KR20200093446A - 커패시터 검사 장치 및 커패시터 검사 방법 - Google Patents

Abstract

커패시터의, 인가 전압에 의존하여 생기는 불량을 검사할 수 있는 커패시터 검사 장치 및 커패시터 검사 방법을 제공한다.
커패시터 검사 장치(1)는, 단자 전극(101, 102)을 구비한 커패시터(100)를 검사하기 위한 커패시터 검사 장치(1)이며, 단자 전극(101, 102) 사이에 대한 인가 전압 V를 실질적으로 직선적으로 증대시키는 가변 전압원(2)과, 단자 전극(101, 102) 사이에 흐르는 전류를 검출 전류 I로서 검출하는 전류 검출부(3)와, 직선적으로 인가 전압 V가 증대되는 기간 중에 있어서의 검출 전류 I의 변화에 기초하여 커패시터(100)의 양부를 판정하는 판정 처리를 실행하는 검사부(5)를 구비하였다.

Description

커패시터 검사 장치 및 커패시터 검사 방법{CAPACITOR INSPECTION APPARATUS AND CAPACITOR INSPECTION METHOD}

본 발명은, 커패시터를 검사하는 커패시터 검사 장치 및 커패시터 검사 방법에 관한 것이다.

종래부터 기본적인 회로 소자로서 커패시터가 이용되고 있다. 도 6을 참조하여, 주요 커패시터의 일례인 적층 세라믹 콘덴서(Multi-Layer ceramic capacitor: MLCC)(100)는, 서로 대향하는 단자 전극(101, 102)과, 단자 전극(101)으로부터 단자 전극(102)을 향하여 빗살형으로 뻗어 있는 판형의 복수의 내부 전극(103)과, 단자 전극(102)으로부터 단자 전극(101)을 향하여 빗살형으로 뻗어 있고 복수의 내부 전극(103)에 대하여 엇갈리게 맞물리도록 대향 배치되는 판형의 내부 전극(104)과, 내부 전극(103)과 내부 전극(104) 사이에 충전된 유전체(105)를 구비하고 있다.

복수의 내부 전극(103, 104)을, 도 7에 도시한 바와 같이 각각 1매의 내부 전극(103, 104)으로 치환하여 설명하면, 이와 같은 커패시터(100)의 정전 용량 C는, 내부 전극(103, 104)의 면적을 각각 S, 내부 전극(103)과 내부 전극(104)의 간격을 d, 유전체(105)의 비유전율을 εr, 진공의 유전율을 εo라 하면 C=εo·εr·S/d로 표시된다.

근년, 커패시터의 고용량화 및 소형화가 요구되고 있다. 커패시터(100)의 정전 용량 C를 증대시키면서 커패시터(100)를 소형화하기 위하여 유전체(105)의 비유전율 εr의 증대와 내부 전극(103, 104)의 간격 d의 협소화가 도모되고 있다.

간격 d를 작게 한다는 것은, 절연물인 전극 사이의 유전체(105)를 얇게 한다는 것이다. 이 유전체(105)에 이물이 혼입되어 있으면, 유전체(105)가 얇아질수록 이물에 의한 내부 전극(103, 104)의 단락이 생기기 쉬워진다. 이물에 의한 내부 전극(103, 104)의 단락이 생기면, 커패시터(100) 내부에서 본래의 전류 경로와는 상이한 경로에 전류가 흘러서 단락 불량으로 된다.

그래서 단자 전극(101, 102) 사이에 일정한 전압을 인가하여 누설 전류를 측정하고, 누설 전류와 인가 전압으로부터 옴의 법칙에 따라 절연 저항을 계산함으로써, 커패시터(100)의 단락 불량을 검사하는 검사 방법이 알려져 있다(예를 들어 비특허문헌 1 참조).

TDK 가부시키가이샤 홈페이지(https://product.tdk.com/info/ja/contact/faq/faq_detail_D/1432655789406.html)

그런데, 커패시터(100)의 불량으로서, 인가 전압에 의존하여 어느 특정 전압 범위에만 누설 전류가 증대되는 불량을 생각할 수 있다.

