KR20210004445A - 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치 - Google Patents

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김정훈
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Abstract

본 발명은, 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 대하여 마스크조립체를 이용하여 증착, 식각 등 기판처리를 수행하는 기판처리장치에 관한 것이다.
본 발명은, 마스크시트(100)와; 상기 마스크시트(100)의 가장자리를 지지하는 마스크프레임(200)과; 상기 마스크프레임(200)에 상기 마스크시트(100)와 결합되도록 구비되며, 상기 마스크시트(100)의 인장을 조절하는 인장조절수단(300)을 포함하며, 상기 인장조절수단(300)은, 상기 마스크시트(100)와 결합되고, 상기 마스크프레임(200)에 이동 가능하게 설치되는 인장부(310)와, 상기 인장부(310)를 구동하는 구동부(320)를 포함하는 마스크조립체를 개시한다.

Description

마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치{Mask assembly and substrate processing apparatus having the same}
본 발명은, 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 대하여 마스크조립체를 이용하여 증착, 식각 등 기판처리를 수행하는 기판처리장치에 관한 것이다.
기판처리장치는 밀폐된 처리공간에 전원을 인가하여 플라즈마를 형성함으로써 기판지지부 위에 안착된 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 기판처리를 수행하는 장치를 말한다.
이러한 기판처리장치에 의해 처리되는 기판은 기판처리의 종류에 따라서 일부 또는 전부에 마스크가 복개되어 기판처리가 수행될 수 있으며, 구체적으로는 패턴이 형성되는 패턴마스크, 기판의 가장자리에 위치하여 기판이 노출되는 오픈마스크 등이 이용될 수 있다.
이때, 마스크시트를 마스크프레임에 용접을 통해 결합하여 지지하는데, 기판처리대상인 기판이 대형화되면서, 마스크 또한 대형화되어 따라서 마스크가 처지는 문제점이 발생하고 있으며, 그 결과 마스크 및 기판의 얼라인이 원활하지 못하고 기판처리가 정밀하게 수행되지 못하는 문제점이 있다.
특히, 대면적 마스크의 경우 지지되는 가장자리와는 직접 지지되지 못하는 중심부로 갈수록 마스크시트 처짐 현상이 심화되며, 그 결과 마스크시트와 기판 간 접촉으로 인해 파티클이 발생하거나 공정불량을 야기하는 등 문제점이 있다.
또한, 일부 기판처리장치의 경우, 마스크와 기판 사이의 정밀한 얼라인을 위하여 비전검사등을 통해 얼라인을 개선하고 있으나, 마스크시트가 아래로 처지는 경우, 비전검사 등에 영향을 줘 마스크와 기판 사이의 정밀한 얼라인이 불가능한 문제점이 있다.
또한, 종래 마스크조립체의 경우 제작 또는 유지보수 시, 마스크시트를 마스크프레임에 인장 후 용접을 통해 결합하여야 하는 바, 조립 또는 유지보수에 시간과 비용이 많이 드는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 마스크시트에 인장력을 가할 수 있는 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치를 제공하는데 있다.
본 발명은, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 마스크시트(100)와; 상기 마스크시트(100)의 가장자리를 지지하는 마스크프레임(200)과; 상기 마스크프레임(200)에 상기 마스크시트(100)와 결합되도록 구비되며, 상기 마스크시트(100)의 인장을 조절하는 인장조절수단(300)을 포함하며, 상기 인장조절수단(300)은, 상기 마스크시트(100)와 결합되고, 상기 마스크프레임(200)에 이동 가능하게 설치되는 인장부(310)와, 상기 인장부(310)를 구동하는 구동부(320)를 포함하는 마스크조립체를 개시한다.
상기 인장부(310)는, 상기 구동부(320)에 의해 이동하는 이동부(312)와, 상기 이동부(312)에 상기 마스크시트(100)를 관통하도록 구비되어 상기 이동부(312)에 따른 이동을 통해 상기 마스크시트(100)에 인장력을 가하는 돌출걸림부(311)를 포함할 수 있다.
