KR20200135193A - 용융 유리 반송 장치, 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법 - Google Patents

용융 유리 반송 장치, 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법 Download PDF

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KR20200135193A
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에이지씨 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 도관을 적어도 1개 포함하는 용융 유리용 도관 구조체와, 상기 도관 중 적어도 1개의 도관의 주위에 마련된 제1 세라믹스 구조체와, 상기 제1 세라믹스 구조체의 주위에 마련된 제2 세라믹스 구조체와, 상기 제1 세라믹스 구조체와 상기 제2 세라믹스 구조체 사이에 마련된 제3 세라믹스 구조체를 구비하고, 상기 제3 세라믹스 구조체는, 가스 유로를 갖고, 상기 가스 유로에 200℃ 이상의 가스가 공급되는, 용융 유리 반송 장치에 관한 것이다.

Description

용융 유리 반송 장치, 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법{MOLTEN GLASS CONVEYANCE DEVICE, APPARATUS FOR PRODUCING GLASS AND METHOD FOR PRODUCING GLASS}
본 발명은, 용융 유리 반송 장치, 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법에 관한 것이다.
유리 제조 장치는, 용해 장치, 청징 장치(감압 탈포 장치나 고온 청징 장치를 포함함), 성형 장치 및 이들 장치를 연결하는 용융 유리 반송 장치 등을 구비한다.
용융 유리 반송 장치는, 재질로서 백금 또는 백금 합금이 다용된다. 백금 또는 백금 합금은, 융점이 높고, 내열성이 우수한 내열 금속인 것에 더하여, 용융 유리에 대한 반응성이 다른 내열 금속에 비해 낮다. 또한, 고온에서의 내산화성이 우수하고, 고온에서도 강도를 어느 정도 확보할 수 있다.
그러나, 유리의 조성에 따라서는, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 백금 재료에 용융 유리가 접촉하면, 많은 기포가 발생하는 경우가 있다. 해당 기포는, 용융 유리에 포함되는 수분이, 백금 재료와 접촉하여 해리되는 것, 또는 용융 유리를 통해 흐르는 전류에 의해 유기되는 전기 분해에 기초하여 해리되는 것에 의해, 생성되는 산소에 기인하여 형성된다. 제조되는 유리에 기포가 잔류하면, 유리의 품질 저하로 연결될 우려가 있다.
이러한 기포의 발생을 방지하는 방법으로서, 특허문헌 1에는, 적어도 하나의 용기를 둘러싸는 캡슐을 구비하고, 당해 용기의 비유리 접촉 표면의 주위의 수소 분압이 일정한 레벨 이상으로 유지되도록, 상기 캡슐 내의 수소의 분압을 제어하는 폐루프 제어 장치가 기재되어 있다.
일본 특허 공표 제2008-539160호 공보
그러나, 캡슐 및 폐루프 제어 장치는, 그것을 구축하기 위한 투자 비용 및 운전 비용의 양쪽이 높아, 고비용으로 된다.
또한, 용기의 비유리 접촉 표면의 주위에 공급되는 수증기 등의 가스는, 그 온도가 겨우 120∼150℃ 정도이다. 그 때문에, 용융 유리가 채워져 있는 백금 또는 백금 합금을 포함하는 도관(1300∼1500℃ 정도)은, 당해 가스에 접촉함으로써 그의 외표면이 냉각되어, 도관 내의 용융 유리에 온도 차가 발생한다. 이에 의해, 도관 내의 용융 유리의 포화 산소 용해도에 차가 발생하고, 거기에 전기 회로가 형성되면, 한쪽에서는 산소가 용해되고, 다른 쪽에서는 산소의 기포가 발생한다는 산화 환원이 발생한다. 이 산소의 기포에 의한 유리의 품질 저하가 염려된다.
본 발명은, 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 도관의 내부의 용융 유리로부터 발생하는 기포를 억제하면서, 유리 제조 비용을 억제할 수 있는 용융 유리 반송 장치, 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 도관을 적어도 1개 포함하는 용융 유리용 도관 구조체와, 상기 도관 중 적어도 1개의 도관의 주위에 마련된 제1 세라믹스 구조체와, 상기 제1 세라믹스 구조체의 주위에 마련된 제2 세라믹스 구조체와, 상기 제1 세라믹스 구조체와 상기 제2 세라믹스 구조체 사이에 마련된 제3 세라믹스 구조체를 구비하고, 상기 제3 세라믹스 구조체는, 가스 유로를 갖고, 상기 가스 유로에 200℃ 이상의 가스가 공급되는, 용융 유리 반송 장치에 관한 것이다.
본 발명에 관한 용융 유리 반송 장치, 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법에 의하면, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 도관 내부의 용융 유리로부터 발생하는 기포를 억제하면서, 유리 제조 비용을 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 용융 유리 반송 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1에 있어서의 용융 유리용 도관 구조체의 I-I 단면 부분에 있어서의, 가스 공급 시스템을 설명하기 위한 개략도이다.
도 3의 (A) 및 도 3의 (B)는, 도 1에 나타내는 제1 세라믹스 구조체, 제2 세라믹스 구조체 및 제3 세라믹스 구조체의 확대 단면도이고, 제3 세라믹스 구조체에 있어서의 가스 유로의 형태를 나타내는 도면이다.
도 4는 제3 세라믹스 구조체에 있어서의 가스 유로의 일 형태를 설명하기 위한 개략 단면도이다.
도 5는 가스 유로의 일 형태를 설명하기 위한, 제3 세라믹스 구조체의 사시도이다.
도 6은 제3 세라믹스 구조체에 있어서의 가스 유로의 일 형태를 설명하기 위한 개략 단면도이다.
도 7은 제3 세라믹스 구조체에 있어서의 가스 유로의 일 형태를 설명하기 위한 개략 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 유리 제조 장치를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 유리 제조 장치를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 유리 제조 장치를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 본 명세서에 있어서, 수치 범위를 나타내는 「∼」는 그의 전후의 수치를 포함하는 범위를 의미한다.
[용융 유리 반송 장치]
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 용융 유리 반송 장치를 나타내는 단면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 용융 유리 반송 장치 중, 용융 유리용 도관 구조체의 I-I 단면 부분에 있어서의 가스 공급 시스템을 설명하기 위한 개략도이다.
용융 유리 반송 장치(1)는, 용융 유리용 도관 구조체(40)와, 제1 세라믹스 구조체(10)와, 제2 세라믹스 구조체(20)와, 저부 벽돌(22)과, 제3 세라믹스 구조체(30)를 구비하고, 가스 공급 시스템(50)을 더 구비하는 것이 바람직하다.
제3 세라믹스 구조체(30)는, 가스 유로(도 1 및 도 2에서는 도시하지 않음)를 갖고, 제1 세라믹스 구조체(10)에 사용되는 부정형 내화물을 지지한다. 제3 세라믹스 구조체(30)에 가스 공급 시스템(50)에 있어서의 공급관(54A 내지 54D)이나 배기관(56A, 56B)을 연결하는 것이 바람직하고, 가스 유로에 가스를 골고루 퍼지게 할 수 있다.
용융 유리용 도관 구조체(40)는, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 도관을 적어도 1개 포함한다. 도 1에 있어서는, 용융 유리용 도관 구조체(40)를 구성하는 도관은, 주관(41) 및 분기관(42, 43)이다. 이들 도관의 주위에는, 제1 세라믹스 구조체(10)가 마련되고, 제1 세라믹스 구조체(10)의 주위에는, 제2 세라믹스 구조체(20)가 마련된다. 제3 세라믹스 구조체(30)는, 제1 세라믹스 구조체(10)와 제2 세라믹스 구조체(20) 사이에 마련된다.
용융 유리용 도관 구조체(40)는, 연직 방향에 중심축이 있는 주관(41)과, 주관(41)과 연통하고, 수평 방향에 중심축이 있는 2개의 분기관(42, 43)을 갖는 것이 바람직하다. 도 1에 나타내는 실시 형태에서는, 1개의 분기관(42)은, 주관(41)의 하부 측방으로부터 분기하고, 다른 1개의 분기관(43)은, 주관(41)의 상부 측방으로부터 분기한다. 주관(41) 및 분기관(42, 43)은, 모두 원통상이고, 내부를 용융 유리(G)가 흐른다. 용융 유리(G)는, 분기관(42)으로부터 유입되어, 주관(41)을 상향으로 흐르고, 분기관(43)으로 유출된다. 부언하면, 2개의 분기관은, 각각 높이가 달라도 되고, 용융 유리가, 주관(41)의 상부 측방으로부터 유입되고, 주관(41)을 하향으로 흐르고, 주관(41)의 하부 측방으로 유출되도록 마련되어도 된다.
용융 유리용 도관 구조체(40)를 구성하는 도관(주관(41) 및 분기관(42, 43))은, 백금 또는 백금 합금을 포함한다. 백금 합금은, 예를 들어 백금-금 합금, 백금-로듐 합금, 백금-이리듐 합금이다. 또한, 도관은, 백금 또는 백금 합금에 Al2O3, ZrO2, Y2O3과 같은 금속 산화물 입자를 분산시킨 강화 백금이 사용되어도 된다.