예를 들어 내부 전극(103, 104) 사이에 전압이 인가되면 유전체(105)가 유전 분극된다. 유전 분극의 정도는 인가된 전압에 의존한다. 커패시터(100)의 고용량화를 목적으로 한 비유전율 εr의 증대에 수반하여, 전압에 의존하는 유전 분극도 증대된다. 또한, 예를 들어 인가 전압에 의하여 내부 전극(103, 104)에 주입된 전하 때문에 내부 전극(103)과 내부 전극(104) 사이에는 인력이 작용하고, 내부 전극(103)과 내부 전극(103) 사이 및 내부 전극(104)과 내부 전극(104) 사이에는 척력이 작용한다. 이와 같이 내부 전극(103, 104)에 대해서는, 인가 전압에 따른 물리적인 힘도 작용한다.

이와 같이 커패시터(100)는 인가 전압에 의존하는 특성을 갖고 있기 때문에, 커패시터(100)에는, 인가 전압에 의존하여 어느 특정 전압 범위에만 생기는 불량이 존재할 것으로 생각된다. 적층 세라믹 콘덴서 이외의 커패시터에서도 각각의 커패시터의 구조에 기인하여, 인가 전압에 의존하는 불량이 존재할 것으로 생각된다.

그러나 비특허문헌 1에 기재된 검사 방법에서는 일정한 인가 전압을 인가하여 검사하기 때문에, 인가 전압에 의존하여 생기는 불량을 검사하지 못하였다.

본 발명의 목적은, 커패시터의, 인가 전압에 의존하여 생기는 불량을 검사할 수 있는 커패시터 검사 장치 및 커패시터 검사 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일례에 따른 커패시터 검사 장치는, 1쌍의 단자를 구비한 커패시터를 검사하기 위한 커패시터 검사 장치이며, 상기 1쌍의 단자 사이에 대한 인가 전압을 실질적으로 직선적으로 증대시키는 전압 인가부와, 상기 1쌍의 단자 사이에 흐르는 전류를 검출 전류로서 검출하는 전류 검출부와, 상기 직선적으로 상기 인가 전압이 증대되는 기간 중에 있어서의 상기 검출 전류의 변화에 기초하여 상기 커패시터의 양부를 판정하는 판정 처리를 실행하는 검사부를 구비한다.

또한 본 발명의 일례에 따른 커패시터 검사 방법은, 1쌍의 단자를 구비한 커패시터를 검사하기 위한 커패시터 검사 방법이며, 상기 1쌍의 단자 사이에 대한 인가 전압을 실질적으로 직선적으로 증대시키는 전압 인가 공정과, 상기 1쌍의 단자 사이에 흐르는 전류를 검출 전류로서 검출하는 전류 검출 공정과, 상기 직선적으로 상기 인가 전압이 증대되는 기간 중에 있어서의 상기 검출 전류의 변화에 기초하여 상기 커패시터의 양부를 판정하는 판정 처리를 실행하는 검사 공정을 포함한다.

이와 같은 구성의 커패시터 검사 장치 및 커패시터 검사 방법은, 커패시터의, 인가 전압에 의존하여 생기는 불량을 검사할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 커패시터 검사 방법을 실행하는 커패시터 검사 장치의 구성의 일례를 도시하는 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 커패시터 검사 방법 및 커패시터 검사 장치의 동작의 일례를 설명하기 위한 설명도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 커패시터 검사 장치의 동작의 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 커패시터 검사 장치의 동작의 다른 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 5는 도 1에 도시하는 커패시터 검사 장치의 구성의 다른 일례를 도시하는 블록도이다.
도 6은 적층 세라믹 콘덴서의 구조를 설명하기 위한 설명도이다.
도 7은 콘덴서의 정전 용량을 설명하기 위한 설명도이다.

