KR102239970B1 - 기판이송설비 - Google Patents

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Abstract

반도체 제조 공정 등에서 기판의 이송을 위해 사용되는 기판이송설비가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 이송 경로를 제공하는 레일; 상기 레일을 따라 이동되는 롤러; 상기 레일의 교차점에 구비되어, 상기 롤러의 이동 방향을 전환시키는 전환유닛; 및 상기 전환유닛을 회전 조작하는 구동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판이송설비가 제공될 수 있다. 본 발명의 실시예들에 따른 기판이송설비는 전환유닛의 작동을 통해 기판 등 이송 대상물의 이송 방향을 적절히 변경시킬 수 있다.

Description

기판이송설비 {SUBSTRATE TRANSFER DEVICE}
본 발명은 반도체 제조 공정 등에서 기판의 이송을 위해 사용되는 기판이송설비에 관한 것이다.
반도체, 디스플레이 등은 식각, 증착, 세정 등 다수의 공정을 거쳐 제작될 수 있고, 기판은 상기와 같은 공정 간에 소정의 이송 수단을 통해 이송된다. 기판의 이송 방식으로는 클러스터 타입(Cluster Type)과 리니어 타입(Inline Type)이 주로 사용되고 있다. 클러스터 타입은 일면에 기판이 안착된 캐리어가 원형의 트랜스퍼 챔버() 둘레를 등간격으로 연결하고, 트랜스퍼 챔버 중앙에 있는 로봇 아암에 의해 각 공정으로 기판을 이송하게 되며, 리니어 타입은 기판을 각 공정에 접합한 간격으로 이격 배치하여 컨베이어에 의해 이송하는 방식을 사용한다.
리니어 타입의 기판이송설비는 다수의 샤프트에 롤러들이 균등한 간격으로 고정 설치되어 기판을 이송하게 되고, 이송 방향의 전환을 위해 디버팅 유닛(diverting unit)이 구비될 수 있다. 그러나 이러한 디버팅 유닛은 그 구조가 상당히 복잡하고 정밀한 기계설비로 이뤄져 고가이고 구동이 까다로운 문제점이 있다.
본 발명은 반도체 제조 공정 등에서 기판 등의 이송 대상물의 이송 방향을 적절히 전환시킬 수 있는 기판이송설비를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 이송 경로를 제공하는 레일; 상기 레일을 따라 이동되는 롤러; 상기 레일의 교차점에 구비되어, 상기 롤러의 이동 방향을 전환시키는 전환유닛; 및 상기 전환유닛을 회전 조작하는 구동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판이송설비가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 기판이송설비는 전환유닛의 작동을 통해 기판 등 이송 대상물의 이송 방향을 적절히 변경시킬 수 있다. 여기서, 본 발명의 실시예들에 따른 기판이송설비는 특유한 전환유닛의 구조 및 형상을 통해, 전환유닛의 방향 전환이나, 레일과 전환유닛 간 롤러유닛의 이송이 보다 원활하고 부드럽게 이뤄질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 따른 기판이송설비는 사이드홈이나 센터홈을 통해 레일로부터 이탈된 이물질이 포집될 수 있고, 서브롤러에 의해 포집된 이물질이 제거되어, 이물질로 인한 오작동 등이 적절히 방지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판이송설비의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판이송설비를 하측에서 바라본 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 전환유닛의 분해 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 전환유닛의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 롤러유닛의 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 롤러유닛의 정면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 롤러유닛의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 레일의 횡단면도이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 구동유닛의 정면도이다.
이하에서는 본 발명의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 다만, 이하의 실시예들은 본 발명의 이해를 돕기 위해 제공되는 것이며, 본 발명의 범위가 이하의 실시예들에 한정되는 것은 아니다. 이하의 실시예들은 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것으로, 본 발명의 기술적 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 공지의 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판이송설비의 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 기판이송설비를 하측에서 바라본 사시도이다.
도 1 및 2를 참조하면, 본 실시예의 기판이송설비(100)는 기판(미도시)의 이송을 위해 사용될 수 있다.
