KR20210003432A - A transferring apparatus, and A transferring module including the transferring apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a container receiving an article and a transfer device for transferring the container. The transfer device comprises: a traveling rail installed on the ceiling; a transfer unit detachably gripping the container using a magnetic path control method; and a driving unit coupled to the transfer unit and moving along the traveling rail. The transfer unit may include a hand detachable from the container, an elevating means moving the hand up and down, a first magnet coupled to an upper surface of the hand, and a second magnet coupled to a lower surface of the hand.

Description

반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈{A transferring apparatus, and A transferring module including the transferring apparatus}A transfer apparatus, and a transfer module including the same

본 발명은 반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying apparatus and a conveying module including the same.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼들은 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공되거나 캐리어를 이용하여 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.In general, in order to manufacture a semiconductor device, various types of processes such as deposition, photography, and etching processes are performed, and devices that perform each of these processes are disposed in a semiconductor manufacturing line. Wafers for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus while being accommodated in a carrier, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using a carrier.

캐리어는 오버 헤드 트랜스퍼(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. 오버 헤드 트랜스퍼(OHT)는 대상물이 수납된 캐리어를 이용하여 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다. 오버 헤드 트랜스퍼(OHT)는 캐리어를 파지하는 핸드 그립을 가진다. 핸드 그립은 캐리어를 그립 방식으로 파지한다. 캐리어를 파지한 핸드 그립은 핸드 그립에 결합된 벨트에 의해 상승된다. 그리고, 핸드 그립에 파지된 캐리어는 구동기에 의해 주행 레일을 따라 이동된다.Carriers are transported by overhead hoist transport (OTT). The overhead transfer (OHT) transfers the carrier in which the object is stored to the load port of semiconductor processing equipment, and picks up the carrier in which the processed object is received from the load port and transfers it to the outside. The overhead transfer (OHT) has a hand grip that grips the carrier. The hand grip grips the carrier in a grip manner. The hand grip holding the carrier is raised by a belt coupled to the hand grip. Then, the carrier gripped by the hand grip is moved along the traveling rail by the actuator.

최근 캐리어의 이송 시간을 단축하기 위해, 캐리어는 고속 주행된다. 캐리어가 핸드 그립에 완전 고정되지 않은 경우 캐리어는 흔들린다. 이에 캐리어 내에 수납된 대상물도 마찬가지로 흔들린다. 이에 캐리어 내 공간에서는 파티클(Particle) 등의 입자가 발생한다. 이러한 파티클들은 대상물을 오염시킨다. 또한, 캐리어가 핸드 그립으로부터 이탈되어 아래 방향으로 낙하하는 것을 방지하기 위해 낙하 방지 장치가 오버 헤드 트랜스퍼(OHT)에 장착된다. 이러한 낙하 방지 장치는 오버 헤드 트랜스퍼(OHT)의 구성을 복잡하게 하고, 캐리어의 고속 주행을 어렵게 한다.In order to shorten the transport time of the carrier in recent years, the carrier runs at high speed. If the carrier is not fully secured to the hand grip, the carrier will swing. Accordingly, the object stored in the carrier is also shaken. Accordingly, particles such as particles are generated in the space within the carrier. These particles contaminate the object. In addition, a fall prevention device is mounted on the overhead transfer (OHT) to prevent the carrier from being separated from the hand grip and falling downward. Such a fall prevention device complicates the configuration of the overhead transfer (OHT), and makes it difficult for the carrier to travel at high speed.

본 발명은 용기의 이송을 효율적으로 수행할 수 있는 반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a transport device capable of efficiently transferring a container, and a transport module including the same.

또한, 본 발명은 용기를 반송 유닛에 장착하는 것이 용이하게 이루어 질 수 있는 반송 장치, 이를 포함하는 반송 모듈을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.In addition, it is an object of the present invention to provide a conveying device that can be easily mounted on a conveying unit, and a conveying module including the same.

또한, 본 발명은 용기의 이송시 용기의 흔들림을 최소화 할 수 있는 반송 장치, 그리고 이를 포함하는 반송 모듈을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a transport device capable of minimizing shaking of a container during transport of the container, and a transport module including the same.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 물품이 수납된 용기, 그리고 용기를 이송하는 반송 장치를 포함하는 반송 모듈을 제공한다. 반송 모듈은, 상기 반송 장치는, 천정에 설치되는 주행 레일과; 자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과; 상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되, 상기 반송 유닛은, 용기와 착탈되는 핸드와; 상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과; 상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과; 상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함할 수 있다.The present invention provides a transport module including a container in which an article is stored, and a transport device for transporting the container. The conveying module includes: a traveling rail installed on a ceiling; A conveying unit for holding the container detachably using a magnetic path control method; A driving unit coupled to the conveying unit and moving along the traveling rail, wherein the conveying unit comprises: a hand detachable from the container; Elevating means for moving the hand in the vertical direction; A first magnet coupled to the upper surface of the hand; It may include a second magnet coupled to the lower surface of the hand.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드 내에 제공되며 상기 제1자석 및 상기 제2자석 사이에 제공되는 절연체를 포함할 수 있다.According to an embodiment, an insulator provided in the hand and provided between the first magnet and the second magnet may be included.

일 실시 예에 의하면, 상기 반송 장치는, 상기 구동 유닛과 결합되고, 상기 승강 수단이 제공되는 바디를 포함하되, 상기 바디에는 상기 제1자석과 대응하게 위치되는 제1자성체가 결합될 수 있다.According to an embodiment, the transport device may include a body coupled to the driving unit and provided with the lifting means, and a first magnetic body positioned corresponding to the first magnet may be coupled to the body.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 상면에는 제1위치 결정핀이 제공되고, 상기 제1자성체에는 상기 제1위치 결정핀이 삽입 가능한 제1위치 결정홈이 형성될 수 있다.According to an embodiment, a first positioning pin may be provided on an upper surface of the hand, and a first positioning groove into which the first positioning pin can be inserted may be formed in the first magnetic body.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 상면에는 상기 제1위치 결정핀이 상기 제1위치 결정홈에 삽입되어 상기 핸드가 상기 바디에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제1안착 센서가 제공될 수 있다.According to an embodiment, a first seating sensor may be provided on the upper surface of the hand to detect whether the hand is properly mounted on the body by inserting the first positioning pin into the first positioning groove. .

일 실시 예에 의하면, 용기의 상면에 제공되고, 용기를 상기 핸드에 장착시키는 결합 부재가 제공되고, 상기 결합 부재에는 상기 제2자석과 대응되게 위치되는 제2자성체가 결합될 수 있다.According to an embodiment, a coupling member may be provided on an upper surface of the container and mounted on the hand, and a second magnetic body positioned to correspond to the second magnet may be coupled to the coupling member.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 하면에는 제2위치 결정핀이 제공되고, 상기 제2자성체에는 상기 제2위치 결정핀이 삽입 가능한 제2위치 결정홈이 형성될 수 있다.According to an embodiment, a second positioning pin may be provided on a lower surface of the hand, and a second positioning groove into which the second positioning pin can be inserted may be formed on the second magnetic body.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 하면에는 상기 제2위치 결정핀이 상기 제2위치 결정홈에 삽입되어 상기 용기가 상기 핸드에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제2안착 센서가 제공될 수 있다.According to an embodiment, a second seating sensor may be provided on the lower surface of the hand to detect whether the container is properly mounted on the hand by inserting the second positioning pin into the second positioning groove. .

일 실시 예에 의하면, 상기 승강 수단에는, 상기 제1자석의 자기 경로를 변경하여 상기 제1자성체를 상기 제1자석에 접착시키거나, 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하여 상기 제2자성체를 상기 제2자석에 접착시키는 전자기력을 전달하는 전력 라인이 제공될 수 있다.According to an embodiment, in the elevating means, the first magnetic body is bonded to the first magnet by changing a magnetic path of the first magnet, or the second magnetic body is changed by changing a magnetic path of the second magnet. A power line may be provided to transmit an electromagnetic force adhered to the second magnet.

