KR20220001289A - 라미네이팅 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 라미네이팅 방법은, 기판에 형성된 표시와, 연속적으로 공급되는 필름에 형성된 표시를 감지하는 단계; 상기 기판의 표시와 상기 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 상기 필름의 위치를 보정하는 단계; 위치가 보정된 상기 필름과 대응되는 위치로 상기 기판을 이동시키는 단계; 및 상기 필름을 상기 기판 쪽으로 가압하여 상기 필름을 상기 기판에 부착하는 단계를 포함하고, 상기 필름에는 절취선에 의해 구획되는 부착 영역과 잔여 영역이 형성되고, 상기 필름의 표시는 상기 부착 영역에 형성되며, 상기 부착하는 단계에서는 상기 부착 영역을 상기 잔여 영역으로부터 절취하여 상기 부착 영역만 상기 기판에 부착한다.
Description
본 발명은 기판에 필름을 압착하여 라미네이팅 처리하는 방법에 관한 것이다.
최근 기술발전 및 소비자의 요구로 인해 스마트폰 등의 휴대용 전자기기는 그 기능이 점차 다양해지는 고사양을 구현할 수 있게 되었고, 두께는 더욱 얇아지게 되었다. 이 과정에서 휴대용 전자기기의 터치 스크린 패널은 다양한 회로 패턴을 형성하거나, 표면을 코팅 또는 식각하는 제조과정을 거치게 되었다. 또한, 내장된 카메라 렌즈가 별도 위치에 분리되었던 디자인에서 터치 스크린 글라스 패널 내측에 위치하는 디자인 및 기술이 제안되기도 하였다.
상기와 같은 다양한 디자인 및 기능 향상을 위해 기판에 ITO 필름(Indium Tin Oxide film) 내지 OCA(Optically Clear Adhesive) 등의 피적층물을 적층하거나, 터치 스크린 패널의 제조과정 중 부분 코팅 및 부분 식각이 요구되는 경우 보호 필름을 글라스 등의 기판 양면에 라미네이팅 한 후 다음 공정을 진행하는 제조 과정이 요구되었다.
하지만, 스마트폰 등 휴대용 전자기기는 점차 그 크기가 소형화되면서 이와 같은 보호필름을 정확한 위치에 접착한다는 것은 매우 어려운 일이 되었고, 불량률이 높아 제품의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있었다.
이러한 문제를 해결하기 위해 글라스 등의 기판에 필름을 정밀하게 압착하는 다수의 라미네이팅 장치가 제시되어 있다. 예컨대 등록특허공보 제10-1509660호(2015.04.01.)에 기재된 전자동 라미네이팅 장치는 비전 카메라로 필름을 촬영하여 정위치로부터 틀어진 정도에 관한 정보를 파악하고, 기판이 흡착된 에어 플레이트를 서보 모터로 회전시켜 틀어진 정도를 보정하는 구성을 갖는다.
상기와 같은 구성의 라미네이팅 장치는 필름의 틀어진 정도에 대응하여 기판을 회전시키므로 기판과 필름을 정위치에서 라미네이팅 할 수 있다. 그러나, 위와 같은 구성에서는 낱장의 필름과 낱장의 기판만 정위치에서 라미네이팅 할 수 있을 뿐, 연속적으로 공급되는 필름과 다수의 기판을 순차적으로 라미네이팅 할 수 없다.
본 발명은 연속적으로 공급되는 필름과 다수의 기판을 순차적으로 압착할 수 있는 구성의 라미네이팅 방법을 제안하기 위한 것이다.
본 발명은 신속하게 필름을 기판에 부착할 수 있는 라미네이팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 필름의 부착 영역을 잔여 영역으로부터 효과적으로 절취하여 상기 부착 영역만 기판에 부착할 수 있는 라미네이팅 방법을 제시하기 위한 것이다.
본 발명은 기판의 표시를 감지한 결과와 필름의 위치를 감지한 결과를 근거로 필름의 부착 위치와 부착 각도 중 적어도 하나를 정밀하게 제어하는 라미네이팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 라미네이팅 방법은, 기판에 형성된 표시와, 연속적으로 공급되는 필름에 형성된 표시를 감지하는 단계; 상기 기판의 표시와 상기 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 상기 필름의 위치를 보정하는 단계; 위치가 보정된 상기 필름과 대응되는 위치로 상기 기판을 이동시키는 단계; 및 상기 필름을 상기 기판 쪽으로 가압하여 상기 필름을 상기 기판에 부착하는 단계를 포함하고, 상기 필름에는 절취선에 의해 구획되는 부착 영역과 잔여 영역이 형성되고, 상기 필름의 표시는 상기 부착 영역에 형성되며, 상기 부착하는 단계에서는 상기 부착 영역을 상기 잔여 영역으로부터 절취하여 상기 부착 영역만 상기 기판에 부착한다.
상기 필름에는 상기 필름의 길이 방향 또는 상기 필름의 공급 방향을 따라 다수의 상기 부착 영역이 서로 이격된 위치에 규칙적으로 형성된다.
상기 부착하는 단계에서는 상기 부착 영역을 상기 기판 쪽으로 가압하여 상기 부착 영역을 상기 잔여 영역으로부터 절취한다.
상기 부착하는 단계에서는 상기 부착 영역을 상기 기판 쪽으로 가압한 상태에서 상기 부착 영역의 주변을 상기 기판의 반대 쪽으로 이동시켜 상기 부착 영역을 상기 잔여 영역으로부터 절취한다.
상기 라미네이팅 방법은 상기 감지하는 단계 이전에, 롤 형태로 감겨진 상기 필름을 언와인딩 하는 단계; 상기 필름에 부착된 이형지를 박리시키는 단계; 및 상기 이형지를 분리하고 남은 필름을 상기 부착 영역이 두 장력 조절 롤러의 사이에 위치하도록 공급하는 단계를 포함한다.
상기 감지하는 단계에서 상기 기판의 표시와 상기 필름의 표시는 서로 다른 비전 센서에 의해 동시에 또는 순차적으로 감지된다.
상기 필름의 표시는 상기 부착 영역마다 복수로 형성되고, 상기 필름의 표시를 감지하는 단계에서는 상기 기판의 표시와 상기 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 상기 필름의 위치와 방향을 보정한다.
상기 부착하는 단계 이후에 상기 필름의 가압을 해제하고, 상기 기판 다음의 기판에 형성된 표시와 상기 부착 영역 다음의 부착 영역에 형성된 표시를 감지하여 상기 감지하는 단계부터 상기 부착하는 단계까지의 과정을 반복한다.
상기 반복하는 동안 상기 필름은 롤 형태로 감겨져 있다가 언와인딩에 의해 연속적으로 공급된다.
상기 기판은 상기 감지하는 단계 이전에 스테이지에 복수로 배열되어 로딩되며, 상기 감지하는 단계부터 상기 부착하는 단계까지의 과정을 연속적으로 반복함에 따라 상기 스테이지에 배열된 복수의 기판에 상기 필름의 부착 영역이 모두 부착되면, 상기 스테이지가 상기 로딩 방향의 반대 방향으로 언로딩되는 동안 라미네이팅 롤러가 상기 부착 영역을 상기 기판에 압착하여 라미네이팅 처리한다.
본 발명의 라미네이팅 방법은 부착 영역을 필름의 잔여 영역으로부터 절취하여 기판에 절취하도록 이루어지므로, 낱장의 필름이 하나씩 공급되는 것이 아니라 롤 형태에서 언와인딩 되는 필름이 연속적으로 공급되더라도 자동화에 의해 필름을 기판에 부착시킬 수 있다.
또한 본 발명의 라미네이팅 방법은, 연속적으로 공급되는 필름에서 부착 영역을 절취하여 기판에 하나씩 부착하도록 이루어지므로, 신속하게 다수의 기판에 필름을 부착시킬 수 있다.
본 발명의 라미네이팅 방법은 필름의 부착 영역을 기판 쪽으로 가압하고, 상기 부착 영역의 주변을 상기 가압하는 방향의 반대 방향으로 이동시키므로, 절취선을 따라 부착 영역이 잔여 영역으로부터 효과적으로 절취될 수 있다.
본 발명의 라미네이팅 방법은 제1 비전 센서에서 기판의 표시를 감지한 결과와 제2 비전 센서에서 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 필름의 부착 위치 및 또는 부착 방향을 제어하게 되므로, 적어도 하나의 홀이 형성된 기판에 적어도 하나의 홀이 형성된 필름을 부착 대상 위치에 정확하게 부착시킬 수 있다.
도 1은 제1 실시예에 따른 라미네이팅 장치의 사시도다.
도 2는 도 1에 도시된 헤드의 사시도다.
도 3은 도 1에 도시된 헤드의 정면도다.
도 4는 제2 프레임과 상기 제2 프레임에 연결되는 주요 구성들을 도시한 사시도다.
도 5는 제2 프레임과 상기 제2 프레임에 연결되는 필름 가압부를 도시한 사시도다.
도 6 내지 도 13은 제1 실시예의 라미네이팅 장치의 동작 과정을 순차적으로 나타낸 개념도들이다.
도 14는 제2 실시예에 따른 라미네이팅 장치의 헤드를 도시한 사시도다.
도 15는 도 14에 도시된 헤드의 정면도다.
