KR20200101844A

KR20200101844A - 기판 홀더 및 당해 기판 홀더를 구비하는 도금 장치

Info

Publication number: KR20200101844A
Application number: KR1020200014614A
Authority: KR
Inventors: 쇼이치로 오가타; 마츠타로 미야모토
Original assignee: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
Priority date: 2019-02-20
Filing date: 2020-02-07
Publication date: 2020-08-28
Also published as: TW202100815A; US20200263316A1; CN111593395A; TWI833898B; JP2020132946A; JP2023099530A; US11248308B2; JP7256027B2

Abstract

시일 립이 내측으로 쓰러짐에 따라 기판이 휘거나 또는 기판에 대한 대미지가 발생하는 것을 방지한다. 일 실시 형태로서, 개구를 갖는 기판 홀더이며, 기판 홀더는, 시일과, 시일 지지면을 갖는 시일 지지부이며 개구의 외측 주위에 마련된 시일 지지부를 구비하고, 시일은, 시일 바디와, 시일 립을 구비하고, 시일 지지면의 적어도 일부는, 기판이 위치해야 할 평면에 시일 지지면의 내측 단부가 가까워지는 경사각을 갖고, 시일 지지면의 내측 단부는 시일 립보다도 내측에 위치하는, 기판 홀더를 개시한다.

Description

기판 홀더 및 당해 기판 홀더를 구비하는 도금 장치{SUBSTRATE HOLDER AND PLATING APPARATUS PROVIDED WITH THE SUBSTRATE HOLDER}

본 발명은, 기판 홀더 및 당해 기판 홀더를 구비하는 도금 장치에 관한 것이다.

또한, 본원은, 2019년 2월 20일에 출원된 일본 특허 출원 번호 제2019-28126호에 기초하는 우선권을 주장한다. 일본 특허 출원 번호 제2019-28126호의 명세서, 특허청구의 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시 내용은, 참조에 의해 전체로서 본원에 원용된다.

도금 가공 등의 가공이 이루어질 때 기판을 보유 지지하기 위한 기판 홀더가 사용된다. 기판 홀더는 개구를 통해 기판의 적어도 한쪽 면의 적어도 일부를 노출한다. 기판 홀더에 마련된 시일이, 기판의 노출되는 부분과 노출되지 않는 부분을 구분한다. 전형적으로는, 특허문헌 1(특히 도 15를 참조)에 나타낸 바와 같이, 시일은 시일 립을 갖고, 시일은 기판의 면에 수직인 방향으로 가압된다.

일본 특허공개 제2018-040045호 공보

시일의 형상에 따라서는, 시일이 기판의 면에 수직인 방향으로 가압되면, 시일 립이 개구의 중심을 향해서(특허문헌 1의 도 15에서는 좌측을 향해서) 쓰러져버릴 가능성이 있다. 시일 립이 개구의 중심을 향해서 쓰러져버리면, 시일 립이 개구의 중심을 향해서 기판을 누르게 된다. 일반적으로, 시일은 개구의 전체 둘레에 걸쳐 배치되어 있다. 따라서, 기판은 대부분 전체 방향으로부터 개구의 중심을 향하는 방향의 힘을 받을 수 있다.

강성이 높은 기판이 사용되고 있는 경우, 기판이 시일로부터 받는 힘은 대부분 무시할 수 있었다. 그러나 근년에는 다양한 종류의 기판이 사용되고 있다. 기판의 두께, 크기, 재질 등에 따라서는, 기판의 강성은 낮아질 수 있다. 강성이 낮은 기판이 사용되고 있는 경우, 시일 립이 쓰러짐에 따라 힘을 받은 기판은 휘어지거나, 또는 대미지를 입을 수 있다.

그래서 본원은, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 것을 하나의 목적으로 한다.

본원은, 일 실시 형태로서, 기판의 적어도 한쪽 면의 적어도 일부를 노출시키기 위한 개구를 갖는 기판 홀더이며, 기판 홀더는, 기판의 노출되는 부분을 포함하는 면과 접촉하고, 기판이 위치해야 할 평면과 수직인 방향으로 가압되는 시일과, 시일을 지지하기 위한 시일 지지면을 갖는 시일 지지부이며, 개구의 외측 주위에 마련된, 시일 지지부를 구비하고, 시일은, 시일 지지면과 접촉하는 시일 바디와, 시일 바디로부터 연장되어 기판의 노출되는 면과 접촉하는 시일 립을 구비하고, 시일 지지면의 적어도 일부는, 기판이 위치해야 할 평면에 시일 지지면의 내측 단부가 가까워지도록 경사각을 갖고, 시일 지지면의 내측 단부는, 시일 립보다도 내측에 위치하는, 기판 홀더를 개시한다.

도 1a는, 도금 장치의 상면도이다.
도 1b는, 도금 장치의 측면도이다.
도 2는, 일 실시 형태에 따른 기판 홀더(편면 홀더)의 사시도이다.
도 3a는, 일 실시 형태에 따른 기판 홀더(양면 홀더)의 정면도이다.
도 3b는, 도 3a의 기판 홀더의 단면도이다.
도 4는, 종래예에 따른 기판 홀더의 기판 시일 주변의 단면도이다.
도 5는, 도 4의 기판 홀더에 있어서, 기판 시일이 가압된 경우의 시일 립의 쓰러짐을 나타내는 도면이다.
도 6은, 일 실시 형태에 따른 기판 홀더의 단면도이다.
도 7은, 도 6의 기판 시일이 가압된 경우의 도면이다.
도 8은, 돌출부를 구비하는 기판 시일을 나타내는 도면이다.
도 9는, 시일 지지면이 보이는 방향에서 본, 제1 또는 제2 보유 지지 부재의 도면이다.
도 10은, 기판 홀더의 비틀림에 대하여 설명하기 위한 기판 홀더의 단면도이다.
도 11은, 어떤 기판 홀더에 있어서의 시일 립의 압궤량의 위치 의존성의 시뮬레이션 결과를 나타내는 도면이다.
도 12a는, 일 실시 형태에 따른, 개구의 구석부의 근방에서의 기판 시일의 단면도이다.
도 12b는, 일 실시 형태에 따른, 개구의 변부의 근방에서의 기판 시일의 단면도이다.
도 13a는, 일 실시 형태에 따른, 개구의 구석부의 근방에서의 기판 시일의 단면도이다.
도 13b는, 일 실시 형태에 따른, 개구의 변부의 근방에서의 기판 시일의 단면도이다.
도 14는, 시일 바디로부터 내측을 향해서 연장되는 돌출부를 갖는 기판 시일의 단면도이다.

<도금 장치에 대하여>

도 1a 및 도 1b는 일 실시 형태에 따른 도금 장치(100)의 모식도이다. 도 1a는 도금 장치(100)의 상면도이다. 도 1b는 도금 장치(100)의 측면도이다. 일 실시 형태에 따른 도금 장치(100)는, 로드 포트(110)와, 기판 반송 로봇(120)과, 드라이어(130)와, 기판 착탈 장치(140)와, 도금 처리부(150)와, 트랜스포터(160)와, 스토커(170)를 구비한다. 도금 장치(100)는, 도금 장치(100)의 각 부를 제어하기 위한 제어부(180)를 더 구비해도 된다.

로드 포트(110)는 도금 장치(100)에 기판을 로드하기 위해서, 및 도금 장치(100)로부터 기판을 언로드하기 위해서 마련되어 있다. 로드 포트(110)는 FOUP 등의 기구를 놓을 수 있도록, 또는 FOUP 등의 기구와의 사이에서 기판을 반송 가능하도록 구성되어 있어도 된다.

로드 포트(110)에 의해 로드된 기판은 기판 반송 로봇(120)에 의해 반송된다. 기판 반송 로봇(120)은, 로드 포트(110), 드라이어(130) 및 기판 착탈 장치(140)의 사이에서 기판을 반송 가능하게 구성되어 있다. 단, 기판 반송 로봇(120) 이외의 반송 기구가 사용되어도 된다. 본 명세서에 있어서의 「로드 포트(110)에 기판을 반송하는 것」은 「로드 포트(110)에 놓인 FOUP 등의 기구에 기판을 반송하는 것」을 포함한다. 드라이어(130)는 기판을 건조시키기 위한 부재이다.

