KR20200034386A - 가스캐비닛의 국소배기장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스캐비닛의 국소배기장치에 관한 것으로서, 특히 댐퍼를 통한 가스 배출에도 불구하고 가스캐비닛 내 잔존하는 가스를 효과적이면서도 신속히 제거할 수 있도록 내부 가스의 배출을 조절하는 댐퍼가 형성된 캐비닛본체를 포함하되, 상기 캐니빗본체는 댐퍼의 측면과 캐비닛본체를 연결된 바이패스관이 형성되고, 상기 바이패스관에 연결되어 임의지점으로 이동하여 잔존하는 가스를 제거할 수 있는 국소배기체가 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 가스캐비닛의 국소배기장치에 관한 것이다.

Description

가스캐비닛의 국소배기장치{Local ventilator in gas cabinet}

본 발명은 가스캐비닛의 국소배기장치에 관한 것으로서, 특히 가스캐비닛 내 임의의 지점에 잔존하고 있는 가스를 효과적으로 제거할 수 있는 가스캐비닛의 국소배기장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체나 디스플레이를 제조함에 있어, 포토, 확산, 식각 증착 공정과 같은 여러 공정들을 진행하며, 각 공정에서는 공정의 목적에 따라 다양한 가스를 이용하고 있다. 이때, 가스의 원활한 공급을 위하여 통상 가스캐비닛(gas cabinet)이라 통칭되는 장치를 사용한다.

이러한 가스캐비닛은 정기적 또는 비정기적으로 관리를 하여야 하며, 가스캐비닛에 설치된 부속품들을 교체하거나 유지보수하기 위해서는 가스가 주입되어 있던 가스캐비닛을 열어야 한다.

상기 가스캐비닛을 오픈시 가스가 가스캐비닛 내에 가스가 남아있는 경우 작업자의 건강을 해치게 되므로, 일반적인 가스캐닛에는 내부 가스를 배출하기 위한 댐퍼가 형성되어 있다. 따라서, 작업자가 가스캐비닛을 열어 작업하기에 앞서, 댐퍼를 통해 가스캐비닛 내의 가스를 제거한다.

이처럼 댐퍼를 통해 가스캐비닛 내부 가스를 배출하더라도 완전히 제거되지 못하고 가스캐비닛 내 임의의 지점에 흄(hume)이라 통칭되는 가스가 잔존하게 되며, 가스캐비닛 내 잔존가스는 작업자에게 백혈병, 각종 암, 호흡기 장애 등을 유발할 수 있다.

1. 등록실용신안 제20-0195104호 '반도체 제조장비의 가스 캐비넷'

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서 댐퍼를 통한 가스 배출에도 불구하고 가스캐비닛 내 잔존하는 가스를 효과적이면서도 신속히 제거할 수 있는 가스캐비닛의 국소배기장치를 제공함에 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명인 가스캐비닛의 국소배기장치는 내부 가스의 배출을 조절하는 댐퍼가 형성된 캐비닛본체를 포함하되, 상기 캐니빗본체는 댐퍼의 측면과 캐비닛본체를 연결된 바이패스관이 형성되고, 상기 바이패스관에 연결되어 임의지점으로 이동하여 잔존하는 가스를 제거할 수 있는 국소배기체가 내부에 구비되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 국소배기체를 캐비닛본체 내부에서 가스가 잔존하는 임의지점으로 이동시켜 이를 흡수하여 제거할 수 있으므로, 작업자가 신속하면서도 효과적으로 흄(hume)을 제거할 수 있어, 작업의 편의성과 작업자의 안전성을 확보할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 가스캐비닛의 국소배기장치의 구조를 보여주는 사시도,
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 가스캐비닛의 국소배기장치에 적용되는 국소배기체가 캐비닛본체 내에서 작동되는 상태를 보여주는 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 가스캐비닛의 국소배기장치에 적용되는 국소배기체가 상하좌우 방향으로 회동되는 것을 보여주는 예시도.

