KR20200118044A - 동축 이중 안전 밸브용 밸브 모니터링 시스템 - Google Patents

동축 이중 안전 밸브용 밸브 모니터링 시스템 Download PDF

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KR20200118044A
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엔노 프롤레이크
세바스티안 슈톨츠
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에베엠-파프스트 란드스후트 게엠베하
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Abstract

본 발명은 가스량을 제어하기 위해 이중 안전 밸브의 하류에 유체적으로 연결되어 배열된 제어 밸브 및 적어도 동축 이중 안전 밸브를 포함하고, 열 요청 중에 발생하는 가스 버너의 가스 요청을 제어하는, 가스 밸브 유닛의 동축 이중 안전 밸브용 밸브 모니터링 시스템에 관한 것이다.

Description

동축 이중 안전 밸브용 밸브 모니터링 시스템
본 발명은 열 요청 중에 발생하는 가스 버너의 가스 요청을 제어하는 가스 밸브 유닛의 동축 이중 안전 밸브용 밸브 모니터링 시스템에 관한 것이다. 밸브 모니터링 시스템 대신에, "밸브 검증 시스템(VPS)"이라는 용어도 기술에 사용된다. 본 발명은 또한 동축 이중 안전 밸브를 모니터링하는 방법에 관한 것이다.
종래 기술에 따르면, 2개의 직렬 연결된 안전 파일럿 밸브 및 가스 압력 모니터를 갖는 종래의 가스 밸브 또는 가스 밸브 유닛의 기밀성 체크를 위한 밸브 모니터링 시스템이 공지되어 있으며, 이러한 체크는 예를 들어 표준 EN1643에 따라 수행된다. 직렬로 배치된 2개의 안전 파일럿 밸브를 갖는 가스 밸브의 기밀성 체크는 개별 안전 파일럿 밸브의 독립적인 구동과 독립적인 개방 및 밀폐 거동을 필요로 한다. 이중 안전 밸브의 2개의 안전 파일럿 밸브는 제한된 조건 하에서 서로 독립적으로만 개방될 수 있기 때문에 이러한 방법은 동축 이중 안전 밸브에 직접 적용될 수 없다.
따라서, 본 발명의 기본 목적은 이중 안전 밸브의 2개의 파일럿 밸브의 기밀성을 체크될 수 있는 동축 이중 안전 밸브의 모니터링을 위한 밸브 모니터링 시스템 및 방법을 제공하는 데 있고, 이중 안전 밸브는 VPS 요구 사항이 적용되는 경우에도 사용될 수 있다.
이러한 목적은 청구항 제1항, 제9항 및 제10항에 따른 특징의 조합에 의해 달성된다.
본 발명에 따르면, 가스 밸브 유닛의 동축 이중 안전 밸브에 대한 밸브 모니터링 시스템이 제안되는데, 이는 열 요청 과정에서 발생하는 가스 버너의 가스 요청을 제어하고, 가스량을 제어하기 위해 이중 안전 밸브의 하류에 유체적으로 연결되어 배열된 제어 밸브 및 적어도 동축 이중 안전 밸브를 포함한다. 이러한 가스 버너는 예를 들어, 가스 히터 내에서 사용된다. 예를 들어, 가스 히터를 시동하여 이에 따라 버너를 점화시키는 온수가 필요한 경우에 열 요청이 존재한다. 제어 밸브는 바람직하게는 임의의 개방 위치에서 스텝 모터에 의해 조절될 수 있고 가스 밸브 유닛을 통한 가스 유량을 제어할 수 있다는 점에서 2개의 파일럿 밸브와 상이하다.
이중 안전 밸브는 개방 위치와 밀폐 위치 사이에서 각각 제어가능한 제1 파일럿 밸브의 하류에서 동축 및 유체적으로 배열된 제1 일체형 파일럿 밸브 및 제2 일체형 파일럿 밸브를 포함한다(온/오프 파일럿 밸브). 파일럿 밸브는 각각의 경우 가스 흐름의 안전한 차단을 위한 안전 밸브로 설계된다. 입구 측에서, 가스 입구 압력이 특히 직접적으로 가스 라인으로부터 제1 파일럿 밸브에 작용한다.