대표적으로, 기판은 반도체 제조 공정에서 취급되는 기판, 펠릿(pellet) 등을 포함할 수 있다. 기판은 복수의 롤러유닛(140)에 지지되어, 레일(110)을 따라 이송될 수 있다. 본 실시예의 경우, 기판은 대체로 좌우 한 쌍의 레일(110)에 지지되어, 레일(110)을 따라 이송되는 형태를 가정하고 있다. 다만, 필요에 따라, 본 실시예의 기판이송설비(100)는 반도체 제조 공정 외에도, 유사한 형태의 이송 구조가 요구되는 분야나 용도에서 활용될 수 있으며, 반드시 그 적용 분야가 반도체 제조 공정 등으로 한정되는 것은 아니다.
한편, 본 실시예의 기판이송설비(100)는 레일(110)을 포함할 수 있다.
레일(110)은 기판의 이송을 위한 이송 경로를 제공할 수 있다. 도시 편의상, 본 실시예에서는 2개의 횡방향 레일(110a)과 2개의 종방향 레일(110b)이 교차된 형태를 예시하고 있으나, 레일(110)의 배치나 개수는 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있고, 반드시 예시된 바에 한정되는 것은 아니다.
레일(110)은 제1방향(횡방향)으로 연장된 제1레일(110a)과, 제2방향(종방향)으로 연장된 제2레일(110b)을 포함할 수 있다. 제1, 2레일(110a, 110b)은 각각 한 쌍이 구비될 수 있고, 길이 방향으로 연장되어 하나 이상의 교차점을 형성할 수 있다. 본 실시예의 경우, 한 쌍의 제1레일(110a)과 한 쌍의 제2레일(110b)이 4개 지점에서 교차점을 형성하고 있는 형태를 예시하고 있다. 교차점에는 후술할 전환유닛(120)이 배치될 수 있다.
한편, 본 실시예의 기판이송설비(100)는 전환유닛(120)을 포함할 수 있다.
전환유닛(120)은 제1, 2레일(110a, 110b)의 각 교차점에 배치될 수 있다. 전환유닛(120)은 교차점에서 제1레일(110a) 또는 제2레일(110b)이 연속될 수 있도록 하여, 제1레일(110a) 또는 제2레일(110b)에 따른 기판의 이송 경로를 전환시킬 수 있다. 예컨대, 전환유닛(120)은 제1레일(110a)의 방향에 대응되도록 배치되어, 제1레일(110a)에 따른 기판의 이송 경로를 제공하는 제1배치상태를 가질 수 있고, 제2레일(110b)의 방향에 대응되도록 배치되어, 제2레일(110b)에 따른 기판의 이송 경로를 제공하는 제2배치상태를 가질 수 있다. 본 실시예의 경우, 전환유닛(120)은 상하 축을 중심으로 90도 회전되어, 상기와 같은 제1, 2배치상태로 전환될 수 있다.
한편, 본 실시예의 기판이송설비(100)는 구동유닛(130)을 포함할 수 있다.
구동유닛(130)은 전환유닛(120)에 링크 결합되어, 전환유닛(120)를 작동시킬 수 있다. 즉, 구동유닛(130)은 전환유닛(120)을 회전시켜, 제1배치상태 또는 제2배치상태로 전환시킬 수 있다. 도시되지 않았으나, 구동유닛(130)은 소정의 제어수단을 통해 구동 제어될 수 있다.
도 1의 확대도를 참조하면, 본 실시예의 레일(110)은 센터레일(111)을 포함할 수 있다.
센터레일(111)은 레일(110)의 좌우측 중앙에 배치되어, 레일(110)의 길이 방향을 따라 전후로 연장 형성될 수 있다. 센터레일(111)은 소정 폭을 가지고, 전후로 연장된 평면 형상을 가질 수 있으며, 이에 따라, 후술할 롤러유닛(140)의 메인롤러(143)는 센터레일(111)에 접촉 지지되어, 센터레일(111)을 따라 전후로 구름 운동될 수 있다.
또한, 본 실시예의 레일(110)은 제1, 2사이드홈(112a, 112b)을 포함할 수 있다.
제1, 2사이드홈(112a, 112b)은 센터레일(111)을 사이에 두고, 좌우에 배치될 수 있다. 제1, 2사이드홈(112a, 112b)은 센터레일(111) 대비 소정 정도 낮은 위치에 배치될 수 있다. 즉, 제1, 2사이드홈(112a, 112b)의 바닥면은 센터레일(111)의 상면 대비 소정 정도 낮은 위치로 형성될 수 있다. 이에 따라, 센터레일(111)의 좌우에는 일종의 홈 형태를 가지고, 레일(110)의 길이 방향을 따라 연장되는 제1, 2사이드홈(112a, 112b)이 형성될 수 있다.
