KR20220036710A - 기판 이송 시스템 및 이의 기판 정렬 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상으로 인한 기판 충돌 현상을 방지할 수 있게 하는 기판 이송 시스템 및 이의 기판 정렬 장치에 관한 것으로서, 기판을 이송하는 컨베이어 장치; 상기 컨베이어 장치의 일측 방향에 설치되고, 상기 컨베이어 장치에 의해 이송된 상기 기판을 처리하는 기판 처리 장치; 및 상기 기판 처리 장치에 의해 처리된 상기 기판에 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상이 발생되어 상기 기판의 일부분이 상기 기판 처리 장치와 충돌되는 것을 방지할 수 있도록 상기 컨베이어 장치의 타측 방향에 설치되고, 상기 기판의 형상을 강제로 정렬하는 기판 정렬 장치;를 포함할 수 있다.

Description

기판 이송 시스템 및 이의 기판 정렬 장치{Substrate transfer system and its substrate aligning apparatus}
본 발명은 기판 이송 시스템 및 이의 기판 정렬 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상으로 인한 기판 충돌 현상을 방지할 수 있게 하는 기판 이송 시스템 및 이의 기판 정렬 장치에 관한 것이다.
유리 기판 등 대면적의 기판을 세정하기 위한 기판 세정 장치들 중에서 대기압 플라즈마를 이용하여 스캔 방식으로 기판의 이물질들을 제거할 수 있는 대기압 플라즈마 기판 처리 장치가 사용되고 있다.
이러한 기판 처리 장치는 컨베이어 장치에 이해 이송되는 기판의 표면에 대기압 플라즈마 가스를 분사하여 이물질을 제거하는 장치로서, 플라즈마 가스로 인하여 공정 중에 국부적으로 기판의 온도가 상승하게 되면 열팽창 계수의 차이 때문에 기판의 일부분이 변형되는 워피지(warpage, 휨) 현상이 발생될 수 있다.
이처럼, 워피지 현상이 발생된 기판은 그 일부분이 정상 위치인 컨베이어 장치의 롤러로부터 비정상적으로 이격되는 기판 들림 현상으로 인해 이송 도중에 기판 처리 장치와 충돌되어 파손되는 등의 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 진공 척킹 장치를 이용하여 기판을 강제로 정렬시킬 수 있어서 기판의 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상으로 인한 기판 충돌 현상을 방지할 수 있게 하는 기판 이송 시스템 및 이의 기판 정렬 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 기판 이송 시스템은, 기판을 이송하는 컨베이어 장치; 상기 컨베이어 장치의 일측 방향에 설치되고, 상기 컨베이어 장치에 의해 이송된 상기 기판을 처리하는 기판 처리 장치; 및 상기 기판 처리 장치에 의해 처리된 상기 기판에 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상이 발생되어 상기 기판의 일부분이 상기 기판 처리 장치와 충돌되는 것을 방지할 수 있도록 상기 컨베이어 장치의 타측 방향에 설치되고, 상기 기판의 형상을 강제로 정렬하는 기판 정렬 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 기판 정렬 장치는, 진공압을 이용하여 비접촉 방식으로 상기 기판을 상기 컨베이어 장치에 밀착시키는 진공 척킹 장치를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 진공 척킹 장치는, 내부에 저압 공간이 형성되고, 상기 기판의 폭 방향으로 길게 형성되는 진공 본체; 상기 진공 본체의 기판 대향면에 형성되고, 상기 기판을 끌어당기는 흡입 기류 및 냉각 기류를 형성할 수 있도록 주변 공기를 흡입하는 공기 흡입부; 및 상기 진공 본체의 일면에 형성되는 배기 라인;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 공기 흡입부는, 상기 진공 본체의 길이 방향으로 길게 형성되는 흡입 슬릿일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 흡입 슬릿은, 상기 기판의 진행 방향을 기준으로 전방에 형성되는 제 1 슬릿; 및 흡입 면압을 높이기 위해 상기 제 1 슬릿으로부터 면압 거리만큼 후방으로 이격되게 형성되는 제 2 슬릿;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 컨베이어 장치는, 상기 기판과 접촉되어 롤러축을 기준으로 회전되는 적어도 하나의 롤러로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 기판 정렬 장치는, 상기 컨베이어 장치의 롤러축과 이웃하는 다른 롤러축 사이에 설치되고, 상기 기판 처리 장치의 하방 영역에서 중심선을 기준으로 후방 영역에 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 