제1 파일럿 밸브와 제2 파일럿 밸브 사이에 형성된 유체 공간에서, 압력 센서 또는 압력 스위치가 배치되고, 이에 의해 제1 파일럿 밸브와 제2 파일럿 밸브 사이의 유체 공간에 둘러싸인 가스의 스위칭 압력이 측정된다.
미리정해진 기간에 걸쳐서 측정된 스위칭 압력의 체크를 통해, 제어 밸브의 개방 위치 또는 밀폐 위치 및 제1 및 제2 파일럿 밸브의 개방 위치와 밀폐 위치에 따라 각각의 경우 제2 파일럿 밸브 및 제1 파일럿 밸브의 연속적인 기밀성 체크가 수행된다. 본 발명에 따른 밸브 모니터링 시스템에 의해, 더 적은 수의 부품, 보다 컴팩트한 설계 및 더 적은 전력에 따라 밸브 모니터링의 기능에 의해 보다 비용 효율적인 동축 이중 안전 밸브의 이점이 증대될 수 있고, 이에 따라 동축 이중 안전 밸브를 갖는 밸브 유닛이 VPS 요구 사항이 있는 응용에도 사용될 수 있다.
각각의 파일럿 밸브 및 제어 밸브는 이들이 가스 밸브 유닛을 통하여 유동하는 가스를 차단하도록 설계된다. 따라서, 유동 방향에서, 개별 밸브들 사이에서 가스, 따라서 가스 및 특정 가스 압력이 압력 센서를 통해 제한되고 측정될 수 있다. 추가로 가스 입구 압력은 항상 제1 파일럿 밸브에 작용한다. 측정된 압력이 제1 압력 임계 값 아래로 떨어지지 않거나 또는 압력 임계 값 초과로 상승하지 않는 한, 압력 센서에 접하고 체크될 밸브는 조여진다.
밸브 모니터링 시스템의 변형예에서, 제1 및 제2 파일럿 밸브의 기밀성 체크는 가스 밸브 유닛에 대한 가스 요청의 완료 이후에, 즉 열 요청 이후에 수행된다.
여기에서 열 요청의 완료는 먼저 버너에 가스-공기 혼합물을 공급하기 위한 팬이 개시되고 가스 공급이 없는 공기로 시스템을 플러싱하는 것을 포함한다. 이어서, 동축 이중 안전 밸브의 2개의 파일럿 밸브는 제어 밸브가 여전히 밀폐된 상태에서 미리정해진 시간 간격, 예를 들어 1초 동안 개방 위치로 개방된다. 그 뒤에 제어 밸브는 개시-개방 위치(부분적으로 개방 위치)로 보내지고 가스 버너의 점화 순서가 개시된다. 점화 스파크가 트리거링되면 이중 안전 밸브의 2개의 파일럿 밸브가 개방 위치로 보내지고, 가스 버너가 점화된다. 열 요청이 완료되자마자 이중 안전 밸브의 2개의 파일럿 밸브가 완전히 밀폐되고 그 후 제어 밸브가 또한 밀폐된다. 팬은 2차 플러싱 공정을 수행한 뒤에 꺼진다(switch off).
밸브 모니터링 시스템에서, 제1 파일럿 밸브의 기밀성 체크가 제2 파일럿 밸브의 기밀성 체크 후에 수행된다. 제2 파일럿 밸브는 제어 밸브가 개시 개방 위치로 보내진 후에 밀폐 위치에 있는 제1 및 제2 파일럿 밸브들 사이의 스위칭 압력이 측정된다는 점에서 기밀성을 체크한다. 출구 측, 즉 제어 밸브를 향하는 측에서 2개의 파일럿 밸브들 사이에 둘러싸인 가스 입구 압력보다 낮은 환경 압력이 이 상황에서 제2 파일럿 밸브에 작용한다. 측정된 스위칭 압력이 사전정해진 압력 임계 값 미만으로 떨어지지 않으면 제2 파일럿 밸브가 조여진다. 제1 파일럿 밸브는 밀폐 위치에 있는 제1 파일럿 밸브와 제2 파일럿 밸브 사이의 스위칭 압력이 측정되고 열 요청 완료 후, 먼저 제1 파일럿 밸브, 그 뒤 제2 파일럿 밸브 및 최종적으로 제어 밸브가 밀폐된다는 점에서 기밀성을 체크한다. 따라서, 유체 공간에서의 가스 압력은 제2 파일럿 밸브가 밀폐 위치로 보내지기 전에 제어 밸브를 통해 빠져나갈 수 있다. 입구 측에서 가스 입구 압력이 여전히 제1 파일럿 밸브에 작용하기 때문에, 유체 공간 내의 압력이 사전정해진 압력 임계 값을 초과하여 상승되지 않아야 한다. 이 경우 제1 파일럿 밸브가 조여진다. 따라서 제어 밸브는 기밀성 체크를 위해 밸브 모니터링 시스템에 의해 본 발명에 따라 사용된다.
