KR20220021950A - Inspection equipment for inspecting foldable display device and stage apparatus used therein - Google Patents

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Abstract

Provided are a stage device for supporting a foldable display device and an inspection device having the same applied thereto, the stage device comprising: a base frame; a supporting part combined with the upper end of the base frame and including a first supporter and a second supporter for supporting a first side, which is one side of a foldable display device, and a second side, which is the other side; a movement part for moving at least one supporter included in the supporting part; a sensing part arranged between the supporter moved by the movement part and the movement part to sense pressure applied to the foldable display device by the operation of the movement part; and a control part for controlling each of the parts. The control part monitors the sensing value of the sensing part and controls the operation of the movement part so that the entire area of the foldable display device can be spread in a flat position.

Description

폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 그에 사용되는 스테이지장치 {INSPECTION EQUIPMENT FOR INSPECTING FOLDABLE DISPLAY DEVICE AND STAGE APPARATUS USED THEREIN}Inspection equipment for inspecting a foldable display device and a stage device used therefor

본 발명은 폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비에 적용되어서 검사되어야할 폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치에 관한 것이다. The present invention relates to a stage device for supporting a foldable display element to be inspected by being applied to inspection equipment for inspecting the foldable display element.

디스플레이 장치는 화면을 통해 사용자에게 뉴스, 사진 또는 영상과 같은 각종의 시각적 컨텐츠를 제공한다. 이러한, 디스플레이 장치로는 TV, 모니터, 스마트폰, 테블릿PC, 스마트 워치, 자동차용 디스플레이 장치 등이 고려될 수 있다. A display device provides various types of visual content, such as news, photos, or images, to a user through a screen. As such a display device, a TV, a monitor, a smart phone, a tablet PC, a smart watch, a display device for a vehicle, etc. may be considered.

최근, 디스플레이 장치를 구성하는 화면 즉, 디스플레이 분야는 더 선명하고 더 큰 광폭 화면으로 시각적 컨텐츠를 감상할 수 있는 방향으로 발전하고 있으며, 이러한 연구들 중 하나로 유연하게 휘어지거나 접힐 수 있는 디스플레이(예컨대, foldable display)가 제시된 바 있다. Recently, the screen constituting the display device, that is, the display field is developing in the direction of viewing visual content on a clearer and larger wide screen, and one of these studies is a display that can be flexibly bent or folded (eg, foldable display) has been proposed.

이러한 폴더블 디스플레이소자는 형태 변형을 통해 공간 활용성을 높일 수 있는데, 대표적으로, 초박막 글라스(Ultra Thin Glass; UTG)와 투명폴리이미드(Colorless Polyimide ;CPI)가 있다. 이 중 초박막 글라스는 얇은 두께로 구부리기 용이하면서도 유리 본연의 강도와 투명함을 그대로 지니는데, 유리라는 특성상 접혔다 폈을 경우 주름이 남지 않고 보다 선명한 화면을 제공할 수 있으며, 최근 출시된 폴더블 스마트폰의 커버 윈도우(Cover Window)로 적용된 바 있다. Such a foldable display device can increase space utilization through shape transformation, and representative examples include Ultra Thin Glass (UTG) and Colorless Polyimide (CPI). Among them, ultra-thin glass is thin and easy to bend, yet retains the original strength and transparency of glass. It has been applied as a cover window of

한편, 디스플레이소자들은 표면의 이물이나 스크래치 또는 찍힘 등을 검사하기 위한 표면 검사가 수행되어야만 이들로 구성되는 디스플레이 장치가 최종적으로 양호한 상태의 완제품으로 생산될 수 있다. On the other hand, the display device can be finally produced as a finished product in good condition only when the surface inspection is performed to inspect the surface of the display elements, such as foreign substances, scratches or dents.

이때, 디스플레이소자를 검사하기 위한 일반적인 검사장비는 라인스캔카메라가 스테이지장치에 적재된 디스플레이소자의 평면을 스캔하고, 카메라에 의해 촬영된 이미지 분석을 통해 검사하고자 하는 디스플레이소자의 양부를 판단하게 된다. 즉, 스테이지장치는 라인스캔카메라에 의해 디스플레이가 적절히 스캔될 수 있도록 적재된 디스플레이를 바르게 떠받칠 수 있는 구성으로 마련되어야 한다.In this case, in general inspection equipment for inspecting the display element, a line scan camera scans the plane of the display element loaded on the stage device, and determines the quality of the display element to be inspected through image analysis taken by the camera. That is, the stage device must be provided in a configuration that can properly support the loaded display so that the display can be properly scanned by the line scan camera.

도1은 종래의 스테이지장치(SA)를 설명하기 위해 예시한 것으로, 도1을 참조하면, 종래의 스테이지장치(SA)는 검사되어야할 검사대상체 즉, 디스플레이소자(DD)의 양단을 흡착하거나, 파지한 뒤 일정 간격을 벌려서 적재된 디스플레이소자(DD)를 평평하게 펴도록 마련된다. 좀더 구체적으로 설명하면, 종래의 스테이지장치(SA)는 검사되어야할 디스플레이소자(DD)의 양단을 각각 지지하기 위한 지지기(SU)를 구비하는데, 한 변에 단일의 지지기(SU)가 배치되어, 디스플레이소자(DD)의 양단을 지지하고 검사 중 디스플레이소자(DD)가 적절하게 펼쳐지도록 구성되는 것이 일반적이다.1 is an illustration for explaining a conventional stage device SA. Referring to FIG. 1 , the conventional stage device SA adsorbs both ends of an object to be inspected, that is, a display device DD, or It is provided to flatten the stacked display devices DD by spaced apart from each other after being gripped. More specifically, the conventional stage device SA includes supporters SU for supporting both ends of the display device DD to be inspected, respectively, and a single supporter SU is disposed on one side. Thus, it is generally configured to support both ends of the display device DD and to properly unfold the display device DD during inspection.

이때, 폴더블 디스플레이소자의 경우, 화면 크기가 가변될 수 있도록 제작됨에 따라, 종래 스테이지장치(SA)에서 검사가 이루어지던 디스플레이소자(DD) 대비 그 인치(inch)가 커지다보니 한 변의 길이 또한 길어지게 되어, 종래 스테이지장치(SA)로는 검사 중 적재된 폴더블 디스플레이소자의 평탄도가 유지될 수 있도록 지지하는데 한계가 존재하였고, 적재된 폴더블 디스플레이소자의 양단간 간격이 넓어 중간지점에서 중력과 장력에 의한 처짐이 발생할 수 있었다.At this time, in the case of the foldable display device, as the screen size is made to be variable, the length of one side is also longer because the inch is larger compared to the display device DD, which was inspected in the conventional stage device SA. Therefore, there was a limit in supporting the stacked foldable display device so that the flatness of the loaded foldable display device could be maintained with the conventional stage device SA, and the distance between both ends of the loaded foldable display device was wide, so gravity and tension at the midpoint deflection could occur.

이러한 한계로 인해, 폴더블 디스플레이소자가 종래 스테이지장치에 적용될 경우에는 쳐지거나 휘어진 상태로 적재될 수밖에 없어 검사 결과의 신뢰성이 낮아지게 되므로, 검사 중 폴더블 디스플레이소자의 전 면적에 걸쳐 평탄도를 유지시킬 수 있는 스테이지장치가 요구되는 실정이다.Due to this limitation, when the foldable display device is applied to a conventional stage device, it is inevitably loaded in a sagging or bent state, thereby lowering the reliability of the test result, thereby maintaining flatness over the entire area of the foldable display device during the test. There is a need for a stage device that can do this.

그러나, 폴더블 디스플레이소자에 적합한 스테이지장치에 관한 선행기술은 전무한 상태이며, 검사되어야할 검사대상체를 평평한 상태로 교정 및 유지하는데 있어서, 앞서 설명한 종래 스테이지장치가 그대로 적용되기에는 곤란하다.However, there is no prior art on a stage device suitable for a foldable display device, and it is difficult to apply the conventional stage device as described above in correcting and maintaining an inspection object to be inspected in a flat state.

대한민국 공개특허공보 제10-2012-0010801호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2012-0010801 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0016576호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2007-0016576 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0078958호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2011-0078958 대한민국 등록특허공보 제10-2071357호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2071357

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 검사되어야할 폴더블 디스플레이소자를 전 면적에 걸쳐서 평평한 상태로 교정 및 유지되도록 지지하는 스테이지장치 및 이를 적용한 폴더블 디스플레이소자용 검사장비를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a stage device that supports a foldable display device to be inspected to be calibrated and maintained in a flat state over the entire area, and inspection equipment for a foldable display device to which the same is applied. There is this.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치는 베이스프레임; 상기 베이스프레임 상단에 결합되며, 폴더블 디스플레이소자(foldable display device)의 일 측인 제1 변(邊)과 타 측인 제2 변(邊)을 흡착 지지하기 위한 제1 지지기 및 제2 지지기를 포함하는 지지부; 상기 지지부에 구비된 적어도 어느 하나의 지지기를 이동시키기 위한 이동부; 상기 이동부에 의해 이동되는 지지기와 이동부 사이에 배치되어, 상기 이동부의 동작에 의해 상기 폴더블 디스플레이소자에 적용되는 압력을 센싱하기 위한 센싱부; 및 상기한 각부를 제어하기 위한 제어부; 를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 센싱부의 센싱값을 모니터링하여, 상기 폴더블 디스플레이소자의 전 면적이 평평하게 펼쳐지도록 상기 이동부의 동작을 제어할 수 있다.In order to achieve this object, a stage device for supporting a foldable display device according to an embodiment of the present invention includes a base frame; It is coupled to the upper end of the base frame and includes a first supporter and a second supporter for adsorbing and supporting a first side that is one side of a foldable display device and a second side that is the other side of the foldable display device. to support; a moving unit for moving at least one of the supporting units provided in the supporting unit; a sensing unit disposed between the moving unit and the supporting unit moved by the moving unit to sense the pressure applied to the foldable display device by the operation of the moving unit; and a control unit for controlling the respective units. Including, the control unit may monitor the value sensed by the sensing unit to control the operation of the moving unit so that the entire area of the foldable display device is spread flat.