본 발명에서는 댐퍼를 통한 가스 배출에도 불구하고 가스캐비닛 내 잔존하는 가스를 효과적이면서도 신속히 제거할 수 있도록 내부 가스의 배출을 조절하는 댐퍼가 형성된 캐비닛본체를 포함하되, 상기 캐니빗본체는 댐퍼의 측면과 캐비닛본체를 연결된 바이패스관이 형성되고, 상기 바이패스관에 연결되어 임의지점으로 이동하여 잔존하는 가스를 제거할 수 있는 국소배기체가 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 가스캐비닛의 국소배기장치를 제안한다.

본 발명의 권리범위는 이하에서 설명하는 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 기술분야의 통상적인 지식을 가진자에 의하여 다양하게 변형 실시될 수 있다.

이하, 본 발명인 가스캐비닛의 국소배기장치는 첨부된 도 1 내지 도 4를 참고로 상세하게 설명한다.

본 발명인 가스캐비닛의 국소배기장치는 도 1에 도시된 바와 같이 소정의 형태를 이루는 캐비닛본체(A)를 포함하며, 여기서의 캐비닛본체(A)는 내부에 가스를 수용할 수 있는 것을 의미하며, 상기 가스는 반도체 또는 디스플레이 공정 등을 함에 있어 필요한 일 종류의 기체 형태일 수 있음은 물론 여러 종류의 기체가 혼합된 형태일 수도 있다. 또한, 상기 캐비닛본체(A) 내에는 가스용기 또는 다양한 부속품이 구비될 수 있으며, 이를 설치하고 관리하기 위해 개폐가능한 도어가 형성됨이 바람직하다.

이러한 캐비닛본체(A)에는 내수에 수용된 가스를 배출하기 위한 댐퍼(100)가 형성되며, 상기 댐퍼(100)는 내부가 빈 통형상으로 형성된다. 또한, 상기 댐퍼(100)는 캐비닛본체(A)의 다양한 위치에 형성될 수 있으나, 가스의 원활한 배출을 위하여 캐비닛본체(A)의 상단부에 형성됨이 바람직하다.

상기 댐퍼(100)는 일단이 캐비닛본체(A)와 연결되고, 타단이 배출된 가스가 이동하는 통로인 덕트 등과 연결될 수 있으며, 댐퍼(100) 내부에는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 캐비닛본체(A) 내부 가스의 배출여부를 조절할 수 있는 제1 개폐구(110)가 구비될 수 있다.

상기 제1 개폐구(110)는 일 예로 회동가능한 판 형태로 형성되어 폐쇄시 댐퍼(100)를 통한 가스배출을 차단하며, 개방시 댐퍼(100)를 통한 가스배출이 이루어지도록 할 수 있다. 또한, 상기 제1 개폐구(110)는 작업자에 의해 회동이 조절되는 수동식으로 구성할 수 있으나, 작업의 편의를 위해 전자동식으로 구성함이 바람직하다.

한편, 본 발명인 가스캐비닛의 국소배기장치는 일단이 댐퍼(100)의 측면에 연결되고 타단이 캐비닛본체(A)에 연결된 바이스패스관(200)을 포함하며, 상기 바이패스관(200)은 댐퍼(100) 및 캐비닛본체(A)와 연통된다. 또한, 상기 바이패스관(200)의 타단에 연결되며 캐비닛본체(A) 내부에 구비되는 국소배기체(300)를 포함한다.

