KR102163629B1 - 커플러 - Google Patents

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KR102163629B1 KR1020180173871A KR20180173871A KR102163629B1 KR 102163629 B1 KR102163629 B1 KR 102163629B1 KR 1020180173871 A KR1020180173871 A KR 1020180173871A KR 20180173871 A KR20180173871 A KR 20180173871A KR 102163629 B1 KR102163629 B1 KR 102163629B1
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박희철
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주식회사 디쌤
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Abstract

일 실시 예에 따른 커플러는, 내부에 하부 유동 공간이 형성된 하부관; 내부에 상부 유동 공간이 형성되고, 상기 하부관의 상측에 위치되는 상부관; 내부에 연결 유동 공간이 형성되고, 상기 하부 유동 공간 및 상부 유동 공간이 연통되도록 상기 하부관 및 상부관을 연결하는 연결관; 및 상기 연결 유동 공간에 배치되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 방향으로 유체의 유동을 허용하는 체크 밸브부를 포함하고, 상기 체크 밸브부는, 상기 하부관에 접하도록 배치되는 마개부; 일측이 상기 마개부에 연결되며 타측이 상기 연결관의 내부에 연결되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 상기 유체의 압력에 의하여 탄성적으로 압축 가능한 탄성부; 상기 마개부의 상부면에서 하측으로 함몰되는 중공; 및 상기 마개부가 상기 하부관에 접한 상태를 기준으로, 상기 중공 및 연결 유동 공간이 연통되도록 상기 마개부를 관통하는 통공을 포함할 수 있다.