여기서, 상기 제1 지지기는, 상기 폴더블 디스플레이소자의 제1 변을 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공구멍들이 형성되어 있는 적어도 하나 이상의 흡착 플레이트; 및 상기 베이스프레임 상단에 결합되어, 상기 적어도 하나 이상의 흡착 플레이트를 지지하는 하부프레임; 을 포함할 수 있다.Here, the first support unit may include: at least one suction plate having vacuum holes formed thereon for adsorbing and supporting the first side of the foldable display device by vacuum suction force; and a lower frame coupled to an upper end of the base frame to support the at least one suction plate; may include

그리고, 상기 제2 지지기는, 상기 이동부에 의해 이동이 이루어지며, 상기 폴더블 디스플레이소자의 제2 변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 이동유닛; 을 구비하고, 상기 이동유닛은, 상기 폴더블 디스플레이소자를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍들이 형성되어 있는 흡착 플레이트; 상기 흡착 플레이트를 지지하기 위한 지지프레임; 및 상단이 상기 지지프레임의 하단과 마주 접하되, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임; 을 포함할 수 있다.The second support unit may include at least one moving unit which is moved by the moving unit and is configured to adsorb and support a second side of the foldable display device; wherein the moving unit includes: a suction plate having vacuum holes for adsorbing and supporting the foldable display device by a vacuum suction force; a support frame for supporting the suction plate; and a moving frame having an upper end facing the lower end of the support frame, the lower end of which is movably coupled to the base frame; may include

이때, 상기 제2 지지기는, 적어도 3개 이상의 이동유닛을 구비하여 상기 폴더블 디스플레이소자의 제2 변을 흡착 지지할 수 있다.In this case, the second supporter may include at least three or more moving units to adsorb and support the second side of the foldable display device.

또한, 상기 지지부는, 상기 폴더블 디스플레이 소자의 제1 변과 인접한 제3 변(邊)을 흡착 지지하며, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 제3 지지기; 및 상기 제3 변과 대향하는 제 4변(邊)을 흡착 지지하며, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 제4 지지기; 를 더 포함할 수 있다.The support unit may include: a third supporter that adsorbs and supports a third side adjacent to the first side of the foldable display device, the lower end of which is movably coupled to the base frame; and a fourth supporter for adsorbing and supporting a fourth side opposite to the third side, the lower end of which is movably coupled to the base frame; may further include.

여기서, 상기 제3 지지기 및 제4 지지기는, 상기 이동부에 의해 이동이 이루어지며, 각각 상기 폴더블 디스플레이소자의 제3 변 및 제4 변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 이동유닛; 을 구비하고, 상기 이동유닛은, 상기 폴더블 디스플레이소자를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍들이 형성되어 있는 흡착 플레이트; 상기 흡착 플레이트를 지지하기 위한 지지프레임; 및 상단이 상기 지지프레임의 하단과 마주 접하되, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임; 을 포함할 수 있다.Here, the third supporter and the fourth supporter may include at least one moving unit which is moved by the moving part and is configured to adsorb and support a third side and a fourth side of the foldable display device, respectively; It is provided with, the mobile unit, a suction plate having vacuum holes for adsorbing and supporting the foldable display device by a vacuum suction force; a support frame for supporting the suction plate; and a moving frame having an upper end facing the lower end of the support frame, the lower end of which is movably coupled to the base frame; may include

그리고, 상기 이동부는, 상기 제2 지지기, 제3 지지기 및 제4 지지기 중 적어도 어느 하나의 지지기가 구비하는 이동유닛과 결합되어, 이를 이동시키기 위한 이동기; 를 구비하며, 상기 이동기는, 상기 이동유닛을 이동시키기 위한 피스톤이 인출되는 실린더; 및 상기 실린더에 구동력을 제공하기 위한 모터; 를 포함하고, 상기 이동기는 각 지지기에 구비된 이동유닛과 대응되는 수로 구비되어, 각각의 이동유닛과 일대일 결합될 수 있다.The moving unit may include: a moving unit coupled to a moving unit provided in at least one of the second supporting unit, the third supporting unit, and the fourth supporting unit, and configured to move the moving unit; A cylinder comprising: a cylinder from which a piston for moving the moving unit is drawn; and a motor for providing a driving force to the cylinder. Including, wherein the mobile unit is provided in a number corresponding to the number of moving units provided in each support, can be coupled to each mobile unit one-to-one.

참고로, 상기 폴더블 디스플레이소자는 초박막 글라스(Ultra Thin Glass; UTG)로 마련될 수 있다.For reference, the foldable display device may be made of ultra-thin glass (UTG).

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비는 상기한 스테이지장치를 적용함으로써 쉽게 구현될 수 있다.Meanwhile, the inspection equipment for inspecting the foldable display device according to an embodiment of the present invention can be easily implemented by applying the above-described stage device.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과가 있다.As described above, according to the present invention, there are the following effects.

첫째, 화면 크기가 가변될 수 있도록 제작된 폴더블 디스플레이소자를 흡착 지지하는데 있어, 본 발명이 제시하는 스테이지장치는, 폴더블 디스플레이소자의 양단을 흡착 지지하되, 흡착 지지되는 폴더블 디스플레이소자의 적어도 어느 한 변에 다수개의 흡착 플레이트를 배치한 뒤 이들을 이동시켜 적재된 폴더블 디스플레이소자를 인장시키거나, 폴더블 디스플레이소자의 네 변을 각각 흡착 지지하기 위한 다수의 흡착 스테이지를 구비하고 이들을 이동시켜 적재된 폴더블 디스플레이소자를 인장시킴으로써, 검사 중 폴더블 디스플레이소자의 평탄도가 유지되도록 지지할 수 있다.First, in adsorbing and supporting a foldable display device manufactured so that the screen size can be changed, the stage device proposed by the present invention adsorbs and supports both ends of the foldable display device, but at least Placing a plurality of adsorption plates on one side and moving them to tension the loaded foldable display device, or having a plurality of adsorption stages for adsorbing and supporting each of the four sides of the foldable display device and moving them to load By stretching the foldable display device, it is possible to support the foldable display device so that flatness of the display device is maintained during inspection.

둘째, 본 발명이 제시하는 스테이지장치가 구비한 다수의 지지기들에 구비된 흡착 플레이트들을 이동시킬 경우에, 폴더블 디스플레이소자에 적용되는 압력을 센싱하기 위한 센싱부와 센싱부의 센싱 결과를 모니터링하여, 지지기들을 이동시키기 위해 구비되는 이동기의 동작을 개별 제어함으로써, 각 지지기들의 이동 시 발생하는 인장력 차이를 해소하며 적재된 폴더블 디스플레이소자가 전 면적에 걸쳐서 평평한 상태로 교정 및 유지되도록 지지할 수 있다.Second, in the case of moving the adsorption plates provided on the plurality of supports provided in the stage device proposed by the present invention, the sensing unit for sensing the pressure applied to the foldable display device and the sensing result of the sensing unit are monitored, By individually controlling the operation of the mover provided to move the supporters, the difference in tensile force generated when each supporter is moved can be resolved and the loaded foldable display device can be supported so that it is corrected and maintained in a flat state over the entire area. there is.

셋째, 폴더블 디스플레이소자의 검사 공정이 이루어지는 동안 평평한 상태를 지속적으로 유지함에 따라 본 발명의 스테이지장치가 적용된 검사장비에서 그 검사의 신뢰성이 담보될 수 있다.Third, since the flat state is continuously maintained during the inspection process of the foldable display device, reliability of the inspection can be guaranteed in the inspection equipment to which the stage device of the present invention is applied.

도1은 종래의 스테이지장치를 설명하기 위해 예시한 예시도이다.
도2는 디스플레이소자를 검사하기 위한 일반적인 검사장비를 개략적으로 도시한 것이다.
도3 내지 도4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지장치를 도시한 것이다.
도5는 본 발명의 스테이지장치에서 지지부의 이동을 설명하기 위해 도시한 것이다.
도6 내지 도7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지장치를 도시한 것이다.1 is an exemplary diagram illustrating a conventional stage device.
2 schematically shows a general inspection equipment for inspecting a display device.
3 to 4 show a stage apparatus according to a first embodiment of the present invention.
5 is a view for explaining the movement of the support in the stage device of the present invention.
6 to 7 show a stage device according to a second embodiment of the present invention.

본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 이미 주지되어진 기술적 부분에 대해서는 설명의 간결함을 위해 생략하거나 압축하기로 한다.A preferred embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings, but already known technical parts will be omitted or compressed for the sake of brevity of description.

<폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비에 대한 개략적인 설명><A brief description of the inspection equipment for inspecting the foldable display element>

도2는 디스플레이소자를 검사하기 위한 일반적인 검사장비를 개략적으로 도시한 것이다.2 schematically shows a general inspection equipment for inspecting a display device.

