KR20200097217A - 세정 노즐 및 피세정물의 세정 방법 - Google Patents

세정 노즐 및 피세정물의 세정 방법 Download PDF

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KR20200097217A
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히로미츠 우에야마
게이 가토
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

간단한 구조로 세정액을 기세 좋게 분출할 수 있는 세정 노즐 및 피세정물의 세정 방법을 제공한다.
절삭된 단재(106)를 흘러가게 하여 세정하는 세정 유닛으로서, 세정수 공급원(200)과 세정 노즐(42)을 연통시키는 세정수 공급로(43)와, 에어 공급원(201)과 세정 노즐(42)을 연통시키는 에어 공급로(45)와, 에어 공급로(45)를 개폐하는 에어 밸브(46)와, 에어 밸브(46)를 간헐적으로 개폐하는 제어 유닛(60)을 구비한다.

Description

세정 노즐 및 피세정물의 세정 방법{CLEANING NOZZLE AND METHOD OF CLEANING OBJECT TO BE CLEANED}
본 발명은 세정 노즐 및 피세정물의 세정 방법에 관한 것이다.
CSP(Chip Size Package) 기판이나 QFN(Quad Flat Non-leaded Package) 기판이라고 불리는 패키지 기판을 절삭하는 절삭 장치에는, 절삭에 의해 생기는 단재(端材) 등을 포함한 절삭 부스러기나, 절삭시에 공급되는 절삭수를 처리하는 단재 처리 장치가 설치되어 있다. 이 단재 처리 장치는, 절삭시에 패키지 기판을 지지하는 척테이블의 양측에 홈형상의 받침 반송 부재를 구비하고 있고, 받침 반송 부재의 바닥부에 세정수를 흘리는 세정 노즐(단재 비산 노즐)이 설치된다. 비산한 절삭 부스러기나 절삭수를 받침 반송 부재에 의해 받아내고, 세정수를 흘러가게 하여 단부(가공 이송의 하류측)로 흘러내리게 하고, 단재 반송 수단인 무단 벨트나, 슬로프 형상의 안내판을 통해 수용 용기에 낙하시켜 회수한다(예컨대 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2015-5544호 공보
절삭 부스러기나 절삭수를 확실하게 흘러가게 하기 위해, 받침 반송 부재의 바닥부의 넓은 범위에 강한 기세로 세정수(세정액)를 공급하는 것이 요구된다. 종래의 세정 노즐은 분사 방향에 제약이 있어, 세정수의 분사 범위를 넓히기 위해, 다수의 세정 노즐을 가로로 나란히 배치하거나, 세정 노즐의 분사 방향을 가변으로 하는 기구를 구비하거나 할 필요가 있었다. 또한, 세정수를 기세 좋게 분출시키기 위해, 강력한 펌프 등을 배치할 필요가 있었다. 이러한 구성은, 부품수의 증가나 기구의 복잡화에 의한 비용 상승이나 메인터넌스의 부담 증대를 발생시키므로 그 해소가 요구되었다.
본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 간단한 구조로 세정액을 기세 좋게 분출할 수 있는 세정 노즐 및 피세정물의 세정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
전술한 과제를 해결하고 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 피세정물을 세정하는 세정 노즐로서, 세정액 공급원과 상기 세정 노즐을 연통시키는 세정액 공급로와, 에어 공급원과 상기 세정 노즐을 연통시키는 에어 공급로와, 에어 공급로를 개폐하는 에어 밸브와, 상기 에어 밸브를 간헐적으로 개폐하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은, 세정 노즐에 세정액을 공급하는 세정액 공급 단계와, 상기 세정 노즐에 에어를 공급하여 상기 세정 노즐 내에 체류하는 세정액을 분사하는 세정액 분사 단계를 포함하고, 상기 세정액 분사 단계는, 상기 세정 노즐 내에 세정액이 미리 정해진 양 체류하는 타이밍에 간헐적으로 행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 세정 노즐에 물이 체류하는 타이밍에 물을 압출하는 위치에 에어를 간헐적으로 공급하기 때문에, 물을 기세 좋게 공급할 수 있고, 예컨대 단재를 제거할 수 있다.
도 1은, 본 실시형태에 관한 세정 노즐을 구비한 절삭 장치의 일부를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 절삭 장치의 일부를 가공 이송 방향의 하류측에서 본 측면도이다.
