KR20210157861A

KR20210157861A - Machining apparatus

Info

Publication number: KR20210157861A
Application number: KR1020210063770A
Authority: KR
Inventors: 히로키 미야모토; 사토시 야마나카
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2020-06-22
Filing date: 2021-05-18
Publication date: 2021-12-29
Also published as: JP2022002272A; CN113894630A; TW202207348A; JP7460461B2

Abstract

The present invention aims to provide a processing apparatus which is able to easily return cassettes of various sizes in accordance with the size of a plate-shaped work. In the processing apparatus (1), in a cassette stage (40) and a stocker (50), a cassette (41) is mounted on an adapter plate (52). In addition, when the cassette (41) is moved, the adapter plate (52) with the cassette (41) mounted is supported by a supporting instrument (70) of a cassette returning instrument. In addition, the supporting instrument (70) is moved between the stocker (50) and the cassette stage (40). Therefore, unlike a configuration of directly supporting and moving the cassette (41), even if the size of the cassette (41) is changed, there is no need to adjust the supporting instrument (70). Therefore, according to the embodiment of the present invention, it is possible to easily return cassettes (41) of various sizes in accordance with the size of the plate-shaped work (2) by using the supporting instrument (70).

Description

Machining equipment {MACHINING APPARATUS}

본 발명은, 가공 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a processing apparatus.

직사각형의 판형 워크를 연삭 지석에 의해 연삭하는 연삭 장치에서는, 예컨대, 척 테이블의 유지면에 의해 복수의 판형 워크를 유지하고, 이들 복수의 판형 워크를, 동일한 두께가 되도록 동시에 연삭하고 있다.In a grinding apparatus for grinding rectangular plate-shaped workpieces with a grinding wheel, for example, a plurality of plate-shaped workpieces are held by a holding surface of a chuck table, and these plate-shaped workpieces are simultaneously ground to have the same thickness.

복수의 판형 워크는, 카세트(매거진 랙)에 수용되고 있다. 각 판형 워크는, 카세트로부터 취출되고, 유지면에 반송되어 유지된다.A plurality of plate-shaped workpieces are accommodated in a cassette (magazine rack). Each plate-shaped work is taken out from the cassette and conveyed and held on a holding surface.

카세트는, 예컨대, 20매의 판형 워크를 수납 가능하다. 척 테이블은, 예컨대, 6매의 판형 워크를 유지할 수 있는 유지면을 가진다. 따라서, 한 번의 연삭 가공을 위해, 6매의 판형 워크가 유지면에 반송된다.The cassette can accommodate, for example, 20 plate-shaped workpieces. The chuck table has, for example, a holding surface capable of holding six plate-shaped workpieces. Therefore, for one grinding operation, six plate-shaped workpieces are conveyed to the holding surface.

상술한 예에서는, 카세트에는, 20매의 판형 워크가 수납되고 있으므로, 예컨대, 3번째의 반송에 의해 유지면에 유지된 판형 워크의 연삭 가공이 종료되면, 18매의 판형 워크의 연삭 가공이 종료된다. 그 결과, 카세트에는, 2매의 판형 워크가 남아 있다. 따라서, 다음의 4번째의 반송 시에는, 이 2매의 판형 워크를 유지면에 반송한 후, 빈 카세트를, 20매의 판형 워크가 수용되고 있는 다른 카세트와 교환하고, 그 후, 이 카세트로부터, 4매의 판형 워크를 유지면에 반송한다.In the above example, since 20 plate-shaped workpieces are stored in the cassette, for example, when the grinding of the plate-shaped workpiece held on the holding surface by the third transfer is finished, the grinding of the 18 plate-shaped workpieces is finished. do. As a result, two plate-shaped workpieces remain in the cassette. Therefore, at the time of the next 4th conveyance, after conveying these two plate-shaped workpiece|works to the holding surface, the empty cassette is exchanged for another cassette in which 20 plate-shaped workpieces are accommodated, and thereafter, from this cassette , The four plate-shaped workpieces are conveyed to the holding surface.

이와 같이, 척 테이블의 유지면에 소정 매수의 판형 워크를 반송하는 도중에, 카세트를 교환하는 경우가 있다. 그 때문에, 카세트를 준비해 두는 스톡 영역이 준비된다. 또한, 특허문헌 1에 개시된 기술에서는, 스톡 영역과 카세트 스테이지의 사이에서 카세트를 반송하기 위해, 카세트 반송 기구가 이용된다.In this way, the cassette may be exchanged while conveying a predetermined number of plate-shaped workpieces to the holding surface of the chuck table. For this reason, a stock area in which a cassette is prepared is prepared. Moreover, in the technique disclosed in patent document 1, in order to convey a cassette between a stock area and a cassette stage, a cassette conveyance mechanism is used.

일본 공개특허공보 제2008-130634호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2008-130634

그러나, 직사각형의 판형 워크에는, 여러 가지 다른 사이즈가 있다. 이 때문에, 판형 워크의 사이즈에 대응하여, 카세트의 크기도 다르다. 그 때문에, 카세트를 반송하는 반송 기구는, 카세트의 크기가 다르면, 카세트를 반송하는 것이 곤란해질 가능성이 있다.However, there are various different sizes of a rectangular plate-shaped workpiece|work. For this reason, corresponding to the size of a plate-shaped workpiece|work, the size of a cassette also differs. Therefore, the conveyance mechanism for conveying the cassette may have difficulty conveying the cassette if the size of the cassette is different.

따라서, 본 발명의 목적은, 판형 워크의 크기에 따른 여러 가지 크기의 카세트를, 용이하게 반송하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to easily transport cassettes of various sizes depending on the size of a plate-shaped work.

본 발명의 가공 장치(본 가공 장치)는, 사각형의 판형 워크를 유지하는 유지면을 가지는 유지 수단과, 판형 워크를 가공하는 가공 수단과, 복수의 판형 워크를 수용 가능한 복수의 단을 가지는 카세트가 재치되는 카세트 스테이지와, 상기 카세트 스테이지에 재치된 상기 카세트에 수용된 판형 워크를 상기 유지면에 반송하는 워크 반송 기구와, 복수의 상기 카세트를 재치 가능한 스토커와, 상기 스토커에 재치된 상기 카세트를 상기 카세트 스테이지에 반송하는 카세트 반송 기구를 구비한 가공 장치에 있어서, 상기 스토커는, 테이블과, 상기 테이블과 상기 카세트의 사이에 개재되는 어댑터 플레이트와, 상기 어댑터 플레이트에 배치되고 상기 카세트를 위치 결정하는 블록을 구비하고, 상기 어댑터 플레이트는, 하면에 형성되고, 상기 테이블에 대한 상기 어댑터 플레이트의 위치 결정이 가능한 재치부와, 상기 하면에 형성되고 상기 카세트 반송 기구에 지지되는 오목부를 구비하고, 상기 카세트 반송 기구는, 상기 카세트를 재치한 상기 어댑터 플레이트의 하면을 지지하는 지지 기구와, 상기 지지 기구를 상기 스토커와 상기 카세트 스테이지의 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 지지 기구는, 상기 이동 기구에 연결되는 천판과, 상기 천판으로부터 수하(垂下)하는 4개의 기둥과, 상기 기둥의 하단으로부터 수평 방향으로 연장하고, 상기 어댑터 플레이트의 상기 오목부를 지지하는 지지부와, 상기 기둥을 회전시키는 것에 의해, 상기 지지부를, 상기 오목부를 지지하는 위치와 상기 어댑터 플레이트의 외주보다 외측이 되는 위치 중 어느 하나에 위치시키는 것이 가능한 기둥 회전 기구를 구비한다.The processing apparatus (this processing apparatus) of the present invention includes a holding means having a holding surface for holding a rectangular plate-shaped workpiece, a processing means for processing a plate-shaped workpiece, and a cassette having a plurality of stages capable of accommodating a plurality of plate-shaped workpieces. A cassette stage to be placed; A processing apparatus having a cassette transport mechanism for transporting to a stage, wherein the stocker comprises: a table; an adapter plate interposed between the table and the cassette; and a block disposed on the adapter plate for positioning the cassette; wherein the adapter plate includes a mounting portion formed on a lower surface and capable of positioning the adapter plate with respect to the table, and a concave portion formed on the lower surface and supported by the cassette carrying mechanism, the cassette carrying mechanism comprising: includes a support mechanism for supporting a lower surface of the adapter plate on which the cassette is mounted, and a movement mechanism for moving the support mechanism between the stocker and the cassette stage, the support mechanism being connected to the movement mechanism a top plate serving as a top plate, four pillars descending from the top plate, a support part extending in a horizontal direction from a lower end of the pillar and supporting the concave part of the adapter plate, and by rotating the pillar, the support part and a column rotating mechanism capable of positioning the concave portion at any one of a position supporting the concave portion and a position outside the outer periphery of the adapter plate.

또한, 본 가공 장치에서는, 상기 기둥 회전 기구는, 4개의 각각의 상기 기둥의 상단에 배치되고 수평 방향으로 연장하는 선회 플레이트와, 상기 기둥의 축심으로부터 수평 방향으로 어긋나 상기 선회 플레이트에 배치되고, 상기 기둥의 축심을 축으로 공전하는 공전축과, 상기 4개의 공전축에 진입 가능한 개구를 가지고, 상기 4개의 상기 공전축을 공전 가능하게 연결하는 링크 플레이트와, 상기 링크 플레이트를 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부를 구비해도 좋다.Further, in the present processing apparatus, the column rotating mechanism includes a pivot plate disposed on the upper end of each of the four columns and extending in the horizontal direction, and the pivot plate is disposed on the pivot plate horizontally shifted from the axis center of the column, A link plate having an orbital shaft revolving around the axis of the column, an opening through which the four revolving shafts can enter, and a link plate connecting the four revolving shafts to be revolving, and a horizontal driving unit for moving the link plate in a horizontal direction may be provided.

또한, 본 가공 장치에서는, 상기 카세트 반송 기구는, 상기 지지 기구가 4개의 상기 지지부에 의해 상기 어댑터 플레이트를 지지했을 때에, 상기 지지 기구에 걸리는 무게를 검지하는 무게 검지부와, 상기 무게 검지부의 검지 결과에 기초하여, 상기 카세트의 모든 상기 단에 판형 워크가 수용되고 있는지 아닌지를 판단하는 판단부를 더 구비해도 좋다.Further, in the present processing apparatus, the cassette conveying mechanism includes a weight detection unit that detects a weight applied to the supporting mechanism when the supporting mechanism supports the adapter plate by the four supporting portions, and a detection result of the weight detection unit. Based on the above, you may further include a determination unit for judging whether or not a plate-shaped workpiece is accommodated in all the stages of the cassette.

