KR20150058610A

KR20150058610A - 액정 표시 패널의 제조 방법 및 이를 위한 제조 장치

Info

Publication number: KR20150058610A
Application number: KR1020130139978A
Authority: KR
Inventors: 이광호; 김영배; 권혁윤; 김상일; 김종성
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사; 주식회사 톱텍
Priority date: 2013-11-18
Filing date: 2013-11-18
Publication date: 2015-05-29
Also published as: US20150140889A1; US9632337B2

Abstract

본 발명은 메인 스테이지 및 보조 스테이지를 포함하는 기판 적층체를 거치하기 위한 스테이지, 및 진입부 및 강성 확보부를 포함하는 상기 기판 적층체의 지지 기판을 박리하기 위한 나이프를 포함하고, 상기 스테이지는 상기 스테이지 면에 평행한 방향으로 회전 가능하고, 상기 나이프의 상기 강성 확보부는 복수의 영역으로 나뉘어져 있으며, 상기 진입부의 반대 영역으로 갈수록 더 두껍게 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면 박막 기판으로부터 지지 기판을 쉽게 분리할 수 있고, 지지 기판에 스크래치 발생이 최소화되어 지지 기판의 재사용 가능성 및 횟수를 늘릴 수 있으며, 박막 기판이 파손되지 않도록 액정 표시 패널을 제조할 수 있는 장점이 있다.

Description

액정 표시 패널의 제조 방법 및 이를 위한 제조 장치{METHOD FOR MANUACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANNEL AND MANUFACTURING DEVICE THEREOR}

본 발명은 액정 표시 패널을 제조하는 방법 및 이를 위한 제조 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치(LCD)는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 액정 표시 패널의 화소 전극과 공통 전극에 서로 다른 전위를 인가하여 전계를 형성함으로써 액정 분자들의 배열을 변경시키고, 이를 통해 투광률을 조절하여 화상을 표현하는 장치이다.

액정 표시 패널은 액정 표시 장치의 표시부에 해당하는 부분으로서, 일반적으로 공통 전극, 컬러 필터 등이 형성되어 있는 상부 표시판과 박막 트랜지스터, 화소 전극 등이 형성되어 있는 하부 표시판 사이에 액정 물질을 채워져 있고, 상부 표시판과 하부 표시판은 서로 합착되어 있다.

액정 표시 패널의 상부 표시판과 하부 표시판은 보통 약 0.5 mm 내지 약 0.7 mm 두께의 유리 기판 상에 전술한 전극, 컬러 필터 등의 표시 패널용 부재를 형성하여 만들어진다. 따라서 상부 표시판과 하부 표시판을 합착한 상태의 액정 표시 패널은 두께가 약 1 mm를 넘게 된다.

특히, 태블릿 PC, 노트북, 스마트폰 같은 모바일 기기에서는 기기 전체의 두께를 얇게 하는 것이 상업적으로 및 기술적으로 매우 중요하므로, 액정 표시 패널의 두께를 얇게 하는 것이 필요하다. 이를 위해, 전술한 두께의 액정 표시 패널을 제작한 후, 불산(hydrofluoric acid) 같은 화학적 물질로 상하부 표시판의 표면 즉, 유리 기판을 식각하여 액정 표시 패널의 두께를 예컨대 약 0.2~0.4 mm 정도로 얇게 만드는 기술이 사용되고 있다.

그러나 유리 기판을 식각하는 것은 추가적인 비용이 소요될 뿐만 아니라, 이때 사용되는 화학 물질은 환경적으로 문제가 되고 있다. 따라서 액정 표시 패널을 제작한 후 식각하여 액정 표시 패널의 두께를 얇게 하는 대신, 처음부터 얇은 기판을 사용하여 액정 표시 패널을 제작하는 방안이 제안되고 있다. 그런데, 액정 표시 패널을 제작하는 기존의 공정 라인은 약 0.5 mm 내지 약 0.7 mm 두께의 기판에 최적화되어 있어서, 얇은 기판을 사용할 경우 액정 표시 패널을 제작하는 과정 중에 기판이 깨질 수 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 박막 기판과 지지 기판을 사용하여 액정 표시 패널을 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 박막 기판과 지지 기판의 분리를 용이하게 할 수 있는 액정 표시 패널의 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예에 따르면, 메인 스테이지 및 보조 스테이지를 포함하는 기판 적층체를 거치하기 위한 스테이지, 및 진입부 및 강성 확보부를 포함하는 상기 기판 적층체의 지지 기판을 박리하기 위한 나이프를 포함하고, 상기 스테이지는 상기 스테이지 면에 평행한 방향으로 회전 가능하고, 상기 나이프의 상기 강성 확보부는 복수의 영역으로 나뉘어져 있으며, 상기 진입부의 반대 영역으로 갈수록 더 두껍게 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 장치를 제공한다.

상기 보조 스테이지는 상기 스테이지의 모서리에 형성되어 있으며, 상기 보조 스테이지는 상기 스테이지가 위치한 면을 기준으로 아래 방향으로 상하 수직 이동이 가능할 수 있다.

상기 보조 스테이지는 상기 기판 적층체의 거치시 및 상기 기판 적층체의 초기 박리 후에는 상기 메인 스테이지와 동일한 면에서 고정되어 있으며, 상기 보조 스테이지는 상기 기판 적층체의 지지 기판을 박리하기 위한 상기 나이프가 진입할 때 상기 메인 스테이지의 면보다 아래로 하강될 수 있다.

