KR20210152844A - 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것으로, 기판이 배치되면서 기판을 이송할 수 있는 이송 펠릿; 교차 지점을 가지는 격자 구조로 형성되며, 상기 이송 펠릿의 하부에서 상기 이송 펠릿의 주행경로를 형성하는 복수 개의 레일; 상기 이송 펠릿의 하부에 구비되며, 상기 레일을 따라 이동하는 주행 롤러를 포함하는 롤러부; 상기 교차 지점에 형성되며, 서로 다른 방향으로 연장되는 복수 개의 레일 중 하나의 레일을 선택적으로.연결시키도록 회전 가능하게 설치되는 연결 레일; 상기 연결 레일이 회전 가능하게 설치되는 베이스; 상기 연결 레일과 함께 회전하며, 상기 연결 레일의 하부에 구비되는 보조 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템 {Transfer pellet system using directional connecting rail}
본 발명은 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연결 레일 하부에 보조 롤러를 구비하여 베어링의 부하 모멘트를 경감시키며, 레일의 측면에 받이홈을 구비하고, 레일을 따라 이동하는 롤러부에 이물질 받이 커버를 구비하여 가이드휠에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자는 다양항 공정을 거치면서 제조되며, 확산, 식각, 사진, 클리닝 등의 공정을 거치게 된다. 각각의 공정은 이전의 공정과 연계되며, 하나의 공정이 완료된 후에는 다음 공정으로 반도체를 이송시켜야 한다.
반도체를 이송시키기 위해서 기판 이송장치가 사용된다. 기판 이송장치는 반도체를 다양한 공정이 진행되는 위치로 이송할 수 있는 것으로, 기판 이송장치는 레일을 통해 반도체가 배치되어 있는 이송 펠릿을 이동시킬 수 있다.
반도체를 제조하는 공정은 다양한 위치에서 진행되기 때문에, 기판 이송장치를 통해 반도체를 이송하는 경우 다양한 방향으로 반도체를 이송시켜야 한다. 이를 위해 기판 이송장치는 격자 구조를 가지는 복수 개의 레일을 사용하며, 레일 상에 방향 전환 유닛을 구비하여 이송 펠릿의 방향을 전환하게 된다.
그러나 종래의 기판 이송장치는 다음과 같은 문제가 있다. 기판 이송장치의 방향 전환 유닛에는 베어링이 구비되며, 상기 베어링을 통해 이송 펠릿의 방향을 전환하게 된다. 그러나 이송 펠릿의 무게로 인해 베어링 큰 부하 모멘트가 발생하게 되며, 이 경우 베어링이 손상되거나 이송 펠릿에 기울어짐이 발생함에 따라 방향 전환이 원활하게 이루어지지 않은 문제가 있다.
또한, 기판 이송장치는 레일을 주행하기 위해 휠을 사용하는데, 기판 이송장치를 장기간 사용 시에 레일의 측면에 이물질이 적층되어 기판 이송장치의 동작불량이 발생하면서 유지보수비용이 증가하고, 레일을 사용할 수 있는 수명이 줄어드는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 더욱 상세하게는 연결 레일 하부에 보조 롤러를 구비하여 베어링의 부하 모멘트를 경감시키며, 레일의 측면에 받이홈을 구비하고, 레일을 따라 이동하는 롤러부에 이물질 받이 커버를 구비하여 가이드휠에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은, 기판이 배치되면서 기판을 이송할 수 있는 이송 펠릿; 교차 지점을 가지는 격자 구조로 형성되며, 상기 이송 펠릿의 하부에서 상기 이송 펠릿의 주행경로를 형성하는 복수 개의 레일; 상기 이송 펠릿의 하부에 구비되며, 상기 레일을 따라 이동하는 주행 롤러를 포함하는 롤러부; 상기 교차 지점에 형성되며, 서로 다른 방향으로 연장되는 복수 개의 레일 중 하나의 레일을 선택적으로.연결시키도록 회전 가능하게 설치되는 연결 레일; 상기 연결 레일이 회전 가능하게 설치되는 베이스; 상기 연결 레일과 함께 회전하며, 상기 연결 레일의 하부에 구비되는 보조 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 베이스에는, 상기 베이스의 상면으로부터 상부로 돌출되는 슬리브가 구비될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 보조 롤러는, 상기 베이스의 상면에는 접촉되지 않으며, 상기 슬리브에만 접촉되면서 회전할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 보조 롤러는, 상기 연결 레일로 상기 롤러부가 이동될 때, 상기 롤러부를 통해 전달되는 하중에 의해 상기 슬리브에 접촉되고, 상기 연결 레일로 상기 롤러부가 이동되지 않을 때는 상기 슬리브에 접촉되지 않을 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 베이스는 원판 형상으로 이루어지며, 상기 베이스에는, 상기 베이스의 상면으로부터 상부로 돌출되는 복수 개의 슬리브가 구비되며, 상기 슬리브는, 상기 베이스의 둘레를 따라 서로 이격되면서 배치될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 슬리브는, 상기 베이스의 둘레를 따라 등간격으로 이격되면서 4개가 배치될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 롤러부는, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 이송 펠릿의 하부에 결합되는 베어링; 상기 베어링과 함께 회전하며, 상기 주행 롤러가 배치될 수 있는 공간이 구비된 하우징; 상기 레일의 상면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 나란한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징에 결합되는 상기 주행 롤러; 상기 레일의 