도 16은 제2 중간 프레임과 제2 프레임, 그리고 상기 제2 중간 프레임과 제2 프레임에 연결되는 주요 구성들을 도시한 사시도다.
도 17은 제2 중간 프레임과 상기 제2 중간 프레임에 연결되는 필름 가압부를 도시한 사시도다.
도 18은 제2 실시예의 라미네이팅 장치에서 기판에 부착되는 필름을 도시한 개념도다.
도 19는 본 발명에서 제안하는 라미네이팅 방법의 흐름도다.
도 2는 도 1에 도시된 헤드의 사시도다.
도 3은 도 1에 도시된 헤드의 정면도다.
도 4는 제2 프레임과 상기 제2 프레임에 연결되는 주요 구성들을 도시한 사시도다.
도 5는 제2 프레임과 상기 제2 프레임에 연결되는 필름 가압부를 도시한 사시도다.
도 6 내지 도 13은 제1 실시예의 라미네이팅 장치의 동작 과정을 순차적으로 나타낸 개념도들이다.
도 14는 제2 실시예에 따른 라미네이팅 장치의 헤드를 도시한 사시도다.
도 15는 도 14에 도시된 헤드의 정면도다.
도 16은 제2 중간 프레임과 제2 프레임, 그리고 상기 제2 중간 프레임과 제2 프레임에 연결되는 주요 구성들을 도시한 사시도다.
도 17은 제2 중간 프레임과 상기 제2 중간 프레임에 연결되는 필름 가압부를 도시한 사시도다.
도 18은 제2 실시예의 라미네이팅 장치에서 기판에 부착되는 필름을 도시한 개념도다.
도 19는 본 발명에서 제안하는 라미네이팅 방법의 흐름도다.
이하, 본 발명에 관련된 라미네이팅 장치와 라미네이팅 방법에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 명세서에서 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
또한, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 제1 실시예에 따른 라미네이팅 장치의 사시도다.
본 발명의 라미네이팅 장치는, 작업대(100), 스테이지 이송부(200), 스테이지(300), 헤드 이송부(400), 헤드(500), 라미네이팅 롤러부(600)를 포함한다.
작업대(100)는 라미네이팅 장치의 기초 골격을 형성하고, 바닥면에 안정적으로 설치 가능하도록 형성된다. 작업대(100)는 스테이지(300) 등 상기 작업대(100)에 설치되는 각 구성들을 고정 및 지지하도록 형성된다. 예컨대 작업대(100)는 평평한 상부면을 구비하여, 상기 구성들의 설치 영역을 제공한다.
작업대(100)의 상부면에는 적어도 한 쌍의 수직 기둥(110)이 서로 이격된 위치에 설치된다. 또한 수평 바(120)는 서로 이격된 수직 기둥(110)을 상호 연결하도록 형성된다.
수직 기둥(110)과 수평 바(120)의 위치를 설명하기 위해 방향에 대해 먼저 정의한다면, 후술하게 될 스테이지(300)의 이송 방향은 제1 방향 혹은 전후 방향으로 정의되고, 헤드(500)의 이송 방향은 제2 방향 혹은 좌우 방향으로 정의된다. 제2 방향은 제1 방향에 대해 교차 또는 직교하는 방향이며, 제1 방향과 제2 방향은 수평면 상에서 서로 교차 또는 직교할 수 있다. 마지막으로 제3 방향은 제1 방향과 제2 방향에 교차 또는 직교하는 방향이며, 상하 방향이 제3 방향에 해당할 수 있다. 직교 좌표계에서 제1 방향은 x축, 제2 방향은 y축, 제3 방향은 z축에 해당할 수 있다.
바람직하게, 수직 기둥(110)과 수평 바(120)는 헤드(500)의 안정적인 거치와 이송을 위해 두 쌍이 구비된다. 제1 방향에서 한 쌍의 수직 기둥(110)과 다른 한 쌍의 수직 기둥(110)이 서로 이격된 위치에 배치되고, 같은 쌍 내의 두 수직 기둥(110)끼리는 제2 방향에서 서로 이격된다. 그리고 수평 바(120)는 제2 방향을 따라 연장되어 제2 방향에서 서로 이격되어 있는 수직 기둥(110)을 상호 연결한다.
스테이지 이송부(200)는 작업대(100)의 상부에 설치되어 제1 방향을 따라 스테이지(300)를 선형으로 이송하도록 형성된다. 스테이지 이송부(200)는 제1 방향을 따라 이송하기 위한 구동력을 제공하는 동력 수단과, 작업대(100)에 형성되어 제1 방향으로 연장되는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라 이송 동작을 하는 이송체 등을 포함하여 구성된다.
동력 수단에서 전기적 또는 기계적 신호가 전달된면, 이송체가 가이드 레일을 따라 제1 방향으로 양 방향 슬라이딩 되는 이송 동작이 구현된다. 상기 이송체는 스테이지(300)와 일체로 형성될 수 있다.
스테이지(300)는 상기 스테이지 이송부(200)에 연결된다. 스테이지(300)는 라미네이팅 작업을 진행하기 위한 기판 등의 작업 대상물을 거치하거나 고정 가능하도록 형성된다. 여기서 기판이란 필름이 압착될 작업 대상물을 가리키는 것으로, 예컨대 글라스가 기판에 해당할 수 있다. 그러나 기판의 종류가 반드시 글라스에 한정되는 것은 아니다. 스테이지(300)는 스테이지 이송부(200)에 연결되므로, 스테이지 이송부(200)의 구동에 의해 스테이지(300)가 이송체를 따라 제1 방향으로 이송된다.
스테이지(300)는 기판의 거치를 위한 평면을 제공한다. 예컨대 스테이지(300)의 상부면이 평평한 평면으로 형성될 수 있다.
스테이지(300)는 기판을 고정하기 위한 수단으로 진공 흡착부(310)를 구비할 수 있다. 진공 흡착부(310)는 글라스 패널과 같은 평평한 기판을 진공 흡착 방식에 의해 스테이지(300)의 상부면에 고정시킬 수 있다.
헤드(500)는 헤드 이송부(400)에 의해 제2 방향을 따라 선형 이송된다. 헤드 이송부(400)는 작업대(100)의 상측에 설치된다. 헤드 이송부(400)는 헤드(500)를 제2 방향 양방향으로 이송하도록 형성된다.
헤드 이송부(400)는 스테이지 이송부(200)의 상측에 배치된다. 헤드 이송부(400)는 제2 방향을 따라 이송하기 위한 구동력을 제공하는 동력 수단과, 수평 바(120)의 상부에 설치되어 제2 방향을 따라 연장되는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라 이송동작을 하는 이송체를 포함하여 구성된다.
스테이지 이송부(200)와 헤드 이송부(400)의 하위 구성 요소들을 서로 구분하기 위해 각 하위 구성 요소들의 명칭 앞에 이송 방향 및/또는 이송 대상이 부기될 수 있다. 예컨대, 스테이지 이송부(200)는 제1 방향 동력 수단(혹은 제1 방향 스테이지 동력 수단), 및 제1 방향 가이드 레일(혹은 제1 방향 스테이지 가이드 레일), 제1 방향 이송체(혹은 제1 방향 스테이지 이송체)를 포함하고, 헤드 이송부(400)는 제2 방향 동력 수단(혹은 제2 방향 헤드 동력 수단), 제2 방향 가이드 레일(혹은 제2 방향 헤드 가이드 레일), 및 제2 방향 이송체(혹은 제2 방향 헤드 이송체)를 포함한다.
제1 방향 동력 수단과 제2 방향 동력 수단은 회전운동을 직선운동을 변환하는 볼 스크류(Ball screw) 방식, 랙 과 피니언(Rack and Pinion) 방식, 리니어 모터(linear-motor system) 방식 등 공지된 기술을 이용하여 구성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
제2 방향 동력 수단에서 전기적 또는 기계적 신호가 전달되면, 제2 방향 이송체가 제2 방향 가이드 레일을 따라 제2 방향으로 양 방향 슬라이딩 되는 이송 동작이 구현된다. 상기 제2 방향 이송체는 헤드(500)와 일체로 형성될 수 있으며, 제2 방향 이송체의 이송 동작에 의해 헤드(500)가 제2 방향을 따라 선형 이송된다.
라미네이팅 장치에 헤드(500)는 복수로 구비될 수 있다. 예컨대 도 1에는 두 개의 헤드(500)가 라미네이팅 장치에 구비된 구성을 보이고 있다. 이때 두 헤드(500)는 서로 대칭이 구조를 가질 수 있다. 헤드(500)의 수에 따라 복수의 기판에 필름을 부착하는 시간이 단축될 수 있다.
다음으로는 헤드 이송부(400)에 의해 제2 방향으로 선형 이송되는 헤드(500)에 대하여 설명한다.
도 2는 도 1에 도시된 헤드(500)의 사시도다.
도 3은 도 1에 도시된 헤드(500)의 정면도다.
도 4는 제2 프레임(520)과 상기 제2 프레임(520)에 연결되는 주요 구성들을 도시한 사시도다.
도 5는 제2 프레임(520)과 상기 제2 프레임(520)에 연결되는 필름 가압부(560)를 도시한 사시도다.
