KR20210066748A - 작동 장치 - Google Patents

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KR20210066748A
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클라우스 라우텐바흐
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Abstract

본 발명은 공작물(19) 상에 힘을 인가하기 위한 작동 장치(1)에 관한 것으로, 이러한 작동 장치는 조작기(2)에 고정되기 위해 형성되는 액추에이터 하우징(25) 및 엔드 이펙터(17)의 결합을 위해 형성되며 액추에이터 하우징(25)에서 이동 가능하게 수용되는 제어 부재(27, 28)를 포함하는 공압 액추에이터(12), 및 제어 장치(15)를 포함하고, 제어 장치는 공압 액추에이터(12)의 압축 공기 공급을 위한 밸브 배열체(65), 공압 액추에이터(12)의 공간적 위치를 산출하고 위치 종속적 전기적 위치 센서 신호들을 제공하기 위한 위치 센서 배열체(16) 및 위치 센서 신호들을 처리하고 제어 신호들을 밸브 배열체(65)에 제공하기 위한 처리 장치(60)를 포함하고, 처리 장치(60)는 위치 센서 신호들에 따라 공압 액추에이터(12)의 공압식 공급을 조정하기 위해 형성된다.

Description

작동 장치{WORKING DEVICE}
본 발명은 예컨대 공작물에서 접촉식 표면 가공을 위해 또는 공작물 표면을 접촉식으로 측정하기 위해 사용될 수 있는 바와 같은, 공작물 상에 힘을 인가하기 위한 작동 장치에 관한 것이다.
DE 20 2019 103 328 U1 은 지지 구조체, 및 상기 지지 구조체에 의해 지지되는 이동가능한 로봇 암을 포함하는 로봇을 개시하고, 상기 로봇 암은 가상 메인 축선을 따라서 연장되는 암 부재를 포함하고, 암 부재는 지지 구조체에 연결되는 지지 수단을 포함하고, 암 부재는 추가 로봇 구성요소의 부착을 위해 설계된 전방 축선방향 단부 구역에서 조립체 인터페이스를 가지고, 암 부재는 텔레스코픽 유닛을 가지는 텔레스코픽 암 부재로서 설계되고, 이는 회전 메인 축선을 중심으로 한 작동 회전 이동에 관한 지지 수단에 관해 텔레스코픽 암 부재의 회전 구동 수단에 의해 구동가능하고, 회전 메인 축선은 메인 축선의 축선방향으로 연장되고, 텔레스코픽 유닛은 마운팅 인터페이스가 배열되는 슬라이드 유닛을 포함하고, 상기 슬라이드 유닛은 메인 축선의 축선방향으로 선형 텔레스코픽 이동을 수행하기 위해 지지 수단에 관한 텔레스코픽 암 부재의 선형 구동 장치에 의해 구동가능하다.
DE 10 2018 107 951 A1 은 상이한 표면들의 처리를 위한, 특히 표면들을 그라인딩 및/또는 밀링 및/또는 커팅하기 위한 가공 로봇을 개시하고, 이는 표면을 따라서 방향 조정이 쉬운 베이스 보디, 상기 베이스 보디 상에 배열된 조정 장치를 구비하고, 상기 조정 장치는 위치결정 유닛을 포함하는 제어 유닛에 의해 제어되는 가공 헤드를 구비하고, 이는 처리 헤드가 작업 필드 내 표면에서 미리 결정된 재료의 제거를 달성하기 위해 제어 유닛으로 조정 장치에 의해 표면을 따라서 안내되는 방식으로 처리 헤드와 표면 사이의 거리를 결정한다.
DE 10 2007 007 165 B4 는 프레임, 엔드 이펙터 및 상기 엔드 이펙터를 구동 방향으로 이동시키기 위한 적어도 하나의 구동 메커니즘을 포함하는 기계, 특히 위치결정 기계를 개시하고, 구동 방향으로 조정가능한 강성을 갖는 버퍼가 제공된다.
DE 39 33 759 A1 는, 다양한 부하를 들어 올리는데 사용되고 또한 정전의 경우에 부하가 지속될 수 있게 하는 공압 실린더의 제어에 관한 것이다.
EP 2 035 193 B1 는 천장 또는 벽과 같은 표면을 처리하기 위한 장치를 개시하고, 상기 장치는 암을 포함하고, 상기 암의 단부에서 공구가 운반되고, 암은 이동가능한 소켓을 포함하는 지지부에 의해 운반되고, 암은 관절식 조작 암이고, 지지부는 이동가능한 소켓에 놓인 확장가능한 엘리베이터를 포함하고, 공구는 두 개의 힘 센서에 결합된 실린더 상에 탑재되고, 제어 수단은 공구를 제 위치로 가져오기 위하여 엘리베이터의 연장 및 암의 작동을 제어하기 위해 제공되고, 또한 처리될 표면에서 공구의 적용력을 제어하기 위하여 실린더를 제어하기 위해 제공된다.
US 5,765,975 는 열간 성형된 가요성 플라스틱 시트의 엣지들을 정확하게 절단하여 다듬기 위해 로봇 암과 사용하기에 특히 적합한 컴플라이언트 엔드 이펙터를 개시한다. 컴플라이언트 엔드 이펙터는 로봇 암에 고정된 마운트, 상기 마운트에 피봇가능하게 부착된 조정 조립체, 절단되어 다듬어지는 영역 근처에서 플라스틱 시트와 맞물리는 가이드, 가요성 시트를 절단하여 다듬기 위한 공구, 및 가이드를 가요성 시트와 맞물리도록 편향시키고 시트를 강성 표면에 대해 가압하는 공압 실린더를 포함한다. 공압 실린더는 로봇 암이 가요성 시트의 길이 아래로 단일 이동 경로를 따라서 이동함에 따라 다양한 위치를 통해 가이드 및 공구를 이동시킨다. 가이드는 안정화 표면의 뒤틀림 또는 다른 결함들에도 불구하고 가요성 시트와 접촉한 채로 유지된다. 공구는 가이드로부터 미리 정해진 거리에 고정되어, 플라스틱 시트가 특정 공차 내에서 절단되어 다듬어지게 한다. 엔드 이펙터를 회전시킴으로써, 로봇이 단일 이동 경로를 따라 이동하는 동안 가요성 시트의 엣지에 탭 및 리세스가 형성될 수 있다.
본 발명의 과제는 가급적 낮은 기술 비용을 들여 공작물 표면의 정확한 가공 및/또는 스캐닝을 구현할 수 있는 작동 장치를 제공하는 것이다.