일 실시 예에 의하면, 상기 반송 장치는, 상기 반송 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하되, 상기 제어기는, 상기 핸드를 하강시켜 상기 제2위치 결정핀을 상기 제2위치 결정홈에 삽입시키고, 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하여 상기 용기를 상기 핸드에 장착시킬 수 있다.According to an embodiment, the conveying device further includes a controller for controlling the conveying unit, wherein the controller lowers the hand to insert the second positioning pin into the second positioning groove, and the The container can be mounted on the hand by changing the magnetic path of the second magnet.

일 실시 예에 의하면, 상기 제어기는, 상기 핸드를 상승시켜 상기 제1위치 결정핀을 상기 제1위치 결정홈에 삽입시키고, 상기 제1자석의 자기 경로를 변경하여 상기 핸드를 상기 바디에 장착할 수 있다.According to an embodiment, the controller, by raising the hand, inserts the first positioning pin into the first positioning groove, and changes the magnetic path of the first magnet to mount the hand on the body. I can.

또한, 본 발명은 물품이 수납된 용기를 반송하는 장치를 제공한다. 반송 장치는, 천정에 설치되는 주행 레일과; 자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과; 상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되, 상기 반송 유닛은, 용기와 착탈되는 핸드와; 상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과; 상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과; 상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함할 수 있다.In addition, the present invention provides an apparatus for conveying a container in which an article is stored. The conveying device includes: a traveling rail installed on a ceiling; A conveying unit for holding the container detachably using a magnetic path control method; A driving unit coupled to the conveying unit and moving along the traveling rail, wherein the conveying unit comprises: a hand detachable from the container; Elevating means for moving the hand in the vertical direction; A first magnet coupled to the upper surface of the hand; It may include a second magnet coupled to the lower surface of the hand.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드 내에 제공되며 상기 제1자석 및 상기 제2자석 사이에 제공되는 절연체를 포함할 수 있다.According to an embodiment, an insulator provided in the hand and provided between the first magnet and the second magnet may be included.

일 실시 예에 의하면, 상기 반송 장치는, 상기 구동 유닛과 결합되고, 상기 승강 수단이 제공되는 바디를 포함하되, 상기 바디에는 상기 제1자석과 대응하게 위치되는 제1자성체가 결합될 수 있다.According to an embodiment, the transport device may include a body coupled to the driving unit and provided with the lifting means, and a first magnetic body positioned corresponding to the first magnet may be coupled to the body.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 상면에는 제1위치 결정핀이 제공되고, 상기 제1자성체에는 상기 제1위치 결정핀이 삽입 가능한 제1위치 결정홈이 형성될 수 있다.According to an embodiment, a first positioning pin may be provided on an upper surface of the hand, and a first positioning groove into which the first positioning pin can be inserted may be formed in the first magnetic body.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 상면에는 상기 제1위치 결정핀이 상기 제1위치 결정홈에 삽입되어 상기 핸드가 상기 바디에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제1안착 센서가 제공될 수 있다.According to an embodiment, a first seating sensor may be provided on the upper surface of the hand to detect whether the hand is properly mounted on the body by inserting the first positioning pin into the first positioning groove. .

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 하면에는 제2위치 결정핀이 제공될 수 있다.According to an embodiment, a second positioning pin may be provided on a lower surface of the hand.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드의 하면에는 용기가 상기 핸드에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제2안착 센서가 제공될 수 있다.According to an embodiment, a second seating sensor may be provided on a lower surface of the hand to detect whether a container is properly mounted on the hand.

일 실시 예에 의하면, 상기 승강 수단에는, 상기 제1자석 또는 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하는 전자기력을 전달하는 전력 라인이 제공될 수 있다.According to an embodiment, the elevating means, A power line may be provided to transmit an electromagnetic force that changes a magnetic path of the first magnet or the second magnet.

일 실시 예에 의하면, 상기 핸드에는, 상기 제1자석 또는 상기 제2자석의 자기 경로가 변경되었는지 여부를 감지하는 자기 경로 감지 센서가 제공될 수 있다.According to an embodiment, the hand may be provided with a magnetic path detection sensor that detects whether the magnetic path of the first magnet or the second magnet has changed.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 용기의 이송을 효율적으로 수행할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to efficiently perform transport of the container.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 용기를 반송 유닛에 장착하는 것이 용이하게 이루어 질 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it can be easily made to mount the container to the transport unit.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 용기의 이송시 용기의 흔들림을 최소화 할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is possible to minimize the shaking of the container during transport of the container.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the present specification and the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 장치가 주행하는 것을 상부에서 바라본 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 모듈을 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 'A'영역을 하부에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 2의 핸드와 승강 수단을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4의 핸드를 상부에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 2의 용기를 보여주는 도면이다.
도 7은 도 6의 용기를 상부에서 바라본 도면이다.
도 8은 용기가 핸드에 장착될 때의 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 용기가 핸드에 장착된 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 핸드가 바디에 장착될 때의 모습을 보여주는 도면이다.
도 11은 반송 유닛이 이동하는 모습을 보여주는 도면이다. 1 is a view as viewed from above when a transport apparatus according to an embodiment of the present invention runs.
2 is a view showing a transfer module according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view of area'A' of FIG. 2 viewed from the bottom.
Figure 4 is a view showing the hand and the lifting means of Figure 2;
5 is a view of the hand of FIG. 4 viewed from the top.
6 is a view showing the container of FIG. 2.
Figure 7 is a view as viewed from the top of the container of Figure 6;
8 is a view showing a state when a container is mounted on a hand.
9 is a view showing a container mounted on a hand.
10 is a view showing a state when a hand is mounted on a body.
11 is a diagram showing a state in which the transfer unit moves.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. However, the present invention may be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in describing a preferred embodiment of the present invention in detail, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for portions having similar functions and functions.

어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다."Including" a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary. Specifically, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features or It is to be understood that the presence or addition of numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof does not preclude the possibility of preliminary exclusion.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In addition, shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer explanation.

본 실시예의 장치는 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시예의 반송 장치는 기판이 수납된 캐리어 용기를 이송하는데 사용될 수 있다. 아래에서는, 반송 장치가 기판이 수납된 캐리어 용기를 반도체 설비 라인에 제공되는 반도체 공정 장치에 캐리어 용기를 반송하는 경우를 예로 들어 설명한다.The apparatus of this embodiment can be used to convey a container. In particular, the transfer device of this embodiment can be used to transfer a carrier container in which a substrate is accommodated. In the following, a case where the carrier container in which the substrate is accommodated is transferred to a semiconductor processing device provided in a semiconductor facility line is described as an example.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 장치(1000)가 주행하는 것을 상부에서 바라본 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 반송 장치(1000)가 가지는 반송 유닛(500)은 주행 레일(100)을 따라 정해진 경로를 주행하게 된다. 도 1의 실시 예에서는 육각형의 형태로 주행 레일(100)이 도시 되었으나, 주행 레일(100)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 제공될 수 있다. 주행 레일(100)은 반도체 제조 라인의 천장에 설치되어 기판 처리 설비들(50)을 상부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 주행 레일(100)의 설치 범위는 기판 처리 설비들(50)을 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.1 is a view as viewed from the top of the transport apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention running. Referring to FIG. 1, a transport unit 500 of a transport apparatus 1000 according to the present invention travels a predetermined path along a travel rail 100. In the embodiment of FIG. 1, the traveling rail 100 is illustrated in a hexagonal shape, but the shape of the traveling rail 100 may be variously provided, such as a circular shape or a square shape. The traveling rail 100 may be installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line so that the substrate processing facilities 50 can be viewed from above. The installation range of the traveling rail 100 may be arranged in a wide area so that the substrate processing facilities 50 can be viewed as a whole.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반송 모듈을 보여주는 도면이다. 이하에서, 반송 모듈은 물품이 수납된 용기(700), 그리고 용기를 이송하는 반송 장치(1000)를 포함하는 것으로 정의한다.2 is a view showing a transfer module according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the transport module is defined as including a container 700 in which an article is stored, and a transport device 1000 for transporting the container.

