KR20210099071A - discharge electrode plate - Google Patents

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KR20210099071A
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discharge electrode
discharge
heat
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glass
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KR1020217020487A
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Korean (ko)
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가쓰야 아라이
미에코 스가와라
겐이치 고바야시
히데토시 고미야
쇼고 마쓰이
준 니시고리
나오히사 모리
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아토비무 유겐가이샤
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T19/00Devices providing for corona discharge

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Abstract

(목적) 본 발명은, 코로나 방전시키는 가늘고 긴 방전전극을 형성하는 방전전극판에 관한 것으로서, 코로나 방전에 의한 열화를 저감시켜서 수명을 장기화하는 것을 목적으로 한다.
(구성) 내열성 재료로 작성된 내열성 판과, 내열성 판 상에 가늘고 길게 또는 내열성 판 상에 형성된 가늘고 긴 홈 내에 도전성 글라스를 도포, 소성하여 형성되는 방전전극을 구비하고, 방전전극을 전자도전성의 도전성 글라스로 형성하여 코로나 방전에 의한 열화를 저감시켜서 수명이 장기화되도록 하고 있다.
(Objective) The present invention relates to a discharge electrode plate for forming an elongated discharge electrode for corona discharge.
(Configuration) A heat-resistant plate made of a heat-resistant material, and a discharge electrode formed by coating and firing a conductive glass in an elongated or elongated groove formed on the heat-resistant plate, wherein the discharge electrode is formed of an electronically conductive conductive glass It is formed to reduce the deterioration caused by corona discharge, so that the lifespan is prolonged.

Description

방전전극판discharge electrode plate

본 발명은, 코로나 방전(corona 放電)시키는 가늘고 긴 방전전극을 형성하는 방전전극판(放電電極板)에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge electrode plate for forming an elongated discharge electrode for corona discharge.

종래에 있어서 고분자 수지의 표면을 개질(改質)하여 매끈한 표면을 작은 요철(凹凸) 또는 거친 모양으로 하는 방법 중 하나로서, 대기 중에서 코로나 방전을 일으켜서 하는 방법이 있다.In the prior art, as one of the methods of modifying the surface of a polymer resin to make a smooth surface into small irregularities or rough shapes, there is a method in which corona discharge is generated in the air.

이와 같이 코로나 방전을 일으켜서 고분자 수지를 통과시킴으로써, 플라스마 중의 활성화된 이온이 수지의 표면을 적절하게 요철화 또는 들쭉날쭉하게 한다.By causing the corona discharge to pass through the polymer resin in this way, the activated ions in the plasma appropriately make the surface of the resin uneven or jagged.

고분자 수지의 표면이 작은 요철형상이 되면, 발수성(撥水性)에서 친수성(親水性)으로 변화된다. 예를 들면, 응용제품으로서 김을 말리는 발의 표면은 작은 요철화가 되어 있으면 좋다. 이에 따라 해수(海水)에서 끌어 올린 김은 그에 상응하는 밀착성을 구비하지만, 고분자 수지의 표면이 반들반들한 상태에서는, 이 밀착성은 얻어지지 않아서 발에 김이 부착되지 않는다.When the surface of the polymer resin has a small concavo-convex shape, it changes from water repellency to hydrophilic property. For example, as an application product, the surface of a foot for drying steam should be made with small concavities and convexities. Accordingly, the laver pulled from the seawater has a corresponding adhesion, but in a state where the surface of the polymer resin is smooth, this adhesion is not obtained and the laver does not adhere to the foot.

이와 같이 고분자 수지의 표면개질처리는, 대기 중에서 코로나 방전을 일으켜서 이루어지고 있다. 이 방전전극의 재질은, 종래에는 금속류(예를 들면, 스테인리스, 텅스텐)가 사용되고 있었다.As described above, the surface modification treatment of the polymer resin is performed by generating a corona discharge in the air. As the material of the discharge electrode, metals (eg, stainless steel, tungsten) have been conventionally used.

그러나 종래에 있어서 코로나 방전시키는 방전재료로서 금속류(스테인리스, 텅스텐)를 사용한 경우에는, 코로나 방전 플라스마하에서 다량으로 발생하는 오존(O3) 때문에 매우 짧은 시간(빠른 것은 1주일 정도)에 표면이 산화되어, 방전전극의 표면으로부터의 전자의 공급이 원활하게 이루어지지 않게 됨으로써, 사용할 수 없게 되어 버린다는 문제점이 있었다.However, in the prior art, when metals (stainless steel, tungsten) are used as a discharge material for corona discharge, the surface is oxidized in a very short time (about one week at the earliest) due to ozone (O 3 ) generated in a large amount under the corona discharge plasma. However, there was a problem in that the supply of electrons from the surface of the discharge electrode was not performed smoothly, so that it could not be used.

또한 방전전극이 단시간(1주일 정도)에 표면이 산화되어 방전이 이루어질 수 없게 되어, 방전전극을 교환하는 것이 요구된다는 문제도 있었다.Also, the surface of the discharge electrode is oxidized in a short period of time (about one week), so that discharge cannot be made, and there is a problem that replacement of the discharge electrode is required.

본 발명자들은, 방전전극재료로서 도전성 글라스가 코로나 방전시켜도 전자의 공급이 원활하게 장기간에 걸쳐서 이루어지는 것을 실험에 의하여 발견하였다.The present inventors have discovered through experiments that the supply of electrons is smoothly performed over a long period of time even when conductive glass as a discharge electrode material is subjected to corona discharge.

그 때문에, 본원발명은 코로나 방전시키는 가늘고 긴 방전전극을 형성하는 방전전극판에 있어서, 내열성 재료로 작성된 내열성 판과, 내열성 판 상에 가늘고 길게 또는 내열성 판 상에 형성된 가늘고 긴 홈 내에, 도전성 글라스를 도포, 소성하여 형성되는 방전전극을 구비하고, 방전전극을 전자도전성의 도전성 글라스로 형성하여 코로나 방전에 의한 열화를 저감시켜서 수명을 장기화하도록 하고 있다.Therefore, the present invention relates to a discharge electrode plate for forming an elongated discharge electrode for corona discharge, a heat-resistant plate made of a heat-resistant material, and a conductive glass in an elongated groove formed on the heat-resistant plate or on the heat-resistant plate. A discharge electrode formed by coating and firing is provided, and the discharge electrode is formed of electroconductive conductive glass to reduce deterioration due to corona discharge, thereby prolonging the lifespan.