상기 나이프 진입부는 테이퍼진 형태이고, 상기 나이프 강성 확보부는 제1 부분 및 제2 부분을 포함하며, 상기 제2 부분은 상기 제1 부분보다 두껍게 형성되어 있을 수 있다.

상기 나이프 진입부의 테이퍼 각도는 5~15°일 수 있다.

상기 나이프 진입부의 길이 방향의 중앙 부분은 0.1~0.2mm 의 두께를 가질 수 있다.

상기 진입부, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 길이 비율은 1:1:1일 수 있다.

상기 제2 부분의 두께는 0.5~2mm일 수 있다.

상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 두께 비율은 1:2일 수 있다.

상기 보조 스테이지는 상기 스테이지의 복수개의 모서리에 복수개가 형성되어 있을 수 있다.

상기 보조 스테이지는 상기 보조 스테이지 상부 표면에 형성된 흡착부를 더 포함하고, 상기 보조 스테이지는 상기 메인 스테이지 면을 기준으로 틸트 가능할 수 있다.

상기 흡착부는 상기 기판 적층체의 상기 지지 기판을 흡착할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, (a) 상부 박막 기판 및 상부 지지 기판을 부착시키고, 하부 박막 기판 및 하부 지지 기판을 부착하는 단계, (b) 상기 각 박막 기판과 상기 각 지지 기판이 부착된 상태로 상기 각 박막 기판의 표면에 표시 패널용 부재를 형성하는 단계, (c) 상기 상부 박막 기판 및 상기 하부 박막 기판을 합착하여 기판 적층체를 제조하는 단계, (d) 상기 기판 적층체를 메인 스테이지 및 보조 스테이지를 포함하는 스테이지에 거치하는 단계, (e) 상기 보조 스테이지가 나이프와 얼라인(align)될 수 있도록 스테이지를 회전시키는 단계, 및 (f) 상기 기판 적층체에서 상기 각 지지 기판을 상기 나이프를 이용하여 분리하는 단계를 포함하고, 상기 나이프는 진입부 및 강성 확보부를 포함하며, 상기 나이프 강성 확보부는 복수의 영역으로 나뉘어져 있으며, 상기 진입부의 반대 영역으로 갈수록 더 두껍게 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 방법을 제공한다.

상기 나이프 진입부의 상기 기판 적층체로의 초기 삽입 각도는 2~20°일 수 있다.

상기 보조 스테이지는 상기 스테이지의 복수개의 모서리에 복수개가 형성되어 있을 수 있으며, 상기 복수개의 보조 스테이지에서 모두 초기 박리를 수행할 수 있다.

상기 (f) 단계 이 후, 진공 또는 흡착 지그에 의해 상기 지지 기판을 분리하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 박막 기판으로부터 지지 기판을 쉽게 분리할 수 있고, 지지 기판에 스크래치 발생이 최소화되어 지지 기판의 재사용 가능성 및 횟수를 늘릴 수 있으며, 박막 기판이 파손되지 않도록 액정 표시 패널을 제조할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 사시도를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치 중 스테이지를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2의 III-III 단면선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치 중 나이프를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 4의 V-V 단면선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조에 있어서 지지 기판을 분리하기 전의 기판 적층체를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6의 VII-VII 단면선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법에 따른 공정 흐름도이다.
도 9 및 10은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법에서 나이프로 지지 기판을 초기 박리하는 형태를 예시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지를 나타낸 사시도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지를 나타낸 사시도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지를 이용하여 지지 기판을 초기 박리하는 형태를 예시한 도면이다.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.

이제 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법 및 이를 위한 제조 장치에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.

먼저, 도 1을 참고하여 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치에 대해서 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 사시도를 나타낸 도면이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)를 거치하기 위한 스테이지(300), 기판 적층체(100, 200, 10, 20)로부터 지지 기판(10, 20)을 분리하기 위한 나이프(knife)(50)를 포함한다.

스테이지(300)는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 거치를 위해 평평한 사각판 형태이며, 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 크기보다 큰 면적을 가진다.

스테이지(300)는 메인 스테이지(main stage)(310)와 보조 스테이지(320)를 포함하며, 보조스테이지(320)는 메인 스테이지(310)와 분리될 수 있으며, 분리된 상태에서 스테이지(300)가 위치한 면을 기준으로 하부로 수직 이동이 가능한 형태로 형성되어 있다.

보조 스테이지(320)가 형성되어 있는 부분은 기판 적층체(100, 200, 10, 20)로부터 지지 기판(10, 20)을 초기 박리하기 위한 부분으로서, 나이프(50)가 기판 적층체(100, 200, 10, 20)로 쉽게 진입하기 위하여 초기 박리 진행 시 보조 스테이지(320)는 스테이지(300)가 위치한 면을 기준으로 아래로 수직 하강하여 기판 적층체(100, 200, 10, 20)로부터 지지 기판(10, 20)의 초기 박리가 용이하도록 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 스테이지(300)의 보조 스테이지(320)는 스테이지(300)의 일측 모서리에 형성되어 있으며, 기판 적층체(100, 200, 10, 20)로부터 지지 기판(10, 20)의 초기 박리를 위해 하나의 보조 스테이지(320)가 형성되어 있다.

나이프(50)는 스테이지(300) 측면에 형성되어 있으며, 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)의 접합부로 나이프(50)가 진입하여 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)을 초기 박리시킨다.

