KR20200057161A - Loader for wafer prober being capable of storing wafers - Google Patents

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KR20200057161A
KR20200057161A KR1020180141031A KR20180141031A KR20200057161A KR 20200057161 A KR20200057161 A KR 20200057161A KR 1020180141031 A KR1020180141031 A KR 1020180141031A KR 20180141031 A KR20180141031 A KR 20180141031A KR 20200057161 A KR20200057161 A KR 20200057161A
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박남우
신기훈
나준선
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주식회사 쎄믹스
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Abstract

The present invention relates to a wafer prober loader capable of temporarily storing a plurality of wafers. The wafer prober loader is mounted with a buffer tray capable of temporarily storing a plurality of wafers by stacking the same on one side surface of a robot arm support having a robot arm mounted thereon, primarily transports the wafers to be inspected to the buffer tray from a cassette to load and move the same with the robot arm, or can temporarily store the wafers collected from wafer probers. Therefore, the wafer prober loader of the present invention can continuously provide the wafers for the wafer probers or can pick up the wafers without frequent transfer processes to the cassette, thereby reducing the number of times of travelling and transport time between the cassette and the wafer probers for wafer transport.

Description

웨이퍼 보관이 가능한 웨이퍼 프로버용 로더{Loader for wafer prober being capable of storing wafers}Loader for wafer prober being capable of storing wafers

본 발명은 웨이퍼 프로버용 로더에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 로봇암에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착하여, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 연속적으로 제공하거나 웨이퍼들을 연속적으로 픽업할 수 있도록 구성되어, 복수 개의 웨이퍼 프로버에 대한 웨이퍼 이송을 위한 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있도록 한 웨이퍼 프로버용 로더에 관한 것이다. The present invention relates to a loader for a wafer prober, and more specifically, by mounting a buffer tray capable of temporarily storing a plurality of wafers on a robot arm, continuously providing wafers to a plurality of wafer probers or continuously wafers. It is configured to be picked up, and relates to a loader for a wafer prober capable of reducing travel times and transfer times for wafer transfer to a plurality of wafer probers.

반도체 검사 장비인 웨이퍼 프로버(Wafer prober)는 반도체 전공정(前工程)이 모두 완료된 웨이퍼를 대상으로 후공정(後工程)으로 들어가기 직전에, 웨이퍼상에 만들어진 반도체 소자들의 전기적 특성을 검사하여 불량 유무를 확인하는 장비이다. 일반적으로, 웨이퍼 프로버는 수직 및 수평 방향으로의 구동이 가능한 스테이지, 상기 스테이지 위에 안착되고 상부표면에 웨이퍼가 탑재되는 척(Chuck), 상기 웨이퍼를 검사하기 위한 전기적 시험장치 및 상기 시험 장치와 연결되어 웨이퍼와 접촉되는 프로브 카드를 포함한다. Wafer prober, which is a semiconductor inspection equipment, inspects the electrical characteristics of semiconductor devices made on a wafer just before entering the post-processing process for the wafers in which all of the semiconductor pre-processing has been completed. It is a device to check the existence. In general, a wafer prober is connected to a stage capable of driving in vertical and horizontal directions, a chuck seated on the stage and mounted with a wafer on an upper surface, an electrical test device for inspecting the wafer, and the test device And a probe card in contact with the wafer.

웨이퍼 프로버용 로더는 로봇암을 회전 이동, 수평 이동 및 수직 이동시키면서 카세트로부터 웨이퍼를 픽업하여 프로버 스테이지의 척(Chuck)으로 이송시키거나 척으로부터 웨이퍼를 픽업하여 카세트로 이송시키는 장치이다. 종래의 웨이퍼 프로버용 로더는 하나의 웨이퍼 프로버에 설치되어, 카세트로부터 검사할 한 장의 웨이퍼를 픽업하여 웨이퍼 프로버에 제공하거나 단일의 웨이퍼 프로버로부터 검사 완료된 한 장의 웨이퍼를 픽업하여 카세트에 적재시키도록 구성된다. The loader for a wafer prober is a device that picks up a wafer from a cassette and transfers it to a chuck of a prober stage while moving a robot arm in rotational movement, horizontal movement, and vertical movement, or picks up a wafer from the chuck and transfers it to the cassette. The conventional wafer prober loader is installed on one wafer prober, picks up one wafer to be inspected from the cassette, and provides it to the wafer prober, or picks up one inspected wafer from a single wafer prober and loads it into the cassette. It is configured to.

최근, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 단일의 웨이퍼 프로버용 로더를 이용하여 웨이퍼들을 제공하거나 픽업하는 기술들이 제안되고 있다. 이 경우, 웨이퍼 프로버용 로더는 다수 개의 웨이퍼 프로버들로 웨이퍼들을 검사 시간내에 정확하고 신속하게 공급하여야 한다. Recently, techniques for providing or picking up wafers using a single wafer prober loader for a plurality of wafer probers have been proposed. In this case, the loader for a wafer prober must accurately and quickly supply wafers to multiple wafer probers within an inspection time.

