JP2022009849A

JP2022009849A - 基板ホルダ

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Publication number: JP2022009849A
Application number: JP2021178956A
Authority: JP
Inventors: 松太郎宮本; Matsutaro Miyamoto
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2018-06-27
Filing date: 2021-11-01
Publication date: 2022-01-14
Anticipated expiration: 2038-06-27
Also published as: JP7204860B2

Abstract

【課題】クランパを備えた進歩的な基板ホルダを提供することを一つの目的とする。
【解決手段】フレーム間に基板を挟むことによって基板を保持するための基板ホルダであって、基板ホルダは、フロントフレームと、リアフレームと、１つまたは複数のクランパと、を備え、クランパのそれぞれは、フックベースとフック本体を備えるフック部と、少なくとも１つのクローを備える、プレートと、を備え、クランパの少なくとも１つは、ロック用の第１のクローと、セミロック用の第２のクローと、を有する前記プレートを備える、基板ホルダを開示する。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板ホルダに関する。

従来、半導体ウェハやプリント基板等の基板の表面に配線やバンプ（突起状電極）等を形成することが行われている。この配線およびバンプ等を形成する方法として、電解めっき法が知られている。

特許文献１（特開２０１８－４００４５号公報）には、クランパを備えた基板ホルダが開示されている。特許文献１には、この基板ホルダによれば大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる旨が記載されている。

特開２０１８－４００４５号公報

本願は、クランパを備えた進歩的な基板ホルダを提供することを一つの目的とする。

本願は、一実施形態として、フレーム間に基板を挟むことによって基板を保持するための基板ホルダであって、基板ホルダは、フロントフレームと、リアフレームと、フロントフレームとリアフレームとをクランプするための、１つまたは複数のクランパと、を備え、１つまたは複数のクランパのそれぞれは、フロントフレームとリアフレームの一方に取り付けられたフック部であって、フック部はフックベースとフック本体を備え、フック本体はフックベースに枢動可能に取り付けられている、フック部と、フロントフレームとリアフレームの他方に取り付けられたプレートであって、フック本体の枢動によってフック本体が後記クローに引っ掛けられるように構成された少なくとも１つのクローを備える、プレートと、を備え、１つまたは複数のクランパの少なくとも１つは、第１のクローと、第２のクローと、を有するプレートを備え、第１のクローは、フック本体が第１のクローに引っ掛けられることによって基板ホルダが基板を保持できるように構成されており、第２のクローは、フック本体が第２のクローに引っ掛けられた場合のフロントフレームとリアフレームの間の距離が、フック本体が第１のクローに引っ掛けられた場合のフロントフレームとリアフレームの間の距離よりも大きくなるように構成されている、基板ホルダを開示する。

一実施形態にかかるめっき装置の全体配置図である。一実施形態にかかる基板ホルダを模式的に示す正面図である。一実施形態にかかる基板ホルダを模式的に示す側面断面図である。図２Ｂにおいて「Ａ」と付された部分の拡大図である。基板ホルダのうち基板を保持する部分の側面断面図である。フック部の一部を示す側面断面図である。フック部及びプレートを示す側面断面図である。図６Ａ、図６Ｂおよび図６Ｃはそれぞれ異なった角度から見たプレートの斜視図である。図６Ａ、図６Ｂおよび図６Ｃはそれぞれ異なった角度から見たプレートの斜視図である。図６Ａ、図６Ｂおよび図６Ｃはそれぞれ異なった角度から見たプレートの斜視図である。フック部の斜視図である。図７Ａからフックベースを消去した図である。図７Ａからフック本体およびレバーを消去した図である。３つのクランパと、１つのセミロック機能付きのクランパと、を備える基板ホルダの正面図である。角状の開口の各辺に沿って整列している複数のクランパを備える基板ホルダの正面図である。基板ホルダの模式的な断面図である。マグネットクランパを備える基板ホルダの模式的な断面図である。フック部２５０ＳＬおよびプレート２７０ＳＬを備える基板ホルダ１の部分断面図である。

＜めっき装置の概要について＞
図１は、本発明の一実施形態にかかる基板ホルダが使用されるめっき装置の全体配置図である。図１に示すように、このめっき装置１００は、基板ホルダ１（符号「１」については図２以降を参照のこと）に基板（被処理物の一例に相当する）をロードし、又は基板ホルダ１から基板をアンロードするロード／アンロード部１１０と、基板を処理する処理部１２０と、洗浄部５０ａとに大きく分けられる。処理部１２０は、さらに、基板の前処理及び後処理を行う前処理・後処理部１２０Ａと、基板にめっき処理を行うめっき処理部１２０Ｂとを含む。なお、このめっき装置１００で処理する基板は、角形基板、円形基板を含む。また、角形基板は、矩形等の多角形のガラス基板、液晶基板、プリント基板、その他の多角形のめっき対象物を含む。円形基板は、半導体ウェハ、ガラス基板、その他の円形のめっき対象物を含む。

ロード／アンロード部１１０は、２台のカセットテーブル２５と、基板脱着機構２９とを有する。カセットテーブル２５は、半導体ウェハ、ガラス基板、液晶基板、プリント基板等の基板を収納したカセット２５ａを搭載する。基板脱着機構２９は、基板を基板ホルダ１に着脱するように構成される。また、基板脱着機構２９の近傍（例えば下方）には基板ホルダ１を収容するためのストッカ３０が設けられる。これらのユニット２５，２９，３０の中央には、これらのユニット間で基板を搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置２７が配置されている。基板搬送装置２７は、走行機構２８により走行可能に構成される。

洗浄部５０ａは、めっき処理後の基板を洗浄して乾燥させる洗浄装置５０を有する。基板搬送装置２７は、めっき処理後の基板を洗浄装置５０に搬送し、洗浄された基板を洗浄装置５０から取り出すように構成される。

前処理・後処理部１２０Ａは、プリウェット槽３２と、プリソーク槽３３と、プリリンス槽３４と、ブロー槽３５と、リンス槽３６と、を有する。プリウェット槽３２では、基板が純水に浸漬される。プリソーク槽３３では、基板の表面に形成したシード層等の導電層の表面の酸化膜がエッチング除去される。プリリンス槽３４では、プリソーク後の基板が基板ホルダと共に洗浄液（純水等）で洗浄される。ブロー槽３５では、洗浄後の基板の液切りが行われる。リンス槽３６では、めっき後の基板が基板ホルダと共に洗浄液で洗浄される。プリウェット槽３２、プリソーク槽３３、プリリンス槽３４、ブロー槽３５、リンス槽３６は、この順に配置されている。なお、このめっき装置１００の前処理・後処理
部１２０Ａの構成は一例であり、めっき装置１００の前処理・後処理部１２０Ａの構成は限定されず、他の構成を採用することが可能である。

めっき処理部１２０Ｂは、オーバーフロー槽３８を備えた複数のめっき槽３９を有する。各めっき槽３９は、内部に一つの基板を収納し、内部に保持しためっき液中に基板を浸漬させて基板表面に銅めっき等のめっきを行う。ここで、めっき液の種類は、特に限られることはなく、用途に応じて様々なめっき液が用いられる。

めっき装置１００は、これらの各機器の側方に位置して、これらの各機器の間で基板ホルダを基板とともに搬送する、例えばリニアモータ方式を採用した基板ホルダ搬送装置３７を有する。この基板ホルダ搬送装置３７は、基板脱着機構２９、プリウェット槽３２、プリソーク槽３３、プリリンス槽３４、ブロー槽３５、リンス槽３６、及びめっき槽３９との間で基板ホルダを搬送するように構成される。

以上のように構成されるめっき装置１００を複数含むめっき処理システムは、上述した各部を制御するように構成されたコントローラ１７５を有する。コントローラ１７５は、所定のプログラムを格納したメモリ１７５Ｂと、メモリ１７５Ｂのプログラムを実行するＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）１７５Ａと、ＣＰＵ１７５Ａがプログラムを実行することで実現される制御部１７５Ｃとを有する。制御部１７５Ｃは、例えば、基板搬送装置２７の搬送制御、基板脱着機構２９における基板の基板ホルダへの着脱制御、基板ホルダ搬送装置３７の搬送制御、各めっき槽３９におけるめっき電流及びめっき時間の制御、並びに、各めっき槽３９に配置されるアノードマスク（図示せず）の開口径及びレギュレーションプレート（図示せず）の開口径の制御等を行うことができる。また、コントローラ１７５は、めっき装置１００及びその他の関連装置を統括制御する図示しない上位コントローラと通信可能に構成され、上位コントローラが有するデータベースとの間でデータのやり取りをすることができる。ここで、メモリ１７５Ｂを構成する記憶媒体は、各種の設定データや後述するめっき処理プログラム等の各種のプログラムを格納している。記憶媒体としては、コンピュータで読み取り可能なＲＯＭやＲＡＭなどのメモリや、ハードディスク、ＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＯＭやフレキシブルディスクなどのディスク状記憶媒体などの公知のものが使用され得る。