도 3은, 세정 유닛의 구성을 나타내는 모식도이다.
본 발명을 실시하기 위한 형태(실시형태)에 관해 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절하게 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러가지 생략, 치환 또는 변경을 할 수 있다.
본 실시형태에 관한 세정 노즐에 관해 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은, 본 실시형태에 관한 세정 노즐을 구비한 절삭 장치의 일부를 나타내는 사시도이다. 도 2는, 절삭 장치의 일부를 가공 이송 방향의 하류측에서 본 측면도이다.
도 1에 나타내는 절삭 장치(10)는, 패키지 기판을 절삭함으로써 생기는 단재 및 절삭 부스러기(피세정물)나 절삭시에 공급하는 절삭수를 처리하는 기능을 갖추고 있다. 절삭 장치(10) 중, 단재, 절삭 부스러기, 절삭수의 처리에 관한 부분 이외의 구성은 주지된 것이기 때문에, 부분적으로 도시를 생략하고 간단히 설명한다.
절삭 장치(10)에서는, 도 1에 나타내는 CSP 기판이나 QFN 기판과 같은 패키지 기판(100)을 피가공물로서 절삭 가공을 행한다. 패키지 기판(100)의 표면에는, 격자형으로 설치된 절삭 예정 라인(102)에 의해 구획된 복수의 영역이 형성되고, 개개의 영역에 디바이스(103)가 형성되어 있다. 패키지 기판(100)에는, 복수의 디바이스(103)가 형성된 디바이스부(104)가 2개 형성되고, 디바이스부(104)의 외측에 잉여 연결 부재(105)가 형성되어 있다. 이 잉여 연결 부재(105)는, 디바이스부(104)를 개개의 디바이스(103)로 분할하기 전에 미리 분리되어 단재가 발생한다.
절삭 장치(10)는, 제1 척테이블(11)과 제2 척테이블(12)을 가지며, 각 척테이블(11, 12)을 X축 방향(가공 이송 방향)으로 이동시키면서, 각 척테이블(11, 12)의 지그(11A, 11B) 상에 유지된 패키지 기판(100)에 대하여 절삭 가공을 행한다. X축 방향 중, 절삭시에 각 척테이블(11, 12)이 진행되는 방향을 하류측, 그 반대 방향을 상류측으로 한다. 제1 척테이블(11)과 제2 척테이블(12)을 X축 방향으로 이동시키는 가공 이송 수단(도시 생략)은, 모터에 의해 회전하는 볼나사를 구비한 볼나사 기구 등으로 구성된다. 각 척테이블(11, 12)은 Z축 방향(상하 방향)으로 향하는 축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 지그(11A, 11B)는, 각각 척테이블(11, 12)의 상면에 고정되어 있고, 패키지 기판(100)의 개개의 디바이스(103)에 따른 흡인구를 복수 구비한다.
제1 척테이블(11)과 제2 척테이블(12)의 근방에는, 제1 절삭 수단(도시 생략)과 제2 절삭 수단(도시 생략)이 설치된다. 각 절삭 수단은, X축 방향에 대하여 수직인 Y축 방향(인덱싱 이송 방향)으로 향하는 축을 중심으로 하여 회전 가능한 스핀들에 부착된 절삭 블레이드(도시 생략)를 구비하고 있고, Y축 방향과 Z축 방향(상하 방향)으로 이동 가능하다.
제1 절삭 수단의 절삭 블레이드를 회전시켜 제1 척테이블(11)의 지그(11A) 상의 패키지 기판(100)에 절입시키면서, 제1 척테이블(11)을 X축 방향의 하류측으로 이동시킴으로써, 지그(11A) 상의 패키지 기판(100)을 소정의 절삭 예정 라인(102)을 따라 절삭할 수 있다. 마찬가지로, 제2 절삭 수단의 절삭 블레이드를 회전시켜 제2 척테이블(12)의 지그(12A) 상의 패키지 기판(100)에 절입시키면서, 제2 척테이블(12)을 X축 방향의 하류측으로 이동시킴으로써, 지그(12A) 상의 패키지 기판(100)을 소정의 절삭 예정 라인(102)을 따라 절삭할 수 있다.