반송 장치(1000)는 주행 레일(100), 구동 유닛(300), 반송 유닛(500), 그리고 제어기를 포함할 수 있다.The conveying device 1000 may include a traveling rail 100, a driving unit 300, a conveying unit 500, and a controller.

주행 레일(100)은 천정에 설치될 수 있다. 주행 레일(100)은 반도체 제조 라인의 천정에 설치될 수 있다. 주행 레일(100)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 주행 레일(100)은 이하에서 설명하는 구동 유닛(300)이 이동하는 이동 경로를 제공할 수 있다. 주행 레일(100)은 공지된 주행 레일로 다양하게 변형될 수 있다.The running rail 100 may be installed on the ceiling. The traveling rail 100 may be installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line. The shape of the running rail 100 may be variously modified. The traveling rail 100 may provide a moving path through which the driving unit 300 described below moves. The traveling rail 100 may be variously modified into a known traveling rail.

구동 유닛(300)은 반송 유닛(500)과 결합될 수 있다. 구동 유닛(300)은 반송 유닛(500)을 이동시킬 수 있다. 구동 유닛(300)은 반송 유닛(500)의 주행에 필요한 구동력을 전달할 수 있다. 구동 유닛(300)은 구동기(310), 바퀴(320), 그리고 결합 프레임(330)을 포함할 수 있다. 구동기(310)는 구동력을 발생시킬 수 있다. 구동기(310)는 모터로 제공될 수 있다. 구동기(310)는 구동력을 발생시킬 수 있는 공지의 장치로 다양하게 변형될 수 있다. 바퀴(320)는 구동기(310)가 발생시키는 구동력을 전달받아 이동할 수 있다. 바퀴(320)는 주행 레일(100)에 접할 수 있다. 구동기(310)가 구동력을 발생시키면 바퀴(320)는 회전할 수 있다. 이에, 바퀴(320)는 주행 레일(100)을 따라 이동될 수 있다. 결합 프레임(330)은 반송 유닛(500)과 결합될 수 있다. 결합 프레임(330)은 반송 유닛(500)의 바디(510)와 결합될 수 있다. 결합 프레임(330)은 구동기(310)와 결합될 수 있다. 이에, 구동기(310)가 구동력을 발생시키면 반송 유닛(500)은 주행 레일(100)을 따라 이동될 수 있다.The drive unit 300 may be combined with the transfer unit 500. The drive unit 300 may move the transfer unit 500. The driving unit 300 may transmit a driving force required for traveling of the transport unit 500. The driving unit 300 may include a driver 310, a wheel 320, and a coupling frame 330. The driver 310 may generate a driving force. The driver 310 may be provided as a motor. The actuator 310 may be variously modified into a known device capable of generating a driving force. The wheel 320 may be moved by receiving a driving force generated by the actuator 310. The wheel 320 may contact the traveling rail 100. When the actuator 310 generates a driving force, the wheel 320 may rotate. Accordingly, the wheel 320 may be moved along the traveling rail 100. The combining frame 330 may be combined with the transfer unit 500. The coupling frame 330 may be coupled with the body 510 of the transport unit 500. The coupling frame 330 may be coupled to the driver 310. Accordingly, when the driver 310 generates a driving force, the transport unit 500 may be moved along the traveling rail 100.

반송 유닛(500)은 용기(700)를 착탈 가능하게 파지할 수 있다. 반송 유닛(500)은 자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기(700)를 착탈할 수 있다. 반송 유닛(500)이 이용하는 자기 경로 제어 방식은 영구 자석, 그리고 자성체를 구성으로 하고, 영구 자석의 자기 경로를 변경하여 용기(700)를 착탈할 수 있다. 이에, 반송 유닛(500)이 용기(700)를 장착하는데 과도한 전력이 소비되는 것을 최소화 할 수 있다. 또한, 자기 경로 제어 방식을 이용하여 반송 유닛(500)에 용기(700)가 완전히 장착될 수 있다. The transport unit 500 may hold the container 700 detachably. The transfer unit 500 may attach and detach the container 700 using a magnetic path control method. The magnetic path control method used by the conveyance unit 500 includes a permanent magnet and a magnetic material, and the container 700 can be attached and detached by changing the magnetic path of the permanent magnet. Accordingly, it is possible to minimize the consumption of excessive power when the transfer unit 500 mounts the container 700. In addition, the container 700 may be completely mounted on the transfer unit 500 using a magnetic path control method.

반송 유닛(500)은 바디(510), 승강 수단(520), 그리고 핸드(530)를 포함할 수 있다. 바디(510)는 구동 유닛(300)과 결합될 수 있다. 바디(510)는 구동 유닛(300)의 결합 프레임(330)과 결합될 수 있다. 바디(510)는 전체적으로 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 바디(510)는 하부가 개방된 형상을 가질 수 있다. 바디(510)는 전방과 후방이 개방된 형상을 가질 수 있다. 바디(510)는 도전성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 바디(510)는 금속 재질을 포함하는 재질로 제공될 수 있다. The conveyance unit 500 may include a body 510, a lifting means 520, and a hand 530. The body 510 may be coupled to the driving unit 300. The body 510 may be coupled to the coupling frame 330 of the driving unit 300. The body 510 may have a rectangular parallelepiped shape as a whole. The body 510 may have an open lower portion. The body 510 may have a shape in which front and rear are open. The body 510 may be made of a conductive material. The body 510 may be provided with a material including a metal material.

바디(510)에는 승강 수단(520)이 제공될 수 있다. 승강 수단(520)은 핸드(530)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 승강 수단(520)의 일단은 핸드(530)와 결합될 수 있다. 승강 수단(520)은 복수로 제공될 수 있다. 예컨대, 승강 수단(520)은 3 개로 제공될 수 있다. 이에 승강 수단(520)은 핸드(530)와 3 지점에서 결합될 수 있다. 승강 수단(520) 내에는 전력 라인(미도시)이 제공될 수 있다. 전력 라인은 전자기력을 전달할 수 있다. 전력 라인은 후술하는 제1자석(531) 또는 제2자석(535)의 자기 경로를 변경할 수 있다. The body 510 may be provided with a lifting means 520. The lifting means 520 may move the hand 530 in the vertical direction. One end of the lifting means 520 may be combined with the hand 530. The elevating means 520 may be provided in plural. For example, three lifting means 520 may be provided. Accordingly, the lifting means 520 may be combined with the hand 530 at three points. A power line (not shown) may be provided within the lifting means 520. Power lines can transmit electromagnetic forces. The power line may change the magnetic path of the first magnet 531 or the second magnet 535 to be described later.

바디(510) 내의 공간에서, 상부 영역의 내측면에는 제1안착홈(512)이 형성될 수 있다. 또한, 바디(510)에는 제1자성체(514)가 결합될 수 있다. 도 3은 도 2의 'A' 영역을 하부에서 바라본 도면이다. 도 3을 참조하면, 제1안착홈(512)은 바디(510)의 내측면에서 위를 향하는 방향으로 만입되어 형성될 수 있다. 제1안착홈(512)은 경사지게 만입되어 형성될 수 있다. 제1안착홈(512)은 핸드(530)에 제공되는 제1안착 센서(533)와 대응하는 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제1안착홈(512)은 핸드(530)에 제공되는 제1안착 센서(533)가 삽입 가능한 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제1안착홈(512)은 핸드(530)에 제공되는 제1안착 센서(533)와 대응하는 위치에 형성될 수 있다.In the space within the body 510, a first seating groove 512 may be formed on an inner surface of the upper region. In addition, the first magnetic body 514 may be coupled to the body 510. FIG. 3 is a view of area'A' of FIG. 2 viewed from the bottom. Referring to FIG. 3, the first seating groove 512 may be formed by being recessed from the inner surface of the body 510 in an upward direction. The first seating groove 512 may be formed by being inclined indented. The first seating groove 512 may be provided in a shape corresponding to the first seating sensor 533 provided on the hand 530. In addition, the first seating groove 512 may be provided in a shape into which the first seating sensor 533 provided in the hand 530 can be inserted. In addition, the first seating groove 512 may be formed at a position corresponding to the first seating sensor 533 provided on the hand 530.