상기 이동부(312)는, 내주면에 제1나사산(313a)이 형성되는 관통공(313)을 포함하고, 상기 구동부(320)는, 외주면 중 적어도 일부에 제2나사산(321a)이 형성되어 상기 관통공(313)을 관통하여 상기 이동부(312)와 볼트결합되며, 회전을 통해 상기 이동부(312)를 선형 이동시키는 구동볼트(321)를 포함할 수 있다.
상기 구동부(320)는, 상기 마스크프레임(200)에 고정 설치되며, 상기 구동볼트(321)를 회전 가능하게 지지하는 복수의 지지부재(322)들을 포함할 수 있다.
상기 마스크프레임(200)은, 상면에 상기 인장조절수단(300)이 설치되는 설치홈(210)이 형성될 수 있다.
상기 설치홈(210)은, 간섭을 통해 상기 이동부(312)의 이동범위를 제한하도록, 상기 이동부(312)의 이동방향에 수직방향으로 단차지게 형성되는 단차부(211)를 포함할 수 있다.
상기 인장조절수단(300)은, 상기 설치홈(210)을 복개하며, 상기 돌출걸림부(311)가 관통된 상태로 이동 가능하도록 개구(331)가 형성되는 커버부재(330)를 포함할 수 있다.
상기 인장조절수단(300)은, 상기 마스크시트(100) 상측에서 상기 돌출걸림부(311)에 결합되어, 상기 마스크시트(100)를 가압 고정하는 고정캡(340)을 포함할 수 있다.
상기 고정캡(340)은, 상기 돌출걸림부(311)와 볼트 결합할 수 있다.
상기 마스크프레임(200)에 구비되어, 상기 마스크시트(100) 중 적어도 일부분을 상기 마스크프레임(200)에 고정 결합하는 고정부(400)를 추가로 포함할 수 있다.
또한 본 발명은, 기판처리를 위한 처리공간(S)을 형성하는 챔버(10)와; 상기 챔버(10)에 설치되어, 기판(1)이 안착되는 기판지지부(20)와; 상기 기판지지부(20)에 안착된 상기 기판(1)에 마스크시트(100)가 밀착하도록 상기 기판지지부(20)의 가장자리에 설치되는 마스크조립체(30)를 포함하는 기판처리장치를 개시한다.
본 발명에 따른 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치는, 마스크시트에 인장을 조절함으로써, 마스크시트의 중심측이 처지는 경우 인장력을 가하여 마스크시트의 수평을 유지할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치는, 마스크시트에 인장력을 가하는 것 뿐만 아니라 마스크시트의 인장을 조절할 수 있으므로, 마스크시트의 구체적인 위치를 조절할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치는, 종래 마스크조립체 수리 시, 마스크시트를 제거하고, 마스크시트를 설치 후 인장을 조절하는 비교적 간단한 방법을 통해 유시 보수가 가능하므로, 시간과 비용이 절감되는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치는, 마스크시트의 중심측이 처지는 등의 문제점을 방지함으로써, 기판과 마스크사이의 접촉을 방지하여 기판의 오염을 방지할 수 있으며, 더 나아가 기판과 마스크 사이의 정밀한 얼라인이 가능한 이점이 있다.
따라서, 본 발명에 따른 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치는, 마스크를 이용한 기판처리를 정밀하게 수행할 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 기판처리장치를 개략적으로 보여주는 개략도이다.
도 2는, 도 1의 기판처리장치 중 마스크조립체의 모습을 보여주는 평면도이다.
도 3은, 도 1의 기판처리장치 중 마스크조립체의 모습을 보여주는 분해사시도이다.
도 4는, 도 1의 기판처리장치 중 마스크조립체의 커버부재 및 마스크시트가 제거된 상태의 모습을 보여주는 평면도이다.