＜基板ホルダ１について＞
次に、図２を用いて一実施形態にかかる基板ホルダ１について説明する。図２Ａは一実施形態にかかる基板ホルダ１を模式的に示した正面図である。図２Ｂは一実施形態にかかる基板ホルダ１を模式的に示した側面断面図である。図２Ｃは、図２Ｂにおいて「Ａ」と付された部分の拡大図である。ただし、図２Ｃは分解図となっている。以下では、図２Ａの左右方向（後述するアーム部２１０ａの長手方向）をＸ方向、紙面に対して垂直な方向（保持されるべき基板Ｗの面と垂直な方向）をＹ方向、上下方向をＺ方向として説明する。Ｘ方向については図２Ａの右向きを正方向とする。Ｙ方向については図２Ａの紙面に対して奥向きを正方向とする。Ｚ方向については図２Ａの上方向を正方向とする。

基板ホルダ１は、フレーム間に基板を挟むことによって基板を保持するための部材である。基板ホルダ１は、フロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂと、を備える。より具体的には、基板ホルダ１の少なくとも一部は、フロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂとを組み合わせることによって構成される。フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとは、少なくとも１つ、好ましくは複数のクランパ２９０（クランパ２９０の詳細は後述される）によってクランプされる。図２Ａの符号「２００ｂ」から延びている点線は、図２Ａにはリアフレーム２００ｂが図示されていないことを示している。基板ホルダ１は、フロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂとの間に基板Ｗを挟み込んで保持するように構成されている。基板Ｗは図２Ｂ中に想像線で
示されている。

フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとは、後述するフック部２５０およびプレート２７０を除き、対称的な構造を有する。したがって、「フロント」と「リア」という名称は便宜的なものに過ぎない。換言すれば、フロントフレーム２００ａの位置する側とリアフレーム２００ｂの位置する側のどちらを正面として扱ってもよい。ただし、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとを対称的な構造に設計する必要はない。

フロントフレーム２００ａの上部にはアーム部２１０ａが設けられている。アーム部２１０ａの肩部には肩部電極２２０が設けられてよい。図２の例では、アーム部２１０ａの両肩に２つの肩部電極２２０が設けられている。なお、図２Ａでは代表的に１つの肩部電極２２０にのみ符号が付されている。肩部電極２２０は図示しない導電経路（配線またはバスバーなど）により後述する基板用電極と電気的に接続されている。後述する基板用電極は基板Ｗと電気的に接続されるので、肩部電極２２０は基板Ｗと電気的に接続されている。めっき装置１００は、肩部電極２２０を介してめっき工程に必要な電力を基板Ｗに供給する。ここで、「電力を供給する」ことを「電圧を印加する」または「電流を流す」と言い換えてもよい。リアフレーム２００ｂにはアーム部２１０ｂが設けられている。アーム部２１０ｂの構成はアーム部２１０ａと同等である。

フロントフレーム２００ａは配線格納部２３０ａを備える。配線格納部２３０ａはアーム部２１０ａと後述するフレームボディ２４０ａとの間に設けられている。配線格納部２３０ａは肩部電極２２０と基板Ｗとを電気的に接続するための配線を格納するための空間を有するように構成される。肩部電極２２０と基板Ｗとがバスバーにより電気的に接続されている場合、フロントフレーム２００ａは配線格納部２３０ａを備えなくともよい。リアフレーム２００ｂには配線格納部２３０ｂが設けられている。配線格納部２３０ｂの構成は配線格納部２３０ａと同等である。

フロントフレーム２００ａはさらにフレームボディ２４０ａを備える。リアフレーム２００ｂはさらにフレームボディ２４０ｂを備える。フレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂは概略板状の部材である。フレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂのそれぞれの中央部分には、保持されるべき基板Ｗを露出するための開口２６０ａおよび開口２６０ｂがそれぞれ形成されている。開口２６０ａおよび開口２６０ｂの形状は、基板Ｗのうちめっきされるべき領域の形状に対応していることが好ましい。たとえば基板Ｗが角形の場合、一般的にはめっきされるべき領域もまた角形である。したがって、図２の例では、開口２６０ａおよび開口２６０ｂは角形である。フレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間に基板Ｗを挟み込むことで、フレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂが協働して基板Ｗを保持する。基板Ｗを保持する部分の詳細については、図３を用いて後述する。

保持された基板Ｗの一つの面は、フレームボディ２４０ａに設けられた開口２６０ａを介して外部に露出する。保持された基板Ｗの他の面は、フレームボディ２４０ｂに設けられた開口２６０ｂを介して外部に露出する。したがって、基板ホルダ１がめっき液に浸漬された場合、基板Ｗの両面がめっき液に接触することとなる。換言すれば、図２の基板ホルダ１を用いることによって基板Ｗの両面をめっき加工することが可能である。なお、基板ホルダ１内の電気的な条件等を調整することによって、図２の基板ホルダ１を片面めっきのために用いることもできる。また、開口２６０ａおよび開口２６０ｂのどちらかのみを有するよう基板ホルダ１を構成してもよい（その場合、基板ホルダ１は片面めっき用のホルダとなる）。

フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとをクランプするために、基板ホルダ１は１つまたは複数のクランパ２９０を備える。クランパ２９０は、フロントフレーム２００ａ、より具体的にはフレームボディ２４０ａに取り付けられたフック部２５０と、リアフレーム２００ｂ、より具体的にはフレームボディ２４０ｂに取り付けられたプレート２７０とを有する。図２の例では、開口２６０ａの近くにクランパ２９０が設けられている。より具体的には、図２の例では角形の開口２６０ａのそれぞれの辺の中央の近くにクランパ２９０が設けられている。したがって、図２の例では合計で４つのクランパ２９０が設けられている。なお、図２Ａおよび図２Ｂでは代表して１つのクランパ２９０にのみ符号が付されている。

フック部２５０は、フレームボディ２４０ａに取り付けられるフックベース２５１と、フック本体２５２と、フック本体２５２をフックベース２５１に対して枢動可能に支持するシャフト２５３と、を備える。フック部２５０は、シャフト２５３を中心としてフック本体２５２を枢動させるためのレバー２５４をさらに有してもよい。フック本体２５２は基板ホルダ１の背面側、すなわちリアフレーム２００ｂの方向に向かって延びている。シャフト２５３は、保持されるべき基板の面と平行な面内で伸びている。保持されるべき基板の面と平行な面内における、シャフト２５３の長手方向の具体的な向きは、クランパ２９０によって異なってもよい。フックベース２５１、フック本体２５２、シャフト２５３およびレバー２５４の少なくともひとつはチタンまたはチタン合金から形成されていてよい。

フック部２５０はさらに、フック本体２５２の、後述するクロー２７１への引っ掛かりを維持する方向（図２Ｃのフック部２５０では反時計回り方向）に力を加える押圧部材２５５を備えてよい。フック本体２５２の引っ掛かりを維持するように押圧部材２５５がフック本体２５２に力を加えることにより、フック本体２５２がクロー２７１から外れてしまうことを防止することができる。押圧部材２５５は、たとえばバネであってよく、より具体的にはねじりバネであってよい。ねじりバネは、押圧部材２５５および他の部品の省スペース化に貢献する。したがって、押圧部材２５５としてねじりバネを採用することはホルダ厚を薄くすることに寄与し得る。なお、ホルダ厚を薄くすることが好ましい理由は後述されている。押圧部材２５５は、バネ以外のもの、たとえば電磁的な手段により動作する部材などであってもよい。