이때에 도전성 글라스는, 바나듐, 바륨, 철로 구성되는 바나듐산염 글라스로 하도록 하고 있다.At this time, the conductive glass is made of vanadate glass composed of vanadium, barium, and iron.

또한 내열성 판은, 내열 글라스로 하도록 하고 있다.Further, the heat-resistant plate is made of heat-resistant glass.

또한 방전전극에 납땜하여 리드선을 접속하도록 하고 있다.In addition, a lead wire is connected by soldering to the discharge electrode.

또한 방전전극에 대한 리드선의 납땜은, 초음파 납땜을 하도록 하고 있다.The soldering of the lead wire to the discharge electrode is performed by ultrasonic soldering.

또한 도전성 글라스를 도포, 소성하여 방전전극을 형성하는 것은, 도전성 글라스의 분말을 포함하는 페이스트를 생성하고, 이 생성된 페이스트를 도포, 소성하여 전자도전성의 방전전극을 형성하도록 하고 있다.In addition, in forming a discharge electrode by coating and firing conductive glass, a paste containing a powder of conductive glass is generated, and the resulting paste is applied and fired to form an electronically conductive discharge electrode.

또한 방전전극과 대면하는 다른 전극 또는 방전전극과 배면하는 다른 전극과의 사이에 10KHz∼30KHz 범위 내의 고주파 전압을 인가하여, 방전전극의 주위에서 코로나 방전을 시키도록 하고 있다.In addition, a high-frequency voltage within a range of 10 KHz to 30 KHz is applied between the discharge electrode and the other electrode facing the discharge electrode or between the discharge electrode and the other electrode facing the discharge electrode to cause corona discharge around the discharge electrode.

[도1] 본 발명의 방전전극판의 구성예이다.
[도2] 본 발명의 제조공정의 플로차트이다.
[도3] 본 발명의 ABL 글라스 페이스트 도포방법의 플로차트이다.
[도4] 본 발명의 ABL 글라스 페이스트의 설명도이다.
[도5] 본 발명의 스크린 인쇄조건예의 설명도이다.
[도6] 본 발명의 초음파 납땜조건예의 설명도이다.
[도7] 본 발명의 코로나 방전의 동작조건예의 설명도이다.
[도8] 본 발명의 샘플 사양의 예이다.
[도9] 본 발명의 소성조건에 의한 결정성 차이의 설명도이다.
[도10] 본 발명의 홈 유무의 설명도이다.
[도11] 본 발명의 전극재료의 설명도이다.
[도12] 본 발명의 전극부의 구조예이다.
[Fig. 1] A configuration example of the discharge electrode plate of the present invention.
[Fig. 2] It is a flowchart of the manufacturing process of the present invention.
[Figure 3] A flowchart of the ABL glass paste application method of the present invention.
4 is an explanatory view of the ABL glass paste of the present invention.
[Fig. 5] It is explanatory drawing of the example of screen printing conditions of this invention.
[Fig. 6] It is explanatory drawing of the example of ultrasonic soldering conditions of this invention.
[Fig. 7] It is an explanatory diagram of an example of the operation condition of corona discharge according to the present invention.
[Fig. 8] An example of a sample specification of the present invention.
[Fig. 9] It is an explanatory diagram of the crystallinity difference according to the firing conditions of the present invention.
[Fig. 10] It is explanatory drawing of the presence or absence of a groove|channel of this invention.
11] It is explanatory drawing of the electrode material of this invention.
12 is a structural example of the electrode part of the present invention.

(실시예1)(Example 1)

도1은, 본 발명의 방전전극판(放電電極板)의 구성예를 나타낸다.Fig. 1 shows a configuration example of a discharge electrode plate of the present invention.

도1에 있어서, 내열 글라스판(耐熱 glass板)(1)은 방전전극(3)을 지지하는 것으로서, 코로나 방전(corona 放電)에 의하여 고온이 되기 때문에 그에 견딜 수 있는 내열성의 판이다.In Fig. 1, a heat-resistant glass plate 1 supports the discharge electrode 3, and is a heat-resistant plate that can withstand high temperature due to corona discharge.

홀(hole)(2)은, 내열 글라스판(1)을 장치(도시하지 않음)에 고정하기 위한 홀이다.The hole 2 is a hole for fixing the heat-resistant glass plate 1 to an apparatus (not shown).

방전전극(3)은 코로나 방전시키는 전극으로서, 여기에서는 도전성 글라스(導電性 glass)를 도포, 소성하여 형성한 가늘고 긴 전극이다. 실험에서는 폭이 1mm 내지 30mm 정도, 길이는 10cm, 또한 실현할 수 있으면 얼마든지 길어도 좋다.The discharge electrode 3 is an electrode for corona discharge, and is an elongated electrode formed by coating and firing conductive glass. In the experiment, the width is about 1 mm to 30 mm, the length is 10 cm, and as long as it can be realized, it may be as long as possible.

납땜(5)은, 리드선(6)을 납땜한 것을 도식적으로 나타내는 것이다. 여기에서는 방전전극(3)을 도전성 글라스로 작성하였기 때문에, 초음파 납땜에 의하여 리드선(6)을 납땜한다. 통상의 초음파 없는 납땜은 곤란하다.Soldering 5 schematically shows that lead wire 6 is soldered. Here, since the discharge electrode 3 is made of conductive glass, the lead wire 6 is soldered by ultrasonic soldering. Soldering without ordinary ultrasonic waves is difficult.

리드선(6)은, 방전전극(3)에 납땜하여 고주파 전압을 인가함으로써, 방전전극(3)의 주위에서 코로나 방전시키기 위한 전원을 공급하는 것이다.The lead wire 6 supplies power for corona discharge around the discharge electrode 3 by soldering it to the discharge electrode 3 and applying a high-frequency voltage.

