KR20210058766A - Device handler - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐리어테이프에 소자들을 적재하는 소자핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to an element handler, and more particularly, to an element handler for loading elements onto a carrier tape.
SD 램, 프래쉬램, LSI, LED 등 반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 반도체공정을 마친 후 소잉공정, 패키징공정 등을 마친 후 시장에 출하됨이 일반적이다.Semiconductor devices (hereinafter referred to as'devices') such as SD RAM, Flash RAM, LSI, and LEDs are generally shipped to the market after completing the semiconductor process and then the sawing process and packaging process.
여기서 시장에 출하된 제품에 대한 신뢰성을 확보하기 위하여 검사장치, 분류장치, 검사 및 분류장치 등에 의하여 자동검사 및 검사결과에 따른 분류를 통하여 양품의 제품들을 선별하여 시장에 출하하고 있다.Here, in order to secure the reliability of products shipped to the market, quality products are selected and shipped to the market through automatic inspection and classification according to inspection results by inspection devices, sorting devices, inspection and sorting devices, etc.
한편 소자는 SD 램, 프래쉬램, LSI 등 리드프레임, BGA 등 단자구조가 다양해지는 등 칩의 종류가 다양해지고 있다.Meanwhile, the types of chips are diversifying, such as SD RAM, Flash RAM, LSI and other lead frames, and BGA and other terminal structures.
또한 소자는 패키징 공정 후에 최종검사는 물론, 반도체공정을 마친 웨이퍼 상태에서의 소자에 대한 검사 및 검사결과에 따른 소자분류의 공정을 거쳐 생산성을 높이고 있는 추세이다.In addition, there is a trend to increase productivity through the final inspection after the packaging process, as well as through the process of inspecting the element in the wafer state after the semiconductor process and classifying the element according to the inspection result.
더 나아가 최근에는 소자에 대한 소형화요구에 따라서 소자가 수지 등에 의한 몰딩공정을 거치지 않고 웨이퍼 레벨에서 최종 제품화되는 것이 확대되고 있는 추세이다.Furthermore, in recent years, according to the demand for miniaturization of the device, the device is not subjected to a molding process using a resin or the like, but a final product is being expanded at the wafer level.
이에 웨이퍼링 등과 같은 소자로딩부재에서 시장출하 등을 위하여 테이프앤릴과 같은 소자적재부재로의 소자적재를 보다 신속하게 수행될 수 있는 소자핸들러의 개발이 시급하다.Accordingly, there is an urgent need to develop a device handler that can more quickly load a device from a device loading member such as wafer ring to a device mounting member such as a tape and reel for market shipment.
본 발명의 목적은 상기와 같은 추세에 맞추어, 소자로딩부재로부터 소자를 픽업하여 소자적재부재에 안정적으로 적재할 수 있는 소자핸들러를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an element handler capable of stably loading an element into an element loading member by picking up an element from an element loading member in accordance with the above trend.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 다수의 소자들이 부착된 복수의 소자로딩부재들이 적재된 로딩부재카세트부와; 상기 로딩부재카세트부로부터 소자로딩부재를 공급받아 소자로딩부재를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블과; 상기 소자로딩부재테이블로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재로부터 하나 이상의 픽업툴에 의하여 소자를 전달받아 적재되는 캐리어테이프가 설치된 언로딩부를 포함하며, 상기 언로딩부는, 소자(1)가 담길 캐리어테이프(30)를 공급하는 테이프공급부(810)와, 상기 테이프공급부(810)에 의하여 공급되는 캐리어테이프(30)가 소자적재위치를 거치면서 소자(1)가 담겨진 후 캐리어테이프(30)를 권취하는 테이프권취부(820)와, 상기 테이프공급부(810)와 상기 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 소자(1)가 담겨진 후 캐리어테이프(30)의 상면에 부착되는 커버테이프(40)를 공급하는 커버테이프공급부(830)와, 상기 테이프공급부(810)와 상기 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프(40)를 캐리어테이프(30)의 상면에 부착시키는 실링부(840)와, 상기 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(30)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(30) 및 커버테이프(40)의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러(841, 844)들을 포함하며, 상기 커버테이프공급부(830)는, 커버테이프롤이 설치될 수 있도록 간격을 두고 배치되는 한 쌍의 커버테이프디스크와, 상기 커버테이프롤이 끼워지며 상기 한 쌍의 커버테이프디스크와 결합되는 허브부와, 상기 한 쌍의 커버테이프디스크 중 어느 하나의 일측에 설치되어 상기 허브부를 회전시키는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.The present invention has been created to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, the loading member cassette portion in which a plurality of element loading members to which a plurality of elements are attached are loaded; An element loading member table for receiving an element loading member from the loading member cassette part and moving the element loading member in a horizontal direction; It includes an unloading unit installed horizontally spaced apart from the element loading member table and having a carrier tape loaded thereon by receiving the element from the element loading member by at least one pick-up tool, and the unloading unit contains the element (1). The
상기 한 쌍의 커버테이프디스크 중 적어도 하나는, 커버테이프롤과 접촉되는 면에 테프론이 코팅될 수 있다.At least one of the pair of cover tape disks may be coated with Teflon on a surface in contact with the cover tape roll.
상기 한 쌍의 커버테이프디스크는, 그 내측면이 커버테이프롤과 접촉되는 면적을 최소화하기 위하여 커버테이프롤을 향하는 면에 다수의 리브들이 형성될 수 있다.The pair of cover tape disks may have a plurality of ribs formed on a surface facing the cover tape roll in order to minimize an area in which the inner surface thereof contacts the cover tape roll.
상기 로딩부로부터 소자를 이송하여 상기 소자에 대한 검사를 수행하는 검사부를 더 포함하고, 상기 언로딩부는 상기 검사부에서 검사된 검사결과에 따라 상기 소자를 분류하여 상기 캐리어테이프로 이송할 수 있다.The device may be transferred from the loading unit to an inspection unit to perform inspection on the element, and the unloading unit may classify the element according to the inspection result inspected by the inspection unit and transfer it to the carrier tape.
상기 로딩부로는 상기 복수의 소자들이 웨이퍼링에 적재된 상태로 이송될 수 있다.The plurality of devices may be transferred to the loading unit while being loaded on the wafer ring.
본 발명은 또한 소자가 안착되는 복수의 포켓들이 형성된 캐리어테이프를 공급하는 테이프공급부; 소자가 안착된 캐리어테이프를 권취하는 테이프권취부; 및 캐리어테이프가 상기 테이프권취부의 권취롤에 처음으로 감겨질 때 고정테이프에 의하여 캐리어테이프를 상기 권취롤에 고정시키는 테이프고정부를 추가로 포함하며, 상기 테이프고정부는 고정테이프를 이형지에 부착하여 공급하는 고정테이프공급부와; 고정테이프가 박리된 이형지를 회수하는 이형지회수부와; 상기 권취롤의 부근에 설치되어 상기 권취롤에 부착되도록 이형지로부터 박리하는 고정테이프박리부와; 상기 고정테이프박리부에 의하여 박리된 고정테이프를 상기 권취롤에 가압하는 가압부와; 상기 고정테이프공급부로부터 이형지회수부에까지 이형지가 원활하게 이동될 수 있도록 이형지의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러들을 포함하며, 상기 고정테이프공급부 및 이형지회수부는 중 적어도 어느 하나는, 사이에 이형지롤이 설치될 수 있도록 간격을 두고 배치되는 한 쌍의 이형지디스크와, 상기 이형지롤이 끼워지며 상기 한 쌍의 이형지디스크와 결합되는 허브부와, 상기 한 쌍의 이형지디스크 중 어느 하나의 일측에 설치되어 상기 허브부를 회전시키는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.The present invention also includes a tape supply unit for supplying a carrier tape having a plurality of pockets on which the device is seated; A tape winding unit for winding the carrier tape on which the element is mounted; And a tape fixing part for fixing the carrier tape to the winding roll by a fixing tape when the carrier tape is first wound on the winding roll of the tape winding part, wherein the tape fixing part attaches the fixing tape to the release paper A fixed tape supply unit to supply; A release paper recovery unit for recovering the release paper from which the fixing tape has been peeled off; A fixed tape peeling unit installed in the vicinity of the take-up roll and peeled from the release paper to be attached to the take-up roll; A pressing part for pressing the fixing tape peeled off by the fixing tape peeling part to the winding roll; And a plurality of transfer rollers guiding the movement of the release paper so that the release paper can be smoothly moved from the fixed tape supply unit to the release paper collection unit, and at least one of the fixed tape supply unit and the release paper collection unit includes a release paper roll between the fixed tape supply unit and the release paper collection unit. A pair of release paper disks arranged at intervals so as to be installed, a hub portion having the release paper roll fitted therein and coupled to the pair of release paper disks, and installed on one side of one of the pair of release paper disks, the Disclosed is an element handler comprising a rotation driving unit for rotating a hub unit.
