KR101862829B1 - 진공 가열 건조장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 압력변화 및 입자의 비산 없이 기판에 도포된 도포액을 진공 및 열을 이용하여 건조하는 진공 가열 건조장치에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 기판이 수용되는 챔버유닛; 상기 챔버유닛 내부공간의 하단에 배치되어, 상기 챔버유닛에 고정된 상태에서 상기 기판을 지지하는 지지핀 어셈블리; 상기 챔버유닛 내부공간의 온도를 상승시키는 가열 어셈블리; 상기 챔버유닛 내부공간을 감압하는 진공유닛;을 포함하며, 상기 가열 어셈블리는 상기 챔버유닛을 관통하면서 상기 챔버유닛과 결합되는 튜브유닛과, 상기 챔버유닛 내부의 온도를 상승시키며, 상기 챔버유닛 외부에서 착탈이 가능하고 상기 튜브유닛의 내부공간을 관통하며 배치되는 히터유닛을 포함하고, 상기 튜브유닛의 내부공간에 배치된 히터유닛의 가열에 의해 상기 기판에 도포된 도포액이 건조되는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치를 제공한다.
이를 위해, 본 발명은 기판이 수용되는 챔버유닛; 상기 챔버유닛 내부공간의 하단에 배치되어, 상기 챔버유닛에 고정된 상태에서 상기 기판을 지지하는 지지핀 어셈블리; 상기 챔버유닛 내부공간의 온도를 상승시키는 가열 어셈블리; 상기 챔버유닛 내부공간을 감압하는 진공유닛;을 포함하며, 상기 가열 어셈블리는 상기 챔버유닛을 관통하면서 상기 챔버유닛과 결합되는 튜브유닛과, 상기 챔버유닛 내부의 온도를 상승시키며, 상기 챔버유닛 외부에서 착탈이 가능하고 상기 튜브유닛의 내부공간을 관통하며 배치되는 히터유닛을 포함하고, 상기 튜브유닛의 내부공간에 배치된 히터유닛의 가열에 의해 상기 기판에 도포된 도포액이 건조되는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치를 제공한다.
Description
본 발명은 진공 가열 건조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 압력변화 및 입자의 비산 없이 기판에 도포된 도포액을 진공 및 열을 이용하여 건조하는 진공 가열 건조장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diode) 또는 FED(Field Emission Display)등에 사용되는 평판표시소자용 기판을 제조하기 위한 공정들 중, 기판에 포트레지스트 등과 같은 도포액을 도포하는 공정이 포함된다. 이때, 기판에 도포된 도포액이 경화되지 않은 상태에서 기판이 이송되면 도포액이 한쪽으로 쏠리는 현상이 발생한다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 상기 기판에 도포된 도포액을 건조하여 가경화한 후에 기판을 이송함으로써 이송 중에 도포액이 쏠리는 현상을 방지할 수 있게 된다.
위와 같이, 기판에 도포된 도포액을 가경화 하기 위해서는 도포액에 함유된 용매를 건조해야 하는데, 이를 위해서 압력차를 이용해 상기 용매를 건조시켜 제거함으로써 도포액을 가경화하는 진공 건조장치가 개발되어 사용되고 있다.
종래의 진공 건조장치는 압력차만을 이용하여 솔벤트 등과 같은 용매를 건조하므로, 용매의 건조 효율이 저하되는 문제점을 가지고 있다.
또한, 종래의 진공 건조장치의 구조는 기판이 수용되어 건조되는 챔버와, 챔버 내에서 기판의 로딩, 언 로딩 과정을 진행하기 위해서 상기 챔버에 형성된 관통 홀을 따라 상하 이동이 가능한 리프트 핀과, 리프트 핀을 구동하기 위한 조립체롤 포함하여 형성된다.
도 1은 상기한 진공 건조장치를 개략적으로 보여주는 도면으로서, 이를 참조하여 종래 기술의 진공 건조장치를 설명하면 다음과 같다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 진공 건조장치는 일측에 게이트가 구비되어 진공 상태로 전환이 가능하도록 이루어져 내부에서 공정 처리가 수행되는 챔버(10)와, 상기 챔버(10) 내부의 상부 영역에 위치되는 상부히터(12)와, 상기 상부히터(12)의 하부에 위치되며, 그 상부에 기판(80)이 위치하는 하부히터(14)로 구성된다.
