KR20210092906A - 기판 이송 방법 및 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 로봇을 포함하는 기판 이송 장치에서 기판이 로딩 또는 언로딩될 때의 기판의 위치 정보를 이용하여 기판 이송 로봇을 제어하는 기판 이송 방법 및 기판 이송 장치에 관한 것으로, 본 발명에 의하면 기판의 로딩 또는 언로딩을 위한 최초의 기준 값을 설정한 이후 공정의 변화 또는 하드웨어적인 변화로 인해 새로운 기준 값을 설정하는 작업이 요구되는 경우에, 기준 값 설정 작업이 자동으로 이루어지도록 함으로써, 수동으로 기판 이송 로봇의 기준 값을 변경하지 않더라도 기판이 서셉터의 중심에 위치하도록 기판 이송을 수행할 수 있는 장점이 있다.

Description

기판 이송 방법 및 기판 이송 장치{METHOD AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 반도체소자를 제조하는 반도체 소자 제조장치의 기판 이송 방법 및 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 기판을 로딩 또는 언로딩하는 기판 이송 로봇을 포함하는 기판 이송 장치에서 기판이 로딩 또는 언로딩될 때의 기판의 위치 정보를 이용하여 기판 이송 로봇을 제어하는 기판 이송 방법 및 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자를 제조하기 위해서는 실리콘 웨이퍼에 원료물질을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(patterning)하는 식각공정 등을 거치게 되며, 이들 각 공정은 해당공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 챔버의 내부에서 진행된다.
최근에는 생산성을 높이기 위하여 다수의 공정모듈, 기판이송을 담당하는 이송모듈 등을 서로 긴밀하게 결합시킨 클러스터(cluster)형 기판처리장치가 많이 사용되고 있다.
도 1은 이러한 클러스터형 기판처리장치의 구성을 개략적으로 예시한 평면도로서, 이송모듈(10)의 주위에 다수의 공정모듈(20)과 로드락모듈(30)이 결합된 구조를 가진다.
이송모듈(10)은 기판(s)의 이송을 담당하는 이송로봇(40)을 내부에 구비하며, 기판(s)은 이송로봇(40)에 의해 공정모듈(20)과 로드락모듈(30)의 사이를 이동한다. 이송모듈(10)은 세팅이나 유지보수에 필요한 경우를 제외하고는 항상 진공상태를 유지한다.
공정모듈(20)은 공정챔버(21) 내에서 기판(s)에 대하여 박막 증착 및 식각 등의 실제 공정을 진행하는 영역으로서, 공정챔버(21) 내에 기판이 안착되는 기판안착부를 구비하며 기판안착부에는 복수개의 기판이 놓여질 수 있는 서셉터가 형성되어 있다.
로드락모듈(30)은 내부가 진공상태인 공정모듈(20)의 내부로 기판을 반입하거나 외부로 기판을 반출할 때 기판(s)이 일시 머무는 완충 공간이며, 생산성을 고려하여 통상 2개의 챔버가 상하로 적층된 구조가 많이 이용된다.
따라서 이러한 로드락모듈(30)은 외부에서 공정모듈(20)의 내부로 기판(s)을 반입할 때는 진공상태로 전환되고 공정모듈(20)로부터 기판(s)을 외부로 반출할 때는 대기압상태로 전환된다.
도 2는 이러한 클러스트형 기판처리장치의 측단면도로서 이송모듈(10)을 중심으로 로드락모듈(30)과 공정모듈(20)이 결합되어 있으며, 이송모듈(10)은 챔버(11)와 챔버(11) 내부에서 동작하는 이송로봇(40)을 포함한다.
이송로봇(40)은 모터 등의 구동수단을 지지하는 구동부 프레임(41), 구동부 프레임(41)의 상부로 연장되어 상기 구동수단에 의하여 회전 및 승강운동을 하는 구동축(43), 상기 구동축(43)에 의해 회전 및 승강하는 한편 신축 운동을 하는 로봇암(44), 로봇암(44)의 단부에 결합되어 직접 기판(s)을 들어올리는 기판안치부(45) 등으로 이루어진다.