나이프(50)는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)을 분리시키기 위해 스테이지(300) 상에 형성되어 있는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 측면에서 나이프(50)의 위치가 조절될 수 있도록 상하좌우로 자유롭게 이동 가능하도록 형성되어 있다.

또한, 나이프(50)가 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)의 초기 박리 진행 시에 일정 각도를 가지고 진입 가능할 수 있도록 나이프(50)가 다양한 진입 각도를 가질 수 있도록 형성되어 있다.

나이프(50)는 진입부와 강성 확보부의 복수 영역으로 형성되어 있으며, 진입부는 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)을 초기 박리하기 위한 나이프의 날 부분으로서 박막 기판(100, 200)의 두께가 일반적으로 0.2mm 정도의 두께로 형성되는 점을 고려하여 진입부의 끝 부분은 0.2mm 이하의 두께로 얇게 형성될 수 있다.

나이프(50)의 강성 확보부는 나이프(50)의 강성을 확보하기 위한 영역으로서, 진입부보다 두껍게 형성될 수 있으며, 강성 확보부는 복수의 영역으로 각 영역이 다양한 두께로 형성될 수 있다.

또한, 나이프(50)의 강성 확보부의 복수의 영역 중 진입부의 반대 영역으로 갈수록 나이프(50)의 강성을 더욱 증대시키기 위해 나이프(50)의 강성 확보부의 진입부에 가까운 영역보다 더욱 두껍게 형성될 수 있다.

만약, 이러한 강성 확보부가 나이프(50)에 형성되어 있지 않을 경우 나이프(50)의 진입부의 두께가 매우 얇게 형성되어 있어 나이프(50)가 일정한 형태를 유지하지 못할 수 있다.

그러면, 도 2 및 도 3을 참고하여 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치의 스테이지에 대해서 더욱 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치 중 스테이지를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 III-III 단면선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.

도 2에 나타난 바와 같이, 스테이지(300)는 메인 스테이지(310) 및 보조 스테이지(320)를 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 스테이지(300)는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)가 거치된 상태에서 나이프(50)와의 얼라인(align)이 용이할 수 있도록 스테이지 면에 평행한 방향으로 회전 가능한 형태로 형성되어 있다.

스테이지(300)는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)가 거치된 상태에서 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 초기 박리를 위한 나이프(50)의 진입이 용이하도록 나이프(50)가 위치한 방향으로 스테이지(300)의 보조 스테이지(320)가 향하도록 회전할 수 있다.

스테이지(300)는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전 가능할 수 있으며, 양 방향으로 모두 회전 가능할 수도 있다.

도 3을 참고하면, 스테이지(300)의 일측 모서리에 형성되어 있는 보조 스테이지(320)는 스테이지 면을 기준으로 아래로 수직 이동할 수 있다.

보조 스테이지(320)가 형성되어 있는 부분에서 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)이 초기 박리되며, 따라서 보조 스테이지(320)가 형성되어 있는 부분에 나이프(50)가 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)의 초기 박리를 위해 진입한다.

보조 스테이지(320)는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)가 거치되어 있을 때는 기판 적층체(100, 200, 10, 20) 전면을 지지하기 위해 메인 스테이지(310)의 면과 동일한 면에 고정되어 있다.

보조 스테이지(320)는 나이프(50)를 이용하여 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 지지 기판(100, 200)과 박막 기판(10, 20)의 초기 박리 수행 시 스테이지(300) 면을 기준으로 아래로 하강하는데, 이는 나이프(50)가 지지 기판(100, 200)과 박막 기판(10, 20)의 초기 박리를 위한 공간을 확보하기 위함이다.

보조 스테이지(320)는 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)의 초기 박리 시 나이프(50)가 진입할 수 있을 정도의 공간을 확보할 수 있을 정도의 간격으로 스테이지(300) 면을 기준으로 아래로 하강할 수 있다.

지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)의 초기 박리를 수행한 이 후, 보조 스테이지(320)는 다시 메인 스테이지(310)가 위치한 면과 동일한 높이로 상승하여, 초기 박리가 수행되어진 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)을 지지할 수 있다.

그러면, 도 4 및 도 5를 참고하여, 본 발명의 일실시예에 따른 나이프에 대해서 상세하게 설명한다.

도 4 및 도 5를 참고하면, 나이프(50)는 스테이지(300) 측면에 형성되어 있으며, 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 지지 기판(100, 200)과 박막 기판(10, 20)의 접합부로 나이프(50)가 진입하여 지지 기판(100, 200)과 박막 기판(10, 20)을 초기 박리시킨다.

나이프(50)는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 지지 기판(100, 200)과 박막 기판(10, 20)을 분리시키기 위해 스테이지(300) 상에 형성되어 있는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 측면에서 나이프(50)의 위치가 조절될 수 있도록 상하좌우로 자유롭게 이동 가능하도록 형성되어 있다.

또한, 나이프(50)가 지지 기판(100, 200)과 박막 기판(10, 20)의 초기 박리 진행 시에 일정 각도를 가지고 진입 가능할 수 있도록 나이프(50)가 다양한 진입 각도를 가질 수 있도록 형성되어 있다.

즉, 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 하부 지지 기판(10)을 초기 박리할 때는 나이프(50)가 위에서 아랫쪽으로 기울어진 형태로 진입하고, 상부 지지 기판(20)을 초기 박리할 때에는 나이프(50)가 아래에서 윗쪽으로 기울어진 형태로 진입할 수 있도록 나이프(50)는 다양한 각도의 진입 각도를 가질 수 있다.