도2를 참조하면, 검사장비(TE)는 스테이지장치(100), 이동장치(MA), 로딩장치(LA), 언로딩장치(UA), 라인스캔카메라(LC) 및 판단장치(EA)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 2 , the inspection equipment TE includes a stage device 100, a moving device MA, a loading device LA, an unloading device UA, a line scan camera LC, and a judgment device EA. may be included.

스테이지장치(100)는 폴더블 디스플레이소자(FD)를 적재할 수 있으며, 후술할 이동장치(MA)에 의해 이동 가능하게 마련된다. The stage device 100 can load the foldable display device FD, and is provided to be movable by a moving device MA, which will be described later.

이동장치(MA)는 스테이지장치(100)를 로딩위치(LP)와 언로딩위치(UP)간을 왕복 이동시킨다. The moving device MA reciprocates the stage device 100 between the loading position LP and the unloading position UP.

로딩장치(LA)는 로딩위치(LP)에 있는 스테이지장치(100)에 검사되어야할 폴더블 디스플레이(FD)를 적재하고, 언로딩장치(UA)는 언로딩위치(UP)에 있는 스테이지장치(100)로부터 검사가 완료된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 언로딩시킨다.The loading device LA loads the foldable display FD to be inspected on the stage device 100 at the loading position LP, and the unloading device UA loads the stage device 100 at the unloading position UP. 100) unloads the inspected foldable display device FD.

라인스캔카메라(LC)는 이동장치(MA)에 의해 테스트위치(TP)로 이동되어진 스테이지장치(100)에 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)의 평면을 라인스캔한다. 이때, 라인스캔카메라(LC)는 이동장치(MA)에 의해 스테이지장치(100)가 이동됨에 따라 함께 이동되는 폴더블 디스플레이소자(FD)의 평면을 스캔하거나, 스테이지장치(100)가 정지되어 있는 경우에, 라인스캔카메라(LA)가 이동하며 스테이지장치(100)에 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)의 평면을 스캔도록 구성될 수 있다.The line scan camera LC lines-scans the plane of the foldable display device FD mounted on the stage device 100 that has been moved to the test position TP by the moving device MA. At this time, the line scan camera LC scans the plane of the foldable display device FD that is moved together as the stage device 100 is moved by the moving device MA, or when the stage device 100 is stationary. In this case, the line scan camera LA may be moved and configured to scan the plane of the foldable display device FD loaded on the stage device 100 .

판단장치(EA)는 라인스캔카메라(LC)에 의해 촬영된 이미지를 통해 폴더블 디스플레이소자(FD)의 양부(良否)를 판단한다. 이때, 양품으로 판정된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 적용함으로써, 이를 포함한 디스플레이 장치가 최종적으로 생산될 수 있는 것이다. The determination device EA determines whether the foldable display device FD is good or bad based on the image captured by the line scan camera LC. In this case, by applying the foldable display device FD determined to be a good product, a display device including the same can be finally produced.

위와 같은 기본 구성을 가지는 검사장비(TE)에서 본 발명은 스테이지장치(100)와 관련된다. 참고로, 본 발명에 따른 폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비는 앞서 설명한 검사장비(TE)에 후술할 스테이지장치(100)를 적용함으로써 쉽게 구현될 수 있는 것이다.In the inspection equipment TE having the above basic configuration, the present invention relates to the stage device 100 . For reference, the inspection equipment for inspecting the foldable display device according to the present invention can be easily implemented by applying the stage device 100 to be described later to the inspection equipment TE described above.

이하에서는, 본 발명에서 제안하는 스테이지장치(100)에 관하여 구체적으로 설명하고자 한다. Hereinafter, the stage device 100 proposed by the present invention will be described in detail.

참고로, 스테이지장치(100)에 관한 구체적인 설명에 앞서, 본 발명에서 제시하는 스테이지장치(100)는 초박막 글라스(UTG)로 마련된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 지지하기 위하여 고안되었으나, 본 발명이 제시하는 기술적 특징은 이에 한정되지 않고 투명폴리이미드(CPI) 등으로 구현된 폴더블 디스플레이소자(FD)에도 적용될 수 있음은 물론이다. For reference, prior to the detailed description of the stage device 100, the stage device 100 presented in the present invention was designed to support the foldable display device FD made of ultra-thin glass (UTG), but the present invention Of course, the technical features presented are not limited thereto, and can be applied to a foldable display device (FD) implemented with transparent polyimide (CPI) or the like.

이때, 폴더블 디스플레이소자(FD)는 적어도 하나 이상의 접힘 구간을 구비하며, 종래 디스플레이소자와 동일하거나 확장된 디스플레이 면적을 가지도록 제작될 수 있는데, 본 발명이 제안하는 스테이지장치(100)는 기존 디스플레이 장치에 적용되던 디스플레이소자와 동일한 면적으로 마련된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 지지하도록 마련될 수도 있지만, 종래 디스플레이소자 대비 확장된 6 inch 이상의 폴더블 디스플레이소자(FD)를 지지하는데 한하여 그 설명을 기술하고자 한다. In this case, the foldable display device FD has at least one folding section and may be manufactured to have the same or expanded display area as the conventional display device. Although it may be provided to support a foldable display device (FD) having the same area as a display device applied to the device, the description is limited to supporting a foldable display device (FD) of 6 inches or more extended compared to a conventional display device. want to

<폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치에 관한 설명-제1 실시예><Description of a stage device for supporting a foldable display element-First embodiment>

도3 내지 도4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지장치를 도시한 것이고, 도5는 본 발명의 스테이지장치에서 지지부의 이동을 설명하기 위해 예시한 것이다.3 to 4 show the stage device according to the first embodiment of the present invention, and Fig. 5 is an illustration for explaining the movement of the support in the stage device of the present invention.

도3 내지 도4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지장치(100)는, 베이스프레임(110), 지지부(120), 이동부(130), 센싱부(140) 및 제어부(미도시)를 포함하여 구성된다. 3 to 4 , the stage device 100 according to an embodiment of the present invention includes a base frame 110 , a support unit 120 , a moving unit 130 , a sensing unit 140 , and a control unit (not shown). city) is included.

베이스프레임(110)은, 상면에 후술할 지지부(120)가 결합되는 판 형상의 부재이다. 이때, 베이스프레임(110)은 중앙부가 개방되어 있으며, 지지부(120)에 포함되는 제1 지지기(121) 및 제2 지지기(122)가 일정간격 이격되어 양단부에 각각 배치될 수 있다. 이때, 베이스프레임(110)의 형상은 제1 지지기(121) 및 제2 지지기(122)에 의해 흡착 지지되는 폴더블 디스플레이소자(FD)가 라인스캔카메라에 의해 스캔될 때, 검사영역 상에 폴더블 디스플레이소자(FD)만이 위치되기 위함이다.The base frame 110 is a plate-shaped member to which the support 120 to be described later is coupled to the upper surface. In this case, the base frame 110 has an open central portion, and the first supporter 121 and the second supporter 122 included in the supporter 120 may be spaced apart from each other by a predetermined interval and disposed at both ends, respectively. At this time, the shape of the base frame 110 is on the inspection area when the foldable display device FD adsorbed and supported by the first supporter 121 and the second supporter 122 is scanned by the line scan camera. This is to place only the foldable display device FD on the .

그리고, 베이스프레임(110)은 후술할 제2 지지기(122)의 이동을 안내하기 위한 가이드부재(111)를 구비할 수 있다. 이때, 가이드부재(111)는 외측 방향으로 돌출 형성된 가이드돌기(GB)를 포함할 수 있다. 이에 관한 구체적인 설명은 제2 지지기(122)의 구성과 함께 후술하고자 한다. In addition, the base frame 110 may include a guide member 111 for guiding the movement of the second supporter 122 to be described later. In this case, the guide member 111 may include a guide protrusion GB formed to protrude outward. A detailed description thereof will be described later along with the configuration of the second supporter 122 .

참고로, 베이스프레임(110)에는 후술할 이동기(131)에 구비된 실린더(131a)에서 피스톤이 인출될 경우에 실린더(131a) 바디의 위치를 제한하기 위한 제1 제한부재(LP1)가 결합되어 있을 수 있다. For reference, a first limiting member LP1 for limiting the position of the body of the cylinder 131a when the piston is withdrawn from the cylinder 131a provided in the mover 131 to be described later is coupled to the base frame 110 , there may be

지지부(120)는 베이스프레임(110) 상단에 결합되어, 폴더블 디스플레이소자(foldable display device; FD)의 일 측인 제1 변(邊)과 타 측인 제2 변(邊)을 흡착 지지하기 위한 제1 지지기(121) 및 제2 지지기(122)를 포함한다.The support part 120 is coupled to the upper end of the base frame 110, and is a first for adsorbing and supporting a first side that is one side of a foldable display device (FD) and a second side that is the other side of the foldable display device (FD). It includes a first supporter 121 and a second supporter 122 .

