KR20210060322A - 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치 - Google Patents

Abstract

스크라이브 라인의 형성의 정밀도와 품질을 향상시킨다.
스크라이브 헤드(1)는, 커터 휠(13b)과, 회전 모터(11)를 구비한다. 커터 휠(13b)은, 경방향의 선단에, 스크라이브 라인을 형성하는 날을 갖는다. 회전 모터(11)는, 스크라이브 라인을 형성할 때에, 커터 휠(13b)의 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 커터 휠(13b)을 경방향에 평행한 축 둘레로 회동시킨다.

Description

스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치{SCRIBE HEAD AND SCRIBE DEVICE}

본 발명은, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치에 관한 것이고, 특히, 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 사용되는 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.

예를 들면, FPD용 패널 기판으로서 사용되는 취성(脆性) 재료(예를 들면, 유리) 기판은, 통상, 스크라이브 장치에 의하여 대형 마더 기판을 스크라이브하고, 그 후에 소정의 크기로 분단함으로써 제조된다. 이 기판을 스크라이브하기 위하여 사용되는 스크라이브 장치는, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시되어 있다.

스크라이브 장치는, 스크라이브 라인이 형성되는 기판을 수평 상태로 유지하는 테이블과, 이 테이블 상에 유지된 유리 기판을 스크라이브하는 스크라이브 헤드와, 각 스크라이브 헤드가 슬라이드 가능하게 장착된 가이드 레일을 갖는 브리지를 구비하고 있다.

스크라이브 헤드의 하부에는, 커터 휠 장착 기구가 설치되어 있다. 커터 휠 장착 기구는, 그 길이 방향의 선단에 커터 휠을 갖고, 당해 길이 방향에 평행한 축 둘레로 회전 가능하다. 커터 휠은, 경방향의 선단부에, 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 날을 갖고 있다. 기판에 스크라이브 라인을 형성할 때에는, 커터 휠 장착 기구를 축 둘레로 회동(回動)시키고, 커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하게 한다.

일본국 특허공개 2013-23404호 공보

상기의 종래의 스크라이브 헤드에서는, 스크라이브 헤드를 기판에 대하여 이동시켰을 때에 그것에 추종하여 커터 휠 장착 기구가 회동함으로써, 커터 휠의 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하는 구성으로 되어 있다. 이 경우, 예를 들면 곡선 형상의 스크라이브 라인을 형성할 때에, 커터 휠 장착 기구가 적절하게 회동하지 않고, 커터 휠의 날이 곡선을 따라 이동 중에 기판의 표면에서 미끄러지는 경우가 있다. 이에 의하여, 스크라이브 라인의 형성의 정밀도 및 품질이 저하되는 경우가 있다.

또한, 스크라이브 라인의 형성 방향으로 커터 휠의 날이 향하도록 커터 휠 장착 기구를 회동시키기 위한 스페이스가 필요하기 때문에, 스크라이브 장치를 콤팩트하게 하는 것이 어려웠다.

본 발명의 목적은, 스크라이브 라인의 형성의 정밀도와 품질을 향상시키는 것에 있다.

이하에, 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양태를 설명한다. 이들 양태는, 필요에 따라 임의로 조합할 수 있다.

본 발명의 일 견지에 따른 스크라이브 헤드는, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것이며, 커터 휠과, 모터를 구비한다. 커터 휠은, 경방향의 선단에, 스크라이브 라인을 형성하는 날을 갖는다. 모터는, 스크라이브 라인을 형성할 때에, 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 커터 휠을 경방향에 평행한 축 둘레로 회동시킨다.

상기의 스크라이브 헤드에서는, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때에, 모터가, 커터 휠의 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 커터 휠을 그 경방향에 평행한 축 둘레로 회동시킨다. 이에 의하여, 커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 확실하게 향하게 할 수 있다.

커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 확실하게 향하게 할 수 있으면, 스크라이브 라인의 형성 중에 커터 휠의 날이 기판의 표면에서 미끄러지는 것을 억제할 수 있으므로, 스크라이브 라인의 형성의 정밀도 및 품질이 향상된다.

또한, 모터에 의하여 자동적으로 커터 휠의 날의 방향을 바꿀 수 있는 것에 의하여, 날의 방향을 변경하기 위한 스페이스를 스크라이브 장치에 형성할 필요가 없어진다.