Description

커플러{COUPLER}
아래의 실시 예는 커플러에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조에 필요한 약액 등은 이들에 대해 충분한 내성을 갖는 용기에 저장된다. 용기 내에 저장된 약액 등을 인출하기 위해서, 용기의 개구부에 설치된 플러그에 펌프를 연결시키게 된다. 이때, 용기 내에 저장된 약액 등의 순도를 유지하기 위하여, 펌프를 통해 외부에서 용기 내부로 이물질 등이 유입되는 것을 방지하는 것이 중요하다. 따라서, 용기와 펌프 사이에 적용되며, 역류 방지 기능을 갖는 커플러가 요구된다. 또한, 약액 등의 압력에 따라 약액 등의 유량이 조절되는 커플러가 요구된다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예의 목적은, 역류 방지 기능을 갖는 커플러를 제공하는 것이다.
일 실시 예의 목적은, 유체의 압력에 따라 유량 조절이 가능한 커플러 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 커플러는, 내부에 하부 유동 공간이 형성된 하부관; 내부에 상부 유동 공간이 형성되고, 상기 하부관의 상측에 위치되는 상부관; 내부에 연결 유동 공간이 형성되고, 상기 하부 유동 공간 및 상부 유동 공간이 연통되도록 상기 하부관 및 상부관을 연결하는 연결관; 및 상기 연결 유동 공간에 배치되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 방향으로 유체의 유동을 허용하는 체크 밸브부를 포함하고, 상기 체크 밸브부는, 상기 하부관에 접하도록 배치되는 마개부; 일측이 상기 마개부에 연결되며 타측이 상기 연결관의 내부에 연결되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 상기 유체의 압력에 의하여 탄성적으로 압축 가능한 탄성부; 상기 마개부의 상부면에서 하측으로 함몰되는 중공; 및 상기 마개부가 상기 하부관에 접한 상태를 기준으로, 상기 중공 및 연결 유동 공간이 연통되도록 상기 마개부를 관통하는 통공을 포함할 수 있다.
상기 유체의 압력에 의하여 상기 탄성부가 압축되면, 상기 마개부는 상기 하부관으로부터 이격되고, 상기 하부 유동 공간으로 유입된 상기 유체는 상기 통공 및 중공을 통해 상기 상부 유동 공간을 향하여 유동될 수 있다.
상기 체크 밸브부는, 상기 마개부에서 하측으로 연장되고, 상기 하부 유동 공간으로 삽입되는 삽입관; 및 상기 삽입관의 외주를 관통하는 복수 개의 유량조절공을 더 포함할 수 있다.
상기 복수 개의 유량조절공은 상기 삽입관의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다.
상기 유체의 압력에 의하여 상기 탄성부가 압축됨에 따라, 상기 삽입관의 길이 방향을 따라 배치된 복수 개의 유량조절공은 순차적으로 상기 연결 유동 공간과 연통될 수 있다.
일 실시 예에 따른 커플러는 유체의 역류를 방지할 수 있다.
일 실시 예에 따른 커플러는 유체의 압력에 따라 유량을 조절할 수 있다.
일 실시 예에 따른 커플러의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시 예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 커플러의 단면도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 커플러의 사용상태 단면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 커플러의 단면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 커플러의 사용상태 단면도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 커플러의 단면도이다. 도 2는 일 실시 예에 따른 커플러의 사용상태 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시 예에 따른 커플러(1)는 유체가 수용된 용기로부터 유체를 인출 또는 배출할 수 있다. 예를 들어, 커플러(1)는 포토 레지스트 용액을 송액하기 위하여, 포토 레지스트 용액이 수용된 용기에 연결될 수 있다. 커플러(1)는 일 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 예를 들어, 커플러(1)는 외부의 이물질이 용기 내부로 유입되지 않도록, 용기 내부에서 외부를 향하는 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 커플러(1)는 유체의 압력에 따라 유체의 유량을 조절할 수 있다. 예를 들어, 커플러(1)는 유체의 압력이 증가함에 따라, 더 많은 유체가 인출 또는 배출되도록 구성될 수 있다.
일 실시 예에 따른 커플러(1)는 하부관(11), 상부관(12), 연결관(13), 하우징(14) 및 체크 밸브부(15)를 포함할 수 있다.
하부관(11)은 도 1의 상태를 기준으로, 하측에 위치될 수 있다. 하부관(11)은 용기의 플러그에 연결될 수 있다. 예를 들어, 하부관(11)은 포토 레지스트 용액이 수용된 용기의 입구에 연결될 수 있다. 하부관(11)은 내부에 하부 유동 공간(111)이 형성될 수 있다.
상부관(12)은 도 1의 상태를 기준으로, 하부관(11)의 상측에 위치될 수 있다. 예를 들어, 상부관(12)에는 펌프가 연결될 수 있다. 상부관(12)은 내부에 상부 유동 공간(121)이 형성될 수 있다.