본 가공 장치에서는, 카세트 스테이지 및 스토커에 있어서, 카세트가, 어댑터 플레이트 상에 재치되고 있다. 그리고, 카세트를 이동시킬 때에는, 카세트 반송 기구의 지지 기구에 의해, 카세트가 재치되고 있는 어댑터 플레이트를 지지한다. 그리고, 이 지지 기구가, 카세트 반송 기구의 이동 기구에 의해, 스토커와 카세트 스테이지의 사이에서 이동된다. 이 때문에, 카세트를 직접 지지하여 이동시키는 구성과는 달리, 카세트의 크기가 바뀌어도, 카세트 반송 기구를 조정할 필요가 없다. 따라서, 본 가공 장치에서는, 카세트 반송 기구에 의해, 판형 워크의 크기에 따른 여러 가지 크기의 카세트를, 용이하게 반송하는 것이 가능하다.In this processing apparatus, in the cassette stage and the stocker, the cassette is mounted on the adapter plate. Then, when the cassette is moved, the adapter plate on which the cassette is placed is supported by the support mechanism of the cassette transport mechanism. And this support mechanism is moved between a stocker and a cassette stage by the moving mechanism of a cassette conveyance mechanism. For this reason, unlike the structure in which the cassette is directly supported and moved, it is not necessary to adjust the cassette conveying mechanism even if the size of the cassette is changed. Therefore, in this processing apparatus, it is possible to convey easily the cassette of various sizes according to the size of a plate-shaped workpiece|work by the cassette conveyance mechanism.

도 1은 가공 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2(a)는, 어댑터 플레이트의 구성을 상면측으로부터 나타내는 사시도이고, 도 2(b)는, 어댑터 플레이트의 구성을 하면측으로부터 나타내는 사시도이다.
도 3은 카세트 반송 기구의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 카세트 반송 기구의 지지 기구를 이용한 카세트의 반송 동작을 나타내는 사시도이다.
도 5는 카세트 반송 기구의 지지 기구를 이용한 카세트의 반송 동작을 나타내는 사시도이다.
도 6은 카세트 반송 기구의 지지 기구를 이용한 카세트의 반송 동작을 나타내는 사시도이다.
도 7은 다른 구성의 지지 기구를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7에 나타낸 지지 기구의 일부를 확대해 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 7에 나타낸 지지 기구의 상면도이다.
도 10은 도 7에 나타낸 지지 기구를 이용한 어댑터 플레이트의 지지 동작을 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 7에 나타낸 지지 기구를 이용한 어댑터 플레이트의 지지 동작을 나타내는 사시도이다.
도 12는 도 7에 나타낸 지지 기구를 이용한 어댑터 플레이트의 지지 동작을 나타내는 사시도이다.
도 13은 또한 다른 구성의 지지 기구를 나타내는 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the structure of a processing apparatus.
Fig. 2(a) is a perspective view showing the configuration of the adapter plate from the top side, and Fig. 2(b) is a perspective view showing the configuration of the adapter plate from the bottom side.
Fig. 3 is a perspective view showing the configuration of the cassette conveying mechanism.
Fig. 4 is a perspective view showing the conveying operation of the cassette using the supporting mechanism of the cassette conveying mechanism.
Fig. 5 is a perspective view showing the conveying operation of the cassette using the supporting mechanism of the cassette conveying mechanism.
Fig. 6 is a perspective view showing the conveying operation of the cassette using the supporting mechanism of the cassette conveying mechanism.
7 is a perspective view showing a support mechanism of another configuration.
Fig. 8 is an enlarged perspective view of a part of the support mechanism shown in Fig. 7;
Fig. 9 is a top view of the support mechanism shown in Fig. 7;
Fig. 10 is a perspective view showing a supporting operation of the adapter plate using the supporting mechanism shown in Fig. 7;
Fig. 11 is a perspective view showing a supporting operation of the adapter plate using the supporting mechanism shown in Fig. 7;
Fig. 12 is a perspective view showing a supporting operation of the adapter plate using the supporting mechanism shown in Fig. 7;
Fig. 13 is a perspective view showing a support mechanism of another configuration.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 관련된 가공 장치(1)는, 거친 연삭부(10) 및 마무리 연삭부(30)에 의해, 사각형의 판형 워크(2)를 연삭 가공하는 것이다.As shown in FIG. 1 , the processing apparatus 1 according to the present embodiment grinds a rectangular plate-shaped workpiece 2 by a rough grinding unit 10 and a finish grinding unit 30 .

가공 장치(1)는, 제1 장치 베이스(3)와, 제1 장치 베이스(3)의 후방(+Y 방향측)에 배치된 제2 장치 베이스(5)를 가지고 있다. 제1 장치 베이스(3) 상에서는, 판형 워크(2)의 반출입 등이 실시된다. 제2 장치 베이스(5) 상에서는, 거친 연삭부(10) 또는 마무리 연삭부(30)에 의해, 판형 워크(2)가 가공된다.The processing apparatus 1 has the 1st apparatus base 3 and the 2nd apparatus base 5 arrange|positioned behind the 1st apparatus base 3 (+Y direction side). On the 1st apparatus base 3, carrying in/out of the plate-shaped workpiece|work 2, etc. are implemented. On the 2nd apparatus base 5, the plate-shaped workpiece|work 2 is processed by the rough grinding part 10 or the finish grinding part 30.

제1 장치 베이스(3)의 정면측(-Y 방향측)에는, 카세트 스테이지(40) 및 스토커(50)가 설치되고 있다. 카세트 스테이지(40)에는, 가공 전의 판형 워크(2)가 수용되고 있는 카세트(41)가 재치되고 있다. 스토커(50)에는, 가공 전의 판형 워크(2)가 수용되고 있는 같은 카세트(41)가, 복수, 재치되는 것이 가능하다.On the front side (-Y direction side) of the 1st apparatus base 3, the cassette stage 40 and the stocker 50 are provided. The cassette 41 in which the plate-shaped workpiece|work 2 before processing is accommodated is mounted on the cassette stage 40. As shown in FIG. In the stocker 50, a plurality of the same cassette 41 in which the plate-shaped workpiece 2 before processing is accommodated can be placed.

카세트(41)는, 복수의 판형 워크를 수용 가능한 복수의 단(선반)을 구비하고 있고, 각 단에 한 장씩 판형 워크(2)가 수용되고 있다.The cassette 41 is provided with a plurality of stages (shelf) capable of accommodating a plurality of plate-shaped works, and the plate-shaped works 2 are accommodated one by one in each stage.

카세트(41)는, +Y 방향측을 향하는 개구를 가지고 있다. 이 개구의 +Y 방향측에는, 로봇(155)이 배치되고 있다. 로봇(155)은, 가공 후의 판형 워크(2)를, 도시하지 않은 가공이 끝난 워크 수용용의 카세트에 반입(수납)한다.The cassette 41 has an opening facing the +Y direction side. The robot 155 is arrange|positioned on the +Y direction side of this opening. The robot 155 carries in (accommodates) the plate-shaped workpiece|work 2 after processing into the cassette for accommodating a processed workpiece|work (not shown).

또한, 로봇(155)은, 카세트(41)로부터 가공 전의 판형 워크(2)를 취출하여, 임시 배치 수단(152)의 임시 배치 테이블(154)에 재치한다.Moreover, the robot 155 takes out the plate-shaped workpiece|work 2 before processing from the cassette 41, and places it on the temporary placement table 154 of the temporary placement means 152. As shown in FIG.

임시 배치 테이블(154)은, 카세트(41)로부터 취출된 판형 워크(2)를 임시 배치하기 위해 이용된다. 임시 배치 테이블(154)은, 2매의 판형 워크(2)를 재치할 수 있도록 구성되어 있다. 임시 배치 수단(152)은, 또한, 임시 배치 테이블(154)을 X축 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단(153)을 가지고 있다.The temporary placement table 154 is used for temporarily placing the plate-shaped workpiece 2 taken out from the cassette 41 . The temporary arrangement table 154 is comprised so that the plate-shaped workpiece|work 2 of 2 sheets can be mounted. The temporary arrangement means 152 further has a moving means 153 for moving the temporary placement table 154 in the X-axis direction.

로봇(155)에 의해 판형 워크(2)가 임시 배치 수단(152)의 임시 배치 테이블(154)에 재치될 때에는, 임시 배치 수단(152)은, 이동 수단(153)에 의해, 임시 배치 테이블(154)을, +X 방향측의 거친 연삭 위치(도 1에 나타나고 있는 임시 배치 테이블(154)의 위치)에 배치해 둔다.When the plate-shaped workpiece 2 is placed on the temporary placement table 154 of the temporary placement means 152 by the robot 155 , the temporary placement means 152 is moved to the temporary placement table ( 154) is arranged at the rough grinding position (position of the temporary arrangement table 154 shown in Fig. 1) on the +X direction side.

임시 배치 수단(152)의 +Y 방향측에서의 제2 장치 베이스(5) 상에는, 거친 연삭부(10) 및 마무리 연삭부(30)가 배치되어 있다.On the second apparatus base 5 on the +Y direction side of the temporary arrangement means 152 , a coarse grinding unit 10 and a finish grinding unit 30 are arranged.

거친 연삭부(10)는, 판형 워크(2)를 유지하기 위한 제1 척 테이블(13)을 구비하고 있다. 제1 척 테이블(13)은, 판형 워크(2)를 유지하기 위한 유지 수단의 일례이고, 판형 워크(2)를 흡인 유지하는 제1 유지면(12)을 구비하고 있다. 제1 유지면(12)은, 도시하지 않은 흡인원에 연통되고, 2매의 판형 워크(2)를 동시에 흡인 유지하는 것이 가능하다.The rough grinding part 10 is provided with the 1st chuck table 13 for holding the plate-shaped workpiece|work 2 . The first chuck table 13 is an example of holding means for holding the plate-shaped work 2 , and has a first holding surface 12 for holding the plate-shaped work 2 by suction. The first holding surface 12 communicates with a suction source (not shown), and it is possible to simultaneously hold the two plate-shaped workpieces 2 by suction.

제1 척 테이블(13)은, 제1 유지면(12)에 의해 판형 워크(2)를 흡인 유지한 상태로, 제1 유지면(12)의 중심을 통과해 Z축 방향으로 연장하는 중심축을 중심으로, 회전 가능하다.The first chuck table 13 has a central axis extending in the Z-axis direction through the center of the first holding surface 12 in a state in which the plate-shaped workpiece 2 is sucked and held by the first holding surface 12 . centered, rotatable.

또한, 제2 장치 베이스(5) 상의 후방(+Y 방향측)에는, 제1 컬럼(14)이 입설(立設)되고 있다. 그리고, 거친 연삭부(10)는, 제1 컬럼(14)의 전면에, 판형 워크(2)를 거친 연삭하는 거친 연삭 수단(15), 및 거친 연삭 수단(15)을 연삭 이송하는 거친 연삭 이송 수단(11)을 구비하고 있다.Moreover, the 1st column 14 is erected on the back (+Y direction side) on the 2nd apparatus base 5. As shown in FIG. And, the coarse grinding unit 10 is, on the entire surface of the first column 14, the coarse grinding means 15 for rough grinding the plate-shaped work 2, and the coarse grinding transfer for grinding the coarse grinding means 15, A means (11) is provided.

거친 연삭 수단(15)은, 판형 워크(2)를 가공하는 가공 수단의 일례이고, 거친 연삭 지석(18)을 가지는 거친 연삭 휠(17)을 구비하고 있다. 거친 연삭 지석(18)은, 가공 도구의 일례이고, 비교적 큰 지립을 포함한 지석이다.The coarse grinding means 15 is an example of the processing means which processes the plate-shaped workpiece|work 2, and is provided with the coarse grinding wheel 17 which has the coarse grinding grindstone 18. As shown in FIG. The coarse grinding grindstone 18 is an example of a processing tool, and is a grindstone containing comparatively large abrasive grains.