이때, 제1 지지기(121)는 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제1 변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 고정유닛(121F)을 구비할 수 있다. 이때, 고정유닛(121F)은 폴더블 디스플레이소자(FD)를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공구멍들이 형성되어 있는 흡착 플레이트(121F-a, 이하, ‘제1 흡착 플레이트’라 칭함)와 베이스프레임(110)의 상단에 결합되어, 제1 흡착 플레이트(121F-a)를 지지하는 하부프레임(121F-b)을 포함할 수 있다.In this case, the first supporter 121 may include at least one fixing unit 121F for adsorbing and supporting the first side of the foldable display device FD. At this time, the fixing unit 121F includes an adsorption plate 121F-a having vacuum holes for adsorbing and supporting the foldable display device FD by vacuum adsorption force (hereinafter referred to as a 'first adsorption plate') and a base frame. It is coupled to the upper end of the 110, it may include a lower frame (121F-b) for supporting the first adsorption plate (121F-a).

여기서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지장치(100)에서 제1 지지기(121)는 후술할 제2 지지기(122)에 구비된 흡착 플레이트와 대응되는 수의 제1 흡착 플레이트(121F-a)를 구비하거나, 그보다 적은 수의 제1 흡착 플레이트(121F-a)를 구비할 수 있다.Here, in the stage device 100 according to the first embodiment of the present invention, the first supporter 121 includes a number of first adsorption plates 121F corresponding to the number of adsorption plates provided in a second supporter 122 to be described later. -a) or a smaller number of first adsorption plates 121F-a may be provided.

참고로, 제1 지지기(121)는 앞서 설명한 적어도 하나 이상의 고정유닛(121F)이 상기 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제1 변이 마주 접하는 위치에 일렬 배치되도록 마련될 수 있지만, 또 다른 예로, 적어도 하나 이상의 제1 흡착 플레이트(121F-a) 및 적어도 하나 이상의 제1 흡착 플레이트(121F-a)가 각각 인입 배치될 수 있는 적어도 하나 이상의 홈(미도시)이 구비되어, 적어도 하나 이상의 제1 흡착 플레이트(121F-a)를 지지하는 단일의 하부프레임(121F-b)으로 구성될 수 있음은 물론이다. For reference, the first supporter 121 may be provided such that at least one fixing unit 121F described above is arranged in a line at a position where the first side of the foldable display device FD faces, but as another example, At least one or more first adsorption plates (121F-a) and at least one or more first adsorption plates (121F-a) are provided with at least one groove (not shown) into which they can be drawn in, respectively, and at least one or more first adsorption plates (121F-a) are provided. Of course, it may be composed of a single lower frame (121F-b) supporting the plate (121F-a).

그리고, 제2 지지기(122)는 제1 지지기(121)와 일정 간격 이격되어서 폴더블 디스플레이소자(FD)의 타 측인 제2 변을 흡착 지지하되, 제1 지지기(121)와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 베이스프레임(110) 상단에 결합된다.In addition, the second supporter 122 is spaced apart from the first supporter 121 by a predetermined interval to adsorb and support the second side, which is the other side of the foldable display device FD, but close to or close to the first supporter 121 . It is coupled to the top of the base frame 110 so as to be movable in a direction away from it.

이때, 제2 지지기(122)는 후술할 이동부(130)에 의해 이동이 이루어지며, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제2 변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 이동유닛(122M, 이하, ‘제2 변 이동유닛’이라 칭함)을 구비한다.At this time, the second supporter 122 is moved by a moving unit 130 to be described later, and at least one moving unit 122M for adsorbing and supporting the second side of the foldable display device FD, hereinafter, referred to as a 'second side moving unit').

여기서, 제2 변 이동유닛(122M)은 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 진공 흡착력으로 지지하기 위한 진공 구멍(VH)들이 형성되어 있는 흡착 플레이트(122M-a, 이하, ‘제2 흡착 플레이트’라 칭함), 제2 흡착 플레이트를 지지하기 위한 지지프레임(122M-b) 및 상단이 지지프레임(122M-b)의 하단과 마주 접하되, 그 하단이 베이스프레임(110)과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임(122M-c)을 포함할 수 있다.Here, the second side moving unit 122M is a suction plate 122M-a having vacuum holes VH for supporting the stacked foldable display device FD with a vacuum suction force, hereinafter referred to as a 'second suction plate. '), a support frame (122M-b) for supporting the second adsorption plate, and an upper end facing the lower end of the support frame (122M-b), the lower end of which is movably coupled to the base frame 110 It may include a moving frame (122M-c) that is.

이때, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지장치(100)에 구비되는 제2 지지기(122)는, 적어도 3개 이상의 제2 변 이동유닛(122M)을 구비하여, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제2 변을 흡착 지지할 수 있다. 즉, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 면적에 따라 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제1 변과 대향하는 제2 변의 길이를 따라 제2 변 이동유닛(122M)들이 배치되고, 후술할 이동부(130), 센싱부(140) 및 제어부(미도시)의 동작에 의해 폴더블 디스플레이소자(FD)의 전 면적이 평평하게 펼쳐지게 될 수 있다.At this time, the second supporter 122 provided in the stage apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention includes at least three or more second side moving units 122M, and the foldable display device FD ) of the second side can be supported by adsorption. That is, the second side moving units 122M are disposed along the length of the second side opposite to the first side of the foldable display device FD according to the area of the foldable display device FD, and a moving unit (to be described later) 130), the sensing unit 140, and the control unit (not shown) may spread the entire area of the foldable display device FD flat.

이는, 하나의 실시예기에, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 크기에 따라 한 변에 배치되는 고정유닛(121F) 및 이동유닛(122M)의 수가 가변될 수 있음은 물론이다. Of course, in one embodiment, the number of the fixed unit 121F and the mobile unit 122M disposed on one side may vary according to the size of the foldable display device FD.

참고로, 도3에 도시된 바와 같이, 제1 지지기(121) 및 제2 지지기(122)에는 복수개의 흡착 플레이트가 각각 구비되고, 제1 지지기(121)에 구비된 흡착 플레이트들과 제2 지지기(122)에 구비된 흡착 플레이트들이 대칭되도록 배치되어 있는데, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 경우, 구현되기에 따라 그 면적이 종래 디스플레이소자와 동일하거나 더 넓게 마련될 수 있어, 동일한 경우에는 제1 지지기(121) 및 제2 지지기(122)에 각각 구비된 하나의 흡착 플레이트에 그 양단이 지지될 수 있고, 더 넓게 마련된 경우에는 제1 지지기(121) 및 제2 지지기(122)에 각각 구비된 복수의 흡착 플레이트에 의해 그 양단이 지지될 수 있다. For reference, as shown in FIG. 3 , the first supporter 121 and the second supporter 122 are provided with a plurality of adsorption plates, respectively, and the adsorption plates provided on the first supporter 121 and The adsorption plates provided in the second supporter 122 are symmetrically disposed. In the case of the foldable display device FD, the area thereof may be the same as or wider than that of the conventional display device, depending on the implementation. In this case, both ends may be supported by one suction plate provided in each of the first supporter 121 and the second supporter 122 , and in the case where the first supporter 121 and the second supporter 122 are provided wider, the first supporter 121 and the second supporter 122 . Both ends thereof may be supported by a plurality of adsorption plates respectively provided on the group 122 .

또한, 제1 지지기(121)에 구비된 제1 흡착 플레이트(121F-a)와 제2 지지기(122)에 구비된 제2 흡착 플레이트(122M-a)가 동일 수평 상에 위치될 수 있도록 하부프레임(121F-b)의 높이는 지지프레임(122M-a) 높이와 이동프레임(122M-c)의 높이가 합쳐진 길이에 대응되는 길이를 가질 수 있다.In addition, so that the first adsorption plate 121F-a provided in the first supporter 121 and the second adsorption plate 122M-a provided in the second supporter 122 can be positioned on the same horizontal plane The height of the lower frame 121F-b may have a length corresponding to the sum of the height of the support frame 122M-a and the height of the moving frame 122M-c.

그리고, 이동프레임(122M-c)은 베이스프레임(110)에 구비된 가이드부재(111)에 의해 이동이 안내되도록 가이드부재(111)에 구비된 가이드돌기(GB)가 인입되는 가이드레일(GR)을 구비할 수 있다.In addition, the moving frame 122M-c is a guide rail GR through which the guide protrusion GB provided in the guide member 111 is introduced so that the movement is guided by the guide member 111 provided in the base frame 110 . can be provided.

도5를 참조하여 제2 지지기(122)의 이동을 좀더 구체적으로 설명하면, 베이스프레임(110)의 상단에 구비된 가이드부재(111)는 이동프레임(122M-c)의 하단에 배치된 가이드레일(GR)와 결합되어, 제2 지지기(122) 즉, 이동유닛(122M)의 수평 이동을 안내할 수 있다. 여기서, 가이드부재(111)는 외측 방향으로 돌출 형성된 적어도 하나 이상의 가이드돌기(GB)를 구비하고, 이러한 가이드돌기(GB)는 길이방향을 따라 내측 방향으로 함몰 형성된 가이드레일(GR)의 홈(미도시)에 인입되어 결과적으로, 가이드부재(111)는 가이드레일(GR)의 홈을 따라 이동하게 된다.When the movement of the second supporter 122 is described in more detail with reference to FIG. 5 , the guide member 111 provided at the upper end of the base frame 110 is a guide disposed at the lower end of the moving frame 122M-c. It is coupled with the rail GR, and may guide the horizontal movement of the second supporter 122 , that is, the moving unit 122M. Here, the guide member 111 is provided with at least one guide projection GB formed to protrude outward, and these guide projections GB are recessed in the longitudinal direction in the guide rail GR groove (not shown). time), and as a result, the guide member 111 moves along the groove of the guide rail GR.