도 5a 및 도 5b는, 도 2의 기판처리장치 중 마스크조립체의 마스크시트 인장조절 전후의 모습을 보여주는 A-A방향 단면도들이다.
이하 본 발명에 따른 마스크조립체 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판처리장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판처리를 위한 처리공간(S)을 형성하는 챔버(10)와; 상기 챔버(10)에 설치되어, 기판(1)이 안착되는 기판지지부(20)와; 상기 기판지지부(20)에 안착된 상기 기판(1)에 마스크시트(100)가 밀착하도록 상기 챔버(10)에 설치되는 마스크조립체(30)를 포함한다.
여기서 본 발명에 따른 기판처리장치는 식각공정, 증착공정 등 기판(1)에 대한 기판처리공정을 수행하는 장치로서, 어떠한 장치도 가능하다.
또한, 본 발명의 처리대상인 기판(1)은, 증착, 식각 등 기판처리가 수행되는 구성으로서, 반도체 제조용기판, LCD 제조용기판, OLED 제조용기판, 태양전지 제조용기판, 투명 글라스기판 등 어떠한 기판도 가능하다.
특히, 상기 기판(1)은, 기판처리면에 소정 패턴의 기판처리 등이 수행되는 대상으로서, 마스크조립체(30)가 기판처리과정에서 이용될 수 있다.
상기 챔버(10)는, 기판처리를 위한 처리공간(S)을 형성하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 챔버(10)는, 서로 착탈가능하게 결합되어 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 챔버본체(11) 및 상부리드(12)를 포함할 수 있으며, 게이트(미도시)가 형성되어, 기판(1)이 도입되거나 배출될 수 있다.
상기 기판지지부(20)는, 챔버(10)에 설치되어, 기판(1)이 안착되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 기판지지부(20)는, 기판(1)이 안착되는 기판안착부(21)와, 기판안착부(21)가 상하이동 가능하도록, 기판안착부(21)의 하측에 설치되는 지지축(22)을 포함할 수 있다.
또한 상기 기판지지부(20)는, 기판처리를 위하여 기판(1)을 가열하거나, 냉각하는 등 온도제어를 위하여 온도제어부재가 추가로 설치될 수 있으며, 원활한 기판처리 및 기판의 도입, 배출을 위하여 상하이동이 가능할 수 있다.
상기 기판안착부(21)는, 상부면에 기판처리대상인 기판(1)이 안착되는 기판안착면(23)과, 기판안착면(23)의 가장자리에 단차를 가지고 형성되어 후술하는 마스크프레임(200)이 안착되는 마스크프레임안착면(24)을 포함할 수 있다.
즉, 마스크프레임안착면(24)이 기판안착면(23)보다 낮은 위치에 단차를 가지고 가장자리에서 형성됨으로써, 마스크프레임안착면(24)에 안착된 마스크프레임(200)의 상부에 위치하는 마스크시트(100)가 기판안착면(23)에 안착된 기판(1)의 전부 또는 일부에 밀착할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 기판처리장치는, 챔버(10)의 상측에 설치되어 처리공간(S)으로 기판처리를 위한 공정가스를 분사하는 가스분사부(40)를 추가로 포함할 수 있다.
전술한 기판처리장치의 구성은 종래 개시된 어떠한 형태의 구성도 적용 가능한 바, 상세한 설명은 생략한다.
한편, 본 발명에 따른 기판처리장치는, 기판지지부(20)에 안착된 기판(1)에 마스크시트(100)가 밀착하도록 챔버(10)에 설치되는 마스크조립체(30)를 포함할 수 있다.
상기 마스크조립체(30)는, 기판처리공정에서 기판(1)에 적용되는 종래 어떠한 형태의 마스크도 적용 가능하며, 예로서, 엣지마스크, 오픈마스크, 패턴마스크 등에 적용 가능하다.