하지만, 웨이퍼 프로버용 로더는 각 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 공급하기 위하여, 카세트로부터 웨이퍼를 픽업하고, 픽업된 웨이퍼를 프리-얼라인먼트(Pre-Alignment)를 완료한 후 웨이퍼 프로버에 제공하게 되며, 다시 카세트로 이동하여 웨이퍼를 픽업하여 다음 웨이퍼 프로버에 제공하는 과정을 반복하게 된다. 이때, 웨이퍼 프로버용 로더가 카세트와 웨이퍼 프로버들 간의 주행에 따른 이동 시간이 많이 소요됨에 따라, 전체 웨이퍼 프로버들에서의 웨이퍼 검사를 위한 사전 준비시간이 많이 소요되고, 그 결과 전체 웨이퍼 검사 시간도 길어지게 되어 검사 효율이 감소되는 문제가 빈번히 발생하게 된다. However, the loader for the wafer prober picks up the wafer from the cassette and supplies the picked up wafer to the wafer prober after completing the pre-alignment in order to supply the wafer to each wafer prober. The process of moving the cassette to pick up the wafer and providing it to the next wafer prober is repeated. At this time, as the loader for the wafer prober takes a lot of travel time according to the travel between the cassette and the wafer probers, it takes a lot of preliminary preparation time for wafer inspection in all wafer probers, and as a result, the entire wafer inspection time is also long. As a result, the problem of reduced inspection efficiency frequently occurs.