이때, 본 발명의 스테이지장치(100)에는 제2 지지기(122)의 이동 시 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)가 탈락되지 않도록 제2 지지기(122)의 이동 거리를 제한하기 위한 제2 제한부재(LP2)가 구비될 수 있다.At this time, in the stage device 100 of the present invention, the second supporter 122 for limiting the movement distance of the second supporter 122 so that the loaded foldable display device FD does not fall off when the second supporter 122 is moved. A limiting member LP2 may be provided.

이동부(130)는 지지부(120)에 구비된 적어도 어느 하나의 지지기를 이동시키기 위한 구성으로, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지장치(100)에서는 제2 지지기(122)를 이동시키기 위한 구성으로 구비된다. The moving unit 130 is configured to move at least one supporter provided in the supporter 120 , and in the stage apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention, the second supporter 122 is moved. It is provided in a configuration for

좀더 구체적으로, 이동부(130)는 제2 지지기(122)가 구비하는 제2 변 이동유닛(122M)과 결합되어, 이를 이동시키기 위한 이동기(131)를 구비하며, 이동기(131)는, 이동유닛(122M)을 이동시키기 위한 피스톤이 인출되는 실린더(131a) 및 실린더(131a)에 구동력을 제공하기 위한 모터(131b)를 포함하여 구성된다. 이때, 이동기(131)는 제2 지지기(122)에 구비된 제2 변 이동유닛(122M)들과 대응되는 수로 구비되어, 각각의 이동유닛(122M)들과 일대일 결합될 수 있다. 이러한 이동기(131)의 일예로, 이동기(131)는 실린더 및 모터로 구성된 선형 액추에이터가 적용될 수 있다.More specifically, the moving unit 130 is coupled to the second side moving unit 122M of the second supporting unit 122, and has a moving unit 131 for moving it, and the moving unit 131 includes: It is configured to include a cylinder (131a) from which a piston for moving the moving unit (122M) is drawn out and a motor (131b) for providing a driving force to the cylinder (131a). In this case, the mobile unit 131 may be provided in a number corresponding to the second side moving units 122M provided in the second supporter 122 , and may be coupled one-to-one with each of the moving units 122M. As an example of the mover 131 , a linear actuator including a cylinder and a motor may be applied to the mover 131 .

참고로, 이동기(131)는 제2 변 이동유닛(122M)들을 이동시키기 위한 구성으로 도1에 예시된 종래의 스테이지장치(SA)처럼 단일의 모터 또는 실린더로 마련될 수도 있겠으나, 종래 디스플레이소자(DD) 대비 폴더블 디스플레이소자(FD)의 인치가 커지다보니 제2변 이동유닛(122M)의 이동거리도 늘어나게 되므로, 이에 폴더블 디스플레이소자(FD)를 흡착 지지한 제2 변 이동유닛(122M)을 당기는 힘 또한 커져야하므로, 본 발명의 이동기(130)는 실린더(131a)와 모터(131b)를 함께 구비하는 것이다.For reference, the mover 131 may be provided as a single motor or a cylinder like the conventional stage device SA illustrated in FIG. 1 as a configuration for moving the second side moving units 122M, but a conventional display device As the inches of the foldable display device FD increases compared to (DD), the moving distance of the second side moving unit 122M also increases. ), since the pulling force must also be increased, the mover 130 of the present invention includes a cylinder (131a) and a motor (131b) together.

도4를 참조하여 좀더 구체적으로 설명하면, 도4(a)에 예시된 바와 같이, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 한 변을 다수개의 제2 변 이동유닛(122M)들로 당길 때, 인장력 차이가 발생하게 되면, 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)는 울거나, 손상 발생 가능성이 존재한다. Referring to FIG. 4 in more detail, as illustrated in FIG. 4( a ), when one side of the foldable display FD is pulled by the plurality of second side moving units 122M, the difference in tensile force occurs, the loaded foldable display device FD may cry or damage may occur.

이에, 본 발명의 스테이지장치(100)는 후술할 센싱부(140)의 센싱 결과에 따라 제어부가 제2 변 이동유닛(122M)들과 각기 결합되는 이동기(131)의 구성인 모터(131b)로 실린더(131a)의 스트로크 즉, 길이변화를 조정하고, 실린더(131a)의 압력을 조정함으로써, 도4(b)에 예시된 바와 같이, 제2 변을 흡착 지지하는 각 제2 변 이동유닛(122M)들의 인장력 차이를 해소하며, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제2 변이 평평하게 펼쳐지도록 이동되어, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 전 면적을 평평하게 펼칠 수 있다.Accordingly, the stage device 100 of the present invention uses a motor 131b, which is a configuration of the mover 131, in which the controller is coupled to the second side moving units 122M, respectively, according to the sensing result of the sensing unit 140, which will be described later. By adjusting the change in the stroke of the cylinder 131a, that is, the length change, and adjusting the pressure of the cylinder 131a, each second side moving unit 122M for adsorbing and supporting the second side as illustrated in FIG. 4(b) . ), and the second side of the foldable display device FD is moved to flatten out, so that the entire area of the foldable display device FD can be flattened.

센싱부(140)는 이동부(130)에 의해 이동되는 지지기(122)와 이동부(130) 사이에 배치되어, 이동부(130)의 동작에 의해 폴더블 디스플레이소자(FD)에 적용되는 압력을 센싱하기 위한 구성으로, 로드셀로 마련될 수 있다. 즉, 센싱부(140)는 동일한 압력으로 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제2 변이 당겨지도록 제2 변 이동유닛(122M)들 각각에 걸리는 압력을 센싱하고, 이를 후술할 제어부가 모니터링 함으로써, 이동유닛(122M)들 간의 인장력 차이가 발생하지 않도록 한다. The sensing unit 140 is disposed between the support unit 122 and the moving unit 130 moved by the moving unit 130 , and is applied to the foldable display device FD by the operation of the moving unit 130 . As a configuration for sensing pressure, it may be provided as a load cell. That is, the sensing unit 140 senses the pressure applied to each of the second side moving units 122M so that the second side of the foldable display device FD loaded with the same pressure is pulled. , so that a difference in tensile force between the moving units 122M does not occur.

제어부(미도시)는 상기한 각부를 제어한다.A control unit (not shown) controls each of the above-described units.

이때, 제어부는 센싱부(140)의 센싱값을 모니터링하여, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 전 면적이 평평하게 펼쳐지도록 이동부(130)의 동작을 제어할 수 있다.In this case, the controller may monitor the sensing value of the sensing unit 140 and control the operation of the moving unit 130 so that the entire area of the foldable display device FD is spread flat.

상술한 구성에 의해 본 발명의 스테이지장치(100)는 먼저, 지지부(120)의 제2 지지기(122)가 제1 지지기(121) 측으로 이동되어진 상태에서 스테이지장치(100)에 폴더블 디스플레이소자(FD)가 로딩되면, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 양 단이 각각 흡착 플레이트(121F-a, 122M-a)의 진공구멍(VH)을 통해 발생하는 진공압에 의해 흡착 지지된다. 이 후, 제2 지지기(122)는 기 설정된 이동 거리만큼 우측방향 즉, 제1 지지기(121)에서 멀어지는 방향으로 이동하게 되고, 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)는 평평하게 펼쳐지게 된다.According to the above-described configuration, the stage device 100 of the present invention is a foldable display on the stage device 100 in a state in which the second supporter 122 of the supporter 120 is moved toward the first supporter 121 . When the device FD is loaded, both ends of the foldable display device FD are adsorbed and supported by vacuum pressure generated through the vacuum holes VH of the suction plates 121F-a and 122M-a, respectively. Thereafter, the second supporter 122 moves in the right direction by a preset movement distance, that is, in a direction away from the first supporter 121 , and the stacked foldable display device FD is spread out flat.

이때, 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)를 펼치기 위해 제2 지지기(122)에 구비된 이동유닛(122M)들이 이동함에 따라 각 이동유닛(122M)별 인장력 차이가 발생할 수 있고, 이 경우에 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제2 변이 찌그러지거나, 적절히 펼쳐질 수 없게 된다. 이에, 제어부는 이동유닛(122M)들의 이동 시 센싱부(140)를 통해 폴더블 디스플레이소자(FD)에 가해지는 압력을 모니터링하고, 이동유닛(122M)들의 인장력 차이가 발생하지 않도록 각 이동유닛(122M)들과 결합한 이동기(131)들을 제어하여 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제2 변이 평평하게 펼쳐질 수 있도록 함으로써, 검사 시 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)의 전 면적에 걸쳐서 평평한 상태로 교정 및 유지되도록 지지할 수 있다.At this time, as the moving units 122M provided in the second supporter 122 move to unfold the stacked foldable display device FD, a difference in tensile force may occur for each moving unit 122M, in this case The second side of the foldable display device FD is distorted or cannot be properly unfolded. Accordingly, the control unit monitors the pressure applied to the foldable display device FD through the sensing unit 140 when the moving units 122M move, and prevents a difference in tensile force between the moving units 122M from occurring. 122M) and the combined movers 131 are controlled so that the second side of the foldable display device FD can be spread flat, so that it is corrected in a flat state over the entire area of the stacked foldable display device FD during inspection and support to be maintained.

참고로, 본 발명이 제안하는 스테이지장치(100)는 폴더블 디스플레이소자(FD)를 검사하기 위한 검사장비에 적용되는 스테이지장치(100)뿐 아니라 제조 공정 등에서 폴더블 디스플레이소자(FD)의 이송 및 취급을 위해 요구되는 폴더블 디스플레이소자(FD)를 지지하기 위한 장치들에 적용될 수 있음은 물론이다.For reference, the stage device 100 proposed by the present invention is not only the stage device 100 applied to inspection equipment for inspecting the foldable display device FD, but also the transport and operation of the foldable display device FD in the manufacturing process. Of course, it can be applied to devices for supporting the foldable display device FD required for handling.

<폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치에 관한 설명-제2 실시예><Description of a stage device for supporting a foldable display device-Second embodiment>

도6 내지 도7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지장치를 개략적으로 도시한 것이다. 참고로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지장치(100)에 관한 구체적인 설명에 앞서, 제1 실시예에 따른 스테이지장치(100)와 중복되는 구성들이 포함되어 있기에, 앞서 기술된 구성에 관한 중복된 설명은 생략하고자 한다.6 to 7 schematically show a stage apparatus according to a second embodiment of the present invention. For reference, prior to the detailed description of the stage device 100 according to the second embodiment of the present invention, since components overlapping those of the stage device 100 according to the first embodiment are included, the above-described configuration A duplicate description will be omitted.

도6 내지 도7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지장치(100)는 베이스프레임(110), 지지부(120), 이동부(130), 센싱부(140) 및 제어부(미도시)를 포함하여 구성된다. 6 to 7 , the stage device 100 according to the second embodiment of the present invention includes a base frame 110 , a support unit 120 , a moving unit 130 , a sensing unit 140 , and a control unit (not shown). city) is included.

베이스프레임(110)은, 상면에 후술할 지지부(120)가 결합되는 판 형상의 부재로, 후술할 지지부(120)에 포함된 지지기(121,122,123,124)들 중 적어도 어느 하나의 지지기의 이동을 안내하기 위한 가이드부재(111)를 구비할 수 있다. 가이드부재(111)의 형상과 더불어, 지지기(122,123,124)들의 이동은 도5 및 제1 실시예에 관한 설명에 기술된 제2 지지기(122)의 이동과 동일하게 이루어지므로, 이에 관한 설명은 생략하고자 한다.The base frame 110 is a plate-shaped member to which the support part 120 to be described later is coupled to the upper surface, and guides the movement of at least one of the supporters 121 , 122 , 123 , and 124 included in the support part 120 to be described later. It may be provided with a guide member 111 for In addition to the shape of the guide member 111, the movement of the supporters 122, 123, and 124 is made the same as the movement of the second supporter 122 described in FIG. 5 and the description of the first embodiment. want to omit.

참고로, 도6 내지 도7에는 도시되어 있지 않지만 베이스프레임(110)에는 후술할 이동기(131)에 구비된 실린더(131a)에서 피스톤이 인출될 경우에 실린더(131a)의 위치를 제한하기 위한 제1 제한부재(미도시)가 결합되어 있을 수 있다. For reference, although not shown in FIGS. 6 to 7 , in the base frame 110 , when the piston is drawn out from the cylinder 131a provided in the mover 131 to be described later, a method for limiting the position of the cylinder 131a 1 A limiting member (not shown) may be coupled.

지지부(120)는 베이스프레임(110) 상단에 결합되어, 폴더블 디스플레이소자(foldable display device; FD)의 일 측인 제1 변(邊)과 타 측인 제2 변(邊)을 흡착 지지하기 위한 제1 지지기(121) 및 제2 지지기(122)를 포함한다. The support part 120 is coupled to the upper end of the base frame 110, and is a first for adsorbing and supporting a first side that is one side of a foldable display device (FD) and a second side that is the other side of the foldable display device (FD). It includes a first supporter 121 and a second supporter 122 .

이때, 제1 지지기(121)는 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제1 변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 제1 흡착 플레이트(121F-a)와 베이스프레임(110) 상단에 결합되어, 적어도 하나 이상의 제1 흡착 플레이트(121F-a)를 지지하는 하부프레임(121F-b)을 포함할 수 있다.At this time, the first supporter 121 is coupled to at least one first adsorption plate 121F-a for adsorbing and supporting the first side of the foldable display device FD and the upper end of the base frame 110 , at least It may include a lower frame (121F-b) supporting one or more first adsorption plate (121F-a).

그리고, 제2 지지기(122)는 제1 지지기(121)와 일정 간격 이격되어서 폴더블 디스플레이소자(FD)의 타 측인 제2 변을 흡착 지지하되, 제1 지지기(121)와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 베이스프레임(110) 상단에 결합된다.In addition, the second supporter 122 is spaced apart from the first supporter 121 by a predetermined interval to adsorb and support the second side, which is the other side of the foldable display device FD, but close to or close to the first supporter 121 . It is coupled to the top of the base frame 110 so as to be movable in a direction away from it.

이때, 제2 지지기(122)는 후술할 이동부(130)에 의해 이동이 이루어지며, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제2 변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 제2 변 이동유닛(122M)을 구비하며, 제2 변 이동유닛(122M0은 제2 흡착플레이트(122M-a), 지지프레임(122M-b) 및 이동프레임(122M-c)을 포함할 수 있다.At this time, the second supporter 122 is moved by a moving unit 130 to be described later, and at least one second side moving unit 122M for adsorbing and supporting the second side of the foldable display device FD. ), and the second side moving unit 122M0 may include a second adsorption plate 122M-a, a support frame 122M-b, and a moving frame 122M-c.

여기서, 이동프레임(122M-c)은 베이스프레임(110)에 구비된 가이드부재(!11)에 의해 이동이 안내되도록 가이드부재(111)에 구비된 가이드돌기(GB)가 인입되는 가이드레일(GR)을 구비할 수 있다.Here, the moving frame 122M-c is a guide rail GR through which the guide protrusion GB provided in the guide member 111 is introduced so that the movement is guided by the guide member !11 provided in the base frame 110 . ) can be provided.

그리고, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지장치(100)의 지지부(120)는 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제1 변과 인접한 제3 변을 흡착 지지하며, 그 하단이 베이스프레임(110)과 이동 가능하게 결합되는 제3 지지기(123) 및 제3 변과 대향하는 제4 변을 흡착 지지하며, 그 하단이 베이스프레임(110)과 이동 가능하게 결합되는 제4 지지기(124)를 더 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the support unit 120 of the stage device 100 according to the second embodiment of the present invention adsorbs and supports the third side adjacent to the first side of the foldable display device FD, and the lower end thereof is the base frame 110 . ) and the third supporter 123 movably coupled to the adsorption support and the fourth side opposite to the third side, the lower end of which is movably coupled to the base frame 110 , the fourth supporter 124 . It may be configured to further include.

이때, 제3 지지기(123)는 후술할 이동부(130)에 의해 이동이 이루어지며, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제 3변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 이동유닛(123M, 이하, ‘제3 변 이동유닛’이라 칭함)을 구비한다.At this time, the third supporter 123 is moved by a moving unit 130 to be described later, and at least one moving unit 123M for adsorbing and supporting the third side of the foldable display device FD, hereinafter, referred to as a 'third side moving unit').

여기서, 제3 변 이동유닛(123M)은 폴더블 디스플레이소자(FD)를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍(VH)들이 형성되어 있는 흡착 플레이트(123M-a, 이하, ‘제3 흡착 플레이트’라 칭함), 제3 흡착 플레이트를 지지하기 위한 지지프레임(123M-b) 및 상단이 지지프레임의 하단과 마주 접하되, 그 하단이 베이스프레임(110)과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임(123M-c)을 포함하여 구성된다. Here, the third side moving unit 123M is a suction plate 123M-a having vacuum holes VH for supporting the foldable display device FD by vacuum suction force, hereinafter referred to as a 'third suction plate'. ), a support frame (123M-b) for supporting the third adsorption plate, and a moving frame (123M-b) having an upper end in contact with the lower end of the support frame, the lower end of which is movably coupled to the base frame (110) c) is included.

그리고, 제4 지지기(123)는 후술할 이동부(130)에 의해 이동이 이루어지며, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제 4변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 이동유닛(124M, 이하, ‘제4 변 이동유닛’이라 칭함)을 구비한다.In addition, the fourth supporter 123 is moved by a moving unit 130 to be described later, and at least one moving unit 124M for adsorbing and supporting the fourth side of the foldable display device FD, hereinafter, referred to as a 'fourth side moving unit').

여기서, 제4 변 이동유닛(124M)은 폴더블 디스플레이소자(FD)를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍(VH)들이 형성되어 있는 흡착 플레이트(124M-a, 이하, ‘제4 흡착 플레이트’라 칭함), 제4 흡착 플레이트를 지지하기 위한 지지프레임(124M-b) 및 상단이 지지프레임(124M-b)의 하단과 마주 접하되, 그 하단이 베이스프레임(110)과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임(124M-c)을 포함하여 구성된다. Here, the fourth side moving unit 124M is a suction plate 124M-a having vacuum holes VH for adsorbing and supporting the foldable display device FD by a vacuum suction force, hereinafter referred to as a 'fourth suction plate'. ), a support frame (124M-b) and an upper end for supporting the fourth adsorption plate facing the lower end of the support frame (124M-b), the lower end of which is movably coupled to the base frame 110 It is configured to include a moving frame (124M-c).

참고로, 제3 변 이동유닛(123M) 및 제4변 이동유닛(124M)은 상호 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동될 수 있으며, 앞서 설명한 제2변 이동유닛(122M)과 동일한 구성 및 형상으로 구비되므로, 이에 관한 구체적인 설명은 생략하고자 한다.For reference, since the third side moving unit 123M and the fourth side moving unit 124M can move toward or away from each other, they are provided in the same configuration and shape as the aforementioned second side moving unit 122M. , a detailed description thereof will be omitted.