フレームボディ２４０ａにはポート２４１ａ（図２Ｃ参照）が設けられている。ポート２４１ａはフック本体２５２を取り付けるために設けられている。ポート２４１ａは、少なくともフック本体２５２が後述するプレート２７０の少なくとも一部にアクセスすること、より具体的にはフック本体２５２がプレート２７０のクロー２７１にアクセスすることを可能にするように構成される。フック部２５０は、ボルトなどによってポート２４１ａに取り付けられる（図１０参照）。ホルダ厚をなるべく薄くするため、フック部２５０がフレームボディ２４０ａから突出しないように、換言すればフック部２５０がフレームボディ２４０ａに埋没するように、基板ホルダ１（特に、基板ホルダ１のうちのフック部２５０およびポート２４１ａ）が構成されることが好ましい。また、フック部２５０がフレームボディ２４０ａから突出しないことによって、めっき液から基板ホルダ１を引き上げたときに基板ホルダ１に残留するめっき液の量を低減することができ得る。また、フック部２５０がフレームボディ２４０ａから突出しないことによって、フック部２５０とめっき槽の構成物等との干渉を回避し得る。

フレームボディ２４０ｂにはポート２４１ｂ（図２Ｃ参照）が設けられている。ポート２４１ｂの位置および個数はポート２４１ａの位置および個数に対応する。ポート２４１ｂにはボルトなどによりプレート２７０が取り付けられている（図１０参照）。プレート２７０には、フック本体２５２の枢動によりフック本体２５２が引っ掛けられるよう構成
されたクロー２７１が設けられている。クロー２７１はフロントフレーム２００ａの方向に向かって延びている。フック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられることでフレームボディ２４０ａがフレームボディ２４０ｂに対して固定される。フック本体２５２をクロー２７１に引っ掛けるときに、フレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間に基板Ｗが適切に配置されていれば、基板Ｗは基板ホルダ１によって保持されることとなる。ホルダ厚をなるべく薄くするため、プレート２７０がフレームボディ２４０ｂから突出しないように、換言すればプレート２７０がフレームボディ２４０ｂに埋没するように、プレート２７０およびポート２４１ｂが構成されることが好ましい。また、プレート２７０がフレームボディ２４０ｂから突出しないことによって、めっき液から基板ホルダ１を引き上げたときに基板ホルダ１に残留するめっき液の量を低減することができ得る。また、プレート２７０がフレームボディ２４０ｂから突出しないことによって、プレート２７０とめっき槽の構成物等との干渉を回避し得る。リアフレーム２００ｂに向かって延びているフック本体２５２もまたフレームボディ２４０ｂから突出しないように構成されていることが好ましい。

以上に述べたように、好ましい実施形態ではフック部２５０もプレート２７０も各フレームから突出しないように構成されている、すなわち各フレームに埋没している。本明細書では、このことを「クランパ２９０はフロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂに埋没している」と表現する。

フックベース２５１とフレームボディ２４０ａの間に弾性支持部材２８０が備えられていてもよい。弾性支持部材２８０は部材を弾性的に支持するための部材であり、「フローティング部材」とも呼ばれ得る。ここでの「フローティング」は「電気的なフローティング」ではないことに留意されたい（ただし、弾性支持部材２８０によって電気的なフローティングが実現されることは除外されない）。図２の例における弾性支持部材２８０はＯリングである。なお、図２ではＯリングを取り付けるための溝の図示は省略されている。Ｏリング以外にも、バネなどの弾性体を弾性支持部材２８０として用いることができる。プレート２７０とフレームボディ２４０ｂとの間にも弾性支持部材２８０が備えられていてよい。弾性支持部材２８０の詳細については後述する（図１０および図１１についての説明を参照）。

基板Ｗをめっきするための基板ホルダのうち、少なくともめっき液に浸漬される部分の厚さは可能な限り薄いことが望ましい。その主な理由は次の二点である。第１に、ホルダの厚さが大きいと、結果的にめっき槽の幅が大きくなり、装置が大型化してしまう。特に、基板ホルダ１が両面めっき用のホルダである場合、装置の大型化への影響が顕著である。第２に、ホルダの厚さが大きいと、基板Ｗ近傍のめっき液の撹拌が不十分になりやすい。また、基板ホルダ１のうちめっき液に浸漬される部分には突出部がないことが好ましい。突出部が基板ホルダ１の厚みを画定し得るためである。

図２の構成では、フック本体２５２はフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂのうちフック部２５０が取り付けられていない方に向かって延びている。そして、図２の構成では、クロー２７１はフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂのうちプレート２７０が取り付けられていない方に向かって延びている。よって、図２の構成は、フック本体２５２とクロー２７１などがフロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂから突出する長さをゼロにするか、少なくとも低減させ得る。換言すれば、基板ホルダ１を図２に示したように構成することで、めっき液に浸漬される部分（フレームボディ２４０ａ、フック部２５０、フレームボディ２４０ｂおよびプレート２７０）の厚さを薄くすることが可能である。また、図２のフック部２５０およびプレート２７０はそれぞれフレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂから突出していないという利点がある。

図２に示した実施形態では、レバー２５４をフレームボディ２４０ｂの方向、すなわち背面方向に押すことでフック本体２５２がクロー２７１から外されるこれに代え、レバー２５４を正面側に引っ張ることでフック本体２５２がクロー２７１から外されるよう、レバー２５４等を構成してもよい。ただし、レバー２５４を引っ張るための構成および制御は、レバー２５４を押すための構造および制御に対して複雑なものとなり得る。したがって、図２に示したように、レバー２５４を背面方向に押すことでフック本体２５２がクロー２７１から外されるようレバー２５４等を構成することが好ましい。

図２に示した実施形態では、フロントフレーム２００ａにフック部２５０が取り付けられ、リアフレーム２００ｂにプレート２７０が取り付けられている。代替として、フック部２５０はリアフレーム２００ｂに取り付けられてよく、プレート２７０はフロントフレーム２００ａに取り付けられていてもよい。換言すれば、あるフック部２５０はフロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂの一方に取り付けられ、当該フック部２５０に対応するプレート２７０はフロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂの他方に取り付けられる。さらに、クランパ２９０を複数有する基板ホルダ１の場合、フック部２５０をフロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂの双方に設けてもよい。その場合、フック部２５０の配置に対応するよう、プレート２７０もフロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂの双方に設けられる。フック本体２５２を枢動させる際の簡便さという観点からは、フロントフレーム２００ａにはフック部２５０およびプレート２７０のどちらか一種を、リアフレーム２００ｂには他の一種を設けることが好ましい。

＜基板Ｗを保持する部分の詳細について＞
次に、図３を用いて基板ホルダ１のうち基板Ｗを保持する部分の詳細を説明する。図３は基板ホルダ１のうち基板Ｗを保持する部分の側面断面図である。基板ホルダ１は基板Ｗの両面をめっきするためのホルダであるので、基板ホルダ１は基板Ｗの両面に電力を供給する必要がある。そこで、図３のフレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂにはそれぞれ基板用電極３２０が設けられている。フレームボディ２４０ａに設けられた基板用電極３２０は基板Ｗの表面（正面を向く面）と電気的に接続され、フレームボディ２４０ｂに設けられた基板用電極３２０は基板Ｗの裏面と電気的に接続されている。ただし、図３に示された構成以外の構成を採用することもできる。他の構成の例としては、フレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂのいずれかのみに基板用電極３２０が設けられており、当該基板用電極３２０が基板Ｗの両面に接触している構成が挙げられる。基板用電極３２０は、図示しない配線やバスバーなどの手段によって肩部電極２２０に電気的に接続されている。したがって、肩部電極２２０に供給された電力は、基板用電極３２０を介して基板Ｗに供給される。この際、肩部電極２２０と基板用電極３２０の対応関係は、図２Ａの左右の肩部電極２２０において、例えば左の肩部電極２２０が基板Ｗの表面に対応するフレームボディ２４０ａの基板用電極３２０に、右の肩部電極２２０が基板Ｗの裏面に対応するフレームボディ２４０ｂの基板用電極３２０に電力を供給するように、基板の表面、裏面に対し独立して電力を供給できるように構成してもよい。