한국공개특허공보 제 10-2001-0023014호Korean Patent Publication No. 10-2001-0023014

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 로봇암에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착함으로써, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 연속적으로 제공하거나 웨이퍼를 연속적으로 픽업할 수 있도록 구성되어, 복수 개의 웨이퍼 프로버로의 웨이퍼 이송을 위한 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있도록 한 웨이퍼 프로버용 로더를 제공하는 것이다. An object of the present invention for solving the above-described problems is to mount a wafer tray on a robot arm to temporarily store a buffer tray, thereby continuously providing wafers to a plurality of wafer probers or continuously picking up wafers. It is configured to provide a loader for a wafer prober to reduce the number of travels and the transfer time for wafer transfer to a plurality of wafer probers.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더는, 단부에 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 구성된 로봇 핸드가 장착되어 웨이퍼를 픽업하거나 픽업된 웨이퍼를 소정 위치에 적재하는 로봇암; 상기 로봇암이 이동되는 범위에 따라 제작된 로더 프레임; 상기 로봇암을 로더 프레임의 수직 방향 및 수평 방향을 따라 이동시키거나 회전시키도록 구성된 로봇암 구동 모듈; 상부면에 상기 로봇암이 탑재되어 상기 로봇암 구동 모듈에 연결된 로봇암 지지대; 및 하나 또는 둘 이상의 웨이퍼를 적재할 수 있도록 구성되고, 상기 로봇암 지지대의 일측면에 탑재된 버퍼 트레이; 를 구비하여, 버퍼 트레이에 하나 또는 둘 이상의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관함으로써, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 연속적으로 제공하거나 연속적으로 픽업할 수 있도록 구성된다. In order to achieve the above-described technical problem, a wafer prover loader capable of storing wafers according to the features of the present invention is equipped with a robot hand configured to pick up a wafer at an end portion to pick up the wafer or load the picked up wafer at a predetermined position. Robot arm; A loader frame manufactured according to a range in which the robot arm is moved; A robot arm driving module configured to move or rotate the robot arm along the vertical and horizontal directions of the loader frame; A robot arm support mounted on the upper surface and connected to the robot arm driving module; And a buffer tray configured to load one or more wafers and mounted on one side of the robot arm support. It is configured to be provided with one or two or more wafers in a buffer tray and temporarily stored to provide wafers to a plurality of wafer probers continuously or to pick them up continuously.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더는, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈을 더 구비하고, 상기 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈은 상기 버퍼 트레이와 로봇암 지지대의 사이에 배치되어, 버퍼 트레이를 로봇암 지지대의 측면에서 소정 범위를 수직 방향을 따라 이동시킬 수 있도록 구성된 것이 바람직하다. The loader for wafer probers capable of storing wafers according to the above-described feature, the loader for wafer probers further includes a vertical movement module for a buffer tray, and the vertical movement module for the buffer tray is disposed between the buffer tray and the robot arm support. Therefore, it is preferable that the buffer tray is configured to move a predetermined range along the vertical direction from the side of the robot arm support.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 로더 프레임의 수직 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 수직 이동 모듈을 구비하고, 상기 로봇암과 버퍼 트레이가 탑재된 로봇암 지지대가 상기 수직 이동 모듈에 탑재되고, 상기 수직 이동 모듈은 로봇암 지지대를 로더 프레임의 수직 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것이 바람직하다. In the loader for a wafer prober capable of storing wafers according to the above-described feature, the robot arm driving module includes a vertical movement module configured to move the robot arm and the buffer tray in the vertical direction of the loader frame, and the robot arm and buffer Preferably, a tray-mounted robot arm support is mounted on the vertical movement module, and the vertical movement module is configured to move the robot arm support along the vertical direction of the loader frame.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 로더 프레임의 수평 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 수평 이동 모듈을 구비하고, 상기 수평 이동 모듈은 상기 로봇암 지지대가 탑재된 수직 이동 모듈을 로더 프레임의 수평 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것이 바람직하다. In the loader for a wafer prober capable of storing wafers according to the above-described feature, the robot arm driving module includes a horizontal movement module configured to move the robot arm and the buffer tray in the horizontal direction of the loader frame, wherein the horizontal movement module is It is preferable that the robot arm support is mounted to move the vertical movement module mounted in the horizontal direction of the loader frame.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 일체형으로 수직 방향 및 수평 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈 및 수평 이동 모듈, 그리고 회전시키는 회전 모듈을 구비하는 것이 바람직하다. In the loader for a wafer prober capable of storing wafers according to the above-described feature, the robot arm driving module is a vertical movement module and a horizontal movement module that moves the robot arm and the buffer tray in a vertical direction and a horizontal direction, and a rotating rotation module. It is preferable to have.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임에 장착된 클리닝 웨이퍼 트레이를 더 구비하고, 상기 로봇암은 상기 클리닝 웨이퍼 트레이로부터 클리닝 웨이퍼들을 픽업하여 버퍼 트레이로 이송하고, 복수 개의 웨이퍼 프로버의 프로버 카드들의 세정을 위하여 상기 클리닝 웨이퍼들을 복수 개의 웨이퍼 프로버들로 각각 이송하도록 구성된 것이 바람직하다. In the loader for a wafer prober capable of storing wafers according to the above-described feature, the wafer prober loader further includes a cleaning wafer tray mounted on the loader frame, and the robot arm picks up cleaning wafers from the cleaning wafer tray and buffers the tray. It is preferable that the cleaning wafers are configured to be transferred to a plurality of wafer probers for cleaning the prober cards of the plurality of wafer probers.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임의 소정 위치에 장착된 프리-얼라인먼트(pre-alignment) 모듈을 더 구비하고, 상기 프리-얼라인먼트 모듈은 웨이퍼들을 검사전에 방향을 정렬하는 모듈로서, 상기 로봇암은 프리-얼라인먼트 모듈에 의해 프리-얼라인먼트된 웨이퍼들을 버퍼 트레이로 이송시키는 것이 바람직하다. The loader for wafer storage capable of storing wafers according to the above-described feature further includes a pre-alignment module mounted at a predetermined position of the loader frame, wherein the pre-alignment module is a module that aligns the wafers prior to inspection. As, it is preferable that the robot arm transfers the wafers pre-aligned by the pre-alignment module to the buffer tray.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더는 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수평 및 수직 방향을 따라 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에 적용될 수 있다. The loader for a wafer prober capable of storing wafers according to the above-described feature may be applied to a wafer prober system in which a plurality of wafer probers are stacked along horizontal and vertical directions.

본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 로봇암에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착하고, 상기 버퍼 트레이에 검사할 다수 개의 웨이퍼들을 카세트로부터 1차로 이송시켜 적재하여 로봇암과 함께 이동시킬 수 있도록 구성된다. 따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는, 카세트로의 빈번한 이동 과정없이, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 연속적으로 웨이퍼를 제공하거나 웨이퍼를 픽업할 수 있게 되며, 그 결과, 웨이퍼 이송을 위한 카세트와 복수개의 웨이퍼 프로버간의 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있게 된다. The loader for a wafer prober according to the present invention is equipped with a buffer tray capable of temporarily storing a plurality of wafers on a robot arm, and transporting and loading a plurality of wafers to be inspected on the buffer tray first from a cassette, together with the robot arm. It is configured to move. Therefore, the loader for a wafer prober according to the present invention is capable of continuously providing wafers or picking up wafers to a plurality of wafer probers without frequent moving to the cassette, and as a result, a cassette and a plurality of wafers for wafer transfer. It is possible to reduce the number of travels and the transfer time between two wafer probers.

또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 버퍼 트레이를 사용함으로써, 웨이퍼 프로빙 공정중인 시간에 카세트로부터 웨이퍼들을 꺼내어 다수 개의 웨이퍼 프로버에 공급할 수 있을 만큼 사전 준비가 가능해지게 된다. 또한, 웨이퍼 프로버용 로더가 프로버 스테이지로부터 웨이퍼를 회수한 경우에도, 즉시 다시 카세트로 되돌아갈 필요없이, 회수한 웨이퍼들을 버퍼 트레이에 임시로 보관할 수 있게 됨으로써, 다른 웨이퍼 프로버의 작업을 수행할 수 있게 된다. In addition, by using the buffer tray for the wafer prober according to the present invention, it is possible to prepare in advance enough to take wafers out of the cassette and supply them to a plurality of wafer probers at a time during the wafer probing process. In addition, even when the wafer prober loader retrieves the wafer from the prober stage, it is possible to temporarily store the recovered wafers in the buffer tray without having to return to the cassette immediately, thereby performing other wafer prober operations. It becomes possible.

