KR20200060232A - 접합기판의 분단방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 접합기판을 호적하게 분단 할 수 있는 방법을 제공한다.
[해결수단] 해당 방법이 제 1 유리기판의 표면에서 분단 예정위치를 따라서 제 1 스크라이브 라인에서부터 제 1 유리기판의 두께의 30% 이상 50% 이하의 깊이를 갖는 제 1 수직 크랙을 도입하는 제 1 스크라이브 공정과, 제 2 유리기판의 표면에 제 2 스크라이브 라인에서부터 제 2의 유리기판의 두께의 5% 이상 10% 이하의 깊이를 갖는 제 2 수직 크랙을 도입하는 제 2 스크라이브 공정과, 제 1 및 제 2 스크라이브 공정을 거친 접합기판에 대해 브레이크 바를 접촉시키고, 제 1 스크라이브 공정에서 도입된 제 1 수직 크랙을 신장시키는 제 1 브레이크 공정과, 제 1 브레이크 공정을 거친 접합기판에 대해 브레이크 바를 접촉시키고, 제 2 스크라이브 공정에서 도입된 제 2 수직 크랙을 신장시키는 제 2 브레이크 공정을 구비하도록 했다.

Description

접합기판의 분단방법{METHOD FOR DIVIDING BONDED SUBSTRATE}

본 발명은 접합기판을 분단하는 방법에 관한 것으로, 특히 그 스크라이브 공정에 관한 것이다.

유리기판을 소정의 위치에서 분단하여 단위 기판을 얻는 방법으로, 유리기판의 한쪽 표면에서의 분단 예정위치에 대해 스크라이빙 툴(커터 휠 등)에 의해 스크라이브 라인을 형성하는 동시에 그 스크라이브 라인에서부터 크랙을 신장(침투)시키는 스크라이브 처리를 한 후, 이와 같은 스크라이브 라인이 형성된 유리기판과는 반대 면에 대해 브레이크 바를 대고 누름으로써 크랙을 더 신장시키는 브레이크 처리를 실시하는 방법이 이미 공지되어 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조).

또한, 2매의 대형 유리기판을 접합하여 이루어지는 모 기판(접합기판)을 소정의 위치에서 분단하여 단위 기판(셀 기판)을 얻는 방법으로, 각각의 유리기판의 표면(모 기판의 상하 양면)에서의 분단 예정위치에 대해 (상대) 이동방향으로 소정거리 이격시키는 형태로 2개의 스크라이빙 툴을 접촉시켜서, 양자에 의해 동시에 스크라이브 라인의 형성과 함께 상기 스크라이브 라인의 크랙 신장(침투)을 실행한 후, 크랙의 침투량이 적은 쪽의 기판을 대상으로 브레이크 처리를 실행함으로써 다른 한쪽의 유리기판에 대해서도 동시에 브레이크 하는 방법도 이미 공지되어 있다(예를 들어 특허문헌 2 참조).

일본국 특개2016-108158호 공보 일본국 특개2016-37413호 공보

단판의 유리기판을 분단하는 경우, 절단면의 품질을 최대한 확보한다는 관점에서는 스크라이브 처리로 스크라이브 라인에서의 크랙의 침투량을 유리기판 두께의 15% 이하로 하는 이른바 저 침투 스크라이브를 실시하는 것이 바람직하다.

그러나 접합기판에 대해 이와 같은 방법을 적용하기는 어렵다. 구체적으로는, 접합된 2개의 유리기판 각각에 대해 저 침투 스크라이브 처리를 하는 것은 가능하나, 그 후의 브레이크 처리에서 한쪽의 유리기판에 발생하는 크랙을 신장시키기 위해서는 브레이크 바를 밀어넣는 양(압입 양(壓入 量))을 단판의 경우보다 크게 할 필요가 있다. 그러나 그 경우, 브레이크 대상으로 하지 않는 다른 쪽의 유리기판이 분단 예정위치로부터 벗어나서 브레이크 되어 분단이 양호하게 이루어질 수 없다는 문제가 있다.

