KR20210080685A - 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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신희균
심준호
강태욱
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Abstract

표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 캐리어 기판을 준비하고, 상기 캐리어 기판의 일면 상에 커버 영역, 및 상기 커버 영역의 적어도 일측의 노출 영역을 포함하는 희생 레이어를 형성하는 단계; 상기 희생 레이어의 상기 커버 영역의 일면 상에 일면이 상기 희생 레이어에 접하는 제1 가요성 물질을 형성하여 상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 노출하는 단계; 및 상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계를 포함한다.

Description

표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법{Display device and method of manufacturing for display device}
본 발명은 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
사용자에게 영상을 제공하는 스마트 폰, 태블릿 PC, 디지털 카메라, 노트북 컴퓨터, 네비게이션, 및 스마트 텔레비젼 등의 전자기기는 영상을 표시하기 위한 표시 장치를 포함한다. 표시 장치는 영상을 생성하여 표시하는 표시 장치 및 다양한 입력 장치를 포함한다.
표시 장치는 표시 화면을 제공하는 모든 전자 장치를 지칭할 수 있다. 예를 들어, 표시 화면을 제공하는 모바일 폰, 스마트 폰, 태블릿 PC(Personal Computer), 전자 시계, 스마트 워치, 워치 폰, 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(Portable Multimedia Player), 네비게이션, 게임기, 디지털 카메라 등과 같은 휴대용 전자 기기뿐만 아니라 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷 등이 표시 장치에 포함될 수 있다.
최근에는 표시 장치 중 가요성 기판을 포함하는 플렉시블 표시 장치가 많이 연구되고 있다. 플렉시블 표시 장치는 리지드한 캐리어 기판 상에 증착된다. 플렉시블 표시 장치가 캐리어 기판 상에 증착이 완료된 후, 캐리어 기판을 플렉시블 표시 장치로부터 탈착해야 한다. 예를 들어, 상기 탈착 공정으로 상기 플렉시블 표시 장치의 가요성 기판에 레이저를 조사하여 점착력을 제거하고, 캐리어 기판을 기계적 탈착 방식으로 제거하는 공정을 들 수 있다.
다만, 상기 공정에 의한 경우 캐리어 기판의 표면에 상기 가요성 기판의 잔막이 남아 캐리어 기판의 재활용이 어려울 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 캐리어 기판 상에 플렉시블 표시 장치가 증착된 후, 상기 캐리어 기판을 재활용할 수 있는 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 상기한 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 캐리어 기판을 준비하고, 상기 캐리어 기판의 일면 상에 커버 영역, 및 상기 커버 영역의 적어도 일측의 노출 영역을 포함하는 희생 레이어를 형성하는 단계; 상기 희생 레이어의 상기 커버 영역의 일면 상에 일면이 상기 희생 레이어에 접하는 제1 가요성 물질을 형성하여 상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 노출하는 단계; 및 상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계를 포함한다.
상기 캐리어 기판을 준비하는 단계는 상기 캐리어 기판의 일면을 음전하로 대전시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판의 일면을 음전하로 대전시키는 단계는 대기압 플라즈마(Atmospheric-pressure plasma) 장치를 이용하여 수행될 수 있다.
상기 희생 레이어를 형성하는 단계는 제1 전하로 하전된 제1 코팅막, 및 상기 제1 전하와 극성이 다른 제2 전하로 하전된 제2 코팅막을 반복하여 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 전하는 양전하로 상기 제2 전하는 음전하일 수 있다.
상기 제1 코팅막, 및 상기 제2 코팅막은 각각 그래핀 옥사이드(Graphene Oxide, GO)로 이루어질 수 있다.
상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계는 상기 대기압 플라즈마 장치 또는 수세 세정을 통해 수행될 수 있다.
상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계 후에, 상기 희생 레이어, 및 상기 가요성 물질의 측면은 정렬될 수 있다.
상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계 후에, 상기 제1 가요성 물질 상에 제1 배리어층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
제1 배리어층을 형성하는 단계 후에, 상기 제1 배리어층 상에 제2 가요성 물질, 상기 제2 가요성 물질 상에 회로 구동층, 상기 회로 구동층 상에 발광층, 및 상기 발광층 상에 봉지층을 순차 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계 후에, 상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거하는 단계에서, 상기 희생 레이어는 상기 캐리어 기판의 일면, 및 상기 제1 가요성 물질의 일면에 각각 잔여할 수 있다.
상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 희생 레이어의 두께는 상기 제1 가요성 물질의 일면에 잔여하는 희생 레이어의 두께보다 작을 수 있다.
상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거한 후에, 상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 상기 희생 레이어를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 상기 희생 레이어를 제거하는 단계는 상기 대기압 플라즈마 장치 또는 수세 세정을 통해 수행될 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 캐리어 기판을 준비하고, 상기 캐리어 기판의 일면 상에 희생 레이어를 형성하는 단계; 상기 희생 레이어의 일면 상에 일면이 상기 희생 레이어에 접하는 제1 가요성 물질을 형성하는 단계; 상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거하되, 상기 캐리어 기판의 일면에 상기 희생 레이어가 잔여하는 단계; 및 상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 상기 희생 레이어를 제거하여 상기 캐리어 기판을 재활용하는 단계를 포함한다.
상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 상기 희생 레이어를 제거하는 단계는 상기 대기압 플라즈마 장치 또는 수세 세정을 통해 수행될 수 있다.
상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거하는 단계에서, 상기 희생 레이어는 상기 제1 가요성 물질의 일면에 더 잔여할 수 있다.
상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 희생 레이어의 두께는 상기 제1 가요성 물질의 일면에 잔여하는 희생 레이어의 두께보다 작을 수 있다.
상기 다른 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치는 제1 가요성 기판; 상기 제1 가요성 기판의 일면 상에 배치된 제1 배리어층; 상기 제1 배리어층 상에 배치된 제2 가요성 기판; 상기 제2 가요성 기판 상에 배치된 회로 구동층; 및 상기 제1 가요성 기판의 일면에 반대면인 타면에 배치된 잔여물을 포함하되, 상기 잔여물의 일 측면은 상기 제1 가요성 기판의 일 측면과 정렬된다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치, 및 이의 제조 방법에 의하면, 캐리어 기판 상에 플렉시블 표시 장치가 증착된 후, 상기 캐리어 기판을 재활용할 수 있다.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 순서도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 캐리어 기판의 평면도이다.
도 3은 도 2의 III- III' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 4 내지 도 10, 도 12 내지 도 16, 및 도 18은 일 실시예에 따른 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이다.