이러한 특징에 의하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 다수 개의 웨이퍼 프로버들에 신속하게 연속적으로 웨이퍼를 제공하거나 픽업하여 회수할 수 있게 된다. By this feature, the loader for a wafer prober according to the present invention is capable of rapidly providing or picking up and recovering wafers to a plurality of wafer probers.

한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 인접하여 나열된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 사용될 수 있으며, 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수평 및 수직 방향을 따라 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 사용될 수 있다. Meanwhile, the loader for a wafer prober according to the present invention can be usefully used in a wafer prober system in which a plurality of wafer probers are arranged adjacently, and a wafer prober system in which a plurality of wafer probers are stacked along horizontal and vertical directions It can also be useful.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더를 전체적으로 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1의 로더에 대한 배면도이며, 도 3은 도 1의 로더에 대한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 이동 모듈에 장착되어 상부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 및 수평 이동 모듈에 의해 하부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 로봇암의 로봇 핸드가 버퍼 트레이로부터 웨이퍼를 픽업하거나 버퍼 트레이에 웨이퍼를 적재시키는 과정을 도시한 사용 상태도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 이동하여 프로버 스테이지로 이동하는 과정을 도시한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이에 클리닝 웨이퍼들 또는 웨이퍼들이 적재된 상태를 도시한 예시도이다. FIG. 1 is a perspective view of an overall loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 2 is a rear view of the loader of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of the loader of FIG. 1.
4 is a partial perspective view of a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention, in which a buffer tray and a robot arm support equipped with a robot arm are mounted on a vertical movement module and moved upward.
5 is a partial perspective view of a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention, in which a buffer tray and a robot arm support equipped with a robot arm are moved downward by vertical and horizontal movement modules.
6 is a state diagram illustrating a process in which a robot hand of a robot arm picks up a wafer from a buffer tray or loads a wafer in a buffer tray in a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention.
7 is a plan view showing a process of moving a buffer tray and a robot arm to a prober stage in a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention.
8 is an exemplary view showing a state in which cleaning wafers or wafers are loaded in a buffer tray in a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 로봇암 지지대에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착하고, 상기 버퍼 트레이에 검사할 다수 개의 웨이퍼들을 카세트로부터 1차로 이송시켜 적재하여 로봇암과 함께 이동시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는, 카세트로의 빈번한 이동 과정없이, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 연속적으로 웨이퍼를 제공하거나 웨이퍼를 픽업할 수 있게 되며, 그 결과 웨이퍼 이송을 위한 카세트와 웨이퍼 프로버간의 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있게 된다. The loader for a wafer prober according to the present invention is equipped with a buffer tray capable of temporarily storing a plurality of wafers on a robot arm support, and transporting and loading a plurality of wafers to be inspected in the buffer tray first from the cassette to load the robot arm and It is characterized by being configured to move together. Accordingly, the loader for a wafer prober according to the present invention is capable of continuously providing wafers or picking up wafers to a plurality of wafer probers without frequent moving to the cassette, and as a result, cassettes and wafer pros for wafer transfer. It is possible to reduce the number of travels and the travel time of the Burgundy.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더의 구조 및 동작에 대하여 구체적으로 설명한다. Hereinafter, the structure and operation of the loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더를 전체적으로 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1의 로더에 대한 배면도이며, 도 3은 도 1의 로더에 대한 측면도이다. FIG. 1 is a perspective view of an overall loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 2 is a rear view of the loader of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of the loader of FIG. 1.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 이동 모듈에 장착되어 상부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다. 4 is a partial perspective view of a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention, in which a buffer tray and a robot arm support equipped with a robot arm are mounted on a vertical movement module and moved upward.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더(1)는 로봇암(100), 로봇암 지지대(110), 버퍼 트레이(120), 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈(도시되지 않음), 로더 프레임(130), 로봇암 이동 모듈을 구비한다. 1 to 3, the loader 1 for a wafer prober according to the present invention includes a robot arm 100, a robot arm support 110, a buffer tray 120, and a vertical movement module for a buffer tray (not shown) ), A loader frame 130, and a robot arm moving module.

상기 로봇암(100)은 단부에 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 구성된 로봇 핸드(102)가 장착되어 웨이퍼를 픽업하거나 픽업된 웨이퍼를 소정 위치에 적재하게 된다. The robot arm 100 is equipped with a robot hand 102 configured to pick up a wafer at an end to pick up the wafer or load the picked up wafer at a predetermined location.

