KR20210005445A - 표시 패널 제조 장치 - Google Patents

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KR20210005445A KR1020190081484A KR20190081484A KR20210005445A KR 20210005445 A KR20210005445 A KR 20210005445A KR 1020190081484 A KR1020190081484 A KR 1020190081484A KR 20190081484 A KR20190081484 A KR 20190081484A KR 20210005445 A KR20210005445 A KR 20210005445A
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Abstract

표시 패널 증착 설비는, 챔버(chamber), 상기 챔버 내부에 배치된 증착원, 복수 개의 증착 홀들을 포함하는 마스크, 상기 마스크 상에 배치된 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 배치된 가압부, 및 자력 보조부를 포함하고, 상기 가압부는, 상기 베이스 기판과 마주하고 제1 연결홈을 포함하는 냉각 플레이트, 상기 냉각 플레이트 상에 배치되고 상기 제1 연결홈과 중첩하는 제2 연결홈을 포함하는 지지 플레이트, 상기 냉각 플레이트 및 상기 지지 플레이트 사이에 배치되고, 상기 제1 연결홈과 중첩하는 개구부를 포함하는 자력 플레이트, 및 상기 제1 연결홈과 상기 제2 연결홈을 연결하는 체결부를 포함하고, 상기 자력 보조부는 상기 체결부에 중첩한다.

Description

표시 패널 제조 장치{MANUFACTURING DEVICE OF DISPLAY PANEL}
본 발명은 표시 패널 제조 장치에 관한 것으로, 상세하게는 신뢰성이 향상된 표시 패널 제조 장치에 관한 것이다.
표시 패널은 베이스 기판 상에 유기물 및 무기물 중 적어도 하나 이상을 증착하여 제조된다. 증착 공정은 증착 설비 내에서 진행된다. 상기 증착 설비는 진공 챔버, 진공 챔버 내에 배치된 적어도 하나의 증착원, 및 상기 베이스 기판을 이동시키는 이송 장치를 포함한다. 또한, 증착 설비는 자력을 이용하여 베이스 기판을 운송 및 고정할 수 있다.
본 발명에 따르면, 신뢰성이 향상된 표시 패널 증착 설비를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 증착 설비는, 챔버(chamber), 상기 챔버 내부에 배치된 증착원, 상기 증착원 상에 배치되고, 복수 개의 증착 홀들을 포함하는 마스크, 상기 마스크 상에 배치된 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 배치된 가압부, 및 상기 가압부에 배치된 자력 보조부를 포함하고, 상기 가압부는, 상기 베이스 기판과 마주하고 제1 연결홈을 포함하는 냉각 플레이트, 상기 냉각 플레이트 상에 배치되고 상기 제1 연결홈과 중첩하는 제2 연결홈을 포함하는 지지 플레이트, 상기 냉각 플레이트 및 상기 지지 플레이트 사이에 배치되고, 상기 제1 연결홈과 중첩하는 개구부를 포함하는 자력 플레이트, 및 상기 제1 연결홈과 상기 제2 연결홈을 연결하는 체결부를 포함하고, 상기 자력 보조부는, 평면상에서 상기 체결부에 중첩한다.
상기 자력 보조부는 상 자성체(paramagnetic)를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 상기 베이스 기판과 마주하는 상기 냉각 플레이트의 면 상에 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 평면상에서 상기 체결부와 동일 형상을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 평면상에서 상기 개구부 내에 배치되고, 상기 체결부를 커버하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 평면상에서 상기 개구부를 커버하고, 상기 자력 플레이트의 일부와 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 상기 제1 연결홈 내부에 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부 중 일 면은 상기 냉각 플레이트의 일 면과 동일 평면을 정의하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 체결부는 복수 개로 제공되고, 상기 자력 보조부는 복수 개로 제공되어 상기 체결부들 중 대응되는 체결부와 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는 인바(invar)를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 증착 설비는, 챔버(chamber), 상기 챔버 내부에 배치된 증착원, 상기 증착원 상에 배치되고, 복수 개의 증착 홀들을 포함하는 마스크, 상기 마스크 상에 배치된 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 배치된 가압부, 및 상기 가압부에 배치된 자력 보조부를 포함하고, 상기 가압부는, 냉각 플레이트, 상기 냉각 플레이트 상에 배치된 지지 플레이트, 상기 냉각 플레이트 및 상기 지지 플레이트 사이에 배치되고 자력 플레이트, 및 상기 자력 플레이트를 관통하여 상기 지지 플레이트 및 상기 자력 플레이트를 연결하는 체결부를 포함하고, 상기 자력 보조부는 상 자성체(paramagnetic)를 포함한다.