스크라이브 헤드는, 커터 홀더를 추가로 구비해도 된다. 커터 홀더는, 커터 휠을 유지한다. 이 경우, 모터의 출력 회전축과 커터 홀더가 직접 접속되어도 된다. 이에 의하여, 커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 높은 정밀도로 향하게 할 수 있다.

스크라이브 헤드는, 모터를 수납하는 수납 부재를 추가로 구비해도 된다. 이에 의하여, 스크라이브 헤드의 무게 중심 위치를 안정시키고, 스크라이브 헤드를 콤팩트하게 할 수 있다.

본 발명의 다른 견지에 따른 스크라이브 장치는, 기판 재치부(載置部)와, 스크라이브 헤드와, 구동부를 구비한다. 스크라이브 헤드는, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성한다. 구동부는, 스크라이브 헤드를 구동한다.

스크라이브 헤드는, 커터 휠과, 모터를 구비한다. 커터 휠은, 경방향의 선단에, 스크라이브 라인을 형성하는 날을 갖는다. 모터는, 스크라이브 라인을 형성할 때에, 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 커터 휠을 경방향에 평행한 축 둘레로 회동시킨다.

상기의 스크라이브 장치에서는, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때에, 스크라이브 헤드의 모터가, 커터 휠의 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 커터 휠을 그 경방향에 평행한 축 둘레로 회동시킨다. 이에 의하여, 커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 확실하게 향하게 할 수 있다.

커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 확실하게 향하게 할 수 있으면, 스크라이브 라인의 형성 중에 커터 휠의 날이 기판의 표면에서 미끄러지는 것을 억제할 수 있으므로, 스크라이브 라인의 형성의 정밀도 및 품질이 향상된다.

또한, 모터에 의하여 자동적으로 커터 휠의 날의 방향을 바꿀 수 있는 것에 의하여, 날의 방향을 변경하기 위한 스페이스를 스크라이브 장치에 형성할 필요가 없어진다.

스크라이브 장치는, 지지 부재를 추가로 구비해도 된다. 지지 부재는, 모터의 양단측에서 스크라이브 헤드를 지지한다. 이에 의하여, 스크라이브 헤드를 스크라이브 장치에 있어서 안정적으로 지지할 수 있다.

상기의 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치는, 모터가 커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하게 하는 구성을 가지므로, 스크라이브 라인의 형성의 정밀도와 품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은, 스크라이브 장치의 개략 사시도이다.
도 2는, 스크라이브 헤드의 사시도이다.
도 3은, 스크라이브 헤드의 배면도이다.
도 4는, 스크라이브 헤드의 X-Y 평면에서의 단면도이다.
도 5는, 압압(押壓) 조정 기구의 내부 구조를 나타내는 도면이다.

1. 제1 실시 형태

(1) 스크라이브 장치

도 1을 이용하여, 스크라이브 장치(101)를 설명한다. 도 1은, 스크라이브 장치의 개략 사시도이다. 스크라이브 장치(101)는, 기판(W)을 스크라이브 가공하는 장치이다. 기판(W)은, 예를 들면, 유리 기판, 세라믹 기판, 사파이어 기판, 실리콘 기판 등이다.

스크라이브 장치(101)는, 기판(W)을 재치하는 테이블(102)(기판 재치부의 일례)을 구비하고 있다. 테이블(102)은 이동대(103)에 올려져 있다. 이동대(103)는, 수평인 레일(105a, 105b)을 따라 이동할 수 있도록 되어 있고, 구동 모터(106)에 의하여 회전하는 볼 나사(107)에 의하여 구동된다.

또한, 이하의 설명에서는, 레일(105a, 105b)이 연장되는 수평 방향을 Y방향으로 하고, 그것에 직교하는 수평 방향을 X방향이라고 한다. 또한, 수평 방향(X방향, Y방향)에 수직인 높이 방향을 Z방향으로 한다.

테이블(102)은, 기판(W)을 정위치에서 유지할 수 있도록 유지 수단(도시하지 않음)을 구비하고 있다. 유지 수단은, 예를 들면, 테이블(102)에 개구시킨 다수의 작은 흡착 구멍(도시하지 않음)으로부터의 에어 흡인이다.