기판 착탈 장치(140)는, 기판 홀더에 기판을 설치하기 위해서, 및/또는 기판 홀더로부터 기판을 분리하기 위한 장치이다. 기판 착탈 장치(140)에는 기판 및 기판 홀더의 양쪽이 반입될 필요가 있다. 그래서, 기판 착탈 장치(140)는, 기판 반송 로봇(120) 및 트랜스포터(160)의 양쪽이 액세스 가능한 위치에 위치 부여된다.

도금 처리부(150)는 기판에 대해서 도금 처리(도금 가공)를 행하기 위해서 마련되어 있다. 도금 처리부(150)는 하나 또는 복수의 처리조를 구비한다. 하나 또는 복수의 처리조 중 적어도 하나는 도금조이다. 일례로서, 도 1a 및 도 1b의 도금 처리부(150)는 8개의 처리조, 즉 전수세조(151), 전처리조(152), 제1 린스조(153), 제1 도금조(154), 제2 린스조(155), 제2 도금조(156), 제3 린스조(157) 및 블로우조 (158)를 구비한다. 도금 장치(100)는, 각 처리조에서 소정의 처리를 차례로 행할 수 있다.

트랜스포터(160)는 기판 착탈 장치(140), 도금 처리부(150) 및 스토커(170) 사이에서 기판 홀더를 반송하도록 구성되어 있다. 또한, 트랜스포터(160)는 각 처리조(전수세조(151)∼블로우조(158))의 사이에서 기판 홀더를 반송하도록 구성되어 있다. 트랜스포터(160)는, 기판 홀더를 현가하기 위한 트랜스포터 암(161)과, 트랜스포터 암(161)을 상하 이동시키기 위한 암 상하 이동 기구(162)와, 암 상하 이동 기구(162)를 처리조의 배열을 따라서 수평 이동시키기 위한 수평 이동 기구(163)를 구비한다. 수평 이동 기구(163)는 트랜스포터 암(161)을 수평 이동시키기 위한 기구로 표현되어도 된다. 트랜스포터(160)의 구성은 예시에 지나지 않음에 유의해야 한다.

스토커(170)는 기판 홀더를 적어도 1매, 바람직하게는 복수매 보관 가능하게 구성되어 있다. 바람직하게는, 기판을 보유 지지하지 않은 기판 홀더가 스토커(170)에 보관된다. 기판을 보유 지지하고 있는 기판 홀더가 스토커(170)에 보관되어도 된다. 스토커(170)에 대한 기판 홀더의 반입 및 스토커(170)로부터의 기판 홀더의 반출은 트랜스포터(160)에 의해 행해져도 된다.

<편면 홀더에 대하여>

도 2는 일 실시 형태에 따른 기판 홀더(200)의 사시도이다. 도 2의 기판 홀더(200)는 기판의 한쪽 면의 적어도 일부를 노출하도록 구성되어 있다. 즉, 도 2의 기판 홀더(200)는 「편면 홀더」이다. 기판 홀더(200)는, 제1 보유 지지 부재(210)와, 제2 보유 지지 부재(220)를 갖고 있다. 도 2의 기판 홀더(200)는 원형의 기판을 보유 지지하기 위한 홀더이다. 그러나, 기판의 형상은 원형으로 한정되지 않는다. 기판의 형상은 예를 들어 직사각형이어도 된다. 원형 이외의 기판이 사용되는 경우, 기판 홀더(200)의 형상 및 특성은 적절히 변경되어도 된다.

제1 보유 지지 부재(210)의 대략 중앙부에는, 기판을 올려놓기 위한 기판 적재부(212)가 마련되어 있다. 기판 적재부(212)의 외주에는 복수의 클램퍼(213)가 마련되어 있다. 클램퍼(213)는 내측으로 돌출되는 역 L자형이다. 또한, 본 명세서에 있어서는, 기판이 위치해야 할 평면(도 2의 예에서는 기판 적재부(212)가 위치하는 평면)과 평행한 면 내에 있어서 개구(220OP)의 중심(또는 후술하는 개구(210OP))으로부터 멀어지는 방향을 외측 방향, 중심에 가까워지는 방향을 내측 방향이라 한다.

제1 보유 지지 부재(210)의 단부에는 한 쌍의 핸드(214)가 마련되어 있다. 핸드(214)는 전극(도시생략)을 구비해도 된다. 핸드(214)의 전극은 기판 홀더(200) 내부의 도전 경로를 통해 기판과 전기적으로 접속된다. 도금 가공에 필요한 전류는 기판 홀더(200)의 외부로부터(예를 들어 도금 장치(100)로부터) 공급된다.

기판 적재부(212)와 제2 보유 지지 부재(220) 사이에 기판이 끼워 넣어진다. 제2 보유 지지 부재(220)는 제1 보유 지지 부재(210)에 설치 가능, 예를 들어 개폐 가능하다. 하나의 예에서는, 도 2의 제2 보유 지지 부재(220)는 힌지(211)를 중심으로 피봇하도록 구성되어 있다.

제2 보유 지지 부재(220)는 기판의 피도금 부분을 노출시키기 위한 개구(220OP)를 갖고 있다. 제2 보유 지지 부재(220)는, 힌지(211)에 고정된 기부(221)와, 기부(221)에 고정된 바디(222)를 구비하고 있다. 바디(222)는 시일을 구비한다(도 4 참조). 바디(222)는, 바디(222)를 제1 보유 지지 부재(210)에 설치하기 위한 누름 링(223)을 구비한다. 누름 링(223)은 복수의 돌출부(223a)를 갖는다. 돌출부(223a)가 클램퍼(213)에 걸림으로써, 제2 보유 지지 부재(220)가 제1 보유 지지 부재(210)에 설치된다.

<양면 홀더에 대하여>

도 2와 달리, 기판 홀더(200)는 기판의 양쪽 면의 각각 적어도 일부를 노출하도록 구성되어 있어도 된다. 즉, 기판 홀더(200)는 「양면 홀더」여도 된다. 양면 홀더인 기판 홀더(200)의 정면도를 도 3a에, 단면도를 도 3b에 나타낸다. 도 3a 및 도 3b의 기판 홀더(200)는 각형의 기판을 위한 홀더이다. 기판 홀더(200)는 원형의 기판을 보유 지지하도록 구성되어 있어도 된다.

도 3a 및 도 3b의 기판 홀더(200)는, 제1 보유 지지 부재(210)와, 제2 보유 지지 부재(220)를 구비한다. 제1 보유 지지 부재(210)는 「프론트 프레임」이라 불러도 되고, 제2 보유 지지 부재(220)는 「리어 프레임」이라 불러도 된다. 단, 「프론트 프레임」 및 「리어 프레임」이라는 명칭은 구별을 위해서 사용되고 있음에 지나지 않는다. 즉, 프론트 프레임과 리어 프레임 중 어느 쪽이 정면을 향하고 있어도 된다. 기판은, 제1 보유 지지 부재(210)와 제2 보유 지지 부재(220) 사이에 끼워져서 보유 지지된다. 제1 보유 지지 부재(210) 및 제2 보유 지지 부재(220)의 각각은 개구(210OP) 및 개구(220OP)를 갖는다. 기판의 각각의 면 중 적어도 일부는, 개구(210OP) 및 개구(220OP)의 각각을 통해 노출된다.