또한, 거친 연삭부(10)는, 제1 척 테이블(13)의 제1 유지면(12)에 유지된 판형 워크(2)의 두께를 측정하기 위한 제1 하이트 게이지(19)를 구비하고 있다.Moreover, the coarse grinding part 10 is equipped with the 1st height gauge 19 for measuring the thickness of the plate-shaped workpiece|work 2 hold|maintained on the 1st holding surface 12 of the 1st chuck table 13. .

거친 연삭부(10)에는, 거친 연삭 수단(15)의 스핀들(16)의 회전에 의해 회전되는 거친 연삭 지석(18)에 의해, 제1 척 테이블(13)의 제1 유지면(12)에 유지된 판형 워크(2)가 거친 연삭된다.The coarse grinding part 10 is attached to the first holding surface 12 of the first chuck table 13 by the coarse grinding grindstone 18 rotated by the rotation of the spindle 16 of the coarse grinding means 15 . The hold|maintained plate-shaped workpiece|work 2 is rough-ground.

마무리 연삭부(30)는, 판형 워크(2)를 유지하기 위한 제2 척 테이블(33)을 구비하고 있다. 제2 척 테이블(33)은, 판형 워크(2)를 유지하기 위한 유지 수단의 일례이고, 판형 워크(2)를 흡인 유지하는 제2 유지면(32)을 구비하고 있다. 제2 유지면(32)은, 도시하지 않은 흡인원에 연통되고, 2매의 판형 워크(2)를 동시에 흡인 유지하는 것이 가능하다.The finish grinding part 30 is equipped with the 2nd chuck table 33 for holding the plate-shaped workpiece|work 2 . The second chuck table 33 is an example of holding means for holding the plate-shaped work 2 , and has a second holding surface 32 for holding the plate-shaped work 2 by suction. The second holding surface 32 communicates with a suction source (not shown), and it is possible to simultaneously hold the two plate-shaped workpieces 2 by suction.

제2 척 테이블(33)은, 제2 유지면(32)에 의해 판형 워크(2)를 흡인 유지한 상태로, 제2 유지면(32)의 중심을 통과해 Z축 방향으로 연장하는 중심축을 중심으로, 회전 가능하다.The second chuck table 33 has a central axis extending in the Z-axis direction through the center of the second holding surface 32 in a state in which the plate-shaped workpiece 2 is sucked and held by the second holding surface 32 . centered, rotatable.

또한, 제2 장치 베이스(5) 상의 후방에서는, 제1 컬럼(14)에 인접하도록, 제2 컬럼(34)이 입설되고 있다. 그리고, 마무리 연삭부(30)는, 제2 컬럼(34)의 전면에, 판형 워크(2)를 마무리 연삭하는 마무리 연삭 수단(35), 및 마무리 연삭 수단(35)을 연삭 이송하는 마무리 연삭 이송 수단(31)을 구비하고 있다.Moreover, on the back side on the 2nd apparatus base 5, the 2nd column 34 is erected so that it may adjoin the 1st column 14. As shown in FIG. Then, the finish grinding section 30 is a finish grinding means 35 for finishing grinding the plate-shaped workpiece 2 and a finish grinding transfer for grinding the finish grinding means 35 on the entire surface of the second column 34 . means 31 are provided.

마무리 연삭 수단(35)은, 판형 워크(2)를 가공하는 가공 수단의 일례이고, 마무리 연삭 지석(38)을 가지는 마무리 연삭 휠(37)을 구비하고 있다. 마무리 연삭 지석(38)은, 가공 도구의 일례이고, 비교적으로 작은 지립을 포함한 지석이다.The finish grinding means 35 is an example of a processing means for processing the plate-shaped workpiece 2 , and includes a finish grinding wheel 37 having a finish grinding grindstone 38 . The finish grinding grindstone 38 is an example of a processing tool, and is a grindstone containing comparatively small abrasive grains.

또한, 마무리 연삭부(30)는, 제2 척 테이블(33)의 제2 유지면(32)에 유지된 판형 워크(2)의 두께를 측정하기 위한 제2 하이트 게이지(39)를 구비하고 있다.Moreover, the finish grinding part 30 is equipped with the 2nd height gauge 39 for measuring the thickness of the plate-shaped workpiece|work 2 hold|maintained by the 2nd holding surface 32 of the 2nd chuck table 33. .

마무리 연삭부(30)에는, 마무리 연삭 수단(35)의 스핀들(36)의 회전에 의해 회전되는 마무리 연삭 지석(38)에 의해, 제2 척 테이블(33)의 제2 유지면(32)에 유지된 판형 워크(2)가 마무리 연삭된다.The finish grinding section 30 is attached to the second holding surface 32 of the second chuck table 33 by the finish grinding grindstone 38 rotated by the rotation of the spindle 36 of the finish grinding means 35 . The hold|maintained plate-shaped workpiece|work 2 is finish-ground.

또한, 제2 장치 베이스(5) 상에서의 거친 연삭부(10)와 마무리 연삭부(30)의 사이에 있어서의, 도 1에 있어서 파선에 의해 나타내는 반송 공간(170)에는, 거친 연삭부(10)용 및 마무리 연삭부(30)용의, 2대의 반송 수단(171)이 구비되고 있다.Moreover, in the conveyance space 170 shown by the broken line in FIG. 1 between the rough grinding part 10 and the finish grinding part 30 on the 2nd apparatus base 5, the coarse grinding part 10 ) and for the finish grinding unit 30, two conveying means 171 are provided.

본 실시 형태에서는, 반송 수단(171) 및 로봇(155)이, 카세트 스테이지(40)에 재치된 카세트(41)에 수용된 판형 워크(2)를 제1 유지면(12) 및 제2 유지면(32)에 반송하는 워크 반송 기구의 일례를 구성하고 있다.In this embodiment, the conveying means 171 and the robot 155 transfer the plate-shaped workpiece 2 accommodated in the cassette 41 mounted on the cassette stage 40 to the first holding surface 12 and the second holding surface ( 32) constitutes an example of a work transport mechanism to be transported.

도 1에는, 거친 연삭부(10)용의 반송 수단(171)을 나타내고 있다. 거친 연삭부(10)용의 반송 수단(171)은, Y축 방향으로 연장하는 케이스판(173)에 있어서의 +X측의 면에, 판형 워크(2)를 유지하기 위한 반송 패드(175), 반송 패드(175)를 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 이동 기구(177), 및, 반송 패드(175) 및 Z축 이동 기구(177)를 Y축 방향으로 이동시키기 위한 Y축 방향 이동 기구(179)를 구비하고 있다. 반송 패드(175)는, 2매의 판형 워크(2)를 동시에 유지하는 것이 가능하다.In FIG. 1, the conveyance means 171 for the coarse grinding part 10 is shown. The conveying means 171 for the rough grinding part 10 is a conveying pad 175 for holding the plate-shaped workpiece 2 on the surface on the +X side of the case plate 173 extending in the Y-axis direction. , a Z-axis movement mechanism 177 for moving the transfer pad 175 in the Z-axis direction, and a Y-axis movement mechanism for moving the transfer pad 175 and the Z-axis movement mechanism 177 in the Y-axis direction. (179) is provided. The transfer pad 175 can hold the two plate-shaped workpieces 2 at the same time.

거친 연삭부(10)용의 반송 수단(171)은, +X 방향측의 거친 연삭 위치에 있는 임시 배치 테이블(154)에 임시 배치된 2매의 판형 워크(2)를, 반송 패드(175)에 의해 동시에 유지하고, 거친 연삭부(10)의 제1 척 테이블(13)에 반입하고, 그 제1 유지면(12)에 재치한다.The conveying means 171 for the rough grinding part 10 transfers the two plate-shaped workpiece|works 2 temporarily arrange|positioned on the temporary arrangement table 154 at the rough grinding position on the +X direction side to the conveyance pad 175. is held at the same time, carried in the first chuck table 13 of the coarse grinding part 10, and placed on the first holding surface 12.

또한, 거친 연삭부(10)용의 반송 수단(171)은, 거친 연삭 후, 제1 척 테이블(13)에 있어서의 제1 유지면(12) 상의 2매의 판형 워크(2)를, 반송 패드(175)에 의해 동시에 유지하고, 임시 배치 수단(152)의 임시 배치 테이블(154)에 재치한다.Moreover, the conveyance means 171 for rough grinding parts 10 conveys the plate-shaped workpiece|work 2 of 2 sheets on the 1st holding surface 12 in the 1st chuck table 13 after rough grinding. It is held simultaneously by the pad 175 and placed on the temporary placement table 154 of the temporary placement means 152 .

또한, 거친 연삭 후의 판형 워크(2)가 임시 배치 수단(152)의 임시 배치 테이블(154)에 재치된 후, 임시 배치 수단(152)은, 이동 수단(153)에 의해, 임시 배치 수단(152)을, +X 방향측의 거친 연삭 위치로부터, -X 방향측의 마무리 연삭 위치로 이동시킨다.Moreover, after the plate-shaped workpiece|work 2 after rough grinding is mounted on the temporary placement table 154 of the temporary placement means 152, the temporary placement means 152 is the temporary placement means 152 by the moving means 153. ) is moved from the rough grinding position on the +X direction side to the finish grinding position on the -X direction side.

또한, 반송 공간(170)에는, 거친 연삭부(10)용의 반송 수단(171)의 -X측에, 마무리 연삭부(30)용의 반송 수단(171)도 배치되어 있다. 마무리 연삭부(30)용의 반송 수단(171)은, 도 1에 나타낸 거친 연삭부(10)용의 반송 수단(171)의 구성에 있어서, 케이스판(173)의 -X측의 면에, 반송 패드(175), Z축 이동 기구(177) 및 Y축 방향 이동 기구(179)를 가지도록 구성되어 있다.Moreover, in the conveyance space 170, the conveyance means 171 for finish-grinding parts 30 is also arrange|positioned on the -X side of the conveyance means 171 for rough grinding parts 10. In the configuration of the conveying means 171 for the rough grinding unit 10 shown in Fig. 1, the conveying means 171 for the finish grinding section 30 is located on the -X side surface of the case plate 173, It is comprised so that it may have the conveyance pad 175, the Z-axis movement mechanism 177, and the Y-axis direction movement mechanism 179.

마무리 연삭부(30)용의 반송 수단(171)은, -X 방향측의 마무리 연삭 위치에 있는 임시 배치 테이블(154)에 임시 배치된 2매의 판형 워크(2)를, 반송 패드(175)에 의해 동시에 유지하고, 마무리 연삭부(30)의 제2 척 테이블(33)에 반입하고, 그 제2 유지면(32)에 재치한다.The conveying means 171 for the finish-grinding part 30 transfers the two plate-shaped workpiece|works 2 temporarily arrange|positioned on the temporary arrangement table 154 at the finish-grinding position on the -X direction side to the conveyance pad 175. is simultaneously held by , loaded onto the second chuck table 33 of the finish grinding unit 30 , and placed on the second holding surface 32 .