이러한 과제는 서두에 언급한 기술분야의 작동 장치를 위해 제 1 항의 특징들에 의하여 해결된다. 작동 장치는 공압 액추에이터를 포함하고, 공압 액추에이터는 조작기에 고정되기 위해 형성되는 액추에이터 하우징, 및 엔드 이펙터의 결합을 위해 형성되며 액추에이터 하우징에서 이동 가능하게 수용되는 제어 부재를 포함한다. 또한, 작동 장치는 제어 장치를 포함하고, 제어 장치는 공압 액추에이터의 압축 공기 공급을 위한 밸브 배열체, 공압 액추에이터의 공간적 위치를 산출하고 위치 종속적 전기 위치 센서 신호들을 제공하기 위한 위치 센서 배열체 및 위치 센서 신호들을 처리하고 밸브 배열체에 제어 신호들을 제공하기 위한 처리 장치를 포함하며, 처리 장치는 위치 센서 신호들에 따라 공압 액추에이터의 공압식 공급을 조정하기 위해 형성된다.
조작기는 적어도 하나의 공간 방향에서 작동 장치의 공간적 정렬에 영향을 미치는 역할을 한다. 예컨대 조작기는 삼각대 또는 스카라 로봇 또는 다중축 로봇으로 형성될 수 있다.
공압 액추에이터는, 공압 액추에이터에 공급되고 및/또는 공압 액추에이터로부터 배출되는 적어도 하나의 유체 스트림에 따라 제어 부재와 액추에이터 하우징 사이에서 상대 운동을 제공하는 역할을 한다. 바람직하게는, 공압 액추에이터는 제어 부재와 액추에이터 하우징 사이에서 선형 상대 운동을 제공하기 위해 형성된다. 공압 액추에이터의 상대 운동은, 특히 엔드 이펙터로부터 공작물로 가급적 일정한 힘의 인가를 보장하기 위해, 예컨대 조작기와 엔드 이펙터 사이의 힘 전달에 영향을 미치기 위해 사용될 수 있다.
또한, 작동 장치는 제어 장치를 포함하고, 이러한 제어 장치를 이용하여 공압 액추에이터로부터 제공되는 제어 부재와 액추에이터 하우징 사이의 상대 운동에 영향을 미칠 수 있다. 공압 액추에이터로 또는 공압 액추에이터로부터 적어도 하나의 유체 스트림에 영향을 미치기 위해 제어 장치는 밸브 배열체를 포함하고, 밸브 배열체를 이용하여 예컨대 압축 공기원과 공압 액추에이터 사이 및/또는 공압 액추에이터와 압축 공기 배출부 사이에서의 유체 연통 방식 연결이 영향을 받을 수 있다.
순수하게 예시적인 의미에서, 밸브 배열체는 바람직하게는 전기적으로 제어 가능한 하나 이상의 밸브를 포함하고, 이러한 밸브는 열림 상태와 닫힘 상태 사이에서 설정 가능하며, 이러한 밸브를 이용하여 공압 액추에이터로의 유체 스트림 및/또는 공압 액추에이터로부터의 유체 스트림이 설정될 수 있는 것이 고려된다. 또한, 제어 장치는 공압 액추에이터의 공간적 위치를 산출하기 위해 형성되는 위치 센서 배열체를 포함한다. 위치 센서 배열체는 동일하거나 서로 상이한 측정 원리들에 기반하는 하나 이상의 위치 센서를 포함할 수 있고, 적어도 하나의 전기적 위치 센서 신호를 처리 장치에 제공하기 위해 형성된다. 예컨대, 위치 센서 배열체가 전기적 위치 센서 신호를 처리 장치에 제공할 수 있고, 이러한 전기적 위치 센서 신호로부터 공압 액추에이터의 제어 부재를 위한 운동축의 공간적 위치가 추론될 수 있는 것이 고려된다. 이러한 운동축은 특히 액추에이터 하우징에 대한 제어 부재의 선형 운동성에 의하여 결정될 수 있다.
처리 장치는 특히 마이크로컨트롤러 또는 마이크로프로세서로 형성될 수 있고, 바람직하게는 고정식으로 또는 교환 가능하게 저장되는 컴퓨터 프로그램을 실행하기 위해 구비되며, 이러한 컴퓨터 프로그램을 이용하여 전기적 위치 센서 신호들을 참조로 적어도 하나의 제어 신호가 계산될 수 있고, 제어 신호는 밸브 배열체에 제공된다. 바람직하게는, 처리 장치가 복수의 밸브를 포함할 시, 이러한 처리 장치가 밸브 배열체를 위한 복수의 제어 신호를 제공할 수 있는 것이 고려된다. 이때, 처리 장치는, 규정 가능한 최대값 또는 최소값, 특히 공작물에 인가되어야 하는 최대 힘 또는 최소 힘을 준수하도록 보장하기 위해, 위치 센서 신호들에 따라 제어 신호들을 주기적 및 반복적으로 또는 비주기적으로 계산하는 것이 고려된다. 이와 같이 처리 장치에 의해 공압 액추에이터의 공압식 공급을 조정하는 것은 폐루프로도 지칭된다.
본 발명의 유리한 발전예들은 종속항들의 주제이다.
엔드 이펙터는 접촉식 공작물 가공을 위한 가공 공구, 접촉식 공작물 측정을 위한 측정 공구로 구성된 군으로부터 선택되는 것이 적합하다.
예컨대, 가공 장치는 연삭 장치로 형성될 수 있고, 이러한 연삭 장치에서 구동 모터는 연삭 수단을 이동시키고 특히 회전 이동시키며, 연삭 수단은 작동 장치를 이용하여 공작물 표면 상에 가압되고 경우에 따라서 공작물 표면에 대해 상대적으로 이동됨으로써, 이를 통해 공작물의 표면 가공이 가능해진다.
대안적으로, 가공 공구는 조립 공구를 가리킬 수 있는데, 이러한 조립 공구를 이용하여 공작물에서 접합 공정이 수행되고, 이를 위해 작동 장치로부터 공작물로 소정의 힘의 인가가 요구된다.
가공 공구의 다른 대안예에서, 가공 공구는 용접 장치로 형성되고, 용접 장치를 이용하여 동일한 종류이거나 서로 상이한 재료층들의 용접이 야기되어야 하고, 이 경우, 용접 공정을 위해 필요한 가압력은 작동 장치로부터 공작물에 인가되며, 이때 예컨대 통상적 용접건의 경우에서와 같은 카운터홀더가 구비되지 않는 것이 고려된다.
다른 대안예에서, 엔드 이펙터는 예컨대 공작물 표면의 접촉식 스캐닝을 수행하기 위해 측정 공구로 형성될 수 있고, 이 경우 측정 센서에 부착되는 측정 공구는 공작물의 표면 상에 소정의 힘으로 가압되어, 다수의 측정 지점들이 스캐닝됨으로써 공작물의 표면 기하학적 형상에 관한 정보가 수득된다.