냉각 플레이트는 상기 체결부의 일 단이 연결되는 제1 연결홈을 포함하고, 상기 지지 플레이트는 상기 체결부가 관통하고, 상기 제1 연결홈과 중첩하는 제2 연결홈을 포함하고, 상기 지지 플레이트는 상기 체결부가 관통하고, 상기 제1 연결홈과 중첩하는 개구부를 포함하고, 상기 보조 자력부는, 평면상에서 상기 체결부에 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 상기 베이스 기판과 마주하는 상기 냉각 플레이트의 면 상에 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 평면상에서 상기 체결부와 동일 형상을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 평면상에서 상기 개구부 내에 배치되고, 상기 체결부를 커버하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 평면상에서 상기 개구부를 커버하고, 상기 자력 플레이트의 일부와 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부는, 상기 제1 연결홈 내부에 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 자력 보조부 중 일 면은 상기 냉각 플레이트의 일 면과 동일 평면을 정의하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 체결부는 복수 개로 제공되고, 상기 자력 보조부는 복수 개로 제공되어 상기 체결부들 중 대응되는 체결부와 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 상 자성체는 인바(invar)를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 표시 패널 제조 장치는 자력이 발생되지 않는 영역에 상자성체를 배 치 시킴으로써, 자력이 베이스 기판에 고루 분포될 수 있다. 이에 따라, 자력의 불균형으로 인한 쉐도잉 현상을 방지할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치를 도시한 단면도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 분해 사시도이다.
도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일 부분을 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압부의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다.
도 7b는 도 7a의 일 구성들의 평면도이다.
도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다.
도 8b는 도 8a의 일 구성들의 평면도이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합 된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치를 도시한 단면도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 분해 사시도이다. 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일 부분을 도시한 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
본 발명에 따른 표시 패널 제조 장치(EA)는 챔버(CH), 증착원(ES), 지지부(HM), 마스크(MS), 베이스 기판(BS), 마스크 프레임(SP), 가압부(PM), 이송부(DM), 및 자력 보조부(PR)를 포함할 수 있다. 표시 패널 제조 장치(EA)는 베이스 기판(BS) 상에 유기 물질 또는 도전 물질 등을 증착하는 장치일 수 있다.
챔버(CH)는 증착 공정이 진행될 수 있는 내부 공간을 제공한다. 챔버(CH)의 내부 공간에는 증착원(ES), 지지부(HM), 마스크(MS), 마스크 프레임(SP), 베이스 기판(BS), 가압부(PM), 및 자력 보조부(PR)가 배치될 수 있다.
증착원(ES)은 베이스 기판(BS)에 증착 물질을 제공한다. 예를 들어, 증착원(ES)은 마스크(MS) 측으로 유기 물질 또는 도전 물질 등 소정의 증착 물질을 증발 시킬 수 있다. 이때, 증착 물질은 마스크(MS)를 통과하여 베이스 기판(BS)에 증착될 수 있다. 이 경우, 증착원(ES)은 고온으로 증착 물질을 가열하여 증발시키는 방법으로 구현될 수 있다.
도시되지 않았으나, 표시 패널 제조 장치(EA)는 증착원(ES)를 수평 방향(D1, D2)으로 이동시키는 이송부를 더 포함할 수 있다.
지지부(HM)는 챔버(CH)의 측벽에 배치되어 마스크(MS)를 지지할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 지지부(HM)는 챔버(CH)의 내부에 배치되고, 마스크(MS)를 지지하는 것이면 위치에 한정되지 않는다.
마스크(MS)는 지지부(HM)에 결착될 수 있다. 도 1b 및 도 1c를 참조하면, 마스크(MS)는 마스크(MS)가 관통되어 정의된 증착 홀(MS-OP)를 포함할 수 있다. 증착원(ES)에서 공급 된 증착 물질은 증착 홀(MS-OP)를 통해 베이스 기판(BS)의 일 면 상에 제공될 수 있다.
도 1b를 참조하면, 마스크(MS)는 제1 방향(D1)으로 연장되고, 마스크(MS)는 복수 개로 제공되어 제2 방향(D2)으로 배열될 수 있다. 마스크(MS)는 금속을 포함할 수 있다. 따라서, 마스크(MS)는 자력을 가진 물체에 결합될 수 있다. 본 발명에 따른 마스크(MS)는 FMM(fine metal mask)로 제공될 수 있다.
베이스 기판(BS)은 증착의 대상이 되는 기판일 수 있다. 베이스 기판(BS)는 증착 영역들(VA)을 포함할 수 있다. 있다. 복수의 증착 영역들(VA)은 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 따라 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다. 복수의 증착 영역들(VA)은 증착 물질이 제공될 때 마스크(MS)의 증착 홀(MS-OP)에 의해 증착 물질에 노출되는 영역일 수 있다.
