KR20210008970A - 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법 - Google Patents

약액 토출 장치 및 약액 토출 방법 Download PDF

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Abstract

본 기재의 약액 토출 장치는 위치 및 각도가 고정되고, 필름이 접촉되는 지지 부재; 상기 필름이 상기 지지 부재에 가까워지거나 멀어지도록 승강되는 승강 부재; 상기 승강 부재와 인접하게 위치되고, 상기 필름의 장력이 유지될 수 있도록 상기 승강 부재의 이동과 연동되어 이동되는 장력 유지 부재; 및 상기 승강 부재가 상기 지지 부재로 이동되어 상기 필름이 지지 부재에 접촉되는 경우, 상기 필름에서 상기 지지 부재에 밀착된 부분을 가압하는 가압 유닛;을 포함한다.

Description

약액 토출 장치 및 약액 토출 방법{Liquid drop-discharge apparatus and liquid drop-discharge method}
본 발명은 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대상물에 약액을 토출하는데 사용될 수 있는 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법에 관한 것이다.
반도체 소자나 디스플레이 소자 혹은 태양전지를 제조하기 위해서는 기판의 표면을 증착, 식각 및 세정 등의 처리를 반복적으로 실시하는 각종 공정이 수행된다. 이러한 공정은 기판 처리 시스템에 의해 실시될 수 있으며, 기판 처리 시스템에서는 다양한 종류의 처리액이 사용될 수 있다.
또한, 일반적으로, 전자회로부품 또는 액정 디스플레이 패널과 같은 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는, 포토레지스트액 또는 구리, 은, 알루미늄 등과 같은 금속 페이스트를 사용하여 글래스 표면 또는 인쇄회로기판 상에 전극 또는 도트 등과 같은 일정한 패턴을 형성하여야 한다.
기판에 일정한 패턴을 형성하기 위한 방법으로 약액 토출 장치를 사용하여 약액 약액을 분출하는 방식이 사용될 수 있다. 이러한 약액 토출 장치는 일반적인 잉크젯 프린터와 유사한 것으로, 노즐을 사용하여 기판에 일정한 패턴을 직접 패터닝하는 방식을 사용한다.
한편, 필름 형태의 기판에 약액을 토출하는 경우, 흡착 지지대가 승강되면서 필름을 흡착하고, 약액 토출 장치에서 약액이 기판에 토출될 수 있다. 이러한 약액 토출 장치는 필름의 장력이 조절되지 않도록 된 것이 일반적이다. 그러므로, 흡착 지지대가 승강되는 과정에서 필름의 장력에 의하여 흡착 지지대가 미세하게 기울어지면서 평탄도가 변경될 수 있다. 이에 따라, 토출 장치로부터 토출된 약액이 기판의 목표 위치에 정확하게 토출되기 어려울 수 있다.
한국등록특허 제10-1079772호
본 발명의 목적은 흡착 지지대의 평탄도가 유지될 수 있는 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 약액 토출 장치는 위치 및 각도가 고정되고, 필름이 접촉되는 지지 부재; 상기 필름이 상기 지지 부재에 가까워지거나 멀어지도록 승강되는 승강 부재; 상기 승강 부재와 인접하게 위치되고, 상기 필름의 장력이 유지될 수 있도록 상기 승강 부재의 이동과 연동되어 이동되는 장력 유지 부재; 및 상기 승강 부재가 상기 지지 부재로 이동되어 상기 필름이 지지 부재에 접촉되는 경우, 상기 필름에서 상기 지지 부재에 밀착된 부분을 가압하는 가압 유닛;을 포함한다.
한편, 상기 가압 유닛은, 탄성 변형 가능한 소재로 이루어지고, 상기 필름에 밀착되어 상기 필름을 가압하는 가압 부재; 상기 가압 부재와 결합되고, 상기 가압 부재를 승강시키는 제1 구동 부재; 및 상기 제1 구동 부재와 결합되고, 상기 제1 구동 부재가 상기 지지 부재를 따라서 이동될 수 있게 하는 제2 구동 부재;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 승강 부재는 지지 부재에 대해 직교하는 방향으로 승강될 수 있다.