액추에이터 하우징은 산업용 로봇, 특히 다중축 산업용 로봇으로 형성되는 조작기와 연결되는 것이 유리한데, 이러한 조작기는 엔드 이펙터의 공간적 정렬을 설정하기 위해 형성된다. 특히 가공 공구 또는 측정 공구로 형성될 수 있는 엔드 이펙터의 형성방식에 따라, 조작기는 가공할 공작물의 표면에 대하여 유리한 공간적 정렬로 엔드 이펙터를 정렬시키는 역할을 한다. 예컨대, 가공 공구가 용접 장치로 형성될 시, 가공 공구가 가공할 공작물의 표면에 대해 항상 법선(횡)으로 정렬되는 것이 고려될 수 있다. 바람직하게는, 조작기는 조작기 제어부를 포함하는 것이 고려되는데, 이러한 조작기 제어부에는 가공할 공작물의 기하학적 형상이 저장되고, 조작기 제어부는 조작기, 공압 액추에이터 및 엔드 이펙터의 형상 인식 시 조작기의 구동 가능한 관절들의 적합한 제어를 수행할 수 있어서, 가공되는 공작물의 표면에 대하여 엔드 이펙터의 규정 가능한 정렬을 보장한다.
본 발명의 유리한 발전예에서, 공압 액추에이터는 이중 기능의 공압 실린더로 형성되고 제어 부재는 작동 피스톤으로, 특히 말단측에 배치되는 작동 피스톤을 구비한 피스톤 로드로 형성되는 것이 고려되는데, 이러한 작동 피스톤은 액추에이터 하우징 내에서 실린더 리세스 내에 선형 운동 가능하게 수용되고, 액추에이터 하우징과 함께 크기 가변적 제1 작동 공간 및 크기 가변적 제2 작동 공간을 한정하고, 처리 장치는 액추에이터 하우징에 대한 제어 부재의 상대 위치에 영향을 미치기 위해 제1 작동 공간과 제2 작동 공간 사이에서 차압을 조정하기 위해 형성된다. 공압 액추에이터로서 이중 기능의 공압 실린더를 사용함으로써, 제1 작동 공간과 제2 작동 공간 사이에서 차압이 설정되어 공압 액추에이터로부터 엔드 이펙터에 전달 가능한 최대 힘이 설정될 수 있다. 제1 작동 공간 내에서의 제1 압력 및 제2 작동 공간 내에서의 제2 압력을 위한 절대적 압력 레벨을 설정함으로써, 공압 액추에이터의 강성이 설정될 수 있는데, 이러한 강성은 엔드 이펙터의 특성 및 공작물 가공의 요건에 따라 선택될 수 있다. 예컨대, 공작물 표면의 조 가공을 수행하기 위해, 예컨대 조 연삭 시, 높은 강성이 제공되고, 즉, 제1 작동 공간 및 제2 작동 공간에서 종합적으로 높은 압력 레벨이 제공되는 것이 유리할 수 있다. 반면, 가공할 공작물 표면의 정밀 가공 시, 예컨대 정밀 연삭 시, 낮은 강성이 제공되고, 즉, 제1 작동 공간 및 제2 작동 공간에서 낮은 압력 레벨이 제공될 수 있다. 또한, 대안적으로, 공압 액추에이터가 오로지 밸런싱 부재의 방식으로만 구동되고, 이러한 밸런싱 부재를 이용하여 경우에 따라서 공작물 표면의 가공을 위한 조작기의 이동 시 발생하는 과진동 운동 및 이로 인한 엔드 이펙터와 공작물 표면 사이의 접촉점 또는 접촉면에서 힘 피크가 밸런싱될 수 있는 것이 고려될 수 있다.
기본적으로, 엔드 이펙터가 부착된 공압 액추에이터 및 제어 장치는 자급식 조립체를 형성하고, 이러한 자급식 조립체는 조작기에 부착되며, 전기적 에너지 공급 및 압축 공기 공급을 제외하고 조작기와의 인터페이스를 필요로 하지 않으며, 특히 이러한 조립체로부터 조작기로 그리고 조작기로부터 조립체로 데이터 전송을 필요로 하지 않는다는 것이 전제된다. 이를 통해 공압 액추에이터, 엔드 이펙터 및 제어 장치로 구성되는 조립체는 매우 다양한 조작기들에 간단하게 부착될 수 있으며, 이때 조작기 제어부를 고려하고 이와 연관하여 제어 장치와 조작기 제어부 사이의 통신을 조정하는 것은 필요하지 않다.
바람직하게는, 제1 작동 공간에서 또는 밸브 배열체와 제1 작동 공간 사이에 연장되는 공급 라인에서 제1 압력 센서가 배치되고, 이러한 제1 압력 센서는 처리 장치에 제1 전기적 압력 신호를 제공하기 위해 형성되며, 제2 작동 공간에서 또는 밸브 배열체와 제2 작동 공간 사이에 연장되는 공급 라인에서 제2 압력 센서가 배치되고, 이러한 제2 압력 센서는 처리 장치에 제2 전기적 압력 신호를 제공하기 위해 형성되는 것이 고려된다. 제1 압력 센서 및 제2 압력 센서는 제1 작동 공간과 제2 작동 공간 사이에서의 차압을 정확하게 산출할 수 있고, 공압 액추에이터를 위한 기하학적 관계를 인식할 시, 특히 작동 피스톤 및 이러한 작동 피스톤에 고정된 피스톤 로드의 직경을 인식할 시 공압 액추에이터로부터 제공 가능한 힘을 산출할 수 있다. 또한, 공압 액추에이터가 이중 기능 공압 실린더로 형성되면, 처리 장치에서 제1 압력 센서의 제1 압력 센서 신호 및 제2 압력 센서의 제2 압력 센서 신호를 이용하여 이러한 제1 및 제2 압력 신호들로부터 산출되는 절대 압력 레벨을 참조로 하여 공압 액추에이터의 각각의 현재 운영 상태를 위한 강성값이 산출될 수 있다.
본 발명의 다른 형성예에서, 밸브 배열체는 제1 비례 밸브 배열체를 포함하고, 제1 비례밸브 배열체는 제1 작동 공간의 공압식 공급을 위해 형성되고, 압축공기원, 압축공기 배출부 및 제1 작동 공간과 유체 연통방식의 연결을 위해 형성되고, 밸브 배열체는 제2 비례 밸브 배열체를 포함하며, 제2 비례밸브 배열체는 제2 작동 공간의 공압식 공급을 위해 형성되고, 압축 공기원, 압축공기 배출부 및 제2 작동 공간과 유체 연통방식의 연결을 위해 형성되는 것이 고려된다. 제1 비례밸브 배열체뿐만 아니라 제2 비례밸브 배열체도 복수의 비례 밸브, 특히 2/2-경로 비례 밸브로 각각 구성될 수 있고, 이러한 비례 밸브는 특히 전기적으로 제어 가능하거나 유체식으로 제어 가능한 비례밸브를 가리킨다. 각각의 비례 밸브 배열체는 한편으로 각각의 작동 공간과 유체 연통방식으로 연결되고, 다른 한편으로 압축 공기원 및 압축 공기 배출부와 유체 연통방식으로 연결되며, 압축공기 배출부에는 경우에 따라서 소음기가 배정될 수 있다.
