 센서(158)에 인접하여 호이스트 부(154)의[이] 일측에 배치될 수 있다. 제어 부(159)는 주행 부(152), 호이스트 부(154), 핸드 부(156) 및 장애물 감지 센서(158)에 연결될 수 있다. 제어 부(159)는 주행 부(152)의 이동 거리 및 이동 속도를 제어할 수 있다. 제어 부(159)는 호이스트 부(154)를 제어하여 주행 부(152)와 핸드 부(156) 사이의 거리를 조절시킬 수 있다. 제어 부(159)는 핸드 부(156)를 제어하여 캐리어(180)를 붙잡거나 풀어줄 수 있다. 제어 부(159)는 장애물 감지 센서(158)의 장애물 감지 신호를 이용하여 주행 부(152)를 정지시킬 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 운송 제어 시스템(160)은 TCP/IP 프로토콜 기반에 근거하여 캐리어 운송 장치(150)의 제어 부(159)와 무선으로 통신할 수 있다. 예를 들어, 운송 제어 시스템(160)은 제 2 서브 시스템으로서 OCS(OHT Control System)일 수 있다. 운송 제어 시스템(160)은 캐리어 운송 장치(150)의 위치 정보, 캐리어(180)의 수납 정보, 및 이동 정보를 판별 및/또는 계획할 수 있다.
호스트 시스템(170)은 설비 제어 시스템(130) 및 운송 제어 시스템(160)에 연결될 수 있다. 호스트 시스템(170)는 기판 제조 장치(120), 캐리어 저장 장치(140), 및 캐리어 운송 장치(150)를 총괄적으로 제어하는 메인 시스템일 수 있다. 호스트 시스템(170)은 설비 제어 시스템(130)을 통해 기판 제조 장치(120)의 제조 공정을 제어 및/또는 계획할 수 있다. 호스트 시스템(170)은 운송 제어 시스템(160)을 통해 캐리어(180)의 로딩, 이동 및 언로딩을 제어 및/또는 계획할 수 있다. 그리고, 호스트 시스템(170)은 저장 제어 시스템을 통해 캐리어 저장 장치(140)의 저장을 제어할 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 패브리케이션 라인(100) 내의 캐리어 운송 장치(150)의 제어 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 캐리어 운송 장치(150)의 제어 방법을 보여준다.
도 3을 참조하면, 운송 제어 시스템(160)은 캐리어 운송 장치(150)의 이동 경로(도 4의 109)를 계획(schedule)한다(S10). 캐리어 운송 장치(150)의 이동 경로(109)는 기판(W)의 단위 공정의 순서와, 상기 단위 공정을 수행하는 기판 제조 장치(120)의 위치에 따라 대부분 결정될 수 있다. 이보다 앞서, 설비 제어 시스템(130) 및 호스트 시스템(170)은 미리 저장된 기준 정보에 근거하여 기판(W)의 단위 공정 순서를 결정하고, 결정된 단위 공정 순서에 근거하여 기판 제조 장치(120)를 지정할 수 있다. 지정된 기판 제조 장치(120)의 위치에 근거하여, 운송 제어 시스템(160)은 기판(W)이 수납된 캐리어(180)를 탑재할 캐리어 운송 장치(150)의 이동 경로(109)를 계획할 수 있다. 캐리어 운송 장치(150)의 이동 경로(109)는 레일(118)에 근거하여 계획될 수 있다.
도 4는 도 1의 레일(118)의 일 예를 보여준다.