도 11, 및 도 17은 일 실시예에 따른 제조 방법의 공정 단계별 평면도들이다.
도 19는 일 실시예에 따른 제조 방법의 일 공정 단계의 사시도이다.
도 20은 다른 실시예에 따른 제조 방법의 일 공정 단계의 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 구체적인 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법의 순서도이고, 도 2는 일 실시예에 따른 캐리어 기판의 평면도이고, 도 3은 도 2의 III- III' 선을 따라 자른 단면도이고, 도 4 내지 도 10, 도 12 내지 도 16, 및 도 18은 일 실시예에 따른 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이고, 도 11, 및 도 17은 일 실시예에 따른 제조 방법의 공정 단계별 평면도들이고, 도 19는 일 실시예에 따른 제조 방법의 일 공정 단계의 사시도이다.
실시예들에서, 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)은 서로 다른 방향으로 상호 교차한다. 도 1의 평면도에서는 설명의 편의상 세로 방향인 제1 방향(DR1)과 가로 방향인 제2 방향(DR2)이 정의되어 있다. 나아가, 제1 방향(DR1), 및 제2 방향(DR2)과 교차하는 두께 방향인 제3 방향(DR3)이 정의되어 있다. 이하의 실시예들에서 제1 방향(DR1) 일측은 평면도상 상측 방향을, 제1 방향(DR1) 타측은 평면도상 하측 방향을, 제2 방향(DR2) 일측은 평면도상 우측 방향을 제2 방향(DR2) 타측은 평면도상 좌측 방향을 각각 지칭하는 것으로 한다. 또한, 제3 방향(DR3)의 일측은 단면도 상 상측 방향(전면 발광 표시 장치의 경우의 표시 방향)을 제3 방향(DR3)의 타측은 단면도 상 하측 방향(전면 발광 표시 장치의 경우의 표시 방향의 반대 방향)을 각각 지칭하는 것으로 한다. 다만, 실시예에서 언급하는 방향은 상대적인 방향을 언급한 것으로 이해되어야 하며, 실시예는 언급한 방향에 한정되지 않는다.
도 1 내지 도 19를 참조하면, 표시 장치(10)는 후술하는 바와 같이 모기판의 단위로 제조된 표시 장치(11)가 각 셀로 분리된 셀 단위의 표시 장치일 수 있다.
표시 장치(10)는 표시 화면을 제공할 수 있다. 표시 장치(10)의 예로는 유기발광 표시 장치, 마이크로 LED 표시 장치, 나노 LED 표시 장치, 양자점 발광 표시 장치, 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치, 전계방출 표시 장치, 전기영동 표시 장치, 전기습윤 표시 장치 등을 들 수 있다. 이하에서는 표시 장치(10)의 일 예로서, 유기발광 표시 장치가 적용된 경우를 예시하지만, 그에 제한되는 것은 아니며, 동일한 기술적 사상이 적용가능하다면 다른 표시 장치에도 적용될 수 있다.
표시 장치(10)는 폴리이미드 등과 같은 가요성 고분자 물질을 포함하는 가요성 물질 또는 가요성 기판을 포함하는 플렉시블 표시 장치를 포함할 수 있다. 그에 따라, 표시 장치(10)는 휘어지거나, 절곡되거나, 접히거나, 말릴 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 캐리어 기판(20)을 준비(S10)한다.
캐리어 기판(20)의 평면 형상으로 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 단변, 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 장변을 갖는 직사각형 형상이 적용될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고 캐리어 기판(20)의 평면 형상은 단변이 제2 방향(DR2)을 따라 연장되고 장변이 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 직사각형 형상, 정사각형이나 기타 다각형 또는 원형, 타원형 등과 같은 다양한 형상이 적용될 수 있다.
캐리어 기판(20)은 유리, 또는 석영 등의 리지드 물질이 적용되고 표시 장치가 증착되는 공간을 마련할 수 있다. 즉, 표시 장치의 복수의 부재들은 캐리어 기판(20)의 상면(20t)에 순차 적층될 수 있다.
도 4를 참조하면, 캐리어 기판(20)을 준비(S10)하는 단계는 캐리어 기판(20)의 상면(20t)을 음전하로 대전시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 캐리어 기판(20)의 상면(20t)은 캐리어 기판(20)의 제3 방향(DR3) 일측의 일면일 수 있다.
상기 캐리어 기판(20)의 상면(20t)을 음전하로 대전시키는 단계는 캐리어 기판(20)의 상면(20t)을 표면 처리하여 진행될 수 있다. 상기 표면 처리는 대기압 플라즈마(Atmospheric-pressure plasma) 장치를 이용하여 수행될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니고, 당업계에 널리 알려진 방법에 의해서도 수행될 수도 있다.
상기 캐리어 기판(20)의 상면(20t)을 음전하로 대전시키는 후에, 캐리어 기판(21)의 상면(20t)은 전면적으로 음전하가 대전된 상태일 수 있다.
이어서, 도 5 내지 도 10을 참조하면, 음전하가 대전된 캐리어 기판(21)의 상면(20t) 상에 희생 레이어(30)를 형성(S20)한다.
희생 레이어(30)는 희생 레이어(30)의 일면 상에 증착되는 제1 가요성 물질(61)로부터 캐리어 기판(21)을 분리를 용이하게 위해, 제1 가요성 기판(60)과 캐리어 기판(21) 간의 점착력을 약화시키는 비본딩 레이어(De-bonding layer)일 수 있다. 비본딩 레이어는 그라핀-옥사이드(Graphene-Oxide, GO)로 이루어질 수 있다. 비본딩 레이어는 제1 전하로 하전된 일 코팅막, 상기 제1 전하와 극성이 상이한 제2 전하로 하전된 타 코팅막을 포함할 수 있다. 상기 일 코팅막과 상기 타 코팅막은 음전하가 대전된 캐리어 기판(21)의 상면(20t)에 직접 코팅될 수 있다. 상기 일 코팅막과 상기 타 코팅막은 제3 방향(DR3)을 따라 반복 배치될 수 있다.
이하에서 희생 레이어(30)를 형성하는 단계에 대해 상술한다.
우선, 도 5에 도시된 바와 같이 음전하가 대전된 캐리어 기판(21)을 제1 수용액(40)에 담지한다.
제1 수용액(40)은 양전하로 대전된 제1 물질(41)이 분산되어 있을 수 있다. 제1 물질(41)은 양전하로 대전된 그라핀-옥사이드(Positive graphene-oxide)를 포함할 수 있다.