제1, 2사이드홈(112a, 112b)은 센터레일(111)로부터 발생되는 이물질 등이 수용되는 일종의 포집 공간으로 기능할 수 있다. 또한, 제1, 2사이드홈(112a, 112b)에는 후술할 롤러유닛(140)의 서브롤러(144a, 144b)가 배치될 수 있고, 제1, 2사이드홈(112a, 112b)에 포집된 이물질 등은 서브롤러(144a, 144b)에 의해 레일(110)로부터 제거될 수 있다.
한편, 본 실시예의 레일(110)은 제1, 2측벽(113a, 113b)을 포함할 수 있다.
제1, 2측벽(113a, 113b)은 레일(110)의 좌우 측단에 형성되어, 레일(110)의 길이 방향을 따라 연장 형성될 수 있다. 제1측벽(113a)은 제1사이드홈(112a)의 측단(좌측단)에서 소정 높이로 돌출 형성될 수 있고, 제2측벽(113b)은 제2사이드홈(112b)의 측단(우측단)에서 소정 높이로 돌출 형성될 수 있다. 전술한 제1, 2사이드홈(112a, 112b)은 제1, 2측벽(113a, 113b)에 의해 각 측단이 적절히 차폐될 수 있다.
바람직하게, 제1, 2측벽(113a, 113b)은 상단에 절곡부(114)가 형성될 수 있다. 절곡부(114)는 제1, 2측벽(113a, 113b)의 상단이 센터레일(111) 측을 향해 소정 정도 절곡되어 형성될 수 있다. 이와 같은 절곡부(114)는 제1, 2사이드홈(112a, 112b)에 포집된 이물질이 레일(110) 외부로 비산되는 것을 일부 방지할 수 있다. 또한, 절곡부(114)는 제1, 2사이드홈(112a, 112b)에 배치된 서브롤러(144a, 144b)에 대한 이탈 방지의 기능도 가질 수 있다.
필요에 따라, 상기와 같은 비산 및 이탈 방지를 위해, 서브롤러(144a, 144b)의 좌우 폭(W3)은 제1, 2사이드홈(112a, 112b) 하부의 좌우 폭(W1)보다는 크고, 제1, 2사이드홈(112a, 112b) 상단의 좌우 폭(W2)보다는 작게 형성될 수 있다.
한편, 도 2의 확대도를 참조하면, 본 실시예의 구동유닛(130)은 구동실린더(131), 장착브라켓(132) 및 연결링크(133)를 포함할 수 있다.
구동실린더(131)는 레일(110) 저면 부위에 배치될 수 있다. 구동실린더(131)는 후단이 장착브라켓(132)에 상하 축을 중심으로 회동 가능하게 체결될 수 있고, 장착브라켓(132)은 레일(110)의 저면에 고정 설치될 수 있다. 또한, 구동실린더(131)의 전단은 연결링크(133)에 상하 축을 중심으로 회동 가능하게 체결될 수 있고, 연결링크(133)는 다시 전환유닛(120)의 저면 부위에 상하 축을 중심으로 회동 가능하게 체결될 수 있다. 구동실린더(131)가 전후진 구동되면, 장착브라켓(132)을 지지점으로 하여, 연결링크(133)를 통해 전환유닛(120)에 소정의 작동력(회전력)이 가해지는 구조이다.
도 3은 도 1에 도시된 전환유닛의 분해 사시도이다. 도 4는 도 3에 도시된 전환유닛의 평면도이다.
도 3 및 4를 참조하면, 본 실시예의 전환유닛(120)은 베이스플레이트(121)를 포함할 수 있다.
베이스플레이트(121)는 대략 사각 판재 형상으로 형성될 수 있고, 전환유닛(120)의 각 구성부품들이 장착 지지되기 위한 기본 틀을 제공할 수 있다. 베이스플레이트(121)는 레일(110)의 저면 부위에 장착 고정될 수 있으며, 베이스플레이트(121)의 저면에는 다시 구동유닛(130)이 장착 배치될 수 있다.
베이스플레이트(121)의 중앙에는 샤프트홀(121a)이 상하로 관통 형성될 수 있다. 샤프트홀(121a)에는 후술할 샤프트(122a)가 체결될 수 있고, 샤프트(122a)는 샤프트홀(121a)을 통해 베이스플레이트(121)의 저면 부위로 노출되어, 구동유닛(130)과 체결될 수 있다.