도 4를 참조하면, 레일(118)은 직선 구간(102), 곡선 구간(104), 및 노드들(106)을 가질 수 있다. 직선 구간(102)은 캐리어 운송 장치(150)의 고속 주행 구간일 수 있다. 캐리어 운송 장치(150)는 직선 구간(102) 내에서 약 1m/sec 이상 고속으로 주행할 수 있다. 곡선 구간(104)은 캐리어 운송 장치(150)의 저속 주행 구간일 수 있다. 캐리어 운송 장치(150)는 곡선 구간(104) 내에서 약 1m/sec 내지 약 0.1m/sec의 저속으로 주행할 수 있다. 노드들(106)은 직선 구간(102)과 곡선 구간(104) 사이에 지정될 수 있다. 즉, 노드들(106)은 캐리어 운송 장치(150)의 이동 속도가 변화되는 지점으로 정의될 수 있다. 이와 달리, 노드들(106)은 캐리어 운송 장치(150)가 정지되는 지점으로 정의될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 레일(118)의 노드들(106)에는 고유 식별 번호를 갖는 바코드가 제공될 수 있다. 캐리어 운송 장치(150)의 인식 장치(미도시)에 의해 바코드가 인식되면, 운송 제어 시스템(160)은 상기 캐리어 운송 장치(150)의 위치를 판단할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 운송 제어 시스템(160)은 캐리어 운송 장치(150) 이동 경로(109) 내의 레일(118)의 노드들(106)의 정보를 획득한다(S20). 획득된 노드들(106)의 정보는 제어 부(159)의 저장 장치에 저장 및/또는 기록될 수 있다. 또한, 운송 제어 시스템(160)은 이동 경로(109)의 직선 구간(102) 및 곡선 구간(104)의 정보를 획득하여 저장 장치에 저장 및/또는 기록할 수 있다.
다음, 운송 제어 시스템(160)은 이동 경로(109) 내에 곡선 구간(104)이 있는지를 판별한다(S30).
이동 경로(109) 내에 곡선 구간(104)이 있다면, 운송 제어 시스템(160)은 곡선 구간(104) 내에 가상 노드(virtual node, 108)를 추가적으로 지정한다(S40). 가상 노드(108)는 곡선 구간(104)의 중심 또는 필요한 위치에 지정될 수 있다. 지정된 가상 노드(108)의 정보는 제어 부(159)의 저장 장치에 저장 및/또는 기록될 수 있다.
그리고, 운송 제어 시스템(160)은 노드들(106)의 정보 및 가상 노드(108)의 정보에 근거하여 캐리어 운송 장치(150)를 이동시킨다(S50).
도 5는 도 1의 캐리어 운송 장치(150)를 이동시키는 단계(S50)의 일 예를 보여준다.
도 5를 참조하면, 제어 부(159)는 캐리어 운송 장치(150)를 레일(118)에 따라 주행시킨다(S60). 캐리어 운송 장치(150)는 노드들(106)의 정보 및 가상 노드(108)의 정보에 근거하여 레일(118)의 직선 구간(102)과 곡선 구간(104)을 주행할 수 있다.
도 6은 도 4의 곡선 구간(104) 내의 캐리어 운송 장치(150)의 일 예를 보여준다.
도 6을 참조하면, 제어 부(159)는 캐리어 운송 장치(150)가 곡선 구간(104)에 도달했는지를 판별한다(S70).
도 4 내지 도 6을 참조하여 캐리어 운송 장치(150)가 곡선 구간(104)에 도달했다면, 제어 부(159)는 제 1 감시 패턴(182)에 근거하여 장애물을 감시하여 상기 캐리어 운송 장치(150)를 곡선 구간(104) 내의 가상 노드(108)까지 주행시킨다(S80). 장애물 감지 센서(158)는 제 1 감시 패턴(182)에 근거하여 캐리어 운송 장치(150)의 전방의 장애물을 검출 판별할 수 있다. 캐리어 운송 장치(150)의 전방에 장애물이 검출되면, 제어 부(159)는 주행 부(152)를 정지시켜 장애물과의 충돌을 방지할 수 있다. 캐리어 운송 장치(150)은 곡선 구간(104) 내에서 약 1m/sec 내지 약 0.1m/sec의 저속으로 주행할 수 있다.
도 7은 도 6의 제 1 감시 패턴(182)의 일 예를 보여준다.
도 7을 참조하면, 제 1 감시 패턴(182)은 제 1 부채꼴 패턴(181)을 포함할 수 있다. 제 1 각도(θ1)는 약 90˚ 이상일 수 있다. 제 1 부채꼴 패턴(181)은 제 1 각도(θ1)와 제 1 반경(R1)을 가질 수 있다. 재 1 각도(θ1)는 90˚이상일 수 있다. 제 1 반경(R1)은 약 50cm 내지 약 100cm일 수 있다. 제 1 감시 패턴(182)은 약 0.2m2 내지 약 0.54m2의 면적을 가질 수 있다.