헤드(500)는 스테이지(300)에 의해 이송되는 기판에 필름을 부착하도록 형성된다. 헤드(500)는 헤드 이송부(400)에 의해 제2 방향으로 선형 이동 가능하도록 설치된다. 헤드(500)는 제1 프레임(510), 중간 프레임(515), 제2 프레임(520), 프레임 이송부(541, 543), 필름 공급부(550), 필름 가압부(560), 제1 비전 센서(571) 및 제2 비전 센서(572) 등을 포함한다.
제1 프레임(510)은 헤드 이송부(400)에 연결되어 제2 방향을 따라 선형 이송된다. 헤드 이송부(400)가 구동하게 되면 제1 프레임(510)은 헤드 이송부(400)의 제2 방향 가이드 레일을 따라 이송된다.
제1 프레임(510)은 헤드(500)를 구성하는 주요 구성들을 연결하거나 지지하도록 형성된다. 예컨대 제1 프레임(510)은 필름 공급부(550)를 구성하는 다수의 롤러들을 회전 가능하게 지지하거나, 제1 비전 센서(571)와 제2 비전 센서(572)를 지지하도록 형성되는 판 구조를 가질 수 있다. 다만, 여기서의 판 구조가 반드시 평평한 면을 갖는 판을 의미하는 것은 아니다.
제1 프레임(510)은 제2 방향을 따라서만 선형 이동하고, 제1 방향과 제3 방향에 대하여는 고정되어 있다. 따라서, 제1 프레임(510)에 설치되는 다수의 롤러 등도 제2 방향을 따라서만 선형 이동하게 된다.
중간 프레임(515)은 제1 프레임(510)에 제1 방향과 제3 방향 중 어느 한 방향으로 상대 이동 가능하게 연결된다. 도 4와 도 5에 도시된 바에 의하면, 중간 프레임(515)은 제1 방향 프레임 이송부(541)에 의해 제1 방향으로 상대 이동 가능하게 제1 프레임(510)에 연결된다.
중간 프레임(515)은 판 구조를 가질 수 있다. 도 4를 참조하면, 중간 프레임(515)은 비읍자(ㅂ) 부분과, 상기 비읍자 하단 중앙에서 하측으로 돌출된 부분을 갖는 것으로 도시되어 있다. 중간 프레임(515)의 구조는 필요에 따라 변형 가능하다.
제2 프레임(520)은 중간 프레임(515)에 제1 방향과 제3 방향 중 다른 한 방향으로 상대 이동 가능하게 연결된다. 도 4에 도시된 바에 의하면, 제2 프레임(520)은 제3 방향 프레임 이송부(543)에 의해 제3 방향으로 상대 이동 가능하게 중간 프레임(515)에 연결된다.
중간 프레임(515)과 제2 프레임(520)은 제1 프레임(510)의 하부에 배치될 수 있다. 중간 프레임(515)은 제1 프레임(510)과 제2 프레임(520)의 사이에서 제1 방향과 제3 방향의 상대 이동 구현을 위한 매개체에 해당한다.
제1 프레임(510)이 작업대(100)나 스테이지(300)에 대해 제2 방향으로 선형 이동 가능하고, 중간 프레임(515)이 제1 프레임(510)에 대해 제1 방향으로 선형 이동 가능하며, 제2 프레임(520)이 중간 프레임(515)에 대해 제3 방향으로 선형 이동 가능하다. 따라서, 제2 프레임(520)은 제1 프레임(510)과 중간 프레임(515)과 같은 중간 매개체를 통해 작업대(100)나 스테이지(300)에 대해 제1 방향, 제2 방향, 제3 방향에 대해 세 방향으로 상대 이동 가능하다.
제2 프레임(520)은 제3 방향에서 기판과 대향하는 위치에 배치되어 필름 부착 작업이 이루어지도록 동작한다.
제2 프레임(520)은 베이스(521)와 보호부(522a, 522b, 522c, 522d)를 포함한다.
베이스(521)는 판 구조를 가질 수 있다. 베이스(521)는 중간 프레임(515)과 나란하게 배치될 수 있다. 상기 판 구조에는 다수의 구멍이 형성될 수 있다. 후술하게 될 필름 가압부(560)는 베이스(521)에 형성되는 구멍을 출입하게 된다.
베이스(521)는 제1 프레임(510)에 상대 이동 가능하게 연결된다. 베이스(521)에는 적어도 하나의 장력 조절 롤러가 회전 가능하게 연결된다. 특히 베이스(521)에 연결되는 두 장력 조절 롤러(557a, 557b)의 사이에 제2 비전 센서(572)가 위치할 수 있다.
보호부(522a, 522b, 522c, 522d)는 베이스(521)에 연결된다. 보호부(522a, 522b, 522c, 522d)는 장력 조절 롤러(556)에 의해 가이드 되는 필름(F)과 제2 비전 센서(572) 사이의 영역을 감싸도록 형성된다. 보호부(522a, 522b, 522c, 522d)는 제1 돌출부(522a, 522b), 연결부(522c), 제2 돌출부(522d)를 구비한다.
제1 돌출부(522a, 522b)는 한 쌍으로 구비되며, 한 쌍의 제1 돌출부(522a, 522b)는 제1 방향에서 서로 이격된 위치에서 베이스(521)에 연결된다. 제1 돌출부(522a, 522b)는 베이스(521)로부터 제2 방향을 따라 돌출된다.
제2 돌출부(522d)는 디귿자 형태로 형성될 수 있으며, 제3 방향에서 제1 돌출부(522a, 522b)로부터 이격된 위치에 배치된다. 제2 돌출부(522d)는 베이스(521)로부터 제2 방향을 따라 돌출된다.
연결부(522c)는 제1 돌출부(522a, 522b)와 제2 돌출부(522d)를 연결한다. 연결부(522c)는 제3 방향을 따라 연장되며, 베이스(521)와 평행하게 배치될 수 있다. 연결부(522c)는 Y(와이)자 구조를 가질 수 있다. 제1 돌출부(522a, 522b), 제2 돌출부(522d) 및 연결부(522c)에 의해 감싸이는 영역에 제2 비전 센서(572)가 배치되며, 필름 가압부(560)는 이동에 의해 상기 감싸이는 영역으로 진입할 수 있도록 배치된다.
프레임 이송부(541, 543)는 중간 프레임(515)을 중간 매개체로 제1 프레임(510)에 대하여 제2 프레임(520)을 제1 방향과 제3 방향으로 이송하도록 형성된다. 프레임 이송부(541, 543)는 제1 방향 프레임 이송부(541)와 제3 방향 프레임 이송부(543)를 포함한다.
제1 방향 프레임 이송부(541)는 제1 방향에서 기판과 필름의 상대적인 위치를 보정하기 위해 제1 프레임(510)에 대하여 중간 프레임(515)을 제1 방향으로 선형 이송하는 구성이다. 제1 방향 프레임 이송부(541)는 제1 프레임(510)과 중간 프레임(515)에 연결된다. 제1 프레임(510)은 제1 방향 프레임 이송부(541)의 일측에 연결되고, 중간 프레임(515)은 제1 방향 프레임 이송부(541)의 타측에 연결된다.
제1 방향 프레임 이송부(541)는 구동력을 제공하는 구동부(541a)와, 상기 구동부(541a)로부터 제공되는 구동력에 의해 제1 방향을 따라 길이 연장 또는 길이 축소 가능하도록 형성되는 가변부(541b)를 포함한다. 가변부(541b)는 가이드 레일을 포함하는 구조를 가질 수 있다.
또한 제1 방향 프레임 이송부(541)는 보조 가변부(541c)를 포함할 수 있다. 보조 가변부(541c)는 제3 방향에서 가변부(541b)로부터 이격된 위치에 배치된다. 보조 가변부(541c)는 가변부(541b)와 마찬가지로 가이드 레일을 포함하는 구조를 가질 수 있다.
제1 방향 프레임 이송부(541)는 연속적으로 공급되는 필름을 기판의 정확한 위치에 부착시키는 과정에서, 필름이 신축되는 현상이나 기타의 원인에 의해 필름의 위치가 기판의 위치와 매칭되지 않을 경우 필름의 위치를 보정하기 위해 동작한다. 이를 위해 제1 방향 프레임 이송부(541)는 제1 비전 센서(571)에서 기판의 표시를 감지한 결과 및/또는 제2 비전 센서(572)에서 필름의 위치를 감지한 결과에 근거하여 작동할 수 있다.
제3 방향 프레임 이송부(543)는 제3 방향에서 필름의 위치를 변화시키기 위해, 중간 프레임(515)에 대하여 제2 프레임(520)을 제3 방향으로 선형 이송하는 구성이다. 제3 방향 프레임 이송부(543)는 중간 프레임(515)과 제2 프레임(520)에 연결된다. 중간 프레임(515)은 제3 방향 프레임 이송부(543)의 일측에 연결되고, 제2 프레임(520)은 제3 방향 프레임 이송부(543)의 타측에 연결된다.
제3 방향 프레임 이송부(543)는 구동력을 제공하는 구동부(543a)와, 상기 구동부(543a)로부터 제공되는 구동력에 의해 제3 방향을 따라 길이 연장 또는 길이 축소 가능하도록 형성되는 가변부(543b)를 포함한다. 가변부(543b)는 가이드 레일을 포함하는 구조를 가질 수 있다.