한편, 상기 장력 유지 부재는 상기 승강 부재와 함께 이동될 수 있다.
한편, 상기 장력 유지 부재는 상기 승강 부재가 이동되고나서, 일정 시간 이후에 이동될 수 있다.
한편, 상기 승강 부재와 상기 장력 유지 부재는 한 쌍을 이루어 상기 지지 부재의 양단 각각에 인접하게 위치될 수 있다.
한편, 상기 지지 부재에 흡착된 상기 필름으로 약액을 토출하는 약액 토출 유닛;을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 약액 토출 방법은 약액 토출 장치로 약액을 필름에 토출하는 약액 토출 방법에 있어서, 상기 승강 부재와 장력 유지 부재를 상기 지지 부재로 이동시켜서 필름을 상기 지지 부재에 접촉시키는 필름 접촉 단계; 상기 필름에서 상기 지지 부재에 접촉된 부분을 상기 가압 유닛으로 가압하는 가압 단계; 및 약액을 상기 필름에 토출하는 약액 토출 단계;를 포함한다.
한편, 상기 약액 토출 단계는 잉크젯 방법 또는 스프레이 방법으로 약액을 필름에 토출할 수 있다.
한편, 상기 필름에 토출된 약액을 건조시키는 약액 건조 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 약액 토출 장치는 위치 및 각도가 고정된 지지 부재를 포함하고, 승강 부재와 장력 유지 부재에 의해 필름의 일부분이 이동된다. 이와 같이 지지 부재는 위치 및 각도가 전혀 변경되지 않으므로, 평탄도가 초기 상태 그대로 유지될 수 있다. 따라서, 약액 토출 유닛에서 토출된 약액이 필름의 목표 위치에 안정적으로 위치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치는 가압 유닛을 포함하여 필름의 들뜸을 방지한다. 필름의 일부분이 들뜨게 되는 경우, 들뜬 부분에 토출된 약액이 주변으로 흘러내릴 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치는 필름과 지지 부재 사이에 들뜸이 발생되지 않고 깔끔하게 밀착되도록 할 수 있다. 따라서, 약액이 필름의 목표 위치에 정확하게 토출된 이후에 다른 부분으로 이동되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치를 도시한 사시도이다.
도 2 내지 도 5는 약액 토출 장치의 동작과정을 순차적으로 도시한 도면이다.
도 2는 필름이 승강 부재와 장력 유지 부재에 의해 하강되는 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 필름이 지지 부재에 접촉된 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 가압 유닛이 필름을 가압하는 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 약액 토출 유닛이 약액을 필름에 토출하는 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 방법을 도시한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)는 지지 부재(110), 승강 부재(120), 장력 유지 부재(130) 및 가압 부재(141)를 포함한다.
지지 부재(110)는 필름(F)과 접촉된다. 이러한 지지 부재(110)는 위치 및 각도가 고정된다. 지지 부재(110)는 미도시된 프레임 또는 챔버의 바다면에 고정될 수 있다. 이와 같이 지지 부재(110)는 위치 및 각도가 전혀 변경되지 않으므로, 평탄도가 초기 상태 그대로 유지될 수 있다.
지지 부재(110)가 필름(F)을 진공 흡착하는 방식으로 흡착할 수 있다. 이를 위하여 지지 부재(110)에서 필름(F)과 접촉되는 부분에는 흡착홀(111)이 있을 수 있다. 흡착홀(111)은 미도시된 진공 펌프와 연결되어 주변의 공기를 흡입할 수 있다. 지지 부재(110) 상에 접촉된 필름(F)은 흡착홀(111)에 의해 지지 부재(110)에 안정적으로 밀착될 수 있다.