도 3a 및 도 3b의 클램퍼(213)는, 훅부(250)와, 클로(271)를 갖는 플레이트(270)를 구비한다. 훅부(250)는, 훅 베이스(251)와, 훅 본체(252)를 구비한다. 훅 본체(252)는 샤프트(253)를 통해 훅 베이스(251)에 설치되어 있다. 따라서, 훅 본체(252)는 피봇 가능하다. 훅 본체(252)의 피봇을 위해서, 훅부(250)는 레버(254)를 더 구비해도 된다. 훅 본체(252)가 클로(271)에 걸림으로써, 제1 보유 지지 부재(210)와 제2 보유 지지 부재(220)의 위치 관계가 고정된다. 도 3a 및 도 3b에서는, 제1 보유 지지 부재(210)가 훅부(250)를 구비하고, 제2 보유 지지 부재(220)가 플레이트(270)를 구비한다. 그러나, 제2 보유 지지 부재(220)가 훅부(250)를 구비하고, 제1 보유 지지 부재(210)가 플레이트(270)를 구비하고 있어도 된다. 제1 보유 지지 부재(210) 및 제2 보유 지지 부재(220)에 훅부(250) 및 플레이트(270)의 양쪽이 설치되어 있어도 된다.

<기판 시일에 대하여>

도 2의 기판 홀더(200)도 도 3a 및 도 3b의 기판 홀더(200)도 기판 시일(400)을 구비한다. 기판 시일(400)은, 기판의 노출되는 부분을 포함하는 면과 접촉한다. 기판 시일(400)은, 기판의 노출되는 부분과 노출되지 않는 부분을 구분한다. 도 4는, 종래예에 따른 기판 홀더(200)의 기판 시일(400) 주변의 단면도이다.

기판 시일(400)은 제1 보유 지지 부재(210) 및/또는 제2 보유 지지 부재(220)에 마련되어 있다. 또한, 도 2와 같은 기판 홀더(200)가 사용되고 있는 경우, 엄밀하게는 「기판 시일(400)은 제2 보유 지지 부재(220)의 바디(222)에 마련되어 있다」고 표현할 수도 있을 것이다. 단, 바디(222)는 제2 보유 지지 부재(220)의 일부이다. 그래서, 이하에서는 바디(222)와 제2 보유 지지 부재(220)를 동일시하여 취급한다.

개구(210OP) 및/또는 개구(220OP)의 외측 주위에, 시일 지지면(431)을 갖는 시일 지지부(430)가 마련되어 있다. 기판 시일(400)은 시일 지지부(430)(의 시일 지지면(431))에 의해 지지된다. 기판 WF가 노출되는 영역을 최대한 넓게 하기 위해서, 기판 시일(400)은 개구(210OP) 또는 개구(220OP)를 향해서 돌출되지 않도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 전형적인 기판 시일(400)은, 시일 바디(401)와, 시일 립(402)을 갖는다. 시일 바디(401)는 시일 지지면(431)과 접촉하는 부분이다. 시일 립(402)은 기판 WF와 접촉하는 부분이다. 시일 립(402)은 시일 바디(401)로부터, 전형적으로는 시일 바디(401)의 내측 단부로부터 연장되어 있다. 시일압의 확보를 용이하게 하기 위해서, 시일 립(402)은 시일 바디(401)보다 작게(「가늘게」 또는 「좁게」라고도 표현할 수 있음) 형성되어 있다.

하나의 예에서는, 기판 시일(400)(의 시일 바디(401))의 일부가 제1 보유 지지 부재(210) 및/또는 제2 보유 지지 부재(220)에 마련된 설치부(410)에 설치된다. 설치부(410)는 기판 시일(400)을 소정의 위치에 설치하기 위한 부분이다. 이 예의 설치부(410)는 홈이며, 기판 시일(400)의 일부가 홈 안에 끼워진다. 따라서, 하나의 예에서는, 「설치부」는 「설치 홈」이라 불릴 수 있다. 그러나, 홈 이외의 설치부가 사용되어도 된다. 설치의 방법에는 끼워 넣기 외에도 예를 들어 2개 이상의 부재에 의해 사이에 넣기(조임)나, 접착 등이 이용되어도 된다. 설치부(410)의 구체적인 구성은 적절히 결정되어도 된다. 이 구성에 의해, 기판 시일(400)이 제1 보유 지지 부재(210) 및/또는 제2 보유 지지 부재(220)에 설치된다. 하나의 예에서는, 설치부(410)는 시일 지지부(430)의 외측 단부에 배치되어 있다. 단, 설치부(410)의 구성은 설명 또는 도시된 구성으로 한정되지 않는다. 더한층의 추가 또는 대체로서, 기판 홀더(200)는, 기판 시일(400)을 보유 지지하기 위한 시일 홀더(420)를 가져도 된다.

기판 홀더(200)가 편면 홀더(도 2 참조)인 경우, 기판 WF는 기판 적재부(212)에 올려진다. 기판 홀더(200)가 양면 홀더(도 3a 및 도 3b 참조)인 경우, 기판 WF는 한쪽의 보유 지지 부재(도 4에서는 제1 보유 지지 부재(210))에 설치된 기판 시일(400)에 올려진다. 기판 홀더(200)가 편면 홀더인 경우 및 기판 홀더(200)가 양면 홀더인 경우의 양쪽을 표현하기 위해서, 도 4에서는, 기판 적재부(212)와, 제1 보유 지지 부재(210)에 설치된 기판 시일(400)의 양쪽이 가상선으로 도시되어 있다.

기판 시일(400)은, 제2 보유 지지 부재(220)가 제1 보유 지지 부재(210)를 향해서 가압됨(또는 제1 보유 지지 부재(210)가 제2 보유 지지 부재(220)를 향해서 가압됨)으로써, 기판 WF가 위치해야 할 평면과 수직인 방향으로 가압된다. 또한, 「기판 시일(400)이 기판 WF가 위치해야 할 평면과 수직인 방향으로 가압된다」 는 것은, 「기판 시일(400)이 받는 힘은 적어도 기판 WF가 위치해야 할 평면과 수직인 방향의 성분을 포함한다」는 것을 의미한다. 구체적으로는, 시일 지지부(430)(의 시일 지지면(431))가 기판 시일(400)에 가압력을 전달한다.

<시일 립의 쓰러짐에 대하여>

도 5는 기판 홀더(200)의 단면도이며, 종래예에 따른 기판 홀더(200)에 있어서 기판 시일(400)이 가압된 경우의 시일 립(402)의 쓰러짐을 나타내고 있다. 또한, 도시의 편의상, 도 5부터는 몇 가지 부호가 생략되었다(도 4를 참조). 전술한 바와 같이, 시일 립(402)은 시일 바디(401)의 내측 단부로부터 연장되어 있다. 한편, 기판 시일(400)은 시일 지지면(431)의 거의 전체면에서 지지되어 있다. 이 비대칭성에 의해, 기판 시일(400)이 기판 WF로부터 받는 힘의 벡터의 시점(시일 립(402)의 위치)은, 기판 시일(400)이 시일 지지면(431)으로부터 받는 힘의 벡터의 시점(예를 들어 시일 지지면(431)의 거의 중앙)보다 내측에 위치할 수 있다. 따라서, 기판 시일(400)이 가압된 경우, 기판 시일(400)은 시일 립(402)을 내측으로 이동 혹은 변형(회전)시키는 모멘트를 받을 수 있다. 또한, 시일 립(402)은 시일 바디(401)의 내측 단부로부터 연장되어 있으므로, 시일 립(402)보다 내측에는 구조물이 존재하지 않는다. 바꾸어 말하면, 기판 시일(400)의 전체 형상은 내측 단부에 있어서 튀어나온 형상이다. 한편, 시일 바디(401)의 외측 및 시일 립(402)의 외측에는 구조물(예를 들어 시일 바디(401)의 외측 부분 그 자체 및 시일 홀더(420))이 존재한다. 따라서, 기판 시일(400)이 모멘트를 받는 경우, 시일 립(402)은 내측을 향해서 쓰러질 수 있다. 또한, 「시일 립(402)의 쓰러짐」이 발생한 경우, 전형적으로는 시일 바디(401)도 쓰러지거나, 비틀리거나 또는 휜다(도 5 참조).