도 2를 참조하면, 베이스 기판(BS)에 증착 공정이 완료된 후 형성된 표시 패널(DP)의 단면도를 도시하였다.
표시 패널(DP)은 표시층(DPL), 박막 봉지층(TFE), 컬러 필터층(CFL), 및 보호층(PTL)을 포함한다.
표시층(DPL)은 베이스층(SUB), 화소(PX), 및 복수의 절연층들(IL1, IL2, IL3)을 포함한다. 화소(PX)는 박막 트랜지스터(TFT) 및 유기발광소자(OLED)를 포함한다.
베이스층(SUB) 상에 박막 트랜지스터(TFT)의 반도체 패턴(AL) 및 제1 절연층(IL1)이 배치된다. 제1 절연층(IL1)은 반도체 패턴(AL)을 커버한다.
제1 절연층(IL1) 상에 박막 트랜지스터(TFT)의 제어 전극(GE) 및 제2 절연층(IL2)이 배치된다. 제2 절연층(IL2)은 제어 전극(GE)을 커버한다. 제1 절연층(IL1) 및 제2 절연층(IL2) 각각은 유기막 및/또는 무기막을 포함한다. 제1 절연층(IL1) 및 제2 절연층(IL2) 각각은 복수의 박막들을 포함할 수 있다.
제2 절연층(IL2) 상에 박막 트랜지스터(TFT)의 입력 전극(SE)과 출력 전극(DE), 및 제3 절연층(IL3)이 배치된다. 제3 절연층(IL3)는 입력 전극(SE) 및 출력 전극(DE)을 커버한다.
입력 전극(SE) 및 출력 전극(DE)는 제1 절연층(IL1) 및 제2 절연층(IL2)을 관통하는 제1 관통홀(CH1) 및 제2 관통홀(CH2)을 통해 반도체 패턴(AL)에 각각 연결 된다. 한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제어 전극(GE), 입력 전극(SE), 출력 전극(DE), 및 반도체 패턴(AL)이 배치된 층은 다양하게 변경될 수 있고, 제어 전극(GE), 입력 전극(SE), 출력 전극(DE)은 별도의 관통 홀 없이 반도체 패턴(AL)에 직접 접촉될 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 트랜지스터(TFT)는 다양한 구조로 형성될 수 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.
제3 절연층(IL3) 상에는 유기발광소자(OLED) 및 화소 정의막(PDL)이 배치된다. 유기발광소자(OLED)는 제1 전극(AE), 발광 패턴(EML), 제2 전극(CE), 제2 전극(CE)과 발광 패턴(EML) 사이에 정의된 정공 수송 영역(CL1), 및 발광 패턴(EML)과 제2 전극(CE) 사이에 정의된 전자 수송 영역(CL2)을 포함한다. 제1 전극(AE)은 복수로 구비되어 각각 복수의 화소 영역들에 중첩하여 배치될 수 있다.
화소 정의막(PDL)은 제1 전극(AE) 상에 배치되고, 제1 전극(AE)의 적어도 일부를 노출시킨다. 화소 정의막(PDL)은 실질적으로 화소 영역을 정의 한다. 한편, 제1 전극(AE)은 제3 절연층(IL3)에 정의된 제3 관통홀(CH3)을 통해 출력 전극(DE)에 연결 된다.
정공 수송 영역(CL1)은 제1 전극(AE) 상에 배치되어 제1 전극(AE) 및 화소 정의막(PDL)을 커버한다. 정공 수송 영역(CL1)은 정공 주입층, 정공 수송층, 및 정공 주입 기능 및 정공 수송 기능을 동시에 갖는 단일층 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
발광 패턴(EML)은 정공 수송 영역(CL1) 상에 배치된다. 발광 패턴(EML)은 복수로 구비되어 발광영역들 각각에 중첩한다. 발광 패턴(EML)은 형광 물질 또는 인광 물질을 포함할 수 있다. 발광 패턴(EML)은 하나의 컬러를 가진 광을 생성하거나, 적어도 둘 이상의 컬러가 혼합된 광을 생성할 수 있다.
전자 수송 영역(CL2)은 발광 패턴(EML) 상에 배치되어 발광 패턴(EML) 및 정공 수송 영역(CL1)을 커버한다. 전자 수송 영역(CL2)은 전자 수송 물질 및 전자 주입 물질 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 전자 수송 영역(CL2)은 전자 수송 물질을 포함하는 전자 수송층이거나, 전자 수송 물질 및 전자 주입 물질을 포함하는 전자 주입/수송 단일층일 수 있다.
제2 전극(CE)은 전자 수송 영역(CL2) 상에 배치되어 제1 전극(AE)과 대향한다. 제2 전극(CE)은 전자 주입이 용이하도록 낮은 일함수를 가진 물질로 구성될 수 있다.