스크라이브 장치(101)에는, 이동대(103)와 테이블(102)에 걸쳐 있도록, X방향을 따라 브리지(111)가, 지주(112a, 112b)에 의하여 가설(架設)되어 있다.

브리지(111)에는, 제1 가이드(113)가 장착되어 있고, 제1 가이드(113)에는 지지 부재(114)가 X방향을 따라 이동 가능하게 설치되어 있다. 지지 부재(114)는, 스크라이브 헤드(1)를 지지한다. 또한, 제1 가이드(113)를 따라 지지 부재(114)를 구동하는 구동 모터(도시하지 않음, 구동부의 일례)가 설치되어 있다. 이 구동 모터에 의하여 지지 부재(114)가 제1 가이드(113)를 따라 이동함으로써, 스크라이브 헤드(1)를 제1 가이드(113)(X방향)를 따라 이동시킬 수 있다.

상기와 같이 하여 스크라이브 장치(101)의 스크라이브 헤드(1)에 장착한 커터 휠(13b)(후술)을, 테이블(102) 상에 재치한 기판(W)의 표면에 강하시키고, 기판(W)의 표면에 누르면서 상대적으로 이동시킴으로써, 기판(W)의 표면에 분단용 스크라이브 라인을 형성한다.

(2) 스크라이브 헤드의 구성

도 2~도 4를 이용하여, 스크라이브 헤드(1)를 설명한다. 도 2는, 스크라이브 헤드의 사시도이다. 도 3은, 스크라이브 헤드의 배면도이다. 도 4는, 스크라이브 헤드의 X-Y 평면에서의 단면도이다. 스크라이브 헤드(1)는, 기판(W)의 표면을 스크라이브함으로써 스크라이브 라인을 형성하는 것이다. 스크라이브 헤드(1)는, 주로, 회전 모터(11)와, 커터 기구(13)를 구비한다.

회전 모터(11)는, 커터 기구(13)를 Z축 둘레로 회동시킨다. 구체적으로는, 회전 모터(11)의 출력 회전축은, 커플링 부재(21)를 통하여, 커터 기구(13)의 커터 홀더(13a)(후술)의 축방향의 일단과 접속되어 있고, 회전 모터(11)의 출력 회전축의 회전에 따라 커터 기구(13)가 그 축 둘레로 회동한다.

커터 기구(13)는, 축방향의 일단이 커플링 부재(21)에 접속되는 커터 홀더(13a)와, 커터 홀더(13a)의 축방향의 타단(커플링 부재(21)가 접속되어 있는 측과는 반대측의 단부)에 있어서 수평축 둘레로 회전 가능하게 설치된 커터 휠(13b)을 갖고 있다.

커터 휠(13b)은, 원반 형상의 부재이며, 당해 원반의 경방향의 단부에 날을 갖는다. 커터 휠(13b)의 날을 기판(W)의 표면에 댄 상태로, 커터 휠(13b)이 기판(W)에 대하여 상대 이동하고, 커터 휠(13b)이 기판(W) 상에서 수평축 둘레로 회전함으로써, 커터 휠(13b)의 상대 이동의 궤적에 대응한 스크라이브 라인이 기판(W)의 표면에 형성된다.

상기와 같이, 단부에 커터 휠(13b)을 갖는 커터 홀더(13a)가 회전 모터(11)의 출력 회전축에 접속됨으로써, 커터 휠(13b)은, 회전 모터(11)의 출력 회전축의 회전에 따라, Z축 둘레로 회동 가능하게 된다.

스크라이브 헤드(1)에 있어서, 커터 홀더(13a)는, 커플링 부재(21)에 의하여, 회전 모터(11)의 출력 회전축에 직접 접속되어 있다. 바꾸어 말하면, 회전 모터(11)의 출력 회전축과 커터 홀더(13a)의 사이에는, 기어 등에 의하여 구성되는 감속 기구 등이 설치되어 있지 않다.

이 구성에 의하여, 회전 모터(11)의 출력 회전축의 회전이 늦게 커터 홀더(13a)에 전달되는 것, 및/또는, 커터 홀더(13a)의 회전량이 출력 회전축의 회전량과 일치하지 않게 되는 것을 회피할 수 있다. 그 결과, 회전 모터(11)의 출력 회전축의 회전에 대응하도록, 커터 휠(13b)의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 높은 정밀도로 향하게 할 수 있다.