상기 로봇암 지지대(110)는 상부면에는 로봇암(100)이 탑재되고, 일측면에는 버퍼 트레이(120)가 탑재되어, 상기 로더 프레임에 탑재된다. 상기 로봇암 지지대는 상기 로봇암 이동 모듈을 개재하여 상기 로더 프레임에 탑재됨으로써, 상기 로봇암 지지대에 탑재된 로봇암과 버퍼 트레이는 로봇암 이동 모듈의 구동에 의해 로더 프레임의 수평 방향 및 수직 방향을 따라 이동될 수 있으며, 회전도 가능하게 된다. The robot arm support 110 has a robot arm 100 mounted on an upper surface, a buffer tray 120 mounted on one side, and mounted on the loader frame. The robot arm support is mounted on the loader frame via the robot arm movement module, so that the robot arm and the buffer tray mounted on the robot arm support rotate the horizontal and vertical directions of the loader frame by driving the robot arm movement module. It can be moved along, and rotation becomes possible.

상기 버퍼 트레이(120)는 복수 개의 웨이퍼들을 수용할 수 있도록 구성되며, 로봇암과 함께 상기 로봇암 지지대의 일측면에 탑재되어 로봇암과 일체형으로 이동하게 된다. 상기 버퍼 트레이는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈을 개재하여 로봇암 지지대의 일측면에 탑재됨으로서, 상기 버퍼 트레이는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈의 구동에 의하여 로봇암 지지대의 일측면에서 소정의 범위내에서 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된다. The buffer tray 120 is configured to accommodate a plurality of wafers, and is mounted on one side of the robot arm support along with the robot arm to move integrally with the robot arm. The buffer tray is mounted on one side of the robot arm support through a vertical movement module for the buffer tray, and the buffer tray is vertical within a predetermined range on one side of the robot arm support by driving the vertical movement module for the buffer tray. It is configured to be movable in the direction.

상기 로봇암은 상기 로봇암 이동 모듈의 구동에 의해 수평 및 수직 방향에 대한 위치가 결정되며, 로봇암과 일체형으로 이동되는 버퍼 트레이는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈의 구동에 의해 로봇암의 측면에서 수직 방향을 따라 일정 범위를 이동하게 된다. 따라서, 버퍼 트레이가 수직 방향으로 이동함에 의해, 로봇암의 로봇 핸드가 위치한 높이와 웨이퍼를 픽업 또는 적재할 버퍼 트레이의 위치를 일치시키게 된다. The robot arm is positioned in the horizontal and vertical directions by driving the robot arm movement module, and the buffer tray that is integrally moved with the robot arm is vertical on the side of the robot arm by driving the vertical movement module for the buffer tray. A certain range is moved along the direction. Therefore, by moving the buffer tray in the vertical direction, the height of the robot hand of the robot arm is matched with the position of the buffer tray to pick up or load the wafer.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 이동 모듈에 장착되어 상부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다. 도 4를 참조하면, 로봇암(100)의 로봇 핸드(102)가 버퍼 트레이(120)의 소정 위치로부터 웨이퍼를 픽업하거나, 버퍼 트레이의 소정 위치로 웨이퍼를 이동시켜 적재하게 된다. 로봇 핸드(102)가 버퍼 트레이의 소정 위치로 웨이퍼를 픽업하거나 적재시킬 때, 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈이 버퍼 트레이의 높이를 조정함으로써, 로봇 핸드의 높이와 픽업 또는 적재될 버퍼 트레이의 위치를 일치시키게 된다. 이러한 버퍼 트레이의 높이 조정을 한 후 로봇 핸드가 회전하여 버퍼 트레이의 특정 위치에 웨이퍼를 적재시키거나 특정 위치의 웨이퍼를 픽업하게 된다. 4 is a partial perspective view of a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention, in which a buffer tray and a robot arm support equipped with a robot arm are mounted on a vertical movement module and moved upward. Referring to FIG. 4, the robot hand 102 of the robot arm 100 picks up a wafer from a predetermined position of the buffer tray 120 or moves the wafer to a predetermined position of the buffer tray to be loaded. When the robot hand 102 picks up or loads the wafer to a predetermined position on the buffer tray, the vertical movement module for the buffer tray adjusts the height of the buffer tray to match the height of the robot hand with the position of the buffer tray to be picked up or loaded. Ordered. After adjusting the height of the buffer tray, the robot hand rotates to load the wafer at a specific location on the buffer tray or pick up the wafer at a specific location.