시일 립(402)이 내측을 향해서 쓰러짐으로써, 기판 WF는 내측 방향으로의 힘을 받는다(도 5의 화살표 방향). 전형적으로는, 기판 시일(400)은 개구(210OP)/개구(220OP)의 전체 둘레에 걸쳐 배치되어 있다. 따라서, 기판 WF는 개구(210OP)/개구(220OP)의 거의 전체 둘레로부터 내측 방향의 힘을 받을 수 있다. 강성이 낮은 기판 WF가 사용되고 있는 경우, 내측 방향의 힘을 받은 기판 WF는, 휘어지거나, 및/또는 대미지를 입을 수 있다. 기판 WF의 크기 및 재질 그리고 힘의 크기 등에 따라 다르지만, 하나의 예에서는, 기판 WF의 두께가 0㎜보다 크고 1㎜ 이하인 경우에 시일 립이 쓰러짐에 따른 영향이 현저해진다. 기판 WF에 휨이 발생하면, 도금을 위한 전기적 조건이 흐트러져서, 예기한 바와 같은 도금 가공을 실시하는 것이 곤란해질 수 있다.

기판 홀더(200)가 편면 홀더인 경우, 기판 홀더(200)가 도금액 중에 침지되면 기판 WF는 일방향으로부터 수압을 받는다. 이 수압에 의해 기판 적재부(212)에 기판 WF가 가압됨으로써, 기판 WF의 휨이 상쇄되는 경우가 있다. 한편, 기판 홀더(200)가 양면 홀더인 경우, 기판 WF는 표리 양쪽의 면으로부터 수압을 받는다. 따라서, 양면 홀더인 경우에는 기판 WF의 휨은 상쇄되지 않는다. 이상의 점을 감안하면, 시일 립이 쓰러짐에 따른 문제는 기판 홀더(200)가 양면 홀더인 경우에 특히 현저하다. 단, 기판 홀더(200)가 편면 홀더여도 기판 WF의 휨이 완전히 상쇄된다고는 할 수 없다. 또한, 기판 WF의 휨이 완전히 상쇄되었다고 해도, 기판 시일(400)로부터 받는 힘에 의해 기판 WF가 대미지를 입을 가능성은 남아 있다. 따라서, 기판 홀더(200)가 편면 홀더인 경우에도 시일 립(402)이 쓰러짐에 따른 문제는 그대로 존재하게 된다.

<시일 지지면의 기울기에 대하여>

도 6은 일 실시 형태에 따른 기판 홀더(200)의 단면도이다. 일 실시 형태에 있어서는, 시일 립(402)의 쓰러짐을 방지하기 위해서 시일 지지부(430)는 경사져 형성되어 있다. 구체적으로는, 시일 지지부(430)는, 기판 WF가 위치해야 할 평면에 시일 지지부(430)의 내측 단부가 가까워지는 경사각을 갖고 있다. 또한, 시일 지지면(431)의 내측 단부는 시일 립(402)보다도 내측에 위치하고 있다. 시일 지지부(430)가 경사져 있음으로써, 기판 시일(400)도 또한 경사져서 설치되게 된다. 결과적으로, 시일 립(402)은 약간이나마 외측을 향해 연장되게 된다. 또한, 도 6의 기판 시일(400)은 도 5의 기판 시일(400)과 동등한 시일이다. 일반적으로 시일은 탄성체로 구성되어 있으므로, 설치할 곳의 형상이 다소 다르더라도 동등한 시일을 사용할 수 있다.

도 6의 기판 시일(400)이 가압된 경우의 도면을 도 7에 나타낸다. 시일 지지면(431)의 경사에 의해 시일 립(402)이 외측을 향하고 있으므로, 시일 립(402)의 내측 방향으로의 쓰러짐이 억제될 수 있다. 그 결과, 기판 WF의 휨 및 기판 WF에대한 대미지의 발생이 억제될 수 있다.

바람직하게는, 시일 지지면(431)의 경사각은, 기판 시일(400)이 가압된 경우에 시일 립(402)이 외측을 향해 쓰러지는 각도이다. 시일 립(402)이 외측을 향해 쓰러지는 경우, 기판 WF는 외측 방향으로의 힘을 받는다. 외측 방향의 힘이면 기판 WF를 당기는 방향의 힘이 되므로 기판 WF에 휨은 발생할 수 없다. 다른 예에서는, 시일 지지면(431)의 경사각은, 기판 시일(400)이 가압된 경우에 시일 립(402)이 내측으로도 외측으로도 쓰러지지 않는 각도로 구성된다. 이 예에서는, 기판 WF에 내측 방향의 힘도 외측 방향의 힘도 인가되지 않게 된다는 효과가 있다. 한편, 전술한 바와 같이 기판 시일(400)은 탄성체이다. 따라서, 기판 시일(400)은 용이하게 변형될 수 있다. 그렇게 하면, 설계상은 시일 립(402)이 쓰러지지 않도록 경사각이 구성되어 있었다고 해도, 실제로는 시일 립(402)이 내측 또는 외측으로 쓰러져 있을 수 있을 것이다. 또 다른 예에서는, 시일 지지면(431)의 경사각은, 시일 립(402)이 내측을 향해서 쓰러지는 각도여도 된다. 시일 립(402)이 내측으로 쓰러지는 경우, 기판 WF가 휠 가능성을 완전히 배제하는 것은 곤란하다. 그러나, 시일 지지부(430)가 도 6에 도시된 바와 같은 경사각을 갖고 있는 것이면, 시일 립(402)이 내측을 향해 쓰러지는 양은 작아진다. 결과적으로, 시일 지지면(431)의 경사각이 작은 경우라도, 기판 WF의 휨을 어느 정도 저감시킬 수 있다.

하나의 예에 있어서의 시일 지지면(431)의 적어도 일부의 경사각, 예를 들어 후술하는 제2 부분(900S)의 경사각은 5도 이상 20도 이하여도 된다. 또한, 시일 지지면(431)과 기판 WF가 위치해야 할 평면이 평행한 경우의 시일 지지면(431)의 경사각을 0도로 한다.

후술하는 바와 같이, 기판 시일(400)의 형상을 변경함으로써도 시일 립(402)이 내측을 향해 쓰러져버리는 것을 방지할 수 있다. 그러나, 일반적으로는, 기판 시일(400)은 형 성형 또는 사출 성형 등의 기법에 의해 형성된다. 따라서, 기판 시일(400)을 복잡한 형상으로 형성하는 것은 기술적 또는 비용적으로 곤란할 수 있다. 한편, 시일 지지면(431)에 경사를 갖게 하는 것은, 기판 시일(400)의 형상을 변경하는 것보다 용이할 수 있다.

도 6 및 도 7의 예에서는, 시일 지지부(430)는 제2 보유 지지 부재(220)와 일체로 되어 있다. 추가 또는 대체로서, 제2 보유 지지 부재(220)와는 별개의 부재인 시일 지지부(430)가 사용되어도 된다. 예를 들어, 쐐기 형상의 시일 지지부(430)가 사용되어도 된다.

<기판 시일이 돌출부를 갖는 경우의 구조에 대하여>

도 8에 도시된 바와 같이, 시일 지지면(431)과 기판 시일(400) 사이에 액체가 유입되는 것을 방지하기 위해서, 기판 시일(400)에 돌출부(800)를 마련해도 된다. 돌출부(800)는 시일 바디(401)의 시일 지지면(431)과 접촉하는 부분에 마련된다. 돌출부(800)는, 시일 립(402)이 기판 WF로부터 받는 반력에 대향하는 위치에 마련된다. 돌출부(800)는, 시일 바디(401)의 시일 지지면(431)과 접촉하는 부분의 내연 근방에 마련된다. 돌출부(800)는 시일 립(402)이 기판 WF로부터 받는 반력에 대향하는 위치에 마련되어 있으므로, 돌출부(800)는 시일 지지면(431)에 국소적인 강한 압력으로 가압되어, 액체의 유입을 더 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 도 8에 있어서는, 돌출부(800)가 시일 지지면(431)을 뚫고 있는(또는 시일 지지면(431)에 구멍이 형성되어 있으며, 돌출부(800)가 그 구멍에 삽입되어 있는) 것처럼 도시되어 있다. 이것은 도시의 편의를 도모한 것에 지나지 않는다. 시일 지지면(431)은 원칙적으로 매끄러운 면이며, 또한, 전형적으로는 기판 시일(400)은 시일 지지부(430)보다 유연하다. 따라서, 돌출부(800)가 시일 지지면(431)을 뚫는 일은 없다. 또한, 도 8의 돌출부(800)는 과장되어 표현되어 있으며, 실제의 돌출부(800)는 도 8의 돌출부(800)보다 작아도 됨에 유의해야 한다.