상기 한 쌍의 이형지디스크 중 적어도 하나는, 이형지롤과 접촉되는 면에 테프론이 코팅될 수 있다.At least one of the pair of release paper disks may be coated with Teflon on a surface in contact with the release paper roll.
상기 한 쌍의 이형지디스크는, 그 내측면이 이형지롤과 접촉되는 면적을 최소화하기 위하여 이형지롤을 향하는 면에 다수의 리브들이 형성될 수 있다.The pair of release paper disks may have a plurality of ribs formed on a surface facing the release paper roll in order to minimize an area in which the inner surface of the release paper roll is in contact with the release paper roll.
상기 소자핸들러는, 복수의 소자들이 이송되는 로딩부; 상기 복수의 소자들을 상기 캐리어테이프로 이송하는 언로딩부를 더 포함할 수 있다.The device handler may include a loading unit through which a plurality of devices are transferred; It may further include an unloading unit for transferring the plurality of elements to the carrier tape.
상기 소자핸들러는, 상기 로딩부로부터 소자를 이송하여 상기 소자에 대한 검사를 수행하는 검사부를 더 포함하고, 상기 언로딩부는 상기 검사부에서 검사된 검사결과에 따라 상기 소자를 분류하여 상기 캐리어테이프로 이송할 수 있다.The device handler further includes an inspection unit for transferring the element from the loading unit to perform inspection on the element, and the unloading unit classifies the element according to the inspection result inspected by the inspection unit and transfers it to the carrier tape. can do.
상기 로딩부로는 상기 복수의 소자들이 웨이퍼링에 적재된 상태로 이송될 수 있다.The plurality of devices may be transferred to the loading unit while being loaded on the wafer ring.
본 발명에 따른 소자핸들러는, 캐리어테이프가 감긴 캐리어테이프공급릴로부터 캐리어테이프를 풀어 캐리어테이프가 하측으로 처진 후 소자적재위치로 이동되도록 함으로써 캐리어테이프의 이송을 위한 인장력을 최소화하여 캐리어테이프의 파손을 방지하여 소자의 적재작업을 보다 효율화할 수 있는 이점이 있다.The element handler according to the present invention minimizes the tensile force for transporting the carrier tape by unscrewing the carrier tape from the carrier tape supply reel where the carrier tape is wound and moving to the element loading position after the carrier tape droops downward. There is an advantage in that the loading operation of the device can be made more efficient by preventing it.
또한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 소자를 캐리어테이프에 적재함에 있어서 캐리어테이프를 테이프권취부에 자동으로 고정하도록 하는 테이프고정부를 추가로 구비하고, 캐리어테이프의 고정을 위한 고정테이프가 부착된 이형지에 정전기의 축적을 최소화함으로써 이형지에 축적된 정전기에 의하여 이형지가 타부재에 부착됨에 따라서 발생하는 오작동을 방지할 수 있는 이점이 있다.In addition, the element handler according to an embodiment of the present invention further includes a tape fixing part for automatically fixing the carrier tape to the tape winding unit when loading the element on the carrier tape, and a fixing tape for fixing the carrier tape is provided. By minimizing the accumulation of static electricity on the attached release paper, there is an advantage of preventing a malfunction that occurs when the release paper is attached to other members by static electricity accumulated on the release paper.
더 나아가, 캐리어테이프의 고정을 위한 고정테이프가 부착된 이형지에 정전기의 축적을 최소화함으로써 이형지에 축적된 정전기에 의한 소자에 대한 전기적 충격을 최소화할 수 있는 이점이 있다.Furthermore, there is an advantage of minimizing the accumulation of static electricity on the release paper to which the fixing tape for fixing the carrier tape is attached, thereby minimizing the electric shock to the device caused by the static electricity accumulated on the release paper.
또한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 소자를 캐리어테이프에 적재함에 있어서, 캐리어테이프의 실링을 위한 커버테이프에 정전기의 축적을 최소화함으로써 커버테이프에 축적된 정전기에 의하여 커버테이프가 타부재에 부착되거나 소자에 전기적 충격을 주어 발생하는 오작동을 방지할 수 있는 이점이 있다.In addition, the device handler according to an embodiment of the present invention minimizes the accumulation of static electricity on the cover tape for sealing the carrier tape when loading the device on the carrier tape. There is an advantage of being able to prevent malfunction caused by attaching or by giving an electric shock to the device.
또한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는 소자가 이송된 캐리어테이프를 진동시키는 진동부를 포함함으로써, 캐리어테이프를 진동시켜 소자가 캐리어테이프의 포켓 내의 정위치에 담기도록 할 수 있는 효과가 있다.In addition, the device handler according to an embodiment of the present invention includes a vibrating unit that vibrates the carrier tape to which the device is transferred, so that the carrier tape is vibrated so that the device can be placed in a proper position in the pocket of the carrier tape.
또한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는 소자의 검사결과에 따라서 분류된 소자를 캐리어테이프에 적재함에 있어서 캐리어테이프를 테이프권취부에 자동으로 고정하도록 하는 테이프고정부를 추가로 구비함으로써 소자에 대한 검사 및 분류작업을 신속하게 수행할 수 있는 이점이 있다.In addition, the device handler according to the embodiment of the present invention is provided with a tape fixing unit for automatically fixing the carrier tape to the tape winding unit when the devices classified according to the test result of the device are loaded onto the carrier tape. There is an advantage of being able to quickly perform inspection and sorting work.
또한 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 캐리어테이프의 포켓에 소자가 안착될 때 캐리어테이프의 상부에 소자의 낙하를 안내하는 테이프적재안내부를 추가로 포함함으로써 캐리어테이프의 포켓 및 소자 사이의 크기오차가 작아 소자의 안착불량을 최소화하여 캐리어테이프에 대한 소자의 적재를 보다 신속하게 수행할 수 있는 이점이 있다.In addition, the device handler according to the embodiment of the present invention further includes a tape loading guide for guiding the fall of the device on the top of the carrier tape when the device is seated in the pocket of the carrier tape. There is an advantage in that the error is small, so that the loading of the device on the carrier tape can be performed more quickly by minimizing the defective seating of the device.
도 1은, 본 발명의 일실시예 따른 소자핸들러의 개념을 보여주는 평면도이다.
도 2는, 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 소자로딩부재의 일예를 보여주는 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는, 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 소자로딩부재의 변형예로서 웨이퍼링인 경우를 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 4는, 도 1의 소자핸들러의 언로딩부를 보여주는 측면도이다.
도 5a는, 도 4의 언로딩부의 테이프공급부를 보여주는 측면도이고, 도 5b는, 도 5a의 사시도이다.
도 6 및 도 7은, 도 4의 테이프적재부에서 도 1의 소자핸들러에 사용되는 테이프고정장치를 보여주는 측면도들이다.
도 8은, 도 4의 테이프적재부에서 테이프적재안내부의 구성을 보여주는 평면도이다.
도 9는, 도 7에서 Ⅴ-Ⅴ방향의 단면도이다.
도 10은, 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러에서 캐리어테이프를 가진시키는 기체분사장치가 도시된 사시도이다.
도 11 및 도 12는, 도 10의 기체분사장치에 의해 소자가 캐리어테이프의 포켓의 정위치에 담기는 동작이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 13은, 도 6 및 도 7의 테이프고정장치 중 고정테이프공급부 또는 이형지회수부의 일예를 보여주는 분해사시도이다.1 is a plan view showing the concept of an element handler according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing an example of a device loading member used in the device handler of FIG. 1.
3A and 3B are perspective and cross-sectional views illustrating a wafer ring as a modified example of the device loading member used in the device handler of FIG. 1.
4 is a side view showing an unloading part of the device handler of FIG. 1.
5A is a side view showing the tape supply unit of the unloading unit of FIG. 4, and FIG. 5B is a perspective view of FIG. 5A.
6 and 7 are side views showing a tape fixing device used in the element handler of FIG. 1 in the tape loading part of FIG. 4.
8 is a plan view showing the configuration of a tape loading guide in the tape loading section of FIG. 4.
9 is a cross-sectional view in the direction V-V in FIG. 7.
10 is a perspective view showing a gas injection device for excitation of a carrier tape in an element handler according to an embodiment of the present invention.
11 and 12 are cross-sectional views schematically illustrating an operation in which an element is placed in a pocket of a carrier tape by the gas injection device of FIG. 10.