제2 전극(CE) 및 제1 전극(AE)은 발광 방식에 따라 다른 재질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 본 발명에 따른 표시 패널(DP)이 전면 발광형인 경우 제2 전극(CE)은 투과형 전극이고, 제1 전극(AE)은 반사형 전극일 수 있다.
또는, 예를 들어, 본 발명에 따른 표시 패널(DP)이 배면 발광형인 경우 제2 전극(CE)은 반사형 전극이고, 제1 전극(AE)은 투과형 전극일 수 있다. 한편, 제2 전극(CE) 및 제1 전극(AE)의 위치는 이에 한정되는 것이 아니며 변경될 수 있다.
본 발명에 따른 표시 패널(DP)은 다양한 구조의 유기발광소자를 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다.
제2 전극(CE) 상에 박막 봉지층(TFE)이 배치된다. 박막 봉지층(TFE)은 제2 전극(CE) 전면을 커버하여 유기발광소자(OLED)를 밀봉한다. 박막 봉지층(TFE)은 1㎛ 내지 10㎛의 두께를 가질 수 있다.
박막 봉지층(TFE)은 복수의 무기막들 및/또는 유기막들 을 포함할 수 있다. 무기막과 유기막은 교번하여 배치될 수 있다. 무기막은 수분/산소로부터 유기발광소자(OLED)를 보호하고, 유기막은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 유기발광소자(OLED)를 보호한다. 무기막은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄옥사이드층, 또는 알루미늄옥사이드층 등을 포함할 수 있다. 유기막은 아크릴 계열 유기막을 포함할 수 있고, 특별히 제한되지 않는다.
컬러 필터층(CFL)은 블랙 매트릭스(BM) 및 컬러 패턴들(CF)을 포함한다. 블랙 매트릭스(BM) 및 컬러 패턴들(CF)은 동일한 층상에 배치된다. 블랙 매트릭스(BM) 및 컬러 패턴들(CF)은 박막 봉지층(TFE) 상에 직접 배치되어 박막 봉지층(TFE)의 상면과 접촉한다.
블랙 매트릭스(BM)는 차광 물질로 구성될 수 있다. 블랙 매트릭스(BM)는 블랙 매트릭스(BM)에 입사되는 광을 흡수한다. 이에 따라, 블랙 매트릭스(BM)는 대체로 블랙 계열의 컬러를 가질 수 있다. 컬러 패턴들(CF)은 적어도 두 개의 서로 다른 컬러를 가진 컬러 패턴들을 포함한다. 컬러 패턴들(CF)은 네 개 이상의 컬러를 가질 수도 있고, 인접하는 컬러 패턴들 중 일부는 서로 동일한 컬러를 가질 수도 있다. 본 발명에 따른 컬러 필터층(CFL)은 다양한 실시예를 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예에 한정되지 않는다. 또한, 컬러 필터층(CFL)은 생략될 수도 있다.
보호층(PTL)은 컬러 필터층(CFL) 상에 배치되어 컬러 필터층(CFL)을 보호한다. 보호층(PTL)은 상부에 평탄면을 제공한다. 평탄면은 표시 패널(DP)의 전면에 대응된다. 한편, 이는 예시적으로 기재된 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)에 있어서, 보호층(PTL)은 생략될 수 있다.
본 발명의 마스크(MS)는 표시 패널(DP)을 구성하는 다양한 소자들의 제조 공정에 적용될 수 있다. 예를 들어, 도 1a에 도시된 베이스 기판(BS)은 정공 수송 영역(CL1) 층이 형성된 상태로 제공될 수 있다.
이후, 마스크(MS)를 통해 발광 패턴(EML)이 형성된다. 이에 따라, 마스크(MS)는 발광 패턴(EML) 형성 단계에 적용될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 기재된 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크(MS)는 다양한 공정에 적용될 수 있으며, 이에 한정하는 것은 아니다.
도 1b를 참조하면, 마스크 프레임(SP)은 마스크(MS) 및 베이스 기판(BS) 사이에 배치된다. 마스크 프레임(SP)은 베이스 기판(BS)의 증착 물질이 증착될 수 있도록 소정의 마스크 개구부(SP-OP)가 정의될 수 있다.
마스크 프레임(SP)은 복수 개의 마스크들이 부착되는 곳일 수 있다. 예를 들어, 제2 방향(D2)으로 배열된 마스크들은 마스크 프레임(SP)에 용접되어 부착될 수 있다.
마스크 프레임(SP)은 금속으로 이루어질 수 있다. 일 예시로, 마스크 프레임(SP)은 마스크(MS)와의 용이한 결합을 위해 용접 시 열 변형이 작은 소재를 포함할 수 있다.