도 8은 도 6의 제 1 감시 패턴(182)의 일 예를 보여준다.
도 8을 참조하여 제 1 감시 패턴(182)은 변형 부채꼴 패턴(183)을 포함할 수 있다. 레이더의 장애물 감지 센서(158)는 변형 부채꼴 패턴(183)을 따라 장애물을 감지할 수 있다. 이미지 센서의 장애물 감지 센서(158)가 반사부(157)를 가질 경우, 변형 부채꼴 패턴(183)은 장애물 감지 센서(158)와, 상기 장애물 감지 센서(158)에 인접한 반사 부(157)에 의해 생성될 수 있다. 장애물 감지 센서(158)는 도 7의 제 1 부채꼴 패턴(181)의 꼭지점에 대응하여 제공되고, 반사 부(157)는 장애물 감지 센서(158)의 일측에 인접하여 제공될 수 있다. 반사 부(157)는 장애물 감지 센서(158)의 타측으로 전자기파를 반사하여 변형 부채꼴 패턴(183)을 생성시킬 수 있다. 즉, 변형 부채꼴 패턴(183)은 장애물 감지 센서(158)의 일측으로 돌출 및/또는 확장될 수 있다. 레이더 및 이미지 센서의 장애물 감지 센서(158)는 돌출 및/또는 확장된 변형 부채꼴 패턴(183)을 따라 장애물을 감지할 수 있다.
다시 도 5 및 도 6을 참조하여, 제어 부(159)는 제 2 감시 패턴(184)에 근거하여 장애물을 감시하여 캐리어 운송 장치(150)를 가상 노드(108)에서부터 상기 가상 노드(108)에 인접한 노드(106)까지 주행시킨다(S90).
도 9는 도 6의 제 2 감시 패턴(184)의 일 예를 보여준다.
도 9를 참조하면, 제 2 감시 패턴(184)은 제 2 부채꼴 패턴(185)을 포함할 수 있다. 제 2 부채꼴 패턴(185)은 제 2 각도(θ2)와 제 2 반경(R2)을 가질 수 있다. 제 2 각도(θ2)는 제 1 각도(θ1)보다 작을 수 있다. 예를 들어, 제 2 각도(θ2)는 제 1 각도(θ1)보다 약 1/4배 작을 수 있다. 제 2 각도(θ2)는 약 22.5˚ 이하일 수 있다. 제 2 반경(R2)는 제 1 반경(R1)과 동일할 수 있다. 제 2 반경(R2)은 약 50cm 내지 약 100cm일 수 있다. 제 2 감시 패턴(184)은 제 1 감시 패턴(182)의 면적보다 작은 면적을 가질 수 있다. 예를 들어, 제 2 감시 패턴(184)의 면적은 제 1 감시 패턴(182)의 면적의 1/4배일 수 있다. 제 2 감시 패턴(184)의 면적은 약 0.05m2 내지 약 0.14m2일 수 있다.
도 10은 도 6의 제 2 감시 패턴(184)의 일 예를 보여준다.
도 10을 참조하여 장애물 감지 센서(158)가 반사 부(157)를 가질 경우, 제 2 감시 패턴(184)은 오각형 패턴(187)을 포함할 수 있다. 오각형 패턴(187)은 장애물 감지 센서(158)와 상기 장애물 감지 센서(158)에 인접한 반사 부(157)에 의해 생성될 수 있다. 반사 부(157)는 장애물 감지 센서(158)의 타측으로 전자기파를 반사하여 제 2 감시 패턴(184)을 오각형 패턴(187)으로 만들 수 있다. 오각형 패턴(187)은 제 1 반경(R1)과 동일한 긴변(L)을 가질 수 있다. 도시되지 않았지만, 제 2 감시 패턴(184)은 직사각형 패턴을 포함할 수 있다. 직사각형 패턴은 긴변(L)을 가질 수 있으며, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
도 6 내지 도 10을 참조하면, 가상 노드(108)는 곡선 구간(104) 내에서 캐리어 운송 장치(150)의 장애물 감시 면적을 감소시켜 직선 구간(102)의 레일(118)에 인접하는 캐리어 저장 장치(140)의 설치 공간을 증가시키고, 패브리케이션 라인(100)의 공간 효율성을 증가시킬 수 있다.
