KR20210023079A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20210023079A
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Abstract

기판 처리 장치가 제공된다. 기판 처리 장치는 에어 홀을 구비하여 기판을 부상시키는 부상 스테이지, 및 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접하여 배치되고, 상기 부상 스테이지에 안착된 기판을 파지하여 이동시키는 이동부를 포함하되, 상기 이동부는, 상기 부상 스테이지에 대하여 이동 가능한 베이스부, 및 상기 베이스부에 대하여 이동하여 상기 기판의 측면을 밀거나 상기 베이스부에 상기 기판을 고정시키는 기판 고정부를 포함한다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for treating substrate}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
기판에 대한 코팅, 프린팅 또는 패턴 형성 등의 작업을 위하여 스테이지상에서 기판이 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이 때, 기판의 안정적인 이동을 위하여 기판은 스테이지의 상부에서 일정 거리만큼 이격된 상태로 이동할 수 있다.
기판을 부상시키기 위하여 스테이지는 에어 홀 및 진공 홀을 구비할 수 있다. 에어 홀은 에어를 분사하고, 진공 홀은 에어를 흡입할 수 있다. 에어 홀 및 진공 홀에 의한 압력으로 기판은 스테이지에 대한 균일한 거리를 유지할 수 있게 된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 정렬과 고정을 하나의 수단으로 수행하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면(aspect)은, 에어 홀을 구비하여 기판을 부상시키는 부상 스테이지, 및 상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접하여 배치되고, 상기 부상 스테이지에 안착된 기판을 파지하여 이동시키는 이동부를 포함하되, 상기 이동부는, 상기 부상 스테이지에 대하여 이동 가능한 베이스부, 및 상기 베이스부에 대하여 이동하여 상기 기판의 측면을 밀거나 상기 베이스부에 상기 기판을 고정시키는 기판 고정부를 포함한다.
상기 기판 고정부는, 상기 베이스부에 이동 가능하도록 결합된 고정 몸체, 및 상기 기판의 측면 또는 상기 기판의 모서리에 압력을 가하는 압력부를 포함한다.
상기 고정 몸체는 상기 베이스부의 표면을 향하는 탄성력을 제공한다.
상기 고정 몸체는, 상기 베이스부에 이동 가능하도록 결합된 이동 결합부, 및 상기 베이스부의 표면에서 일정 거리만큼 이격되고, 상기 압력부에 결합된 압력 결합부를 포함한다.
상기 압력부는 상기 기판의 측면에 평행하고 긴 원통형의 롤러를 포함한다.
상기 기판에 접하는 상기 롤러의 표면은 탄성력이 구비된다.
상기 기판 처리 장치는 상기 부상 스테이지로 상기 기판이 진입하는 것을 감지하는 감지부, 및 상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 이동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함한다.
상기 제어부는 상기 기판이 상기 부상 스테이지로의 진입이 완료된 것으로 판단되는 경우 상기 부상 스테이지에 대한 상기 기판의 정렬을 위하여 상기 기판 고정부가 상기 기판의 측면을 밀도록 상기 기판 고정부를 이동시킨다.
상기 제어부는 상기 부상 스테이지에 대한 상기 기판의 정렬이 완료된 경우 상기 기판 고정부의 이동을 지속하여 상기 기판 고정부가 상기 기판의 모서리에 압력을 가하도록 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 이동부가 부상 스테이지에 대하여 이동하는 것을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 기판 고정부가 베이스부에 대하여 이동하는 것을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1 및 도 2에 도시된 이동부의 동작을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 1 및 도 2에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입하는 것을 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입한 것을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 7에 도시된 기판을 이동부가 파지하는 것을 나타낸 도면이다.
도 9는 도 8에 도시된 기판을 이동부가 이동시키는 것을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면이고, 도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 이동부가 부상 스테이지에 대하여 이동하는 것을 나타낸 도면이며, 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 기판 고정부가 베이스부에 대하여 이동하는 것을 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 부상 스테이지(100), 이동부(200), 에어 공급부(300), 감지부(400) 및 제어부(500)를 포함하여 구성된다.