上述のとおり、基板用電極３２０には電力が供給される。したがって、基板ホルダ１がめっき液に浸漬されたときであっても基板用電極３２０にめっき液が触れないように基板ホルダ１を構成する必要がある。そこで、基板ホルダ１は、基板用電極３２０が存在する空間をシールするためのアウタシール３００およびインナシール３１０を備える。インナシール３１０は「第１のシール部材」と言及されてもよく、アウタシール３００は「第２のシール部材」と言及されてもよい。アウタシール３００は基板Ｗの外側においてフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間の隙間をシールするように構成されている。アウタシール３００はフレームボディ２４０ａに設けられていてもよく、フレーム
ボディ２４０ｂに設けられていてもよい。換言すれば、基板ホルダ１は、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂの一方に取り付けられ、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂの他方に接触するように構成されたアウタシール３００を備えてよい。一方で、インナシール３１０はフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂのそれぞれに設けられている。インナシール３１０は、基板Ｗが保持された場合に基板Ｗと接触する。すなわち、フレームボディ２４０ａに設けられたインナシール３１０はフレームボディ２４０ａと基板Ｗとの間の隙間をシールするよう構成されている。フレームボディ２４０ｂに設けられたインナシール３１０はフレームボディ２４０ｂと基板Ｗとの間の隙間をシールするよう構成されている。アウタシール３００およびインナシール３１０は基板Ｗの厚さ方向（基板Ｗの面と垂直な方向）に弾性的に変形可能である。基板Ｗは、インナシール３１０と基板Ｗとの間の接触圧によってフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間に保持される。なお、図３は模式図に過ぎず、実際の構成とは異なり得ることに留意されたい。たとえば、アウタシール３００およびインナシール３１０はそれぞれのシールホルダにより保持されていてよい。たとえば、インナシール３１０はフロントフレーム２００ａまたはリアフレーム２００ｂのいずれか一方に設けられていてもよい。

＜スリーブについて＞
前述のとおり、フック本体２５２はシャフト２５３を中心に枢動するよう構成されている。ここで、フック本体２５２とシャフト２５３とが直接接触している場合、フック本体２５２とシャフト２５３の摺動による抵抗が大きくなる。フック本体２５２とシャフト２５３の摺動抵抗が大きいとフック本体２５２の枢動が妨げられるおそれがある。また、摺動抵抗が大きいと、フック本体２５２および／またはシャフト２５３の摩耗および／またはフック本体２５２とシャフト２５３との固着を引き起こすおそれがある。特に、フック本体２５２とシャフト２５３との材質が同一である場合、部品間の焼付きまたはカジリと呼ばれる現象が起こり、摺動抵抗が大きくなりやすいと考えられる。そこで、フック部２５０は、シャフト２５３のためのスリーブ４００をさらに備えてよい。図４はフック部２５０の一部（フック本体２５２、シャフト２５３、レバー２５４およびスリーブ４００）を示す側面断面図である。スリーブ４００の材質は少なくともフック本体２５２の材質およびシャフト２５３の材質と異なる。スリーブ４００の材質はたとえばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂であってよい。フック本体２５２とシャフト２５３との間にスリーブ４００を介在させることで、フック本体２５２の滑らかな枢動を実現することが可能となる。

＜メカニカルストップ機能について＞
次に、図５を用いてフック部２５０およびプレート２７０のメカニカルストップ機能について説明する。図５はフック部２５０およびプレート２７０を示す側面断面図である。図５にはさらに、フック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられている場合のフック本体２５２、シャフト２５３およびレバー２５４の位置が想像線で図示されている（それぞれ位置２５２’、位置２５３’および位置２５４’）。

フック本体２５２をクロー２７１に引っ掛けようとする場合、フック本体２５２はクロー２７１より背面側（図５の右方向）に位置させられる必要がある。フック本体２５２が位置２５２’より正面側に位置する場合にフック本体２５２を枢動させると、フック本体２５２とクロー２７１が衝突するためである。したがって、フック本体２５２をクロー２７１に引っ掛けようとする場合には、フレームボディ２４０ａをフレームボディ２４０ｂに向けて、または、フレームボディ２４０ｂをフレームボディ２４０ａに向けて押し込む必要がある。なお、押し込む方向は相対的なものにすぎないので、以下では代表して「フレームボディ２４０ａをフレームボディ２４０ｂに向けて押し込む」と表現する。ここで、フック本体２５２が位置２５２’にあるときには既にアウタシール３００とインナシー
ル３１０にはシール圧が印加されている。したがって、フレームボディ２４０ａをフレームボディ２４０ｂに向けて押し込む場合、アウタシール３００およびインナシール３１０などからの反力に逆らう必要がある。

フック本体２５２をクロー２７１から外す場合にも、フレームボディ２４０ａをフレームボディ２４０ｂに向けて押し込むことが好ましい。フック本体２５２およびクロー２７１がアウタシール３００およびインナシール３１０などから受ける反力を相殺するためである。

フレームボディ２４０ａをフレームボディ２４０ｂに向けて押し込んだ場合、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとが近づく。フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとが想定以上に近づいてしまうと、基板ホルダ１の部材および基板Ｗに想定以上の圧力が印加されることになる。想定以上の圧力が各部材および基板に印加されることは、各部品および基板の故障を招き得る。

フレームボディ２４０ａをフレームボディ２４０ｂに向けて押し込んだ際の各部品の故障を防止するため、フック部２５０およびプレート２７０はメカニカルストップ機能を有している。具体的には、フレームボディ２４０ａをフレームボディ２４０ｂに向けて過度に押し込んだ場合に、フックベース２５１とプレート２７０とが衝突するように基板ホルダ１が構成される。図５の例では、衝突領域５００においてフックベース２５１とプレート２７０とが衝突している。図５に図示された領域以外の領域が衝突領域５００であってもよい。フックベース２５１とプレート２７０とが衝突するようにフック部２５０およびプレート２７０を構成することにより、最大押し込み長さ５１０が画定され、フレームボディ２４０ａが必要以上に押し込まれることがなくなる。最大押し込み長さ５１０は、たとえば０．２ｍｍであってよく、たとえば０．５ｍｍであってよく、たとえば１．０ｍｍであってよく、たとえば３．０ｍｍであってよい（図５の最大押し込み長さ５１０は誇張して描かれている）。

＜セミロック機構について＞
図２に示したフック部２５０と図２に示したプレート２７０とを用いる場合、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂは（１）基板Ｗを保持できる状態、すなわちフック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられている状態（以下「（クランパ２９０がロックされた状態」という）と、（２）フック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられていない状態（以下「クランパ２９０がアンロックされた状態」という）と、の二つの状態をとる。

クランパ２９０をロックする際にはアウタシール３００などから生じる反力に逆らってフレームボディ２４０ａを押し込む必要がある。フレームボディ２４０ａの押し込みには強い力が必要であるので、フレームボディ２４０ａの押し込みは大きな手間となり得る。また、基板Ｗを保持していない条件でクランパ２９０をロックすると、図３に示す基板用電極３２０同士および／またはインナシール３１０同士などが互いに直接接触し合う可能性がある。基板用電極３２０同士および／またはインナシール３１０同士などが直接接触すると、各部位の機能を阻害し、かつ／または各部位の性能および耐久性を低下させる可能性がある。したがって、通常、基板Ｗを保持する必要がない場合にはクランパ２９０はロックされないことが好ましい。さらに、基板用電極３２０、インナシール３１０および／またはアウタシール３００の洗浄のために、洗浄すべき部位（基板用電極３２０等）が露出された状態でフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂが保持されることが好ましい。したがって、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとは離間して保持されることが好ましい。一方で、基板Ｗを保持していない基板ホルダ１のすべてのクランパ２９０がアンロックされていると、フロントフレーム２００ａはリアフレーム２０
０ｂから分離されることとなる（ただし、クランパ２９０以外の固定手段は存在しないものと仮定している）。フロントフレーム２００ａがリアフレーム２００ｂから分離している場合、両者を独立して移動させ、独立して保管する必要が生じ得る。また、フロントフレーム２００ａがリアフレーム２００ｂから分離している場合、基板ホルダ１に基板Ｗを保持させる前にフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとを組み合わせる必要が生じる。

以上の観点から、クランパ２９０は「セミロック状態」をとることができるように構成されていることが好ましい。本明細書における「セミロック状態」とは「ロックはされていないがフレーム同士が分離することのない状態」をいう。基板ホルダ１が基板Ｗを保持していない場合にクランパ２９０をセミロック状態とすることで、フレームボディ２４０ａを押し込む手間を削減しつつ、容易にかつ高スループットで基板ホルダ１を搬送することができ得る。

セミロック状態をとることができるクランパ２９０（フック部２５０およびプレート２７０）について、図６および図７を用いて説明する。以下では、セミロック状態を取ることができるフック部２５０、プレート２７０およびクランパ２９０には符号の末尾に「ＳＬ」（“S”emi-“L”ock）を付して区別する（たとえば「クランパ２９０ＳＬ」）。ただし、特に言及がない限り、「ＳＬ」が付されていない符号は、セミロック状態を取ることができる部材とセミロック状態をとることができない部材の双方を指す（たとえば「プレート２７０」は、図２のプレート２７０と図７のプレート２７０ＳＬの双方を意味する）。

