KR20210003677A - 외관 검사 장치 - Google Patents

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KR20210003677A
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요시노리 반
신야 우메타니
코우세이 카와노
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다이이치지쯔교 비스위루 가부시키가이샤
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Abstract

불량품이 발생한 경우에 어떠한 불량 상태였는지를 화상을 통해 시각적으로 인식할 수 있는 외관 검사 장치를 제공하기 위해, 검사 대상물(K)의 외관을 촬상하는 촬상 카메라(12, 14, 17, 19)와 촬상된 화상을 토대로 소정의 평가 항목에 대해 양부를 판정하는 품질 평가 장치(30)를 구비한다. 품질 평가 장치(30)는 불량으로 판정된 검사 대상물(K)에 대해 해당 검사 대상물(K)의 식별 정보와, 불량으로 판정된 평가 항목을 관련지어 기억하는 품질 정보 기억부(34)와 해당 검사 대상물(K)의 식별 정보와 화상 데이터를 관련지어 기억하는 화상 기억부(35)를 구비한다. 품질 평가 장치(30)는 검사한 검사 대상물(K)의 품질에 관한 통계 정보를 표시부(41)에 표시하는 품질 정보 표시부(36)와 평가 항목을 선택하는 선택 신호를 접수하여 그 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물(K)의 화상을 표시부(41)에 표시하는 화상 표시부(37)를 더 구비한다.

Description

외관 검사 장치{APPEARANCE INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 의약품(정제, 캡슐 등), 식품, 기계 부품이나 전자 부품 등(이하, "검사 대상물"이라 함)의 외관을 검사하는 장치에 관한 것이다.
종래에는, 상기 검사 대상물의 외관을 검사하는 장치로서, 예를 들면, 일본 공개특허 공보 제2006-208064호(다음의 특허 문헌 1)에 개시된 검사 장치가 알려져 있다.
상기 특허 문헌 1 에 의하면, 이러한 검사 장치는 정보 표시를 실행하기 위한 표시 수단과, 검사 대상으로 되는 정제의 화상 데이터에 의거하여 검사를 위한 계측을 실행하고, 설정되는 판정값을 이용하여 검사 계측 결과에 의거하는 검사를 실행하는 것에 의해 정제를 검사하는 검사 처리를 실행하는 동시에, 해당 검사 처리 시에 소정의 검사 항목에 대해 상기 검사 계측 결과를 통계하는 통계 처리 및 해당 통계 처리의 결과에 의거하여 상기 검사 계측 결과의 도수 분포를 상기 검사 항목마다 상기 표시 수단을 이용하여 표시하는 표시 처리를 실행하는 처리 실행 수단과, 상기 검사 항목마다 양품 허용 한계값, 양품 착오율 및 상기 판정값을 입력하기 위한 입력 수단을 구비하고 있다.
또한, 상기 처리 실행 수단은 상기 표시 처리에서, 상기 도수 분포에 대응시키고, 상기 양품 허용 한계값 및 상기 양품 착오율에 의거하여 상기 판정값의 대응하는 상기 도수 분포의 구분인 판정 구분의 한계를 표시하는 동시에, 상기 도수 분포의 구분 중에서 상기 판정 구분을 구별할 수 있는 형식으로 상기 판정값에 의거하는 표시를 실행하며, 상기 양품 허용 한계값 이상의 검사 계측 결과를 얻은 정제를 양품으로 간주한 경우에서 해당 양품의 도수의 비율인 양품 발생률을 표시하도록 구성된다.
이러한 검사 장치에서는 다음과 같은 효과가 얻어진다. 즉, 양품 허용 한계값 및 양품 착오율에 의거하여 판정 구분의 한계가 표시되기 때문에, 양품 허용 한계값에 의거하는 한계와 양품 착오율에 의거하는 한계 사이에 판정 구분이 들어가도록 판정값을 설정할 수 있다. 한편, 미리 설정된 판정값에 대응하는 판정 구분이 양 한계의 사이에 들어가 있으면, 해당 판정값은 타당한 것으로 판단할 수 있다.
따라서, 판정값의 설정 및 판정값의 타당성의 확인이 용이하게 된다. 또한, 도수 분포의 구분 중에서 판정 구분을 구별할 수 있는 형식으로 판정값에 의거하는 표시를 실행한다. 그 결과, 경험이 얕은 작업자라도 현재의 판정값이 어느 구분에 대응하고 있는 것인지를 순식간에 파악할 수 있기 때문에, 판정값의 타당성의 확인을 용이하게 한다는 효과가 두드러진다.
또한, 양품 허용 한계, 양품 착오율 및 판정값을 입력하기 위한 입력 수단을 구비하고 있다. 이와 같이 하면, 한 번 설정된 판정값이 검사 도중에 타당성을 결여한 경우 등에 설정값의 변경이 용이하게 된다는 점에서 설정값의 설정이 용이하게 된다. 또한, 검사 대상으로 되는 정제가 변경된 경우에도 양품 허용 한계값 및 양품 착오율을 입력 수단을 통해 입력할 수 있기 때문에, 검사를 원활하게 실시할 수 있다.
또한, 처리 실행 수단이 양품 발생률을 표시하기 때문에, 검사 계측 결과를 도수만으로 나타내는 경우에 비해 마찬가지로 비율로 나타나는 양품 착오율과의 대응을 용이하게 취할 수 있게 된다. 결과적으로, 판정값의 설정 및 판정값의 타당성의 확인을 용이하게 한다는 목적에 기여하게 된다.
특허 문헌 1: 일본 공개특허 공보 제2006-208064호
그렇지만 품질 관리상의 관점에서 보면, 불량품이 발생할 경우에 어떠한 불량 상태였는지를 확인할 수 있으면, 그 제조 공정에서 해당 불량의 발생을 억제할 수 있는 타당한 대책을 강구할 수 있어 바람직하다.