연결관(13)의 내부에는 연결 유동 공간(131)이 형성될 수 있다. 연결관(13)은 하부 유동 공간(111) 및 상부 유동 공간(121)이 연통되도록, 하부관(11) 및 상부관(12)을 연결할 수 있다. 예를 들어, 하부관(11)은 연결관(13)의 내측으로 삽입되어 결합될 수 있다. 상부관(12)은 연결관(13)의 내측으로 삽입되어 결합될 수 있다. 하부관(11) 및 상부관(12)과 연결관(13)의 연결 부위에는 실링 부재가 적용될 수 있다.
하우징(14)은 커플러(1)의 외관을 형성할 수 있다. 하우징(14)은 연결관(13) 및 하부관(11)의 외주면을 감쌀 수 있다. 하우징(14)은 연결관(13), 하부관(11) 및 상부관(12)의 외주면을 모두 감쌀 수도 있다. 하우징(14)의 하단에는 직경 “‡향으로 외측을 향해 돌출되는 밀폐캡이 형성될 수 있다. 예를 들어, 밀폐캡은 용기의 플러그에 삽입되어 커플러(1)와 플러그 사이를 밀폐시킬 수 있다. 하부관(11)의 하단에는 밀폐캡을 지지하기 위하여, 직경 방향으로 외측을 향해 돌출되는 플랜지가 형성될 수 있다. 밀폐캡과 플랜지 사이에는 가스켓이 삽입될 수 있다.
체크 밸브부(15)는 연결관(13)의 내부에 배치될 수 있다. 다시 말해, 체크 밸브부(15)는 연결 유동 공간(131)에 배치될 수 있다. 체크 밸브부(15)는 일 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 예를 들어, 체크 밸브부(15)는 하부 유동 공간(111)에서 상부 유동 공간(121)을 향하는 방향으로 유체의 유동을 허용할 수 있다. 체크 밸브부(15)는 상부 유동 공간(121)에서 하부 유동 공간(111)을 향하는 방향에 대하여는, 유체의 유동을 차단할 수 있다. 이러한 구조에 의하면, 커플러(1)는 유체의 역류를 방지할 수 있다.
체크 밸브부(15)는 마개부(151), 탄성부(152), 중공(153) 및 통공(154)을 포함할 수 있다.
마개부(151)는 초기 상태에서 하부관(11)에 접하도록 배치될 수 있다. 마개부(151)가 하부관(11)에 접하는 상태에서, 하부 유동 공간(111)은 폐쇄될 수 있다. 즉, 마개부(151)가 하부관(11)에 접하는 상태에서는 하부 유동 공간(111) 및 연결 유동 공간(131)은 서로 연통되지 않을 수 있다. 마개부(151)는 후술하는 탄성부(152)가 압축되면, 하부관(11)으로부터 이격될 수 있다. 마개부(151)가 하부관(11)으로부터 이격된 상태에서, 하부 유동 공간(111)은 개방될 수 있다. 즉, 마개부(151)가 하부관(11)으로부터 이격된 상태에서는 하부 유동 공간(111) 및 연결 유동 공간(131)은 서로 연통될 수 있다.
마개부(151)는 헤드(1511) 및 바디(1512)를 포함할 수 있다. 헤드(1511)는 하부관(11)에 접하도록 배치될 수 있다. 헤드(1511)는 하부 유동 공간(111)을 폐쇄시킬 수 있는 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 헤드(1511)는 반구 형상으로 형성될 수 있다. 헤드(1511)는 하부 유동 공간(111)보다 큰 직경을 가질 수 있다. 바디(1512)는 헤드(1511)에서 상측으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 바디(1512)는 원통형으로 형성될 수 있다.
탄성부(152)는 일측이 마개부(151)에 연결되고, 타측이 연결관(13)의 내부에 연결될 수 있다. 탄성부(152)는 초기 상태에서 마개부(151)가 하부관(11)에 접촉되도록 탄성력을 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 탄성부(152)는 초기 상태에서 마개부(151)가 하부관(11)에 밀착되도록, 마개부(151)를 하부관(11) 방향으로 밀어낼 수 있다. 초기 상태에서 탄성부(152)가 마개부(151)를 하부관(11) 방향으로 밀어내는 탄성력은, 하부 유동 공간(111)이 개방되기 위하여 필요한 유체 압력의 역치값을 의미할 수 있다.
탄성부(152)는 하부 유동 공간(111)에서 상부 유동 공간(121)을 향하는 유체의 압력에 의하여 탄성적으로 압축될 수 있다. 구체적으로, 초기 상태에서 폐쇄된 하부 유동 공간(111)으로 유입된 유체는, 마개부(151)를 상측 방향으로 밀어낼 수 있다. 마개부(151)를 상측으로 밀어내는 압력이 역치값을 초과하면, 탄성부(152)는 압축되고, 그에 따라 마개부(151)가 하부관(11)으로부터 이격될 수 있다. 따라서, 하부 유동 공간(111)이 개방되고, 유체는 연결 유동 공간(131)을 통해 상부 유동 공간(121)으로 유동될 수 있다. 탄성부(152)의 탄성계수 및 초기 압축 정도는 커플러(1)의 목적 및 용도에 맞게 다양하게 설정될 수 있다.
중공(153)은 마개부(151)의 내부에 형성되는 공간으로, 마개부(151)의 상측으로 개방된 공간일 수 있다. 중공(153)은 마개부(151)의 상부면에서 하측으로 함몰되는 공간일 수 있다. 예를 들어, 중공(153)은 마개부(151)의 바디(1512)를 관통하여 형성되고, 헤드(1511)의 일부까지 연장될 수 있다.
통공(154)은 마개부(151)가 하부관(11)에 접한 상태를 기준으로, 중공(153) 및 연결 유동 공간(131)이 연통되도록 마개부(151)를 관통할 수 있다. 즉, 통공(154)은 마개부(151) 중에서 하부 유동 공간(111)에 직접 접하지 않는 부위에 형성될 수 있다. 예를 들어, 통공(154)은 마개부(151)의 헤드(1511)를 관통하여 형성될 수 있다. 통공(154)은 헤드(1511)의 둘레를 따라 복수 개 형성될 수 있다. 통공(154)은 반구형 헤드(1511)의 중심으로부터 외측으로 하향 경사지도록 형성될 수 있다.