図６Ａ、図６Ｂおよび図６Ｃはそれぞれ異なった角度から見たプレート２７０ＳＬの斜視図である。図７Ａはフック部２５０ＳＬの斜視図である。図７Ｂは図７Ａからフックベース２５１を消去した図である。図７Ｃは図７Ａからフック本体２５２およびレバー２５４を消去した図である。図６および図７では弾性支持部材２８０は図示されていないことに留意されたい。

プレート２７０ＳＬは、２つのクロー２７１を有する。具体的には、プレート２７０ＳＬは、ロック用クロー２７１ａとセミロック用クロー２７１ｂを有する。ロック用クロー２７１ａを「第１のクロー２７１ａ」と、セミロック用クロー２７１ｂを「第２のクロー２７１ｂ」と称してもよい。ロック用クロー２７１ａは、図２に示されたクロー２７１と類似している。すなわち、ロック用クロー２７１ａは、フック本体２５２がロック用クロー２７１ａに引っ掛けられた場合に、基板ホルダ１が基板Ｗを保持することができるように構成されている。セミロック用クロー２７１ｂは、フック本体２５２がセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けられた場合のフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂの間の距離が、フック本体２５２がロック用クロー２７１ａに引っ掛けられた場合のフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂの間の距離よりも大きくなるように構成されている。簡単に表現すれば、セミロック用クロー２７１ｂの高さはロック用クロー２７１ａの高さより高い（ただし、ここでいう「高さ」は必ずしも鉛直方向とは一致しない）。表現の正確さの犠牲のもと、わかりやすく表現するならば、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとの間の距離は、ロック状態よりセミロック状態の方が大きい。

図７のフック部２５０ＳＬはおおよそ図２のフック部２５０と同等の構成である。しかし、図７のフック部２５０ＳＬは、Ｘ方向（シャフト２５３の長手方向）に伸長されたフック本体２５２を備える点で図２のフック部２５０と異なる。フック本体２５２が伸長されていることに伴い、フック本体２５２は２本のシャフト２５３により支持されている。シャフト２５３のそれぞれは同軸的に配置されている。２本のシャフト２５３に代え、伸長された１本のシャフト２５３を用いることもできる。

伸長されたフック本体２５２は、図６のロック用クロー２７１ａおよびセミロック用クロー２７１ｂに対して選択的に引っ掛けられ得る。フック本体２５２がロック用クロー２７１ａに引っ掛けられた場合、クランパ２９０はロックされる。フック本体２５２がセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けられた場合、フレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間の距離は、クランパ２９０がロックされている場合の距離より大きくなる。すなわち、フック本体２５２がセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けられた場合、クランパ２９０は「セミロック」される。セミロック状態では、アウタシール３００およびインナシール３１０は全く圧縮されていないか、わずかに圧縮されている状態か、または、互いに離間している状態である。よって、アウタシール３００およびインナシール３１０から生じる反力は無視できるほど小さいか、またはゼロである。したがって、アンロック状態からセミロック状態に遷移させる際にフレームボディ２４０ａを強く押し込む必要はない。一方で、フック本体２５２がセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けられているので、フロントフレーム２００ａがリアフレーム２００ｂから分離することはない。

図６のプレート２７０ＳＬでは、ロック用クロー２７１ａとセミロック用クロー２７１ｂとが、Ｘ方向（フック本体２５２の枢動軸と平行な方向、すなわちシャフト２５３の長手方向）において異なった位置に形成されている。ロック用クロー２７１ａとセミロック用クロー２７１ｂのＸ位置をずらして形成することによって、プレート２７０の製造が容易になる。また、ロック用クロー２７１ａとセミロック用クロー２７１ｂのＸ位置をずらして形成することによって、プレート２７０ＳＬの高さ（Ｙ方向に沿った長さ）を低くすることが容易となる。プレート２７０ＳＬの高さを低くすることは、ホルダ厚を薄くすることに寄与し得る。ただし、ロック用クロー２７１ａとセミロック用クロー２７１ｂのＸ位置をずらして形成する必要はない。たとえば、ロック用クロー２７１ａと同一のＸ位置にセミロック用クロー２７１ｂを形成してもよい。その場合、セミロック用クロー２７１ｂはロック用クロー２７１ａの一部から延ばされ得る。また、フック本体２５２は伸長されている必要はない。たとえばロック用クロー２７１ａと同一のＸ位置にセミロック用クロー２７１ｂが形成されている場合、図２で示したものとまったく同一のフック部２５０がフック部２５０ＳＬとして採用され得る。

図７では伸長されたフック本体２５２が示されている。伸長されたフック本体２５２の形状（特に断面形状）は、場所ごとに異なっていてよい。たとえば伸長されたフック本体２５２のうちロック用クロー２７１ａに引っ掛けられる部分の形状と、その他の部分の形状とが異なっていてよい。また、図７に示された単一の伸長されたフック本体２５２に代え、別個独立した複数のフック本体２５２を備えるフック部２５０ＳＬが用いられてもよい。

図１２は、クランパ２９０として図６のプレート２７０ＳＬおよび図７のフック部２５０ＳＬを備える基板ホルダ１の部分断面図である。ただし、図示の便宜上、図６および図７に示されたプレート２７０ＳＬおよびフック部２５０ＳＬの形状と、図１２に示されたそれらの形状とは完全に同一ではない。

図１２ではクランパ２９０はセミロックされている。すなわち、図１２ではフック本体２５２がセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けられている。なお、図１２に示される通り、フック本体２５２とセミロック用クロー２７１ｂとの間にはある程度のギャップが設けられていてもよい。フック本体２５２、ひいてはフレームボディ２４０ａは、フック本体２５２とセミロック用クロー２７１ｂとの間のギャップの範囲で自由に移動することが可能であってもよい。本明細書では、図１２のようにフック本体２５２とセミロック用クロー２７１ｂとの間にギャップがある状態であっても、フック本体２５２はセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けられているものとみなす。ギャップが存在することによって、
フック本体２５２をセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けることが容易となる。なお、図１２ではフック本体２５２とセミロック用クロー２７１ｂとの間のギャップが誇張して示されている。誇張の結果、図１２では、フック本体２５２とセミロック用クロー２７１ｂは接触していない。しかし、実際の装置においてはフック本体２５２の一部とセミロック用クロー２７１ｂの一部が接触していてもよい。

クランパ２９０がセミロックされている場合には、フレームボディ２４０ａがフレームボディ２４０ｂから遠ざかると、フック本体２５２がセミロック用クロー２７１ｂに衝突する。したがって、セミロック中にフレームボディ２４０ａがフレームボディ２４０ｂから遠ざかる動き（またはフレームボディ２４０ｂがフレームボディ２４０ａから遠ざかる動き）は、セミロック用クロー２７１ｂによって制限される。一方で、クランパ２９０がセミロックされている場合にフレームボディ２４０ａがフレームボディ２４０ｂに向かって近づくと、フック本体２５２とロック用クロー２７１ａが衝突する。したがって、セミロック中にフレームボディ２４０ａがフレームボディ２４０ｂに近づこうとする動き（またはフレームボディ２４０ｂがフレームボディ２４０ａに近づこうとする動き）は、ロック用クロー２７１ａによって制限される。代替として、フック本体２５２と、ロック用クロー２７１ａ以外の部品が衝突するよう基板ホルダ１を構成することによって、フレームボディ２４０ａがフレームボディ２４０ｂに近づこうとする動きが制限されてもよい。

前述のとおり、セミロック状態においては、インナシール３１０、アウタシール３００、基板用電極３２０の少なくとも一つ、好ましくはすべてが露出されている状態（部材同士が直接接触していない状態）であることが好ましい。したがって、セミロック状態のフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの距離がインナシール３１０等の露出のために十分な距離となるよう、セミロック用クロー２７１ｂが構成されることが好ましい。

セミロック状態では、フレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂがガタつき得る。ガタつきが生じた場合、基板ホルダ１の搬送や基板Ｗの着脱に悪影響を及ぼし得る。そこで、基板ホルダ１は、セミロック状態におけるフレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂのガタつきを抑制するためのピン１２１０をさらに備えてよい。フレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂのそれぞれは、ピン１２１０のためのピン受け１２００ａおよびピン受け１２００ｂを備えてよい。ピン１２１０は基板Ｗと垂直な方向（Ｙ軸方向）に延びている。したがって、ピン１２１０はフレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂの基板Ｗと平行な方向（Ｘ軸方向およびＺ軸方向）のガタつきを抑制することができる。

