KR20200073310A - 내경 연마 장치 - Google Patents

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Abstract

내경 연마 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 관 형상의 가공 대상물을 지지하는 제1 척 유닛, 가공 대상물의 내부에 삽입되는 연마봉을 지지하는 제2 척 유닛, 연마봉에 의해 가공 대상물의 내주면이 연마되도록, 제1 척 유닛에 지지되는 가공 대상물을 길이 방향 축을 중심으로 회전시키는 회전 구동 유닛, 연마봉이 가공 대상물에 대해 상대적으로 이동되도록 제2 척 유닛을 가공 대상물의 길이 방향을 따라 직선 이동시키는 직선 구동 유닛, 및 가공 대상물의 일단에 배치되어 가공 대상물과 연마봉 사이에 습식 연마재를 제공하는 연마재 공급 유닛을 포함하는 내경 연마 장치가 제공된다.

Description

내경 연마 장치{APPARATUS FOR POLISHING INSIDE DIAMETER}
본 발명은 내경 연마 장치에 관한 것이다.
일반적으로 경취성 재료는 다이아몬드, 사파이어와 같은 결정재료, QUARTZ, 글라스와 같은 비정질 재료, 및 알루미나, 지르코니아 등의 세라믹스 등을 포함한다. 여기서 세라믹스는 열과 냉각 활동으로 형성되는 비금속 고체로써, 금속과 달리 전기전도도가 낮으며 유기 재료와 달리 고온에 내성을 가져, 전자재료, 정밀기계 재료 등 다양한 용도에 쓰인다.
경취성 재료는 연삭 또는 랩핑 가공 시 발생하는 미세균열의 급속한 전파로 인해 취성 파괴의 위험이 있으므로 가공이 까다롭다. 또한, 가공 대상물의 두께가 얇고 길이가 긴 경우에는 편심이 작용하여 취성 파괴의 위험성이 높아지므로, 취성 파괴의 위험성을 낮추기 위한 공법 또는 가공 도구를 사용할 수 있다.
상술한 경취성 재료의 특성에 의한 가공의 어려움을 극복하고 가공 능률을 높이기 위해, 세라믹스 등의 경취성 재료의 가공 공법, 가공 도구 및 장치 등에 대한 연구가 진행되고 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2007-0092848호(2007.09.14 공고)
본 발명은 직선 구동 유닛 및 회전 구동 유닛을 이용하여, 연마봉을 관 형상의 가공 대상물의 내부로 삽입하여 직선 구동 시키고, 가공 대상물을 길이 방향 축을 중심으로 회전시켜 가공 대상물의 내경을 연마할 수 있는 내경 연마 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 관 형상의 가공 대상물을 지지하는 제1 척 유닛, 가공 대상물의 내부에 삽입되는 연마봉을 지지하는 제2 척 유닛, 연마봉에 의해 가공 대상물의 내주면이 연마되도록, 제1 척 유닛에 지지되는 가공 대상물을 길이 방향 축을 중심으로 회전시키는 회전 구동 유닛, 연마봉이 가공 대상물에 대해 상대적으로 이동되도록 제2 척 유닛을 가공 대상물의 길이 방향을 따라 직선 이동시키는 직선 구동 유닛, 및 가공 대상물의 일단에 배치되어 가공 대상물과 연마봉 사이에 습식 연마재를 제공하는 연마재 공급 유닛을 포함하는 내경 연마 장치가 제공된다.
내경 연마 장치는 가공 대상물의 타단에 연결되어 가공 대상물의 연마 과정에서 발생한 슬러리를 포집하는 슬러리 포집 유닛을 더 포함할 수 있다.
슬러리 포집 유닛은, 가공 대상물의 타단에 연결되어 가공 대상물로부터 배출되는 슬러리를 이송하기 위한 호스, 가공 대상물과 호스 사이에 개재되어 가공 대상물의 회전에 따른 호스의 꼬임을 방지하는 꼬임 방지 유닛, 호스에 연결되어 호스를 통해 이송되는 슬러리를 저장하는 슬러리 저장 탱크, 및 슬러리의 이송을 위한 구동력을 제공하는 펌프를 포함할 수 있다.