13 is an exploded perspective view showing an example of a fixing tape supply unit or a release paper recovery unit among the tape fixing devices of Figs. 6 and 7.
이하 본 발명에 따른 소자핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a device handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 일실시에 따른 소자핸들러는, 소자로딩부재(10)에 적재된 소자(1)를 픽업하여 언로딩부의 소자적재부재(30)로 소자(1)를 적재하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The device handler according to an embodiment of the present invention is configured to pick up the
예로서, 본 발명의 일실시에 따른 소자핸들러는, 도 1 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 소자로딩부재(10)들이 적재된 로딩부재카세트부(100)와; 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 공급받아 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블(200)과; 소자로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재(10)로부터 하나 이상의 픽업툴(400, 500)에 의하여 소자(1)를 전달받아 적재하는 소자적재부재(30)가 설치된 언로딩부(800)를 포함할 수 있다.As an example, the device handler according to an embodiment of the present invention, as shown in Figs. 1 to 13, a loading member cassette portion in which a plurality of device loading
상기 로딩부재카세트부(100)는, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 소자로딩부재(10)들이 적재된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The loading
여기서 상기 소자로딩부재(10)에 적재되는 반도체소자, 엘이디소자, 태양전지소자 등 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자이다.Here, a semiconductor device, an LED device, a solar cell device, etc., which are loaded on the
특히 상기 소자(1)는, 반도체공정 후 패키징공정을 마친 소자는 물론, 반도체공정 및 소잉공정을 마친 웨이퍼레벨소자가 그 대상이 될 수 있다.In particular, the
한편 상기 소자로딩부재(10)는, 다수의 소자(1)가 적재되는 부재로서 소자(1)를 적재할 수 있는 부재이면 트레이, 웨이퍼링 등 다양한 구성이 가능하다.On the other hand, the
일예로서, 상기 소자로딩부재(10)는, 도 2 및 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자(1)가 적재되는 구성으로서, 소자(1)가 부착되는 테이프(11) 및 테이프(11)를 고정하는 프레임부재(12)를 포함하여 구성될 수 있다.As an example, the
그리고 상기 테이프(11)는 소자(1)들이 부착될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며 소위 블루테이프가 사용될 수 있다.In addition, the
상기 프레임부재(12)는 소자(1)들이 부착된 테이프(11)를 고정하기 위한 구성으로서 사각링, 원형링(웨이퍼링) 등 다양한 구성이 가능하다.The
상기 로딩부재카세트부(100)는, 복수의 소자로딩부재(10)의 적재를 위한 구성으로서 소자로딩부재(10)들이 상하로 적층될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The loading
상기 소자로딩부재테이블(200)은, 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 공급받아 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The element loading member table 200 receives the
예로서, 상기 소자로딩부재테이블(200)은 웨이퍼링로딩부(미도시)에 의하여 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 전달받아 제1픽업툴(400)과 같은 픽업툴이 소자(1)를 픽업할 수 있도록 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 구성으로서, X-Y테이블, X-Y-θ테이블 등 다양한 구성이 가능하다.For example, the element loading member table 200 receives the
한편 상기 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재테이블(200)로 소자로딩부재(10)를 전달하기 위한 소자로딩부재로딩부는, 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 인출하고 인출된 소자로딩부재(10)를 소자로딩부재테이블(200)로 전달할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.Meanwhile, the element loading member loading unit for transferring the
한편 상기 픽업툴(400, 500)은, 소자로딩부재테이블(200)에 안착된 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하여 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 언로딩부(800)의 소자적재부재(30)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 하나 이상으로 구성될 수 있다.Meanwhile, the pick-up
예로서, 상기 픽업툴은, 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1픽업툴(400)과; 제1픽업툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 언로딩부(800)의 소자적재부재(30)로 소자(1)를 전달하는 제2픽업툴(500)를 포함할 수 있다.For example, the pick-up tool includes: a first pick-up
상기 제1픽업툴(400)은, 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되며 소자로딩부재테이블(200)에 안착된 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
특히, 상기 제1픽업툴(400)는, 진공압에 의하여 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하는 하나 이상의 픽커를 포함할 수 있다.In particular, the first pick-up
그리고 상기 각 픽커는 회전에 의하여 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되며 소자로딩부재테이블(200)에 안착된 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시킬 수 있다And each of the pickers is installed on the upper side of the element loading member table 200 by rotation, picks up the
상기 제2픽업툴(500)은, 상기 제2픽업툴(500)은, 제1픽업툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 선형이동에 의하여 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 그 이동형태에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The second pick-up
구체적인 예로서, 상기 제2픽업툴은, 도 1에 도시된 바와 같이, 전달위치②에서 소자(1)를 픽업한 후 적재위치③로 이동되어 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달하는 제2픽커(510)와, 전달위치②와 적재위치③ 사이에서 제1픽업툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 선형이동에 의하여 제2픽커(510)를 이동시키는 픽커이동부(520)를 포함할 수 있다.As a specific example, the second pick-up tool, as shown in FIG. 1, picks up the
상기 제2픽커(510)는, 진공압에 의하여 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하는 하나 이상의 픽커를 포함할 수 있다.The second picker 510 may include one or more pickers for picking up the
상기 언로딩부(800)는, 소자로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 전달받아 적재하는 소자적재부재(30)가 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다The
특히 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프 및 커버테이프의 조합(테이프앤릴), 트레이 등 소자(1)의 언로딩을 위한 소자적재부재(30)의 구성에 따라서 그 구성이 결정된다.In particular, the configuration of the
예로서, 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프 및 커버테이프의 조합이 사용된 예로서, 소자(1)가 적재되는 포켓부(31)가 길이방향을 따라서 형성되며 소자적재위치에서 소자가 적재된 후 커버테이프(미도시)에 의하여 밀봉되는 캐리어테이프가 소자적재부재(30)를 구성하는 경우, 도 1, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 담길 캐리어테이프(30)를 공급하는 테이프공급부(810)와, 테이프공급부(810)에 의하여 공급되는 캐리어테이프(30)가 소자적재위치를 거치면서 소자(1)가 담겨진 후 캐리어테이프(30)를 권취하는 테이프권취부(820)와, 테이프공급부(810)와 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 소자(1)가 담겨진 후 캐리어테이프(30)의 상면에 부착되는 커버테이프(40)를 공급하는 커버테이프공급부(830)와, 테이프공급부(810)와 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프(40)를 캐리어테이프(30)의 상면에 부착시키는 실링부(840)와, 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(30)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(30) 및 커버테이프(40)의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러(841, 844)들을 포함할 수 있다.As an example, the unloading
여기서 소자(1)가 담기는 포켓부(31)가 형성된 캐리어테이프(30)는, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 소자(1)의 담기는 포켓이 형성된 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 통상 플라스틱 재질에 의하여 형성될 수 있다.Here, the
상기 테이프공급부(810)는, 소자(1)가 담겨질 포켓부(31)가 형성된 캐리어테이프(30)가 감겨진 캐리어테이프공급릴(811)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The
일예로서, 상기 테이프공급부(810)는, 캐리어테이프(30)가 감긴 캐리어테이프공급릴(811)을 포함할 수 있다.As an example, the
상기 캐리어테이프공급릴(811)은, 소자(1)가 담겨질 포켓부(31)가 형성된 캐리어테이프(30)가 감겨진 구성으로서 대량의 캐리어테이프(30)가 감겨질 수 있도록 그 직경이 최대한 큰 것이 바람직하다.The carrier
한편 상기 테이프공급부(810)는, 도 4 내지 도 5b에 도시된 바와 같이, 캐리어테이프공급릴(811)에 인접하여 설치되어 캐리어테이프공급릴(811)로부터 캐리어테이프(30)를 풀어 캐리어테이프(30)가 하측으로 처진 후 소자적재위치로 이동되도록 하는 캐리어테이프인출부(850)를 추가로 포함할 수 있다. 여기서 도 4는, 도 1에 도시된 구조와 다른 변경된 언로딩부를 도시한 것으로서 다양한 구조가 가능하며 그에 따라서 도 4에 도시된 기본적 구조에서 다야한 변형이 가능하다.Meanwhile, the
상기 캐리어테이프인출부(850)는, 캐리어테이프공급릴(811)에 인접하여 설치되어 캐리어테이프공급릴(811)로부터 캐리어테이프(30)를 풀어 캐리어테이프(30)가 하측으로 처진 후 소자적재위치로 이동되도록 하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The carrier tape take-out
예로서, 상기 캐리어테이프인출부(850)는, 캐리어테이프공급릴(811)에 인접하여 설치되며 캐리어테이프(30)의 일면을 지지하면서 회전에 의하여 캐리어테이프공급릴(811)로부터 캐리어테이프(30)를 인출하는 인출롤러(851)와, 인출롤러(851)의 외주면에 지지된 캐리어테이프(30)를 인출롤러(581)에 대하여 가압하는 가압부(852)를 포함할 수 있다.For example, the carrier tape take-out
상기 인출롤러(851)은, 캐리어테이프공급릴(811)에 인접하여 설치되며 캐리어테이프(30)의 일면을 지지하면서 회전에 의하여 캐리어테이프공급릴(811)로부터 캐리어테이프(30)를 인출하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 도 5b에 도시된 바와 같이, 회전모터(859) 등에 의하여 회전구동된다.The take-out
그리고 상기 인출롤러(851)는, 캐리어테이프(30)가 인출롤러(851)의 외부로 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 도 5b에 도시된 바와 같이, 캐리어테이프(30)의 일면을 지지하는 지지면(851a)의 양측으로 상측으로 돌출된 돌출허브(851b)가 형성됨이 바람직하다.And the take-out roller (851), in order to prevent the
여기서 상기 지지면(851a)은, 캐리어테이프(30)의 일면을 지지하는 구성으로서 캐리어테이프(30)의 폭의 변경가능성을 고려하여 적절한 크기로 선택될 수 있다.Here, the
또한 상기 돌출허브(851b)는, 캐리어테이프(30)의 일면을 지지하는 지지면(851a)의 양측으로 상측으로 돌출된 구성으로서 캐리어테이프(30)가 외부로 이탈되는 것을 방지하기 위하여 캐리어테이프(30)의 높이의 변경가능성을 고려하여 적절한 크기로 선택될 수 있다.In addition, the protruding hub (851b) is a configuration that protrudes upward to both sides of the support surface (851a) supporting one surface of the carrier tape (30), in order to prevent the carrier tape (30) from being separated from the outside of the carrier tape ( 30) can be selected with an appropriate size in consideration of the possibility of changing the height.
