KR20230095152A - Oht 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 oht 시스템 - Google Patents

Oht 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 oht 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20230095152A
KR20230095152A KR1020210183772A KR20210183772A KR20230095152A KR 20230095152 A KR20230095152 A KR 20230095152A KR 1020210183772 A KR1020210183772 A KR 1020210183772A KR 20210183772 A KR20210183772 A KR 20210183772A KR 20230095152 A KR20230095152 A KR 20230095152A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rail
frame
auxiliary
cross
rotating
Prior art date
Application number
KR1020210183772A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102604791B1 (ko
Inventor
이성호
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020210183772A priority Critical patent/KR102604791B1/ko
Priority to CN202211554012.XA priority patent/CN116280946A/zh
Priority to US18/085,167 priority patent/US20230192158A1/en
Publication of KR20230095152A publication Critical patent/KR20230095152A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102604791B1 publication Critical patent/KR102604791B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61J—SHIFTING OR SHUNTING OF RAIL VEHICLES
    • B61J1/00—Turntables; Traversers; Transporting rail vehicles on other rail vehicles or dollies
    • B61J1/02—Turntables; Integral stops
    • B61J1/06—Turntables; Integral stops for railways with suspended vehicles, e.g. aerial rope railways
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C7/00—Runways, tracks or trackways for trolleys or cranes
    • B66C7/12—Devices for changing direction of travel or for transferring from one runway to another; Crossings; Combinations of tracks of different gauges
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/042—Sensors
    • B65G2203/044—Optical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C17/00—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports
    • B66C17/06—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports specially adapted for particular purposes, e.g. in foundries, forges; combined with auxiliary apparatus serving particular purposes
    • B66C17/12—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports specially adapted for particular purposes, e.g. in foundries, forges; combined with auxiliary apparatus serving particular purposes for handling workpieces, e.g. ingots, which require to be supported temporarily within, or withdrawn from, a treatment chamber, e.g. tong cranes, soaking-pit cranes, stripper cranes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)

Abstract

본 발명은 HT 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 OHT 시스템에 관한 것이다.
본 발명은, OHT 시스템에 설치되 비히클을 이송하는 레일 중 직교하는 두 개의 레일이 교차하는 지점인 크로스 레일 구조에 있어서, 상기 레일이 교차하는 지점에 레일과 실질적으로 동일한 높이로 설치되되 일정한 간격으로 서로 평행하게 배치되는 한 쌍의 보조레일; 상기 보조레일을 상하방향으로 이동시키는 이동수단; 상기 보조레일이 서로 직교하는 두 개의 방향 중 어느 하나의 방향으로 배치될 수 있도록 상기 보조레일을 회전시키는 회전수단; 상기 비히클과 간섭 없이 상기 한 쌍의 보조레일 사이의 간격을 유지하기 위한 간격유지수단; 을 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조를 제공한다.