부상 스테이지(100)는 기판을 부상시키는 역할을 수행한다. 이를 위하여, 부상 스테이지(100)는 에어 홀(110)을 구비할 수 있다. 에어 홀(110)은 기판을 향하는 부상 스테이지(100)의 일면의 전체 영역에 걸쳐 배치될 수 있다. 이하, 기판을 향하는 부상 스테이지(100)의 일면에 기판이 일정 거리만큼 이격된 상태로 안착될 수 있는 것으로서, 이하 해당 면을 안착면이라 한다.
부상 스테이지(100)의 안착면에는 에어 홀(110)의 개구가 형성될 수 있다. 해당 개구를 통하여 에어가 분사될 수 있다. 에어 홀(110)에서 에어가 분사되는 경우 에어의 압력으로 기판이 부상할 수 있게 된다.
본 발명에서 기판은 플랫 패널 디스플레이(Flat Panel Display)와 같은 반도체 패널일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
도 1, 도 2 및 도 4를 참조하면, 이동부(200)는 부상 스테이지(100)에 안착된 기판을 파지하여 이동시킬 수 있다. 이동부(200)는 부상 스테이지(100)의 양측 가장자리에 인접하여 배치될 수 있다. 즉, 2개의 이동부(200)가 부상 스테이지(100)의 양측 가장자리에 배치될 수 있는 것으로서, 일측 이동부(200), 부상 스테이지(100) 및 타측 이동부(200)가 순차적으로 배치될 수 있다.
각 이동부(200)는 자신에 인접한 부상 스테이지(100)의 가장자리의 길이 방향으로 기판을 이동시킬 수 있다. 이동부(200)는 부상 스테이지(100)의 가장자리의 길이 방향으로 평행한 긴 형상을 가질 수 있다. 이하, 이동부(200)의 길이에 평행한 방향을 제1 방향(X)이라 하고, 이동부(200) 및 부상 스테이지(100)의 배치 방향을 제2 방향(Y)이라 하며, 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)에 수직한 방향을 제3 방향(Z)이라 한다. 여기서, 제3 방향(Z)은 안착면에 수직한 방향일 수 있다.
도 3을 참조하면, 이동부(200)는 부상 스테이지(100)의 가장자리를 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 이동부(200)는 제1 방향(X)으로 이동할 수 있다.
부상 스테이지(100)의 양측에 배치된 이동부(200)가 동시에 이동할 수 있다. 이동부(200)에는 기판(S)이 밀착하여 고정될 수 있다. 이동부(200)에 의해 기판(S)이 다음 단계의 설비로 이송될 수 있다.
이동부(200)를 통하여 기판(S)이 이송되는 도중에 부상 스테이지(100)는 기판(S)을 부상시키기 위한 에어를 분사할 수 있다. 기판(S)은 부상 스테이지(100)에서 일정 거리만큼 이격된 상태로 이송될 수 있다. 즉, 이동부(200)에 접촉하지 않은 기판(S)의 다른 부분이 함몰되지 않은 상태로 기판(S)이 이송될 수 있는 것이다. 부상 스테이지(100)에 접촉하지 않은 상태로 기판(S)이 이송됨에 따라 기판(S)과 부상 스테이지(100) 간의 마찰이 방지되고, 마찰로 인한 파티클의 발생이 방지될 수 있다.
도시되어 있지는 않으나, 이동부(200)를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 제1 구동부(미도시)가 구비될 수 있다. 제1 구동부는 기계적인 힘, 전기력, 자기력 또는 이들의 조합으로 구동력을 발생시켜 이동부(200)를 이동시킬 수 있다.