상기 가압부(852)는, 인출롤러(851)의 외주면에 지지된 캐리어테이프(30)를 인출롤러(581)에 대하여 가압하여 인출롤러(851)의 회전에 의하여 캐리어테이프(30)를 당김으로써 캐리어테이프공급릴(811)로부터 캐리어테이프(30)를 풀어 인출하게 된다.The
상기 가압부(852)는, 스프링, 공압 등에 의하여 인출롤러(851)에 지지된 캐리어테이프(30)를 가압할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The
예로서, 상기 가압부(852)는, 인출롤러(851)에 지지된 캐리어테이프(30) 쪽으로 탄성력을 가하는 탄성력발생부(미도시)와, 탄성력발생부에 결합되어 인출롤러(851)에 지지된 캐리어테이프(30)를 가압하는 가압부재(852a)를 포함할 수 있다.For example, the
상기와 같은 구성에 의하여 상기 캐리어테이프인출부(850)는, 인출롤러(851)의 회전 및 가압부(852)에 의한 가압에 의하여 캐리어테이프(30)를 캐리어테이프공급릴(811)로부터 당겨서 캐리어테이프(30)를 풀어 인출하게 된다.According to the configuration as described above, the carrier tape take-out
한편 상기 캐리어테이프인출부(850)는, 인출롤러(851)를 거친 캐리어테이프(30)가 인출롤러(851)와 간격을 두고 상측으로 향하도록 인출롤러(851)를 거친 캐리어테이프(30)를 지지하는 테이프지지부(853)를 추가로 포함할 수 있다.Meanwhile, the carrier tape take-out
상기 테이프지지부(853)은, 인출롤러(851)를 거친 캐리어테이프(30)가 인출롤러(851)와 간격을 두고 상측으로 향하도록 인출롤러(851)를 거친 캐리어테이프(30)를 지지할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The
일예로서, 상기 인출롤러(851)가 설치된 프레임(858)에 설치되며 'ㄱ'자 형상을 가져 그 끝단부분에서 캐리어테이프(30)를 지지함으로써 인출롤러(851)를 거친 캐리어테이프(30)가 인출롤러(851)와 간격을 두고 상측으로 향하도록 지지할 수 있다.As an example, it is installed on the frame 858 in which the
한편, 상기 테이프지지부(853)는, 인출롤러(851)를 거친 캐리어테이프(30)에 가해지는 인장력을 감지하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, the
구체적으로 상기 테이프지지부(853)는, 그 끝단부분에서 캐리어테이프(30)를 지지함과 아울러 지지되는 캐리어테이프(30)의 인장력이 전달받을 수 있는바 인출롤러(851)를 거친 캐리어테이프(30)에 가해지는 인장력을 측정할 수 있다.Specifically, the
여기서 상기 소자적재위치로의 이송을 위하여 캐리어테이프(30)에 가해지는 인장력이 과도하지 않도록, 테이프지지부(853)에 의하여 측정된 인장력을 기준으로 캐리어테이프인출부(850)는, 인출롤러(851)의 회전 및 가압부(852)에 의한 가압에 의하여 캐리어테이프(30)를 캐리어테이프공급릴(811)로부터 당겨서 캐리어테이프(30)를 풀어 인출하게 된다.Here, based on the tensile force measured by the
또한 상기 캐리어테이프인출부(850)의 작동과 관련하여, 캐리어테이프(30)에 가해지는 인장력을 기준으로 하지 않고 인출롤러(851) 등을 거친 캐리어테이프(30)의 이동거리를 미리 계산하여 캐리어테이프(30)를 캐리어테이프공급릴(811)로부터 당겨서 캐리어테이프(30)를 풀어 인출할 수 있다.In addition, in relation to the operation of the carrier tape take-out
또한 상기 캐리어테이프인출부(850)의 작동과 관련하여, 캐리어테이프공급릴(811)을 동시에 회전시킴으로써 캐리어테이프(30)를 캐리어테이프공급릴(811)로부터 당겨서 캐리어테이프(30)를 풀어 인출할 수 있다.In addition, in relation to the operation of the carrier
즉, 상기와 같은 구성을 가지는 캐리어테이프인출부(850)에 의하여 소자적재위치로의 이송을 위하여 캐리어테이프(30)에 과도한 인장력이 가해지기 전에 인출롤러(851)의 회전 및 가압부(852)에 의한 가압에 의하여 캐리어테이프(30)를 캐리어테이프공급릴(811)로부터 당겨서 캐리어테이프(30)를 풀어줌으로써 캐리어테이프(30)에 과도한 인장력이 가해져 파손되는 것을 방지할 수 있다.That is, the rotation and
상기 테이프권취부(820)는, 소자(1)가 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)에 담겨지고, 실링부(840)를 거쳐 커버테이프(40)가 캐리어테이프(30)에 부착된 후 캐리어테이프(30)를 권취하는 구성으로서, 캐리어테이프(30)가 권취되는 권취롤(821)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.In the
이때 상기 테이프권취부(820)는, 테이프공급부(810)와 연동하여 캐리어테이프(30)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.At this time, the
상기 커버테이프공급부(830)는, 소자(1)가 담겨진 캐리어테이프(30)의 상면에 부착되는 커버테이프(40)를 공급하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 커버테이프(40)가 감겨진 롤(831)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The cover
여기서 상기 커버테이프공급부(830)는, 테이프권취부(820)와 연동하여 캐리어테이프(30)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.Here, the cover
그리고 상기 커버테이프(40)는, 캐리어테이프(30)과의 접착방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 예로서 적외선히터에 의하여 캐리어테이프(30)와 접착되도록 구성될 수 있다.In addition, the cover tape 40 may have various configurations according to an adhesion method with the
상기 실링부(830)는, 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프(40)를 캐리어테이프(30)의 상면에 부착시키는 구성으로서 커버테이프(40) 및 캐리어테이프(30)와의 접착방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The sealing
특히 상기 실링부(830)는, 틸팅에 의한 가압구조를 구비하여 커버테이프(40) 및 캐리어테이프(30)의 견고한 접착을 유도할 수 있다.In particular, the sealing
상기 이송롤러(841, 844)들은, 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(30)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(30) 및 커버테이프(40)의 이동을 안내하는 구성으로서, 캐리어테이프(30) 및 커버테이프(40)의 이동을 안정적으로 구현할 수 있도록 그 숫자, 크기, 설치위치 등이 결정된다.The
한편 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 적정회전수에 의하여 감겨진 후 캐리어테이프(30)를 절단할 필요가 있는바 캐리어테이프(30)의 절단을 위한 커터(미도시)가 테이프공급부(810) 및 테이프권취부(820) 사이의 적절한 위치에 설치될 수 있다.Meanwhile, the
여기서 성가 테이프공급부(810)에서의 캐리어테이프(30)가 한번에 테이프권취부(820)에 권취되도록 구성되면 커터가 반드시 설치될 필요가 없음은 물론이다.Here, when the
또한 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(30)의 포켓 내에 소자(1)가 제대로 담겨져 있는지 여부, 캐리어테이프(30)에 커버테이프(40)가 제대로 부착되었는지 등을 검사하기 위한 비전검사장치가 추가로 설치될 수 있다.In addition, the
한편 상기 테이프권취부(820)는, 캐리어테이프(30)가 처음으로 감겨질 때 권취롤(821)에 고정된 상태로 감겨져야 캐리어테이프(30)의 권취 및 캐리어테이프(30)의 이동을 보다 정밀하고 안정적으로 제어할 수 있다.On the other hand, the
또한 상기 언로딩부(800)에서 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)에 소자(1)가 적재되는 위치는, 앞서 설명한 테이프적재이송툴(550)의 선형이동에 의하여 적재될 수 있도록 이송툴(500)의 선형이동이 가능한 위치에 위치된다.In addition, the position where the
한편 상기 테이프적재이송툴(550)에 의하여 이송되는 소자(1)가 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)에 적재될 때 캐리어테이프(30)의 포켓부(31) 및 소자(1)의 크기의 상대오차가 작아 소자(1)의 적재시 잘못 안착되는 문제가 발생될 수 있다.On the other hand, when the
이에, 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(30)의 이동경로 중 실링부(840)의 전방에서 캐리어테이프(30)의 상부에 설치되어 테이프적재이송툴(550)에 의하여 픽업된 소자(1)를 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)으로 안내하는 테이프적재안내부(600)가 추가로 설치될 수 있다.Accordingly, the unloading