한편, 상기 마스크조립체(30)는, 대형화된 기판(1)의 전부 또는 일부에 밀착함에 따라, 마스크프레임(200)에 의해 지지되는 가장자리를 제외한 중심측에서 처짐이 발생할 수 있으며, 이러한 처짐 발생으로 인해 기판(1)과의 접촉으로 기판(1)이 오염되거나, 정렬이 흐트러져 정밀한 기판처리가 어려운 문제점이 있다.
이와같은 문제점을 개선하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크조립체(30)는, 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 마스크시트(100)와; 상기 마스크시트(100)의 가장자리에 위치하는 마스크프레임(200)과; 상기 마스크프레임(200)에 상기 마스크시트(100)와 결합하도록 구비되며, 상기 마스크시트(100)의 인장을 조절하는 인장조절수단(300)을 포함한다.
상기 마스크시트(100)는, 가장자리가 마스크프레임(200)에 위치하며, 기판(1)의 전부 또는 일부에 밀착되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 마스크시트(100)는, 패턴이 형성되어 기판(1)의 전면에 밀착되도록 마스크프레임(200)에 지지되는 FMM(Fine Metal Mask)를 포함하는 패턴을 가지는 구성이거나, 기판(1)의 가장자리 일부만을 복개하도록, 중심에 하나의 개구를 가지는 구성일 수 있다.
즉, 상기 마스크시트(100)는, 기판처리면에 처리될 기판처리의 종류에 따라서 하나의 개구, 격자모양의 개구, 복수의 개구 등 다양한 패턴으로 형성될 수 있다.
상기 마스크프레임(200)은, 마스크시트(100)의 가장자리를 지지하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 마스크프레임(200)은, 기판지지부(20)의 가장자리에 형성되는 마스크프레임안착면(24)에 안착되어 지지될 수 있으며, 기판(1) 및 기판지지부(20)의 평면 형상에 대응되는 형상으로서, 예를 들어 직사각형 형상일 수 있다.
상기 마스크프레임(200)은, 상면에 인장조절수단(300)이 설치되는 설치홈(210)이 형성될 수 있다.
상기 설치홈(210)은, 마스크프레임(200) 상면에 형성될 수 있으며, 인장조절수단(300)이 안정적으로 삽입 설치되도록 하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 설치홈(210)은, 인장조절수단(300)이 설치되는 마스크프레임(200) 상면에 가공을 통해 홈으로 형성될 수 있으며, 마스크시트(100)에 인장을 가하기 위하여 마스크프레임(200) 각 변에 대하여 수직방향으로 형성되어 인장조절수단(300)이 삽입설치되는 홈부(212)와, 홈부(212)에서 이동부(312)의 이동방향에 수직방향으로 연장형성되어, 이동부(312)의 일정범위 이상의 이동에 따른 간섭을 통해 이동부(312)의 이동범위를 제한하는 단차부(211)를 포함할 수 있다.
상기 홈부(212)는, 마스크프레임(200)의 상면을 가공을 통해 형성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 마스크프레임(200)의 각변에 대하여 평면 상 수직방향으로 가공하여, 후술하는 구동볼트(321)가 길이방향으로 설치될 수 있다.
상기 단차부(211)는, 홈부(212)로부터 이동부(312)의 이동방향에 수직방향으로 연장형성되어, 이동부(312)의 일정범위 이상의 이동에 따른 간섭을 통해 이동부(312)의 이동범위를 제한하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
즉, 상기 단차부(211)는, 이동부(312)의 이동범위를 제한하면서도, 홈부(212)로부터 단차를 가지고 연장형성되어, 이동부(312)가 마스크프레임(200)과 접촉없이 지지되도록 하여 이동을 원활하게 하도록 할 수 있다.