Description

OHT 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 OHT 시스템{Cross Rail Structure for OHT System and OHT System using thereof}
본 발명은 HT 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 OHT 시스템에 관한 것이다.
반도체를 제작하기 위해서는 크게 분류하면 8대 공정, 작게 분류하면 수백 가지의 공정을 거쳐야 한다. 이 수백 가지의 공정을 거치기 위해서는 각 공정 사이에서 수십만 건의 물류 이동이 필요한데, 이를 자동화한 것이 소위 OHT(Overhead Hoist Transport)이다.
OHT는 비히클(Vehicle, FOUP(Front Opening Unified Pod)이라고도 함)를 옮기는데 공장의 천정에 설치된 레일을 따라 FOUP에 수용된 웨이퍼를 공정별 제조 설비에 운송한다.
이러한 OHT 설비에 두 개의 레일이 수직으로 교차하는 크로스 레일이 있는 경우 비히클에 크로스 레일용 휠을 부착한 상태로 크로스 레일을 통과하는데 이 과정에서 레일 간의 단차로 인하여 크로스 레일용 휠이 마모되면서 파티클이 생성된다. 파티클 생성을 최소화하기 위해 비히클의 속도를 줄이기는 하지만 파티클의 생성을 완전히 막을 수는 없다.
한편, 크로스 레일을 지나는 비히클에는 크로스 휠이 설치되어야 하는데 설비 라인을 증설하는 과정에서 크로스 레일이 반영되면 기존의 비히클에 크로스 휠을 모두 설치하므로 과도한 비용이 발생하는 문제가 생기기도 한다. (어떤 비히클이 크로스 레일을 지나갈지 모르는 상황이라 모든 비히클에 설치해야 한다)
본 발명은 배경 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 크로스 레일에서 발생하는 문제점을 해결할 수 있는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 OHT 시스템을 제공하는 것이다.
전술한 과제의 해결 수단으로서 본 발명은,
OHT 시스템에 설치되 비히클을 이송하는 레일 중 직교하는 두 개의 레일이 교차하는 지점인 크로스 레일 구조에 있어서,
상기 레일이 교차하는 지점에 레일과 실질적으로 동일한 높이로 설치되되 일정한 간격으로 서로 평행하게 배치되는 한 쌍의 보조레일;
상기 보조레일을 상하방향으로 이동시키는 이동수단;
상기 보조레일이 서로 직교하는 두 개의 방향 중 어느 하나의 방향으로 배치될 수 있도록 상기 보조레일을 회전시키는 회전수단;
상기 비히클과 간섭 없이 상기 한 쌍의 보조레일 사이의 간격을 유지하기 위한 간격유지수단; 을 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조를 제공한다.
상기 레일 중 상기 크로스 레일로부터 일정 거리 이격되게 설치되어 상기 크로스 레일로 진입하는 비히클을 감지하는 비히클 감지 센서를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 이동수단은,
상기 보조레일의 상부에 배치되며 프레임 암에 의해 상기 레일에 고정되는 판상의 이동부 프레임과
상기 이동부 프레임에 설치되는 유압장치인 피스톤과
일단부는 상기 피스톤과 결합하고 타단부는 상기 보조레일과 결합하는 피스톤 암을 포할 수 있다.
상기 회전수단은,
상기 보조레일의 상부에 배치되며 프레임 암에 의해 상기 레일에 고정되는 판상의 회전부 프레임과
상기 회전부 프레임에 설치되는 모터와
상기 모터의 회전을 상기 보조레일에 전달하기 위하여 일단부는 상기 모터와 결합하고 타단부는 상기 보조레일과 결합하는 회전부 암을 포함할 수 있다.
상기 피스톤은 한 쌍이 마련되고,
양단부가 상기 한 쌍의 피스톤과 각각 결합하는 판상의 회전부 프레임을 더 포함하며,
상기 회전수단은,
상기 이동부 프레임에 고정되어 상기 회전부 프레임을 회전시킴으로써 상기 회전부 프레임과 결합한 한 쌍의 피스톤와 상기 보조레일을 함께 회전시키는 것이 바람직하다.
상기 이동부 프레임에는 호형상의 관통공인 가이드 공이 마련되고 상기 피스톤 암이 상기 가이드 공을 관통하도록 배치될 수 있다.
상기 간격 유지 수단은 상기 보조레일의 상부에 배치되는 판상의 제1부재와 상기 제1부재의 양단부로부터 아래쪽으로 연장되어 상기 보조레일에 결합하는 한 쌍의 제2부재를 포함할 수 있다.
상기 비히클 감지 센서는 적외선 센서이며,
상기 교차로 주변에 네 개 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명은 또한 전술한 OHT 시스템용 레일 구조를 포함하는 OHT 시스템을 제공한다.