돌출부(800)가 존재하는 경우, 돌출부(800)가 시일 립(402)의 선단보다 내측에 위치하도록 기판 홀더(200)가 구성되어도 된다. 여기서 말하는 「시일 립(402)의 선단」이란, 기판 WF에 처음에 닿게 될 시일 립(402)의 부분을 가리킨다. 돌출부(800)는 시일 바디(401)로부터 돌출되어 있다. 따라서, 시일 지지부(430)로부터의 가압력은 주로 돌출부(800)를 통해 기판 시일(400)에 전달된다. 가압력의 전달 점이 시일 립(402)의 선단보다 내측에 있음으로써, 시일 립(402)이 외측을 향해서 쓰러지기 쉬워진다는 효과가 있다.

<제1 부분의 경사각과 제2 부분의 경사각의 차이에 대하여>

일 실시 형태에 있어서의 기판 홀더(200)의 개구(210OP) 및/또는 개구(220OP)(이하에서는 부호를 붙이지 않고 단순히 「개구」라 함)는 다각형이다 (예를 들어 도 3a 및 도 3b 참조). 다각형의 개구를 갖는 기판 홀더(200)는, 전형적으로는, 다각형의 기판 WF를 보유 지지하기 위해서 사용된다.

개구가 다각형인 경우, 개구는 구석부와 변부를 갖는다. 본 명세서에 있어서의 「변부」는, 보유 지지되어야 할 기판의 변의 길이의 80％ 이상 95％ 이하의 길이를 가져도 된다. 본 명세서에 있어서의 「구석부」는 「변부」이외의 부분 또는 「변부」 및 후술하는 「천이부」 이외의 부분이어도 된다. 기판의 변의 길이가 변마다 상이한 경우, 개구의 「변부」의 각각은 상이한 길이를 가져도 된다. 단, 상기 설명은 일례에 지나지 않는다. 「구석부」와 「변부」의 길이 또는 「구석부」와 「변부」를 분별하는 기준은, 후술하는 요인, 예를 들어 시일 립(402)의 쓰러짐량 및/또는 기판 홀더(200)의 비틀림 등에 의해 결정되어도 된다.

전술한 바와 같이, 시일 지지부(430) 및 시일 지지면(431)은 개구의 외측 주위에 마련되어 있다. 따라서, 개구가 다각형인 경우, 기판 WF가 위치해야 할 평면과 수직인 방향에서 본 경우의 시일 지지부(430) 및 시일 지지면(431)의 개략적인 형상도 또한 다각형으로 된다. 결과적으로, 기판 홀더(200)에 설치된 기판 시일(400)의 형상도 또한 다각형으로 된다. 단, 기판 시일(400)은 탄성체이다. 따라서, 기판 시일(400)이 기판 홀더(200)로부터 분리된 경우에도 기판 시일(400)이 다각형 형상을 유지하고 있다고는 할 수 없다.

개구가 다각형인 경우, 구석부에 있어서의 시일 립(402)의 내측으로의 쓰러짐량은 적거나 또는 극단적인 경우 제로가 된다고 생각된다. 전술한 바와 같이, 개구가 다각형이면 기판 시일(400)도 또한 다각형이 될 수 있다. 그리고, 구석부 부근에 있어서, 그 구석에 접하는 한쪽 변의 시일 립(402)이 내측으로 쓰러진다고 하면, 다른 쪽 변의 시일 립(402)의 간섭이 발생할 수 있기 때문이다. 따라서, 개구의 구석부에서의 시일 립(402)의 쓰러짐은 중시하지 않아도 되며, 극단적인 경우에는 고려조차 하지 않아도 된다.

도 9는, 시일 지지면(431)이 보이는 방향에서 본, 제1 보유 지지 부재(210) 또는 제2 보유 지지 부재(220)의 도면이다. 개구가 다각형인 경우, 도 9에 도시된 바와 같이, 시일 지지면(431)은 적어도 2개의 부분으로 구분되어도 된다. 즉, 시일 지지면(431)은, 개구의 구석부에 대응하는 제1 부분(900C)과, 개구의 변부에 대응하는 제2 부분(900S)을 가져도 된다. 제1 부분(900C)의 경사각은 제2 부분(900S)의 경사각보다 작다. 하나의 예에서는 제1 부분(900C)의 경사각은 0도이다. 하나의 예에서는, 제1 부분(900C)은, 맨「구석」의 위치로부터 소정의 거리(거리 L3) 이내에 있는 부분이다. 하나의 예에 있어서의 거리 L3은 3㎜ 이상 10㎜ 이하여도 된다.

<천이부에 대하여>

제1 부분(900C)의 경사각과 제2 부분(900S)의 경사각이 상이한 경우, 제1 부분(900C)과 제2 부분(900S)의 경계에 단차가 발생할 수 있다. 단차가 존재하는 경우, 충분한 시일 성능을 얻는 것이 곤란해질 수 있다. 그래서, 일 실시 형태에 따른 시일 지지부(430) 및 시일 지지면(431)은, 제1 부분(900C)과 제2 부분(900S)을 접속하는 천이부(900T)(제3 부분(900T))를 구비한다. 천이부(900T)의 경사각은, 제1 부분(900C)과 천이부(900T)의 경계 및 제2 부분(900S)과 천이부(900T)의 경계에 단차가 발생하지 않도록 서서히 변화하고 있다. 바꾸어 말하면, 천이부(900T)의 경사각은, 제1 부분(900C)과 제2 부분(900S)을 매끄럽게 접속하도록 서서히 변화하고 있다. 천이부(900T)의 길이는 예를 들어 10㎜ 이상 50㎜ 이하여도 된다.

<시일 지지면의 내측 단부와 설치부 사이의 거리에 대하여>

시일 지지면(431)의 경사각이 장소에 따라 상이함으로써, 시일 립(402)과 기판 WF의 접촉 위치가 장소에 따라 상이할 수 있다. 경사각이 0도인 경우(도 4 참조), 또한, 시일 립(402)의 쓰러짐을 고려하지 않는 경우, 시일 립(402)은 시일 지지면(431)의 내측 단부의 바로 아래 또는 바로 위에서 기판 WF와 접할 것이다. 한편, 시일 지지면(431)이 경사져 있는 경우(도 6 및 도 7 참조), 시일 립(402)은 시일 지지면(431)의 내측 단부보다 약간 외측에 있어서 기판 WF와 접한다. 결과적으로, 기판 WF가 노출되지 않아야 할 영역이 노출되는 경우, 또는 기판 WF가 노출되어야 할 영역이 노출되지 않는 경우가 발생할 수 있다.

그래서, 일 실시 형태에 있어서의 거리 L1은 거리 L2보다 크다. 여기서 말하는 거리 L1은, 기판이 위치해야 할 평면에 투영된, 제1 부분(900C)에서의 시일 지지면(431)의 내측 단부와 설치부(410) 사이의 거리이다. 여기서 말하는 거리 L2는, 기판이 위치해야 할 평면에 투영된, 제2 부분(900S)에서의 시일 지지면(431)의 내측 단부와 설치부(410) 사이의 거리이다. 개구의 변부(시일 지지면(431)의 내측 단부)는, 기판이 위치해야 할 평면의 평면으로 볼 때 제1 부분(900C)으로부터 제2 부분(900S)에 걸쳐서 직선인(결과적으로, 기판의 노출되는 부분은 예를 들어 정사각형이나 직사각형으로 되는) 데 반하여, 설치부는 제2 부분(900S)에 비하여 제1 부분(900C)에서는 개구의 내측을 향해 들어가 있다. 시일 지지면(431)의 내측 단부와 설치부(410) 사이의 거리가 짧을수록, 시일 립(402)은 보다 내측에 위치하게(개구 근처에 위치하게) 된다. 경사각에 따라서 설치부(410)와 개구까지의 거리를 변화시킴으로써, 시일 지지면(431)의 경사에 의한 시일 립(402)의 위치 변화를 보상할 수 있다. 즉, 구석부와 변부에 각각 대응하는 단면이 균일하게 동일한 시일을 사용한 경우라도, 시일의 시일 립(402)이 기판 WF에 접촉하는 위치를, 구석부와 변부에 걸쳐서 직선으로 하거나, 혹은 직선에 근접시킬 수 있다. 또한, 본 명세서에 있어서의 「보상」은 「완전한 보상」으로 한정되지 않는다. 천이부(900T)에서의 설치부(410)는, 제1 부분(900C)에서의 설치부(410)와 제2 부분(900S)에서의 설치부(410)를 매끄럽게 접속하도록 구성되어 있어도 된다. 또한, 개구의 변부가 직선이 아닌 경우, 거리 L1과 거리 L2를 동등하게 하는 것 또는 거리 L1을 거리 L2보다 작게 구성하는 것이 바람직할 수 있다.