나이프(50)는 진입부(51), 제1 부분(52), 제2 부분(53)의 3개의 영역으로 형성되어 있으며, 진입부(51)는 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)을 초기 박리하기 위한 나이프의 날 부분으로서 박막 기판(100, 200)의 두께가 일반적으로 0.2mm 정도의 두께로 형성되는 점을 고려하여 진입부(51)의 끝 부분은 0.2mm 이하의 두께로 얇게 형성될 수 있다.

또한, 진입부(51)는 나이프(50)의 날 부분으로서 일정한 각도로 테이퍼진 형태로 형성되어 있는데, 본 발명의 일실시예에 따른 나이프(50)의 진입부(51)의 테이퍼 각도(θ1)는 5~15°의 각도로 형성되어 있을 수 있으며, 바람직하게는 7~9°일 수 있다.

이는 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 초기 박리 시 나이프(50)의 진입부(51) 총 길이의 절반 정도가 초기 박리에 관여하는데, 나이프(50) 진입부(51)의 테이퍼 각도(θ1)를 5~15°정도로 형성할 때 진입부(51) 중 초기 박리에 관여하는 부분의 두께가 일반적인 박막 기판(10, 20)의 두께인 0.2mm보다 작아질 수 있기 때문이다. 다만, 박막 기판(10, 20)의 두께에 따라서 나이프(50) 진입부(51)의 테이퍼 각도(θ1)는 이에 한정되지 않고 다양하게 형성될 수 있다.

나이프(50)의 제1 부분(52) 및 제2 부분(53)은 나이프(50)의 강성을 확보하기 위한 영역으로서, 진입부(51)보다 두껍게 형성될 수 있다.

또한, 나이프(50)의 제2 부분(53)은 나이프(50)의 강성을 더욱 증대시키기 위해 나이프(50)의 제1 부분(52)보다 더욱 두껍게 형성될 수 있다.

만약, 이러한 제1 부분(52) 및 제2 부분(53)이 나이프(50)에 형성되어 있지 않을 경우 나이프(50)의 진입부(51)의 두께가 매우 얇게 형성되어 있어 나이프(50)가 일정한 형태를 유지하지 못하기 때문에 형성되어 있는 부분이다.

나이프(50)의 진입부(51), 제1 부분(52) 및 제2 부분(53)의 길이 비율은 1:1:1로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 다양한 비율로 형성될 수 있다.

나이프(50)의 가장 두꺼운 부분에 해당하는 제2 부분(53)의 두께는 0.5~2mm로 형성될 수 있다. 이는 제2 부분(53)을 너무 얇게 형성될 경우 나이프(50)의 강성이 충분하게 확보가 되지 않으며, 너무 두껍게 형성될 경우 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 초기 박리가 용이하지 않을 수 있기 때문이다.

제1 부분(52) 및 제2 부분(53)의 두께 비율은 1:2로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 나이프(50)의 강성을 확보할 수 있을 정도이면 다양한 비율로 형성될 수 있다.

도 6 및 도 7을 참고하여, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 적층체에 대해서 상세하게 설명한다.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조에 있어서 지지 기판을 분리하기 전의 기판 적층체를 나타낸 도면이고, 도 7은 도 6의 VII-VII 단면선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.

도 6 및 도 7을 참고하면, 기판 적층체(100, 200, 10, 20)는 두꺼운 하부 지지 기판(10) 및 상부 지지 기판(20) 사이에 얇은 하부 박막 기판(100) 및 상부 박막 기판(200)이 있다. 도 6에서는 하부 박막 기판(100) 및 상부 박막 기판(200)이 하부 지지 기판(10) 및 상부 지지 기판(20)에 의해 가려져 있으므로 하부 박막 기판(100) 및 상부 박막 기판(200)을 점선으로 표시하였다. 하부 박막 기판(100)과 상부 박막 기판(200) 사이에는 액정층(도시하지 않음)이 존재할 수 있다.

하부 지지 기판(10) 및 상부 지지 기판(20)은 하부 박막 기판(10) 및 상부 박막 기판(20)과 부착되어 있고, 표시판 형성을 위한 고온 공정을 거치면서 그 부착력이 처음 부착 시보다 증가한 상태일 수 있다.

상부 지지 기판(20) 상에 위치하는 상부 박막 기판(200)의 일면에는 산화인듐주석(ITO)와 같은 투명한 도전체로 이루어진 공통 전극이 형성되어 있다. 상부 박막 기판(200)에는 컬러 필터가 형성되어 있을 수 있으며, 이 경우 컬러 필터 표시판 또는 컬러 필터 기판으로도 불린다.

하부 지지 기판(10) 상에 위치하는 하부 박막 기판(100)은 상부 박막 기판(200)을 향하는 면에 박막 트랜지스터(TFT), 화소 전극 등이 형성되어 있다. 박막 트랜지스터의 소스 단자는 데이터 라인과 연결되고, 게이트 단자는 게이트 라인과 연결되며, 드레인 단자는 화소 전극과 연결되는데, 이들 중 화소 전극 외에는 광 반사성 물질인 금속으로 형성된다. 통상, 하부 박막 기판(100)은 박막 트랜지스터 표시판 또는 박막 트랜지스터 기판으로도 불린다. 한편, 하부 박막 기판(100)에는 박막 트랜지스터 외에도 컬러 필터가 형성되어 있을 수 있다. 이 경우 상부 박막 기판(200)에는 컬러 필터가 존재하지 않을 수 있다.