제1자성체(514)는 바디(510)에 결합될 수 있다. 제1자성체(514)는 바디(510)에 형성된 홈에 삽입되어 결합될 수 있다. 제1자성체(514)는 링 형상을 가질 수 있다. 제1자성체(514)는 핸드(530)의 제1자석(531)과 대응하게 위치될 수 있다. 제1자성체(514)에는 제1위치 결정홈(516)이 형성될 수 있다. 제1위치 결정홈(516)은 핸드(530)의 제1위치 결정핀(532)이 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다.The first magnetic body 514 may be coupled to the body 510. The first magnetic body 514 may be inserted into and coupled to a groove formed in the body 510. The first magnetic body 514 may have a ring shape. The first magnetic body 514 may be positioned to correspond to the first magnet 531 of the hand 530. A first positioning groove 516 may be formed in the first magnetic body 514. The first positioning groove 516 may have a shape into which the first positioning pin 532 of the hand 530 can be inserted.

도 4는 도 2의 핸드와 승강 수단을 보여주는 도면이고, 도 5는 도 4의 핸드를 상부에서 바라본 도면이다. 도 4와 도 5를 참조하면, 핸드(530)는 전체적으로 육면체의 형상을 가질 수 있다. 핸드(530)는 상부에서 바라볼 때 사각의 형상을 가질 수 있다. 핸드(530)에는 자기 경로 제어를 이용하여 용기(700)를 핸드에 착탈 할 수 있는 다양한 구성들이 제공될 수 있다. 핸드(530)에는 자기 경로 제어를 이용하여 핸드(530)를 바디(510)에 착탈할 수 있는 다양한 구성들이 제공될 수 있다.FIG. 4 is a view showing the hand of FIG. 2 and the lifting means, and FIG. 5 is a view of the hand of FIG. 4 viewed from above. 4 and 5, the hand 530 may have a hexahedral shape as a whole. The hand 530 may have a square shape when viewed from the top. The hand 530 may be provided with various configurations capable of attaching and detaching the container 700 to the hand using magnetic path control. The hand 530 may be provided with various configurations in which the hand 530 can be attached to and detached from the body 510 using magnetic path control.

핸드(530)에는 제1자석(531), 제1위치 결정핀(532), 제1안착 센서(533), 제1자기 경로 감지 센서(534), 제2자석(535), 제2위치 결정핀(536), 제2안착 센서(537), 제2자기 경로 감지 센서(538), 그리고 절연체(539)가 제공될 수 있다.The hand 530 includes a first magnet 531, a first positioning pin 532, a first seating sensor 533, a first magnetic path detection sensor 534, a second magnet 535, and a second positioning. A pin 536, a second seating sensor 537, a second magnetic path detection sensor 538, and an insulator 539 may be provided.

제1자석(531), 제1위치 결정핀(532), 제1안착 센서(533), 제1자기 경로 감지 센서(534)는 자기 경로 제어를 이용하여 핸드(530)를 바디(510)에 착탈하는 구성들이다. The first magnet 531, the first positioning pin 532, the first seating sensor 533, and the first magnetic path detection sensor 534 move the hand 530 to the body 510 using magnetic path control. These are the detachable configurations.

제1자석(531)은 핸드(530)의 상면에 결합될 수 있다. 제1자석(531)은 핸드(530)의 상면으로부터 아래 방향으로 만입되어 형성되는 홈에 삽입될 수 있다. 제1자석(531)은 전체적으로 링 형상을 가질 수 있다. 제1자석(531)은 영구 자석일 수 있다. 제1자석(531)은 상술한 제1자성체(514)와 대응하는 형상을 가질 수 있다. 제1자석(531)은 제1자성체(514)의 위치와 대응하도록 핸드(530)에 결합될 수 있다. The first magnet 531 may be coupled to the upper surface of the hand 530. The first magnet 531 may be inserted into a groove formed by being depressed downward from the upper surface of the hand 530. The first magnet 531 may have a ring shape as a whole. The first magnet 531 may be a permanent magnet. The first magnet 531 may have a shape corresponding to the first magnetic body 514 described above. The first magnet 531 may be coupled to the hand 530 to correspond to the position of the first magnetic body 514.

제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)의 상면에 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)가 바디(510)에 정위치로 장착될 수 있도록 한다. 제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)의 상면에 제공되고, 제1자석(531)에 형성되는 홀에 삽입되도록 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)의 상면에서 위 방향으로 돌출되도록 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 상술한 제1위치 결정홈(516)과 대응하는 형상을 가질 수 있다. 즉, 핸드(530)가 상승하면 제1위치 결정핀(532)은 제1위치 결정홈(516)에 삽입될 수 있다.The first positioning pin 532 may be provided on the upper surface of the hand 530. The first positioning pin 532 allows the hand 530 to be mounted on the body 510 in an original position. The first positioning pin 532 may be provided on the upper surface of the hand 530 and may be provided to be inserted into a hole formed in the first magnet 531. The first positioning pin 532 may be provided to protrude upward from the upper surface of the hand 530. The first positioning pin 532 may have a shape corresponding to the first positioning groove 516 described above. That is, when the hand 530 rises, the first positioning pin 532 may be inserted into the first positioning groove 516.

제1위치 결정핀(532)은 복수로 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 링 형상의 제1자석(531)의 중심을 기준으로, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 제공될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)들은 서로 동일한 간격으로 이격될 수 있다. The first positioning pin 532 may be provided in plurality. The first positioning pins 532 may be provided to be spaced apart from each other along the circumferential direction based on the center of the ring-shaped first magnet 531. The first positioning pins 532 may be spaced apart from each other at the same interval.

제1안착 센서(533)는 핸드(530)의 상면에 제공될 수 있다. 제1안착 센서(533)는 상부에서 바라볼 때 링 형상의 제1자석(531) 내부에 제공될 수 있다. 즉, 상부에서 바라볼 때 제1자석(531)은 제1안착 센서(533)의 둘레를 감싸도록 제공될 수 있다. 또한, 제1안착 센서(533)는 제1위치 결정핀(532)과 함께 핸드(530)가 바디(510)에 정위치로 장착될 수 있게 한다. 제1안착 센서(533)는 핸드(530)가 바디(510)에 정위치로 장착되었는지를 감지할 수 있다. 제1안착 센서(533)는 제1위치 결정핀(532)이 제1위치 결정홈(516)에 삽입되어 핸드(530)가 정위치로 장착되었는지를 감지할 수 있다. 제1안착 센서(533)는 제1위치 결정핀(532)보다 높이가 높을 수 있다. 제1안착 센서(533)는 바디(510)에 형성된 제1안착홈(512)과 대응하는 형상을 가질 수 있다. 제1안착 센서(533)는 바디(510)에 형성된 제1안착홈(512)에 대응하는 위치에 제공될 수 있다. 제1안착 센서(533)는 위 방향으로 경사진 형상을 가질 수 있다. 제1안착 센서(533)는 측면에서 바라볼 때 사다리꼴의 형상을 가질 수 있다. The first seating sensor 533 may be provided on the upper surface of the hand 530. The first seating sensor 533 may be provided inside the ring-shaped first magnet 531 when viewed from the top. That is, when viewed from above, the first magnet 531 may be provided to surround the circumference of the first seating sensor 533. In addition, the first seating sensor 533 allows the hand 530 together with the first positioning pin 532 to be mounted on the body 510 in an original position. The first seating sensor 533 may detect whether the hand 530 is properly mounted on the body 510. The first seating sensor 533 may detect whether the first positioning pin 532 is inserted into the first positioning groove 516 so that the hand 530 is mounted in the correct position. The first seating sensor 533 may be higher in height than the first positioning pin 532. The first seating sensor 533 may have a shape corresponding to the first seating groove 512 formed in the body 510. The first seating sensor 533 may be provided at a position corresponding to the first seating groove 512 formed in the body 510. The first seating sensor 533 may have a shape inclined upward. The first seating sensor 533 may have a trapezoidal shape when viewed from the side.