이하, 본 발명에 따른 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한 각 도면에 있어서 동일한 부호를 붙인 구성은 동일한 구성임을 나타내며, 그 설명을 생략한다. 도 1에 도시하는 커패시터 검사 장치(1)는 가변 전압원(2)(전압 인가부), 전류 검출부(3), 전압 검출부(4), 검사부(5) 및 접속 단자 T1, T2를 구비하고 있다.

커패시터 검사 장치(1)는, 검사 대상으로 되는 커패시터(100)의 단락 검사를 행하는 검사 장치이다. 커패시터(100)는, 예를 들어 적층 세라믹 콘덴서이다. 또한 검사 대상인 커패시터는 반드시 적층 세라믹 콘덴서이지 않아도 되며, 다른 종류의 커패시터여도 된다.

커패시터(100)는 대략 직육면체 형상을 가지며, 그 양 단부에 1쌍의 단자 전극(101, 102)(단자)이 마련되어 있다.

접속 단자 T1, T2는 전극 또는 프로브 등이며, 접속 단자 T1을 단자 전극(101)에 접촉시키고 접속 단자 T2를 단자 전극(102)에 접촉시킴으로써 커패시터 검사 장치(1)는 커패시터(100)를 검사 가능으로 한다. 가변 전압원(2), 전류 검출부(3) 및 전압 검출부(4)는 접속 단자 T1, T2를 통하여 커패시터(100)와 전기적으로 접속된다.

가변 전압원(2)은, 검사부(5)로부터의 제어 신호에 따라 커패시터(100)의 단자 전극(101, 102) 사이에 전압을 인가한다. 가변 전압원(2)은 소위 전원 회로이며, 검사부(5)로부터의 제어 신호에 따라 커패시터(100)에 인가하는 인가 전압 V를 실질적으로 직선적으로 증대시킨다.

전류 검출부(3)는, 예를 들어 션트 저항 등을 이용하여 구성된 전류 검출 회로이다. 전류 검출부(3)는, 단자 전극(101, 102) 사이에 흐르는 전류를 검출 전류 I로서 검출하고, 검출 전류 I를 나타내는 신호를 검사부(5)에 출력한다.

검사부(5)는, 예를 들어 소위 마이크로컴퓨터를 이용하여 구성되어 있으며, 소정의 연산 처리를 실행하는 CPU(Central Processing Unit), 데이터를 일시적으로 기억하는 RAM(Random Access Memory), 불휘발성 HDD(Hard Disk Drive) 또는 플래시 메모리 등의 기억 장치, 타이머 회로, 아날로그 디지털 컨버터, 디지털 아날로그 컨버터, 및 그 주변 회로 등을 구비하고 있다.

검사부(5)는, 예를 들어 기억 장치에 기억된 소정의 제어 프로그램을 실행함으로써 판정 처리를 실행한다. 판정 처리는, 인가 전압 V가 직선적으로 증대되고 있는 기간 중에 있어서의 검출 전류 I의 변화에 기초하여 커패시터(100)의 양부를 판정한다.

다음으로, 도 2, 도 3을 참조하면서, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 커패시터 검사 방법, 및 커패시터 검사 장치(1)의 동작에 대하여 설명한다.

먼저, 가변 전압원(2)은 검사부(5)로부터의 제어 신호에 기초하여, 커패시터(100)에 대한 인가 전압 V를, 미리 설정된 ΔV/Δt의 기울기로 실질적으로 직선적으로 증대시킨다(스텝 S1: 전압 인가 공정). 이후, 스텝 S1 내지 S6이 실행되는 기간 중, 즉, 도 2에 있어서의 타이밍 t1에서 t2까지의 기간 t3 동안, 스텝 S1에 의한 인가 전압 V의 증대가 계속된다.

ΔV/Δt의 기울기란, Δt에 있어서의 인가 전압 V의 변화가 ΔV(V)임을 의미한다. ΔV/Δt는, 커패시터(100)의 특성 또는 커패시터 검사 장치(1)의 응답 성능에 따라 적당히 설정하면 된다.

