KR20210107962A - Apparatus and method for Inspection of display panel - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 표시패널 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시패널의 일 면의 외관을 검사하기 위한 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display panel inspection apparatus and inspection method, and more particularly, to an inspection apparatus and inspection method for inspecting the appearance of one surface of a display panel.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.Electronic devices based on mobility are widely used. In addition to small electronic devices such as mobile phones, tablet PCs have recently been widely used as mobile electronic devices.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시패널을 포함한다. 최근, 표시패널을 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.Such a mobile electronic device includes a display panel to provide visual information such as an image or video to a user in order to support various functions. Recently, as other components for driving the display panel are miniaturized, the proportion of the display device in electronic devices is gradually increasing, and a structure that can be bent to have a predetermined angle in a flat state is being developed.
이러한 표시패널을 제조하는 단계 또는 제조가 완료된 이후에, 표시패널의 양불을 판정하기 위한 검사가 수행될 수 있다. After the manufacturing of the display panel or after the manufacturing is completed, an inspection for determining whether the display panel is satisfactory or not may be performed.
본 발명은 표시패널의 로딩 및 언로딩 뿐만 아니라 반전까지 간단하고 효율적으로 실시할 수 있는 표시패널 검사장치 및 검사방법을 제공하는 것을 목적으로한다. 또한, 일원화된 설비를 이용하여 표시패널의 양면을 선택적으로 검사함으로써, 효율적이고 신뢰할 수 있는 검사를 실시할 수 있는, 표시패널 검사장치 및 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.An object of the present invention is to provide a display panel inspection apparatus and inspection method capable of simply and efficiently performing loading and unloading of a display panel as well as inversion. Another object of the present invention is to provide a display panel inspection apparatus and an inspection method that can perform an efficient and reliable inspection by selectively inspecting both surfaces of a display panel using a unified facility. However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereto.
본 발명의 일 관점에 따르면, 제1방향을 따라 표시패널을 이송하는 이송부, 상기 이송부를 부분적으로 둘러싸며 투입된 표시패널을 반전시키는 반전부, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 제어부, 및 상기 이송부의 일 측에 배치되며 상기 표시패널의 외관을 검사하는 검사부를 포함하고, 상기 반전부는, 반전프레임, 상기 반전프레임 상에 배치되며 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛, 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연장된 회전축선을 중심으로 상기 반전프레임을 회전시키는 회전구동유닛을 포함하는, 표시패널 검사장치가 제공된다.According to one aspect of the present invention, a transfer unit for transferring a display panel along a first direction, an inversion unit partially surrounding the transfer unit and inverting the input display panel, a control unit determining whether the inversion unit is driven, and the transfer unit and an inspection unit disposed on one side and inspecting an external appearance of the display panel, wherein the inversion unit includes an inversion frame, an adsorption unit disposed on the inversion frame and adsorbing the display panel, and a first direction crossing the first direction. A display panel inspection apparatus is provided, including a rotation driving unit configured to rotate the inversion frame about a rotation axis extending in two directions.
본 실시예에 따르면, 상기 흡착유닛은, 상기 표시패널에 직접 접촉하는 흡착패드 및 상기 흡착패드를 지지하는 흡착봉을 포함할 수 있다.According to this embodiment, the adsorption unit may include a suction pad directly contacting the display panel and a suction rod supporting the suction pad.
본 실시예에 따르면, 상기 흡착유닛의 상기 흡착봉은, 상기 반전프레임에 대해 상하 이동이 가능하게 결합될 수 있다.According to this embodiment, the adsorption rod of the adsorption unit may be coupled to be movable up and down with respect to the inversion frame.
본 실시예에 따르면, 상기 제어부는, 상기 반전부의 위치를 감지하는 위치감지부; 상기 반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부 및 상기 표시패널의 식별 정보를 수신하고, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 판단부를 포함할 수 있다.According to this embodiment, the control unit, a position sensing unit for detecting the position of the inversion unit; It may include an input detection unit having a sensor that detects whether the display panel is inserted into the inversion unit, and a determination unit configured to receive identification information of the display panel and determine whether the inversion unit is driven.
본 실시예에 따르면, 상기 반전부의 상기 회전구동유닛은, 상기 반전프레임과 연결되는 회전축; 및 상기 회전축을 통해 상기 반전프레임에 회전력을 인가하는 구동부;를 포함할 수 있다.According to this embodiment, the rotation driving unit of the inversion portion, the rotation shaft connected to the inversion frame; and a driving unit for applying a rotational force to the inversion frame through the rotation shaft.
본 실시예에 따르면, 상기 검사부는, 검사 대상이 되는 표시패널이 놓이는 검사스테이지 및 상기 검사스테이지의 상부에 배치되고, 상기 표시패널을 향하도록 배치되는 광학 장치를 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the inspection unit may include an inspection stage on which a display panel to be inspected is placed, and an optical device disposed on the inspection stage and facing the display panel.
본 실시예에 따르면, 상기 반전프레임은 상기 회전축선이 놓이는 일 단부의 반대편 단부에 보강 리브(rib)를 구비할 수 있다.According to this embodiment, the inversion frame may be provided with a reinforcing rib (rib) at the opposite end of the one end where the rotation axis is placed.
본 발명의 다른 관점에 따르면, 제1방향을 따라 표시패널을 이송하거나 상기 표시패널을 반전시키는 이송반전부, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 제어부, 및 상기 이송반전부 일 측에 배치되며, 상기 표시패널의 외관을 검사하기 위한 검사부를 포함하고, 상기 이송반전부는, 제1방향 따라 연장된 중심프레임, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장되며 상기 중심프레임을 관통하도록 배치되는 아암(arm), 및 상기 아암 상에 상기 제2방향을 따라 배치되며 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛을 포함하며, 상기 아암은 상기 중심프레임을 회전축선으로 하여 회전되거나 상기 제2방향을 따라 슬라이딩되는, 표시패널 검사장치를 제공한다.According to another aspect of the present invention, a transfer reversing unit for transferring a display panel or inverting the display panel along a first direction, a control unit for determining a driving method of the transfer reversing unit, and one side of the transfer reversing unit are disposed, an inspection unit for inspecting an external appearance of the display panel, wherein the transfer reversing unit includes a center frame extending in a first direction, an arm extending in a second direction crossing the first direction, and passing through the center frame an arm; and an adsorption unit disposed on the arm in the second direction and adsorbing the display panel, wherein the arm is rotated about the central frame as a rotation axis or slid in the second direction. , a display panel inspection device.
본 실시예에 따르면, 상기 흡착유닛은, 상기 표시패널에 직접 접촉하는 흡착패드 및 상기 흡착패드를 지지하고 상기 아암에 대해 상하 이동 가능하게 부착되는 흡착봉을 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the adsorption unit may include a suction pad directly in contact with the display panel, and a suction rod supporting the suction pad and movably attached to the arm in a vertical movement.