그러나 상술한 종래의 검사 장치에서는 품질상의 통계 정보가 표시되기 때문에 검사 대상인 정제의 품질상의 성상을 한눈에 파악할 수 있다는 이점을 가지는 반면, 불량으로 판정된 정제가 구체적으로 어떠한 불량 상태였는지를 화상을 통해 시각적으로 확인할 수 없기 때문에, 이와 같은 관점에서 개선의 여지가 있었다. 이와 같이 종래의 검사 장치에서는 정제의 화상 데이터를 취득하고 있지만, 해당 화상 데이터는 정제의 양부 판정밖에 이용되고 있지 않았다.
또한, 소정의 제조 공정을 거쳐 생산되는 제품은 그 생산 로트마다 품질 성상이 다른 경우가 있다. 예를 들면, 일부의 제조 장치 등에 이상이 발생하면, 그때까지 낮게 안정되어 있던 불량률이 갑자기 높아지는 바와 같은 경우가 일어날 수 있다. 따라서, 품질상의 성상에 대해 과거의 생산 로트분도 포함시켜 고찰함으로써, 품질상의 성상이 생산 로트 사이에서 어떻게 추이하고 있는지를 인식할 수 있어 제조 공정이 안정한지 혹은 불안정한지를 판별할 수 있다. 또한, 제조 공정이 불안정하게 되어 있는 것을 알 수 있으면, 그 상황에 따른 대책을 취할 수 있어 유익하다.
본 발명은 이상의 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 불량품이 발생한 경우에 어떠한 불량 상태였는지를 화상을 통해 시각적으로 인식할 수 있는 외관 검사 장치의 제공을 일 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 품질상의 성상이 생산 로트마다 어떻게 추이하고 있는지를 인식할 수 있는 외관 검사 장치의 제공을 다른 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 소정의 반송로를 따라 검사 대상물을 반송하는 반송 장치와, 상기 반송 장치에 의해서 반송되는 상기 검사 대상물의 외관을 촬상하는 촬상 카메라와, 상기 촬상 카메라에 의해서 촬상된 상기 검사 대상물의 화상을 토대로, 해당 화상에 대해 설정된 1 이상의 평가 항목에 대해 그 양부를 판정하는 평가부를 갖는 품질 평가 장치와, 상기 품질 평가 장치에 접속되고, 해당 품질 평가 장치에 정보를 입력하는 입력부 및 해당 품질 평가 장치에서 출력되는 정보를 화면 표시하는 표시부를 갖는 입출력 장치와, 상기 평가부에 의해서 불량으로 판정된 검사 대상물을 선별하는 선별 장치를 구비한 외관 검사 장치에 있어서, 상기 품질 평가 장치는 상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해 그 품질 정보로서 적어도 해당 검사 대상물의 식별 정보와, 불량으로 판정된 평가 항목을 관련지어 기억하는 품질 정보 기억부와, 상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해 그 화상 정보로서 해당 검사 대상물의 식별 정보와, 해당 검사 대상물의 화상 데이터를 관련지어 기억하는 화상 기억부와, 상기 품질 정보 기억부에 저장된 상기 품질 정보에 의거하여 상기 평가 항목에 대해 그 품질에 관한 통계 정보를 상기 표시부에 화면 표시하는 품질 정보 표시부와, 상기 입력부를 통해 상기 평가 항목을 선택하는 선택 신호를 접수하고, 해당 선택 신호에 대응한 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상 데이터를 상기 화상 기억부에서 판독하여 상기 표시부에 화면 표시하는 화상 표시부를 더 구비하는 외관 검사 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 외관 검사 장치에 의하면, 우선 상기 반송 장치에 의해 소정의 반송로를 따라 검사 대상물이 순차 반송되고, 각 검사 대상물이 소정 위치(검사 위치)에 반송되었을 때, 그 외관이 상기 촬상 카메라에 의해서 촬상된다. 또한, 촬상 카메라에 의해서 촬상된 각 검사 대상물의 화상은 상기 평가부에 있어서 처리되며, 해당 화상에 대해 설정된 1 이상의 평가 항목에 대해 그 양부가 판정된다. 평가 항목으로서는, 예를 들면, 오점의 유무, 결여의 유무, 표면 형상의 적부, 인쇄가 실시되어 있는 경우에는 그 적부 등을 예시할 수 있다.
또한, 상기 평가부에 의해서 불량으로 판정된 검사 대상물은 선별 장치에 의해서 선별된다. 또한, 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해서는 그 품질 정보로서 적어도 해당 검사 대상물의 식별 정보와 불량으로 판정된 평가 항목이 관련지어져 품질 정보 기억부에 저장되는 동시에, 화상 정보로서 해당 검사 대상물의 식별 정보와 해당 검사 대상물의 화상 데이터가 관련지어져 화상 기억부에 저장된다.
다음에, 모든 검사 대상물에 대해 그 외관 검사를 종료하면, 상기 품질 정보 기억부에 저장된 상기 품질 정보에 의거하여 품질 정보 표시부에 의해 상기 평가 항목에 대해 그 품질에 관한 통계 정보가 상기 표시부에 화면 표시된다. 또한, 통계 정보로서는, 예를 들면, 평가 항목마다의 불량 수 및 불량 비율 등을 예시할 수 있다.
또한, 상기 입력부로부터 상기 평가 항목을 선택하는 선택 신호가 입력되면, 상기 화상 표시부에 의해 상기 선택 신호에 대응한 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상 데이터가 상기 화상 기억부에서 판독되고, 판독되는 화상 데이터에 관한 화상이 상기 표시부에 화면 표시된다.