상기 인장조절수단(300)은, 마스크프레임(200)에 마스크시트(100)와 결합하여 구비되어, 마스크시트(100)의 인장을 조절하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 인장조절수단(300)은, 마스크시트(100)와 결합되고, 마스크프레임(200)에 이동 가능하게 설치되는 인장부(310)와, 인장부(310)를 구동하는 구동부(320)를 포함할 수 있다.
즉, 상기 인장조절수단(300)은, 마스크프레임(200)에 의해 가장자리가 지지되는 마스크시트(100)가 중심측에서 처지는 것을 방지하기 위하여, 마스크프레임(200)의 외측방향으로 마스크시트(100)를 당겨 마스크시트(100)에 인장력을 가하거나, 마스크프레임(200)의 외측방향으로 마스크시트(100)를 당기는 외력을 조절하여 마스크시트(100)의 인장을 조절할 수 있다.
또한, 상기 인장조절수단(300)은, 이동부(312) 및 구동부(320)를 복개하도록 마스크프레임(200)에 결합되며, 돌출걸림부(311)가 관통한 상태에서 이동 가능하도록 개구(331)가 형성되는 커버부재(330)를 포함할 수 있다.
더 나아가, 상기 인장조절수단(300)은, 마스크시트(100) 상측에서 돌출걸림부(311)에 결합되어, 마스크시트(100)를 가압 고정하는 고정캡(340)을 추가로 포함할 수 있다.
상기 인장부(310)는, 마스크시트(100)와 결합되고, 마스크시트(100)와 결합된 상태에서 마스크프레임(200)에 이동 가능하게 설치되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
즉, 상기 인장부(310)는, 마스크시트(100)와 결합된 상태에서 마스크프레임(200)에 이동 가능하게 설치되어, 마스크프레임(200)에서 이동함으로써, 마스크시트(100)에 인장력을 가하는 구성일 수 있다.
예를 들면, 상기 인장부(310)는, 구동부(320)에 의해 이동하는 이동부(312)와, 이동부(312)의 상부면에 마스크시트(100)를 관통하도록 구비되어 이동부(312)에 따른 이동을 통해 마스크시트(100)에 인장력을 가하는 돌출걸림부(311)를 포함할 수 있다.
상기 이동부(312)는, 구동부(320)에 의해 마스크프레임(200)에서 이동하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 이동부(312)는, 후술하는 구동부(320)가 구동볼트(321)인 경우 구동볼트(321)에 체결되어 구동볼트(321)의 회전에 의해 선형이동되도록 상기 구동볼트가 결합되는 너트를 포함할 수 있다.
즉, 상기 이동부(312)는, 내주면에 제1나사산(313a)이 형성되는 관통공(313)을 포함하는 너트로서, 후술하는 구동볼트(321)의 외주면 중 적어도 일부에 제1나사산(313a)에 대응되는 제2나사산(321a)이 형성되어 볼트결합을 통해 구동볼트(321)와 결합될 수 있다.
한편, 다른 예로서 상기 이동부(312)는, 구동부(320)에 의해 회전, 선형 또는 이들의 조합으로 이동 가능한 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 돌출걸림부(311)는, 이동부(312)에 마스크시트(100)를 관통하도록 구비되어 이동부(312)에 따른 이동을 통해 마스크시트(100)에 인장력을 가하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 돌출걸림부(311)는, 마스크프레임(200)에 지지되는 마스크시트(100)의 가장자리를 관통하여 마스크시트(100)가 돌출걸림부(311)에 걸쳐 결합되도록 이동부(312)의 상부면에 돌출되어 구비될 수 있다.
이 경우, 상기 돌출걸림부(311)는, 마스크프레임(200)에 지지되는 마스크시트(100)에 걸려 결합됨으로써, 이동부(312)의 이동에 의해 마스크시트(100)를 이동시킴으로써 마스크시트(100)에 인장력을 가할 수 있다.