초기 상태에서 폐쇄된 하부 유동 공간(111)으로 유입된 유체가 헤드(1511)에 압력을 전달하여 탄성부(152)가 압축되면, 마개부(151)는 하부관(11)으로부터 이격될 수 있다. 그에 따라 하부 유동 공간(111)은 개방되고, 유체는 통공(154) 및 중공(153)을 통해 연결 유동 공간(131)으로 유입되어 상부 유동 공간(121)을 향하여 유동될 수 있다. 또한, 하부 유동 공간(111)으로 유입된 유체의 압력이 증가함에 따라, 탄성부(152)의 압축 정도가 증가하게 되므로, 그에 따라 마개부(151)가 하부관(11)으로부터 이격된 거리가 증가할 수 있다. 따라서, 마개부(151)와 하부관(11) 사이의 공간이 넓어지게 되므로, 더 많은 양의 유체가 연결 유동 공간(131)으로 유입되어 상부 유동 공간(121)을 향해 유동될 수 있다. 한편, 상부 유동 공간(121)으로부터 하부 유동 공간(111)을 향하는 역압이 발생되더라도, 역압 발생에 따라 마개부(151)가 하부 유동 공간(111)을 폐쇄하게 되므로, 유체가 상부 유동 공간(121)으로부터 하부 유동 공간(111)을 향해 역류하는 것이 방지될 수 있다.
도 3은 일 실시 예에 따른 커플러의 단면도이다. 도 4는 일 실시 예에 따른 커플러의 사용상태 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 일 실시 예에 따른 커플러(2)는 유체가 수용된 용기로부터 유체를 인출 또는 배출할 수 있다. 예를 들어, 커플러(2)는 포토 레지스트 용액을 송액하기 위하여, 포토 레지스트 용액이 수용된 용기에 연결될 수 있다. 커플러(2)는 일 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 예를 들어, 커플러(2)는 외부의 이물질이 용기 내부로 유입되지 않도록, 용기 내부에서 외부를 향하는 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 커플러(2)는 유체의 압력에 따라 유체의 유량을 조절할 수 있다. 예를 들어, 커플러(2)는 유체의 압력이 증가함에 따라, 더 많은 유체가 인출 또는 배출되도록 구성될 수 있다.
일 실시 예에 따른 커플러(2)는 하부관(21), 상부관(22), 연결관(23), 하우징(24) 및 체크 밸브부(25)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 체크 밸브부(25)는 마개부(251), 탄성부(252), 중공(253), 통공(254), 삽입관(255) 및 유량조절공(256)을 포함할 수 있다.
삽입관(255)은 마개부(251)에서 하측으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 마개부(251)의 헤드(2511)에서 하측으로 연장될 수 있다. 삽입관(255)은 길이 방향으로 형성될 수 있다. 삽입관(255)은 내부에 유동 공간이 형성될 수 있다. 삽입관(255)은 원통형으로 형성될 수 있다. 삽입관(255)은 하부 유동 공간(211)으로 삽입될 수 있다. 예를 들어, 초기 상태에서, 삽입관(255)은 하부 유동 공간(211)으로 삽입된 상태일 수 있다. 삽입관(255)은 하부 유동 공간(211)에 대응되는 직경으로 형성될 수 있다. 삽입관(255)은 마개부(251)와 일체로 형성될 수 있다.
유량조절공(256)은 삽입관(255)의 외주를 관통할 수 있다. 유량조절공(256)은 복수 개 형성될 수 있다. 복수 개의 유량조절공(256)은 삽입관(255)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 유량조절공(256)은 삽입관(255)의 둘레를 따라 복수 개 형성될 수 있다.
초기 상태에서 폐쇄된 하부 유동 공간(211)으로 유입된 유체가 헤드(2511)에 압력을 전달하여 탄성부(252)가 압축되면, 마개부(251)는 하부관(21)으로부터 이격될 수 있다. 이와 동시에, 삽입관(255)의 일부는 하부 유동 공간(211)으로부터 빠져나올 수 있다. 그에 따라, 유량조절공(256)은 연결 유동 공간(231)과 연통될 수 있고, 유체는 유량조절공(256), 통공(254) 및 중공(253)을 통하여 상부 유동 공간(221)을 향해 유동될 수 있다. 한편, 유체의 압력이 증가됨에 따라 탄성부(252)의 압축 정도가 증가되게 되고, 그에 따라 삽입관(255)이 하부 유동 공간(211)으로부터 빠져나오는 정도가 증가할 수 있다. 따라서, 탄성부(252)의 압축 정도에 따라, 삽입관(255)의 길이 방향을 따라 배치된 복수 개의 유량조절공(256)은 순차적으로 하부 유동 공간(211)을 빠져나와 연결 유동 공간(231)과 연통될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 하부 유동 공간(111)으로 유입된 유체의 압력이 증가함에 따라, 연결 유동 공간(231)과 연통되는 유량조절공(256)의 수가 증가하게 되고, 그에 따라 더 많은 양의 유체가 연결 유동 공간(231)으로 유입되어 상부 유동 공간(221)을 향해 유동될 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
1: 커플러
11: 하부관
12: 상부관
13: 연결관
14: 하우징
15: 체크 밸브부