기판 처리 장치는, 상기 기판의 표면에 대기압 플라즈마를 발생시켜서 이물질을 제거하는 대기압 플라즈마 처리 장치일 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 기판 정렬 장치는, 기판 처리 장치에 의해 처리된 기판에 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상이 발생되어 상기 기판의 일부분이 상기 기판 처리 장치와 충돌되는 것을 방지할 수 있도록 컨베이어 장치의 일측 방향에 설치되고, 상기 기판의 형상을 강제로 정렬할 수 있도록 진공압을 이용하여 비접촉 방식으로 상기 기판을 상기 컨베이어 장치에 밀착시키는 진공 척킹 장치를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 진공 척킹 장치는, 내부에 저압 공간이 형성되고, 상기 기판의 폭 방향으로 길게 형성되는 진공 본체; 상기 진공 본체의 기판 대향면에 형성되고, 상기 기판을 끌어당기는 흡입 기류 및 냉각 기류를 형성할 수 있도록 주변 공기를 흡입하는 공기 흡입부; 및 상기 진공 본체의 일면에 형성되는 배기 라인;을 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 진공 척킹 장치를 이용하여 기판을 강제로 정렬시킬 수 있어서 기판의 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상으로 인한 기판 충돌 현상을 방지할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 이송 시스템 및 이의 기판 정렬 장치를 개념적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 기판 이송 시스템의 기판 정렬 장치를 확대하여 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판 이송 시스템의 기판 정렬 장치를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1의 기판 이송 시스템 및 이의 기판 정렬 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접 연결되어", 또는 "직접 커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.
또한, "상의" 또는 "위의" 및 "하의" 또는 "아래의"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 소자의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 소자가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면 상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면 상에 방향을 가지게 된다. 그러므로, 예로써 든 "상의"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "하의" 및 "상의" 방향 모두를 포함할 수 있다. 소자가 다른 방향으로 향한다면(다른 방향에 대하여 90도 회전), 본 명세서에 사용되는 상대적인 설명들은 이에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 이송 시스템(100) 및 이의 기판 정렬 장치(30)를 개념적으로 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1의 기판 이송 시스템(100)의 기판 정렬 장치(30)를 확대하여 나타내는 단면도이고, 도 3은 도 1의 기판 이송 시스템(100)의 기판 정렬 장치(30)를 나타내는 평면도이고, 도 4는 도 1의 기판 이송 시스템(100) 및 이의 기판 정렬 장치(30)의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 이송 시스템(100)은, 크게 컨베이어 장치(10)와, 기판 처리 장치(20) 및 기판 정렬 장치(30)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 컨베이어 장치(10)는, 상기 기판 처리 장치(20)의 기판 처리 영역을 기판(1)이 스캔 방식으로 간헐적 또는 연속적으로 지나갈 수 있도록 상기 기판(1)을 이송할 수 있는 장치이다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 컨베이어 장치(10)는, 상기 기판(1)과 접촉되어 롤러축(RS)을 기준으로 회전되는 적어도 하나의 롤러(R)들이 일렬로 나란하게 배치되어 이루어지는 롤러 방식의 컨베이어 장치일 수 있다.
여기서, 이러한 상기 롤러(R)들은 금속 재질의 상기 롤러축(RS)에 의해 회전되고, 상기 기판(1)과의 마찰력을 향상시키고, 충격으로 인한 파손이나 마모를 줄이기 위해서, 상기 기판(1)과 접촉되는 부분에 우레탄이나 실리콘 등의 탄성 재질로 충격 완화층이 형성될 수 있다.