상기 로봇암 이동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이가 탑재된 로봇암 지지대를 로더 프레임의 수평 방향 및 수직 방향을 따라 이동시키거나 회전시키도록 구성된 모듈로서, 상기 로봇암이 탑재된 로봇암 지지대를 회전시키는 회전 모듈(도시되지 않음), 로봇암이 탑재된 로봇암 지지대를 로더 프레임(130)의 수직 방향을 따라 이동시키는 수직 이동 모듈(140), 로봇암 지지대가 탑재된 수직 이동 모듈을 로더 프레임의 수평 방향을 따라 이동시키는 수평 이동 모듈(150)을 구비한다. The robot arm moving module is a module configured to move or rotate the robot arm support mounted with the robot arm and the buffer tray along the horizontal and vertical directions of the loader frame, and rotates the robot arm support equipped with the robot arm. The rotation module (not shown), the vertical movement module 140 for moving the robot arm support on which the robot arm is mounted along the vertical direction of the loader frame 130, and the vertical movement module on which the robot arm support is mounted are horizontal to the loader frame. It has a horizontal movement module 150 to move along the direction.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 장착된 로봇암 지지대가 수직 및 수평 이동 모듈에 의해 하부로 이동된 상태를 도시한 부분 사시도이다. 도 5를 참조하면, 로봇암 지지대에 탑재된 버퍼 트레이와 로봇암이 함께 이동됨을 알 수 있다. 5 is a partial perspective view of a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention, in which a buffer tray and a robot arm support equipped with a robot arm are moved downward by vertical and horizontal movement modules. Referring to Figure 5, it can be seen that the robot arm and the buffer tray mounted on the robot arm support.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 로봇암의 로봇 핸드가 버퍼 트레이로부터 웨이퍼를 픽업하거나 버퍼 트레이에 웨이퍼를 적재시키는 과정을 도시한 사용 상태도이다. 도 6을 참조하면, 로봇암 지지대에 탑재된 버퍼 트레이와 로봇암이 수직 이동 모듈에 의해 로더 프레임의 하단으로 이동되며 수평 이동 모듈에 의해 수직 이동 모듈이 로더 프레임의 좌측으로 이동됨을 알 수 있다. 6 is a state diagram illustrating a process in which a robot hand of a robot arm picks up a wafer from a buffer tray or loads a wafer in a buffer tray in a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention. Referring to FIG. 6, it can be seen that the buffer tray and the robot arm mounted on the robot arm support are moved to the bottom of the loader frame by the vertical movement module, and the vertical movement module is moved to the left of the loader frame by the horizontal movement module.

상기 로더 프레임(130)은 로봇암이 이동되어야 할 범위에 따라 제작지는 프레임으로서, 로봇암이 수평 이동 모듈(150) 및 수직 이동 모듈(140)의 구동에 의해 로더 프레임의 수평 및 수직 방향을 따라 이동되도록 구성되는 것이 바람직하다. The loader frame 130 is a frame that is manufactured according to a range in which the robot arm is to be moved, and the robot arm moves along the horizontal and vertical directions of the loader frame by driving the horizontal movement module 150 and the vertical movement module 140. It is preferably configured to move.

상기 수직 이동 모듈 및 수평 이동 모듈은 벨트 및 벨트를 구동하는 모터 등으로 이루어질 수 있다. The vertical movement module and the horizontal movement module may be made of a belt and a motor for driving the belt.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이와 로봇암이 이동하여 프로버 스테이지로 이동하는 과정을 도시한 평면도이다. 도 7을 참조하면, 로봇암과 다수 개의 웨이퍼들이 적재되어 임시 보관된 버퍼 트레이가 수평 및 수직 이동 모듈에 의해 웨이퍼 프로버로 이동됨을 알 수 있다. 7 is a plan view showing a process of moving a buffer tray and a robot arm to a prober stage in a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention. Referring to FIG. 7, it can be seen that the robot arm and the plurality of wafers are loaded and the temporarily stored buffer tray is moved to the wafer prober by horizontal and vertical moving modules.

한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더(1)는, 로더 프레임에서 로봇암 및 로봇암 이동 모듈이 탑재된 면과 반대되는 면에, 웨이퍼 카세트(200), 클리닝 웨이퍼 트레이(210) 및 CC 트레이(Card Changer Tray : 220), 인스펙션 트레이(Inspection Tray : 240)을 장착하는 것이 바람직하다. On the other hand, the wafer prober loader 1 according to the present invention, on the surface opposite to the surface on which the robot arm and robot arm moving module are mounted in the loader frame, the wafer cassette 200, the cleaning wafer tray 210 and the CC tray (Card Changer Tray: 220), It is desirable to install the Inspection Tray (240).

전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는, 버퍼 트레이에 복수 개의 클리닝 웨이퍼들을 적재하여 웨이퍼 프로버로 제공함으로써, 각 웨이퍼 프로버의 프로버 카드들을 세정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. It is preferable that the loader for a wafer prober according to the present invention having the above-described configuration is capable of cleaning prober cards of each wafer prober by loading a plurality of cleaning wafers in a buffer tray and providing the wafer prober.