하부 박막 기판(100)과 상부 박막 기판(200)은 서로 합착되어 있고, 이들 사이에는 액정 물질이 적하 또는 주입에 의해 채워져 있다. 하부 박막 기판(100)의 박막 트랜지스터의 게이트 라인과 소스 라인에 전기적인 신호를 인가하여 박막 트랜지스터가 턴온되면, 하부 박막 기판(100)의 화소 전극과 상부 박막 기판(200)의 공통 전극 사이에는 전계가 형성된다. 이러한 전계에 의해 하부 박막 기판(100)과 상부 박막 기판(200) 사이에 존재하는 액정 분자의 배열이 변화되고, 변화된 배열에 따라서 광 투과율이 변경되어 원하는 화상을 표시하게 된다.

도 6 및 도 7을 참고하면, 하부 박막 기판(100) 및 상부 박막 기판(200)은 그 크기가 하부 지지 기판(10) 및 상부 지지 기판(20)보다 약간 작게 도시되어 있는데, 이는 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)을 부착할 때 이들의 양단을 정확하게 일치하도록 부착하는 것이 어려울 수 있기 때문이다.

만약 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)의 크기가 동일할 경우, 이들의 양단이 정확하게 일치하도록 부착되지 않으면 박막 기판(100, 200)의 가장자리 일부는 지지 기판(10, 20)에 의해 지지되지 않게 될 것이다. 그 지지되지 않은 박막 기판(100, 200)의 부분은 표시판의 제조 공정 중 지지 기판(10, 20) 외부로 노출되므로 파손되기 쉽다. 따라서 하부 박막 기판(100) 및 상부 박막 기판(200)은 하부 지지 기판(10) 및 상부 지지 기판(20)보다 가로 방향 및 세로 방향으로 각각 0.5~3.5mm 정도 작은 크기를 가질 수 있다.

그러나 하부 박막 기판(100) 및 상부 박막 기판(200)이 반드시 하부 지지 기판(10) 및 상부 지지 기판(20)보다 작아야 하는 것은 아니며, 서로 동일할 수도 있다. 박막 기판(100, 200) 형성 공정 중에 예컨대 슬릿 코터(slit coater)에 의해 포토레지스트(photoresist)를 박막 기판(100, 200)을 형성하게 될 박막 기판의 전면(全面)에 코팅하게 되면, 지지 기판(10, 20) 상에도 포토레지스트가 코팅된다. 그 후에 현상 과정을 거쳐 포토레지스트를 제거하더라도 박막 기판(100, 200)의 가장자리와 지지 기판(10, 20)의 경계에 포토레지스트가 남아 있기 쉽다. 이것은 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20) 간에 마치 접착제처럼 작용하여, 지지 기판(10, 20)을 박막 기판(100, 200)으로부터 분리시키는데 방해가 될 수 있다. 따라서 박막 기판(100 200)과 지지 기판(10, 20)을 이들의 양단이 일치되게 부착시킬 수 있으면, 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)은 동일한 크기를 가지는 것이 바람직하다.

그러면, 도 8 내지 도 10을 참고하여 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법에 대해서 상세하게 설명한다.

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법에 따른 공정 흐름도이고, 도 9 및 10은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법에서 나이프로 지지 기판을 초기 박리하는 형태를 예시한 도면이다.

도 8에 도시된 바와 같이, 먼저 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)을 준비한다(S10). 박막 기판(100, 200)은 후술하는 상부 박막 기판(200) 및 하부 박막 기판(100)을 형성하기 위한 투명한 절연 기판이고, 바람직하게는 유리 기판이다. 지지 기판(10, 20)은 박막 기판(100, 200)이 액정 표시 패널을 제조하는 공정 중 파손되지 않도록 각각의 박막 기판(100, 200)을 지지하는 기판이고, 바람직하게는 유리 기판이다. 하나의 액정 표시 패널을 제조하기 위해서 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)은 각각 두 장씩 준비된다.

박막 기판(100, 200)은 예컨대 약 0.2mm 이하의 두께를, 바람직하게는 약 0.1mm 전후의 두께를 갖는다. 지지 기판(10, 20)은 예컨대 약 0.4mm 이상의 두께, 바람직하게는 약 0.5mm 전후의 두께를 갖는다. 이들 기판은 소정 크기의 직사각형으로 절단되고, 세정 과정을 거친다.

다음, 준비된 박막 기판(100, 200) 및 지지 기판(10, 20)을 표면 처리하고(S20), 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)을 서로 부착한다(S30). 이에 의해 지지 기판(10, 20) 상에 박막 기판(100, 200)이 부착되어 있는 두 세트의 부착 기판이 마련되고, 각각의 부착 기판은 상부 박막 기판(200) 및 하부 박막 기판(100)을 형성하기 위해 사용된다.

박막 기판(100, 200) 및 지지 기판(10, 20)의 표면 처리는 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)이 부착될 면에 소수성 처리를 하는 것을 포함할 수 있다. 이러한 표면 처리는 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20) 중 어느 한 기판에만 하는 것이 보통이지만, 양 기판 모두에 할 수도 있다. 소수성 처리는 습식(wet) 방식으로 수행될 수 있다. 소수성 처리는 접촉각이 예컨대 약 30°이상, 바람직하게는 약 40-70°가 되도록 수행될 수 있다.