여기서 상기 상부히터(12)가 배치되는 높이에서는 상기 기판(80)에 공정 가스를 분사하는 샤워 헤드(Shower head)가 구비될 수 있다.
상기 하부히터(14)가 배치되는 영역에서는 상기 기판(80)을 로딩, 언 로딩할 때 기판(80)을 상승 및 하강시킬 수 있도록 다수개의 리프트 핀(20)들이 구비된다.
상기 하부히터(14)에는 리프트 핀(20)이 통과하도록 다수개의 핀 홀(16)이 형성된다.
따라서 상기 리프트 핀(20)이 핀 홀(16)을 따라 상승 및 하강하면서 기판(80)을 들어 올리거나 챔버(10)의 내부로 투입된 기판(80)을 하부히터(14)의 상부에 탑재시키는 역할을 하게 된다.
즉, 상기 리프트 핀(20)은 챔버(10) 외부에서 운송 장비에 의하여 반입된 기판(80)을 소정 높이만큼 들어 올린후, 운송 장비가 챔버(10) 밖으로 이동하면 기판(80)을 하강시켜 하부히터(14)의 상부에 탑재하는 역할을 하고, 처리된 기판(80)을 배출할 때는 상기와 반대로 기판(80)을 다시 들어 올린 후에 챔버(10) 밖으로 이송할 수 있도록 하는 역할을 하게 되는 것이다.
상기와 같은 역할을 하는 리프트 핀(20)들은 리프트 핀(20) 구동장치(30)에 의해 승강하게 되는데, 이 리프트 핀(20) 구동장치(30)는 다수개의 리프트 핀(20)들을 동시에 승강시킬 수 있도록 구성된다.
이를 위해 리프트 핀(20) 구동장치(30)는 상기 챔버(10)의 하부에 다수개의 리프트 핀(20)들이 고정되어 있는 핀 플레이트(35)가 구비되고, 이 핀 플레이트(35)를 볼 스크류(33) 구동 방식에 의해 승강시킬 수 있도록 구동 모터(32) 및 볼 스크류(33)로 구성된다.
이러한 구조를 가지는 진공 건조장치는 리프트 핀(20)이 이동함에 따라 상기 챔버(10) 내부의 압력이 변화되는 문제점이 있다.
또한, 진공 건조장치에 가열을 위한 히터가 구성되어 있을 경우에, 히터에서 발산되는 열에 의해 챔버(10)가 변형하게 되고, 이에 따라 변형된 상기 챔버(10)와 리프트 핀(20)간의 간섭이 발생하게 된다.
상기 간섭에 의한 리프트 핀(20)의 갈림 및 파손에 따른 입자가 발생하게 되고, 상기 챔버 내부는 상기 입자의 비상으로 인하여 상기 기판을 공정하는 과정에 영향을 끼치는 문제점이 있다.
또한, 리프트 핀(20)의 구동시키기 위한 리프트 핀(20) 구동장치(30)의 설치를 위한 공간이 필요하게 되어, 장비의 크기가 커져 설치되는 공간의 제약이 발생할 수 있고, 위와 같은 문제점의 발생으로 유지 보수가 잦아지게 되어 경제적인 손실을 야기되는 문제점이 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 압력변화 및 입자의 비산 없이 기판에 도포된 도포액을 진공 및 열을 이용하여 건조하는 진공 가열 건조장치에 관한 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 기판이 수용되는 챔버유닛; 상기 챔버유닛 내부공간의 하단에 배치되어, 상기 챔버유닛에 고정된 상태에서 상기 기판을 지지하는 지지핀 어셈블리; 상기 챔버유닛 내부공간의 온도를 상승시키는 가열 어셈블리; 상기 챔버유닛 내부공간을 감압하는 진공유닛;을 포함하며, 상기 가열 어셈블리는 상기 챔버유닛을 관통하면서 상기 챔버유닛과 결합되는 튜브유닛과, 상기 챔버유닛 내부의 온도를 상승시키며, 상기 챔버유닛 외부에서 착탈이 가능하고 상기 튜브유닛의 내부공간을 관통하며 배치되는 히터유닛을 포함하고, 상기 튜브유닛의 내부공간에 배치된 히터유닛의 가열에 의해 상기 기판에 도포된 도포액이 건조되는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치를 제공한다.