또한 제1 방향 프레임 이송부(543)는 보조 가변부(543c)를 포함할 수 있다. 보조 가변부(543c)는 제1 방향에서 가변부(543b)로부터 이격된 위치에 배치된다. 보조 가변부(543c)는 가변부(543b)와 마찬가지로 가이드 레일을 포함하는 구조를 가질 수 있다.
제3 방향 프레임 이송부(543)는 필름의 위치 보정과는 무관하고, 부착 영역과 잔여 영역을 구비하는 필름의 잔여 영역으로부터 부착 영역을 절취해 내기 위해 동작한다. 필름의 절취에 대하여는 후술한다.
제1 방향 프레임 이송부(541)와 제3 방향 프레임 이송부(543)의 구동부(541a, 543a)를 구성하는 액추에이터는 전기에너지 또는 유압이나 공압과 같은 에너지원으로 작용하는 실린더, 볼 스크류, 랙 기어와 피니언 기어, 리니어 모터 등이 적용될 수 있으나 반드시 이에 한정하지는 않는다.
제1 방향 프레임 이송부(541)와 제3 방향 프레임 이송부(543)의 위치는 서로 바뀔 수 있으며, 이 경우 중간 프레임(515)과 제2 프레임(520)의 상대 이동 방향은 변경된다.
필름 공급부(550)는 라미네이팅 작업에 사용될 필름(F)을 공급하거나 이형지(F')를 회수하도록 형성된다. 또한 필름 공급부(550)는 필름(F)의 연속적인 공급 과정에서 필름(F)의 텐션을 유지하거나 필름(F) 공급의 속도 및 길이를 제어할 수 있다. 이러한 동작을 위해 필름 공급부(550)는 제1 프레임(510) 또는 제2 프레임(520)에 설치되는 다수의 롤러 등으로 구성될 수 있다.
보다 상세하게, 필름 공급부(550)는 필름 공급 롤러(551), 이형지 회수 롤러(552), 잔여 필름 회수 롤러(553), 피딩 롤러(554), 스테핑 모터(555), 다수의 장력 조절 롤러(556)를 포함한다.
필름 공급 롤러(551)는 롤 형태로 수용하고 있는 필름(F)을 공급한다. 필름 공급 롤러(551)는 기판에 부착될 필름(F)을 연속적으로 공급하도록 롤 형태로 감겨진 필름(F)을 회전에 의해 언와인딩 한다.
이형지 회수 롤러(552)는 이형지(F')를 회수하도록 회전에 의해 이형지(F')를 와인딩 한다. 이형지(F')란 필름(F)의 점착면을 보호하기 위해 붙인 보호지를 가리키는 것으로, 부착 전 필름(F)으로부터 박리된다.
잔여 필름 회수 롤러(553)는 필름 공급 롤러(551)에서 연속적으로 공급되는 필름(F)의 부착 영역을 절취하고 남은 잔여 영역(B)을 회수하도록 잔여 영역을 와인딩 한다. 이형지(F')가 박리된 필름(F)의 전 영역이 기판에 부착되는 것이 아니라, 일부 영역만 절취되어 기판에 부착된다. 여기서 기판에 부착되는 일부 영역은 부착 영역으로 명명되고, 나머지 영역은 잔여 영역(B)으로 명명된다. 필름(F)에는 필름(F)의 길이 방향 또는 필름(F)의 공급 방향을 따라 다수의 부착 영역이 서로 이격된 위치에 규칙적으로 형성된다. 이에 따라 라미네이팅 장치에 의한 라미네이팅 과정에서 필름(F)이 연속적으로 공급될 수 있다.
피딩 롤러(554)는 필름(F)의 공급 방향에서 필름 공급 롤러(551)와 잔여 필름 회수 롤러(553)의 사이에 배치된다. 그리고 스테핑 모터(555)는 피딩 롤러(554)를 일정하게 회전시키도록 형성된다. 피딩 롤러(554)와 스테핑 모터(555)는 필름(F)을 일정한 길이로 공급하기 위한 구성이다.
장력 조절 롤러(556)는 필름(F) 및 이형지(F')를 연속적으로 공급 및 회수하는 과정에서 원활한 동작이 가능하도록 필름(F)과 이형지(F')에 장력을 형성한다. 장력 조절 롤러(556)는 복수로 구비되며, 필요에 따라 그 수가 증가하거나 감소될 수 있다.
특히 다수의 장력 조절 롤러(556) 중 두 장력 조절 롤러(557a, 557b)는 제2 프레임(520)에 설치되며, 필름(F)의 공급과 회수 과정을 기준으로 필름 공급 롤러(551)와 잔여 필름 회수 롤러(553)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 두 장력 조절 롤러(557a, 557b)는 제1 방향을 기준으로 제2 비전 센서(572)를 사이에 두고 양측에 하나씩 배치될 수 있다.
필름 가압부(560)는 중간 프레임(515)에 설치된다. 따라서 헤드 이송부(400)와 제1 방향 프레임 이송부(541)가 동작하면, 필름 가압부(560)는 중간 프레임(515)과 함께 제2 방향 또는 제1 방향을 따라 이동하게 된다. 반면, 필름 가압부(560)가 제3 방향 프레임 이송부(543)와는 독립적으로 구동되므로, 필름 가압부(560)가 제3 방향을 따라 필름(F)을 가압하는 동안, 제3 방향 프레임 이송부(543)는 그 반대 방향으로 제2 프레임(520)과 필름(F)의 위치를 이동시킬 수 있다.
제1 비전 센서(571)는 제1 프레임(510)에 설치된다. 제1 비전 센서(571)는 제3 방향 또는 작업대(100)를 향하도록 설치된다.
제1 비전 센서(571)는 기판에 형성된 표시를 감지하도록 형성된다. 여기서 표시는 기판에 형성된 홀로 구성될 수 있다. 제1 비전 센서(571)는 영상 촬영을 통해 대상물의 특정 위치 좌표를 검출하는 비전 카메라로 구성될 수 있다.
제1 비전 센서(571)에서 영상 촬영을 통해 기판의 특정 위치가 검출되면, 스테이지 이송부(200)에 의해 스테이지(300)가 제1 방향을 따라 일정한 거리만큼 이송된다. 스테이지(300)에 흡착된 기판도 스테이지(300)를 따라 일정한 거리만큼 이송된다. 일정한 거리는 제1 방향에서 제1 비전 센서(571)와 제2 비전 센서(572) 사이의 이격 거리와 같을 수 있다.
제2 비전 센서(572)는 제1 프레임(510)에 설치된다. 중간 프레임(515)에 형성되는 구멍과 제2 프레임(520)에 형성되는 구멍은 제2 비전 센서(572)를 제1 프레임(510)에 연결하는 구조물이 배치되는 영역이다.
제2 비전 센서(572)는 제3 방향 또는 작업대(100)를 향하도록 설치된다. 제1 방향에서 제1 비전 센서(571)와 제2 비전 센서(572)는 서로 이격된 위치에 배치된다.
제2 비전 센서(572)는 필름(F)에 형성된 표시를 감지하도록 형성된다. 여기서 표시는 필름(F)에 형성된 홀로 구성될 수 있다. 제2 비전 센서(572)는 영상 촬영을 통해 대상물의 특정 위치 좌표를 검출하는 비전 카메라로 구성될 수 있다.
제1 비전 센서(571)에서 기판의 표시를 감지한 결과 및/또는 제2 비전 센서(572)에서 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 필름(F)의 위치가 제어된다. 예컨대 영상 촬영을 통해 검출된 필름(F)의 위치가 기설정된 좌표값에서 벗어나 있으면, 제1 방향 프레임 이송부(541)가 작동하여 제1 방향에서 중간 프레임(515)과 제2 프레임(520)의 위치를 보정한다. 제1 방향에서 제2 프레임(520)의 위치가 보정되면, 자연스럽게 필름(F)의 위치도 보정된다.
다른 예로, 제2 비전 센서(572)에서 영상 촬영을 통해 검출된 필름(F)의 위치가 제1 비전 센서(571)에서 영상 촬영을 통해 검출된 기판의 위치와 매칭되지 않으면, 마찬가지로 제1 방향 프레임 이송부(541)가 작동하여 제2 프레임(520)의 위치와 필름(F)의 위치를 보정한다.
영상 촬영을 통해 검출된 필름의 위치가 기설정된 좌표값과 일치하거나, 기판의 위치와 필름(F)의 위치가 매칭되거나, 보정이 완료되면, 필름 가압부(560)가 작동하여 필름(F)을 기판에 밀착시키는 후속 동작이 이루어진다.
기판과 필름의 위치가 서로 대응되는 위치로 정렬된 후 필름 가압부(560)는 필름(F)을 기판 쪽으로 가압하여 기판의 정해진 위치에 필름(F)을 부착시키도록 형성된다. 필름 가압부(560)는 제3 방향 이송 유닛(561), 제2 방향 이송 유닛(562) 및 푸시 유닛(563)을 포함한다.
제3 방향 이송 유닛(561)은 중간 프레임(515)에 연결된다. 제3 방향 이송 유닛(561)은 제3 방향을 따라 길이 연장 또는 길이 축소 가능한 액추에이터로 구성될 수 있다.
제2 방향 이송 유닛(562)은 제3 방향 이송 유닛(561)에 연결된다. 제2 방향 이송 유닛(562)은 제2 방향을 따라 길이 연장 또는 길이 축소 가능한 액추에이터로 구성될 수 있다.