측면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징의 하부에 결합되는 가이드휠; 상기 하우징의 측면에 결합되며, 상기 가이드휠의 측부와 하부를 감싸도록 연장되는 이물질 받이 커버;를 포함할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 이물질 받이 커버는, 상기 하우징의 측면에 탈부착 가능하도록 결합될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 이물질 받이 커버는, 자석을 통해 상기 하우징의 측면에 탈부착 가능하도록 결합될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 레일은, 상기 주행 롤러와 상기 가이드휠이 접촉되는 주행부와 상기 주행부의 양측에 구비되는 지지부를 포함하며, 상기 주행 롤러는 상기 주행부의 상면에 접촉되며, 상기 가이드휠은 상기 주행부의 측면에 접촉될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 지지부에는 받이홈이 구비될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 주행부의 측면에는 상기 주행부의 내측으로 파여진 측면 받이홈이 구비되며, 상기 가이드휠은, 상기 측면 받이홈의 상부에서 상기 주행부의 측면에 접촉될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 이물질 받이 커버의 끝단은 상기 측면 받이홈에 끼워질 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 지지부의 측면에는 레일 커버가 구비될 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 이물질 받이 커버의 끝단에는, 상기 이물질 받이 커버 끝단에서 상향 연장되는 경사부가 구비될 수 있다.
본 발명은 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것으로, 연결 레일 하부에 보조 롤러를 구비함에 따라 베어링의 부하 모멘트를 경감시키면서 연결 레일의 방향 전환을 용이하게 할 수 있는 장점이 있으며, 이를 통해 베어링을 소형화하여 제작할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 레일의 측면에 받이홈을 구비하고, 레일을 따라 이동하는 롤러부에 이물질 받이 커버를 구비함에 따라 가이드휠에서 떨어지는 이물질을 포집 및 제거할 수 있는 장점이 있다.
도 1(a)는 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 평면도를 나타내는 도면이며, 도 1(b)는 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 사시도를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 레일과 연결 레일을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 이송 펠릿과 롤러부를 나타내는 도면이다.
도 4(a) 및 도 4(b)는 본 발명의 실시 예에 따른 롤러부를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따라 레일에 롤러부가 접촉된 것을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따라 이물질 받이 커버에 경사부가 구비된 것을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따라 연결 레일 하부에 보조 롤러가 구비된 것과 베이스에 슬리브가 형성된 것을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따라 롤러부가 연결 레일에 진입하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따라 연결 레일과 롤러부가 함께 회전하는 것을 나타내는 도면이다.
본 명세서는 본 발명의 권리범위를 명확히 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 실시할 수 있도록, 본 발명의 원리를 설명하고, 실시 예들을 개시한다. 개시된 실시 예들은 다양한 형태로 구현될 수 있다.
본 발명의 다양한 실시 예에서 사용될 수 있는 "포함한다" 또는 "포함할 수 있다" 등의 표현은 발명(disclosure)된 해당 기능, 동작 또는 구성요소 등의 존재를 가리키며, 추가적인 하나 이상의 기능, 동작 또는 구성요소 등을 제한하지 않는다. 또한, 본 발명의 다양한 실시예에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어, 결합되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 결합되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 결합되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 발명은 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것으로, 연결 레일 하부에 보조 롤러를 구비하여 베어링의 부하 모멘트를 경감시키며, 레일의 측면에 받이홈을 구비하고, 레일을 따라 이동하는 롤러부에 이물질 받이 커버를 구비하여 가이드휠에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스 템에 관한 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 1(a) 및 도 1(b)를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은, 이송 펠릿(110), 레일(120), 롤러부(200), 연결 레일(130)을 포함한다.
