KR20200121165A - 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브 - Google Patents

반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브 Download PDF

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Abstract

개시되는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 메인 바디 부재와, 실링 바디 부재와, 실링 캡 부재와, 탄성 부재를 포함하고, 상기 메인 바디 부재, 상기 실링 바디 부재, 상기 실링 캡 부재 및 상기 탄성 부재가 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관을 따라 유동되는 각종 화학 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어짐에 따라, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 대한 별도 내식 처리없이도, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 그대로 적용될 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브{Check valve for pipes of semiconductor and display manufacturing device}
본 발명은 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이 제작 설비는 반도체와 디스플레이 패널 중 적어도 하나를 제조할 수 있는 설비를 말하는데, 이러한 반도체 및 디스플레이 제작 설비에는 에칭액, 퍼징 가스 등 액체 또는 기체 상태의 각종 화학 유체가 유동되는 수많은 배관들이 적용된다.
이러한 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 적용되어, 해당 배관에서 유체의 유동이 요구되는 한 방향으로만 이루어지도록 하는 것이 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브이다.
이러한 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
그러나, 종래의 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 의하면, 반도체 및 디스플레이를 제조하기 위해 사용되는 각종 화학 유체의 특성 상, 금속 재질로 이루어진 배관이 부식될 수 있기 때문에, 그러한 배관의 내식성 향상을 위한 코팅 등의 별도 내식 처리가 요구되는 단점이 있었다.
공개특허 제 10-2003-0097452호, 공개일자: 2003.12.31., 발명의 명칭: 반도체 제조에 사용되는 체크밸브
본 발명은 별도 내식 처리없이도 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 적용될 수 있는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브는 반도체 및 디스플레이 중 적어도 하나를 제작할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제작 설비를 구성하는 복수 개의 배관에 적용되는 것으로서,
상기 배관 중 하나의 내부와 연통되는 메인 바디 부재; 상기 배관 중 다른 하나의 내부와 연통되고, 상기 메인 바디 부재와 결합되는 실링 바디 부재; 상기 실링 바디 부재가 개폐될 수 있도록, 상기 메인 바디 부재의 내부에서 승강될 수 있는 실링 캡 부재; 및 상기 메인 바디 부재의 내부에 배치되어, 상기 실링 캡 부재를 상기 실링 바디 부재 쪽으로 밀어주는 탄성력을 제공하는 탄성 부재;를 포함하고,
상기 탄성 부재에 의해 상기 실링 캡 부재는 상기 메인 바디 부재에서 상기 실링 바디 부재 쪽으로 밀리면서, 상기 실링 바디 부재를 닫게 되고, 그에 따라 상기 메인 바디 부재를 통해 유동되던 메인 바디 유체는 상기 실링 캡 부재에 의해 막혀 상기 실링 바디 부재로의 진입이 제한되고,
상기 실링 바디 부재를 통해 유동되던 실링 바디 유체가 상기 실링 캡 부재를 밀어주면, 상기 실링 캡 부재가 상기 메인 바디 부재의 내부에서 밀리면서 하강되고, 그에 따라 상기 실링 캡 부재가 열리면서, 상기 실링 바디 유체가 상기 메인 바디 부재 쪽으로 진입되고,
상기 메인 바디 부재, 상기 실링 바디 부재, 상기 실링 캡 부재 및 상기 탄성 부재는 상기 메인 바디 유체 및 상기 실링 바디 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 의하면, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 메인 바디 부재와, 실링 바디 부재와, 실링 캡 부재와, 탄성 부재를 포함하고, 상기 메인 바디 부재, 상기 실링 바디 부재, 상기 실링 캡 부재 및 상기 탄성 부재가 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관을 따라 유동되는 각종 화학 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어짐에 따라, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 대한 별도 내식 처리없이도, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 그대로 적용될 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 결합된 모습에 대한 수직 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 분해된 모습에 대한 수직 단면도.
도 3은 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브의 일부를 확대한 수직 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 결합된 모습에 대한 수직 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 분해된 모습에 대한 수직 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도이다.
