KR20200109516A - 검사장치용 프로브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사장치용 프로브에 관한 것으로서, 특히 메일(male) 핀과 피메일(female) 핀의 역할을 동시에 할 수 있는 형태를 가지는 프로브에 관한 것이다. 피검사회로의 피검사접점에 물리적으로 접촉하는 상부 플런저를 가진 검사장치용 프로브에 있어서, 상기 상부 플런저는, 상기 피검사 접점을 향해 연장하는 몸체; 및 상기 몸체와 수평으로 결합하는 탐침판을 포함하며, 상기 탐침판은, 축방향(종방향)으로 임의의 경사각을 이루며 임의의 높이로 이루어지는 탐침부를 포함하며, 상기 탐침부는, 외곽에 경사진 양 측면을 따라 각각 배치되어 있고, 상기 피검사 접점을 향해 돌출한 제1 메일부 및 제2 메일부, 및 상기 제1, 2 메일부를 연결하는 외곽면이 오목곡면으로 이루어지는 피메일부를 포함할 수 있다.

Description

검사장치용 프로브{PROBE FOR THE TEST DEVICE}
본 발명은 검사장치용 프로브에 관한 것으로서, 특히 메일(male) 핀과 피메일(female) 핀의 역할을 동시에 할 수 있는 형태를 가지는 검사장치용 프로브에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 칩과 같은 피검사체의 제조공정에는 불량여부를 확인하기 위하여 전기적 특성을 측정하는 시험공정을 거치게 된다. 이러한 시험공정에는 피검사체의 전기적 특성을 측정하기 위한 검사회로와, 피검사체에 형성된 피검사접점을 검사회로의 검사접점과 전기적으로 접속시키기 위해 검사장치용 프로브(Probe)가 이용된다.
도 1은 일반적으로 사용되고 있는 검사장치용 프로브의 일 예를 나타내는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이 검사장치용 프로브(10)는, 금속 도체의 가는 막대 모양의 상부 플런저(Plunger)(11) 및 하부 플런저(Plunger)(13), 상기 상부 플런저(11) 및 하부 플런저(13)의 일부를 각각 수용하는 배럴(12), 상기 배럴(12) 내에서 상기 상부 플런저(11) 및 하부 플런저(13)를 신축가능하게 탄성 지지하는 스프링(14)을 포함할 수 있다.
일반적으로 피검사체(1)의 피검사접점은 범프(bump), 패드(pad), 판상 리드 단자, 플러그 소켓 단자 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면 카메라 모듈과 같은 피검사체(1)는 검사장치용 프로브(10)의 상부 플런저(11) 단부에 접촉될 수 있다. 피검사체(1)의 테스트 시, 상부 플런저(11)의 상단이 단일의 첨단부로 이루어지는 메일(male) 핀(11-1)이나, 상단이 오목하게 함몰된 형태의 피메일(female) 핀(11-2)이 사용될 수 있다.
피검사체(1)는 통상의 경우에 메일 핀(11-1)으로 테스트할 수 있으나, 평면이 아닌 곡면을 형상을 이루는 경우에는 상부 플런저(12)의 상단이 함몰된 형태의 피메일 핀(11-2)으로 테스트해야 할 수 있다. 즉, 종래에는 피검사체(1)의 형태에 맞게 서로 다른 종류의 핀을 사용해야 하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 하나의 핀으로 메일(male) 핀과 피메일(female) 핀의 역할을 동시에 할 수 있는 검사장치용 프로브를 제공할 수 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 피검사회로의 피검사접점에 물리적으로 접촉하는 상부 플런저를 가진 검사장치용 프로브에 있어서, 상기 상부 플런저는 상기 피검사 접점을 향해 연장하는 몸체, 및 상기 몸체와 수평으로 결합하는 탐침판을 포함하며, 상기 탐침판은 축방향으로 임의의 경사각을 이루며 임의의 높이로 이루어지는 탐침부를 포함하며, 상기 탐침부는 외곽에 경사진 양 측면을 따라 각각 배치되어 있고, 상기 피검사 접점을 향해 돌출한 제1 메일부 및 제2 메일부, 및 상기 제1, 2 메일부를 연결하는 외곽면이 오목곡면으로 이루어지는 피메일부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 피검사회로의 피검사접점에 물리적으로 접촉하는 상부 플런저를 가진 검사장치용 프로브에 있어서, 상기 상부 플런저는 상기 피검사 접점을 향해 연장하는 몸체, 및 상기 몸체와 수평으로 결합하는 탐침판을 포함하며, 상기 탐침판은 축방향으로 임의의 경사각을 이루며 임의의 높이로 이루어지는 탐침부를 포함하며, 상기 탐침부는 외곽에 경사진 양 측면을 따라 각각 배치되어 있고, 상기 피검사 접점을 향해 돌출한 제1 메일부 및 제2 메일부, 및 상기 제1, 2 메일부를 연결하는 외곽면이 V자형으로 이루어지는 피메일부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 탐침판은, 상기 탐침부의 하단으로부터 하향 연장된 연장부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 상부 플런저 또는 상기 탐침판은, 