또한, 상기 롤러축(RS)은 모터의 회전력을 전달하는 마그네틱 커플링이나 체인이나 기어 등의 동력 전달 장치들을 이용하여 상기 롤러(R)와 함께 회전될 수 있다.
그러나, 이러한 상기 롤러축(RS) 및 상기 롤러(R)의 형태 및 종류는 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형태 및 종류의 컨베이어 장치가 모두 적용될 수 있다.
따라서, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판(1)은 상기 컨베이어 장치(10)에 의해서 상기 기판 처리 장치(20)의 기판 처리 영역을 스캔 방식으로 간헐적 또는 연속적으로 지나갈 수 있고, 상기 기판 처리 장치(20)는 이송 도중에 상기 기판(1)의 표면을 처리할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판 처리 장치(20)는, 상기 컨베이어 장치(10)의 일측 방향(상방)에 설치되고, 상기 컨베이어 장치(10)에 의해 이송된 상기 기판(1)을 처리하는 장치일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판 처리 장치(20)는, 상기 기판(1)의 표면에 대기압 상태에서 플라즈마(P)를 발생시켜서 상기 기판(1)의 표면에 잔류하는 이물질을 제거할 수 있는 대기압 플라즈마 처리 장치일 수 있다.
그러나, 이러한 상기 기판 처리 장치(20)의 형태 및 종류는 도면에 반드시 국한되지 않고, 상기 컨베이어 장치(10)에 의해 이송되는 도중에 상기 기판(1)을 처리할 수 있는 매우 다양한 형태 및 종류의 기판 처리 장치들이 모두 적용될 수 있다.
한편, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판 정렬 장치(30)는, 상기 기판 처리 장치(20)에 의해 처리된 상기 기판(1)에 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상이 발생되어 상기 기판(1)의 일부분이 상기 기판 처리 장치(20)와 충돌되는 것을 방지할 수 있도록 상기 컨베이어 장치(10)의 타측 방향에 설치되고, 상기 기판(1)의 형상을 강제로 정렬하는 장치일 수 있다.
예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판 정렬 장치(30)는, 진공압을 이용하여 비접촉 방식으로 상기 기판(1)을 상기 컨베이어 장치(10)에 밀착시키는 진공 척킹 장치(31)일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 진공 척킹 장치(31)는, 내부에 저압 공간(A)이 형성되고, 상기 기판(1)의 폭 방향으로 길게 형성되는 박스 형태의 진공 본체(311)와, 상기 진공 본체(311)의 기판 대향면(311a), 즉 상면에 형성되고, 상기 기판(1)을 끌어당기는 흡입 기류 및 냉각 기류를 형성할 수 있도록 주변 공기를 흡입하는 공기 흡입부(312) 및 상기 진공 본체(311)의 일면에 형성되는 배기 라인(313)을 포함할 수 있다.
여기서, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 진공 본체(311)는 도면에 도시된 바와 같이, 길이 방향으로 긴 사각 박스 형상으로 예시되었나, 이에 반드시 국한되지 않고, 예컨대, 원형 파이프 형상이나 다각 파이프 형상 등 매우 다양한 형상이나 종류의 중공 구조체가 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 공기 흡입부(312)는, 상기 진공 본체(311)의 길이 방향으로 길게 형성되는 흡입 슬릿(S)일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 흡입 슬릿(S)은, 상기 기판(1)의 진행 방향을 기준으로 전방에 형성되는 제 1 슬릿(S1) 및 흡입 면압을 높이기 위해 상기 제 1 슬릿(S1)으로부터 면압 거리(L)만큼 후방으로 이격되게 형성되는 제 2 슬릿(S2)을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 제 1 슬릿(S1)과 상기 제 2 슬릿(S2) 사이의 상기 면압 거리(L)를 형성하여 비접촉 방식에서도 흡입 면압을 증대시킬 수 있고, 상기 기판(1)에 적용되는 흡입 기류의 압력을 분산시켜서 상기 기판(1)에 작용하는 외력을 최소화할 수 있다.