다음에, 도2의 플로차트의 순서에 따라 도1의 제조공정을 상세하게 설명한다.Next, the manufacturing process of FIG. 1 will be described in detail according to the sequence of the flowchart of FIG.

도2는, 본 발명의 제조공정의 플로차트를 나타낸다.Fig. 2 shows a flowchart of the manufacturing process of the present invention.

도2에 있어서, S1에서는 ABL 글라스 페이스트(ABL glass paste)를 준비한다. 즉, 도1의 방전전극(도전성 글라스)(3)을 형성하는 도전성 페이스트인 ABL 글라스 페이스트(도전성 글라스 페이스트의 명칭)를 준비한다(후술하는 도4를 참조).In Figure 2, in S1, ABL glass paste (ABL glass paste) is prepared. That is, ABL glass paste (name of conductive glass paste) which is a conductive paste for forming the discharge electrode (conductive glass) 3 of FIG. 1 is prepared (refer to FIG. 4 to be described later).

S2에서는 ABL 글라스 페이스트를 도포한다. 즉, S1에서 준비한 ABL 글라스 페이스트를, 도1의 방전전극(3)을 형성하는 패턴으로 스크린 인쇄하여, 약 500μm 두께로 도포한다.In S2, ABL glass paste is applied. That is, the ABL glass paste prepared in S1 is screen-printed in a pattern for forming the discharge electrode 3 of FIG. 1 and applied to a thickness of about 500 μm.

S3에서는 ABL 글라스 페이스트를 건조시킨다. 즉, S2에서 ABL 글라스 페이스트를, 도1의 방전전극(3)의 패턴으로 스크린 인쇄하여 도포하였기 때문에, 도포된 패턴의 ABL 글라스 페이스트를 100℃, 1시간 동안 열풍건조시킨다.In S3, the ABL glass paste is dried. That is, since the ABL glass paste was applied by screen printing in the pattern of the discharge electrode 3 of FIG. 1 in S2, the ABL glass paste of the applied pattern was dried with hot air at 100° C. for 1 hour.

S4에서는 소성을 한다. 즉, S3에서 열풍건조한 후에 500℃∼600℃에서 소성을 한다. 소성은, 적외선 램프에 의하여 조사(照射)하거나 또는 소성로(燒成爐)에 넣어서 하면 좋다(도8을 참조).At S4, firing is carried out. That is, after hot air drying in S3, firing is carried out at 500°C to 600°C. Firing may be performed by irradiating it with an infrared lamp or putting it in a kiln (refer to Fig. 8).

S5에서는 전극에 리드선을 부착한다. S4에서 소성한 후의 도1의 방전전극(3)에 리드선(6)을 초음파 납땜한다.In S5, a lead wire is attached to the electrode. The lead wire 6 is ultrasonically soldered to the discharge electrode 3 of Fig. 1 after firing in S4.

이상과 같이, 도1의 내열 글라스판(1) 상에 ABL 글라스 페이스트를 스크린 인쇄하고, 건조, 소성하여, 전자도전성(電子導電性)이며 코로나 방전에 의하여 열화되지 않고 수명이 긴 방전전극(3)을 형성하는 것이 가능하게 되었다.As described above, the ABL glass paste is screen-printed on the heat-resistant glass plate 1 of FIG. 1, dried and fired, and the discharge electrode 3 is electrically conductive and is not deteriorated by corona discharge and has a long lifespan. ) can be formed.

이하, 순차적으로 상세하게 설명한다.Hereinafter, it will be described in detail sequentially.

도3은, 본 발명의 ABL 글라스 페이스트 도포방법의 플로차트를 나타낸다. 즉, 이미 설명한 도2의 S2, S3, S4의 상세 플로차트를 나타낸다.3 shows a flowchart of the ABL glass paste application method of the present invention. That is, detailed flowcharts of S2, S3, and S4 of FIG. 2 described above are shown.

도3에 있어서, S11에서는 ABL 글라스 페이스트를 스크린 인쇄하여 기판에 도포한다. 즉, ABL 글라스 페이스트를 도1의 방전전극(3)의 패턴이 되도록 스크린 인쇄한다.3, in S11, ABL glass paste is screen-printed and applied to the substrate. That is, the ABL glass paste is screen-printed to form the pattern of the discharge electrode 3 of FIG.

S12에서는 건조한 대기 중에 방치한다. 즉, S11에서 스크린 인쇄한 후에, 건조한 대기 중에 2∼24시간 방치하여 자연건조시킨다.In S12, it is left in a dry atmosphere. That is, after screen printing in S11, it is left to stand in a dry atmosphere for 2 to 24 hours to dry naturally.

S13에서는 용제 제거를 한다. 즉, S12에서 자연건조한 후에, 용제를 완전히 증발시키기 위하여 전기로에서 40∼100℃, 100분 동안 건조를 한다.In S13, the solvent is removed. That is, after natural drying in S12, in order to completely evaporate the solvent, it is dried in an electric furnace at 40-100° C. for 100 minutes.

S14에서는 소성을 한다. 즉, 500℃∼600℃의 전기로에 넣거나 또는 적외선 램프를 조사하여 소성(도8을 참조)을 하여, 방전전극(3)의 패턴(ABL 글라스 페이스트를 도포)이 완전히 도전성 글라스가 되도록 어닐링(annealing)을 함과 아울러, 내열 글라스판(1)에 고착시킨다.At S14, firing is performed. That is, annealing is performed so that the pattern (ABL glass paste is applied) of the discharge electrode 3 is completely conductive glass by putting it in an electric furnace at 500°C to 600°C or by irradiating an infrared lamp and firing (see FIG. ) while being fixed to the heat-resistant glass plate (1).