제어 부(159)가 곡선 구간(104) 내에서 제 1 감시 패턴(182)을 단독으로 이용하여 장애물을 감시할 경우, 캐리어 저장 장치(140)는 곡선 구간(104)에서부터 제 1 거리(D1) 이후의 직선 구간(102)의 레일(118)에 인접하여 설치될 수 있었다. 제 1 거리(D1)는 약 1200mm 이상일 수 있다.
제어 부(159)가 곡선 구간(104)의 제 2 감시 패턴(184)을 이용하여 가상 노드(108)에서부터 상기 가상 노드(108)에 인접한 노드(106)까지 장애물을 감시할 경우, 캐리어 저장 장치(140)는 곡선 구간(104)에서부터 제 2 거리(D2) 이후의 직선 구간(102)의 레일(118)에 인접하여 설치될 수 있었다. 제 2 거리(D2)는 제 1 거리(D1)보다 작을 수 있다. 제 2 거리(D2)는 400mm 이하일 수 있다.
따라서, 가상 노드(108) 및 제 2 감시 패턴(184)은 장애물 감지 센서(158) 및 제어 부(159)의 장애물 감시 면적을 감소시켜 클린 룸(110) 내의 캐리어 저장 장치(140)의 설치 공간을 증가시킬 수 있다.
도 5를 참조하여 캐리어 운송 장치(150)가 직선 구간(102)에 도달하면, 제어 부(159)는 주행 부(152)의 주행을 종료할 것인지를 판별한다(S100). 주행 부(152)의 주행을 종료하지 않으면, 제어 부(159)는 S60 단계 내지 S100 단계를 다시 수행할 수 있다. 주행 부(152)의 주행이 종료되면, 캐리어 운송 장치(150)의 호이스트 부(154) 및 핸드 부(156)는 캐리어(180)를 탑재(loading) 하거나, 캐리어(180)를 적하(unload)할 수 있다.
도 11은 도 1의 레일(118)의 일 예를 보여준다.
도 11을 참조하면, 레일(118)의 곡선 구간(104)은 제 1 곡선 구간(105) 및 제 2 곡선 구간(107)을 포함할 수 있다. 직선 구간(102)은 도 4와 동일하게 구성될 수 있다.
제 1 곡선 구간(105)은 이동 경로(109) 내의 직선 구간(102)에서 분기(branched)될 수 있다. 예를 들어, 제 1 곡선 구간(105)는 캐리어 운송 장치(150)의 이동 경로(109)를 따라, 시계 방향으로 라운드질 수 있다.
제 2 곡선 구간(107)은 제 1 곡선 구간(105)에 연결될 수 있다. 제 2 곡선 구간(107)은 직선 구간(102)과의 연결 없이 제 1 곡선 구간(105)으로부터 변곡(inflected)될 수 있다. 제 2 곡선 구간(107)은 제 1 곡선 구간(105)과 반대 방향으로 라운드질 수 있다. 예를 들어, 제 2 곡선 구간(107)은 이동 경로(109)를 따라 반시계 방향으로 라운드질 수 있다. 제 2 곡선 구간(107)은 직선 구간(102)에 다시 연결될 수 있다.
노드들(106)은 직선 구간(102)과 제 1 곡선 구간(105) 사이에 지정될 수 있다. 또한, 노드들(106)은 제 2 곡선 구간(107)과 직선 구간(102) 사이에 지정될 수 있다. 따라서, 도 3의 이동 경로(109) 내에 곡선 구간(104)이 있는지를 판별하는 단계(S30)는 제 1 곡선 구간(105) 및 제 2 곡선 구간(107)이 있는지를 판별하는 단계를 포함할 수 있다.