제1 척테이블(11)의 지그(11A) 상의 패키지 기판(100)에서 하나의 절삭 예정 라인(102)을 따르는 절삭이 완료하면, 절삭 블레이드를 상측으로 인상하여 제1 척테이블(11)을 X축 방향의 상류측으로 이동시키고, 제1 절삭 수단을 각각 Y축 방향으로 이동(인덱싱 이송)시킨다. 그리고, 다음 절삭 예정 라인(102)을 따르는 절삭을 실행한다. Y축 방향으로 나열된 복수의 절삭 예정 라인(102)을 따르는 절삭 완료후에, 제1 척테이블(11)을 90도 회전시켜, Y축 방향으로 나열된 별도의 복수의 절삭 예정 라인(102)에 대하여 상기와 동일하게 하여 절삭을 행한다. 이와 같이 하여, 패키지 기판(100)에 대하여 격자형의 절삭 예정 라인(102)을 따르는 절삭 가공을 할 수 있다. 제2 척테이블(12) 상의 패키지 기판(100)에 대해서도 동일하게 하여, 격자형의 절삭 예정 라인(102)을 따르는 절삭 가공을 할 수 있다.
제1 절삭 수단과 제2 절삭 수단의 각각의 근방에, 절삭수 공급원(도시 생략)으로부터 보내진 절삭수를 분사하는 절삭수 분사 노즐(도시 생략)이 설치되어 있다. 각 절삭 수단으로 패키지 기판(100)을 절삭 가공할 때에, 절삭수 분사 노즐로부터 절삭 블레이드 둘레에 절삭수가 공급된다. 절삭수에 의해, 절삭 개소를 냉각시킴과 더불어 절삭시에 생기는 절삭 부스러기를 씻어낸다.
제1 척테이블(11)과 제2 척테이블(12)은, 워터 케이스(받침 반송 부재라고도 함)(13) 상에 형성된 개구부 내에 배치되어 있다. 개구부는, 워터 케이스(13)의 상면을 형성하는 바닥부(15)와, 바닥부(15)로부터 상측으로 돌출된 한쌍의 측벽(16, 17) 및 단부벽(18)에 의해 둘러싸여 있다. 측벽(16)과 측벽(17)은 Y축 방향으로 이격되어 X축 방향으로 연장되는 벽부이다. 단부벽(18)은, X축 방향의 상류측에 위치하여 Y축 방향으로 연장되는 벽부이다. 개구부 내에는, 제1 척테이블(11)과 함께 X축 방향으로 이동하는 제1 이동판(19)과, 제2 척테이블(12)과 함께 X축 방향으로 이동하는 제2 이동판(20)이 설치되어 있다. 제1 이동판(19)의 X축 방향의 상류측에 벨로우즈 커버(21)가 설치되고, 제2 이동판(20)의 X축 방향의 상류측에 벨로우즈 커버(22)가 설치되어 있다.
제1 척테이블(11)과 제2 척테이블(12)을 X축 방향으로 이동시키는 가공 이송 수단은, 워터 케이스(13), 제1 이동판(19) 및 제2 이동판(20), 벨로우즈 커버(21) 및 벨로우즈 커버(22) 등에 의해 덮이는 방수 스페이스(도시 생략)에 배치되어 있다.
개구부 내에는 또한, X축 방향에서 제1 이동판(19)과 제2 이동판(20)의 하류측에 단재나 절삭 부스러기, 절삭수를 유출시키기 위한 제1 커버(23)와 제2 커버(24)가 설치되어 있다. 제1 커버(23)는, Y축 방향의 중심을 향해 서서히 낮아지는 한쌍의 경사면(25)과, Y축 방향에서 상기 한쌍의 경사면(25)의 사이에 위치하여 상류측으로부터 하류측에 걸쳐 서서히 낮아지는 중앙 경사면(26)을 갖고 있다. 제1 커버(23)와 마찬가지로, 제2 커버(24)는, Y축 방향의 중심을 향해 서서히 낮아지는 한쌍의 경사면(27)과, Y축 방향에서 상기 한쌍의 경사면(27)의 사이에 위치하여 상류측으로부터 하류측에 걸쳐 서서히 낮아지는 중앙 경사면(28)을 갖고 있다.