그러나, 이러한 상기 공기 흡입부(312)의 형태 및 종류는 도면에 도시된 슬릿에 반드시 국한되지 않고, 슬릿의 폭이 길이에 따라 변하는 다폭형 슬릿이거나, 일렬 또는 다열로 배치된 복수개의 구멍이나 홈 등 다양한 형태 및 종류의 비접촉식 흡입부들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 배기 라인(313)은 상기 진공 본체(311)의 좌우 측면에 형성되는 흡입관을 포함할 수 있다.
그러나, 이러한 상기 흡입관은 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 예컨대, 상기 진공 본체(311)의 중간에 일정한 거리를 두고 복수개가 설치되는 등 매우 다양한 위치와 형태의 배기 라인이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판 정렬 장치(30)는, 상기 컨베이어 장치(10)의 롤러축(RS)과 이웃하는 다른 롤러축(RS) 사이에 설치되고, 상기 기판 처리 장치(20)의 하방 영역에서 중심선(C)을 기준으로 후방 영역(E)에 적어도 일부분이 설치될 수 있다.
따라서, 상기 기판 정렬 장치(30)의 위치가 상기 후방 영역(E)에 형성되어 있기 때문에, 상기 기판(1)이 상기 기판 처리 장치(20)의 기판 처리 영역을 빠져나가는 순간, 상기 기판 정렬 장치(30)가 상기 기판(1)을 상기 롤러(R)에 밀착 및 정렬시켜서 상기 기판(1)이 상기 기판 처리 장치(20)와 충돌되는 것을 방지할 수 있다.
그러나, 이러한 상기 기판 정렬 장치(30)의 설치 위치나 설치 개수는 이에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 예컨대, 상기 기판 처리 장치(20)의 전방이나 후방에 각각 설치되는 등 다양한 위치와 개수로 설치될 수 있다.
한편, 본 발명은 상술된 본 발명의 상기 기판 이송 시스템(100)의 기판 정렬 장치(30)를 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 정렬 장치(30)는, 기판 처리 장치(20)에 의해 처리된 기판(1)에 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상이 발생되어 상기 기판(1)의 일부분이 상기 기판 처리 장치(20)와 충돌되는 것을 방지할 수 있도록 컨베이어 장치(10)의 일측 방향에 설치되고, 상기 기판(1)의 형상을 강제로 정렬할 수 있도록 진공압을 이용하여 비접촉 방식으로 상기 기판(1)을 상기 컨베이어 장치(10)에 밀착시키는 진공 척킹 장치(31)를 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 진공 척킹 장치(31)는, 내부에 저압 공간(A)이 형성되고, 상기 기판(1)의 폭 방향으로 길게 형성되는 진공 본체(311)와, 상기 진공 본체(311)의 기판 대향면(311a)에 형성되고, 상기 기판(1)을 끌어당기는 흡입 기류 및 냉각 기류를 형성할 수 있도록 주변 공기를 흡입하는 공기 흡입부(312) 및 상기 진공 본체(311)의 일면에 형성되는 배기 라인(313)을 포함할 수 있다.
이러한 상기 진공 척킹 장치(31)는 상술된 본 발명의 기판 이송 시스템(100)의 진공 척킹 장치(31)의 그것들과 그 구성 및 역할이 동일할 수 있다. 따라서, 상세한 설명은 생략하기로 한다.