이와 같이, 본 발명에 따른 외관 검사 장치에 의하면, 검사 대상물의 품질상의 통계 정보가 표시부에 화면 표시되므로, 해당 검사 대상물의 품질상의 성상을 한눈에 파악할 수 있다. 또한, 평가 항목을 선택하는 것에 의해 해당 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상이 표시부에 화면 표시되므로, 불량으로 판정된 검사 대상물이 구체적으로 어떠한 불량 상태였는지를 화상을 통해 시각적으로 확인할 수 있다. 더욱이, 이와 같이, 품질상의 통계 정보나 불량품의 화상을 확인하는 것에 의해 해당 검사 대상물의 제조 공정에서 불량품이 발생하는 것을 억제하기 위한 타당한 대책을 강구하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 발명에 따른 검사 장치에서, 상기 촬상 카메라는 상기 검사 대상물에 대해 설정된 복수의 검사면의 화상을 촬상하도록 구성되어 있어도 좋다. 이 경우, 상기 평가부는 상기 각 검사면의 화상에 대해 설정된 1 이상의 평가 항목에 대해 그 양부를 판정하도록 구성되며, 상기 품질 정보 기억부는 상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해 그 품질 정보로서 적어도 해당 검사 대상물의 식별 정보와, 불량으로 판정된 검사면의 정보와, 불량으로 판정된 평가 항목을 관련지어 기억하도록 구성되고, 상기 화상 기억부는 상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해 그 화상 정보로서 해당 검사 대상물의 식별 정보와, 검사면에 대한 식별 정보와, 대응하는 화상 데이터를 관련지어 기억하도록 구성되며, 상기 품질 정보 표시부는 상기 품질 정보 기억부에 저장된 정보에 의거하여, 각 검사면의 평가 항목에 대해 그 품질에 관한 통계 정보를 상기 표시부에 화면 표시하도록 구성되고, 화상 표시부는 상기 입력부를 통해 각 검사면에 대해 설정된 평가 항목을 선택하는 선택 신호를 접수하며, 해당 선택 신호에 대응한 검사면의 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상 데이터를 상기 화상 기억부로부터 판독하여 상기 표시부에 화면 표시하도록 구성된다.
이러한 외관 검사 장치에 의하면, 검사 대상물의 각 검사면에 대해 각각 품질상의 통계 정보가 상기 표시부에 화면 표시된다. 따라서, 이와 같은 외관 검사 장치에서도, 검사 대상물의 품질상의 성상을 한눈에 파악할 수 있다. 또한, 각 검사면에 대해 설정된 평가 항목을 선택하는 것에 의해 해당 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상이 표시부에 화면 표시되므로, 불량으로 판정된 검사 대상물이 구체적으로 어떠한 불량 상태였는지를 화상을 통해 시각적으로 확인할 수 있다. 더욱이, 이와 같이, 품질상의 통계 정보나 불량품의 화상을 확인하는 것에 의해, 해당 검사 대상물의 제조 공정에서 불량품이 발생하는 것을 억제하기 위한 타당한 대책을 강구하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 발명에서, 상기 품질 정보 기억부는 상기 품질 정보를 검사 로트마다 기억하도록 구성되고, 상기 화상 기억부는 상기 화상 정보를 상기 검사 로트마다 기억하도록 구성되며, 상기 품질 정보 표시부는 검사를 종료한 최근의 검사 로트 및 소정의 1 이상의 과거의 검사 로트에 관한 상기 통계 정보를 비교 가능하게 상기 표시부에 화면 표시하도록 구성되고, 상기 화상 표시부는 상기 최근의 검사 로트 및 상기 과거의 검사 로트에 대해 상기 선택 신호에 대응한 화상 데이터를 상기 화상 기억부로부터 읽어내어 비교 가능하게 상기 표시부에 화면 표시하도록 구성되어 있어도 좋다.
이와 같이 구성된 외관 검사 장치에 의하면, 품질 정보 표시부에 의해, 검사를 종료한 최근의 검사 로트 및 소정의 1 이상의 과거의 검사 로트에 관한 품질상의 통계 정보가 비교 가능하게 상기 표시부에 화면 표시된다. 이에 따라, 이와 같이 해서 표시된 각 검사 로트의 통계 정보를 확인함으로써, 품질상의 성상이 검사 로트(즉, 생산 로트) 사이에서 어떻게 추이하고 있는지를 인식할 수 있으며, 제조 공정이 안정한지 혹은 불안정하게 되어 있는지를 용이하게 판별할 수 있다. 또한, 제조 공정이 불안정하게 되어 있는 것을 알 수 있으면, 그 상황에 따른 대책을 취하는 것이 가능하게 된다. 또한, 화상 표시부에 의해 최근의 검사 로트 및 과거의 검사 로트에 대해 선택된 평가 항목의 화상이 비교 가능하게 표시부에 화면 표시되므로, 각 검사 로트에 있어서의 불량품의 발생 상황을 화상을 통해 구체적으로 인식할 수 있으며, 그 차이점 등을 용이하게 인식할 수 있다.
또한, 상기 과거의 검사 로트는 상기 입력부를 통해 입력되는 선택 신호에 의해서 선정할 수 있다.
또한, 상기 품질 정보 표시부는 각 검사 로트의 통계 정보를 횡 배열로 상기 표시부에 표시하도록 구성되고, 상기 화상 표시부는 각 검사 로트의 화상을 횡 배열로 상기 표시부에 표시하도록 구성되어 있어도 좋다.
또한, 본 발명에 관한 외관 검사 장치를 적용할 수 있는 검사 대상물은 예를 들면, 의약품(정제, 캡슐 등), 식품, 기계 부품이나 전자 부품 등을 예시할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 외관 검사 장치에 따르면, 검사 대상물의 품질상의 통계 정보가 표시부에 화면 표시되므로, 해당 검사 대상물의 품질상의 성상을 한눈에 파악할 수 있다. 또한, 평가 항목을 선택하는 것에 의해 해당 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상이 표시부에 화면 표시되므로, 불량으로 판정된 검사 대상물이 구체적으로 어떠한 불량 상태였는지를 화상을 통해 시각적으로 확인할 수 있다. 또한, 이와 같이, 품질상의 통계 정보나 불량품의 화상을 확인하는 것에 의해 해당 검사 대상물의 제조 공정에서 불량품이 발생하는 것을 억제하기 위한 타당한 대책을 강구하는 것이 가능하게 된다.