또, 특허문헌 2에 개시되어 있는 방법은 스크라이브 처리에서의 크랙 침투량이 유리기판 두께의 30% 이상으로 큰 이른바 고 침투 스크라이브를 접합된 2개의 유리기판에 대해 동시에 실행하여 침투량이 적은 쪽의 기판을 대상으로 브레이크를 실시한다는 것이나, 직접 브레이크의 대상으로 하지 않는 쪽 기판에서의 단면의 품질이 반드시 양호하지 않다는 문제가 있다. 또한, 장치 구성 및 제어가 복잡하다는 문제도 있다.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 2매의 유리기판을 접합하여 이루어지는 접합기판을 가장 적절하게 분단할 수 있는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 청구항 1의 발명은, 제 1 유리기판과 제 2 기판을 접합하여 이루어지는 접합기판을 미리 정해진 분단 예정위치에서 분단하는 방법으로, 상기 제 1 유리기판의 표면에서 상기 분단 예정위치를 따라서 제 1 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 제 1 스크라이브 라인에서부터 상기 제 1 유리기판의 두께방향으로 상기 제 1 유리기판의 두께의 30% 이상 50% 이하의 깊이를 갖는 제 1 수직 크랙을 도입하는 제 1 스크라이브 공정과, 상기 제 2 유리기판의 표면에서 상기 분단 예정위치를 따라서 제 2 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 제 2 스크라이브 라인에서부터 상기 제 2 유리기판의 두께방향으로 상기 제 2 유리기판의 두께의 5% 이상 10% 이하의 깊이를 갖는 제 2 수직 크랙을 도입하는 제 2 스크라이브 공정과, 상기 제 1 스크라이브 공정 및 상기 제 2 스크라이브 공정을 거친 상기 접합기판에 대해 브레이크 바를 접촉시켜서 상기 제 1 스크라이브 공정에서 도입된 상기 제 1 수직 크랙을 신장시키는 제 1 브레이크 공정과, 상기 제 1 브레이크 공정을 거친 상기 접합기판에 대해 브레이크 바를 접촉시켜서 상기 제 2 스크라이브 공정에서 도입된 상기 제 2 수직 크랙을 신장시키는 제 2 브레이크 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 2의 발명은, 청구항 1에 기재된 접합기판의 분단방법에 있어서, 상기 제 1 스크라이브 공정에서는 칼날 끝에 등 간격으로 홈부가 설치되어 이루어지고, 지름이 1.0㎜~2.0㎜이며, 끼인각이 100°~ 135°인 제 1 스 크라이빙 휠을 이용하고, 상기 제 1 스크라이빙 휠의 상기 제 1 유리기판에 대한 압입 하중을 0.10MPa~0.20MPa로 하고, 상기 제 2 스크라이브 공정에서는 칼날 끝에 등 간격으로 홈부가 설치되어 이루어지고, 지름이 1.0㎜~2.0㎜이며, 끼인각이 100°~ 135°인 제 2 스크라이빙 휠을 이용하며, 상기 제 2 스크라이빙 휠의 상기 제 2 유리기판에 대한 압입 하중을 0.02MPa~0.16MPa로 하는 것을 특징으로 한다.

청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 접합기판의 분단방법에 있어서, 상기 제 1 브레이크 공정 및 상기 제 2 브레이크 공정에서는 끼인각이 50°~90°이고, 칼날 끝 선단이 25㎛~100㎛가 되는 단면 곡률반경을 갖는 곡면을 이루고 있는 브레이크 바를 이용하며, 상기 제 1 브레이크 공정에서의 상기 브레이크 바의 상기 제 1 유리기판에 대한 압입 양을 0.04㎜~0.08㎜로 하고, 상기 제 2 브레이크 공정에서의 상기 브레이크 바의 상기 제 2 유리기판에 대한 압입 양을 0.10㎜~0.14㎜로 하는 것을 특징으로 한다.

청구항 1 내지 청구항 3의 발명에 의하면 2매의 유리기판을 접합하여 이루어지는 접합기판에 대해 분단 면의 품질이 가장 바람직하게 확보된 분단을 실행할 수 있다.

도 1은 본 실시형태에 관한 분단방법에서 두께방향을 따른 분단의 대상이 되는 접합기판(10)의 구성과 분단 후의 모습을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 접합기판(10)에 대한 스크라이브 라인의 형성에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 제 1 스크라이브 처리와 제 2 스크라이브 처리가 종료한 후의 접합기판(10)의 모습을 나타내는 도면이다.
도 4는 접합기판(10)에 대한 브레이크 처리에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 접합기판(10)에 대한 브레이크 처리에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 접합기판(10)에 대한 브레이크 처리에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 접합기판(10)에 대한 브레이크 처리에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 접합기판(10)이 분단 예정위치(P)를 따라서 분단된 후의 모습을 나타내는 도면이다.
도 9는 제 1 스크라이브 처리에서 저 침투 스크라이브를 실시한 경우의 제 1 브레이크 처리 전의 모습을 나타내는 도면이다.
도 10은 제 1 스크라이브 처리에서 저 침투 스크라이브를 실시한 경우의 제 1 브레이크 처리 후의 모습을 나타내는 도면이다.

<기판의 개요>

도 1은 본 실시형태에 관한 분단방법에서 두께방향을 따른 분단의 대상이 되는 접합기판(10)의 구성과 분단 후의 모습을 모식적으로 나타내는 도면이다.