구동부 프레임(41)은 챔버 저면(12)을 관통하여 고정되며, 특히 구동부 프레임(41)에서 챔버(11)의 내부에 위치하는 부분에 외주면을 따라 플랜지(42)를 돌출 형성하고, 상기 플랜지(42)를 챔버저면(12)에 용접하는 방법으로 챔버(11)의 진공을 유지한다.
이와 같이 구동축(43)의 회전 및 승강운동과 기판안치부(45)의 수평운동을 통해 기판(s)을 공정모듈(20) 또는 로드락모듈(30)로 이송시키는 이송로봇(40)은 한정된 공간 내에서 매우 정밀하게 동작하여야 한다.
따라서 장치를 세팅할 때는 이송로봇(40)의 동작의 기준점이 되는 기준 위치를 설정하는 과정을 반드시 거치게 된다.
즉, 이송로봇(40)이 공정챔버(21) 내의 서셉터의 정위치에 기판을 로딩하거나 공정챔버(21) 내의 서셉터로부터 기판을 언로딩하기 위해서는 이송로봇(40)의 설계위치 및 공정챔버(21) 내의 서셉터의 위치를 기준으로 하여 이송로봇의 상승 하강의 정도, 회전각도 및 로봇 암을 뻗는 양 등의 여러 정보가 필요하다.
이러한 정보는 장비의 최초 셋업 시 숙련된 로봇 엔지니어가 티칭 펜던트(teaching pendent)와 같은 기구를 이용하여 장비에 맞는 데이터를 구하게 되고 이러한 데이터를 수작업으로 입력함으로써 최초 설정 작업이 완료된다. 이후 공정 챔버(21) 내의 서셉터의 교체 등과 같은 하드웨어적인 변화로 인해 기준 값의 설정을 새롭게 해야 하는 경우가 빈번하게 발생하게 된다.
한편, 이송로봇(40)이 실제 동작하는 환경이 진공상태인 점을 감안하면 이러한 최초 기준 값 설정 과정도 진공상태에서 이루어지는 것이 바람직하지만, 대부분의 경우에는 육안으로 확인하면서 또는 별도의 도구를 사용하면서 작업을 진행하기 때문에 이 경우에는 기준 값 설정 작업을 대기압상태에서 진행하게 된다.
이와 같이 대기압 상태에서 최초의 기준 값 설정 작업을 실시한 후에는 진공 펌핑 및 가열 공정을 통해 공정 챔버(21)를 진공상태로 전환시키게 되는데, 이러한 진공 펌핑(Vacuum Pumping)이나 가열(Heat-Up) 과정에서 공정 챔버(21) 내의 서셉터의 위치 변화로 인해 기준 값 설정 작업을 새롭게 해야 하는 경우가 발생하게 된다.
본 발명은 기판 이송 장치에서 기판 이송 로봇이 기판을 로딩 또는 언로딩 할 때의 기준이 되는 기준 값을 설정한 이후 새로운 기준 값으로 보정하는 작업이 요구되는 경우에, 보정 작업이 자동으로 이루어지도록 함으로써 기판이 정확하게 챔버 내의 서셉터의 중심에 센터링 될 수 있도록 한 기판 이송 방법 및 기판 이송 장치를 제공함을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 방법은, 기판 이송 로봇이 기판을 챔버 내부의 서셉터에 안착되도록 로딩 또는 언로딩할 때의 기준이 되는 제1 기준 값을 이용하여 상기 기판을 상기 서셉터에 로딩하는 제1 기판 로딩 단계; 상기 기판을 상기 서셉터의 제1 위치로 조정하는 제1 위치 조정단계; 상기 기판 이송 로봇을 이용하여 상기 기판을 언로딩하는 제1 기판 언로딩 단계; 상기 기판이 언로딩될 때 제1 값을 취득하는 제1 값 취득 단계; 및 상기 제1 기준 값과 상기 제1 값이 상이하면, 상기 제1 값을 상기 기판 이송 로봇의 제2 기준 값으로 보정하는 제1 보정단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 적어도 하나의 기판이 안착되는 서셉터를 포함하는 챔버; 상기 서셉터로 상기 기판을 로딩 또는 언로딩 하는 기판 이송 로봇; 상기 챔버로부터 상기 기판이 로딩 및 언로딩될 때의 상기 기판의 위치를 검출하는 기판 위치 감지부; 상기 기판 위치 감지부에서 검출된 상기 기판의 위치를 저장하는 저장부; 및 상기 기판의 위치에 대한 정보를 이용하여 상기 기판이 상기 서셉터의 제1 위치에 안착되도록 상기 기판 이송 로봇을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송 방법 및 장치에 의하면, 기판의 로딩 또는 언로딩을 위한 최초의 기준 값을 설정한 이후 공정의 변화 또는 하드웨어적인 변화로 인해 새로운 기준 값을 설정하는 작업이 요구되는 경우에, 기준 값 설정 작업이 자동으로 이루어지도록 함으로써, 수동으로 기판 이송 로봇의 기준 값을 변경하지 않더라도 기판이 서셉터의 중심에 위치하도록 기판 이송을 수행할 수 있는 장점이 있다.