그러므로, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 상기 기판 이송 시스템(100) 및 이의 기판 정렬 장치(30)는, 진공 척킹 장치를 이용하여 기판을 강제로 정렬시킬 수 있어서 기판의 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상으로 인한 기판 충돌 현상을 방지할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 기판
P: 플라즈마
10: 컨베이어 장치
20: 기판 처리 장치
30: 기판 정렬 장치
31: 진공 척킹 장치
311: 진공 본체
311a: 기판 대향면
312: 공기 흡입부
313: 배기 라인
A: 저압 공간
S: 흡입 슬릿
S1: 제 1 슬릿
S2: 제 2 슬릿
L: 면압 거리
R: 롤러
RS: 롤러축
C: 중심선
E: 후방 영역
100: 기판 이송 시스템

Claims (10)

  1. 기판을 이송하는 컨베이어 장치;
    상기 컨베이어 장치의 일측 방향에 설치되고, 상기 컨베이어 장치에 의해 이송된 상기 기판을 처리하는 기판 처리 장치; 및
    상기 기판 처리 장치에 의해 처리된 상기 기판에 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상이 발생되어 상기 기판의 일부분이 상기 기판 처리 장치와 충돌되는 것을 방지할 수 있도록 상기 컨베이어 장치의 타측 방향에 설치되고, 상기 기판의 형상을 강제로 정렬하는 기판 정렬 장치;
    를 포함하는, 기판 이송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 정렬 장치는,
    진공압을 이용하여 비접촉 방식으로 상기 기판을 상기 컨베이어 장치에 밀착시키는 진공 척킹 장치를 포함하는, 기판 이송 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 진공 척킹 장치는,
    내부에 저압 공간이 형성되고, 상기 기판의 폭 방향으로 길게 형성되는 진공 본체;
    상기 진공 본체의 기판 대향면에 형성되고, 상기 기판을 끌어당기는 흡입 기류 및 냉각 기류를 형성할 수 있도록 주변 공기를 흡입하는 공기 흡입부; 및
    상기 진공 본체의 일면에 형성되는 배기 라인;
    을 포함하는, 기판 이송 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 공기 흡입부는,
    상기 진공 본체의 길이 방향으로 길게 형성되는 흡입 슬릿인, 기판 이송 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 흡입 슬릿은,
    상기 기판의 진행 방향을 기준으로 전방에 형성되는 제 1 슬릿; 및
    흡입 면압을 높이기 위해 상기 제 1 슬릿으로부터 면압 거리만큼 후방으로 이격되게 형성되는 제 2 슬릿;
    을 포함하는, 기판 이송 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨베이어 장치는,
    상기 기판과 접촉되어 롤러축을 기준으로 회전되는 적어도 하나의 롤러로 이루어지는, 기판 이송 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판 정렬 장치는,
    상기 컨베이어 장치의 롤러축과 이웃하는 다른 롤러축 사이에 설치되고, 상기 기판 처리 장치의 하방 영역에서 중심선을 기준으로 후방 영역에 적어도 일부분이 설치되는, 기판 이송 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 기판의 표면에 대기압 플라즈마를 발생시켜서 이물질을 제거하는 대기압 플라즈마 처리 장치인, 기판 이송 시스템.
  9. 기판 처리 장치에 의해 처리된 기판에 워피지(휨) 현상 또는 들림 현상이 발생되어 상기 기판의 일부분이 상기 기판 처리 장치와 충돌되는 것을 방지할 수 있도록 컨베이어 장치의 일측 방향에 설치되고, 상기 기판의 형상을 강제로 정렬할 수 있도록 진공압을 이용하여 비접촉 방식으로 상기 기판을 상기 컨베이어 장치에 밀착시키는 진공 척킹 장치를 포함하는, 기판 정렬 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 진공 척킹 장치는,
    내부에 저압 공간이 형성되고, 상기 기판의 폭 방향으로 길게 형성되는 진공 본체;
    상기 진공 본체의 기판 대향면에 형성되고, 상기 기판을 끌어당기는 흡입 기류 및 냉각 기류를 형성할 수 있도록 주변 공기를 흡입하는 공기 흡입부; 및
    상기 진공 본체의 일면에 형성되는 배기 라인;
    을 포함하는, 기판 정렬 장치.
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