본 실시예에 따르면, 상기 이송반전부는, 상기 아암을 상기 제2방향을 따라 슬라이딩 시키는 선형구동유닛 및 상기 중심프레임에 회전력을 제공하는 회전구동유닛을 더 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the transfer inversion unit may further include a linear driving unit for sliding the arm in the second direction and a rotational driving unit for providing a rotational force to the central frame.
본 실시예에 따르면, 상기 제어부는, 상기 이송반전부의 위치를 감지하는 위치감지부, 상기 이송반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부, 및 상기 표시패널의 식별 정보를 수신하고, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 판단부를 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the control unit may include a position detecting unit for detecting a position of the transfer reversing unit, an input detecting unit having a sensor detecting whether the display panel is put on the transfer reversing unit, and the display panel and a determination unit for receiving identification information of and determining a driving method of the transfer reversing unit.
본 실시예에 따르면, 상기 검사부는, 검사 대상이 되는 표시패널이 놓이는 검사스테이지 및 상기 검사스테이지의 상부에 배치되고, 상기 표시패널을 향하는 하방으로 광을 조사하는 광학 장치를 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the inspection unit may include an inspection stage on which a display panel to be inspected is placed, and an optical device disposed on the inspection stage and irradiating light downward toward the display panel.
본 발명의 다른 관점에 따르면, 검사하고자 하는 표시패널을 제1위치에 있는 반전부 상에 투입하는 단계, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 단계, 상기 반전부의 구동을 결정한 경우, 상기 반전부의 반전프레임에 배치된 흡착유닛이 상기 표시패널을 흡착시키는 단계, 상기 반전프레임의 일 단부에 놓이는 회전축선을 중심으로 상기 반전부를 회전시켜 제2위치로 이동시키는 단계, 상기 흡착유닛의 흡착이 해제되고, 상기 표시패널이 이송부 상에 안착되는 단계, 상기 이송부가 상기 표시패널을 검사스테이지로 이송시키는 단계, 상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계를 포함하는, 표시패널 검사방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, the steps of putting a display panel to be inspected on the inverting unit at the first position, determining whether to drive the inverting unit, and determining whether to drive the inverting unit, include an inversion frame of the inverting unit adsorbing the display panel by an adsorption unit disposed on A display panel inspection method comprising: placing a display panel on a transfer unit; transferring the display panel to an inspection stage by the transfer unit; and inspecting an appearance of one surface of the display panel placed on the inspection stage. is provided
본 실시예에 따르면, 상기 반전부의 구동을 결정하지 않은 경우, 상기 반전부의 회전 없이 상기 이송부가 상기 표시패널을 상기 검사스테이지로 이송시키는 단계, 및 상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계;를 포함할 수 있다.According to the present embodiment, when the driving of the inversion unit is not determined, the transfer unit transfers the display panel to the inspection stage without rotating the inversion unit, and an appearance of one surface of the display panel placed on the inspection stage It may include;
본 실시예에 따르면, 상기 표시패널이 상기 검사스테이지로 이송된 이후, 상기 반전부가 상기 제2위치에서 상기 제1위치로 복귀하는 단계를 더 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the method may further include returning the inverting unit from the second position to the first position after the display panel is transferred to the inspection stage.
본 실시예에 따르면, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 단계는, 상기 반전부의 위치 정보, 상기 반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 정보 및 상기 표시패널의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 결정할 수 있다.According to the present embodiment, the determining of whether to drive the inversion unit includes identification information including location information of the inversion unit, input information of the display panel onto the inversion unit, and information on whether the display panel is inspected. can be determined based on
본 발명의 다른 관점에 따르면, 검사하고자 하는 표시패널을 초기 위치의 이송반전부 상에 투입하는 단계, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 단계, 상기 이송반전부의 아암 상에 배치된 흡착유닛이 상기 표시패널을 흡착시키는 단계, 상기 이송반전부의 중심프레임을 회전축선으로 하여 상기 아암을 회전시키는 단계, 상기 흡착유닛의 흡착을 해제하여, 상기 표시패널을 검사스테이지에 안착시키는 단계, 상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계를 포함하는, 표시패널 검사방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, the steps of putting a display panel to be inspected on the transfer reversing unit at an initial position, determining a driving method of the transfer reversing unit, and an adsorption unit disposed on the arm of the transfer reversing unit, are adsorbing the display panel; rotating the arm using the central frame of the transfer reversing unit as a rotation axis; disengaging the adsorption unit to seat the display panel on the inspection stage; A display panel inspection method is provided, including inspecting an appearance of one surface of the display panel.
본 실시예에 따르면, 상기 흡착유닛이 상기 아암에 대해 상기 검사스테이지의 반대 방향으로 슬라이딩되는 단계, 및 상기 아암이 슬라이딩되어 상기 초기 위치로 복귀하는 단계를 더 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the method may further include sliding the adsorption unit in a direction opposite to the inspection stage with respect to the arm, and sliding the arm to return to the initial position.
본 실시예에 따르면, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 단계는, 상기 이송반전부의 위치 정보, 상기 이송반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 정보, 및 상기 표시패널의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 결정할 수 있다.According to the present embodiment, the determining of the driving method of the transfer inversion unit includes information on the position of the transfer inversion unit, input information of the display panel onto the transfer inversion unit, and information on whether the display panel is inspected. It may be determined based on the identification information included.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features and advantages other than those described above will become apparent from the following detailed description, claims and drawings for carrying out the invention.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.These general and specific aspects may be practiced using systems, methods, computer programs, or any combination of systems, methods, and computer programs.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 간단하고 효율적이며 신뢰성이 향상된 검사를 실시할 수 있는 표시패널 검사장치 및 검사방법을 구현할 수 있다. 구체적으로, 투입된 표시패널의 정보 및 검사장치의 상태 정보에 기초하여 필요에 따라 표시패널의 이송 및 반전을 선택적으로 실시하며, 일원화된 검사장비를 이용하여 효율적이고 신뢰할 수 있는 검사 결과를 얻을 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to the exemplary embodiment of the present invention made as described above, it is possible to implement a display panel inspection apparatus and an inspection method capable of performing a simple, efficient, and reliable inspection. Specifically, the transfer and inversion of the display panel are selectively carried out as needed based on the input display panel information and the state information of the inspection device, and efficient and reliable inspection results can be obtained using unified inspection equipment. . Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 6는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면도이다.1 is a plan view schematically illustrating an arrangement of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3A and 3B are side views schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
5 is a perspective view schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
6 is a perspective view schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
7A to 7D are side views schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and a method of achieving them, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when described with reference to the drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals, and the overlapping description thereof will be omitted. .
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, terms such as first, second, etc. are used for the purpose of distinguishing one component from another, not in a limiting sense.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as include or have means that the features or components described in the specification are present, and the possibility of adding one or more other features or components is not excluded in advance.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when it is said that a part such as a film, region, or component is on or on another part, it is not only when it is directly on the other part, but also another film, region, component, etc. is interposed therebetween. Including cases where there is
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, the size of the components may be exaggerated or reduced for convenience of description. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily indicated for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다. Where certain embodiments are otherwise feasible, a specific process sequence may be performed different from the described sequence. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order opposite to the order described.