상기 챔버유닛은 상기 튜브유닛이 관통되는 챔버몸체와, 상기 챔버몸체의 상단에 결합되어 상기 챔버유닛 내부의 진공을 유지하도록 배치되는 챔버커버를 포함하며,상기 챔버유닛 내부의 온도를 측정하기 위한 온도센서모듈과, 상기 챔버유닛 내부의 압력을 측정하기 위한 압력센서모듈을 더 포함할 수 있다.
상기 챔버유닛의 외측에 배치되어, 상기 챔버유닛과 상기 가열 어셈블리를 결합하여 고정시키는 가열 어셈블리 고정부재를 더 포함할 수 있다
상기 지지핀 어셈블리는 상기 기판을 지지하는 지지핀, 상기 챔버유닛 내부공간의 하단에 배치되어 고정되며, 상기 지지핀이 삽입되는 지지대, 상기 지지대의 하단 내부에 배치되며, 상기 지지핀의 높이를 조정하는 높이조절부재, 그리고 상기 지지대를 관통하여 상기 지지핀을 고정시키는 지지핀 고정부재를 포함하고, 상기 지지대는 중공형상으로 형성되어 상기 지지대의 내측면과 상기 지지핀의 외측면이 일정 간격을 가지며 이격되어 배치될 수 있다.
상기 튜브 유닛은 석영 재질로 제작되고, 상기 히터유닛은 원적외선을 이용한 히터이며, 상기 가열 어셈블리는 제 1 가열 어셈블리와, 상기 제 1 가열 어셈블리와 직교하여 배치되는 제 2 가열 어셈블리를 포함하며, 상기 제 1 가열 어셈블리와 상기 제 2 가열 어셈블리는 상하방향으로 일정 간격을 가지며 이격되어 배치될 수 있다.
상기 챔버커버는 상기 챔버유닛의 내부에서 이루어지는 기판의 공정 진행과정을 확인할 수 있도록 배치되는 목시창을 포함할 수 있다.
상기 가열 어셈블리 고정부재는 상기 히터유닛로부터 전달되는 열을 냉각시키기 위해 형성되여 냉각유체가 이동되는 냉각유로를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진공 가열 건조장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 기판을 지지하는 지지핀 어셈블리에서 기판의 높이 조정을 함으로써 기존의 리프트 핀과 챔버의 마찰 및 파손에 의한 입자의 발생이 억제되므로, 제작되는 기판의 품질이 향상되는 이점이 있다.
둘째, 기판의 로딩, 언로딩을 위한 핀 리프트를 구동시키는 장치가 생략됨으로써, 기판 진공장치가 설치되는 공간의 제약이 줄어드는 이점이 있다.
셋째, 챔버유닛의 내부 온도를 상승시키는 히터유닛이 챔버유닛 외부에서 교체가 가능하게 됨으로써 상기 히터유닛의 교체 및 보수가 보다 용이한 이점이 있다.
넷째, 챔버유닛과 가열 어셈블리를 결합고정하는 가열 어셈블리 결합부재 내부에 냉각유로를 형성함으로써, 상기 가열 어셈블리로부터 전달되는 열을 냉각시켜 가열 어셈블리 결합부재 뿐만 아니라 챔버유닛의 구조적 변화를 방지할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래의 리프트 핀 구동장치가 구비된 진공 건조장치를 보여주는 단면 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치의 측면도이다.
도 4은 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치에 구비된 지지핀 어셈블리의 세부구조를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치의 측면도이다.
도 4은 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치에 구비된 지지핀 어셈블리의 세부구조를 나타낸 도면이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 2 내지 도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 진공 가열 건조장치의 일 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
상기 진공 가열 건조장치는 챔버유닛(100), 지지핀 어셈블리(200), 가열 어셈블리(300), 진공유닛(500), 가열 어셈블리 고정부재(400), 온도센서모듈, 압력센서모듈을 포함한다.
상기 챔버유닛(100)은 내부에 도포액이 도포된 기판(800)을 수용하며, 챔버몸체(110)와 챔버커버(130)를 포함한다.
상기 챔버몸체(110)는 상기 튜브유닛(310)이 관통되며, 상기 챔버커버(130)는 챔버몸체(110)의 상단에 결합되어 상기 챔버유닛(100) 내부의 진공을 유지하도록 배치된다.