상기 테이프적재안내부(600)는, 캐리어테이프(30)의 이동경로 중 실링부(840)의 전방에서 캐리어테이프(30)의 상부에 설치되어 테이프적재이송툴(550)에 의하여 픽업된 소자(1)를 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)으로 안내하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The tape
예로서, 테이프적재안내부(600)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 테이프(30)의 이동경로상에서 테이프(30)의 포켓부(31)에 대응되는 위치의 상부에 소자(1)가 통과하는 안내개구부(620)가 형성된 개구플레이트(630)를 포함할 수 있다. 여기서 상기 테이프적재안내부(600)는, 도 1에 도시된 구성이외에 다양한 변형이 가능한바 도 8 및 도 9을 중심으로 설명한다.As an example, the tape
상기 개구플레이트(630)는, 한 쌍의 지지브라켓(610)에 의하여 지지되어 설치되는 등 다양하게 설치될 수 있다. 여기서 상기 지지브라켓(610) 및 개구플레이트(630)는 일체로 형성될 수 있다.The
그리고 상기 안내개구부(620)는, 테이프적재이송툴(550)에 의하여 픽업된 소자(1)가 낙하될 때 그 낙하를 안내할 수 있도록 상단부분은 소자(1)의 평면크기보다 크게 형성되고 하단부분은 소자(1)의 평면크기보다 약간 크게 형성되어 그 내주면(621)이 경사면을 이루도록 형성됨이 바람직하다.And the
한편 상기 테이프적재이송툴(550)에 의하여 이송되는 소자(1)가 복수 개인 경우, 테이프적재안내부(600)의 안내개구부(620) 또한 테이프적재이송툴(550)의 숫자에 대응하여 복수개로 형성될 수 있다.On the other hand, when the number of
또한 상기 테이프적재안내부(600)는, 캐리어테이프(30)의 이동 및 지지를 위하여 하나 이상의 롤러(640)들이 설치될 수 있으며, 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)가 테이프적재안내부(600)의 안내개구부(620)에 정렬될 수 있도록 정렬부(미도시)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, in the tape
여기서, 캐리어테이프(30)를 지지하는 롤러(640)는, 포켓부(31)의 측면에 밀착되도록 설치되어 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)가 테이프적재안내부(600)의 안내개구부(620)에 정렬시키는 정렬부로 활용될 수 있다.Here, the
한편 상기 언로딩부(800)는, 도 4, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 처음으로 감겨질 때 고정테이프(50)에 의하여 캐리어테이프(30)를 권취롤(821)에 고정시키는 테이프고정부(700)를 추가로 포함할 수 있다.On the other hand, the
상기 테이프고정부(700)는 고정테이프(50)의 부착면이 캐리어테이프(30)의 선단이 권취롤(821)로 진입 전에 권취롤(821)에 일부가 부착되고 연속하여 캐리어테이프(30)의 선단의 상면에 부착됨으로써 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 고정된 상태로 감겨지게 하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
예로서, 상기 테이프고정부(700)는 고정테이프(50)를 이형지(51)에 부착하여 공급하는 고정테이프공급부(710)와, 고정테이프(50)가 박리된 이형지(51)를 회수하는 이형지회수부(720)와, 권취롤(821)의 부근에 설치되어 권취롤(821)에 부착되도록 이형지(51)로부터 박리하는 고정테이프박리부(730)와, 고정테이프박리부(730)에 의하여 박리된 고정테이프(50)를 권취롤(821)에 가압하는 가압부(740)와, 고정테이프공급부(710)로부터 이형지회수부(720)에까지 이형지(51)가 원활하게 이동될 수 있도록 이형지(51)의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러(751~759)들을 포함할 수 있다.For example, the
여기서 고정테이프(50)는 캐리어테이프(30) 및 권취부(821)에 자동으로 부착될 수 있도록 설치됨을 특징으로 하며, 접착물질이 일면 또는 양면에 도포되며 이형지(51)에 부착된 상태로 사용됨을 특징으로 한다.Here, the fixing
특히 상기 고정테이프(50)는 저면에 접착물질이 도포되며 이형지(51)에 부착된 상태에서 롤 형태로 고정테이프공급부(710)에 설치되어 공급됨을 특징으로 한다.In particular, the fixing
그리고 상기 고정테이프(50)는 권취롤(821)에 부착된 후 박리가 용이하도록 양단 중 일단의 일부는 접착물질이 도포되지 않을 수 있다.In addition, the adhesive material may not be applied to a part of one end of the both ends of the fixing
또한 상기 고정테이프(50)는 캐리어테이프(30)를 권취롤(821)에 부착되어 고정시킴을 고려하여 적당한 탄성을 가지도록 합성수지와 같은 재질이 선택되어 사용될 수 있다.In addition, the fixing
상기 고정테이프공급부(710)는 고정테이프공급롤(711)가 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The fixing
이때 상기 고정테이프공급부(710)는 후술하는 이형지회수부(720)와 연동하여 고정테이프(50)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.At this time, the fixing
상기 이형지회수부(720)는 고정테이프박리부(730)에 의하여 고정테이프(50)가 박리된 이형지(51)를 권취하는 구성으로서, 이형지(51)가 권취되는 회수롤(721)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The release
이때 상기 이형지회수부(720)는 고정테이프공급부(710)와 연동하여 이형지(51)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.At this time, the release
상기 이송롤러(751~753)들은 고정테이프공급부(710)로부터 이형지회수부(720) 이형지(51)가 원활하게 이동될 수 있도록 이형지(51)의 이동을 안내하는 구성으로서, 이형지(51)의 이동을 안정적으로 구현할 수 있도록 그 숫자, 크기, 설치위치 등이 결정된다.The
상기 고정테이프박리부(730)는 이형지(51)로부터 고정테이프(51)를 박리시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The fixing
일예로서, 상기 고정테이프박리부(730)는 고정테이프(50)가 부착된 이형지(51)의 이면에 면접촉되어 가이드하는 가이드면(732)의 일부에 곡률을 주어 이형지(51)로부터 고정테이프(51)를 박리시키는 박리부재(731)를 포함할 수 있다.As an example, the fixing
상기 박리부재(731)는 가이드면(732) 중 일부 곡률을 특히 이형지(51)의 이면에 면접촉되고 이형지(51)가 순차적으로 통과하는 제1가이드면(732a) 및 제2가이드면(732b)을 가지며, 제1가이드면(732a) 및 제2가이드면(732b)이 서로 예각을 이루도록 형성되어 구성될 수 있다. 여기서 제1가이드면(732a) 및 제2가이드면(732b)의 연결부분은 이형지(51)의 원활한 이동을 위하여 곡면처리되는 것이 바람직하다.The release member 731 has a first guide surface 732a and a second guide surface 732b in which some of the guide surfaces 732 are in surface contact with the rear surface of the
상기 제1가이드면(732a) 및 제2가이드면(732b)이 서로 예각을 이루게 되면, 이형지(51)가 제1가이드면(732a)로부터 제2가이드면(732b)로 넘어가면서 부착된 고정테이프(50)가 박리된다.When the first guide surface 732a and the second guide surface 732b form an acute angle to each other, the
여기서 상기 고정테이프(50)는 일정한 길이로 분리된 상태로 이형지(51)에 부착되어야 하며, 각 고정테이프(50)는 분리된 부분부터 제1가이드면(732a)로부터 제2가이드면(732b)로 넘어가면서 부착된 고정테이프(50)가 박리된다.Here, the fixing
상기 가압부(740)는 이형지(51)로부터 박리된 고정테이프(50)를 권취롤(821) 쪽으로 가압하여 부착시키기 위한 구성으로서, 고정테이프(50)의 상면을 가압할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The
예로서, 상기 가압부(740)는 고정테이프박리부(730) 부근에 설치되어 이형지(51)로부터 박리된 고정테이프(50)를 권취롤(821) 쪽으로 가압하도록 설치된 가압부재(741)를 포함한다.As an example, the
상기 가압부재(741)는 권취롤(821)의 회전과 함께 고정테이프(50)가 고정됨을 고려하여 권취롤(821)의 회전축과 평행한 회전축을 중심으로 회전되도록 설치되는 롤러형태로 설치됨이 바람직하다.The pressing
아울러, 상기 가압부(740)는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 가압부재(741)가 권취롤(821)에 과도한 하중이 가해지는 것을 방지하기 위하여, 권취롤(821)과 반대쪽으로, 특히 상방으로 이동가능하게 설치되고, 가압부재(741)를 권취롤(821) 쪽으로, 특히 하방으로 탄성력을 가하는 탄성부재(742)를 더 포함할 수 있다.In addition, the