또한, 마무리 연삭부(30)용의 반송 수단(171)은, 마무리 연삭 후, 제2 척 테이블(33)에 있어서의 제2 유지면(32) 상의 2매의 판형 워크(2)를, 반송 패드(175)에 의해 동시에 유지하고, 세정 수단(156)의 스피너 테이블(157)에 반송한다.In addition, the conveying means 171 for the finish grinding part 30 conveys the two plate-shaped workpiece|works 2 on the 2nd holding surface 32 in the 2nd chuck table 33 after finish grinding. It is simultaneously held by the pad 175 and transferred to the spinner table 157 of the cleaning means 156 .

세정 수단(156)은, 판형 워크(2)를 세정하는 스피너 세정 유닛이다. 세정 수단(156)은, 판형 워크(2)를 유지하는 스피너 테이블(157), 및 스피너 테이블(157)을 향해 세정수 및 건조 에어를 분사하는 노즐(158)을 구비하고 있다. 스피너 테이블(157)은, 2매의 판형 워크(2)를 동시에 유지할 수 있도록 구성되어 있다.The cleaning means 156 is a spinner cleaning unit that cleans the plate-shaped work 2 . The cleaning means 156 is provided with a spinner table 157 holding the plate-shaped workpiece 2 , and a nozzle 158 for spraying cleaning water and dry air toward the spinner table 157 . The spinner table 157 is comprised so that the plate-shaped workpiece|work 2 of 2 sheets can be hold|maintained simultaneously.

세정 수단(156)에서는, 판형 워크(2)를 유지한 스피너 테이블(157)이 회전하는 것과 함께, 판형 워크(2)를 향해 세정수가 분사되어, 판형 워크(2)가 스피너 세정된다. 그 후, 판형 워크(2)에 건조 에어가 분출되어, 판형 워크(2)가 건조된다.In the cleaning means 156 , while the spinner table 157 holding the plate-shaped work 2 rotates, washing water is sprayed toward the plate-shaped work 2 to perform spinner cleaning of the plate-shaped work 2 . Then, dry air is blown out to the plate-shaped work 2, and the plate-shaped work 2 is dried.

세정 수단(156)에 의해 세정된 판형 워크(2)는, 로봇(155)에 의해, 가공이 끝난 워크 수용용의 카세트에 반입된다.The plate-shaped workpiece 2 cleaned by the cleaning means 156 is loaded into the cassette for accommodating the processed workpiece by the robot 155 .

또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 스토커(50)는, 직방체형의 테이블(51), 테이블(51)과 카세트(41)의 사이에 개재되는 어댑터 플레이트(52)를 구비하고 있다. 또한, 스토커(50)는, 도 2(a)에 도시한 바와 같이, 어댑터 플레이트(52)에 배치되어 카세트(41)를 위치 결정하기 위한, 가늘고 긴 직방체 형상을 가지는 블록(53)을 구비하고 있다.Further, as shown in FIG. 1 , the stocker 50 is provided with a rectangular parallelepiped table 51 , and an adapter plate 52 interposed between the table 51 and the cassette 41 . In addition, the stocker 50, as shown in Fig. 2 (a), is disposed on the adapter plate 52, for positioning the cassette 41, the block 53 having an elongated rectangular parallelepiped shape, and have.

즉, 도 2(a)에 나타내는 어댑터 플레이트(52)의 상면(521)은, 카세트(41)가 재치되는 면이다. 이 상면(521)에는, 4개의 홈(54)이 형성되고 있다. 그리고, 홈(54)의 각각에, 홈(54)을 따라 이동 가능하도록, 블록(53)이 감합되고 있다. 예컨대, 작업자가, 카세트(41)의 저면의 사이즈에 맞추어 블록(53)의 위치를 조정하는 것에 의해, 4개의 블록(53)에 의해, 카세트(41)를 위치 결정할 수 있다.That is, the upper surface 521 of the adapter plate 52 shown in Fig. 2A is the surface on which the cassette 41 is mounted. Four grooves 54 are formed in this upper surface 521 . And the block 53 is fitted to each of the grooves 54 so as to be movable along the grooves 54 . For example, an operator can position the cassette 41 with the four blocks 53 by adjusting the position of the block 53 according to the size of the bottom surface of the cassette 41 .

또한, 어댑터 플레이트(52)의 길이 방향(Y축 방향)을 따라 연장하는 2개의 측면의 각각에는, 2개씩, 절결부(55)가 형성되고 있다.In addition, two cutouts 55 are formed in each of the two side surfaces extending along the longitudinal direction (Y-axis direction) of the adapter plate 52 .

또한, 도 2(b)에 도시한 바와 같이, 어댑터 플레이트(52)의 하면(522)에는, 테이블(51)에 대한 어댑터 플레이트(52)의 위치 결정이 가능한, 원추 오목부로서의 3개의 재치부(56)가 형성되고 있다.Further, as shown in Fig. 2(b) , on the lower surface 522 of the adapter plate 52 , there are three mounting portions as conical concave portions capable of positioning the adapter plate 52 with respect to the table 51 . (56) is being formed.

이에 관해, 도 1에 도시한 바와 같이, 테이블(51) 상에는, 각 어댑터 플레이트(52)에 대응하는, 원추 볼록부로서의 3개의 플레이트 지지부(511)가 설치되고 있다. 어댑터 플레이트(52)의 3개의 재치부(56)는, 이들 3개의 플레이트 지지부(511)에 감합 가능하도록, 어댑터 플레이트(52)의 하면(522)에 배치되어 있다.In this regard, as shown in FIG. 1 , on the table 51 , three plate support portions 511 as conical convex portions corresponding to the respective adapter plates 52 are provided. The three mounting portions 56 of the adapter plate 52 are disposed on the lower surface 522 of the adapter plate 52 so as to be able to fit these three plate support portions 511 .

테이블(51)의 플레이트 지지부(511)에 어댑터 플레이트(52)의 재치부(56)가 감합되는 것에 의해, 테이블(51)에 대해, 어댑터 플레이트(52)를 양호하게 위치 결정할 수 있다.By fitting the mounting portion 56 of the adapter plate 52 to the plate support portion 511 of the table 51 , the adapter plate 52 can be satisfactorily positioned with respect to the table 51 .

또한, 카세트 스테이지(40) 상에도, 플레이트 지지부(511)와 같은 플레이트 지지부(411)가 설치되고 있다(도 6 참조).Also on the cassette stage 40, a plate support part 411 like the plate support part 511 is provided (refer to Fig. 6).

또한, 본 실시 형태에서는, 테이블(51)의 플레이트 지지부(511)에 어댑터 플레이트(52)의 재치부(56)가 감합되는 것에 의해, 어댑터 플레이트(52)는, 어댑터 플레이트(52)와 테이블(51)의 사이에 간극이 형성되도록, 테이블(51) 상에 재치된다.In addition, in this embodiment, by fitting the mounting part 56 of the adapter plate 52 to the plate support part 511 of the table 51, the adapter plate 52 is formed between the adapter plate 52 and the table ( It is mounted on the table 51 so that a clearance gap may be formed between 51.

또한, 도 2(b)에 도시한 바와 같이, 어댑터 플레이트(52)의 하면(522)에는, 4개의 절결부(55)에 대응하는 위치에, 가늘고 긴 홈 형상의 오목부(57)가 형성되고 있다. 각 오목부(57)는, 절결부(55)로부터, 어댑터 플레이트(52)의 측면에 수직으로 연장하고 있다. 이 오목부(57)는, 어댑터 플레이트(52)에 있어서의 카세트 반송 기구(60)(도 3 참조)에 지지되는 부분이다.In addition, as shown in Fig. 2(b), in the lower surface 522 of the adapter plate 52, at positions corresponding to the four cut-out portions 55, concave portions 57 in the form of elongated grooves are formed. is becoming Each recess 57 extends from the cutout 55 perpendicular to the side surface of the adapter plate 52 . This recess 57 is a portion of the adapter plate 52 supported by the cassette conveying mechanism 60 (refer to FIG. 3 ).

또한, 가공 장치(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 로봇(155)의 상부에, 파선에 의해 나타내는 카세트 반송 공간(180)이 설치되고 있다. 이 카세트 반송 공간(180)에는, 스토커(50)에 재치된 카세트(41)를 카세트 스테이지(40)에 반송하기 위한, 도 3에 나타내는 카세트 반송 기구(60)가 구비되고 있다.Moreover, in the processing apparatus 1, as shown in FIG. 1, the cassette conveyance space 180 shown by the broken line is provided in the upper part of the robot 155. As shown in FIG. The cassette conveying space 180 is provided with a cassette conveying mechanism 60 shown in FIG. 3 for conveying the cassette 41 mounted on the stocker 50 to the cassette stage 40 .

카세트 반송 기구(60)는, 카세트(41)를 재치한 어댑터 플레이트(52)의 하면(522)을 지지하는 지지 기구(70)와, 지지 기구(70)를 스토커(50)와 카세트 스테이지(40)의 사이에서 이동시키는 이동 기구(100)를 구비하고 있다.The cassette transport mechanism 60 includes a support mechanism 70 for supporting the lower surface 522 of the adapter plate 52 on which the cassette 41 is mounted, and a stocker 50 and a cassette stage 40 for the support mechanism 70 . ) is provided with a moving mechanism 100 to be moved between the

이동 기구(100)는, 카세트 반송 기구(60)의 X축 방향으로 연장하는 케이스판(61)의 전면(-Y측의 면)에 설치되고 있다.The moving mechanism 100 is provided on the front surface (the -Y side surface) of the case plate 61 extending in the X-axis direction of the cassette conveying mechanism 60 .

이동 기구(100)는, 지지 기구(70)를 X축 방향으로 이동하는 X축 이동 기구(120), 및 지지 기구(70)를 Z축 방향으로 이동하는 Z축 이동 기구(130)를 구비하고 있다.The movement mechanism 100 includes an X-axis movement mechanism 120 that moves the support mechanism 70 in the X-axis direction, and a Z-axis movement mechanism 130 that moves the support mechanism 70 in the Z-axis direction, have.

X축 이동 기구(120)는, X축 방향으로 연장하는 한 쌍의 가이드 레일(123), 가이드 레일(123)에 재치된 X축 테이블(124), 가이드 레일(123)과 평행하게 연장하는 볼 나사(125), 및 볼 나사(125)를 회전시키는 구동 모터(126)를 포함하고 있다.The X-axis movement mechanism 120 includes a pair of guide rails 123 extending in the X-axis direction, an X-axis table 124 mounted on the guide rails 123 , and a ball extending in parallel with the guide rails 123 . It includes a screw 125 and a drive motor 126 for rotating the ball screw 125 .

한 쌍의 가이드 레일(123)은, X축 방향에 평행하게, 케이스판(61)의 전면에 배치되어 있다. X축 테이블(124)은, 한 쌍의 가이드 레일(123) 상에, 이들 가이드 레일(123)을 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. X축 테이블(124) 상에는, Z축 이동 기구(130) 및 지지 기구(70)가 장착되고 있다.A pair of guide rails 123 are arranged on the front surface of the case plate 61 in parallel to the X-axis direction. The X-axis table 124 is provided on a pair of guide rails 123 so as to be slidable along these guide rails 123 . On the X-axis table 124 , the Z-axis movement mechanism 130 and the support mechanism 70 are mounted.