이에 상응하여, 각각의 제1 또는 제2 비례 밸브 배열체는 이에 배정된 작동 공간 및 압축 공기원 사이의 유체 연결을 해제하여 작동 공간의 환기를 야기할 수 있거나 대안적으로 압축 공기 배출부와 각각의 작동 공간 사이의 유체 연결을 해제하여 작동 공간의 탈기를 야기할 수 있다. 바람직하게는, 제1 및 제2 비례밸브 배열체가 동일한 압축공기원 및 동일한 압축공기 배출부와 연결되어, 작동 장치가 가급적 콤팩트하게 형성되도록 보장하는 것이 고려된다.
제1 및/또는 제2 비례밸브 배열체가 특히 압전 굽힘 밸브로 형성되며 위치 센서를 구비하는 적어도 하나의 비례 밸브를 포함하고, 이러한 위치 센서는 비례밸브의 밸브 위치에 따라 좌우되는 전기적 위치 신호를 처리 장치에 제공하기 위해 형성되고 및/또는 밸브 배열체가 공급 연결부를 포함하고, 이러한 공급 연결부가 압축 공기원과 유체 연통방식의 연결을 위해 형성되며, 공급 연결부와 밸브 배열체 사이에 공급 압력 센서가 배치되어, 이러한 공급 압력 센서가 전기적 공급 압력 신호를 처리 장치에 제공하기 위해 형성되는 것이 유리하다. 위치 센서가 배정되는 비례밸브를 사용함으로써, 처리 장치에서 위치 센서의 전기적 위치 신호를 참조로 하여 각각의 비례 밸브로부터 실제로 해제되는 밸브 횡단면이 추론될 수 있어서, 이로부터 비례 밸브를 위한 개선된 전기적 제어가 수행될 수 있다. 예컨대 전기적 위치 신호는 비례 밸브의 더 정확한 운영 및 이로써 공압 액추에이터 내에서 2개의 작동 공간 사이의 압력차의 더 정확한 설정을 보장하기 위해 사용될 수 있다.
보완적 또는 대안적으로, 밸브 배열체의 공급 연결부에 공급 압력 센서가 배정되고, 공급 압력 센서를 이용하여 공급 압력을 각각 최신으로 결정할 수 있는 것이 고려된다. 이는 특히, 작동 장치가 큰 압축 공기 네트워크에 연결되고, 이러한 압축 공기 네트워크에서 마찬가지로 이러한 압축 공기 네트워크에 연결된 다른 압축공기 소모장치의 활동성에 의해 공급 압력에서의 압력 편차가 발생할 수 있을 때 중요하다. 이러한 압력 편차는 적어도 특정한 범위 내에서 처리 장치에 의해 비례 밸브의 제어가 적절하게 변경됨으로써 밸런싱될 수 있어서, 공압 액추에이터에서는, 적어도 가급적 제공되는 공급 압력과 무관하게, 항상 동일한 방식의 압력차가 존재한다.
처리 장치는 위치 센서 신호들을 참조로 하여 공압 액추에이터로부터 엔드 이펙터에 가해질 수 있는 최대 힘을 위치와 무관하게 조정하기 위해 형성되는 것이 유리하다. 이와 같은 최대 힘 조정을 이용하여, 엔드 이펙터와 공작물 사이에 전달되는 힘들의 편차가 적어도 가급적 방지될 수 있는데, 이러한 편차는 예컨대 조작기의 이동으로부터 발생할 수 있으며, 이러한 편차는 조작기, 공압 액추에이터 및 공압 액추에이터에 부착된 엔드 이펙터의 편차를 야기할 수 있고, 따라서 공작물을 위한 가공 품질의 불량화를 야기할 수 있을 것이다. 또한, 위치 센서 신호들을 참조로 하여, 공압 액추에이터 및 공압 액추에이터에 부착된 엔드 이펙터의 서로 상이한 공간적 정렬 시 발생할 수 있는 중량 힘 영향이 적어도 가급적 보상될 수 있을 것이다.
예컨대, 위치 센서 신호들을 고려하지 않고 공작물 가공 공정 수행 중에 일시적으로 공압 액추에이터의 아래에 배치되는 엔드 이펙터는 공압 액추에이터의 상부에 배치되는 엔드 이펙터보다 큰 가공 힘을 공작물에 가하는 것을 전제할 수 있다. 이는, 일 경우에 엔드 이펙터 및 제어 부재의 중량 힘이 추가적으로 공작물에 작용하고 따라서 힘 증대에 기여하고 다른 경우에 제어 부재 및 엔드 이펙터의 중량 힘이 조작기에 작용하여 힘 감소를 야기한다는 것에 기인할 수 있다. 반면, 제어 부재 및 엔드 이펙터의 공간적 위치를 고려할 시 위치 센서 신호들과 연관하여 가공 공구로부터 공작물에 전달되는 작동 힘이 항상, 적어도 규정 가능한 공차 간격 내에서 동일하도록 보장된다.
본 발명의 다른 형성예에서, 처리 장치는 위치 센서 신호들을 참조로 하여, 액추에이터 하우징에 대하여 엔드 이펙터가 부착된 제어 부재의 위치를 위치와 무관하게 조정하기 위해 형성되는 것이 고려된다. 이와 같은 위치 조정은 특히, 엔드 이펙터가 예컨대 공작물에 부품을 조립하기 위해 형성되고 조립 공정 시 공작물에 대하여 부품의 정확한 공간적 정렬이 보장되어야 할 시에 중요한데, 이러한 정확한 공간적 정렬은 경우에 따라서, 위치 센서 신호들 및 처리 장치에서 이러한 위치 센서 신호들의 처리를 통해 공간적 정렬의 보상이 수행되지 않을 시 공간적으로 상이하게 작용하는 중량 힘의 영향으로 인하여 방해받을 수 있을 것이다.
본 발명의 유리한 실시 형태는 도면에 도시되어 있다. 도면은 다음과 같다:
도 1은 조작기, 공압 액추에이터, 제어 장치 및 엔드 이펙터를 포함하고 공작물의 가공을 위해 헝성되는 작동 장치에 관한 매우 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1에 따르는 작동 장치를 위한 제어 장치에 관한 개략적인 도면이다.
도 3은 도 2에 따르는 제어 장치를 위한 비례 밸브에 관한 개략적인 도면이다.