도시되지 않았으나, 마스크 프레임(SP) 및 마스크들 사이에는 마스크들이 중력에 의한 처짐 현상을 방지하기 위한 스틱(stick)들이 포함될 수 있다. 스틱(stick)들은 도 1b에 도시된 증착 영역들(VA) 사이에 배치되어 증착 영역들(VA)의 경계를 정의할 수 있다.
가압부(PM)는 베이스 기판(BS) 상에 배치된다. 가압부(BS)는 베이스 기판(BS)과 마스크(MS)를 밀착시키는 기능을 가지며, 이에 따라 신뢰성이 향상된 증착 공정을 제공할 수 있다. 가압부(PM)는 냉각 플레이트(CP), 자력 플레이트(MP), 지지 플레이트(YK), 및 체결부(CM)를 포함한다.
냉각 플레이트(CP)는 베이스 기판(BS) 상에 배치된다. 냉각 플레이트(CP)는 증착 공정에서 베이스 기판(BS) 또는 마스크(MS)가 과열되는 것을 방지할 수 있도록, 베이스 기판(BS) 또는 마스크(MS)를 냉각시키는 기능을 제공한다. 이에 따라, 베이스 기판(BS)의 변형을 방지할 수 있다. 냉각 플레이트(CP)의 내부에는 냉각수(미도시) 또는 냉각된 공기가 주입되는 냉각 라인(미도시) 등이 구비될 수 있다.
자력 플레이트(MP)는 냉각 플레이트(CP) 상에 배치된다. 상세하게는, 자력 플레이트(MP)는 베이스 기판(BS)과 마주하는 냉각 플레이트(CP)의 일 면 상에 배치될 수 있다.
자력 플레이트(MP)는 베이스 기판(BS)과 마스크(MS)가 밀착된 상태에서 자기력을 형성하여 금속을 포함하는 마스크(MS)를 인력으로 끌어 댕긴다. 이에 따라, 베이스 기판(BS)과 마스크(MS)의 결합력을 증가시킬 수 있다.
자력 플레이트(MP)는 베이스 기판(BS)과 마스크(MS) 사이의 곡률 차이로 인해 발생되는 들뜸 현상을 방지하여, 증착 불량인 쉐도잉 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 자력 플레이트(MP)는 영구 자석 및 전자석 중 어느 하나로 제공될 수 있다.
지지 플레이트(YK)는 자력 플레이트(MP) 상에 배치된다. 지지 플레이트(YK)는 자력 플레이트(MP)가 배치되는 기저층으로 제공될 수 있다. 지지 플레이트(YK)에는 자력 플레이트(MP)가 부착된 상태로 제공될 수 있다.
체결부(CM)는 지지 플레이트(YK) 상에 배치되어 지지 플레이트(YK), 자력 플레이트(MP), 및 냉각 플레이트(CP)를 연결할 수 있다. 체결부(CM)는 플레이트(YK), 자력 플레이트(MP), 및 냉각 플레이트(CP) 각각을 관통하여 가압부(PM)의 구성들을 하나로 연결할 수 있다. 연결 형상 볼트/너트 형태로 연결되거나 접착제 등으로 연결될 수 있으며, 어느 하나에 한정되지 않는다.
이송부(DM)는 가압부(PM)에 연결된다. 이송부(DM)는 이송 로드(ML) 및 이송 본체(MC)를 포함할 수 있다. 이송 본체(MC)는 이송 로드(ML) 매개로 가압부(PM)를 제3 방향(D3) 즉, 상/하 방향으로 이송시킬 수 있다.
예를 들어, 이송 본체(MC)는 챔버(CH)의 외부에 배치될 수 있다. 이송 본체(MC)는 실린더 및 모터 중 어느 하나로 구현될 수 있다. 예를 들어, 이송 본체(MC)가 실린더인 경우, 이송 로드(ML)는 피스톤일 수 있다. 이송 본체(MC)가 모터인 경우, 이송 로드(ML)는 모터의 회전에 따라 상/하로 이동될 수 있는 볼 스크류 축으로 구현될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 이송부(DM)가 가압부(PM)을 이동시킬 수 있는 장치이면 어느 하나에 한정되지 않는다.
자력 보조부(PR)는 가압부(PM)에 배치된다. 도 1a에는 자력 보조부(PR)가 가압부(PM) 중 냉각 플레이트(CP)에 배치된 것을 예시적으로 도시하였다.