또한 실질적으로 직선적이라는 것은, 가변 전압원(2)에 의한 전압 제어 오차 등에 의한 직선으로부터의 어긋남을 허용하여 직선으로 간주한다는 의미이다.

검사부(5)가, 전압 증대의 기울기를 ΔV/Δt로 하도록 가변 전압원(2)을 제어해도 되고, 검사부(5)로부터 전압 공급 개시의 지시를 받은 후, 가변 전압원(2)이 자율적으로 인가 전압 V를 ΔV/Δt의 기울기로 직선적으로 증대시켜도 된다.

가변 전압원(2)로부터 전압 공급이 개시되면, 도 2에 나타낸 바와 같이 커패시터(100)에는 전류 Ic가 흐른다. 전류 Ic는 하기 식 (1)로 얻어진다.

전류 Ic=C·ΔV/Δt … (1)

단, C는 커패시터(100)의 정전 용량.

식 (1)에 있어서, C, ΔV, Δt는 모두 고정값이므로 전류 Ic는 고정값으로 된다. 즉, 인가 전압 V를 ΔV/Δt의 기울기로 직선적으로 증대시키면, 정상인 커패시터(100)에는 일정한 전류 Ic가 흐른다.

다음으로, 전류 검출부(3)는 검출 전류 I를 검출한다(스텝 S2: 전류 검출 공정).

커패시터(100)가 정상이면, 기간 t3 동안에 있어서 검출 전류 I는, 상술한 식 (1)로 얻어지는 전류 Ic로 일정해진다. 그러나 커패시터(100)가, 전압 의존성이 있는 불량을 갖고 있는 경우, 도 2의 (b)에 나타내는 파형 B와 같이 인가 전압 V의 증대 과정에 있어서 일시적으로 검출 전류 I가 변화되거나, 도 2의 (c)에 나타내는 파형 C, D와 같이 시간의 경과 혹은 인가 전압 V의 증대에 수반하여 검출 전류 I가 점차 증가 또는 감소하거나 하는 일이 있다. 이와 같은 검출 전류 I의 변화를 검출함으로써, 전압 의존성이 있는 불량 또는 시간 의존성이 있는 불량을 검출할 수 있다.

그래서 검사부(5)는, 전류 검출부(3)에 의하여 검출된 검출 전류 I가 기준 범위 A 내인지 여부를 판정한다(스텝 S3: 검사 공정(판정 처리)). 기준 범위 A는, 전류 Ic에 대하여, 커패시터(100)의 특성 변동, 가변 전압원(2)에 의한 전압 제어 오차, 전류 검출부(3)에 의한 검출 오차 등의 허용 범위를 부가한 것이다. 기준 범위 A로서는, 예를 들어 0.9Ic 내지 1.1Ic 정도의 전류 범위를 이용할 수 있다.

검출 전류 I가 기준 범위 A 외인 경우(스텝 S3에서 "아니오"), 검사부(5)는, 커패시터(100)는 불량이라고 판정하고(스텝 S4), 처리를 종료한다. 이것에 의하여 커패시터(100)의, 전압 의존성이 있는 불량을 검출할 수 있다.

한편, 검출 전류 I가 기준 범위 A 내인 경우(스텝 S3에서 "예"), 검사부(5)는 미리 설정된 설정 전압 Ve와 인가 전압 V를 비교한다(스텝 S5). 설정 전압 Ve는, 인가 전압 V의 증대를 정지시키는 전압으로서 미리 설정되어 있다. 설정 전압 Ve로서는, 예를 들어 커패시터(100)의 정격 전압을 이용할 수 있다.

인가 전압 V가 설정 전압 Ve에 미치지 못하는 경우(스텝 S5에서 "아니오"), 다시 스텝 S2 내지 S5의 처리가 반복된다. 한편, 인가 전압 V가 설정 전압 Ve 이상인 경우(스텝 S5에서 "예": 타이밍 t2), 인가 전압 V가 0V부터 설정 전압 Ve까지 직선적으로 증대되는 과정에서 검출 전류 I는, 기준 범위 A를 넘는 변화를 일으키지 않게 된다. 따라서 검사부(5)는, 커패시터(100)는 양품으로 판정한다(스텝 S6).