이동부(200)는 베이스부(210) 및 기판 고정부(220)를 포함하여 구성된다. 베이스부(210)는 부상 스테이지(100)에 대하여 이동할 수 있다. 즉, 베이스부(210)는 부상 스테이지(100)와의 간격을 유지하면서 부상 스테이지(100)의 가장자리를 따라 이동할 수 있다. 전술한 제1 구동부가 베이스부(210)를 이동시킬 수 있다.
기판 고정부(220)는 기판의 측면을 밀거나 베이스부(210)에 기판을 고정시킬 수 있다. 도 2 및 도 4를 참조하면, 기판 고정부(220)는 베이스부(210)에 대하여 이동할 수 있다. 베이스부(210)에 대하여 이동함으로써 기판의 측면을 밀거나 기판을 고정시킬 수 있는 것이다. 기판이 기판 고정부(220)와 베이스부(210)의 사이에 삽입됨으로써 기판이 고정될 수 있다.
도시되어 있지는 않으나, 기판 고정부(220)를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 제2 구동부(미도시)가 구비될 수 있다. 제2 구동부는 기계적인 힘, 전기력, 자기력 또는 이들의 조합으로 구동력을 발생시켜 기판 고정부(220)를 이동시킬 수 있다.
기판 고정부(220)는 고정 몸체(221) 및 압력부(222)를 포함하여 구성된다. 고정 몸체(221)는 베이스부(210)에 이동 가능하도록 결합될 수 있다. 고정 몸체(221)는 이동 결합부(221a) 및 압력 결합부(221b)를 포함할 수 있다. 이동 결합부(221a)는 베이스부(210)에 이동 가능하도록 결합될 수 있다. 압력 결합부(221b)는 베이스부(210)의 표면에서 일정 거리만큼 이격되고, 압력부(222)에 결합될 수 있다. 고정 몸체(221)는 베이스부(210)의 표면에 대하여 경사지어 배치될 수 있는 것으로서, 기판을 향하는 압력 결합부(221b)가 베이스부(210)의 표면에서 일정 거리만큼 이격될 수 있다. 해당 공간으로 삽입된 기판은 압력부(222)에 의해 베이스부(210)에 고정될 수 있다.
고정 몸체(221)는 베이스부(210)의 표면을 향하여 탄성력을 제공할 수 있다. 압력부(222) 및 베이스부(210)의 사이에 삽입된 기판은 고정 몸체(221)의 탄성력에 의해 고정될 수 있다.
압력부(222)는 기판의 측면 또는 기판의 모서리에 압력을 가할 수 있다. 압력부(222)는 기판의 측면에 평행하고 긴 원통형의 롤러의 형태로 제공될 수 있다. 또한, 기판에 접하는 롤러의 표면은 탄성력이 구비될 수 있다. 이에, 압력부(222)가 기판에 압력을 가하는 경우에도 기판이 압력부(222)에 의해 파손되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 압력부(222)의 탄성력에 의해 압력부(222)와 기판 간의 마찰력이 증가하고, 이동부(200)에서 기판이 이탈하는 것이 방지될 수 있다.
도 1을 참조하면, 감지부(400)는 부상 스테이지(100)로 기판이 진입하는 것을 감지하는 역할을 수행한다. 이전 단계에서 공정이 완료된 기판은 기판 처리 장치(10)로 이송될 수 있다. 이송된 기판은 부상 스테이지(100)에 안착되고, 안착된 기판은 이동부(200)에 의하여 다음 단계의 설비(미도시)로 이송될 수 있다.
기판은 부상 스테이지(100)의 안착면에 평행한 방향으로 이송되어 안착면에 안착될 수 있는데, 감지부(400)는 기판이 부상 스테이지(100)로 진입하고 있는 과정을 감지하고, 진입이 완료되어 안착면에 안착되었는지를 감지할 수 있다. 예를 들어, 감지부(400)는 부상 스테이지(100)의 상측에 배치되어 이동하는 기판을 촬영함으로써 기판의 진입 완료를 감지하거나 레이더 또는 초음파 등을 이용하여 기판의 진입 완료를 감지할 수도 있다.