또한, 제1 파일럿 밸브는 시간 지연(△t)에 따라 제2 파일럿 밸브 이전에 즉시 밀폐 위치로 보내지고 시간 지연(△t)은 바람직하게는 10-20 ms이다.
대안적인 설계에서, 밸브 모니터링 시스템은 가스 밸브 유닛에 대한 가스 요청이 완료된 후 제1 파일럿 밸브의 기밀성 체크가 수행되고, 가스 밸브 유닛에 대한 가스 요청 동안 제2 파일럿 밸브의 기밀성 체크가 수행되는 것을 특징으로 한다. 이 변형예에서, 제1 파일럿 밸브의 기밀성 체크는 제2 파일럿 밸브의 기밀성 체크 이후에 수행된다.
제2 파일럿 밸브는 밀폐 위치에 있는 제1 및 제2 파일럿 밸브 사이의 스위칭 압력이 측정된다는 점에서 기밀성을 체크한다. 이를 위해, 열 요청의 완료 이후에 점화된 가스 버너와 함께, 먼저 제어 밸브는 부분 하중 위치, 즉 부분 개방 위치로 보내지고 그 뒤에 즉시 그리고 신속하게 밀폐 위치로 보내진다. 이어서, 이중 안전 밸브의 2개의 파일럿 밸브가 밀폐 위치로 보내지고, 여기서 제1 파일럿 밸브는 제2 파일럿 밸브 직전에 밀폐된다. 그 후, 제어 밸브는 재차 개방되어 출구 측, 즉 제어 밸브를 대향하는 측에서, 이 상황에서 2개의 파일럿 밸브 사이에 둘러싸인 가스 입구 압력보다 낮은 환경 압력이 제2 파일럿 밸브에 작용한다. 측정된 스위칭 압력이 사전정해진 압력 임계 값 미만으로 떨어지지 않으면, 제2 파일럿 밸브가 조여진다. 이어서, 제1 파일럿 밸브는 기밀성을 체크한다. 이 목적으로, 제2 파일럿 밸브는 유체 공간의 탈기를 위해 잠깐 개방되고 다시 밀폐된다. 따라서, 유체 공간에서 환경 압력도 또한 우세하다. 그 후, 밀폐 위치에 있는 제1 및 제2 파일럿 밸브 사이의 스위칭 압력이 측정된다. 입구 측에서, 가스 입구 압력이 제1 파일럿 밸브에 지속적으로 작용하기 때문에, 유체 공간 내의 압력은 압력 임계 값을 초과해서는 안된다. 이 경우 제1 파일럿 밸브는 조여진다. 이러한 설계 변형에서, 또한 제어 밸브는 기밀성 체크를 위해 밸브 모니터링 시스템에 의해 사용된다.
따라서 동축 이중 안전 밸브를 체크하기 위한 두 가지 변형이 허용될 수 있다.
또한, 본 발명은 제1 설계 변형에 따른 상기 밸브 모니터링 시스템의 동축 이중 안전 밸브를 모니터링하는 방법에 관한 것으로, 열 요청 과정에서 가스 요청 동안, 상기 방법은 다음을 통해 수행된다.
먼저, 제1 및 제2 파일럿 밸브는 미리정해진 시간 간격 동안, 특히 1초에 개방 위치로, 그 후 즉시 밀폐 위치로 보내진다. 이어서, 제어 밸브가 개방 위치에 이동된다.