이때, 이들 구성의 이동프레임(123M-c, 124M-c)은 베이스프레임(110)에 구비된 가이드부재(111)에 의해 이동이 안내되도록 가이드부재(111)에 구비된 가이드돌기(GB)가 인입되는 가이드레일(GR)을 구비할 수 있다. 또한, 제3 지지기(123) 및 제4 지지기(124)의 이동 시 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)가 탈락되지 않도록 제3 지지기(123) 및 제4 지지기(124)의 이동 거리를 제한하기 위한 제2 제한부재(미도시)가 구비될 수 있음은 물론이다.At this time, the moving frames 123M-c and 124M-c of these configurations have a guide projection GB provided on the guide member 111 so that the movement is guided by the guide member 111 provided on the base frame 110 . An incoming guide rail GR may be provided. In addition, when the third supporter 123 and the fourth supporter 124 are moved, the third supporter 123 and the fourth supporter 124 are moved to prevent the loaded foldable display device FD from falling off. Of course, a second limiting member (not shown) for limiting the distance may be provided.

이동부(130)는 제2 지지기(122), 제3 지지기(123) 및 제4 지지기(124) 중 어느 하나의 지지기가 구비하는 이동유닛(122M, 123M, 124M)과 결합되어, 이를 이동시키기 위한 이동기(131)를 구비한다.The moving unit 130 is coupled to the moving units 122M, 123M, and 124M provided by any one of the second supporter 122, the third supporter 123, and the fourth supporter 124, A mover 131 for moving it is provided.

이때, 이동기(131)는 이동유닛(122M, 123M, 124M)을 이동시키기 위한 피스톤이 인출되는 실린더(131a) 및 실린더(131a)에 구동력을 제공하기 위한 모터(131b)를 포함하고, 이동기(131)는 각 지지기(122, 123, 124)에 구비된 이동유닛(122M, 123M, 124M)과 대응되는 수로 구비되어, 각각의 이동유닛(122M, 123M, 124M)과 일대일 결합될 수 있다. At this time, the mover 131 includes a cylinder 131a from which a piston for moving the moving units 122M, 123M, and 124M is drawn out, and a motor 131b for providing a driving force to the cylinder 131a, and the mover 131 ) is provided in a number corresponding to the moving units 122M, 123M, 124M provided in each supporter 122, 123, 124, and may be coupled one-to-one with each of the moving units 122M, 123M, 124M.

도6 내지 도7을 참조하면, 이동부(130)의 이동기(131)는 제2 지지기(122), 제3 지지기(123) 및 제4 지지기(124) 각각이 구비하는 이동유닛(122M, 123M, 124M)과 각각 결합되어, 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)가 적절히 펼쳐지도록 이들을 각기 이동시킬 수 있다. 6 to 7, the mover 131 of the moving unit 130 is a mobile unit ( 122M, 123M, and 124M) are coupled to each other, and the stacked foldable display device FD can be moved to properly unfold them.

좀더 구체적으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지장치(100)는, 제1 지지기(121)와 제2 지지기(122)로 폴더블 디스플레이소자(FD)의 양단을 흡착 지지하면서도, 제3 지지기(123) 및 제4 지지기(124)로 폴더블 디스플레이소자(FD)의 제3 변 및 제4 변을 추가적으로 흡착 지지함으로써, 양단만을 지지하던 종래 스테이지장치 대비 폴더블 디스플레이소자(FD)의 쳐짐을 방지할 수 있다. More specifically, in the stage device 100 according to the second embodiment of the present invention, both ends of the foldable display device FD are adsorbed and supported by the first supporter 121 and the second supporter 122 , By additionally adsorbing and supporting the third and fourth sides of the foldable display device FD with the third supporter 123 and the fourth supporter 124, the foldable display device ( FD) can be prevented from sagging.

이때, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 다수의 변을 이동유닛(122M, 123M, 124M)들로 당길 경우에 인장력 차이가 발생하게 되면, 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)의 손상 발생 가능성과 더불어 검사의 신뢰성을 담보하기 어렵다.At this time, if a difference in tensile force occurs when a plurality of sides of the foldable display device FD are pulled by the moving units 122M, 123M, and 124M, damage to the loaded foldable display device FD may occur and It is difficult to guarantee the reliability of the inspection.

이에, 본 발명의 스테이지장치(100)는 후술할 센싱부(140)의 센싱 결과에 따라 제어부가 각 변에 배치된 이동유닛(122M, 123M, 1234M)들과 결합되는 이동기(131)의 구성인 실린더(131a)와 모터(131b)를 제어하여, 이동유닛(122M, 123M, 124M)간의 인장력 차이를 조정함으로써, 이동부(130)에 의해 폴더블 디스플레이소자(FD)의 각 변이 평평하게 펼쳐지도록 각 이동유닛(122M, 123M, 124M)들이 이동되어, 결과적으로는 폴더블 디스플레이소자(FD)의 전 면적이 평평하게 펼쳐지도록 한다. Accordingly, in the stage device 100 of the present invention, according to the sensing result of the sensing unit 140 to be described later, the control unit is a configuration of the mobile unit 131 that is coupled to the moving units (122M, 123M, 1234M) disposed on each side. By controlling the cylinder 131a and the motor 131b to adjust the tension difference between the moving units 122M, 123M, and 124M, each side of the foldable display device FD is spread flat by the moving unit 130 . Each of the moving units 122M, 123M, and 124M is moved, as a result, so that the entire area of the foldable display device FD is spread flat.

센싱부(140)는 이동부(130)에 의해 이동되는 지지기(122)와 이동부(130) 사이에 배치되어, 이동부(130)의 동작에 의해 폴더블 디스플레이소자(FD)에 적용되는 압력을 센싱하기 위한 구성으로, 로드셀로 마련될 수 있다.The sensing unit 140 is disposed between the support unit 122 and the moving unit 130 moved by the moving unit 130 , and is applied to the foldable display device FD by the operation of the moving unit 130 . As a configuration for sensing pressure, it may be provided as a load cell.

제어부(미도시)는 상기한 각부를 제어한다.A control unit (not shown) controls each of the above-described units.

이때, 제어부는 센싱부(140)의 센싱값을 모니터링하여, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 전 면적이 평평하게 펼쳐지도록 이동부(130)의 동작을 제어할 수 있다.In this case, the controller may monitor the sensing value of the sensing unit 140 and control the operation of the moving unit 130 so that the entire area of the foldable display device FD is spread flat.

상술한 구성에 의해 본 발명의 스테이지장치(100)는 제2 지지기(122), 제3 지지기(123) 및 제4 지지기(124)가 제1 지지기(121)와 인접한 위치로 이동되어진 상태에서 스테이지장치(100)에 폴더블 디스플레이소자(FD)가 로딩되면, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 가장자리 즉, 제1 변, 제2 변, 제3 변 및 제4 변이 각각 흡착 플레이트(121F-a, 122M-a, 123M-a, 124M-a)의 진공구멍(VH)을 통해 발생하는 진공압에 의해 흡착 지지된다. 이후, 제1 지지기(121)를 제외한 나머지 지지기(122, 123, 124)들이 기 설정된 이동 거리만큼 상호 대향되는 지지기와 멀어지는 방향으로 이동하게 되고, 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)는 평평하게 펼쳐지게 된다.In the stage device 100 of the present invention by the above-described configuration, the second supporter 122 , the third supporter 123 , and the fourth supporter 124 move to a position adjacent to the first supporter 121 . When the foldable display device FD is loaded into the stage device 100 in this state, the edges of the foldable display device FD, i.e., the first side, the second side, the third side, and the fourth side, are respectively suction plates ( 121F-a, 122M-a, 123M-a, and 124M-a) are adsorbed and supported by the vacuum pressure generated through the vacuum hole (VH). Thereafter, the remaining supports 122 , 123 , and 124 except for the first supporter 121 move in a direction away from the mutually opposing supporters by a preset movement distance, and the stacked foldable display device FD is flat. will unfold

이때, 지지기(122, 123, 124)들의 이동 시, 센싱부(140)는 폴더블 디스플레이소자(FD)에 가해지는 압력을 센싱하고, 제어부가 이를 모니터링하여, 실시간으로 각 이동유닛(122M, 123M, 124M)과 결합된 이동기(131)들을 제어함으로써, 각 이동유닛(122M, 123M, 124M) 간의 인장력 차이를 해소하며 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)가 적절히 펼쳐질 수 있도록 하고, 폴더블 디스플레이소자(FD)의 양단만을 흡착 지지하여 인장하는 것이 아닌, 제3 지지기(123) 및 제4 지지기(124)를 구비하여 나머지 변을 추가적으로 흡착 지지함으로써, 중력과 장력에 의한 쳐짐을 방지할 수 있는 것이다. 결과적으로 본 발명이 제안하는 스테이지장치(100)는 검사 시 적재된 폴더블 디스플레이소자(FD)가 전 면적에 걸쳐서 평평한 상태로 교정 및 유지되도록 지지할 수 있다. At this time, when the supporters 122, 123, and 124 are moved, the sensing unit 140 senses the pressure applied to the foldable display device FD, and the control unit monitors it, and each moving unit 122M, By controlling the mobile units 131 coupled to 123M and 124M, the difference in tension between the respective mobile units 122M, 123M, and 124M is resolved and the stacked foldable display element FD can be properly unfolded, and the foldable display Rather than adsorbing and supporting only both ends of the element FD to support tension, the third supporter 123 and the fourth supporter 124 are provided to additionally support the remaining sides by adsorption, thereby preventing sagging due to gravity and tension. it can be As a result, the stage device 100 proposed by the present invention can support the foldable display device FD loaded during inspection to be corrected and maintained in a flat state over the entire area.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등개념으로 이해되어져야 할 것이다.As described above, the detailed description of the present invention has been made by the embodiments with reference to the accompanying drawings, but since the above-described embodiments have only been described with preferred examples of the present invention, the present invention is limited only to the above embodiments It should not be understood as being, and the scope of the present invention should be understood as the following claims and their equivalents.