엔지니어의 숙련도에 따른 오차나 진공 또는 고온으로의 환경 변화에 따른 오차 없이 기판이 정확하게 챔버의 서셉터의 중심에 센터링 될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 클러스터형 기판처리장치의 개략적인 모습을 나타낸 평면도.
도 2는 도 1에 따른 클러스터형 기판처리장치의 측단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 흐름도.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 흐름도.
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성을 나타낸 개략도.
도 6은 본 발명에 따른 기판 이송 장치에서 기판의 위치를 감지하는 원리를 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명에 따른 기판 이송 장치에서 기판의 위치를 감지하는 원리를 설명하기 위한 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예이며, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원 시점에서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 흐름도이다.
도 3을 참고하면 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 방법은 제1 기판 로딩 단계(S310), 제1 위치 조정 단계(S320), 제1 기판 언로딩 단계(S330), 제1 값 취득 단계(S340) 및 제1 보정 단계(S350)를 포함한다.
상기 제1 기판 로딩 단계(S310)에서는 기판 이송 로봇(120)이 기판을 챔버(110) 내부의 서셉터에 로딩 또는 언로딩할 때의 기준이 되는 제1 기준 값을 이용하여 상기 기판을 상기 서셉터에 로딩한다. 이때, 제1 기준 값은 기판 이송 로봇이 설계 값에 따라 기판을 로딩 또는 언로딩할 때의 기준이 되는 값이다.
상기 제1 위치 조엉 단계(S320)에서는 상기 서셉터에 로딩된 기판이 서셉터의 제1 위치에 위치하도록 조정한다. 이떼 제1 위치는 서셉터의 중심이 될 수 있으며, 구체적으로 기판 안착홈(미도시)의 중심에 위치되도록 상기 기판의 위치를 조정할 수 있다.
설계 값인 제1 기준 값에 따라 기판 이송 로봇을 이용하여 챔버 내의 서셉터에 상기 기판(W)을 로딩하더라도 하드웨어적인 여러 요인으로 인해 기판이 정확하게 서셉터의 센터에 위치하지 못하게 되므로 상기 기판(W)을 상기 서셉터의 센터에 위치시키는 센터링 과정을 필요로 한다.
제1 기판 언로딩 단계(S330)에서는 기판 이송 로봇을 이용하여 상기 챔버 내의 상기 서셉터로부터 상기 제1 기준 값에 따라 상기 기판을 언로딩한다. 상기 제1 위치 조정 단계(S320)에서 기판을 상기 서셉터의 센터에 위치시키는 별도의 작업을 진행하였으므로 기판은 제1 기준 값과는 다른 위치에서 서셉터의 센터에 위치하고 있다. 따라서 제1 기판 언로딩 단계(S130)에서 제1 기준 값에 따라 기판을 언로딩하는 경우, 상기 기판은 기판 이송 로봇의 기판안착부에 대해 정위치가 아닌 틀어진 위치에 놓여진 채로 언로딩된다.
상기 제1 값 취득 단계(S340)에서는 상기 기판이 언로딩될 때 기판 위치 감지부를 이용하여 상기 제1 기준 값에 대비한 상기 기판의 틀어짐 양을 검출하고, 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 제1 값을 취득한다.
상기 제1 값 취득 단계(S340)에서는 상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 기판 위치 감지부에 의해 감지되는 상기 기판의 길이를 측정하여 이를 상기 제1 기준 값에 따라 상기 기판이 로딩될 때 상기 기판 위치 감지부에 의해 감지되는 상기 기판의 길이와 대비하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 상기 제1 값을 취득할 수 있다.