소수성 처리의 주된 목적은 액정 표시 패널을 제조하는 과정에서 상부 박막기판(200)과 하부 박막 기판(100)을 합착한 후 지지 기판(10, 20)을 분리할 때 지지 기판(10, 20)이 상하부 박막 기판(100, 200)으로부터 쉽게 분리될 수 있게 하기 위함이다.

표면 처리를 거친 후, 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)은 표면 처리된 면을 부착면으로 하여 서로 부착된다. 부착은 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20) 사이에 별도의 부착 물질을 부가하지 않고 수행될 수 있다. 전술한 바와 같이 기판은 세정 과정을 거치게 되는데, 세정 후 미세한 수분이 기판의 표면에 남아 있고, 이러한 수분으로 인해 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)은 수소 결합(hydrogen bond)에 의해 부착될 수 있다. 그 외에도, 부착에는 반데르 발스 힘(van der Waals force)이나 정전기가 관여할 수 있다.

상기 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)을 부착하는 것은 롤-투-시트 라미네이션(roll-to-sheet lamination) 공정으로 수행될 수 있다.

다음으로, 상부 박막 기판(200) 및 하부 박막 기판(100)을 형성한다(S40). 각 부착 기판의 박막 기판(100, 200) 측 표면에 전극, 박막 트랜지스터, 컬러 필터, 차광 부재, 보호층 등의 표시 패널용 부재를 형성하여 상부 박막 기판(200) 및 하부 박막 기판(100)을 형성하는 것이다. 박막 기판(100, 200)이 지지 기판(10, 20)에 의해 지지된 채로 공정을 거치기 때문에, 기존의 약 0.5 mm 내지 약 0.7 mm 두께의 기판에 최적화되어 있는 공정 라인에서 박막 기판(100, 200)이 파손되지 않고 상부 박막 기판(200) 및 하부 박막 기판(100)을 형성할 수 있다.

하부 박막 기판(100)은 예컨대 박막 트랜지스터 등이 형성되어 있는 박막 트랜지스터 표시판(TFT 기판, 어레이 기판으로도 불림)일 수 있고, 상부 박막 기판(200)은 컬러 필터 등이 형성되어 있는 컬러 필터 표시판(CF 기판, 대향 기판으로도 불림)일 수 있다. 이러한 상부 박막 기판(200)과 하부 박막 기판(100)은 지지 기판(10, 20)에 지지된 상태로 형성되고, 상부 박막 기판(200)과 하부 박막 기판(100)을 형성함에 있어서 고온 공정을 거치므로, 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20) 간에는 고온에 의한 퓨전 결합으로 부착력이 증가하게 된다.

다음, 액정층의 형성 및 상하부 박막 기판(100, 200)의 합착을 수행한다(S50). 액정층의 형성과 상하부 박막 기판(100, 200)의 합착은 전자가 후자보다 먼저 수행되거나 나중에 수행될 수 있다. 즉, 어느 한 박막 기판(100, 200)에 잉크젯 프린팅 등의 방법에 의해 액정을 적하한 후 다른 박막 기판(100, 200)을 합착시킬 수 있고, 두 박막 기판(100, 200)을 합착시킨 후 두 박막 기판(100, 200) 사이의 주입구를 통해 액정을 주입할 수도 있다. 이 단계 중에는 당해 기술 분야에서 잘 알려진 바와 같이 스페이서의 산포나 실런트의 도포 같은 과정이 수행될 수 있다. 지지 기판(10, 20)이 부착된 채로 상하부 박막 기판(100, 200)이 합착된 상태의 기판들이 기판 적층체(100, 200, 10, 20)를 이룬다.

상하부 박막 기판(100, 200)의 합착은 지지 기판(10, 20)이 부착된 상태로 수행되므로, 합착 후에 지지 기판(10, 20)을 분리해야 한다(S60).

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 지지 기판(10, 20)의 분리는 나이프(50)의 진입부(51)를 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)의 부착 면 사이에 삽입하여 초기 박리를 시키고, 그 다음 진공/흡착 지그(jig)로 지지 기판(10, 20)을 (경우에 따라서는 합착된 두 박막 기판일 수도 있음) 떼어냄으로써 수행될 수 있다.

지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200)의 초기 박리를 위해 기판 적층체(100, 200, 10, 20)를 스테이지(300) 상에 거치시킨 후, 보조 스테이지(320)가 위치한 부분이 나이프(50)의 진입부(51)와 얼라인(align)될 수 있도록 스테이지(300)를 회전시킨다. 그 후, 나이프(50)를 이용한 초기 박리를 수행한다.

이 때, 나이프(50)의 초기 삽입 각도(θ2)는 2~20°로 삽입하여 초기 박리할 수 있으며, 초기 박리 시키고자 하는 지지 기판(10, 20)의 방향으로 0.3~0.4mm 정도 토크를 더 가하여 박리를 수행할 수 있다.

이는 나이프(50)의 초기 삽입 각도(θ2)가 너무 작을 경우에는 박막 기판(100, 200)이 파손될 수 있고, 지지 기판(100, 200)이 효율적으로 초기 박리되기 어려우며, 나이프(50)의 초기 삽입 각도(θ2)가 너무 클 경우에는 상부 지지 기판(20)과 하부 지지 기판(10)에 나이프(50)가 고착되어 나이프(50)의 진입부(51)가 박막 기판(100, 200)까지 도달하지 못할 수 있기 때문이다.