상기 이송 펠릿(110)은 기판이 배치되면서 기판을 이송할 수 있는 것이다. 상기 이송 펠릿(110)은 사각 판재 형상으로 이루어질 수 있으며, 상기 이송 펠릿(110)의 상부에 기판이 배치될 수 있다.
상기 기판은 상기 이송 펠릿(110)의 상부에 배치되면서 상기 이송 펠릿(110)과 함께 움직일 수 있는 것으로, 상기 이송 펠릿(110)의 주행 방향이 전환됨에 따라 상기 기판의 이동 방향도 함께 전환될 수 있다. 상기 기판은 반도체일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 이송 펠릿(110)에 배치되면서 가공되는 것이라면 다양한 종류의 기판이 사용될 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 레일(120)은 교차 지점을 가지는 격자 구조로 형성되며, 상기 이송 펠릿(110)의 하부에서 상기 이송 펠릿(110)의 주행 경로를 형성하는 것이다.
상기 레일(120)은 복수 개가 구비될 수 있는 것으로, 상기 레일(120)은 가로 방향으로 연장되는 레일과 세로 방향으로 연장되는 레일을 포함하면서 격자 구조로 형성될 수 있다. 가로 방향으로 연장되는 레일과 세로 방향으로 연장되는 레일이 만나는 지점이 교차 지점이 되며, 상기 교차 지점에는 상기 연결 레일(130)이 구비될 수 있다.
상기 이송 펠릿(110)은 상기 레일(120)을 따라 주행하는 것으로, 상기 이송 펠릿(110)이 가로 방향으로 연장되는 레일과 연결되면 가로 방향으로 주행되며, 상기 이송 펠릿(110)이 세로로 방향으로 연장되는 레일과 연결되면 세로방향으로 주행된다.
가로 방향으로 연장되는 레일과 세로 방향으로 연장되는 레일의 교차 지점에는 상기 연결 레일(130)이 구비되며, 상기 연결 레일(130)의 회전을 통해 상기 이송 펠릿(110)이 주행하는 레일이 변경될 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 롤러부(200)는 상기 이송 펠릿(110)의 하부에 구비되는 것으로, 상기 레일(120)을 따라 이동하는 주행 롤러(240)를 포함하는 것이다. 상기 롤러부(200)는 상기 이송 펠릿(110)과 상기 레일(120)을 연결하는 것으로, 상기 주행 롤러(240)가 상기 레일(120)의 상부에 접촉되면서 상기 이송 펠릿(110)이 주행할 수 있게 된다.
도 4(a) 및 도 4(b)를 참조하면, 상기 롤러부(200)는, 베어링(220), 하우징(230), 상기 주행 롤러(240), 가이드휠(250), 이물질 받이 커버(260)를 포함한다.
상기 베어링(220)은 상기 이송 펠릿(110)의 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 이송 펠릿(110)의 하부에 결합되는 것이다. 상기 베어링(220)은 상기 이송 펠릿(110)의 형성하는 평면과 나란한 방향으로 회전할 수 있는 것으로, 상기 베어링(220)은 후술할 상기 연결 레일(130)과 함께 회전할 수 있는 것이다.
구체적으로, 상기 이송 펠릿(110)은 정지해있는 상태에서 상기 베어링(220)을 통해 상기 롤러부(200)만 상기 연결 레일(130)과 함께 회전함에 따라, 상기 이송 펠릿(110)의 주행경로가 전환될 수 있게 된다. 상기 베어링(220)은 상기 롤러부(200)를 상기 이송 펠릿(110)의 하부에 회전 가능하게 결합할 수 있다면 다양한 종류의 베어링이 사용될 수 있다.
도 4(a)를 참조하면, 상기 롤러부(200)는 상기 베어링(220)을 통해 상기 이송 펠릿(110) 하부에 회전 가능하게 결합될 수 있으며, 상기 이송 펠릿(110)에서 상기 롤러부(200)가 이탈하는 것을 방지하기 위해 상기 롤러부(200)를 고정시키는 고정부(210)가 구비될 수도 있다.
상기 하우징(230)은 상기 베어링(220)과 함께 회전하며, 상기 주행 롤러(240)가 배치될 수 있는 공간이 구비되어 있는 것이다. 상기 하우징(230)은 상기 베어링(220)의 하부에 결합될 수 있으며, 상기 하우징(230)에는 상기 주행 롤러(240)의 회전축(241)이 형성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 주행 롤러(240)는 상기 레일(120)의 상면에 접촉되는 것으로, 상기 이송 펠릿(110)이 형성하는 평면과 나란한 방향으로 연장되는 회전축(241)을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징(230)에 결합되는 것이다. 상기 주행 롤러(240)는 원판 형상의 롤러로 이루어질 수 있으며, 상기 주행 롤러(240)는 회전축(241)을 통해 상기 하우징(230)에 결합될 수 있다.