또한, 품질 정보 표시부에 의해 검사를 종료한 최근의 검사 로트 및 소정의 1 이상의 과거의 검사 로트에 관한 품질상의 통계 정보가 비교 가능하게 상기 표시부에 화면 표시되므로, 표시된 각 검사 로트의 통계 정보를 확인함으로써, 품질상의 성상이 검사 로트(즉, 생산 로트) 사이에서 어떻게 추이하고 있는지를 인식할 수 있으며, 제조 공정이 안정한지 혹은 불안정하게 되어 있는지를 용이하게 판별할 수 있다. 또한, 제조 공정이 불안정하게 되어 있는 것을 알 수 있으면, 그 상황에 따른 대책을 취하는 것이 가능하게 된다. 또한, 화상 표시부에 의해 최근의 검사 로트 및 과거의 검사 로트에 대해 선택된 평가 항목에 대한 화상이 비교 가능하게 표시부에 화면 표시되므로, 각 검사 로트에 있어서의 불량품의 발생 상황을 화상을 통해 구체적으로 인식할 수 있으며, 그 차이점 등을 용이하게 인식할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 외관 검사 장치의 개략적인 구성을 나타내는 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 외관 검사 장치의 개략적인 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 품질 정보 기억부에 저장되는 품질 정보를 나타내는 데이터 테이블이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 화상 기억부에 저장되는 화상 데이터에 대한 데이터 구조를 나타내는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 표시부에서의 표시 화면의 일 예를 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 따른 표시부에서의 표시 화면의 일 예를 나타내는 설명도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 표시부에서의 표시 화면의 일 예를 나타내는 설명도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 표시부에서의 표시 화면의 일 예를 나타내는 설명도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 표시부에서의 표시 화면의 일 예를 나타내는 설명도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 표시부에서의 표시 화면의 일 예를 나타내는 설명도이다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시 형태들에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 외관 검사 장치의 개략적인 구성을 나타내는 정면도이고, 도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 외관 검사 장치의 개략적인 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시예의 외관 검사 장치(1)는 검사 대상물(K)을 정렬하여 공급하는 공급부(3), 공급된 검사 대상물(K)을 직선 반송하는 제1 직선 반송부(10) 및 제2 직선 반송부(15), 제1 직선 반송부(10)의 반송 경로 근방에 배치된 제1 촬상부(11) 및 제2 촬상부(13), 제2 직선 반송부(15)의 반송 경로 근방에 배치된 제3 촬상부(16) 및 제4 촬상부(18), 선별부(20), 제어 장치(25), 품질 평가 장치(30)와 입출력 장치(40)를 구비한다.
또한, 본 실시예에서의 검사 대상물(K)로는 의약품(정제, 캡슐 등), 식품, 기계 부품이나 전자 부품 등을 예시할 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.
상기 공급부(3)는 다수의 검사 대상물(K)가 투입되는 호퍼(4), 호퍼(4)의 하단부에서 배출되는 검사 대상물(K)에 진동을 부여하여 전진시키는 진동 피더(5), 진동 피더(5)의 반송 종단에서 배출되는 검사 대상물(K)을 슬라이딩 낙하시키는 슈트(6), 수평 회전하고, 슈트(6)에서 공급된 검사 대상물(K)을 일렬로 정렬하여 배출하는 정렬 테이블(7), 수직면 내에서 회전하는 원반 형상의 부재를 갖고, 상기 정렬 테이블(7)에서 배출된 검사 대상물(K)을 이러한 원반 형상의 부재의 외주면에 흡착하여 화살표 A 방향으로 반송하는 회전 반송부(8)로 이루어지고, 다수의 검사 대상물(K)을 일렬로 정렬시켜, 순차적으로 상기 제1 직선 반송부(10)에 수용한다.
상기 제1 직선 반송부(10) 및 제2 직선 반송부(15)는 실질적으로 동일한 구조를 가지며, 제2 직선 반송부(15)는 제1 직선 반송부(10)에 대해 상하 반전된 상태에서 배치된다. 이들 제1 직선 반송부(10) 및 제2 직선 반송부(15)는 각각 무단 환상으로 형성된 반송 벨트를 구비하고 있으며, 제1 직선 반송부(10)는 그 반송 벨트에 검사 대상물(K)을 흡착하여 화살표 B 방향으로 반송하는 반송로를 그 상부에 가지며, 제2 직선 반송부(15)는 마찬가지로 해서 화살표 C 방향으로 반송하는 반송로를 그 하부에 가진다.
그리고, 제1 직선 반송부(10)의 반송 시단은 상기 회전 반송부(8)의 반송 종단에 접속되고, 제1 직선 반송부(10)의 반송 종단은 제2 직선 반송부(15)의 반송 시단에 접속되어 있으며, 제1 직선 반송부(10)는 회전 반송부(8)로부터 순차 검사 대상물(K)을 수취하고, 그 하면을 흡착하여 반송 종단에 반송하며, 제2 직선 반송부(15)에 인도한다. 마찬가지로, 제2 직선 반송부(15)는 제1 직선 반송부(10)로부터 순차 검사 대상물(K)을 수취하고, 그 상면을 흡착하여 반송 종단을 향해 반송한다.
상기 제1 촬상부(11)는 제1 카메라(12)를 구비하고, 상기 제2 촬상부(13)는 제2 카메라(14)를 구비하며, 상기 제3 촬상부(16)는 제3 카메라(17)를 구비하고, 상기 제4 촬상부(18)는 제4 카메라(19)를 구비하고 있다. 또한, 제1 촬상부(11) 및 제3 촬상부(16)는 띠 형상의 레이저광을 검사 대상물(K)에 조사하여, 소위 광 절단법에 의해 해당 검사 대상물(K)의 높이 방향의 치수를 측정하기 위한 화상을 제1 카메라(12) 및 제3 카메라(17)에 의해 촬상한다.
또한, 상기 제2 카메라(14)는 검사 대상물(K)의 상면("표면 1"), 전면("측면 1") 및 반송 방향을 향해 좌측의 측면("측면 2")의 화상을 촬상하고, 상기 제4 카메라(19)는 검사 대상물(K)의 하면("표면 3"), 후면("측면 5") 및 반송 방향을 향해 우측의 측면("측면 6")의 화상을 촬상한다.