용융 유리용 도관 구조체는, 도 1에 나타내는 실시 형태에 한정되지 않고, 주관이 되는 도관 1개만으로 구성되어도 되고, 주관과 분기관의 2개 이상의 도관으로 구성되어도 된다. 또한, 제1 세라믹스 구조체에 덮이는 도관은, 주관이어도 되고 분기관이어도 되고, 주관과 분기관이 모두 덮여 있어도 된다.
또한, 수평 방향에 중심축이 있는 도관을 주관으로 한 구성이어도 된다. 이 경우, 용융 유리용 도관 구조체는, 후술하는 도 9의 제1 공급관(251), 제2 공급관(252), 제3 공급관(253)이나, 도 10의 제1 반송관(111), 제2 반송관(112) 등에 사용할 수 있다. 부언하면, 해당 도관은, 수평 방향으로 연신되지 않고 경사져도 되고, 직관에 한정되지 않고 곡선관이어도 된다.
도 1에 있어서는, 주관(41)은, 하단에 저벽(2)을 갖는다. 저벽(2)에는, 용융 유리(G)의 일부를 외부로 배출하는 배출구가 마련되어도 된다. 또한, 주관(41)은, 상단에 용융 유리(G)로부터의 방열을 방지하는 덮개 부재가 마련되어도 된다.
주관(41)의 내부에 있어서의 용융 유리(G)의 높이(이하, 「용융 유리 레벨(GL)」이라고 함)는, 분기관(43)의 상단보다도 높은 것이 바람직하다. 그 때문에, 분기관(43)은, 내부가 모두 용융 유리(G)로 채워져 있다. 이에 의해, 분기관(43)에 있어서, 용융 유리 표층부로부터 붕산 성분 등이 증발하여 용융 유리가 이질화되는 것을 방지하고, 나아가서는 유리에 림(줄무늬) 등의 결함이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
용융 유리용 도관 구조체(40)를 구성하는 도관(주관(41) 및 분기관(42, 43))은, 내경이 50㎜ 이상이 바람직하고, 100㎜ 이상이 보다 바람직하다. 또한, 내경이 500㎜ 이하가 바람직하고, 450㎜ 이하가 보다 바람직하다. 또한, 직경 방향에 있어서의 두께가 0.1㎜ 이상이 바람직하고, 3㎜ 이하가 바람직하다. 주관(41)의 높이(축방향 길이)는, 500㎜ 이상이 바람직하고, 800㎜ 이상이 보다 바람직하다. 또한, 높이는 3000㎜ 이하가 바람직하고, 2700㎜ 이하가 보다 바람직하다. 또한, 분기관(42, 43)의 축방향 길이는, 50㎜ 이상이 바람직하고, 150㎜ 이상이 보다 바람직하다. 또한, 축방향 길이는 1500㎜ 이하가 바람직하고, 1300㎜ 이하가 보다 바람직하다. 부언하면, 분기관(42, 43)과 같이 용융 유리용 도관 구조체에 복수의 분기관이 포함되는 경우, 그들 복수의 분기관의 크기는 각각 동일해도 되고 달라도 된다.
도 1에 있어서, 용융 유리용 도관 구조체(40)는, 주관(41)에 대하여 2개의 분기관(42, 43)이 그의 일단측에서 각각 연통되어 있다. 분기관(42, 43)이 그의 타단측에 있어서, 추가로 별도의 주관과 연통되는 것이어도 된다.
주관(41)은, 그의 중심축이 엄밀한 의미에서 연직 방향인 것은 반드시 요구되지는 않고, 그의 중심축이 연직 방향에 대하여 어느 정도 경사지는 것이어도 된다. 또한, 분기관(42, 43)에 대해서도 마찬가지로, 그의 중심축이 엄밀한 의미에서 수평 방향인 것은 반드시 요구되지는 않고, 그의 중심축이 수평 방향에 대하여 어느 정도 경사지는 것이어도 된다.
주관(41) 또는 분기관(42, 43)은, 주위 방향으로 360도 연속하는 볼록부 및 오목부가, 축방향을 따라 교대로 마련되어, 주름 상자상의 외형을 이루어도 된다.
주관(41)은, 내부에 용융 유리(G)를 교반하기 위한 교반기가 마련되어도 된다. 교반기는, 적어도 용융 유리(G)와 접촉하는 부분이 백금 또는 백금 합금을 포함하는 재료에 의해 구성된다.
제1 세라믹스 구조체(10)는, 통기율이 1.0×10-13㎡ 이상이 바람직하고, 1.0×10-11㎡ 이상이 보다 바람직하다. 또한, 당해 통기율이, 제2 세라믹스 구조체(20)의 통기율보다도 높은 것이 바람직하다. 부언하면, 본 명세서에 있어서 통기율이란, JIS R 2115:2008에 기재된 방법에 준거하여 측정되는 값을 의미한다.
제1 세라믹스 구조체(10)의 통기율이 1.0×10-13㎡ 이상이면, 제3 세라믹스 구조체(30)에 있어서의 가스 유로를 흐르는 가스가 제1 세라믹스 구조체(10)를 투과하여, 용융 유리용 도관 구조체(40)에 가스를 골고루 퍼지게 할 수 있다. 또한, 제1 세라믹스 구조체(10)의 통기율이 제2 세라믹스 구조체(20)의 통기율보다도 높은 것에 의해, 가스가 제2 세라믹스 구조체(20)를 투과하는 것을 억제할 수 있기 때문에, 가스 공급량을 삭감할 수 있다. 특히, 제1 세라믹스 구조체(10)의 통기율이 1.0×10-11㎡ 이상이면, 제2 세라믹스 구조체(20)에 바람직하게 사용되는 단열 벽돌(예를 들어, 후술하는 SP15, RB180, 모두 상품명, 히노마루 요교 가부시키가이샤제)의 통기율보다도 높기 때문에, 용융 유리용 도관 구조체(40)에, 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로로부터의 가스를 효율적으로 골고루 퍼지게 할 수 있다.
제1 세라믹스 구조체(10)는, 평균 개방 기공률이 20％ 이상이 바람직하고, 25％ 이상이 보다 바람직하고, 또한 60％ 이하가 바람직하고, 50％ 이하가 보다 바람직하다. 여기서, 평균 개방 기공률은, 아르키메데스법이나 수은 포로시미터에 의한 측정에 의해 구할 수 있다.
해당 평균 개방 기공률이 20％ 이상이면, 제1 세라믹스 구조체(10)의 내열충격성이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 해당 평균 개방 기공률이 60％ 이하이면, 용융 유리(G)에 대한 내식성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
제1 세라믹스 구조체(10)는, 용융 유리(G)가 채워져 있는 용융 유리용 도관 구조체(40)의 주위에 마련되는 점에서, 특히 고온의 용융 유리, 구체적으로는, 1450℃ 이상의 용융 유리에 대한 내식성이 우수한 것이 바람직하다.
용융 유리용 도관 구조체(40)를 구성하는 도관(주관(41) 및 분기관(42, 43))과, 제1 세라믹스 구조체(10) 사이에는, 실질적으로 간극이 존재하지 않는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 간극이 0.5㎜ 미만인 것이 바람직하다. 이에 의해, 용융 유리(G)로부터 가해지는 팽창 압력에 의한 도관의 변형을 억제할 수 있다.
제1 세라믹스 구조체(10)는, 도관의 직경 방향에 있어서의 두께가 15㎜ 이상이 바람직하고, 20㎜ 이상이 보다 바람직하고, 또한 50㎜ 이하가 바람직하고, 40㎜ 이하가 보다 바람직하다. 해당 두께가 15㎜∼50㎜이면, 용융 유리용 도관 구조체(40)를 구성하는 도관과, 제2 세라믹스 구조체(20)의 간극에 제1 세라믹스 구조체(10)가 되는 슬러리체를 충전, 소결시켜 제1 세라믹스 구조체(10)를 형성할 때의 시공성이 우수하다.
제1 세라믹스 구조체(10)는, 용융 유리용 도관 구조체(40)를 구성하는 도관과, 제2 세라믹스 구조체(20)의 간극에 알루미나 캐스터블과 같은 부정형의 세라믹스 재료가 충전된 것이면 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 온도 변화가 발생한 때에, 도관과 제2 세라믹스 구조체(20)를 약간 상대 이동할 수 있기 때문에, 도관에 균열이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 알루미나 캐스터블은, 알루미나(Al2O3)를 주성분으로 하는 캐스터블 내화물을 의미하고, Al2O3 함유량은, 바람직하게는 90중량％ 이상이다. 알루미나 캐스터블 대신에, SiO2를 90질량％ 이상 함유하는 세라믹스 재료나, ZrO2를 60질량％ 이상 함유하는 세라믹스 재료도 바람직하게 사용할 수 있다.
제2 세라믹스 구조체(20)는, 통기율이 1.0×10-11㎡ 미만이 바람직하고, 1.0×10-13㎡ 미만이 보다 바람직하다. 제2 세라믹스 구조체(20)의 통기율이 1.0×10-11㎡ 미만이면, 가스가 제2 세라믹스 구조체(20)를 투과하는 것을 억제할 수 있어, 가스 공급량을 삭감할 수 있다. 특히, 제2 세라믹스 구조체(20)의 통기율이 1.0×10-13㎡ 미만이면, 제1 세라믹스 구조체(10)의 통기율보다도 일반적으로는 낮아져, 가스 공급량을 더 효율적으로 삭감할 수 있다.