본 명세서에서 "A 및/또는 B"은 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다. 그리고, "A 및 B 중 적어도 하나"는 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다.As used herein, "A and/or B" refers to A, B, or A and B. And, "at least one of A and B" represents the case of A, B, or A and B.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우, 또는/및 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우, 및/또는 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우를 나타낸다. In the following embodiments, when a film, region, or component is connected, when the film, region, or component is directly connected, or/and in the middle of another film, region, or component Including cases where they are interposed and indirectly connected. For example, in the present specification, when it is said that a film, region, component, etc. are electrically connected, when the film, region, component, etc. are directly electrically connected, and/or another film, region, component, etc. is interposed therebetween. to indicate an indirect electrical connection.
x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.The x-axis, y-axis, and z-axis are not limited to three axes on a Cartesian coordinate system, and may be interpreted in a broad sense including them. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.1 is a plan view schematically illustrating an arrangement of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 표시패널(P)의 검사장치(1)는 이송라인(TL), 이송부(10), 반전부(20), 제어부(30) 및 검사부(40)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the
이송라인(TL)은 표시패널(P)을 이전 공정으로부터 다음 공정으로 이송시킬 수 있다. 이송라인(TL)은 예컨대, 롤러컨베이어 등의 이송수단으로 구현될 수 있다. The transfer line TL may transfer the display panel P from the previous process to the next process. The transfer line TL may be implemented as a transfer means such as, for example, a roller conveyor.
이송부(10)는 이송라인(TL)의 일 측에 배치될 수 있다. 이송부(10)는 이송라인(TL)과 검사부(40) 사이에 배치될 수 있고, 이송라인(TL)과 검사부(40) 사이에서 표시패널(P)을 이송시킬 수 있다. 일 실시예에서, 이송부(10)는 적어도 하나 이상이 구비될 수 있다. 다른 실시예로, 이송부(10)는 제1방향(DR1)을 따라 이송라인(TL)으로부터 검사부(40)로 표시패널(P)을 로딩(loading)하는 제1이송부(10a) 및 검사부(40)로부터 이송라인(TL)로 언로딩(unloading)하는 제2이송부(10b)를 포함할 수 있다. The
반전부(20)는 이송부(10)와 인접하여 배치될 수 있다. 반전부(20)는 투입된 표시패널(P)을 반전시킬 수 있다. 일 실시예에서, 반전부(20)는 적어도 하나 이상이 구비될 수 있다. 다른 실시예로, 반전부(20)는 제1이송부(10a)와 인접하는 제1반전부(20a) 및 제2이송부(10b)와 인접하는 제2반전부(20b)를 포함할 수 있다. 이하에서는 각각 두 개의 이송부(10) 및 반전부(20)가 구비된 경우를 설명하도록 한다. 이송부(10) 및 반전부(20)의 구조 및 구동방법은 도 2 내지 도 5를 참조하여 자세히 설명한다.The
제어부(30)는 이송부(10) 및 반전부(20)에 인접하여 배치될 수 있다. 제어부(30)는 검사장치(1)의 상태 정보 및 표시패널(P)에 대한 정보를 획득하여 반전부(20)의 구동 여부를 결정할 수 있다. 일 실시예로, 제어부(30)는 반전부(20)의 위치를 감지하는 위치감지부(310), 반전부(20) 상으로의 표시패널(P)의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부(320), 및 표시패널(P)의 식별 정보를 수신하고, 반전부(20)의 구동 여부를 결정하는 판단부(330)를 구비할 수 있다. The
검사부(40)는 이송부(10)의 일 측에 배치되며, 제1이송부(10a)로부터 로딩된 표시패널(P)의 외관을 검사할 수 있다. 검사부(40)는 검사가 완료된 표시패널(P)을 제2이송부(10b)로 언로딩할 수 있다. 검사부(40)로부터 언로딩된 표시패널(P)은 제2반전부(20b)에 의해 반전될 수 있고, 또는 반전 없이 제2이송부(10b)에 의해 이송라인(TL)으로 이송될 수 있다. The
도 1을 참조하면, 표시패널(P)의 이송 방향이 화살표로 도시되어 있다. 이송라인(TL)을 통해 이송되는 표시패널(P)에 대한 외관 검사가 필요하지 않은 경우, 제1반전부(20a)로의 투입 없이 이송라인(TL)을 따라 다음 공정으로 이송될 수 있다. 반면에, 표시패널(P)의 외관 검사가 필요한 경우, 표시패널(P)은 선택적으로 제1반전부(20a)로 투입될 수 있다. 이송라인(TL)으로부터 제1반전부(20a)로의 표시패널(P)의 투입은 공압실린더 등으로 구현될 수 있다.Referring to FIG. 1 , the transport direction of the display panel P is indicated by arrows. When the external inspection of the display panel P transferred through the transfer line TL is not required, the display panel P may be transferred to the next process along the transfer line TL without input to the
표시패널(P)에는 외관 검사가 필요한지 여부에 대한 정보가 포함된 식별 정보가 부여될 수 있다. 제어부(30)는 수신부를 통해 이송라인(TL)을 따라 이송 중인 표시패널(P)의 식별 정보를 수신할 수 있다. 제어부(30)는 수신한 식별 정보에 기초하여, 외관 검사가 필요한 표시패널(P)을 제1반전부(20a)로 투입하도록 제어할 수 있다. Identification information including information on whether an appearance inspection is necessary may be provided to the display panel P. The
제어부(30)에 의해 제1반전부(20a)로 투입된 표시패널(P)에 대한 반전 필요여부가 결정될 수 있다. 즉, 제어부(30)에 의해 제1반전부(20a)의 구동 여부가 결정될 수 있다. 예컨대, 표시패널(P)의 제1면을 검사하고자 하는 경우, 표시패널(P)은 반전 없이 제1반전부(20a)와 인접한 제1이송부(10a)에 의해 검사부(40)로 로딩될 수 있다. 반면, 표시패널(P)의 제2면을 검사하고자 하는 경우, 제어부(30)는 제1반전부(20a)의 구동을 결정하고, 이에 따라 제1반전부(20a)는 표시패널(P)을 반전시킬 수 있다. 반전된 표시패널(P)은 제1이송부(10a)에 의해 검사부(40)로 로딩될 수 있다. Whether the display panel P input to the