또한, 제1 카메라(12), 제2 카메라(14), 제3 카메라(17) 및 제4 카메라(19)에 의해 촬상된 화상은 각각 상기 품질 평가 장치(30)에 입력된다. 또한, 제2 카메라(14) 및 제4 카메라(19)에 의해서 촬상되는 검사 대상물(K)의 촬상면(검사면)이 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, "표면 1", "측면 1", "측면 2", "표면 3", "측면 5" 및 "측면 6"은 편의상 붙인 명칭에 불과한 것이며, 특히, 숫자는 식별을 목적으로 한 것에 불과하다.
상기 선별부(20)는 제2 직선 반송부(15)의 반송 종단에 마련되는 것으로, 도시하지 않은 선별 회수 기구와 양품 회수실 및 불량품 회수실을 구비하고, 상기 품질 평가 장치(30)로부터의 명령에 따라 상기 선별 회수 기구를 구동하여, 제2 직선 반송부(15)의 반송 종단에 반송된 검사 대상물(K) 중, 양품을 양품 회수실에 회수하고, 불량품을 불량품 회수실에 회수한다.
또한, 상기 공급부(3), 제1 직선 반송부(10), 제2 직선 반송부(15) 및 선별부(20)는 상기 제어 장치(25)에 의해 그 작동이 제어된다.
상기 입출력 장치(40)는 소위 터치 패널로 구성되며, 화면 표시하는 표시부(41)와 이러한 표시부(41)상에 중첩된 상태에서 배치되고, 오퍼레이터가 손가락 등으로 접촉한 위치에 관한 데이터를 입력하는 입력부(42)로 구성되며, 이러한 입력부(42)를 통해 외부로부터 상기 표시부(41)를 시인할 수 있도록 되어 있다.
상기 품질 평가 장치(30)는 표시 제어부(31), 입력 제어부(32), 평가부(33), 품질 정보 기억부(34), 화상 기억부(35), 품질 정보 표시부(36), 화상 표시부(37) 및 통신 인터페이스(38)로 구성된다. 또한, 상기 품질 평가 장치(30)는 CPU, RAM, ROM 등을 포함하는 컴퓨터로 구성되며, 상기 표시 제어부(31), 입력 제어부(32), 평가부(33), 품질 정보 기억부(34), 화상 기억부(35), 품질 정보 표시부(36) 및 화상 표시부(37)는 컴퓨터 프로그램에 의해 그 기능이 실현되고, 후술하는 처리를 실행한다. 또한, 품질 정보 기억부(34) 및 화상 기억부(35)는 RAM 등의 적절한 기억 매체로 구성된다.
상기 표시 제어부(31)는 상기 입출력 장치(40)의 표시부(41)에서의 화면 표시를 제어하는 기능부이며, 품질 정보 표시부(36) 및 화상 표시부(37)에 의해서 생성된 화면을 표시부(41)에 표시한다.
또한, 상기 입력 제어부(32)는 상기 입출력 장치(40)의 입력부(42)로부터 입력되는 신호를 처리하는 기능부이며, 예를 들면, 표시부(41)의 표시 화면상에서 포인터가 조작되는 것에 의해 해당 표시 화면상의 특정의 영역이 선택되면, 그 영역에 대해 설정된 신호를 상기 품질 정보 표시부(36) 및 화상 표시부(37)에 송신하는 처리를 실행한다.
상기 평가부(33)는 상기 제1 카메라(12), 제2 카메라(14), 제3 카메라(17) 및 제4 카메라(19)에 의해서 촬상된 화상을 처리하고, 해당 각 화상에 대해 설정된 1 이상의 평가 항목에 대해 그 양부를 판정한다. 또한, 적어도 하나의 평가 항목에 대해 불량으로 판단된 경우에는 평가부(33)는 상기 통신 인터페이스(38)를 통해 상기 제어 장치(25)에 선별 신호를 송신한다.
또한, 평가부(33)는 선별 신호의 송신과 함께, 품질 정보로서 해당 검사 로트의 식별 정보와, 검사 대상물 K의 식별 정보와, 불량으로 판정된 검사면의 식별 정보와, 불량으로 판정된 평가 항목을 관련지어 도 3에 나타낸 데이터 테이블로서 상기 품질 정보 기억부(34)에 저장하는 처리와, 해당 검사 로트의 식별 정보와, 검사 대상물(K)의 식별 정보와, 검사면에 대한 식별 정보와, 그 화상 데이터를 관련지어 도 4에 나타내는 바와 같은 데이터 구조로 상기 화상 기억부(35)에 저장하는 처리를 실행한다. 또한, 검사 대상물(K)의 검사 총수를 카운트하여 검사를 종료한 시점에서 해당 검사 로트의 검사 총수에 관한 데이터를 상기 품질 정보 기억부(34)에 저장한다.
이에 따라, 상기 품질 정보 기억부(34)에는 도 3에 나타내는 바와 같이, 상기 품질 정보가 검사 로트마다 저장되고, 설정된 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 경우에는 해당 검사 대상물(K)에 대해 할당된 불량 번호(일련 번호)의 해당하는 평가 항목에 플래그가 세워진다. 또한, 상기 화상 기억부(35)에는 불량 번호마다 불량으로 판정된 평가 항목에 대응하는 검사면의 화상 데이터가 저장된다.
또한, 본 실시예에서는 제1 카메라(12)에 의해서 촬상된 화상으로부터 산출되는 상면의 높이 정보 "3D1" 및 제3 카메라(17)에 의해서 촬상된 화상으로부터 산출되는 하면의 높이 정보 "3D2"에 대해서는 그 평가 항목으로서 "결여" 및 "형상"이 설정되어 있다. 또한, 제2 카메라(14)에 의해서 촬상된 "표면 1" 및 제3 카메라(17)에 의해서 촬상된 "표면 3"에 대해서는 평가 항목으로서 "오점", "결여", "인쇄" 및 "형상"이 설정되며, 제2 카메라(14)에 의해서 촬상된 "측면 1" 및 "측면 2" 및 제3 카메라(17)에 의해서 촬상된 "측면 5" 및 "측면 6"에 대해서는 평가 항목으로서 "오점", "결여" 및 "형상"이 설정되어 있다. 또한, 본 실시예에서는 편의상, 높이 정보 "3D1" 및 "3D2" 및 "표면 1", "표면 3", "측면 1", "측면 2", "측면 5" 및 "측면 6"을 검사면으로 한다.