볼 나사(125)는, X축 테이블(124)에 설치된 너트부(도시하지 않음)에 나사 결합되고 있다. 구동 모터(126)는, 볼 나사(125)의 일단부에 연결되고 있고, 볼 나사(125)를 회전 구동한다. 볼 나사(125)가 회전 구동되는 것에 의해, X축 테이블(124), Z축 이동 기구(130) 및 지지 기구(70)가, 가이드 레일(123)을 따라, X축 방향으로 이동한다.The ball screw 125 is screwed to a nut portion (not shown) provided on the X-axis table 124 . The drive motor 126 is connected to one end of the ball screw 125 , and rotationally drives the ball screw 125 . When the ball screw 125 is rotationally driven, the X-axis table 124 , the Z-axis movement mechanism 130 , and the support mechanism 70 move along the guide rail 123 in the X-axis direction.

Z축 이동 기구(130)는, Z축 방향으로 연장하는 한 쌍의 가이드 레일(131), 가이드 레일(131) 상에 재치된 Z축 테이블(132), 가이드 레일(131)과 평행하게 연장하는 볼 나사(133), 볼 나사(133)를 회전시키는 구동 모터(135), 구동 모터(135)의 회전 속도 및 위치를 검지하기 위한 인코더(136), 및 지지 기구(70)를 지지하는 암(137)을 구비하고 있다.The Z-axis movement mechanism 130 includes a pair of guide rails 131 extending in the Z-axis direction, a Z-axis table 132 mounted on the guide rails 131 , and extending in parallel to the guide rails 131 . A ball screw 133, a drive motor 135 for rotating the ball screw 133, an encoder 136 for detecting the rotational speed and position of the drive motor 135, and an arm supporting the support mechanism 70 ( 137) are provided.

한 쌍의 가이드 레일(131)은, Z축 방향에 평행하게, X축 테이블(124)의 측면에 배치되어 있다. Z축 테이블(132)은, 한 쌍의 가이드 레일(131) 상에, 이들 가이드 레일(131)을 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. Z축 테이블(132) 상에는, 암(137)이 장착되고 있다.A pair of guide rails 131 are arranged on the side surface of the X-axis table 124 in parallel to the Z-axis direction. The Z-axis table 132 is provided on a pair of guide rails 131 so as to be slidable along these guide rails 131 . An arm 137 is mounted on the Z-axis table 132 .

볼 나사(133)는, Z축 테이블(132)의 이면 측에 설치된 너트부(도시하지 않음)에 나사 결합되고 있다. 구동 모터(135)는, 볼 나사(133)의 일단부에 연결되고 있고, 볼 나사(133)를 회전 구동한다. 볼 나사(133)가 회전 구동됨으로써, Z축 테이블(132), 암(137), 및 암(137)에 지지되는 지지 기구(70)가, 가이드 레일(131)을 따라, Z축 방향으로 이동한다. 또한, 이 때, 인코더(136)가, 지지 기구(70)에 있어서의 Z축 방향에서의 이동 거리를 측정한다.The ball screw 133 is screwed to a nut portion (not shown) provided on the back side of the Z-axis table 132 . The drive motor 135 is connected to one end of the ball screw 133 , and rotationally drives the ball screw 133 . As the ball screw 133 is rotationally driven, the Z-axis table 132 , the arm 137 , and the support mechanism 70 supported by the arm 137 move along the guide rail 131 in the Z-axis direction. do. In addition, at this time, the encoder 136 measures the movement distance in the Z-axis direction in the support mechanism 70 .

암(137)은, Z축 테이블(132)에 장착되고 Y축 방향을 따라 연장하는 제1 암부(138)와, 제1 암부(138)의 선단으로부터 하방으로 연장하는 제2 암부(139)를 구비하고 있다. 지지 기구(70)는, 제2 암부(139)의 선단(하단)에 유지되고 있다.The arm 137 includes a first arm part 138 mounted on the Z-axis table 132 and extending along the Y-axis direction, and a second arm part 139 extending downward from the tip of the first arm part 138 . are being prepared The support mechanism 70 is held at the tip (lower end) of the second arm portion 139 .

도 3에 도시한 바와 같이, 지지 기구(70)는, 이동 기구(100)에 있어서의 암(137)의 제2 암부(139)에 연결되는 천판(71), 및 천판(71)을 관통하여 천판(71)으로부터 수하하는 4개의 기둥(72)을 구비하고 있다. 4개의 기둥(72)은, 도 2(a) 등에 나타낸 어댑터 플레이트(52)의 4개의 절결부(55)에 대해 동시에 감합하는 것이 가능한 위치에 배치되어 있다.As shown in FIG. 3 , the support mechanism 70 penetrates the top plate 71 connected to the second arm portion 139 of the arm 137 in the movement mechanism 100 , and the top plate 71 . Four pillars 72 that descend from the top plate 71 are provided. The four posts 72 are arranged at positions capable of being fitted simultaneously with the four cutouts 55 of the adapter plate 52 shown in Fig. 2(a) or the like.

또한, 지지 기구(70)는, 기둥(72)의 하단으로부터 수평 방향으로 연장하는 지지부(73)를 구비하고 있다. 지지부(73)는, 어댑터 플레이트(52)의 하면(522)에 설치되고 있는 오목부(57)(도 2(b) 참조)를 지지하는(즉, 오목부(57)에 감합되는) 것이 가능하도록 구성되어 있다.Moreover, the support mechanism 70 is provided with the support part 73 extending in the horizontal direction from the lower end of the pillar 72. As shown in FIG. The support part 73 can support (ie, fit into the recessed part 57) the recessed part 57 (refer FIG. 2(b)) provided in the lower surface 522 of the adapter plate 52. is configured to do so.

또한, 지지 기구(70)는, 천판(71)의 상면에, 각 기둥(72)에 대응하도록, 기둥 회전 기구의 일례로서의 로터리 실린더(75)를 구비하고 있다. 로터리 실린더(75)는, 천판(71)을 관통하여 상방으로 돌출하고 있는 기둥(72)의 상단에 장착되고 있고, 기둥(72)을 회전시키는 것이다. 로터리 실린더(75)는, 기둥(72)을 회전시키는 것에 의해, 기둥(72)의 선단에 설치되고 있는 지지부(73)를, 어댑터 플레이트(52)의 오목부(57)를 지지하는 위치와, 어댑터 플레이트(52)의 외주보다 외측이 되는 위치 중 어느 하나에 위치시키는 것이 가능하게 되어 있다.Moreover, the support mechanism 70 is provided with the rotary cylinder 75 as an example of a pillar rotation mechanism so that each pillar 72 may correspond to the upper surface of the top plate 71. As shown in FIG. The rotary cylinder 75 is attached to the upper end of the column 72 protruding upward through the top plate 71 , and rotates the column 72 . The rotary cylinder 75 has a position in which the support 73 provided at the tip of the column 72 is supported by the concave portion 57 of the adapter plate 52 by rotating the column 72 ; It is possible to position the adapter plate 52 at any one of the positions outside the outer periphery.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 카세트 반송 기구(60)는, 지지 기구(70)에 걸리는 무게를 검지하는 무게 검지부(62), 및 카세트 반송 기구(60)의 동작을 제어하기 위한 제어부(63)를 구비하고 있다.In addition, as shown in Fig. 3, the cassette conveying mechanism 60 includes a weight detection unit 62 for detecting the weight applied to the support mechanism 70, and a control unit for controlling the operation of the cassette conveying mechanism 60 ( 63) is provided.

여기서, 카세트 반송 기구(60)에 의한 카세트(41)의 반송 동작에 관해 설명한다. 이하에서는, 스토커(50)의 테이블(51) 상에 배치되고 있는 카세트(41)를, 카세트 스테이지(40)에 재치하는 동작을 설명한다.Here, the conveyance operation|movement of the cassette 41 by the cassette conveyance mechanism 60 is demonstrated. Below, the operation|movement which mounts the cassette 41 arrange|positioned on the table 51 of the stocker 50 on the cassette stage 40 is demonstrated.

우선, 제어부(63)는, 도 3에 나타낸 이동 기구(100)를 제어하여, 도 4에 도시한 바와 같이, 지지 기구(70)를, 테이블(51) 상의 어댑터 플레이트(52)에 재치되고 있는 카세트(41)의 바로 윗쪽에 배치한다. 이 때, 제어부(63)는, 로터리 실린더(75)를 제어하여 기둥(72)을 회전하는 것에 의해, 지지부(73)의 연장하는 방향을, 어댑터 플레이트(52)에 있어서의 절결부(55)가 설치되고 있는 길이 방향의 측면과 평행하게 한다. 이에 의해, 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)의 외주보다 외측이 되는 위치에 배치된다. 이 상태에서, 제어부(63)는, 이동 기구(100)를 제어하여, 도 4에 화살표 301에 의해 도시한 바와 같이, 지지 기구(70)를 강하시킨다.First, the control unit 63 controls the moving mechanism 100 shown in FIG. 3 , and as shown in FIG. 4 , the support mechanism 70 is placed on the adapter plate 52 on the table 51 . It is placed just above the cassette (41). At this time, the control unit 63 controls the rotary cylinder 75 to rotate the column 72 , so that the extending direction of the support portion 73 is determined by the cut-out portion 55 in the adapter plate 52 . be parallel to the longitudinal side on which it is being installed. Thereby, the support part 73 is arrange|positioned at the position outside the outer periphery of the adapter plate 52. As shown in FIG. In this state, the control unit 63 controls the movement mechanism 100 to lower the support mechanism 70 as indicated by an arrow 301 in FIG. 4 .

이에 의해, 도 5에 도시한 바와 같이, 지지 기구(70)의 기둥(72)이, 카세트(41)가 재치되고 있는 어댑터 플레이트(52)의 절결부(55)에 감합된다. 또한, 기둥(72)의 선단의 지지부(73)가, 테이블(51) 상에 간극을 두고 재치되고 있는 어댑터 플레이트(52)의 하면(522)(도 2(b) 참조)보다 하방에 배치된다.As a result, as shown in FIG. 5 , the post 72 of the support mechanism 70 fits into the cutout 55 of the adapter plate 52 on which the cassette 41 is placed. Further, the support portion 73 at the tip of the column 72 is disposed below the lower surface 522 (refer to Fig. 2(b) ) of the adapter plate 52 placed on the table 51 with a gap therebetween. .

이 상태에서, 제어부(63)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 로터리 실린더(75)를 제어하여, 화살표(302)에 의해 도시한 바와 같이, 기둥(72)을 대략 90도 회전시킨다. 이에 의해, 기둥(72)의 선단에 설치되고 있는 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)의 오목부(57)의 바로 아래, 즉, 어댑터 플레이트(52)의 오목부(57)를 지지하는 위치에 배치된다.In this state, as shown in FIG. 5 , the control unit 63 controls the rotary cylinder 75 to rotate the column 72 by approximately 90 degrees as indicated by the arrow 302 . Thereby, the support part 73 provided at the tip of the post 72 is directly below the recessed part 57 of the adapter plate 52 , that is, it supports the recessed part 57 of the adapter plate 52 . placed in position

그 후, 제어부(63)는, 이동 기구(100)를 제어하여, 도 6에 화살표 303에 의해 도시한 바와 같이, 지지 기구(70)를 상승시킨다. 이에 의해, 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)의 오목부(57)에 감합되어, 오목부(57)를 지지한다. 이와 같이 하여, 지지 기구(70)가, 카세트(41)를, 4개의 지지부(73)에 의해, 어댑터 플레이트(52)마다 지지한다.Then, the control part 63 controls the movement mechanism 100, and, as shown by arrow 303 in FIG. 6, the support mechanism 70 is raised. Thereby, the support part 73 is fitted to the recessed part 57 of the adapter plate 52, and supports the recessed part 57. As shown in FIG. In this way, the support mechanism 70 supports the cassette 41 by the four support portions 73 for each adapter plate 52 .