상기 가압부(740)는 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 감기기 전에 이형지(51)로부터 박리된 고정테이프(50)를 권취롤(821), 즉 캐리어테이프(30)가 감기는 허브부분으로 가압하여 부착시키고, 고정테이프(50)가 권취롤(821)에 일부가 부착된 후 권취롤(821)의 추가회전 및 캐리어테이프(30)의 도입으로 캐리어테이프(30)의 상면이 고정테이프(50)의 나머지 부분이 부착되도록 고정테이프(50)를 가압한다.The
이때 상기 가압부(740)는 캐리어테이프(30)의 도입으로 인하여 두께 변화가 발생되는바 가압부재(741)이 상측으로 이동됨과 아울러 탄성부재(742)에 의하여 캐리어테이프(30) 쪽으로 가압된 생태를 유지한다.At this time, the
한편 상기 테이프고정부(700)는 캐리어테이프(30)의 선단을 권취롤(821)에 고정하는 것에 관하여 설명하였으나, 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 적정회전수에 의하여 감겨진 후 커터(미도시)에 의하여 커팅된 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 고정되는데 사용될 수 있다.Meanwhile, the
그리고 상기 테이프고정부(700)는 커팅된 캐리어테이프(30)가 권취롤(821)에 고정되는 방식은 캐리어테이프(30)의 선단이 권취롤(821)에 부착되는 것과 거의 유사한바 자세한 설명은 생략한다.And the
상기 테이프고정부(700)는 캐리어테이프(30)의 선단 및 후단을 권취롤(821)에 고정함을 특징으로 하는바, 권취롤(821)에 감겨진 캐리어테이프(30)의 턴수에 따라서 허브로부터의 거리가 변경되는바 이에 대응하기 위하여 로딩부(100) 등이 설치된 본체(1)에 대하여 상하방향으로 이동가능하게 설치될 수 있다.The
여기서 물론 상기 권취롤(821)이 설치되는 테이프권취부(820)가 로딩부(100) 등이 설치된 본체(1)에 대하여 상하방향으로 이동가능하게 설치될 수 있다.Here, of course, the
상기 언로딩부(800) 및 테이프고정부(700)의 구성은 소자의 크기에 따라서 그 두께 및 폭에 대응될 수 있도록 구성됨이 바람직하다.The configuration of the
한편 상기 테이프고정부(700)는, 고정테이프(50) 및 이형지(51)가 부착된 상태에서 고정테이프(50)가 박리되어 캐리어테이프(30) 등에 부착되는데 고정테이프(50) 및 이형지(51)에 정전기가 축적되어 고정테이프(50)가 붙거나, 캐리어테이프(30)에 부착되는 등 오작동의 원인으로 작용하거나 소자(1)에 전기적 충격을 가하는 문제점이 있다.Meanwhile, the
이에 상기 테이프고정부(700)의 고정테이프공급부(710)는, 도 13에 도시된 바와 같이, 고정테이프(50)가 부착된 이형지(51)가 김긴 이형지롤(53)이 사이에 설치될 수 있도록 간격을 두고 배치되는 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)와, 고정테이프(50)가 부착된 이형지롤(53)이 끼워지며 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)와 결합되는 허브부(713)와, 한 쌍의 이형지디스크(711) 중 어느 하나의 일측에 설치되어 허브부(713)를 회전시키는 회전구동부(714)를 포함할 수 있다.Accordingly, the fixing
상기 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)는, 이형지롤(53)이 설치될 수 있도록 간격을 두고 배치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The pair of
여기서 상기 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)는, 이형지롤(53)과 함께 회전되거나 이형지롤(53)이 회전되고 고정되는 등 다양한 설치구조가 가능하다.Here, the pair of
예로서, 상기 한 쌍의 이형지디스크(711, 712) 중 어느 하나는 후술하는 회전구동부(714)가 설치되고, 나머지 하나는 후술하는 허브부(713)의 끝단(718)과 고정결합되는 고정부(715)가 설치되는 등 서로 다른 구성을 가질 수 있다.As an example, one of the pair of
한편 상기 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)는, 허브부(713)에 결합된 롤(53)에 밀착되어 정전기가 이형지롤(53)로 전달되어 이형지(51)에 정전기가 축적되는 문제점이 야기된다.On the other hand, the pair of
이에 상기 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)는, 내측면이 이형지롤(53)과 접촉하는 면적을 최소화하기 위하여 이형지롤(53)을 향하는 면에 다수의 리브(716)들이 형성됨이 바람직하다.Accordingly, it is preferable that the pair of
상기 다수의 리브(716)들은, 이형지디스크(711, 712)의 내측면이 이형지롤(53)과 접촉하는 면적을 최소화하기 위한 것으로 다양하게 형성될 수 있으며, 일예로서, 각각 그 회전중심을 기준으로 반경방향으로 형성될 수 있다.The plurality of
또한 상기 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)는, 정전기 전달 또는 발생을 최소화하기 위한 또 다른 방법으로서 그 내측면에 테프론에 의하여 코팅될 수 있다.In addition, the pair of
여기서 상기 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)는, 그 내측면에 다수의 리브(716)들이 형성된 경우 리브(716)들 중 이형지롤(53)과 접촉하는 부분에서 테프론에 의하여 코팅될 수 있다.Here, the pair of
상기와 같이, 상기 한 쌍의 이형지디스크(711, 712)는, 그 내측면에 다수의 리브(716)들이 형성되고 더 나아가 이형지롤(53)과 접촉하는 부분에서 테프론에 의하여 코팅됨으로써 이형지디스크(711, 712) 및 이형지롤(53)의 접촉에 의한 정전기 발생 내지 전달을 최소화할 수 있다.As described above, the pair of
이와 같이 이형지롤(53)에 대한 정전기 발생 내지 전달을 최소화하게 되면 이형지롤(53)에 축적된 정전기에 의하여 캐리어테이프(30)에 대한 부착에 기인하는 오작동, 소자(1)에 대한 전기적 충격을 최소화할 수 있게 된다.In this way, if the generation or transmission of static electricity to the
한편 상기와 같은 이형지디스크(711, 712)의 구성은 이형지 및 테이프가 박리되는 구조에 모두 적용이 가능함은 물론이다.Meanwhile, it goes without saying that the configuration of the
또한 도 13에 도시된 고정테이프공급부(710)의 구성은, 이형지(51)를 회수하는 이형지회수부(720)에 유사하게 적용될 수 있음은 물론이다.In addition, it goes without saying that the configuration of the fixing
구체적으로, 상기 이형지회수부(720)는, 고정테이프(50)가 분리된 이형지(51)가 감기는 이형지롤(53)이 설치될 수 있도록 간격을 두고 배치되는 한 쌍의 이형지디스크와, 이형지롤이 끼워지며 한 쌍의 이형지디스크와 결합되는 허브부와, 한 쌍의 이형지디스크 중 어느 하나의 일측에 설치되어 허브부를 회전시키는 회전구동부을 포함할 수 있다.Specifically, the release
여기서 상기 이형지회수부(720)의 구성은, 고정테이프공급부(710)의 구성에 대비하여, 이형지롤(53)에서 이형지(51)가 풀리는 고정테이프공급부(710)와는 달리 이형지롤(53)에 이형지(51)가 감기는 것 이외에는 고정테이프공급부(710)의 구성과 실질적으로 동일하거나 유사하다.Here, the configuration of the release
한편 본 발명의 실시예의 테이프적재부(800)의 구성, 특히 고정테이프 및 이형지에 관한 구성은 소자핸들러의 구체적 구성과 무관하게 캐리어테이프 및 커버테이프 구조를 채택하는 장치이면 어떠한 장치에도 적용가능함은 물론이다.On the other hand, the configuration of the
또한 도 13에 도시된 정전기 발생 방지구조는, 커버테이프공급부(830)에도 적용될 수 있음은 물론이다.In addition, it goes without saying that the static electricity prevention structure shown in FIG. 13 can also be applied to the cover
즉, 상기 커버테이프공급부(830)는, 도 13와 유사한 구성으로서 커버테이프(40)가 김긴 커버테이프롤이 사이에 설치될 수 있도록 간격을 두고 배치되는 한 쌍의 이형지디스크와, 커버테이프롤이 끼워지며 한 쌍의 커버테이프디스크와 결합되는 허브부와, 한 쌍의 커버테이프디스크 중 어느 하나의 일측에 설치되어 허브부를 회전시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.That is, the cover
상기 한 쌍의 커버테이프디스크는, 커버테이프롤이 설치될 수 있도록 간격을 두고 배치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The pair of cover tape disks are arranged at intervals so that the cover tape rolls can be installed, and various configurations are possible.