제1자기 경로 감지 센서(534)는 핸드(530)에 제공될 수 있다. 제1자기 경로 감지 센서(534)는 제1자석(531)의 자기 경로가 변화하는 것을 감지할 수 있다. 즉, 승강 수단(520)에 제공되는 전력 라인이 전자기력을 발생시켜 제1자석(531)의 자기 경로를 변경하면, 자기 경로가 어느 방향으로 변경 되었는지를 감지할 수 있다. 제1자기 경로 감지 센서(534)는 사용자가 자기 경로의 변화를 인식할 수 있도록 일부가 외부로 노출될 수 있다. 제1자기 경로 감지 센서(534)는 빛, 또는 소리 등으로 제1자석(531)의 자기 경로 상태 정보를 사용자에게 전달할 수 있다.The first magnetic path detection sensor 534 may be provided to the hand 530. The first magnetic path detection sensor 534 may detect a change in the magnetic path of the first magnet 531. That is, when the power line provided to the lifting means 520 generates an electromagnetic force to change the magnetic path of the first magnet 531, it is possible to detect in which direction the magnetic path has changed. Part of the first magnetic path detection sensor 534 may be exposed to the outside so that the user can recognize a change in the magnetic path. The first magnetic path detection sensor 534 may transmit magnetic path state information of the first magnet 531 to the user through light or sound.

제2자석(535), 제2위치 결정핀(536), 제2안착 센서(537), 제2자기 경로 감지 센서(538)는 자기 경로 제어를 이용하여 용기(700)를 핸드(530)에 착탈하는 구성들이다. 또한, 제2자석(535), 제2위치 결정핀(536), 제2안착 센서(537), 제2자기 경로 감지 센서(538)는 절연체(539)를 기준으로 대칭되도록 핸드(530)에 제공될 수 있다. 즉, 제2자석(535)은 핸드(530)의 하면에 결합될 수 있다. 제2위치 결정핀(536)은 핸드(530)의 하면에 제공될 수 있다. 또한, 제2안착 센서(537)는 핸드(530)의 하면에 제공될 수 있다. 제2안착 센서(537)는 핸드(530)의 하면에 제공되어 제2위치 결정핀(536)이 후술하는 제2위치 결정홈(716)에 삽입되어 용기(700)가 핸드(530)에 정위치로 장착되었는지를 감지할 수 있다. 이외, 제2자석(535), 제2위치 결정핀(536), 제2안착 센서(537), 제2자기 경로 감지 센서(538)의 구조 및 기능들은 각각 제1자석(531), 제1위치 결정핀(532), 제1안착 센서(533), 제1자기 경로 감지 센서(534)와 동일 또는 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.The second magnet 535, the second positioning pin 536, the second seating sensor 537, and the second magnetic path detection sensor 538 attach the container 700 to the hand 530 using magnetic path control. These are the detachable configurations. In addition, the second magnet 535, the second positioning pin 536, the second seating sensor 537, and the second magnetic path detection sensor 538 are attached to the hand 530 so as to be symmetrical with respect to the insulator 539. Can be provided. That is, the second magnet 535 may be coupled to the lower surface of the hand 530. The second positioning pin 536 may be provided on the lower surface of the hand 530. In addition, the second seating sensor 537 may be provided on the lower surface of the hand 530. The second seating sensor 537 is provided on the lower surface of the hand 530 so that the second positioning pin 536 is inserted into the second positioning groove 716 to be described later, so that the container 700 is fixed to the hand 530. It can detect whether it is mounted in position. In addition, the structures and functions of the second magnet 535, the second positioning pin 536, the second seating sensor 537, and the second magnetic path detection sensor 538 are respectively the first magnet 531 and the first magnet. Since the positioning pin 532, the first seating sensor 533, and the first magnetic path detection sensor 534 are the same or similar, a detailed description thereof will be omitted.

절연체(539)는 핸드(530) 내에 제공될 수 있다. 절연체(539)는 핸드(530) 내에 제공되며, 제1자석(531)과 제2자석(535) 사이에 제공될 수 있다. 절연체(539)는 판 형상을 가질 수 있다. 절연체(539)는 절연성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 또한 절연체(539)는 자석의 자기 경로를 차단할 수 있는 재질로 제공될 수 있다. 절연체(539)는 제1자석(531)과 제2자석(535) 사이에 제공되어 제1자석(531)의 자기 경로와 제2자석(535)의 자기 경로가 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 절연체(539)는 제1자석(531)과 제2자석(535) 중 어느 하나의 자기 경로가 변경되는 경우, 나머지 하나에 영향을 주는 것을 방지할 수 있다.The insulator 539 may be provided in the hand 530. The insulator 539 is provided in the hand 530 and may be provided between the first magnet 531 and the second magnet 535. The insulator 539 may have a plate shape. The insulator 539 may be made of an insulating material. In addition, the insulator 539 may be made of a material capable of blocking the magnetic path of the magnet. The insulator 539 is provided between the first magnet 531 and the second magnet 535 to prevent the magnetic path of the first magnet 531 and the magnetic path of the second magnet 535 from interfering with each other. . When one of the first magnet 531 and the second magnet 535 changes the magnetic path of the insulator 539, the insulator 539 may prevent the other magnet from being affected.

도 6은 도 2의 용기를 보여주는 도면이고, 도 7은 도 6의 용기를 상부에서 바라본 도면이다. 도 6과 도 7을 참조하면, 용기(700)에는 물품이 수납될 수 있다. 용기(700)에 수납되는 물품의 예로는 반도체 기판, 다이들이 부착되기 위한 인쇄회로 기판, 인쇄회로기판에 다이들이 본딩된 반도체 패키지 등을 들 수 있다. 용기(30)의 예로는 복수의 반도체 기판을 수납하기 위한 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP) 및 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB), 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.6 is a view showing the container of FIG. 2, and FIG. 7 is a view of the container of FIG. 6 viewed from the top. 6 and 7, an article may be accommodated in the container 700. Examples of the articles stored in the container 700 include a semiconductor substrate, a printed circuit board to which dies are attached, and a semiconductor package in which dies are bonded to the printed circuit board. Examples of the container 30 include a front opening unified pod (FOUP) and a shipping box (FOUP) for storing a plurality of semiconductor substrates, a magazine for storing a plurality of printed circuit boards, and a plurality of semiconductors. And a tray for storing packages.

용기(700)의 상면에는 결합 부재(710)가 제공될 수 있다. 결합 부재(710)는 용기(700)와 결합 될 수 있다. 결합 부재(710)는 용기(700)에 고정 결합될 수 있다. 결합 부재(710)는 용기(700)를 핸드(530)에 결합시킬 수 있다. A coupling member 710 may be provided on the upper surface of the container 700. The coupling member 710 may be coupled to the container 700. The coupling member 710 may be fixedly coupled to the container 700. The coupling member 710 may couple the container 700 to the hand 530.