좌우대칭형일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1, 2 메일부는, 같은 높이로 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 피검사 접점은 볼록 곡면을 포함하며, 상기 피메일부는 상기 볼록 곡면에 상응하는 오목 곡면을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 프로브는, 검사회로의 검사접점에 접촉하는 하부 플런저, 상기 상, 하부 플런저를 수용하는 배럴, 및 상기 배럴 내에서 상기 상, 하부 플런저를 신축가능하게 탄성 지지하는 탄성체를 더 포함할 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따른 검사장치용 프로브는 피검사체의 피검사접점의 형상에 상관없이 정확한 검사를 수행할 수 있을 뿐만 아니라 접촉면적을 넓혀 접촉 저항을 낮출 수 있어 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 일반적으로 사용되고 있는 프로브의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브의 탐침판을 나타내는 도면이다.
도 5는 탐침부의 양측 경사면의 각도에 따른 피메일부의 접촉면의 변화를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 탐침판을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 상부 플런저를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 상부 플런저를 나타내는 정면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 탐침판을 나타내는 도면이다.
도 10은 탐침부의 양측 경사면의 각도에 따른 피메일부의 접촉면의 변화를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 탐침판을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저를 결합한 프로브 핀을 나타내는 도면이다.
이하에서 본 발명의 기술적 사상을 명확화하기 위하여 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 도면들 중 실질적으로 동일한 기능구성을 갖는 구성요소들에 대하여는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 참조번호들 및 부호들을 부여하였다. 설명의 편의를 위하여 필요한 경우에는 장치와 방법을 함께 서술하도록 한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저를 나타내는 사시도 및 정면도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저(100-1)는 피검사회로의 검사를 위하여 사용되는 것으로서, 상단이 피검사회로의 피검사접점과 접촉될 수 있다. 상부 플런저(100-1)는 전도성이 우수한 금속 소재로 구성될 수 있다.
상부 플런저(100-1)는 피검사접점을 향해 연장하는 몸체(110) 및 몸체(110)와 수평으로 결합되는 탐침판(130)을 포함할 수 있다.
몸체(110)는 피검사 접점을 향해 연장하고, 원통형 부재로 이루어질 수 있다. 일 실시예에서, 몸체(110)는 일자형의 판 형태로 형성될 수 있다. 몸체(110)는 일측이 배럴(300)에 부분 삽입되어 탄성체(미도시)에 의해 지지될 수 있고, 타측은 탐침판(130)에 결합될 수 있다. 몸체(110)와 탐침판(130)은 일체형으로 제작될 수도 있으며, 용접, 억지끼워 맞춤, 나사 결합, 접착제 중 적어도 하나를 이용하여 서로 결합될 수 있다.
탐침판(130)은 몸체(110)와 수평으로 결합되며, 판 형상으로 이루어질 수 있다. 탐침판(130)은 축방향(종방향)으로 임의의 경사각(θ)을 가지고 임의의 높이(h)로 이루어지는 탐침부(150)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 탐침판(130)은 탐침부(150)의 하단으로부터 하향 연장된 연장부(170)를 더 포함할 수 있다.
탐침부(150)는 피검사접점에 접촉하여 피검사체를 테스트하는 부분이다. 탐침부(150)는 메일(male) 핀처럼 상단이 뾰족하게 돌출된 제1 메일부(151) 및 제2 메일부(153)를 포함할 수 있고, 제1 메일부(151) 및 제2 메일부(153) 사이는 피메일(female) 핀처럼 상단이 오목하게 함몰된 피메일부(155-1)가 형성될 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저(100-1)는 메일(male) 핀과 피메일(female) 핀, 두 가지 핀의 역할을 하나의 핀으로 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저(100-1)는 메일 핀 역할을 수행하는 경우에는 탐침부(150)의 외곽에 경사진 양 측면 또는 메일부(153)가 피검사접점과 접촉될 수 있고, 피메일 핀 역할을 수행하는 경우에는 피메일부(155-1)가 피검사접점과 접촉될 수 있다.