상기 챔버유닛(100) 내부공간의 진공상태가 유지될 때, 상기 챔버몸체(110)와 상기 챔버커버(130)의 결합은 상기 챔버유닛(100) 내부의 압력변화에도 영향을 받지 않고 유지될 수 있도록 별도의 실링부재가 포함된 결합부재(131)를 이용하여 진행하는 것이 바람직하다.
상기 결합부재(131)는 일단이 상기 챔버몸체(110)와 결합되어 있고, 타단은 고리형상을 가지며, 상기 결합부재(131) 타단에 형성된 고리형상이 상기 챔버커버(130)에 배치되는 걸림홈에 결합됨으로써 상기 챔버몸체(110)와 상기 챔버커버(130)를 결합하도록 형성될 수 있다.
상기 챔버유닛(100) 내부 보수 및 클리닝을 위하여 상기 챔버커버(130)는 상기 챔버몸체(110)에 대하여 수평방향으로 슬라이딩되거나 상부 방향으로 이동됨으로써 상기 내부공간을 개폐할 수도 있을 것이다.
상기 챔버커버(130)에는 상기 챔버유닛(100)의 내부에서 이루어지는 기판(800)의 공정 진행과정을 확인할 수 있도록 배치되는 목시창(미도시)이 포함될 수 있다.
상기 목시창은 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 압력에 영향을 주지 않도록 실링부재가 포함된 별도의 결합부재를 이용하여 상기 챔버몸체(110)와 결합고정되며, 상기 목시창의 두께 및 재질의 설계는 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 압력에 변형되지 않도록 설계하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 챔버커버(130)에는 상기 기판에 도포된 도포액이 액화되는 것을 방지하기 위한 상부히터(350)가 배치될 수 있다.
상기 진공유닛(500)은 상기 챔버유닛(100) 내부공간을 감압한다.
상기 기판(800)에 도포된 도포액의 용매를 건조시키기 위하여, 상기 진공유닛(500)을 이용해 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 압력을 낮춤으로써 용매 건조과정이 진행되며, 상기 진공유닛(500)은 상기 챔버유닛(100)에 형성된 진공유닛(500)홀을 따라 상기 챔버유닛(100)과 연결된다.
상기 챔버유닛(100)과 상기 진공유닛(500)의 연결은 상기 챔버유닛(100) 내부의 압력변화에도 영향을 받지 않고 유지되며, 상기 내부공간의 압력의 변동이 없도록 별도의 실링부재가 포함된 결합부재를 이용하여 진행하는 것이 바람직하다.
본 실시 예에 따른 진공가열 건조장치는 상기 챔버유닛(100) 내부 공간을 상기 진공유닛(500)에 의하여 감압된 상태에서 해지되도록 하는 퍼지유닛(900)을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 실시 예에 따른 진공가열 건조장치는 상기 챔버유닛(100) 내부로 기판을 이송하기 위하여 상기 챔버유닛(100)에 형성되는 개구부를 개폐하는 챔버개폐부(111)를 더 포함할 수 있다.
상기 챔버개폐부(111)는 상기 퍼지유닛(900)에 의하여 상기 챔버유닛(100)의 내부 공간이 진공상태에서 해지 되었을 때 개폐 가능하다.
상기 압력센서모듈은 상기 챔버유닛(100) 내부에 위치하여 상기 진공유닛(500)에 의해 감압된 상기 챔버유닛(100)의 내부공간의 압력을 측정하며, 상기 챔버유닛(100)의 크기에 따라 상기 내부공간의 위치별로 내부공간의 압력을 확인할 수 있도록 복수개 배치될 수 있다.
상기 가열 어셈블리(300)는 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 온도를 상승시킨다.
상기 가열 어셈블리(300)는 튜브유닛(310)과 히터유닛(330)을 포함한다.
상기 튜브유닛(310)은 상기 챔버유닛(100)을 관통하면서 상기 챔버유닛(100)과 결합되며, 석영 재질로 제작될 수 있다.
상기 히터유닛(330)은 원적외선을 이용한 히터이며, 상기 튜브유닛(310)의 내부공간을 관통하며 배치된다.
상기 히터유닛(330)을 이용하여 상기 챔버유닛(100) 내부의 온도를 상승시킴으로써 상기 챔버유닛(100) 내부에 수용된 기판(800)의 도포액의 건조 효율을 높일 수 있다.
또한, 상기 히터유닛(330)은 상기 챔버유닛(100) 외부에서 착탈이 가능하기 때문에, 상기 히터유닛(330)에 문제가 발생할 경우에 사용자가 쉽게 수리하거나 교체할 수 있다.