제1 물질(41)은 음전하로 대전된 캐리어 기판(21)의 상면(20t)에 1차 코팅되어 도 6과 같이 제1 코팅막(41L)을 형성할 수 있다. 즉, 제1 물질(41)의 일 양전하는 제3 방향(DR3) 타측의 캐리어 기판(21)의 상면(20t)에 대전된 음전하와의 정전기적 인력을 통해 상호 결합될 수 있다.
제1 코팅막(41L)은 캐리어 기판(21)의 전면에 걸쳐 한 층의 제1 물질(41)들이 형성하는 막일 수 있다. 제1 코팅막(41L)은 캐리어 기판(20)의 전면에 걸쳐 형성될 수 있다.
제1 코팅막(41L)의 캐리어 기판(21)의 상면(20t)을 바라보는 일면에 위치하는 양전하는 캐리어 기판(21)의 상면(20t)에 대전된 음전하와 결합되어 있고, 상기 일면의 반대면인 타면에 위치하는 양전하는 외부로 노출되어 있을 수 있다. 즉, 제1 코팅막(41L)의 표면은 양전하로 하전된 상태일 수 있다.
이어서, 도 7에 도시된 바와 같이, 양전하로 하전된 제1 코팅막(41L), 및 캐리어 기판(20)을 제2 수용액(50)에 담지한다.
제2 수용액(50)은 음전하로 대전된 제2 물질(51)이 분산되어 있을 수 있다. 제2 물질(51)은 음전하로 대전된 그라핀-옥사이드(Negative graphene-oxide)를 포함할 수 있다.
제2 물질(51)은 양전하로 대전된 제1 코팅막(41L)의 일면에 2차 코팅되어 도 8과 같이 제2 코팅막(51L)을 형성할 수 있다. 즉, 제2 물질(51)의 일 음전하는 제3 방향(DR3) 타측의 제1 코팅막(41L)의 타면에 대전된 양전하와의 정전기적 인력을 통해 상호 결합될 수 있다.
제2 코팅막(51L)은 제1 코팅막(41L)의 전면에 걸쳐 한 층의 제2 물질(51)들이 형성하는 막일 수 있다. 제2 코팅막(51L)은 캐리어 기판(21)의 전면에 걸쳐 형성될 수 있다.
제2 코팅막(51L)의 제1 코팅막(41L)의 일면에 위치하는 음전하는 제1 코팅막(41L)의 일면에 대전된 양전하와 결합되어 있고, 제2 코팅막(51L)의 일면의 반대면인 타면에 위치하는 음전하는 외부로 노출되어 있을 수 있다.
이어서, 음전하로 하전된 제2 코팅막(51L)과 제1 코팅막(41L), 및 캐리어 기판(20)을 제1 수용액(40)에 담지하면, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 물질(41)이 음전하로 하전된 제2 코팅막(51L)의 일면에 3차 코팅되어 제3 코팅막(42L)을 형성할 수 있다. 음전하로 하전된 제2 코팅막(51L)과 제1 코팅막(41L), 및 캐리어 기판(21)을 제1 수용액(40)에 담지하는 공정은 도 5의 음전하가 대전된 캐리어 기판(21)을 제1 수용액(40)에 담지하는 공정과 담지된 구성만 상이할뿐, 제1 수용액(40)의 물질은 동일한 바 공정 단계에 대한 중복 설명은 생략하기로 한다.
제1 물질(41)의 일 양전하는 제3 방향(DR3) 타측의 제2 코팅막(51L)의 타면에 대전된 음전하와의 정전기적 인력을 통해 상호 결합될 수 있다.
제3 코팅막(42L)은 제2 코팅막(51L)의 전면에 걸쳐 한 층의 제1 물질(41)들이 형성하는 막일 수 있다. 제3 코팅막(42L)은 캐리어 기판(21)의 전면에 걸쳐 형성될 수 있다.
제3 코팅막(42L)의 제2 코팅막(51L)의 일면에 위치하는 양전하는 제2 코팅막(51L)의 일면에 대전된 음전하와 결합되어 있고, 제3 코팅막(42L)의 일면의 반대면인 타면에 위치하는 양전하는 외부로 노출되어 있을 수 있다.
이어서, 양전하로 하전된 제3 코팅막(42L)과 제2 코팅막(51L), 제1 코팅막(41L), 및 캐리어 기판(21)을 제2 수용액(50)에 담지하면, 도 10에 도시된 바와 같이, 제2 물질(51)이 양전하로 하전된 제3 코팅막(42L)의 일면에 4차 코팅되어 제4 코팅막(52L)을 형성할 수 있다. 양전하로 하전된 제3 코팅막(42L)과 제2 코팅막(51L), 제1 코팅막(41L), 및 캐리어 기판(21)을 제2 수용액(50)에 담지하는 공정은 도 7의 양전하로 하전된 제1 코팅막(41L), 및 캐리어 기판(21)을 제2 수용액(50)에 담지 공정과 담지된 구성만 상이할뿐, 제2 수용액(50)의 물질은 동일한 바 공정 단계에 대한 중복 설명은 생략하기로 한다.
제2 물질(51)의 일 음전하는 제3 방향(DR3) 타측의 제3 코팅막(42L)의 타면에 대전된 양전하와의 정전기적 인력을 통해 상호 결합될 수 있다.
제4 코팅막(52L)은 제3 코팅막(42L)의 전면에 걸쳐 한 층의 제2 물질(51)들이 형성하는 막일 수 있다. 제4 코팅막(52L)은 캐리어 기판(20)의 전면에 걸쳐 형성될 수 있다.
제4 코팅막(52L)의 제3 코팅막(42L)의 일면에 위치하는 음전하는 제3 코팅막(42L)의 일면에 대전된 양전하와 결합되어 있고, 제4 코팅막(52L)의 일면의 반대면인 타면에 위치하는 음전하는 외부로 노출되어 있을 수 있다.
희생 레이어(30)는 캐리어 기판(21)의 상면(20t)으로부터 제3 방향(DR3)을 따라 순차 적층된 제1 코팅막(41L), 제2 코팅막(51L), 제3 코팅막(42L), 및 제4 코팅막(52L)을 포함할 수 있다. 여기서, 양전하로 하전된 상기 일 코팅막과 인접한 음전하로 하전된 상기 타 코팅막은 바이-레이어(bi-layer)를 형성할 수 있다. 즉, 양전하로 하전된 제1 코팅막(41L), 및 음전하로 하전된 제2 코팅막(51L)은 제1 바이-레이어(1 bi-layer)를 형성할 수 있고, 양전하로 하전된 제3 코팅막(42L), 및 음전하로 하전된 제4 코팅막(52L)은 제2 바이-레이어(2 bi-layer)를 형성할 수 있다. 즉, 희생 레이어(30)는 제1 바이-레이어(1 bi-layer), 및 제2 바이-레이어(2 bi-layer)가 순차 적층된 이중 바이-레이어(dyad bi-layer)를 포함할 수 있다.