또한, 스크라이브 헤드(1)에 있어서, 회전 모터(11)는, 수납 부재(15)에 수납되어 있다. 구체적으로는, 회전 모터(11)의 본체 부분은, 수납 부재(15)의 한 쌍의 측면 부재(15a)의 사이에 수납된다. 또한, 회전 모터(11)의 본체 부분은, 한 쌍의 측면 부재(15a)를 가교하도록 배치된 구속 부재(15b)에 의하여 구속된다. 예를 들면, 구속 부재(15b)에 형성한 개구에 회전 모터(11)의 본체 부분을 삽입하거나, 및/또는, 회전 모터(11)의 본체 부분과 구속 부재(15b)를 나사 고정 등 함으로써, 구속 부재(15b)는 회전 모터(11)의 본체를 움직이지 않도록 고정할 수 있다.

또한, 한 쌍의 측면 부재(15a)의 저면에는, 저면 부재(15c)가 고정되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 저면 부재(15c)는, 커플링 부재(21)와 커터 홀더(13a)의 사이에 배치된다.

스크라이브 헤드(1)를 상기의 수납 부재(15)에 수납하는 구성으로 함으로써, 스크라이브 헤드(1)를 스크라이브 장치(101)에 장착했을 때에, 스크라이브 헤드(1)의 무게 중심 위치를 안정시키고, 스크라이브 헤드(1)를 콤팩트하게 할 수 있다.

스크라이브 헤드(1)는, 한 쌍의 리니어 가이드(17)를 구비하고 있다. 한 쌍의 리니어 가이드(17)의 각각은, 대응하는 측면 부재(15a)에, 그 길이 방향이 Z방향에 평행이 되도록 설치된다. 한 쌍의 리니어 가이드(17)는, 지지 부재(114)에 설치된 한 쌍의 제2 가이드(114a)를 따라, 즉 Z방향으로 이동 가능하게, 한 쌍의 제2 가이드(114a)에 끼워 넣어진다. 또한, 한 쌍의 제2 가이드(114a)가 한 쌍의 리니어 가이드(17)를 슬라이딩할 때의 슬라이딩 저항은 작게 해 두는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하여, 스크라이브 장치(101)의 지지 부재(114)는, 회전 모터(11)의 양단측에서 스크라이브 헤드(1)를 지지 가능하게 되므로, 스크라이브 헤드(1)를 스크라이브 장치(101)에 있어서 안정적으로 지지할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 스크라이브 헤드(1)가, 수평 방향의 축으로 대하여 회전하는 등 하여, 스크라이브 헤드(1)가 Z방향으로부터 어긋난 방향으로 향하는 것을 회피할 수 있다.

또한, 스크라이브 헤드(1)가 지지 부재(114)에 대하여 Z방향으로 이동 가능하게 되어 있는 것에 의하여, 기판(W)의 두께 및/또는 요철 등에 따라 스크라이브 헤드(1)가 Z방향으로 이동하고, 기판(W)에 대하여 적절하게 커터 휠(13b)의 날을 댈 수 있다.

또한, 수납 부재(15)에 있어서, 회전 모터(11)는, 수납 부재(15)의 배면(지지 부재(114)에 가까운 측)에 대하여 크게 거리가 떨어지지 않은 위치에 수납되어 있다. 이에 의하여, 스크라이브 헤드(1)의 무게 중심이 지지 부재(114)로부터 크게 떨어지고, 스크라이브 헤드(1)가 지지 부재(114)에 대하여 전(前) 방향으로 기울어지는 것을 회피할 수 있다.

스크라이브 헤드(1)는, 압압 조정 기구(19)를 구비하고 있다. 압압 조정 기구(19)는, 커터 휠(13b)의 날이 기판(W)을 압압하는 힘을 조정한다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 압압 조정 기구(19)는, 실린더(19a)와, 격벽(19b)을 갖는다. 압압 조정 기구(19)에 있어서, 실린더(19a)의 내부 공간은, 격벽(19b)에 의하여 2개의 소공간으로 분리되어 있다. 격벽(19b)은, 접속 부재(19c)를 통하여 스크라이브 헤드(1)(회전 모터(11))와 접속되어 있다. 도 5는, 압압 조정 기구의 내부 구조를 나타내는 도면이다.