제2 세라믹스 구조체(20)는, 알루미나, 마그네시아, 지르콘 및 실리카로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나를 주체로 하는 단열 벽돌이 바람직하게 사용된다. 구체예로서는, 실리카·알루미나질 단열 벽돌, 지르코니아질 단열 벽돌, 마그네시아질 단열 벽돌 등을 들 수 있다. 시판품으로서는, SP-15(히노마루 요교 가부시키가이샤제), RB180(히노마루 요교 가부시키가이샤제), LBK3000(이소라이트 고교 가부시키가이샤제) 등을 들 수 있다.
도 1에 나타내는 실시 형태에서는, 저부 벽돌(22)은, 주관(41)의 저벽(2)의 하측에 마련되어, 주관(41), 주관(41)의 주위에 마련되는 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제3 세라믹스 구조체(30)를 지지한다. 저부 벽돌(22)은, 내식성이 우수한 벽돌로서 알루미나, 마그네시아, 지르콘 및 실리카로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나를 주체로 하는 단열 벽돌이 바람직하게 사용된다. 구체예로서는, 알루미나·지르콘질 단열 벽돌 등을 들 수 있다. 시판품으로서는, 실리카·알루미나질 단열 벽돌, ZM-C(AGC 세라믹스 가부시키가이샤제), RB180(히노마루 요교 가부시키가이샤제) 등을 들 수 있다.
용융 유리 반송 장치(1)는, 저부 벽돌(22) 대신에, 주관(41)의 축방향에 있어서, 위로부터 차례로 제1 세라믹스 구조체, 제2 세라믹스 구조체가 마련되어도 된다. 또한, 제1 세라믹스 구조체와 제2 세라믹스 구조체 사이에 제3 세라믹스 구조체가 마련되어도 된다.
제3 세라믹스 구조체(30)는, 제1 세라믹스 구조체(10)와 제2 세라믹스 구조체(20) 사이에 위치하고, 가스 유로를 갖는다.
제3 세라믹스 구조체(30)는, 가스 유로를 가짐으로써, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 도관에 용융 유리가 접촉하여 발생하는 기포(이하, 「수소 투과 기포」라고 함)의 생성을 억제할 수 있다. 수소 투과 기포는, 백금 재료인 도관의 내부와 외부의 수소 분압 차가 커질수록 발생하기 쉽다. 이에 대해, 가스를 제3 세라믹스 구조체(30)나 제1 세라믹스 구조체(10)에 골고루 퍼지게 함으로써 도관의 외부의 수소 분압을 높게 하여, 수소 분압 차를 작게 함으로써, 수소 투과 기포를 억제할 수 있게 된다. 여기서, 도관의 내부의 수소 분압은, 용융 유리에 포함되는 수분이 많아질(후술하는 β-OH값이 높아질)수록, 높아진다.
가스를 제3 세라믹스 구조체(30)에도 골고루 퍼지게 하는 관점에서, 제3 세라믹스 구조체(30)의 통기율은 1.0×10-12㎡ 이상이 바람직하고, 1.0×10-11㎡ 이상이 보다 바람직하고, 1.0×10-10㎡ 이상이 더욱 바람직하다.
제3 세라믹스 구조체(30)는, 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제2 세라믹스 구조체(20)에 접촉되어 있어도 되고 비접촉이어도 된다. 또한, 일부의 영역이 접촉되어 있고, 다른 영역이 비접촉이어도 된다.
제3 세라믹스 구조체(30)가, 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제2 세라믹스 구조체(20)의 적어도 일부의 영역에서 접촉함으로써, 용융 유리(G)로부터 가해지는 팽창 압력에 의한 도관의 변형을 억제할 수 있다.
제3 세라믹스 구조체(30)가 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제2 세라믹스 구조체(20)와 모든 영역에서 접촉되어 있는 경우에는, 가스 유로는 제3 세라믹스 구조체(30)의 내부에 형성되어 있게 된다(도 3의 (A) 참조). 또한, 모든 영역에서 비접촉인 경우에는, 제3 세라믹스 구조체(30)와 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제2 세라믹스 구조체(20) 사이에는 각각, 개재하는 별도의 부재가 배치되어 있게 된다. 또한, 제3 세라믹스 구조체(30)의 비접촉 영역의 적어도 일부에 가스 유로가 형성되어 있어도 된다.
또한, 제3 세라믹스 구조체(30)가 제1 세라믹스 구조체(10)나 제2 세라믹스 구조체(20)와, 일부의 영역이 접촉되어 있고, 다른 영역이 비접촉인 경우, 상기 비접촉의 영역에는, 제3 세라믹스 구조체(30)에 가스 유로가 형성되어 있어도 된다(도 3의 (B) 참조). 또한, 그것과 동시에, 또는 그것 대신에, 상기 별도의 부재가 마련되어 있어도 된다.
제3 세라믹스 구조체는, 도관의 직경 방향에 있어서의 두께가 5㎜∼20㎜가 바람직하다. 해당 두께가 5㎜∼20㎜이면, 가스의 투과 속도를 조정하기 쉬워, 가스를 제3 세라믹스 구조체(30)에 효율적으로 골고루 퍼지게 할 수 있다.
도 3의 (A) 및 도 3의 (B)는, 도 1에 나타내는 제1 세라믹스 구조체, 제2 세라믹스 구조체 및 제3 세라믹스 구조체의 확대 단면도이고, 제3 세라믹스 구조체에 있어서의 가스 유로의 형태를 나타내는 도면이다. 또한, 도 4, 도 6 및 도 7은, 제3 세라믹스 구조체에 있어서의 가스 유로의 일 형태를 나타내는 도면이다. 도 5는, 가스 유로의 일 형태를 설명하기 위한, 제3 세라믹스 구조체의 사시도이다.
도 3의 (A)에 나타내는 제3 세라믹스 구조체(30A)는, 그의 내부에 가스 유로(32A)를 갖는다. 이것은, 제3 세라믹스 구조체가 제1 세라믹스 구조체 및 제2 세라믹스 구조체와 접촉되어 있는 경우에 취해지는 형태이다.
도 3의 (B)에 나타내는 제3 세라믹스 구조체(30B)는, 제2 세라믹스 구조체(20)의 일부와 비접촉이고, 상기 비접촉의 영역에 가스 유로(32B)를 갖는다. 또한, 제3 세라믹스 구조체는, 제1 세라믹스 구조체(10)의 일부와 비접촉이고, 상기 비접촉의 영역에 가스 유로를 가져도 된다.
가스 유로가 제3 세라믹스 구조체(30)의 내부에 형성되는 경우, 가스 유로의 단면은 한 변이 3㎜∼20㎜인 직사각 형상이나, 직경이 3㎜∼20㎜인 원 형상이 바람직하다. 또한, 가스 유로의 단면 사이즈는 5㎟∼400㎟인 것이 바람직하다.
가스 유로가 제3 세라믹스 구조체(30)의 표면에 형성되는 경우, 가스 유로는 홈상으로 된다. 가스 유로의 형상은 특별히 한정되지 않고, 홈 깊이가 일정한 평면 홈이나, 홈 깊이가 일정하지 않은 홈이어도 된다. 홈 깊이가 일정하지 않은 홈이란, 예를 들어 홈 측방에 비해 홈 중앙부가 깊게 되어 있는 삼각 홈이나 원통 홈 외에, 홈 측방에 비해 홈 중앙부가 얕게 되어 있는 형상이어도 된다. 홈의 폭은 3㎜∼20㎜가 바람직하고, 홈의 깊이는 3㎜∼20㎜가 바람직하다.
가스 유로의 끝에서 인접하는 가스 유로의 끝까지의 거리는 10㎜∼100㎜가 바람직하다.
용융 유리로부터 가해지는 팽창 압력에 의한 도관의 변형을 억제하는 관점에서는, 제3 세라믹스 구조체(30)는, 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제2 세라믹스 구조체(20)의 적어도 어느 한쪽에 대하여, 적어도 일부가 접촉된 영역을 갖는 것이 바람직하다. 또한, 제3 세라믹스 구조체(30)는, 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제2 세라믹스 구조체(20)의 양쪽과, 적어도 일부가 접촉된 영역을 갖는 것이 보다 바람직하다.
제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로는, 도관의 주위 방향 및 축방향의 적어도 어느 한쪽의 방향을 따라 형성되는 것이 바람직하다.
예를 들어, 도 4에 나타낸 바와 같이, 가스 유로(32C, 32D)는, 도관의 축방향을 따라 형성되어 있다. 당해 가스 유로는 2 이상 형성되고, 또한 도관의 주위 방향으로 간격을 두고 마련되어 있는 것이 바람직하다. 부언하면, 가스 유로(32C)는, 제3 세라믹스 구조체(30)에 있어서, 제2 세라믹스 구조체(20)와 비접촉인 영역에 형성된 것이다. 가스 유로(32D)는, 제3 세라믹스 구조체(30)에 있어서, 제1 세라믹스 구조체(10)와 비접촉인 영역에 형성된 것이다.