상기 가열 어셈블리 고정부재(400)는 상기 챔버유닛(100)의 외측에 배치되어, 상기 튜브유닛(310)과 상기 히터유닛(330)을 포함하는 상기 가열 어셈블리(300)와 상기 챔버유닛(100)을 결합하여 고정시킨다.
상기 가열 어셈블리 고정부재(400)는 먼저 상기 가열 어셈블리(300)와 동일한 중심축을 가지며 상기 가열 어셈블리(300)에 끼워지고, 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)의 일단은 상기 챔버유닛(100) 외부에 형성된 끼움결합부(미도시)에 연결되어 고정결합된다.
상기 가열 어셈블리 고정부재(400)의 외측은 실리콘 또는 고무 재질로 제작되어, 상기 챔버유닛(100)의 내부공간의 압력이 유지되도록 실링 역할을 할 수 있도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)는 상기 히터유닛(330)로부터 전달되는 열을 냉각시키기 위해서 냉각유체가 순환될 수 있도록 형성된 냉각유로가 포함 될 수도 있다.
상기 냉각유로는 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)의 내측에 형성되어 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)가 균형적인 열분포를 가지게 할 수 있다.
상기 냉각유로의 구조는 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)가 상기 챔버유닛(100)에 고정결합되는 과정에서 발생되는 힘의 영향을 받지않고 유지될 수 있도록 설계되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)는 상기 히터유닛(330)로부터 전달되는 열을 냉각시키기 위해서 냉각유체가 순환될 수 있도록 형성된 냉각유로를 포함할 수 있다.
상기 냉각유로는 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)의 내측에 형성되어 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)가 균형적인 열분포를 가지게 할 수 있다.
상기 냉각유로의 구조는 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)가 상기 챔버유닛(100)에 고정결합되는 과정에서 발생되는 힘의 영향을 받지않고 유지될 수 있도록 설계되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 냉각유로는 상기 챔버유닛(100)과 결합되는 영역 이외의 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)의 외측에 배치되어 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)를 전체적으로 감싸는 구조를 가지며 형성될 수 있으며, 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)의 착탈 여부에 따라 상기 냉각유로가 착탈될 수 있도록 독립적으로 구성될 수 있다.
상기 독립적 구성을 갖는 냉각유로의 경우 상기 가열 어셈블리(300)와 인접한 상기 챔버유닛(100) 영역으로 확대되어 제작될 수 있다.
상기 냉각유로는 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)의 열을 냉각시킬 뿐만 아니라 상기 가열 어셈블리 고정부재(400)와 인접한 상기 챔버유닛(100) 영역의 열을 냉각시킴으로써 상기 가열 어셈블리(300)에서 전달되는 열에 의해 발생되는 상기 챔버유닛(100)의 구조적 변형을 방지할 수 있다.
따라서, 상기 가열 어셈블리(300)가 관통될 수 있도록 상기 챔버유닛(100)에 형성된 홀의 변형을 방지함으로써, 상기 챔버유닛(100)의 수명이 연장된다.
상기 가열 어셈블리(300)는 제 1 가열 어셈블리(300a)와, 상기 제 1 가열 어셈블리(300a)와 직교하여 배치되는 제 2 가열 어셈블리(300b)를 포함한다.
상기 제 1 가열 어셈블리(300a)와 상기 제 2 가열 어셈블리(300b)는 상하방향으로 일정 간격을 가지며 이격되어 배치되며, 상기 지지핀 어셈블리(200) 사이를 가로질러 배치될 수도 있다.
상기 가열 어셈블리(300)를 상기 제 1 가열 어셈블리(300a)와 상기 제 2 가열 어셈블리(300b)를 이용하여 격자형상으로 배치함으로써 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 온도를 균일하게 상승시키며 유지할 수 있다.
상기 온도센서모듈은 상기 히터유닛(330)에 의해 상승된 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 온도를 측정하며, 상기 챔버유닛(100) 내부에 위치하는 지지대와 연결되어 상기 기판이 배치되는 높이와 동일한 높이에 배치될 수 있다.
상기 온도센서모듈은 전원장치를 포함하여 구성될 수 있으며, 상기 챔버유닛(100) 내부로 삽입되어 외부의 제어유닛과 무선으로 통신하면서 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 온도를 측정할 수도 있다.