실린더(19a)의 내부 공간이 격벽(19b)에 의하여 분리되어 형성되는 소공간의 각각은, 압력을 독립적으로 조정 가능하게 되어 있다. 예를 들면, 각 소공간에 독립적으로 에어 등의 기체를 유입 또는 유출시킴으로써, 각 소공간의 압력을 조정할 수 있다.

도 5에 있어서, 예를 들면, 격벽(19b)보다 위의 소공간의 압력에 의하여 격벽(19b)을 하방향으로 누르는 힘을 F1, 격벽(19b)보다 아래의 소공간의 압력에 의하여 격벽(19b)을 상방향으로 누르는 힘을 F2, 스크라이브 헤드(1)의 중력을 F3으로 한 경우, 커터 휠(13b)의 날이 기판(W)을 누르는 힘은, F1-F2+F3이 된다. 즉, 격벽(19b) 위의 소공간과 아래의 소공간의 차압을 조정함으로써, 커터 휠(13b)의 날이 기판(W)을 누르는 힘을 조정할 수 있다.

(3) 스크라이브 동작

다음으로, 상기의 구성을 갖는 스크라이브 헤드(1)를 구비한 스크라이브 장치(101)에 의한, 기판(W)에 대한 스크라이브 라인의 형성 동작(스크라이브 동작)을 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 스크라이브 동작은, 스크라이브 장치(101)에 구비되는 컨트롤러(도시하지 않음)에 의하여 실행된다. 이 경우, 당해 컨트롤러는, 컨트롤러의 기억 장치 등에 기억한 프로그램을 실행함으로써, 이하의 제어를 실현해도 된다.

먼저, 기판(W)이 반송되어, 테이블(102) 위에 재치된다. 그리고, 스크라이브 헤드(1)가 X방향으로 이동되어, 소정의 위치에 위치 결정된다. 이때, 압압 조정 기구(19)의 실린더(19a)의 내부 공간 내의 압력(격벽(19b)의 상하의 압력)이 조정되어, 커터 휠(13b)의 날이 기판(W)을 누르는 힘을 조정한다.

그 후, 기판(W)에 형성하고 싶은 스크라이브 라인의 형상에 따라, 스크라이브 헤드(1)가 제1 가이드(113)를 따라 X방향으로 이동하고, 기판(W)을 재치한 테이블(102)이 레일(105a, 105b)을 따라 Y방향으로 이동함으로써, 커터 휠(13b)이 기판(W)에 대하여 X-Y 평면 내의 임의의 방향으로 이동한다. 이 커터 휠(13b)의 임의의 방향으로의 이동에 의하여, 기판(W)의 표면에 임의 형상의 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

또한, 기판(W)의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때에, 회전 모터(11)가, 커터 휠(13b)의 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 커터 휠(13b)을 Z방향에 평행한 축 둘레로 회동시킨다. 즉, 기판(W)의 표면에 있어서의 이동에 추종하여 커터 휠(13b)의 날의 방향이 바뀌는 것이 아니라, 회전 모터(11)의 구동에 의하여, 커터 휠(13b)의 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 적극적으로 향해진다. 이에 의하여, 커터 휠(13b)의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 확실하게 향하게 할 수 있다.

상기와 같이, 기판(W)의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때에 커터 휠(13b)의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 확실하게 향하게 할 수 있으면, 스크라이브 라인의 형성 중에 커터 휠(13b)의 날이 기판(W)의 표면에서 미끄러지는 것을 억제할 수 있으므로, 스크라이브 라인의 형성의 정밀도 및 품질을 향상시킬 수 있다. 예를 들면, 기판(W)의 표면의 의도한 위치와는 상이한 위치에 스크라이브 라인이 형성되는 것, 및/또는, 기판(W)의 표면에 의도한 형상과는 상이한 스크라이브 라인이 형성되는 것을 회피할 수 있다. 또한, 예를 들면, 커터 휠(13b)의 날이 기판(W)의 표면에서 미끄러지는 것에 기인하여, 기판(W)의 표면에 상처가 생기는 것, 및/또는, 커터 휠(13b)의 날이 손상되는 것을 회피할 수 있다.