본 발명에 의하면 는 크로스 레일에서 발생하는 문제점을 해결할 수 있는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 OHT 시스템을 제공할 수 있다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 OHT 시스템용 크로스 레일 구조의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 보조레일과 비히클의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명함으로써 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 제공하기로 한다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 OHT 시스템용 크로스 레일 구조의 동작을 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 보조레일과 비히클의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
우선 본 발명의 첫 번째 형태인 OHT 시스템용 크로스 레일 구조에 대하여 설명하기로 한다. 크로스 레일 구조는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 OHT 시스템에 설치되어 비히클을 이송하는 레일 중 직교하는 두 개의 레일이 교차하는 지점을 의미한다. 도면에는 직교하는 두 개의 레일이 각각 R1, R2로 표시되어 있다. R1은 x축 방향의 레일을, R2는 y축 방향의 레일을 표시하고 있는데 임의적으로 지시한 것이고 반드시 R1이 x축 방향을 지시하거나 R2가 y축 방향을 지시해야 하는 것은 아니다.
본 실시예에 따른 크로스 레일 구조는 보조레일(10), 이동수단(20), 회전수단(30), 간격유지수단(40), 비히클 감지 센서(50)를 포함하여 구성된다.
상기 보조레일(10)은 상기 레일(R)이 교차하는 지점에 레일과 실질적으로 동일한 높이로 설치되되 일정한 간격으로 서로 평행하게 배치되는 구성으로서 한 쌍이 마련된다. 실질적으로 동일한 높이란 오차가 0으로 완전히 높이가 같은 것은 아니지만 비히클(V)이 레일에서 보조레일(10)로 이동할 때 휠(W)에 큰 진동이 발생하지 않고 스무드하게 이동할 수 있도록 높이의 차이가 거의 없는 것을 의미한다.
상기 이동수단(20)은 상기 보조레일(10)을 상하방향으로 이동시키기 위한 구성으로서 이동부 프레임(21), 프레임 암(22), 피스톤(23), 피스톤 암(24), 가이드공(25)을 포함하여 구성된다.
상기 이동부 프레임(21)은 상기 보조레일(10)의 상부에 배치되는 판상의 구성으로서 프레임 암(22)에 의해 레일(R)에 고정된다. 본 실시예에서 이동부 프레임(21)은 직육면체 형상이고 프레임 암(22)은 상기 이동부 프레임(21)의 네 귀퉁이에 각각 하나씩 총 네 개가 설치된다. 이동부 프레임(21)의 형상이나 프레임 암(22)의 숫자가 한정되는 것은 아니며 현장의 상황에 따라 적절하게 설계변경할 수 있다.
상기 피스톤(23)은 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 한 쌍이 마련된다.
상기 피스톤 암(24)은 피스톤(23)과 보조레일(10)을 서로 연결하는 구성으로서 상기 피스톤(23)과 마찬가지로 한 쌍이 설치되는데, 본 실시예에서 상기 피스톤 암(24)은 보조레일(10)에 직접 결합하는 것이 아니라 간격유지수단(40)에 결합한다. 간격유지수단(40)을 매개로 피스톤(23)과 보조레일(10)을 결합하는 것이다.
상기 피스톤(23)이 반드시 한 쌍일 필요는 없다. 상기 간격유지수단(40)의 강성이 충분히 커서 하나의 피스톤(23)으로 간격유지수단(40)의 한쪽을 들어올릴 때 간격유지수단(40)의 처짐이 적어서 보조레일(10)의 회전에 문제가 없고 하나의 피스톤(23)으로도 한 쌍의 보조레일(10)과 간격유지수단(40)의 자중을 버틸 수 있다면 하나의 피스톤(23)이 사용되어도 된다. 다만, 한 쌍의 피스톤(23)을 사용하면 하나의 피스톤(23)을 사용하는 경우에 비하여 훨씬 안정적인 보조레일(10)의 구동할 수 있으므로 한 쌍의 피스톤(23)을 사용하는 것이 바람직하며 이에 따라 본 실시예에서는 한 쌍의 피스톤(23)을 사용한다.
상기 이동부 프레임(21)에는 호형상의 관통공인 가이드 공(25)이 마련되어 있고 피스톤 암(24)은 가이드 공(25)을 관통하도록 배치된다.