검사부(40)에서는 로딩된 표시패널(P)의 일 면의 외관을 검사할 수 있다. 여기서, 외관 검사란, 표시패널(P)의 일 면에 크랙, 스크래치 등이 존재하는지 여부를 확인하여 표시패널(P)의 양불 여부를 판정하는 것을 포함할 수 있다. The
검사가 완료된 표시패널(P)은 제2반전부(20b)로 언로딩될 수 있다. 앞서 제1반전부(20a)의 구동 여부에 따라, 표시패널(P)은 제2반전부(20b)에 의해 다시 반전되거나, 반전 없이 제2이송부(10b)에 의해 이송라인(TL)으로 투입될 수 있다. The display panel P on which the inspection is completed may be unloaded to the
또한 일 예로, 표시패널(P)의 양면 모두 검사가 필요한 경우, 제1반전부(20a)에서 표시패널(P)의 반전 없이 검사부(40)로 로딩되어 일 면의 검사를 수행한 후, 언로딩된 표시패널(P)을 제2반전부(20b)에서 반전시켜 다시 검사부(40)로 로딩하여 타 면의 검사를 수행할 수 있다. Also, as an example, when both sides of the display panel P are to be inspected, the
도 1에서는 이송라인(TL), 이송부(10), 반전부(20), 및 검사부(40)가 전체적으로 폐곡선을 이루며 배치되는 것을 도시하였으나, 다른 실시예로서, 이들은 일직선, 한번 이상 굴곡된 라인 등을 이루며 배치될 수 있다. 이 경우, 이송부(10) 및 반전부(20)가 각각 하나씩 구비되는 검사장치(1)가 제공될 수 있다. 하나의 이송부(10)는 제1방향(DR1)을 따라 양방향으로 구동하여 표시패널(P)을 검사부(40)에 로딩 및 언로딩할 수 있다. 표시패널(P)의 제1면 및 제2면 모두를 검사하는 경우, 반전부(20)의 반전 및 이송부(10)의 양방향 구동을 조합하여 검사를 수행할 수 있다.In FIG. 1, the transfer line TL, the
이상 도 1에서는 검사장치(1)의 검사 대상이 표시패널(P)인 것으로 설명하였지만, 본 발명의 검사 대상은 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 검사장치(1)의 검사 대상은 표시패널(P)의 서브층(예컨대 기판), 표시패널(P)을 구비한 전자 기기 등을 포함할 수 있으며, 이들은 세로 및 가로의 길이가 그 두께보다 큰 평판일 수 있다.Although it has been described in FIG. 1 that the inspection object of the
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 이송부(10) 및 반전부(20)를 개략적으로 나타내고 있다. 2 is a perspective view schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 2 schematically shows the
도 2를 참조하면, 이송부(10)는 선형이송수단을 포함할 수 있다. 일 예로, 이송부(10)는 컨베이어프레임(미도시), 컨베이어프레임에 회전 가능하게 부착된 롤러(110), 롤러(110)를 구동시키는 롤러구동부(미도시), 및 표시패널(P)이 놓이는 컨베이어벨트(120)를 포함할 수 있다. 컨베이어벨트(120)는 제1방향(DR1)을 따라 연장될 수 있다. 컨베이어벨트(120)의 길이는 검사장치(1)가 설치되는 환경에 따라 변경될 수 있다. 컨베이어벨트(120)의 폭은 표시패널(P)의 폭보다 작을 수 있다. 컨베이어벨트(120)를 구동하는 롤러(110)는 양방향으로 회전 가능할 수 있다. 따라서, 컨베이어벨트(120)는 제1방향(DR1)을 따라 양방향으로 모두 움직일 수 있으며, 표시패널(P)은 컨베이어벨트(120)에 의해 제1방향(DR1)을 따라 양방향으로 이송 가능하다. Referring to FIG. 2 , the
반전부(20)는 반전프레임(210), 흡착유닛(220) 및 회전구동유닛(230)을 포함할 수 있다. 반전프레임(210)은 이송부(10)를 부분적으로 둘러싸는 형상을 가질 수 있다. 일 실시예에서, 반전프레임(210)은, 이송부(10)의 양측에서 각각 제1방향(DR1)을 따라 연장되는 두 측부(210a, 210b)들, 및 두 측부(210a, 210b)들을 서로 연결하는 연결부(210c)를 구비할 수 있다. 이송부(10)는 반전프레임(210)의 두 측부(210a, 210b)들 및 연결부(210c)에 의해 부분적으로 둘러싸일 수 있다. The reversing
흡착유닛(220)은 반전프레임(210)의 측부(210a, 210b) 상에 배치될 수 있다. 반전프레임(210)의 두 측부(210a, 210b) 상에는 각각 적어도 하나 이상의 흡착유닛(220)들이 배치될 수 있고, 흡착유닛(220)들은 제1방향(DR1)을 따라 배열될 수 있다. The
흡착유닛(220)은 표시패널(P)과 직접 접촉하는 흡착패드(221) 및 흡착패드(221)를 지지하는 흡착봉(222)을 포함할 수 있다. 흡착패드(221)는 원형, 타원형, 사각형, 마름모 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 흡착패드(221)는 고무 등과 같은 유연하고 부드러운 소재를 포함하여, 표시패널(P)과 직접 접촉할 때 표시패널(P)에 물리적 손상을 최소화할 수 있다. The
흡착봉(222)은 속이 빈 파이프일 수 있다. 흡착봉(222)의 일 단부에는 흡착패드(221)가 부착될 수 있고, 흡착봉(222)의 타 단부는 반전프레임(210)의 측부(210a, 210b)와 연결될 수 있다. 흡착봉(222)은 반전프레임(210)의 측부(210a, 210b)에 대해 상방 및 하방, 즉 제3방향(DR3)을 따라 이동 가능하게 연결될 수 있다. 흡착봉(222)은 음압을 발생시키는 외부의 석션유닛과 연결될 수 있다. 외부의 석션유닛이 음압을 발생시키면, 흡착봉(222)을 통해 흡착패드(221)로 음압이 전달될 수 있다. 이를 통해, 표시패널(P)이 흡착패드(221)에 흡착될 수 있다. The suction rod 222 may be a hollow pipe. A suction pad 221 may be attached to one end of the suction rod 222 , and the other end of the suction rod 222 may be connected to the
회전구동유닛(230)은 회전축(231) 및 구동부(232)를 포함할 수 있다. 회전구동유닛(230)의 회전축(231)은 반전프레임(210)의 연결부(210c)의 반대측 단부에서 반전프레임(210)과 연결될 수 있다. 반전프레임(210)의 두 측부(210a, 210b)는 회전축(231)과 연결되기 위해 굴곡된 형상을 가질 수 있다. 구동부(232)는 회전축(231)을 통해 반전프레임(210)에 회전력을 인가할 수 있다. 즉, 반전프레임(210)의 일 단부에 연결된 회전축(231)을 회전축선(RA)으로 하여 구동부(232)는 반전프레임(210)을 회전시킬 수 있다. 구동부(232)는 전기적으로 구동되는 모터일 수 있고, 또는 공압식 모터, 회전실린더 등일 수 있다. The
제어부(30)는 반전부(20)에 인접하여 배치되며, 반전부(20)의 위치를 감지하는 위치감지부(310)를 포함할 수 있다. 위치감지부(310)는 광전센서 등을 포함할 수 있다. 위치감지부(310)는 반전부(20)의 반전프레임(210)이 소정의 위치에 있는 경우와 그렇지 않은 경우를 감지할 수 있다. 또한, 제어부(30)는 반전부(20)에 인접하여 배치되며, 반전부(20) 상으로 표시패널(P)이 투입되었는지 여부를 감지할 수 있는 투입감지부(320)를 포함할 수 있다. 투입감지부(320)는 광전센서 등을 포함할 수 있다. 이들의 감지 결과는, 후술하는 바와 같이, 제어부(30)가 반전부(20)의 구동 여부를 결정하는 기초가 될 수 있다. The
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면도이다. 도 3a 및 도 3b는 표시패널이 반전부에 의해 반전되는 단계를 도시하고 있다.3A and 3B are side views schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 3A and 3B illustrate a step in which the display panel is inverted by the inverting unit.