다만, 이에 제한되지 않고 희생 레이어(30)는 제2 바이-레이어 상에 순차 적층된 다른 바이-레이어를 더 포함하여 바이-레이어의 개수가 3개이상일 수도 있고, 바이-레이어의 개수가 1개일 수도 있다.
이하에서는 바이-레이어의 개수가 2개, 즉 캐리어 기판(21)의 상면(20t)으로부터 제3 방향(DR3)을 따라 순차 적층된 제1 코팅막(41L), 제2 코팅막(51L), 제3 코팅막(42L), 및 제4 코팅막(52L)을 포함하는 구성을 중심으로 설명하기로 한다.
희생 레이어(30)의 상면(도 12의 '30t' 참조)은 제4 코팅막(52L)의 일면 또는 상면으로 이루어지고 희생 레이어(30)의 저면(도 12의 '30u' 참조)은 제1 코팅막(41L)의 타면 또는 하면으로 이루어질 수 있다.
상술한 바와 같이 희생 레이어(30)의 순차 적층된 제1 코팅막(41L), 제2 코팅막(51L), 제3 코팅막(42L), 및 제4 코팅막(52L)은 캐리어 기판(20)의 전면에 걸쳐 형성될 수 있다. 즉, 희생 레이어(30)의 일 측면 및 타 측면은 각각 그에 대응되는 캐리어 기판(21)의 일 측면 및 타 측면에 각각 제3 방향(DR3)을 따라 정렬될 수 있다.
후술할 제1 가요성 물질(61)은 캐리어 기판(21)에 직접 닿으면 캐리어 기판의 분리 공정 이후, 캐리어 기판(21)으로부터 제1 가요성 물질(61) 등이 잔여하고, 잔여하는 제1 가요성 물질(61) 등을 캐리어 기판(21)으로부터 제거하는 것이 어려울 수 있다. 즉, 잔여하는 제1 가요성 물질(61) 등을 캐리어 기판(21)으로부터 제거할 때 연마(Polishing) 공정이 이용되는데, 연마가 진행되면 캐리어 기판(21)의 표면에 스크레치 및 슬러지가 발생될 수 있다. 즉, 희생 레이어가 캐리어 기판(21)과 제1 가요성 물질(61)의 사이에 형성되더라도 희생 레이어의 배치 영역보다 제1 가요성 물질(61)의 배치 영역이 크면 제1 가요성 물질(61)이 캐리어 기판(21)의 상면(20t)에 직접 닿아 캐리어 기판(21)의 재활용이 어려울 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면 희생 레이어(30)를 캐리어 기판(21)의 전면에 형성함으로써 제1 가요성 물질(61)을 캐리어 기판(21)의 상면(20t)과 닿는 것을 원척적으로 방지할 수 있다.
나아가, 제1 가요성 물질(61), 그 위에 형성되는 복수의 부재들이 형성된 후, 제1 가요성 물질(61), 및 상기 복수의 부재들은 각 셀 단위로 커팅될 수 있는데, 상술한 바와 같이 희생 레이어(30)를 캐리어 기판(21)의 전면에 형성하면 제1 가요성 물질(61), 및 상기 복수의 부재들의 배치 영역을 더 크게 할 수 있다. 이로 인해, 모기판 단위에서 셀 단위로 표시 장치가 제조될 때, 재료가 낭비되는 것을 방지할뿐만 아니라, 하나의 모기판 단위에서 더 많은 셀 단위의 표시 장치들이 형성될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 희생 레이어(30)의 순차 적층된 제1 코팅막(41L), 제2 코팅막(51L), 제3 코팅막(42L), 및 제4 코팅막(52L)은 캐리어 기판(20)의 전면에 걸쳐 형성되지 않고 캐리어 기판(21)의 일 측면, 및 타 측면보다 내측에 형성될 수 있다.
희생 레이어(30)는 캐리어 기판(21)의 상면(20t)으로부터 제1 두께(t1)를 가질 수 있다. 제1 두께(t1)는 예를 들어, 약 50μm 내지 약 60μm일 수 있지만, 그 두께가 상기한 예에 제한되는 것은 아니다.
이어서, 도 1, 도 11, 및 도 12를 참조하면, 희생 레이어(30)의 상면(30t) 상에 제1 가요성 물질(61)을 형성(S30)한다.
제1 가요성 물질(61)은 폴리 이미드(Poly imide, PI) 등의 가요성 물질을 포함할 수 있다.
제1 가요성 물질(61)의 하면(61u)은 희생 레이어(30)의 상면(30t)에 접하도록 제1 가요성 물질(61)을 형성할 수 있다.
제1 가요성 물질(61)을 형성하는 단계(S30)는 제1 가요성 물질(61)을 희생 레이어(30)의 상면(30t) 상에 슬릿 코팅 방식으로 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 슬릿 코팅 방식으로 제1 가요성 물질(61)을 희생 레이어(30)의 상면(30t) 상에 형성할 때, 슬릿 코팅이 시작되는 제1 가요성 물질(61)의 단부는 제3 방향(DR3)의 일측으로 솟아오른 형상을 가져 해당 영역에서의 두께가 나머지 영역에서의 두께보다 클 수 있지만, 이에 제한되지 않고 제1 가요성 물질(61)의 두께는 전반적으로 균일할 수도 있다.
제1 가요성 물질(61)을 형성하는 단계(S30)는 제1 가요성 물질(61)을 희생 레이어(30)의 일 측면, 및 타 측면보다 각각 내측에 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 즉, 희생 레이어(30)는 도 12에 도시된 바와 같이 제1 가요성 물질(61)과 제3 방향(DR3)을 따라 중첩하는 커버 영역(30a), 및 제1 가요성 물질(61)과 제3 방향(DR3)을 따라 비중첩하는 노출 영역(30b, 30c)을 포함할 수 있다.
희생 레이어(30)의 커버 영역(30a)은 제3 방향(DR3) 일측의 제1 가요성 물질(61)과 직접 접하며, 제1 가요성 물질(61)에 의해 커버될 수 있고, 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)의 상면(30t)은 제1 가요성 물질(61)과 비접촉되고, 제1 가요성 물질(61)에 의해 상면(30t)이 노출될 수 있다.