상기 회전수단(30)은 상기 보조레일(10)을 상기 교차점의 중심을 회전중심으로 회전시키는 구성으로서 본 실시예에서는 회전부 프레임(31)과 모터(32)를 포함한다.
상기 모터(32)는 상기 이동부 프레임(21)에 고정되며 박스형상으로 도시되어 있다. 모터(32)는 어떤 구성을 회전시키는 장치를 의미하는 것으로 전동모터와 감속기를 포함하여 구성될 수 있다. 한편, 반드시 전동모터를 사용해야 하는 것은 아니며 피스톤과 같이 직선 운동을 시키는 구성과 렉과 피니언 같이 직선 운동을 회전운동으로 변환하는 구성을 포함할 수도 있다.
상기 회전부 프레임(31)은 상기 모터(32)의 상부에 결합하여 모터(32)에 의해 회전하는 구성이다. 회전부 프레임(31)의 상부에는 상기 한 쌍의 피스톤(23)이 설치되어 있어서 모터(32)에 의해 회전부 프레임(31)과 함께 피스톤(23), 피스톤(23)에 결합한 보조레일(10)이 회전하게 된다. 상기 피스톤 암(24)은 상기 회전부 프레임(31)에 마련된 관통공을 관통하도록 설치된다.
본 실시예에서는 이동수단(20)과 회전수단(30)이 일부의 구성을 공유하고 회전수단(30)이 이동수단(20)의 일부구성과 함께 보조레일(10)을 회전시키도록 구성되어 있는데 이동수단(20)과 회전수단(30)이 전혀 별개의 구성이 될 수도 있다. 다만 이동수단(20)에 의해 보조레일(10)이 위쪽으로 이동한 상태에서 회전수단(30)의 작용이 필요하므로 이에 맞게 구성되어야 한다.
상기 간격유지수단(40)은 상기 한 쌍의 보조레일(10) 사이의 간격이 유지될 수 있도록 보조레일(10)을 결합하는 구성으로서 비히클(V)과 간섭이 발생하지 않도록 도 5에 도시된 바와 같이 제1부재(41)와 제2부재(42)를 포함하여 전체적으로 "ㄷ"자 형상이다.
상기 비히클 감지 수단(50)은 상기 레일(R) 중 상기 크로스 레일(교차점)로부터 일정거리 이격되게 설치되어 상기 크로스 레일로 진입하는 비히클(V)을 감지하는 구성으로서 적외선 센서가 사용되며 모든 방향에서 크로스 레일로 진입하는 비히클(V)을 모두 감지할 수 있도록 도 1에 도시된 바와 같이 네 개가 설치된다.
이하에서는 전술한 구성을 이용하여 보조레일(10)을 회전하는 메커니즘에 대하여 설명함으로써 설명된 구성의 기능, 작용 및 효과에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 비히클(V)이 x축 방향으로 이동할 수 있는 상태로 보조레일(10)이 배치되어 있는 상태가 도시되어 있다.
이러한 상태에서 y축 방향으로 이동하는 비히클이 비히클 감지 센서(50)에 의해 감지되면 보조레일(10)을 회전시키게 되는데 다음과 같은 방식으로 진행하게 된다.
우선 피스톤(23)을 이용하여 피스톤 암(24)을 위쪽 방향(도 1의 +z축 방향)으로 이동시킨다. 피스톤 암(24)은 간격유지수단(40)을 매개로 보조레일(10)과 결합하고 있으므로 보조레일(10)이 도 2에 도시된 바와 같이 위쪽으로 움직인다.
도 2에 도시된 상태에서 모터(32)를 이용하여 회전부 프레임(31)을 회전시키면 회전부 프레임(31)에 결합한 피스톤(23)이 회전하는데 피스톤 암(24)은 가이드 공(25)을 따라 회전하면서 피스톤 암(24)과 결합하고 있는 보조레일(10)을 회전시킨다. 이처럼 보조레일(10)이 회전상태가 도 3에 도시되어 있다.
보조레일(10)이 회전한 상태에서 피스톤 암(24)을 아래쪽(도 1의 -z축 방향)으로 내리면 도 4에 도시된 바와 같이 보조레일(10)이 아래쪽으로 이동하게 되며 비히클(V)이 y축 방향으로 이동할 수 있게 된다.
본 발명의 두 번째 형태는 OHT 시스템에 관한 것인데, 이는 전술한 OHT 시스템용 크로스 레일 구조와 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 OHT 시스템용 크로스 레일 구조에 대해서는 이미 충분히 설명하였고, 제어부에 의해 OHT 시스템용 크로스 레일 구조를 구동하는 제어하는 메커니즘에 대한 설명도 충분히 이루어 졌으므로 추가적인 설명은 생략하기로 한다.
이하에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명함으로써 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 제공하였으나 본 발명의 기술적 사상이 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 다양한 형태로 구체화될 수 있다.
10 : 보조레일 20 : 이동수단
30 : 회전수단 40 : 간격유지수단
50 : 비히클 감지 수단