또한, 지지 기구(70)가 4개의 지지부(73)에 의해 어댑터 플레이트(52)를 지지했을 때에, 무게 검지부(62)가, 지지 기구(70)에 걸리는 무게, 즉, 어댑터 플레이트(52) 및 카세트(41)의 합계의 무게를 검지한다. 그리고, 제어부(63)의 판단부(64)가, 무게 검지부(62)의 검지 결과에 기초하여, 카세트(41)의 모든 단에 판형 워크(2)가 수용되고 있는지 아닌지를 판단한다.Further, when the support mechanism 70 supports the adapter plate 52 by the four support portions 73 , the weight detection portion 62 detects the weight applied to the support mechanism 70 , that is, the adapter plate 52 and The total weight of the cassette 41 is detected. Then, the determination unit 64 of the control unit 63 determines whether or not the plate-shaped workpiece 2 is accommodated in all the stages of the cassette 41 based on the detection result of the weight detection unit 62 .

또한, 무게 검지부(62)는, 암(137)의 제1 암부(138)와 제2 암부(139)의 사이에 압전 소자(도시하지 않음)를 개재시켜, 압전 소자에 걸리는 압력에 의해, 무게를 검지해도 좋다.In addition, the weight detection unit 62 has a piezoelectric element (not shown) interposed between the first arm part 138 and the second arm part 139 of the arm 137 , and the weight is determined by the pressure applied to the piezoelectric element. may be detected.

또한, 무게 검지부(62)는, 구동 모터(135)에 의해 지지 기구(70)를 상승시킬 때의 모터에 걸리는 부하 전류값으로 무게를 검지해도 좋다.In addition, the weight detection unit 62 may detect the weight by the value of a load current applied to the motor when the support mechanism 70 is raised by the drive motor 135 .

판단부(64)가, 카세트(41)의 모든 단에 판형 워크(2)가 수용되어 있지 않다고 판단했을 경우, 제어부(63)는, 가공 장치(1)에 설치되고 있는 도시하지 않은 터치 패널 등의 표시부를 이용하여, 그 취지를 작업자에게 통지한다. 또한, 판단부(64)는, 어댑터 플레이트(52)를 테이블(51) 상에 되돌려, 처리를 종료한다.When the determination unit 64 determines that the plate-shaped workpiece 2 is not accommodated in all the stages of the cassette 41 , the control unit 63 controls a touch panel (not shown) installed in the processing apparatus 1 , etc. Notifies the operator to that effect using the display unit of Further, the determination unit 64 returns the adapter plate 52 onto the table 51 to end the process.

한편, 판단부(64)가, 카세트(41)의 모든 단에 판형 워크(2)가 수용되고 있다고 판단했을 경우, 제어부(63)는, 이동 기구(100)를 제어하여, 화살표(304 및 305)에 의해 도시한 바와 같이 지지 기구(70)를 이동시켜, 카세트 스테이지(40) 상에, 카세트(41) 및 어댑터 플레이트(52)를 지지한 상태의 지지 기구(70)를 재치한다. 이 때, 카세트 스테이지(40)의 플레이트 지지부(411)에, 어댑터 플레이트(52)의 재치부(56)가 감합된다.On the other hand, when the determination unit 64 determines that the plate-shaped workpiece 2 is accommodated in all the stages of the cassette 41 , the control unit 63 controls the moving mechanism 100 to control the arrows 304 and 305 . ), the support mechanism 70 is moved, and the support mechanism 70 in a state in which the cassette 41 and the adapter plate 52 are supported is placed on the cassette stage 40 . At this time, the mounting part 56 of the adapter plate 52 is fitted to the plate support part 411 of the cassette stage 40 .

다음에, 제어부(63)는, 로터리 실린더(75)를 제어하여, 기둥(72)을 대략 90도 회전시키는 것에 의해, 지지부(73)의 연장하는 방향을, 어댑터 플레이트(52)에 있어서의 절결부(55)가 설치되고 있는 측면과 평행하게 한다. 이에 의해, 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)의 외주보다 외측이 되는 위치에 배치되고, 지지 기구(70)에 의한 어댑터 플레이트(52)의 지지가 해제된다. 그 후, 제어부(63)는, 이동 기구(100)를 제어하여, 지지 기구(70)를, 카세트 스테이지(40)로부터 이반(離反)시켜, 미리 정해진 위치에 배치한다.Next, the control unit 63 controls the rotary cylinder 75 and rotates the column 72 by approximately 90 degrees so that the extending direction of the support unit 73 is determined by the cutting of the adapter plate 52 . The joint 55 is parallel to the side on which it is installed. Thereby, the support part 73 is arrange|positioned at the position outside the outer periphery of the adapter plate 52, and the support of the adapter plate 52 by the support mechanism 70 is cancelled|released. Then, the control part 63 controls the movement mechanism 100, makes the support mechanism 70 separate from the cassette stage 40, and arrange|positions it at a predetermined position.

이상과 같이, 본 실시 형태의 형태에 관련된 가공 장치(1)에서는, 카세트 스테이지(40) 및 스토커(50)에 있어서, 카세트(41)가, 어댑터 플레이트(52) 상에 재치되고 있다. 그리고, 카세트(41)를 이동시킬 때에는, 카세트 반송 기구(60)의 지지 기구(70)에 의해, 카세트(41)가 재치되고 있는 어댑터 플레이트(52)를 지지한다. 그리고, 이 지지 기구(70)가, 카세트 반송 기구(60)의 이동 기구(100)에 의해, 스토커(50)와 카세트 스테이지(40)의 사이에서 이동된다. 이 때문에, 카세트(41)를 직접 지지하여 이동시키는 구성과는 달리, 카세트(41)의 크기가 바뀌어도, 카세트 반송 기구(60)를 조정할 필요가 없다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 카세트 반송 기구(60)에 의해, 판형 워크(2)의 크기에 따른 여러 가지 크기의 카세트(41)를, 용이하게 반송하는 것이 가능하다.As described above, in the processing apparatus 1 according to the embodiment of the present embodiment, the cassette 41 is placed on the adapter plate 52 in the cassette stage 40 and the stocker 50 . Then, when the cassette 41 is moved, the adapter plate 52 on which the cassette 41 is placed is supported by the support mechanism 70 of the cassette transport mechanism 60 . Then, the support mechanism 70 is moved between the stocker 50 and the cassette stage 40 by the movement mechanism 100 of the cassette transport mechanism 60 . For this reason, unlike the configuration in which the cassette 41 is directly supported and moved, it is not necessary to adjust the cassette conveying mechanism 60 even if the size of the cassette 41 is changed. Therefore, in this embodiment, it is possible to convey easily the cassette 41 of various sizes according to the size of the plate-shaped workpiece|work 2 by the cassette conveyance mechanism 60. As shown in FIG.

또한, 본 실시 형태에서는, 카세트 반송 기구(60)의 무게 검지부(62)의 검지 결과에 기초하여, 판단부(64)가, 지지 기구(70)에 의해 지지되고 있는 카세트(41)의 모든 단에 판형 워크(2)가 수용되고 있는지 아닌지를 판단하고 있다. 그리고, 모든 단에 판형 워크(2)가 수용되어 있지 않다고 판단되었을 경우에는, 그 카세트(41)가, 스토커(50)의 테이블(51)에 되돌려진다. 이에 의해, 빈 카세트(41)를 카세트 스테이지(40)에 반송하는 등의 트러블을 억제할 수 있다.In addition, in this embodiment, based on the detection result of the weight detection unit 62 of the cassette conveyance mechanism 60 , the determination unit 64 determines all stages of the cassette 41 supported by the support mechanism 70 . It is judged whether or not the plate-shaped workpiece|work 2 is accommodated. And when it is judged that the plate-shaped workpiece|work 2 is not accommodated in all the stages, the cassette 41 is returned to the table 51 of the stocker 50. As shown in FIG. Thereby, troubles, such as conveying the empty cassette 41 to the cassette stage 40, can be suppressed.

또한, 판단부(64)는, 무게 검지부(62)의 검지 결과에 기초하여, 카세트(41) 내의 판형 워크(2)의 수를 판단하도록 구성되어 있어도 좋다. 이 경우, 카세트(41) 내에 소정 수 이상의 판형 워크(2)가 수용되고 있을 때는, 제어부(63)는, 카세트 스테이지(40) 상에 카세트(41) 및 어댑터 플레이트(52)를 재치하는 처리를 속행해도 좋다.In addition, the determination part 64 may be comprised so that the number of the plate-shaped workpiece|work 2 in the cassette 41 may be judged based on the detection result of the weight detection part 62. As shown in FIG. In this case, when a predetermined number or more of the plate-shaped workpieces 2 are accommodated in the cassette 41 , the control unit 63 performs a process of placing the cassette 41 and the adapter plate 52 on the cassette stage 40 . You may proceed.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 지지 기구(70)가, 천판(71)의 상면에, 각 기둥(72)에 대응하도록, 천판(71)의 하면에 장착된 기둥(72)을 회전시키는 로터리 실린더(75)를 구비하고 있다.In addition, in this embodiment, as shown in FIG. 3 , the support mechanism 70 is attached to the upper surface of the top plate 71 so as to correspond to the respective pillars 72 , and is attached to the lower surface of the top plate 71 ( A rotary cylinder 75 for rotating 72 is provided.

카세트 반송 기구(60)에서, 이 지지 기구(70)를 대신하여, 도 7에 나타나는 지지 기구(77)를 구비해도 좋다. 이 지지 기구(77)는, 상술한 지지 기구(70)의 구성에 있어서, 로터리 실린더(75)를 대신하여, 기둥 회전 기구로서, 링크 기구(80)를 구비한 구성을 가지고 있다. 이 링크 기구(80)는, 1개의 구동원을 이용하여 4개의 기둥(72)을 동시에 회전시키는 것이다.In the cassette transport mechanism 60 , a support mechanism 77 shown in FIG. 7 may be provided instead of the support mechanism 70 . This support mechanism 77 has a structure provided with the link mechanism 80 as a pillar rotation mechanism instead of the rotary cylinder 75 in the structure of the support mechanism 70 mentioned above. This link mechanism 80 rotates the four pillars 72 simultaneously using one drive source.

도 7에 도시한 바와 같이, 링크 기구(80)는, 각 기둥(72)에 대응하는 대략 원판형의 선회 플레이트(81)를 구비하고 있다. 선회 플레이트(81)는, 천판(71)을 관통하여 상방으로 돌출하고 있는 4개의 기둥(72)의 상단에 배치되고, 수평 방향으로 연장하고 있다.As shown in FIG. 7 , the link mechanism 80 is provided with a substantially disk-shaped revolving plate 81 corresponding to each column 72 . The turning plate 81 is disposed on the upper end of the four pillars 72 protruding upward through the top plate 71 , and extends in the horizontal direction.