제1 가요성 물질(61)을 형성하는 단계(S30)는 제1 가요성 물질(61)을 희생 레이어(30)의 일 측면, 및 타 측면보다 각각 내측에 형성함으로써 제1 가요성 물질(61)이 캐리어 기판(21)의 외측으로 넘쳐 캐리어 기판(20)의 일 측면, 및 타측면에 접하는 것을 미연에 방지할 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 제1 가요성 물질(61)을 형성하는 단계(S30)에서 제1 가요성 물질(61)이 캐리어 기판(21)에 비접촉하도록 제1 가요성 물질(61)을 형성할 수 있다. 즉, 희생 레이어(30)를 상술한 바와 같이 캐리어 기판(21)의 전면에 형성하고, 제1 가요성 물질(61)을 희생 레이어(30)의 일 측면, 및 타 측면보다 각각 내측에 형성함으로써 제1 가요성 물질(61)이 캐리어 기판(21)의 상면(20t)에 접하지 않게 할 수 있다.
희생 레이어(30)의 순차 적층된 제1 코팅막(41L), 제2 코팅막(51L), 제3 코팅막(42L), 및 제4 코팅막(52L)은 캐리어 기판(20)의 전면에 걸쳐 형성되지 않고 캐리어 기판(21)의 일 측면, 및 타 측면보다 내측에 형성되는 실시예에서도 제1 가요성 물질(61)을 희생 레이어(30)의 일 측면, 및 타 측면보다 각각 내측에 형성할 수 있다.
이어서, 도 1, 및 도 13을 참조하면, 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하여 희생 레이어(31)를 형성(S40)한다.
더욱 구체적으로 설명하면, 일 실시예에서, 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하는 단계(S40)는 도 4에서 상술한 표면 처리를 통해 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)를 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 표면 처리는 대기압 플라즈마(Atmospheric-pressure plasma) 장치를 이용하여 수행될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니고, 당업계에 널리 알려진 방법에 의해서도 수행될 수도 있다.
상기 표면 처리는 대기압 플라즈마(Atmospheric-pressure plasma) 장치를 이용하여 수행될 경우, 대기압 플라즈마 장치의 플라즈마의 형태를 갖는 기체는 제1 가요성 물질(61)과 희생 레이어(30)에 다른 선택비를 가질 수 있다. 즉, 상기 기체가 닿으면 제1 가요성 물질(61)은 표면 처리가 실질적으로 진행되지 않지만, 희생 레이어(30)는 표면 처리가 상대적으로 많이 진행될 수 있다. 제1 가요성 물질(61)의 표면 처리가 실질적으로 진행되지 않다는 것은 일부 제1 가요성 물질(61)의 표면이 상기 기체에 의해 처리될 수 있으나, 희생 레이어(30) 대비 표면 처리된 정도가 거의 없는 정도로 볼 수 있는 것을 의미한다.
도 13에 도시된 바와 같이 제1 가요성 물질(61)과 제3 방향(DR3)을 따라 중첩 배치된 희생 레이어(30)의 커버 영역(30a)은 제1 가요성 물질(61)에 의해 상기 기체가 도달되지 않아 표면 처리가 되지 않고 그대로 남아 있지만, 제1 가요성 물질(61)과 비중첩 배치된 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)은 상기 기체가 도달되어 표면 처리가 진행되어 제거될 수 있다.
따라서, 희생 레이어(31)의 커버 영역(30a)의 일 측면 및 타 측면은 각각 그에 대응되는 제1 가요성 물질(61)의 일 측면 및 타측면과 각각 제3 방향(DR3)을 따라 정렬될 수 있다.
희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)은 제1 배리어층(62), 제2 배리어층(64), 버퍼층(65), 회로 구동층(66)의 복수의 무기막, 및 박막 봉지층(68)의 무기막의 형성 공정(증착(Deposition), 및 에칭(Etching) 공정 등)에서 물리적 및/또는 화학적 데미지를 입을 수 있다. 물리적 및/또는 화학적 데미지를 입은 노출 영역(30b, 30c)은 캐리어 기판(21)으로부터 박리되어 후속 공정의 효율을 떨어뜨리며, 자체 크랙이 발생하여 후속 공정에서 형성되는 복수의 부재들에 상기 크랙을 전달할 수 있다.
다만, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거(S40)함으로써 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)이 제1 배리어층(62), 제2 배리어층(64), 버퍼층(65), 회로 구동층(66)의 복수의 무기막, 및 박막 봉지층(68)의 무기막의 형성 공정(증착(Deposition), 및 에칭(Etching) 공정 등)에서 물리적 및/또는 화학적 데미지를 입는 것을 방지하여 물리적 및/또는 화학적 데미지를 입은 노출 영역(30b, 30c)으로 인해 희생 레이어(30)가 캐리어 기판(21)으로부터 박리되어 후속 공정의 효율을 떨어뜨리며, 자체 크랙이 발생하여 후속 공정에서 형성되는 복수의 부재들에 상기 크랙을 전달하는 것을 미연에 방지할 수 있다.
다른 예로, 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하는 단계(S40)는 수세 세정을 통해 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하는 단계(S40)가 수세 세정을 통해 진행되는 경우, 상기 세정액은 제1 가요성 물질(61)과 희생 레이어(30)에 다른 선택비를 가질 수 있다. 즉, 상기 세정액이 닿으면 제1 가요성 물질(61)은 세정이 실질적으로 진행되지 않지만, 희생 레이어(30)는 세정이 상대적으로 많이 진행될 수 있다. 제1 가요성 물질(61)의 세정이 실질적으로 진행되지 않다는 것은 일부 제1 가요성 물질(61)이 상기 세정액에 의해 세정될 수 있으나, 희생 레이어(30) 대비 세정된 정도가 거의 없는 정도로 볼 수 있는 것을 의미한다.
따라서, 제1 가요성 물질(61)과 제3 방향(DR3)을 따라 중첩 배치된 희생 레이어(30)의 커버 영역(30a)은 제1 가요성 물질(61)에 의해 상기 세정액이 거의 도달되지 않아 세정되지 않고 거의 그대로 남아 있지만, 제1 가요성 물질(61)과 비중첩 배치된 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)은 상기 세정액이 도달되어 세정이 진행되어 제거될 수 있다.
상기 수세 세정에 이용되는 세정제는 화학 작용을 통해 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거할 수 있다. 상기 세정제는 (Tetramethylammonium hydroxide, 수산화 테트라메틸암모늄)을 포함하는 염기성 세정제일 수 있다.
이어서, 제1 가요성 물질(61) 상에 제1 배리어층(62)을 형성(S50)한다.