한편, 약액 토출 장치(100)에서 취급되는 필름(F)은 단층 구조 또는 다층 구조일 수 있다. 예를 들어, 필름(F)이 다층 구조인 경우, 필름(F)은 일례로 커버층, 베이스층 및 레지스트 층으로 이루어질 수 있다. 이러한 필름(F)의 소재는 폴리이미드 및 폴리이미드 복합체일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.
승강 부재(120)는 상기 필름(F)이 상기 지지 부재(110)에 가까워지거나 멀어지도록 승강된다. 상기 승강 부재(120)는 지지 부재(110)에 대해 직교하는 방향으로 승강될 수 있다. 즉, 지지 부재(110)는 판(plate) 형상이고 수평으로 배치될 수 있다. 승강 부재(120)는 판 형상의 지지 부재(110)에 대해 수직인 방향(상하방향)으로 왕복 이동될 수 있다. 승강 부재(120)는 직선 왕복 이동될 수도 있고, 원호 형상으로 곡선 왕복 이동될 수도 있다.
이와 같은 승강 부재(120)가 설치되는 위치는 일례로 도면에 도시된 방향을 기준으로 필름(F)보다 아래에 위치될 수 있다. 승강 부재(120)는 필름(F)의 하면을 지지할 뿐만 아니라, 필름(F)이 지지 부재(110)에 나란하게 위치되도록 할 수도 있다. 이러한 승강 부재(120)는 필름(F)이 이송되는 방향을 재설정하는 역할을 할 수 있다. 이를 위한 승강 부재(120)는 일례로 회전 롤러일 수 있으며, 회전 롤러는 필름(F)이 손상되지 않고 안정적으로 이송되도록 할 수 있다. 회전 롤러는 미도시된 모터에 의해 회전될 수 있다.
장력 유지 부재(130)는 상기 승강 부재(120)와 인접하게 위치된다. 장력 유지 부재(130)는 상기 필름(F)의 장력이 유지될 수 있도록 상기 승강 부재(120)의 이동과 연동되어 이동된다. 이러한 장력 유지 부재(130)도 승강 부재(120)와 같은 회전 롤러일 수 있다. 회전 롤러는 미도시된 모터에 의해 회전될 수 있다.
한편, 상기 장력 유지 부재(130)와 상기 승강 부재(120)가 이동될 수 있게 하기 위한 것은 실린더와 피스톤, 래크 기어와 피니언 기어, 레일과 이동체 등 다양한 것이 적용될 수 있으므로, 특정 장치로 한정하지는 않는다.
필름(F)은 미도시된 권취 롤러에 권취될 수 있으므로, 도면에 도시된 방향을 기준으로 승강 부재(120)가 하강되면, 필름(F)이 전체적으로 느슨해질 수 있다. 장력 유지 부재(130)가 필름(F)의 일부분을 눌러주면, 필름(F)이 전체적으로 팽팽해지면서 일정한 크기의 장력을 유지할 수 있다.
그리고, 장력 유지 부재(130)와 승강 부재(120)가 회전되면, 권취 롤러에 권취된 필름(F)이 다른 곳으로 이송될 수 있다. 즉, 장력 유지 부재(130)와 승강 부재(120)는 필름(F)이 필요한 장소로 필름(F)을 공급(feeding)하는 역할을 할 수 있다.
또한, 장력 유지 부재(130)는 승강 부재(120)와 함께 연동하여 이동되므로, 장력 유지 부재(130)와 승강 부재(120) 모두가 하강되면, 필름(F)이 지지 부재(110)에 접촉될 수 있다. 즉, 장력 유지 부재(130)는 필름(F)의 장력을 유지시키면서 필름(F)의 일부분이 지지 부재(110)에 접촉되도록 할 수 있다. 즉, 장력 유지 부재(130)는 필름(F)과 지지 부재(110)를 서로 접촉시키는 역할도 할 수 있다.