図１２のピン受け１２００ａおよびピン受け１２００ｂは貫通穴である。図１２のピン受け１２００ａおよびピン受け１２００ｂの内径はピン１２１０の外径よりかなり大きく図示されているが、これは図示の便宜を図ったものに過ぎない。これらの内径または外径は、許容され得るガタつきの量に応じて選択されてよい。これらの内径または外径は、すきまばめに適したように選択されてもよく、しまりばめに適したように選択されてもよく、中間ばめに適したように選択されてもよい。ただし、セミロック状態から他の状態に容易に遷移できるよう、ピン１２１０はある程度自由に取り外せる構成であることが好ましい。貫通穴のピン受け１２００ａおよびピン受け１２００ｂに代え、止まり穴のピン受けを用いてもよい。図１２のピン１２１０はフレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂと別個独立した部品である。これに代え、フレームボディ２４０ａまたはフレームボディ２４０ｂと一体となったピン１２１０を用いてもよい。この場合、ピン受け１２００ａおよびピン受け１２００ｂのいずれか一方は不要となる。その他、任意の形式のピンおよびピン受けが用いられてよい。

ストッカ３０に保管されている基板ホルダ１のクランパ２９０はセミロック状態にあることが好ましい。セミロック状態で保管されている基板ホルダ１は、図示しない基板脱着機構まで搬送される。基板脱着機構はクランパ２９０の状態（ロック状態、セミロック状態、アンロック状態）を選択することができる。基板脱着機構は、基板Ｗを適切な位置に配置し、クランパ２９０をロックすることで、基板ホルダ１に基板を保持させることができる。基板脱着機構は、クランパ２９０のロックを解除することによって、基板ホルダ１による基板Ｗの保持を解除することも可能である。クランパ２９０の状態は、レバー２５４によるフック本体２５２の枢動を解除した際のフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの位置関係（フレームボディ２４０ａがフレームボディ２４０ｂに向けてどれだけ押し込まれているか）によって決定される。

図８は３つのクランパ２９０と、１つのクランパ２９０ＳＬと、を備える基板ホルダ１の正面図である。図８に示すように、基板ホルダ１が複数のクランパ２９０を備える場合、クランパ２９０のうち少なくともひとつがセミロック状態をとることができるように構成されていてよい。セミロック状態をとることができるクランパの個数を増やすことで、セミロック状態の安定度を高めることができる。クランパ２９０ＳＬの個数は、たとえば３つ以上であってよい。

＜シールつぶし代の均一化について＞
アウタシール３００およびインナシール３１０のつぶし代は、種々の条件によって変化し得る。たとえば開口２６０ａが角形である場合、フロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂの剛性は位置によって変わり得る。たとえば、開口２６０ａの角部付近の剛性は、開口２６０ａの各辺の中央付近の剛性より高くなり得る。クランパ２９０をロックした場合のフレームの撓み量は、フレームの剛性の高低によって変わり得る。特に、ホルダ厚を薄くするために薄いフロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂが用いられた場合、フレームの剛性が低くなり得る。フレームの剛性が低くなると、フレームの撓み量が大きくなり得る。フロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂが撓むと、フロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂの間の距離が位置に応じて変化し得る。フロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂとの間の距離が変わると、シール圧もまた変化し得る。たとえば、開口２６０ａの角部付近におけるシール圧が他の位置におけるシール圧より高くなる可能性がある。

一方で、シールつぶし代は、クランパ２９０からの距離によっても変わり得る。たとえば図２に示された構成では、角形の開口２６０ａの各辺の中央付近に一つずつ、計四つのクランパ２９０が配置されている。しかし、図２の構成では、場所によってクランパ２９０までの距離が大きく異なる。したがって、図２の４つのクランパ２９０の全てをロックすると、シール圧が不均一になる可能性ある。すなわち、図２の構成では、クランパ２９０から遠い部分、すなわち開口２６０ａの角部付近におけるシール圧が他の位置におけるシール圧より低くなる可能性がある。

アウタシール３００およびインナシール３１０のつぶし代を均一化する（「シール圧を均一化する」ともいえる）ためには、開口２６０ａの各辺に沿って複数のクランパ２９０が並べられていることが好ましい。図９は、開口２６０ａの一辺に沿って３つのクランパ２９０が整列しているクランパ２９０を備える基板ホルダ１の正面図である。図９のクランパ２９０の総数は３（個／辺）×４（辺）＝１２（個）である。なお、１２個のクランパ２９０の内、任意の個数のクランパ２９０がクランパ２９０ＳＬであってよい。

図９のように基板ホルダ１を構成すると、開口２６０ａの角部付近におけるシール圧が他の位置におけるシール圧より高くなり得る。図９の例では、わずかながら、開口２６０ａの角部付近にクランパ２９０が集中しており、かつ、前述のとおり開口２６０ａの角部
付近の剛性は他の箇所と比較して高くなり得るためである。そこで、各辺の中央付近に位置するクランパ２９０がアウタシール３００およびインナシール３１０の強い圧縮を引き起こすよう（シールのつぶし代が増えるよう）、各辺の中央付近に位置するクランパ２９０の特性（フック本体２５２およびクロー２７１の形状など）を調整してもよい。

それぞれのクランパ２９０の特性を調整することで、アウタシール３００およびインナシール３１０のつぶし代をさらに均一化することができる。どのクランパ２９０の特性をどのように調整するかは、シール圧の分布によって決定され得る。シール圧の分布は、開口２６０ａおよび開口２６０ｂの形状、クランパ２９０の個数、位置および特性ならびにアウタシール３００およびインナシール３１０の材質、形状および特性など種々の要因によって変化し得る。

＜弾性支持部材２８０について＞
図１０を用いて、弾性支持部材２８０の役割について説明する。図１０は基板ホルダ１の模式的な断面図である。ただし、図１０では各部品は簡略化されて図示されている。さらに、図１０ではいくつかの部品（アウタシール３００など）の図示を省略している。また、図１０のクランパ２９０はロック状態にある。

基板ホルダ１が保持すべき基板Ｗの厚さは多岐にわたる。たとえば基板Ｗの厚さは、その種類によって、０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下の値となり得る。ただし、「基板Ｗの厚さ」とは、インナシール３１０によって挟まれる部分の基板Ｗの厚さを指す。更に、もしインナシール３１０と基板Ｗとの間にさらに他の部品が挟み込まれているのであれば、当該他の部品の厚さも「基板Ｗの厚さ」に含むこととする。基板ホルダ１は、基板ホルダ１の弾性部材が変形することにより、厚さが異なる基板Ｗを保持することができる。

仮に弾性支持部材２８０（および後述するカラー１０１０）が存在しない場合、インナシール３１０の変形が基板Ｗの厚さの変化を補償することとなる。したがって、弾性支持部材２８０が存在しない場合に多様な厚さの基板を保持することができるようにするためには、インナシール３１０のシール性能を担保しつつ変形可能な量を大きくしなければならない。インナシール３１０の変形可能な量を大きくするためには、インナシール３１０の材質を軟質な材質とする必要がある。軟質なインナシール３１０を用いると、特に基板Ｗの厚さが薄い場合、インナシール３１０と基板Ｗとの間のシール圧が不足する可能性がある。したがって、インナシール３１０の変形のみで基板Ｗの厚さの変化を補償しようとした場合、補償できる基板Ｗの厚さの範囲は狭くなり得る。

そこで図１０の基板ホルダ１は弾性支持部材２８０を備える。具体的には、図１０では、２つの弾性支持部材２８０がフックベース２５１とフレームボディ２４０ａの間、および、プレート２７０とフレームボディ２４０ｂの間に設けられている。図１０の例では、弾性支持部材２８０はＯリングである。弾性支持部材２８０は隙間をシールすることを目的にした部材ではないので、弾性支持部材２８０としてＯリング以外の弾性体、たとえばバネなど、を採用することもできる。ただし、弾性支持部材２８０が隙間をシールする機能を併せ持つことは排除されない。それぞれの弾性支持部材２８０は、フレームボディ２４０ａとフックベース２５１、ならびにフレームボディ２４０ｂとプレート２７０をそれぞれ弾性的に固定している。また、弾性支持部材２８０は基板Ｗの厚さが変化した際のインナシール３１０の変形を補うために設けられる部材である。したがって、弾性支持部材２８０は、少なくとも基板Ｗの厚さ方向（基板Ｗの面に垂直な方向）に変形可能である。換言すれば、弾性支持部材２８０は、少なくともインナシール３１０の変形可能な方向に変形可能である。