도 1에 순수하게 개략적으로 도시되어 있는 작동 장치(1)는 순수하게 예시적으로 다중축 산업용 로봇으로 형성되는 조작기(2)를 포함하고, 조작기는 예시적으로 기계 저부(3)를 이용하여 상세히 도시되지 않은 생산 홀 내에 위치 고정적으로 부착되고 복수의 암 부(4, 5, 6, 7)를 포함하며, 이러한 암 부들은 개략적으로 도시된 관절 장치(8, 9, 10, 11)에 의해 관절 방식으로 서로 연결된다. 관절 장치들(8 내지 11)은 정확하게 한정된 회동축을 포함하는 순수한 회동 조인트로서 또는 다수의 회동축을 포함하는 볼 조인트로서 각각 형성될 수 있고, 도 1에 따른 도면은 다만, 암 부들(4 내지 7)이 회동 운동 가능하게 서로 연결되고 관절 장치들(8 내지 11)이 적어도 하나의 회동축을 각각 포함하는 것을 나타낼 것이다.
핸드축으로도 지칭될 수 있는 암 부(7)에는 순수하게 예시적으로 이중 기능의 공압 실린더로 형성되는 공압 액추에이터(12)가 부착되고, 공압 액추에이터에 제어 장치(15), 위치 센서 배열체(16) 및 순수하게 예시적으로 연삭 유닛(17)으로 형성되는 엔드 이펙터가 배정된다. 공압 액추에이터(12)는 운동축(18)을 따라 암 부(7)에 대하여 연삭 유닛(17)을 위한 선형 상대 운동을 제공하기 위해 구비되고, 조작기(2)로부터 연삭 유닛(17)을 통하여 공작물(19)의 공작물 표면(20)에 전달될 수 있는 최대 힘에 영향을 미치기 위해 역할한다.
예시적으로, 조작기(2), 특히 상세하게 도시되지 않은 구동부들을 구비한 관절 장치들(8 내지 11)이 각각 제공되는 조작기(2)를 제어하기 위한 조작기 제어부(21)가 제공되는 것이 고려되는데, 조작기 제어부(2)는 공작물 표면(20)의 기하학적 형상을 인식할 시, 운동축(18)이 항상 연삭 유닛(17)과 공작물 표면(20) 사이의 접촉점(22)과 교차하고 이로써 각각 공작물 표면(20)에 대해 횡방향으로 정렬되는 방식으로, 연삭 유닛(17)을 공작물 표면(20)에 대해 정렬시키기 위해 형성된다.
공작물(19)의 유리한 가공을 보장하기 위해, 공작물 표면(20)과 접촉하는 이동된 질량은 가급적 낮게 유지하는 것이 고려된다. 이에 상응하여 공압 액추에이터(12)는 높은 질량 및 높은 관성을 가지는 조작기(2)와 연삭 유닛(17) 사이의 분리를 위해 역할한다. 공압 액추에이터(12)의 역할은 특히, 적어도 가급적 조작기(2)의 운동과 무관하게 연삭 유닛(17)으로부터 공작물 표면(20) 상에 인가되는 힘을, 제어 장치(15), 위치 센서 배열체(16) 및 연삭 유닛(17)을 포함하는 공압 액추에이터(12)로 구성되는 조립체, 및 조작기(2)의 공간적 정렬과 무관하게 보장하는 것이다.
예컨대, 공압 액추에이터(12)가 이중 기능의 공압 실린더로 형성되는 것이 고려되는데, 공압 액추에이터(12)는 액추에이터 하우징(25)을 포함하고, 액추에이터 하우징은 핸드축으로도 지칭되는 암 부(7)에 고정되기 위한 정면측을 포함하여 형성되고, 액추에이터 하우징은 운동축(18)을 따라 연장되는 리세스(26)를 포함하고, 이러한 리세스는 실린더 보어로도 지칭된다. 리세스(26) 내에는 작동 피스톤(27)이 운동축(18)을 따라 이동 가능하게 수용되고, 작동 피스톤은 피스톤 로드(28)와 연결되며, 피스톤 로드는 핸드축(7)으로부터 멀어지는 정면에서 액추에이터 하우징(25)을 관통하고 말단측에서 연삭 유닛(17)을 지지한다. 이때 작동 피스톤(27) 및 피스톤 로드(28)는 액추에이터 하우징(25)에서 선형 운동 가능하게 지지되는 공압 액추에이터(12)의 제어 부재를 형성한다.
말단측에서 피스톤 로드(28)에 배치되는 연삭 유닛(17)은 구동부(29)를 포함하고, 구동부는 상세히 도시되지 않은 구동 모터 및 순수하게 예시적으로 연삭 롤러로 형성되는 연삭 수단(30)을 포함하며, 연삭 수단은 도 1의 도면 평면에 대해 수직으로 정렬되는 회전축 둘레에서 회전하기 위해 형성된다.
제어 장치(15)는 순수하게 예시적으로 4개의 유체 연결부(33, 34, 35, 36)를 포함하고, 유체 연결부들은 이하에서 도 2와 연관하여 더 상세하게 설명된다. 또한, 제어 장치(15)는 마찬가지로 순수하게 예시적으로 5개의 전기적 연결부(37, 38, 39, 40, 41)를 포함하고, 전기적 연결부들은 전기 또는 전자 컴포넌트의 연결을 위해 형성된다. 순수하게 예시적으로, 제어 장치(15)가 공압식 공급 라인(44)을 통하여 압축 공기원(45)과 연결되는 것이 고려된다. 또한, 공압식 공급 라인(44)에는 공급 라인(44) 내에서 우세하는 공압 압력을 감지하기 위한 공급 압력 센서(46)가 배정된다. 공급 압력 센서(46)는 센서 라인(47)을 통하여 제어 장치(15)의 연결부(37)와 전기적으로 연결된다. 유체 연결부(34)는 배기 라인(48)을 통하여 소음기(49)와 연결된다. 전기 연결부(38)는 센서 라인(50)을 통하여 제1 압력 센서(51)와 연결되고, 제1 압력 센서는 공압 액추에이터(12)의 제1 작동 공간(52) 내에서 공압 압력을 산출하기 위해 형성되며, 제1 압력 센서는 제1 압축 공기 라인에 결합되고, 제1 압축 공기 라인은 제1 작동 공간(52)을 제어 장치(15)의 유체 연결부(35)와 유체 연통방식으로 연결한다. 또한, 전기적 연결부(39)에 센서 라인(54)이 연결되고, 센서 라인은 제2 압력 센서(55)의 전기적 압력 신호들을 전송하기 위해 형성된다. 제2 압력 센서(55)는 제2 압축 공기 라인(56)과 결합되고, 제2 압축 공기 라인은 공압 액추에이터(12)의 제2 작동 공간(57)과 이에 배정된 제어 장치(15)의 유체 연결부(36) 사이에서 연장된다. 또한, 제어 장치(15)의 전기적 연결부(40)에 센서 라인(58)이 연결되고, 센서 라인은 위치 센서 배열체(16)와 연결됨으로써, 위치 센서 배열체(16)로부터 제어 장치(15)로 위치 센서 신호들이 전달될 수 있다. 또한, 전기적 연결부(41)에 위치 센서(42)의 센서 라인(43)이 연결되고, 위치 센서를 이용하여 운동축(18)을 따라 작동 피스톤(27)의 위치가 산출될 수 있다.