결합 부재(710)의 상면에는 제2안착홈(712)이 형성될 수 있다. 또한, 결합 부재(710)에는 제2자성체(714)가 결합될 수 있다. 제2안착홈(712)은 결합 부재(710)의 상면에서 아래를 향하는 방향으로 만입되어 형성될 수 있다. 제2안착홈(712)은 경사지게 만입되어 형성될 수 있다. 제2안착홈(712)은 핸드(530)에 제공되는 제2안착 센서(537)와 대응하는 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제2안착홈(712)은 핸드(530)에 제공되는 제2안착 센서(537)가 삽입 가능한 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제2안착홈(712)은 핸드(530)에 제공되는 제2안착 센서(537)와 대응하는 위치에 형성될 수 있다.A second seating groove 712 may be formed on the upper surface of the coupling member 710. In addition, a second magnetic body 714 may be coupled to the coupling member 710. The second seating groove 712 may be formed by being recessed from the upper surface of the coupling member 710 in a downward direction. The second seating groove 712 may be formed by being inclined indented. The second seating groove 712 may be provided in a shape corresponding to the second seating sensor 537 provided on the hand 530. In addition, the second seating groove 712 may be provided in a shape into which the second seating sensor 537 provided in the hand 530 can be inserted. In addition, the second seating groove 712 may be formed at a position corresponding to the second seating sensor 537 provided on the hand 530.

제2자성체(714)는 결합 부재(710)에 결합될 수 있다. 제2자성체(714)는 결합 부재(710)에 형성된 홈에 삽입되어 결합될 수 있다. 제2자성체(714)는 링 형상을 가질 수 있다. 제2자성체(714)는 핸드(530)의 제2자석(535)과 대응하게 위치될 수 있다. 제2자성체(714)에는 제2위치 결정홈(716)이 형성될 수 있다. 제2위치 결정홈(716)은 핸드(530)의 제2위치 결정핀(536)이 삽입 가능한 형상을 가질 수 있다.The second magnetic body 714 may be coupled to the coupling member 710. The second magnetic body 714 may be coupled by being inserted into a groove formed in the coupling member 710. The second magnetic body 714 may have a ring shape. The second magnetic body 714 may be positioned to correspond to the second magnet 535 of the hand 530. A second positioning groove 716 may be formed in the second magnetic body 714. The second positioning groove 716 may have a shape into which the second positioning pin 536 of the hand 530 can be inserted.

제어기(미도시)는 반송 장치(1000)를 제어할 수 있다. 제어기는 구동 유닛(300), 그리고 반송 유닛(500)을 제어할 수 있다. 제어기는 이하에서 설명하는 반송 장치(1000)의 구동을 수행하도록 구동 유닛(300), 그리고 반송 유닛(500)을 제어할 수 있다.A controller (not shown) may control the transport device 1000. The controller may control the drive unit 300 and the transfer unit 500. The controller may control the driving unit 300 and the transport unit 500 to perform driving of the transport apparatus 1000 described below.

도 8은 용기가 핸드에 장착될 때의 모습을 보여주는 도면이다. 도 8을 참조하면 제어기는 반송 유닛(500)을 제어한다. 제어기는 핸드(530)를 하강시킬 수 있다. 핸드(530)의 하면에 제공된 제2안착 센서(537)는 제2안착홈(712)에 삽입될 수 있다. 또한, 제2위치 결정핀(536)은 제2위치 결정홈(716)에 삽입될 수 있다. 제2안착 센서(537)의 아래 방향으로의 높이는 제2위치 결정핀(536)보다 높다. 이에, 제2안착 센서(537)에 의해 용기(700)의 위치는 1차 조정되고 제2위치 결정핀(536)에 의해 용기(700)의 위치가 2차 조정될 수 있다. 제2위치 결정핀(536)은 용기(700)의 위치를 정밀하게 조정할 수 있다. 8 is a view showing a state when a container is mounted on a hand. Referring to FIG. 8, the controller controls the transfer unit 500. The controller can lower the hand 530. The second seating sensor 537 provided on the lower surface of the hand 530 may be inserted into the second seating groove 712. In addition, the second positioning pin 536 may be inserted into the second positioning groove 716. The height of the second seating sensor 537 in the downward direction is higher than that of the second positioning pin 536. Accordingly, the position of the container 700 may be primarily adjusted by the second seating sensor 537 and the position of the container 700 may be secondarily adjusted by the second positioning pin 536. The second positioning pin 536 may precisely adjust the position of the container 700.

도 9는 용기가 핸드에 장착된 모습을 보여주는 도면이다. 도 9를 참조하면, 핸드(530)는 하강하여 결합 부재(710)와 접한다. 이후, 승강 수단(520)에 제공되는 전력 라인은 전자기력을 발생시킬 수 있다. 이에 제2자석(535)의 자기 경로는 제2자성체(714)를 통과하여 흐르도록 변경될 수 있다. 제2자석(535)의 자기 경로가 제2자성체(714)를 통과하여 흐르면 제2자석(535)과 제2자성체(714)는 서로 접착될 수 있다. 이에 용기(700)는 핸드(530)에 장착될 수 있다. 제2자석(535)과 제2자성체(714)가 서로 접착되면 전력 라인은 전자기력 발생을 중단할 수 있다.9 is a view showing a container mounted on a hand. Referring to FIG. 9, the hand 530 descends and contacts the coupling member 710. Thereafter, the power line provided to the lifting means 520 may generate an electromagnetic force. Accordingly, the magnetic path of the second magnet 535 may be changed to flow through the second magnetic body 714. When the magnetic path of the second magnet 535 flows through the second magnetic body 714, the second magnet 535 and the second magnetic body 714 may be bonded to each other. Accordingly, the container 700 may be mounted on the hand 530. When the second magnet 535 and the second magnetic body 714 are adhered to each other, the power line may stop generating electromagnetic force.

도 10은 핸드가 바디에 장착될 때의 모습을 보여주는 도면이다. 제어기는 반송 유닛(500)을 제어한다. 제어기는 핸드(530)를 상승시킬 수 있다. 핸드(530)의 상면에 제공된 제1안착 센서(533)는 제1안착홈(512)에 삽입될 수 있다. 또한, 제1위치 결정핀(532)은 제1위치 결정홈(516)에 삽입될 수 있다. 제1안착 센서(533)의 위 방향으로의 높이는 제1위치 결정핀(532)보다 높다. 이에, 제1안착 센서(533)에 의해 핸드(530)의 위치는 1차 조정되고 제1위치 결정핀(532)에 의해 핸드(530)의 위치가 2차 조정될 수 있다. 제1위치 결정핀(532)은 핸드(530)의 위치를 정밀하게 조정할 수 있다.10 is a view showing a state when a hand is mounted on a body. The controller controls the transfer unit 500. The controller may raise the hand 530. The first seating sensor 533 provided on the upper surface of the hand 530 may be inserted into the first seating groove 512. In addition, the first positioning pin 532 may be inserted into the first positioning groove 516. The height of the first seating sensor 533 in the upward direction is higher than that of the first positioning pin 532. Accordingly, the position of the hand 530 may be primarily adjusted by the first seating sensor 533 and the position of the hand 530 may be secondarily adjusted by the first positioning pin 532. The first positioning pin 532 may precisely adjust the position of the hand 530.

핸드(530)가 상승하면 바디(510)와 접할 수 있다. 핸드(530)가 바디(510)와 접한다. 이후, 승강 수단(520)에 제공되는 전력 라인은 전자기력을 발생시킬 수 있다. 이에 제1자석(531)의 자기 경로는 제1자성체(514)를 통과하여 흐르도록 변경될 수 있다. 제1자석(531)의 자기 경로가 제1자성체(514)를 통과하여 흐르면 제1자석(531)과 제1자성체(514)는 서로 접착될 수 있다. 이에 핸드(530)는 바디(510)에 장착될 수 있다. 제1자석(531)과 제1자성체(514)가 서로 접착되면 전력 라인은 전자기력 발생을 중단할 수 있다.When the hand 530 rises, it may contact the body 510. The hand 530 is in contact with the body 510. Thereafter, the power line provided to the lifting means 520 may generate an electromagnetic force. Accordingly, the magnetic path of the first magnet 531 may be changed to flow through the first magnetic body 514. When the magnetic path of the first magnet 531 flows through the first magnetic body 514, the first magnet 531 and the first magnetic body 514 may be bonded to each other. Accordingly, the hand 530 may be mounted on the body 510. When the first magnet 531 and the first magnetic body 514 are adhered to each other, the power line may stop generating electromagnetic force.