제어부(500)는 감지부(400)의 감지 결과에 따라 이동부(200)의 동작을 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(500)는 기판의 진입이 완료된 것으로 판단되는 경우 이동부(200)로 하여금 기판을 파지하여 이동하도록 할 수 있다. 제어부(500)에 의한 이동부(200)의 제어는 3단계로 수행될 수 있다. 1단계는 정렬 단계이고, 2단계는 파지 단계이며, 3단계는 이동 단계일 수 있다.
1단계에서 제어부(500)는 기판이 부상 스테이지(100)로의 진입이 완료된 것으로 판단되는 경우 부상 스테이지(100)에 대한 기판의 정렬을 위하여 기판 고정부(220)가 기판의 측면을 밀도록 기판 고정부(220)를 이동시킬 수 있다. 기판 고정부(220)가 기판을 향하여 이동하면서 기판 고정부(220)의 압력부(222)가 기판의 측면을 밀면서 기판이 정렬될 수 있다.
부상 스테이지(100)로 진입된 기판은 부상 스테이지(100)에 대한 자세가 올바르지 않을 수 있다. 1단계에서 기판이 정렬됨에 따라 부상 스테이지(100)에 대한 기판의 자세가 올바르게 정렬될 수 있다.
2단계에서 제어부(500)는 부상 스테이지(100)에 대한 기판의 정렬이 완료된 경우 기판 고정부(220)의 이동을 지속하여 기판 고정부(220)가 기판의 모서리에 압력을 가하도록 할 수 있다. 기판의 정렬이 완료된 경우 기판 고정부(220)의 압력부(222)는 기판의 측면에 접촉할 수 있다. 이 때, 기판 고정부(220)의 이동이 지속되는 경우 기판이 압력부(222) 및 베이스부(210)의 사이로 삽입될 수 있다. 이에, 고정 몸체(221)의 탄성력에 의해 기판은 베이스부(210)에 고정됨으로써 이동부(200)에 파지될 수 있다.
3단계에서 제어부(500)는 부상 스테이지(100)에 대하여 이동부(200)를 이동시킬 수 있다. 이동부(200)에 파지된 기판은 다음 단계의 설비로 이송될 수 있다.
또한, 제어부(500)는 에어 공급부(300)를 제어할 수 있다. 기판이 부상 스테이지(100)로 진입할 때 제어부(500)는 부상 스테이지(100)에서 에어가 분사되도록 에어 공급부(300)를 제어할 수 있다.
도 5는 도 1 및 도 2에 도시된 이동부의 동작을 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 기판 고정부(220)는 베이스부(210)에 대하여 이동할 수 있다. 기판 고정부(220)는 기판(S)을 정렬하고 고정시키기 위하여 기판(S)을 향하여 이동할 수 있다.
(a)는 기판(S)이 부상 스테이지(100)에 이동한 상태를 나타낸 도면이다. 이 때, 기판(S)의 가장자리는 베이스부(210)의 상측에 위치할 수 있다. 부상 스테이지(100)에 의해 에어가 분사됨에 따라 기판(S)은 부상한 상태로 진입할 수 있으며, 기판(S)의 가장자리는 베이스부(210)의 상부면에서 일정 거리만큼 이격될 수 있다. 또한, 기판 고정부(220)와 기판(S) 간에도 일정 거리만큼 이격될 수 있다.
(b)는 기판(S)의 정렬을 위하여 베이스부(210)에 대하여 기판 고정부(220)가 이동한 것을 나타낸 도면이다. 기판 고정부(220)가 기판(S)의 측면을 가압할 수 있다. 기판(S)의 양쪽 측면에 배치된 이동부(200)의 기판 고정부(220)가 동시에 기판(S)의 양쪽 측면을 가압함에 따라 부상 스테이지(100)에 대하여 기판(S)이 정렬될 수 있다.