한편, 상기 제1 값 취득 단계(S340)에서는 상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 기판 위치 감지부에 의해 상기 기판이 감지되는 시간을 측정하여 이를 상기 제1 기준 값에 따라 상기 기판이 로딩될 때 상기 기판 위치 감지부에 의해 상기 기판이 감지되는 시간과 대비하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 상기 제1 값을 취득할 수도 있다.
상기 제1 보정 단계(S350)에서는 상기 제1 값과 상기 제1 기준 값을 비교하여 상기 제1 값과 상기 제1 기준 값이 상이하면 상기 제1 값을 상기 기판 이송 로봇의 새로운 기준 값인 제2 기준 값으로 보정한다.
즉, 기판 이송 로봇에 대해 상기 기판 위치 감지부에서 검출된 상기 기판의 틀어짐 양을 이용하여 보정된 제2 기준 값을 설정하고, 상기 제2 기준 값을 이용하여 상기 기판 이송 로봇을 제어한다.
도 3에 따른 기판 이송 방법에 의하면 설계 값에 따라 제1 기준 값을 설정한 후 하드웨어 조립에 따른 오차로 인해 기준 값이 달라진 경우에도 자동으로 기준 값을 보정할 있도록 함으로써 수동으로 기판 이송 로봇의 기준 값을 변경하지 않더라도 기판이 서셉터의 중심에 위치하도록 기판 이송을 수행할 수 있는 장점이 있다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 기판 이송 방법의 흐름도이다.
도 4를 참고하면 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 기판 이송 방법은 제2 기판 로딩 단계(S410), 제2 위치 조정 단계(S420), 제2 기판 언로딩 단계(S430), 제2 값 취득 단계(S440) 및 제2 보정 단계(S450)를 포함한다.
상기 제2 기판 로딩 단계(S410)에서는 제2 기준 값을 이용하여 상기 기판을 상기 서셉터에 로딩한다. 이때, 제2 기준 값은 도 3에 따른 기판 이송 방법의 제1 보정 단계(S350)에서 보정된 값에 따라 기판을 로딩 또는 언로딩할 때의 기준이 되는 값일 수 있으며, 다른 한편으로는, 기판 이송 로봇이 최초의 설계 값에 따라 기판을 로딩 또는 언로딩할 때의 기준이 되는 값일 수도 있다.
상기 제2 위치 조정 단계(S420)에서는 상기 서셉터에 로딩된 기판이 서셉터의 제2 위치에 위치하도록 조정한다. 이때 제2 위치는 서셉터의 중심(center)이 될 수 있으며, 구체적으로 기판 안착홈(미도시)의 중심에 위치되도록 상기 기판의 위치를 조정할 수 있다.
제2 기준 값에 따라 기판 이송 로봇을 이용하여 챔버 내의 서셉터에 상기 기판(W)을 로딩하였더라도 챔버를 진공 펌핑하거나 가열하는 경우 기판이 정확하게 서셉터의 센터에 위치하지 못하게 되므로 상기 기판(W)을 상기 서셉터의 센터에 위치시키는 센터링 과정을 필요로 한다.
상기 제2 기판 언로딩 단계(S430)에서는 기판 이송 로봇을 이용하여 상기 챔버 내의 상기 서셉터로부터 상기 제2 기준 값에 따라 상기 기판을 언로딩한다. 상기 제2 위치 조정 단계(S420)에서 기판을 상기 서셉터의 센터에 위치시키는 별도의 작업을 진행하였으므로 기판은 제2 기준 값과는 다른 위치에서 서셉터의 센터에 위치하고 있다. 따라서 제2 기판 언로딩 단계(S430)에서 제2 기준 값에 따라 기판을 언로딩하는 경우, 상기 기판은 기판 이송 로봇의 기판안착부에 대해 정위치가 아닌 틀어진 위치에 놓여진 채로 언로딩된다.
상기 제2 값 취득 단계(S440)에서는 상기 기판이 언로딩될 때 기판 위치 감지부를 이용하여 상기 제2 기준 값에 대비한 상기 기판의 틀어짐 양을 검출하고, 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 제2 값을 취득한다.