가상 노드(108)는 제 2 곡선 구간(107) 내에 지정될 수 있다. 예를 들어, 가상 노드(108)는 제 2 곡선 구간(107)의 중심 내에 지정될 수 있다. 도 3의 곡선 구간(104) 내에 가상 노드(108)를 추가적으로 지정하는 단계(S40)는 제 2 곡선 구간(107) 내에 가상 노드(108)를 추가적으로 지정하는 단계를 포함할 수 있다.
도 12는 도 1의 레일(118)의 일 예를 보여준다.
도 12를 참조하면, 직선 구간(102)은 제 1 직선 구간(101) 및 제 2 직선 구간(103)을 포함할 수 있다. 이동 경로(109) 및 노드들(106)은 도 4와 동일하게 구성될 수 있다.
제 1 직선 구간(101)는 곡선 구간(104)로부터 도 6의 제 2 거리(D2) 이상의 제 1 길이(L1)를 가질 수 있다. 제 1 길이(L1)는 약 400mm 이상일 수 있다. 제 1 직선 구간(101)은 캐리어 저장 장치(140)이 레일(118)에 인접하여 설치되는 구간일 수 있다.
제 2 직선 구간(103)은 제 1 곡선 구간(105)과 제 2 곡선 구간(107) 사이에 제공될 수 있다. 제 2 직선 구간(103)은 제 1 직선 구간(101) 보다 짧고, 레일(118)에 인접하여 캐리어 저장 장치(140)이 설치되지 않는 구간일 수 있다. 예를 들어, 제 2 직선 구간(103)은 제 1 길이(L1)보다 작은 제 2 길이(L2)를 가질 수 있다. 제 2 길이(L2)는 약 400mm 이하일 수 있다.
도 13은 도 1의 캐리어 운송 장치(150)를 주행시키는 단계(S50)의 일 예를 보여준다.
도 13을 참조하면, 제어 부(159)는 캐리어 운송 장치(150)를 레일(118)에 따라 주행시키고(S60), 캐리어 운송 장치(150)가 곡선 구간에 도달했는지를 판별한다(S70).
도 14는 도 11의 제 1 곡선 구간(105) 및 제 2 곡선 구간(107) 내의 캐리어 운송 장치(150)의 일 예를 보여준다.
도 13 및 도 14를 참조하여 캐리어 운송 장치(150)가 곡선 구간(104)의 제 1 곡선 구간(105)에 도달했을 경우, 제어 부(159)는 제 1 감시 패턴(182)에 근거하여 장애물을 감시하여 캐리어 운송 장치(150)를 제 1 곡선 구간(105)에 주행시킨다(S72). 캐리어 운송 장치(150)는 제 1 곡선 구간(105) 내에서 약 1m/sec 내지 약 0.1m/sec의 저속으로 주행할 수 있다.
다음, 제어 부(159)는 캐리어 운송 장치(150)가 제 2 직선 구간(103)에 도달했는지를 판별한다(S74).
캐리어 운송 장치(150)가 제 2 직선 구간(103)에 도달했을 경우, 상황에 따라 제어 부(159)는 장애물의 감시 없이 캐리어 운송 장치(150)를 제 2 직선 구간(103) 내에 주행시킬 수 있다(S76). 캐리어 운송 장치(150)는 제 2 직선 구간(103) 내에서 약 1m/sec 이상의 고속으로 주행할 수 있다. 장애물 감지 센서(158)는 캐리어 운송 장치(150)의 주행 중에 항시 턴온(turned on)되어 예상치 못한 장애물과의 충돌을 방지할 수 있다.
그 다음, 제어 부(159)는 캐리어 운송 장치(150)가 제 2 곡선 구간(107)에 도달했는지를 판별한다(S78).
캐리어 운송 장치(150)가 제 2 곡선 구간(107)에 도달했을 경우, 제어 부(159)는 제 1 감시 패턴(182)에 근거하여 장애물을 감시하여 상기 캐리어 운송 장치(150)를 제 2 곡선 구간(107) 내의 가상 노드(108)까지 주행시킨다(S82). 캐리어 운송 장치(150)는 제 2 곡선 구간(107) 내에서 약 1m/sec 내지 약 0.1m/sec의 저속으로 주행할 수 있다.