제1 배리어층(62)은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄 옥사이드층, 또는 알루미늄 옥사이드층 등의 무기 물질을 포함할 수 있다.
제1 배리어층(62)은 상기 무기 물질의 증착(Deposition), 및 에칭(Etching) 공정 등을 통해 형성될 수 있다.
제1 배리어층(62)의 일 측면, 및 타 측면은 각각 그에 대응되는 제1 가요성 물질(61)의 일 측면, 및 타 측면과 제3 방향(DR3)을 따라 정렬될 수 있다. 디민. 이에 제한되지 않고 제1 배리어층(62)의 일 측면, 및 타 측면은 각각 그에 대응되는 제1 가요성 물질(61)의 일 측면, 및 타 측면보다 외측으로 보다 돌출되거나 내측으로 보다 만입될 수도 있다.
이어서, 제2 가요성 물질(63), 제2 배리어층(64), 버퍼층(65), 회로 구동층(66), 발광층(67), 및 박막 봉지층(68)을 순차 적층한다.
제2 가요성 물질(63)은 제1 가요성 물질(61)의 구성 물질과 동일한 물질을 포함하여 이루어질 수 있다. 제2 가요성 물질(63)의 일 측면, 및 타측면은 그에 대응되는 제1 가요성 물질(61)의 일 측면, 및 타 측면보다 내측으로 보다 만입되어 형성될 수 있다. 이로 인해, 제2 가요성 물질(63)이 제1 배리어층(62), 및 제1 가요성 물질(61)의 측면들보다 외측으로 넘쳐 흐르는 것을 미연에 방지할 수 있다.
제2 가요성 물질(63)은 제1 가요성 물질(61)의 형성 방법과 실질적으로 동일한 슬릿 코팅을 통해 형성될 수 있는 바, 이에 의한 슬릿 코팅이 시작되는 일 단부가 제3 방향(DR3)을 따라 돌출된 형상을 가질 수 있다. 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 한다.
제2 배리어층(64)을 제2 가요성 물질(63) 상에 형성할 수 있다. 제2 배리어층(64)은 제2 가요성 물질(63)의 일 측면, 및 타 측면보다 외측으로 확장되어 제2 가요성 물질(63)의 일 측면, 및 타 측면을 덮어 보호할 수 있다.
제2 배리어층(64)의 일 측면, 및 타 측면은 각각 그에 대응되는 제1 배리어층(62)의 일 측면 및 타 측면과 제3 방향(DR3)을 따라 정렬될 수 있다.
제2 배리어층(64) 상에 버퍼층(65)을 형성할 수 있다.
버퍼층(65)은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄 옥사이드층, 또는 알루미늄 옥사이드층 등의 무기 물질을 포함할 수 있다.
버퍼층(65)은 상기 무기 물질의 증착(Deposition), 및 에칭(Etching) 공정 등을 통해 형성될 수 있다.
버퍼층(65) 상에 회로 구동층(66)을 형성할 수 있다. 회로 구동층(66)은 화소의 발광층(67)을 구동하는 회로를 포함할 수 있다. 회로 구동층(66)은 복수의 박막 트랜지스터를 포함할 수 있다.
회로 구동층(66) 상부에는 발광층(67)이 배치될 수 있다. 발광층(67)은 유기 발광층을 포함할 수 있다. 발광층(67)은 회로 구동층(66)에서 전달하는 구동 신호에 따라 다양한 휘도로 발광할 수 있다.
발광층(67) 상부에는 박막 봉지층(68)이 배치될 수 있다. 박막 봉지층(68)은 무기막 또는 무기막과 유기막의 적층막을 포함할 수 있다. 다른 예로 박막 봉지층(68)으로 글래스나 봉지 필름 등이 적용될 수도 있다.
버퍼층(65), 회로 구동층(66), 발광층(67), 및 박막 봉지층(68)의 일 측면 및 타 측면은 각각 그에 대응되는 제2 배리어층(64)의 일 측면 및 타 측면보다 내측에 형성될 수 있고, 버퍼층(65), 회로 구동층(66), 발광층(67), 및 박막 봉지층(68)의 적어도 일 측면은 제3 방향(DR3)을 따라 정렬될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
이이서, 도 1, 도 15, 및 도 16을 참조하면, 캐리어 기판(21)을 제1 가요성 물질(61)로부터 제거(S60)한다.
더욱 구체적으로 설명하면, 캐리어 기판(21)을 제1 가요성 물질(61)로부터 제거하는 단계(S60)는 기계적 탈착을 통해 수행될 수 있다.
상기 기계적 탈착은 진공 패드를 포함하는 유리 제거 장치(Glass remove machine, GRM)를 통해 이루어질 수 있다. 즉, 유리 제거 장치를 캐리어 기판(21)의 하면에 배치하여 상기 진공 패드를 이용하여 캐리어 기판(21)의 하면을 흡착함으로써 캐리어 기판(21)을 제3 방향(DR3) 타측으로 잡아당겨 캐리어 기판(21)과 제1 가요성 물질(61)이 물리적으로 분리되게 된다.
상기한 바와 같이 캐리어 기판(21)과 제1 가요성 물질(61)의 사이에는 캐리어 기판(21)과 제1 가요성 물질(61) 사이의 결합력을 약화시키는 희생 레이어(31)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 희생 레이어(31)가 배치됨으로써 제1 가요성 물질(61)과 캐리어 기판(21) 사이의 결합력은 약 3gf/in 이하 수준으로 낮아질 수 있다.
캐리어 기판(21)을 제1 가요성 물질(61)로부터 제거하는 단계(S60)에서 그 사이에 배치된 희생 레이어(31)는 제1 가요성 물질(61)의 하면(61u), 및 캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 각각 잔여할 수 있다.
제1 가요성 물질(61)의 하면(61u)에 잔여하는 희생 레이어(32)는 제2 두께(t2)를 갖고, 캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 잔여하는 희생 레이어(33)는 제2 두께(t2)보다 작은 제3 두께(t3)를 가질 수 있다.
제2 두께(t2)와 제3 두께(t3)의 합산은 제1 두께(t1)와 동일할 수 있다. 제2 두께(t2)는 예를 들어, 제3 두께(t3)보다 약 4배일 수 있다. 예를 들어, 제2 두께(t2)는 약 40μm일 수 있고, 제3 두께(t3)는 약 10μm일 수 있다.
다만, 이에 제한되지 않고 제1 가요성 물질(61)의 하면(61u), 및 캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 각각 잔여하는 희생 레이어(32, 33)가 캐리어 기판(21)을 제1 가요성 물질(61)로부터 제거하는 단계(S60) 등에서 일부 더 제거되어 제2 두께(t2)와 제3 두께(t3)의 합산이 제1 두께(t1)보다 작을 수도 있다.