상기 품질 정보 표시부(36)는 검사를 종료한 직후의 검사 로트에 대해 상기 품질 정보 기억부(34)에 저장된 품질 정보에 의거하여, 각 평가 항목에 대해 그 품질에 관한 통계 정보를 상기 표시 제어부(31)를 통해 상기 표시부(41)에 화면 표시한다. 표시부(41)에 표시되는 통계 정보의 일 예를 도 5에 나타낸다. 도 5에서는 통계 정보로서, "검사 총수", "양품 수", "불량품 수", "양품률", "불량률", 각 검사면에서의 평가 항목 마다의 불량품 수 이외에 각 평가 항목에 대한 불량품의 내역을 띠 그래프의 형식으로 나타내고 있다. "불량품 수"는 "불량품 번호"의 마지막의 숫자가 해당된다. 또한, 각 검사면에서의 평가 항목마다의 불량품 수는 상기 품질 정보 기억부(34)에 저장된 품질 정보를 토대로 각 검사면에 있어서의 평가 항목마다 붙여진 플래그 수를 카운트하는 것에 의해서 산출된다.
또한, 도 5에서, "계열 1" 및 "계열 2"라는 항목이 표시되어 있지만, 본 실시예에서는 도 1에 나타낸 공급부(3), 제1 직선 반송부(10), 제2 직선 반송부(15), 제1 촬상부(11), 제2 촬상부(13), 제3 촬상부(16), 제4 촬상부(18) 및 선별부(20)로 구성되는 장치가 2 계열 있으며, 한쪽을 "계열 1"로 하고, 다른 쪽을 "계열 2"로 하고 있다. 따라서, 상기 품질 정보 기억부(34)에는 계열마다 도 3에 나타낸 품질 정보가 저장되고, 상기 화상 기억부(35)에는 계열마다 도 4에 나타낸 화상 데이터가 저장된다.
상기 화상 표시부(37)는 상기 입력부(42) 및 입력 제어부(32)를 통해 상기 평가 항목을 선택하는 선택 신호를 접수하고, 해당 선택 신호에 대응한 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상 데이터를 상기 화상 기억부(35)로부터 읽어내고, 대응하는 화상을 상기 표시 제어부(31)를 통해 상기 표시부(41)에 화면 표시한다.
예를 들면, 도 5에 나타낸 표시 화면에서, 포인터 등에 의해, "계열 1"에 대한 "표면 1"의 "오점"의 숫자가 선택되면, 선택된 것을 강조 표시하기 위해, 그 숫자가 사각으로 둘러싸이는 동시에, 해당 선택 신호가 입력부(42) 및 입력 제어부(32)를 통해 입력된다. 또한, 화상 표시부(37)는 이러한 선택 신호를 받아, 품질 정보 기억부(34)에 저장된 품질 정보를 토대로 "계열 1"에 대해 "표면 1"의 "오점"에 플래그가 붙여진 불량 번호를 읽어내는 동시에, 읽어낸 각 불량 번호의 "표면 1"의 화상 데이터를 상기 화상 기억부(35)로부터 읽어내고, 그 화상을 상기 표시 제어부(31)를 통해 표시부(41)에 화면 표시한다. 또한, 도 6에 나타낸 예에서는 화면상에서 스크롤하는 것에 의해 불량으로 판정된 451개의 화상이 표시부(41)에 표시된다.
이상의 구성을 구비하는 본 실시예의 외관 검사 장치(1)에 의하면, 다수의 검사 대상물(K)이 호퍼(4)에 투입되고, 투입된 검사 대상물(K)은 해당 호퍼(4)로부터 진동 피더(5), 슈트(6)를 경유하여 정렬 테이블(7)에 공급된다. 또한, 상기 정렬 테이블(7)에 의해 일렬로 정렬된 후, 회전 반송부(8)를 경유하여 순차적으로 상기 제1 직선 반송부(10)에 수수된다.
다음에, 각 검사 대상물(K)는 순차적으로 상기 제1 직선 반송부(10)에 의해 그 하면이 흡착된 상태에서 화살표 B 방향으로 반송되어, 그 반송 종단에서 상기 제2 직선 반송부(15)에 수용되고, 다음에, 해당 제2 직선 반송부(15)에 의해 그 상면이 흡착된 상태에서 화살표 C 방향으로 반송된다. 또한, 각 검사 대상물(K)은 제1 직선 반송부(10)에 의해서 화살표 B 방향으로 반송되는 과정에서 제1 촬상부(11)(제1 카메라(12)) 및 제2 촬상부(13)(제2 카메라(14))에 의해 각각 화상이 촬상되어 해당 화상 데이터가 품질 평가 장치(30)에 입력되며, 제2 직선 반송부(15)에 의해 화살표 C 방향으로 반송되는 과정에서 제3 촬상부(16)(제3 카메라(17)) 및 제4 촬상부(18)(제4 카메라(19))에 의해 각각 화상이 촬상되어 해당 화상 데이터가 상기 품질 평가 장치(30)에 입력된다.
또한, 품질 평가 장치(30)에서는 상기 평가부(33)에 의해 제1 카메라(12), 제2 카메라(14), 제3 카메라(17) 및 제4 카메라(19)로부터 입력된 화상 데이터가 처리되고, 해당 각 화상에 대해 설정된 평가 항목에 대해 그 양부가 판정된다. 또한, 적어도 하나의 평가 항목에 대해 불량으로 판단된 경우에는 평가부(33)는 상기 통신 인터페이스(38)를 통해 상기 제어 장치(25)에 선별 신호를 송신하고, 이러한 제어 장치(25)에 의한 제어하에서, 해당하는 검사 대상물(K)이 선별 장치(20)의 불량품 회수실에 회수된다. 또한, 선별 신호가 송신되지 않은 양품에 대해서는 양품 회수실에 회수된다.