여기서 상기 한 쌍의 커버테이프디스크는, 커버테이프롤과 함께 회전되거나 이형지롤(53)이 회전되고 고정되는 등 다양한 설치구조가 가능하다.Here, the pair of cover tape disks may have various installation structures such as being rotated together with the cover tape roll or the
예로서, 상기 한 쌍의 커버테이프디스크 중 어느 하나는 후술하는 회전구동부가 설치되고, 나머지 하나는 후술하는 허브부의 끝단과 고정결합되는 고정부가 설치되는 등 서로 다른 구성을 가질 수 있다.As an example, one of the pair of cover tape disks may have different configurations, such as a rotation drive unit to be described later, and a fixing unit fixedly coupled to an end of a hub unit to be described later.
한편 상기 한 쌍의 커버테이프디스크는, 허브부에 결합된 커버테이프롤에 밀착되어 정전기가 커버테이프롤로 전달되어 커버테이프에 정전기가 축적되는 문제점이 야기된다.On the other hand, the pair of cover tape disks is in close contact with the cover tape roll coupled to the hub portion, so that static electricity is transferred to the cover tape roll, causing a problem in that static electricity is accumulated in the cover tape.
이에 상기 한 쌍의 커버테이프디스크는, 내측면이 커버테이프롤과 접촉하는 면적을 최소화하기 위하여 커버테이프롤을 향하는 면에 다수의 리브들이 형성됨이 바람직하다.Accordingly, in the pair of cover tape disks, it is preferable that a plurality of ribs are formed on a surface facing the cover tape roll in order to minimize an area in which the inner surface contacts the cover tape roll.
상기 다수의 리브들은, 커버테이프디스크의 내측면이 커버테이프롤과 접촉하는 면적을 최소화하기 위한 것으로 다양하게 형성될 수 있으며, 일예로서, 각각 그 회전중심을 기준으로 반경방향으로 형성될 수 있다.The plurality of ribs may be variously formed to minimize an area in which the inner surface of the cover tape disk contacts the cover tape roll, and as an example, each may be formed in a radial direction based on a center of rotation thereof.
또한 상기 한 쌍의 커버테이프디스크는, 정전기 전달 또는 발생을 최소화하기 위한 또 다른 방법으로서 그 내측면에 테프론에 의하여 코팅될 수 있다.In addition, the pair of cover tape disks may be coated with Teflon on their inner surfaces as another method for minimizing the transmission or generation of static electricity.
여기서 상기 한 쌍의 커버테이프디스크는, 그 내측면에 다수의 리브들이 형성된 경우 리브들 중 커버테이프롤과 접촉하는 부분에서 테프론에 의하여 코팅될 수 있다.Here, when a plurality of ribs are formed on the inner surface of the pair of cover tape disks, a portion of the ribs in contact with the cover tape roll may be coated by Teflon.
상기와 같이, 상기 한 쌍의 커버테이프디스크는, 그 내측면에 다수의 리브들이 형성되고 더 나아가 커버테이프롤과 접촉하는 부분에서 테프론에 의하여 코팅됨으로써 커버테이프디스크 및 커버테이프롤의 접촉에 의한 정전기 발생 내지 전달을 최소화할 수 있다.As described above, the pair of cover tape disks has a plurality of ribs formed on the inner surface thereof and furthermore, it is coated by Teflon at a portion in contact with the cover tape roll. Generation or delivery can be minimized.
이와 같이 커버테이프롤에 대한 정전기 발생 내지 전달을 최소화하게 되면 커버테이프롤 및 커버테이프(30)에 축적된 정전기에 의하여 캐리어테이프(30)에 대한 부착에 기인하는 오작동, 소자(1)에 대한 전기적 충격을 최소화할 수 있게 된다.In this way, if the generation or transmission of static electricity to the cover tape roll is minimized, malfunction due to attachment to the
또한 상기 언로딩부(800) 및 테이프고정부(700)의 구성은 상술한 소자핸들러에 설치된 실시예를 들어 설명하였으나, 소자 등이 캐리어테이프의 포켓에 적재하는 구성이 필요한 장치이면 어떠한 장치에도 적용가능함은 물론이다.In addition, the configuration of the
더 나아가 상기 캐리어테이프공급부(850)의 구성은, 상술한 소자핸들러에 설치된 실시예를 들어 설명하였으나, 소자 등이 캐리어테이프의 포켓에 적재하는 구성이 필요한 장치이면 어떠한 장치에도 적용가능함은 물론이다.Further, the configuration of the carrier
한편, 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 도 4, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 테이프공급부(810)와 테이프권취부(820) 사이의 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 소자(1)가 포켓부(31)에 적재된 후 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)의 정위치에 담길 수 있도록 캐리어테이프(30)에 진동을 가하는 진동부를 포함할 수 있다.On the other hand, the device handler according to the embodiment of the present invention, as shown in Figs. 4, 11, and 12, the moving path of the
상기 진동부는 이송툴(500)에 의하여 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)에 소자(1)가 담긴 이후의 캐리어테이프(30)의 이동경로상에 설치되어 캐리어테이프(30)에 진동을 가한다.The vibration unit is installed on the moving path of the
상기 진동부로는 진동을 발생시킬 수 있는 다양한 구성이 채용될 수 있다. 예를 들어, 진동부는, 캐리어테이프와 물리적으로 연결되어 캐리어테이프에 진동을 발생시키는 기계적 가진장치, 초음파 가진장치 등 다양한 구성이 이용될 수 있다.Various configurations capable of generating vibration may be employed as the vibration unit. For example, the vibration unit may be physically connected to the carrier tape to generate vibration in the carrier tape, such as a mechanical vibration device, an ultrasonic vibration device, or the like.