(c)는 기판(S)을 고정시키기 위하여 베이스부(210)에 대하여 기판 고정부(220)가 이동한 것을 나타낸 도면이다. 정렬이 완료된 상태에서 기판 고정부(220)는 이동을 지속할 수 있다. 이에, 압력부(222)가 상측으로 밀리면서 기판(S)이 압력부(222)와 베이스부(210)의 사이 공간으로 삽입될 수 있다. 이 때, 압력부(220)는 기판(S)과의 마찰에 의해 회전축(Ax)을 중심으로 회전할 수 있다. 압력부(220)가 회전함에 따라 압력부(220)이 보다 용이하게 수행될 수 있다.
고정 몸체(221)의 탄성력으로 기판(S)이 압력부(222)와 베이스부(210)에 고정될 수 있다. 압력부(222)는 기판(S)의 모서리에 압력을 가할 때까지 이동할 수 있다. (c)에 도시된 바와 같이 압력부(222)의 표면이 기판(S)의 모서리를 가압함에 따라 기판(S)은 부상 스테이지(100)에 대한 정렬이 유지된 상태로 이동부(200)에 파지될 수 있다.
기판 고정부(220)의 수평 이동만으로 기판(S)의 정렬 및 고정이 수행될 수 있는 것으로서, 기판(S)을 정렬시키고 고정시키기 위한 수단의 구성이 단순하게 형성될 수 있다. 또한, 진공 흡착 방식으로 기판(S)을 고정시키는 경우 기판(S)이 흡착 수단에 충돌하면서 기판(S)이 손상될 수 있는데, 기판 고정부(220)가 기판(S)을 직접 접촉하며 미는 경우 충돌에 의한 기판(S)의 손상이 방지될 수 있다. 이를 위하여, 기판 고정부(220)는 충돌에 의한 기판(S)의 손상을 유발하지 않는 속도로 이동할 수 있다.
제어부(500)에 의한 이동부(200)의 동작은 전술한 제1 구동부 및 제2 구동부를 제어함으로써 수행될 수 있다.
이하, 도 6 내지 도 9를 통하여, 부상 스테이지(100)로 진입한 기판(S)이 이동부(200)에 의해 이송되는 것을 설명하기로 한다.
도 6은 도 1 및 도 2에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입하는 것을 나타낸 도면이고, 도 7은 도 6에 도시된 부상 스테이지로 기판이 진입한 것을 나타낸 도면이고, 도 8은 도 7에 도시된 기판을 이동부가 파지하는 것을 나타낸 도면이며, 도 9는 도 8에 도시된 기판을 이동부가 이동시키는 것을 나타낸 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 부상 스테이지(100)로 기판(S)이 진입할 수 있다. 이전 단계에서 공정이 완료된 기판(S)은 별도의 이송 수단(미도시)에 의해 부상 스테이지(100)로 이송될 수 있다. 기판(S)은 안착면에 평행한 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 기판(S)은 제1 방향(X)으로 이동할 수 있다.
부상 스테이지(100)로 기판(S)이 이송되는 도중에 부상 스테이지(100)는 에어를 분사할 수 있다. 기판(S)은 부상 스테이지(100)의 안착면에서 일정 거리만큼 이격된 상태로 이송될 수 있다.
기판(S)이 진입할 때 기판 고정부(220)는 기판(S)에서 가장 먼 위치에 배치될 수 있다. 이에, 진입하는 기판(S)에 압력부(222)가 간섭되지 않을 수 있다.
감지부(400)는 기판(S)의 진입을 감지할 수 있다. 즉, 감지부(400)는 부상 스테이지(100)로 기판(S)이 진입하였는지 여부를 감지할 수 있다.