Claims (20)

  1. OHT 시스템에 설치되 비히클을 이송하는 레일 중 직교하는 두 개의 레일이 교차하는 지점인 크로스 레일 구조에 있어서,
    상기 레일이 교차하는 지점에 레일과 실질적으로 동일한 높이로 설치되되 일정한 간격으로 서로 평행하게 배치되는 한 쌍의 보조레일;
    상기 보조레일을 상하방향으로 이동시키는 이동수단;
    상기 보조레일이 서로 직교하는 두 개의 방향 중 어느 하나의 방향으로 배치될 수 있도록 상기 보조레일을 회전시키는 회전수단;
    상기 비히클과 간섭 없이 상기 한 쌍의 보조레일 사이의 간격을 유지하기 위한 간격유지수단; 을 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  2. 제1항에 있어서
    상기 레일 중 상기 크로스 레일로부터 일정 거리 이격되게 설치되어 상기 크로스 레일로 진입하는 비히클을 감지하는 비히클 감지 센서를 더 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 이동수단은,
    상기 보조레일의 상부에 배치되며 프레임 암에 의해 상기 레일에 고정되는 판상의 이동부 프레임과
    상기 이동부 프레임에 설치되는 유압장치인 피스톤와
    일단부는 상기 피스톤와 결합하고 타단부는 상기 보조레일과 결합하는 피스톤 암을 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 회전수단은,
    상기 보조레일의 상부에 배치되며 프레임 암에 의해 상기 레일에 고정되는 판상의 회전부 프레임과
    상기 회전부 프레임에 설치되는 모터와
    상기 모터의 회전을 상기 보조레일에 전달하기 위하여 일단부는 상기 모터와 결합하고 타단부는 상기 보조레일과 결합하는 회전부 암을 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 피스톤은 한 쌍이 마련되고,
    양단부가 상기 한 쌍의 피스톤와 각각 결합하는 판상의 회전부 프레임을 더 포함하며,
    상기 회전수단은,
    상기 이동부 프레임에 고정되어 상기 회전부 프레임을 회전시킴으로써 상기 회전부 프레임에 결합한 한 쌍의 피스톤와 상기 보조레일을 함께 회전시키는 모터인 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 이동부 프레임에는 호형상의 관통공인 가이드 공이 마련되고 상기 피스톤 암이 상기 가이드 공을 관통하도록 배치되는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  7. 제1항 또는 제2에 있어서
    상기 간격 유지 수단은 상기 보조레일의 상부에 배치되는 판상의 제1부재와 상기 제1부재의 양단부로부터 아래쪽으로 연장되어 상기 보조레일에 결합하는 한 쌍의 제2부재를 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 간격 유지 수단은 상기 보조레일의 상부에 배치되는 판상의 제1부재와 상기 제1부재의 양단부로부터 아래쪽으로 연장되어 상기 보조레일에 결합하는 한 쌍의 제2부재를 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 간격 유지 수단은 상기 보조레일의 상부에 배치되는 판상의 제1부재와 상기 제1부재의 양단부로부터 아래쪽으로 연장되어 상기 보조레일에 결합하는 한 쌍의 제2부재를 포함하는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 비히클 감지 센서는 적외선 센서이며,
    상기 교차로 주변에 네 개 설치되는 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
  11. 청구항 제1항에 기재된 OHT 시스템용 크로스 레일 구조; 와,
    상기 OHT 시스템용 크로스 레일 구조의 이동수단과 회전수단을 제어하는 제어부; 를 포함하는 OHT 시스템.
  12. 제11항에 있어서
    상기 레일 중 상기 크로스 레일로부터 일정 거리 이격되게 설치되어 상기 크로스 레일로 진입하는 비히클을 감지하는 비히클 감지 센서를 더 포함하는 OHT 시스템.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 이동수단은,
    상기 보조레일의 상부에 배치되며 프레임 암에 의해 상기 레일에 고정되는 판상의 이동부 프레임과
    상기 이동부 프레임에 설치되는 유압장치인 피스톤와
    일단부는 상기 피스톤와 결합하고 타단부는 상기 보조레일과 결합하는 피스톤 암을 포함하는 OHT 시스템.
  14. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 회전수단은,
    상기 보조레일의 상부에 배치되며 프레임 암에 의해 상기 레일에 고정되는 판상의 회전부 프레임과
    상기 회전부 프레임에 설치되는 모터와