우선 도 3a를 참조하면, 반전부(20)의 반전프레임(210)은 제1위치(PO1)에 위치한다. 표시패널(P)은 이송라인(TL, 도 1)으로부터 제1위치(PO1)에 있는 반전부(20) 상으로 투입될 수 있다. First, referring to FIG. 3A , the
제어부(30, 도 1)에 의해, 반전부(20)의 구동 여부가 결정될 수 있다. 제어부(30)는 반전부(20)의 위치 정보, 반전부(20) 상으로의 표시패널(P)의 투입 정보 및 표시패널(P)의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 반전부(20)의 구동 여부를 결정할 수 있다. Whether the
구체적으로, 제어부(30)의 위치감지부(310, 도 2)는 반전부(20)의 반전프레임(210)이 제1위치(PO1)에 있는지 감지할 수 있다. 반전프레임(210)이 제1위치(PO1)에 위치하지 않는 경우, 제어부(30)의 판단부(330, 도 2)는 반전부(20)의 구동을 결정하지 않을 수 있다. 또한, 제어부(30)의 투입감지부(320, 도 2)는 이송라인(TL) 및 반전부(20)에 인접하게 배치되고, 반전부(20) 상으로의 표시패널(P)의 투입 여부를 감지하는 센서를 포함할 수 있다. 투입감지부(320)는 표시패널(P)의 투입 여부를 감지할 수 있다. 표시패널(P)이 반전부(20) 상으로 투입되지 않은 경우, 판단부(330)는 반전부(20)의 구동을 결정하지 않을 수 있다. 또한, 제어부(30)의 판단부(330) 투입된 표시패널(P)의 식별 정보를 수신할 수 있고, 상기 식별 정보에는 표시패널(P)의 제1면 및 제2면 중 어느 면에 검사가 요구되는지에 대한 정보가 포함될 수 있다. 제1면에 대한 검사가 요구되는 경우, 판단부(330)는 반전부(20)의 구동을 결정하지 않을 수 있다. Specifically, the position sensing unit 310 ( FIG. 2 ) of the
제어부(30)가 반전부(20)의 구동을 결정하지 않은 경우, 반전부(20)의 회전 없이 이송부(10)가 표시패널(P)을 검사부(40)의 검사스테이지(410)로 이송시켜 로딩할 수 있다. When the
반대로, 반전프레임(210)이 제1위치(PO1)에 위치하며 표시패널(P)이 반전부(20) 상으로 투입되었고 제2면에 대한 검사가 요구되는 경우, 제어부(30)는 반전부(20)의 구동을 결정할 수 있다. 제어부(30)가 반전부(20)의 구동을 결정한 경우, 반전부(20)의 반전프레임(210) 상에 배치된 흡착유닛(220)이 표시패널(P)을 흡착시킬 수 있다. Conversely, when the
도 3b를 참조하면, 흡착유닛(220)의 흡착이 완료되면, 반전부(20)의 구동부(232)는 회전축(231)을 통해 회전력을 인가하여 반전프레임(210)을 제2위치(PO2)로 회전시킨다. 회전각도는 실질적으로 180도일 수 있고, 또는 이송부(10)의 선형이송수단의 종류, 배치 등에 따라 180도보다 크거나 작은 각도일 수 있다. 반전부(20)의 회전을 통해 표시패널(P)의 반전이 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 3b , when the adsorption of the
반전이 완료된 후, 흡착유닛(220)은 흡착을 해제하고 표시패널(P)을 이송부(10) 상에 안착시킬 수 있다. 이후, 구동부(232)는 반대 방향으로 회전력을 인가하여, 다음의 반전 단계를 실시할 수 있도록 제2위치(PO2)의 반전프레임(210)을 다시 제1위치(PO1)로 복귀시킬 수 있다. 그런 다음, 이송부(10)는 반전된 표시패널(P)을 검사부(40)의 검사스테이지(410)로 이송시켜 로딩시킬 수 있다.After the inversion is completed, the
검사부(40)는 검사스테이지(410) 및 광학 장치(420)를 포함할 수 있다. 검사스테이지(410) 상에는 검사 대상이 되는 표시패널(P)이 로딩될 수 있다. 광학 장치(420)는 검사스테이지(410) 상부에 배치되고, 검사스테이지(410) 상에 놓인 표시패널(P)을 향하는 방향, 즉 하방을 향해 배치될 수 있다. 광학 장치(420)는 촬상요소 또는 이미지센서 등을 구비할 수 있고, 표시패널(P)의 일 면의 외관을 검사할 수 있다. The
본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 대상이 되는 표시패널(P)의 일 면이 상부를 향하도록 배치되고 광학 장치(420)는 하방으로 표시패널(P)을 향하도록 배치되므로, 광학 장치의 촬상요소 또는 센서 등에 이물질이 쌓여 검사 품질을 저하시키는 것을 최소화할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, since one surface of the display panel P to be inspected is disposed to face upward and the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 투입된 표시패널(P)의 정보 및 검사장치(1)의 상태 정보에 기초하여 필요에 따라 표시패널(P)의 이송 및 반전을 선택적으로 실시하여 표시패널(P)의 외관 검사를 선택적으로 수행하므로, 효율적인 검사가 가능하다. In addition, according to an embodiment of the present invention, the display panel P is selectively transferred and inverted as needed based on the input information of the display panel P and the state information of the
비교예로서 표시패널의 제1면 및 제2면 각각을 검사하는 둘 이상의 검사부를 이용하는 경우, 추가적인 설비 및 비용이 필요할 뿐만 아니라, 둘 이상의 검사부들에 의한 결과를 서로 연관(correlation)시키고 교정(calibration)하는 단계가 추가로 요구되어, 검사 단계가 복잡해질 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 일원화된 검사부(40)로 표시패널(P)의 제1면 및 제2면 모두를 검사할 수 있다. 이를 통해, 불필요한 단계를 줄이고, 간단하고 효율적이며 나아가 신뢰성이 향상된 검사를 실시할 수 있다.As a comparative example, when two or more inspection units for inspecting each of the first and second surfaces of the display panel are used, additional equipment and cost are required, and results of the two or more inspection units are correlated and calibrated ) may be additionally required, complicating the inspection step. However, according to an embodiment of the present invention, both the first surface and the second surface of the display panel P may be inspected by the
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 도 2를 참조하여 설명한 내용과 동일한 내용은 생략하고, 이하 차이점 위주로 설명하도록 한다.4 is a perspective view schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention. The same contents as those described with reference to FIG. 2 will be omitted, and will be mainly described below with differences.