또한, 회전 모터(11)에 의하여 자동적으로 커터 휠(13b)의 날의 방향을 바꿀 수 있는 것에 의하여, 날의 방향을 변경하기 위한 스페이스를 스크라이브 장치(101)에 형성할 필요가 없어진다. 또한, 커터 휠(13b)의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하게 하기 위한 동작이 불필요해지므로, 스크라이브 동작을 고속화할 수 있다.

(4) 실시 형태의 특징

상기 실시 형태는 하기와 같이도 설명할 수 있다.

스크라이브 헤드(예를 들면, 스크라이브 헤드(1))는, 커터 휠(예를 들면, 커터 휠(13b))과, 모터(예를 들면, 회전 모터(11))를 구비한다. 커터 휠은, 경방향의 선단에, 스크라이브 라인을 형성하는 날을 갖는다. 모터는, 스크라이브 라인을 형성할 때에, 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 커터 휠을 경방향에 평행한 축 둘레로 회동시킨다.

상기의 스크라이브 헤드에서는, 기판(예를 들면, 기판(W))의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때에, 모터가, 커터 휠의 날이 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 커터 휠을 그 경방향에 평행한 축 둘레로 회동시킨다. 이에 의하여, 커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 확실하게 향하게 할 수 있다.

커터 휠의 날을 스크라이브 라인의 형성 방향으로 확실하게 향하게 할 수 있으면, 스크라이브 라인의 형성 중에 커터 휠의 날이 기판의 표면에서 미끄러지는 것을 억제할 수 있으므로, 스크라이브 라인의 형성의 정밀도 및 품질이 향상된다.

또한, 모터에 의하여 자동적으로 커터 휠의 날의 방향을 바꿀 수 있는 것에 의하여, 날의 방향을 변경하기 위한 스페이스를 스크라이브 장치에 형성할 필요가 없어진다.

2. 다른 실시 형태

이상, 본 발명의 일 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 쓰여진 복수의 실시 형태 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.

커터 휠(13b)의 날끝의 위치는, 커터 홀더(13a)의 회전 중심(회전 모터(11)의 출력 회전축)과 일치하고 있어도 되고, 커터 홀더(13a)의 회전 중심으로부터 약간 오프셋하고 있어도 된다.

본 발명은, 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 사용되는 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치에 널리 적용할 수 있다.

1 스크라이브 헤드
11 회전 모터
13 커터 기구
13a 커터 홀더
13b 커터 휠
15 수납 부재
15a 측면 부재
15b 구속 부재
15c 저면 부재
17 리니어 가이드
19 압압 조정 기구
19a 실린더
19b 격벽
19c 접속 부재
21 커플링 부재
101 스크라이브 장치
102 테이블
103 이동대
105a, 105b 레일
106 구동 모터
107 볼 나사
111 브리지
112a, 112b 지주
113 제1 가이드
114 지지 부재
114a 제2 가이드
W 기판

Claims (5)

1. 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 헤드로서,
   경방향의 선단에, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 날을 갖는 커터 휠과,
   상기 스크라이브 라인을 형성할 때에, 상기 날이 상기 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 상기 커터 휠을 상기 경방향에 평행한 축 둘레로 회동시키는 모터를 구비하는 스크라이브 헤드.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 커터 휠을 유지하는 커터 홀더를 추가로 구비하고,
   상기 모터의 출력 회전축과 상기 커터 홀더가 직접 접속되는, 스크라이브 헤드.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 모터를 수납하는 수납 부재를 추가로 구비하는, 스크라이브 헤드.
4. 기판 재치부(載置部)와,
   기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 헤드와,
   상기 스크라이브 헤드를 구동하는 구동부를 구비하고,
   상기 스크라이브 헤드는,
   경방향의 선단에, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 날을 갖는 커터 휠과,
   상기 스크라이브 라인을 형성할 때에, 상기 날이 상기 스크라이브 라인의 형성 방향으로 향하도록, 상기 경방향에 평행한 축 둘레로 상기 커터 휠을 회동시키는 모터를 갖는, 스크라이브 장치.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 모터의 양단측에서 상기 스크라이브 헤드를 지지하는 지지 부재를 추가로 구비하는, 스크라이브 장치.

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