フックベース２５１およびプレート２７０のそれぞれは、固定具１０００（ボルトなど
）によって弾性支持部材２８０を挟んだ状態で、フレームボディ２４０ａまたはフレームボディ２４０ｂに固定される。固定具１０００の先端がフレームボディ２４０ａまたはフレームボディ２４０ｂに締結されている一方で、フレームボディ２４０ａがフックベース２５１に対してＹの負の方向に移動し、フレームボディ２４０ｂがプレート２７０に対してＹの正方向に移動することが許容されている。したがって、ここでの「固定」という用語は「緊密な固定」に限られない。むしろ、ここでの「固定」という用語は「フック部２５０およびプレート２７０がポート２４１ａおよびポート２４１ｂから離脱し得ない程度にフック部２５０およびプレート２７０を固定すること」を意味する。

弾性支持部材２８０を設けた場合、インナシール３１０の変形および弾性支持部材２８０の変形が基板Ｗの厚さの変化を補償することとなる。弾性支持部材２８０が設けられていない場合と比較して、特に厚い基板を保持する際に、インナシール３１０の変形量は小さくなる。よって、弾性支持部材２８０を設けることによって、補償できる基板Ｗの厚さの範囲を大きくすることが可能となり得る。「補償できる基板Ｗの厚さの範囲を大きくすること」は、「用いることができる基板Ｗの厚さの範囲を大きくする」または「対応することができる基板Ｗの厚さの範囲を大きくする」と言い換えることもできる。また、弾性支持部材２８０は、フロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂの位置による剛性の差によって生じるアウタシール３００およびインナシール３１０のつぶし代のばらつきを緩和する効果も併せ持っている。すなわち、弾性支持部材２８０によって、シール圧力を均一化することが可能となる。

また、図１０の例では、２つの弾性支持部材２８０がフックベース２５１とフレームボディ２４０ａの間、および、プレート２７０とフレームボディ２４０ｂの間に設けられている。弾性支持部材２８０を基板Ｗの正面側および背面側の双方に設けることで、弾性支持効果を最大限発揮することができる。正面側および背面側の双方に弾性支持部材２８０を設けた場合、正面側および背面側のいずれか一方のみに弾性支持部材２８０を設けた場合と比べ、弾性支持部材２８０のトータルでの変形量が倍になるためである。ただし、弾性支持部材２８０をフックベース２５１とフレームボディ２４０ａの間、および、プレート２７０とフレームボディ２４０ｂの間のいずれか一方のみに設けてもよい。

基板ホルダ１が基板Ｗを保持した際に、ロック用クロー２７１ａとフック本体２５２は互いに係合しているので、フックベース２５１とプレート２７０の距離は不変である（ただし、部品の撓み、熱膨張、微小な振動などによる距離の変化は許容される）。一方、フレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂの位置は、インナシール３１０および弾性支持部材２８０から受ける反力がバランスする位置となる（基板ホルダ１の構成によっては、各フレームはアウタシール３００からの反力も受け得るが、説明の簡便のため割愛する）。図１０は、標準的な厚さの基板Ｗを保持した状態を模擬的に示している。標準よりも厚い基板を保持する際には、弾性支持部材２８０もより圧縮されるので、弾性支持部材２８０がなくインナシール３１０のみで基板を挟持した場合よりも厚い基板を保持することが可能になる。標準よりも薄い基板を保持する際には、弾性支持部材２８０の圧縮が弱まることにより、弾性支持部材２８０がなくインナシール３１０のみで基板を挟持した場合よりも薄い基板を保持することが可能になる。さらに、固定具１０００のフレームボディ２４０ａ及びフレームボディ２４０ｂに対する締め込み深さは、設計上管理されていることが望ましい。なぜならば、固定具１０００がフックベース２５１あるいはプレート２７０よりも予期せず突出したり、あるいは固定具１０００（より具体的には固定具１０００の頭部の下面）がフックベース２５１あるいはプレート２７０とＹ方向に接触してしまうことによって、保持可能な基板の厚み範囲が変わってしまうことは望ましくないからである。言い換えれば、固定具１０００のフレームボディ２４０ａ及びフレームボディ２４０ｂに対する締め込み深さは、設計上管理されていないと、基板Ｗを保持する際の弾性的な条件が変わりうる。そのため、本実施形態では、スリーブ状のカラー１０１０を固定
具１０００の頭部と、フレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂとの間にそれぞれ設けている。これにより、固定具１０００のフレームボディ２４０ａ及びフレームボディ２４０ｂに対する締め込み深さを一定にしている。カラー１０１０は剛体とみなせる材質で形成されている。また、カラー１０１０はフレームボディ２４０ａに対するフックベース２５１のＸＺ面内の位置、および、フレームボディ２４０ｂに対するプレート２７０のＸＺ面内の位置を定めるように構成されてもよい。

フックを機械的に引っ掛けるのではなく、磁力によってフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとを固定する基板ホルダ１にも弾性支持部材２８０を設けることができる。図１１は、クランパ２９０として少なくとも１対のマグネットクランパ１１００を備える基板ホルダ１の断面図である。マグネットクランパ１１００同士は磁力によって吸着するよう構成される。また、マグネットクランパ１１００のそれぞれはポート２４１ａおよびポート２４１ｂに取り付けられている。マグネットクランパ１１００は、図１０で示したような固定具１０００などによって固定されていてよい。図１０の場合と同様に、マグネットクランパ１１００と、フレームボディ２４０ａまたはフレームボディ２４０ｂとの間には弾性支持部材２８０が設けられている。図１１の例においても、弾性支持部材２８０を設けることによって、インナシール３１０と基板Ｗとの間のシール圧不足を緩和すること、ひいては補償できる基板Ｗの厚さの範囲を大きくすることが可能となり得る。

以上説明してきた実施形態では、高さの異なるロック用クロー２７１ａとセミロック用クロー２７１ｂを有するが、他の実施形態として、高さの異なるロック用のフック本体とセミロック用のフック本体を設けるようにしてもよい。この場合、ロック用のフック本体とセミロック用のフック本体を１つのレバーで回動するように１つのフック部としてもよく、あるいは、ロック用のフック本体とセミロック用のフック本体を別々のフック部としてそれぞれのレバーで回動させるようにしてもよい。

以上、いくつかの本発明の実施形態について説明してきた。しかし、上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

この基板ホルダは、セミロック状態を実現することができるという効果を一例として奏
する。

さらに本願は、一実施形態として、フロントフレームおよび／またはリアフレームは、基板を露出するための開口を備える、基板ホルダを開示する。

この開示内容により、基板ホルダの詳細が明らかにされる。

さらに本願は、一実施形態として、フック部は、フック本体のクローへの引っ掛かりを維持する方向に力を加える押圧部材を備える、基板ホルダを開示する。

この基板ホルダは、フック本体とクローの引っ掛かりが解除されることを防止することができるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、押圧部材はねじりバネである基板ホルダを開示する。

この基板ホルダは、ホルダ厚を薄くし得るという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、フック本体の枢動軸と平行な方向に沿った第２のクローの位置は、フック本体の枢動軸と平行な方向に沿った第１のクローの位置と異なる、基板ホルダを開示する。

この基板ホルダは、プレートの製造およびプレートの高さを低くすることの少なくとも一方を容易にし得るという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、フック部は、フック本体をフックベースに対して枢動可能に支持するシャフトと、シャフトとフック本体の間に設けられたスリーブであって、スリーブの材質はシャフトの材質およびフック本体の材質と異なる、スリーブと、を備える、基板ホルダを開示する。

この基板ホルダは、フック部のかじりを防止することができるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、フック部およびプレートの少なくとも一方は、弾性支持部材を介してフロントフレームおよびリアフレームのどちらかに取り付けられている、基板ホルダを開示する。

この基板ホルダは、対応することができる基板Ｗの厚さの範囲を大きくすることができるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、フロントフレームおよび／またはリアフレームは、基板が保持された場合に基板と接触する第１のシール部材を備えている、基板ホルダを開示する。