상기 제2 값 취득 단계(S440)에서는 상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 기판 위치 감지부에 의해 감지되는 상기 기판의 길이를 측정하여 이를 상기 제2 기준 값에 따라 상기 기판이 로딩될 때 상기 기판 위치 감지부에 의해 감지되는 상기 기판의 길이와 대비하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 상기 제2 값을 취득할 수 있다.
한편, 상기 제2 값 취득 단계(S440)에서는 상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 기판 위치 감지부에 의해 상기 기판이 감지되는 시간을 측정하여 이를 상기 제2 기준 값에 따라 상기 기판이 로딩될 때 상기 기판 위치 감지부에 의해 상기 기판이 감지되는 시간과 대비하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 상기 제2 값을 취득할 수도 있다.
상기 제2 보정 단계(S450)에서는 상기 제2 값과 상기 제2 기준 값을 비교하여 상기 제2 값과 상기 제2 기준 값이 상이하면 상기 제2 값을 상기 기판 이송 로봇의 새로운 기준 값인 제3 기준값으로 보정한다.
즉, 기판 이송 로봇에 대해 상기 기판 위치 감지부에서 검출된 상기 기판의 틀어짐 양을 이용하여 보정된 제3 기준 값을 설정하고, 상기 제3 기준 값을 이용하여 상기 기판 이송 로봇을 제어한다.
도 4에 따른 기판 이송 방법에 의하면 대기압 상태에서 설계 값에 따라 기준 값을 설정한 후 진공 펌핑 및 가열 공정으로 인해 기준 값이 달라진 경우에도 자동으로 기준 값을 보정할 있도록 함으로써 환경 변화에 따른 오차 없이 기판 이송을 수행할 수 있는 장점이 있다.
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성을 나타낸 개략도이고, 도 6과 도 7은 본 발명에 따른 기판 이송 장치에서 기판의 위치를 감지하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는 챔버(110), 기판 이송 로봇(120), 기판 위치 감지부(130), 저장부(미도시) 및 제어부(미도시)를 포함하여 구성된다.
챔버는 로드락 챔버(Load Lock Chamber), 트랜스퍼 챔버(Transfer Chamber) 및 프로세스 챔버(Process Chamber)일 수 있으며, 바람직하게는 기판을 처리하는 프로세스 챔버(Process Chamber), 즉, 공정 챔버일 수 있다. 공정 챔버는 공정이 이루어지는 공간으로, 공정에 필요한 가스가 유입되며, 필요에 따라 진공 펌핑이나 가열 또는 플라즈마 처리가 진행될 수 있다.
챔버(110)는 내부에 기판지지부(111)를 구비하며 기판지지부(111)의 상부에는 내부에 기판이 위치하는 서셉터(112)가 형성되어 있다.
상기 기판 이송 로봇(120)은 상기 챔버(110) 내의 상기 서셉터(112)로 상기 기판(W)을 로딩 또는 언로딩 한다.
상기 기판 위치 감지부(130)는 상기 기판 이송 로봇(120)이 출입하는 상기 챔버(110)의 입구에 설치되어, 상기 기판 이송 로봇(120)에 의해 상기 챔버(110) 내의 서셉터(112)로 상기 기판(W)을 로딩할 때와, 상기 챔버(110) 내의 서셉터(112)로부터 상기 기판(W)을 언로딩할 때 상기 기판의 위치를 검출한다.
상기 저장부(미도시)는 상기 기판 위치 감지부(130)에서 검출된 상기 기판의 위치를 저장하고, 상기 제어부(미도시)는 상기 기판의 위치에 대한 정보를 이용하여 상기 기판 이송 로봇(120)의 움직임을 제어한다.
상기 기판 이송 로봇(120)은, 본체(121)와, 상기 본체를 따라 승강 또는 하강되는 승하강모듈(122), 상기 승하강모듈(122)에 연결되는 로봇 암(123) 및 상기 로봇암(123)의 단부에 연결되는 기판안착부(124)를 포함하여 구성된다. 한편, 기판 이송 로봇(120)은, 상기 기판 위치 감지부(130)에 의해 검출된 상기 기판의 위치 정보에 따라 제어된다. 구체적으로 로봇 암의 회전량과 뻗는 양 등으로 제어될 수 있다.