제1 이동판(19)의 둘레 가장자리에는 상측으로 돌출된 입벽부(29)가 설치되고, 제2 이동판(20)의 둘레 가장자리에는 상측으로 돌출된 입벽부(30)가 설치된다. 입벽부(29)는 제1 커버(23)의 중앙 경사면(26)측에 연통하는 개구를 가지며, 입벽부(30)는 제2 커버(24)의 중앙 경사면(28)측에 연통하는 개구를 갖고 있다. 제1 척테이블(11) 상의 패키지 기판(100)을 절삭할 때에, 단재나 절삭 부스러기를 포함하는 절삭수는 제1 이동판(19) 상으로부터 제1 커버(23) 상으로 흐른다. 제2 척테이블(12) 상의 패키지 기판(100)을 절삭할 때에, 단재나 절삭 부스러기를 포함하는 절삭수는 제2 이동판(20) 상으로부터 제2 커버(24) 상으로 흐른다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 커버(23)와 제2 커버(24)의 각각의 내측에는, 워터 케이스(13)의 바닥부(15) 상에 부설된 레일(31, 32)에 대하여 슬라이딩 가능한 슬라이딩부(23A, 24A)가 형성되어 있다. 제1 커버(23)와 제2 커버(24)는, 레일(31, 32)과 슬라이딩부(23A, 24A)에 의해 X축 방향으로 이동 가능하게 안내되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 커버(23)의 상류측의 단부가 제1 이동판(19)에 접속하고, 제1 커버(23)는 제1 척테이블(11) 및 제1 이동판(19)과 함께 X축 방향으로 이동한다. 제2 커버(24)의 상류측의 단부가 제2 이동판(20)에 접속하고, 제2 커버(24)는 제2 척테이블(12) 및 제2 이동판(20)과 함께 X축 방향으로 이동한다. 제1 커버(23)와 제2 커버(24)의 각각의 하류측의 단부는, 워터 케이스(13) 등에 대하여 고정되지 않는 자유단으로 되어 있다.
제1 척테이블(11)이나 제2 척테이블(12) 상에서 패키지 기판(100)을 절삭하면, 패키지 기판(100)의 잉여 연결 부재(105)가 단재로서 생긴다. 이 종류의 단재는, 일반적인 실리콘 웨이퍼 등의 절삭에서 생기는 미세한 절삭 부스러기(예컨대 크기가 수 ㎛)에 비하여 사이즈 및 중량이 매우 크다(예컨대 크기가 수 cm). 그 때문에 절삭 장치(10)는, 단재를 확실하게 배출시키기 위한 단재 처리 장치(50)를 구비하고 있다. 이하, 이 단재 처리 장치(50)에 관해 설명한다.
제1 커버(23)와 제2 커버(24)는 각각, 상류측의 제1 이동판(19)이나 제2 이동판(20)으로부터 흘러온 단재(절삭 부스러기)나 절삭수를, 경사면(25)과 중앙 경사면(26), 경사면(27)과 중앙 경사면(28)을 통해 하류측으로 유도하여 자유단으로부터 유출시킨다. 또한, 제1 커버(23)나 제2 커버(24)의 자유단에 브러시를 설치해도 좋다. 브러시에 의해, 바닥부(15)에 낙하한 단재나 절삭 부스러기를 하류측으로 쓸어낼 수 있다.
단재 처리 장치(50)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 커버(23) 및 제2 커버(24)의 자유단보다 X축 방향의 하류측에, 워터 케이스(13)에 인접하는 절삭 부스러기 안내판(51)이 설치되어 있다. 절삭 부스러기 안내판(51)은, Y축 방향으로 진행됨에 따라서 Z축 방향의 높이를 변화시키는 슬로프부이며, 제1 커버(23)측으로부터 제2 커버(24)측에 걸쳐 순차적으로 낮아지도록 경사져 있다. 절삭 부스러기 안내판(51)의 하단에 연속하는 위치에는, 상하 이동 가능한 절삭 부스러기 회수 박스(52)를 구비하고 있고, 절삭 부스러기 회수 박스(52)는, 박스 배치부(53)의 내부에 배치되어 있다. 절삭 부스러기 회수 박스(52)는, 적어도 바닥부가 메쉬형으로 형성된 메쉬부(52A)를 가지며, 메쉬부(52A)를 통과하지 않고 걸린 단재나 비교적 대형의 절삭 부스러기를 회수할 수 있다. 절삭 부스러기 회수 박스(52)의 메쉬부(52A)를 통과한 절삭수는 외부로 배출된다.