자력 부조부(PR)는 상 자성체(paramagnetic)를 포함할 수 있다. 자력 플레이트(MP)가 전자석인 경우, 자력 플레이트(MP)에 전류를 인가한 경우에만 자력 부조부(PR)는 자력을 갖는다. 자력 부조부(PR)는 인바(invar)소재의 합금으로 제공될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상 자성체(paramagnetic) 성질을 갖는 물질이면 어느 하나에 한정되지 않는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압부의 분해 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다. 도 1a 내지 도 2에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해 동일한 참조부호를 부여하며, 중복된 설명은 생략한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가압부(PM)의 구성들은 체결부(CM)에 결합될 수 있다. 가압부(PM)의 구성들 체결부(CM)가 관통되거나 결합될 수 있는 적어도 하나의 연결홈들을 포함할 수 있다.
예를 들어, 냉각 플레이트(CP)는 체결부(CM)가 연결될 수 있는 제1 연결홈(CP-H)을 포함한다. 제1 연결홈(CP-H)은 냉각 플레이트(CP)가 관통되어 정의될 수 있다. 또한, 체결부(CM)가 볼트로 제공될 경우, 제1 연결홈(CP-H)은 너트로 제공될 수 있으며 어느 하나로 한정되지 않는다.
지지 플레이트(YK)는 체결부(CM)가 관통될 수 있는 제2 연결홈(YK-H)을 포함한다. 제2 연결홈(YK-H)은 제1 연결홈(CP-H)과 중첩한다. 제2 연결홈(YK-H)은 지지 플레이트(YK)가 관통되어 정의될 수 있다.
자력 플레이트(MP)는 체결부(CM)가 관통될 수 있는 개구부(MP-H)를 포함한다. 개구부(MP-H)는 제1 연결홈(CP-H)과 중첩한다. 개구부(MP-H)는 자력 플레이트(MP)가 관통되어 정의될 수 있다. 본 실시예에서 개구부(MP-H)의 면적은 제1 연결홈(CP-H)보다 클 수 있다. 일 실시예에 따른 자력 플레이트(MP)는 평면상에서 체결부(CM)과 동일 형상을 가질 수 있다.
도 3에는 4개의 체결부들(CM) 및 이에 대응되는 연결홈들(CP-H, YK-H)과 개구부(MP-H)를 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 체결부(CM)의 개수는 어느 하나에 한정되지 않는다. 또한 자력 보조부(PR)는 체결부(CM)의 개수와 대응되도록 제공될 수 있다.
본 발명에 따르면, 도 1a에 도시된 마스크(MS) 중 체결부(CM)와 중첩하는 영역에는 체결부(CM)와 비 중첩하는 영역보다 상대적으로 자력이 약하게 미칠 수 있다. 자력 플레이트(MP) 중 체결부(CM)가 관통되는 영역인 개구부(MP-H)는 상대적으로 자력이 약하게 미치게 되므로, 자력 플레이트(MP)와 중첩하는 영역에 비해 상대적으로 베이스 기판(BS) 및 마스크(MS)의 결합력이 약화될 수 있다. 이에 따라, 체결부(CM)와 중첩하는 영역에서 베이스 기판(BS)과 마스크(MS)의 들뜸에 따른 쉐도잉 현상이 발생될 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 자력 보조부(PR)는 자력 플레이트(MP)에 의해 형성된 자력이 베이스 기판(BS) 및 마스크(MS)에 상대적으로 적게 미치는 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 자력 보조부(PR)는 체결부(CM)에 의해 관통된 자력 플레이트(MP)의 개구부(MP-H)와 중첩하여 배치될 수 있다.
도 4에는 자력 플레이트(MP)와 자력 보조부(PR)에 의해 형성된 자력선들(MFL-M, MFL-P)를 예시적으로 도시하였다.
제1 자력선(MFL-M)은 자력 플레이트(MP)에 의해 형성된 자력을 예시적으로 도시한 것이다. 본 발명에 따르면, 자력 플레이트(MP) 중 체결부(CM)가 관통된 개구부(MP-H)에는 자력 플레이트(MP)에 의한 자력이 단절됨에 따라 제1 자력선(MFL-M)이 마스크(MS) 및 베이스 기판(BS)에 형성되지 않는 영역이 발생할 수 있다.
본 발명에 따른 자력 보조부(PR)는 자력 플레이트(MP)의 개구부(MP-H)와 중첩하는 영역에 배치되고, 자력 플레이트(MP)에 의해 자력을 발생시킬 수 있다. 이로 인해 제1 자력선(MLF-M)이 형성되지 않는 영역에 자력을 전달함으로써 제2 자력선(MFL-P)을 형성할 수 있다. 이에 따라, 베이스 기판(BS)과 마스크(MS)에 균일한 자력을 전달될 수 있다.