지지 기판(10, 20)을 분리시키고 나면 이젠 박막 기판(100, 200)으로 형성된 합착된 상하부 박막 기판(100, 200)만이 존재한다. 이 상태는 기존에 비교적 두꺼운 기판을 사용하여 상하부 기판을 형성하고 합착한 후 화학적 식각을 거친 상태와 실질적으로 동일하다. 본 발명의 실시예에서는 약 0.1mm 정도의 박막 기판(100, 200)을 사용하여 상하부 박막 기판(100, 200)을 제조하므로, 이들 박막 기판(100, 200)을 합착하여도 최종 두께가 약 0.2mm정도에 불과하여, 액정 표시 패널의 두께를 얇게 하기 위한 식각 처리를 요하지 않는다.

서로 합착되어 있지만 지지 기판(10, 20)이 분리된 상하부 박막 기판(100, 200)은 소정의 크기로 절단되어(S70) 액정 표시 패널이 완성된다. 편광판 부착은 합착 박막 기판(100, 200)의 절단 전 또는 절단 후에 수행될 수 있다.

그러면, 도 11을 참고하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지에 대해서 상세하게 설명한다.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지를 나타낸 사시도이다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 일실시예와 비교하여 스테이지(300)의 형태만을 제외하고는 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.

도 11에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지(300)는 메인 스테이지(310)와 2개의 보조 스테이지(320, 330)를 포함한다.

앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지(300)는 회전이 가능한 형태로 형성되어 있기 때문에 보조 스테이지(310, 320)가 스테이지(300)의 어느 모서리에 형성되어 있더라도 스테이지(300)를 회전시켜 나이프(50)와 기판 적층체(100, 200, 10, 20)의 얼라인(align)이 가능하다. 따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지(300)는 복수 개의 보조 스테이지(320, 330)가 형성되어 있을 수 있으며, 도 11에는 편의상 2개의 보조 스테이지(320, 330)가 형성되어 있는 것을 도시하고 있으나 이에 한정되지 않고, 3개의 보조 스테이지 또는 스테이지의 모든 모서리에 보조 스테이지가 형성되어 있을 수 있다.

이렇게 보조 스테이지가 복수 개가 형성되어 있을 경우 필요에 따라 어느 모서리든 초기 박리를 쉽게 수행할 수 있으며, 복수의 모서리에서 초기 박리를 진행할 수도 있다.

복수의 모서리에서 초기 박리를 수행할 경우, 지지 기판(10, 20)의 총 분리 시간이 단축될 수 있는 장점이 있다.

도 12 및 도 13을 참고하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지에 대해서 상세하게 설명한다.

도 12에 도시한 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지(300)는 메인 스테이지(310)와 보조 스테이지(320) 및 보조 스테이지(320) 상부에 형성되어 있는 흡착부(321)를 포함한다.

보조 스테이지(320)는 도1 내지 도 3에 도시된 일실시예에 따른 보조 스테이지(320)와는 다르게 스테이지(300) 면을 기준으로 아래로 하강 또는 스테이지(300) 면과 동일한 면에 위치하도록 상승하는 형태로 수직 이동하는 것이 아닌, 틸트(tilt)되는 형태로 이동 가능하다.

보조 스테이지(320)의 상부에는 지지 기판(10, 20)의 끝부분을 흡착할 수 있는 흡착부(321)를 추가로 포함할 수 있다.

도 13을 참고하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정 표시 패널 제조 장치의 스테이지(300)는 흡착부(321)를 지니고 틸트 가능한 보조 스테이지(320)를 구비하고 있어, 지지 기판(10, 20)의 초기 박리 시 박막 기판(100, 200)과 지지 기판(10, 20)이 접착되어 있는 끝단을 나이프(50)를 이용하여 조금만 박리 시켜준 후 보조 스테이지(320)를 이용하여 추가 박리를 수행할 수 있다.

이 경우, 나이프(50)의 진입부(51)가 기존 방식에 비해 작은 길이만을 진입하더라도 보조 스테이지(320) 및 보조 스테이지(320)의 흡착부(321)를 이용하여 초기 박리를 수행할 수 있기 때문에 지지 기판(10, 20)에 발생할 수 있는 스크래치(scratch) 등의 훼손을 더욱 효과적으로 방지할 수 있고, 이에 따라 지지 기판(10, 20)의 재활용율도 더욱 높아질 수 있다.

또한, 지지 기판(10, 20)과 박막 기판(100, 200) 사이의 접착력이 약한 경우에는 보조 스테이지(320)의 흡착부(321)에 지지 기판(10, 20)이 흡착된 상태에서 보조 스테이지(320)가 틸트 됨으로서 지지 기판(10, 20)의 모서리 부분을 나이프(50) 없이도 초기 박리할 수 있을 것이다.