<기판 홀더(200)의 비틀림에 대하여>

지금까지의 설명에서는, 기판 시일(400) 이외의 대부분의 부재는 이상적인 강체이며, 기판 홀더(200)에 비틀림은 발생하지 않는 것으로 하였다. 그러나, 적어도 본 출원의 시점에 있어서 이상적인 강체는 현실에 존재하지 않으므로, 실제의 기판 홀더(200)에는 비틀림이 발생할 수 있다. 도 10은 기판 홀더(200)의 비틀림에 대하여 설명하기 위한 기판 홀더(200)의 단면도이다. 단, 도 10은 설명을 위한 도면에 지나지 않는다. 도 10에 있어서의 몇 가지 부재는 간략화 또는 생략되었다. 또한, 도 10에 있어서의 비틀림량은 과장되어 있음에 유의해야 한다. 또한, 도 10의 기판 홀더(200)는 양면 홀더(도 3a 및 도 3b 참조)이지만, 편면 홀더(도 2 참조)여도 된다. 또한, 도 10에 있어서는 시일 립(402)의 쓰러짐은 고려되어 있지 않다.

제1 보유 지지 부재(210)와 제2 보유 지지 부재(220)는, 서로 가압된 상태에서 클램퍼(213)에 의해 고정된다. 전형적인 기판 홀더(200)에 있어서는, 클램퍼(213)로부터 이격된 위치에 기판 시일(400)이 존재한다. 시점을 바꾸면, 전형적인 기판 홀더(200)에 있어서는, 기판 WF가 기판 시일(400)을 통해 제1 보유 지지 부재(210) 및 제2 보유 지지 부재(220)의 각각을 누르고 있다고도 볼 수 있다. 결과적으로, 제1 보유 지지 부재(210)가 제2 보유 지지 부재(220)로부터 이격되도록 기판 홀더(200)를 비틀 수 있다. 기판 홀더(200)가 비틀리면, 도 10에 도시한 바와 같이, 시일 지지면(431)과 기판 WF의 거리가 멀어진다. 그 결과, 시일 립(402)의 압궤량(압궤값)이 작아질 가능성이 있다. 또한, 여기서 말하는 「시일 지지면(431)과 기판 WF의 거리」는, 기판 WF의 면과 수직인 방향의 거리를 가리킨다.

일례로서, 도 11에, 도 4에 도시한 바와 같은, 시일 지지부(430)가 경사지지 않은 종래의 기판 홀더(200)에서의 시일 립(402)의 압궤량(압궤값)의 위치 의존성을 시뮬레이션한 결과를 나타낸다. 압궤량(압궤값)은, 기판을 보유 지지하지 않을 때의 시일의 높이 방향(기판 표면에 수직인 방향)의 치수로부터, 기판을 보유 지지했을 때의 시일의 높이 방향의 치수 차이다. 도 11의 기판 홀더(200)는, 클램퍼(213)가 16개(개구의 1변당 4개) 마련되어 있는 점을 제외하고 도 3a 및 도 3b의 기판 홀더(200)와 동등하다. 이 예에 있어서는, 제1 위치 P1 내지 제30 위치 P30의 합계 30점에 있어서 시일 립(402)의 압궤량을 산출하였다. 또한, 제1 위치 P1 내지 제30 위치 P30은 시일 립(402)의 위치에 상당하는 위치에 있다.

도 11의 우측의 그래프에 나타내고 있는 바와 같이, 개구의 구석부(P1, P7, P15) 및 제23 점 P23에 있어서 시일 립(402)의 압궤량이 커진다는 사실, 한편, 개구의 변부에 있어서 시일 립(402)의 압궤량이 작아진다는 사실을 알게 되었다. 이것은, 전형적으로는, 기판 홀더(200)의 변부에서의 강성이, 기판 홀더(200)의 구석부에서의 강성보다 낮은 것에 기인한다고 생각된다. 이러한 시일의 압궤량의 불균일은, 유체의 누설로 이어질 가능성이 있다.

일 실시 형태에 따른 기판 홀더(200)는, 기판 홀더(200)의 비틀림에 의한 시일 립(402)의 압궤량의 변화를 보상하도록 구성되어 있다. 도 4와 도 6을 비교하면 알 수 있는 바와 같이, 시일 지지면(431)의 경사에 의해, 시일 립(402)은 기판 WF가 위치해야 할 평면에 가까워져 있다. 결과적으로, 시일 지지면(431)이 경사져 있는 경우의 시일 립(402)의 압궤량은, 시일 지지면(431)이 경사지지 않은 경우의 압궤량과 비교해서 커지게 된다. 따라서, 시일 지지면(431)의 경사각을 부위에 따라서 조정함으로써, 시일 립(402)의 압궤량의 변화를 보상할 수 있다.

개구의 변부에서의 시일 립(402)의 압궤량이 작아지기 쉬운 점을 감안하여, 제2 부분(900S)에서의 시일 지지면(431)의 경사각이 크게 설정되어 있어도 된다. 단, 개구의 변부에서의 시일 립(402)의 압궤량이 항상 작아진다고는 할 수 없다. 시일 립(402)의 압궤량의 분포는, 기판 홀더(200)의 각 부품의 강성, 기판 시일(400)에 의한 시일압, 클램퍼(213)의 위치 및 개수, 그리고 클램핑 강도 등의 다양한 조건에 따라 바뀔 수 있다. 시일 지지면(431)의 경사각의 분포는, 시일 립(402)의 압궤량의 분포에 따라서 결정되어도 된다. 시일 지지면(431)의 경사각 분포를 결정할 때, 시일 립(402)의 쓰러짐의 방향이 고려되어도 된다.

<시일의 형상에 의한 쓰러짐 방지 및 압궤량의 변화의 보상>

지금까지, 시일 지지면(431)의 경사각에 의해 시일 립(402)의 쓰러짐을 방지하고, 및/또는 시일 립(402)의 압궤량의 변화를 보상할 수 있는 구성에 대하여 설명하였다. 이하에서는, 기판 시일(400)의 형상에 의해 시일 립(402)의 쓰러짐을 방지하고, 및/또는 시일 립(402)의 압궤량의 변화를 보상하는 구성에 대하여 설명한다.

전술한 바와 같이, 개구의 구석부의 근방에 있어서는 시일 립(402)의 쓰러짐은 발생하기 어렵다. 한편, 개구의 변부의 근방에 있어서는 시일 립(402)의 쓰러짐이 발생하기 쉽다. 그래서, 일 실시 형태에 있어서는, 위치에 따라서 시일 립(402)이 연장되는 방향이 상이하다.