본 발명에 따르면, 자력 플레이트(MP)와 체결부(CM)의 결합에 따라 자력이 발생되지 않거나, 인접한 지역보다 상대적으로 약한 자력이 발생되는 영역에 상 자성체를 성질을 갖는 자력 보조부(PR)을 배치시킴으로써, 베이스 기판(BS)과 마스크(MS)에 균일한 자력을 전달될 수 있다. 이에 따라, 자력의 불균형으로 인한 쉐도잉 현상을 방지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다. 도 1a 내지 도 4와 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.
도 5를 참조하면, 일 실시예에 따른 자력 보조부(PR-A)는 제1 연결홈(CP-H) 내부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 연결홈(CP-H)에는 체결부(CM)의 일부 및 자력 보조부(PR-A)가 배치될 수 있다. 자력 보조부(PR-A) 중 베이스 기판(BS)과 마주하는 일 면(PR-U)은 냉각 플레이트(CP) 중 베이스 기판(BS)과 마주하는 일 면(CP-U)과 동일 평면을 정의할 수 있다. 이에 따라, 가압부(PM)는 베이스 기판(BS)에 보다 인접하게 배치될 수 있다.
다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 자력 보조부(PR-A)는 제1 연결홈(CP-H) 내부에 배치되고, 자력 보조부(PR-A) 중 베이스 기판(BS)과 마주하는 일 면(PR-U)은 냉각 플레이트(CP) 중 베이스 기판(BS)과 마주하는 일 면(CP-U)보다 베이스 기판(BS)에 인접하게 돌출 수 있다.
도 5에는 체결부(CM)와 자력 보조부(PR-U)가 접촉된 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 냉각 플레이트(CP)에 의해 서로 이격될 수 있으며, 어나 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 6을 참조하면, 일 실시예에 따른 자력 플레이트(MP) 및 냉각 플레이트(CP)는 소정의 이격 공간(GP)를 가지고 서로 이격될 수 있다. 자력 플레이트(MP)는 지지 플레이트(YK)에 결합되어 이격 공간(GP)만큼 제3 방향(D3)을 따라 이동될 수 있다.
이에 따라, 냉각 플레이트(CP)가 베이스 기판(BS)에 인접하게 배치된 상태에서도 자력 플레이트(MP)의 위치를 조절하여 마스크(MS)에 가해지는 자력을 용이하게 조절할 수 있다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다. 도 7b는 도 7a의 일 구성들의 평면도이다. 도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 제조 장치의 일 구성들의 단면도이다. 도 8b는 도 8a의 일 구성들의 평면도이다. 도 1a 내지 도 4와 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다. 도 7b 및 도 8b에는 평면상에서 자력 보조부(PR-B, PR-C), 체결부(CM), 및 개구부(MP-H)의 형상을 간략하게 도시한 것이다.
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 일 실시예에 따른 자력 보조부(PR-B)는 평면상에서 개구부(MP-H) 내에 배치되고, 체결부(CM)를 커버할 수 있다. 따라서, 자력 보조부(PR-B)는 제1 연결홈(CP-H)과 인접한 냉각 플레이트(CP)의 일부와 접촉할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 개구부(MP-H)는 제1 방향(D1)에서 제1 너비(W1)를 갖는다. 체결부(CM)는 제1 방향(D1)에서 제2 너비(W2)를 가지고, 자력 보조부(PR-B)는 평면상에서 제1 방향(D1)에서 제3 너비(W3)를 갖는다.
제1 너비(W1)는 제2 너비(W2) 및 제3 너비(W3)보다 크다. 또한 제3 너비(W3)은 제2 너비(W2) 보다 크다. 따라서, 자력 보조부(PR-B)는 개구부(MP-H) 내에 배치되고, 체결부(CM)를 커버할 수 있다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 일 실시예에 따른 자력 보조부(PR-C)는 평면상에서 개구부(MP-H)를 커버하고, 자력 플레이트(CP)의 일부와 중첩할 수 있다. 자력 보조부(PR-B)는 제1 연결홈(CP-H)과 인접한 냉각 플레이트(CP)의 일부와 접촉할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 개구부(MP-H)는 제1 방향(D1)에서 제4 너비(W4)를 갖는다. 체결부(CM)는 제1 방향(D1)에서 제5 너비(W5)를 가지고, 자력 보조부(PR-C)는 제1 방향(D1)에서 제6 너비(W6)를 갖는다.
제6 너비(W6)는 제4 너비(W4) 및 제5 너비(W5)보다 크다. 따라서, 자력 보조부(PR-C)는 평면상에서 개구부(MP-H)를 커버하고, 자력 플레이트(CP)의 일부와 중첩할 수 있다.