접합기판(10)은 대략 두께 t1의 제 1 유리기판(1)과 두께 t2의 제 2 유리기판(2)을 도시하지 않은 접착층(접착용 재료)에 의해 접합한 구성을 구비한다. 이와 같은 접합기판(10)은 미리 제 1 유리기판(1)의 비 접착 면(도 1에서의 아랫면)에서 제 2 유리기판(2)의 비 접착 면(도 1의 윗면)에 걸쳐서 정해진 분단 예정위치(P)에서 두께방향을 따라서 분단됨으로써, 화살표(AR1)로 나타내는 것과 같이, 개별 편(10a, 10b)으로 분단된다. 두께 t1과 두께 t2는 모두 0.05㎜~0.2㎜이며, 동일한 값이라도 좋고, 서로 달라도 좋다.

또한, 접합기판(10)은 액정 기판용 모 기판이라도 좋다. 즉, 제 1 유리기판(1)이 TFT 기판이고, 제 2 유리기판(2)이 CF 기판이며, 양자 사이에 액정이 봉입되어 이루어지는 동시에, 접착층에 상당하는 밀봉부재가 액정을 봉입하면서 2개의 기판을 접착시켜서 이루어지는 형태라도 좋다. 이와 같은 경우, 밀봉부재가 존재하는 위치에 분단 예정위치가 정해지는 것이 바람직하다.

<분단의 상세>

다음에, 접합기판(10)을 분단하여 개별 편(10a, 10b)을 얻는 과정에 대해서 설명한다. 이와 같은 분단은 개략적으로 스크라이브 처리에 의한 접합기판(10)에 대한 스크라이브 라인의 형성에 이어서 당해 스크라이브 라인을 기점으로 하는 크랙의 도입과, 브레이크 처리에 의한 크랙 신장에 의해 이루어진다.

스크라이브 처리는 공지의 스크라이브 장치를 이용하여 실시할 수 있다. 도 2는 접합기판(10)에 대한 스크라이브 라인의 형성에 대해서 설명하기 위한 도면이다. 보다 상세하게는, 도 2 (a)는 제 1 유리기판(1)에 대한 스크라이브 처리(이하, 제 1 스크라이브 처리)의 모습을 나타내고, 도 2 (b)는 제 2 유리기판(2)에 대한 스크라이브 처리(이하, 제 2 스크라이브 처리)의 모습을 나타낸다. 또한, 도 3은 제 1 스크라이브 처리와 제 2 스크라이브 처리가 종료한 후의 접합기판(10)의 모습을 나타내는 도면이다.

제 1 스크라이브 처리와 제 2 스크라이브 처리는 모두 공지의 스크라이브 장치(100)를 이용하여 실시할 수 있다. 스크라이브 장치(100)는 접합기판(10)을 탑재 고정하기 위한 스테이지(101)와 단면에서 본 때 삼각형 형상의 칼날 끝을 갖는 원판형상의 부재인 스크라이빙 휠(커터 휠)(102)을 구비한다. 스크라이빙 휠(102)은 수직 면 내에서 회전이 자유로운 형태로 스크라이브 장치(100)에 지지된다.

단, 제 1 스크라이브 처리와 제 2 스크라이브 처리에서는 이용하는 스크라이빙 휠(102)의 종류나 스크라이브 하중 등의 스크라이브 조건을 다르게 한다. 따라서 본 실시형태에서는, 도 2 (a)에 나타내는 것과 같이, 제 1 스크라이브 처리에 이용하는 스크라이브 장치(100) 및 스크라이빙 휠(102)을 특히 각각 스크라이브 장치(100A) 및 스크라이빙 휠(102A)이라고 하고, 도 2 (b)에 나타내는 것과 같이, 제 2 스크라이브 처리에 이용하는 스크라이브 장치(100) 및 스크라이빙 휠(102)을 특히 각각 스크라이브 장치(100B) 및 스크라이빙 휠(102B)이라고 하는 것으로 한다.

또한, 실제 사용의 국면에서는 스크라이빙 휠(102A)과 스크라이빙 휠(102B)을 적절하게 교환함으로써 하나의 스크라이브 장치(100)에서 제 1 스크라이브 처리와 제 2 스크라이브 처리가 실시되는 형태라도 좋다.

혹은, 고 침투 스크라이브용 스크라이빙 휠과 저 침투 스크라이브용 스크라이 빙 휠이 접합기판(10)의 상하 양측에서부터 동시에 누르면서(압접(壓接)) 전동(rolling) 됨으로써 스크라이브 라인의 형성 및 수직 크랙의 신장이 제 1 유리기판(1)과 제 2 유리기판(2) 양쪽에 대해 동시에 이루어지는 형태라도 좋다.