도 6을 참고하면, 기판 위치 감지부(130)는, 발광부(131)와 수광부(132)를 구비할 수 있다. 상기 기판 위치 감지부(130)는, 상기 기판(W2)이 상기 발광부(131)와 상기 수광부(132) 사이를 통과할 때, 상기 발광부(131)에서 상기 수광부(132)에 빛이 전달되지 않는 시간을 측정하여 이를 최초 기준 값에 따른 시간과 비교함으로써 상기 기판(W2)의 X축 좌표값 및 Y축 좌표값에 따른 위치를 감지할 수 있으며, 이를 이용하여 상기 기판의 틀어짐 양을 검출할 수 있다.
한편, 기판 위치 감지부(130)는, 상기 발광부(131)에서 상기 수광부(132)에 빛이 전달되지 않는 시간을 측정하는 대신 상기 발광부(131)에서 상기 수광부(132)에 빛이 전달되지 않는 기판의 길이, 즉, 기판 위치 감지부(130)의 감지영역(Sa)에 따른 길이를 측정하여 이를 기 설정된 기준 길이와 비교하여 상기 기판의 틀어짐 양을 검출할 수도 있다.
이상에서는 기판 위치 감지부(130)가 발광부와 수광부를 구비하며 그 사이에 위치한 대상 물체를 감지하는 센서를 사용하는 것으로 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니며, 대상 물체의 위치를 측정할 수 있는 다양한 센서가 사용될 수 있다.
상기 기판의 틀어짐 양은, 설계 값에 따른 최초 기준 값인 제1 기준 값과 대비하여 상기 기판(W)이 상기 챔버(110)의 입구에 대해 평행한 제1 수평방향인 X축 방향과, 상기 X축 방향에 수직하는 제2 수평방향인 Y축 방향으로 틀어진 양일 수 있다.
도 7의 (a)는 기판(W1)이 제1 기준 값에 따라 기판 위치 감지부(130)의 X축 감지 기준선(LX)과 Y축 감지 기준선(LY)의 정위치에 위치한 것을 나타낸다. 이에 비해 도 7의 (b)는 기판(W2)이 정위치의 기판(W1)에 비해 X축 방향으로 1.0mm, Y축 방향으로 1.5mm 만큼 틀어진 것을 나타낸다.
도 7의 (b)에 도시된 바와 같이 기판(W2)이 정위치의 기판(W1)에 비해 X축 방향으로 1.0mm, Y축 방향으로 1.5mm 만큼 틀어진 경우, X축 방향으로 1.0mm 만큼 틀어진 양을 반영하여 기판 이송 로봇(120)의 회전각도(θ)를 오른쪽으로 좀더 가도록 변경하여 X축을 보정한다. 이후 변경된 회전각도(θ)를 고려하고, Y축 방향으로 1.5mm 만큼 틀어진 양을 반영하여 기판 이송 로봇(120)의 로봇암을 뻗는 양(d)을 변경하여 Y축을 보정한다.
즉, 상기 제어부(미도시)는 상기 X축 방향으로 틀어진 양(1.0mm)에 따라 상기 로봇암(123)의 회전각도(θ)를 조정하여 상기 X축 좌표값을 보정하고, 상기 Y축 방향으로 틀어진 양(1.5mm)에 따라 상기 로봇암(123)의 뻗는 양(d)을 조정하여 상기 Y축 좌표값을 보정한 새로운 기준 값인 제2 기준 값으로 상기 기판 이송 로봇의 기준 값을 보정할 수 있다.
살펴본 바와 같이 본 발명은 설계 값에 따라 기준 값을 설정한 이후 공정의 변화나 하드웨어적인 변화로 인해 새로운 기준 값 설정 작업이 요구되는 경우에, 기준 값 설정 작업이 자동으로 이루어지도록 함으로써, 수동으로 기판 이송 로봇의 기준 값을 변경하지 않더라도 기판이 서셉터의 중심에 위치하도록 기판 이송을 수행할 수 있는 장점이 있다.