푸시 유닛(563)은 제2 방향 이송 유닛(562)에 연결된다. 제2 방향 이송 유닛(562)이 작동하게 되면 푸시 유닛(563)은 제2 프레임(520)에 형성된 구멍을 출입하게 된다. 제2 방향 이송 유닛(562)의 작동에 의해 푸시 유닛(563)이 제3 방향에서 제2 비전 센서(572)나 필름(F)과 중첩되는 위치까지 이송된 후, 제3 방향 이송 유닛(561)이 작동하게 되면 푸시 유닛(563)은 필름(F)을 기판 쪽으로 가압하게 된다.
푸시 유닛(563)은 두 장력 조절 롤러(557a, 557b)의 사이에서 제3 방향을 따라 필름(F)을 기판 쪽으로 가압하도록 형성된다. 예컨대 푸시 유닛(563)의 적어도 일부는 고무 등의 탄성 재질로 형성될 수 있다.
기판과 필름(F)이 기설정된 위치에 정렬되면, 필름 가압부(560)가 동작하여 기판에 필름(F)을 부착시킨다. 이때, 필름 가압부(560)는 필름(F)과 대응되는 위치로부터 벗어난 위치에 있다가 가압 동작 필요 시 제2 방향 이송 유닛(562)이 동작하면서 필름(F)과 대응되는 위치로 진입하게 되는 것이다. 이후 제3 방향 이송 유닛(561)이 동작하면서 푸시 유닛(563)이 필름(F)을 눌러 기판에 필름(F)을 부착시키게 되는 것이다.
이후 제3 방향 프레임 이송부(543)가 푸시 유닛(563)의 가압 방향과 반대 방향으로 작동하여 제2 프레임(520)을 선형 이동시키면, 필름(F)의 부착 영역만 절취되어 기판에 부착되고, 잔여 영역(B)은 제3 방향으로 이동된 후 잔여 필름 회수 롤러(553)에 회수된다.
다시 도 1을 참조하면, 라미네이팅 롤러부(600)는 작업대(100)의 상측에 배치된다. 필름 가압부(560)에 의해 필름(F) 부착이 완료된 기판을 라미네이팅 롤러부(600)가 압착하여 라미네이팅 처리한다. 필름(F)이 부착된 기판이 라미네이팅 처리되면, 기판에 필름(F)이 견고하게 부착된다.
라미네이팅 롤러부(600)는 제3 방향으로 라미네이팅 롤러(620)를 이송하도록 형성되는 롤러 이송 유닛(610)과, 기판에 필름(F)을 압착하도록 형성되는 라미네이팅 롤러(620)를 포함한다.
롤러 이송 유닛(610)은 수직 기둥(110) 또는 수평 바(120)에 설치된다. 롤러 이송 유닛(610)은 라미네이팅 롤러(620)와 수직 기둥(110)을 연결하거나, 라미네이팅 롤러(620)와 수평 바(120)를 연결하도록 형성된다. 롤러 이송 유닛(610)은 제3 방향에서 길이 연장 또는 길이 축소 가능하게 형성된다.
필름(F) 가압을 위해 필요 시 롤러 이송 유닛(610)에 의해 라미네이팅 롤러(620)가 하강하면서 스테이지(300)에 배치된 필름(F)과 기판에 라미네이팅 롤러(620)가 맞닿게 되고, 이후 스테이지 이송부(200)에 의해 스테이지(300)가 제1 방향으로 왕복 이송하는 동안 라미네이팅 롤러(620)가 필름(F)을 기판 쪽으로 가압하여 라미네이팅 처리를 완료하게 된다.
한편, 제어부(미도시)는 본 발명에 따른 라미네이팅 장치의 전체적인 동작을 제어한다. 제어부는 작업 대상물의 좌표 인식, 스테이지(300) 이송, 필름의 공급, 필름의 위치 보정, 필름 부착, 라미네이팅 처리 등 각 구성요소들의 순차적인 동작 제어 및 비교 판단에 따른 동작 여부 결정 등의 기능을 구현한다.
이하에서는 라미네이팅 장치의 동작과정에 대해 상세히 설명한다.
도 6 내지 도 13은 라미네이팅 장치의 동작 과정을 순차적으로 나타낸 개념도들이다.
도 6을 참조하면, 글라스 패널 등 다수의 기판이 스테이지(300)에 배치되면 진공 흡착부(310)의 동작으로 기판을 스테이지(300)에 견고히 고정되게 한다. 이후 스테이지 이송부(200)가 구동된다. 스테이지 이송부(200)는 스테이지(300)를 제1 방향으로 이송시켜, 헤드(500)에 접근하게 한다. 스테이지(300)가 이송되면 스테이지(300)에 흡착된 기판도 스테이지(300)를 따라 헤드(500)에 접근한다.
도 7을 참조하면, 제1 비전 센서(571)에서 영상 촬영을 통해 기판의 위치를 추출한다. 기판의 특징점으로 원형 홀을 기준으로 설정하여 제1 비전 센서(571)에서 기판의 원형 홀을 영상으로 비교 판단한다. 제1 비전 센서(571)에서 추출되는 기판의 위치는 헤드 이송부(400)에 의한 제1 프레임(510)의 제2 방향 위치 제어, 제1 방향 프레임 이송부(541)에 의한 중간 프레임(515)의 제1 방향 위치 제어에 이용될 수 있다.
도 8을 참조하면, 제1 비전 센서(571)의 기판 위치 감지와 동시에(혹은 선후 변경 가능하게 순차적으로), 필름 공급부(550)에서의 필름 공급 및 제2 비전 센서(572)에서 필름의 위치 감지가 이루어진다. 필름은 롤 형태에서 언와인딩 되어 띠 형태로 연속적으로 공급되며, 일정한 모양으로 절취선이 형성된다. 일정한 모양이란 원형일 수 있다.
절취선 내측의 영역이 부착 영역이며, 절취선 외측의 영역이 잔여 영역이다. 부착 영역 내의 원형 홀을 기준으로 설정하여 제2 비전 센서(572)에서 필름의 홀을 영상으로 비교 판단한다.
제2 비전 센서(572)에서 영상 촬영을 통해 추출된 필름의 위치가 기설정된 좌표값과 일치하지 않거나, 제2 비전 센서(572)에서 영상 촬영을 통해 추출된 필름의 위치가 제1 비전 센서(571)에서 추출된 기판의 위치와 매칭되지 않으면, 제1 방향 프레임 이송부(541)에 의한 필름의 제1 방향 위치 제어가 실행된다.
도 9를 참조하면, 필름의 위치가 보정된 후 기판은 스테이지 이송부(200)에 의해 스테이지(300)를 따라 헤드(500)의 필름의 위치한 필름 부착 위치로 일정 거리 이송된다.
도 10을 참조하면, 필름과 기판의 위치가 제3 방향에서 서로 대응되도록 배치된 상태에서 필름 가압부(560)가 필름을 마주보는 위치로 진입하고, 푸시 유닛(563)이 하강하면서 제3 방향으로 필름을 가압하여 필름을 기판에 부착시킨다.
도 11을 참조하면, 필름 가압부(560)가 필름의 부착 영역을 가압한 상태에서 제3 방향 프레임 이송부(543)의 동작으로 제2 프레임(520)이 상향 이동하게 되면, 필름 가압부(560)에 의해 눌려있는 필름의 부착 영역은 절취선을 따라 잔여 영역으로부터 분리되어 기판에 부착된다. 잔여 영역은 잔여 필름 회수 롤러(552)에 의해 회수된다.
도 12를 참조하면, 필름 가압부(560)는 역순으로 동작하면서 본래의 위치로 복귀하게 되고, 제1 비전 센서(571)와 제2 비전 센서(572)에 의한 영상 추출, 필름의 공급과 위치 보정, 필름 가압부(560)의 가압 동작은 다시 반복된다.
도 13을 참조하면, 스테이지(300)에 마련된 다수의 기판에 모두 필름이 부착 완료된 후 스테이지 이송부(200)에 의해 스테이지(300)가 제1 방향을 따라 최초 위치로 복귀된다. 이 과정에서 라미네이팅 롤러(620)가 롤러 이송 유닛(610)에 의해 하강하게 되고, 라미네이팅 롤러(620)가 필름을 기판쪽으로 압착하여 라미네이팅 처리를 완료한다.
이하에서는 라미네이팅 장치의 제2 실시예에 대하여 설명한다. 불필요한 설명의 중복을 피하고, 제2 실시예의 특징을 명확하게 설명하기 위해 제1 실시예와 차이가 있는 특징을 위주로 설명하며, 나머지 설명은 제1 실시예의 설명으로 갈음한다.
도 14는 제2 실시예에 따른 라미네이팅 장치의 헤드(1500)를 도시한 사시도다.
도 15는 도 14에 도시된 헤드(1500)의 정면도다.
도 16은 제2 중간 프레임(1515b)과 제2 프레임(1520), 그리고 상기 제2 중간 프레임(1515b)과 제2 프레임(1520)에 연결되는 주요 구성들을 도시한 사시도다.
도 17은 제2 중간 프레임(1515b)과 상기 제2 중간 프레임(1515b)에 연결되는 필름 가압부(1560)를 도시한 사시도다.