이상에 의하여, ABL 글라스 페이스트를 사용하여 방전전극(3)의 패턴을 도1의 내열 글라스판(1) 상에 스크린 인쇄하고, 자연건조, 열풍건조, 소성을 하여, 저저항(低抵抗)이고 또한 코로나 방전에 대하여 열화되지 않고 수명이 긴 도전성 글라스의 방전전극(3)을 형성하는 것이 가능하게 되었다.As described above, the pattern of the discharge electrode 3 is screen-printed on the heat-resistant glass plate 1 of FIG. 1 using the ABL glass paste, and is naturally dried, hot air dried, and fired to obtain low resistance. Furthermore, it became possible to form the discharge electrode 3 of conductive glass with a long service life without being deteriorated by corona discharge.

도4는, 본 발명의 ABL 글라스 페이스트의 설명도를 나타낸다. 즉, 스크린 인쇄에 사용하는 ABL 글라스 페이스트(도전성 글라스 페이스트)의 설명도를 나타낸다.Fig. 4 shows an explanatory view of the ABL glass paste of the present invention. That is, the explanatory drawing of the ABL glass paste (conductive glass paste) used for screen printing is shown.

도4에 있어서의 성분예는, ABL 글라스 페이스트를 작성하기 위하여 필요한 성분의 예를 나타낸다. 여기에서 도면에 나타내는 성분, 농도범위(중량%), 비고는 하기와 같다.The component example in FIG. 4 shows the example of the component required in order to create an ABL glass paste. Components, concentration ranges (wt%), and remarks shown in the drawings are as follows.

Figure pct00001
Figure pct00001

여기에서, 성분예의 바나듐산염 글라스는 주재(主材)로서, 2∼3μm 정도의 분체 60∼85중량%로 이루어진다. 다음의 디에틸렌글리콜모노부틸아세테이트는 유기재로서, 주재입자를 결합하는 것이고 10∼30중량%로 이루어진다. 다음의 테르피네올은 유기용매로서, 페이스트 농도를 조정하는 것이고 5∼15중량%로 이루어진다. 다음의 셀룰로오스계 수지는, 도포재료(여기에서는 도1의 내열 글라스판(1))에 접착하기 위한 것이고 1∼10중량%로 이루어진다.Here, the vanadate glass of the component example consists of 60-85 weight% of powder of about 2-3 micrometers as a main material. The following diethylene glycol monobutyl acetate is an organic material, which binds the main particles, and consists of 10 to 30% by weight. The following terpineol is an organic solvent, which adjusts the paste concentration and consists of 5 to 15% by weight. The following cellulosic resin is for adhering to a coating material (here, the heat-resistant glass plate 1 in Fig. 1), and is composed of 1 to 10% by weight.

이상의 비율로 혼합하여 혼련(混練)함으로써 ABL 글라스 페이스트를 작성할 수 있다.ABL glass paste can be prepared by mixing and kneading in the above ratio.

도5는, 본 발명의 스크린 인쇄조건예의 설명도를 나타낸다. 도5는, 도3의 S11에서 ABL 글라스 페이스트를 사용하여 도1의 내열 글라스판(1) 상에 방전전극(도전성 글라스)(3)의 패턴을 스크린 인쇄할 때의 인쇄조건의 개략을 기재한 것이다.Fig. 5 shows an explanatory diagram of an example of screen printing conditions of the present invention. Fig. 5 is an outline of the printing conditions when screen printing the pattern of the discharge electrode (conductive glass) 3 on the heat-resistant glass plate 1 of Fig. 1 using the ABL glass paste in S11 of Fig. 3 will be.

도5에 있어서, 항목은 스크린 인쇄할 때의 항목이고, 조건예는 각 항목의 스크린 인쇄할 때의 조건이고, 비고는 각 항목, 조건에 요구되는 재료, 입경(粒徑) 등의 정보를 기재한 것으로서, 예를 들면 도면에 나타내는 하기와 같다.In Fig. 5, the items are items for screen printing, the example conditions are the conditions for screen printing of each item, and the remarks describe information such as each item, material required for the condition, particle size, and the like. As one thing, it is as follows shown in drawing, for example.

Figure pct00002
Figure pct00002

여기에서, 스크린 선지름은 스크린 인쇄할 때의 스크린 메시의 선지름으로서, 여기에서는 16μm의 것을 사용하였다. 스크린 메시는 ABL 글라스 페이스트의 용제에 의한 부식의 영향이 없는 재료인 것이 필요하다.Here, the screen wire diameter is the wire diameter of the screen mesh at the time of screen printing, and the thing of 16 micrometers was used here. The screen mesh needs to be a material that is not affected by corrosion by the solvent of the ABL glass paste.

메시는 325개/인치의 것을 사용하였다. 애퍼처(aperture)는, 메시의 애퍼처로서 62μm의 것을 사용하였다. 메시의 공간율은 63%이었다.A mesh of 325 pieces/inch was used. As the aperture, a 62 μm thing was used as the aperture of the mesh. The mesh space ratio was 63%.

이상의 항목, 조건, 비고를 구비한 스크린 인쇄에 의하여, 이미 설명한 도3의 S11의 스크린 인쇄 등을 하였다.By screen printing having the above items, conditions, and remarks, the screen printing of S11 in Fig. 3 described above was performed.

도6은, 본 발명의 초음파 납땜조건예의 설명도를 나타낸다. 도6은, 도1의 방전전극(도전성 글라스)(3)에 리드선(6)을 초음파 납땜할 때의 조건예의 설명도이다.Fig. 6 shows an explanatory diagram of an example of ultrasonic soldering conditions of the present invention. FIG. 6 is an explanatory diagram of an example of conditions when the lead wire 6 is ultrasonically soldered to the discharge electrode (conductive glass) 3 of FIG.

도6에 있어서, 항목예는 초음파 납땜할 때의 항목이고, 조건예는 각 항목의 초음파 납땜할 때의 조건이다.In Fig. 6, an example item is an item at the time of ultrasonic soldering, and an example condition is a condition at the time of ultrasonic soldering of each item.