유체 공간에서의 스위칭 압력은 측정 또는 체크되고, 제2 파일럿 밸브의 기밀성 체크를 위해 미리정해진 압력 임계 값과 비교된다. 압력 임계 값은 예를 들어 가스 공칭 압력의 절반과 파일럿 밸브의 스위치 히스테리시스 압력(P스위치 = 1/2 P공칭-P스위치-히스테리시스) 사이의 차이로 정의될 수 있다. 압력 임계 값이 미달되어서는 안되며, 이 경우 제2 파일럿 밸브가 조여진다.
이어서, 이중 안전 밸브의 제1 및 제2 파일럿 밸브가 개방 위치로 보내지며 밸브 유닛을 통해 가스 버너로의 가스 경로가 개방되고 열 요청이 완료될 수 있다.
가스 요청 또는 열 요청이 완료된 후, 제1 및 제2 파일럿 밸브는 밀폐 위치로 보내지고, 제1 파일럿 밸브는 항상 제2 파일럿 밸브 직전에 연대순으로 밀폐된다. 그 뒤 제어 밸브가 또한 밀폐된다. 이어서, 유체 공간에서의 스위칭 압력이 체크되고, 제1 파일럿 밸브의 기밀성 체크를 위해 미리정해진 압력 임계 값과 비교된다. 이 압력 임계 값은 예를 들어 가스 공칭 압력의 절반(P스위치 = 1/2 공칭)으로 정의될 수 있고 초과해서는 안되며, 이 경우 제1 파일럿 밸브는 조여진다.
밸브 모니터링 시스템의 제2 변형예와 관련하여, 동축 이중 안전 밸브를 모니터링하기 위한 방법이 제안된다. 방법은 가스 밸브 유닛에 대한 열 요청 과정에서 가스 요청이 완료된 후에 수행되며 다음 단계를 거친다.
개방된 이중 안전 밸브가 개방된 상태에서, 제어 밸브는 먼저 부분 개방 위치(부분 부하 작동)로 이동한 다음 즉시 직접 밀폐 위치로 이동한다. 부분 개방 위치로부터 밀폐 위치로의 이동은 바람직하게는 스텝 모터에 의해, 바람직하게는 최대 0.5 초 내에 발생한다. 가스 밸브 유닛에서 가스 요청이 완료될 때까지 개방된 가스 경로를 차단한다. 그 뒤에, 제1 및 제2 파일럿 밸브는 연속적으로 밀폐 위치로 보내지고, 제1 파일럿 밸브는 항상 제2 파일럿 밸브 전에 밀폐된다. 그 뒤에 제어 밸브가 재차 개방 위치로 이동된다. 이어서, 유체 공간에서의 스위칭 압력이 체크되고, 제2 파일럿 밸브의 기밀성 체크를 위해 압력 임계 값과 비교된다. 압력 임계 값은 예를 들어 가스 공칭 압력의 절반과 스위치 히스테리시스 압력(P스위치 = 1/2 P공칭-P스위치-히스테리시스)의 차이로 정의될 수 있다. 압력 임계 값이 미달해서는 안되며, 이 경우 제2 파일럿 밸브가 조여진다.
그 뒤, 제2 파일럿 밸브는 적어도 부분적인 탈기를 위해 개방 위치로 보내지고, 제1 파일럿 밸브는 밀폐 위치로 유지된다. 유체 공간에서의 스위칭 압력이 체크되고, 제1 파일럿 밸브의 기밀성 체크를 위해 압력 임계 값과 비교된다. 이 압력 임계 값은 예를 들어 가스 공칭 압력의 절반(P스위치 = 1/2 공칭)으로 정의될 수 있고, 이를 초과해서는 안되며, 이 경우 제1 파일럿 밸브는 조여진다.
방법에서, 적어도 부분적인 탈기 후에 제2 파일럿 밸브가 유체 공간에서의 스위칭 압력이 체크되기 전에 즉시 밀폐 위치로 이동되는 것이 선호된다.