제1 실시예의 라미네이팅 장치에 의해 서로 부착되는 기판과 필름에는 하나의 홀이 형성되어 있다. 그러나 기판과 필름이 둘 이상의 홀이 형성되어 있는 경우에는 기판과 필름이 제3 방향에서 서로 대응되어야 할 뿐만 아니라 상대적인 각도(혹은 방향)도 일치되어야 정확한 부착이 이루어질 수 있다. 여기서 정확한 부착이란, 기판에 형성된 둘 이상의 홀과 필름에 형성된 둘 이상의 홀이 서로 일치하도록 기판과 필름이 부착된 것을 가리킨다.
제2 실시예의 라미네이팅 장치는 기판과 필름을 정확하게 부착하도록 기판과 필름의 위치와 방향을 일치시킨다.
헤드(1500)는 제1 프레임(1510), 제1 중간 프레임(1515a), 제2 중간 프레임(1515b), 제2 프레임(1520), 프레임 이송부(1541, 1543, 1544), 필름 공급부(1551, 1552, 1553, 1554, 1556, 1557a, 1557b), 필름 가압부(1560), 제1 비전 센서(1571) 및 제2 비전 센서(1572) 등을 포함한다.
제1 프레임(1510)은 헤드 이송부(400)에 연결되어 제2 방향을 따라 선형 이송된다. 헤드 이송부(400)가 구동하게 되면 제1 프레임(1510)은 헤드 이송부(400)의 제2 방향 가이드 레일을 따라 이송된다.
제1 중간 프레임(1515a)은 제1 프레임(1510)에 제1 방향과 제3 방향 중 어느 한 방향으로 상대 이동 가능하게 연결된다. 도 17에 도시된 바에 의하면, 제1 중간 프레임(1515a)은 제1 방향 프레임 이송부(1541)에 의해 제1 방향으로 상대 이동 가능하게 제1 프레임(1510)에 연결된다.
제1 중간 프레임(1515a)은 판 구조를 가질 수 있다. 도 17을 참조하면, 제1 중간 프레임(1515a)은 비읍자(ㅂ) 부분과, 상기 비읍자 하단 중앙에서 하측으로 돌출된 부분을 갖는 것으로 도시되어 있다. 제1 중간 프레임(1515a)의 구조는 필요에 따라 변형 가능하다.
제2 중간 프레임(1515b)은 제1 중간 프레임(1515a)에 제1 방향과 제3 방향 중 다른 한 방향으로 상대 이동 가능하게 연결된다. 도 16에 도시된 바에 의하면, 제2 중간 프레임(1515b)은 제3 방향 프레임 이송부(1543)에 의해 제3 방향으로 상대 이동 가능하게 제1 중간 프레임(1515a)에 연결된다.
제1 중간 프레임(1515a)과 제2 중간 프레임(1515b)은 제1 프레임(1510)의 하부에 배치될 수 있다. 제1 중간 프레임(1515a)은 제1 프레임(1510)과 제2 중간 프레임(1515b)의 사이에서 제1 방향의 상대 이동 구현을 위한 매개체에 해당한다. 제2 중간 프레임(1515b)은 제1 중간 프레임(1515a)과 제2 프레임(1520)의 사이에서 제3 방향의 상대 이동을 구현하기 위한 매개체에 해당한다.
제1 프레임(1510)이 작업대(100)나 스테이지(300)에 대해 제2 방향으로 선형 이동 가능하고, 제1 중간 프레임(1515a)이 제1 프레임(1510)에 대해 제1 방향으로 선형 이동 가능하며, 제2 중간 프레임(1515b)이 제1 중간 프레임(1515a)에 대해 제3 방향으로 선형 이동 가능하다. 따라서, 제2 중간 프레임(1515b)에 연결되는 제2 프레임(1520)은 제1 프레임(1510), 제1 중간 프레임(1515a), 제2 중간 프레임(1515b)과 같은 중간 매개체를 통해 작업대(100)나 스테이지(300)에 대해 제1 방향, 제2 방향, 제3 방향으로 세 방향 상대 이동 가능하다.
제2 프레임(1520)은 제2 중간 프레임(1515b)에 제3 방향의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 연결된다. 제2 비전 센서(1572) 양측의 두 장력 조절 롤러(1557a, 1557b)는 제2 프레임(1520)에 연결된다. 따라서 제2 프레임(1520)이 제2 중간 프레임(1515b)에 대해 제3 방향 회전축을 중심으로 회전하게 되면, 상기 두 장력 조절 롤러(1557a, 1557b)도 제2 중간 프레임(1515b)을 따라 회전하게 되고, 필름 부착 위치에 공급된 필름의 각도도 조절된다.
제2 프레임(1520)은 상하 방향 벽부(1523a, 1523b), 측벽부(1524a, 1524b), 베이스(1521) 및 보호부(1522a, 1522b, 1522c, 1522d)를 포함한다. 이 중 베이스(1521)와 보호부(1522a, 1522b, 1522c, 1522d)에 대하여는 앞서 설명하였다.
상하 방향 벽부(1523a, 1523b)는 회전 구동부(1544)의 상측과 하측 중 적어도 하나에 배치된다. 예컨대 상하 방향 벽부(1523a, 1523b)는 회전 구동부(1544)의 상측에만 배치될 수도 있고, 하측에만 배치될 수도 있으며, 상측과 하측에 모두 배치될 수 있다.
측벽부(1524a, 1524b)는 제1 방향에서 회전 구동부(1544)와 제2 비전 센서(1572)의 양측에 배치된다. 측벽부(1524a, 1524b)의 상부는 상하 방향 벽부(1523a, 1523b)에 연결되며, 하부는 베이스(1521)에 연결된다.
베이스(1521)는 판 구조를 가질 수 있다. 베이스(1521)는 중간 프레임(1515)과 나란하게 배치될 수 있다. 상기 판 구조에는 다수의 구멍이 형성될 수 있다. 후술하게 될 필름 가압부(1560)는 베이스(1521)에 형성되는 구멍을 출입하게 된다.
베이스(1521)는 제1 프레임(1510)에 상대 이동 가능하게 연결된다. 베이스(1521)에는 적어도 하나의 장력 조절 롤러가 회전 가능하게 연결된다. 특히 베이스(1521)에 연결되는 두 장력 조절 롤러(1557a, 1557b)의 사이에 제2 비전 센서(1572)가 위치할 수 있다.
보호부(1522a, 1522b, 1522c, 1522d)는 베이스(1521)에 연결된다. 보호부(1522a, 1522b, 1522c, 1522d)는 두 장력 조절 롤러(1557a, 1557b)에 의해 가이드 되는 필름과 제2 비전 센서(1572) 사이의 영역을 감싸도록 형성된다. 보호부(1522a, 1522b, 1522c, 1522d)는 제1 돌출부(1522a, 1522b), 연결부(1522c), 제2 돌출부(1522d)를 구비한다.
프레임 이송부(1541, 1543, 1544)는 제1 중간 프레임(1515a)과 제2 중간 프레임(1515b)을 중간 매개체로 제1 프레임(1510)에 대하여 제2 프레임(1520)을 제1 방향과 제3 방향으로 이송하고 상대 회전시키도록 형성된다. 프레임 이송부(1541, 1543, 1544)는 제1 방향 프레임 이송부(1541), 제3 방향 프레임 이송부(1543) 및 회전 구동부(1544)를 포함한다.
제1 방향 프레임 이송부(1541)는 제1 방향에서 기판과 필름의 상대적인 위치를 보정하기 위해 제1 프레임(1510)에 대하여 제1 중간 프레임(1515a)을 제1 방향으로 선형 이송하는 구성이다. 제1 방향 프레임 이송부(1541)는 제1 프레임(1510)과 제1 중간 프레임(1515a)에 연결된다. 제1 프레임(1510)은 제1 방향 프레임 이송부(1541)의 일측에 연결되고, 제1 중간 프레임(1515a)은 제1 방향 프레임 이송부(1541)의 타측에 연결된다.
제1 방향 프레임 이송부(1541)는 구동부(1541a)와 가변부(1541b), 보조 가변부(1541c)를 포함할 수 있으며, 이들에 대하여는 앞서 설명하였다.
제1 방향 프레임 이송부(1541)는 연속적으로 공급되는 필름을 기판의 정확한 위치에 부착시키는 과정에서, 필름이 신축되는 현상이나 기타의 원인에 의해 필름의 위치가 기판의 위치와 매칭되지 않을 경우 필름의 위치를 보정하기 위해 동작한다. 이를 위해 제1 방향 프레임 이송부(1541)는 제1 비전 센서(1571)에서 기판의 표시를 감지한 결과 및/또는 제2 비전 센서(1572)에서 필름의 위치를 감지한 결과에 근거하여 작동한다.
제3 방향 프레임 이송부(1543)는 제3 방향에서 필름의 위치를 변화시키기 위해, 제1 중간 프레임(1515a)에 대하여 제2 중간 프레임(1515b)을 제3 방향으로 선형 이송하는 구성이다. 제3 방향 프레임 이송부(1543)는 제1 중간 프레임(1515a)과 제2 중간 프레임(1515b)에 연결된다. 제1 중간 프레임(1515a)은 제3 방향 프레임 이송부(1543)의 일측에 연결되고, 제2 중간 프레임(1515b)은 제3 방향 프레임 이송부(1543)의 타측에 연결된다.