상기 주행 롤러(240)의 회전축(241)은 사각 판재로 이루어진 상기 이송 펠릿(110)이 형성하는 평면과 나란한 방향으로 연장되는 것으로, 상기 하우징(230)의 일측면에서 내부공간을 지나 상기 하우징(230)의 타측면으로 연장되는 것이다.
상기 가이드휠(250)은 상기 레일(120)의 측면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿(110)이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축(251)을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징(230)의 하부에 결합되는 것이다.
상기 가이드휠(250)은 원판 형상의 롤러로 이루어질 수 있으며, 상기 가이드휠(250)은 상기 회전축(251)을 통해 상기 하우징(230)의 하부에 결합될 수 있다. 상기 가이드휠(250)은 상기 하우징(230)의 양측 하부에 구비될 수 있는 것으로, 상기 하우징(230)에는 2개 또는 4개의 상기 가이드휠(250)이 형성될 수 있다. 상기 가이드휠(250)의 회전축(251)의 연장방향은 상기 주행 롤러(240)의 회전축(241)의 연장방향과 수직일 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 주행 롤러(240)는 상기 레일(120)의 상면과 접촉되면서 회전하는 것이며, 상기 가이드휠(250)은 상기 레일(120)의 측면과 접촉하면서 회전하는 것이다. 상기 주행 롤러(240)를 통해 상기 이송 펠릿(110)의 주행경로가 형성될 수 있으며, 상기 가이드휠(250)을 사용함에 따라 상기 레일(120)에서 상기 주행 롤러(240)가 이탈하는 것을 방지할 수 있게 된다.
상기 레일(120)은 상기 주행 롤러(240)와 상기 가이드휠(250)이 접촉되는 주행부(121)와 상기 주행부(121)의 양측에 구비되는 지지부(123)를 포함한다. 도 5를 참조하면, 상기 주행부(121)는 상기 지지부(123)보다 돌출되어 있는 것으로, 상기 주행부(121)의 상면에는 상기 주행 롤러(240)가 접촉되고, 상기 주행부(121)의 양측면에는 상기 가이드휠(250)이 접촉된다.
상기 주행부(121)의 측면에는 상기 주행부(121)의 내측으로 파여진 측면 받이홈(122)이 구비될 수 있으며, 상기 지지부(123)에는 상기 지지부(123) 내부로 파여진 받이홈(124)이 구비될 수 있다.
상기 측면 받이홈(122)은 상기 주행부(121)의 양측면에 형성되는 홈으로, 상기 측면 받이홈(122)에는 레일 주변에 배치되는 배선, 케이블 등이 삽입할 수 있다. 이를 통해 상기 레일(120) 주변을 통과하는 배선, 케이블 등을 정리할 수 있게 된다. .
또한, 상기 측면 받이홈(122)은 후술할 이물질 받이 커버(260)의 끝단이 삽입될 수 있는 것으로, 상기 측면 받이홈(122)을 통해 상기 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 모을 수 있게 된다. 상기 측면 받이홈(122)을 통해 상기 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 모음에 따라 상기 레일(120) 또는 이송 펠릿 시스템에 이물질이 적층되는 것을 방지할 수 있게 된다.
상기 주행부(121)에 상기 측면 받이홈(122)이 구비된 경우, 상기 가이드휠(250)은 상기 측면 받이홈(122)의 상부에서 상기 주행부(121)의 측면에 접촉될 수 있다.
상기 받이홈(124)은 상기 지지부(123)의 내부로 파여진 홈으로, 상기 받이홈(124)에는 레일 주변에 배치되는 배선, 케이블 등이 삽입할 수 있다. 이를 통해 상기 레일(120) 주변을 통과하는 배선, 케이블 등을 정리할 수 있게 된다. 또한, 상기 받이홈(124)을 통해 상기 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있으며, 이를 통해 상기 레일(120) 또는 이송 펠릿 시스템에 이물질이 적층되는 것을 방지할 수 있게 된다.
상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 하우징(230)의 측면에 결합되며, 상기 가이드휠(250)의 측부와 하부를 감싸도록 연장되는 것이다. 상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 하우징(230)의 양측면에서 외부로 돌출되는 것으로, 구부러진 판 형상으로 이루어질 수 있다.