한편, 상기 승강 부재(120)와 상기 장력 유지 부재(130)는 한 쌍을 이루어 상기 지지 부재(110)의 양단 각각에 인접하게 위치될 수 있다. 이에 따라, 두 쌍의 상기 승강 부재(120)와 상기 장력 유지 부재(130) 각각은 필름(F)의 일부분이 지지 부재(110)에 안정적으로 접촉되도록 할 수 있다.
한편, 상기 장력 유지 부재(130)는 상기 승강 부재(120)와 함께 이동될 수 있다. 즉, 상기 장력 유지 부재(130)는 상기 승강 부재(120)과 동시에 이동될 수 있다. 이와 다르게, 상기 장력 유지 부재(130)는 상기 승강 부재(120)가 이동되고나서, 일정 시간 이후에 이동될 수 있다. 예를 들어, 상기 승강 부재(120)가 이동하고 1초 내지 수초가 지난후에 장력 유지 부재(130)가 이동하는 것도 가능할 수 있다.
가압 유닛(140)은 상기 승강 부재(120)가 상기 지지 부재(110)로 이동되어 상기 필름(F)이 지지 부재(110)에 접촉되는 경우, 상기 필름(F)에서 상기 지지 부재(110)에 밀착된 부분을 가압한다.
상기 가압 유닛(140)은 일례로, 가압 부재(141), 제1 구동 부재(142) 및 제2 구동 부재(143)를 포함할 수 있다.
가압 부재(141)는 탄성 변형 가능한 소재로 이루어지고, 상기 필름(F)에 밀착되어 상기 필름(F)을 가압할 수 있다. 가압 부재(141)는 고무 또는 실리콘 등의 소재로 이루어진 기둥 형상의 부재일 수 있다. 가압 부재(141)가 필름(F)을 가압하면 필름(F)이 지지 부재(110)에 들뜨지 않고 완전히 밀착될 수 있다.
제1 구동 부재(142)는 상기 가압 부재(141)와 결합된다. 제1 구동 부재(142)는 상기 가압 부재(141)를 승강시킬 수 있다. 제1 구동 부재(142)는 상하방향으로 설치될 수 있고, 일측에 가압 부재(141)가 결합될 수 있다.
제1 구동 부재(142)는 일례로 가압 부재(141)를 상하방향으로 왕복 이동 시킬 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다. 제1 구동 부재(142)가 가압 부재(141)를 상승 또는 하강시키면, 가압 부재(141)는 지지 부재(110)에 가까워지거나 멀어질 수 있다.
제2 구동 부재(143)는 상기 제1 구동 부재(142)와 결합된다. 제2 구동 부재(143)는 상기 제1 구동 부재(142)가 상기 지지 부재(110)를 따라서 이동될 수 있게 한다. 예를 들어, 제1 구동 부재(142)의 하단이 제2 구동 부재(143)에 결합될 수 있다.
제2 구동 부재(143)는 일례로 제1 구동 부재(142)를 좌우방향으로 왕복 이동 시킬 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다. 가압 부재(141)가 필름(F)에 밀착된 상태에서, 제2 구동 부재(143)가 제1 구동 부재(142)를 지지 부재(110)와 나란하게 이동시키면, 가압 부재(141)는 필름(F)에서 지지 부재(110)에 접촉된 부분 전체를 가압하면서 이동될 수 있다.
이와 같은 가압 유닛(140)은 필름(F)과 지지 부재(110) 사이에 기포가 발생되는 것을 방지함으로써, 필름(F)이 지지 부재(110)에 대해 들뜨지 않고 깔끔하게 밀착되도록 할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 토출 유닛(150)을 포함할 수 있다.