다음으로, 검사부(5)는, 가변 전압원(2)으로부터 출력되는 인가 전압 V를 설정 전압 Ve로 고정시키고(스텝 S7), 처리를 종료한다.

이상, 스텝 S1 내지 S7의 처리에 의하면, 기간 t3에 있어서 직선적으로 변화되는 인가 전압 V를 커패시터(100)에 인가함으로써, 커패시터(100)의 전압 의존성이 있는 불량을 현재화시킬 수 있다. 그 결과, 파형 B와 같은 검출 전류 I의 변화로서 전압 의존성이 있는 불량을 검출할 수 있다.

또한 기간 t3 동안에, 파형 B와 같이 일시적인 검출 전류 I의 변화를 생기게 하는 불량, 예를 들어 전압 인가의 당초에밖에 이상 누설 전류가 흐르지 않는, 전압의 인가 시간에 의존하는 불량이 생기는 경우가 있다. 또한 파형 C, D와 같이 시간의 경과 혹은 인가 전압 V의 증대에 수반하여 검출 전류 I가 점차 증가 또는 감소하는, 전압 인가 시간 또는 인가 전압에 의존하는 불량이 생기는 경우가 있다.

이와 같은 불량이더라도 스텝 S1 내지 S7의 처리에 의하면, 기간 t3 동안에 파형 B와 같이 일시적으로 검출 전류 I가 변화되기만 하면 불량으로 판정할 수 있다. 또한 파형 C, D와 같이 검출 전류 I가 점차 증가 또는 감소하는 경우도 불량으로 판정할 수 있다. 따라서 시간에 의존하는 불량도 검사하는 것이 용이하다.

또한 도 4에 도시한 바와 같이, 검사부(5)는 스텝 S2 후, 하기 식 (2)에 기초하여 지표 K를 산출해도 된다(스텝 S8).

지표 K=(ΔV/Δt)/I … (2)

(ΔV/Δt)은 고정값이므로, 커패시터(100)가 정상이면 지표 K는 일정해지고, 검출 전류 I가 변화되면 지표 K도 변화된다. 따라서 검출 전류 I 대신 지표 K를 이용하여 커패시터(100)를 검사하는 것이 가능하다.

그리고 스텝 S3 대신 검사부(5)는, 지표 K가 기준 범위 A' 내인지 여부를 판정해도 된다(스텝 S3a: 검사 공정(판정 처리)). 기준 범위 A'은, 전류 Ic에 대응하는 지표 K에 대하여, 커패시터(100)의 특성 변동, 가변 전압원(2)에 의한 전압 제어 오차, 전류 검출부(3)에 의한 검출 오차 등의 허용 범위를 부가한 것이다. 기준 범위 A'으로서는, 예를 들어 0.9(ΔV/Δt)/Ic 내지 1.1(ΔV/Δt)/Ic 정도의 범위를 이용할 수 있다.

식 (2)에 있어서, ΔV/Δt, I의 단위는 각각 V/s, A이다. 따라서 지표 K의 단위는 V/s/A=Ω/s로 된다.

따라서 스텝 S8, S3a와 같이 지표 K를 이용하여 커패시터(100)의 검사를 행하면, 커패시터(100)의 특성을 나타내는 주요 물리량인 임피던스(Ω)에 근사한 단위계(Ω/s)의 파라미터에 기초하여 커패시터(100)의 양부를 판정할 수 있다.

또한, 예를 들어 도 5에 도시하는 커패시터 검사 장치(1a)와 같이 커패시터(100)와 전류 검출부(3)의 직렬 회로를 복수, 병렬로 접속해도 된다. 그리고 가변 전압원(2)은, 복수의, 커패시터(100)와 전류 검출부(3)의 직렬 회로에 대하여 병렬로 인가 전압 V를 인가하는 구성으로 해도 된다.