일 실시예에서, 이송부(10)는 리니어 스테이지와 같은 선형이송수단으로 구현될 수 있다. 이송부(10)는 베이스(111) 및 베이스(111)를 따라 직선왕복운동하는 슬라이더(112)를 포함할 수 있다. 베이스(111)는 제1방향(DR1)을 따라 연장될 수 있다. 슬라이더(112) 상에는 검사 대상인 표시패널(P)이 안착될 수 있다. In one embodiment, the
표시패널(P)의 반전이 필요하지 않은 경우, 반전부(20)는 구동하지 않고 표시패널(P)이 안착된 이송부(10)만 구동되어 표시패널(P)을 베이스의 연장 방향을 따라 이송시킬 수 있다. 표시패널(P)의 반전이 필요한 경우, 반전부(20)는 구동될 수 있다. 반전부(20)의 흡착유닛(220)이 표시패널(P)을 흡착한 이후, 슬라이더(112)는 초기 위치로부터 반전된 표시패널(P)을 안착시킬 위치로 이동할 수 있다. 그 후 반전부(20)가 구동되어 회전축선(RA)을 중심으로 회전하여 표시패널(P)을 반전시킬 수 있다. 흡착유닛(220)의 흡착은 해제되고, 반전된 표시패널(P)은 슬라이더(112) 상에 안착될 수 있다. 그 다음, 슬라이더(112)는 표시패널(P)을 검사부(40, 도 2)로 이송시킬 수 있다. When inversion of the display panel P is not required, the
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.5 is a perspective view schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 반전부(20)의 반전프레임(210)은 회전축선(RA, 도 2)이 놓이는 단부의 반대편 단부에 보강 리브(rib)(210R)를 구비할 수 있다. 즉 반전프레임(210)의 두 측부(210a, 210b)와 연결부(210c)가 만나는 모서리부에 보강 리브(210R)가 위치할 수 있다. 보강 리브(210R)의 재료는 반전프레임(210)의 재료와 상이할 수 있고, 금속재료 등을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5 , the
보강 리브(210R)는 반전프레임(210)의 내구성을 보강하고, 충분한 강도와 지지력을 유지할 수 있다. 반전프레임(210)이 반복적으로 구동되면, 회전력에 의한 내부 응력으로 인해 반전프레임(210)의 변형 또는 뒤틀림 등이 발생될 수 있다. 반전프레임(210)의 단부에 보강 리브(210R)를 형성하여 내구성 및 강도를 강화시킴으로써, 이러한 변형 및 뒤틀림을 방지 또는 최소화할 수 있다.The reinforcing
도 6는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 앞서 도 2를 참조하여 설명한 구성과 동일한 구성은 생략하고, 이하 차이점 위주로 설명한다.6 is a perspective view schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention. Configurations identical to those described above with reference to FIG. 2 will be omitted, and differences will be mainly described below.
도 6을 참조하면, 검사장치(1)는 표시패널(P)의 이송 및 반전을 모두 수행할 수 있는 이송반전부(50)를 구비할 수 있다. 이송반전부(50)는 제1방향(DR1)을 따라 표시패널(P)을 이송하거나, 표시패널(P)을 반전시킬 수 있다. Referring to FIG. 6 , the
이송반전부(50)는 중심프레임(510), 아암(arm)(520), 및 흡착유닛(530)을 포함할 수 있다. 중심프레임(510)은 제1방향(DR1)을 따라 연장되며, 회전축선(RA)과 동일 선상에 놓일 수 있다. 아암(arm)(520)은 제1방향(DR1)과 교차하는 제2방향(DR2)으로 연장되며 중심프레임(510)을 관통하도록 배치될 수 있다. 흡착유닛(530)은 아암(520) 상에 제2방향(DR2)을 따라 배치되며 표시패널(P)을 흡착시킬 수 있다. 흡착유닛(530)은 표시패널(P)과 직접 접촉하는 흡착패드(531) 및 흡착패드(531)를 지지하는 흡착봉(532)을 포함할 수 있다. 흡착패드(531)는 흡착봉(532)의 양측 단부에 모두 배치될 수 있다. 흡착봉(532)은 아암(520)에 대해 상하 이동 가능하게 부착될 수 있다. The
아암(520)은 중심프레임(510)을 회전축선(RA)으로 하여 회전되거나 제2방향(DR2)을 따라 슬라이딩될 수 있다. 이송반전부(50)는, 아암(520)을 제2방향(DR2)을 따라 슬라이딩 시키는 선형구동유닛(540) 및 중심프레임(510)에 회전력을 제공하는 회전구동유닛(550)을 더 포함할 수 있다. The
일 실시예로, 선형구동유닛(540)은 랙앤피니언모터, 리니어모터 등일 수 있다. 선형구동유닛(540)이 랙앤피니언모터인 경우, 이는 중심프레임(510)의 내부 또는 하부에서 아암(520)에 인접하도록 배치될 수 있다. 선형구동유닛(540)이 리니어모터인 경우, 리니어모터의 스케일은 중심프레임(510)의 내부 또는 하부에서 아암(520)에 인접하도록 배치되고, 리니어모터의 이동자는 아암(520)에 배치될 수 있다. 도 6에서 일 예로서 선형구동유닛(540)이 중심프레임(510) 내부에 배치되는 경우에 대해 선형구동유닛(540)의 위치를 점선으로 도시하였다.In one embodiment, the
일 실시예로, 회전구동유닛(550)은 중심프레임(510)의 일 측에 배치되며, 회전축(551) 및 구동부(552)를 포함할 수 있다. 회전축(551)은 중심프레임(510)의 일 단부와 구동부(552)를 연결하고, 구동부(552)는 회전축(551)을 통해 중심프레임(510)에 회전력을 전달할 수 있다. In an embodiment, the
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면도로, 도 6의 이송반전부에 의해 기판이 반전되는 단계를 도시하고 있다. 7A to 7D are side views schematically illustrating a part of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention, illustrating a step in which the substrate is inverted by the transfer reversing unit of FIG. 6 .