도 2 (a)에 나타내는 것과 같이, 제 1 스크라이브 처리에서는 제 1 유리기판(1)이 상측이 되는 자세로 접합기판(10)을 스테이지(101)에 탑재 고정한 상태로 스크라이빙 휠(102A)을 제 1 유리기판(1) 표면에서 분단 예정위치(P)를 따라서 압접 전동시킨다. 한편, 도 2(b)에 나타내는 것과 같이, 제 2 스크라이브 처리에서는 제 2 유리기판(2)이 상측이 되는 자세로 접합기판(10)을 스테이지(101)에 탑재 고정한 상태로 스크라이빙 휠(102B)을 제 2 유리기판(2)의 표면에서 분단 예정위치(P)를 따라서 압접 전동시킨다.

이에 의해, 도 3에 나타내는 것과 같이, 제 1 유리기판(1)과 제 2 유리기판(2)의 표면에는 모두 분단 예정위치(P)를 따라서 스크라이브 라인(SL)이 형성되고, 각각의 스크라이브 라인(SL)에서부터 크랙(CR1, CR2)이 신장한다. 또한, 스크라이빙 휠(102A)의 전동은 접합기판(10)을 고정하여 이루어지는 스테이지(101)가 이동함에 따른 상대적인 것이라도 좋다.

보다 상세하게는, 제 1 스크라이브 처리는 제 1 유리기판(1)의 표면으로부터 신장하는(침투하는) 수직 크랙의 깊이(침투 깊이)(d1)가 0.3t1~0.5t1(두께 t1의 30%~50%)이 되도록 실시하고, 제 2 스크라이브 처리는 제 2 유리기판(2)의 표면으로부터 신장하는(침투하는) 수직 크랙의 깊이(침투 깊이)(d2)가 0.05t2~0.1t2(두께 t2의 5%~10%)가 되도록 실시한다.

바꿔 말하면, 제 1 스크라이브 처리 쪽이 제 2 스크라이브 처리보다 유리기판의 두께에 대한 침투 깊이의 비율이 커지도록 한다. 그러므로 제 1 스크라이브 처리를 고 침투 스크라이브라고도 하고, 제 2 스크라이브를 저 침투 스크라이브라고도 한다.

보다 상세하게는, 고 침투 스크라이브를 실시하는 제 1 스크라이브 처리에서는 스크라이빙 휠(102A)로 칼날 끝에 등 간격으로 홈부(G)가 설치되고, 지름이 1.0㎜~2.0㎜이며, 끼인각이 100°~ 135°인 것을 이용하며, 압접 시에 스크라이빙 휠(102A)이 제 1 유리기판(1)에 대해 인가하는 하중인 압입 하중을 0.10MPa~0.20MPa로 하는 것이 바람직하다. 또, 저 침투 스크라이브를 실시하는 제 2 스크라이브 처리에서는 스크라이빙 휠(102B)로 칼날 끝에 등 간격으로 다수의 홈부(G)가 설치되고, 지름이 1.0㎜~2.0㎜이며, 끼인각이 100°~ 135°인 것을 이용하며, 압입 하중을 0.02MPa~0.16MPa로 하는 것이 바람직하다. 구체적인 스크라이브 조건은 접합기판(10)의 재질이나 두께 등에 따라서 정해지면 된다.

스크라이브 처리가 이루어지면 이어서 브레이크 처리가 실행된다. 브레이크 처리로는 제 1 스크라이브 처리에서 제 1 유리기판(1)에 형성된 크랙(CR1)을 신장시키는 제 1 브레이크 처리와 제 2 스크라이브 처리에서 제 2 유리기판(2)에 형성된 크랙(CR2)을 신장시키는 제 2 브레이크 처리의 2단계의 처리를 한다. 바꿔 말하면, 고 침투 스크라이브에 의해 형성된 크랙을 대상으로 하는 제 1 브레이크 처리를 실시한 후에 저 침투 스크라이브 처리에 의해 형성된 크랙을 대상으로 하는 제 2 브레이크 처리를 한다.

제 1 브레이크 처리 및 제 2 브레이크 처리는 공지의 (공통의) 브레이크장치를 이용하여 실시할 수 있다. 도 4 내지 도 7은 접합기판(10)에 대한 브레이크 처리에 대해서 설명하기 위한 도면이다. 브레이크 처리는 공지의 브레이크장치(200)를 이용하여 실시할 수 있다.

브레이크장치(200)는 적어도 표면 부분이 탄성체로 이루어지고, 브레이크 대상물을 수평자세로 하방 지지 가능한 지지체(201)와 수직 하방으로 단면에서 본때에 삼각형 형상의 칼날 끝(202e)을 갖는 판 형상 부재인 브레이크 바(202)를 주로 구비한다.