또한, 평가부(33)는 선별 신호의 송신과 함께, 품질 정보로서 해당 검사 로트의 식별 정보와, 검사 대상물(K)의 식별 정보와, 불량으로 판정된 검사면의 식별 정보와, 불량으로 판정된 평가 항목을 관련지어, 계열마다 상기 품질 정보 기억부(34)에 저장하며, 해당 검사 로트의 식별 정보와, 검사 대상물(K)의 식별 정보와, 검사면에 대한 식별 정보와, 그 화상 데이터를 관련지어 계열마다 상기 화상 기억부(35)에 저장하는 처리를 실행한다. 또한, 평가부(33)는 검사 대상물(K)의 검사 총수를 카운트하여 검사를 종료한 시점에서 해당 검사 로트의 검사 총수에 관한 데이터를 상기 품질 정보 기억부(34)에 저장한다.
이와 같이, 해당 검사 로트의 모든 검사 대상물(K)에 대해 검사를 종료하면, 상기 품질 정보 표시부(36)는 검사를 종료한 해당 검사 로트에 대해 상기 품질 정보 기억부(34)에 저장된 품질 정보에 의거하여 각 평가 항목에 대해, 예를 들면, 도 5에 나타내는 바와 같이, 그 품질에 관한 통계 정보를 상기 표시 제어부(31)를 통해 상기 표시부(41)에 화면 표시한다.
또한, 예를 들면, 도 5에 나타낸 표시 화면에서, 포인터 등에 의해 "계열 1"에 대한 "표면 1"의 "오점"의 숫자가 선택되면, 해당 선택 신호가 입력부(42) 및 입력 제어부(32)를 통해 입력되고, 화상 표시부(37)는 이러한 선택 신호를 받아 도 6에 나타내는 바와 같이, 이에 대응하는 화상 데이터를 상기 화상 기억부(35)로부터 읽어내고, 그 화상을 상기 표시 제어부(31)를 통해 표시부(41)에 화면 표시한다. 마찬가지로, 계열, 검사면 및 평가 항목에 의해서 특정되는 란을 임의로 선택하는 것에 의해 화상 표시부(37)에 의해서 해당하는 화상 데이터가 상기 화상 기억부(35)로부터 판독하고, 그 화상이 표시부(41)에 표시된다.
이와 같이, 본 실시예의 외관 검사 장치(1)에 의하면, 검사 대상물(K)의 품질상의 통계 정보가 표시부(41)에 화면 표시되므로, 해당 검사 대상물(K)의 품질상의 성상을 한눈에 파악할 수 있다. 또한, 표시 화면상에서 포인터 등을 통해 평가 항목을 선택하는 것에 의해, 해당 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물(K)의 화상이 표시부(41)에 화면 표시되므로, 불량으로 판정된 검사 대상물(K)이 구체적으로 어떠한 불량 상태였는지를 화상을 통해 시각적으로 확인할 수 있다. 또한, 이와 같이, 품질상의 통계 정보나 불량품의 화상을 확인하는 것에 의해 해당 검사 대상물(K)의 제조 공정에서 불량품이 발생하는 것을 억제하기 위한 타당한 대책을 강구하는 것이 가능하게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 발명이 취할 수 있는 구체적인 양태들이 상술한 예에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 상기 품질 정보 표시부(36)는 검사를 종료한 직후의 검사 로트 및 소정의 1 이상의 과거의 검사 로트에 관한 상기 통계 정보를 비교 가능하게 상기 표시부(41)에 화면 표시하도록 구성되어 있어도 좋다.
예를 들면, 도 7에 나타낸 표시 화면에서, 포인터 등에 의해 "로트 비교"라는 탭을 선택하는 신호가 상기 입력부(42) 및 입력 제어부(32)를 통해 입력되고, 다음에, "비교"라는 탭을 선택하는 신호가 입력된 후, 비교해야 할 검사 로트의 식별 정보가 상기 입력부(42) 및 입력 제어부(32)를 통해 입력되면, 품질 정보 표시부(36)는 선택된 검사 로트의 품질 정보를 상기 품질 정보 기억부(34)로부터 읽어내고, 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 비교해야 할 품질 정보를 횡 배열로 표시부(41)에 화면 표시한다. 도 8에 나타낸 화면 예는 선택된 각 검사 로트의 품질 정보 등을 종합적으로 표시한 화면이며, 불량률을 띠 그래프로 나타내고, 처리량을 막대 그래프로 나타내며, 가동률을 원 그래프로 나타내고 있다. 또한, 도 9에 나타낸 화면 예는 선택된 각 검사 로트의 불량 내역을 띠 그래프로 나타내고, 각 평가 항목에 있어서의 불량 개수를 막대 그래프로 나타내고 있다.
이에 따라, 복수의 검사 로트들에 대해 그 품질상의 통계 정보를 비교 가능하게 표시부(41)에 표시하면 각 검사 로트에 있어서의 불량품의 발생 상황을 구체적으로 인식할 수 있으며, 그 차이점 등을 인식할 수 있다. 또한, 품질상의 성상이 검사 로트(즉, 생산 로트) 사이에서 어떻게 추이하고 있는지를 용이하게 인식할 수 있으며, 제조 공정이 안정한지 혹은 불안정하게 되었는지를 용이하게 판별할 수 있다. 또한, 제조 공정이 불안정하게 되어 있는 것을 알 수 있으면, 그 상황에 따른 대책을 취하는 것이 가능하게 된다.
또한, 마찬가지로, 상기 화상 표시부(37)는 검사를 종료한 직후의 검사 로트 및 소정의 1 이상의 과거의 검사 로트에 관한 화상을 비교 가능하게 상기 표시부(41)에 화면 표시하도록 구성되어 있어도 좋다. 이와 같이 해서 표시부(41)에 표시되는 화면의 일 예를 도 10에 나타낸다.