제3 방향 프레임 이송부(1543)는 구동부(1543a)와 가변부(1543b), 보조 가변부(1543c)를 포함할 수 있으며, 이들에 대하여는 앞서 설명하였다.
제3 방향 프레임 이송부(1543)는 필름의 위치 보정과는 무관하고, 부착 영역과 잔여 영역을 구비하는 필름의 잔여 영역으로부터 부착 영역을 절취해 내기 위해 동작한다.
제1 방향 프레임 이송부(1541)와 제3 방향 프레임 이송부(1543)의 위치는 장치의 설계에 따라 서로 바뀔 수 있다.
회전 구동부(1544)는 제2 중간 프레임(1515b)과 제2 프레임(1520)에 연결된다. 회전 구동부(1544)는 제2 중간 프레임(1515b)에 대한 선형 운동을 제2 프레임(1520)에 대한 회전 운동으로 변환시키도록 형성된다.
예컨대, 회전 구동부(1544)는 랙과 피니언으로 이루어질 수 있다. 랙이 제2 중간 프레임(1515b)에 대해 제2 방향으로 선형 운동하게 되면, 상기 랙에 맞물려 회전하는 피니언이 랙의 선형 운동을 회전 운동으로 변환시키게 된다. 제2 프레임(1520)은 피니언과 연결되어 제3 방향 회전축을 중심으로 회전될 수 있다. 본 발명에서 회전 구동부(1544)는 반드시 랙과 피니언으로 구성되어야 하는 것은 아니고, 제2 중간 프레임(1515b)에 대해 제2 프레임(1520)을 회전 운동하도록 구성될 수 있으면 어느 구성이든 적용 가능하다.
프레임 이송부(1541, 1543, 1544)의 동작은 제1 비전 센서(1571)에서 기판의 표시를 감지한 결과와 제2 비전 센서(1572)에서 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 제어될 수 있다. 예컨대 제1 비전 센서(1571)에서 기판의 표시를 감지한 결과와 제2 비전 센서(1572)에서 필름의 표시를 감지한 결과가 서로 매칭되지 않으면, 프레임 이송부(1541, 1543, 1544)가 동작하여 제2 프레임(1520)을 선형 이동시키고, 또 회전시키기도 한다. 이와 같이 제2 프레임(1520)의 위치와 방향이 제어되면, 자연스럽게 필름의 위치와 방향이 제어된다.
필름의 위치뿐만 아니라 방향의 조절이 필요한 경우는 기판과 필름에 다수의 표시가 형성된 경우다. 기판과 필름에 각각 하나씩의 표시만 형성된다면, 필름의 위치만 조절하여도 기판의 부착 대상 위치에 필름이 정확하게 부착될 수 있다. 그러나 기판과 필름에 다수의 표시가 형성된다면, 기판의 부착 대상 위치에 필름이 부착되더라도 방향이 틀어져 의도하는 대로 부착되지 않을 수 있다.
제2 실시예의 라미네이팅 장치는 제2 프레임(1520)이 선형 이송될 뿐만 아니라 제3 방향 회전축을 중심으로 회전되기도 하므로, 제1 비전 센서(1571)에서 기판의 표시를 감지한 결과와 제2 비전 센서(1572)에서 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 필름을 기판의 정확한 위치에 정확한 각도로 부착시킬 수 있다.
필름 공급부(1551, 1552, 1553, 1554, 1556, 1557a, 1557b)는 다수의 표시가 형성된 필름을 공급하거나 이형지를 회수하도록 형성된다. 또한 필름 공급부(1551, 1552, 1553, 1554, 1556, 1557a, 1557b)는 필름의 연속적인 공급 과정에서 필름의 텐션을 유지하거나 필름 공급의 속도 및 길이를 제어할 수 있다. 이러한 동작을 위해 필름 공급부(1551, 1552, 1553, 1554, 1556, 1557a, 1557b)는 제1 프레임(1510) 또는 제2 프레임(1520)에 설치되는 다수의 롤러 등으로 구성될 수 있다.
필름 공급부(1551, 1552, 1553, 1554, 1556, 1557a, 1557b)는 필름 공급 롤러(1551), 이형지 회수 롤러(1552), 잔여 필름 회수 롤러(1553), 피딩 롤러(1554), 스테핑 모터(1555), 장력 조절 롤러(1556, 1557a, 1557b)를 포함한다. 이들 구성에 대하여는 앞서 설명하였다.
필름 가압부(1560)는 제1 중간 프레임(1515a)에 설치된다. 따라서 헤드 이송부(400)와 제1 방향 프레임 이송부(1541)가 동작하면, 필름 가압부(1560)는 제1 중간 프레임(1515a)과 함께 제2 방향 또는 제1 방향을 따라 이동하게 된다. 반면, 필름 가압부(1560)가 제3 방향 프레임 이송부(1543)와는 독립적으로 구동되므로, 필름 가압부(1560)가 제3 방향을 따라 필름을 가압하는 동안, 제3 방향 프레임 이송부(1543)는 그 반대 방향으로 제2 중간 프레임(1515b), 제2 프레임(1520) 그리고 필름의 위치를 이동시킬 수 있다.
영상 촬영을 통해 검출된 필름의 위치와 방향이 기설정된 좌표값과 방향 기준에 일치하거나, 기판의 위치와 방향이 필름의 위치와 방향에 매칭되거나, 보정이 완료되면, 필름 가압부(1560)가 작동하여 필름을 기판에 밀착시키는 후속 동작이 이루어진다.
기판과 필름의 위치가 서로 대응되는 위치로 정렬된 후 필름 가압부(1560)는 필름을 기판 쪽으로 가압하여 기판의 정해진 위치에 필름을 부착시킨다. 필름 가압부(1560)는 제3 방향 이송 유닛(1561), 제2 방향 이송 유닛(1562) 및 푸시 유닛(1563)을 포함함을 앞서 설명하였다.
제3 방향 이송 유닛(1561)은 제1 중간 프레임(1515a)에 연결된다. 제3 방향 이송 유닛(1561)은 제3 방향을 따라 길이 연장 또는 길이 축소 가능한 액추에이터(1561a, 1561b)로 구성될 수 있다.
제2 방향 이송 유닛(1562)은 제3 방향 이송 유닛(1561)에 연결된다. 제2 방향 이송 유닛(1562)은 제2 방향을 따라 길이 연장 또는 길이 축소 가능한 액추에이터(1562a, 1562b)로 구성될 수 있다.
제3 방향 이송 유닛(1561)과 제2 방향 이송 유닛(1562)은 판형의 블록(1564)에 의해 서로 연결될 수 있다.
푸시 유닛(1563)은 제2 방향 이송 유닛(1562)에 연결된다. 푸시 유닛(1563) 두 장력 조절 롤러(1557a, 1557b)의 사이에서 상기 제3 방향을 따라 상기 필름을 상기 기판 쪽으로 가압하도록 형성된다.
제2 방향 이송 유닛(1562)이 작동하게 되면 푸시 유닛(1563)은 제2 프레임(1520)에 형성된 구멍을 출입하게 된다. 제2 방향 이송 유닛(1562)의 작동에 의해 푸시 유닛(1563)이 제3 방향에서 제2 비전 센서(1572)나 필름과 중첩되는 위치까지 진입한 후, 제3 방향 이송 유닛(1561)이 작동하게 되면 푸시 유닛(1563)은 제3 방향을 따라 이동하여 필름을 기판 쪽으로 가압하게 된다.
이후 제3 방향 프레임 이송부(1543)가 푸시 유닛(1563)의 가압 방향과 반대 방향으로 작동하여 제2 프레임(1520)을 상향 이동시키면, 필름의 부착 영역만 절취되어 기판에 부착된다. 잔여 영역은 제3 방향으로 이동하게 되며, 후속 공정에서 잔여 필름 회수 롤러(1553)에 회수된다. 이후 스테이지(300)에 배치된 모든 기판에 필름의 부착이 완료되고 나면, 도 1에서 설명된 라미네이팅 롤러부(600)에 의한 라미네이팅 처리가 이루어진다.
한편, 제어부(미도시)는 본 발명에 따른 라미네이팅 장치의 전체적인 동작을 제어한다. 제어부는 작업 대상물의 좌표 인식, 스테이지(300) 이송, 필름의 공급, 필름의 위치와 방향 보정, 필름 부착, 라미네이팅 처리 등 각 구성요소들의 순차적인 동작 제어 및 비교 판단에 따른 동작 여부 결정 등의 기능을 구현한다.
도 18은 제2 실시예의 라미네이팅 장치에서 기판에 부착되는 필름(F)을 도시한 개념도다.
필름(F)은 롤 형태로 필름 공급 롤러(1551)에 감겨있다가 라미네이팅 장치가 동작하게 되면, 필름 공급 롤러(1551)의 회전에 의해 언와인딩 되어 띠 형태로 공급된다. 이형지(F')는 부착 공정 전 필름으로부터 박리된다.
필름(F)에는 부착 영역(A)과 잔여 영역(B)이 형성된다. 상기 부착 영역(A)은 필름(F)의 길이 방향 또는 필름(F)의 공급 방향을 따라 다수 형성된다. 다수의 부착 영역(A)은 서로 이격된 위치에 규칙적으로 형성될 수 있다.