베이스플레이트(121)의 상면에는 원형슬리브(121b)가 구비될 수 있다. 원형슬리브(121b)는 샤프트홀(121a)을 중심으로 소정 반경을 가지고, 베이스플레이트(121) 상면에서 링 형태로 연장 형성될 수 있다. 또한, 원형슬리브(121b)는 소정 높이를 갖고 베이스플레이트(121) 상면으로부터 상측으로 돌출 형성될 수 있다. 이에 따라, 원형슬리브(121b)의 내측에는 후술할 회전플레이트(122) 등이 배치될 수 있는 소정의 장착 공간이 형성될 수 있다.
또한, 원형슬리브(121b) 상단에는 연장리브(121c)가 마련될 수 있다. 연장리브(121c)는 원형슬리브(121b)의 둘레 방향에 따른 소정의 폭을 가지고, 원형슬리브(121b) 상단으로부터 소정 높이 돌출 형성될 수 있다.
연장리브(121c)는 원형슬리브(121b)의 둘레를 따라 복수개가 구비될 수 있다. 바람직하게, 연장리브(121c)는 각 레일(110)의 배치에 대응되도록, 원형슬리브(121b)의 둘레를 따라 복수개가 구비될 수 있다. 예컨대, 본 실시예의 경우, 전환유닛(120)을 중심으로 횡방향 및 종방향으로 각각 제1, 2레일(110a, 110b)이 배치되게 되는바, 연장리브(121c)는 각 제1, 2레일(110a, 110b)의 배치에 대응되도록, 약 90도 간격으로 총 4개가 구비되어 있다.
연장리브(121c)는 센터레일(111)과 대응되는 폭을 가질 수 있다. 즉, 연장리브(121c)의 좌우 폭(W4)은 전술한 센터레일(111)의 좌우 폭(W3)과 동일하게 형성될 수 있다(도 1 참조). 이에 따라, 연장리브(121c)는 센터레일(111)로부터 이어지는 레일 구조를 형성할 수 있고, 특히, 후술할 전환레일(123)과 센터레일(111) 간의 갭을 적절히 메워, 기판 등이 레일(110)을 따라 부드럽고 원활하게 이동될 수 있도록 한다.
또한, 연장리브(121c)는 원형슬리브(121b)의 내측을 향하는 일면이 원호면(121d)으로 형성될 수 있고, 그 반대측의 면은 평면(121e)으로 형성될 수 있다. 연장리브(121c) 내측의 원호면(121d)은 후술할 전환레일(123)과의 접촉 슬라이딩을 통해 접환레일(110)의 회전을 보조할 수 있으며, 연장리브(121c) 외측의 평면(121e)은 센터레일(111)과 연장리브(121c) 간에 갭이 발생되지 않도록 할 수 있다.
한편, 본 실시예의 전환유닛(120)은 회전플레이트(122)를 포함할 수 있다.
회전플레이트(122)는 원형 플레이트 형상으로 형성되어, 원형슬리브(121b)의 내측에 안착 체결될 수 있다. 회전플레이트(122)의 저면 중앙에는 샤프트(122a)가 하방으로 연장 형성될 수 있고, 샤프트(122a)는 원형슬리브(121b) 중앙의 샤프트홀(121a)로 삽입 체결될 수 있다. 이에 따라, 회전플레이트(122)는 샤프트(122a)를 중심으로 회전 동작될 수 있다. 한편, 전술한 바와 같이, 샤프트(122a)의 하단은 다시 구동유닛(130)과 연결되어, 구동유닛(130)에 의해 회전 구동력이 제공될 수 있고, 이에 의해, 회전플레이트(122) 및 그 상부의 전환레일(123)이 회전 동작될 수 있다.
한편, 본 실시예의 전환유닛(120)은 전환레일(123)을 포함할 수 있다.
전환레일(123)은 회전플레이트(122) 상면에 체결되어, 회전플레이트(122)와 함께 회전 동작될 수 있다. 또한, 전환레일(123)은 소정의 좌우 폭(W5)을 가지고, 일 방향으로 연장 형성될 수 있다. 여기서, 전환레일(123)의 좌우 폭(W5)은 전술한 센터레일(111)의 좌우 폭(W3)과 대응되도록 형성될 수 있다. 따라서, 전환레일(123)은 그 배치 상태에 따라, 센터레일(111)로부터 연속되는 레일 구조를 형성할 수 있다.