さらに本願は、一実施形態として、フロントフレームとリアフレームの一方に取り付けられ、フロントフレームとリアフレームの他方に接触するように構成された第２のシール部材を備えている、基板ホルダを開示する。

さらに本願は、一実施形態として、フック部およびプレートは固定具によってフロントフレームおよびリアフレームのどちらかに取り付けられている、基板ホルダを開示する。

これらの開示内容により、基板ホルダの詳細が明らかにされる。

さらに本願は、一実施形態として、フロントフレームをリアフレームに向けて押し込んだ場合にフックベースとプレートが衝突するよう構成されている、基板ホルダ。

この基板ホルダは、フレームを押し込む際の基板ホルダおよび基板の故障を防止することができるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、クランパは、フロントフレームおよびリアフレームに埋没している、基板ホルダを開示する。

この基板ホルダは、ホルダ厚を薄くすることおよび基板ホルダに残留するめっき液の量を低減することの少なくとも一方を実現し得るという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、フレーム間に基板を挟むことによって基板を保持するための基板ホルダであって、基板ホルダは、フロントフレームと、リアフレームと、フロントフレームとリアフレームの少なくとも一方に取り付けられ、基板と接触するように構成された第１のシール部材と、フロントフレームとリアフレームとをクランプするための、１つまたは複数のクランパと、を備え、クランパは弾性支持部材を介して前記フロントフレームまたは前記リアフレームに取り付けられている、基板ホルダを開示する。

さらに本願は、一実施形態として、第１のシール部材は、フロントフレームとリアフレームのそれぞれに取り付けられている、基板ホルダを開示する。

さらに本願は、一実施形態として、クランパの一部は第１の弾性支持部材を介してフロントフレームに取り付けられており、クランパの他の一部は第２の弾性支持部材を介してリアフレームに取り付けられている、基板ホルダを開示する。

さらに本願は、一実施形態として、弾性支持部材は、第１のシール部材の変形可能な方向に変形可能である、基板ホルダを開示する。

これらの開示内容により、弾性支持部材を介して取り付けられたクランパを備える基板ホルダの詳細が明らかにされる。

Ｗ…基板
１…基板ホルダ
２５…カセットテーブル
２５ａ…カセット
２７…基板搬送装置
２８…走行機構
２９…基板脱着機構
３０…ストッカ
３２…プリウェット槽
３３…プリソーク槽
３４…プリリンス槽
３５…ブロー槽
３６…リンス槽
３７…基板ホルダ搬送装置
３８…オーバーフロー槽
３９…めっき槽
５０…洗浄装置
５０ａ…洗浄部
１００…めっき装置
１１０…ロード／アンロード部
１２０…処理部
１２０Ａ…前処理・後処理部
１２０Ｂ…処理部
１７５…コントローラ
１７５Ａ…ＣＰＵ
１７５Ｂ…メモリ
１７５Ｃ…制御部
２００ａ…フロントフレーム
２００ｂ…リアフレーム
２１０ａ、ｂ…アーム部
２２０…肩部電極
２３０ａ、ｂ…配線格納部
２４０ａ、ｂ…フレームボディ
２４１ａ、ｂ…ポート
２５０（２５０ＳＬ）…フック部
２５１…フックベース
２５２…フック本体
２５３…シャフト
２５２’、２５３‘、２５４’…フック本体がクローに引っ掛けられている場合の、フック本体、シャフトおよびレバーのそれぞれの位置
２５４…レバー
２５５…押圧部材
２６０ａ…開口
２６０ｂ…開口
２７０（２７０ＳＬ）…プレート
２７１…クロー
２７１ａ…ロック用クロー（第１のクロー）
２７１ｂ…セミロック用クロー（第２のクロー）
２８０…弾性支持部材
２９０（２９０ＳＬ）…クランパ
３００…アウタシール（第２のシール部材）
３１０…インナシール（第１のシール部材）
３２０…基板用電極
４００…スリーブ
５００…衝突領域
５１０…最大押し込み長さ
１０００…固定具
１０１０…カラー
１１００…マグネットクランパ
１２００ａ、ｂ…ピン受け
１２１０…ピン

Claims

フレーム間に基板を挟むことによって基板を保持するための基板ホルダであって、前記基板ホルダは、
フロントフレームと、
リアフレームと、
前記フロントフレームと前記リアフレームとをクランプするための、１つまたは複数のクランパと、
を備え、
１つまたは複数の前記クランパのそれぞれは、
前記フロントフレームと前記リアフレームの一方に取り付けられたフック部であって、前記フック部はフックベースとフック本体を備え、前記フック本体は前記フックベースに枢動可能に取り付けられている、フック部と、
前記フロントフレームと前記リアフレームの他方に取り付けられたプレートであって、前記フック本体の枢動によって前記フック本体が後記クローに引っ掛けられるように構成された少なくとも１つのクローを備える、プレートと、
を備え、
１つまたは複数の前記クランパの少なくとも１つは、第１のクローと、第２のクローと、を有する前記プレートを備え、
前記第１のクローは、前記フック本体が前記第１のクローに引っ掛けられることによって前記基板ホルダが基板を保持できるように構成されており、
前記第２のクローは、前記フック本体が前記第２のクローに引っ掛けられた場合の前記フロントフレームと前記リアフレームの間の距離が、前記フック本体が前記第１のクローに引っ掛けられた場合の前記フロントフレームと前記リアフレームの間の距離よりも大きくなるように構成されている、
基板ホルダ。
前記フロントフレームおよび／または前記リアフレームは、基板を露出するための開口を備える、請求項１に記載の基板ホルダ。
前記フック部は、前記フック本体の前記クローへの引っ掛かりを維持する方向に力を加える押圧部材を備える、請求項１または２に記載の基板ホルダ。
前記押圧部材はねじりバネである、請求項３に記載の基板ホルダ。
前記フック本体の枢動軸と平行な方向に沿った前記第２のクローの位置は、前記フック本体の枢動軸と平行な方向に沿った前記第１のクローの位置と異なる、請求項１から４のいずれか一項記載の基板ホルダ。
前記フック部は、
前記フック本体を前記フックベースに対して枢動可能に支持するシャフトと、
前記シャフトと前記フック本体の間に設けられたスリーブであって、前記スリーブの材質は前記シャフトの材質および前記フック本体の材質と異なる、スリーブと、
を備える、
請求項１から５のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
前記フック部および前記プレートの少なくとも一方は、弾性支持部材を介して前記フロントフレームおよび前記リアフレームのどちらかに取り付けられている、請求項１から６のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
前記フロントフレームおよび／または前記リアフレームは、基板が保持された場合に基板と接触する第１のシール部材を備えている、請求項７に記載の基板ホルダ。
前記フロントフレームと前記リアフレームの一方に取り付けられ、前記フロントフレームと前記リアフレームの他方に接触するように構成された第２のシール部材を備えている、請求項８に記載の基板ホルダ。
前記フック部および前記プレートは固定具によって前記フロントフレームおよび前記リアフレームのどちらかに取り付けられている、請求項７から９のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
前記フロントフレームを前記リアフレームに向けて押し込んだ場合に前記フックベースと前記プレートが衝突するよう構成されている、請求項１から１０のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
前記クランパは、前記フロントフレームおよび前記リアフレームに埋没している、請求項１から１１のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
フレーム間に基板を挟むことによって基板を保持するための基板ホルダであって、前記基板ホルダは、
フロントフレームと、
リアフレームと、
前記フロントフレームと前記リアフレームの少なくとも一方に取り付けられ、基板と接触するように構成された第１のシール部材と、
前記フロントフレームと前記リアフレームとをクランプするための、１つまたは複数のクランパと、
を備え、
前記クランパは弾性支持部材を介して前記フロントフレームまたは前記リアフレームに取り付けられている、
基板ホルダ。
前記第１のシール部材は、前記フロントフレームと前記リアフレームのそれぞれに取り付けられている、請求項１３に記載の基板ホルダ。
前記クランパの一部は第１の弾性支持部材を介して前記フロントフレームに取り付けられており、前記クランパの他の一部は第２の弾性支持部材を介して前記リアフレームに取り付けられている、請求項１３に記載の基板ホルダ。
前記弾性支持部材は、前記第１のシール部材の変形可能な方向に変形可能である、請求項１３に記載の基板ホルダ。
前記フロントフレームと前記リアフレームの一方に取り付けられ、前記フロントフレームと前記リアフレームの他方に接触するように構成された第２のシール部材を備えている、請求項１３に記載の基板ホルダ。