본 발명의 다른 선호되는 개선점은 종속항에 특징으로 하거나 또는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 설명과 함께 아래에 더 상세히 표현된다. 도면에서:
도 1은 밸브 모니터링 시스템을 갖는 가스 밸브 유닛의 개략적인 단면도이다.
도 1에서, 가스 밸브 유닛(1)의 동축 이중 안전 밸브(2)를 위한 밸브 모니터링 시스템의 개략도가 도시되어 있다. 가스 밸브 유닛(1)은 가스 라인(도시되지 않음)에 연결된 가스 입구(3)를 포함한다. 유동 방향으로, 동축 이중 안전 밸브(2)의 제1 파일럿 밸브(4) 및 제2 파일럿 밸브(5) 및 그 뒤에 밸브 몸체(16)를 갖는 제어 밸브(6)가 연속하여 이어진다. 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)는 각각 밸브 몸체뿐만 아니라 밸브 시트를 포함하고, 이들 사이에 스위칭 압력을 측정하는 압력 센서가 배치되는 유체 공간(7)을 형성한다. 제어 밸브(6)는 또한 밸브 몸체 및 밸브 시트를 포함하고, 밸브 몸체의 개방 위치는 스텝 모터(8)를 통해 조정된다. 가스/공기 혼합물을 버너(도시되지 않음)에 제공하기 위한 혼합 유닛은 흐름 방향으로 제어 밸브(6)를 따른다. 가스 입구(3)의 영역에서, 가스 라인의 가스 입구 압력(가스 공칭 압력)이 우선한다. 밀폐된 이중 안전 밸브(2)와 개방된 제어 밸브(6)의 경우, 제어 밸브(6)의 영역과 따라서 제2 파일럿 밸브(5)의 출구 측에서 환경 압력이 우선한다.
밸브 모니터링 시스템에서, 제1 파일럿 밸브(4) 및 제2 파일럿 밸브(5)의 기밀성 체크는 제어 밸브(6) 및 항상 입구 측에 적용되는 가스 입구 압력을 사용하여 수행된다.
여기서, 밸브 유닛(1)은 기밀성 체크 및 이중 안전 밸브(2)의 밸브 모니터링의 두 가지 변형을 보장할 수 있다.
제1 변형예에서, 열 요청 과정에서 가스 요청 동안, 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)는 잠시 개방된 후 다시 밀폐되며, 제1 파일럿 밸브(4)는 시간 지연 △t = 10-20 ms에 따라 제2 파일럿 밸브(5) 이전에 밀폐 위치로 보내진다. 여기서, 제어 밸브(6)는 처음에는 여전히 밀폐되어 있어서, 이중 안전 밸브(2)가 개방되어 있는 한 가스 입구 압력은 제어 밸브(6)에 작용한다. 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)의 밀폐 이후에, 제어 밸브(6)는 부분적으로 개방된 시작 위치로 보내진다. 제2 파일럿 밸브(5)는 밀폐 위치에 있는 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5) 사이의 유체 공간(7) 내의 스위칭 압력이 바람직하게는 0.4 초 동안 측정된다는 점에서 기밀성을 체크한다. 제어 밸브(6)의 개방으로 인해, 출구 측, 즉 제어 밸브(6)를 향하는 측(10)의 가스 압력은 2개의 파일럿 밸브(4, 5)들 사이의 유체 공간(7)에 포함된 가스 압력보다 낮은 환경 압력으로 감소한다. 측정된 스위칭 압력이 사전정해진 압력 임계 값 아래로 떨어지지 않으면 제2 파일럿 밸브가 조여진다. 이어서, 이중 안전 밸브가 개방되고 가스 버너가 점화되는 열 요청이 완료된다. 열 요청이 완료된 후, 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)는 밀폐되고 이어서 제어 밸브(6)는 밀폐되며, 따라서 유체 공간(7)의 가스 압력은 제2 파일럿 밸브(5)가 밀폐 위치로 보내지기 전에 제어 밸브(6)를 통해 배출된다. 다음으로, 제1 파일럿 밸브(4)의 기밀성 체크가 입구 측에서 가스 입구 압력이 제1 파일럿 밸브(4)에만 전적으로 작용하는 동안 수행된다. 밀폐 위치에 있는 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5) 사이의 유체 공간(7)에서의 스위칭 압력은 바람직하게는 0.2 초 동안 측정되며 압력 임계 값 미만으로 떨어지지 않아야 한다. 이 경우, 제1 파일럿 밸브(4)는 조여진다.