Figure pct00003
Figure pct00003

여기에서, 초음파 출력은 초음파 납땜할 때의 초음파의 출력으로서, 1∼10W의 범위 내(바람직하게는 2W 정도 이하로 한다)에서 사용하였다. 땜납재료는 초음파 납땜할 때에 사용하는 땜납재료로서, 여기에서는 주석―아연계의 납 프리 땜납(lead-free solder)을 사용하였다. 인두팁 온도는, 초음파 납땜하는 납땜인두의 인두팁의 온도로서, 250℃∼450℃의 범위 내의 온도를 사용하였다(온도는 사용하는 땜납재료에 의존하기 때문에 실험에 의하여 최적의 인두팁 온도를 정한다). 초음파 주파수는, 실험에서는 20∼60KHz의 범위 내의 초음파 주파수를 사용하였다.Here, the ultrasonic power was used within the range of 1 to 10 W (preferably about 2 W or less) as the output of the ultrasonic wave during ultrasonic soldering. The solder material is a solder material used for ultrasonic soldering, and a tin-zinc lead-free solder is used here. As the temperature of the tip of the soldering iron for ultrasonic soldering, a temperature within the range of 250°C to 450°C was used (the optimum temperature of the tip is determined by experimentation because the temperature depends on the solder material used). As the ultrasonic frequency, an ultrasonic frequency within the range of 20 to 60 KHz was used in the experiment.

이상의 항목, 조건을 구비한 초음파 납땜에 의하여, 도1의 방전전극(도전성 글라스)(3)에 리드선(6)을 말끔하게 초음파 납땜할 수 있었다. 초음파 없는 통상의 납땜으로는, 납땜불량이 발생하여 납땜이 불가하였다.By ultrasonic soldering provided with the above items and conditions, it was possible to cleanly ultrasonically solder the lead wire 6 to the discharge electrode (conductive glass) 3 of FIG. With normal soldering without ultrasonic waves, soldering was not possible due to poor soldering.

도7은, 본 발명의 코로나 방전의 동작조건예의 설명도를 나타낸다. 즉, 이미 설명한 도1의 방전전극(도전성 글라스)(3)과, 대향(對向)하는 평면 평판(방전전극(3)보다 면적이 크다. 도시하지 않음) 또는 내열 글라스판(1)의 방전전극(3)을 형성한 면과 반대인 이면에 대향하는 평면 평판(방전전극(3)보다 면적이 크다. 도시하지 않음)의 사이에 고주파 전압(10KHz∼40KHz 정도)을 인가하여, 방전전극(3) 상을 덮도록 코로나 방전시킬 때의 동작조건예를 나타낸다(도10을 참조).Fig. 7 is an explanatory diagram showing an example of the operating conditions of the corona discharge according to the present invention. That is, discharge of the previously described discharge electrode (conductive glass) 3 of FIG. 1 and the opposing flat flat plate (larger area than the discharge electrode 3; not shown) or the heat-resistant glass plate 1 A high-frequency voltage (about 10 KHz to 40 KHz) is applied between a flat plate (larger in area than the discharge electrode 3, not shown) opposite to the surface on which the electrode 3 is formed, and the discharge electrode ( 3) An example of operating conditions for corona discharge to cover the phase is shown (refer to Fig. 10).

도7에 있어서, 항목예는 코로나 방전할 때의 항목이고, 조건예는 각 항목의 코로나 방전할 때의 조건이다.In Fig. 7, the example item is an item at the time of corona discharge, and the example condition is the condition at the time of corona discharge of each item.

Figure pct00004
Figure pct00004

여기에서, 인가전압은 코로나 방전할 때에 인가하는 전압으로서, 2∼10KV의 범위 내에서 사용하였다. 또한 주파수는 코로나 방전시킬 때의 주파수로서, 10KHz 이하의 주파수가 되면 공기 중의 산소, 질소 등의 원자가 전극에 충돌하여 전극을 스퍼터링(sputtering)하여 마모시켜 버릴 확률이 높아지기 때문에, 여기에서는 10KHz∼40KHz로 하였다.Here, the applied voltage is a voltage applied during corona discharge, and was used within the range of 2 to 10 KV. In addition, the frequency is the frequency at the time of corona discharge, and when the frequency is 10 KHz or less, atoms such as oxygen and nitrogen in the air collide with the electrode, and the probability of sputtering the electrode to wear out increases, so here it is 10 KHz to 40 KHz did.

이상의 항목, 조건을 구비함으로써, 도1의 방전전극(도전성 글라스)(3) 상을 덮도록 코로나 방전시키는 것이 가능하였다(후술하는 도10을 참조).By providing the above items and conditions, it was possible to perform corona discharge so as to cover the discharge electrode (conductive glass) 3 of FIG. 1 (refer to FIG. 10 to be described later).

도8은, 본 발명의 샘플의 예를 나타낸다. 즉, 도2의 플로차트의 순서에 따라 작성한 방전전극(도전성 글라스)(3)의 샘플에 대하여, 소성조건, 홈의 유무, 저항률을 측정한 예를 나타낸다.8 shows an example of a sample of the present invention. That is, an example in which firing conditions, presence or absence of grooves, and resistivity were measured for a sample of the discharge electrode (conductive glass) 3 prepared according to the procedure of the flowchart in FIG. 2 is shown.

도8에 있어서, No는 샘플의 번호이고, 소성조건은 ABL 글라스 페이스트를 도포하여 소성한 온도조건이고, 홈은 도1의 내열 글라스판(1) 상의 홈의 유무이고, 저항률은 리드선(6)으로부터 방전전극(3)의 말단까지의 저항률(Ω·cm)이다.In Fig. 8, No is the number of the sample, the firing conditions are the temperature conditions in which the ABL glass paste is applied and fired, the grooves are the presence or absence of grooves on the heat-resistant glass plate 1 of Fig. 1, and the resistivity is the lead wire 6 is the resistivity (Ω·cm) from to the end of the discharge electrode 3 .

Figure pct00005
Figure pct00005

여기에서 샘플(1)의 소성조건은 600℃, 30분 가열한 후에 급랭하고, 다음에 550℃, 30분 가열한 후에 자연냉각한 샘플을 나타낸다. 다른 샘플에 있어서도 동일한 방식으로 나타낸다.Here, the firing conditions of the sample (1) indicate a sample which is heated at 600° C. for 30 minutes, then quenched, and then cooled naturally after heating at 550° C. for 30 minutes. The other samples are shown in the same manner.