또한 상기 돌출걸림부(311)는, 커버부재(330) 및 마스크시트(100)를 관통하여 고정캡(340)과 결합할 수 있으며, 고정캡(340)과 볼트결합하기 위하여, 외주면의 적어도 일부에 나사산(311a)이 형성될 수 있다.
상기 구동부(320)는, 인장부(310)를 구동함으로써, 마스크시트(100)의 인장을 조절하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 구동부(320)는, 외주면 중 적어도 일부에 제2나사산(321a)이 형성되어 관통공(313)을 관통하여 이동부(312)와 볼트결합되며, 회전을 통해 이동부(312)를 선형 이동시키는 구동볼트(321)를 포함할 수 있다.
또한 상기 구동부(320)는, 구동볼트(321)에 결합되어, 구동볼트(321)를 회전가능하게 지지하는 복수의 지지부재(322)들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 구동부(320)는, 구동볼트(321)에 결합되는 복수의 지지부재(322)들이 구동볼트(321)로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해 복수의 지지부재(322)에 인접하여 구동볼트(321)에 결합설치되는 복수의 스냅링(323)들을 추가로 포함할 수 있다.
상기 구동볼트(321)는, 마스크프레임(200)의 상면에 형성되는 설치홈(210)에 설치되며, 이동부(312)의 이동방향을 길이방향으로 하여 설치될 수 있다.
상기 구동볼트(321)는, 외주면 중 적어도 일부에 이동부(312)와의 볼트결합을 위한 제2나사산(321a)이 형성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 이동부(312)의 이동범위를 제한하기 위하여 제2나사산(321a)이 외주면 중 길이방향으로 단차부(211)에 대응되는 위치까지만 형성될 수 있다.
이를 통해, 상기 구동볼트(321)는, 수동 또는 자동으로 회전하여, 이동부(312)를 길이방향으로 선형이동 시킬 수 있으며, 이동부(312)의 선형이동으로 돌출걸림부(311)가 이동하여 마스크시트(100)에 인장력을 가할 수 있다.
상기 복수의 지지부재(322)들은, 마스크프레임(200)에 고정 설치되어, 구동볼트(321)를 회전 가능하게 지지하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 복수의 지지부재(322)들은, 베어링으로서, 구동볼트(321)에 결합된 이동부(312)를 기준으로 양측에 이동부(312)와 이격되어 결합될 수 있으며, 홈부(212)에 고정 설치되어 구동볼트(321)를 마스크프레임(200)으로부터 이격하여 지지할 수 있다.
이때, 상기 복수의 지지부재(322)들은, 홈부(212)에 고정 설치되어 구동볼트(321)를 지지하고, 이동부(312)보다 짧은 반경을 가짐으로써, 이동부(312)가 단차부(211) 내에서 이동하도록 할 수 있다.
상기 복수의 스냅링(323)들은, 구동볼트(321)에 결합되는 복수의 지지부재(322)들이 구동볼트(321)로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해 복수의 지지부재(322)에 인접하여 구동볼트(321)에 결합 설치되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
이때, 상기 복수의 스냅링(323)들은, 구동볼트(321)에 결합되는 복수의 지지부재(322)들이 구동볼트(321)로부터 이탈하는 것을 방지할 뿐만 아니라, 구동볼트(321)가 결합된 지지부재(322)에 대하여 원활하게 상대회전 가능하도록 할 수 있다.
즉, 상기 복수의 스냅링(323)들은, 구동볼트(321)에 결합되는 복수의 지지부재(322)와 구동볼트(321) 사이에 적어도 일부가 끼워져 설치됨으로써, 구동볼트(321)의 복수의 지지부재(322)에 대한 상대회전이 원활하도록 할 수 있다.