도 15, 도 17, 및 도 18에 도시된 바와 같이 희생 레이어(32), 제1 가요성 물질(61), 및 그 상부에 배치된 복수의 부재들은 모기판 단위의 표시 장치(11)를 구성할 수 있다.
몇몇 실시예에서 박막 봉지층(68)의 바로 위에 터치층이 더 배치될 수 있다.
모기판 단위의 표시 장치(11)는 복수의 셀 단위의 표시 장치(10)를 포함할 수 있다. 각 표시 장치(10)는 캐리어 기판(21)이 제1 가요성 물질(61)로부터 제거되고 박막 봉지층(68) 상에 이형 필름이 배치된 후(터치층을 포함할 경우 터치 필름 상에 이형 필름 배치) 모기판 단위의 표시 장치(11)로부터 커팅되어 형성될 수 있다.
도 17에서는 모기판 단위의 표시 장치(11)가 제1 방향(DR1)을 따라 2개의 행, 제2 방향(DR2)을 따라 5열로 배열된 총 10개의 셀 단위의 표시 장치(10)들을 포함하는 것으로 예시되었지만, 하나의 모기판 단위의 표시 장치(11)가 포함하는 셀 단위의 표시 장치(10)의 개수, 및 배열이 예시된 바에 제한되지 않음은 자명하다.
도 18에 도시된 바와 같이 셀 커팅된 셀 단위의 표시 장치(10)는 희생 레이어(33'), 제1 가요성 물질(61'), 제1 배리어층(62'), 제2 가요성 물질(63'), 제2 배리어층(64'), 버퍼층(65'), 회로 구동층(66'), 발광층(67'), 및 박막 봉지층(68')의 각각 대응되는 일 측면, 및 타 측면들이 제3 방향(DR3)을 따라 정렬될 수 있다. 도 18의 표시 장치(10)의 희생 레이어(33'), 제1 가요성 물질(61'), 제1 배리어층(62'), 제2 가요성 물질(63'), 제2 배리어층(64'), 버퍼층(65'), 회로 구동층(66'), 발광층(67'), 및 박막 봉지층(68’)은 각각 도 14, 및 도 15의 희생 레이어(33), 제1 가요성 물질(61), 제1 배리어층(62), 제2 가요성 물질(63), 제2 배리어층(64), 버퍼층(65), 회로 구동층(66), 발광층(67), 및 박막 봉지층(68)과 평면상 크기가 상이할 뿐 실질적으로 동일한 기능을 하는 바 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 1, 도 15, 및 도 19를 참조하면, 캐리어 기판(21)을 제1 가요성 물질(61)로부터 제거하는 단계(S60) 후에, 캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 잔여하는 희생 레이어(33)를 제거(S70)한다.
캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 잔여하는 희생 레이어(33)를 제거(S70)하는 단계는 모기판 단위의 표시 장치(11)로부터 각 셀 단위의 표시 장치(10)를 제조하는 단계보다 먼저 수행될 수 있고, 그 나중에 수행되거나 동시에 수행될 수 있다.
캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 잔여하는 희생 레이어(33)를 제거하는 단계(S70)는 도 13에서 상술한 표면 처리, 또는 수세 세정을 통해 수행될 수 있다.
더욱 구체적으로 설명하면, 표면 처리를 이용할 경우 캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 잔여하는 희생 레이어(33)를 제거하는 단계(S70)는 도 19에 도시된 대기압 플라즈마(Atmospheric-pressure plasma) 장치를 이용하여 수행될 수 있다. 대기압 플라즈마 장치(70)는 본체부(71), 및 본체부(71)와 연결된 복수의 노즐(72)들을 포함할 수 있다. 노즐(72)을 통해 도 13에서 상술한 플라즈마 기체가 분사될 수 있다.
대기압 플라즈마 장치(70)가 제2 방향(DR2)을 따라 이동하면 본체부(71)와 연결된 노즐(72)들에서 분사된 플라즈마 기체가 희생 레이어(33)에 닿아 희생 레이어(33)가 제거될 수 있다.
도 19에서는 대기압 플라즈마 장치(70)가 제2 방향(DR2)을 따라 이동하는 것으로 예시되었으나, 대기압 플라즈마 장치(70)의 이동 방향은 다양하게 변형될 수 있다.
상기 표면 처리, 및 상기 수세 세정에 대해서는 도 13에서 자세히 설명한 후 이하 중복 설명은 생략하기로 한다.
이어서, 캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 잔여하는 희생 레이어(33)를 제거하는 단계(S70) 후에, 캐리어 기판(21)은 다시 재활용될 수 있다. 즉, 캐리어 기판(21) 상에 도 5 내지 도 19의 공정들이 재수행될 수 있다.
상술한 바와 같이 제1 가요성 물질(61)은 캐리어 기판(21)에 직접 닿으면 캐리어 기판의 분리 공정 이후, 캐리어 기판(21)으로부터 제1 가요성 물질(61) 등이 잔여하고, 잔여하는 제1 가요성 물질(61) 등을 캐리어 기판(21)으로부터 제거하는 것이 어려울 수 있다. 즉, 잔여하는 제1 가요성 물질(61) 등을 캐리어 기판(21)으로부터 제거할 때 연마(Polishing) 공정이 이용되는데, 연마가 진행되면 캐리어 기판(21)의 표면에 스크레치 및 슬러지가 발생될 수 있다. 즉, 희생 레이어가 캐리어 기판(21)과 제1 가요성 물질(61)의 사이에 형성되더라도 희생 레이어의 배치 영역보다 제1 가요성 물질(61)의 배치 영역이 크면 제1 가요성 물질(61)이 캐리어 기판(21)의 상면(20t)에 직접 닿아 캐리어 기판(21)의 재활용이 어려울 수 있다.
다만, 일 실시예에 따른 제조 방법에 의하면, 희생 레이어(30)를 캐리어 기판(21)의 전면에 형성함으로써 제1 가요성 물질(61)을 캐리어 기판(21)의 상면(20t)과 닿는 것을 원척적으로 방지하고, 캐리어 기판(21)을 분리한 후, 캐리어 기판(21)의 상면(21t)에 잔여하는 희생 레이어(33)를 쉽게 제거함으로써 캐리어 기판(21)을 재활용할 수 있다.
이하, 다른 실시예에 대해서 설명한다. 이하의 실시예에서 이미 설명한 실시예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 부호로서 지칭하고, 그 설명을 생략하거나 간략화한다.