또한 샘플(1)∼(7)의 모두는, 도1의 리드선(6)으로부터 방전전극(도전성 글라스)(3)의 말단까지의 저항률이 도면에 나타내는 바와 같이 200∼47Ω·cm로서, 코로나 방전을 양호하게 발생시킬 수 있었다. 또한 방전전극(3)이 전자도전성의 글라스로 작성되어 있어, 코로나 방전에 의한 열화가 매우 적어서, 종래의 스테인리스 방전전극에 비하여 수명을 장기화할 수 있었다. 또한 도1의 내열 글라스판(1) 상에 방전전극(3)용의 홈이 있거나 또는 없는 어느 것이나 저항률은 약간 다르지만, 코로나 방전시키는 데에 충분한 저항률이었다.In all of samples (1) to (7), the resistivity from the lead wire 6 to the end of the discharge electrode (conductive glass) 3 in Fig. 1 was 200 to 47 Ω·cm as shown in the figure, and the corona discharge could be generated well. In addition, since the discharge electrode 3 is made of electroconductive glass, deterioration due to corona discharge is very small, and the lifespan can be prolonged compared to the conventional stainless steel discharge electrode. In addition, the resistivity of the heat-resistant glass plate 1 with or without grooves for the discharge electrode 3 on the heat-resistant glass plate 1 of Fig. 1 was slightly different, but the resistivity was sufficient for corona discharge.

도9는, 본 발명의 소성조건에 의한 결정성 차이의 설명도를 나타낸다.Fig. 9 shows an explanatory diagram of the crystallinity difference according to the firing conditions of the present invention.

도9의 (a)는 600℃, 30min 가열한 후에 급랭한 방전전극(3)의 표면의 광학현미경 사진의 예를 나타내고, 도9의 (b)는 570℃, 30min 가열한 후에 자연냉각한 방전전극(3)의 표면의 광학현미경 사진의 예를 나타내고, 도9의 (c)는 600℃, 30min 가열한 후에 자연냉각한 방전전극(3)의 표면의 광학현미경 사진의 예를 나타낸다.Fig. 9(a) shows an example of an optical micrograph of the surface of the discharge electrode 3 which is rapidly cooled after heating at 600°C for 30 minutes, and FIG. 9(b) is a discharge that is naturally cooled after heating at 570°C for 30 minutes An example of an optical micrograph of the surface of the electrode 3 is shown, and FIG. 9(c) shows an example of an optical micrograph of the surface of the discharge electrode 3 which is naturally cooled after heating at 600° C. for 30 minutes.

도9에 있어서, 상측에 나타내는 바와 같이 결정입자는 도9의 (a)가 제일 작고, 도9의 (b), 도9의 (c)의 방향으로 갈수록 커진다. 즉, 도9의 (a)는 온도가 600℃로 높지만 급속냉각을 하였기 때문에 고온상태가 그대로 유지되어 결정입자가 작다. 한편, 도9의 (b), (c)에서는 온도가 570℃, 600℃로 높고 자연냉각을 하였기 때문에, 결정입자가 냉각 중에 성장하여 점점 커지는 것이다. 코로나 방전시키는 데에 좋은 소성온도, 급랭/자연냉각을 선택함으로써, 방전전극(3)의 표면의 결정입자의 크기를 작은 것에서 큰 것으로 조정하는 것이 가능하기 때문에, 필요에 따라 최적의 소성온도, 급랭 또는 자연냉각을 선택하여 소성하면 좋다.In Fig. 9, as shown in the upper side, the crystal grains in Fig. 9 (a) are the smallest, and the crystal grains are larger in the directions of Figs. 9 (b) and 9 (c). That is, in Fig. 9(a), although the temperature is as high as 600°C, the high-temperature state is maintained as it is due to rapid cooling, and the crystal grains are small. On the other hand, in (b) and (c) of FIG. 9 , the temperature is high at 570° C. and 600° C., and natural cooling is performed, so that the crystal grains grow and become larger during cooling. By selecting a good firing temperature and rapid cooling/natural cooling for corona discharge, it is possible to adjust the size of the crystal grains on the surface of the discharge electrode 3 from small to large. Alternatively, natural cooling may be selected for firing.

도10은, 본 발명의 홈 유무의 설명도를 나타낸다. 즉, 도1의 내열 글라스판(1) 상에 형성되는 방전전극(3)의 홈의 유무를 도식적으로 설명한 것이다.Fig. 10 is an explanatory diagram showing the presence or absence of a groove according to the present invention. That is, the presence or absence of the groove of the discharge electrode 3 formed on the heat-resistant glass plate 1 of FIG. 1 is schematically described.

도10의 (a)는 홈이 있는 경우에 있어서의 도1의 내열 글라스판(1)의 측면 단면도를 도식적으로 나타내고, 도10의 (b)는 홈이 없는 경우에 있어서의 도1의 내열 글라스판(1)의 측면 단면도를 도식적으로 나타낸다.Fig. 10 (a) schematically shows a cross-sectional side view of the heat-resistant glass plate 1 of Fig. 1 when there is a groove, and Fig. 10 (b) is the heat-resistant glass of Fig. 1 when there is no groove. A cross-sectional side view of the plate 1 is schematically shown.

도10의 (a)에 있어서, 홈 내에 도전성 글라스 페이스트를 도포, 소성(2회 내지 3회)한 후의 도면에 나타내는 도전성 글라스(31)는, 내열 글라스판(1)의 내부로 들어간 상태가 되어, 코로나 방전의 각도가 도면에 나타내는 바와 같이 도10의 (b)에 비하여 좁아짐으로써, 코로나 방전을 코로나 방전 처리대상물에 집중시켜서 조사하는 것이 가능하게 된다.In Fig. 10(a), after the conductive glass paste is applied and fired (2 to 3 times) in the groove, the conductive glass 31 shown in the figure enters the inside of the heat-resistant glass plate 1, , as the angle of the corona discharge becomes narrower than that of Fig. 10(b) as shown in the figure, it becomes possible to irradiate the corona discharge by focusing the corona discharge on the object to be treated with the corona discharge.