상기 복수의 스냅링(323)들은, 구동볼트(321)에 결합되는 지지부재(322)를 기준으로 양측면에 접촉되어 결합될 수 있으며, 이를 통해 지지부재(322)가 구동볼트(321)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 구동부(320)는, 전술한 실시예에 한정되는 것이 아니라, 인장부(310)를 선형, 회전 이동시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
즉, 상기 구동부(320)는, 인장부(310)를 이동시키기 위한 것으로서, 유압구동, 모터구동, 캠구동 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 커버부재(330)는, 이동부(312) 및 구동부(320)를 복개하도록마스크프레임(200)에 결합되며, 돌출걸림부(311)가 관통한 상태에서 이동 가능하도록 개구(311)가 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
즉, 상기 커버부재(330)는, 마스크프레임(200)의 상부면에 인장조절수단(300)의 설치를 위해 형성된 설치홈(210)을 복개하여, 마스크시트(100)가 마스크프레임(200)에 평탄하게 지지되도록 하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 커버부재(330)는, 평면 상 사각형 형상으로서, 각 꼭지점 측에 마스크프레임(200)과 결합하기 위한 볼트공(332)이 형성되고, 볼트(333)를 통해 결합할 수 있다.
또한, 상기 커버부재(330)는, 돌출걸림부(311)가 관통한 상태에서 커버부재(330)에 대하여 상대이동 가능하도록 개구(331)가 형성될 수 있다.
한편, 상기 커버부재(330)는, 마스크프레임(200)의 상측에 설치된 상태에서 마스크시트(100)가 상부면에 위치할 수 있으며, 공정과정에서 손상 및 오염물질 생성을 최소화하기 위하여 내화학성이 뛰어난 세라믹, 알루미늄 재질일 수 있다.
상기 개구(331)는, 돌출걸림부(311)가 커버부재(330)를 관통한 상태에서 커버부재(330)에 대하여 상대이동 가능하도록 커버부재(330)에 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 개구(331)는, 돌출걸림부(311)의 선형이동이 원활하도록 이동방향으로 장축을 가지는 타원형상이거나, 또는 슬롯형상일 수 있다.
상기 고정캡(340)은, 마스크시트(100) 상측에서 돌출걸림부(311)에 결합되어, 마스크시트(100)를 가압 고정하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 고정캡(340)은, 돌출걸림부(311)에 끼워져 결합되어, 마스크시트(100)를 상측에 가압 고정하거나, 돌출걸림부(311)의 외주면에 형성되는 나사산(311a)에 대응되어 볼트 결합함으로써, 마스크시트(100)를 가압 고정할 수 있다.
이때, 상기 고정캡(340)은, 전술한 커버부재(330)와 마찬가지로, 공정과정에서 공정가스에 의해 손상 및 오염물질 생성을 최소화하기 위하여 내화학성이 뛰어난 세라믹, 알루미늄 등의 재질을 이용할 수 있다.
또한, 상기 고정캡(340)은, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 돌출걸림부(311)에 끼워져 결합되는 구성뿐만 아니라, 다른 예로서 'ㄱ'자 형태로 돌출걸림부(311)에 걸려 고정되는 구성일 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 마스크조립체는, 평면 상 직사각형 형상의 마스크프레임(200)에 복수개의 인장조절수단(300)이 설치될 수 있으며, 예로서, 장변에 일정간격으로 3개의 인장조절수단이, 단변이 일정 간격으로 2개의 인장조절수단이 각각 설치될 수 있다.
또한, 다른 예로서 꼭지점을 중심으로 대칭되어 장변 및 단변에 인장조절수단(300)이 각각 설치됨으로써, 마스크시트(100)에 인장력을 가할 수 있다.