도 1에 따른 제어 장치(15)는 도 2에서 개략적으로 세부적으로 도시되어 있다. 예컨대, 제어 장치(15)가 예시적으로 마이크로프로세서 또는 마이크로컨트롤러로 형성되는 처리 장치(60) 및 예시적으로 이하에 더 상세히 설명되는 복수의 비례 밸브(61, 62, 63, 64)로 구성되는 밸브 배열체(65)를 포함하는 것이 고려된다. 순수하게 예시적으로, 전체 비례 밸브(61 내지 64)가 동일한 방식으로 형성되고 도 3에 도시된 바와 같은 구성을 포함하는 것이 전제된다.
도 3에 순수하게 예시적으로 도시되는 비례밸브(61)는 밸브 하우징(66)을 포함하고, 밸브 하우징에 입력 연결부(67), 출력 연결부(68), 공급 연결부(69) 및 센서 연결부(70)가 형성된다. 입력 연결부(67)는 도 3에 도시되지 않은 유체 라인과의 연결을 위해 제공되고, 이러한 유체 라인을 통하여 밸브 하우징(66) 안으로 유체 공급이 수행될 수 있다. 출력 연결부(68)는 도 3에 도시되지 않은 유체 라인의 연결을 위해 제공되며, 이러한 유체 라인을 이용하여 밸브 하우징(66)으로부터의 유체 배출이 수행될 수 있다. 공급 연결부(69)는 밸브 하우징(66) 내에서 벤더 홀더(71)에 수용되며 특히 압전 재료로 제조되는 벤더(72)의 전기적 공급을 위해 제공된다. 벤더(72)는 입력 연결부(67)에 배정되는 밸브 시트를 중립 위치에서 폐쇄하고, 상세하게 도시되지 않은 개방 위치에서 밸브 시트(73)를 부분적으로 또는 완전하게 해제할 수 있다. 바람직하게는, 벤더(72)에 의해, 공급 연결부(69)에 제공되는 전기적 제어 신호들에 따라 입력 연결부(67)와 출력 연결부(68) 사이에서 유동 횡단면이 자유 설정될 수 있다. 바람직하게는, 이러한 자유 횡단면은 각각의 비례밸브(61)를 위해 공급 연결부(69)에 제공되는 제어 신호에 비례한다.
벤더(72)에 센서(74)가 배정되고, 센서는 벤더(72)의 위치를 감지하기 위해 형성되고, 센서는 센서 연결부(70)와 전기적으로 결합됨으로써, 센서(74)의 전기 센서 신호는 센서 연결부(70) 및 도 3에 미도시된 센서 라인을 통하여 예시적으로 도 2에 따르는 처리 장치(60)에 제공될 수 있다.
도 2의 도면에서 추론될 수 있는 바와 같이, 비례 밸브들(61, 62)은 유체 연결부(33)에 연결되는 압축 공기 라인(93) 및 각각의 유체 연결부(35 또는 36)에 배정되는 작동 라인(94 또는 95)과 각각 연결되고, 따라서 유체 연결부(33)로부터 유체 연결부(35 또는 36)로의 압축 공기 스트림에 영향을 미칠 수 있다. 2개의 비례 밸브(63, 64)는 이에 배정된 작동 라인(94 또는 95), 및 유체 연결부(34)와 연결된 배기 라인(96) 사이에 각각 배치되고, 예컨대 공압 액추에이터(12)의 각각의 작동 공간(52 또는 57)의 탈기를 야기할 수 있기 위해 각각의 유체 연결부(35 또는 36)와 유체 연결부(34) 사이의 유체 연통방식의 연결에 영향을 미칠 수 있다.
각각의 비례밸브(61 내지 64)는 배정된 제어 라인(76, 77, 78, 69)을 통하여 처리 장치(60)와 연결됨으로써, 처리 장치(60)의 제어 신호들은 각각 개별적인 제어 라인(76 내지 79)을 통하여 각각의 비례밸브들(61 내지 64)에 제공될 수 있다. 또한, 각각의 비례 밸브(61 내지 64)는 배정된 센서 라인(80, 81, 82, 83)을 통하여 처리 장치(60)와 연결됨으로써, 처리 장치(60)는 각각의 비례 밸브(61 내지 64)에 배정되는 각각의 센서들(74)의 센서 신호들을 수신 및 처리할 수 있다. 처리 장치(60)는 배정된 센서 라인들(84, 85, 86)을 통하여 전기적 연결부들(38, 39, 40)과 더 연결되어, 공급 압력 센서 (46) 또는 제1 압력 센서(51) 또는 제2 압력 센서(55)의 전기적 압력 신호들을 수신 및 처리할 수 있다. 또한, 처리 장치(60)에 센서 라인(87)이 배정되고, 이러한 센서 라인은 전기적 연결부(40)와 연결되며, 이러한 전기적 연결부는 도 1에 따른 위치 센서 배열체(16)와의 연결을 위해 제공됨으로써, 위치 센서 배열체(16)의 위치 센서 신호들을 참조로 하여 공압 액추에이터(12)의 공간적 정렬을 산출할 수 있다. 또한, 처리 장치(60)에 센서 라인(88)이 배정되고, 이러한 센서 라인은 전기적 연결부(41)와 연결되며, 이러한 전기적 연결부는 도 1에 따른 위치 센서(42)와의 연결을 위해 제공되어, 운동축(18)을 따라 작동 피스톤(27)의 상대적 위치를 위한 위치 산출을 가능하게 한다.
경우에 따라서, 처리 장치(16)가 조작기 제어부(21) 또는 미도시된 다른 제어부, 특히 메모리 프로그래밍 가능한 제어부(SPS)와의 통신을 위해 형성되고 이를 위해 버스 라인(90) 및 버스 연결부(91)를 포함하는 것이 고려될 수 있다. 예컨대, 처리 장치(60)가 버스 라인(90) 및 버스 연결부(91)를 통하여 공압 액추에이터(12) 및 암 부(7)의 공간적 정렬에 관한 정보를 조작기 제어부(21)에 제공하고, 이로써 조작기 제어부(21)가 암 부(7) 및 이러한 암 부에 부착된 공압 액추에이터(12)를 위해 내부적으로 계산된 정렬을 교정할 수 있는 것이 고려될 수 있다. 또한, 조작기 제어부(21)가 버스 연결부(91) 및 버스 라인(90)을 통하여 조작기(2)의 임박한 이동에 관한 정보를 처리 장치(60)에 제공하고, 이로써 이러한 처리 장치는 경우에 따라서 밸브 배열체(65)의 제어를 수행할 수 있어서, 공작물(19)의 유리한 가공을 수행할 수 있고, 특히 공작물 표면(20)에서 엔드 이펙터를 위한 일정한 가압력으로 공작물의 유리한 가공을 수행할 수 있는 것이 고려될 수 있다. 보완적 또는 대안적으로, 미도시된 제어부/SPS에 의해 전달될 힘 및/또는 점유하거나 준수해야 할 위치에 관한 기준값들이 처리 장치(60)에 제공될 수 있는 것이 고려될 수 있다.