도 11은 반송 유닛이 이동하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 11을 참조하면, 용기(700)는 핸드(530)에 자기 경로 제어 방식으로 장착될 수 있다. 핸드(530)는 바디(510)에 자기 경로 제어 방식으로 장착될 수 있다. 자기 경로 제어 방식은 자기 경로를 변경할 때에만 전자기력을 발생시키기 때문에 전력의 낭비를 최소화 할 수 있다. 또한, 용기(700)는 핸드(530)에 완전히 장착되고, 핸드(530)는 바디(510)에 완전히 장착될 수 있다. 즉, 용기(700)를 반송 유닛(500)에 장착하는 것을 용이하게 수행할 수 있다.11 is a diagram showing a state in which the transfer unit moves. Referring to FIG. 11, the container 700 may be mounted on the hand 530 in a magnetic path control method. The hand 530 may be mounted on the body 510 in a magnetic path control method. Since the magnetic path control method generates electromagnetic force only when the magnetic path is changed, waste of power can be minimized. In addition, the container 700 may be completely mounted on the hand 530, and the hand 530 may be completely mounted on the body 510. That is, it can be easily performed to mount the container 700 to the transfer unit 500.

또한, 용기(700)가 핸드(530)에 완전히 장착되고, 핸드(530)가 바디(510)에 완전히 장착된 상태에서 반송 유닛(500)은 이동할 수 있다. 즉, 핸드(530)를 기준으로 상부와 하부가 완전히 장착될 수 있다. 이에, 용기(700)가 주행 중에 흔들리는 현상을 최소화할 수 있다. 이에, 용기(700) 내에서 파티클 등이 발생하는 것을 최소화 할 수 있다.In addition, when the container 700 is completely mounted on the hand 530 and the hand 530 is completely mounted on the body 510, the transport unit 500 may be moved. That is, the upper and lower portions may be completely mounted based on the hand 530. Accordingly, it is possible to minimize the phenomenon that the container 700 shakes while driving. Thus, it is possible to minimize the generation of particles or the like in the container 700.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면 핸드(530)에는 절연체(539)가 제공될 수 있다. 절연체(539)는 제1자석(531)의 자기와 제2자석(535)의 자기가 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 제1자석(531)과 제2자석(535)의 자기 경로 변경을 더욱 용이하게 할 수 있다. 또한, 제1자석(531)과 제2자석(535)의 자기가 서로 간섭되지 않아 주행 중에 용기(700)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 예컨대, 제1자석(531)의 자기가 제2자석(535)의 자기 경로를 변경하게 되면 핸드(530)로부터 용기(700)는 이탈될 수 있다. 즉, 절연체(539)는 이러한 문제점을 방지할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, an insulator 539 may be provided to the hand 530. The insulator 539 may prevent magnetism of the first magnet 531 and magnetism of the second magnet 535 from interfering with each other. Accordingly, it is possible to more easily change the magnetic path of the first magnet 531 and the second magnet 535. In addition, since the magnetisms of the first magnet 531 and the second magnet 535 do not interfere with each other, it is possible to prevent the container 700 from falling while driving. For example, when the magnetism of the first magnet 531 changes the magnetic path of the second magnet 535, the container 700 may be separated from the hand 530. That is, the insulator 539 can prevent this problem.

즉, 본 발명의 일 실시 예에 의하면 별도의 낙하 방지 장치가 요구되지 않아 장치의 구성을 단순화할 수 있다. 이에, 장치의 제작 비용을 최소화 할 수 있다. That is, according to an embodiment of the present invention, since a separate device for preventing fall is not required, the configuration of the device can be simplified. Thus, it is possible to minimize the manufacturing cost of the device.

상술한 예에서는 결합 부재(710)가 용기(700)의 상면에 결합되는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 결합 부재(710)는 용기(700)와 일체로 제공될 수 있다.In the above-described example, the coupling member 710 has been described as being coupled to the upper surface of the container 700, but is not limited thereto. For example, the coupling member 710 may be provided integrally with the container 700.

상술한 예에서는 전력 라인이 전자기력을 발생시켜 제1자석(531) 또는 제2자석(535)의 자기 경로를 변경하는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제1자석(531), 그리고 제2자석(535)과 다른 영구 자석을 이용하여 제1자석(531) 또는 제2자석(535)의 자기 경로를 변경할 수도 있다.In the above-described example, the power line generates electromagnetic force to change the magnetic path of the first magnet 531 or the second magnet 535, but is not limited thereto. For example, the magnetic path of the first magnet 531 or the second magnet 535 may be changed by using a permanent magnet different from the first magnet 531 and the second magnet 535.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The detailed description above is illustrative of the present invention. In addition, the above description shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications and environments. That is, changes or modifications may be made within the scope of the concept of the invention disclosed in the present specification, the scope equivalent to the disclosed contents, and/or the skill or knowledge of the art. The above-described embodiments describe the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in the specific application fields and uses of the present invention are possible. Therefore, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiment. In addition, the appended claims should be construed as including other embodiments.

반송 장치 : 1000
주행 레일 : 100
구동 유닛 : 300
구동기 : 310
바퀴 : 320
결합 프레임 : 330
반송 유닛 : 500
바디 : 510
제1안착홈 : 512
제1자성체 : 514
제1위치 결정홈 : 516
핸드 : 530
제1자석 : 531
제1위치 결정핀 : 532
제1안착 센서 : 533
제1자기 경로 감지 센서 : 534
제2자석 : 535
제2위치 결정핀 : 536
제2안착 센서 : 537
제2자기 경로 감지 센서 : 538
절연체 : 539
용기 : 700
결합 부재 : 710
제2안착홈 : 712
제2자성체 : 714
제2위치결정홈 : 716Conveying device: 1000
Running rail: 100
Drive unit: 300
Actuator: 310
Wheel: 320
Combined frame: 330
Transfer unit: 500
Body: 510
1st seating groove: 512
First magnetic body: 514
1st positioning groove: 516
Hand: 530
1st magnet: 531
1st positioning pin: 532
First seating sensor: 533
First magnetic path detection sensor: 534
2nd magnet: 535
2nd positioning pin: 536
Second seating sensor: 537
Second magnetic path detection sensor: 538
Insulator: 539
Container: 700
Mating member: 710
2nd seating groove: 712
Second magnetic body: 714
2nd positioning groove: 716

Claims (20)