상기 지지핀 어셈블리(200)는 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 하단에 배치되어, 상기 챔버유닛(100)에 고정된 상태에서 상기 기판(800)을 지지한다.
구체적으로, 상기 지지핀 어셈블리(200)는 지지핀(210), 지지대(230), 높이조절부재(250) 및 지지핀 고정부재(270)를 포함한다.
상기 지지핀(210)은 상기 챔버유닛(100) 내부에 수용되는 기판(800)을 평행하게 지지한다.
상기 지지대(230)는 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 하단에 배치되어 고정되며, 상기 지지핀(210)이 삽입된다.
상기 지지대(230)와 상기 지지핀(210)은 동일한 중심축을 가지도록 배치되며, 상기 지지대(230)의 형상은 중공형상으로 형성되어 상기 지지대(230)의 내측면과 상기 지지핀(210)의 외측면이 일정 간격을 가지며 이격되게 배치된다.
상기 지지대(230)와 상기 지지핀(210)이 이격되어 배치됨으로써 상기 지지대(230)가 상기 챔버유닛(100)에서 전달받은 열을 열전도를 통해 상기 지지핀으로 전달하는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 지지대에서 지지핀으로 전달되는 전도열을 낮출 수 있다.
상기 높이조절부재(250)는 상기 지지대(230)의 하단 내부에 배치되며, 상기 지지핀(210)의 높이를 조정한다.
상기 높이조절부재(250)는 볼트형식으로 구성될 수 있으며, 상기 높이조절부재(250)의 회전방향에 따라 상기 지지핀(210)이 놓여지는 높이가 변경된다.
상기 지지핀(210)은 상기 높이조절부재(250)와 결합없이 상기 높이조절부재(250) 상단에 올려놓아진다.
상기 지지핀 고정부재(270)는 상기 지지대(230)를 관통하여 상기 지지핀(210)을 고정시킨다.
상기 지지핀(210)이 상하좌우로 이동되지 않도록 상기 지지핀 고정부재(270)는 상기 지지핀(210)의 외측면과 접촉하면서 상기 지지핀(210)을 고정한다.
상기 지지핀(210)의 외경의 크기에 따라 상기 지지핀 고정부재(270)의 개수는 변동될 수 있다.
상기 지지핀 어셈블리(200)가 상기 챔버유닛(100)에 고정되는 과정은 다음과 같다.
우선적으로 상기 높이조절부재(250)를 이용하여 상기 지지핀(210)이 놓여질 높이를 조정한다. 이후 상기 높이조절부재(250) 상단에 상기 지지핀(210)을 올려 놓은 후 상기 지지핀(210)이 고정될 수 있도록 상기 지지핀 고정부재(270)를 사용하여 상기 지지핀(210)을 고정한다. 높이가 설정된 상기 지지핀 어셈블리(200)는 상기 챔버유닛(100) 내부공간의 하단부에 결합고정된다.
상기 기판을 지지하는 지지대 어셈블리의 높이가 기설정된 후 상기 챔버유닛(100) 내부에 배치됨으로써 종래의 리프트 핀(20)과 챔버(10)의 마찰 및 파손에 의한 입자의 발생이 억제되기 때문에 제작되는 기판(800)의 품질이 향상된다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
10: 챔버 11: 개폐부
12, 350: 상부히터 14: 하부히터
16: 핀 홀 20: 리프트 핀
22: 밸로우즈 30: 리프트 핀 구동장치
32: 구동모터 33: 볼 스크류
35: 핀 플레이트 80, 800: 기판
100: 챔버유닛 110: 챔버몸체
111: 챔버개폐부 130: 챔버커버
131: 결합부재 200: 지지핀 어셈블리
210: 지지핀 230: 지지대
250: 높이조절부재 270: 지지핀 고정부재
300: 가열 어셈블리 300a: 제 1 가열 어셈블리
300b: 제 2 가열 어셈블리 310: 튜브유닛
330: 히터유닛 400: 가열 어셈블리 고정부재
500: 진공유닛 900: 퍼지유닛
12, 350: 상부히터 14: 하부히터
16: 핀 홀 20: 리프트 핀
22: 밸로우즈 30: 리프트 핀 구동장치
32: 구동모터 33: 볼 스크류
35: 핀 플레이트 80, 800: 기판
100: 챔버유닛 110: 챔버몸체
111: 챔버개폐부 130: 챔버커버
131: 결합부재 200: 지지핀 어셈블리
210: 지지핀 230: 지지대
250: 높이조절부재 270: 지지핀 고정부재
300: 가열 어셈블리 300a: 제 1 가열 어셈블리
300b: 제 2 가열 어셈블리 310: 튜브유닛
330: 히터유닛 400: 가열 어셈블리 고정부재
500: 진공유닛 900: 퍼지유닛
Claims (8)
- 기판이 수용되는 챔버유닛;
상기 챔버유닛 내부공간의 하단에 배치되어, 상기 챔버유닛에 고정된 상태에서 상기 기판을 지지하는 지지핀 어셈블리;
상기 챔버유닛 내부공간의 온도를 상승시키는 가열 어셈블리;
상기 챔버유닛 내부공간을 감압하는 진공유닛;을 포함하며,