도 10 내지 도 12는 진동부의 예로서 캐리어테이프(30)를 향하여 기체를 분사하는 기체분사장치(890)를 도시한다.10 to 12 show a
이러한 기체분사장치(890)는 캐리어테이프(30)를 향하여 기체를 분사하여 캐리어테이프(30)가 진동되도록 한다. 따라서, 도 11에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 포켓부(31)의 정위치에 위치되지 않은 상태에서도, 기체분사장치(890)로부터 분사된 기체에 의하여 캐리어테이프(30)가 진동하면서, 도 12에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 캐리어테이프(30)의 포켓부(31) 내의 정위치에 위치될 수 있다.The
상기 기체분사장치(890)는 기체가 분사되는 단일의 노즐로 구성될 수 있다. 또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 기체분사장치(890)는, 캐리어테이프(30)의 이동방향을 따라 길게 연장되고, 복수의 기체분사홀(892)이 그 길이방향을 따라 형성되는 기체분사노즐(891)을 포함할 수 있다.The
이와 같이, 상기 기체분사장치(890)가 복수의 기체분사홀(892)을 가지는 기체분사노즐(891)을 포함하므로, 캐리어테이프(30)의 길이방향을 따라 기체를 분사하여 복수의 소자(1)를 동시에 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)의 정위치에 위치시킬 수 있다.In this way, since the
한편, 상기 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)에서 소자(1)를 보다 원활하게 이동시킬 수 있도록 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)의 바닥에는 관통홀(33)이 형성되고, 기체분사장치(890)는 관통홀(33)을 통과하도록 기체를 분사하는 것이 바람직하다.Meanwhile, a through
상기한 바와 같은 구성에 따르면, 상기 캐리어테이프(30)를 이송하는 도중에 캐리어테이프(30)에 기체를 분사하여 캐리어테이프(30)가 진동되도록 함으로써, 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)에 정상적으로 안착되지 못한 소자(1)를 캐리어테이프(30)의 포켓부(31)의 정위치에 위치시킬 수 있는 효과가 있다.According to the configuration as described above, the
한편 도 10 내지 도 12에 도시된 진동부의 구성은, 소자를 캐리어테이프에 적재하는 테이프앤릴의 구성을 포함하는 소자핸들러는 어떠한 구성도 가능하다.Meanwhile, in the configuration of the vibrating unit shown in FIGS. 10 to 12, any configuration of the device handler including the configuration of a tape and reel for loading the device onto a carrier tape may be used.
도 10 내지 도 12에 도시된 진동부가 적용될 수 있는 소자핸들러는 일 예로서, 도 1에 도시된 구성 이외에, 검사공정 없이 단순히 캐리어테이프에 적재하도록 구성될 수 있다.The device handler to which the vibration unit shown in FIGS. 10 to 12 can be applied is an example, and may be configured to be simply loaded onto a carrier tape without an inspection process in addition to the configuration shown in FIG. 1.
또한 도 10 내지 도 12에 도시된 진동부가 적용될 수 있는 소자핸들러는 다른 예로서, 도 1에 도시된 구성 이외에, 소자가 부착되는 웨이퍼링으로부터 소자를 인출하여 최종적으로 캐리어테이프에 소자를 적재하도록 구성될 수 있다.In addition, the device handler to which the vibration unit shown in FIGS. 10 to 12 can be applied is another example. In addition to the configuration shown in FIG. 1, the device is pulled out from the wafer ring to which the device is attached, and the device is finally loaded on the carrier tape. Can be.
이때 웨이퍼링은 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자(1)가 적재되는 구성으로서, 소자(1)가 부착되는 테이프 및 테이프를 고정하는 프레임부재를 포함하여 구성될 수 있다.In this case, the wafer ring is a configuration in which the
그리고 상기 테이프는 엘이디소자(1)들이 부착될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며 소위 블루테이프가 사용될 수 있다.In addition, the tape may be any member as long as it is a member to which the
상기 프레임부재는 엘이디소자(1)들이 부착된 테이프를 고정하기 위한 구성으로서 원형링, 사각링 등 다양한 구성이 가능하다.The frame member is a configuration for fixing the tape to which the
이때 웨이퍼링으로부터 소자를 인출하는 소자핸들러는, 소자에 대한 비전검사 등을 수행한 후 분류작업을 수행하거나, 검사공정 없이 단순 분류작업을 하는 등 다양한 구성이 가능하다.At this time, the device handler that pulls the device out of the wafer ring can be configured in various ways, such as performing a sorting operation after performing a vision inspection for the device, or performing a simple sorting operation without an inspection process.
한편 상기 언로딩부(800)는, 도시하지는 않았지만 테이프권취부(820)에서 커버테이프가 결합된 캐리어테이프가 미리 설정된 만큼 감긴 후에는 릴을 자동으로 언로딩한 후 새로운 릴로 교체하는 릴교체부, 새로 교체된 릴에 캐리어테이프가 처음 감기거나 다 감긴 후에 캐리어테이프를 테이프를 이용하여 고정하는 캐리어테이프고정부, 캐리어테이프가 다 감긴 후 또는 감기기 전에 인덱싱을 위하여 릴에 부착되는 라벨지의 인쇄를 위한 라벨인쇄부 등을 추가로 포함할 수 있다.Meanwhile, although not shown, the
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.Since the above is only described with respect to some of the preferred embodiments that can be implemented by the present invention, the scope of the present invention, as well known, should not be limited to the above embodiments and should not be interpreted, It will be said that both the technical idea and the technical idea together with the fundamental are included in the scope of the present invention.
100 : 로딩부재카세트부
200 : 적재부재테이블
800 : 언로딩부100: loading member cassette part 200: loading member table
800: unloading unit
Claims (7)
상기 테이프고정부는 고정테이프를 이형지에 부착하여 공급하는 고정테이프공급부와; 고정테이프가 박리된 이형지를 회수하는 이형지회수부와; 상기 권취롤의 부근에 설치되어 상기 권취롤에 부착되도록 이형지로부터 박리하는 고정테이프박리부와; 상기 고정테이프박리부에 의하여 박리된 고정테이프를 상기 권취롤에 가압하는 가압부와; 상기 고정테이프공급부로부터 이형지회수부에까지 이형지가 원활하게 이동될 수 있도록 이형지의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러들을 포함하며,
상기 고정테이프공급부 및 이형지회수부는 중 적어도 어느 하나는, 사이에 이형지롤이 설치될 수 있도록 간격을 두고 배치되는 한 쌍의 이형지디스크와, 상기 이형지롤이 끼워지며 상기 한 쌍의 이형지디스크와 결합되는 허브부와, 상기 한 쌍의 이형지디스크 중 어느 하나의 일측에 설치되어 상기 허브부를 회전시키는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.A tape supply unit for supplying a carrier tape having a plurality of pockets on which the device is mounted; A tape winding unit for winding the carrier tape on which the element is mounted; And a tape fixing part for fixing the carrier tape to the winding roll by a fixing tape when the carrier tape is first wound on the winding roll of the tape winding part,
The tape fixing part includes a fixing tape supplying part for supplying by attaching a fixing tape to a release paper; A release paper recovery unit for recovering the release paper from which the fixing tape has been peeled off; A fixed tape peeling unit installed in the vicinity of the take-up roll and peeled from the release paper so as to be attached to the take-up roll; A pressing part for pressing the fixing tape peeled off by the fixing tape peeling part to the winding roll; And a plurality of transfer rollers guiding the movement of the release paper so that the release paper can be smoothly moved from the fixed tape supply unit to the release paper collection unit,
At least one of the fixed tape supply unit and the release paper collecting unit includes a pair of release paper disks disposed at intervals so that a release paper roll can be installed therebetween, and the release paper roll is inserted and coupled to the pair of release paper disks. An element handler comprising a hub portion and a rotation driving portion installed on one side of one of the pair of release paper disks to rotate the hub portion.
상기 한 쌍의 이형지디스크 중 적어도 하나는, 이형지롤과 접촉되는 면에 테프론이 코팅된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.The method according to claim 1,
At least one of the pair of release paper disks is an element handler, characterized in that Teflon is coated on a surface in contact with the release paper roll.
상기 한 쌍의 이형지디스크는, 그 내측면이 이형지롤과 접촉되는 면적을 최소화하기 위하여 이형지롤을 향하는 면에 다수의 리브들이 형성된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.The method according to claim 1,
The pair of release paper disks, an element handler, characterized in that a plurality of ribs are formed on a surface facing the release paper roll in order to minimize an area in which the inner surface thereof is in contact with the release paper roll.
복수의 소자들이 이송되는 로딩부;
상기 복수의 소자들을 상기 캐리어테이프로 이송하는 언로딩부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.The method according to any one of claims 1 to 3,
A loading unit through which a plurality of elements are transferred;
An element handler, further comprising an unloading unit for transferring the plurality of elements to the carrier tape.
상기 로딩부로부터 소자를 이송하여 상기 소자에 대한 검사를 수행하는 검사부를 더 포함하고,
상기 언로딩부는 상기 검사부에서 검사된 검사결과에 따라 상기 소자를 분류하여 상기 캐리어테이프로 이송하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.The method of claim 4,
Further comprising an inspection unit for performing inspection on the element by transferring the element from the loading unit,
The device handler, characterized in that the unloading unit classifies the device according to the test result inspected by the test unit and transfers the device to the carrier tape.
상기 로딩부로는 상기 복수의 소자들이 트레이에 적재된 상태로 이송되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.The method of claim 4,
An element handler, characterized in that the plurality of elements are transferred to the loading unit in a state loaded on a tray.
상기 로딩부로는 상기 복수의 소자들이 웨이퍼링에 적재된 상태로 이송되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러. The method of claim 4,
An element handler, characterized in that the plurality of elements are transferred to the loading unit in a state of being loaded on a wafer ring.
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