상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 하우징(230)의 측면에서 외부로 돌출되는 돌출 부분과 상기 돌출 부분에서 상기 가이드휠(250)의 측부를 감싸도록 구부러지면서 연장되는 제1부분과, 상기 제1부분에서 상기 가이드휠(250)의 하부를 감싸도록 구부러지면서 연장되는 제2부분을 포함한다.
상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 가이드휠(250) 감싸면서, 상기 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있는 것이다. 기판 이송장치를 장기간 사용하게 되면, 상기 가이드휠(250)에 이물질 발생할 수 있는데, 상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 이물질이 외부로 비산되지 않도록 상기 이물질을 포집할 수 있는 것이다.
도 5를 참조하면, 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단은 상기 측면 받이홈(122)에 끼워질 수 있다. 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단을 상기 측면 받이홈(122)에 끼우면, 상기 이물질 받이 커버(260)에서 이탈하는 이물질을 상기 측면 받이홈(122)으로 포집될 수 있고, 이를 통해 상기 레일(120) 또는 이송 펠릿 시스템에 이물질이 적층되는 것을 방지할 수 있게 된다.
이와 같이 상기 이물질 받이 커버(260)와 상기 측면 받이홈(122)을 동시에 사용하면, 상기 가이드휠(250)에서 발생하는 이물질이 외부로 배출되는 것을 이중으로 차단할 수 있게 된다.
도 6을 참조하면, 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단에는, 상기 이물질 받이 커버(260) 끝단에서 상향 연장되는 경사부(261)가 구비될 수도 있다. 상기 경사부(261)는 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단에서 상부를 향하여 연장되는 것으로, 상기 경사부(261)는 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단에서 수직으로 연장될 수 있으며, 상향 사선으로 연장될 수도 있다.
상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단에 상기 경사부(261)를 형성함에 따라 상기 이물질 받이 커버(260)에 포집된 이물질이 외부로 이탈하는 것을 방지할 수 있게 된다.
여기서, 상기 경사부(261)는 상기 측면 받이홈(122)에 끼워질 수 있으며, 이를 통해 상기 가이드휠(250)에서 발생하는 이물질이 상기 레일(120) 또는 이송 펠릿 시스템에 이물질이 적층되는 것을 이중으로 방지할 수 있게 된다.
상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 하우징(230)의 측면에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이물질 받이 커버(260)를 상기 하우징(230)의 탈부착 가능하게 결합함에 따라, 상기 이물질 받이 커버(260)의 조립 및 분해를 용이하게 할 수 있는 장점이 있다.
구체적으로, 상기 이물질 받이 커버(260)는 자석을 통해 상기 하우징(230)의 측면에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 상기 자석은 상기 이물질 받이 커버(260)에 구비될 수 있으며, 상기 하우징(230)에 구비될 수도 있다. 상기 자석을 통해 상기 이물질 받이 커버(260)를 상기 하우징(230)의 측면에 결합하면, 상기 이물질 받이 커버(260)의 조립 및 분해를 용이하게 할 수 있는 장점이 있다.
다만, 상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 자석을 통해 상기 하우징(230)에 탈부착 가능하게 결합되는 것으로 한정되는 것은 아니며, 상기 이물질 받이 커버(260)를 상기 하우징(230)에 탈부착 가능하게 결합시킬 수 있다면 다양한 구성이 사용될 수 있다.
상기 레일(120)의 상기 지지부(123)의 측면에는 레일 커버(125)가 구비될 수 있으며, 상기 레일 커버(125)를 통해 이송 펠릿 시스템에서 발생하는 이물질을 포집할 수도 있다. 상기 레일 커버(125)는 이물질을 포집할 수 있는 홈이 구비되어 있는 것으로, 상기 레일 커버(125)를 통해 상기 이송 펠릿(110)의 주행 중에 발생하는 이물질을 포집할 수 있게 된다.
상기 연결 레일(130)은 복수 개의 상기 레일(120)의 교차 지점에 형성되는 것으로, 서로 다른 방향으로 연장되는 복수 개의 레일(120) 중 하나의 레일을 선택적으로 연결시키도록 회전 가능하게 설치되는 것이다.