100 : 스테이지장치
110 : 베이스프레임
111 : 가이드부재
GB : 가이드돌기
120 : 지지부
121 : 제1 지지기
121F : 고정유닛
121F-a : 제1 흡착 플레이트
121F-b : 하부 프레임
122 : 제2 지지기
122M : 제2 변 이동유닛
122M-a : 제2 흡착 플레이트
122M-b : 지지프레임
122M-c : 이동프레임
GR : 가이드레일
123 : 제3 지지기
123M : 제3 변 이동유닛
123M-a : 제3 흡착 플레이트
123M-b : 지지프레임
123M-c : 이동프레임
124 : 제4 지지기
124M : 제4 변 이동유닛
124M-a : 제4 흡착 플레이트
124M-b : 지지프레임
124M-c : 이동프레임
130 : 이동부
131 : 이동기
131a : 실린더
131b : 모터
140 : 센싱부
LP1 : 제1 제한부재
LP2 : 제2 제한부재
FD : 폴더블 디스플레이소자100: stage device
110: base frame
111: guide member
GB: guide projection
120: support
121: first support group
121F: Fixed unit
121F-a: first adsorption plate
121F-b : lower frame
122: second support group
122M: second side moving unit
122M-a: second adsorption plate
122M-b : support frame
122M-c: moving frame
GR : guide rail
123: third support group
123M: 3rd side moving unit
123M-a: third adsorption plate
123M-b : support frame
123M-c : moving frame
124: fourth support group
124M: 4th side moving unit
124M-a: fourth adsorption plate
124M-b : support frame
124M-c: moving frame
130: moving unit
131: mover
131a: cylinder
131b: motor
140: sensing unit
LP1: first limiting member
LP2: second limiting member
FD: foldable display device

Claims (9)

베이스프레임;
상기 베이스프레임 상단에 결합되며, 폴더블 디스플레이소자(foldable display device)의 일 측인 제1 변(邊)과 타 측인 제2 변(邊)을 흡착 지지하기 위한 제1 지지기 및 제2 지지기를 포함하는 지지부;
상기 지지부에 구비된 적어도 어느 하나의 지지기를 이동시키기 위한 이동부;
상기 이동부에 의해 이동되는 지지기와 이동부 사이에 배치되어, 상기 이동부의 동작에 의해 상기 폴더블 디스플레이소자에 적용되는 압력을 센싱하기 위한 센싱부; 및
상기한 각부를 제어하기 위한 제어부; 를 포함하고,
상기 제어부는, 상기 센싱부의 센싱값을 모니터링하여, 상기 폴더블 디스플레이소자의 전 면적이 평평하게 펼쳐지도록 상기 이동부의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
base frame;
It is coupled to the upper end of the base frame and includes a first supporter and a second supporter for adsorbing and supporting a first side that is one side of a foldable display device and a second side that is the other side of the foldable display device. to support;
a moving unit for moving at least one of the supporting units provided in the supporting unit;
a sensing unit disposed between the moving unit and the supporting unit moved by the moving unit to sense the pressure applied to the foldable display device by the operation of the moving unit; and
a control unit for controlling the respective units; including,
The control unit monitors the value sensed by the sensing unit, and controls the operation of the moving unit so that the entire area of the foldable display device is spread flat.
A stage device for supporting a foldable display device.
 제1항에 있어서,
상기 제1 지지기는,
상기 폴더블 디스플레이소자의 제1 변을 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공구멍들이 형성되어 있는 적어도 하나 이상의 흡착 플레이트; 및
상기 베이스프레임 상단에 결합되어, 상기 적어도 하나 이상의 흡착 플레이트를 지지하는 하부프레임; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
According to claim 1,
The first support group,
at least one suction plate having vacuum holes for adsorbing and supporting the first side of the foldable display device by vacuum suction force; and
a lower frame coupled to the upper end of the base frame to support the at least one suction plate; characterized in that it comprises
A stage device for supporting a foldable display device.
 제2항에 있어서,
상기 제2 지지기는, 상기 이동부에 의해 이동이 이루어지며, 상기 폴더블 디스플레이소자의 제2 변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 이동유닛; 을 구비하고,
상기 이동유닛은,
상기 폴더블 디스플레이소자를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍들이 형성되어 있는 흡착 플레이트;
상기 흡착 플레이트를 지지하기 위한 지지프레임; 및
상단이 상기 지지프레임의 하단과 마주 접하되, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
3. The method of claim 2,
The second support unit may include at least one moving unit which is moved by the moving unit and is configured to adsorb and support a second side of the foldable display device; to provide
The mobile unit is
a suction plate having vacuum holes for adsorbing and supporting the foldable display device by a vacuum suction force;
a support frame for supporting the suction plate; and
a moving frame having an upper end facing the lower end of the support frame, the lower end of which is movably coupled to the base frame; characterized in that it comprises
A stage device for supporting a foldable display device.
 제3항에 있어서,
상기 제2 지지기는, 적어도 3개 이상의 이동유닛을 구비하여 상기 폴더블 디스플레이소자의 제2 변을 흡착 지지하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
4. The method of claim 3,
The second supporter is provided with at least three or more moving units, characterized in that the second side of the foldable display device is adsorbed and supported.
A stage device for supporting a foldable display device.
 제3항에 있어서,
상기 지지부는,
상기 폴더블 디스플레이 소자의 제1 변과 인접한 제3 변(邊)을 흡착 지지하며, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 제3 지지기; 및
상기 제3 변과 대향하는 제 4변(邊)을 흡착 지지하며, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 제4 지지기; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
4. The method of claim 3,
The support part,
a third supporter for adsorbing and supporting a third side adjacent to the first side of the foldable display device, the lower end of which is movably coupled to the base frame; and
a fourth supporter for adsorbing and supporting a fourth side opposite to the third side, the lower end of which is movably coupled to the base frame; characterized in that it further comprises
A stage device for supporting a foldable display device.
 제5항에 있어서,
상기 제3 지지기 및 제4 지지기는, 상기 이동부에 의해 이동이 이루어지며, 각각 상기 폴더블 디스플레이소자의 제3 변 및 제4 변을 흡착 지지하기 위한 적어도 하나 이상의 이동유닛; 을 구비하고,
상기 이동유닛은,
상기 폴더블 디스플레이소자를 진공 흡착력으로 흡착 지지하기 위한 진공 구멍들이 형성되어 있는 흡착 플레이트;
상기 흡착 플레이트를 지지하기 위한 지지프레임; 및
상단이 상기 지지프레임의 하단과 마주 접하되, 그 하단이 상기 베이스프레임과 이동 가능하게 결합되는 이동프레임; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
6. The method of claim 5,
The third supporter and the fourth supporter may include at least one moving unit which is moved by the moving part and is configured to adsorb and support a third side and a fourth side of the foldable display device, respectively; to provide
The mobile unit is
a suction plate having vacuum holes for adsorbing and supporting the foldable display device by a vacuum suction force;
a support frame for supporting the suction plate; and
a moving frame having an upper end facing the lower end of the support frame, the lower end of which is movably coupled to the base frame; characterized in that it comprises
A stage device for supporting a foldable display device.
 제4항 또는 제6항에 있어서,
상기 이동부는, 상기 제2 지지기, 제3 지지기 및 제4 지지기 중 적어도 어느 하나의 지지기가 구비하는 이동유닛과 결합되어, 이를 이동시키기 위한 이동기; 를 구비하며,
상기 이동기는,
상기 이동유닛을 이동시키기 위한 피스톤이 인출되는 실린더; 및
상기 실린더에 구동력을 제공하기 위한 모터; 를 포함하고,
상기 이동기는 각 지지기에 구비된 이동유닛과 대응되는 수로 구비되어, 각각의 이동유닛과 일대일 결합되는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
7. The method according to claim 4 or 6,
The moving unit may include: a moving unit coupled to a moving unit provided in at least one of the second supporting unit, the third supporting unit, and the fourth supporting unit, and configured to move the moving unit; is provided,
The mobile device,
a cylinder from which a piston for moving the moving unit is drawn out; and
a motor for providing a driving force to the cylinder; including,
The mobile unit is provided in a number corresponding to the mobile unit provided in each support, characterized in that the one-to-one coupling with each mobile unit
A stage device for supporting a foldable display device.
 제7항에 있어서,
상기 폴더블 디스플레이소자는 초박막 글라스(Ultra Thin Glass; UTG)로 마련되는 것을 특징으로 하는
폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치.
8. The method of claim 7,
The foldable display device is characterized in that it is provided with ultra-thin glass (UTG)
A stage device for supporting a foldable display device.
 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 스테이지장치가 적용된
폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비.The stage device according to any one of claims 1 to 8 is applied
Inspection equipment for inspecting foldable display devices.
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