Claims (11)

  1. 기판 이송 로봇이 기판을 챔버 내부의 서셉터에 안착되도록 로딩 또는 언로딩할 때의 기준이 되는 제1 기준 값을 이용하여 상기 기판을 상기 서셉터에 로딩하는 제1 기판 로딩 단계;
    상기 기판을 상기 서셉터의 제1 위치로 조정하는 제1 위치 조정단계;
    상기 기판 이송 로봇을 이용하여 상기 기판을 언로딩하는 제1 기판 언로딩 단계;
    상기 기판이 언로딩될 때 제1 값을 취득하는 제1 값 취득 단계; 및
    상기 제1 기준 값과 상기 제1 값이 상이하면, 상기 제1 값을 상기 기판 이송 로봇의 제2 기준 값으로 보정하는 제1 보정단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  2. 기판 이송 로봇이 기판을 챔버 내부의 서셉터에 안착되도록 로딩 또는 언로딩할 때의 기준이 되는 제2 기준 값을 이용하여 상기 기판을 상기 서셉터에 로딩하는 제2 기판 로딩 단계;
    상기 기판을 상기 서셉터의 제2 위치로 조정하는 제2 위치 조정단계;
    상기 기판 이송 로봇을 이용하여 상기 기판을 언로딩하는 제2 기판 언로딩 단계;
    상기 기판이 언로딩될 때 제2 값을 취득하는 제2값 취득 단계; 및
    상기 제2 기준 값과 상기 제2 값이 상이하면, 상기 제2 값을 상기 기판 이송 로봇의 제3 기준 값으로 보정하는 제2 보정단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제1 값 취득 단계는
    상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 기판 위치 감지부에 의해 감지되는 상기 기판의 길이를 측정하여 이를 상기 제1 기준 값에 따라 상기 기판이 로딩될 때 상기 기판 위치 감지부에 의해 감지되는 상기 기판의 길이와 대비하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 상기 제1 값을 취득하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제1 값 취득 단계는
    상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 기판 위치 감지부에 의해 상기 기판이 감지되는 시간을 측정하여 이를 상기 제1 기준 값에 따라 상기 기판이 로딩될 때 상기 기판 위치 감지부에 의해 상기 기판이 감지되는 시간과 대비하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 상기 제1 값을 취득하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  5. 제 2항에 있어서, 상기 제2 값 취득 단계는
    상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 기판 위치 감지부에 의해 감지되는 상기 기판의 길이를 측정하여 이를 상기 제2 기준 값에 따라 상기 기판이 로딩될 때 상기 기판 위치 감지부에 의해 감지되는 상기 기판의 길이와 대비하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 상기 제2 값을 취득하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 제2 값 취득 단계는
    상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 기판 위치 감지부에 의해 상기 기판이 감지되는 시간을 측정하여 이를 상기 제2 기준 값에 따라 상기 기판이 로딩될 때 상기 기판 위치 감지부에 의해 상기 기판이 감지되는 시간과 대비하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치 정보인 상기 제2 값을 취득하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  7. 적어도 하나의 기판이 안착되는 서셉터를 포함하는 챔버;
    상기 서셉터로 상기 기판을 로딩 또는 언로딩 하는 기판 이송 로봇;
    상기 챔버로부터 상기 기판이 로딩 및 언로딩될 때의 상기 기판의 위치를 검출하는 기판 위치 감지부;
    상기 기판 위치 감지부에서 검출된 상기 기판의 위치를 저장하는 저장부; 및
    상기 기판의 위치에 대한 정보를 이용하여 상기 기판이 상기 서셉터의 제1 위치에 안착되도록 상기 기판 이송 로봇을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 기판 이송 로봇은
    상기 기판 위치 감지부에서 검출된 상기 기판의 위치에 대한 정보에 대응하여 제어되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 기판 위치 감지부는,
    상기 기판이 상기 서셉터로 로딩될 때 감지되는 상기 기판의 길이를 측정하여 상기 기판이 로딩될 때의 위치를 검출하고,
    상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 감지되는 상기 기판의 길이를 측정하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 기판 위치 감지부는,
    상기 기판이 상기 서셉터로 로딩될 때 상기 기판이 감지되는 시간을 측정하여 상기 기판이 로딩될 때의 위치를 검출하고,
    상기 기판이 상기 서셉터로부터 언로딩될 때 상기 기판이 감지되는 시간을 측정하여 상기 기판이 언로딩될 때의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 제 9항 또는 제 10항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 기판이 로딩될 때의 위치에 대한 정보와 상기 기판이 언로딩될 때의 위치에 대한 정보를 이용하여 상기 기판 이송 로봇을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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