상기 국소배기체(300)는 캐니빗본체(A) 내의 임의지점으로 이동가능한 형태로 형성되어, 작업자가 캐비닛본체(A) 내부에서 가스가 잔존하는 임의지점으로 이동시켜 가스가 흡수되도록 하여 흡수된 가스가 바이패스관(200)을 통해 댐퍼(100)로 배출되도록 한다. 이때, 상기 국소배기체(300)는 작업자가 캐비닛본체(A)의 도어를 열고 국소배기체(300)를 직접 이동시켜 잔존하는 가스를 제거할 수 있음은 물론, 상기 국소배기체(300)를 전자동식으로 구성하여 캐니빗본체(A) 내 구비된 카메라나 가스감지센서 등을 통해 파악된 지점으로 국소배기체(300)를 간접적으로 이동시켜 잔존하는 가스를 제거할 수도 있다.

상기 국소배기체(300)는 길이 조절이 가능하면서 상대적으로 유연한 자바라 호스 형태 등 다양한 형태로 형성될 수 있으나, 사용되지 않는 경우에 흔들림없이 자리를 잡고 있으면서도 사용시 손쉽게 이동이 가능하도록 암후드 형태로 형성됨이 바람직하다.

따라서, 상기 국소배기체(300)는 도 4에 도시된 바와 같이 소정의 길이를 가지는 관이 여러 개 구비되어 상호 회전이 가능하도록 결합된 관절암(310)과, 상기 관절암(310)에 연결된 후드(320)를 포함할 수 있으며, 상기 관절암(310)은 일단이 바이패스관(200)과 연결되며 상하좌우 방향으로 회동할 수 있도록 구성되어 캐비닛본체(A) 내 임의지점 어디로든 이동이 가능하다.

일 예로, 작업자는 도 2에 도시된 바와 같이 평소 캐비닛본체(A) 내에서 접혀져 있는 국소배기체(300)를 잡아당겨, 도 3에 도시된 바와 같이 관절암(310)의 타단에 형성된 후드(320)가 캐비닛본체(A) 내 임의지점으로 이동되도록 하여 흄(hume)을 제거하게 된다.

이처럼 본 발명은 캐비닛본체(A) 내부에 국소배기체(300)를 구비함으로써, 캐비닛본체(A) 내 잔존하는 가스를 제거하고자 캐비닛본체(A)와 별도로 국소배기장치를 마련할 필요가 없어 비용이 절감될 뿐만 아니라, 별도의 국소배기장치를 설치하는 번거로움을 줄일 수 있으며, 국소배기체(300)를 사용하지 않는 경우 접어서 여타의 작업을 함에 있어 간섭이 일어나지 않도록 하고, 필요시 손쉽게 이동시켜 잔존 가스를 제거할 수 있는바, 작업의 편의성이 증대된다. 이와 동시에 작업자의 안전성을 확보할 수 있음은 물론이다.

한편, 앞서 설명한 바와 같이 상기 댐퍼(100) 내부에 제1 개폐구(110)가 구비되는 경우, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 바이패스관(200)의 일단은 제1 개폐구(110)보다 상측으로 댐퍼(100)의 측면에 연결됨이 바람직하다. 이는 국소배기체(300)에 의해 흡입된 가스가 바이패스관(200)을 통해 댐퍼(100)로 들어오는 경우, 제1 개폐구(100)의 개폐여부와 상관없이 외부로 빠져나가도록 하기 위함이다. 다만, 바이패스관(200)을 통해 댐퍼(100)로 들어온 잔존가스가 댐퍼(100)를 통해 다시 캐비닛본체(A)로 들어가는 것을 방지하고자 도 3에 도시된 바와 같이 국소배기체(300)를 통한 잔존가스의 제거시 상기 제1 개폐구(110)는 폐쇄된 상태를 유지함이 바람직하다.

상기 국소배기체(300)는 댐퍼(100)로의 가스 배출여부를 조절하는 제2 개폐구(330)가 내부에 구비될 수 있다. 상기 제2 개폐구(330)는 일 예로 제1 개폐구(110)와 마찬가지로 판 형태로 형성되어 관절암(310)에 회동가능하도록 구비될 수 있으며, 폐쇄시 국소배기체(300)를 통한 가스배출을 차단하며, 개방시 국소배기체(300)를 통한 가스배출이 이루어지도록 할 수 있다. 또한, 상기 제2 개폐구(330)는 작업자에 의해 회동이 조절되는 수동식으로 구성할 수 있으나, 작업의 편의를 위해 전자동식으로 구성함이 바람직하다.