또한, 가스 유로(32E)는, 도관의 주위 방향을 따라 형성되어 있다. 당해 가스 유로는 2 이상 형성되고, 또한 도관의 축방향으로 간격을 두고 마련되어 있는 것이 바람직하다. 부언하면, 가스 유로(32E)는, 제3 세라믹스 구조체(30)에 있어서, 제2 세라믹스 구조체(20)와 비접촉인 영역에 형성된 것이다. 즉, 가스 유로(32E)는, 제3 세라믹스 구조체(30)의 외측 표면(제2 세라믹스 구조체(20)와의 경계)에 형성된 것이다.
도 4에 나타내는 가스 유로는, 제1 세라믹스 구조체(10)와 비접촉인 영역에 형성된 가스 유로(32D)와, 제2 세라믹스 구조체(20)와 비접촉인 영역에 형성된 가스 유로(32C)가 모두 존재하고 있다.
또한, 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로는, 도관의 주위 방향을 따라 형성된 가스 유로(32E)와, 도관의 축방향을 따라 형성된 가스 유로(32C, 32D)를 모두 갖고 있다.
가스 유로가 제3 세라믹스 구조체(30)의 외측의 표면, 즉, 제2 세라믹스 구조체(20)와 비접촉인 영역에 형성되는 경우의 일례를, 제3 세라믹스 구조체(30)의 사시도로서 도 5에 나타낸다.
도 5에서는, 도관의 축방향을 따라 형성된 가스 유로(32C)와, 도관의 주위 방향을 따라 형성된 가스 유로(32E)가, 각각 2개씩 형성되어 있다. 이들 가스 유로(32C, 32E)는 모두 연통되어 있지만, 연통되지 않고 각각 독립되고, 가스 유로마다 공급관과 접속하여 가스가 공급되어도 된다. 또한, 연통되어 있는 가스 유로와, 독립되어 있는 가스 유로가 병존하고 있어도 된다.
가스 유로는, 도관의 축방향을 따라 형성된 가스 유로(32C 또는 32D)와, 주위 방향을 따라 형성된 가스 유로(32E 또는 32F)(도 6 참조)를 각각 2개 이상 갖고, 그것들이 연통되어, 그물눈상의 가스 유로가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 가스 유로는 도관의 표면에 나선상으로 형성되어 있어도 된다.
도 6에 나타내는 제3 세라믹스 구조체(30)에 있어서는, 가스 유로(32D)에 더하여, 가스 유로(32F)가 도관의 주위 방향을 따라 형성되어 있다. 가스 유로(32F)는, 제3 세라믹스 구조체(30)의, 제1 세라믹스 구조체(10)와 비접촉인 영역에 형성된 것이다. 즉, 가스 유로(32F)는, 제3 세라믹스 구조체(30)의 내측 표면(제1 세라믹스 구조체(10)와의 경계)에 형성된 것이다. 본 실시 형태에서는, 가스 유로(32D)와 가스 유로(32F)가 연통되어 있지만, 연통되지 않고 독립되어, 가스 유로마다 공급관과 접속하여 가스를 공급해도 된다. 또한, 연통되어 있는 가스 유로와, 독립되어 있는 가스 유로가 병존하고 있어도 된다.
가스 유로를 마련할 때에, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제3 세라믹스 구조체(30)와 제1 세라믹스 구조체(10) 사이의 적어도 일부의 영역에 부재(60)를 더 구비해도 된다. 부재(60)는, 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제3 세라믹스 구조체(30)의 적어도 일부와 접촉하여, 가스 유로(32D)의 적어도 일부를 덮도록 마련되어 있다.
부재(60)는, 용융 유리 반송 장치의 제조 방법에 있어서, 용융 유리용 도관 구조체(40)와 제3 세라믹스 구조체(30)를 형성한 후에 제1 세라믹스 구조체(10)를 형성하는 경우에 유용한 양태이다. 이 경우, 제3 세라믹스 구조체(30)에는, 제1 세라믹스 구조체(10)와 비접촉인 영역에 가스 유로(32D)가 형성되어 있다. 또한, 가스 유로(32D)와 함께, 또는 가스 유로(32D) 대신에, 가스 유로(32F)가 형성되어 있는 경우에도, 상기 양태는 유용하다. 즉, 부재(60)는, 제1 세라믹스 구조체(10) 및 제3 세라믹스 구조체(30)의 적어도 일부와 접촉하여, 가스 유로(32F)의 적어도 일부를 덮도록 마련되어 있는 경우에도, 상기 양태는 유용하다.
이러한 제조 방법에서는, 먼저 용융 유리용 도관 구조체(40) 및 제3 세라믹스 구조체(30)를 형성하고, 그것들의 간극에, 제1 세라믹스 구조체가 되는 슬러리체를 충전, 소결시킴으로써 제1 세라믹스 구조체(10)를 형성한다. 가스 유로(32D, 32F)는, 제3 세라믹스 구조체(30)의 내측의 표면, 즉, 제1 세라믹스 구조체(10)측의 표면에 형성되어 있다. 그 때문에, 슬러리체를 충전할 때에, 상기 간극뿐만 아니라 가스 유로(32D, 32F)에도 슬러리체가 충전되어 버려, 가스 유로(32D, 32F)가 폐색될 것이 염려된다. 이에 대해, 부재(60)에 의해 가스 유로(32D, 32F)의 일부를 덮어 슬러리체의 유입을 방해함으로써, 슬러리체를 충전했을 때에 가스 유로(32D, 32F)가 폐색되는 것을 방지할 수 있다.
부재(60)는, 제3 세라믹스 구조체(30)에 있어서의 가스 유로뿐만 아니라, 그의 다른 부분을 덮고 있어도 된다. 또한, 제1 세라믹스 구조체(10)와 제3 세라믹스 구조체(30) 사이의 모든 영역에, 부재(60)가 구비되어도 된다. 부언하면, 부재(60)는 가스의 투과를 방해하는 것은 아니다. 또한, 부재(60)는 가스 유로(32D, 32F)에 덮개를 덮는 형태로 마련되는 점에서, 가스 유로에 가스가 유통되는 것을 전혀 방해하는 것은 아니다.
부재(60)는, 용융 유리 반송 장치(1)에서 사용했을 때, 고온 하에서 용융, 기화되는 부재여도 된다. 또한, 고온 하에서도 용융, 기화되지 않고 잔존하는 부재여도 되고, 이 경우, 세라믹스막이나 내열성 섬유체를 바람직하게 사용할 수 있다. 여기서 내열성이란, 유리 섬유의 경우는, 유리 섬유가 사용 온도보다도 높은 연화점을 갖는 것을 의미하고, 세라믹스 섬유의 경우는, 세라믹스 섬유가 사용 온도보다도 높은 융점을 갖는 것을 의미한다.
내열성 섬유체로서는, 유리 섬유 혹은 세라믹스 섬유를 포함하는 것이 바람직하고, 또는 이들 섬유의 집합체인 것이 바람직하다. 그 형태는 특별히 한정되지 않지만, 복수의 섬유를 포상으로 짠 것이어도 되고, 복수의 섬유를 괴상으로 묶은 것이어도 된다. 포상으로 짠 내열성 섬유체는, 플렉시블성이나 가공성이 우수하다. 그 때문에, 용융 유리용 도관 구조체(40)나 제1 세라믹스 구조체(10)의 형상을 따르는 양태로, 넓은 범위를 덮는 것도 가능하다.
유리 섬유 또는 세라믹스 섬유를 포함하는 내열성 섬유체는, 산화물 기준의 질량％ 표시로, SiO2가 50％ 이상 포함되는 것이, 가스 유로에 제1 세라믹스 구조체(10)가 되는 슬러리체가 유입되는 것을 더 효과적으로 방지할 수 있는 점에서, 보다 바람직하다.
마찬가지로, 슬러리체의 유입을 방지하는 관점에서, 부재(60)의 두께는 0.5㎜ 이상이 바람직하다. 또한, 너무 두꺼우면 제1 세라믹스 구조체(10) 또는 제3 세라믹스 구조체(30)의 강도가 저하될 우려가 있는 점에서, 그의 두께는 20㎜ 이하가 바람직하다. 부언하면, 부재의 두께는 그의 평균값을 의미한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 용융 유리 반송 장치(1)는, 가스 공급 시스템(50)을 더 구비하는 것이 바람직하다. 가스 공급 시스템(50)은, 가스를 생성하는 가스 생성 장치(51), 생성된 가스를 가열하는 가스 가열 장치, 및 가열된 가스를 상기 가스 유로에 공급하는 공급관(54A 내지 54D)을 갖는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 상기 가스 유로를 통과한 가스를 배기하는 배기관(56A, 56B)을 더 갖는다.
도 1 및 도 2에 있어서는, 가스 공급 시스템(50)은, 가스를 생성하는 가스 생성 장치(51)와, 가스의 유량을 조절하는 조절 밸브(52)와, 가스를 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 공급하는 4개의 공급관(54A 내지 54D)과, 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로를 통과한 가스를 배기하는 2개의 배기관(56A, 56B)을 갖는다. 복수의 공급관(54A 내지 54D)을 가짐으로써, 가스를 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 효율적으로 골고루 퍼지게 할 수 있다. 부언하면, 가스 공급 시스템(50)은, 제3 세라믹스 구조체(30)에 형성된 가스 유로의 형태에 맞추어, 공급관이나 배기관의 개수, 설치 장소 등을 적절히 변경할 수 있다.