또한, 링크 기구(80)는, 선회 플레이트(81)에 배치된 공전축(82)을 구비하고 있다. 공전축(82)은, 기둥(72)의 축심으로부터 수평 방향으로 어긋나, 선회 플레이트(81)에 배치되어 있다. 공전축(82)은, 선회 플레이트(81) 및 기둥(72)의 회전을 따라, 기둥(72)의 축심을 축으로 공전하는 것이 가능하다.Moreover, the link mechanism 80 is provided with the revolution shaft 82 arrange|positioned on the revolving plate 81. As shown in FIG. The revolution shaft 82 is shifted from the axis of the column 72 in the horizontal direction, and is disposed on the revolving plate 81 . The orbital shaft 82 can revolve around the axial center of the column 72 along with the rotation of the revolving plate 81 and the column 72 .

또한, 링크 기구(80)는, 링크 플레이트(83)를 구비하고 있다. 링크 플레이트(83)는, 4개의 공전축(82)에 진입 가능한 개구를 가지며, 4개의 공전축(82)을 공전 가능하게 연결하고 있다.Further, the link mechanism 80 is provided with a link plate 83 . The link plate 83 has an opening which can enter into the four revolving shafts 82, and has connected the four revolving shafts 82 so that revolving is possible.

즉, 링크 플레이트(83)는, 한 쌍의 제1 링크 부재(84)와, 이들 제1 링크 부재(84)에 연결되고 있는 제2 링크 부재(85)를 구비하고 있다.That is, the link plate 83 includes a pair of first link members 84 and second link members 85 connected to these first link members 84 .

제1 링크 부재(84)는, 천판(71)의 길이 방향(Y축 방향)을 따라 연장하고 있고, 그 양단에, 도 8의 확대도에 도시한 바와 같이, 공전축(82)에 진입 가능한 개구(841)를 구비하고 있다. 즉, 본 실시 형태에서는, 각 제1 링크 부재(84)에 있어서의 양단의 개구(841)가, 천판(71)의 길이 방향(Y축 방향)을 따라 배열된 한 쌍의 기둥(72)에 설치된 선회 플레이트(81)의 공전축(82)에 결합되고 있다.The first link member 84 extends along the longitudinal direction (Y-axis direction) of the top plate 71 , and at both ends thereof, as shown in the enlarged view of FIG. 8 , the first link member 84 can enter the revolution shaft 82 . An opening 841 is provided. That is, in the present embodiment, the openings 841 at both ends of each of the first link members 84 are in the pair of pillars 72 arranged along the longitudinal direction (Y-axis direction) of the top plate 71 . It is coupled to the revolution shaft 82 of the installed revolving plate 81 .

제2 링크 부재(85)는, 천판(71)의 폭 방향(X축 방향)을 따라 연장하고 있고, 한 쌍의 제1 링크 부재(84)에 고정되고 있다.The second link member 85 extends along the width direction (X-axis direction) of the top plate 71 , and is being fixed to the pair of first link members 84 .

또한, 링크 기구(80)는, 링크 플레이트(83)를 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부로서의, 직동 실린더(90)를 구비하고 있다.Moreover, the link mechanism 80 is provided with the linear cylinder 90 as a horizontal drive part which moves the link plate 83 in a horizontal direction.

도 9에 도시한 바와 같이, 직동 실린더(90)는, 제1 선회축(92)을 통해, XY 평면 상에서 선회 가능한 상태로, 대략 Y축 방향을 따르도록 천판(71)에 장착되고 있다. 또한, 직동 실린더(90)는, 대략 Y축 방향을 따라 신축하는 로드(91)를 구비하고 있다. 로드(91)의 선단은, 제2 링크 부재(85)의 선단에 설치된 제2 선회축(851)에, 이 제2 선회축(851)에 대해 선회 가능하게 결합되고 있다.As shown in FIG. 9 , the linear cylinder 90 is attached to the top plate 71 so as to substantially follow the Y-axis direction in a state capable of turning on the XY plane via the first rotation shaft 92 . Moreover, the linear cylinder 90 is provided with the rod 91 which expands and contracts substantially along the Y-axis direction. The tip of the rod 91 is pivotally coupled to a second pivot 851 provided at the tip of the second link member 85 with respect to the second pivot 851 .

이 구성에서는, 제어부(63)는, 도 3에 나타낸 이동 기구(100)를 제어하여, 지지 기구(77)를, 테이블(51) 상의 어댑터 플레이트(52)에 재치되고 있는 카세트(41)의 바로 윗쪽에 배치한다(도 4 참조).In this configuration, the control unit 63 controls the movement mechanism 100 shown in FIG. 3 , and sets the support mechanism 77 directly to the cassette 41 mounted on the adapter plate 52 on the table 51 . It is placed on the top (refer to FIG. 4).

이 때, 도 10에 도시한 바와 같이, 제어부(63)는, 직동 실린더(90)를 제어하여, 로드(91)를 수축한 상태로 한다. 이에 의해, 기둥(72)의 선단에 설치되고 있는 지지부(73)가 연장하는 방향이, 천판(71)의 길이 방향의 측면과 평행, 즉, 어댑터 플레이트(52)에 있어서의 길이 방향의 측면과 평행이 된다. 이에 의해, 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)의 외주보다 외측이 되는 위치에 배치된다.At this time, as shown in FIG. 10, the control part 63 controls the linear cylinder 90, and makes the rod 91 a contracted state. Accordingly, the direction in which the support portion 73 provided at the tip of the pillar 72 extends is parallel to the longitudinal side surface of the top plate 71 , that is, the longitudinal side surface of the adapter plate 52 . become parallel Thereby, the support part 73 is arrange|positioned at the position outside the outer periphery of the adapter plate 52. As shown in FIG.

이 상태에서, 제어부(63)는, 이동 기구(100)를 제어하여, 지지 기구(77)를 강하시킨다. 이에 의해, 지지 기구(77)의 기둥(72)이, 어댑터 플레이트(52)의 절결부(55)(도 2(a) 참조)에 감합된다. 또한, 기둥(72)의 선단의 지지부(73)가, 테이블(51) 상에 간극을 두고 재치되고 있는 어댑터 플레이트(52)의 하면(522)(도 2(b) 참조)보다 하방에 배치된다.In this state, the control unit 63 controls the movement mechanism 100 to lower the support mechanism 77 . Thereby, the post 72 of the support mechanism 77 is fitted to the cutout 55 of the adapter plate 52 (refer to Fig. 2(a) ). Further, the support portion 73 at the tip of the column 72 is disposed below the lower surface 522 (refer to Fig. 2(b) ) of the adapter plate 52 placed on the table 51 with a gap therebetween. .

또한, 도 10~도 12에서는, 도면의 복잡화를 회피하기 위해, 편의상, 어댑터 플레이트(52)에 재치되고 있는 카세트(41), 및 어댑터 플레이트(52)의 측면에 형성되고 있는 절결부(55)의 묘화를 생략하고 있다.10 to 12, in order to avoid complication of the drawings, for convenience, the cassette 41 mounted on the adapter plate 52, and the cutout 55 formed on the side surface of the adapter plate 52. drawing is omitted.

그 후, 도 11에 도시한 바와 같이, 제어부(63)는, 직동 실린더(90)를 제어하여, 로드(91)를, 화살표 400에 도시한 바와 같이 대략 +Y 방향을 향해 신장시켜 간다. 이에 의해, 제2 선회축(851)을 통해 로드(91)에 접속된 링크 플레이트(83)의 제2 링크 부재(85), 및 제2 링크 부재(85)에 연결되고 있는 한 쌍의 제1 링크 부재(84)가, 대략 +Y 방향을 따르는 힘을 받는다.Then, as shown in FIG. 11, the control part 63 controls the linear cylinder 90, and expands the rod 91 toward the substantially +Y direction as shown by arrow 400. As shown in FIG. Thereby, the second link member 85 of the link plate 83 connected to the rod 91 via the second pivoting shaft 851 , and a pair of first links connected to the second link member 85 . The link member 84 receives a force approximately along the +Y direction.

이에 의해, 링크 플레이트(83)가, 대략 +Y 방향을 따라 수평으로 이동한다. 즉, 한 쌍의 제1 링크 부재(84)가, 그 양단에 연결된 선회 플레이트(81)의 공전축(82)을 기둥(72)의 축심을 축으로 공전시키면서, 대략 +Y 방향으로 수평 이동한다. 공전축(82)이 공전되는 것에 의해, 도 11에 도시한 바와 같이, 선회 플레이트(81), 기둥(72) 및, 기둥(72)의 선단에 설치되고 있는 지지부(73)가, 반시계 방향으로 회전된다.Thereby, the link plate 83 moves horizontally along the +Y direction substantially. That is, the pair of first link members 84 move horizontally in the approximately +Y direction while revolving the orbital axis 82 of the revolving plate 81 connected to both ends of the column 72 as the axis. . As the orbital shaft 82 revolves, as shown in FIG. 11 , the pivot plate 81 , the column 72 , and the support portion 73 provided at the tip of the column 72 rotates counterclockwise. is rotated to

그리고, 제어부(63)는, 직동 실린더(90)를 제어하여, 로드(91)를, 화살표( 400)로 도시한 바와 같이 더욱 대략 +Y 방향을 향해 신장시켜 간다. 이에 의해, 공전축(82)이 더욱 공전되고, 선회 플레이트(81), 기둥(72) 및 지지부(73)가, 반시계 방향으로 더욱 회전된다. 그 결과, 도 12에 도시한 바와 같이, 기둥(72)이 대략 90도 회전되고, 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)의 오목부(57)의 바로 아래, 즉, 어댑터 플레이트(52)의 오목부(57)를 지지하는 위치에 배치된다.And the control part 63 controls the linear cylinder 90, and expands the rod 91 further substantially toward the +Y direction as shown by the arrow 400. As shown in FIG. Thereby, the orbital shaft 82 further revolves, and the turning plate 81, the pillar 72, and the support part 73 further rotate counterclockwise. As a result, as shown in FIG. 12 , the post 72 is rotated approximately 90 degrees, and the support portion 73 is positioned directly below the recess 57 of the adapter plate 52 , that is, the adapter plate 52 . It is disposed at a position to support the concave portion 57 of the .

그 후, 제어부(63)는, 이동 기구(100)(도 3 참조)를 제어하여, 지지 기구(77)를 상승시킨다. 이에 의해, 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)의 오목부(57)에 감합되고, 오목부(57)를 지지한다. 이와 같이 하여, 지지 기구(77)가, 카세트(41)를, 4개의 지지부(73)에 의해, 어댑터 플레이트(52)마다 지지한다.Then, the control part 63 controls the moving mechanism 100 (refer FIG. 3), and raises the support mechanism 77. Thereby, the support part 73 is fitted to the recessed part 57 of the adapter plate 52, and supports the recessed part 57. As shown in FIG. In this way, the support mechanism 77 supports the cassette 41 by the four support portions 73 for each adapter plate 52 .