도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버용 로더에 있어서, 버퍼 트레이에 클리닝 웨이퍼들 또는 웨이퍼들이 적재된 상태를 도시한 예시도이다. 도 8을 참조하면, 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임(130)에 장착된 클리닝 웨이퍼 트레이들로부터 복수 개의 클리닝 웨이퍼들을 픽업하여 버퍼 트레이에 적재시킨 후 각 웨이퍼 프로버들로 이동하여, 각 웨이퍼 프로버들의 프로버 카드들을 세정할 수 있게 된다. 8 is an exemplary view showing a state in which cleaning wafers or wafers are loaded in a buffer tray in a loader for a wafer prober according to a preferred embodiment of the present invention. Referring to FIG. 8, the loader for a wafer prober picks up a plurality of cleaning wafers from cleaning wafer trays mounted on the loader frame 130 and loads them in a buffer tray, and then moves to each wafer prober, thereby Prover cards can now be cleaned.

한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더(1)는, 로더 프레임의 소정 위치에 웨이퍼 프리-얼라인먼트(pre-alignment) 모듈(230)을 장착하는 것이 바람직하다. 웨이퍼 프리-얼라인먼트 모듈은 웨이퍼 프로버에 이송할 웨이퍼를 검사전에 정해진 방향으로 정렬하는 모듈로서, 프리-얼라인먼트 모듈에서 프리-얼라인먼트된 웨이퍼들을 버퍼 트레이에 이송하여 적재시킴으로써, 검사 소요 시간을 감축시킬 수 있게 된다. On the other hand, the wafer prober loader 1 according to the present invention, it is preferable to mount the wafer pre-alignment (pre-alignment) module 230 in a predetermined position of the loader frame. The wafer pre-alignment module is a module that aligns the wafers to be transferred to the wafer prober in a predetermined direction before inspection, and reduces the time required for inspection by transferring and loading the pre-aligned wafers in the buffer tray in the pre-alignment module. There will be.

한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 인접하여 나열된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 사용될 수 있으며, 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수평 및 수직 방향을 따라 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 사용될 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는 수직 및 수평 방향으로의 이동이 자유롭고, 버퍼 트레이에 의해 복수 개의 웨이퍼들을 임시 보관이 가능하므로, 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수직 및 수평 방향으로 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에도 유용하게 응용될 수 있다. Meanwhile, the loader for a wafer prober according to the present invention can be usefully used in a wafer prober system in which a plurality of wafer probers are arranged adjacently, and a wafer prober system in which a plurality of wafer probers are stacked along horizontal and vertical directions It can also be useful. In particular, the loader for a wafer prober according to the present invention is free to move in the vertical and horizontal directions, and since a plurality of wafers can be temporarily stored by a buffer tray, a plurality of wafer probers are stacked in vertical and horizontal directions. It can also be usefully applied to Prover systems.

이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. In the above, the present invention has been mainly described for its preferred embodiment, but this is merely an example and does not limit the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains do not depart from the essential characteristics of the present invention. It will be appreciated that various modifications and applications not illustrated above are possible in the scope. And, the differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.

1 : 웨이퍼 프로버용 로더
100 : 로봇암
102 : 로봇 핸드
110 : 로봇암 지지대
120 : 버퍼 트레이
130 : 로더 프레임
140 : 수직 이동 모듈
150 : 수평 이동 모듈
200 : 웨이퍼 카세트
210 : 클리닝 웨이퍼 트레이1: Wafer prober loader
100: robot arm
102: robot hand
110: robot arm support
120: buffer tray
130: loader frame
140: vertical movement module
150: horizontal moving module
200: wafer cassette
210: cleaning wafer tray

Claims (8)