도 7a 내지 도 8b를 참조하면, 일 실시예에 따른 자력 보조부들(PR-B, PR-C)의 크기를 조절함으로써, 자력이 베이스 기판(BS) 및 마스크(MS)에 상대적으로 적게 미치는 영역의 자력을 용이하게 조절할 수 있다. 이에 따라, 베이스 기판(BS)과 마스크(MS)에 균일한 자력을 전달 함으로써, 자력의 불균형으로 인한 쉐도잉 현상을 방지할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
EA: 표시 패널 제조 장치
CH: 챔버
ES: 증착원
HM: 안착부
MS: 마스크
BS: 베이스 기판
DM: 이송부
PM: 가압부
CM: 제결부
YK: 지지 플레이트
MP: 자력 플레이트
CP: 냉각 플레이트
CP-H: 제1 연결홈
YK-H: 제2 연결홈
MP-H: 개구부

Claims (20)

  1. 챔버(chamber);
    상기 챔버 내부에 배치된 증착원;
    상기 증착원 상에 배치되고, 복수 개의 증착 홀들을 포함하는 마스크;
    상기 마스크 상에 배치된 베이스 기판;
    상기 베이스 기판 상에 배치된 가압부; 및
    상기 가압부에 배치된 자력 보조부를 포함하고,
    상기 가압부는,
    상기 베이스 기판과 마주하고 제1 연결홈을 포함하는 냉각 플레이트,
    상기 냉각 플레이트 상에 배치되고 상기 제1 연결홈과 중첩하는 제2 연결홈을 포함하는 지지 플레이트,
    상기 냉각 플레이트 및 상기 지지 플레이트 사이에 배치되고, 상기 제1 연결홈과 중첩하는 개구부를 포함하는 자력 플레이트, 및
    상기 제1 연결홈과 상기 제2 연결홈을 연결하는 체결부를 포함하고,
    상기 자력 보조부는,
    평면상에서 상기 체결부에 중첩하는 표시 패널 증착 설비.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는 상 자성체(paramagnetic)를 포함하는 표시 패널 증착 설비.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    상기 베이스 기판과 마주하는 상기 냉각 플레이트의 면 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    평면상에서 상기 체결부와 동일 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    평면상에서 상기 개구부 내에 배치되고, 상기 체결부를 커버하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  6. 제3 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    평면상에서 상기 개구부를 커버하고, 상기 자력 플레이트의 일부와 중첩하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    상기 제1 연결홈 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 자력 보조부 중 일 면은 상기 냉각 플레이트의 일 면과 동일 평면을 정의하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 체결부는 복수 개로 제공되고,
    상기 자력 보조부는 복수 개로 제공되어 상기 체결부들 중 대응되는 체결부와 중첩하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는 인바(invar)를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  11. 챔버(chamber);
    상기 챔버 내부에 배치된 증착원;
    상기 증착원 상에 배치되고, 복수 개의 증착 홀들을 포함하는 마스크;
    상기 마스크 상에 배치된 베이스 기판;
    상기 베이스 기판 상에 배치된 가압부; 및
    상기 가압부에 배치된 자력 보조부를 포함하고,
    상기 가압부는,
    냉각 플레이트,
    상기 냉각 플레이트 상에 배치된 지지 플레이트,
    상기 냉각 플레이트 및 상기 지지 플레이트 사이에 배치되고 자력 플레이트, 및
    상기 자력 플레이트를 관통하여 상기 지지 플레이트 및 상기 자력 플레이트를 연결하는 체결부를 포함하고,
    상기 자력 보조부는 상 자성체(paramagnetic)를 포함하는 표시 패널 증착 설비.
  12. 제11 항에 있어서,
    냉각 플레이트는 상기 체결부의 일 단이 연결되는 제1 연결홈을 포함하고,
    상기 지지 플레이트는 상기 체결부가 관통하고, 상기 제1 연결홈과 중첩하는 제2 연결홈을 포함하고,
    상기 지지 플레이트는 상기 체결부가 관통하고, 상기 제1 연결홈과 중첩하는 개구부를 포함하고,
    상기 보조 자력부는,
    평면상에서 상기 체결부에 중첩하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    상기 베이스 기판과 마주하는 상기 냉각 플레이트의 면 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    평면상에서 상기 체결부와 동일 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    평면상에서 상기 개구부 내에 배치되고, 상기 체결부를 커버하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  16. 제13 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    평면상에서 상기 개구부를 커버하고, 상기 자력 플레이트의 일부와 중첩하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  17. 제11 항에 있어서,
    상기 자력 보조부는,
    상기 제1 연결홈 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 자력 보조부 중 일 면은 상기 냉각 플레이트의 일 면과 동일 평면을 정의하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  19. 제11 항에 있어서,
    상기 체결부는 복수 개로 제공되고,
    상기 자력 보조부는 복수 개로 제공되어 상기 체결부들 중 대응되는 체결부와 중첩하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.
  20. 제11 항에 있어서,
    상기 상 자성체는 인바(invar)를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 증착 설비.

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