상기 연결 레일(130)은 가로 방향으로 연장되는 레일과 세로 방향으로 연장되는 레일의 교차지점에 형성되는 것으로, 상기 연결 레일(130)의 회전을 통해 가로 방향으로 연장된 레일이 연속적으로 연결되거나 세로 방향으로 연장되는 레일이 연속적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 상기 연결 레일(130)이 회전 가능하게 설치되는 베이스(140)와 상기 보조 롤러(131)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은, 시스템의 지지대가 되는 프레임(10)을 포함될 수 있으며, 상기 프레임(10)에 상기 레일(120)과 상기 베이스(140)가 설치될 수 있다.
상기 베이스(140)에는 상기 연결 레일(130)이 회전 가능하게 설치되어 있다. 도 7을 참조하면, 상기 연결 레일(130)은 연결부(132)를 통해 상기 베이스(140)에 설치될 수 있는 것으로, 상기 베이스(140) 또는 상기 프레임(10)에는 상기 연결 레일(130)이 회전할 수 있는 동력을 제공하는 동력부(미도시)가 구비될 수 있다.
상기 연결 레일(130)은 상술한 상기 롤러부(200)와 함께 회전할 수 있는 것으로, 상기 연결 레일(130)의 상부로 상기 롤러부(200)가 이동되면 상기 연결 레일(130)이 회전하게 된다. 이하에서는 상기 연결 레일(130)과 상기 롤러부(200)를 통해 상기 이송 펠릿(110)의 방향이 전환되는 과정을 설명한다.
가로 방향으로 연장된 레일을 따라 상기 롤러부(200)가 이동하면, 상기 이송 펠릿(110)은 가로 방향으로 연장된 레일과 나란한 방향으로 이동하게 된다. 이때, 상기 연결 레일(130)은 가로 방향으로 연장된 레일이 연결되어 있도록, 가로 방향으로 연장된 레일과 나란한 방향으로 배치되어 있다.
상기 롤러부(200)가 가로 방향으로 연장된 레일 따라 이동하다가 상기 연결 레일(130)의 상부로 이동하면, 상기 연결 레일(130)을 회전시킨다. 상기 연결 레일(130)이 회전하면, 상기 연결 레일(130) 상부로 이동된 상기 롤러부(200)도 회전하게 된다.
여기서, 상기 롤러부(200)는 상기 베어링(220)을 통해 상기 이송 펠릿(110)에 회전 가능하게 결합되는 것이기 때문에, 상기 롤러부(200)가 회전하여도 상기 이송 펠릿(110)은 정지한 상태로 있다.-+
상기 연결 레일(130)이 회전함에 따라 가로 방향으로 연장된 레일의 연결이 끊기고, 세로 방향으로 연장된 레일이 서로 연결될 수 있다. 이후, 상기 롤러부(200)를 세로 방향으로 연장된 레일을 따라 이동시키면, 상기 이송 펠릿(110)은 세로 방향으로 연장된 레일과 나란한 방향으로 이동하게 된다.
이와 같은 과정을 통해 상기 이송 펠릿(110)의 이동 방향이 가로 방향에서 세로 방향으로 전환될 수 있으며, 동일한 방법으로 상기 이송 펠릿(110)의 이동 방향이 세로 방향에서 가로 방향으로 전환될 수 있다.
그러나 이와 같은 방법을 통해 상기 이송 펠릿(110)의 이동 방향을 전환하는 것은 다음과 같은 문제가 있다. 도 8을 참조하면, 상기 이송 펠릿(110)에서 상기 베어링(220)으로 고하중의 부하가 전달되기 때문에, 상기 이송 펠릿(110)의 방향 전환시 상기 베어링(220)에 큰 부하 모멘트가 발생할 수 있다.
상기 베어링(220)에 큰 부하 모멘트가 발생하면, 상기 베어링(220)이 손상되거나 상기 이송 펠릿(110)이 기울어짐에 따라 상기 이송 펠릿(110)의 방향 전환이 원활하게 이루어지지 않을 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 이를 방지하기 위해, 상기 연결 레일(130) 하부에 보조 롤러(131)를 구비할 수 있다.
도 8을 참조하면, 상기 보조 롤러(131)는 상기 연결 레일(130)과 함께 회전하며, 상기 연결 레일(130)의 하부 양측에 구비될 수 있는 것이다. 상기 보조 롤러(131)는 상기 연결 레일(130)의 회전을 보조할 수 있는 것으로, 상기 보조 롤러(131)의 회전력을 통해 상기 연결 레일(130)의 회전이 원활하게 이루어질 수 있다.
이와 함께, 상기 베이스(140)에는 상기 베이스(140)의 상면으로부터 상부로 돌출되는 슬리브(141)가 구비될 수 있다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 일 실시 예에 따른 상기 베이스(140)는 원판 형상으로 이루어질 수 있으며, 상기 슬리브(141)는 상기 베이스(140)의 둘레를 따라 서로 이격되면서 복수 개가 배치될 수 있다.