절삭 가공에 의해 생긴 단재(절삭 부스러기)나 절삭시에 공급한 절삭수는, 입벽부(29)나 입벽부(30)에서 받아내어 제1 커버(23)나 제2 커버(24)로 안내되어 X축 방향의 하류측으로 흐르고, 제1 커버(23)나 제2 커버(24)의 자유단으로부터 절삭 부스러기 안내판(51)측으로 유출된다. 그러나, 단재(절삭 부스러기)나 절삭수는, 이와 같이 제1 커버(23)나 제2 커버(24)를 경유하여 하류측으로 흐를 뿐만 아니라, 고속 회전하는 절삭 블레이드에 의해 주위에 비산되어, 각 척테이블(11, 12)이나 각 커버(23, 24)의 측방 영역에서도 바닥부(15) 상에 낙하한다. 이 때문에, 단재 처리 장치(50)는, 각 척테이블(11, 12)이나 각 커버(23, 24)의 측방 영역에 비산된 단재(피세정물)를 향해 세정수(세정액)를 분사하고, 이 세정액에 의해 단재를 하류측으로 흘러가게 하기 위한 세정 유닛(40)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 제1 척테이블(11) 및 제1 커버(23)와 측벽(16)의 사이의 제1 측방 영역(15A), 제1 척테이블(11) 및 제1 커버(23)와 제2 척테이블(12) 및 제2 커버(24)의 사이의 중간 영역(15B), 및, 제2 척테이블(12) 및 제2 커버(24)와 측벽(17)의 사이의 제3 측방 영역(15C)에 각각 세정 유닛(40)이 배치되어 있다. 또한, 절삭 부스러기 안내판(51)의 상단부에 세정 유닛(40)을 설치해도 좋다. 이 세정 유닛(40)은, 절삭 부스러기 안내판(51) 상의 단재(피세정물)를 절삭 부스러기 회수 박스(52)를 향해 흘러가게 한다.
다음으로, 세정 유닛에 관해 설명한다. 도 3은, 세정 유닛의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 세정 유닛(40)은, 유닛 본체(41)와, 유닛 본체(41)로부터 단재(106)를 향해 연장된 한쌍의 세정 노즐(42, 42)과, 유닛 본체(41)의 동작을 제어하는 제어 유닛(제어 수단)(60)을 구비한다. 이 제어 유닛(60)은, 복수(4대)의 세정 유닛(40)의 동작을 제어하는 것이며, 절삭 장치(10)의 제어 유닛이 겸용해도 좋다.
유닛 본체(41)는, 세정수 공급원(세정액 공급원)(200)에 연통하는 세정수 공급로(세정액 공급로)(43)와, 이 세정수 공급로(43)의 도중에 설치되는 세정수 밸브(세정액 밸브)(44)와, 에어 공급원(201)에 연통하는 에어 공급로(45)와, 이 에어 공급로(45)의 도중에 설치되는 에어 밸브(46)와, 세정수 공급로(43) 및 에어 공급로(45)에 연결되는 혼합기(47)를 구비하고, 이 혼합기(47)에 세정 노즐(42)이 연결되어 있다. 이 때문에, 세정수 공급로(43)는, 혼합기(47)를 통해 세정수 공급원(200)과 세정 노즐(42)을 연통시키고, 에어 공급로(45)는, 혼합기(47)를 통해 에어 공급원(201)과 세정 노즐(42)을 연통시킨다.
세정 노즐(42)은, 예컨대 금속 등의 관상 부재로 형성되며, 선단부(42A)로부터 세정수를 분출한다. 세정 노즐(42)은, X축 방향 혹은 Y축 방향의 하류측을 향해, 각각 워터 케이스(13)의 바닥부(15) 혹은 절삭 부스러기 안내판(51)에 고정되어 있다, 본 실시형태에서는, 선단부(42A)는, 예컨대 Z축 방향(상하 방향)으로 압쇄되어 편평한 형상으로 되어 있다. 이것에 의해, 선단부(42A)로부터 세정수를 폭넓은 범위에 분출할 수 있고, 예컨대, 상기 제1 측방 영역(15A)에 비산한 단재(106)에 세정수를 확실하게 접촉시킬 수 있다. 또, 세정 노즐(42)은 가요성을 갖는 수지제의 튜브 등의 배관으로 형성되어도 좋다.