캐비닛본체(A) 내 수용된 가스 제거를 위해 제1 개폐구(110)와 제2 개폐구(330)를 모두 개방하여, 댐퍼(100)와 국소배기체(300) 모두를 이용할 수도 있으나, 국소배기체(300)의 이동을 작업자가 수동으로 수행하는 경우 캐비닛본체(A)의 도어를 열어야 하므로 댐퍼(100)를 이용한 가스 제거를 수행한 후, 국소배기체(300)를 이용한 가스 제거를 수행함이 바람직하다.

따라서, 먼저 상기 제1 개폐구(110)를 개방하고 상기 제2 개폐구(330)를 폐쇄하여 댐퍼(100)를 통한 가스배출을 수행한 후, 상기 제1 개폐구(110)를 폐쇄하고 상기 제2 개폐구(330)를 개방하여 국소배기체(300)를 통한 가스배출을 수행함이 바람직하다.

한편, 상기 캐비닛본체(A)는 다양한 지점에 가스를 감지할 수 있는 가스감지기(120)가 구비될 수 있으며, 일 예로 상기 댐퍼(100)에도 가스감지기(120)가 구비될 수 있다. 상기 댐퍼(100)에 가스감지기(120)가 구비되는 경우, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 바이패스관(200)의 연결지점보다 상측에 구비되어 댐퍼(100)를 통해 배출된 가스는 물론, 바이스패스관(200)를 통해 배출된 가스를 동시에 감지할 수 있도록 함이 바람직하다.

A : 캐비닛본체
100 : 댐퍼 110 : 제1 개폐구
120 : 가스감지기
200 : 바이패스관
300 : 국소배기체 310 : 관절암
320 : 후드 330 : 제2 개폐구

Claims (5)

1. 내부 가스의 배출을 조절하는 댐퍼(100)가 형성된 캐비닛본체(A)를 포함하되,
   상기 캐니빗본체(A)는 댐퍼(100)의 측면과 캐비닛본체(A)를 연결된 바이패스관(200)이 형성되고, 상기 바이패스관(200)에 연결되어 임의지점으로 이동하여 잔존하는 가스를 제거할 수 있는 국소배기체(300)가 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 가스캐비닛의 국소배기장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 국소배기체(300)는 일단이 바이패스관(200)과 연결되며 상하좌우 방향으로 회동할 수 있는 관절암(310)과, 상기 관절암(310)의 타단에 형성된 후드(320)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스캐비닛의 국소배기장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 댐퍼(100)는 캐비닛본체(A) 내부 가스의 배출여부를 조절하는 제1 개폐구(110)가 내부에 구비되되,
   상기 바이패스관(200)은 제1 개폐구(110)보다 상측으로 댐퍼(100)에 연결되는 것을 특징으로 하는 가스캐비닛의 국소배기장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 국소배기체(300)는 댐퍼(100)로의 가스 배출여부를 조절하는 제2 개폐구(330)가 내부에 구비되되,
   상기 제1 개폐구(110)를 개방하고 상기 제2 개폐구(330)를 폐쇄하여 댐퍼(100)를 통한 가스배출을 수행한 후, 상기 제1 개폐구(110)를 폐쇄하고 상기 제2 개폐구(330)를 개방하여 국소배기체(300)를 통한 가스배출을 수행하는 것을 특징으로 하는 가스캐비닛의 국소배기장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 댐퍼(100)는 바이패스관(200)의 연결지점보다 상측에 가스를 감지할 수 있는 가스감지기(120)가 구비되는 것을 특징으로 하는 가스캐비닛의 국소배기장치.

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