약액 토출 유닛(150)은 상기 지지 부재(110)에 흡착된 상기 필름(F)으로 약액을 토출할 수 있다. 약액 토출 유닛(150)은 일례로 잉크젯 헤드를 포함할 수 있다. 잉크젯 헤드는 약액을 토출할 수 있다. 잉크젯 헤드는 노즐을 포함할 수 있다. 노즐은 잉크젯 헤드의 저면(노즐면)에 위치되어 액적을 토출할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드는 복수의 노즐을 포함할 수 있다. 노즐의 개수는 128개 또는 256개일 수 있다. 상기 노즐들은 일정한 피치의 간격으로 나란하게 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 액적을 토출할 수 있다.
한편, 상기 잉크젯 헤드는 일례로 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자(도시되지 않음)를 포함할 수 있고, 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐을 통하여 액적을 토출할 수 있다. 예를 들어, 상기 노즐이 128개인 경우, 상기 압전 소자 또한 128개일 수 있다. 그리고, 상기 노즐이 256개인 경우, 상기 압전 소자 또한 256개일 수 있다. 그리고 상기 노즐로부터 토출되는 액적량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각각 독립적으로 조절될 수 있다.
이하에서는 전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)의 동작 과정에 대해 상세하게 설명하기로 한다.
도 2를 참조하면, 승강 부재(120)와 장력 유지 부재(130)가 하강할 수 있다. 이에 따라, 필름(F)의 일부 구간이 지지 부재(110)에 접촉될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 가압 유닛(140)의 가압 부재(141)가 지지 부재(110)로 하강할 수 있다.
그러고 나서, 도 4에 도시된 바와 같이, 가압 부재(141)가 지지 부재(110)의 상면을 따라서 이동되면서 필름(F)을 일정한 압력으로 가압할 수 있다. 다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 가압 부재(141)가 상승하고, 약액 토출 유닛(150)이 약액을 기판으로 토출할 수 있다.
전술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)는 위치 및 각도가 고정된 지지 부재(110)를 포함하고, 승강 부재(120)와 장력 유지 부재(130)에 의해 필름(F)의 일부분이 이동된다. 이와 같이 지지 부재(110)는 위치 및 각도가 전혀 변경되지 않으므로, 평탄도가 초기 상태 그대로 유지될 수 있다. 따라서, 약액 토출 유닛(150)에서 토출된 약액이 필름(F)의 목표 위치에 안정적으로 위치될 수 있다.
그리고, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)는 가압 유닛(140)을 포함한다. 필름(F)의 일부분이 들뜨게 되면, 들뜬 부분에 토출된 약액이 주변으로 흘러내릴 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(100)는 필름(F)과 지지 부재(110) 사이에 들뜸이 발생되지 않고 깔끔하게 밀착되도록 할 수 있다. 따라서, 약액이 필름(F)의 목표 위치에 정확하게 토출된 이후에 다른 부분으로 이동되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는 전술한 약액 토출 장치(100)로 약액을 필름에 토출하는 약액 토출 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 방법(S100)은 필름 접촉 단계(S110), 가압 단계(S120) 및 약액 토출 단계(S130)를 포함한다.
필름 접촉 단계(S110)는 상기 승강 부재와 장력 유지 부재를 상기 지지 부재로 이동시켜서 필름을 상기 지지 부재에 접촉시킨다. 전술한 바와 같이, 도면에 도시된 방향을 기준으로 상기 승강 부재와 장력 유지 부재가 하강하면, 필름의 일부 구간이 지지 부재에 접촉될 수 있다.
가압 단계(S120)는 상기 필름에서 상기 지지 부재에 접촉된 부분을 상기 가압 유닛으로 가압한다. 전술한 바와 같이, 도면에 도시된 방향을 기준으로 가압 유닛이 하강하였다가, 지지 부재의 왼쪽 단부로부터 오른쪽 단부로 이동되면서 필름을 가압하고, 다시 상승할 수 있다. 여기서, 가압 부재가 반드시 왼쪽에서 오른쪽으로 이동되는 것으로 한정하지는 않으며, 반대의 경우도 가능할 수 있다.