감지부(400)의 감지 결과는 제어부(500)로 전달되고, 제어부(500)는 감지부(400)의 감지 결과에 따라 에어 공급부(300) 및 이동부(200)를 제어할 수 있다. 기판(S)의 진입이 개시된 경우 제어부(500)는 부상 스테이지(100)에서 에어가 분사되도록 에어 공급부(300)를 제어할 수 있다. 또한, 기판(S)의 진입이 완료된 경우 기판(S)의 정렬, 파지 및 이송을 위하여 이동부(200)를 제어할 수 있다.
도 8을 참조하면, 제어부(500)는 기판(S)을 정렬하고 파지하도록 이동부(200)를 제어할 수 있다. 제어부(500)의 제어에 의해 기판 고정부(220)는 기판(S)을 향하여 이동할 수 있다. 기판 고정부(220)에 가압됨으로써 기판(S)이 정렬되고, 이어서 이동부(200)에 파지될 수 있다. 이 때, 기판(S)의 형태를 보존하기 위하여 에어 공급부(300)는 지속적으로 에어를 공급할 수 있다.
도 9를 참조하면, 이동부(200)에 파지된 기판(S)은 이동부(200)와 함께 이동할 수 있다. 압력부(222) 및 베이스부(210)에 고정됨에 따라 기판(S)은 이송 중에도 이동부(200)에서 이탈하는 것이 방지될 수 있다.
이송이 완료된 경우 기판 고정부(220)는 기판(S)에서 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 이에, 기판 고정부(220)에 의한 기판(S)의 고정이 해제되고, 기판 고정부(220)는 기판(S)에서 일정 거리만큼 이격될 수 있다. 이동부(200)는 다시 부상 스테이지(100)의 측면으로 이동하고, 이후의 기판(S)을 이송하기 위한 동작을 수행할 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 기판 처리 장치 100: 부상 스테이지
200: 이동부 210: 베이스부
220: 기판 고정부 221: 고정 몸체
222: 압력부 300: 에어 공급부
400: 감지부 500: 제어부
S: 기판

Claims (9)

  1. 에어 홀을 구비하여 기판을 부상시키는 부상 스테이지; 및
    상기 부상 스테이지의 양측 가장자리에 인접하여 배치되고, 상기 부상 스테이지에 안착된 기판을 파지하여 이동시키는 이동부를 포함하되,
    상기 이동부는,
    상기 부상 스테이지에 대하여 이동 가능한 베이스부; 및
    상기 베이스부에 대하여 이동하여 상기 기판의 측면을 밀거나 상기 베이스부에 상기 기판을 고정시키는 기판 고정부를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 고정부는,
    상기 베이스부에 이동 가능하도록 결합된 고정 몸체; 및
    상기 기판의 측면 또는 상기 기판의 모서리에 압력을 가하는 압력부를 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 고정 몸체는 상기 베이스부의 표면을 향하는 탄성력을 제공하는 기판 처리 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 고정 몸체는,
    상기 베이스부에 이동 가능하도록 결합된 이동 결합부; 및
    상기 베이스부의 표면에서 일정 거리만큼 이격되고, 상기 압력부에 결합된 압력 결합부를 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 압력부는 상기 기판의 측면에 평행하고 긴 원통형의 롤러를 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 기판에 접하는 상기 롤러의 표면은 탄성력이 구비되는 기판 처리 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 부상 스테이지로 상기 기판이 진입하는 것을 감지하는 감지부; 및
    상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 이동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 기판이 상기 부상 스테이지로의 진입이 완료된 것으로 판단되는 경우 상기 부상 스테이지에 대한 상기 기판의 정렬을 위하여 상기 기판 고정부가 상기 기판의 측면을 밀도록 상기 기판 고정부를 이동시키는 기판 처리 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 부상 스테이지에 대한 상기 기판의 정렬이 완료된 경우 상기 기판 고정부의 이동을 지속하여 상기 기판 고정부가 상기 기판의 모서리에 압력을 가하도록 하는 기판 처리 장치.
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