브레이크 바(202)는 단면에서 보아서 이등변삼각형 형상의 칼날 끝(202e)이 칼날의 길이방향으로 연장되도록 설치되는 판 형상의 금속(예를 들어 초경합금제) 부재이다. 도 4와 도 6에서는 칼날의 길이방향이 도면에 수직인 방향이 되도록 브레이크 바(202)를 나타낸다. 브레이크 바(202)로는 칼날 끝(202e)의 각도(끼인각)가 50°~ 90°이고, 칼날 끝(202e)의 선단이 25㎛~100㎛가 되는 단면 곡률반경을 갖는 곡면을 이루고 있는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 구체적인 브레이크 조건은 접합기판(10)의 재질이나 두께 등에 따라 정해지면 된다.

접합기판(10)은 브레이크 처리 시에 도시하지 않은 다이싱 링에 설치된 다이싱 테이프(DT)에 제 1 유리기판(1)의 표면을 부착시킨 상태로 지지체(201)에 탑재 고정된다. 또한, 보다 상세하게는, 이와 같은 탑재 고정 시에 제 2 유리기판(2)의 표면에는 도시하지 않은 보호 필름이 부착된다.

도 4에서는 제 1 유리기판(1)에서 분단 예정위치(P)를 따라서 도입된 크랙(CR1)을 신장시키는 제 1 브레이크 처리를 실시하는 경우를 예시하고 있다.

이와 같은 경우, 접합기판(10)은 크랙(CR1)의 신장 대상인 제 1 유리기판(1)이 하방이 되고 제 2 유리기판(2) 측이 상방이 되며(바꿔 말하면, 다이싱 테이프(DT)를 지지체(201)에 접촉시키는 형태로), 또한, 분단 예정위치(P)와 브레이크 바(202)의 칼날 끝(202e)이 동일한 면 내에 위치하는 자세로 지지체(201)에 탑재 고정된다.

바꿔 말하면, 브레이크 바(202)의 칼날 끝(202e)이 제 2 유리기판(2)에 형성되어 이루어지는 크랙(CR2)의 수직 상방에 위치하도록 접합기판(10)과 브레이크 바(202)가 위치 결정된다.

그리고 이와 같은 형태로 위치 결정된 브레이크 바(202)는 하강 되며, 그 칼날 끝(202e)이 제 2 유리기판(2)(더 상세하게는 도시하지 않은 보호필름)에 접촉한 후에도 소정 거리(이를 압입 양이라 함) 더 밀어넣는다. 이에 의해 크랙(CR1)은 분단 예정위치(P)를 따라서 신장하고, 도 5에 나타내는 것과 같이 제 1 유리기판(1)의 반대면에까지 신장한다.

제 1 브레이크 처리가 완료하면 이어서 제 2 유리기판(1)에서 분단 예정위치(P)를 따라서 도입된 크랙(CR2)을 신장시키는 제 2 브레이크 처리를 실행한다. 도 6은 제 2 브레이크 처리를 실시하는 경우를 예시하고 있다. 제 2 브레이크 처리는 제 1 브레이크 처리 시와는 접합기판(10)을 상하 반전시킨 상태에서 실시한다. 즉, 제 2 브레이크 처리에서는 접합기판(10)은 크랙(CR2)의 신장 대상인 제 2 유리기판(2)이 하방이 되고 제 1 유리기판(1) 측이 상방이 되며(바꿔 말하면, 도시하지 않은 보호 필름을 지지체(201)에 접촉시키는 형태로), 또한, 분단 예정위치(P)와 브레이크 바(202)의 칼날 끝(202e)이 동일한 면 내에 위치하는 자세로 지지체(201)에 탑재 고정된다.

바꿔 말하면, 브레이크 바(202)의 칼날 끝(202e)이 제 1 유리기판(1)에 형성되어 이루어지는 크랙(CR1)의 수직 상방에 위치하도록 접합기판(10)과 브레이크 바(202)가 위치 결정된다.

그리고 이와 같은 방법으로 위치 결정된 브레이크 바(202)는 하강 되며, 그 칼날 끝(202e)이 제 1 유리기판(1)에(보다 상세하게는 다이싱 테이프(DT)에) 접촉한 후에도 소정의 압입 양만큼 더 밀어 넣어진다. 이에 의해 크랙(CR2)은 분단 예정위치(P)를 따라서 신장하며, 도 7에 나타내는 것과 같이 제 2 유리기판(2)의 반대 면에까지 도달한다.

이와 같은 제 2 브레이크 처리가 이루어짐으로써 접합기판(10)이 분단 예정위치(P)를 따라서 분단되게 된다. 바꿔 말하면, 분단 예정위치(P)에 형성된 크랙(CR1, CR2)이 분단면을 이루는 분단이 이루어지게 된다.