전환레일(123)의 전단 및 후단은 각각 소정 곡률을 가진 원호면(123a)으로 형성될 수 있다. 원호면(123a)은 원형슬리브(121b)의 내벽에 접촉 슬라이딩되어, 샤프트(122a)를 축으로 한 전환레일(123)의 회전을 안내할 수 있다.
전환레일(123)의 좌우 측에는 제3, 4사이드홈(123b, 123c)이 형성될 수 있다. 제3, 4사이드홈(123b, 123c)은 각각 소정 폭을 가지고, 전환레일(123)의 길이 방향을 따라 연장 형성될 수 있다. 제3, 4사이드홈(123b, 123c)의 폭은 전술한 제1, 2사이드홈(112a, 112b)의 폭(W1)과 대응되도록 형성될 수 있다.
또한, 전환레일(123)의 좌우 측에는 상기와 같은 제3, 4사이드홈(123b, 123c)을 사이에 두고, 제1, 2가이드리브(123d, 123e)가 마련될 수 있다. 제1, 2가이드리브(123d, 123e)는 각각 소정 높이를 갖고 상측으로 돌출 형성될 수 있으며, 이에 따라, 전환레일(123)과 제1, 2가이드리브(123d, 123e) 사이에는 제3, 4사이드홈(123b, 123c)이 형성될 수 있다.
여기서, 제1, 2가이드리브(123d, 123e)의 외측 둘레면은 각각 원호면(123f)으로 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 제1, 2가이드리브(123d, 123e)의 외측 둘레면은 전술한 연장리브(121c)의 원호면(123f)에 대응되는 곡률을 가지고, 원호형으로 연장 형성될 수 있다. 이와 같은 경우, 전환레일(123)의 회전시 제1, 2가이드리브(123d, 123e)의 원호면(123f)이 각 연장리브(121c)의 원호면(123f)에 접촉 슬라이딩되어, 전환레일(123)의 회전 동작이 안내될 수 있다.
이상과 같은 전환유닛(120)의 작동을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 전환유닛(120)은 제2레일(110b)에 대응되는 방향으로 배치되어, 제2레일(110b)에 따른 기판 등의 이송을 안내할 수 있다. 이와 같은 경우, 전환레일(123)은 제2레일(110b)의 센터레일(111)과 평행하게 배치될 수 있고, 전환레일(123)과 제2레일(110b) 간의 갭은 연장리브(121c)에 의해 적절히 메워질 수 있다.
상기의 상태에서, 기판의 이송 방향을 변경하고자 하는 경우, 레일(110) 저면 부위에 배치된 구동실린더(131)가 작동되고, 샤프트(122a)를 중심으로 회전플레이트(122) 및 전환레일(123)이 회전될 수 있다. 베이스플레이트(121)는 이와 같은 전환레일(123)의 회전을 안내 및 지지할 수 있다. 도 4의 상태에서, 전환레일(123)이 대략 90도 회전되면, 전환레일(123)은 제1레일(110a)과 평행하도록 배치될 수 있고, 이에 따라, 이송 방향은 제1레일(110a)에 따른 방향으로 전환될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 롤러유닛의 정면도이다.
도 5를 참조하면, 본 실시예의 기판이송설비(100)는 롤러유닛(140)을 더 포함할 수 있다.
롤러유닛(140)은 기판을 하부에서 지지할 수 있고, 레일(110)에 배치되어 레일(110)을 따라 이동될 수 있다. 이에 의해, 기판은 레일(110)을 따라 이송될 수 있다. 롤러유닛(140)은 복수개가 구비될 수 있고, 복수의 롤러유닛(140)은 기판 저면에서 이격 배치될 수 있다. 바람직하게, 복수의 롤러유닛(140)은 각 레일(110) 간의 간격이나 각 전환유닛(120)에 대응되도록 배치될 수 있고, 본 실시예의 경우, 각각 한 쌍의 제1, 2레일(110a, 110b)이나, 4개의 전환유닛(120)에 대응되도록, 4개의 롤러유닛(140)이 구비될 수 있다.
참고로, 도 1 등에서는 도시 편의를 위해 롤러유닛(140)의 도시를 생략하고 있다.
구체적으로, 본 실시예의 롤러유닛(140)은 장착브라켓(141) 및 롤러하우징(142)을 포함할 수 있다.