또한, 다른 예로서, 본 발명에 따른 마스크조립체는, 마스크프레임(200)에 구비되어, 마스크시트(100) 중 적어도 일부분을 마스크프레임(200)에 고정 결합하는 고정부(400)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 고정부(400)는, 마스크시트(100) 중 적어도 일부분을 마스크프레임(200)에 직접 결합하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 고정부(400)는, 마스크시트(100)를 관통하여 마스크프레임(200)에 고정설치되는 구성으로서, 마스크시트(100)의 위치를 고정할 수 있으며, 보다 구체적으로는, 마스크프레임(200)의 일 단변에 복수개 설치되어 마스크시트(100)의 위치를 고정하고, 타 단변에 인장조절수단(300)이 구비되어, 마스크시트(100)에 인장을 조절함으로써, 마스크시트(100)의 위치가 얼라인된 상태에서 마스크시트(100)의 인장을 조절할 수 있다.
한편, 고정부(400)와 인장조절수단(300)의 마스크프레임(200) 내 위치관계는 전술한 바에 한정되는 것이 아니라 다양한 배치가 가능함은 또한 물론이다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
1: 기판 10: 챔버
20: 기판지지부 30: 마스크조립체
100: 마스크시트 200: 마스크프레임
300: 인장조절수단 400: 고정부

Claims (11)

  1. 마스크시트(100)와;
    상기 마스크시트(100)의 가장자리를 지지하는 마스크프레임(200)과;
    상기 마스크프레임(200)에 상기 마스크시트(100)와 결합되도록 구비되며, 상기 마스크시트(100)의 인장을 조절하는 인장조절수단(300)을 포함하며,
    상기 인장조절수단(300)은,
    상기 마스크시트(100)와 결합되고, 상기 마스크프레임(200)에 이동 가능하게 설치되는 인장부(310)와, 상기 인장부(310)를 구동하는 구동부(320)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 인장부(310)는,
    상기 구동부(320)에 의해 이동하는 이동부(312)와, 상기 이동부(312)에 상기 마스크시트(100)를 관통하도록 구비되어 상기 이동부(312)에 따른 이동을 통해 상기 마스크시트(100)에 인장력을 가하는 돌출걸림부(311)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 이동부(312)는,
    내주면에 제1나사산(313a)이 형성되는 관통공(313)을 포함하고,
    상기 구동부(320)는,
    외주면 중 적어도 일부에 제2나사산(321a)이 형성되어 상기 관통공(313)을 관통하여 상기 이동부(312)와 볼트결합되며, 회전을 통해 상기 이동부(312)를 선형 이동시키는 구동볼트(321)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 구동부(320)는,
    상기 마스크프레임(200)에 고정 설치되며, 상기 구동볼트(321)를 회전 가능하게 지지하는 복수의 지지부재(322)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 마스크프레임(200)은,
    상면에 상기 인장조절수단(300)이 설치되는 설치홈(210)이 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 설치홈(210)은,
    간섭을 통해 상기 이동부(312)의 이동범위를 제한하도록, 상기 이동부(312)의 이동방향에 수직방향으로 단차지게 형성되는 단차부(211)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 인장조절수단(300)은,
    상기 설치홈(210)을 복개하며, 상기 돌출걸림부(311)가 관통된 상태로 이동 가능하도록 개구(331)가 형성되는 커버부재(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 인장조절수단(300)은,
    상기 마스크시트(100) 상측에서 상기 돌출걸림부(311)에 결합되어, 상기 마스크시트(100)를 가압 고정하는 고정캡(340)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 고정캡(340)은,
    상기 돌출걸림부(311)와 볼트 결합하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 마스크프레임(200)에 구비되어, 상기 마스크시트(100) 중 적어도 일부분을 상기 마스크프레임(200)에 고정 결합하는 고정부(400)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.
  11. 기판처리를 위한 처리공간(S)을 형성하는 챔버(10)와;
    상기 챔버(10)에 설치되어, 기판(1)이 안착되는 기판지지부(20)와;
    상기 기판지지부(20)에 안착된 상기 기판(1)에 마스크시트(100)가 밀착하도록 상기 기판지지부(20)의 가장자리에 설치되는 청구항 제1항 내지 제10항 중 어느 하나의 항에 따른 마스크조립체(30)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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