도 8은 접합기판(10)이 분단 예정위치(P)를 따라서 분단된 후의 모습을 나타내는 도면이다. 구체적으로는, 도시하지 않은 확장장치에 의해 제 1 유리기판 (1)의 표면에 부착된 다이싱 테이프(DT)가 도 8에서 화살표(AR2a, AR2b)로 나타내는 것과 같은 서로 반대되는 방향으로 당겨짐으로써 제거(확장)된다. 이에 의해 분단 후에도 분단 면에서 서로 접촉한 상태였던 2개의 부분이 서로 이격되며, 도 1에 나타낸 개별 편(10a, 10b)으로 얻어지게 된다.

<스크라이브 처리의 구분의 효과>

본 실시형태에 관한 접합기판의 분단방법에서는, 상술한 것과 같이, 제 1 스크라이브 처리에서 제 1 유리기판(1)에 대해 고 침투 스크라이브를 실시하고 제 2 스크라이브 처리에서 제 2 유리기판(2)에 대해 저 침투 스크라이브를 실시한 후, 제 1 유리기판(1)에 형성된 크랙(CR1)을 신장시키는 제 1 브레이크 처리와 제 2 유리기판(2)에 형성된 크랙(CR2)을 신장시키는 제 2 브레이크 처리를 상기 순서로 실시하고 있다. 이와 같은 방법에 의해 얻어지는 효과에 대해서 이하에 설명한다.

도 9와 도 10은 대비 예로 나타내는, 제 2 스크라이브 처리뿐 아니라 이에 앞선 제 1 스크라이브 처리에서도 저 침투 스크라이브를 실시한 경우의 제 1 브레이크 처리 전후의 모습을 나타내는 도면이다. 또한, 논의를 간단히 하기 위해 제 1 유리기판(1)과 제 2 유리기판(2)은 동일한 두께(t)를 갖는 것으로 한다.

예를 들어, 도 9에 나타내는 것과 같이, 제 1 스크라이브 처리와 제 2 스크라이브 처리를 모두 저 침투 스크라이브로 함으로써 제 1 유리기판(1)과 제 2 유리기판(2)에 대해 d=0.05t~0.1t의 크랙(CR3, CR4)이 각각 분단 예정위치(P)를 따라서 신장한 것으로 한다.

이와 같은 대비 예를 도 4에 나타낸 것과 같이 제 1 스크라이브 처리를 고 침투 스크라이브로 하는 본 실시형태에 관한 분단방법과 대비하면, 대비 예의 경우, 이미 신장하고 있는 크랙의 깊이의 기판 두께에 대한 비율이 본 실시형태의 경우에 비해 작으므로, 제 1 브레이크 처리에 의해 제 1 유리기판(1)의 크랙(CR3)을 더 신장시키려고 하면 본 실시형태의 경우보다도 압입 양을 크게 할 필요가 있다. 단판의 유리기판이면 특별한 문제는 발생하지 않으나, 접합기판의 경우는, 도 10에 나타내는 것과 같이, 제 1 유리기판(1)에서의 크랙(CR3)의 신장뿐만 아니라, 그 연장에 의해 제 2 유리기판(2)에 대해서도 크랙(3α)이 신장해버리는 이른바 동시 균열(co-cracking)이 발생하게 되는 경우가 있다. 이와 같은 크랙(3α)은 반드시 분단 예정위치(P)를 따라서 형성되는 것은 아니다.

게다가, 동시 균열이 발생해버린 제 2 유리기판(2)에 대해 제 2 브레이크 처리를 더 실시하였다고 해도 분단 예정위치(P)를 따른 크랙(CR4)의 신장은 바람직한 형태로는 발생하지 않으며, 동시 균열에 의해 발생한 크랙(3α)이 최종적으로 분단 면이 되어버리는 경우도 있다. 이와 같은 경우, 최종적으로 얻어지는 개별 편의 단면이 미리 정해진 치수 공차를 충족시키지 않는 경우가 있다.

이에 대해, 본 실시형태의 경우, 이미 신장하고 있는 크랙의 깊이의 기판 두께에 대한 비율이 큰 만큼의 대비 예의 경우에 비해 압입 양을 작게 설정하였다고 해도 제 1 브레이크 처리에 의해 제 1 유리기판(1)의 반대 면까지 크랙(CR1)을 아주 적절하게 신장시킬 수 있다. 또, 압입 양이 적으므로, 상술한 것과 같은 동시 균열의 발생은 회피할 수 있다. 실제로는 제 1 브레이크 처리에서의 압입 양은 0.04㎜~0.08㎜ 정도면 좋다.