세정수 공급원(200)은 세정수(예컨대 순수)를 공급하고, 에어 공급원(201)은 압축 공기를 공급한다. 세정수 공급로(43) 및 에어 공급로(45)는, 예컨대 가요성을 갖는 수지제의 튜브 배관 등에 의해 형성된다. 세정수 밸브(44)는, 세정수 공급로(43) 내의 세정수의 유통을 차단 가능하게 개폐한다. 에어 밸브(46)는, 에어 공급로(45) 내의 에어(압축 공기)의 유통을 차단 가능하게 개폐한다. 세정수 밸브(44) 및 에어 밸브(46)의 개폐 동작은 제어 유닛(60)에 의해 제어된다. 혼합기(47)는, 세정수와 에어를 합류시켜 세정 노즐(42)로 유도한다. 본 실시형태에서는, 세정액으로서 순수(세정수)를 사용하고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 세정력을 높이기 위한 물질을 포함하거나, 상이한 액체의 종류이어도 좋다.
다음으로, 세정 유닛(40)이 단재(106)를 세정하는(흘러가게 하는) 방법에 관해 설명한다. 우선, 제어 유닛(60)은, 절삭 장치(10)의 절삭 동작이 시작되면, 세정수 밸브(44)를 개방하여 세정 노즐(42)에 세정수를 공급한다(세정액 공급 단계). 본 실시형태에서는, 세정수 밸브(44)는, 세정 동작(흘러가게 하는 동작) 중에 항상 개방되도록 제어된다. 이것에 의해, 세정 노즐(42) 내에 공급된 세정수가 체류하고, 과잉의 세정수가 선단부(42A)로부터 유출된다. 이 유출된 세정수는, 워터 케이스(13)의 바닥부(15)(제1 측방 영역(15A) 등) 혹은 절삭 부스러기 안내판(51)을 젖게 하거나, 또는 단재(106)의 주변에 물을 체류시킴으로써, 단재(106)와의 마찰 저항을 줄인다.
계속해서, 제어 유닛(60)은, 에어 밸브(46)를 개방하여 세정 노즐(42)에 에어를 공급하는 것에 의해, 세정 노즐(42) 내에 체류한 세정수를 분사한다(세정액 분사 단계). 에어 밸브(46)는, 세정 동작 중, 폐쇄와 개방을 교대로 실시하는 간헐 제어된다. 구체적으로는, 소정 폐쇄 시간(예컨대 4초) 폐쇄된 후, 이 폐쇄 시간보다 짧은 소정 개방 시간(예컨대 0.4초) 개방된다. 이 폐쇄 시간은, 세정 노즐(42) 내에 세정수가 미리 정해진 양(예컨대 세정 노즐(42)을 세정수가 채우는 양) 체류하기까지의 시간이다. 또한, 단재(106)의 주변에 물이 체류하기까지의 시간을 사용하여도 좋다. 그리고, 에어 밸브(46)는, 순간적으로 개방됨으로써, 에어의 압력에 의해 세정 노즐(42) 내의 세정수(70)가 단재(106)를 향해 분사된다.
여기서, 이류체 노즐과 같이, 세정수와 에어를 완전히 섞어 버리면 안개형으로 되어 버려 세정수의 흘러가게 하는 힘이 발휘되지 않는다. 이것에 대하여, 본원발명에서는, 에어 밸브(46)를 짧은 개방 시간에 간헐적으로 개폐하는 것에 의해, 도 3에 나타낸 바와 같이, 세정수(70)의 입자가 연속적으로 분사된다. 이 세정수(70)의 입자는, 안개형인 것에 비하여 큰 중량을 갖기 때문에, 세정수(70)의 입자를 기세 좋게 분출할 수 있고, 단재(106)에 접촉했을 때에 상기 단재(106)를 하류측으로 흘러가게 할 수 있다. 또한, 단재(106)의 주위에 세정수가 체류한 상태로 세정수를 분사하면 더욱 효과적이다.