그리고 검사부(5a)는, 도 3, 도 4에 있어서의 스텝 S2 내지 S6을, 각 전류 검출부(3)에서 검출된 검출 전류 I에 대하여 각각 실행함으로써, 복수의 커패시터(100)의 양부를 판정하는 판정 처리를 실행해도 된다.

이것에 의하여 복수의 커패시터(100)를 병행하여 검사할 수 있으므로, 복수의 커패시터(100)의 검사 시간을 단축하는 것이 용이하다.

만약, 가령 도 1에 도시하는 커패시터 검사 장치(1)를 복수 대 이용하여 병렬 검사를 행하는 경우에는, 검사 대상인 커패시터(100)의 수만큼 가변 전압원(2)이 필요해진다. 한편, 도 5에 도시하는 커패시터 검사 장치(1a)에 의하면, 단일의 가변 전압원(2)에 의하여 복수의 커패시터(100)를 병행하여 검사할 수 있다.

즉, 본 발명의 일례에 따른 커패시터 검사 장치는, 1쌍의 단자를 구비한 커패시터를 검사하기 위한 커패시터 검사 장치이며, 상기 1쌍의 단자 사이에 대한 인가 전압을 실질적으로 직선적으로 증대시키는 전압 인가부와, 상기 1쌍의 단자 사이에 흐르는 전류를 검출 전류로서 검출하는 전류 검출부와, 상기 직선적으로 상기 인가 전압이 증대되는 기간 중에 있어서의 상기 검출 전류의 변화에 기초하여 상기 커패시터의 양부를 판정하는 판정 처리를 실행하는 검사부를 구비한다.

또한 본 발명의 일례에 따른 커패시터 검사 방법은, 1쌍의 단자를 구비한 커패시터를 검사하기 위한 커패시터 검사 방법이며, 상기 1쌍의 단자 사이에 대한 인가 전압을 실질적으로 직선적으로 증대시키는 전압 인가 공정과, 상기 1쌍의 단자 사이에 흐르는 전류를 검출 전류로서 검출하는 전류 검출 공정과, 상기 직선적으로 상기 인가 전압이 증대되는 기간 중에 있어서의 상기 검출 전류의 변화에 기초하여 상기 커패시터의 양부를 판정하는 판정 처리를 실행하는 검사 공정을 포함한다.

이들 구성에 의하면, 커패시터에 대한 인가 전압을 직선적으로 증대시킨 경우, 커패시터가 정상이면 흐르는 전류는 일정해진다. 따라서 직선적으로 인가 전압이 증대되는 기간 중에 있어서의 검출 전류의 변화에 기초하여 커패시터의 양부를 판정할 수 있다. 또한 직선적으로 증대되는 전압에 대하여 흐르는 전류의 변화, 즉, 인가 전압에 의존하여 생기는 검출 전류의 변화가 스캔되므로, 커패시터의 인가 전압에 의존하여 생기는 불량을 검사할 수 있다.

또한 상기 검사부는 상기 판정 처리에 있어서, 상기 기간 중에 있어서의 상기 검출 전류가, 미리 설정된 기준 범위를 넘어서 변화된 경우에, 상기 커패시터를 불량으로 판정하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 직선적으로 인가 전압이 증대되는 기간 중, 커패시터가 정상이면 흐르는 전류는 일정해지므로, 기간 중에 있어서의 검출 전류가, 그 일정한 전류값에 대하여 미리 설정된 기준 범위를 넘어서 변화된 경우, 커패시터를 불량으로 판정할 수 있다.