가스 생성 장치(51)는, 예를 들어 수증기를 생성하기 위해서는, 보일러가 사용된다. 또한, 가스 생성 장치(51)와 함께, 또는 그것 대신에, 원하는 가스가 충전된 가스 봄베를 사용할 수도 있다. 이들 양태에 의해, 원하는 단체 가스 또는 혼합 가스를 공급할 수 있다.
부언하면, 가스 가열 장치는 도시되어 있지 않지만, 생성된 가스는 가스 가열 장치에 의해 가열되어, 공급관(54A 내지 54D)을 통해 가스 유로에 도입된다. 가스 가열 장치에서는, 가스 유로에 공급되는 가스가 200℃ 이상으로 되도록 가열한다.
조절 밸브(52)는, 공급관(54A 내지 54D)에 1개씩 마련되는 것이 바람직하고, 그것에 의해, 공급관(54A 내지 54D)의 가스 공급량을 독립적으로 제어할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 공급관(54A 내지 54D)은, 제2 세라믹스 구조체(20)를 관통하여, 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 접속된다. 또한, 상기 가스 유로의 단부를 외부로부터 시인할 수 있는 경우에는, 공급관(54A 내지 54D)은, 제2 세라믹스 구조체(20)를 관통하지 않고, 가스 유로에 직접 접속되어도 된다.
도 1에 있어서, 공급관(54A, 54B)은, 연직 방향의 위치가 주관(41)의 축방향 중앙부이다. 공급관(54C, 54D)은, 연직 방향의 위치가 주관(41)의 축방향 하부이다. 공급관(54A, 54C)은, 수평 방향의 위치가 용융 유리(G)의 흐름 방향 상류측이다. 공급관(54B, 54D)은, 수평 방향의 위치가 용융 유리(G)의 흐름 방향 하류측이다. 단, 공급관의 배치는, 가스 유로에 의해 적절히 변경되는 것이고, 상기 형태에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 공급관은, 도 1에 있어서, 연직 방향의 위치가 주관(41)의 축방향 상부여도 된다. 또한, 수평 방향의 위치가 도 2의 지면 상하 방향(용융 유리(G)의 흐름 방향에 직교하는 방향)의 상측 또는 하측이어도 된다.
공급관(54A 내지 54D)이 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 공급하는 가스의 온도는 200℃ 이상이다. 이에 의해, 도관 내부에 용융 유리(G)가 채워져 고온으로 되어 있는 경우라도, 도관 내의 용융 유리(G)가 냉각되는 것에 수반하는 전기 분해에 의한 기포의 발생을 억제할 수 있다. 가스 유로에 공급되는 가스의 온도는 250℃ 이상이 바람직하다.
또한, 가스의 온도는, 스테인레스 스틸(SUS) 등의 범용적인 금속으로 배관을 구성하는 관점에서 600℃ 이하가 바람직하고, 550℃ 이하가 보다 바람직하다.
가스의 종류는, 상기 전기 분해에 의한 기포의 발생을 억제할 수 있으면 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 수증기(H2O), N2, H2, O2, Ar, He, Ne, Xe, CO2, CO 등을 들 수 있다. 이들 가스를 1종 사용해도 되고 2종 이상 사용해도 된다.
또한, 전기 분해 외에, 용융 유리 중에는 수분이 포함되지만, 이 수분이 도관을 형성하는 Pt 계면에서 분해되어 O2와 H2가 생성됨으로써도 기포(산소)가 발생한다. 이 기포(산소)의 발생을 억제하기 위해서는, 도관 외부의 수소 분압을 높여, 수소 분자(H2)가 도관을 통과하지 않도록 하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 도관 외부의 수소 분압을 높이기 위해서는, 가스 유로에 공급되는 가스는 수소 원자를 포함하는 것이 바람직하고, 수증기 및 H2의 적어도 어느 한쪽을 포함하는 가스를 사용하는 것이 보다 바람직하다.
또한, 도관의 백금 또는 백금 합금이 산화되어 PtO2로 되는 것을 억제하는 관점에서는, 가스 유로에 공급되는 가스는 불활성 가스를 포함하는 것이 바람직하고, N2, Ar, He, Ne, Xe 및 CO2로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 가스를 포함하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 상기 수소 원자를 포함하는 가스에 더하여, 불활성 가스를 더 포함하는 혼합 가스로 하는 것이 더욱 바람직하다.
공급관(54A 내지 54D)이 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 공급하는 가스 압력은, 1㎩∼24㎪이 바람직하고, 1㎪ 이하가 보다 바람직하고, 50㎩ 이하가 더욱 바람직하다. 해당 가스 압력이 1㎩ 이상이면, 가스를 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 충분히 골고루 퍼지게 할 수 있다. 또한, 해당 가스 압력이 24㎪ 이하이면, 주관(41) 등의 도관의 외부 압력이 너무 높아지지 않아, 도관이 변형되는 것을 방지할 수 있다.
도 2에 나타내는 공급관은, 가스 생성 장치(51)로부터 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로를 향하는 도중에, 공급관(54A, 54B)에 분기되어 있다. 또한, 이 형태에 한정되지 않고, 예를 들어 가스 생성 장치(51)와 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 접속되는 공급관이, 도중에 분기되지 않고, 독립적으로 마련되어도 된다.
배기관(56A, 56B)은, 공급관(54A 내지 54D)과 마찬가지로, 제2 세라믹스 구조체(20)를 관통하여, 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 접속된다. 또한, 상기 가스 유로의 단부를 외부로부터 시인할 수 있는 경우에는, 배기관은, 제2 세라믹스 구조체(20)를 관통하지 않고, 가스 유로에 직접 접속되어도 된다.
도 1에 있어서, 배기관(56A, 56B)의 위치는, 연직 방향의 위치가 주관(41)의 축방향 상부이다. 배기관(56A)은, 수평 방향의 위치가 용융 유리(G)의 흐름 방향 상류측이다. 배기관(56B)은, 수평 방향의 위치가 용융 유리(G)의 흐름 방향 하류측이다. 단, 배기관의 배치는, 가스 유로에 의해 적절히 변경되는 것이고, 상기 형태에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 배기관은, 도 1에 있어서, 연직 방향의 위치가 주관(41)의 축방향 중앙부 또는 하부여도 된다. 또한, 수평 방향의 위치가 도 2의 지면 상하 방향(용융 유리(G)의 흐름 방향에 직교하는 방향)의 상측 또는 하측이어도 된다.
배기관(56A, 56B)은, 주관(41) 내부에 있어서의 용융 유리의 높이(용융 유리 레벨(GL))보다도 낮은 위치에 마련되는 것이 바람직하다. 이것은, 용융 유리 레벨(GL)보다도 높은 위치에 배기관이 마련되면, 주관(41)의 내부 압력이 외부 압력보다도 작아져, 주관(41)이 변형될 우려가 있기 때문이다.
또한, 용융 유리용 도관 구조체(40)가, 주관과 분기관을 적어도 1개씩 갖는 경우에 있어서, 공급관 및 배기관의 적어도 어느 한쪽은, 주관(41) 내부의 용융 유리 레벨(GL)보다도 낮은 위치에 마련되는 것이 바람직하다. 부언하면, 여기서의 주관(41)은 연직 방향에 중심축이 있고, 주관(41)과 연통되어 있는 분기관은 수평 방향에 중심축이 있는 것으로 한다.
공급관(54A 내지 54D) 및 배기관(56A, 56B)은, 제2 세라믹스 구조체(20)를 관통하는 부분 및 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 접속되는 부분에 있어서, 내열성이 우수한 절연관인 것이 바람직하다. 용융 유리용 도관 구조체(40)는 통전 가열되는 경우도 있기 때문에, 절연관을 사용함으로써, 공급관 및 배기관에 전류가 흐르는 것을 방지할 수 있다. 절연관은, 세라믹스 튜브가 바람직하게 사용되고, 그의 구체예로서는, 포셀린관 등을 들 수 있다.
용융 유리 반송 장치(1)는, 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로를 통해 용융 유리용 도관 구조체(40)의 외부에 200℃ 이상의 가스를 골고루 퍼지게 할 수 있다. 그 때문에, 전기 분해에 의한 기포의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 수소 원자를 포함하는 가스를 사용하면, 용융 유리에 포함되는 수분이 많은(후술하는 β-OH값이 높은) 조건에서 유리를 제조해도, 수소 투과 기포의 형성을 억제할 수 있다. 나아가, 불활성 가스를 포함하는 가스를 사용하면, PtO2 형성을 억제할 수 있다. 또한, 종래 기술에 나타낸 바와 같은 캡슐 및 폐루프 제어 장치를 구축할 필요가 없기 때문에, 투자 비용 및 운전 비용의 양쪽을 억제할 수 있다.
[유리 제조 장치 및 유리 제조 방법]
(제1 실시 형태)
도 8은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 유리 제조 장치를 나타내는 도면이다. 도 8을 사용하여, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법을 설명한다. 부언하면, 도 8은, 용융 유리 반송 장치(1, 1A), 상승관(202) 및 하강관(203)의 주위에 배치되고, 이것들을 단열 피복하는 단열용 벽돌 등의 단열재를 생략하고 있다.