작동 장치(1)를 위한 기능 방식은 다음과 같이 설명될 수 있다: 원칙적으로, 제어 장치(15) 및 공압 액추에이터(12)가 오로지 조작기(2) 및 순수하게 예시적으로 연삭 유닛(17)으로 형성되는 엔드 이펙터 사이에서 힘 전달에 영향을 미치기 위해 역할하는 것을 전제할 수 있으며, 작동 장치(1)를 위한 이와 같은 구동 방식은 힘에 의해 조정되는 구동 방식 또는 간략히 말하여 힘 조정으로 지칭된다.
연삭 유닛(17)을 위한 위치 및 공간적 장소가 변경되는 것은 오로지 조작기(2)의 역할이다. 이에 상응하여 예시적으로 이중 기능의 공압 실린더로 형성되는 공압 액추에이터(12)는 우선적으로 운동축(18)을 따라 연삭 유닛(17)의 피드 운동 또는 역인 운동을 위해 사용되지 않는다. 오히려 공압 액추에이터(12)는 제1 작동 공간(52) 및 제2 작동 공간(57) 내에서 압력 레벨의 설정을 이용하여 그리고 이로 인한 압력차를 통하여 강성, 및 이로 인하여 조작기(2)로부터 연삭 장치(17)로 최대로 전달될 힘에 영향을 미치기 위해 사용된다.
순수하게 예시적으로, 우선, 암 부(7) 및 암 부에 부착된 공압 액추에이터(12) 및 연삭 유닛(17)이 수평으로 정렬되고 운동축(18)이 가로로(수평으로) 정렬되나, 이때 연삭 유닛(17)과 공작물(19) 사이에 접촉이 없는 방식으로, 조작기(2)가 정렬되는 것이 고려될 수 있다. 바람직하게는, 제1 작동 공간(52) 및 제2 작동 공간(57) 사이의 압력차는, 이로 인하여 작동 피스톤(27)에서, 운동축(18)을 따라 작동 피스톤(27) 및 피스톤 로드(28)의 이동을 야기하게 될 힘이 발생하지 않는 방식으로 선택된다. 예시적으로, 이러한 강성의 설정은 2개의 작동 공간(52, 57)에서 낮은 압력 레벨로 달성된다.
이후, 경우에 따른 캘리브레이션 공정을 수행하기 위해, 암 부(7) 및 암 부에 부착된 공압 액추에이터(12) 및 제어 장치(15)가 하나 이상의 소정의 공간적 정렬로 소정 방식으로 정렬되는 것이 수행될 수 있어서, 이때 공압 액추에이터(12)와 관련하여 압축 공기 공급 또는 압축 공기 배출 없이 2개의 작동 공간(52, 57)에서 압력 변동을 확정할 수 있고, 이러한 압력 변동에 의해, 암 부(7)의 공간적 정렬에 따라 피스톤 로드(28) 및 작동 피스톤(27)과 연관하여 연삭 유닛(17)으로부터 가해지는 중량 힘의 영향을 추론할 수 있다. 바람직하게는, 이를 통해 수득되는, 연삭 유닛(17), 작동 피스톤(27) 및 피스톤 로드(28)의 중량 힘 영향에 관한 데이터는 처리 장치(60)에 저장되고 이후의 공작물 가공을 위해 다시 호출될 수 있는 것이 고려된다. 보완적 또는 대안적으로, 연삭 유닛(17)의 특성, 암 부(7)의 공간적 정렬에 따라 피스톤 로드(28) 및 작동 피스톤(27)과 연관하여 연삭 유닛(17)의 중량 힘 효과가 특히 작동 장치(1)를 배제하고도 산출될 수 있고, 데이터집합 또는 알고리즘으로 처리 장치(60)에 저장될 수 있다.
예컨대 접촉점(22)에서 규정 가능한 가압력을 이용하여 공작물(19)의 가공이 수행되어야 할 시, 처리 장치(60)는, 우선 도 1의 도면에 따른 운동축(18)의 가로 정렬 시, 운동축(18)을 따라 작동 피스톤(27)의 현저한 상대 운동 없이 조작기(2)로부터 연삭 유닛(17)으로 원하는 힘 전달이 수행될 수 있는 방식으로, 제1 작동 공간(52) 및 제2 작동 공간(57)에 압력을 적용하기 위해 형성된다. 한편, 오로지 조작기(2)의 이동에 의해서만 연삭 유닛(17)이 공작물 표면(20)에 근접하는 것이 고려된다.
공작물(19)의 가공 진행 중에 운동축(18)의 공간적 정렬이 변동되면, 연삭 유닛(17), 작동 피스톤(27), 및 피스톤 로드(18)의 중량 힘으로 인하여 공압 액추에이터를 통해 전달될 힘의 증대 또는 감소가 일어날 수 있다. 암 부(7) 및 공압 액추에이터(12)의 공간적 정렬과 연관되는, 조작기(2)와 연삭 유닛(17) 사이의 최대 전달 가능 힘의 변화를 밸런싱하기 위해, 처리 장치(60)는, 운동축(18)의 공간적 정렬과 무관하게 조작기(2)로부터 연삭 유닛(17)으로 동일한 최대 힘이 전달될 수 있는 방식으로, 위치 센서 배열체(16)의 위치 센서 신호를 참조로 제1 작동 공간(52)과 제2 작동 공간(57) 사이의 차압을 교정하기 위해 형성된다.
작동 공간(52 또는 57)에서 각각의 작동 압력을 조정하기 위해, 배정된 비례 밸브들(61 및 63 또는 62 및 64)는 처리 장치(60)에 의해 개별적으로 각각 제어되어, 2개의 작동 공간(52, 57) 사이의 위치 종속적 압력차를 설정하고, 이때 비례 밸브들(61 내지 64)의 매우 정확한 제어를 위해, 센서들(74)의 각각의 센서 신호들이 처리 장치(60)에서 처리되는 것이 고려될 수 있다.