약액 토출 단계(S130)는 약액을 상기 필름에 토출한다. 상기 약액 토출 단계(S130)는 잉크젯 방법으로 약액을 필름에 토출할 수 있으며, 스프레이 방법으로 약액을 필름에 토출하는 것도 가능할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 방법(S100)은 약액 건조 단계(S140)를 포함할 수 있다.
약액 건조 단계(S140)는 상기 필름에 토출된 약액을 건조시킨다. 약액 건조 단계(S140)는 약액 토출 단계(S130) 이후에 실시될 수 있다.
약액 건조 단계(S140)에서는 발열판을 필름에 인접하게 위치시키고, 발열판을 가열하여 약액을 건조할 수 있다. 다만, 약액 건조 단계(S140)가 반드시 발열판을 사용하여 약액을 건조시키는 것으로 한정하지는 않는다.
이와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 방법(S100)은 앞서 설명한 약액 토출 장치의 동작 과정을 설명하면서 상세하게 설명하였으므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100: 약액 토출 장치
110: 지지 부재
120: 승강 부재
130: 장력 유지 부재
140: 가압 유닛
141: 가압 부재
142: 제1 구동 부재
143: 제2 구동 부재
150: 약액 토출 유닛
F: 필름

Claims (10)

  1. 위치 및 각도가 고정되고, 필름이 접촉되는 지지 부재;
    상기 필름이 상기 지지 부재에 가까워지거나 멀어지도록 승강되는 승강 부재;
    상기 승강 부재와 인접하게 위치되고, 상기 필름의 장력이 유지될 수 있도록 상기 승강 부재의 이동과 연동되어 이동되는 장력 유지 부재; 및
    상기 승강 부재가 상기 지지 부재로 이동되어 상기 필름이 지지 부재에 접촉되는 경우, 상기 필름에서 상기 지지 부재에 밀착된 부분을 가압하는 가압 유닛;을 포함하는 약액 토출 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가압 유닛은,
    탄성 변형 가능한 소재로 이루어지고, 상기 필름에 밀착되어 상기 필름을 가압하는 가압 부재;
    상기 가압 부재와 결합되고, 상기 가압 부재를 승강시키는 제1 구동 부재; 및
    상기 제1 구동 부재와 결합되고, 상기 제1 구동 부재가 상기 지지 부재를 따라서 이동될 수 있게 하는 제2 구동 부재;를 포함하는 약액 토출 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 승강 부재는 지지 부재에 대해 직교하는 방향으로 승강되는 약액 토출 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 장력 유지 부재는 상기 승강 부재와 함께 이동되는 약액 토출 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 장력 유지 부재는 상기 승강 부재가 이동되고나서, 일정 시간 이후에 이동되는 약액 토출 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 승강 부재와 상기 장력 유지 부재는 한 쌍을 이루어 상기 지지 부재의 양단 각각에 인접하게 위치되는 약액 토출 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재에 흡착된 상기 필름으로 약액을 토출하는 약액 토출 유닛;을 포함하는 약액 토출 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 약액 토출 장치로 약액을 필름에 토출하는 약액 토출 방법에 있어서,
    상기 승강 부재와 장력 유지 부재를 상기 지지 부재로 이동시켜서 필름을 상기 지지 부재에 접촉시키는 필름 접촉 단계;
    상기 필름에서 상기 지지 부재에 접촉된 부분을 상기 가압 유닛으로 가압하는 가압 단계; 및
    약액을 상기 필름에 토출하는 약액 토출 단계;를 포함하는 약액 토출 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 약액 토출 단계는 잉크젯 방법 또는 스프레이 방법으로 약액을 필름에 토출하는 약액 토출 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 필름에 토출된 약액을 건조시키는 약액 건조 단계를 포함하는 약액 토출 방법.
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