Claims (5)

  1. 내부에 하부 유동 공간이 형성된 하부관;
    내부에 상부 유동 공간이 형성되고, 상기 하부관의 상측에 위치되는 상부관;
    내부에 연결 유동 공간이 형성되고, 상기 하부 유동 공간 및 상부 유동 공간이 연통되도록 상기 하부관 및 상부관을 연결하는 연결관; 및
    상기 연결 유동 공간에 배치되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 방향으로 유체의 유동을 허용하는 체크 밸브부를 포함하고,
    상기 체크 밸브부는,
    상기 하부관에 접하도록 배치되는 마개부;
    일측이 상기 마개부에 연결되며 타측이 상기 연결관의 내부에 연결되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 상기 유체의 압력에 의하여 탄성적으로 압축 가능한 탄성부;
    상기 마개부의 상부면에서 하측으로 함몰되는 중공; 및
    상기 마개부가 상기 하부관에 접한 상태를 기준으로, 상기 중공 및 연결 유동 공간이 연통되도록 상기 마개부를 관통하는 통공을 포함하고,
    상기 체크 밸브부는,
    상기 마개부에서 하측으로 연장되고, 상기 하부 유동 공간으로 삽입되는 삽입관; 및
    상기 삽입관의 외주를 관통하는 복수 개의 유량조절공을 더 포함하는, 커플러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유체의 압력에 의하여 상기 탄성부가 압축되면, 상기 마개부는 상기 하부관으로부터 이격되고, 상기 하부 유동 공간으로 유입된 상기 유체는 상기 통공 및 중공을 통해 상기 상부 유동 공간을 향하여 유동되는, 커플러.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 유량조절공은 상기 삽입관의 길이 방향을 따라 배치되는, 커플러.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 유체의 압력에 의하여 상기 탄성부가 압축됨에 따라, 상기 삽입관의 길이 방향을 따라 배치된 복수 개의 유량조절공은 순차적으로 상기 연결 유동 공간과 연통되는, 커플러.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012102779A (ja) 2010-11-09 2012-05-31 Ebara Corp オリフィス付チェッキ弁
KR101514916B1 (ko) * 2014-01-23 2015-04-23 주식회사 티에스피 정밀제어용 체크밸브

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010064534A (ko) * 1999-12-29 2001-07-09 박종섭 유량조절형 체크밸브
KR101238180B1 (ko) * 2010-08-27 2013-02-28 태성정밀(주) 역류방지용 체크밸브
KR101866288B1 (ko) * 2016-10-26 2018-06-12 주식회사 인팩 유체제어부를 구비한 체크밸브

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012102779A (ja) 2010-11-09 2012-05-31 Ebara Corp オリフィス付チェッキ弁
KR101514916B1 (ko) * 2014-01-23 2015-04-23 주식회사 티에스피 정밀제어용 체크밸브

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