유리 제조 장치(500)는, 용해 장치(100), 감압 탈포 장치(200), 성형 장치(300) 및 용융 유리 반송 장치(1, 1A)를 구비한다. 용융 유리 반송 장치(1A)는, 용해 장치(100)와 감압 탈포 장치(200) 사이에 마련되어, 용해 장치(100)와 감압 탈포 장치(200)를 접속한다. 또한, 용융 유리 반송 장치(1)는, 감압 탈포 장치(200)와 성형 장치(300) 사이에 마련되어, 감압 탈포 장치(200)와 성형 장치(300)를 접속한다.
용해 장치(100)는, 유리 원료가 공급되는 용해조(104)와, 유리 원료를 용융하기 위한 버너(102)를 구비한다. 버너(102)는, 천연 가스나 중유 등의 연료를 가스와 혼합하여 연소함으로써 화염을 형성하고, 화염을 유리 원료를 향해 방사함으로써, 유리 원료를 상방으로부터 가열한다.
여기서, 가스로서 주로 공기를 사용하는 버너를 공기 연소 버너, 가스로서 주로 산소를 사용하는 버너를 산소 연소 버너라고 한다. 산소 연소 버너는, 공기 연소 버너보다도, 배기량이 적으므로, 열효율이 높고, CO2 배출량이나 NOx 배출량이 적은 점에서 우수하다. 버너(102)는, 복수 마련되는 것이 바람직하다. 모두 산소 연소 버너가 사용되어도 되고, 산소 연소 버너와 공기 연소 버너를 병용해도 된다.
감압 탈포 장치(200)는, 감압 탈포조(201), 상승관(202), 하강관(203) 및 감압 하우징(204)을 구비한다.
원통 형상을 한 감압 탈포조(201)는, 그의 장축이 수평 방향으로 배향되도록 감압 하우징(204) 내에 수납 배치되어 있다. 감압 탈포조(201)의 일단의 하면에는 수직 방향으로 배향하는 상승관(202)이, 타단의 하면에는 하강관(203)이 설치되어 있다. 상승관(202) 및 하강관(203)은, 그의 일부가 감압 하우징(204) 내에 위치하고 있다.
상승관(202)은, 감압 탈포조(201)와 연통되어 있고, 용해조(104)로부터의 용융 유리(G)를, 용융 유리 반송 장치(1A)를 통해 감압 탈포조(201)에 도입한다. 하강관(203)은, 감압 탈포조(201)에 연통되어 있고, 감압 탈포 후의 용융 유리(G)를, 용융 유리 반송 장치(1)를 통해 성형 장치(300)에 도출한다. 감압 하우징(204) 내에 있어서, 감압 탈포조(201), 상승관(202) 및 하강관(203)의 주위에는, 이것들을 단열 피복하는 단열용 벽돌 등의 단열재가 배치되어 있다.
감압 탈포조(201), 상승관(202) 및 하강관(203)은, 용융 유리의 도관이기 때문에, 내열성 및 용융 유리에 대한 내식성이 우수한 재료를 사용하여 제작되어 있다. 일례를 들면, 백금제, 백금 합금제, 또는 백금 혹은 백금 합금에 금속 산화물을 분산시켜 이루어지는 강화 백금제이다. 또한, 세라믹스계의 비금속 무기 재료제, 즉, 치밀질 내화물제여도 된다. 또한, 치밀질 내화물에 백금 또는 백금 합금을 내장한 것이어도 된다.
성형 장치(300)에서는, 용융 유리(G)를 성형하여, 소정 형상의 성형 유리를 얻는다. 성형 유리는, 서랭된 후, 필요에 따라 절단, 가공되어 제품으로 된다.
성형 장치(300)는, 제품으로서 유리판을 얻기 위해서는, 플로트 성형 장치나 퓨전 성형 장치가 사용된다. 플로트 성형 장치는, 욕조 내의 용융 주석의 욕면에 용융 유리를 연속적으로 공급하여, 띠판상으로 성형하는 장치이다. 퓨전 성형 장치는, 단면 대략 V자상의 홈통의 내부에 용융 유리를 연속적으로 공급하고, 홈통으로부터 좌우 양측으로 넘쳐 나온 용융 유리를, 홈통의 하부 에지에서 합류시켜 띠판상으로 성형하는 장치이다.
성형 장치(300)는, 제품으로서 유리 용기나 유리관을 얻기 위해서는, 성형 방법으로서 블로우법, 벨로우법, 다운드로우법 또는 프레스법에 관한 성형 장치가 사용된다.
용융 유리 반송 장치(1)는, 전술한 도 1에 나타내는 용융 유리 반송 장치(1)에 대응하여, 주관(41), 분기관(42, 43) 및 교반기(44)를 구비한다. 주관(41)은, 내부에 용융 유리(G)를 교반하기 위한 교반기(44)가 마련된다. 분기관(42)은, 하강관(203)에 접속되어, 용융 유리(G)를 주관(41)으로 반송한다. 분기관(43)은, 성형 장치(300)에 접속되어, 용융 유리(G)를 성형 장치(300)로 반송한다.
용융 유리 반송 장치(1A)는, 주관(41A), 분기관(42A, 43A) 및 교반기(44)를 구비한다. 용융 유리 반송 장치(1A)는, 용융 유리(G)가 주관(41A)의 상부 측방으로부터 유입되고, 주관(41A) 내를 하향으로 흘러, 주관(41A)의 하부 측방으로 유출되도록 분기관(42A, 43A)이 마련되는 점에서, 용융 유리 반송 장치(1)와는 다르지만, 기타의 장치 구성은 공통된다.
부언하면, 유리 제조 장치(500)는, 용융 유리 반송 장치(1) 및 용융 유리 반송 장치(1A)의 적어도 어느 한쪽이 제3 세라믹스 구조체(30) 및 가스 공급 시스템(50)을 구비하고 있으면 되고, 다른 쪽이 제3 세라믹스 구조체(30) 및 가스 공급 시스템(50)을 구비하지 않는 구성이어도 된다. 이 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에, 200℃ 이상의 가스를 공급한다.
유리 제조 장치는, 감압 탈포 장치(200) 대신에, 고온 청징 타입의 청징 장치(이하, 「고온 청징 장치」라고 함)가 사용되어도 된다(제2 실시 형태로서 상세를 후술함). 고온 청징 장치는, 기포 제거를 효율적으로 행하기 위해, 청징조를 흐르는 용융 유리의 온도를 가능한 한 높게 설정하여 용융 유리의 점성을 낮추고, 기포의 성장 속도를 크게 하여 기포 직경을 증대시킴으로써, 기포의 부상 속도를 높여, 기포 제거를 할 수 있도록 운전하는 장치이다.
본 발명의 제1 실시 형태에 관한 유리 제조 방법은, 유리 제조 장치(500)를 사용하여, 유리 원료를 용해 장치(100)에서 용융함으로써 용융 유리(G)를 제작하고, 용융 유리(G)를 감압 탈포 장치(200)에서 탈포 처리하여, 성형 장치(300)에 의해 소정 형상의 성형 유리를 얻는다. 성형 유리는, 서랭된 후, 필요에 따라 절단되어 제품(예를 들어, 유리판)으로 된다.
(제2 실시 형태)
도 9는, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 유리 제조 장치를 나타내는 도면이다. 도 9를 사용하여, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법을 설명한다. 여기서, 용해 장치(100), 성형 장치(300) 및 용융 유리 반송 장치(1A)는, 제1 실시 형태의 기재와 중복되는 부분에 대하여 설명을 생략한다. 부언하면, 도 9는, 청징 장치(250), 용융 유리 반송 장치(1A), 제1 공급관(251), 제2 공급관(252) 및 제3 공급관(253)의 주위에 배치되어, 이것들을 단열 피복하는 단열용 벽돌 등의 단열재를 생략하고 있다.
유리 제조 장치(600)는, 용해 장치(100), 청징 장치(250), 성형 장치(300) 및 용융 유리 반송 장치(1A)를 구비한다. 용융 유리 반송 장치(1A)는, 용해 장치(100)와 청징 장치(250) 사이 및 청징 장치(250)와 성형 장치(300) 사이의 적어도 어느 한쪽에 마련되는 것이 바람직하다.
유리 제조 방법으로서는, 용해 공정, 청징 공정 및 성형 공정을 이 순으로 포함하고, 용해 공정 및 청징 공정 사이, 그리고, 청징 공정 및 성형 공정 사이의 적어도 어느 한쪽에, 용융 유리 반송 공정을 더 포함한다. 용융 유리 반송 공정에 있어서, 용융 유리 반송 장치(1A)를 사용하여, 용융 유리 반송 장치(1A)에 있어서의 제3 세라믹스 구조체의 가스 유로에 200℃ 이상의 가스를 공급한다.
도 9에 있어서는, 유리 제조 장치(600)는, 용해 장치(100), 청징 장치(250), 성형 장치(300), 용융 유리 반송 장치(1A), 제1 공급관(251), 제2 공급관(252) 및 제3 공급관(253)을 구비한다.