캐리어 운송 장치(150)가 가상 노드(108)에 도달하면, 제어 부(159)는 제 2 감시 패턴(184)에 근거하여 장애물을 감시하여 캐리어 운송 장치(150)를 제 2 곡선 구간(107) 내의 가상 노드(108)에서부터 상기 가상 노드(108)에 인접한 노드(106)까지 주행시킨다(S92).
캐리어 운송 장치(150)가 직선 구간(102)에 도달하면, 제어 부(159)는 주행 부(152)의 주행을 종료할 것인지를 판별한다(S100). 주행 부(152)의 주행을 종료하지 않으면, 제어 부(159)는 S60 단계 내지 S100 단계를 다시 수행할 수 있다.
이상, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들 및 응용 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (10)

  1. 캐리어 운송 장치의 이동 경로를 계획하는 단계;
    상기 이동 경로에 대응되는 레일의 노드들을 획득하는 단계;
    상기 노드들 사이에 곡선 구간이 있는지를 판별하는 단계;
    상기 곡선 구간이 있을 경우, 상기 곡선 구간 내에 가상 노드를 추가적으로 지정하는 단계; 및
    상기 노드들과 상기 가상 노드를 이용하여 상기 캐리어 운송 장치를 이동시키는 단계를 포함하되,
    상기 캐리어 운송 장치를 이동시키는 단계는:
    상기 캐리어 운송 장치가 상기 곡선 구간에 도달했는지를 판별하는 단계;
    상기 캐리어 운송 장치가 상기 곡선 구간에 도달했을 경우, 장애물 감지 센서의 제 1 감시 패턴에 근거하여 장애물을 감시하여 상기 캐리어 운송 장치를 상기 가상 노드까지 주행시키는 단계; 및
    상기 제 1 감시 패턴의 면적보다 작은 면적을 갖는 제 2 감시 패턴에 근거하여 상기 장애물을 감시하여 상기 캐리어 운송 장치를 상기 가상 노드에서부터 상기 가상 노드에 인접한 상기 노드들 중의 하나에까지 주행시키는 단계를 포함하는 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 감시 패턴은 제 1 각도 및 제 1 반지름을 갖는 제 1 부채꼴 패턴을 포함하는 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 각도는 90도 이상을 포함하고,
    상기 제 1 반지름은 50cm 내지 1m인 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 감시 패턴은 상기 제 1 각도보다 작은 제 2 각도와, 상기 제 1 반지름과 동일한 제 2 반지름을 갖는 제 2 부채꼴 패턴을 포함하는 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 각도는 22.5도 이하를 포함하는 캐리어 운송 장치의 제어 방법..
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가상 노드는 상기 곡선 구간의 중심에 지정되는 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 곡선 구간은:
    제 1 곡선 구간; 및
    상기 제 1 곡선 구간에 연결되고, 상기 제 1 곡선 구간으로부터 변곡된 제 2 곡선 구간을 포함하되,
    상기 가상 노드는 상기 제 2 곡선 구간의 중심에 지정되는 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 캐리어 운송 장치를 이동시키는 단계는:
    상기 제 1 감시 패턴에 근거하여 상기 장애물을 감시하여 상기 제 1 곡선 구간을 주행시키는 단계; 및
    상기 캐리어 운송 장치가 상기 제 2 곡선 구간에 도달했는지를 판별하는 단계를 더 포함하는 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 직선 구간은:
    제 1 직선 구간; 및
    상기 제 1 직선 구간과 분리되어 상기 제 1 곡선 구간과 상기 제 2 곡선 구간 사이에 제공되는 제 2 직선 구간을 포함하는 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 캐리어 운송 장치를 이동시키는 단계는:
    상기 캐리어 운송 장치가 상기 제 2 직선 구간에 도달했는지를 판별하는 단계; 및
    상기 캐리어 운송 장치가 상기 제 2 직선 구간에 도달했을 경우, 상기 캐리어 운송 장치를 상기 제 2 직선 구간 내에 주행시키는 단계를 더 포함하는 캐리어 운송 장치의 제어 방법.
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