또한, 본 실시형태에서도 제 2 스크라이브 처리는 저 침투 스크라이브이므로, 이와 같은 제 2 스크라이브 처리에 의해 형성된 크랙(CR2)을 제 2 브레이크 처리에서 신장시킬 때의 압입 양은 제 1 브레이크 처리에서의 압입 양보다 크게 할 필요가 있으나, 제 1 유리기판(1)에서는 이미 크랙(CR1)이 표면에서부터 접착 면에 걸쳐서 신장하고 있으므로 대비 예와 같은 동시 균열이 발생하는 것은 아니다. 실제로는 제 2 브레이크 처리에서의 압입 양은 0.10㎜~0.14㎜ 정도면 된다.

예를 들어 t1=t2=0.15㎜ 인 접합기판(10)에 대해 이하와 같은 조건으로 제 1 스크라이브 처리, 제 2 스크라이브 처리, 제 1 브레이크 처리 및 제 2 브레이크 처리를 실시하는 것을 예시한다. 단, 스크라이빙 휠(102)(102A, 102B)로는 칼날 끝에 등 간격으로 홈부(G)가 설치된 것을 사용하는 것으로 한다.

제 1 스크라이브 처리 :

스크라이빙 휠의 지름 : 2㎜;

스크라이빙 휠의 끼인각 : 100°~ 110°;

압입 하중 : 0.12MPa~0.18MPa.

제 2 스크라이브 처리 :

스크라이빙 휠의 지름 : 2㎜;

스크라이빙 휠의 끼인각 : 120 °~ 130 °;

압입 하중 : 0.1MPa~0.16MPa.

제 1 브레이크 처리 :

브레이크 바의 끼인각 : 50 °~ 90 °;

브레이크 바 선단의 단면 곡률반경 : 25㎛~100㎛;

압입 양 : 0.06㎜~0.08㎜.

제 2 브레이크 처리 :

브레이크 바의 끼인각 : 50 °~ 90 °;

브레이크 바 선단의 단면 곡률반경 : 25㎛~100㎛;

압입 양 : 0.10㎜~0.14㎜.

그런데 제 1 유리기판(1)에 대해 고 침투 스크라이브를 실시하고 제 2 유리기판(2)에 대해 저 침투 스크라이브를 실시한 후의 브레이크 처리 시에는 제 2 유리기판(2)을 최초의 브레이크 처리의 대상으로 하는 것은 바람직하지 않다. 이와 같은 경우, 제 2 유리기판(2)에서 크랙을 신장시키기 위해서는 압입 양을 상술한 대비 예와 동일하게 할 필요가 있고, 그런 이유에서 동시 균열이 발생할 우려가 있기 때문이다.

또, 단순히 유리기판의 분단 면의 품질(예를 들어 평탄성, 표면에 대한 수직성 등)이라는 점에서는 저 침투 스크라이브에 의해 형성한 크랙을 신장시키는 경우 쪽이 고 침투 스크라이브에 의해 형성한 크랙을 신장시키는 경우에 비해 더 우수하기는 하나, 후자의 분단 품질은 동시 균열에 의해 얻어지는 단면의 품질에 비하면 우수하며, 치수 공차를 벗어날 확률도 동시 균열의 경우에도 충분히 작다. 따라서 수율이라는 관점에서도 본 실시형태에 관한 분단방법 쪽이 대비 예보다 우수하다고 할 수 있다.

다만, 접합 유리기판의 양쪽에 대해 고 침투 스크라이브를 실시한 후에 브레이크 처리에 제공하는 대응도 생각할 수 있으나, 분단 면의 품질을 최대한 확보한다는 점에서는 제 2 브레이크 처리의 대상이 되는 크랙에 대해서는 저 침투 스크라이브에 의해 형성하는 것이 바람직하다.

이상 설명한 것과 같이, 본 실시형태에 의하면 2매의 유리기판을 접합하여 이루어지는 접합기판을 분단하는 경우에, 한쪽의 기판에 대해 고 침투 스크라이브를 실시하고 다른 쪽의 기판에 대해 저 침투 스크라이브를 실시하여, 각각에서 크랙을 침투시킨 후에, 먼저 고 침투 스크라이브에 의해 형성된 크랙을 브레이크 처리에 의해 신장시키고, 그 후에 저 침투 스크라이브에 의해 형성된 크랙을 브레이크 처리에 의해 신장시키도록 함으로써, 분단 면의 품질이 적절하게 확보된 분단을 실행할 수 있다.

<변형 예>

고 침투 스크라이브가 이루어진 제 1 유리기판(1)에 대한 제 1 브레이크 처리가 저 침투 스크라이브가 이루어진 제 2 유리기판(2)에 대한 제 2 브레이크 처리보다 선행하는 한에 있어, 제 1 스크라이브 공정과 제 2 스크라이브 공정은 순서가 바뀌어도 좋다. 즉, 제 2 유리기판(2)에 대해 저 침투 스크라이브를 실시한 후 제 1 유리기판(1)에 대해 고 침투 스크라이브를 실시하는 형태라도 좋다.