제1 공급관(251)은, 용해 장치(100)와 청징 장치(250)를 접속한다. 용융 유리 반송 장치(1A)는, 청징 장치(250)와 성형 장치(300) 사이에 마련된다. 제2 공급관(252)은, 청징 장치(250)와 용융 유리 반송 장치(1A)를 접속한다. 제3 공급관(253)은, 용융 유리 반송 장치(1A)와 성형 장치(300)를 접속한다.
용해 장치(100)에서는, 버너(102)에 의해 유리 원료가 가열되어, 예를 들어 1500℃∼1630℃의 용융 유리(G)가 얻어진다. 용해조(104)의 용융 유리(G)는, 제1 공급관(251)을 흘러, 청징 장치(250)에 공급된다.
청징 장치(250)에서는, 용융 유리(G)의 온도가 조정되어, 용융 유리(G) 중에 포함되는 가스 성분이 제거된다. 청징 장치(250)는, 고온 청징 장치인 것이 바람직하다. 이 경우, 용융 유리(G)는, 예를 들어 1500℃∼1700℃까지 승온된다. 청징된 용융 유리(G)는, 제2 공급관(252)을 흘러, 용융 유리 반송 장치(1A)에 공급된다.
용융 유리 반송 장치(1A)에서는, 교반기(44)에 의해 용융 유리(G)가 교반되어, 용융 유리(G)의 성분이 균질화된다. 주관(41A) 내의 용융 유리(G)의 온도는, 예를 들어 1250℃∼1450℃이다. 주관(41A) 내의 용융 유리(G)의 점도는, 예를 들어 500푸아즈∼1300푸아즈이다. 균질화된 용융 유리(G)는, 제3 공급관(253)에 유입되어, 제3 공급관(253) 속을 흐르는 과정에서, 온도가 제어되면서 냉각되어, 성형 장치(300)에 공급된다.
부언하면, 도 9에서는, 용융 유리 반송 장치(1A)의 분기관(42A, 43A)을 생략하고 있지만, 분기관(42A, 43A)은, 각각 제2 공급관(252), 제3 공급관(253)에 접속된다.
(제3 실시 형태)
도 10은, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 유리 제조 장치를 나타내는 도면이다. 도 10을 사용하여, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 유리 제조 장치 및 유리 제조 방법을 설명한다. 여기서, 용해 장치(100), 성형 장치(300) 및 용융 유리 반송 장치(1A)는, 제1 실시 형태의 기재와 중복되는 부분에 대하여 설명을 생략한다. 부언하면, 도 10은, 용융 유리 반송 장치(1A), 제1 반송관(111) 및 제2 반송관(112)의 주위에 배치되어, 이것들을 단열 피복하는 단열용 벽돌 등의 단열재를 생략하고 있다.
유리 제조 장치(700)는, 용해 장치(100), 성형 장치(300), 용융 유리 반송 장치(1A), 제1 반송관(111) 및 제2 반송관(112)을 구비한다. 용융 유리 반송 장치(1A)는, 용해 장치(100)와 성형 장치(300) 사이에 마련된다. 제1 반송관(111)은, 용해 장치(100)와 용융 유리 반송 장치(1A)를 접속한다. 제2 반송관(112)은, 용융 유리 반송 장치(1A)와 성형 장치(300)를 접속한다.
용해 장치(100)에서는, 버너(102)에 의해 유리 원료가 가열되어, 용융 유리(G)가 얻어진다. 용융 유리(G)는, 용해조(104)에서 청징 처리가 실시된다. 여기서, 소다 석회 유리나 알칼리 붕규산 유리 등의 알칼리 함유 유리는, 제1 실시 형태의 감압 탈포 장치(200)나 제2 실시 형태의 청징 장치(250)를 구비하지 않아도, 용해조(104)에서 청징 처리가 가능하다. 청징된 용융 유리(G)는, 제1 반송관(111)을 흘러, 용융 유리 반송 장치(1A)에 공급된다.
용융 유리 반송 장치(1A)에서는, 교반기(44)에 의해 용융 유리(G)가 교반되어, 용융 유리(G)의 성분이 균질화된다. 균질화된 용융 유리(G)는, 제2 반송관(112)에 유입되어, 제2 반송관(112) 속을 흐르는 과정에서, 온도가 제어되면서 냉각되어, 성형 장치(300)에 공급된다.
부언하면, 도 10에서는, 용융 유리 반송 장치(1A)의 분기관(42A, 43A)을 생략하고 있지만, 분기관(42A, 43A)은, 각각 제1 반송관(111), 제2 반송관(112)에 접속된다.
(유리)
상기 용융 유리 반송 장치를 구비한 유리 제조 장치에 의해 제조되는 유리는, 필요에 따라 절단, 가공되어, 예를 들어 유리판의 제품으로 된다. 제품으로서의 유리판은, 각종 디스플레이용 유리 기판에 사용되는 경우, 무알칼리 유리 기판인 것이 바람직하다. 무알칼리 유리란, Na2O, K2O 등의 알칼리 금속 산화물을 실질적으로 함유하지 않는 유리를 말한다. 실질적으로 함유하지 않는다는 것은, 알칼리 금속 산화물의 함유량의 합량이 0.1질량％ 이하인 것을 가리킨다.
유리판은, 산화물 기준의 질량％ 표시로,
SiO2: 54∼66％
Al2O3: 10∼23％
B2O3: 0∼12％
MgO: 0∼12％
CaO: 0∼15％
SrO: 0∼16％
BaO: 0∼15％
MgO＋CaO＋SrO＋BaO: 8∼26％
를 함유하는 무알칼리 유리로 구성되는 것이 바람직하다.
얻어진 유리는, β-OH값이 0.15㎜-1∼0.5㎜-1이 바람직하고, 0.25㎜-1 이상이 보다 바람직하고, 0.35㎜ 이상이 더욱 바람직하다. β-OH값은, 유리 중의 수분량의 지표로서 사용되는 값이다.
유리의 β-OH값이 0.15㎜-1∼0.5㎜-1이면, 감압 탈포 장치나 청징 장치 내의 용융 유리에 포함되는 기포가 성장되기 쉬워져, 탈포 처리나 청징 처리가 촉진된다. 또한, 해당 β-OH값이 0.35㎜-1 이상이면, 버너 연소의 산소 연소 비율을 높게 할 수 있어, 배기 가스의 생성이 억제되기 때문에, 유리 제조의 운전 비용을 저감시킬 수 있다.
β-OH값은, 탈포 처리 후 또는 청징 처리 후의 용융 유리를 판상으로 성형한 유리 시험편, 또는 유리 용기 등을 절단하여, 연마기에서 판상으로 가공한 유리 시험편의 투과율을, 푸리에 변환 적외 분광 광도계(FT-IR)를 사용하여 측정하고, 하기 식에 의해 구할 수 있다.
β-OH값＝(1/X)log10(T1/T2)
X: 유리판 두께(㎜)
T1: 참조 파수 4000㎝-1에 있어서의 투과율(％)
T2: 수산기 흡수 파수 3570㎝-1 부근에 있어서의 최소 투과율(％)
β-OH값은, 유리 원료 중의 수분량, 용해조 중의 수증기 농도, 용해조에 있어서의 버너 연소 방법(산소 연소, 공기 연소) 등에 지배된다. 특히, β-OH값은, 버너 연소 방법을 조정함으로써, 간편하게 조정할 수 있다. 구체적으로는, β-OH값을 높게 하기 위해서는, 버너 연소의 산소 연소 비율을 높게 하고, β-OH값을 낮게 하기 위해서는, 버너 연소의 공기 연소 비율을 높게 한다.
유리판은, 디스플레이용 커버 유리로서 사용되는 경우, 화학 강화용 유리인 것이 바람직하다. 화학 강화용 유리를 화학 강화 처리한 화학 강화 유리가 커버 유리로서 사용된다. 화학 강화 처리는, 유리 표면에 포함되는 알칼리 이온 중 이온 반경이 작은 이온(예를 들어, Na 이온)을 이온 반경이 큰 이온(예를 들어, K 이온)으로 치환함으로써, 유리 표면으로부터 소정의 깊이의 압축 응력층을 형성한다.
유리판은, 창 유리나 차량용 유리로서 사용되는 경우, 소다 석회 유리인 것이 바람직하다.
제품으로서의 유리가, 비이커 등의 유리제 이화학 기기나 유리 포트 등의 내열 조리 기구로서 사용되는 경우, 붕규산 유리인 것이 바람직하다.
[실시예]
이하, 실시예 및 비교예를 사용하여 본 발명을 다시 설명한다. 부언하면, 본 발명은 이들 기재에 한정되는 것은 아니다.
[실험예 1, 2 및 비교예 1]
도 8에 나타내는 유리 제조 장치(500)를 사용하여, 용융 유리 중의 수분량을 많게 했을 때에 발생하는 기포에 대하여, 제3 세라믹스 구조체의 가스 유로에 공급하는 가스의 온도마다 평가를 행하였다. 부언하면, 당해 기포는, 도관인 백금 재료에 용융 유리가 접촉하여 발생하는 것이다.