단부에 웨이퍼를 픽업할 수 있도록 구성된 로봇 핸드가 장착되어 웨이퍼를 픽업하거나 픽업된 웨이퍼를 소정 위치에 적재하는 로봇암;
상기 로봇암이 이동되는 범위에 따른 형상을 갖도록 제작된 로더 프레임;
상기 로봇암을 로더 프레임의 수직 방향 및 수평 방향을 따라 이동시키거나 회전시키도록 구성된 로봇암 구동 모듈;
상부면에 상기 로봇암이 탑재되어 상기 로봇암 구동 모듈에 연결된 로봇암 지지대; 및
하나 또는 둘 이상의 웨이퍼를 적재할 수 있도록 구성되고, 상기 로봇암 지지대의 일측면에 탑재된 버퍼 트레이;
를 구비하여, 버퍼 트레이에 하나 또는 둘 이상의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관함으로써, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 웨이퍼를 연속적으로 제공하거나 연속적으로 픽업할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더.A robot arm equipped with a robot hand configured to pick up a wafer at an end to pick up the wafer or load the picked up wafer at a predetermined position;
A loader frame manufactured to have a shape according to a range in which the robot arm is moved;
A robot arm driving module configured to move or rotate the robot arm along the vertical and horizontal directions of the loader frame;
A robot arm support mounted on the upper surface and connected to the robot arm driving module; And
A buffer tray configured to load one or more wafers and mounted on one side of the robot arm support;
A loader for wafer storage capable of wafer storage, characterized by being configured to continuously supply or continuously pick up wafers to a plurality of wafer probers by temporarily storing one or more wafers in a buffer tray. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈을 더 구비하고,
상기 버퍼 트레이용 수직 이동 모듈은 상기 버퍼 트레이와 로봇암 지지대의 사이에 배치되어, 버퍼 트레이를 로봇암 지지대의 측면에서 소정 범위를 수직 방향을 따라 이동시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더. According to claim 1, The loader for the wafer prober further comprises a vertical movement module for the buffer tray,
The vertical movement module for the buffer tray is disposed between the buffer tray and the robot arm support, and is configured to move the buffer tray along a vertical direction from a side of the robot arm support to a wafer-storable wafer. Loaders for probers. 제1항에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 로더 프레임의 수직 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 수직 이동 모듈을 구비하고,
상기 로봇암과 버퍼 트레이가 탑재된 로봇암 지지대가 상기 수직 이동 모듈에 탑재되고,
상기 수직 이동 모듈은 로봇암 지지대를 로더 프레임의 수직 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더. According to claim 1, The robot arm drive module is provided with a vertical movement module configured to move the robot arm and the buffer tray in the vertical direction of the loader frame,
The robot arm support on which the robot arm and buffer tray are mounted is mounted on the vertical movement module,
The vertical movement module is a loader for wafer storage capable of storing a wafer, characterized in that configured to move the robot arm support along the vertical direction of the loader frame. 제3항에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 로더 프레임의 수평 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 수평 이동 모듈을 구비하고,
상기 수평 이동 모듈은 상기 로봇암 지지대가 탑재된 수직 이동 모듈을 로더 프레임의 수평 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더. According to claim 3, The robot arm drive module is provided with a horizontal movement module configured to move the robot arm and the buffer tray in the horizontal direction of the loader frame,
The horizontal movement module is a loader for wafer storage capable of storing wafers, characterized in that the robot arm support is mounted to move the vertical movement module mounted in the horizontal direction of the loader frame. 제1항에 있어서, 상기 로봇암 구동 모듈은 로봇암과 버퍼 트레이를 일체형으로 수직 방향 및 수평 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈 및 수평 이동 모듈, 그리고 회전시키는 회전 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더. The wafer storage according to claim 1, wherein the robot arm driving module includes a vertical movement module and a horizontal movement module for rotating the robot arm and the buffer tray in a vertical direction and a horizontal direction, and a rotating module for rotating. Loaders for wafer probers available. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임에 장착된 클리닝 웨이퍼 트레이를 더 구비하고,
상기 로봇암은 상기 클리닝 웨이퍼 트레이로부터 클리닝 웨이퍼들을 픽업하여 버퍼 트레이로 이송하고, 복수 개의 웨이퍼 프로버의 프로버 카드들의 세정을 위하여 상기 클리닝 웨이퍼들을 복수 개의 웨이퍼 프로버들로 각각 이송하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더. According to claim 1, The loader for the wafer prober further comprises a cleaning wafer tray mounted to the loader frame,
The robot arm is configured to pick up cleaning wafers from the cleaning wafer tray and transfer them to a buffer tray, and to transfer the cleaning wafers to a plurality of wafer probers for cleaning the prober cards of a plurality of wafer probers, respectively. A loader for wafer probers capable of storing wafers. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 로더 프레임의 소정 위치에 장착된 프리-얼라인먼트(pre-alignment) 모듈을 더 구비하고,
상기 프리-얼라인먼트 모듈은 웨이퍼들을 검사전에 방향을 정렬하는 모듈로서, 상기 로봇암은 프리-얼라인먼트 모듈에 의해 프리-얼라인먼트된 웨이퍼들을 버퍼 트레이로 이송시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더. The wafer prober loader of claim 1, further comprising a pre-alignment module mounted at a predetermined position of the loader frame,
The pre-alignment module is a module for aligning the wafers prior to inspection, and the robot arm loads the wafers pre-aligned by the pre-alignment module to a buffer tray. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 복수 개의 웨이퍼 프로버들이 수평 및 수직 방향을 따라 적층되어 구성된 웨이퍼 프로버 시스템에 적용되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 가능한 웨이퍼 프로버용 로더. The loader for a wafer prober according to claim 1, wherein the wafer prober loader is applied to a wafer prober system configured by stacking a plurality of wafer probers along horizontal and vertical directions.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010023014A (en) 1997-08-28 2001-03-26 씨브이씨 프로덕츠 인코포레이티드 Wafer handler for multi-station tool

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010023014A (en) 1997-08-28 2001-03-26 씨브이씨 프로덕츠 인코포레이티드 Wafer handler for multi-station tool

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114420616A (en) * 2022-03-28 2022-04-29 西安奕斯伟材料科技有限公司 Groove type cleaning device

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