이러한 양태는 예를 들면, 도 7에 나타낸 표시 화면에서, 포인터 등에 의해 "로트 비교"라는 탭을 선택하는 신호가 상기 입력부(42) 및 입력 제어부(32)를 통해 입력되고, 다음에 "비교"라는 탭을 선택하는 신호가 입력된 후, 비교해야 할 검사 로트의 식별 정보가 상기 입력부(42) 및 입력 제어부(32)를 통해 입력되며, 표시해야 할 검사면의 선택 신호가 상기 입력부(42) 및 입력 제어부(32)를 통해 입력되면, 화상 표시부(37)는 선택된 각 검사 로트에 대해 선택된 검사면의 화상 데이터를 상기 화상 기억부(35)로부터 읽어내고, 도 10에 나타내는 바와 같이, 비교해야 할 화상을 횡 배열로 표시부(41)에 표시한다.
이와 같이, 검사 직후의 검사 로트 및 과거의 검사 로트에 대해 선택된 평가 항목의 화상을 비교 가능하게 표시부(41)에 표시하면, 각 검사 로트에 있어서의 불량품의 발생 상황을 화상을 통해 구체적으로 인식할 수 있으며, 그 차이점 등을 용이하게 인식할 수 있다.
1: 외관 검사 장치 2: 반송 장치
3: 공급부 10: 제1 직선 반송부
12: 제1 카메라 14: 제2 카메라
15: 제2 직선 반송부 17: 제3 카메라
19: 제4 카메라 20: 선별부
25: 제어 장치 30: 품질 평가 장치
31: 표시 제어부 32: 입력 제어부
33: 평가부 34: 품질 정보 기억부
35: 화상 기억부 36: 품질 정보 표시부
37: 화상 표시부 40: 터치 패널(입출력 장치)
41: 표시부 42: 입력부
K: 검사 대상물

Claims (6)

  1. 소정의 반송로를 따라 검사 대상물을 반송하는 반송 장치와,
    상기 반송 장치에 의해 반송되는 상기 검사 대상물의 외관을 촬상하는 촬상 카메라와,
    상기 촬상 카메라에 의해 촬상된 상기 검사 대상물의 화상을 토대로 해당 화상에 대해 설정된 1 이상의 평가 항목에 대해 그 양부를 판정하는 평가부를 갖는 품질 평가 장치와,
    상기 품질 평가 장치에 접속되고, 해당 품질 평가 장치에 정보를 입력하는 입력부 및 해당 품질 평가 장치에서 출력되는 정보를 화면 표시하는 표시부를 갖는 입출력 장치와,
    상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물을 선별하는 선별 장치를 구비하는 외관 검사 장치에 있어서,
    상기 품질 평가 장치는,
    상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해 그 품질 정보로서 적어도 해당 검사 대상물의 식별 정보와 불량으로 판정된 평가 항목을 관련지어 기억하는 품질 정보 기억부와,
    상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해 그 화상 정보로서 해당 검사 대상물의 식별 정보와 해당 검사 대상물의 화상 데이터를 관련지어 기억하는 화상 기억부와,
    상기 품질 정보 기억부에 저장된 상기 품질 정보에 의거하여 상기 평가 항목에 대해 그 품질에 관한 통계 정보를 상기 표시부에 화면 표시하는 품질 정보 표시부와,
    상기 입력부를 통해 상기 평가 항목을 선택하는 선택 신호를 접수하고, 해당 선택 신호에 대응한 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상 데이터를 상기 화상 기억부로부터 읽어내어 상기 표시부에 화면 표시하는 화상 표시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 촬상 카메라는 상기 검사 대상물에 대해 설정된 복수의 검사면의 화상을 촬상하도록 구성되고,
    상기 평가부는 상기 각 검사면의 화상에 대해 설정된 1 이상의 평가 항목에 대해 그 양부를 판정하도록 구성되며,
    상기 품질 정보 기억부는 상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해 그 품질 정보로서 적어도 해당 검사 대상물의 식별 정보와, 불량으로 판정된 검사면의 정보와, 불량으로 판정된 평가 항목을 관련지어 기억하도록 구성되고,
    상기 화상 기억부는 상기 평가부에 의해 불량으로 판정된 검사 대상물에 대해 그 화상 정보로서 해당 검사 대상물의 식별 정보와, 검사면에 대한 식별 정보와, 대응하는 화상 데이터를 관련지어 기억하도록 구성되며,
    상기 품질 정보 표시부는 상기 품질 정보 기억부에 저장된 정보에 의거하여 각 검사면의 평가 항목에 대해 그 품질에 관한 통계 정보를 상기 표시부에 화면 표시하도록 구성되고,
    화상 표시부는 상기 입력부를 통해 각 검사면에 대해 설정된 평가 항목을 선택하는 선택 신호를 접수하고, 해당 선택 신호에 대응한 검사면의 평가 항목에 대해 불량으로 판정된 검사 대상물의 화상 데이터를 상기 화상 기억부로부터 읽어내어 상기 표시부에 화면 표시하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 품질 정보 기억부는 상기 품질 정보를 검사 로트마다 기억하도록 구성되고,
    상기 화상 기억부는 상기 화상 정보를 상기 검사 로트마다 기억하도록 구성되며,
    상기 품질 정보 표시부는 검사를 종료한 최근의 검사 로트 및 소정의 1 이상의 과거의 검사 로트에 관한 상기 통계 정보를 비교 가능하게 상기 표시부에 화면 표시하도록 구성되고,
    상기 화상 표시부는 상기 최근의 검사 로트 및 상기 과거의 검사 로트에 대해 상기 선택 신호에 대응한 화상 데이터를 상기 화상 기억부로부터 읽어내어, 비교 가능하게 상기 표시부에 화면 표시하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 과거의 검사 로트는 상기 입력부를 통해 입력되는 선택 신호에 의해 선정되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 품질 정보 표시부는 각 검사 로트의 통계 정보를 횡 배열로 상기 표시부에 표시하도록 구성되고,
    상기 화상 표시부는 각 검사 로트의 화상을 횡 배열로 상기 표시부에 표시하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 품질 정보 표시부는 각 검사 로트의 통계 정보를 횡 배열로 상기 표시부에 표시하도록 구성되고,
    상기 화상 표시부는 각 검사 로트의 화상을 횡 배열로 상기 표시부에 표시하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
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