우선 도 7a를 참조하면, 이송반전부(50)의 중심프레임(510)은 제1위치(PO1)에 위치한다. 표시패널(P)은 이송라인(TL, 도 1)으로부터 제1위치(PO1)에 있는 이송반전부(50) 상으로 투입될 수 있다.First, referring to FIG. 7A , the
제어부(30, 도 1)는 이송반전부(50)의 위치 정보, 이송반전부(50) 상으로의 표시패널(P)의 투입 정보 및 표시패널(P)의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여, 이송반전부(50)의 구동 방식을 결정할 수 있다. The control unit 30 (FIG. 1) includes information on the position of the
제어부(30)가 이송반전부(50)의 이송을 결정한 경우, 이송반전부(50)의 아암(520) 상에 배치된 흡착유닛(530)이 표시패널(P)을 흡착시킨 뒤 아암(520)이 중심프레임(510)에 대해 슬라이딩 되어 표시패널(P)을 이송시킬 수 있다. 검사부(40)는 이송된 표시패널(P)대해 외관 검사를 수행할 수 있다.When the
반면에, 중심프레임(510)이 제1위치(PO1)에 위치하며 표시패널(P)이 이송반전부(50) 상으로 투입되었고 제2면에 대한 검사가 요구되는 경우, 제어부(30)가 이송반전부(50)의 반전을 결정할 수 있다. 제어부(30)가 이송반전부(50)의 반전을 결정한 경우, 이송반전부(50)의 아암(520) 상에 배치된 흡착유닛(530)이 표시패널(P)을 흡착시킬 수 있다. On the other hand, when the
도 7b를 참조하면, 흡착유닛(530)의 흡착이 완료되면, 이송반전부(50)의 회전구동유닛(550)은 회전축(231)을 통해 회전력을 인가하여 아암(520)을 제2위치(PO2)로 회전시킨다. 회전각도는 실질적으로 180도일 수 있고, 180도보다 크거나 작은 각도일 수 있다. 이송반전부(50)의 회전을 통해 표시패널(P)의 반전이 이루어질 수 있다. 7B, when the adsorption of the
도 7c를 참조하면, 반전이 완료된 후, 흡착유닛(530)은 흡착을 해제하고 표시패널(P)을 검사스테이지(410) 상에 안착시킬 수 있다. 이후, 흡착봉(532)이 아암(520)에 대해 슬라이딩 되어 상방으로 이동할 수 있다. Referring to FIG. 7C , after the inversion is completed, the
도 7d를 참조하면, 회전구동유닛(550)은 반대 방향으로 회전력을 인가하여, 다음의 반전 단계를 실시할 수 있도록 제2위치(PO2)의 아암(520)을 다시 제1위치(PO1)로 복귀시킬 수 있다. 그런 다음, 검사스테이지(410) 상의 표시패널(P)에 대한 외관 검사가 수행될 수 있다. Referring to FIG. 7D , the
이송 및 반전을 모두 수행할 수 있는 이송반전부(50)를 통해 표시패널(P)을 간단하고 효율적으로 이송 및 반전시킬 수 있다. 투입된 표시패널(P)의 정보 및 검사장치(1)의 상태 정보에 기초하여 필요에 따라 표시패널(P)의 이송 및 반전을 선택적으로 실시하여 표시패널(P)의 외관 검사를 선택적으로 수행하므로, 효율적인 검사가 가능하다. 또한, 일원화된 검사부(40)로 표시패널(P)의 제1면 및 제2면 모두를 검사할 수 있어, 불필요한 단계를 줄이고 간단하고 효율적이며 나아가 신뢰성이 향상된 검사를 실시할 수 있다.The display panel P can be simply and efficiently transferred and inverted through the
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것 이다. Although the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, which is merely exemplary, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
1
검사장치
P
표시패널
TL
이송라인
10
이송부
20
반전부
30
제어부
40
검사부
50
이송반전부1 Inspection device
P display panel
TL transfer line
10 transport
20 Reversal
30 control
40 inspection department
50 transfer reversing part
Claims (19)
상기 이송부를 부분적으로 둘러싸며, 투입된 표시패널을 반전시키는 반전부;
상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 제어부; 및
상기 이송부의 일 측에 배치되며, 상기 표시패널의 외관을 검사하는 검사부;를 포함하고,
상기 반전부는,
반전프레임;
상기 반전프레임 상에 배치되며, 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛; 및
상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연장된 회전축선을 중심으로 상기 반전프레임을 회전시키는 회전구동유닛;을 포함하는, 표시패널 검사장치.a transfer unit for transferring the display panel in a first direction;
an inverting unit partially surrounding the transfer unit and inverting the input display panel;
a control unit that determines whether the inversion unit is driven; and
an inspection unit disposed on one side of the transfer unit and inspecting an external appearance of the display panel; and
The inversion part,
reverse frame;
an adsorption unit disposed on the inverting frame and adsorbing the display panel; and
and a rotation driving unit configured to rotate the inversion frame about a rotation axis extending along a second direction intersecting the first direction.
상기 흡착유닛은,
상기 표시패널에 직접 접촉하는 흡착패드; 및
상기 흡착패드를 지지하는 흡착봉;을 포함하는, 표시패널 검사장치.According to claim 1,
The adsorption unit is
a suction pad in direct contact with the display panel; and
A display panel inspection device comprising a; a suction rod supporting the suction pad.
상기 흡착유닛의 상기 흡착봉은, 상기 반전프레임에 대해 상하 이동이 가능하게 결합되는, 표시패널 검사장치.3. The method of claim 2,
and the adsorption rod of the adsorption unit is coupled to be movable up and down with respect to the inversion frame.
상기 제어부는,
상기 반전부의 위치를 감지하는 위치감지부;
상기 반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부; 및
상기 표시패널의 식별 정보를 수신하고, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 판단부;를 포함하는, 표시패널 검사장치.According to claim 1,
The control unit is
a position sensing unit for detecting the position of the inversion unit;
an input detection unit having a sensor for detecting whether the display panel is inserted into the inversion unit; and
and a determination unit configured to receive identification information of the display panel and determine whether to drive the inversion unit.
상기 반전부의 상기 회전구동유닛은, 상기 반전프레임과 연결되는 회전축; 및 상기 회전축을 통해 상기 반전프레임에 회전력을 인가하는 구동부;를 포함하는, 표시패널 검사장치.According to claim 1,
The rotation driving unit of the inversion unit may include: a rotation shaft connected to the inversion frame; and a driving unit that applies a rotational force to the inversion frame through the rotation shaft.
상기 검사부는,
검사 대상이 되는 표시패널이 놓이는 검사스테이지; 및 상기 검사스테이지의 상부에 배치되고, 상기 표시패널을 향하도록 배치되는 광학 장치;를 포함하는, 표시패널 검사장치.According to claim 1,
The inspection unit,
an inspection stage on which a display panel to be inspected is placed; and an optical device disposed on the inspection stage and facing the display panel.
상기 반전프레임은 상기 회전축선이 놓이는 일 단부의 반대편 단부에 보강 리브(rib)를 구비하는, 표시패널 검사장치.According to claim 1,
and the inversion frame has a reinforcing rib at an end opposite to one end on which the rotation axis is placed.