도 1 내지 도 3을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)는 반도체 및 디스플레이 중 적어도 하나를 제작할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제작 설비를 구성하는 복수 개의 배관에 적용되는 것으로서, 메인 바디 부재(110)와, 실링 바디 부재(120)와, 실링 캡 부재(130)와, 탄성 부재(140)를 포함한다.
또한, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)는 밀폐 링 부재(150)와, 지지 부재(160)를 더 포함할 수 있다.
상기 메인 바디 부재(110)는 상기 배관 중 하나의 내부와 연통되는 것이다.
상세히, 상기 메인 바디 부재(110)는 상기 배관 중 하나에 연결되고 그 내부가 빈 원형 실린더 형태 등으로 형성되는 메인 바디 몸체(111)와, 상기 메인 바디 몸체(111)의 상단에 형성되어 상기 실링 바디 부재(120)의 하부가 삽입되어 걸리는 실링 바디 연결 홈(112)과, 상기 메인 바디 몸체(111)의 내부에 관통 형성되는 메인 바디측 입구(113)와, 상기 메인 바디 몸체(111)의 내부 중 상기 메인 바디측 입구(113) 부근에서 돌출되어 상기 지지 부재(160)가 걸리는 지지 걸림턱(114)을 포함한다.
상기 실링 바디 부재(120)는 상기 배관 중 다른 하나의 내부와 연통되고, 상기 메인 바디 부재(110)와 결합되는 것이다.
상세히, 상기 실링 바디 부재(120)는 상기 배관 중 다른 하나에 연결되고 그 내부가 빈 원형 실린더 형태 등으로 형성되는 실링 바디 몸체(121)와, 상기 실링 바디 몸체(121)의 하단에 형성되어 상기 실링 바디 연결 홈(112)에 연결을 위해 삽입되는 메인 바디 연결 삽입체(124)와, 상기 실링 바디 몸체(121)와 상기 메인 바디 연결 삽입체(124) 사이에서 외측으로 돌출되어 상기 메인 바디 연결 삽입체(124)가 상기 실링 바디 연결 홈(112)에 삽입될 때 상기 실링 바디 연결 홈(112)의 주변부 상단에 걸려 상기 메인 바디 연결 삽입체(124)가 미리 설정된 깊이만큼만 삽입되도록 하는 메인 바디 연결 걸림체(123)와, 상기 실링 바디 몸체(121)의 내부에 관통 형성되는 실링 바디측 입구(122)를 포함한다.
상기 메인 바디 연결 삽입체(124)가 상기 실링 바디 연결 홈(112)에 삽입되고, 상기 메인 바디 연결 걸림체(123)가 상기 실링 바디 연결 홈(112)의 주변부 상단에 걸림으로써, 상기 메인 바디 부재(110)와 상기 실링 바디 부재(120)가 서로 연통되면서 연결될 수 있게 된다.
상기 메인 바디 부재(110)와 상기 실링 바디 부재(120)는 수직으로 설치된 두 개의 배관 사이에 각각 설치(예를 들어, 상기 메인 바디 부재(110)가 수평의 배관에, 상기 실링 바디 부재(120)가 수직의 배관에 설치)될 수도 있고, 서로 일자로 연통된 두 개의 배관 사이에 각각 설치될 수도 있다.
상기 밀폐 링 부재(150)는 상기 실링 바디 부재(120)의 개방된 상기 실링 바디측 입구(122)의 주변부를 따라 상기 실링 캡 부재(130)와 대면되도록 배치되고, 오 링(O-ring) 형태로 형성되는 것이고, 탄성을 가지도록 형성된다.
상기 밀폐 링 부재(150)의 예로는, 각종 화학 물질에 대한 내화학성이 우수한 테프론 오 링이 제시될 수 있다.
상기 실링 캡 부재(130)는 상기 실링 바디 부재(120)가 개폐될 수 있도록, 상기 메인 바디 부재(110)의 내부에서 승강될 수 있는 것이다.
상세히, 상기 실링 캡 부재(130)는 상기 탄성 부재(140)가 그 저면에 삽입되는 탄성 삽입체(131)와, 상기 탄성 삽입체(131)로부터 그 외측으로 연장되어 상기 실링 바디 부재(120)와 접하면서 상기 실링 바디 부재(120)와의 사이를 밀폐시키는 바디 실링체(132)와, 상기 바디 실링체(132)가 상기 실링 바디 부재(120)와 접할 때 상기 밀폐 링 부재(150)와 접하면서 상기 밀폐 링 부재(150)의 일부가 변형되도록 상기 밀폐 링 부재(150)를 가압하는 밀폐 링 가압체(133)와, 상기 밀폐 링 부재(150) 중 상기 밀폐 링 가압체(133)에 의해 가압되어 변형된 부분이 수용되어 상기 밀폐 링 부재(150)와의 사이를 밀폐시키는 밀폐 링 변형 수용체(134)를 포함한다.
상기 바디 실링체(132)는 상기 실링 캡 부재(130)가 상승되면 상기 실링 바디 몸체(121)의 저면과 접하면서 상기 실링 바디 몸체(121)의 저면과의 사이를 밀폐시킨다.
상기 바디 실링체(132)의 저면에 일정 깊이로 함몰된 형태의 홈을 가진 상기 탄성 삽입체(131)에 상기 탄성 부재(140)의 상단이 삽입된다.
상기 밀폐 링 가압체(133)는 상기 바디 실링체(132)로부터 수직으로 일정 높이 돌출되는 형태로 형성되고, 상기 밀폐 링 변형 수용체(134)는 상기 밀폐 링 가압체(133)로부터 수직으로 일정 높이 돌출되되, 상기 밀폐 링 변형 수용체(134)의 외면은 상기 밀폐 링 가압체(133)의 외면에 비해 곡면 형태로 함몰된 형태로 형성된다. 그러면, 상기 실링 캡 부재(130)가 상승될 때 상기 밀폐 링 가압체(133)가 상기 밀폐 링 부재(150)의 하부를 가압해주고, 그에 따라 상기 밀폐 링 부재(150)가 눌리면서 상기 실링 바디 부재(120)의 내측 방향으로 돌출되도록 변형되고, 상기 밀폐 링 부재(150) 중 상기와 같이 변형된 부분이 상기 밀폐 링 변형 수용체(134)에 수용됨으로써, 상기 밀폐 링 부재(150)가 상기 밀폐 링 변형 수용체(134)와 밀착될 수 있게 되어, 상기 밀폐 링 부재(150)에 의해 상기 실링 바디 부재(120)와 상기 실링 캡 부재(130) 사이가 밀폐될 수 있게 된다.
상기 탄성 부재(140)는 상기 메인 바디 부재(110)의 내부에 배치되어, 상기 실링 캡 부재(130)를 상기 실링 바디 부재(120) 쪽으로 밀어주는 탄성력을 제공하는 것으로, 압축 스프링 형태 등으로 형성될 수 있다.
상기 탄성 부재(140)의 상단은 상기 탄성 삽입체(131)에 삽입되고, 상기 탄성 부재(140)의 하단은 상기 지지 부재(160)의 상부에 거려 지지된다.
상기 지지 부재(160)는 상기 메인 바디 부재(110)의 내부에 설치되어, 상기 탄성 부재(140)의 하부를 지지하는 것이다.
상세히, 상기 지지 부재(160)는 상기 지지 걸림턱(114)에 걸리는 지지 몸체(161)와, 상기 지지 몸체(161)의 내부가 관통된 형태로 형성되고 상기 메인 바디측 입구(113)와 연통되는 지지측 입구(162)와, 상기 지지측 입구(162)의 주변부를 따라 상기 지지 몸체(161)로부터 일정 높이로 원형 실린더 형태 등으로 돌출되어 상기 탄성 부재(140)가 그 외면을 따라 걸리는 탄성 걸림체(163)를 포함한다.
상기와 같이 구성되면, 상기 배관 중 상기 메인 바디 부재(110)와 연결된 부분을 따라 유동되던 유체인 메인 바디 유체가 상기 메인 바디 부재(110)의 내부를 따라 상승되면, 상기 메인 바디 유체의 유동력과 상기 탄성 부재(140)의 복원력에 의해 상기 실링 캡 부재(130)가 상기 메인 바디 부재(110)에서 상기 실링 바디 부재(120) 쪽으로 밀리면서, 상기 실링 바디 부재(120)의 상기 실링 바디측 입구(122)를 닫게 되고, 그에 따라 상기 메인 바디 유체는 상기 실링 캡 부재(130)에 의해 막혀 상기 실링 바디 부재(120)로의 진입이 제한된다.
반면, 상기 배관 중 상기 실링 바디 부재(120)와 연결된 부분을 따라 유동되던 유체인 실링 바디 유체가 상기 실링 캡 부재(130)를 밀어주면, 상기 실링 캡 부재(130)가 상기 메인 바디 부재(110)의 내부에서 밀리면서 하강되고, 그에 따라 상기 실링 캡 부재(130)의 상기 실링 바디측 입구(122)가 열리면서, 상기 실링 바디 유체가 상기 메인 바디 부재(110) 쪽으로 진입된다. 이 때, 상기 탄성 부재(140)는 압축되면서 탄성력을 축적하고, 상기 실링 바디 유체의 유동력이 미리 설정된 값 이하로 약해지면, 상기 탄성력에 의해 상기 실링 캡 부재(130)가 다시 재상승되고, 그에 따라 상기 실링 바디측 입구(122)가 다시 닫히게 된다.
본 실시예에서는, 상기 메인 바디 부재(110), 상기 실링 바디 부재(120), 상기 실링 캡 부재(130) 및 상기 탄성 부재(140)는 상기 메인 바디 유체 및 상기 실링 바디 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어진다. 그러면, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)에 대한 별도 내식 처리없이도, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 그대로 적용될 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)가 상기 메인 바디 부재(110)와, 상기 실링 바디 부재(120)와, 상기 실링 캡 부재(130)와, 상기 탄성 부재(140)를 포함하고, 상기 메인 바디 부재(110), 상기 실링 바디 부재(120), 상기 실링 캡 부재(130) 및 상기 탄성 부재(140)가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관을 따라 유동되는 각종 화학 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어짐에 따라, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)에 대한 별도 내식 처리없이도, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 그대로 적용될 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브의 일부를 확대한 수직 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에서는, 밀폐 링 부재(250)가 원형 단면의 오 링 형태로 형성되는 밀폐 링 몸체(251)와, 상기 밀폐 링 몸체(251)의 저면이 일정 깊이로 함몰된 형태의 밀폐 링 함몰 홈(252)과, 상기 밀폐 링 몸체(251) 중 상기 밀폐 링 함몰 홈(252)의 일 측 주변부를 이루는 제 1 밀폐 링 돌출부(253)와, 상기 밀폐 링 몸체(251) 중 상기 밀폐 링 함몰 홈(252)의 타 측 주변부를 이루는 제 2 밀폐 링 돌출부(254)를 포함한다.
상기 제 1 밀폐 링 돌출부(253)는 상대적으로 실링 바디 부재 쪽에 배치되고, 상기 제 2 밀폐 링 돌출부(254)는 상대적으로 실링 캡 부재(230) 쪽에 배치된다.
또한, 본 실시예에서는, 상기 실링 캡 부재(230)가 탄성 삽입체(231), 바디 실링체(232) 및 밀폐 링 가압체(233)와 함께, 밀폐 링 가압 돌기(235)와, 피가압부 수용 홈(236)을 더 포함한다.
상기 밀폐 링 가압 돌기(235)는 상기 바디 실링체(232)로부터 수직으로 일정 높이 돌출되어, 상기 실링 캡 부재(230)가 상기 밀폐 링 부재(250)를 향해 상승될 때, 상기 밀폐 링 함몰 홈(252)에 삽입되면서 상기 밀폐 링 몸체(251)를 가압하여 변형시켜주는 것이다.
상기 밀폐 링 가압 돌기(235)가 싱기 밀폐 링 함몰 홈(252)에 삽입되면서 상기 밀폐 링 몸체(251)를 가압하면, 상기 밀폐 링 몸체(251)가 눌리면서 변형되는데, 상기 제 1 밀폐 링 돌출부(253)는 상기 실링 바디 부재에 의해 막힌 형태여서, 상기 제 1 밀폐 링 돌출부(253)의 변형량은 상기 제 2 밀폐 링 돌출부(254)의 변형량에 비해 상대적으로 적고, 그에 따라 상기 제 2 밀폐 링 돌출부(254)가 상대적으로 더 변형되면서 돌출된다.
상기와 같이 변형된 상기 제 2 밀폐 링 돌출부(254)가 상기 피가압부 수용 홈(236)에 삽입되면서, 상기 피가압부 수용 홈(236)의 내면과 밀착되고, 그에 따라 상기 밀폐 링 부재(250)가 상기 밀폐 링 가압 돌기(235), 상기 피가압부 수용 홈(236) 및 상기 밀폐 링 가압체(233)와 전체적으로 접하게 되어, 상기 밀폐 링 가압 돌기(235) 및 상기 피가압부 수용 홈(236)이 없는 경우에 비해 상기 밀폐 링 부재(250)와 상기 실링 캡 부재(230)의 밀착 면적이 상대적으로 더 넓어지게 되고, 그에 따라 상기 밀폐 링 부재(250)와 상기 실링 캡 부재(230) 사이가 더욱 더 기밀하게 밀폐될 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 의하면, 별도 내식 처리없이도 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 적용될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브
110 : 메인 바디 부재
120 : 실링 바디 부재
130 : 실링 캡 부재
140 : 탄성 부재
150 : 밀폐 링 부재
160 : 지지 부재

Claims (3)

  1. 반도체 및 디스플레이 중 적어도 하나를 제작할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제작 설비를 구성하는 복수 개의 배관에 적용되는 것으로서,
    상기 배관 중 하나의 내부와 연통되는 메인 바디 부재;
    상기 배관 중 다른 하나의 내부와 연통되고, 상기 메인 바디 부재와 결합되는 실링 바디 부재;
    상기 실링 바디 부재가 개폐될 수 있도록, 상기 메인 바디 부재의 내부에서 승강될 수 있는 실링 캡 부재; 및
    상기 메인 바디 부재의 내부에 배치되어, 상기 실링 캡 부재를 상기 실링 바디 부재 쪽으로 밀어주는 탄성력을 제공하는 탄성 부재;를 포함하고,
    상기 탄성 부재에 의해 상기 실링 캡 부재는 상기 메인 바디 부재에서 상기 실링 바디 부재 쪽으로 밀리면서, 상기 실링 바디 부재를 닫게 되고, 그에 따라 상기 메인 바디 부재를 통해 유동되던 메인 바디 유체는 상기 실링 캡 부재에 의해 막혀 상기 실링 바디 부재로의 진입이 제한되고,
    상기 실링 바디 부재를 통해 유동되던 실링 바디 유체가 상기 실링 캡 부재를 밀어주면, 상기 실링 캡 부재가 상기 메인 바디 부재의 내부에서 밀리면서 하강되고, 그에 따라 상기 실링 캡 부재가 열리면서, 상기 실링 바디 유체가 상기 메인 바디 부재 쪽으로 진입되고,
    상기 메인 바디 부재, 상기 실링 바디 부재, 상기 실링 캡 부재 및 상기 탄성 부재는 상기 메인 바디 유체 및 상기 실링 바디 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브는
    상기 실링 바디 부재의 개방된 실링 바디측 입구의 주변부를 따라 배치되고, 오 링(O-ring) 형태로 형성되는 밀폐 링 부재;를 더 포함하고,
    상기 실링 캡 부재는
    상기 탄성 부재가 그 저면에 삽입되는 탄성 삽입체와,
    상기 탄성 삽입체로부터 그 외측으로 연장되어, 상기 실링 바디 부재와 접하면서 상기 실링 바디 부재와의 사이를 밀폐시키는 바디 실링체와,
    상기 바디 실링체가 상기 실링 바디 부재와 접할 때, 상기 밀폐 링 부재와 접하면서 상기 밀폐 링 부재의 일부가 변형되도록 가압하는 밀폐 링 가압체와,
    상기 밀폐 링 부재 중 상기 밀폐 링 가압체에 의해 가압되어 변형된 부분이 수용되어, 상기 밀폐 링 부재와의 사이를 밀폐시키는 밀폐 링 변형 수용체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브는
    상기 메인 바디 부재의 내부에 설치되어, 상기 탄성 부재의 하부를 지지하는 지지 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브.
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