유리 제조 장치(500)에 있어서의 용융 유리 반송 장치(1)는, 주관(41) 및 분기관(42, 43)의 주위에, 제1 세라믹스 구조체(10), 제3 세라믹스 구조체(30) 및 제2 세라믹스 구조체(20)가 이 순으로 마련된 구조이다. 제3 세라믹스 구조체(30)에 있어서의 가스 유로는, 제1 세라믹스 구조체와 비접촉인 영역에 마련되어, 주관(41)의 축방향을 따라 40개, 주관(41)의 주위 방향을 따라 15개, 각각 마련되어 있다. 각 가스 유로는 연통되어 있다. 가스 유로는 20㎜∼70㎜ 피치로 마련되어 있다.
부언하면, 가스 유로는, 1개당 2㎜ 정도의 폭의 평면 홈으로 했다. 홈의 깊이는 2㎜ 정도이다.
용융 유리 반송 장치(1)에 있어서의 제1 세라믹스 구조체(10), 제2 세라믹스 구조체(20), 제3 세라믹스 구조체(30)의 통기율은, 각각 5.7×10-13㎡, 2.2×10-12㎡, 9.9×10-12㎡이다.
용융 유리 반송 장치(1)에 있어서, 가스 공급 시스템(50)에 의해 제3 세라믹스 구조체(30)의 가스 유로에 수증기를 공급했다. 그때의 수증기 공급 온도 및 공급 압력은 표 1에 나타내는 바와 같다. 부언하면, 본 실시예에서는, 용융 유리 반송 장치(1A)는, 제3 세라믹스 구조체(30) 및 가스 공급 시스템(50)을 구비하고 있지 않다.
무알칼리 유리 조성의 유리 원료를 용해조(104)에서 용융함으로써 용융 유리(G)를 제작하여, 용융 유리(G)를 감압 탈포 장치(200)에서 탈포 처리하고, 플로트법으로 용융 유리를 띠판상의 유리 리본으로 성형하고, 유리 리본을 서랭하여 절단하여, 판 두께 0.50㎜의 유리판(실시예 1, 2 및 비교예 1)을 얻었다.
실시예 1, 2 및 비교예 1의 유리 조성은, 산화물 기준의 질량％ 표시로, SiO2: 59.8％, Al2O3: 17.2％, B2O3: 7.8％, MgO: 3.1％, CaO: 4.1％, SrO: 7.7％, BaO: 0.1％, Cl: 0.2％였다.
또한 얻어진 유리판의 β-OH값을, 상술한 방법에 의해 구했다. 결과를 표 1에 나타낸다.
얻어진 유리판에 대하여, 암실 속에서 유리판 측면으로부터 광을 조사하고, 유리판 주표면을 검사하는 에지 라이트 검사에 의해, 20㎛ 초과 사이즈의 기포 결함의 개수를 조사하여, 상기 기포 결함의 밀도를 산출했다. 여기서, 기포 결함의 밀도란, 유리판 주표면에 있어서의 단위 면적(㎡)당의 기포 결함의 개수를 의미한다. 결과를 표 1에 나타낸다.
Figure pat00001
상기 결과로부터, 본 발명에 따르면, 가스 유로에 공급하는 가스의 공급 온도를 200℃ 이상으로 함으로써, 가스 공급 온도가 120℃인 경우에 비해, 20㎛ 초과 사이즈의 기포 결함의 밀도를 1/50로 할 수 있었다.
당해 기포 결함의 형성을 억제할 수 있음으로써, 얻어지는 유리 제품의 품질 저하를 효과적으로 억제할 수 있음을 알 수 있었다.
본 발명을 상세하게, 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고, 다양한 변경이나 수정을 더할 수 있는 것은, 당업자에게 있어서 명확하다.
본 출원은, 2019년 5월 22일 출원된 일본 특허 출원 2019-096279에 기초하는 것이고, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.
제조되는 유리의 용도는, 건축용, 차량용, 액정 디스플레이용, 유기 EL 디스플레이용, 커버 유리용, 이화학 기기용, 조리 기구용, 또는 기타의 각종 용도를 들 수 있다.
1, 1A: 용융 유리 반송 장치
10: 제1 세라믹스 구조체
20: 제2 세라믹스 구조체
22: 저부 벽돌
30, 30A, 30B: 제3 세라믹스 구조체
32A 내지 32F: 가스 유로
40: 용융 유리용 도관 구조체
41: 주관
42, 43: 분기관
44: 교반기
50: 가스 공급 시스템
51: 가스 생성 장치
52: 조절 밸브
54A 내지 54D: 공급관
56A, 56B: 배기관
60: 부재
100: 용해 장치
200: 감압 탈포 장치
250: 청징 장치
300: 성형 장치
500, 600, 700: 유리 제조 장치
G: 용융 유리
GL: 용융 유리 레벨

Claims (18)

  1. 백금 또는 백금 합금을 포함하는 도관을 적어도 1개 포함하는 용융 유리용 도관 구조체와,
    상기 도관 중 적어도 1개의 도관의 주위에 마련된 제1 세라믹스 구조체와,
    상기 제1 세라믹스 구조체의 주위에 마련된 제2 세라믹스 구조체와,
    상기 제1 세라믹스 구조체와 상기 제2 세라믹스 구조체 사이에 마련된 제3 세라믹스 구조체를 구비하고,
    상기 제3 세라믹스 구조체는, 가스 유로를 갖고, 상기 가스 유로에 200℃ 이상의 가스가 공급되는, 용융 유리 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가스가 600℃ 이하인, 용융 유리 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가스가 수소 원자를 포함하는 가스인, 용융 유리 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 가스가 불활성 가스를 더 포함하는 혼합 가스인, 용융 유리 반송 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제3 세라믹스 구조체는, 내부에 상기 가스 유로를 갖는, 용융 유리 반송 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제3 세라믹스 구조체는, 상기 제1 세라믹스 구조체 및 상기 제2 세라믹스 구조체의 적어도 어느 한쪽의, 적어도 일부와 비접촉이고, 상기 비접촉의 영역에 상기 가스 유로를 갖는, 용융 유리 반송 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가스 유로는, 상기 도관 중 적어도 1개의 도관의, 주위 방향 및 축방향의 적어도 어느 한쪽의 방향을 따라 형성된, 용융 유리 반송 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 가스 유로는, 상기 축방향을 따라 2 이상 형성되고, 또한 상기 주위 방향으로 간격을 두고 형성된, 용융 유리 반송 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 가스 유로는, 상기 주위 방향을 따라 2 이상 형성되고, 또한 상기 축방향으로 간격을 두고 형성된, 용융 유리 반송 장치.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 세라믹스 구조체와 상기 제3 세라믹스 구조체 사이의 적어도 일부의 영역에 부재를 더 구비하고,
    상기 부재는, 상기 제1 세라믹스 구조체 및 상기 제3 세라믹스 구조체와 접촉하여, 상기 가스 유로의 적어도 일부를 덮도록 마련되어 있는, 용융 유리 반송 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 부재는, 유리 섬유 또는 세라믹스 섬유를 포함하고, 산화물 기준의 질량％ 표시로, SiO2 함유량이 50％ 이상인, 용융 유리 반송 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 부재의 두께는 0.5㎜ 이상인, 용융 유리 반송 장치.
  13. 제1항 또는 제2항에 있어서, 가스 공급 시스템을 더 구비하고,
    상기 가스 공급 시스템은, 가스를 생성하는 가스 생성 장치와, 생성된 상기 가스를 가열하는 가스 가열 장치와, 가열된 상기 가스를 상기 가스 유로에 공급하는 공급관을 갖는, 용융 유리 반송 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 가스 공급 시스템은, 상기 가스 유로를 통과한 상기 가스를 배기하는 배기관을 더 갖는, 용융 유리 반송 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 용융 유리용 도관 구조체는, 상기 도관으로서, 연직 방향에 중심축이 있는 주관과, 상기 주관과 연통하고, 수평 방향에 중심축이 있는 분기관을 적어도 1개씩 갖고,
    상기 공급관 및 상기 배기관의 적어도 어느 한쪽은, 상기 주관에 채워지는 용융 유리의 높이보다도 낮은 위치에 마련된, 용융 유리 반송 장치.
  16. 용해 장치, 청징 장치 및 성형 장치를 구비하는 유리 제조 장치이며,
    제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 기재된 용융 유리 반송 장치를 더 구비하고,
    상기 용해 장치와 상기 청징 장치 사이 및 상기 청징 장치와 상기 성형 장치 사이의 적어도 어느 한쪽에 상기 용융 유리 반송 장치가 마련된, 유리 제조 장치.
  17. 용해 공정, 청징 공정 및 성형 공정을 이 순으로 포함하는 유리 제조 방법이며,
    상기 용해 공정 및 상기 청징 공정 사이, 그리고, 상기 청징 공정 및 상기 성형 공정 사이의 적어도 어느 한쪽에, 용융 유리 반송 공정을 더 포함하고,
    상기 용융 유리 반송 공정에 있어서, 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 기재된 용융 유리 반송 장치를 사용하여, 상기 용융 유리 반송 장치에 있어서의 제3 세라믹스 구조체의 가스 유로에 200℃ 이상의 가스를 공급하는, 유리 제조 방법.
  18. 제17항에 있어서, 얻어진 유리의 β-OH값이 0.15㎜-1∼0.5㎜-1인, 유리 제조 방법.
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