대안으로, 밸브 유닛(1)은 열 요청이 완전히 완료된 후 밸브 모니터링 시스템에 사용된다. 이 제2 변형예에서, 이중 안전 밸브(2)가 완전히 개방된 상태에서, 제어 밸브(6)는 먼저 부분 개방 위치(부분 부하 작동)로 이동하고, 이어서 바람직하게는 400Hz의 주파수에서 0.5초에서 스템 모터(8)에 의해 밀폐 위치로 즉시 및 직접적으로 보내진다. 제어 밸브(6)는 그 뒤에 가스 밸브 유닛(1)에서 가스 요청을 완료할 때까지 개방된 가스 경로를 차단한다. 이어서, 제1 파일럿 밸브(4)와 그 뒤 제2 파일럿 밸브(5)가 차례로 밀폐 위치로 보내진다. 그 뒤, 제어 밸브(6)가 다시 개방되어, 제어 밸브(6)를 향하는 제2 파일럿 밸브(5)의 측(10)의 압력이 환경 압력으로 떨어진다. 이어서, 제2 파일럿 밸브(5)의 기밀성 체크를 위해, 유체 공간(7) 내의 스위칭 압력은 바람직하게는 0.4 초 동안 압력 센서(7)를 통해 측정되고 미리정의된 압력 임계 값과 비교된다(예를 들어,(P스위치 = 1/2 P공칭-P스위치-히스테리시스). 압력 임계 값이 미달되지 않는 한, 제2 파일럿 밸브(5)는 조여진다. 이어서, 제2 파일럿 밸브(5)는 탈기를 위해 개방 위치로 잠깐 동안 보내지고, 제1 파일럿 밸브(4)는 밀폐 위치에 유지된다. 결과적으로 유체 공간(7) 내의 스위칭 압력은 환경 압력으로 떨어진다. 입구 측에서, 가스 입구 압력이 제1 파일럿 밸브(4)에 지속적으로 작용하기 때문에, 바람직하게 0.2 초 동안 측정된 제어 압력은 미리정의된 압력 임계 값(예를 들어, P스위치 = 1/2 P공칭) 위로 상승되지 않아야 한다. 이 경우, 제1 파일럿 밸브(4)는 조여지고, 기밀성 체크가 성공적으로 완료되었다.

Claims (14)

  1. 가스량을 제어하기 위해 이중 안전 밸브의 하류에 유체적으로 연결되어 배열된 제어 밸브(6) 및 동축 이중 안전 밸브(2)를 포함하고, 열 요청 중에 발생하는 가스 버너의 가스 요청을 제어하는, 가스 밸브 유닛(1)의 동축 이중 안전 밸브(2)용 밸브 모니터링 시스템으로서,
    이중 안전 밸브(2)는 개방 위치와 밀폐 위치 사이에서 각각 제어가능한 제1 파일럿 밸브(4)의 하류에서 동축 및 유체적으로 배열된 제1 일체형 파일럿 밸브(4) 및 제2 일체형 파일럿 밸브(5)를 포함하고,
    입구 측에서, 가스 입구 압력이 제1 파일럿 밸브(4)에 작용하고,
    제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5) 사이에 형성된 유체 공간(7)에서, 스위칭 압력 또는 압력 스위치를 측정하는 압력 센서가 배열되고,
    스위칭 압력의 체크를 통해, 제어 밸브(6)의 개방 위치 또는 밀폐 위치 및 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)의 개방 위치와 밀폐 위치에 따라 각각의 경우 제2 파일럿 밸브(5) 및 제1 파일럿 밸브(4)의 연속적인 기밀성 체크가 수행되는 밸브 모니터링 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)의 기밀성 체크는 가스 밸브 유닛(1)에 대한 가스 요청의 완료 이후에 수행되는 밸브 모니터링 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 제1 파일럿 밸브(4)의 기밀성 체크는 가스 밸브 유닛(1)에 대한 가스 요청의 완료 이후에 수행되고, 제2 파일럿 밸브(5)의 기밀성 체크는 가스 밸브 유닛(1)에 대한 가스 요청 동안에 수행되는 밸브 모니터링 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 파일럿 밸브(4)의 기밀성 체크는 제2 파일럿 밸브(5)의 기밀성 체크 이후에 수행되는 밸브 모니터링 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 제2 파일럿 밸브(5)의 기밀성 체크 동안에 제어 밸브(6)는 개방 위치에 있고, 공정 중에 환경 압력이 제2 파일럿 밸브(5) 상의 출구 측에서 작용하는 밸브 모니터링 시스템.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 파일럿 밸브(4)는 시간 지연(△t)에 따라 제2 파일럿 밸브(5) 이전에 밀폐 위치로 보내지는 밸브 모니터링 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 시간 지연은 10-20 ms인 밸브 모니터링 시스템.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 이중 안전 밸브(2) 및 제어 밸브(6)는 유동 방향으로 서로 직접 접하도록 제공되는 밸브 모니터링 시스템.