제1 메일부(151) 및 제2 메일부(153)는 탐침부(150)의 외곽에 경사진 양 측면을 따라 임의의 높이(h)로 각각 형성될 수 있고, 상기 피검사 접점을 향해 돌출해 있을 수 있다. 또한, 제1 메일부(151) 및 제2 메일부(153)는 돌출 높이가 같도록 이루어질 수 있다. 일 실시예에서, 제1 메일부(151) 및 제2 메일부(153)는 서로 다른 높이로 형성될 수도 있다.
피메일부(155-1)는 제1 메일부(151) 및 제2 메일부(153)를 연결하는 외곽면이 오목곡면으로 이루어질 수 있다. 피메일부(155-1)의 오목곡면은 임의의 지름을 가지는 원형으로 함몰된 형태일 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 피메일부(155-1)는 원기둥의 측면 일부와 유사한 형태로 형성될 수 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이, 피메일부(155-1)의 단면은 원의 일부 형태로 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 피검사 회로의 피검사접점은 볼록 곡면을 포함할 수 있고, 피메일부(155-1)는 상기 볼록 곡면에 상응하는 오목 곡면을 포함할 수 있다. 또한, 피메일부(155-1)는 피검사접점의 형상에 따라 다양하게 형성될 수 있다. 결과적으로, 피검사체의 테스트 시에 피검사 접점에 접촉함으로써 확실하게 접촉을 보증할 수 있을 뿐만 아니라 접촉 저항을 낮출 수 있어 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
일 실시예에서, 탐침판(130)은 탐침부(150)의 하단으로부터 하향 연장된 연장부(170)를 더 포함할 수 있다. 즉, 탐침판(130)은 사다리꼴 형태의 상단면이 오목하게 함몰된 형태이거나, 화살(Arrow) 형상의 핀 끝이 내측으로 오목하게 원형으로 함몰된 형태일 수 있다. 이와 같은 연장부(170)는 탐침판(130)과 몸체(150)의 결합을 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 탐침판(130) 또는 상부 플런저(100-1)는 좌우 대칭형으로 이루어질 수 있고, 이에 한정하지 않는다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브의 탐침판을 나타내는 도면이다. 도 4를 참조하면, 탐침판(130)의 탐침부(150)는 축방향(종방향)으로 임의의 경사각(θ)을 가지고 임의의 높이(h)로 이루어질 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 피메일부(155-1)의 오목곡면은 임의의 지름을 가지는 원(R)의 일부와 일치할 수 있다. 상기 원(R)의 중심은 탐침부(150)의 중심축과 일치할 수 있고, 탐침판(130)은 좌우대칭형으로 형성될 수 있다. 이때, 제1 메일부(151)와 제2 메일부(153)는 동일한 높이(h)에 위치할 수 있다. 실시예에 따라, 상기 원의 높이(hr)는 탐침부(150)의 높이(h)보다 높을 수 있다.