또, 접합기판(10)을 액정 기판용 모 기판으로 하는 경우, 제 1 유리기판(1)이 CF 기판이고 제 2 유리기판(2)이 TFT 기판으로 해도 좋다.

상술한 실시형태에서는 하나의 분단 예정위치에 대한 분단을 실시하는 경우를 예로 들고 있으나, 하나의 접합기판에 대해 복수의 분단 예정위치가 설정되어도 좋고, 이와 같은 경우, 제 1 스크라이브 처리, 제 2 스크라이브 처리, 제 1 브레이크 처리 및 제 2 브레이크 처리는 각각 모든 분단 예정위치에 대해 당해 처리가 종료한 후, 모든 분단 예정위치에 대해서 다음의 처리를 실시하도록 하면 된다.

1 제 1 유리기판
2 제 2 유리기판
100 스크라이브 장치
101 스테이지
102(102A, 102B) 스크라이빙 휠
200 브레이크장치
201 지지체
202 브레이크 바
202e (브레이크 바) 칼날 끝
CR1, CR2, CR3, CR3α, CR4 크랙
DT 다이싱 테이프
G (스크라이빙 휠) 홈부
P 분단 예정위치
SL 스크라이브 라인

Claims (3)

1. 제 1 유리기판과 제 2 기판을 접합하여 이루어지는 접합기판을 미리 정해진 분단 예정위치에서 분단하는 방법으로,
   상기 제 1 유리기판의 표면에서 상기 분단 예정위치를 따라서 제 1 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 제 1 스크라이브 라인에서부터 상기 제 1 유리기판의 두께방향으로 상기 제 1 유리기판의 두께의 30% 이상 50% 이하의 깊이를 갖는 제 1 수직 크랙을 도입하는 제 1 스크라이브 공정과,
   상기 제 2 유리기판의 표면에서 상기 분단 예정위치를 따라서 제 2 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 제 2 스크라이브 라인에서부터 상기 제 2 유리기판의 두께방향으로 상기 제 2 유리기판의 두께의 5% 이상 10% 이하의 깊이를 갖는 제 2 수직 크랙을 도입하는 제 2 스크라이브 공정과,
   상기 제 1 스크라이브 공정 및 상기 제 2 스크라이브 공정을 거친 상기 접합기판에 대해 브레이크 바를 접촉시켜서 상기 제 1 스크라이브 공정에서 도입된 상기 제 1 수직 크랙을 신장시키는 제 1 브레이크 공정과,
   상기 제 1 브레이크 공정을 거친 상기 접합기판에 대해 브레이크 바를 접촉시켜서 상기 제 2 스크라이브 공정에서 도입된 상기 제 2 수직 크랙을 신장시키는 제 2 브레이크 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 접합기판의 분단방법.
2. 청구항 1에 기재된 접합기판의 분단방법으로,
   상기 제 1 스크라이브 공정에서는 칼날 끝에 등 간격으로 홈부가 설치되어 이루어지고, 지름이 1.0㎜~2.0㎜이며, 끼인각이 100°~ 135°인 제 1 스 크라이빙 휠을 이용하고, 상기 제 1 스크라이빙 휠의 상기 제 1 유리기판에 대한 압입 하중을 0.10MPa~0.20MPa로 하고,
   상기 제 2 스크라이브 공정에서는 칼날 끝에 등 간격으로 홈부가 설치되어 이루어지고, 지름이 1.0㎜~2.0㎜이며, 끼인각이 100°~ 135°인 제 2 스크라이빙 휠을 이용하며, 상기 제 2 스크라이빙 휠의 상기 제 2 유리기판에 대한 압입 하중을 0.02MPa~0.16MPa로 하는 것을 특징으로 하는 접합기판의 분단방법.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 접합기판의 분단방법으로,
   상기 제 1 브레이크 공정 및 상기 제 2 브레이크 공정에서는 끼인각이 50°~90°이고, 칼날 끝 선단이 25㎛~100㎛가 되는 단면 곡률반경을 갖는 곡면을 이루고 있는 브레이크 바를 이용하며,
   상기 제 1 브레이크 공정에서의 상기 브레이크 바의 상기 제 1 유리기판에 대한 압입 양을 0.04㎜~0.08㎜로 하고,
   상기 제 2 브레이크 공정에서의 상기 브레이크 바의 상기 제 2 유리기판에 대한 압입 양을 0.10㎜~0.14㎜로 하는 것을 특징으로 하는 접합기판의 분단방법.

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