도 12a는 개구의 구석부의 근방에서의 기판 시일(400)의 단면도이다. 도 12b는 개구의 변부의 근방에서의 기판 시일(400)의 단면도이다. 도 12a 및 도 12b로부터 알 수 있는 바와 같이, 개구의 변부의 근방에서의 시일 립(402)은, 개구의 구석부의 근방에서의 시일 립(402)보다도 외측을 향해 연장되어 있어도 된다. 시일 립(402)이 외측을 향해서 연장됨으로써, 시일 립(402)이 내측을 향해서 쓰러져버리는 것을 방지할 수 있다. 기판 시일(400)의, 시일 지지면(431)에 접촉하는 면(접촉면 SU)의 내연 CO와, 시일 립(402)의 선단을 연결하는 선분을 LS라 하면, 개구의 변부의 근방에서의 기판 시일(400)의 선분 LS는, 개구의 구석부의 근방에서의 기판 시일(400)의 선분 LS보다도, 립 시일의 선단을 향해서 외측으로 경사져 있다. 시일 지지면(431)에 접촉하는 면(접촉면 SU)의 내연 CO를 기준으로 하여, 개구의 변부의 근방에서의 시일 립의 선단은, 개구의 구석부의 근방에서의 시일 립의 선단보다도 외측에 위치하고 있다고 할 수도 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 개구의 변부의 근방에서의 시일 립(402)의 압궤량은, 개구의 구석부의 근방에서의 시일 립(402)의 압궤량보다 작아지기 쉽다. 그래서, 일 실시 형태에 있어서는, 위치에 따라서 시일 립(402)의 높이가 상이하다.

도 13a는 개구의 구석부의 근방에서의 기판 시일(400)의 단면도이다. 도 13b는 개구의 변부의 근방에서의 기판 시일(400)의 단면도이다. 도 13a 및 도 13b로부터 알 수 있는 바와 같이, 개구의 변부의 근방에서의 시일 립(402)의 높이는, 개구의 구석부의 근방에서의 시일 립(402)의 높이보다 높아도 된다. 기판 홀더(200)의 비틀림에 의한 시일 립(402)의 압궤량의 변화를, 시일 립(402)의 높이에 의해 보상할 수 있다. 또한, 여기서 말하는 「시일 립(402)의 높이」란, 시일 바디(401)의 저면(시일 지지면(431)과 접하는 면)으로부터 시일 립(402)의 선단까지의 거리를 말한다. 시일 립(402)의 시일 바디(401)로부터의 돌출량을 바꿈으로써 시일 립(402)의 높이를 바꿀 수 있다. 한편, 시일 립(402)의 돌출량을 바꾸지 않고 시일 바디(401)의 크기를 바꿈으로써도 시일 립(402)의 높이를 바꿀 수 있다.

또한, 도 14에 도시한 바와 같이, 기판 시일(400)은, 시일 바디(401)로부터 내측을 향해서 연장되는 연신부(1400)를 가져도 된다. 연신부(1400)가 내측을 향해서 연장되어 있음으로써, 기판 시일(400)이 받는 모멘트는 작아질 수 있다. 또한, 시일 립(402)보다 내측에 연신부(1400)라는 구조물이 존재하므로, 시일 립(402)의 내측을 향한 변형이 발생하기 어려워진다. 이 경우, 시일 립(402)은 시일 바디(401)의 내측 단부로부터 연장되어 있어도 되며, 시일 바디(401)의 내측 단부가 아닌 부분, 예를 들어 시일 바디(401)의 중앙부터 연장되어 있어도 된다.

이상, 몇 개의 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명하였다. 상기 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것으로, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은, 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는 그 등가물이 포함된다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에 있어서, 청구범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소가 임의의 조합, 또는 생략이 가능하다. 예를 들어, 도 6 내지 도 11에서 설명된 실시 형태와, 도 12a 및 도 12b에서 설명된 실시 형태와, 도 13a 및 도 13b에서 설명된 실시 형태가 조합되어도 된다.

본원은, 일 실시 형태로서, 기판의 적어도 한쪽 면의 적어도 일부를 노출하기 위한 개구를 갖는 기판 홀더이며, 기판 홀더는, 기판의 노출되는 부분을 포함하는 면과 접촉하고, 기판이 위치해야 할 평면과 수직인 방향으로 가압되는 시일과, 시일을 지지하기 위한 시일 지지면을 갖는 시일 지지부이며, 개구의 외측 주위에 마련된, 시일 지지부를 구비하고, 시일은, 시일 지지면과 접촉하는 시일 바디와, 시일 바디로부터 연장되어 기판의 노출되는 면과 접촉하는 시일 립을 구비하고, 시일 지지면의 적어도 일부는, 기판이 위치해야 할 평면에 시일 지지면의 내측 단부가 가까워지는 경사각을 갖고, 시일 지지면의 내측 단부는, 시일 립보다도 내측에 위치하는, 기판 홀더를 개시한다. 하나의 실시 형태에서는, 시일 립은 시일 바디의 내측 단부로부터 연장되어 있다.

이 기판 홀더는, 시일 립이 내측으로 쓰러져버리는 것을 방지할 수 있다는 효과를 일례로서 발휘한다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 시일 지지면의 경사각은, 기판의 위치해야 할 평면과 수직인 방향으로 시일이 가압된 경우에 시일 립부가 외측을 향해서 휘는 각도인, 기판 홀더를 개시한다.

이 기판 홀더는, 시일 립이 내측으로 쓰러져버리는 것을 더욱 확실하게 방지할 수 있다는 효과를 일례로서 발휘한다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 시일 지지면의 적어도 일부의 경사각은 5도 이상 20도 이하인, 기판 홀더를 개시한다.

이 개시에 의해, 시일 지지면의 경사각의 일례가 명백해진다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 개구는 다각형이며, 시일 지지면은, 개구의 구석부에 대응하는 제1 부분과, 개구의 변부에 대응하는 제2 부분을 포함하고, 제1 부분의 경사각이 제2 부분의 경사각보다 작아지도록 시일 지지면이 구성되어 있는, 기판 홀더를 개시한다.

이 기판 홀더는, 특히 제2 부분(개구의 변부에 대응하는 부분)에 있어서 시일 립이 내측으로 쓰러져버리는 것을 방지할 수 있다는 효과를 일례로서 발휘한다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 제1 부분의 경사각은 0도인, 기판 홀더를 개시한다.

이 개시에 의해, 제1 부분의 경사각의 일례가 명백해진다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 시일 지지면은, 경사각이 서서히 변화하고 있는 천이부이며, 제1 부분과 제2 부분을 접속하는 천이부를 구비하는, 기판 홀더를 개시한다.

이 기판 홀더는, 제1 부분과 제2 부분의 경계에 단차가 발생하는 것을 방지할 수 있다는 효과를 일례로서 발휘한다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 변부는, 보유 지지되어야 할 기판의 변의 길이의 80％ 이상 95％ 이하의 길이를 갖는, 기판 홀더를 개시한다.

이 개시에 의해, 변부의 길이의 일례가 명백해진다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 기판 홀더는, 시일을 소정의 위치에 설치하기 위한 설치부를 구비하고, 변부는, 기판이 위치해야 할 평면의 평면으로 볼 때 직선형이며, 제1 부분에서의 시일 지지면의 내측 단부와 설치부 사이의 기판이 위치해야 할 평면의 평면으로 볼 때의 거리는, 제2 부분에서의 시일 지지면의 내측 단부와 설치부 사이의 기판이 위치해야 할 평면의 평면으로 볼 때의 거리보다 큰, 기판 홀더를 개시한다.

이 기판 홀더는, 시일 지지면의 경사에 의한 시일 립의 위치의 변화를 보상할 수 있다는 효과를 일례로서 발휘한다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 시일은, 시일 바디의 시일 지지면과 접촉하는 부분에 마련되는 돌출부이며, 시일 립이 기판으로부터 받는 반력에 대향하는 위치에 마련되는 돌출부를 갖는, 기판 홀더를 개시한다. 하나의 실시 형태에서는, 돌출부는, 시일 바디의, 시일 지지면과 접촉하는 부분의 내연 근방에 마련된다.