도 5는 탐침부의 양측 경사면의 각도에 따른 피메일부의 접촉면의 변화를 설명하기 위한 도면이다. 도 5에 도시된 원(R)의 지름과 원의 높이(hr)가 도 4에 도시된 원(R)의 지름과 원의 높이(hr)와 각각 동일한 것으로 가정한다. 도 5의 탐침부(150)의 양측 경사면 각도(θ')가 도 4의 탐침부(150)의 양측 경사면 각도(θ)보다 작은 경우, 도 5의 피메일부(155-1)의 면적이 도 4의 피메일부(155-1)의 면적보다 좁다는 것을 도시한다. 즉, 원(R)의 지름과 원의 높이(hr)가 동일하다면, 탐침부(150)의 양측 경사면의 각도(θ)가 작아질수록 피검사접점과의 접촉면이 줄어들 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 탐침판을 나타내는 도면이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 탐침부(150)의 양 측 경사각(θ1,θ2)은 동일하지 않을 수도 있다. 또한, 피메일부(155-1)는 원형으로 함몰되어 형성될 수 있는데, 상기 원(R)의 중심이 탐침부(150)의 중심축과 일치하지 않을 수 있다. 또한, 제1 메일부(151)의 높이(h1)와 제2 메일부(153)의 높이(h2)는 서로 동일하지 않을 수 있다. 즉, 탐침판(130)은 좌우비대칭의 형태를 가질 수 있다. 본 발명에서는 피메일부(155-1)가 일정한 지름을 가진 원형으로 함몰된 경우에 대해서 설명했지만, 피메일부(155-1)는 피검사접점의 형상에 따라 다양하게 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 피검사 회로의 피검사접점은 볼록 곡면을 포함할 수 있고, 피메일부(155-1)는 상기 볼록 곡면에 상응하는 오목 곡면을 포함할 수 있다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 상부 플런저를 나타내는 사시도 및 정면도이다. 도 7 및 도 8에 도시된 상부 플런저(100-2)의 구성은 앞서 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한 상부 플런저(100-1)의 구성과 유사할 수 있다. 이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 상부 플런저(100-2)가 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저(100-1)와 차이가 있는 점에 대해서만 중점적으로 설명하도록 한다. 즉, 도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 피메일부(155-2)는 V자형으로 이루어질 수 있다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 탐침판을 나타내는 도면이다. 도 9를 참조하면, 탐침판(130)의 탐침부(150)는 축방향(종방향)으로 임의의 경사각(θ)을 가지고 임의의 높이(h)로 이루어질 수 있다. 또한, 탐침부(150)의 경사면과 피메일부(155-2)가 이루는 각도(θh)는 양측이 동일할 수 있다. 즉, 탐침판(130)은 좌우대칭형으로 형성될 수 있고, 제1 메일부(151)와 제2 메일부(153)는 동일한 높이(h)에 위치할 수 있다.
도 10은 탐침부의 양측 경사면의 각도에 따른 피메일부의 접촉면의 변화를 설명하기 위한 도면이다. 도 9 및 도 10에서 탐침부(150)의 경사면과 피메일부(155-2)가 이루는 각도(θh)와 탐침부(150)의 높이(h)는 서로 동일한 것으로 가정한다. 도시된 바와 같이, 도 10의 탐침부(150)의 양측 경사면 각도(θ')는 도 9의 탐침부(150)의 양측 경사면 각도(θ)보다 작은 겨우, 도 10에 도시된 피메일부(155-2)의 면적이 도 9에 도시된 피메일부(155-2)의 면적보다 좁다는 것을 알 수 있다. 즉, 탐침부(150)의 경사면과 피메일부(155-2)가 이루는 각도(θh)와 탐침부(150)의 높이가 동일하다면, 탐침부(150)의 양측 경사면 각도(θ)가 작아질수록 접촉면이 줄어들 수 있다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 탐침판을 나타내는 도면이다. 도 11에 도시된 바와 같이, 탐침부(150)의 양측 경사각(θ1,θ2)은 동일하지 않을 수도 있다. 또한, 탐침부(150)의 경사면과 피메일부(155-2)가 이루는 각도(θh1, θh2)도 양측이 다를 수 있다. 또한, 제1 메일부(151)의 높이(h1)와 제2 메일부(153)의 높이(h2)는 동일하지 않을 수도 있다. 즉, 탐침판(130)은 피검사접점의 형태에 대응되어 좌우비대칭의 형태를 가질 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플런저를 결합한 프로브 핀을 나타내는 도면이다.
프로브 핀(1000)은 전기적으로 연결될 수 있는 전도성 소재로 형성된다. 따라서 프로브 핀(1000)은 전도성이 있는 금속성의 소재로 형성될 수 있으나, 그 소재는 이제 한정되는 것은 아니다. 프로브 핀(1000)은 피검사회로의 피검사접점에 접촉되는 상부 플런저(100-1, 100-2), 검사회로의 검사접점에 접촉하는 하부 플런저(200), 상기 상부 플런저(100-1, 100-2) 및 하부 플런저(200)를 수용하는 배럴(300) 및 상기 배럴(300) 내에서 상기 상부 플런저(100-1, 100-2) 및 하부 플런저(200)를 신축가능하게 탄성 지지하는 탄성체(미도시)를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상부 플런저(100-1, 100-2)에서 몸체(110)와 탐침판(130)은 분리되어 제조된 후 서로 결합하는 것이 바람직하나, 단일 원통형 부재를 이용하여 단일체로 제조하는 것도 가능하다. 만일 몸체(110)와 탐침판(130)이 분리 제작되어 결합할 경우, 피검사체의 피검사접점의 형상과 관계 없이 상부 플런저(100-1, 100-2)의 몸체(110), 배럴(300), 하부 플런저(200) 및 스프링(미도시)으로 구성되는 프로브(1000)를 제작한 후, 피검사체의 피검사접점에 맞는 형상의 탐침판(130)을 별도로 제작하여 필요 시 조립하여 사용하는 것이 가능하다. 결과적으로 다양한 형태의 피검사접점에 맞는 탐침판(130)만을 별도로 제작하고 나머지 부분은 공용으로 사용함으로써 프로브 비용을 줄일 수 있다. 특히, 프로브(1000)의 수명 중 피검사체에 접촉하는 부분의 수명이 가장 짧기 때문에 손상 시에 탐침판(130)만을 교체하여 사용함으로써 비용을 절감할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 몸체(110)와 탐침판(130)이 단일체로 제조될 경우, 프로브(1000)에서 상부 플런저(100-1, 100-2)를 교체하여 사용할 수도 있다.