도 20은 다른 실시예에 따른 제조 방법의 일 공정 단계의 단면도이다.
도 20을 참조하면, 도 12에 따른 희생 레이어(30)의 상면(30t) 상에 제1 가요성 물질(61)을 형성 단계(S30)와 도 13에 따른 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하여 희생 레이어(31)를 형성 단계(S40) 사이에, 제1 배리어층(62)을 형성하는 단계가 수행된다는 점에서 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법과 상이하다.
더욱 구체적으로 설명하면, 도 13에서 상술한 플라즈마 기체에 대한 제1 배리어층(62)의 선택비와 희생 레이어(30)의 선택비가 상이할 수 있다. 즉, 제1 가요성 물질(61)과 마찬가지로 제1 배리어층(62)은 플라즈마 기체에 대해 거의 반응하지 않을 수 있다.
제1 배리어층(62)의 일 측면, 및 타 측면은 제1 가요성 물질(61)의 일 측면, 및 타 측면과 제3 방향(DR3)을 따라 정렬될 수 있다. 이 경우, 희생 레이어(30)의 제거되는 영역은 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하여 희생 레이어(31)를 형성 단계(S40)에서와 동일하다. 제1 배리어층(62)의 일 측면, 및 타 측면이 제1 가요성 물질(61)의 일 측면, 및 타 측면보다 내측으로 형성되는 경우에도 마찬가지이다.
다만, 제1 배리어층(62)의 일 측면, 및 타 측면이 제1 가요성 물질(61)의 일 측면, 및 타 측면 보다 외측으로 돌출된 경우, 희생 레이어(30)의 제거되는 영역은 돌출된 제1 배리어층(62)에 의해 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하여 희생 레이어(31)를 형성 단계(S40)에서보다 작을 수 있다.
도 13에서 상술한 수세 세정이 적용될 경우, 마찬가지로 제1 배리어층(62)의 일 측면, 및 타 측면이 제1 가요성 물질(61)의 일 측면, 및 타 측면 보다 외측으로 돌출된 경우, 희생 레이어(30)의 제거되는 영역은 돌출된 제1 배리어층(62)에 의해 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하여 희생 레이어(31)를 형성 단계(S40)에서보다 작을 수 있다. 다만, 세정액이 제1 배리어층(62)의 돌출된 부분의 아래로 흘러 희생 레이어(30)의 상면(30t)에 닿아 세정이 진행될 경우, 희생 레이어(30)의 제거되는 영역은 희생 레이어(30)의 노출 영역(30b, 30c)을 제거하여 희생 레이어(31)를 형성 단계(S40)에서와 실질적으로 동일할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10, 11: 표시 장치
20: 캐리어 기판
30: 희생 레이어
61: 제1 가요성 물질
62: 제1 배리어층

Claims (20)

  1. 캐리어 기판을 준비하고, 상기 캐리어 기판의 일면 상에 커버 영역, 및 상기 커버 영역의 적어도 일측의 노출 영역을 포함하는 희생 레이어를 형성하는 단계;
    상기 희생 레이어의 상기 커버 영역의 일면 상에 일면이 상기 희생 레이어에 접하는 제1 가요성 물질을 형성하여 상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 노출하는 단계; 및
    상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 준비하는 단계는 상기 캐리어 기판의 일면을 음전하로 대전시키는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판의 일면을 음전하로 대전시키는 단계는 대기압 플라즈마(Atmospheric-pressure plasma) 장치를 이용하여 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 희생 레이어를 형성하는 단계는 제1 전하로 하전된 제1 코팅막, 및 상기 제1 전하와 극성이 다른 제2 전하로 하전된 제2 코팅막을 반복하여 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 전하는 양전하로 상기 제2 전하는 음전하인 표시 장치의 제조 방법.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 코팅막, 및 상기 제2 코팅막은 각각 그래핀 옥사이드(Graphene Oxide, GO)로 이루어진 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제4 항에 있어서,
    상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계는 상기 대기압 플라즈마 장치 또는 수세 세정을 통해 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제4 항에 있어서,
    상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계 후에, 상기 희생 레이어, 및 상기 가요성 물질의 측면은 정렬되는 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계 후에, 상기 제1 가요성 물질 상에 제1 배리어층을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    제1 배리어층을 형성하는 단계 후에, 상기 제1 배리어층 상에 제2 가요성 물질, 상기 제2 가요성 물질 상에 회로 구동층, 상기 회로 구동층 상에 발광층, 및 상기 발광층 상에 봉지층을 순차 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제8 항에 있어서,
    상기 희생 레이어의 상기 노출 영역을 제거하는 단계 후에, 상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거하는 단계에서, 상기 희생 레이어는 상기 캐리어 기판의 일면, 및 상기 제1 가요성 물질의 일면에 각각 잔여하는 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 희생 레이어의 두께는 상기 제1 가요성 물질의 일면에 잔여하는 희생 레이어의 두께보다 작은 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거한 후에, 상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 상기 희생 레이어를 제거하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 상기 희생 레이어를 제거하는 단계는 상기 대기압 플라즈마 장치 또는 수세 세정을 통해 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 캐리어 기판을 준비하고, 상기 캐리어 기판의 일면 상에 희생 레이어를 형성하는 단계;
    상기 희생 레이어의 일면 상에 일면이 상기 희생 레이어에 접하는 제1 가요성 물질을 형성하는 단계;
    상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거하되, 상기 캐리어 기판의 일면에 상기 희생 레이어가 잔여하는 단계; 및
    상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 상기 희생 레이어를 제거하여 상기 캐리어 기판을 재활용하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 상기 희생 레이어를 제거하는 단계는 상기 대기압 플라즈마 장치 또는 수세 세정을 통해 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판을 상기 제1 가요성 물질로부터 제거하는 단계에서, 상기 희생 레이어는 상기 제1 가요성 물질의 일면에 더 잔여하는 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판의 일면에 잔여하는 희생 레이어의 두께는 상기 제1 가요성 물질의 일면에 잔여하는 희생 레이어의 두께보다 작은 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제1 가요성 기판;
    상기 제1 가요성 기판의 일면 상에 배치된 제1 배리어층;
    상기 제1 배리어층 상에 배치된 제2 가요성 기판;
    상기 제2 가요성 기판 상에 배치된 회로 구동층; 및
    상기 제1 가요성 기판의 일면에 반대면인 타면에 배치된 잔여물을 포함하되,
    상기 잔여물의 일 측면은 상기 제1 가요성 기판의 일 측면과 정렬되는 표시 장치.
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