이 기판 홀더는, 유체의 유출을 보다 확실하게 방지할 수 있다는 효과를 일례로서 발휘한다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 기판의 적어도 한쪽 면의 적어도 일부를 노출하기 위한 다각형 개구를 갖는 기판 홀더이며, 기판 홀더는, 기판의 노출되는 부분을 포함하는 면과 접촉하고, 기판의 면에 수직인 방향으로 가압되는 시일과, 개구의 외측 주위에 마련된 시일 지지부를 구비하고, 시일은, 시일 지지면과 접촉하는 시일 바디와, 시일 바디로부터 연장되어 기판의 노출되는 면과 접촉하는 시일 립을 구비하고, (a) 개구의 변부의 근방에서의 시일 립은, 개구의 구석부의 근방에서의 시일 립보다 외측을 향해서 연장되어 있거나, 또는 (b) 개구의 변부에서의 시일 립의 높이는, 개구의 구석부에서의 시일 립의 높이보다 높은, 기판 홀더를 개시한다. 일 실시 형태에서는, 시일 립은 시일 바디의 내측 단부로부터 연장되어 있다.

이 기판 홀더는, 시일 지지면의 경사각에 의하지 않더라도, 시일의 구조에 의해 시일 립의 쓰러짐의 방지 및/또는 시일 립의 압궤량의 변화의 보상을 실현할 수 있다는 효과를 일례로서 발휘한다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 시일 지지부는 시일 지지면을 구비하고, 시일 지지면의 적어도 일부는, 기판이 위치해야 할 평면에 시일 지지면의 내측 단부가 가까워지는 경사각을 갖고, 시일 지지면의 내측 단부는, 시일 립보다도 내측에 위치하는, 기판 홀더를 개시한다.

이 개시 내용에 의해, 시일 지지면의 경사각 및 시일 구조의 양쪽에 의해 시일 립의 쓰러짐의 방지 및/또는 시일 립의 압궤량의 변화의 보상을 실현할 수 있다는 사실이 명백해진다.

또한 본원은, 일 실시 형태로서, 본 명세서에서 설명한 어느 기판 홀더와, 적어도 하나의 도금조를 구비하는, 도금 장치를 개시한다.

이 개시 내용에 의해, 기판 홀더의 적용되는 장치가 명백해진다.

100: 도금 장치
110: 로드 포트
120: 기판 반송 로봇
130: 드라이어
140: 기판 착탈 장치
150: 도금 처리부
151: 전수세조
152: 전처리조
153: 제1 린스조
154: 제1 도금조
155: 제2 린스조
156: 제2 도금조
157: 제3 린스조
158: 블로우조
160: 트랜스포터
161: 트랜스포터 암
162: 암 상하 이동 기구
163: 수평 이동 기구
170: 스토커
180: 제어부
200: 기판 홀더
210: 제1 보유 지지 부재
210OP: 개구
211: 힌지
212: 기판 적재부
213: 클램퍼
214: 핸드
220: 제2 보유 지지 부재
220OP: 개구
221: 기부
222: 바디
223: 누름 링
223a: 돌출부
250: 훅부
251: 훅 베이스
252: 훅 본체
253: 샤프트
254: 레버
270: 플레이트
271: 클로
400: 기판 시일
401: 시일 바디
402: 시일 립
410: 설치부
420: 시일 홀더
430: 시일 지지부
431: 시일 지지면
800: 돌출부
900C: 제1 부분
900S: 제2 부분
900T: 천이부(제3 부분)
1400: 연신부
WF: 기판

Claims

기판의 적어도 한쪽 면의 적어도 일부를 노출시키기 위한 개구를 갖는 기판 홀더이며,
상기 기판 홀더는,
상기 기판의 노출되는 부분을 포함하는 면과 접촉하고, 상기 기판이 위치해야 할 평면과 수직인 방향으로 가압되는 시일과,
상기 시일을 지지하기 위한 시일 지지면을 갖는 시일 지지부이며, 상기 개구의 외측 주위에 마련된, 시일 지지부
를 구비하고,
상기 시일은,
상기 시일 지지면과 접촉하는 시일 바디와,
상기 시일 바디로부터 연장하여 상기 기판의 노출되는 면과 접촉하는 시일 립
을 구비하고,
상기 시일 지지면의 적어도 일부는, 상기 기판이 위치해야 할 상기 평면에 상기 시일 지지면의 내측 단부가 가까워지는 경사각을 갖고,
상기 시일 지지면의 내측 단부는, 상기 시일 립보다도 내측에 위치하는, 기판 홀더.
제1항에 있어서,
상기 시일 립은, 상기 시일 바디의 내측 단부로부터 연장되어 있는, 기판 홀더.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 시일 지지면의 경사각은, 상기 기판이 위치해야 할 상기 평면과 수직인 방향으로 상기 시일이 가압된 경우에 상기 시일 립부가 외측을 향해서 휘는 각도인, 기판 홀더.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 시일 지지면의 적어도 일부의 경사각은 5도 이상 20도 이하인, 기판 홀더.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 개구는 다각형이며,
상기 시일 지지면은,
상기 개구의 구석부에 대응하는 제1 부분과,
상기 개구의 변부에 대응하는 제2 부분
을 포함하고,
상기 제1 부분의 경사각이 상기 제2 부분의 경사각보다 작아지도록 상기 시일 지지면이 구성되어 있는, 기판 홀더.
제5항에 있어서,
상기 제1 부분의 경사각은 0도인, 기판 홀더.
제5항에 있어서,
상기 시일 지지면은, 경사각이 서서히 변화하고 있는 천이부이며, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분을 접속하는 천이부를 구비하는, 기판 홀더.
제5항에 있어서,
상기 변부는, 보유 지지되어야 할 기판의 변의 길이의 80％ 이상 95％ 이하의 길이를 갖는, 기판 홀더.
제5항에 있어서,
상기 기판 홀더는, 상기 시일을 소정의 위치에 설치하기 위한 설치부를 구비하고,
상기 변부는, 상기 기판이 위치해야 할 상기 평면의 평면으로 볼 때 직선형이며,
상기 제1 부분에서의 상기 시일 지지면의 내측 단부와 상기 설치부 사이의 상기 기판이 위치해야 할 상기 평면의 평면으로 볼 때의 거리는, 상기 제2 부분에서의 상기 시일 지지면의 내측 단부와 상기 설치부 사이의 상기 기판이 위치해야 할 상기 평면의 평면으로 볼 때의 거리보다 큰, 기판 홀더.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 시일은, 상기 시일 바디의 상기 시일 지지면과 접촉하는 부분에 마련되는 돌출부이며, 상기 시일 립이 상기 기판으로부터 받는 반력에 대향하는 위치에 마련되는 돌출부를 갖는, 기판 홀더.
제10항에 있어서,
상기 돌출부는, 상기 시일 바디의, 상기 시일 지지면과 접촉하는 부분의 내연 근방에 마련되는, 기판 홀더.
기판의 적어도 한쪽 면의 적어도 일부를 노출하기 위한 다각형 개구를 갖는 기판 홀더이며,
상기 기판 홀더는,
상기 기판의 노출되는 부분을 포함하는 면과 접촉하고, 상기 기판이 위치해야 할 평면에 수직인 방향으로 가압되는 시일과,
상기 개구의 외측 주위에 마련된 시일 지지부
를 구비하고,
상기 시일은,
상기 시일 지지면과 접촉하는 시일 바디와,
상기 시일 바디로부터 연장하여 상기 기판의 노출되는 면과 접촉하는 시일 립
을 구비하고,
(a) 상기 개구의 변부의 근방에서의 상기 시일 립은, 상기 개구의 구석부의 근방에서의 상기 시일 립보다 외측을 향해서 연장되어 있거나,
또는,
(b) 상기 개구의 변부에서의 상기 시일 립의 높이는, 상기 개구의 구석부에서의 상기 시일 립의 높이보다 높은, 기판 홀더.
제12항에 있어서,
상기 시일 립은, 상기 시일 바디의 내측 단부로부터 연장되어 있는, 기판 홀더.
제12항 또는 제13항에 있어서,
상기 시일 지지부는 시일 지지면을 구비하고,
상기 시일 지지면의 적어도 일부는, 상기 기판이 위치해야 할 상기 평면에 상기 시일 지지면의 내측 단부가 가까워지는 경사각을 갖고,
상기 시일 지지면의 내측 단부는, 상기 시일 립보다도 내측에 위치하는, 기판 홀더.
제1항 내지 제2항 및 제12항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 기판 홀더와,
적어도 하나의 도금조
를 구비하는, 도금 장치.