장착브라켓(141)은 기판 저면에 장착 고정될 수 있고, 롤러하우징(142)은 장착브라켓(141)의 하부에 회전 가능하게 체결될 수 있다. 롤러하우징(142)은 상하 축을 중심으로 장착브라켓(141)에 대해 회전될 수 있으며, 이에 따라, 기판의 이송 방향이 변경될 수 있다.
한편, 본 실시예의 롤러유닛(140)은 메인롤러(143) 및 서브롤러(144a, 144b)를 포함할 수 있다.
메인롤러(143)는 좌우 방향의 회전축을 가지고 롤러하우징(142)에 장착 지지될 수 있고, 센터레일(111) 부위에 접촉되어 구름 운동할 수 있다. 메인롤러(143)는 대체로 롤러유닛(140) 및 이에 지지된 기판을 이동시키는데 주된 기능을 가질 수 있다.
서브롤러(144a, 144b)는 롤러하우징(142)의 하단에 구비될 수 있다. 본 실시예의 경우, 서브롤러(144a, 144b)는 제1, 2서브롤러(144a, 144b)를 포함할 수 있고, 제1, 2서브롤러(144a, 144b)는 메인롤러(143)를 사이에 두고 좌우로 이격 배치될 수 있다. 또한, 제1, 2서브롤러(144a, 144b)는 각각 상하 축을 중심으로 회전 가능하게 형성되어, 제1, 2사이드홈(112a, 112b)에 배치될 수 있다. 제1, 2서브롤러(144a, 144b)는 메인롤러(143)를 보조하여 롤러유닛(140)의 이동을 안내하는 한편, 기판의 이동에 따라 제1, 2사이드홈(112a, 112b)에 포집된 이물질을 제거하는 기능을 가질 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 롤러유닛의 정면도이다. 도 7은 도 6에 도시된 롤러유닛의 측면도이다.
도 6 및 7은 전술한 롤러유닛(140)의 변형된 형태를 도시하고 있다. 본 실시예에 따른 롤러유닛(240)은 후술할 제2실시예에 따른 레일(210)과 조합되어 적절히 사용될 수 있다.
구체적으로, 본 실시예에 따른 롤러유닛(240)은 장착브라켓(241) 및 롤러하우징(242)을 포함할 수 있다.
장착브라켓(241)은 기판 저면에 장착 고정될 수 있고, 롤러하우징(242)은 장착브라켓(241)에 상하 축을 중심으로 회전 가능하게 체결될 수 있다. 이와 같은 장착브라켓(241) 및 롤러하우징(242)은 전술한 실시예와 유사하게 형성될 수 있다.
한편, 본 실시예의 롤러유닛(240)은 메인롤러(243a, 243b) 및 서브롤러(244)를 포함할 수 있다.
여기서, 본 실시예의 메인롤러(243a, 243b)는 좌우로 이격되어 한 쌍이 구비될 수 있다. 즉, 메인롤러(243a, 243b)는 좌우로 이격된 제1, 2메인롤러(243a, 243b)를 포함할 수 있다. 제1, 2메인롤러(243a, 243b)는 각각 좌우 축을 중심으로 회전 가능하게 지지될 수 있으며, 레일(210) 상면(즉, 제1, 2사이드레일(211a, 211b))에 접촉되어 구름 운동할 수 있다.
서브롤러(244)는 좌우로 이격된 제1, 2메인롤러(243a, 243b) 사이에 배치될 수 있다. 서브롤러(244)는 상하 축을 중심으로 회전 가능하게 지지될 수 있으며, 제1, 2메인롤러(243a, 243b) 사이에서 하측으로 소정 정도 돌출 배치될 수 있다. 전술한 실시예와 달리, 본 실시예의 서브롤러(244)는 롤러하우징(242) 중앙에 배치되어, 좌우로는 단일의 서브롤러(244)만이 구비될 수 있다. 다만, 경우에 따라, 롤러유닛(240)의 진행 방향을 따라 복수의 서브롤러(244)가 일렬로 배치될 수도 있으며, 반드시 단일의 서브롤러(244)에 제한되는 것은 아니다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 레일의 횡단면도이다.
도 8은 전술한 레일(110)의 변형된 형태를 도시하고 있다. 본 실시예의 레일(210)은 특히 전술한 제2실시예의 롤러유닛(240)과 조합되어 적절히 사용될 수 있다.
구체적으로, 본 실시예의 레일(210)은 사이드레일(211a, 211b)을 포함할 수 있다.
사이드레일(211a, 211b)은 레일(210) 상면에 마련될 수 있고, 좌우로 이격되어 한 쌍이 구비될 수 있다. 즉, 본 실시예의 사이드레일(211a, 211b)은 좌우로 이격된 제1, 2사이드레일(211a, 211b)로 구성될 수 있다. 제1, 2사이드레일(211a, 211b)은 각각 레일(210)의 길이 방향을 따라 연장 형성될 수 있고, 제1사이드레일(211a)에는 제1메인롤러(243a)가 안착 배치될 수 있으며, 제2사이드레일(211b)에는 제2메인롤러(243b)가 안착 배치되어, 구름 운동될 수 있다.
한편, 본 실시예의 레일(210)은 센터홈(212)을 포함할 수 있다.
센터홈(212)은 제1, 2사이드레일(211a, 211b) 사이에 배치될 수 있고, 제1, 2사이드레일(211a, 211b)의 중앙 부위에서 하측으로 소정 정도 오목하게 인입되어 형성될 수 있다. 또한, 센터홈(212)은 제1, 2사이드레일(211a, 211b)에 대응되도록 길이 방향을 따라 연장 형성될 수 있다. 이와 같은 센터홈(212)은 기능상 전술한 제1실시예의 사이드홈(112a, 112b)에 대응될 수 있다.
센터홈(212)에는 서브롤러(244)가 배치될 수 있다. 서브롤러(244)는 센터홈(212)의 측벽에 접촉 구름되면서, 롤러유닛(140)의 이동을 안내할 수 있다.
필요에 따라, 본 실시예의 레일(210)은 이탈방지턱(245)을 포함할 수 있다.
이탈방지턱(245)은 레일(210)의 폭 방향 단부에서 상측으로 소정 정도 돌출 형성될 수 있고, 좌우로 한 쌍이 마련될 수 있다. 또한, 이탈방지턱(245)은 레일(210)의 길이 방향을 따라 연장 형성될 수 있다. 이러한 이탈방지턱(245)은 센터홈(212)을 보조하여, 롤러유닛(240) 내지 제1, 2메인롤러(243a, 243b)가 이탈되는 것을 방지하는 한편, 제1, 2사이드레일(211a, 211b) 상의 이물질이 외부로 유출되지 않고, 중앙의 센터홈(212)에 포집될 수 있도록 한다.
상기와 같은 제2실시예에 따른 롤러유닛(240) 및 레일(210)은 제1, 2메인롤러(243a, 243b)가 이동되면서, 제1, 2사이드레일(211a, 211b)에 쌓인 이물질 등이 중앙의 센터홈(212)에 포집되고, 서브롤러(244)가 센터홈(212)을 따라 이동하면서 적층된 이물질 등을 제거하도록 작동될 수 있다.
특히, 본 실시예에 따른 롤러유닛(240) 및 레일(210)은 제1, 2메인롤러(243a, 243b)의 중앙에 하나의 센터홈(212)이 존재하여, 센터홈(212)으로의 이물질 적층 여부나 정도를 좀 더 쉽게 파악할 수 있고, 롤러유닛(240) 전체가 하나의 상하 축(즉, 서브롤러(244)의 회전축)을 중심으로 회전 동작되어, 롤러유닛(240)의 보다 매끄러운 이동이 가능해진다.
한편, 전술한 도 6을 참조하면, 필요에 따라 제1, 2메인롤러(243a, 243b)는 노출부(243c)를 포함할 수 있다.
노출부(243c)는 센터홈(212)을 향한 제1, 2메인롤러(243a, 243b)의 일측 단부에서, 제1, 2메인롤러(243a, 243b)의 일부가 센터홈(212) 상부로 노출되어 형성될 수 있다. 즉, 노출부(243c)는 센터홈(212)의 직상부에 배치되는 제1, 2메인롤러(243a, 243b)의 일측으로 정의될 수 있다. 이와 같은 노출부(243c)는 제1, 2사이드레일(211a, 211b)에 적층된 이물질이 제1, 2메인롤러(243a, 243b)에 의해 센터홈(212)으로 적절히 이동되어 포집될 수 있도록 한다.
필요에 따라, 상기와 같은 노출부(243c)의 효과를 증대시키기 위해, 제1, 2메인롤러(243a, 243b)의 외면에는 센터홈(212)을 향한 이물질의 이동을 유도할 수 있는 홈, 무늬 등이 마련될 수 있다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 구동유닛의 정면도이다.