그 후, 제어부(63)는, 이동 기구(100)를 제어하여 지지 기구(77)를 이동시켜, 카세트 스테이지(40) 상에 어댑터 플레이트(52)를 재치한 후, 직동 실린더(90)를 제어하여, 로드(91)를 수축한다. 이에 의해, 공전축(82)이 역방향으로 공전되고, 기둥(72)의 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)에 있어서의 길이 방향의 측면과 평행이 된다. 이에 의해, 지지부(73)가, 어댑터 플레이트(52)의 외주보다 외측이 되는 위치에 배치되고, 지지 기구(77)에 의한 어댑터 플레이트(52)의 지지가 해제된다.Thereafter, the control unit 63 controls the movement mechanism 100 to move the support mechanism 77 , and after placing the adapter plate 52 on the cassette stage 40 , then controls the linear cylinder 90 . Thus, the rod 91 is contracted. As a result, the orbital shaft 82 revolves in the opposite direction, and the support portion 73 of the column 72 is parallel to the longitudinal side surface of the adapter plate 52 . Thereby, the support part 73 is arrange|positioned at the position outside the outer periphery of the adapter plate 52, and the support of the adapter plate 52 by the support mechanism 77 is cancelled|released.

이와 같이, 카세트 반송 기구(60)가 지지 기구(77)를 구비한 경우에서도, 지지 기구(77)에 의해, 카세트(41)가 재치되고 있는 어댑터 플레이트(52)를 지지하고, 이 지지 기구(77)를, 카세트 반송 기구(60)의 이동 기구(100)에 의해, 스토커(50)와 카세트 스테이지(40)의 사이에서 이동시키는 것이 가능하다. 따라서, 카세트(41)의 크기가 바뀌어도, 카세트 반송 기구(60)를 조정하지 않고, 카세트(41)를 용이하게 반송하는 것이 가능하다.In this way, even when the cassette transport mechanism 60 includes the support mechanism 77 , the support mechanism 77 supports the adapter plate 52 on which the cassette 41 is placed, and the support mechanism ( 77 ) can be moved between the stocker 50 and the cassette stage 40 by the moving mechanism 100 of the cassette conveying mechanism 60 . Accordingly, even if the size of the cassette 41 is changed, it is possible to easily transport the cassette 41 without adjusting the cassette transport mechanism 60 .

또한, 지지 기구(77)를 이용하는 경우에도, 무게 검지부(62)의 검지 결과에 기초하는 판단부(64)의 판단에 따라, 제어부(63)가, 카세트 스테이지(40) 상에 카세트(41) 및 어댑터 플레이트(52)를 재치하는 처리를 속행하는지 아닌지를 판단해도 좋다.In addition, even in the case of using the support mechanism 77 , according to the determination of the determination unit 64 based on the detection result of the weight detection unit 62 , the control unit 63 controls the cassette 41 on the cassette stage 40 . and it may be judged whether or not the process of placing the adapter plate 52 is continued.

또한, 지지 기구(77)에서는, 직동 실린더(90)를 이용하여, 한 쌍의 제1 링크 부재(84)를 이동시키는 것에 의해, 각 공전축(82)을 공전시켜, 지지부(73)의 방향을 바꾸고 있다. 이에 관해, 지지 기구(77)의 링크 기구(80)는, 도 13에 도시한 바와 같이, 직동 실린더(90)를 대신하여, 1개의 기둥(72)의 상단에 설치된 로터리 실린더(95)를 구비해도 좋다.Moreover, in the support mechanism 77, each revolving shaft 82 is made to revolve by moving a pair of 1st link member 84 using the linear cylinder 90, and the direction of the support part 73 is made. is changing In this regard, as shown in FIG. 13 , the link mechanism 80 of the support mechanism 77 is provided with a rotary cylinder 95 provided at the upper end of the single column 72 instead of the linear cylinder 90 . good to do

이 구성에서는, 로터리 실린더(95)를 회전시키는 것에 의해, 로터리 실린더(95)가 구비된 기둥(72)의 상단의 선회 플레이트(81)가, 예컨대 반시계 방향으로 회전한다. 이에 의해, 이 선회 플레이트(81)의 공전축(82)에 일단이 연결되고 있는 일방의 제1 링크 부재(84), 이 제1 링크 부재(84)에 연결되고 있는 제2 링크 부재(85) 및 타방의 제1 링크 부재(84)가, 화살표(405)로 도시한 바와 같이, 대략 +Y 방향을 따르는 힘을 받는다.In this configuration, by rotating the rotary cylinder 95 , the turning plate 81 at the upper end of the column 72 provided with the rotary cylinder 95 rotates counterclockwise, for example. Thereby, one first link member 84 whose one end is connected to the revolution shaft 82 of this revolving plate 81 , and the second link member 85 connected to this first link member 84 . and the other first link member 84 receives a force approximately along the +Y direction, as indicated by the arrow 405 .

이에 의해, 도 7~도 12를 이용하여 나타낸 구조와 마찬가지로, 일방의 제1 링크 부재(84)의 타단 및 타방의 제1 링크 부재(84)의 양단에 연결된 선회 플레이트(81)의 공전축(82)이, 기둥(72)의 축심을 축으로 공전되면서, 링크 플레이트(83)의 전체가, 대략 +Y 방향으로 이동한다. 공전축(82)이 공전되는 것에 의해, 도 13 도시한 바와 같이, 선회 플레이트(81), 기둥(72) 및, 기둥(72)의 선단에 설치되고 있는 지지부(73)가, 반시계 방향으로 회전된다.Thereby, similarly to the structure shown using FIGS. 7-12, the orbital axis ( As the 82 revolves around the axis of the column 72 , the entire link plate 83 moves in the approximately +Y direction. As the orbital shaft 82 revolves, as shown in FIG. 13 , the pivot plate 81 , the column 72 , and the support portion 73 provided at the tip of the column 72 rotates counterclockwise. rotated

따라서, 이 구성에서도, 지지부(73)를 어댑터 플레이트(52)의 오목부(57)에 감합시키는 것에 의해, 지지 기구(77)가, 카세트(41)를, 어댑터 플레이트(52)마다 지지하는 것이 가능하다.Therefore, also in this configuration, by fitting the support portion 73 to the recess portion 57 of the adapter plate 52 , the support mechanism 77 supports the cassette 41 for each adapter plate 52 . It is possible.

1: 가공 장치, 2: 판형 워크, 3: 제1 장치 베이스, 5: 제2 장치 베이스
10: 거친 연삭부
12: 제1 유지면, 13: 제1 척 테이블, 11: 거친 연삭 이송 수단
15: 거친 연삭 수단, 17: 거친 연삭 휠, 18: 거친 연삭 지석
30: 마무리 연삭부
32: 제2 유지면, 33: 제2 척 테이블, 31: 마무리 연삭 이송 수단
35: 마무리 연삭 수단, 37: 마무리 연삭 휠, 38: 마무리 연삭 지석
40: 카세트 스테이지, 41: 카세트
50: 스토커, 51: 테이블
52: 어댑터 플레이트, 521: 상면, 522: 하면
53: 블록, 54: 홈, 55: 절결부, 56: 재치부, 57: 오목부
60: 카세트 반송 기구
61: 케이스판, 62: 검지부, 63: 제어부, 64: 판단부
70: 지지 기구, 71: 천판, 72: 기둥, 73: 지지부, 75: 로터리 실린더
77: 지지 기구, 80: 링크 기구, 81: 선회 플레이트, 82: 공전축
83: 링크 플레이트, 84: 제1 링크 부재, 841: 개구
85: 제2 링크 부재, 851: 제2 선회축
90: 직동 실린더, 91: 로드, 92: 제1 선회축
95: 로터리 실린더
100: 이동 기구, 120: X축 이동 기구, 130: Z축 이동 기구
170: 반송 공간, 171: 반송 수단, 173: 케이스판, 175: 반송 패드
177: Z축 이동 기구, 179: Y축 방향 이동 기구
180: 카세트 반송 공간1: processing device, 2: plate-shaped workpiece, 3: first device base, 5: second device base
10: rough grinding part
12: first holding surface, 13: first chuck table, 11: coarse grinding transfer means
15: coarse grinding means, 17: coarse grinding wheel, 18: coarse grinding wheel
30: finish grinding part
32: second holding surface, 33: second chuck table, 31: finish grinding transfer means
35: finish grinding means, 37: finish grinding wheel, 38: finish grinding grindstone
40: cassette stage, 41: cassette
50: stalker, 51: table
52: adapter plate, 521: upper surface, 522: lower surface
53: block, 54: groove, 55: cutout, 56: placement, 57: concave
60: cassette conveyance mechanism
61: case plate, 62: detection unit, 63: control unit, 64: determination unit
70: support mechanism, 71: top plate, 72: column, 73: support, 75: rotary cylinder
77: support mechanism, 80: link mechanism, 81: pivot plate, 82: revolution shaft
83: link plate, 84: first link member, 841: opening
85: second link member, 851: second pivot axis
90: linear cylinder, 91: rod, 92: first pivot shaft
95: rotary cylinder
100: movement mechanism, 120: X-axis movement mechanism, 130: Z-axis movement mechanism
170: conveying space, 171: conveying means, 173: case plate, 175: conveying pad
177: Z-axis movement mechanism, 179: Y-axis direction movement mechanism
180: cassette conveyance space

Claims

A holding means having a holding surface for holding a rectangular plate-shaped workpiece, a processing means for processing a plate-shaped workpiece, a cassette stage having a plurality of stages capable of accommodating a plurality of plate-shaped workpieces is mounted, a cassette stage mounted on the cassette stage a work conveying mechanism for conveying the plate-shaped work accommodated in the cassette to the holding surface;
A stocker capable of mounting a plurality of the cassettes, and a cassette conveying mechanism for conveying the cassettes mounted on the stockers to the cassette stage
In the processing apparatus having a,
The stocker includes a table, an adapter plate interposed between the table and the cassette, and a block disposed on the adapter plate for positioning the cassette;
The adapter plate is
a mounting unit formed on a lower surface and capable of positioning the adapter plate with respect to the table;
and a recess formed on the lower surface and supported by the cassette conveying mechanism;
The cassette conveying mechanism,
a support mechanism for supporting a lower surface of the adapter plate on which the cassette is mounted;
a moving mechanism for moving the support mechanism between the stocker and the cassette stage;
The support mechanism is
a top plate connected to the moving mechanism;
Four pillars descending from the top plate,
a support portion extending in a horizontal direction from a lower end of the column and supporting the concave portion of the adapter plate;
and a post rotating mechanism capable of positioning the support part at either a position for supporting the recessed part or a position outside the outer periphery of the adapter plate by rotating the column.

According to claim 1,
The pillar rotation mechanism,
a pivot plate disposed on the upper end of each of the four pillars and extending in the horizontal direction;
an orbital axis shifted from the axis of the column in the horizontal direction and disposed on the pivot plate and revolving around the axis of the column;
A link plate having an opening that can enter the four revolving axes and connecting the revolving axes of the four revolvingly;
A processing device having a horizontal drive unit for moving the link plate in a horizontal direction.

According to claim 1,
The cassette conveying mechanism,
a weight detection unit configured to detect a weight applied to the supporting unit when the supporting unit supports the adapter plate by the four supporting units;
and a judging unit for judging whether or not a plate-shaped workpiece is accommodated in all the stages of the cassette based on the detection result of the weight detection unit.