작동 장치(1)를 위한 다른 구동 방식에서, 우선, 연삭 유닛(17)의 러프 포지셔닝이 조작기(2)를 이용하여 수행되는 것이 고려되는데, 이러한 러프 포지셔닝은, 전체 공차, 특히 조작기(2)의 포지셔닝 공차를 고려하여 연삭 유닛(17)과 공작물(19) 사이의 접촉이 배제될 수 있는 방식으로 수행된다. 이후, 제2 작동 공간(57)으로 압축 공기가 제공되고, 경우에 따라서 제1 작동 공간(52)이 탈기됨으로써 공작물에 연삭 유닛(17)이 근접하여, 작동 피스톤(27), 피스톤 로드(28) 및 연삭 유닛(17)의 선형 운동이 야기된다. 바람직하게는, 이러한 근접 이동은 위치 조정되어 수행되고, 즉, 작동 피스톤(27)의 선형 위치에 따라 위치 센서(42)로부터 처리 장치(60)에 제공되는 위치 신호들과 연관하여 수행된다. 액추에이터 하우징(25)에 대하여 위치 조정의 범위 내에서 규정 가능한 작동 피스톤(27)의 위치에 도달할 시, 전술한 힘 조정 및 힘에 의해 조정되는 공작물(19)의 가공으로 전환된다.

Claims (10)

  1. 공작물(19) 상에 힘을 인가하기 위한 작동 장치(1)로서,
    조작기(2)에 고정되기 위해 형성되는 액추에이터 하우징(25), 및 엔드 이펙터(17)의 결합을 위해 형성되며 상기 액추에이터 하우징(25)에서 이동 가능하게 수용되는 제어 부재(27, 28)를 포함하는 공압 액추에이터(12); 및 상기 공압 액추에이터(12)의 압축 공기 공급을 위한 밸브 배열체(65), 상기 공압 액추에이터(12)의 공간적 위치를 산출하고 위치 종속적 전기 위치 센서 신호들을 제공하기 위한 위치 센서 배열체(16) 및 상기 위치 센서 신호들을 처리하고 제어 신호들을 상기 밸브 배열체(65)에 제공하기 위한 처리 장치(60)를 포함하는 제어 장치(15)를 포함하고, 상기 처리 장치(60)는 상기 위치 센서 신호들에 따라 상기 공압 액추에이터(12)의 공압식 공급을 조정하기 위해 형성되는, 작동 장치(1).
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 엔드 이펙터(17)는 접촉식 공작물 가공을 위한 가공 공구, 접촉식 공작물 측정을 위한 측정 공구로 구성된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 액추에이터 하우징(25)은 조작기(2), 특히 다중축 산업용 로봇으로 형성되는 조작기(2)와 연결되고, 상기 조작기는 상기 엔드 이펙터(17)의 공간적 정렬을 설정하기 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공압 액추에이터(12)는 이중 기능의 공압 실린더로 형성되고, 상기 제어 부재(27, 28)는 작동 피스톤으로, 특히 말단측에 배치되는 작동 피스톤을 포함하는 피스톤 로드로 형성되며, 상기 작동 피스톤은 상기 액추에이터 하우징(25) 내의 실린더 리세스(25) 내에 선형 운동 가능하게 수용되고, 상기 액추에이터 하우징(25)과 함께 크기 가변적 제1 작동 공간(52) 및 크기 가변적 제2 작동 공간(27)을 한정하며, 상기 처리 장치(60)는 상기 제1 작동 공간(52) 및 상기 제2 작동 공간(57) 사이에서 차압을 조정하기 위해 상기 액추에이터 하우징(25)에 대하여 상기 제어 부재(27, 28)의 상대 위치에 영향을 미치기 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 작동 공간(52)에서 또는 상기 밸브 배열체(65)와 상기 제1 작동 공간(52) 사이에 연장되는 공급 라인(53)에서 제1 압력 센서(51)가 배치되고, 상기 제1 압력 센서는 상기 처리 장치(60)에 제1 전기적 압력 신호를 제공하기 위해 형성되고, 그리고 상기 제2 작동 공간(57)에서 또는 상기 밸브 배열체(65)와 상기 제2 작동 공간(57) 사이에 연장되는 공급 라인(56)에서 제2 압력 센서(55)가 배치되고, 상기 제2 압력 센서는 상기 처리 장치(60)에 제2 전기적 압력 신호를 제공하기 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 밸브 배열체(65)는 제1 비례 밸브 배열체(61, 62, 63, 64)를 포함하고, 상기 제1 비례 밸브 배열체는 상기 제1 작동 공간(52)의 공압식 공급을 위해 형성되고, 압축 공기원(45), 압축 공기 배출부(48) 및 상기 제1 작동 공간(52)과 유체 연통방식의 연결을 위해 형성되며, 그리고 상기 밸브 배열체(65)는 제2 비례 밸브 배열체(61, 62, 63, 64)를 포함하고, 상기 제2 비례 밸브 배열체는 상기 제2 작동 공간(57)의 공압식 공급을 위해 형성되고 상기 압축 공기원(45), 상기 압축 공기 배출부(48) 및 상기 제2 작동 공간(57)과 유체 연통방식의 연결을 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 및/또는 제2 비례 밸브 배열체(61, 62, 63, 64)는 위치 센서(74)를 포함하는 적어도 하나의 비례 밸브, 특히 압전 굽힘 밸브로 형성되는 적어도 하나의 비례 밸브를 포함하고, 상기 위치 센서(74)는 상기 비례 밸브의 밸브 위치에 따라 좌우되는 전기적 위치 신호를 상기 처리 장치(60)에 제공하기 위해 형성되고 및/또는 상기 밸브 배열체(65)는 상기 압축 공기원(45)과 유체 연통방식의 연결을 위해 형성되는 공급 연결부(69)를 포함하고, 그리고 상기 공급 연결부(69)와 상기 밸브 배열체(65) 사이에 공급 압력 센서(46)가 배치되며, 상기 공급 압력 센서는 전기적 공급 압력 신호를 상기 처리 장치(60)에 제공하기 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리 장치(60)는 상기 위치 센서 신호들을 참조로 하여 상기 공압 액추에이터(12)로부터 상기 엔드 이펙터(17)로 가해질 수 있는 최대 힘을 위치와 무관하게 조정하기 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리 장치(60)는 상기 위치 센서 신호들을 참조로 하여 상기 액추에이터 하우징(25)에 대하여 상기 엔드 이펙터(17)가 부착된 상기 제어 부재(27, 27)의 위치를 위치와 무관하게 조정하기 위해 형성되는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 위치 센서(16)는 자이로스코프로 형성되고 및/또는 상기 처리 장치(60)는 상기 위치 센서 신호들을 조작기 제어부(21)에 제공하기 위한 출력 인터페이스(91) 및/또는 조작기 제어부(21)의 배향 신호들을 수신하기 위한 입력 인터페이스(91)를 포함하는 것을 특징으로 하는 작동 장치(1).
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