상기 가열 어셈블리는 상기 챔버유닛을 관통하면서 상기 챔버유닛과 결합되는 튜브유닛과, 상기 챔버유닛 내부의 온도를 상승시키며, 상기 챔버유닛 외부에서 착탈이 가능하고 상기 튜브유닛의 내부공간을 관통하며 배치되는 히터유닛을 포함하고, 상기 튜브유닛의 내부공간에 배치된 히터유닛의 가열에 의해 상기 기판에 도포된 도포액이 건조되며,
상기 지지핀 어셈블리는 상기 기판을 지지하는 지지핀, 상기 챔버유닛 내부공간의 하단에 배치되어 고정되며, 상기 지지핀이 삽입되는 지지대, 상기 지지대의 하단 내부에 배치되며, 상기 지지핀의 높이를 조정하는 높이조절부재, 그리고 상기 지지대를 관통하여 상기 지지핀을 고정시키는 지지핀 고정부재를 포함하고, 상기 지지대는 중공형상으로 형성되어 상기 지지대의 내측면과 상기 지지핀의 외측면이 일정 간격을 가지며 이격되는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 챔버유닛은 상기 튜브유닛이 관통되는 챔버몸체와, 상기 챔버몸체의 상단에 결합되어 상기 챔버유닛 내부의 진공을 유지하도록 배치되는 챔버커버를 포함하며,
상기 챔버유닛 내부의 온도를 측정하기 위한 온도센서모듈과, 상기 챔버유닛 내부의 압력을 측정하기 위한 압력센서모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 챔버유닛의 외측에 배치되어, 상기 챔버유닛과 상기 가열 어셈블리를 결합하여 고정시키는 가열 어셈블리 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 튜브 유닛은 석영 재질로 제작되고, 상기 히터유닛은 원적외선을 이용한 히터로 제작되는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 가열 어셈블리는 제 1 가열 어셈블리와, 상기 제 1 가열 어셈블리와 직교하여 배치되는 제 2 가열 어셈블리를 포함하며, 상기 제 1 가열 어셈블리와 상기 제 2 가열 어셈블리는 상하방향으로 일정 간격을 가지며 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 챔버커버는 상기 챔버유닛의 내부에서 이루어지는 기판의 공정 진행과정을 확인할 수 있도록 배치되는 목시창을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 가열 어셈블리 고정부재는 상기 히터유닛로부터 전달되는 열을 냉각시키기 위해 형성되여 냉각유체가 이동되는 냉각유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 가열 건조장치.
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|---|---|---|---|
| KR1020160076640A KR101862829B1 (ko) | 2016-06-20 | 2016-06-20 | 진공 가열 건조장치 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160076640A KR101862829B1 (ko) | 2016-06-20 | 2016-06-20 | 진공 가열 건조장치 |
Publications (2)
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|---|---|
| KR20170143118A KR20170143118A (ko) | 2017-12-29 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU221779U1 (ru) * | 2023-08-21 | 2023-11-22 | Общество с ограниченной ответственностью "ГЛВ" | Стол вакуумный для сушки продуктов |
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Citations (3)
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| JP2004157451A (ja) | 2002-11-08 | 2004-06-03 | Seiko Epson Corp | 電気光学パネルの製造装置およびその製造方法 |
| JP2009223097A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Toray Ind Inc | カラーフィルタ用樹脂組成物の真空乾燥方法、およびカラーフィルタ基板の製造方法 |
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| KR20170143118A (ko) | 2017-12-29 |
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