내경 연마 장치는 가공 대상물의 일단에 배치되어 가공 대상물의 일단으로 배출되는 습식 연마재를 회수하는 연마재 회수 유닛을 더 포함할 수 있다.
내경 연마 장치는 중력에 의한 가공 대상물의 처짐을 방지하기위해 가공 대상물을 지지하는 처짐 방지 유닛을 더 포함할 수 있다.
처짐 방지 유닛은, 가공 대상물의 회전에 따라 회전하며 가공 대상물을 지지하는 롤러 유닛, 및 일단에 결합되는 롤러 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절부를 포함할 수 있다.
내경 연마 장치는 습식 연마재를 보관하는 연마재 보관 유닛을 더 포함하고, 습식 연마재는 연마재 보관 유닛으로부터 연마재 공급 유닛으로 공급될 수 있다.
연마재 보관 유닛은, 습식 연마재를 보관하는 보관 탱크, 및 습식 연마재의 응고 및 침전을 방지하기 위해 습식 연마재를 교반하는 교반 유닛을 포함할 수 있다.
내경 연마 장치는 연마재 보관 유닛은 습식 연마재의 응고 및 침전을 방지하기 위해 에어 버블을 발생시키는 버블 발생 유닛을 더 포함할 수 있다.
내경 연마 장치는 회전 구동 유닛 및 직선 구동 유닛의 작동을 제어하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 직선 구동 유닛 및 회전 구동 유닛을 이용하여, 연마봉을 관 형상의 가공 대상물의 내부로 삽입하여 직선 구동 시키고, 가공 대상물을 길이 방향 축을 중심으로 회전시켜 가공 대상물의 내경을 연마할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 내경 연마 장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 내경 연마 장치의 사용 상태도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내경 연마 장치의 꼬임 방지 유닛을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 내경 연마 장치의 처짐 방지 유닛을 나타낸 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 이하 사용되는 제1, 제2 등과 같은 용어는 동일 또는 상응하는 구성 요소들을 구별하기 위한 식별 기호에 불과하며, 동일 또는 상응하는 구성 요소들이 제1, 제2 등의 용어에 의하여 한정되는 것은 아니다.
이하, 본 발명에 따른 내경 연마 장치(100)의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 관 형상의 가공 대상물(10)을 지지하는 제1 척 유닛(110), 가공 대상물(10)의 내부에 삽입되는 연마봉(20)을 지지하는 제2 척 유닛(120), 연마봉(20)에 의해 가공 대상물(10)의 내주면이 연마되도록, 제1 척 유닛(110)에 지지되는 가공 대상물(10)을 길이 방향 축을 중심으로 회전시키는 회전 구동 유닛(130), 연마봉(20)이 가공 대상물(10)에 대해 상대적으로 이동되도록 제2 척 유닛(120)을 가공 대상물(10)의 길이 방향을 따라 직선 이동시키는 직선 구동 유닛(140), 및 가공 대상물(10)의 일단에 배치되어 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이에 습식 연마재를 제공하는 연마재 공급 유닛(160)을 포함하는 내경 연마 장치(100)가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 관 형상의 가공 대상물(10)의 내부로 연마봉(20)을 삽입하여 직선 구동 시키고, 가공 대상물(10)을 길이 방향 축을 중심으로 회전시켜 가공 대상물(10)의 내경을 연마할 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 내경 연마 장치(100)의 각 구성에 대해 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제1 척 유닛(110)은 테이블에 설치되어 관 형상의 가공 대상물(10)을 지지할 수 있다. 일반적으로 척(chuck)은 복수 개의 조(jaw)를 이용하여 물체를 조여 지지하는 공구를 말하며, 본 실시예에서는 관 형상의 가공 대상물(10)이 제1 척 유닛(110)에 지지될 수 있다. 또한, 도 1에 도시에 된 바와 같이, 가공 대상물(10)은 제1 척 유닛(110)을 통과한 상태에서 지지될 수 있다.
여기서 가공 대상물(10)은 직경이 좁고 길이가 긴, 보다 자세하게는 지름 10이하의 내경, 300mm이상의 길이를 갖는 튜브 형상 세라믹스 등의 경취성 재료일 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제2 척 유닛(120)은 테이블에 설치되어, 가공 대상물(10)의 내부에 삽입되는 연마봉(20)을 지지할 수 있다. 보다 구체적으로, 우선 연마봉(20)은 가공 대상물(10)의 내부에 삽입되며, 제2 척 유닛(120)은 가공 대상물(10)의 내부에 삽입된 연마봉(20)의 일단을 지지할 수 있다. 여기서 사용되는 연마봉(20)은 가공 대상물(10)의 내부에 삽입되며 가공 대상물(10)의 내주면을 연마할 수 있는 재질 및 직경을 가질 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 회전 구동 유닛(130)은 연마봉(20)에 의해 가공 대상물(10)의 내주면이 연마되도록, 제1 척 유닛(110)에 지지되는 가공 대상물(10)을 길이 방향 축을 중심으로 회전시킬 수 있다.
보다 구체적으로 제1 척 유닛(110)은 테이블에 회전 가능하게 설치될 수 있으며, 이러한 제1 척 유닛(110)은 회전 구동 유닛(130)의 회전축과 벨트에 의해 연결되어, 회전 구동 유닛(130)의 회전력이 제1 척 유닛(110)으로 전달될 수 있다.
가공 대상물(10)의 내주면이 연마되기 위해서는 연마봉(20)의 외주면과 가공 대상물(10)의 내주면 사이에 마찰이 작용하여 가공 대상물(10)의 내면이 깎여야 하며, 후술할 습식 연마재가 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이에 제공되어 연마재가 가공 대상물(10)의 내주면을 연마하여 연마 공정이 진행될 수 있다. 따라서, 회전 구동 유닛(130)은 제1 척 유닛(110)에 지지되는 가공 대상물(10)을 길이 방향 축을 중심으로 회전시켜 가공 대상물(10)의 내주면에 마찰이 작용하여 연마가 이루어질 수 있다.
회전 구동 유닛(130)은 스테핑 모터를 포함할 수 있다. 스테핑 모터를 통하여 가공 대상물(10)의 회전 운동 속도를 설정할 수 있다. 또한, 후술할 제어 유닛(200)을 통하여 스테핑 모터의 작동을 제어하여 가공 대상물(10)의 회전 운동 속도 및 스테핑 모터의 온오프를 제어할 수 있다.또한, 회전 구동 유닛(130)은 가공 대상물(10)을 정방향 및 역방향을 선택적으로 회전시킬 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 직선 구동 유닛(140)은 연마봉(20)이 가공 대상물(10)에 대해 상대적으로 이동되도록 제2 척 유닛(120)을 가공 대상물(10)의 길이 방향을 따라 직선 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 직선 구동 유닛(140)은 가공 대상물(10)의 내부에 삽입된 연마봉(20)을 지지하는 제2 척 유닛(120)을 가공 대상물(10)의 길이 방향을 따라 직선 왕복 이동시킬 수 있으며, 연마봉(20)은 가공 대상물(10)에 대해 상대적으로 이동되며 연마봉(20)의 이동에 따라 가공 대상물(10)의 내경이 연마될 수 있다.
상술한 회전 구동 유닛(130)의 구동과 직선 구동 유닛(140)의 구동이 동시에 일어나며, 가공 대상물(10)의 내주면에 마찰이 일어나 연마가 이루어질 수 있다.
직선 구동 유닛(140)은 리니어 액츄에이터를 포함할 수 있으며, 구동 속도를 조절할 수 있는 서브 모터가 포함될 수 있다. 또한, 직선 구동 유닛(140)은 제어 유닛(200)에 의해 직선 이동 속도 및 온오프가 제어될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제어 유닛(200)은 회전 구동 유닛(130) 및 직선 구동 유닛(140)의 작동을 제어할 수 있다.
안정적인 연마를 위해 가공 대상물(10)의 재질 및 직경, 연마봉(20) 및 연마재의 재질에 따라서 가공 대상물(10)의 회전 속도, 연마봉(20)의 이동 속도가 조절될 필요가 있으므로, 제어 유닛(200)은 회전 구동 유닛(130) 및 직선 구동 유닛(140)의 온오프 및 구동 속도를 제어할 수 있다.
또한, 제어 유닛(200)은 후술할 연마재 공급 유닛(160)의 연동 펌프의 작동을 제어할 수 있다.
도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 처짐 방지 유닛(190)은 중력에 의한 가공 대상물(10)의 처짐을 방지하기 위해 가공 대상물(10)을 지지할 수 있다. 구체적으로, 처짐 방지 유닛(190)은 가공 대상물(10)의 회전에 따라 회전하며 가공 대상물(10)을 지지하는 롤러 유닛(192), 및 일단에 결합되는 롤러 유닛(192)의 높이를 조절하는 높이 조절부(194)를 포함할 수 있다.
처짐 방지 유닛(190)은 길이가 길어짐에 따라 중력에 의해 휨이 발생하거나 가공 과정에서 편심이 작용하는 가공 대상물(10)을 지지하여 취성 파괴를 방지할 수 있다.
롤러 유닛(192)은 가공 대상물(10)의 회전에 대응하여 가공 대상물(10)의 외주면을 따라 회전하며 가공 대상물(10)을 지지할 수 있다. 또한, 제2 척 유닛(120)의 높이, 및 가공 대상물(10)의 두께에 의해 가공 대상물(10)의 높이가 변화할 수 있으며, 높이 조절부(194)는 제2 척 유닛(120)에 결합된 가공 대상물(10)의 높이에 맞춰 롤러 유닛(192)의 높이를 조절할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 연마재 보관 유닛(150)은 연마하기 전에 습식 연마재를 보관할 수 있으며, 연마재 보관 유닛(150)에 보관되는 습식 연마재는 연마재 공급 유닛(160)으로 공급될 수 있다.
보다 구체적으로, 연마재 보관 유닛(150)은 습식 연마재를 보관하는 보관 탱크(152), 및 습식 연마재의 응고 및 침전을 방지하기 위해 연마재를 교반하는 교반 유닛(154)을 포함할 수 있다.
교반 유닛(154)은 블레이드와 블레이드를 회전시키는 모터를 포함할 수 있으며, 브레이드의 회전을 통하여 보관 탱크(152) 내에 보관되는 습식 연마재가 교반될 수 있다.
습식 연마재는 물과 분말 형태의 연마재가 혼합된 상태로 시간이 지나면 분말 형태의 연마재가 침전 또는 응고될 수 있으며, 교반 유닛(154)의 구동을 통하여 보관 탱크(152)에 보관되는 습식 연마재의 응고 및 침전이 방지될 수 있다.
여기서 분말 형태의 연마재는 입도는 #30 내지 #2000을 가질 수 있다.
또한, 연마재 보관 유닛(150)은 습식 연마재의 응고 및 침전을 방지하기 위해 에어 버블을 발생시키는 버블 발생 유닛(156)을 더 포함할 수 있다. 버블 발생 유닛(156)은 습식 연마재 내에 에어 버블을 발생시킬 수 있으며, 에어 버블은 물과 분말 형태의 연마재가 혼합된 상태를 유지시켜 연마재의 침전 또는 응고를 방지 할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 연마재 공급 유닛(160)은 가공 대상물(10)의 일단에 배치되어 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이에 습식 연마재를 제공할 수 있다. 구체적으로, 연마재 공급 유닛(160)은 습식 연마재를 유동시키는 동력을 제공하는 연동 펌프 및 가공 대상물(10)의 일단에 접하여 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이에 습식 연마재를 제공하는 연마재 주입부를 포함할 수 있다.
연동 펌프는 제어 유닛(200)에 의해 구동 속도가 제어될 수 있으며, 연동 펌프의 구동 속도에 따라 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이에 제공되는 습식 연마재의 양이 조절될 수 있다.
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 슬러리 포집 유닛(170)은 가공 대상물(10)의 타단에 연결되어 가공 대상물(10)의 연마 과정에서 발생된 슬러리를 포집할 수 있다.
구체적으로, 슬러리 포집 유닛(170)은 가공 대상물(10)의 타단에 연결되어 가공 대상물(10)로부터 배출되는 슬러리를 이송하기 위한 호스(172), 가공 대상물(10)과 호스(172) 사이에 개재되어 가공 대상물(10)의 회전에 따른 호스(172)의 꼬임을 방지하는 꼬임 방지 유닛(174), 호스(172)에 배치되어 호스(172)를 통해 이송되는 슬러리를 저장하는 슬러리 저장 탱크(176), 및 슬러리의 이송을 위한 구동력을 제공하는 펌프(178)를 포함할 수 있다.
꼬임 방지 유닛(174)은 일측이 가공 대상물(10)에 연결되는 제1 부재 및 일측이 제1 부재의 타측과 회전 가능하게 결합되어 타측이 호스(172)에 연결되는 제2 부재를 포함할 수 있다. 따라서, 제1 부재가 가공 대상물(10)과 함께 가공 대상물(10)의 길이 방향 축을 따라 회전하여도 제2 부재는 제1 부재와 함께 회전하지 않아 호스(172)의 꼬임을 방지할 수 있다.
펌프(178)는 오일 진공 펌프를 포함할 수 있으며, 슬러리 저장 탱크(176)의 기압을 낮춰 가공 대상물(10)에 있는 슬러리를 호스(172)를 통하여 슬러리 저장 탱크(176)로 이송할 수 있다.
보다 자세하게, 펌프(178)는 슬러리 저장 탱크(176) 내부를 진공으로 만들어 연마 과정에서 발생된 슬러리를 석션(suction)하여 슬러리 저장 탱크(176)로 강제 이송시키는 흡입 펌프일 수 있으며, 이에 따라 슬러리는 펌프(178)의 작동에 의해 가공 대상물(10)의 타단 방향으로 흡입되어 가공 대상물(10)의 일단으로의 배출이 방지될 수 있다. 따라서, 슬러리는 펌프(178)의 작동에 의해 후술할 연마재 회수 유닛(180)으로 유동이 최소화될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 연마재 회수 유닛(180)은 가공 대상물(10)의 일단에 배치되어 가공 대상물(10)의 일단으로 배출되는 습식 연마재를 회수할 수 있다. 다시 말하면, 연마재 회수 유닛(180)은 가공 대상물(10)의 일단에 배치되어 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이로 제공되지 못하고 가공 대상물(10)의 일단에서 배출되는 습식 연마재를 회수할 수 있다.
습식 연마재의 유동에 대해 정리하면, 습식 연마재는 연마재 보관 유닛(150)에서 혼합 및 보관되다가 연마재 공급 유닛(160)으로 공급되어 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이로 유동할 수 있다. 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이에 위치한 습식 연마재는 연마 부산물과 함께 슬러리 포집 유닛(170)으로 유동할 수 있으며, 가공 대상물(10)과 연마봉(20) 사이에 제공되지 못하고 가공 대상물(10)의 일단으로 배출되는 습식 연마재는 연마재 회수 유닛(180)에 의해 회수될 수 있다.
이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
10: 가공 대상물
20: 연마봉
100: 내경 연마 장치
110: 제1 척 유닛
120: 제2 척 유닛
130: 회전 구동 유닛
140: 직선 구동 유닛
150: 연마재 보관 유닛
152: 보관 탱크
154: 교반 유닛
156: 버블 발생 유닛
160: 연마재 공급 유닛
170: 슬러리 포집 유닛
172: 호스
174: 꼬임 방지 유닛
176: 슬러리 저장 탱크
178: 펌프
180: 연마재 회수 유닛
190: 처짐 방지 유닛
192: 롤러 유닛
194: 높이 조절부
200: 제어 유닛

Claims (10)

  1. 관 형상의 가공 대상물을 지지하는 제1 척 유닛;
    상기 가공 대상물의 내부에 삽입되는 연마봉을 지지하는 제2 척 유닛;
    상기 연마봉에 의해 상기 가공 대상물의 내주면이 연마되도록, 상기 제1 척 유닛에 지지되는 상기 가공 대상물을 길이 방향 축을 중심으로 회전시키는 회전 구동 유닛;
    상기 연마봉이 상기 가공 대상물에 대해 상대적으로 이동되도록 상기 제2 척 유닛을 상기 가공 대상물의 길이 방향을 따라 직선 이동시키는 직선 구동 유닛; 및
    상기 가공 대상물의 일단에 배치되어 상기 가공 대상물과 상기 연마봉 사이에 습식 연마재를 제공하는 연마재 공급 유닛을 포함하는 내경 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가공 대상물의 타단에 연결되어 상기 가공 대상물의 연마 과정에서 발생된 슬러리를 포집하는 슬러리 포집 유닛을 더 포함하는 내경 연마 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 슬러리 포집 유닛은,
    상기 가공 대상물의 타단에 연결되어 상기 가공 대상물로부터 배출되는 상기 슬러리를 이송하기 위한 호스;
    상기 가공 대상물과 상기 호스 사이에 개재되어 상기 가공 대상물의 회전에 따른 상기 호스의 꼬임을 방지하는 꼬임 방지 유닛;
    상기 호스에 연결되어 상기 호스를 통해 이송되는 상기 슬러리를 저장하는 슬러리 저장 탱크; 및
    상기 슬러리의 이송을 위한 구동력을 제공하는 펌프를 포함하는, 내경 연마 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가공 대상물의 일단에 배치되어 상기 가공 대상물의 일단으로 배출되는 상기 습식 연마재를 회수하는 연마재 회수 유닛을 더 포함하는 내경 연마 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    중력에 의한 상기 가공 대상물의 처짐을 방지하기위해 상기 가공 대상물을 지지하는 처짐 방지 유닛을 더 포함하는 내경 연마 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 처짐 방지 유닛은,
    상기 가공 대상물의 회전에 따라 회전하며 상기 가공 대상물을 지지하는 롤러 유닛; 및
    상기 롤러 유닛에 결합되어 상기 롤러 유닛의 높이를 조절하는 높이 조절부를 포함하는, 내경 연마 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 습식 연마재를 보관하는 연마재 보관 유닛을 더 포함하고,
    상기 습식 연마재는 상기 연마재 보관 유닛으로부터 상기 연마재 공급 유닛으로 공급되는 내경 연마 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 연마재 보관 유닛은,
    상기 습식 연마재를 보관하는 보관 탱크; 및
    상기 습식 연마재의 응고 및 침전을 방지하기 위해 상기 습식 연마재를 교반하는 교반 유닛을 포함하는, 내경 연마 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 연마재 보관 유닛은 상기 습식 연마재의 응고 및 침전을 방지하기 위해 에어 버블을 발생시키는 버블 발생 유닛을 더 포함하는, 내경 연마 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 회전 구동 유닛 및 상기 직선 구동 유닛의 작동을 제어하는 제어 유닛을 더 포함하는 내경 연마 장치.
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