또한 상기 검사부는, 상기 인가 전압의 단위 시간당의 증대값을 상기 검출 전류로 제산하여 얻어지는 지표에 기초하여, 상기 판정 처리에 있어서, 상기 기간 중에 있어서의 상기 지표가, 미리 설정된 기준 범위를 넘어서 변화된 경우에, 상기 커패시터를 불량으로 판정하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 인가 전압은 직선적으로 증대되므로 인가 전압의 단위 시간당의 증대값은 일정하다. 또한 직선적으로 인가 전압이 증대되는 기간 중, 커패시터가 정상이면 흐르는 전류는 일정해지므로, 그 기간 중에 있어서의 검출 전류도 또한, 커패시터가 정상이면 일정하다. 따라서 인가 전압의 단위 시간당의 증대값을 검출 전류로 제산하여 얻어지는 지표도 또한, 커패시터가 정상이면 일정하다. 따라서 기간 중에 있어서의 지표가, 그 일정한 지표에 대하여 미리 설정된 기준 범위를 넘어서 변화된 경우, 커패시터를 불량으로 판정할 수 있다.

또한 상기 전압 인가부는 상기 인가 전압을 복수의 상기 커패시터에 대하여 병렬로 인가하고, 상기 전류 검출부를 상기 복수의 커패시터에 대응하여 복수 구비하고, 상기 검사부는 상기 판정 처리를 상기 복수의 커패시터에 대하여 각각 실행하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 복수의 커패시터를 병행하여 검사할 수 있으므로 복수의 커패시터의 검사 시간을 단축하는 것이 용이하다.

1: 커패시터 검사 장치
1a: 커패시터 검사 장치
2: 가변 전압원(전압 인가부)
3: 전류 검출부
4: 전압 검출부
5, 5a: 검사부
100: 커패시터
101, 102: 단자 전극(단자)
103, 104: 내부 전극
105: 유전체
A: 기준 범위
B: 파형
C: 정전 용량
d: 간격
I: 검출 전류
Ic: 전류
K: 지표
T1, T2: 접속 단자
t1, t2: 타이밍
t3: 기간
V: 인가 전압
Ve: 설정 전압

Claims (5)

1쌍의 단자를 구비한 커패시터를 검사하기 위한 커패시터 검사 장치이며,
상기 1쌍의 단자 사이에 대한 인가 전압을 실질적으로 직선적으로 증대시키는 전압 인가부와,
상기 1쌍의 단자 사이에 흐르는 전류를 검출 전류로서 검출하는 전류 검출부와,
상기 직선적으로 상기 인가 전압이 증대되는 기간 중에 있어서의 상기 검출 전류의 변화에 기초하여 상기 커패시터의 양부를 판정하는 판정 처리를 실행하는 검사부를 구비하는, 커패시터 검사 장치.

제1항에 있어서,
상기 검사부는 상기 판정 처리에 있어서, 상기 기간 중에 있어서의 상기 검출 전류가, 미리 설정된 기준 범위를 넘어서 변화된 경우에 상기 커패시터를 불량으로 판정하는, 커패시터 검사 장치.

제1항에 있어서,
상기 검사부는, 상기 인가 전압의 단위 시간당의 증대값을 상기 검출 전류로 제산하여 얻어지는 지표에 기초하여, 상기 판정 처리에 있어서, 상기 기간 중에 있어서의 상기 지표가, 미리 설정된 기준 범위를 넘어서 변화된 경우에 상기 커패시터를 불량으로 판정하는, 커패시터 검사 장치.

제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전압 인가부는 상기 인가 전압을 복수의 상기 커패시터에 대하여 병렬로 인가하고,
상기 전류 검출부를 상기 복수의 커패시터에 대응하여 복수 구비하고,
상기 검사부는 상기 판정 처리를 상기 복수의 커패시터에 대하여 각각 실행하는, 커패시터 검사 장치.

1쌍의 단자를 구비한 커패시터를 검사하기 위한 커패시터 검사 방법이며,
상기 1쌍의 단자 사이에 대한 인가 전압을 실질적으로 직선적으로 증대시키는 전압 인가 공정과,
상기 1쌍의 단자 사이에 흐르는 전류를 검출 전류로서 검출하는 전류 검출 공정과,
상기 직선적으로 상기 인가 전압이 증대되는 기간 중에 있어서의 상기 검출 전류의 변화에 기초하여 상기 커패시터의 양부를 판정하는 판정 처리를 실행하는 검사 공정을 포함하는, 커패시터 검사 방법.

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