상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 제어부; 및
상기 이송반전부의 일 측에 배치되며, 상기 표시패널의 외관을 검사하기 위한 검사부; 를 포함하고,
상기 이송반전부는,
제1방향 따라 연장된 중심프레임;
상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장되며, 상기 중심프레임을 관통하도록 배치되는 아암(arm); 및
상기 아암 상에 상기 제2방향을 따라 배치되며, 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛;을 포함하며,
상기 아암은 상기 중심프레임을 회전축선으로 하여 회전되거나 상기 제2방향을 따라 슬라이딩되는, 표시패널 검사장치.a transfer reversing unit for transferring the display panel in a first direction or for inverting the display panel;
a control unit for determining a driving method of the transfer reversing unit; and
an inspection unit disposed on one side of the transfer reversing unit and configured to inspect an external appearance of the display panel; including,
The transfer inversion unit,
a central frame extending along the first direction;
an arm extending in a second direction intersecting the first direction and disposed to pass through the central frame; and
and an adsorption unit disposed on the arm along the second direction and adsorbing the display panel;
and the arm is rotated about the central frame as a rotation axis or slid along the second direction.
상기 흡착유닛은,
상기 표시패널에 직접 접촉하는 흡착패드; 및
상기 흡착패드를 지지하고, 상기 아암에 대해 상하 이동 가능하게 부착되는 흡착봉;을 포함하는, 표시패널 검사장치.9. The method of claim 8,
The adsorption unit is
a suction pad in direct contact with the display panel; and
and a suction rod supporting the suction pad and movably attached to the arm to move up and down.
상기 이송반전부는,
상기 아암을 상기 제2방향을 따라 슬라이딩 시키는 선형구동유닛; 및
상기 중심프레임에 회전력을 제공하는 회전구동유닛;을 더 포함하는, 표시패널 검사장치.9. The method of claim 8,
The transfer inversion unit,
a linear driving unit for sliding the arm along the second direction; and
The display panel inspection apparatus further comprising; a rotation driving unit for providing a rotational force to the central frame.
상기 제어부는,
상기 이송반전부의 위치를 감지하는 위치감지부;
상기 이송반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부; 및
상기 표시패널의 식별 정보를 수신하고, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 판단부;를 포함하는, 표시패널 검사장치.9. The method of claim 8,
The control unit is
a position sensing unit for detecting the position of the transfer reversing unit;
an input detection unit having a sensor for detecting whether the display panel is inserted onto the transfer reversing unit; and
and a determination unit configured to receive identification information of the display panel and determine a driving method of the transfer reversing unit.
상기 검사부는,
검사 대상이 되는 표시패널이 놓이는 검사스테이지; 및 상기 검사스테이지의 상부에 배치되고, 상기 표시패널을 향하는 하방으로 광을 조사하는 광학 장치;를 포함하는, 표시패널 검사장치.10. The method of claim 9,
The inspection unit,
an inspection stage on which a display panel to be inspected is placed; and an optical device disposed on the inspection stage and irradiating light downward toward the display panel.
상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 단계;
상기 반전부의 구동을 결정한 경우, 상기 반전부의 반전프레임에 배치된 흡착유닛이 상기 표시패널을 흡착시키는 단계;
상기 반전프레임의 일 단부에 놓이는 회전축선을 중심으로 상기 반전부를 회전시켜 제2위치로 이동시키는 단계;
상기 흡착유닛의 흡착이 해제되고, 상기 표시패널이 이송부 상에 안착되는 단계;
상기 이송부가 상기 표시패널을 검사스테이지로 이송시키는 단계;
상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계;를 포함하는, 표시패널 검사방법.putting the display panel to be inspected on the inverting unit at the first position;
determining whether to drive the inversion unit;
adsorbing the display panel by an adsorption unit disposed on an inversion frame of the inversion unit when it is determined to drive the inversion unit;
rotating the inversion unit around a rotation axis placed at one end of the inversion frame to move it to a second position;
disengaging the adsorption of the adsorption unit, and placing the display panel on a transfer unit;
transferring the display panel to an inspection stage by the transfer unit;
and inspecting the appearance of one surface of the display panel placed on the inspection stage.
상기 반전부의 구동을 결정하지 않은 경우, 상기 반전부의 회전 없이 상기 이송부가 상기 표시패널을 상기 검사스테이지로 이송시키는 단계; 및
상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계;를 포함하는, 표시패널 검사방법.14. The method of claim 13,
transferring the display panel to the inspection stage by the transfer unit without rotating the inversion unit when it is not determined to drive the inversion unit; and
and inspecting the appearance of one surface of the display panel placed on the inspection stage.
상기 표시패널이 상기 검사스테이지로 이송된 이후, 상기 반전부가 상기 제2위치에서 상기 제1위치로 복귀하는 단계;를 더 포함하는, 표시패널 검사방법.14. The method of claim 13,
and returning the inverting unit from the second position to the first position after the display panel is transferred to the inspection stage.
상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 단계는,
상기 반전부의 위치 정보, 상기 반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 정보 및 상기 표시패널의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 결정하는, 표시패널 검사방법.15. The method of claim 13 or 14,
The step of determining whether to drive the inversion unit,
The display panel inspection method is determined based on identification information including location information of the inverting part, information on putting the display panel onto the inverting part, and information on whether the display panel is inspected.
상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 단계;
상기 이송반전부의 아암 상에 배치된 흡착유닛이 상기 표시패널을 흡착시키는 단계;
상기 이송반전부의 중심프레임을 회전축선으로 하여 상기 아암을 회전시키는 단계;
상기 흡착유닛의 흡착을 해제하여, 상기 표시패널을 검사스테이지에 안착시키는 단계;
상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계;를 포함하는, 표시패널 검사방법.putting the display panel to be inspected on the transfer reversing unit at the initial position;
determining a driving method of the transfer inversion unit;
adsorbing the display panel by an adsorption unit disposed on the arm of the transfer reversing unit;
rotating the arm using the central frame of the transfer reversing unit as a rotation axis;
releasing the adsorption of the adsorption unit to seat the display panel on an inspection stage;
and inspecting the appearance of one surface of the display panel placed on the inspection stage.
상기 흡착유닛이 상기 아암에 대해 상기 검사스테이지의 반대 방향으로 슬라이딩되는 단계; 및
상기 아암이 슬라이딩되어 상기 초기 위치로 복귀하는 단계;를 더 포함하는, 표시패널 검사방법.18. The method of claim 17,
sliding the adsorption unit in a direction opposite to the test stage with respect to the arm; and
The method of claim 1, further comprising: sliding the arm to return to the initial position.
상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 단계는,
상기 이송반전부의 위치 정보, 상기 이송반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 정보 및 상기 표시패널의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 결정하는, 표시패널 검사방법.18. The method of claim 17,
The step of determining the driving method of the transfer reversing unit,
The display panel inspection method is determined based on identification information including location information of the transfer reversing unit, input information of the display panel onto the transfer reversing unit, and information on whether the display panel is inspected.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200022374A KR20210107962A (en) | 2020-02-24 | 2020-02-24 | Apparatus and method for Inspection of display panel |
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---|---|---|---|---|
CN113945521A (en) * | 2021-10-26 | 2022-01-18 | 上海麟图智能科技有限公司 | Detection method for detecting appearance defects of mobile phone cover plate glass and transmission device thereof |
-
2020
- 2020-02-24 KR KR1020200022374A patent/KR20210107962A/en active Search and Examination
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