    상기 모터의 회전을 상기 보조레일에 전달하기 위하여 일단부는 상기 모터와 결합하고 타단부는 상기 보조레일과 결합하는 회전부 암을 포함하는 OHT 시스템.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 피스톤은 한 쌍이 마련되고,
    양단부가 상기 한 쌍의 피스톤와 각각 결합하는 판상의 회전부 프레임을 더 포함하며,
    상기 회전수단은,
    상기 이동부 프레임에 고정되어 상기 회전부 프레임을 회전시킴으로써 상기 회전부 프레임과 결합한 한 쌍의 피스톤와 상기 보조레일을 함께 회전시키는 OHT 시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 이동부 프레임에는 호형상의 관통공인 가이드 공이 마련되고 상기 피스톤 암이 상기 가이드 공을 관통하도록 배치되는 OHT 시스템.
  17. 제11항 또는 제12에 있어서
    상기 간격 유지 수단은 상기 보조레일의 상부에 배치되는 판상의 제1부재와 상기 제1부재의 양단부로부터 아래쪽으로 연장되어 상기 보조레일에 결합하는 한 쌍의 제2부재를 포함하는 OHT 시스템.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 간격 유지 수단은 상기 보조레일의 상부에 배치되는 판상의 제1부재와 상기 제1부재의 양단부로부터 아래쪽으로 연장되어 상기 보조레일에 결합하는 한 쌍의 제2부재를 포함하는 OHT 시스템.
  19. 제12항에 있어서,
    상기 비히클 감지 센서는 적외선 센서이며,
    상기 교차로 주변에 네 개 설치되는 OHT 시스템.
  20. OHT 시스템에 설치되 비히클을 이송하는 레일 중 직교하는 두 개의 레일이 교차하는 지점인 크로스 레일 구조에 있어서,
    상기 레일이 교차하는 지점에 레일과 실질적으로 동일한 높이로 설치되되 일정한 간격으로 서로 평행하게 배치되는 한 쌍의 보조레일;
    상기 보조레일을 상하방향으로 이동시키는 이동수단;
    상기 보조레일이 서로 직교하는 두 개의 방향 중 어느 하나의 방향으로 배치될 수 있도록 보조레일을 회전시키는 회전수단;
    상기 보조레일의 상부에 배치되는 판상의 제1부재와 상기 제1부재의 양단부로부터 아래쪽으로 연장되어 상기 보조레일에 결합하는 한 쌍의 제2부재를 포함하여 상기 비히클의 이동에 방해 없이 상기 한 쌍의 보조레일의 간격을 유지하는 간격유지수단;
    상기 레일 중 상기 크로스 레일로부터 일정 거리 이격되게 설치되어 상기 크로스 레일로 진입하는 비히클을 감지하는 적외선 센서이고 상기 교차로 주변에 네 개 설치되는 비히클 감지 센서;를 포함하며,
    상기 이동수단은, 상기 보조레일의 상부에 배치되며 프레임 암에 의해 상기 레일에 고정되는 판상의 이동부 프레임과 상기 이동부 프레임에 설치되는 유압장치인 한 쌍의 피스톤와 일단부는 상기 피스톤와 결합하고 타단부는 상기 보조레일과 결합하는 피스톤 암과 양단부가 상기 한 쌍의 피스톤와 각각 결합하는 판상의 회전부 프레임을 포함하고 상기 이동부 프레임에는 호형상의 관통공인 가이드 공이 마련되고 상기 피스톤 암이 상기 가이드 공을 관통하도록 배치되며,
    상기 회전수단은, 상기 이동부 프레임에 고정되어 상기 회전부 프레임을 회전시킴으로써 상기 회전부 프레임과 결합한 한 쌍의 피스톤와 상기 보조레일을 함께 회전시키는 모터인 OHT 시스템용 크로스 레일 구조.
KR1020210183772A 2021-12-21 2021-12-21 Oht 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 oht 시스템 KR102604791B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210183772A KR102604791B1 (ko) 2021-12-21 2021-12-21 Oht 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 oht 시스템
CN202211554012.XA CN116280946A (zh) 2021-12-21 2022-12-06 Oht系统用交叉轨道结构以及利用其的oht系统
US18/085,167 US20230192158A1 (en) 2021-12-21 2022-12-20 Cross rail structure for oht system and oht system using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210183772A KR102604791B1 (ko) 2021-12-21 2021-12-21 Oht 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 oht 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20230095152A true KR20230095152A (ko) 2023-06-29
KR102604791B1 KR102604791B1 (ko) 2023-11-21