도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 구동유닛(230)은 전환유닛(120)을 회전 동작시키기 위한 것으로, 회전샤프트(231) 및 회전실린더(232)를 포함해 구성될 수 있다.
회전샤프트(231)는 전환유닛(120)에 연결되어 작동력을 전달할 수 있으며, 상하 축을 중심으로 회전 동작될 수 있다. 회전실린더(232)는 회전샤프트(231)에 회전 구동력을 제공하도록, 회전샤프트(231) 하단에 장착 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서 회전실린더(232)는 공압 또는 유압에 의해 구동되는 타입일 수 있고, 외부로부터 작동압을 인가받기 위한 제1, 2포트(232a, 232b)를 구비할 수 있다. 이 경우, 제1포트(232a)에는 일 방향에 따른 회전을 위해 작동압이 인가될 수 있고, 제2포트(232b)에는 반대 방향에 따른 회전을 위해 작동압이 인가될 수 있다.
이상 설명한 바, 본 발명의 실시예들에 따른 기판이송설비(100)는 전환유닛(120)의 작동을 통해 기판 등 이송 대상물의 이송 방향을 적절히 변경시킬 수 있다. 여기서, 본 발명의 실시예들에 따른 기판이송설비(100)는 특유한 전환유닛(120)의 구조 및 형상을 통해, 전환유닛(120)의 방향 전환이나, 레일(110)과 전환유닛(120) 간 롤러유닛(140)의 이송이 보다 원활하고 부드럽게 이뤄질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 따른 기판이송설비(100)는 사이드홈(112a, 112b)이나 센터홈(212)을 통해 레일(110)로부터 이탈된 이물질이 적절히 포집될 수 있고, 서브롤러(144a, 144b, 244)에 의해 포집된 이물질이 제거되어, 이물질로 인한 오작동 등이 방지될 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예들에 대해 설명하였으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사장으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 구성요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있을 것이고, 이 또한 본 발명의 권리범위에 포함된다고 할 것이다.
100: 기판이송설비 110: 레일
120: 전환유닛 130: 구동유닛
140: 롤러유닛

Claims (5)

  1. 기판의 이송 경로를 제공하는 레일(110, 210);
    상기 레일(110, 210)을 따라 이동되는 롤러유닛(140, 240);
    상기 레일(110, 210)의 교차점에 구비되어, 상기 롤러유닛(140, 240)의 이동 방향을 전환시키는 전환유닛(120); 및
    상기 전환유닛(120)을 회전 조작하는 구동유닛(130, 230);을 포함하고,
    상기 롤러유닛(240)은,
    상기 기판의 저면을 지지하는 장착브라켓(241);
    상기 장착브라켓(241)의 하부에 상하 축을 중심으로 회전 가능하게 체결되는 롤러하우징(242);
    상기 롤러하우징(242)에 좌우로 소정 간격 이격 배치되어, 각각 좌우 축을 중심으로 회전 가능하게 형성되며, 상기 레일(210) 상면을 접촉 구름 운동하는 제1, 2메인롤러(243a, 243b); 및
    상기 제1, 2메인롤러(243a, 243b) 사이에서, 상기 제1, 2메인롤러(243a, 243b)의 하측에 배치되고, 상하 축을 중심으로 회전 가능하게 형성되는 서브롤러(244);를 포함하고,
    상기 레일(210)은,
    상기 제1, 2메인롤러(243a, 243b)와 대응되도록 좌우로 이격 배치되는 제1, 2사이드레일(211a, 211b);
    상기 제1, 2사이드레일(211a, 211b)의 사이에서, 상기 레일(210)의 상면이 하측으로 소정 정도 오목하게 인입되어 형성되고, 상기 서브롤러(244)가 배치되는 센터홈(212); 및
    상기 레일(210) 상면의 폭 방향 단부에서 상측으로 돌출되어 좌우로 한 쌍이 형성되고, 상기 레일(210)의 길이 방향을 따라 연장되는 이탈방지턱(245);을 포함하고,
    상기 제1, 2메인롤러(243a, 243b)는 각각,
    상기 제1, 2메인롤러(243a, 243b)의 폭에 따라 상기 센터홈(212)의 상부로 노출 배치되어, 제1, 2사이드레일(211a, 211b)의 이물질을 상기 센터홈(212)으로 배출 유도하는 노출부(243c)를 구비하는 것을 특징으로 하는, 기판이송설비.
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