이와 같이, 본 실시형태의 세정 유닛(40)은, 세정수 공급원(200)과 세정 노즐(42)을 연통시키는 세정수 공급로(43)와, 에어 공급원(201)과 세정 노즐(42)을 연통시키는 에어 공급로(45)와, 에어 공급로(45)를 개폐하는 에어 밸브(46)와, 에어 밸브(46)를 간헐적으로 개폐하는 제어 유닛(60)을 구비하기 때문에, 세정 노즐(42)로부터 단재(106)를 향해 세정수(70)를 기세 좋게 분출할 수 있고, 단재(106)를 하류측으로 흘러가게 할 수 있다.
또한, 본원의 피세정물의 세정 방법에 의하면, 세정 노즐(42)에 세정액을 공급하는 세정액 공급 단계와, 세정 노즐(42)에 에어를 공급하여 상기 세정 노즐(42) 내에 체류한 세정수를 분사하는 세정액 분사 단계를 구비하고, 상기 세정액 분사 단계는, 세정 노즐(42) 내에 세정수가 미리 정해진 양 체류하는 타이밍에 간헐적으로 행하기 때문에, 간단히 세정 노즐(42)로부터 단재(106)를 향해 세정수(70)를 기세 좋게 분출할 수 있어, 단재(106)를 하류측으로 흘러가게 할 수 있다.
또, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지로 변형하여 실시할 수 있다. 예컨대, 상기 실시형태에서는, 세정 유닛(40)은, 2개의 세정 노즐(42)을 구비하는 구성으로 했지만, 세정 유닛(40)이 구비하는 세정 노즐(42)의 수는 이것에 한정되는 것이 아니라, 세정하는(단재를 흘러가게 하는) 범위 등의 조건에 따라서 적절하게 변경할 수 있다. 예컨대, 본 실시형태보다 좁은 범위를 세정하는 경우에는, 1개의 세정 노즐만을 구비해도 좋고, 반대로 본 실시형태보다 넓은 범위를 세정하는 경우에는, 3개 이상의 세정 노즐을 병렬하여 배치해도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 세정 노즐(42)의 선단부(42A)를 Z축 방향(상하 방향)으로 압쇄하여 편평한 형상으로 했지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 원형 관상 그대로 해도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 에어 밸브(46)의 폐쇄 시간 및 개방 시간의 예시를 설명했지만, 이 시간에 한정되는 것은 아니며, 폐쇄 시간 및 개방 시간은 세정 노즐(42)의 길이 등의 사이즈나, 단재의 무게나 사이즈에 의해 적절하게 변경 가능하다.
10 : 절삭 장치
11 : 제1 척테이블
12 : 제2 척테이블
13 : 워터 케이스
15 : 바닥부
15A : 제1 측방 영역
15B : 중간 영역
15C : 제3 측방 영역
19 : 제1 이동판
20 : 제2 이동판
40 : 세정 유닛
42 : 세정 노즐
42A : 선단부
43 : 세정수 공급로
44 : 세정수 밸브
45 : 에어 공급로
46 : 에어 밸브
47 : 혼합기
50 : 단재 처리 장치
51 : 절삭 부스러기 안내판
52 : 절삭 부스러기 회수 박스
60 : 제어 유닛
70 : 세정수
100 : 패키지 기판
105 : 잉여 연결 부재
106 : 단재
200 : 세정수 공급원
201 : 에어 공급원

Claims (2)

  1. 피세정물을 세정하는 세정 노즐로서,
    세정액 공급원과 상기 세정 노즐을 연통시키는 세정액 공급로와,
    에어 공급원과 상기 세정 노즐을 연통시키는 에어 공급로와,
    에어 공급로를 개폐하는 에어 밸브와,
    상기 에어 밸브를 간헐적으로 개폐하는 제어 수단
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 노즐.
  2. 세정 노즐에 세정액을 공급하는 세정액 공급 단계와,
    상기 세정 노즐에 에어를 공급하여 상기 세정 노즐 내에 체류하는 세정액을 분사하는 세정액 분사 단계
    를 포함하고, 상기 세정액 분사 단계는,
    상기 세정 노즐 내에 세정액이 미리 정해진 양 체류하는 타이밍에 간헐적으로 행하는 것을 특징으로 하는 피세정물의 세정 방법.
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