구체적으로, 상기 슬리브(141)는 상기 베이스(140)의 둘레를 따라 등간격으로 이격되면서 4개가 배치될 수 있다. 다만, 복수 개의 상기 슬리브(141)의 배치는 이에 한정되는 것은 아니며, 복수 개의 상기 슬리브(141)의 배치는 필요에 따라 변경될 수 있다.
여기서, 상기 보조 롤러(131)는 상기 베이스(140)의 상면에는 접촉되지 않으면서 상기 슬리브(141)에만 접촉되면서 회전할 수 있다. 상기 슬리브(141)는 상기 베이스(140)의 상면으로 돌출되는 것으로, 상기 보조 롤러(131)는 상기 베이스(140)의 상면에는 접촉되지 않고, 상기 슬리브(141)에만 접촉되도록 상기 연결 레일(130)의 하부에 결합될 수 있다.
상기 보조 롤러(131)가 상기 베이스(140)의 상면에 접촉되면, 상기 연결 레일(130) 및 상기 보조 롤러(131)가 회전하는 동안 상기 베이스(140)와 상기 보조 롤러(131) 사이에 마찰력이 지속적으로 발생하면서 불필요한 마모가 발생할 수 있게 된다. 이를 방지하기 위해, 상기 보조 롤러(131)는 상기 슬리브(141)에만 접촉할 수 있으며, 이를 통해 불필요한 마모가 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 보조 롤러(131)는 상기 연결 레일(130)로 상기 롤러부(200)가 이동될 때만, 상기 롤러부(200)를 통해 전달되는 하중에 의해 상기 슬리브(141)에만 접촉될 수 있다. (이 때도 상기 보조 롤러(131)는 상기 베이스(140)의 상면에 접촉되지 않을 수 있다.)
상기 롤러부(200)가 상기 연결 레일(130) 상부로 이동되면, 상기 이송 펠릿(110)의 하중이 상기 롤러부(200)를 통해 상기 연결 레일(130)로 전달된다. 상기 연결 레일(130)로 전달된 하중에 의해 상기 보조 롤러(131)가 하부로 이동되면서 상기 슬리브(141)와 접촉될 수 있다.
여기서, 상기 보조 롤러(131)는 상기 연결 레일(130)로 상기 롤러부(200)가 이동되지 않았을 때 상기 슬리브(141)에 접촉되지 않을 수 있다. 이와 같이 상기 롤러부(200)가 상기 연결 레일(130)에 진입하였을 경우에만 상기 보조 롤러(131)와 상기 슬리브(141)를 접촉시킴에 따라 불필요한 마모가 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.
또한, 상기 보조 롤러(131)와 상기 슬리브(141)를 사용하여 상기 연결 레일(130)을 회전시킴에 따라 상기 이송 펠릿(110)이 기울어지는 것을 방지할 수 있으며, 상기 베어링(220)의 부하를 감소시킴에 따라 상기 베어링(220)을 소형화하여 설계할 수 있는 장점이 있다.
상술한 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 연결 레일(130) 하부에 보조 롤러(131)를 구비하고, 베이스(140)에 슬리브(141)를 구비함에 따라 이송 펠릿이 기울어지는 것을 감소시키면서 연결 레일의 방향 전환을 용이하게 할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 연결 레일(130) 하부에 보조 롤러(131)를 구비하고, 베이스(140)에 슬리브(141)를 구비함에 따라 베어링(220)의 부하 모멘트를 경감시킬 수 있으며, 이를 통해 베어링(220)을 소형화하여 제작할 수 있는 장점이 있다.