Family

ID=86767225

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210183772A KR102604791B1 (ko) 2021-12-21 2021-12-21 Oht 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 oht 시스템

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20230192158A1 (ko)
KR (1) KR102604791B1 (ko)
CN (1) CN116280946A (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117125609B (zh) * 2023-10-25 2024-01-30 上海果纳半导体技术有限公司 一种天车轨道和天车搬运系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090110504A (ko) * 2008-04-18 2009-10-22 신화철강주식회사 형강 이송 방향 전환 장치
KR101951871B1 (ko) * 2017-10-16 2019-02-26 비앤에스(주) 보조레일을 구비한 방향전환용 연결레일모듈
KR102239970B1 (ko) * 2020-12-15 2021-04-14 (주) 영호엔지니어링 기판이송설비
KR20210087210A (ko) * 2020-01-02 2021-07-12 세메스 주식회사 천장 이송 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090110504A (ko) * 2008-04-18 2009-10-22 신화철강주식회사 형강 이송 방향 전환 장치
KR101951871B1 (ko) * 2017-10-16 2019-02-26 비앤에스(주) 보조레일을 구비한 방향전환용 연결레일모듈
KR20210087210A (ko) * 2020-01-02 2021-07-12 세메스 주식회사 천장 이송 장치
KR102239970B1 (ko) * 2020-12-15 2021-04-14 (주) 영호엔지니어링 기판이송설비

Also Published As

Publication number Publication date
US20230192158A1 (en) 2023-06-22
KR102604791B1 (ko) 2023-11-21
CN116280946A (zh) 2023-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6665938B2 (ja) 有軌道台車システム、及び有軌道台車
TWI689456B (zh) 暫時保管系統
KR102165426B1 (ko) 반송 시스템
US8206077B2 (en) Overhead transportation system and method of transferring article
US9881824B2 (en) Transfer apparatus and control method thereof
US20060216137A1 (en) Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate
US20050079041A1 (en) Hoisting device for use with overhead traveling carriage system
TWI720258B (zh) 堆高式起重機
US20150090684A1 (en) Lifting device and automatic handling system thereof
WO2018074130A1 (ja) 天井搬送車及び搬送システム
KR20230095152A (ko) Oht 시스템용 크로스 레일 구조 및 이를 이용한 oht 시스템
KR20150012159A (ko) 반송시스템
US10108095B2 (en) Automated mask storage and retrieval system
KR102279408B1 (ko) 멀티 암 반송 로봇
US8019448B2 (en) Stage device
WO2017026256A1 (ja) 産業用ロボット
WO2024070310A1 (ja) 天井走行車システム
US20210387654A1 (en) Traveling vehicle system
TWI834958B (zh) 移行車系統
Görner et al. SwarmRail: A Novel Overhead Robot System for Indoor Transport and Mobile Manipulation
JP7367851B2 (ja) 走行車システム
JP7347695B2 (ja) 天井保管システム
CN218320627U (zh) 一种模块式变角悬臂运输器、运输机及升降机
CN116130393B (zh) 晶圆盒移载机构及方法、系统、存储库
US20230406623A1 (en) Ceiling storage system and control method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant