KR102328387B1 - 반도체용 그랜드 내경 연마장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 그랜드의 내경을 기계적으로 자동으로 연마하게 되므로 작업효율성을 높이면서 목적하는 조도를 균일하게 유지할 수 있으면서 작업자의 피로도를 경감하고 작업환경을 쾌적하게 유지할 수 있도록 한 것으로서;
상면에 어퍼테이블을 가지는 프레임과;
상기 어퍼테이블의 전방위치에 설치하여 구동수단에 의하여 회전하는 턴테이블과;
상기 턴테이블의 상면에 고정하는 지그장착대와;
상기 지그장착대에 설치하여 연마하고자 하는 그랜드를 잡아서 유지하는 지그와;
상기 턴테이블의 전방에 지그로 연마하고자 하는 그랜드를 공급하고 연마완료된 그랜드를 배출하도록 설치하는 로더언로더와;
상기 턴테이블의 후방에 설치하여 지그에 클램핑되어 공급되는 그랜드의 내경을 연마하기 위한 연마수단을 포함하는 것이 특징이다.

Description

반도체용 그랜드 내경 연마장치{GRINDING DEVICE FOR GRAND INNER DIAMETER}

본 발명은 반도체용 그랜드 내경 연마장치에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 고청정 반도체 라인에 적용되어 유체(특히 기체)를 유통시키거나 분배하는 역할을 수행하는 그랜드의 내경 조도를 향상시킬 수 있도록 하는 특화된 구조의 그랜드 내경 연마장치의 제공에 관한 것이다.

반도체 라인에 적용되는 그랜드는 유체를 유통시키거나 유체를 분배하기 위한 용도로 사용되는 것으로서 내경에 높은 조도를 요구하기도 하지만 내경면 전체에 균일성을 유지하지 못할 경우에는 유체가 유통하는 과정 또는 분배되는 과정에서 틸팅되는 현상이 발생하고 내구성 및 부식저항으로 인하여 반도체 제품 생산라인에 좋지 않은 영향을 미치게 된다.

일반 산업분야에서는 각종의 부품 등의 내경면 연마를 위한 다양한 장치들이 개발되어 사용되고 있으며, 이를 특허문헌을 통하여 기술내용을 살펴보면 다음과 같다.

특허문헌 1은, 다수의 부품을 지지함과 더불어 하부 외형을 이루는 베드; 상기 베드의 일측에 구비되며, 슬리브 링을 셋팅함과 더불어 슬리브 링을 회전시키는 셋팅 수단; 상기 베드의 일측에 구비되며, 셋팅 수단에 셋팅된 슬리브 링의 내경을 연마하는 가공 수단;을 포함하여 이루어 지며,

상기 셋팅 수단은 복수개의 슬리브 링을 회전 가능하게 고정 셋팅하고, 상기 가공 수단은 셋팅 수단에 셋팅된 복수개의 슬리브 링을 동시에 가공하며,

상기 셋팅 수단은, 상기 베드의 일측에 구비되며, 가공 전 단계의 슬리브 링이 저장되는 인슈트; 상기 베드의 일측에 구비되며, 가공 후 단계의 슬리브 링이 배출되도록 하는 아웃슈트; 상기 인슈트 또는 아웃슈트의 일측에 구비되며, 슬리브 링을 고정함과 더불어 회전시키는 제1롤러 및 제2롤러; 상기 인슈트의 일측에 구비되며, 제1롤러 및 제2롤러와 함께 슬리브 링을 고정하는 슬리브 링 안착부재; 상기 슬리브 링 안착부재의 일측에 구비되며, 인슈트에 저장된 슬리브 링을 일측으로 이송하는 푸시바;를 포함하여 구성되며,

상기 인슈트의 일측에는 슬리브 링의 이송을 안내하는 가이드 부재가 구비되며, 상기 가이드 부재의 내부에는 서로 다른 슬리브 링을 구획하는 분할판이 더 구비되고, 상기 가이드 부재 및 분할판에는 가공 수단이 삽입되어 슬리브 링을 가공할 수 있도록 하는 삽입홀이 더 형성되며, 상기 삽입홀은 슬리브 링의 내경보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하고 있다.

특허문헌 2는, 관 형상의 가공 대상물을 지지하는 제1 척 유닛; 상기 가공 대상물의 내부에 삽입되는 연마봉을 지지하는 제2 척 유닛; 상기 연마봉에 의해 상기 가공 대상물의 내주면이 연마되도록, 상기 제1 척 유닛에 지지되는 상기 가공 대상물을 길이 방향 축을 중심으로 회전시키는 회전 구동 유닛; 상기 연마봉이 상기 가공 대상물에 대해 상대적으로 이동되도록 상기 제2 척 유닛을 상기 가공 대상물의 길이방향을 따라 직선 이동시키는 직선 구동 유닛; 및 상기 가공 대상물의 일단에 배치되어 상기 가공 대상물과 상기 연마봉 사이에 습식 연마재를 제공하는 연마재공급 유닛을 포함하고,

상기 가공 대상물의 타단에 연결되어 상기 가공 대상물의 연마 과정에서 발생된 슬러리를 포집하는 슬러리 포집유닛을 더 포함하고, 상기 슬러리 포집 유닛은, 상기 가공 대상물의 타단에 연결되어 상기 가공 대상물로부터 배출되는 상기 슬러리를 이송하기 위한 호스; 상기 가공 대상물과 상기 호스 사이에 개재되어 상기 가공 대상물의 회전에 따른 상기 호스의 꼬임을 방지하는 꼬임 방지 유닛; 상기 호스에 연결되어 상기 호스를 통해 이송되는 상기 슬러리를 저장하는 슬러리 저장 탱크; 및 상기 슬러리의 이송을 위한 구동력을 제공하는 펌프를 포함하는 구성이다.

특허 제 10 - 2146574 - 0000 호 특허 제 10 - 2165811 - 0000 호

없슴.

상기와 같은 선행기술 중 특허문헌 1의 경우에는 복수개의 슬리브 링을 동시에 가공하면서도 정밀도가 높은 슬리브 링을 얻을 수 있도록 함과 더불어 생산 능률이 증대될 수 있도록 다수의 부품을 지지함과 더불어 하부 외형을 이루는 베드와, 상기 베드의 일측에 구비되며 슬리브 링을 셋팅함과 더불어 슬리브 링을 회전시키는 셋팅 수단과, 상기 베드의 일측에 구비되며 셋팅 수단에 셋팅된 슬리브 링의 내경을 연마하는 가공 수단을 포함하여 이루어지며, 특히 상기 셋팅 수단은 복수개의 슬리브 링을 회전 가능하게 구성하는 것이 특징이다.

특허문헌 2의 경우에는 직선 구동 유닛 및 회전 구동 유닛을 이용하여, 연마봉을 관 형상의 가공 대상물의 내부로 삽입하여 직선 구동 시키고, 가공 대상물을 길이 방향 축을 중심으로 회전시켜 가공 대상물의 내경을 연마할 수 있도록 하는 구성이다.

상기와 같이 일반 산업분야의 부품의 경우에는 전용의 연마장치를 이용하여 내경을 연마하고 있으나 반도체 라인에 적용되는 그랜드의 경우에는 길이가 수cm에 지나지 않고 직경 또한 수mm이면서 내경은 그보다 작기 때문에 기계적인 작업이 어려운 실정이다.

이러한 이유에 의하여 최근에 까지 그랜드 내경을 작업자가 수작업에 의하여 연마하고 있는 실정이어서 내경조도를 정밀하면서도 균일하게 유지하는 것이 어려운 실정이었으며, 발전된 형태로는 회전하는 툴에 연마수단을 장착한 후 그랜드를 작업자가 손으로 잡어 밀고 당기는 형태로 이루어지고 잇는 실정이다.

상기와 같이 수작업으로 그랜드의 내경 조도를 결정하기 때문에 작업자의 피로도가 높은 것은 물론 생산성이 높지 않기 때문에 필요한 물량을 맞추기 위하여 많은 인력이 필요하게 되므로 생산원가 상승의 원인이 되고 있다.

연마과정에서 발생하는 미세분말이 비산되어 호흡기로 유입되어 작업자의 건강을 악화시키는 것은 물론, 비산된 먼지가 작업장 내부를 오염시키기 때문에 쾌적한 작업환경을 유지하는 것이 현실적으로 어렵게 된다.

특히 수작업에 의존하여 내경조도를 맞추기 때문에 균일한 상태를 유지하는 것이 어렵고 작업자의 숙련도와 작업자의 악력 등에 따라 조도가 달라지는 것은 물론론 그랜드의 내경 표면 편차가 발생하여 실제 제품을 사용시 초기에 언급한 바와 같이 유체의 틸팅 현상과 내구성 저하와 부식저항으로 인하여 생산되는 제품에 좋지 않은 영향을 미치게 되는 등 여러 문제점들이 발생하고 있다.

이에 본 발명에서는 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 상면에 어퍼테이블(102)을 가지는 프레임(101)과;

상기 어퍼테이블(102)의 전방위치에 설치하여 구동수단(103)에 의하여 회전하는 턴테이블(105)과;

상기 턴테이블(105)의 상면에 고정하는 지그장착대(106)와;

상기 지그장착대(106)에 설치하여 연마하고자 하는 그랜드(107)를 잡아서 유지하는 지그(110)와;

상기 턴테이블(105)의 전방에 지그(110)로 연마하고자 하는 그랜드(107)를 공급하고 연마완료된 그랜드(107)를 배출하도록 설치하는 로더언로더(108)와;

상기 턴테이블(105)의 후방에 설치하여 지그(110)에 클램핑되어 공급되는 그랜드(107)의 내경을 연마하기 위한 연마수단(130)을 포함하여;

그랜드의 내경을 기계적으로 자동으로 연마하게 되므로 작업효율성을 높이면서 목적하는 조도를 균일하게 유지할 수 있으면서 작업자의 피로도를 경감하고 작업환경을 쾌적하고 안전성을 유지할 수 있는 목적 달성이 가능하다.

본 발명은 그랜드의 내경 조도를 기계적으로 자동으로 연마하기 때문에 생산성을 높이면서 생산원가를 대폭 줄일 수 있고, 높은 조도를 균일하게 지속적으로 유지할 수 있어 안정된 품질을 보장하여 대외적인 경쟁력을 높일 수 있는 것을 물론, 그랜드를 반도체 라인에 적용하였을 때 유체를 안정적으로 공급하여 생산되는 품질을 안정화할 수 있는 효과를 가진다.

본 발명은 그랜드의 내경을 기계적으로 연마함으로서 효율적인 작업을 가능하게 하면서 작업자의 피로도를 경감하면서 건강증진에 기여할 수 있고 쾌적한 작업환경을 유지할 수 있으면서, 연마 완성된 그랜드의 외표면의 손상을 배제할 수 있는 등 다양한 효과를 가진다.

도 1은 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치를 도시한 정면 상태의 구성도.
도 2는 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치를 도시한 측면 상태의 구성도.
도 3은 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치를 도시한 평면 상태의 구성도.
도 4는 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치의 주요부를 발췌한 사시도.
도 5는 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치의 지그를 발췌하여 도시한 사시도.
도 6은 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치의 지그를 발췌하여 도시한 단면도.

이하 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성과 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치를 도시한 정면 상태의 구성도, 도 2는 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치를 도시한 측면 상태의 구성도, 도 3은 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치를 도시한 평면 상태의 구성도, 도 4는 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치의 주요부를 발췌한 사시도, 도 5는 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치의 지그를 발췌하여 도시한 사시도, 도 6은 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치의 지그를 발췌하여 도시한 단면도로서 함께 설명한다.

본 발명의 기술이 적용되는 그랜드 내경 연마장치(100)는, 박스형상으로 구비되는 프레임(101)의 상면에 어퍼테이블(102)을 구비하고, 상기 어퍼테이블(102)의 전방위치에는 구동수단(103)에 의하여 회전하는 턴테이블(105)을 설치한다.

상기 턴테이블(105)의 상면에는 90° 방향으로 배열하여 한 피치씩 이동할 수 있도록 지그장착대(106)를 고정하고, 상기 지그장착대(106)에는 연마하고자 하는 그랜드(107)를 잡아서 유지하기 위한 지그(110)를 장착한다.

상기 턴테이블(105)의 전방에는 지그(110)로 연마하고자 하는 그랜드(107)를 공급하고 연마완료된 그랜드(107)를 배출하기 위한 로더언로더(108)를 설치하는 데, 상기 로더언로더(108)는 프레임(101)에 장착하여도 되고, 프레임(101)과는 별도로 구비하여 근접시켜 사용할 수도 있을 것이다.

상기 로더언로더(108)의 구성은 실린더 또는 서보모터에 의하여 X,Y,Z방향으로 움직이는 클램퍼를 가지는 자동화기기 기술분야에서는 보편적인 구성이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하도록 한다.

상기 턴테이블(105)의 후방에는 지그(110)에 클램핑되어 공급되는 그랜드(107)의 내경을 연마하기 위한 연마수단(130)을 설치하여 구성한다.

상기 지그(110)는, 턴테이블(105)의 지그장착대(106)에 고정되는 개략 "ㄷ"형상의 지그고정대(111)의 전방에 작동실린더(112)를 장착하고, 상기 작동실린더(112)의 전방 일측에는 고정지그(113)를 고정하고, 고정지그(113)의 타측에는 가동지그(114)를 장착하여 공급되는 그랜드(107)를 클램핑 및 언클램핑할 수 있도록 한다.

본 발명에서는 턴테이블(105)에 90°단위로 지그고정대(111)를 배열하는 것으로 예시하고 있으나 필요에 따라 90°보다 작거나 크게 배열하여 구성할 수 있음은 당연할 것이므로 본 발명의 예시로 국한하는 것은 아니다.

상기 고정지그(113)와 가동지그(114)의 전방에는 금속재질의 지그바디(115)를 장착하고, 상기 지그바디(115)의 전방에는 연접위치에 그랜드(107)를 클램핑할 수 있도록 개략 "V"형상의 클램핑홈(116)을 형성한 클램퍼(117)를 교환가능하게 장착한다.

상기 클램퍼(117)는 그랜드(107)를 클램핑할 때 외표면에 가압에 의한 찍힘자국과 같은 손상을 방지할 수 있도록 동재질로 구성하는 것이 바람직하며, 동재질에 상응하는 유사한 다른 재질로도 구성할 수 있음은 당연할 것이다.

상기 가동지그(114)는 작동실린더(112)의 전방에 고정되는 슬라이딩레일(118)에 결합하고, 작동실린더(112)의 로드와 브라켓(119)으로 연결하여 고정지그(113)에 대하여 연접 및 이탈작동할 수 있도록 구성한다.

상기 연마수단(130)은, 턴테이블(105)의 후방에 세워지는 연마가이드(140)와, 프레임(101)의 후방에 세워지는 서포터(131)에 장착되어 상,하 승강하면서 그랜드(107)의 내경으로 진입하여 실질적인 연마를 수행하는 연마기(150)로 구성한다.

상기 연마가이드(140)는, 어퍼테이블(102)에 지그(110)보다 높은 위치로 세워지는 가이드폴(141)의 상측에서 지그(110) 방향으로 돌출되는 가이드플레이트(142)를 고정한다.

상기 가이드플레이트(142)의 선단 상면에는 지그(110)에 클램핑된 그랜드(107)의 내경과 동일한 위치에 가이드홀(143)을 형성한 가이드블록(144)을 고정하여 연마기(150)가 그랜드(107)로 용이하게 진입할 수 있도록 한다.

상기 연마기(150)는, 모터 또는 실린더와 같은 승강수단(151)에 의하여 지그(110) 방향으로 상,하 승강하면서 모터와 같은 구동수단(152)에 의하여 회전력을 발생시키는 연마바디(155)를 설치한다.

상기 연마바디(155)의 하단에는 연마툴(156)을 장착하기 위한 척을 가지도록 하고, 상기 연마툴(156)에는 연마팁(157)을 장착하여 그랜드(107)의 내경표면을 목적하는 조도로 균일하게 연마할 수 있도록 한다.

상기 연마팁(157)은 다양한 종류의 것을 사용할 수 있으나 바람직하게 스톤타입의 것이 좋으며, 연마툴(156)의 축중심에 대하여 방사상으로 배열하는 데 최소 2방향 이상으로 배열하는 형태를 가지는 것이 그랜드(107)의 내경을 균일하게 연마하면서 안정된 밸런스를 유지할 수 있을 것이다.

상기 연마툴(157)은 바타입의 하단(끝단에)에 연마팁(157)을 일체로 가는 타입은 물론, 관체 형상의 연마툴(157) 내경에 연마팁(157)을 내장하여 연마툴(157)의 축방향에 대한 직각방향으로 연마팁(157)이 돌출되도록 하는 타입 등 다양한 종류의 것이 있으므로 이들 중 하나를 연마작업에 맞게 선택 또는 채택하여 사용할 수 있을 것이다.

상기 지그(110)와 연마기(130) 사이로는 연마 과정에서 발생하는 열을 냉각하고 연마과정에서 그랜드(107)의 내경이 손상되는 것을 방지할 수 있도록 연삭유 등을 공급할 수 있는 수단을 강구할 수 있을 것이며, 상기 로더언로더(108) 위치에 어퍼테이블(102) 양측에는 그랜드(107)의 공급과 배출을 감지할 수 있도록 센서를 장착할 수 있을 것이다.

상기 지그(110)가 위치하는 어퍼테이블(102)의 전방을 제외한 사방은 연마 과정에서 이물질 등이 비산되는 것을 방지할 수 있도록 커버로 차단하여도 되며, 전방의 경우에는 그랜드(107)를 공급하고 배출하는 과정에서만 개폐될 수 있는 구조를 가지도록 하는 등 다양한 형태로의 실시가 가능할 것이다.

상기와 같은 본 발명의 기술이 적용된 그랜드 내경 연마장치(100)를 이용하여 그랜드(107)의 내경을 연마하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.

연마하고자 하는 그랜드(107)가 로더언로더(108)에 의하여 프레임(101)의 전방에 위치한 지그(110)로 연마하고자 하는 그랜드(107)가 공급되는 데, 이때 지그(110)를 구성하는 가동지그(114)가 작동실린더(112)에 의하여 슬라이딩 이동되어 고정지그(113)에 대하여 일 측방으로 이동된다.

그러면 고정지그(113)와 가동지그(114)를 구성하는 지그바디(115)의 전방에 고정된 클램퍼(117)의 연접위치에 형성된 클램핑홈(116)이 개방되어지고, 이와 같이 개방된 클램핑홈(116)으로 그랜드(107)가 삽입되면 작동실린더(112)가 수축작동하여 가동지그(114)를 원래의 위치로 복귀시키게 되므로 그랜드(107)는 클램핑상태를 유지할 수 있게 된다.

이와 같이 90°단위로 한 피치씩 이동하면서 연마수단(130) 위치로 이동하고, 연마수단(130)에 의하여 연마된 그랜드(107)는 초기위치에서 연마완료된 그랜드(107)는 로더언로더(108)에 의하여 배출되고 새로운 그랜드(107)가 공급되는 동작이 지속적으로 이루어지게 된다.

상기와 같이 지그(110)에 장착되어 연마수단(130) 위치로 이동하면 연마수단(130)에 의하여 그랜드(107)의 내경이 연마되는 데 이를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

그랜드(107)를 클램핑하여 연마수단(130) 위치로 이동하여 연마가이드(140) 하방에 위치하게 되고, 연마기(150)가 승강수단(151)에 의하여 하강 작동하면서 구동수단(152)에 의하여 연마바디(155)를 회전시킨다.

상기 연마바디(155)에는 연마팁(157)을 가지는 연마툴(158)이 장착되어 있으므로 연마가이드(140)를 구성하는 가이드블록(144)에 형성된 가이드홀(143)을 통하여 지그(110)에 클램핑된 그랜드(107)의 내경으로 삽입되어 내경을 연마할 수 있게 되는 것이다.

이와 같이 연마가 완료된 후에는 승강수단(151)에 의하여 연마툴(156)이 상승하고 구동수단(152)이 정지하여 연마툴(156)의 회전을 정지시키면서 다음 지그(110)에 클램핑된 그랜드(107)가 위치하면 다시 작동하여 연마를 수행하는 작업을 반복하게 되는 것이다.

상기와 같은 본 발명은 그랜드의 내경을 기계적으로 자동으로 연마하게 되므로 작업효율성을 높이면서 목적하는 조도를 균일하게 유지할 수 있으면서 작업자의 피로도를 경감하고 작업환경을 쾌적하게 유지할 수 있는 등 다양한 장점을 가지는 발명이다.

100; 반도체용 그랜드 내경 연마장치
101; 프레임 102; 어퍼테이블
105; 턴테이블 110; 지그
111; 지그고정대 112; 작동실린더
113; 고정지그 114; 가동지그
115; 지그바디 116; 클램핑홈
117; 클램퍼 130; 연마수단
140; 연마가이드 142; 가이드플레이트
143; 가이드홀 144; 가이드블록
150; 연마기 151; 승강수단
152; 구동수단 155; 연마바디
156; 연마바디 157; 연마팁

Claims (4)

1. 상면에 어퍼테이블(102)을 가지는 프레임(101)과; 상기 어퍼테이블(102)의 전방위치에 설치하여 구동수단(103)에 의하여 회전하는 턴테이블(105)과; 상기 턴테이블(105)의 상면에 고정하는 지그장착대(106)와; 상기 지그장착대(106)에 설치하여 연마하고자 하는 그랜드(107)를 잡아서 유지하는 지그(110)와; 상기 턴테이블(105)의 전방에 지그(110)로 연마하고자 하는 그랜드(107)를 공급하고 연마완료된 그랜드(107)를 배출하도록 설치하는 로더언로더(108)와; 상기 턴테이블(105)의 후방에 설치하여 지그(110)에 클램핑되어 공급되는 그랜드(107)의 내경을 연마하기 위한 연마수단(130)으로 구성하고;
   상기 지그(110)는, 턴테이블(105)의 지그장착대((106)에 고정되는 지그고정대(111)와;
   상기 지그고정대(111)의 전방에 장착하는 작동실린더(112)와;
   상기 작동실린더(112)의 전방 일측에 장착하는 고정지그(113)와;
   상기 고정지그(113)의 타측위치 작동실린더(112) 전방에 장착하는 가동지그(114)와;
   상기 고정지그(113)와 가동지그(114)의 전방에 장착하는 지그바디(115)와;
   연접위치에 그랜드(107)를 클램핑할 수 있도록 클램핑홈(116)을 형성하여 지그바디(115)의 전방에 교환가능하게 장착하는 클램퍼(117)를 포함하고;
   상기 가동지그(114)는, 상기 작동실린더(112)의 전방에 고정되는 슬라이딩레일(118)과 가동지그(114)를 결합하고;
   상기 작동실린더(112)의 로드와 브라켓(119)으로 연결하여 고정지그(113)에 대하여 가동지그(114)가 연접 및 이탈작동하여 공급되는 그랜드(107)를 클램핑 및 언클램핑할수 있도록 구성하고;
   상기 연마수단(130)은, 턴테이블(105)의 후방에 세워지는 연마가이드(140)와;
   프레임(101)의 후방에 세워지는 서포터(131)에 장착되어 상,하 승강하면서 그랜드(107)의 내경으로 진입하여 실질적인 연마를 수행하는 연마기(150)를 포함하고;
   상기 연마가이드(140)는, 어퍼테이블(102)에 지그(110)보다 높은 위치로 세워지는 가이드폴(141)의 상측에서 지그(110) 방향으로 돌출되게 고정하는 가이드플레이트(142)와;
   상기 가이드플레이트(142)의 선단 상면에 지그(110)에 클램핑된 그랜드(107)의 내경과 동일한 위치에 가이드홀(143)을 형성하여 연마기(150)가 그랜드(107)로 진입할 수 있게하는 가이드블록(144)을 더 포함하고;
   상기 연마기(150)는, 승강수단(151)에 의하여 지그(110) 방향으로 상,하 승강하면서 구동수단(152)에 의하여 회전력을 발생시키는 연마바디(155)와;
   상기 연마바디(155)의 하단에 장착하는 연마툴(156)과;
   상기 연마툴(156)에 장착하여 그랜드(107)의 내경표면을 목적하는 조도로 균일하게 연마하는 연마팁(157)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체용 그랜드 내경 연마장치.
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