이와 함께, 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 레일(120)의 측면에 측면 받이홈(122)을 구비하고, 레일(120)을 따라 이동하는 롤러부(200)에 이물질 받이 커버(260)를 구비함에 따라 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 포집 및 제거할 수 있는 장점이 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
110...이송 펠릿 120...레일
121...주행부 122...측면 받이홈
123...지지부 124...받이홈
125...레일 커버 130...연결 레일
131...보조 롤러 132...연결부
140...베이스 141...슬리브
200...롤러부 210...고정부
220...베어링 230...하우징
240...주행 롤러 241...주행 롤러 회전축
250...가이드휠 251...가이드휠 회전축
260...이물질 받이 커버 261...경사부

Claims (15)

  1. 기판을 이송하기 위한 이송 펠릿 시스템에 있어서,
    기판이 배치되면서 기판을 이송할 수 있는 이송 펠릿;
    교차 지점을 가지는 격자 구조로 형성되며, 상기 이송 펠릿의 하부에서 상기 이송 펠릿의 주행경로를 형성하는 복수 개의 레일;
    상기 이송 펠릿의 하부에 구비되며, 상기 레일을 따라 이동하는 주행 롤러를 포함하는 롤러부;
    상기 교차 지점에 형성되며, 서로 다른 방향으로 연장되는 복수 개의 레일 중 하나의 레일을 선택적으로.연결시키도록 회전 가능하게 설치되는 연결 레일;
    상기 연결 레일이 회전 가능하게 설치되는 베이스;
    상기 연결 레일과 함께 회전하며, 상기 연결 레일의 하부에 구비되는 보조 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스에는, 상기 베이스의 상면으로부터 상부로 돌출되는 슬리브가 구비되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 보조 롤러는,
    상기 베이스의 상면에는 접촉되지 않으며, 상기 슬리브에만 접촉되면서 회전하는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 보조 롤러는, 상기 연결 레일로 상기 롤러부가 이동될 때, 상기 롤러부를 통해 전달되는 하중에 의해 상기 슬리브에 접촉되고,
    상기 연결 레일로 상기 롤러부가 이동되지 않을 때는 상기 슬리브에 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 베이스는 원판 형상으로 이루어지며,
    상기 베이스에는, 상기 베이스의 상면으로부터 상부로 돌출되는 복수 개의 슬리브가 구비되며,
    상기 슬리브는, 상기 베이스의 둘레를 따라 서로 이격되면서 배치되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 슬리브는, 상기 베이스의 둘레를 따라 등간격으로 이격되면서 4개가 배치되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 롤러부는,
    상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 이송 펠릿의 하부에 결합되는 베어링;
    상기 베어링과 함께 회전하며, 상기 주행 롤러가 배치될 수 있는 공간이 구비된 하우징;
    상기 레일의 상면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 나란한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징에 결합되는 상기 주행 롤러;
    상기 레일의 측면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징의 하부에 결합되는 가이드휠;
    상기 하우징의 측면에 결합되며, 상기 가이드휠의 측부와 하부를 감싸도록 연장되는 이물질 받이 커버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이물질 받이 커버는, 상기 하우징의 측면에 탈부착 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 이물질 받이 커버는, 자석을 통해 상기 하우징의 측면에 탈부착 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 레일은,
    상기 주행 롤러와 상기 가이드휠이 접촉되는 주행부와 상기 주행부의 양측에 구비되는 지지부를 포함하며,
    상기 주행 롤러는 상기 주행부의 상면에 접촉되며, 상기 가이드휠은 상기 주행부의 측면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 지지부에는 받이홈이 구비되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 주행부의 측면에는 상기 주행부의 내측으로 파여진 측면 받이홈이 구비되며,
    상기 가이드휠은, 상기 측면 받이홈의 상부에서 상기 주행부의 측면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 이물질 받이 커버의 끝단은 상기 측면 받이홈에 끼워지는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 지지부의 측면에는 레일 커버가 구비되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
  15. 제7항에 있어서,
    상기 이물질 받이 커버의 끝단에는, 상기 이물질 받이 커버 끝단에서 상향 연장되는 경사부가 구비되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200362098Y1 (ko) * 2004-06-16 2004-09-16 하나농업기계 주식회사 소금운반대차용 교차레일 회전대
KR20070050587A (ko) * 2005-11-11 2007-05-16 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 제조 장비용 카세트 반송 장치
KR20100034178A (ko) * 2008-09-23 2010-04-01 (주)한국에이앤지 레일바이크용 턴테이블 장치
KR101951871B1 (ko) * 2017-10-16 2019-02-26 비앤에스(주) 보조레일을 구비한 방향전환용 연결레일모듈

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200362098Y1 (ko) * 2004-06-16 2004-09-16 하나농업기계 주식회사 소금운반대차용 교차레일 회전대
KR20070050587A (ko) * 2005-11-11 2007-05-16 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 제조 장비용 카세트 반송 장치
KR20100034178A (ko) * 2008-09-23 2010-04-01 (주)한국에이앤지 레일바이크용 턴테이블 장치
KR101951871B1 (ko) * 2017-10-16 2019-02-26 비앤에스(주) 보조레일을 구비한 방향전환용 연결레일모듈

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023177067A1 (ko) * 2022-03-15 2023-09-21 현대무벡스 주식회사 물품 이송 장치

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