부착 영역(A)과 잔여 영역(B)은 절취선에 의해 구획된다. 그리고 필름의 표시(M)는 부착 영역(A)에 형성된다. 부착 영역(A)에 형성되는 표시(M)가 하나의 홀로 구성되는 경우 상기 홀은 부착 영역(A)의 중심에 형성될 수 있다. 부착 영역(A)에 형성되는 표시(M)가 둘 이상의 홀로 구성되는 경우, 상기 둘 이상의 홀은 부착 영역(A) 내에 서로 이격된 위치에 형성될 수 있다.
부착 영역(A)의 둘레에 절취선이 형성되므로, 필름 가압부(1560)로 부착 영역(A)을 제3 방향으로 가압한 상태에서 제2 프레임(1520)이 반대 방향으로 상향 이동하게 되면, 절취선이 절취되어 부착 영역(A)만 기판에 부착될 수 잇다. 제2 프레임(1520)이 반대 방향으로 상향 이동하는 동작은 부착 영역(A)의 주변을 기판의 반대 쪽으로 가압하는 것을 가리킨다.
상기와 같이 필름(F)에 부착 영역(A)과 잔여 영역(B)이 절취선으로 구획되어 있으면, 필름(F)이 연속적으로 공급될 수 있고, 기판에는 부착 영역(A)만 절취하여 부착할 수 있으므로, 다수의 기판에 필름(F)을 부착하는 공정이 연속적으로 그리고 자동으로 이루어질 수 있어 신속하게 부착 작업 및 라미네이팅 작업을 완료할 수 있다.
이하에서는 상기와 같은 구성의 라미네이팅 장치를 이용한 라미네이팅 방법에 대하여 설명한다.
도 19는 본 발명에서 제안하는 라미네이팅 방법의 흐름도다.
먼저, 필름 공급 롤러에 롤 형태로 감겨진 필름을 언와인딩 한다(S100). 필름에는 점착면 보호를 위해 필름의 길이 방향 또는 공급 방향을 따라 이형지가 부착되어 있다.
다음으로는 필름에 부착된 이형지를 박리시킨다(S200). 이형지가 박리되면, 필름의 점착면이 노출된다. 이형지는 이형지 회수 롤러에 와인딩되어 회수된다.
이어서 이형지를 분리하고 남은 필름을 부착 영역이 두 장력 조절 롤러의 사이에 위치하도록 공급한다(S300). 필름의 점착면은 제3 방향에서 기판을 향하도록 공급된다. 여기서 두 장력 조절 롤러란 제2 비전 센서의 양 측에 배치되는 두 장력 조절 롤러를 의미한다. 두 장력 조절 롤러의 사이에 필름의 부착 영역이 위치하게 된다.
다음으로, 기판에 형성된 표시와 필름에 형성된 표시를 각각 동시에 또는 순차적으로 감지한다(S400). 기판에 형성된 표시와 필름에 형성된 표시는 각각 하나 이상의 홀로 구성될 수 있음을 앞서 설명하였다. 기판의 표시를 감지하는 것은 제1 비전 센서, 필름의 표시를 감지하는 것은 제2 비전 센서에 의해 이루어진다.
이어서 제1 비전 센서에 의한 기판의 표시 감지 결과와 제2 비전 센서에 의한 필름의 표시 감지 결과에 근거하여 필름의 위치 및/또는 방향을 보정한다(S500). 헤드 이송부와 제1 방향 프레임 이송부에 의해 제2 프레임의 제2 방향 및 제1 방향 위치가 보정된다. 또한, 회전 구동부에 의해 제2 프레임의 방향이 보정된다. 제2 프레임의 위치 및/또는 방향 보정에 따라 필름의 위치 및/또는 방향이 자연스럽게 보정된다.
다음으로, 위치 및/또는 방향이 보정된 필름과 대응되는 위치로 기판을 이동시킨다(S600). 기판은 스테이지에 의해 제1 방향으로 일정한 거리만큼 이송된다.
이어서 필름의 부착 영역을 잔여 영역으로부터 절취하여 부착 영역만 기판에 부착한다(S700).
부착 영역의 절취는 필름의 부착 영역을 기판 쪽으로 가압한 상태에서, 부착 영역을 기판 쪽으로 가압하는 방향의 반대 방향으로 부착 영역의 주변을 가압하면, 필름의 부착 영역이 잔여 영역으로부터 절취되어 기판에 부착된다. 부착 영역의 주변이란 반드시 잔여 영역만을 의미하는 것은 아니고, 인접 부착 영역도 부착 영역의 주변에 해당할 수 있다.
기판에 필름의 부착이 완료되면, 필름을 기판쪽으로 가압하고 있는 힘을 제거하여 가압을 해제한다. 그리고 필름 부착이 완료된 다음의 기판에 대하여도 제1 비전 센서와 제2 비전 센서에 의한 표시 감지 내지 필름 부착 등 동일한 과정을 반복하여 스테이지에 마련된 모든 기판에 필름 부착을 완료한다. 이 과정에서 필름은 롤 형태로 감겨져 있다가 언와인딩에 의해 띠 형태로 연속적으로 공급된다.
필름 부착 과정을 반복함에 따라 스테이지에 배열된 복수의 기판에 필름의 부착 영역이 모두 부착 완료되면, 스테이지가 최초 로딩 방향의 반대 방향으로 언로딩되는 동안 라미네이팅 롤러가 부착 영역을 기판에 압착하여 라미네이팅 처리한다(S800).
라미네이팅 롤러는 제1 방향에서 스테이지에 대응되는 폭을 가지므로, 다수의 기판과 필름을 한 번에 모두 라미네이팅 처리할 수 있다.
이상에서 설명된 라미네이팅 장치와 라미네이팅 방법은 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
Claims (10)
- 기판에 형성된 표시와, 연속적으로 공급되는 필름에 형성된 표시를 감지하는 단계;
상기 기판의 표시와 상기 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 상기 필름의 위치를 보정하는 단계;
위치가 보정된 상기 필름과 대응되는 위치로 상기 기판을 이동시키는 단계; 및
상기 필름을 상기 기판 쪽으로 가압하여 상기 필름을 상기 기판에 부착하는 단계를 포함하고,
상기 필름에는 절취선에 의해 구획되는 부착 영역과 잔여 영역이 형성되고,
상기 필름의 표시는 상기 부착 영역에 형성되며,
상기 부착하는 단계에서는 상기 부착 영역을 상기 잔여 영역으로부터 절취하여 상기 부착 영역만 상기 기판에 부착하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제1항에 있어서,
상기 필름에는 상기 필름의 길이 방향 또는 상기 필름의 공급 방향을 따라 다수의 상기 부착 영역이 서로 이격된 위치에 규칙적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제1항에 있어서,
상기 부착하는 단계에서는 상기 부착 영역을 상기 기판 쪽으로 가압하여 상기 부착 영역을 상기 잔여 영역으로부터 절취하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제3항에 있어서,
상기 부착하는 단계에서는 상기 부착 영역을 상기 기판 쪽으로 가압한 상태에서 상기 부착 영역의 주변을 상기 기판의 반대 쪽으로 이동시켜 상기 부착 영역을 상기 잔여 영역으로부터 절취하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제1항에 있어서,
상기 라미네이팅 방법은 상기 감지하는 단계 이전에,
롤 형태로 감겨진 상기 필름을 언와인딩 하는 단계;
상기 필름에 부착된 이형지를 박리시키는 단계; 및
상기 이형지를 분리하고 남은 필름을 상기 부착 영역이 두 장력 조절 롤러의 사이에 위치하도록 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제1항에 있어서,
상기 감지하는 단계에서 상기 기판의 표시와 상기 필름의 표시는 서로 다른 비전 센서에 의해 동시에 또는 순차적으로 감지되는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제1항에 있어서,
상기 필름의 표시는 상기 부착 영역마다 복수로 형성되고,
상기 필름의 표시를 감지하는 단계에서는 상기 기판의 표시와 상기 필름의 표시를 감지한 결과에 근거하여 상기 필름의 위치와 방향을 보정하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제1항에 있어서,
상기 부착하는 단계 이후에 상기 필름의 가압을 해제하고, 상기 기판 다음의 기판에 형성된 표시와 상기 부착 영역 다음의 부착 영역에 형성된 표시를 감지하여 상기 감지하는 단계부터 상기 부착하는 단계까지의 과정을 반복하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제8항에 있어서,
상기 반복하는 동안 상기 필름은 롤 형태로 감겨져 있다가 언와인딩에 의해 연속적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법. - 제9항에 있어서,
상기 기판은 상기 감지하는 단계 이전에 스테이지에 복수로 배열되어 로딩되며,
상기 감지하는 단계부터 상기 부착하는 단계까지의 과정을 연속적으로 반복함에 따라 상기 스테이지에 배열된 복수의 기판에 상기 필름의 부착 영역이 모두 부착되면, 상기 스테이지가 상기 로딩 방향의 반대 방향으로 언로딩되는 동안 라미네이팅 롤러가 상기 부착 영역을 상기 기판에 압착하여 라미네이팅 처리하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법.
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KR101442330B1 (ko) * | 2012-06-01 | 2014-09-23 | (주)엔에스 | 필름부착장치 |
JP2020023398A (ja) * | 2013-08-30 | 2020-02-13 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 装置 |
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