이상과 같이 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법 및 이를 위한 제조 장치는 박막 기판으로부터 지지 기판을 쉽게 분리할 수 있고, 지지 기판에 스크래치 발생이 최소화되어 지지 기판의 재사용 가능성 및 횟수를 늘릴 수 있으며, 박막 기판이 파손되지 않도록 액정 표시 패널을 제조할 수 있는 장점이 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

100: 하부 박막 기판 200: 상부 박막 기판
10: 하부 지지 기판 20: 상부 지지 기판
300: 스테이지 310: 메인 스테이지
320, 330: 보조 스테이지 50: 나이프
51: 진입부 52: 제1 부분
53: 제2 부분 321: 흡착부

Claims

메인 스테이지 및 보조 스테이지를 포함하는 기판 적층체를 거치하기 위한 스테이지, 및
진입부 및 강성 확보부를 포함하는 상기 기판 적층체의 지지 기판을 박리하기 위한 나이프를 포함하고,
상기 스테이지는 상기 스테이지 면에 평행한 방향으로 회전 가능하고,
상기 나이프의 상기 강성 확보부는 복수의 영역으로 나뉘어져 있으며, 상기 진입부의 반대 영역으로 갈수록 더 두껍게 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 장치.
제1항에서,
상기 보조 스테이지는 상기 스테이지의 모서리에 형성되어 있으며,
상기 보조 스테이지는 상기 스테이지가 위치한 면을 기준으로 아래 방향으로 상하 수직 이동이 가능한 액정 표시 패널의 제조 장치.
제2항에서,
상기 보조 스테이지는 상기 기판 적층체의 거치시 및 상기 기판 적층체의 초기 박리 후에는 상기 메인 스테이지와 동일한 면에서 고정되어 있으며,
상기 보조 스테이지는 상기 기판 적층체의 지지 기판을 박리하기 위한 상기 나이프가 진입할 때 상기 메인 스테이지의 면보다 아래로 하강되는 액정 표시 패널의 제조 장치.
제1항에서,
상기 나이프 진입부는 테이퍼진 형태이고,
상기 나이프 강성 확보부는 제1 부분 및 제2 부분을 포함하며,
상기 제2 부분은 상기 제1 부분보다 두껍게 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 장치.
제4항에서,
상기 나이프 진입부의 테이퍼 각도는 5~15°인 액정 표시 패널의 제조 장치.
제5항에서,
상기 나이프 진입부의 길이 방향의 중앙 부분은 0.1~0.2mm 의 두께를 가지는 액정 표시 패널의 제조 장치.
제4항에서,
상기 진입부, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 길이 비율은 1:1:1인 액정 표시 패널의 제조 장치.
제4항에서,
상기 제2 부분의 두께는 0.5~2mm인 액정 표시 패널의 제조 장치.
제8항에서,
상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 두께 비율은 1:2인 액정 표시 패널의 제조 장치.
제2항에서,
상기 보조 스테이지는 상기 스테이지의 복수개의 모서리에 복수개가 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 장치.
제1항에서,
상기 보조 스테이지는 상기 보조 스테이지 상부 표면에 형성된 흡착부를 더 포함하고,
상기 보조 스테이지는 상기 메인 스테이지 면을 기준으로 틸트 가능한 액정 표시 패널의 제조 장치.
제11항에서,
상기 흡착부는 상기 기판 적층체의 상기 지지 기판을 흡착하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
(a) 상부 박막 기판 및 상부 지지 기판을 부착시키고, 하부 박막 기판 및 하부 지지 기판을 부착하는 단계,
(b) 상기 각 박막 기판과 상기 각 지지 기판이 부착된 상태로 상기 각 박막 기판의 표면에 표시 패널용 부재를 형성하는 단계,
(c) 상기 상부 박막 기판 및 상기 하부 박막 기판을 합착하여 기판 적층체를 제조하는 단계,
(d) 상기 기판 적층체를 메인 스테이지 및 보조 스테이지를 포함하는 스테이지에 거치하는 단계,
(e) 상기 보조 스테이지가 나이프와 얼라인(align)될 수 있도록 스테이지를 회전시키는 단계, 및
(f) 상기 기판 적층체에서 상기 각 지지 기판을 상기 나이프를 이용하여 분리하는 단계를 포함하고,
상기 나이프는 진입부 및 강성 확보부를 포함하며, 상기 나이프 강성 확보부는 복수의 영역으로 나뉘어져 있으며, 상기 진입부의 반대 영역으로 갈수록 더 두껍게 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 방법.
제13항에서,
상기 나이프 진입부의 상기 기판 적층체로의 초기 삽입 각도는 2~20°인 액정 표시 패널의 제조 방법.
제13항에서,
상기 보조 스테이지는 상기 기판 적층체의 거치 단계 및 상기 기판 적층체의 초기 박리 후에는 상기 메인 스테이지와 동일한 면에 고정되어 있으며,
상기 보조 스테이지는 상기 기판 적층체의 상기 각 지지 기판을 박리하기 위한 상기 나이프가 진입할 때 상기 메인 스테이지의 면보다 아래로 하강되는 액정 표시 패널의 제조 방법.
제15항에서,
상기 나이프 진입부는 테이퍼진 형태이고,
상기 나이프 강성 확보부는 제1 부분 및 제2 부분을 포함하며,
상기 제2 부분은 상기 제1 부분보다 두껍게 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 방법.
제13항에서,
상기 보조 스테이지는 상기 스테이지의 복수개의 모서리에 복수개가 형성되어 있는 액정 표시 패널의 제조 방법.
제17항에서,
상기 복수개의 보조 스테이지에서 모두 초기 박리를 수행하는 액정 표시 패널의 제조 방법.
제13항에서,
상기 보조 스테이지는 상기 보조 스테이지 상부 표면에 형성된 상기 지지 기판 흡착부를 더 포함하고,
상기 보조 스테이지는 상기 메인 스테이지 면을 기준으로 틸트 가능한 액정 표시 패널의 제조 방법.
제13항에서,
상기 (f) 단계 이 후, 진공 또는 흡착 지그에 의해 상기 지지 기판을 분리하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 패널의 제조 방법.