도10의 (b)에 있어서, 홈이 없는 내열 글라스판(1) 상에 도전성 글라스 페이스트를 직접 도포, 소성한 후의 도면에 나타내는 도전성 글라스(32)는, 내열 글라스판(1) 상에서 볼록한 모양의 상태가 되어, 코로나 방전의 각도가 도면에 나타내는 바와 같이 도10의 (a)에 비하여 넓어짐으로써, 코로나 방전을 코로나 방전 처리대상물의 넓은 범위에 조사하는 것이 가능하게 된다.In Fig. 10(b), after the conductive glass paste is directly coated and fired on the heat-resistant glass plate 1 without grooves, the conductive glass 32 shown in the figure has a convex shape on the heat-resistant glass plate 1 state, and the angle of the corona discharge is wider than that in Fig. 10(a) as shown in the figure, so that it is possible to irradiate the corona discharge to a wide range of the object to be treated with the corona discharge.

도10의 (c)는, 홈 가공이 있는 것과 홈 가공이 없는 것의 특징을 표로 작성한 것으로서, 도면에 나타내는 하기와 같다.Fig. 10(c) is a table showing characteristics of grooving and non-grooving in a table, and is as follows.

Figure pct00006
Figure pct00006

여기에서, 홈 가공이 있는 것은 홈이 있는 도10의 (a)의 경우이고, 홈 가공이 없는 것은 홈이 없는 도10의 (b)의 경우를 나타낸다. 인쇄횟수는 도전성 글라스 페이스트를 도포·소성하는 횟수를 나타내고, 홈 가공이 있는 경우에는 홈의 내부에 인쇄한 도전성 글라스 페이스트가 소성에 의하여 대폭 축소되기 때문에 2회(필요에 따라 3회)의 인쇄를 할 필요가 있다. 홈이 없는 경우에는 축소되어도 두께만 감소할 뿐 특별히 문제가 없어 1회의 인쇄로도 좋다.Here, the case with grooving is the case of Fig. 10(a) with grooves, and the case without grooving shows the case of Fig. 10(b) without the grooving. The number of prints indicates the number of times the conductive glass paste is applied and fired. In the case of grooving, since the conductive glass paste printed inside the groove is greatly reduced by firing, printing is performed twice (3 times as necessary). Needs to be. If there is no groove, even if it is reduced, only the thickness is reduced, and there is no problem in particular, so one printing is good.

방전방향성은, 상기에서 설명한 바와 같이 홈 가공(있음)은 코로나 방전의 조사방향이 좁은 방전방향성을 가진다. 한편 홈 가공(없음)은 방전방향성이 없다.As for the discharge directionality, as described above, grooving (with) has a discharge directionality in which the irradiation direction of the corona discharge is narrow. On the other hand, grooving (none) has no discharge direction.

보관성은, 홈 가공이 있는 경우에는 포개어 쌓기가 용이하여 보관이 용이하다. 한편, 홈 가공이 없는 경우에는 방전전극(3)이 내열 글라스판(1) 상으로 튀어나와서, 포개어 쌓기를 할 수 없어 보관이 어렵다.Storage is easy when there is grooving because it is easy to stack and store. On the other hand, when there is no grooving, the discharge electrode 3 protrudes on the heat-resistant glass plate 1, and storage is difficult because it cannot be stacked on top of each other.

전극두께는, 홈 가공이 있는 경우에는 홈의 깊이에 의존한다. 홈 가공이 없는 경우에는, 도10의 (b)에 나타내는 바와 같이 반원형상이 되고, 보통 500μm 이하가 된다.The electrode thickness depends on the depth of the groove in the case of grooving. In the case where there is no grooving, as shown in Fig. 10(b), a semi-circular shape is obtained, and it is usually 500 µm or less.

도11은, 본 발명의 전극재료의 설명도를 나타낸다. 즉, 도1의 방전전극(3)으로서 각종 재료를 사용하였을 때의 코로나 방전을 하는 초기전압(V)을 구한 것이다.Fig. 11 shows an explanatory view of the electrode material of the present invention. That is, the initial voltage V for corona discharge when various materials are used as the discharge electrode 3 in FIG. 1 is obtained.

도11에 있어서, 전극재료는 코로나 방전시키는 방전전극의 재료이고, 초기전압(V)은 코로나 방전을 개시하는 초기전압이며, 예를 들면 도면에 나타내는 하기와 같다.In Fig. 11, the electrode material is the material of the discharge electrode for corona discharge, and the initial voltage V is the initial voltage for starting the corona discharge. For example, as shown in the figure below.

Figure pct00007
Figure pct00007

여기에서, 종래의 텅스텐, 스테인리스는 5∼6KV의 초기전압을 가지고 있었다. 본원발명의 ABL 글라스(전자도전성 글라스)의 방전전극(3)은, 굵은 결정에서는 3.7∼4.0KV, 약간 굵은 결정에서는 4.5∼4.8KV, 미세한 결정에서는 4.9∼5.0KV로서, 어느 쪽이든 종래의 스테인리스 등의 금속에 비하여 낮은 초기전압으로 코로나 방전을 개시시켜서, 유지하는 것이 판명되었다.Here, conventional tungsten and stainless steel had an initial voltage of 5 to 6 KV. The discharge electrode 3 of the ABL glass (electroconductive glass) of the present invention is 3.7 to 4.0 KV for coarse crystals, 4.5 to 4.8 KV for slightly coarse crystals, and 4.9 to 5.0 KV for fine crystals, either of which is a conventional stainless steel or the like. It was found that the corona discharge was started and maintained at a lower initial voltage compared to the metal of

도12는, 본 발명의 전극부의 구조예를 나타낸다. 즉, 도1의 내열 글라스판(1)에 홀을 뚫고, 리드선(6)을 그 홀로부터 방전전극(도전성 글라스)(3)의 이면에 직접 초음파 납땜을 하는 구조를 도식적으로 나타낸 것이다.12 shows a structural example of the electrode part of the present invention. That is, it schematically shows a structure in which a hole is drilled in the heat-resistant glass plate 1 of FIG. 1 and the lead wire 6 is directly ultrasonically soldered from the hole to the back surface of the discharge electrode (conductive glass) 3 .

도12에 있어서, 홀(9)은 내열 글라스판(1)의 이면으로부터 방전전극(도전성 글라스)(3)의 이면을 향하여 형성된 홀이다.In Fig. 12, a hole 9 is a hole formed from the rear surface of the heat-resistant glass plate 1 toward the rear surface of the discharge electrode (conductive glass) 3 .

이상과 같이 홀(9)을 형성함으로써, 내열 글라스판(1) 상에 홈이 있는(또는 홈이 없는) 방전전극(도전성 글라스)(3)을 도포·소성한 후에, 리드선(6)을 홀(9)의 내부를 통하여 방전전극(도전성 글라스)(3)에 초음파 납땜(8)을 하여, 당해 리드선(6)을 방전전극(3)에 접속한다. 이에 따라, 도면에 나타내는 바와 같이 내열 글라스판(1) 상의 표면은, 방전전극(3)만이 노출된 상태가 되어, 도1의 방전전극(3)의 끝에서 리드선(6)을 상측에서 포개어 초음파 납땜을 하는 경우의 돌기 등이 없어짐으로써, 방전전극(3)의 끝부에 있어서의 코로나 방전의 불균일을 없애서, 방전전극(3)의 끝에서도 균일한 코로나 방전을 실현할 수 있다.By forming the holes 9 as described above, after coating and firing the discharge electrodes (conductive glass) 3 with grooves (or without grooves) on the heat-resistant glass plate 1, the lead wires 6 are inserted into the holes. Ultrasonic soldering (8) is applied to the discharge electrode (conductive glass) (3) through the inside of (9), and the lead wire (6) is connected to the discharge electrode (3). Accordingly, as shown in the figure, on the surface of the heat-resistant glass plate 1, only the discharge electrode 3 is exposed. By eliminating protrusions and the like in the case of soldering, irregular corona discharge at the tip of the discharge electrode 3 is eliminated, and uniform corona discharge can be realized even at the tip of the discharge electrode 3 .

1 : 내열 글라스판
2, 9 : 홀
3 : 방전전극(도전성 글라스, ABL 글라스)
31, 32 : 도전성 글라스
5 : 납땜(초음파 납땜)
6 : 리드선
8 : 초음파 납땜
1: Heat-resistant glass plate
2, 9: Hall
3: Discharge electrode (conductive glass, ABL glass)
31, 32: conductive glass
5: Soldering (ultrasonic soldering)
6: lead wire
8: Ultrasonic Soldering

Claims (7)

코로나 방전(corona 放電)시키는 가늘고 긴 방전전극을 형성하는 방전전극판(放電電極板)에 있어서,
내열성 재료로 작성된 내열성 판(耐熱性 板)과,
상기 내열성 판 상에 가늘고 길게 또는 상기 내열성 판 상에 형성된 가늘고 긴 홈(groove) 내에, 도전성 글라스(導電性 glass)를 도포, 소성하여 형성되는 방전전극을
구비하고,
상기 방전전극을 전자도전성(電子導電性)의 도전성 글라스로 형성하여 코로나 방전에 의한 열화를 저감시켜서 수명을 장기화(長期化)하는 것을 특징으로 하는 방전전극판.
In a discharge electrode plate forming a long and thin discharge electrode for corona discharge,
A heat-resistant plate made of heat-resistant material,
Discharge electrodes formed by coating and firing conductive glass in a long, elongated groove on the heat-resistant plate or formed on the heat-resistant plate
provided,
A discharge electrode plate, characterized in that the discharge electrode is formed of electrically conductive conductive glass to reduce deterioration due to corona discharge, thereby prolonging the lifespan.
제1항에 있어서,
상기 도전성 글라스는, 바나듐, 바륨, 철로 구성되는 바나듐산염 글라스로 하는 것을 특징으로 하는 방전전극판.
According to claim 1,
The conductive glass is a discharge electrode plate, characterized in that it is made of vanadate glass composed of vanadium, barium, and iron.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 내열성 판은, 내열 글라스로 하는 것을 특징으로 하는 방전전극판.
3. The method of claim 1 or 2,
The heat-resistant plate is a discharge electrode plate, characterized in that it is made of heat-resistant glass.
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 방전전극에 납땜하여 리드선(lead線)을 접속하는 것을 특징으로 하는 방전전극판.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Discharge electrode plate, characterized in that the lead wire (lead wire) is connected by soldering to the discharge electrode.
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 방전전극에 대한 리드선의 납땜은, 초음파 납땜으로 하는 것을 특징으로 하는 방전전극판.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
A discharge electrode plate, characterized in that the soldering of the lead wire to the discharge electrode is carried out by ultrasonic soldering.
제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,
도전성 글라스를 도포, 소성하여 방전전극을 형성하는 것은, 도전성 글라스의 분말을 포함하는 페이스트(paste)를 생성하고, 이 생성된 페이스트를 도포, 소성하여 전자도전성의 방전전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 방전전극판.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Forming a discharge electrode by coating and firing conductive glass is characterized in that a paste containing a powder of conductive glass is generated, and the resulting paste is applied and fired to form an electronically conductive discharge electrode. discharge electrode plate.
제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 방전전극과 대면(對面)하는 다른 전극 또는 상기 방전전극과 배면(背面)하는 다른 전극과의 사이에 10KHz∼30KHz 범위 내의 고주파 전압을 인가하여, 상기 방전전극의 주위에서 코로나 방전을 시키는 것을 특징으로 하는 방전전극.
7. The method according to any one of claims 1 to 6,
A high-frequency voltage within the range of 10 KHz to 30 KHz is applied between the other electrode facing the discharge electrode or the other electrode facing the discharge electrode to cause corona discharge around the discharge electrode. discharge electrode with
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