물품이 수납된 용기, 그리고 용기를 이송하는 반송 장치를 포함하는 반송 모듈에 있어서,
상기 반송 장치는,
천정에 설치되는 주행 레일과;
자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과;
상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되,
상기 반송 유닛은,
용기와 착탈되는 핸드와;
상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과;
상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과;
상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함하는 반송 모듈.In the conveyance module comprising a container in which the article is stored, and a conveyance device for conveying the container,
The conveying device,
A running rail installed on the ceiling;
A conveying unit for holding the container detachably using a magnetic path control method;
And a driving unit coupled to the transport unit and moving along the travel rail,
The conveying unit,
A hand detachable from the container;
Elevating means for moving the hand in the vertical direction;
A first magnet coupled to the upper surface of the hand;
Transfer module including a second magnet coupled to the lower surface of the hand. 제1항에 있어서,
상기 핸드 내에 제공되며 상기 제1자석 및 상기 제2자석 사이에 제공되는 절연체를 포함하는 반송 모듈.The method of claim 1,
A transfer module including an insulator provided in the hand and provided between the first magnet and the second magnet. 제2항에 있어서,
상기 반송 장치는,
상기 구동 유닛과 결합되고, 상기 승강 수단이 제공되는 바디를 포함하되,
상기 바디에는 상기 제1자석과 대응하게 위치되는 제1자성체가 결합되는 반송 모듈.The method of claim 2,
The conveying device,
And a body coupled to the drive unit and provided with the elevating means,
A transport module to which a first magnetic body positioned corresponding to the first magnet is coupled to the body. 제3항에 있어서,
상기 핸드의 상면에는 제1위치 결정핀이 제공되고,
상기 제1자성체에는 상기 제1위치 결정핀이 삽입 가능한 제1위치 결정홈이 형성되는 반송 모듈.The method of claim 3,
A first positioning pin is provided on the upper surface of the hand,
A transport module in which a first positioning groove into which the first positioning pin can be inserted is formed in the first magnetic body. 제4항에 있어서,
상기 핸드의 상면에는 상기 제1위치 결정핀이 상기 제1위치 결정홈에 삽입되어 상기 핸드가 상기 바디에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제1안착 센서가 제공되는 반송 모듈.The method of claim 4,
A transport module provided with a first seating sensor on an upper surface of the hand to detect whether the hand is mounted in the body in a correct position by inserting the first positioning pin into the first positioning groove. 제5항에 있어서,
용기의 상면에 제공되고, 용기를 상기 핸드에 장착시키는 결합 부재가 제공되고,
상기 결합 부재에는 상기 제2자석과 대응되게 위치되는 제2자성체가 결합되는 반송 모듈.The method of claim 5,
Provided on the upper surface of the container, a coupling member for mounting the container to the hand is provided,
A transport module in which a second magnetic body positioned to correspond to the second magnet is coupled to the coupling member. 제6항에 있어서,
상기 핸드의 하면에는 제2위치 결정핀이 제공되고,
상기 제2자성체에는 상기 제2위치 결정핀이 삽입 가능한 제2위치 결정홈이 형성되는 반송 모듈.The method of claim 6,
A second positioning pin is provided on the lower surface of the hand,
A transport module in which a second positioning groove into which the second positioning pin can be inserted is formed in the second magnetic body. 제7항에 있어서,
상기 핸드의 하면에는 상기 제2위치 결정핀이 상기 제2위치 결정홈에 삽입되어 상기 용기가 상기 핸드에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제2안착 센서가 제공되는 반송 모듈.The method of claim 7,
A transfer module provided with a second seating sensor on a lower surface of the hand, wherein the second positioning pin is inserted into the second positioning groove to detect whether the container is properly mounted on the hand. 제8항에 있어서,
상기 승강 수단에는,
상기 제1자석의 자기 경로를 변경하여 상기 제1자성체를 상기 제1자석에 접착시키거나, 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하여 상기 제2자성체를 상기 제2자석에 접착시키는 전자기력을 전달하는 전력 라인이 제공되는 반송 모듈.The method of claim 8,
In the lifting means,
Changing the magnetic path of the first magnet to bond the first magnetic body to the first magnet, or changing the magnetic path of the second magnet to transmit an electromagnetic force for bonding the second magnetic body to the second magnet Conveying module with power lines provided. 제9항에 있어서,
상기 반송 장치는,
상기 반송 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하되,
상기 제어기는,
상기 핸드를 하강시켜 상기 제2위치 결정핀을 상기 제2위치 결정홈에 삽입시키고,
상기 제2자석의 자기 경로를 변경하여 상기 용기를 상기 핸드에 장착시키는 반송 모듈.The method of claim 9,
The conveying device,
Further comprising a controller for controlling the transfer unit,
The controller,
Lowering the hand to insert the second positioning pin into the second positioning groove,
A conveyance module for mounting the container to the hand by changing the magnetic path of the second magnet. 제10항에 있어서,
상기 제어기는,
상기 핸드를 상승시켜 상기 제1위치 결정핀을 상기 제1위치 결정홈에 삽입시키고,
상기 제1자석의 자기 경로를 변경하여 상기 핸드를 상기 바디에 장착 반송 모듈.The method of claim 10,
The controller,
Raise the hand to insert the first positioning pin into the first positioning groove,
A transport module for mounting the hand to the body by changing the magnetic path of the first magnet. 물품이 수납된 용기를 이송하는 반송 장치에 있어서,
천정에 설치되는 주행 레일과;
자기 경로 제어 방식을 이용하여 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 반송 유닛과;
상기 반송 유닛과 결합되고, 상기 주행 레일을 따라 이동되는 구동 유닛을 포함하되,
상기 반송 유닛은,
용기와 착탈되는 핸드와;
상기 핸드를 상하 방향으로 이동시키는 승강 수단과;
상기 핸드의 상면에 결합되는 제1자석과;
상기 핸드의 하면에 결합되는 제2자석을 포함하는 반송 장치.In the conveying device for transferring the container in which the article is stored,
A running rail installed on the ceiling;
A conveying unit for holding the container detachably using a magnetic path control method;
And a driving unit coupled to the transport unit and moving along the travel rail,
The conveying unit,
A hand detachable from the container;
Elevating means for moving the hand in the vertical direction;
A first magnet coupled to the upper surface of the hand;
Conveying device comprising a second magnet coupled to the lower surface of the hand. 제12항에 있어서,
상기 핸드 내에 제공되며 상기 제1자석 및 상기 제2자석 사이에 제공되는 절연체를 포함하는 반송 장치.The method of claim 12,
A conveying device including an insulator provided in the hand and provided between the first magnet and the second magnet. 제13항에 있어서,
상기 반송 장치는,
상기 구동 유닛과 결합되고, 상기 승강 수단이 제공되는 바디를 포함하되,
상기 바디에는 상기 제1자석과 대응하게 위치되는 제1자성체가 결합되는 반송 장치.The method of claim 13,
The conveying device,
And a body coupled to the drive unit and provided with the elevating means,
A transport device in which a first magnetic body positioned corresponding to the first magnet is coupled to the body. 제14항에 있어서,
상기 핸드의 상면에는 제1위치 결정핀이 제공되고,
상기 제1자성체에는 상기 제1위치 결정핀이 삽입 가능한 제1위치 결정홈이 형성되는 반송 장치.The method of claim 14,
A first positioning pin is provided on the upper surface of the hand,
A conveying device in which a first positioning groove into which the first positioning pin can be inserted is formed in the first magnetic body. 제15항에 있어서,
상기 핸드의 상면에는 상기 제1위치 결정핀이 상기 제1위치 결정홈에 삽입되어 상기 핸드가 상기 바디에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제1안착 센서가 제공되는 반송 장치.The method of claim 15,
A conveying device provided with a first seating sensor on the upper surface of the hand to detect whether the hand is mounted in the body in a correct position by inserting the first positioning pin into the first positioning groove. 제16항에 있어서,
상기 핸드의 하면에는 제2위치 결정핀이 제공되는 반송 장치.The method of claim 16,
A transfer device provided with a second positioning pin on a lower surface of the hand. 제17항에 있어서,
상기 핸드의 하면에는 용기가 상기 핸드에 정위치로 장착되었는지를 감지하는 제2안착 센서가 제공되는 반송 장치.The method of claim 17,
A conveying device provided with a second seating sensor on a lower surface of the hand for detecting whether a container is properly mounted on the hand. 제18항에 있어서,
상기 승강 수단에는,
상기 제1자석 또는 상기 제2자석의 자기 경로를 변경하는 전자기력을 전달하는 전력 라인이 제공되는 반송 장치. The method of claim 18,
In the lifting means,
A conveying device provided with a power line for transmitting an electromagnetic force for changing a magnetic path of the first magnet or the second magnet. 제19항에 있어서,
상기 핸드에는,
상기 제1자석 또는 상기 제2자석의 자기 경로가 변경되었는지 여부를 감지하는 자기 경로 감지 센서가 제공되는 반송 장치.



The method of claim 19,
In the hand,
A transport apparatus provided with a magnetic path detection sensor that detects whether the magnetic path of the first magnet or the second magnet has changed.
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