또한, 탐침판(130)의 구성을 상부 플런저(100-1. 100-2)에만 적용하는 것으로 설명하였지만 필요에 따라 하부 플런저(200)에도 적용할 수 있다. 즉, 검사회로의 검사접점 형상에 따라 상기 탐침판(130)의 구성을 적용하는 것도 가능하다.
지금까지 본 발명에 대하여 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 중심으로 상세히 살펴보았다. 이러한 실시예들은 이 발명을 한정하려는 것이 아니라 예시적인 것에 불과하며, 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 전술한 설명이 아니라 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다. 비록 본 명세서에 특정한 용어들이 사용되었으나 이는 단지 본 발명의 개념을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 본 발명의 각 단계는 반드시 기재된 순서대로 수행되어야 할 필요는 없고, 병렬적, 선택적 또는 개별적으로 수행될 수 있다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 본질적인 기술사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 형태 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 균등물은 현재 공지된 균등물뿐만 아니라 장래에 개발될 균등물 즉 구조와 무관하게 동일한 기능을 수행하도록 발명된 모든 구성요소를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
100-1, 100-2 상부 플런저 110 몸체
130 탐침판 150 탐침부
151 제1 메일부 153 제2 메일부
155-1, 155-2 피메일부 170 연장부
200 하부 플런저 300 배럴
1000 검사장치용 프로브

Claims (7)

  1. 피검사회로의 피검사접점에 물리적으로 접촉하는 상부 플런저를 가진 검사장치용 프로브에 있어서,
    상기 상부 플런저는,
    상기 피검사 접점을 향해 연장하는 몸체; 및
    상기 몸체와 수평으로 결합하는 탐침판을 포함하며,
    상기 탐침판은,
    축방향으로 임의의 경사각을 이루며 임의의 높이로 이루어지는 탐침부를 포함하며,
    상기 탐침부는,
    외곽에 경사진 양 측면을 따라 각각 배치되어 있고, 상기 피검사 접점을 향해 돌출한 제1 메일부 및 제2 메일부; 및
    상기 제1, 2 메일부를 연결하는 외곽면이 오목곡면으로 이루어지는 피메일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
  2. 피검사회로의 피검사접점에 물리적으로 접촉하는 상부 플런저를 가진 검사장치용 프로브에 있어서,
    상기 상부 플런저는,
    상기 피검사 접점을 향해 연장하는 몸체; 및
    상기 몸체와 수평으로 결합하는 탐침판을 포함하며,
    상기 탐침판은,
    축방향으로 임의의 경사각을 이루며 임의의 높이로 이루어지는 탐침부를 포함하며,
    상기 탐침부는,
    외곽에 경사진 양 측면을 따라 각각 배치되어 있고, 상기 피검사 접점을 향해 돌출한 제1 메일부 및 제2 메일부; 및
    상기 제1, 2 메일부를 연결하는 외곽면이 V자형으로 이루어지는 피메일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 탐침판은,
    상기 탐침부의 하단으로부터 하향 연장된 연장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 상부 플런저 또는 상기 탐침판은,
    좌우대칭형인 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1, 2 메일부는,
    같은 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 피검사 접점은 볼록 곡면을 포함하며,
    상기 피메일부는 상기 볼록 곡면에 상응하는 오목 곡면을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 프로브는,
    검사회로의 검사접점에 접촉하는 하부 플런저;
    상기 상, 하부 플런저를 수용하는 배럴; 및
    상기 배럴 내에서 상기 상, 하부 플런저를 신축가능하게 탄성 지지하는 탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치용 프로브.
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