  9. 전항들 중 어느 한 항에 따른 밸브 모니터링 시스템의 동축 이중 안전 밸브를 모니터링하기 위한 방법으로서, 열 요청 과정에서 가스 요청 중에 상기 방법은
    a) 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)는 미리정해진 시간 간격 동안 개방 위치로, 그 후 즉시 밀폐 위치로 보내지는 단계,
    b) 제어 밸브(6)가 개방 위치에 보내지는 단계,
    c) 유체 공간(7)의 스위칭 압력이 체크되고, 제2 파일럿 밸브(5)의 기밀성 체크를 위해 압력 임계 값과 비교되는 단계,
    d) 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)가 개방 위치로 보내지는 단계,
    e) 가스 요청이 완료된 후, 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)는 밀폐 위치로 보내지고, 제어 밸브(6)는 밀폐 위치로 보내지는 단계,
    f) 유체 공간(7) 내의 스위칭 압력이 체크되고, 제1 파일럿 밸브(4)의 기밀성 체크를 위해 압력 임계 값과 비교되는 단계를 포함하는 방법.
  10. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 밸브 모니터링 시스템의 동축 이중 안전 밸브(2)를 모니터링하기 위한 방법으로서, 가스 밸브 유닛(1)에 대한 열 요청 과정에서 가스 요청의 완료 이후에, 상기 방법은
    i. 제어 밸브(6)는 밀폐 위치로 보내지고 가스 밸브 유닛(1) 내의 지금까지 개방된 가스 경로를 차단하는 단계,
    ii. 제1 및 제2 파일럿 밸브(4, 5)가 밀폐 위치로 보내지는 단계,
    iii. 제어 밸브(6)가 재차 개방 위치로 보내지는 단계,
    iv. 유체 공간(7) 내의 스위칭 압력이 체크되고, 제2 파일럿 밸브(5)의 기밀성 체크를 위해 압력 임계 값과 비교되는 단계,
    v. 제2 파일럿 밸브(5)는 개방 위치로 적어도 부분적인 탈기를 위해 개방 위치로 보내지고, 제1 파일럿 밸브(4)는 밀폐 위치에 유지되는 단계,
    vi. 유체 공간(7) 내의 스위칭 압력이 체크되고, 제1 파일럿 밸브(4)의 기밀성 체크를 위해 압력 임계 값과 비교되는 단계를 포함하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 단계 e)에 따라서, 유체 공간(7) 내의 스위칭 압력이 체크되기 전에 적어도 부분적인 탈기 이후에 제2 파일럿 밸브(5)가 즉시 그 이후에 밀폐 위치로 보내지는 방법.
  12. 제10항에 있어서, 제1 및 제2 파일럿 밸브(5)는 연속적으로 밀폐 위치로 보내지고, 제1 파일럿 밸브(4)는 제2 파일럿 밸브(5)가 밀폐되기 전에 직접 밀폐되는 방법.
  13. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 단계 i)에서, 제어 밸브(6)는 부분 개방 위치로부터 밀폐 위치로 즉시 직접적으로 보내지는 방법.
  14. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 밸브 모니터링 시스템을 갖는 가스 밸브 유닛.
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